KR20010080717A - 기판낙하방지기구 및 이를 구비한 기판검사장치 - Google Patents

기판낙하방지기구 및 이를 구비한 기판검사장치 Download PDF

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Abstract

웨이퍼 (W) 의 표면 및 이면의 육안검사를 행하는 기판검사장치는, 패드설치부 (21b) 에서 웨이퍼 (W) 를 흡착하여 유지하는 아암 (21) 을 구비한다. 아암 (21) 은, 아암 구동기구 (22) 에 의해, 기판반입위치와 기판검사위치 사이에서 이동한다. 아암 (21) 은 일부가 노칭된 둥근 띠형상의 평판이며, 패드설치부 (21b) 는 아암 (21) 의 표면에 소정 간격으로 설치된다. 갈고리부재 (24) 는, 웨이퍼 (W) 가 아암 (21) 으로부터 낙하하는 것을 방지하도록 아암 (21) 위에 소정 간격으로 설치된다. 아암 (21) 이 기판검사위치로 이동하면, 갈고리부재 (24) 는 기판낙하위치로 이동한다. 패드설치부 (21b) 의 진공흡착이 떨어지면, 웨이퍼 (W) 가 낙하하려고 하는데, 갈고리부재 (24) 에 맞닿아 낙하가 방지된다.

Description

기판낙하방지기구 및 이를 구비한 기판검사장치{SUBSTRATE FALLING-PREVENTIVE MECHANISM AND SUBSTRATE TESTER HAVING THE SAME}
종래부터, 반도체 웨이퍼의 표면 및 이면을 육안 등으로 거시(macro) 관찰하기 위해 웨이퍼 검사장치가 사용되고 있다. 이 종류의 검사장치에서는, 웨이퍼의 이면을 진공흡착하여 유지함과 동시에 이면이 위가 되도록 뒤집어 육안으로 검사하고 있다. 그러므로, 이 검사장치에서는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 아암(arm) (1) 에 진공흡착하기 위한 패드 (2) 가 복수 설치되고, 도시하지 않은 전자밸브제어에 의해 웨이퍼 (W) 를 흡착하거나 떼어낸다.
아암 (1) 의 일단에는 축지부 (3) 가 설치되고, 도 7 및 도 8 에 나타내는 바와 같이, 축지부 (3) 의 양측면에는 축 (4) 이 수평상태로 고정되어 있다. 축 (4) 의 양단은, 기판검사장치의 지지부재 (5, 6) 를 관통하고, 축 (4) 을 중심으로 아암 (21) 이 회전가능하게 되어 있다. 도 7, 도 8, 도 9a 및 도 9b 에 나타내는 바와 같이, 축 (4) 의 일측에는 풀리 (7) 가 고정되어 있다. 베이스판 (11) 에 고정된 모터 (10) 의 회전축 (10a) 에도 풀리 (9) 가 고정되어 있다.풀리 (7) 와 풀리 (9) 에 벨트 (8) 가 감겨 있다. 모터 (10) 로 풀리 (9) 를 회전시키면, 아암 (1) 이 회전하여, 도 9b 에 나타내는 바와 같이, 임의의 각도에서 정지시켜 웨이퍼 (W) 의 이면을 검사할 수 있다. 이러한 검사장치는, 일반적으로 반송장치와 조합하여 사용된다.
그러나, 종래의 검사장치에서는, 다음과 같은 문제가 있다. 웨이퍼를 경사시킬 때, 즉 수평상태에서 검사각도까지의 동작 중, 검사각도에서의 검사 중, 또는 검사각도에서 수평상태까지의 동작 중에 진공흡착의 불량이 발생하면, 웨이퍼가 낙하하여 파손될 우려가 있다. 여기서, 진공흡착의 불량은, 예컨대 진공이 유지되지 않는, 오동작 등에 의해 발생한다.
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 이면(裏面)검사에 사용하는 기판검사장치에 부설되는 기판낙하방지기구 및 기판검사장치에 관한 것이다.
도 1 은, 본 발명에 관한 기판낙하방지기구를 구비한 기판검사장치의 일실시형태의 아암이 기판반입위치에 있을 때의 평면도이다.
도 2 는, 도 1 의 기판검사장치의 측면도이다.
