KR20000062701A

KR20000062701A - 노광 방법 및 그 장치

Info

Publication number: KR20000062701A
Application number: KR1020000010321A
Authority: KR
Inventors: 류지 마에다; 미쓰구 우에무라
Original assignee: 아끼구사 나오유끼; 후지쯔 가부시끼가이샤
Priority date: 1999-03-15
Filing date: 2000-03-02
Publication date: 2000-10-25
Also published as: JP2000267295A; TW455924B; US6388737B1

Abstract

본 발명은 필드의 이음 부분의 치수차 및 단차의 발생을 방지하고, 또한 노광 시간이 길어지는 일이 없는 노광 방법 및 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

처음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 종료 위치와, 피노광 기판을 이동시켜 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치를 중첩하여 이음 부분을 노광할 때에, 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광을 불연속적으로 행하고, 또한 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광을 불연속으로 하는 불연속 노광 수단(15a)을 가진다. 이 때문에, 이음 부분에서는 처음의 스캔의 노광과 다음의 스캔의 노광이 평균화되고, 이음 부분에서 치수차 및 단차가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

Description

노광 방법 및 그 장치{EXPOSING METHOD AND DEVICE THEREOF}

본 발명은 노광 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 제조의 포토 공정에서 사용되는 레티클이나 플랫 패널 디스플레이의 패널 등의 패터닝을 하는 노광 방법 및 그 장치에 관한 것이다.

레이저빔 등을 이용한 노광 장치에서는 1회의 스캔으로 빔 조사하는 영역에는 제한이 있다. 그 1회의 스캔으로 노광할 수 있는 에리어를 필드라고 하지만, 그 필드를 연속시켜 패턴을 형성하여 가야만 한다. 하물며 고정밀도화가 진행되고 있는 현재에서는 그 필드의 이음 부분의 치수 에러의 감소, 이음 정밀도의 향상이나 대형 기판화에 대한 노광 영역의 확대에 대응할 필요가 있다.

예를 들면 플라즈마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이의 패널의 패터닝을 하는 종래의 레이저 노광 장치에서는 레이저광을 빔스플리터 노광으로 복수의 광속으로 분할하고, 각각의 레이저빔을 광변조기에서 노광 데이터에 따라서 ON/OFF 제어한다. ON/OFF 제어된 레이저빔은 회전하는 폴리곤에 조사되고, 여기서 반사된 레이저빔은 콘덴서 렌즈 등을 통해서 피노광 기판 상에 조사되며, 폴리곤의 회전에 따라서 피노광 기판 상을 스캔한다.

이 경우 도1에 나타내는 바와 같이, 피노광 기판이 42인치의 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)에서는 직경 600mm의 콘덴서 렌즈를 이용하여, 1회의 스캔으로 세로라인(Y방향)을 묘사할 수 있다. 이와 같은 레이저 노광 장치는 예를 들면 일본 특개평7-35994호 공보에 기재되어 있다.

또 레티클 제조용의 레이저 노광 장치에서는 일본 특개소62-26819호 공보에 기재 같이, 기판상의 피노광 부분(패턴 형성 부분) 전체를 2회, 4회 혹은 8회로 다중 노광함으로써, 치수 정밀도를 향상시키고 있다.

플라즈마 디스플레이 패널의 경우는 대화면화가 진행되고, 피노광 기판의 크기가 42인치로부터 55인치, 60인치로 대형화하고 있다. 이와 같은 대기판을 종래의 수법으로 이음 부분이 발생하지 않도록 1회로 노광하면, 도2에 나타내는 바와 같이 피노광 기판의 크기가 55인치로 750mm의 콘덴서 렌즈를 제작하지 않으면 안 된다. 그러나 도1에 나타내는 현재의 600mm에리어를 묘사하는 경우에 있어서도, 렌즈 주연부에서 해상도 등의 성능이 저하되는 경향이 매우 강하다. 또한 도3에 설계 치수와 오차(에러)와의 관계를 나타낸다. 여기서는 렌즈 주연부에 대응하는 스캔 스타트와 스캔 엔드의 오차가 렌즈 중앙부에 대응하는 스캔 센터의 오차보다도 크게 나타나고 있다.

