JP2001153244A - チェック弁内蔵バルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンパクトなチェック弁内蔵バルブを提供す
ること、またチャタリングやパーティクルの発生を防止
したチェック弁内蔵バルブを提供すること。 【解決手段】 入力ポート４から出力ポート５へ流れる
流体を制御する開閉バルブ２と、入力ポート４と出力ポ
ート５とを連通する流路上１１，１２，１３，１４，１
５に設けられたチェック弁３とを有し、そのチェック弁
３が、弾性材で形成された円盤状の弁体２３が、弁座３
４に当接する当接部分と周縁の固定部分との間に流体の
通り道３６を有するものであって、流路１１，１２を遮
断するように固定部分が挟み込んで固定され、当接部分
が弁体自身の復元力によって流路１２の下流側から弁座
３４に対して当接するように撓ませて取り付けられた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置を
構成する集積化されたガス供給ラインなどに配管される
チェック弁内蔵バルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造装置では、ガス供給
ラインの管内やバルブ内等にプロセスガスが滞留しない
ようにするため、不活性ガス（以下、パージガス）を利
用したパージが行われている。そのため、プロセスガス
ラインにパージガスラインが接続され、バルブの開閉に
よってプロセスガスラインへ送るパージガスが制御され
ている。一方で、プロセスガスがパージガスライン側へ
流入するのを防止する必要があるため、パージガスライ
ンにはチェック弁も設けられている。ところで、半導体
製造装置のガス供給ラインは、こうした開閉バルブやチ
ェック弁、その他レギュレータやマスフローコントロー
ラ等、流体制御機器の集積化が施されている。このガス
供給ラインの集積化によって半導体製造装置がよりコン
パクトになるからであるが、更にはチェック弁と開閉バ
ルブとを一体にして配管や継手を省いたコンパクト化が
図られている。また、この一体化は、リークの防止、或
いはデッドスペースをなくしてガスの置換特性を良くし
ている。そのため、従来から開閉バルブにチェック弁を
組み込んだチェック弁内蔵バルブが使用されている。そ
して、こうしたチェック弁内蔵バルブの一例としては、
特開平１１−２０１３０３号公報に記載されたものを挙
げることができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例示し
たような従来のチェック弁内蔵バルブは、チェック弁に
ポペット弁を使用していたため、弁体であるポペットを
配置するスペースを確保する必要があり、両者を一体に
したことで集積化に適った構成にはなったものの、それ
自体の寸法が大きくなってしまった。また、ポペット弁
を使用すると、軸方向に長い弁体を回避するように流路
を形成するので、バルブ本体内に形成する流路が複雑に
なっていしまう問題点もあった。更に、ポペット弁は、
ポペットを圧縮バネ等の付勢部材によって付勢させて閉
弁させているため、チャタリングが起きたり、付勢部材
の摩耗などによりパーティクルが発生するといった問題
もあった。

【０００４】そこで、本発明は、ポペット弁によって起
こる上記課題の解決を図るべく、コンパクトなチェック
弁内蔵バルブを提供すること、またチャタリングやパー
ティクルの発生を防止したチェック弁内蔵バルブを提供
することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に係るチェック
弁内蔵バルブは、入力ポートから出力ポートへ流れる流
体を制御する開閉バルブと、前記入力ポートと出力ポー
トとを連通する流路上に設けられたチェック弁とを有
し、そのチェック弁が、弾性材で形成された円盤状の弁
体が弁座に当接する当接部分と周縁の固定部分との間に
流体の通り道を有するものであって、流路を遮るように
前記固定部分が挟み込んで固定され、前記当接部分が弁
体自身の復元力によって流路の下流側から弁座に対して
当接するように撓ませて取り付けられたものであること
を特徴とする。