도 3 은, 도 1 및 도 2 에 나타낸 갈고리부재가 기판반입위치에 있을 때의 요부확대 단면도이다.
도 4 는, 도 1 의 아암이 경사진 상태를 나타내는 평면도이다.
도 5 는, 도 4 의 기판검사장치의 측면도이다.
도 6 은, 도 4 및 도 5 에 나타낸 갈고리부재가 기판검사위치로 이동한 상태를 나타내는 요부확대 단면도이다.
도 7 은, 종래의 기판검사장치의 평면도이다.
도 8 은, 도 7 의 기판검사장치의 배면도이다.
도 9a 는, 도 7 및 도 8 의 기판검사장치에 있어서, 아암이 기판반입위치에있을 때의 측면도이다.
도 9b 는, 도 7 및 도 8 의 기판검사장치에 있어서, 아암이 기판검사위치에 있을 때의 측면도이다.
본 발명은, 진공흡착불량이 발생해도 기판을 낙하시키지 않도록 한 기판낙하방지기구 및 이를 구비한 기판검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 기판의 제 1 면을 흡착하여 유지하는 유지부와, 유지부를 경사운동시키는 경사운동기구를 구비한 기판유지장치에 부설되는 기판낙하방지기구에 적용된다.
상기 목적은, 유지부로부터 해제된 기판을 지지하는 지지자세와, 이 지지자세와는 상이한 퇴피(退避)자세 사이에서 이동하는 낙하방지부재와, 제 1 면을 아래로, 제 2 면을 위로 하여 기판을 대략 수평자세로 했을 때, 낙하방지부재를 상기 퇴피자세로 해 둠과 동시에, 경사운동기구에 의해 기판을 수평에 대해 소정 각도 이상 경사시켰을 때, 낙하방지부재를 지지자세로 하는 이동기구를 구비함으로써 달성된다.
이 낙하방지부재는, 기판의 주면과 대치하는 제 1 낙하방지면과, 기판의 제 2 면과 대치하는 제 2 낙하방지면을 가지며, 제 1 및 제 2 낙하방지면은, 낙하방지부재가 지지자세로 이동하고 있을 때, 기판의 주면 및 제 2 면과 각각 대치하도록 형성하는 것이 바람직하다. 이 제 2 낙하방지면은, 기판의 제 2 면과 소정의 간격을 두고 대치하는 것이 바람직하다.
이동기구는, 경사운동기구에 의한 유지부의 운동에 연동하여 낙하방지부재를 퇴피자세와 지지자세 사이에서 이동시킬 수 있다. 이 경우, 낙하방지부재는 스프링력에 의해 항상 지지자세측에 탄성지지되고, 유지부가 수평상태로 회전할 때 스프링의 탄성지지력에 저항하여 낙하방지부재를 퇴피자세로 이동시키는 연동부재를 구비할 수 있다. 또, 경사상태의 유지부가 수평상태로 이동할 때, 연동부재는 스프링력에 저항하여 낙하방지부재를 퇴피자세로 이동시키고, 수평상태의 유지부가 경사상태로 이동할 때, 스프링력에 의해 낙하방지부재는 지지자세로 이동하도록 구성된다.
낙하방지부재는 유지부에 소정 간격으로 복수 설치되는 낙하방지구로 구성하는 것이 바람직하다. 복수의 낙하방지구는, 퇴피자세로 이동하고 있을 때, 기판이 유지부에 반입되는 것을 방해하지 않도록 배치됨과 동시에, 자세가 된다.
보다 구체적으로는, 기판이 웨이퍼인 경우, 유지부는 일부가 노칭된, 웨이퍼의 외형에 맞는 둥근 띠형상의 평판으로 이루어지고, 흡착부는 둥근 띠형상 평판의 한쪽 면에 소정 간격으로 설치되고, 낙하방지구는 기판이 둥근 띠형상 평판의 한쪽면상으로부터 낙하하는 것을 방지하도록 둥근 띠형상 평판에 소정 간격으로 설치된다.