따라서 직경 600mm 이상의 콘덴서 렌즈를 제작하고, 패턴을 정밀도 좋게 형성하는 것은 매우 곤란하다. 그러나 단순하게 스캔 방향으로 연속시킨다고 해도 이음 부분에서의 편향의 발생이 생각된다. 도4a에 이음 부분이 Y방향으로 어긋난 경우를 나타내고, 도4b에 이음 부분이 X방향으로 어긋난 경우를 나타낸다. 또 X방향의 편향과 Y방향의 편향의 동시 발생도 생각된다. 또한 도4c에 나타내는 바와 같이, 이음 부분에서 치수차가 발생된 극단적인 단차의 발생도 있다.

상기의 X방향, Y방향의 편향에 관해서는 레이저 간섭계를 사용하여 스테이지를 고성능화하는 것이나 광변조기의 정밀도 향상으로 편향량을 완화하는 것이 생각된다. 그러나 치수차에 관해서는 렌즈 성능에 의한 바가 매우 크고, 편향을 완화하는 것이 어려운 문제가 있었다.

또 기판 상의 피노광 부분(패턴 형성 부분) 전체를 다중 노광하는 장치에서는 피노광 부분 전체의 노광을 수회 반복하여 하여야 하므로, 노광 시간을 통상의 몇배나 필요로 하게 되는 문제가 있었다.

본 발명은 상기의 점을 감안하여 된 것으로, 필드의 이음 부분의 치수차 및 단차의 발생을 방지하고, 또한 노광 시간이 길어지는 일이 없는 노광 방법 및 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도1은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 패터닝 방법을 나타내는 도면.

도2는 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 패터닝 방법을 나타내는 도면.

도3은 설계 치수와 오차(에러)와의 관계를 나타내는 도면.

도4는 노광 패턴의 이음 부분에서 발생하는 편향을 설명하기 위한 도면.

도5는 발명의 레이저 노광 장치의 제1 실시예의 블록도.

도6은 레이저빔을 노광 데이터에 따라서 ON/OFF 제어하는 부분의 상세한 블록도.

도7은 본 발명 방법의 제1 실시예의 설명도.

도8은 본 발명 방법의 제1 실시예의 빔 조사 상태와 패터닝을 나타내는 도면으로, 측장 센서를 나타내는 도면.

도9는 종래 방법의 빔 조사 상태와 패터닝을 나타내는 도면.

도10은 본 발명 방법의 제2 실시예의 설명도.

도11은 본 발명 방법의 제2 실시예의 플로차트.

도12는 본 발명 방법의 제3 실시예의 설명도.

(부호의 설명)

10 아르곤 레이저장치

12 빔스플리터

14 음향 광학 변조기(AOM)

15a 데이터 제어부

15b RF제어 장치

15c 노광 데이터 메모리

16 렌즈

18 폴리곤

10 콘덴서 렌즈

22 스테이지

24 피노광 기판

청구항1에 기재한 발명은 레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 장치에 있어서,

처음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 종료 위치와, 상기 피노광 기판을 이동시켜 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치를 중첩하여 이음 부분을 노광할 때에, 상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광을 불연속적으로 행하고, 또한 상기 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광을 불연속으로 하는 불연속 노광 수단을 가진다.

이와 같이 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광을 불연속적으로 행하고, 또한 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광을 불연속으로 하기 때문에, 이음 부분에서는 처음의 스캔의 노광과 다음의 스캔의 노광이 평균화되어, 이음 부분에서 치수차 및 단차가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

청구항2에 기재한 발명은 청구항1에 기재한 노광 장치에 있어서,

상기 불연속 노광 수단은 상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광은 스캔 방향의 홀수번째 또는 짝수번째의 노광 데이터(비트맵)만을 이용하여 불연속적으로 행하고, 상기 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광은 스캔 방향의 짝수번째 또는 홀수번째의 노광 데이터(비트맵)만을 이용하여 불연속으로 한다.