【０００６】そこで、流体の流れが順流の場合には、そ
の流体圧が弁座に当接する弁体をより撓ませて弁座から
離間させ、弁体に形成された通り道を通って流体が下流
へ流れる。一方、流体が逆流した場合には、弁体の復元
力によって常時閉弁状態にあり、更に逆流する流体の流
体圧によって弁体がより強く弁座に押し付けられるため
チェック弁より上流へ流体が流れることはない。このよ
うなチェック弁内蔵バルブによれば、チェック弁に円盤
状の弁体を使用したため、チェック弁を小型化すること
でチェック弁内蔵バルブ全体がコンパクトになった。ま
た、チェック弁は、弁体の復元力によって常時下流側か
ら弁座に当接して閉弁状態を維持するようにしたので、
チャタリングの発生が防止され、更にバネなどの付勢部
材を使用しないことから、そこから発生するパーティク
ルがなくなった。

【０００７】請求項２に係るチェック弁内蔵バルブは、
入力ポートから出力ポートへ流れる流体を制御する開閉
バルブと、前記入力ポートと出力ポートとを連通する流
路上にあって、ボディ内に埋設されたチェック弁とを有
し、そのチェック弁が、弾性材で形成された円盤状のも
のであって弁座に当接する当接部分と周縁の固定部分と
の間に流体の通り道が形成された弁体と、入力側流路に
連通する連通孔が穿設されて当該連通孔の周りに弁座が
形成された弁座部材と、出力側流路に連通する連通孔が
穿設されて前記弁体の固定部分を前記弁座部材との間で
挟み込むための保持部材とを有し、前記ボディ内を通る
流路の途中に形成された装填用の穴に、弁座部材を上流
側にして当該弁座部材と保持部材とで弁体の固定部分を
挟み込んだ状態で装填することによって、連続する弁座
部材と保持部材との連通孔を遮断するように保持された
弁体が、撓められて、弁体自身の復元力により下流側か
ら当接部分を弁座に当接させたものであることを特徴と
する。

【０００８】そこで、流体の流れが順流の場合には、そ
の流体圧が弁座に当接する弁体をより撓ませて弁座から
離間させ、弁体に形成された通り道を通って流体が下流
へ流れる。一方、流体が逆流した場合には、弁体の復元
力によって常時閉弁状態にあり、更に逆流する流体の流
体圧によって弁体がより強く弁座に押し付けられるため
チェック弁より上流へ流体が流れることはない。このよ
うなチェック弁内蔵バルブによれば、チェック弁に円盤
状の弁体を使用したため、チェック弁を小型化すること
でチェック弁内蔵バルブ全体がコンパクトになった。ま
た、チェック弁は、弁体の復元力によって常時下流側か
ら弁座に当接して閉弁状態を維持するようにしたので、
チャタリングの発生が防止され、更にバネなどの付勢部
材を使用しないことから、そこから発生するパーティク
ルがなくなった。また、弁体を弁座部材と保持部材とで
挟み込んでチェック弁を形成する簡単な構成で、部品の
交換も容易になった。

【０００９】また、請求項３に係るチェック弁内蔵バル
ブは、前記請求項２のものにおいて、前記装填用の穴
が、上下に流路が形成された前記ボディの側面に開設さ
れた横穴であって、その開口部を蓋部材によって気密に
塞ぐようにしたものであることを特徴とする。よって、
チェック弁の部品交換等は蓋部材を取り外すだけで行う
ことができ、バルブ全体を取り外したり、開閉バルブ部
分を分解する必要がなくなり、取り扱いが容易になっ
た。

【００１０】また、請求項４に係るチェック弁内蔵バル
ブは、前記請求項２又は請求項３のものにおいて、前記
装填用の穴に前記弁座部材と保持部材とで弁体を挟み込
んだ状態で装填する場合、弁座部材と保持部材との位置
が逆転しても、弁座部材及び保持部材の連通孔がいずれ
も入力側及び出力側の流路に連通することを特徴とす
る。よって、チェック弁で遮断する流体の流れの向きが
反転するため、入力ポートと出力ポートを逆にして配管
することが可能となり、これによって逆止弁を開閉バル
ブの上流側に配置させたり、下流側に配置させたりする
ことができる。