본 발명에 의한, 기판의 표면 및 이면의 육안검사를 행하는 기판검사장치는, 흡착부에서 기판을 흡착하여 유지하는 유지부와, 기판의 수평상태와 경사상태 사이에서 유지부를 경사운동시키는 경사운동기구와, 제 1 내지 7 항 중 어느 하나에 기재된 기판낙하방지기구를 갖는 기판유지장치를 구비함으로써, 상기 목적을 달성한다.
이하, 본 발명에 관한 기판낙하방지기구가 부설되는 기판검사장치의 일실시형태를, 도 1 ∼ 도 6 을 참조하면서 설명한다. 도 7 ∼ 도 9a, 9b 와 동일한 곳에는 동일한 부호를 부여한다.
본 실시형태에서의 기판검사장치는, 실리콘 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼 (W) 의 표면 (S) 및 이면 (R) 의 육안검사를 행하는 것이다. 도 1 ∼ 도 6 에 나타내는 바와 같이, 기판검사장치는, 웨이퍼 (W) 의 이면 (R) 을 진공흡착하여 웨이퍼를 유지하는 아암 (유지부) (21) 과, 아암 (21) 을 축 (4) 에 대해 회전시켜 웨이퍼 (W) 를 경사시키거나 뒤집는 아암 구동기구 (경사운동기구) (22) 와, 아암 (21) 에 진공흡착된 웨이퍼 (W) 를 아암 (21) 에 의해 경사시키거나 뒤집었을 때 웨이퍼 (W) 의 낙하를 방지하는 웨이퍼 낙하방지기구 (기판낙하방지기구) (23) 를 구비하고 있다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 아암 (21) 은 일부가 노칭된 둥근 띠형상으로 형성된 기부(基部) (21d) 와, 이 기부 (21d) 로부터 둘레방향을 따라 소정 간격으로 반경방향 내측으로 돌출된 4 개의 패드설치부 (21b) 와, 기부 (21d) 의 일단측에 설치된 축지부 (21e) 를 구비하고 있다. 패드설치부 (21b) 의 선단에는 진공흡착용 흡착구멍 (21a) 이 형성되고, 그 주위에 패드 (2) 가 설치되어 있다.흡착구멍 (21a) 에는 도시하지 않은 진공흡착장치가 연통되고, 도시하지 않은 전자밸브에 의해 진공흡착과 진공흡착해제가 전환된다.
아암 구동기구 (22) 는, 상술한 종래기술과 마찬가지로, 기판검사장치의 베이스판 (11) 에 설치되어 있는 지지부재 (5, 6) (지지부재 (5) 는 도 7 참조) 에 설치되어 있다. 아암 (21) 의 축지부 (21e) 에 고정된 축 (4) 의 양단이 지지부재 (5, 6) 를 관통하고, 아암 (21) 은 축 (4) 을 중심으로 회전가능하게 되어 있다. 축 (4) 의 일단측에는 풀리 (7) 가 장착되고, 베이스판 (11) 에 고정된 모터 (10) 의 회전축에는 풀리 (9) 가 장착되어 있다. 이들 풀리 (7, 9) 에는 벨트 (8) 가 감겨 있다. 모터 (10) 를 회전시키면, 풀리 (7, 9) 가 회전하여 축 (4) 이 회전하고 이에 의하여 아암 (21) 이 회전한다.
웨이퍼 낙하방지기구 (23) 는, 4 개의 갈고리부재 (24) 와 갈고리부재 이동기구 (25) 를 구비하고 있다. 갈고리부재 이동기구 (25) 는 갈고리부재 (24) 를 기판반입위치 (퇴피자세) 와 낙하방지위치 (지지자세) 사이에서 이동시킨다. 도 1 ∼ 도 3 에는 기판반입위치로 이동한 갈고리부재 (24) 가 나타나 있다. 이 때, 도시하지 않은 반송장치로 반송되어 오는 웨이퍼 (W) 가 갈고리부재 (24) 의 방해를 받지 않고 아암 (21) 위에 놓여진다. 도 4 ∼ 도 6 은 낙하방지위치로 이동한 갈고리부재 (24) 가 나타나 있다. 4 개의 갈고리부재 (24) 는, 웨이퍼 (W) 가 진공흡착의 불량에 의해 아암 (21) 으로부터 해제되었을 때 웨이퍼 (W) 를 지지하여, 그 낙하를 방지하는 기능을 갖는다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 갈고리부재 (24) 에는, 선단 계지부(先端 係止部) (24a) 와 단부 계지부(段部 係止部) (24b) 가 설치되어 있다. 선단 계지부 (24a) 는, 아암 (21) 의 반경방향 내측을 향해 연장되어, 웨이퍼 (W) 가 해제되었을 때 그 표면 (S) 을 계지하여 지지한다. 단부 계지부 (24b) 는, 선단 계지부 (24a) 보다 아암 (21) 의 반경방향 외측에 형성되어, 웨이퍼 (W) 가 해제되었을 때 그 주연부(周緣部)를 계지하여 지지한다.