이 때문에, 이음 부분에서 처음의 스캔의 노광과 다음의 스캔의 노광과의 평균화를 최적으로 할 수 있다.

청구항3에 기재한 발명은 레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 장치에 있어서,

처음의 스캔으로 필드의 노광을 한 후, 상기 피노광 기판을 180 회전시키는 회전 수단을 갖고,

상기 피노광 기판을 180° 회전시킨 후, 다음의 스캔으로 필드의 노광을 하고, 상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치와, 상기 다음의 스캔의 스캔 개시 위치를 연속시킨다.

이와 같이 처음의 스캔으로 필드의 노광을 한 후, 피노광 기판을 180° 회전시키고, 다음의 스캔으로 필드의 노광을 함으로써, 처음의 스캔의 스캔 종료 위치와, 다음의 스캔의 스캔 개시 위치를 렌즈의 대략 동일한 위치에서 노광할 수 있고, 렌즈 성능에 기인하는 이음 부분에서의 치수차 및 단차의 발생을 방지할 수 있다.

청구항4에 기재한 발명은 레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 장치에 있어서,

상기 피노광 기판의 스캔 방향의 중앙부의 주요 패턴을 노광하는 제1 렌즈와,

상기 피노광 기판의 상기 중앙부의 스캔 개시 위치 및 종료 위치 각각에 인접하는 주연부의 부수 패턴을 노광하는 제2, 제3 렌즈를 가진다.

이와 같이 중앙부의 주요 패턴, 주연부의 부수 패턴 각각을 제1∼ 제3 렌즈를 이용하여 노광하기 때문에, 각 렌즈의 중앙부의 성능이 대략 일정한 범위를 사용하여 노광을 하기 때문에, 렌즈 성능에 기인하는 치수차 및 단차의 발생을 방지할 수 있다.

청구항5에 기재한 발명은 레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 방법에 있어서,

처음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 종료 위치와, 상기 피노광 기판을 이동시켜 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치를 중첩하여 이음 부분을 노광할 때에, 상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광을 불연속적으로 행하고, 또한 상기 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광을 불연속으로 한다.

이와 같이 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광을 불연속적으로 행하고, 또한 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광을 불연속으로 하기 때문에, 이음 부분에서는 처음의 스캔의 노광과 다음의 스캔의 노광이 평균화되고, 이음 부분에서 치수차 및 단차가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

청구항6에 기재한 발명은 청구항5기재한 노광 방법에 있어서,

상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광은 스캔 방향의 홀수번째 또는 짝수번째의 노광 데이터(비트맵)만을 이용하여 불연속적으로 행하고, 상기 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광은 스캔 방향의 짝수번째 또는 홀수번째의 노광 데이터(비트맵)만을 이용하여 불연속으로 한다.

청구항7에 기재한 발명은 레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 방법에 있어서,

처음의 스캔으로 필드의 노광을 한 후, 상기 피노광 기판을 180° 회전시키고,

청구항8에 기재한 발명은 레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 방법에 있어서,

상기 피노광 기판의 스캔 방향의 중앙부의 주요 패턴을 제1 렌즈로 노광하고,

상기 피노광 기판의 상기 중앙부의 스캔 개시 위치 및 종료 위치 각각에 인접하는 주연부의 부수 패턴을 제2, 제3 렌즈로 노광한다.

이와 같이 중앙부의 주요 패턴, 주연부의 부수 패턴 각각을 제1∼ 제3 렌즈를 이용하여 노광하므로, 각 렌즈의 중앙부의 성능이 대략 일정한 범위를 사용하여 노광을 하기 때문에, 렌즈 성능에 기인하는 치수차 및 단차의 발생을 방지할 수 있다.

(실시예)

도5는 본 발명의 레이저 노광 장치의 1 실시예의 블록도를 나타낸다. 이 장치는 예를 들면 플라즈마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이의 패널의 패터닝을 한다.