【００１１】また、請求項５に係るチェック弁内蔵バル
ブは、前記請求項１乃至請求項４のいずれかのものにお
いて、前記弁体が、ゴム材からなる一枚の円盤に前記流
体の通り道となる小孔が複数穿設されたものであること
を特徴とするチェック弁内蔵バルブ。よって、チェック
弁を安価に提供することができ、また繰り返し開閉が行
われた場合にでもパーティクルの発生を抑えることがで
きる。

【００１２】また、請求項６に係るチェック弁内蔵バル
ブは、前記請求項１乃至請求項４のいずれかのものにお
いて、前記弁体が、環状の固定部から連続する複数の板
バネ部が中心部で連結された板バネ部材に、円盤状のシ
ールゴムが貼り付けられたものであることを特徴とす
る。よって、流体の通り道となる板バネ部同士の隙間が
大きくなって、順流方向に流れる流体の流量を大きくす
ることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】次に、本発明に係るチェック弁内
蔵バルブの一実施の形態について、図面を参照して具体
的に説明する。図１は、チェック弁内蔵バルブの第１実
施の形態を示した断面図である。なお、このチェック弁
内蔵バルブ１は、半導体製造装置のパージガスラインに
設けられたものである。

【００１４】チェック弁内蔵バルブ１は、上方にパージ
バルブ２が、そして下方にチェック弁３が配置され、入
力ポート４と出力ポート５との間を連通する流路がパー
ジバルブ２及びチェック弁３を通るように上下に形成さ
れている。そのため、ポートブロック６上にチェック弁
ブロック７及びバルブブロック８が、順に積み上げられ
ている。そのチェック弁ブロック７には、チェック弁３
に対して入力路１１及び接続路１２が穿設され、更に上
下に貫通した出力路１５が穿設されている。また、バル
ブブロック８には、弁座４７の外側に入力路１３が、そ
して弁座４７の内側に出力路１４が穿設されている。そ
こで、パッキンを介し互いの流路を接続してブロック
６，７，８が重ねられ、チェック弁内蔵バルブ１に入力
ポート４から出力ポート５までをつなぐ一連の流路が形
成される。なお、ブロック６，７，８が請求項２に記載
するボディに相当する。

【００１５】こうしたチェック弁ブロック７には、入力
路１１と接続路１２とが連通する横穴２１が開設されて
おり、そこに構成部品が組み込まれてチェック弁３が形
成されている。円形の横穴２１には、奥から順にホルダ
２４、ダイアフラム弁体２３、そして弁座部材２２が重
ねて装填され、開口部にはパッキンがはめ込まれてカバ
ー２５によって気密に閉じられている。ホルダ２４及び
弁座部材２２は、ともに円柱形状の部品であって、円周
面に開口した径方向の貫通孔が中心で交差して十字に穿
設されている。そして、それぞれ一つの開口が、入力路
１１又は接続路１２に接続されている。

【００１６】ここで、図２は、弁座部材２２の平面図で
あり、図３は、ダイアフラム弁体２３の平面図である。
弁座部材２２は、その貫通孔３１，３２に連通する弁孔
３３が中心に明けられている。弁孔３３の周りには環状
に隆起した弁座３４が形成され、更に周縁には環状に隆
起した押え部３５が形成されている。その押え部３５
は、ダイアフラム弁体２３の周縁をホルダ２４と挟み込
むためのものであるが、弁座３４より低く形成されてい
るため、ダイアフラム弁体２３は、図１に示すように弁
座３４と当接する中心部分が盛り上がるように撓められ
て保持される。従って、ダイアフラム弁体２３は、自ら
の復元力により、弁座３４に対して押し付けられてい
る。そのダイアフラム弁体２３には、弁座３４と押え部
３５との間に位置するように４個の小孔３６，３６…が
穿設されている。なお、ホルダ２４は、弁座部材２２の
貫通孔３１，３２と同様に交差する貫通孔が形成され、
更に図１に示すように中心を貫いた貫通孔が弁孔３３と
同軸上に穿設され、ダイアフラム弁体２３の周縁を押さ
えるように端部にテーパが形成されている。