갈고리부재 (24) 는 핀 (24c) 에 의해 아암 (21) 에서 회전운동 가능하게 지지되어 있다. 핀 (24c) 에는 비틀림 스프링 (26) 이 장착되어 있고, 비틀림 스프링 (26) 의 일단측이 아암 (21) 에 맞닿고, 타단측이 갈고리부재 (24) 에 형성된 돌기부 (24d) 에 맞닿아 있다. 비틀림 스프링 (26) 에 의해, 갈고리부재 (24) 에는, 항상 아암 (21) 에 대해 평행하고자 하는 탄성지지력, 즉 낙하방지위치가 되려 하는 탄성지지력이 가해지고 있다.
갈고리부재 (24) 에는 또, 핀 (24c) 의 위치로부터 돌출시킨 구동용 돌출부 (24e) 가 형성되어 있다. 지지부재 (5, 6) 에는, 기판반입위치 (수평상태) 로 되어 있는 아암 (21) 의 하면을 따라 설치된 둥근 띠형상의 고정부재 (27) 가 고정되어 있다. 고정부재 (27) 에는, 그 상면에 갈고리부재 (24) 와 대응하는 위치에 압착핀 (27a) 이 설치되어 있다. 아암 (21) 이 수평상태일 때, 압착핀 (27a) 은 갈고리부재 (24) 의 구동용 돌출부 (24e) 를 상방으로 압착한다.
즉, 아암 (21) 이 기판반입위치일 때, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 구동용 돌출부 (24e) 가 압착핀 (27a) 에 맞닿아 갈고리부재 (24) 가 회전운동하고, 선단 계지부 (24a) 가 표면 (S) 으로부터 퇴피된다. 아암 (21) 의 경사상태 (예컨대기판검사위치) 에서는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 구동용 돌출부 (24e) 가 압착핀 (27a) 으로부터 이간되므로, 비틀림 스프링 (26) 에 의해 갈고리부재 (24) 가 도 3 에서 시계회전방향으로 회전운동한다. 이 때, 선단 계지부 (24a) 가 웨이퍼 (W) 의 표면 (S) 과 거의 병행하게 대치한다. 구동용 돌출부 (24e), 압착핀 (27a) 및 비틀림 스프링 (26) 은 갈고리부재 이동기구 (25) 를 구성하고 있다.
다음, 본 실시형태에서의 기판검사장치의 동작에 대해 설명한다.
도 1 ∼ 도 3 에 나타내는 바와 같이, 기판반입위치의 아암 (21) 은 수평상태에 있다. 이 때, 구동용 돌출부 (24e) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이 압착핀 (27a) 에 맞닿아 압착되고, 갈고리부재 (24) 가 도 3 에서 반시계회전방향으로 회전운동하고, 선단 계지부 (24a) 가 표면 (S) 으로부터 퇴피되어 있다. 이 상태에서, 도시하지 않은 반송장치에 의해 검사장치까지 이송된 웨이퍼 (W) 는, 갈고리부 아암 (24) 에 방해되지 않고, 수평상태의 아암 (21) 위에 놓여지고, 패드설치부 (21b) 의 흡착구멍 (21a) 에 의해 진공흡착된다. 기판반입위치에서는 갈고리부재 (24) 가 웨이퍼 (W) 로부터 퇴피하고 있기 때문에, 즉 열려 있기 때문에, 웨이퍼 (W) 의 표면 (S) 의 육안검사를 행하는 경우, 갈고리부재 (24) 가 방해가 되지는 않는다.