도5에 있어서, 아르곤 레이저장치(10)로부터 발사되는 레이저광은 빔스플리터(12)에서 복수의 광속으로 분할되고, 각각의 레이저빔을 음향 광학 변조기(AOM)(14)에서 노광 데이터에 따라서 ON/OFF 제어한다. 도6은 이 부분의 상세한 블록도를 나타낸다. 데이터 제어부(15a)는 복수의 광속에 각각에 대응하는 노광 데이터(비트맵)를 노광 데이터 메모리(15c)로부터 판독 출력하고, 이 노광 데이터에 따라서 RF제어 장치(15b)를 제어하여, 노광 데이터에 따른 주파수의 초음파를 광속마다 발생시키고, 음향 광학 변조기(14)에 공급시킨다. 음향 광학 변조기(14)에서는 각 광속 각각을 상기 초음파의 주파수에 따라 굴절시키고, 각 광속 각각의 ON/OFF을 제어한다.

이와 같이 하여 광속마다 ON/OFF 제어된 레이저빔은 렌즈(16)를 통해서 회전하는 폴리곤(18)에 조사되고, 여기서 반사된 레이저빔은 콘덴서 렌즈(20)를 통해서 스테이지(22)에 재치된 피노광 기판(24) 상에 조사되어, 폴리곤(18)의 회전에 따라서 피노광 기판(24)상을 스캔한다. 이 스캔은 콘덴서 렌즈(20)의 렌즈 주연부에서 해상도 등의 성능이 그다지 저하하지 않는 범위를 사용한다.

도7은 본 발명 방법의 제1 실시예의 설명도를 나타낸다. 도7a에 나타내는 피노광 기판(24)을 패터닝하는 경우, 먼저 Y방향으로 위치a로부터 위치c까지 폴리곤(18)의 회전에 의하여 스캔을 하고, 또한 스테이지(22)를 X방향 좌측에 등속도로 이동시켜 처음의 필드의 노광을 한다. 또한 위치a으로부터 위치c까지의 거리는 콘덴서 렌즈(20)의 직경에 의하여 결정되고, 콘덴서 렌즈(20)의 렌즈 주연부에서 해상도 등의 성능이 그다지 저하하지 않는 범위를 사용한다.

이 때, 도7b에 나타내는 바와 같이, 위치a로부터 위치b까지는 데이터 제어부(15a)는 통상의 노광 데이터(비트맵)를 이용하여 음향 광학 변조기(14)의 ON/OFF 제어를 하지만, 위치b로부터 위치c에서는 데이터 제어부(15a)는, 예를 들면 홀수번째의 노광 데이터(비트맵)만을 이용함으로써 불연속으로 음향 광학 변조기(14)의 ON/OFF 제어를 한다.

다음에 스테이지(22)를 Y방향 상측으로 이동시키는 것과 동시에 X방향 우측으로 초기 위치까지 이동시킨 후, Y방향으로 위치b로부터 위치d까지 폴리곤(18)의 회전에 의하여 스캔을 하고, 스테이지(22)를 X방향 좌측으로 이동시켜 다음의 필드의 노광을 한다. 이 때, 도7b에 나타내는 바와 같이, 위치b로부터 위치c에서는 데이터 제어부(15a)는, 예를 들면 짝수번째의 노광 데이터(비트맵)만을 이용함으로써 불연속으로 음향 광학 변조기(14)의 ON/OFF 제어를 한다. 그리고 위치c로부터 위치d까지는 데이터 제어부(15a)는 통상의 노광 데이터를 이용하여 음향 광학 변조기(14)의 ON/OFF 제어를 한다.

여기서 콘덴서 렌즈(20)의 성능으로부터, 렌즈 주연부의 스캔 종료 위치에서의 빔 지름은 렌즈 중앙부와 동등하지만, 렌즈 주연부의 스캔 개시 위치에서의 빔 지름이 렌즈 중앙부보다 작게 되는 경우에 대해서 생각한다. 본 실시예의 방법에서는 빔 조사 상태는 도8a에 나타내는 구간a∼c의 스캔시의 스캔 종료 위치, 즉 이음 부분b∼c에서 빔(b1, b2, b3)의 빔 지름이 통상의 크기이고, 구간b∼d의 스캔시의 스캔 개시 위치, 즉 이음 부분b∼c에서 빔(b4, b5)의 빔 지름이 작아져도 빔(b1, b2, b3, b4, b5)이 평균화되고, 패터닝되는 레지스트는 도8b에 나타내는 바와 같이, 이음 부분b∼c에서 레지스트 폭은 통상 그다지 작지 않아도 된다.