【００１７】次に、パージバルブ２は、開閉バルブであ
って、更に具体的にはダイアフラム弁である。パージバ
ルブ２は、バルブブロック８にバルブカバー９が螺合
し、更にバルブカバー９にシリンダ１０が螺合されてい
る。シリンダ１０内にはスプリング４１によって下方に
付勢されたピストン４２が摺動自在に装填され、そのピ
ストン４２に対して同軸に固定された弁ロッド４３がバ
ルブカバー９を貫いている。バルブブロック８とバルブ
カバー９との間には、摺動管４４と共にダイアフラム弁
体４５が挟持されている。摺動管４４は、その円筒内を
弁ロッド４３に連結された押圧ピース４６が軸方向に摺
動するようにしたものである。ダイアフラム弁体４５
は、メタルダイアフラムが使用され、図示するように押
圧ピース４６からの押圧力が作用しない場合には、上方
に撓んで弁座４７と離れるように構成されている。

【００１８】続いて、本実施の形態のチェック弁内蔵バ
ルブ１の作用について説明する。チェック弁内蔵バルブ
１は、前述したように半導体製造に使用されるプロセス
ガスのパージを行う際に使用される。通常チェック弁内
蔵バルブ１は、ピストン４２がスプリング４１に押し下
げられ、ダイアフラム弁体４５が、そのスプリング４１
の付勢力によって弁座４７に押し付けられて閉弁状態と
なっている。

【００１９】そこで、シリンダ１０のエアポート４８か
ら圧縮エアがシリンダ１０内に供給されると、その加圧
力によって押し上げられたピストン４２に従って弁ロッ
ド４３及び押圧ピース４６が上昇する。そのため、解放
されたダイアフラム弁体４５が上方に撓んで（図１に示
す状態）、弁座４７から離間する。これによってパージ
バルブ２が開弁し、入力ポート４から供給されたパージ
ガスは、チェック弁３を通り、パージバルブ２から出力
路１４，１５を通って出力ポート５へ、そしてガス供給
ラインへと送られてパージが行われる。パージ終了後
は、シリンダ１０への圧縮エアの供給が止められ、再び
スプリング４１の付勢力によってダイアフラム弁体４５
が弁座４７に押し付けられて閉弁状態となる。

【００２０】次に、こうしたパージバルブ２の開閉の際
に行われるチェック弁３の動作について説明する。ここ
で、図４及び図５は、チェック弁内蔵バルブ１のチェッ
ク弁３部分を示した断面図であり、特に図４が順流時の
状態を示し、図５に逆流時の状態を示している。先ず、
パージガスが入力ポート４から出力ポート５へと流れる
図４の場合には、入力路１１から弁座部材２２の貫通孔
３１へ入ったパージガスは、弁孔３３を通ってホルダ２
４へと流れる。このとき、弁座部材２２の弁座３４に押
し付けられていたダイアフラム弁体２３は、弁孔３３か
ら流れてくるパージガスの流体圧によって大きく撓めら
れて、図示するように弁座３４から離間する。そのた
め、弁孔３３からのパージガスは、ダイアフラム弁体２
３の小孔３６，３６…を通ってホルダ２４へと流れ、更
にホルダ２４から下流側流路へと流れる。

【００２１】一方、パージバルブ２が図１に示すように
開弁状態であって、プロセスガスが出力ポート５から入
力ポート４へと逆流するような図５に示す場合には、プ
ロセスガスが接続路１２からホルダ２４へと流れ込む。
そうした場合、ホルダ２４へ入ったプロセスガスは、そ
の流体圧力によってダイアフラム弁体２３を弁座３４へ
と強く押し付ける。ダイアフラム弁体２３は、もともと
自らの復元力によって弁座３４へ押し付けられているた
め、小孔３６，３６…から弁座部材２２側へ流れたプロ
セスガスが弁孔３３を通ることはない。従って、チェッ
ク弁３は、ダイアフラム弁体２３の復元力によって常に
閉弁状態を保ち、更にプロセスガス自身の流体圧力によ
ってより大きな力で弁座３４へ押し付けられて逆流を防
止している。