다음, 이 기판반입위치에서 모터 (10) 를 회전시키면, 풀리 (9), 벨트 (8), 풀리 (7) 를 통하여 아암 (21) 이 축 (4) 을 중심으로 회전하기 시작한다. 이 때, 도 4 ∼ 도 6 에 나타내는 바와 같이, 갈고리부재 (24) 가 압착핀 (27a) 으로부터 서서히 이간되어 가기 때문에, 비틀림 스프링 (26) 에 의해 갈고리부재 (24)가 낙하방지위치를 향해 회전운동한다. 최종적으로 낙하방지위치까지 이동하면, 구동용 돌출부 (24e) 는 압착핀 (27a) 으로부터 완전히 이간된 상태가 된다. 그 결과, 선단 계지부 (24a) 가 웨이퍼 (W) 의 표면 (S) 과 소정의 간격을 두고 대치한다. 또, 단부 계지부 (24b) 가 웨이퍼 (W) 의 주연과 소정의 간격을 두고 대치한다.
압착핀 (27a) 이 갈고리부재 (24) 와 이간된 후에는, 도 9b 에 나타내는 바와 같이 웨이퍼 이면 검사각도까지 아암 (21) 을 회전시켜도, 아암 (21) 과 갈고리부재 (24) 의 위치는 도 6 의 상태 그대로이다. 이 상태에서, 진공흡착불량이 발생한 경우, 다음과 같이 하여 웨이퍼 (W) 의 낙하가 방지된다. 패드 (2) 로부터 해제된 웨이퍼 (W) 가 중력에 의해 아암 (21) 과는 반대측으로 쓰러지더라도, 웨이퍼 (W) 는 표면 (S) 에 대향하여 배치된 갈고리부재 (24) 의 선단 계지부 (24a) 에 계지된다. 웨이퍼 (W) 가 아암 (21) 을 따라 미끄러져 낙하했다 하더라도, 웨이퍼 (W) 의 주연에 대향하여 설치된 갈고리부재 (24) 의 단부 계지부 (24b) 에 계지된다.
도 9b 의 이면검사위치에서 이면 (R) 의 육안검사를 행한 후, 모터 (10) 를 역으로 회전시켜 아암 (21) 을 수평상태의 기판반입위치로 되돌린다. 갈고리부재 (24) 는, 아암 (21) 이 수평상태에 가까와질 때까지, 도 4 ∼ 도 6 의 상태 그대로이다. 아암 (21) 이 수평상태에 가까와질 때, 갈고리부재 (24) 가 압착핀 (27a) 에 맞닿기 시작하면, 비틀림 스프링 (26) 의 탄성지지력에 저항하여 갈고리부재 (24) 는 도 6 에서, 반시계회전방향으로 회전운동한다. 아암 (21) 이 도1 에 나타내는 수평상태가 되면, 도 3 에 나타내는 바와 같이 갈고리부재 (24) 는 웨이퍼 (W) 의 표면 (S) 으로부터 퇴피되어, 튕겨올라간 상태가 된다.
또, 도 5 에 나타내는 바와 같이 아암 (21) 이 경사져 있을 때, 흡착불량이 발생한 경우에는, 웨이퍼 (W) 가 아암 (21) 을 따라 좌측으로 미끄러져 떨어지려 하지만, 웨이퍼 (W) 의 단면은 단부 계지부 (24b) 에 계지되어, 웨이퍼 (W) 의 낙하가 방지된다.
이와 같이 본 실시형태에서는, 웨이퍼 (W) 가 경사상태에 있을 때, 진공이 유지되지 않아 흡착불량이 발생하여 웨이퍼 (W) 가 패드 (2) 로부터 해제되어도, 갈고리부재 (24) 가 웨이퍼 (W) 를 계지하여 그 낙하를 확실하게 방지할 수 있다. 즉, 이면(裏面) 거시 검사공정에서, 진공이 유지되지 않거나, 오동작에 의해 진공흡착이 해제되었다 하더라도, 웨이퍼 (W) 의 낙하에 의한 파손을 방지할 수 있다.
갈고리부재 (24) 는, 아암 (21) 의 경사운동동작에 연동하여 낙하방지위치와 기판반입위치 사이에서 이동하므로, 별개로 액츄에이터 등의 구동장치를 사용할 필요가 없다. 그 결과, 비용의 증대화 및 장치의 복잡화를 억제할 수 있다.