이에 대해서, 종래의 노광 방법에서는 빔 조사 상태는 도9a와 같이 구간e∼f의 스캔시의 스캔 종료 위치에서 빔 지름은 통상의 크기지만, 구간f∼g의 스캔시의 스캔 개시 위치에서 빔 지름이 작게 되기 때문에, 패터닝되는 레지스트는 도9b에 나타내는 바와 같이, 치수차가 발생하여 단차가 발생된다.

도10은 본 발명 방법의 제2 실시예의 설명도이고, 도11은 그 플로차트를 나타낸다. 도10에 나타내는 피노광 기판(24)을 패터닝하는 경우, 먼저 도11의 스텝(S10)에서 Y방향으로 위치a로부터 위치b까지 폴리곤(18)의 회전에 의하여 스캔을 하고, 또한 스테이지(22)를 X방향 좌측에 등속도로 이동시켜 A영역(처음의 스캔으로 노광되는 필드)의 노광을 한다. 또한 위치a로부터 위치b까지의 거리는 콘덴서 렌즈(20)의 직경에 의하여 결정되고, 콘덴서 렌즈(20)의 렌즈 주연부에서 해상도 등의 성능이 그다지 저하하지 않는 범위를 사용한다. 이 때, 위치a로부터 위치b까지 통상의 노광 데이터를 이용하여 음향 광학 변조기(14)의 ON/OFF 제어를 한다.

다음에 스텝(S12)에서 피노광 기판(24)을 재치하여 고정한 스테이지(22)를 화살표 θ방향으로 180° 회전시켜, 피노광 기판(24)의 B영역의 위치c, d 각각이 콘덴서 렌즈(20)에 대하여 A영역의 노광 개시의 위치a, b가 되도록 위치 맞춤한다.

이 후, 스텝(S14)에서 Y방향으로 위치c으로부터 위치d까지 폴리곤(18)의 회전에 의하여 스캔을 하고, 또한 스테이지(22)를 X방향 좌측으로 등속도로 이동시켜 B영역(다음의 스캔으로 노광되는 필드)의 노광을 한다. 이 때, 위치c으로부터 위치d까지 통상의 노광 데이터를 이용하여 음향 광학 변조기(14)의 ON/OFF 제어를 한다. 단, 이 노광 데이터는 스캔 및 스테이지 이동 방향으로 맞추어 나란히 교체하여 두거나, 판독을 스캔 및 스테이지 이동 방향으로 맞출 필요가 있다.

본 실시예의 방법에서는 콘덴서 렌즈(20)주연부의 스캔 개시 위치(20a)와 스캔 종료 위치(20b)에서의 빔 지름이 달라져 있는 경우에 있어서도, 피노광 기판(24)의 A영역을 노광할 때에, A영역과 B영역의 경계 근방은 콘덴서 렌즈(20)의 스캔 종료 위치(20b)에서 노광되고, 피노광 기판(24)의 B영역을 노광할 때에, A영역과 B영역의 경계 근방은 동일한 콘덴서 렌즈(20)의 스캔 종료 위치(20b)에서 노광된다. 이 때문에, 피노광 기판(24)의 A영역과 B영역의 경계에서는, 콘덴서 렌즈(20)의 해상도 등의 성능이 일치되기 때문에, 이 렌즈 성능에 기인하는 레지스트의 치수차 및 단차의 발생이 방지된다.