【００２２】ところで、本実施の形態のチェック弁内蔵
バルブ１は、これまでとは逆に図１に示すポート５から
ポート４への流れを順流として使用することが可能であ
る。この場合、出力側となったポート４からバルブ内へ
入る流体の流れが逆流となるので、チェック弁３は、入
力路１１から接続路１２へ向かう流れを止めるようにす
る。そのため、チェック弁内蔵バルブ１は、これまでと
は逆の流れを止めることができるようにチェック弁３の
組み替えが行われる。組み替えは、チェック弁ブロック
７から一旦カバー２５を外し、チェック弁３を形成する
弁座部材２２、ダイアフラム弁体２３、そしてホルダ２
４を取り出して並び替えを行う。

【００２３】ここで、図６は、組み替えを行ったチェッ
ク弁３Ｘを示した断面図である。チェック弁３Ｘは、チ
ェック弁ブロック７の横穴２１に、奥から弁座部材２
２、ダイアフラム弁体２３、そしてホルダ２４の順に逆
向きにして装填する。従って、こうして形成されたチェ
ック弁３Ｘでは、図示するように入力路１１から流入し
たガスがホルダ２４から弁座部材２２側へ流れようとし
ても、弁座３４に当接したダイアフラム弁体２２によっ
て、ガスが弁孔３３を通ることはない。一方、チェック
弁３Ｘに対して接続路１２から流れ込んだガスは、その
流体圧力によってダイアフラム弁体２３を弁座３４から
離間させるように撓ませ（図４参照）、小孔３６，３６
…を通って下流側へ流れる。

【００２４】よって、本実施の形態のチェック弁内蔵バ
ルブ１は、ダイアフラム弁体２３を利用したチェック弁
３（３Ｘ）を一体にして構成したので、従来のポペット
弁を使用したものに比べて高さ寸法を抑えて全体をコン
パクトにすることができた。特に、横穴２１内に構成部
品２２，２３，２４を装填し、チェック弁３（３Ｘ）を
横置きにすることで、高さを抑えている。また、このチ
ェック弁内蔵バルブ１は、チェック弁ブロック７に形成
した横穴２１に弁座部材２２、ダイアフラム弁体２３、
そしてホルダ２４を組み込んでチェック弁３（３Ｘ）を
形成するよにしたので、ポート４，５の入力／出力を逆
にした使用が可能となった。更にこのことは、ダイアフ
ラム弁体２３等の取り出しが容易なので、チェック弁３
（３Ｘ）の部品交換やメンテナンスに便利である。

【００２５】また、チェック弁３（３Ｘ）は、ダイアフ
ラム弁体２３の復元力によって閉弁を行わせているの
で、ポペット弁の場合に必要となる圧縮バネ等のように
弁体を付勢させるための部品がなく、パーティクル発生
の要因となるものを除いた構成となっている。そのた
め、このチェック弁内蔵バルブ１では、パーティクルの
発生が効果的に抑えられている。また、チェック弁３
（３Ｘ）は、ダイアフラム弁体２３自身の復元力ととも
に、逆流するガスの流体圧力によって更に強く閉弁する
ように構成されているので、逆流の防止効果が高まっ
た。更に、チェック弁３（３Ｘ）は、流体圧力によって
閉弁が行われるので、チャタリングが起きることはな
い。

【００２６】次に、本発明に係るチェック弁内蔵バルブ
の第２実施の形態について説明する。本実施の形態のチ
ェック弁内蔵バルブは、チェック弁以外の構成は図１で
示した前記第１実施の形態のものと同様であるため、同
様な構成については説明を省略する。また、同じ構成に
ついては同符号を付して説明する。図７は、チェック弁
内蔵バルブのチェック弁部分を示した断面図である。本
実施の形態のチェック弁５０は、前記実施の形態と同様
にチェック弁ブロック７の横穴２１内に形成されたもの
であり、弁座部材２２とホルダ２４が使用されている。
そして、その弁座部材２２とホルダ２４とに板バネ弁体
５１が挟持されている。ここで、図８は、その板バネ弁
体５１を示した平面図である。板バネ弁体５１は、環状
の固定部５２から３本の板バネ部５３，５３，５３が連
続し、中心で連結した板バネ部５３，５３，５３の上に
円盤状のシールゴム５５が貼り付けられたものである。