갈고리부재 (24) 가 낙하방지위치에 있을 때, 갈고리부재 (24) 의 선단 계지부 (24a) 가 웨이퍼 (W) 의 표면으로부터 소정 거리 이간되어 있기 때문에, 갈고리부재 (24) 가 웨이퍼 (W) 의 표면에 접촉하여 상처나 접촉흔적을 남길 우려가 없어, 웨이퍼 (W) 의 표면의 상태를 양호하게 유지할 수 있다.
아암 (21) 이 기판반입위치에 있을 때에는, 갈고리부재 (24) 도 도 3 에 나타내는 바와 같이 그 선단이 열린 기판반입위치가 된다. 이 실시형태에서는,도시하지 않은 반송장치를 사용하고, 도 1 및 도 2 의 좌우로부터 화살표와 같이 웨이퍼 (W) 를 반입하여 아암 (21) 위에 놓는다. 따라서, 아암 (21) 위에서의 갈고리부재 (24) 의 배치, 발산각도는, 웨이퍼 (W) 의 반입을 방해하지 않도록 결정된다. 또, 갈고리부재 (24) 가 기판반입위치에서 열려 있을 때에는, 갈고리부재 (24) 가 웨이퍼 (W) 의 표면으로부터 퇴피되므로, 육안검사의 방해가 되지 않는다.
본 발명은, 다음과 같은 실시형태도 포함하는 것이다.
(1) 상기 실시형태에서는, 진공흡착 불량에 의해 해제된 웨이퍼 (W) 를 4 개의 갈고리부재 (24) 로 계지하여 낙하를 방지하고 있는데, 갈고리부재는 3 개 이상인 것이 바람직하다. 또, 갈고리부재 (24) 의 형상은 실시예에 한정되지 않는다.
(2) 웨이퍼 (W) 가 해제되었을 때에, 웨이퍼 (W) 의 표면 (S) 을 계지하는 선단 계지부 (24a) 와 주연을 계지하는 단부 계지부 (24b) 를 갈고리부재 (24) 에 일체로 형성했지만, 이들을 각각 별도의 부재에 형성하여 설치 및 이동해도 된다.
(3) 웨이퍼 (W) 의 주연(周緣) 근방을 패드설치부 (21b) 에서 흡착함으로써 웨이퍼 (W) 를 유지하고 있지만, 웨이퍼 (W) 의 중앙부분을 진공흡착하여 유지하는 기구를 채택해도 관계없다.
(4) 진공흡착에 의해 웨이퍼 (W) 를 흡착했지만, 자기에 의한 흡착이라도 된다.
(5) 웨이퍼 (W) 의 검사장치로서 설명했지만, 액정소자용 직사각형 유리기판의 검사장치의 경우에는, 아암 (21) 의 형상은 직사각형 또는 일부가 노칭된 직사각형이 된다. 이와 같이, 기판을 유지하는 유지부의 형상은 기판형상에 의존한다.
또한, 본 실시형태의 기판검사장치를 노광장치에 장착해도 관계없다. 이 노광장치로는, 반도체 제조용 노광장치, 각형(角形)의 유리기판에 액정표시소자 패턴을 노광하는 액정용의 노광장치 또는 박막자기헤드를 제조하기 위한 노광장치를 들 수 있다. 육안검사대상 및 노광대상의 기판으로는, 반도체 웨이퍼나 유리기판 등이 적용된다. 또, 기판검사장치는, 노광장치에서의 웨이퍼 반송계에 접속되고, 노광전 또는 노광후에 기판을 기판검사장치에 반송하여 육안검사가 행해진다.