그런데 플라즈마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이의 패널을 패터닝하는 경우에는 피노광 기판의 스캔 방향의 중앙 부분에 메인의 표시 패턴이 형성되는 표시 패턴 영역이 되고, 상기 중앙 부분의 스캔 개시 위치 및 종료 위치에 인접하는 주연부분에 표시 패턴에 대한 배선 패턴이 형성되는 배선 패턴 영역이 된다. 이 경우, 도5에 나타내는 음향 광학 변조기(14), 렌즈군(16), 폴리곤(18), 콘덴서 렌즈(20) 각각을 2계통으로 분리하고, 제1계통을 표시 패턴 영역의 노광에 이용하고, 제2계통을 배선 패턴 영역의 노광에 이용한다. 이 실시예에 대해서 설명한다.

도12는 본 발명 방법의 제3 실시예의 설명도를 나타낸다. 동도면 중, 표시 패턴 영역 노광용의 제1계통의 콘덴서 렌즈(20A)에 인접하여, 배선 패턴 영역 노광용의 제2계통의 콘덴서 렌즈(20B, 20C)가 설치되어 있다. 콘덴서 렌즈(20A)와 콘덴서 렌즈(20B, 20C)는 X방향의 배치 위치가 어긋나 있다. 먼저 표시 패턴 영역(24a)의 데이터를 노광할 때에 콘덴서 렌즈(20A)를 이용하여 노광하고, 다음에 콘덴서 렌즈(20B, 20C)를 이용하여 배선 패턴 영역(24b, 24c)의 데이터의 노광을 한다. 이 때, 노광 데이터는 표시 패턴 영역(24a)과, 배선 패턴 영역(24b, 24c)으로 나누어져 있다. 또한 이들 콘덴서 렌즈(20A, 20B, 20C)를 서로 고정하여 일체화하여도 좋다. 노광시에는 각 콘덴서 렌즈(20A, 20B, 20C)는 렌즈 중앙부의 해상도 등의 성능이 대략 일정한 범위가 사용된다.

다른 실시예에서는 도12에 나타내는 피노광 기판(24)을 패터닝하는 경우, Y방향으로 위치a로부터 b까지 제1, 제2계통 각각의 폴리곤(18)의 회전에 의하여 스캔을 하고, 또한 스테이지(22)를 X방향 좌측으로 등속도로 이동시켜, 콘덴서 렌즈(20A, 20B, 24C)에 의해서 피노광 기판(24)의 스캔 방향의 중앙부의 표시 패턴 영역(24a) 및 이것에 인접하는 배선 패턴 영역(24b, 24c)의 노광을 한다. 이 때, 콘덴서 렌즈(20A)와 렌즈(20B, 20C) 간의 배치 위치의 편향에 대응하여, 표시 패턴의 노광 데이터에 의한 음향 광학 변조와 배선 패턴의 노광 데이터에 의한 음향 광학 변조와의 타이밍을 맞추어 둔다. 이 때에도, 노광 데이터는 표시 패턴 영역(24a)과, 배선 패턴 영역(24b, 24c)으로 나누어져 있다.

본 실시예의 방법에서는 콘덴서 렌즈(20A, 20B, 20C) 각각의 렌즈 중앙부의 해상도 등의 성능이 대략 일정한 범위를 사용하여, 표시 패턴 영역(24a), 배선 패턴 영역(24b, 24c) 각각의 노광을 하기 때문에, 피노광 기판(24)의 표시 패턴 영역(24a)과 배선 패턴 영역(24b, 24c) 각각의 경계에서 각 렌즈의 해상도 등의 성능은 대략 일치하고, 렌즈 성능에 기인하는 레지스트의 치수차 및 단차의 발생이 방지된다.

또한 청구항에 기재한 불연속 노광 수단은 데이터 제어부(15a)에 대응하고, 회전 수단은 스텝(S12)에 대응하고, 제1 렌즈는 콘덴서 렌즈(20A)에 대응하고, 제2 렌즈는 콘덴서 렌즈(20B)에 대응하며, 제3 렌즈는 콘덴서 렌즈(20C)에 대응한다.