【００２７】こうした構成の板バネ弁体５１は、その固
定部５２を弁座部材２２とホルダ２４とで環状に挟み込
み、図７に示すようにシールゴム５５を弁座３４に当て
て弁孔３３を塞いだ状態で組み付けられる。このとき、
板バネ弁体５１は、板バネ部５３，５３，５３が撓めら
れているので、その復元力によってシールゴム５５が弁
座３４へ押し付けられて閉弁状態が保たれている。

【００２８】次に、チェック弁５０の動作について説明
する。先ず、ガスが入力ポート４から出力ポート５（図
１参照）へと流れる順流の場合には、入力路１１から弁
座部材２２へ入ったガスは、弁孔３３を通ってホルダ２
４へと流れる。このとき、板バネ弁体５１は、弁孔３３
から流れてくるガスの流体圧によって板バネ部５３，５
３，５３が大きく撓められ、シールゴム５５が弁座３４
から離間する。そのため、弁孔３３からのガスは、板バ
ネ部５３，５３，５３の間を通ってホルダ２４へと流
れ、更にホルダ２４から下流側の流路へと流れる。一
方、図７に示すようにガスが逆流する場合の板バネ弁体
５１は、シールゴム５５が板バネ部５３，５３，５３の
復元力によって弁座３４へ押し付けられているため、ガ
スの流体圧力が加わればさらに強く押し付けられて閉弁
される。そのため、ガスがチェック弁５０を通って上流
側流路へ流れることなく、逆流は防止される。

【００２９】よって、本実施の形態のチェック弁内蔵バ
ルブは、前記第１実施の形態のものと同様に、コンパク
ト化することができ、チェック弁５０の部品交換やメン
テナンスが便利になった。また、パーティクルの発生を
抑え、チャタリング防止の効果も奏する。また、板バネ
弁体５１は、流体の通り道となる板バネ部５３，５３，
５３間の空間が広く形成されているので、順流時の通過
流量が大きくなる。

【００３０】更に、チェック弁内蔵バルブのチェック弁
には、図９に示すようなリップパッキン６１を備えたも
のを使用することも考えられる。これは、傘のように開
いたリップパッキン６１をパッキンステイ６２と一体に
し、流路７０内に装填させたものである。通常、リップ
パッキン６１は、その先端がスリーブ６３に接触して流
路を塞ぐようになっている。そこで、流体が矢印方向に
流れる場合には、その流体圧力によってリップパッキン
６１が傘を閉じるように撓められ、その先端がスリーブ
６３から離れて流体の流れを可能とする。一方、流体が
逆方向に流れた場合には、その流体圧力によってリップ
パッキン６１が傘を開くように膨らみ、その先端部分が
スリーブ６３に強く押し付けられて流路を塞いで流体の
流れを止めるように作用する。

【００３１】なお、以上説明した実施の形態は、本発明
をなんら限定するものではなく、その趣旨を逸脱しない
範囲で様々な変更が可能である。例えば、前記実施の形
態では、弁座部材２２やホルダ２４は円柱形状の部品と
したが、角柱形状の部品としてもよい。また、例えば、
前記実施の形態では、チェック弁ブロック７に横穴２１
を形成し、弁座部材２２、ダイアフラム弁体２３及びホ
ルダ２４を横から入れるようにしたが、縦穴にして弁座
部材２２などのチェック弁部品を装填させるようにして
もよい。

【００３２】

【発明の効果】本発明は、開閉バルブと一体にしたチェ
ック弁が、弾性材からなる円盤状の弁体に、弁座に当接
する当接部分と周縁の固定部分との間に流体の通り道を
形成したものであって、流路を遮断するように固定部分
を挟み込んで当該弁体を固定し、当接部分が弁体自身の
復元力によって流路の下流側から弁座に対して当接する
ように撓ませて取り付るようにしたので、チェック弁内
蔵バルブをコンパクトにすることができ、また、またチ
ャタリングやパーティクルの発生を防止することができ
た。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るチェック弁内蔵バルブの第１実施
の形態を示した断面図である。