본 발명은, 진공흡착불량이 발생해도 기판을 낙하시키지 않도록 한 기판낙하방지기구 및 이를 구비한 기판검사장치를 제공한다. 본 발명에 따른 기판낙하방지기구 및 이를 구비한 기판검사장치는, 유지부로부터 해제된 기판을 지지하는 지지자세와 이 지지자세와는 상이한 퇴피(退避)자세 사이에서 이동하는 낙하방지부재와, 제 1 면을 아래로, 제 2 면을 위로 하여 기판을 대략 수평자세로 했을 때, 낙하방지부재를 상기 퇴피자세로 해 둠과 동시에, 경사운동기구에 의해 기판을 수평에 대해 소정 각도 이상 경사시켰을 때, 낙하방지부재를 지지자세로 하는 이동기구를 구비함으로써, 기판의 육안 검사 등의 경우에 기판 낙하로 인한 손상을 방지한다.

Claims (8)

  1. 기판의 제 1 면을 흡착하여 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 경사운동시키는 경사운동기구를 구비한 기판유지장치에 부설되는 기판 낙하방지기구로서,
    상기 유지부로부터 해제된 상기 기판을 지지하는 지지자세와, 이 지지자세와는 상이한 퇴피자세 사이에서 이동하는 낙하방지부재와,
    상기 제 1 면을 아래로, 제 2 면을 위로 하여 상기 기판을 대략 수평자세로 했을 때, 상기 낙하방지부재를 상기 퇴피자세로 해 둠과 동시에, 상기 경사운동기구에 의해 상기 기판을 수평에 대해 소정 각도 이상 경사시켰을 때, 상기 낙하방지부재를 상기 지지자세로 하는 이동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 낙하방지기구.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 낙하방지부재는,
    상기 기판의 주면과 대치하는 제 1 낙하방지면과,
    상기 기판의 상기 제 2 면과 대치하는 제 2 낙하방지면을 가지며,
    상기 제 1 및 제 2 낙하방지면은, 상기 낙하방지부재가 상기 지지자세로 이동하고 있을 때, 상기 기판의 상기 주면 및 상기 제 2 면과 각각 대치하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 낙하방지기구.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 낙하방지부재가 상기 지지자세로 이동했을 때, 상기 제 2 낙하방지면은, 상기 기판의 상기 제 2 면과 소정의 간격을 두고 대치하는 것을 특징으로 하는 기판 낙하방지기구.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동기구는, 상기 경사운동기구에 의한 상기 유지부의 운동에 연동하여 상기 낙하방지부재를 상기 퇴피자세와 상기 지지자세 사이에서 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 낙하방지기구.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 이동기구는, 상기 낙하방지부재를 항상 지지자세로 탄성지지하는 스프링과,
    상기 유지부가 수평상태로 회전할 때 상기 스프링의 탄성지지력에 저항하여 상기 낙하방지부재를 상기 퇴피자세로 이동시키는 연동부재를 구비하고,
    경사상태의 상기 유지부가 수평상태로 이동할 때, 상기 연동부재는 상기 스프링력에 저항하여 상기 낙하방지부재를 상기 퇴피자세로 이동시키고,
    수평상태의 상기 유지부가 경사상태로 이동할 때, 상기 스프링력에 의해 상기 낙하방지부재는 상기 지지자세로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 낙하방지기구.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 낙하방지부재는 상기 유지부에 소정 간격으로 복수 설치되는 낙하방지구로 이루어지고, 상기 복수의 낙하방지구의 각각은, 상기 퇴피자세로 이동하고 있을 때, 상기 기판이 상기 유지부에 반입되는 것을 방해하지 않도록 배치됨과 동시에, 자세가 되는 것을 특징으로 하는 기판 낙하방지기구.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 기판이 웨이퍼인 경우, 상기 유지부는 일부가 노칭된, 웨이퍼의 외형에 맞는 둥근 띠형상의 평판이 되고,
    상기 흡착부는 상기 둥근 띠형상 평판의 한쪽 면에 소정 간격으로 배치되고,
    상기 낙하방지구는, 상기 기판이 상기 둥근 띠형상 평판의 한쪽 면상으로부터 낙하하는 것을 방지하도록 상기 둥근 띠형상 평판에 소정 간격으로 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 낙하방지기구.
  8. 기판의 표면 및 이면의 육안검사를 행하는 기판검사장치로서,
    흡착부에서 기판을 흡착하여 유지하는 유지부와,
    기판을 수평상태와 경사상태 사이에서 상기 유지부를 경사운동시키는 경사운동기구와,
    제 1 내지 7 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 낙하방지기구를 갖는 기판유지장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
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