상술한 바와 같이, 청구항1에 기재한 발명은 레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 장치에 있어서,

청구항2에 기재한 발명은 청구항1기재한 노광 장치에 있어서,

상기 불연속 노광 수단은 상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광은 스캔 방향의 홀수번째 또는 짝수번째의 노광 데이터만을 이용하여 불연속적으로 행하고, 상기 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광은 스캔 방향의 짝수번째 또는 홀수번째의 노광 데이터만을 이용하여 불연속으로 한다.

처음의 스캔으로 필드의 노광을 한 후, 상기 피노광 기판을 180° 회전시키는 회전 수단을 갖고,

이와 같이 처음의 스캔으로 필드의 노광을 한 후, 피노광 기판을 180° 회전시키고, 다음의 스캔으로 필드의 노광을 함으로써, 처음의 스캔의 스캔 종료 위치와, 다음의 스캔의 스캔 개시 위치를 렌즈의 대략 동일한 위치에서 노광할 수 있어, 렌즈 성능에 기인하는 이음 부분에서의 치수차 및 단차의 발생을 방지할 수 있다.

상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광은 스캔 방향의 홀수번째 또는 짝수번째의 노광 데이터만을 이용하여 불연속적으로 행하고, 상기 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광은 스캔 방향의 짝수번째 또는 홀수번째의 노광 데이터만을 이용하여 불연속으로 한다.

Claims

레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 장치에 있어서,

처음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 종료 위치와, 상기 피노광 기판을 이동시켜서 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치를 중첩하여 이음 부분을 노광할 때에, 상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광을 불연속적으로 행하고, 또한 상기 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광을 불연속으로 하는 불연속 노광 수단을

갖는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
제1항에 있어서,

상기 불연속 노광 수단은 상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광은 스캔 방향의 홀수번째 또는 짝수번째의 노광 데이터만을 이용하여 불연속적으로 행하고, 상기 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광은 스캔 방향의 짝수번째 또는 홀수번째의 노광 데이터만을 이용하여 불연속으로 하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 장치에 있어서,

처음의 스캔으로 필드의 노광을 한 후, 상기 피노광 기판을 180° 회전시키는 회전 수단을 갖고,

상기 피노광 기판을 180° 회전시킨 후, 다음의 스캔으로 필드의 노광을 하고, 상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치와, 상기 다음의 스캔의 스캔 개시 위치를 연속시키는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 장치에 있어서,

상기 피노광 기판의 스캔 방향의 중앙부의 주요 패턴을 노광하는 제1 렌즈와,

상기 피노광 기판의 상기 중앙부의 스캔 개시 위치 및 종료 위치 각각에 인접하는 주연부의 부수 패턴을 노광하는 제2, 제3 렌즈를

갖는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 방법에 있어서,

처음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 종료 위치와, 상기 피노광 기판을 이동시켜 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치를 중첩하여 이음 부분을 노광할 때에, 상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광을 불연속적으로 행하고, 또한 상기 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광을 불연속으로 하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
제5항에 있어서,

상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치에서의 노광은 스캔 방향의 홀수번째 또는 짝수번째의 노광 데이터만을 이용하여 불연속적으로 행하고, 상기 다음의 스캔으로 노광되는 필드의 스캔 개시 위치에서의 노광은 스캔 방향의 짝수번째 또는 홀수번째의 노광 데이터만을 이용하여 불연속으로 하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 방법에 있어서,

처음의 스캔으로 필드의 노광을 한 후, 상기 피노광 기판을 180° 회전시키고,

상기 피노광 기판을 180° 회전시킨 후, 다음의 스캔으로 필드의 노광을 하여, 상기 처음의 스캔의 스캔 종료 위치와, 상기 다음의 스캔의 스캔 개시 위치를 연속시키는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
레이저빔을 회전하는 폴리곤으로 반사시켜 스캔하고, 렌즈를 통해서 피노광 기판에 조사하여 노광을 하는 노광 방법에 있어서,

상기 피노광 기판의 스캔 방향의 중앙부의 주요 패턴을 제1 렌즈로 노광하고,

상기 피노광 기판의 상기 중앙부의 스캔 개시 위치 및 종료 위치 각각에 인접하는 주연부의 부수 패턴을 제2, 제3 렌즈로 노광하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.