【図２】チェック弁を構成する弁座部材２２の平面図で
ある。

【図３】チェック弁を構成するダイアフラム弁体２３の
平面図である。

【図４】チェック弁内蔵バルブ１のチェック弁３部分を
示した順流時の断面図である。

【図５】チェック弁内蔵バルブ１のチェック弁３部分を
示した逆流時の断面図である。

【図６】チェック弁内蔵バルブ１のチェック弁３Ｘ（組
み替え）部分を示した逆流時の断面図である。

【図７】第２実施の形態に係るチェック弁内蔵バルブの
チェック弁部分を示した断面図である。

【図８】板バネ弁体４１を示した平面図である。

【図９】リップパッキンによるチェック弁内蔵バルブの
チェック弁部分を示した断面図である。

【符号の説明】

１ チェック弁内蔵バルブ ２ パージバルブ ３ チェック弁 ７ チェック弁ブロック ２１ 横穴 ２２ 弁座部材 ２３ ダイアフラム弁体 ２４ ホルダ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 入力ポートから出力ポートへ流れる流体
   を制御する開閉バルブと、前記入力ポートと出力ポート
   とを連通する流路上に設けられたチェック弁とを有する
   チェック弁内蔵バルブにおいて、 前記チェック弁は、弾性材で形成された円盤状の弁体
   が、弁座に当接する当接部分と周縁の固定部分との間に
   流体の通り道を有するものであって、流路を遮るように
   前記固定部分が挟み込んで固定され、前記当接部分が弁
   体自身の復元力によって流路の下流側から弁座に対して
   当接するように撓ませて取り付けられたものであること
   を特徴とするチェック弁内蔵バルブ。
2. 【請求項２】 入力ポートから出力ポートへ流れる流体
   を制御する開閉バルブと、前記入力ポートと出力ポート
   とを連通する流路上にあって、ボディ内に埋設されたチ
   ェック弁とを有するチェック弁内蔵バルブにおいて、 前記チェック弁は、弾性材で形成された円盤状のもので
   あって弁座に当接する当接部分と周縁の固定部分との間
   に流体の通り道が形成された弁体と、入力側流路に連通
   する連通孔が穿設されて当該連通孔の周りに弁座が形成
   された弁座部材と、出力側流路に連通する連通孔が穿設
   されて前記弁体の固定部分を前記弁座部材との間で挟み
   込むための保持部材とを有し、 前記ボディ内を通る流路の途中に形成された装填用の穴
   に、弁座部材を上流側にして当該弁座部材と保持部材と
   で弁体の固定部分を挟み込んだ状態で装填することによ
   って、連続する弁座部材と保持部材との連通孔を遮断す
   るように保持された弁体が、撓められて、弁体自身の復
   元力により下流側から当接部分を弁座に当接させたもの
   であることを特徴とするチェック弁内蔵バルブ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のチェック弁内蔵バルブ
   において、 前記装填用の穴は、上下に流路が形成された前記ボディ
   の側面に開設された横穴であって、その開口部を蓋部材
   によって気密に塞ぐようにしたものであることを特徴と
   するチェック弁内蔵バルブ。
4. 【請求項４】 請求項２又は請求項３に記載のチェック
   弁内蔵バルブにおいて、 前記装填用の穴に前記弁座部材と保持部材とで弁体を挟
   み込んだ状態で装填する場合、弁座部材と保持部材との
   位置が逆転しても、弁座部材及び保持部材の連通孔がい
   ずれも入力側及び出力側の流路に連通することを特徴と
   するチェック弁内蔵バルブ。
5. 【請求項５】 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
   のチェック弁内蔵バルブにおいて、 前記弁体は、ゴム材からなる一枚の円盤に前記流体の通
   り道となる小孔が複数穿設されたものであることを特徴
   とするチェック弁内蔵バルブ。
6. 【請求項６】 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
   のチェック弁内蔵バルブにおいて、 前記弁体は、環状の固定部から連続する複数の板バネ部
   が中心部で連結された板バネ部材に、円盤状のシールゴ
   ムが貼り付けられたものであることを特徴とするチェッ
   ク弁内蔵バルブ。