KR20000010662A - 사출 성형 장치와 방법 - Google Patents
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Abstract
집적회로를 캡슐화하기 위한 이송 성형 장치들과 같이, 복수의 성형 프레스(10)들을 갖는 사출 성형 스테이션이 색인 가능한 테이블(70)위에 놓여진다. 성형 장치가 성공적으로 각각의 스테이션과 정렬이 되었을 때, 고정된 적재, 하역 스테이션(60, 62, 64)이 금형 공동에 삽입물을 넣고, 금형 재료 펠릿을 넣고, 금형 제작물을 빼내기 위하여 테이블 주변의 각위치에 배열된다. 프레스들의 개, 폐와 금형들의 온도, 압력을 제어하기 위하여, 제어기(80)가 성형 프레스들과 함께 회전하도록 제공된다. 예를 들어, 스테이션들의 기능, 사용자의 입력 수신 및 두 개의 제어기 사이의 통신 등을 제어하기 위하여, 또 다른 제어기가 고정 제어판에 제공된다.
Description
집적회로를 캡슐화 하는 이송(transfer) 성형 장치와 같은 사출 성형 장치는 전형적으로 성형 프레스(press)를 적재, 하역하기 위하여 복수의 가동 로봇 결합된 복수의 성형 프레스를 포함한다. 예를 들어, 한 줄의 성형 프레스들이 집적회로 리드프레임(leadframes)들을 금형들내로 삽입하고 성형후 캡슐화된 집적회로를 제거하기 위하여 상기 줄을 따라서 이동할 수 있는 적재 로봇과 하역 로봇과 함께 배열된다. 그러나, 이러한 형태의 배열에는 여러 가지 어려움이 따르는 데, 예를 들어, 그 중 하나가 복수의 성형 프레스들 중 하나를 접근하는 데, 적재 로봇과 하역 로봇 사이의 위치 간섭이다.
본 발명은 사출 성형 장치와 방법에 관한 것으로, 예를 들어 집적회로를 캡슐화 하는(encapsulating) 장치와 방법에 관한 것이다.
본 발명은 첨부 도면을 참고하여, 예를 들어 보이는 방법으로 아래에 더욱 자세히 설명된다;
도 1은 종래의 사출 성형 장치를 도시하는 개략 블록도이다;
도 2A, 도 2B와 도 2C는 집적회로와 리드프레임의 캡슐화를 위한 전형적인 이송 성형 프레스를 나타낸다;
도 3은 본 발명의 일 형태를 따른 사출 성형 장치의 평면도이다; 그리고,
도 4는 도 3의 사출 성형 장치의 횡단면도이다.
따라서, 본 발명은 성형 제품을 형성하기 위하여 성형된 공동(cavity)을 형성하는 적어도 하나의 금형을 수용하는 데 각각 적합한 복수의 성형 프레스들을 포함하는 사출 성형 장치를 제공하고, 이 복수의 성형 프레스들은 그 주위에 배열된 복수의 스테이션(stations)들에 대하여 공통축에 관한 회전 운동을 하도록 장착되고, 상기 성형 장치는 성형 제품의 하역과 성형 재료의 적재를 위하여 상기 스테이션들 중 하나와 복수의 성형 프레스들 중 하나를 순차로 정렬하는 데 적합하게 된다.
본 발명은 또한, 회전가능한 색인 테이블(index table) 위에 놓여진 복수의 이송 성형 프레스들을 포함한 집적회로 캡슐화 장치를 제공하는 데, 각각의 성형 프레스는 집적회로 다이와 집적회로의 캡슐화용 고정 리드프레임을 수용하는 데 적합한 공동을 형성하는 적어도 하나의 금형을 수용하는 데 적합하게 되고, 복수의 스테이션들이 회전가능한 색인 테이블 주위에 배열되어, 상기 색인 테이블의 색인된 회전이 스테이션들 중 하나와 성형 프레스들 중 하나가 정렬하는 데 효과적이고 , 상기 스테이션들은 집적회로 다이와 고정 리드프레임을 그것들과 정렬된 성형 프레스들의 금형내에 적재하는 삽입 적재 스테이션, 정렬된 성형 프레스들의 도가니로 캡슐화 재료를 적재하는 금형 혼합물 적재 스테이션 및 정렬된 성형 프레스들의 금형에서 캡슐화된 집적회로를 제거하기 위한 하역 스테이션을 포함한다.
본 발명의 실시형태에서, 성형 프레스들과 스테이션들은 회전 색인 테이블 상에 배치되어, 제 1 성형 프레스가 하역 스테이션에 정렬되고, 제 2 성형 프레스는 금형 세정 스테이션에 정렬되며, 제 3 성형 프레스는 금형 혼합물질 적재 스테이션에 정렬한다. 모든 스테이션들을 서로 일치시킨다.
바람직하게는, 이 장치는 성형 프레스와 같이 이동하게 장착되어 독립적으로 성형 프레스의 개, 폐를 제어하는 제 1 제어 회로를 포함한다. 제 2 제어 회로는 회전 전기 접속을 통하여 제 1 제어기 회로와 제 2 제어기 회로를 통신하면서, 스테이션들의 기능들을 제어하도록 제공된다. 성형 프레스들이 전기적으로 동작될 경우에 성형 프레스들에 전력을 공급하기 위하여 유사한 회전 전기 접속이 제공된다. 선택적으로, 성형 프레스들이 액압 방식 또는 공기압 방식이라면, 회전가능한 액압 또는 공기압 접속이 압축 유체원과 성형 프레스들과 대응 부품들의 액압/공기압 회로들 사이에 제공된다.
본 발명에 따르면, 적어도 하나의 사출 성형 프레스와 그와 결합된 캡슐화 금형이 적어도 하나의 성형 프레스 주위에 배치된 각각의 스테이션들과 함께 연속적으로 정렬하여 회전 이동하도록 장착되는 집적회로의 캡슐화 방법에 있어서,
상기 프레스를 제 1의 상기 스테이션과 회전적으로 정렬시키고 집적회로 다이를 관련 금형으로 적재하는 단계;
상기 프레스를 제 2의 상기 스테이션과 회전적으로 정렬시키고 캡슐화 재료를 구비한 상기 프레스를 적재하는 단계;
상기 집적회로 다이가 상기 금형내의 상기 재료로써 캡슐화되는 이송 성형 작업을 행하는 단계; 및
상기 프레스를 제 3의 상기 스테이션과 회전적으로 정렬시키고 상기 금형으로부터 캡슐화된 집적회로를 하역하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적회로 캡슐화 방법이 제공된다.
바람직하게는, 복수의 사출 성형 프레스들이 위의 방법 단계들을 통하여 반복적으로 회전하도록 이용되는데, 이것은 하나의 프레스에 한 단계가 수행될 때, 다른 프레스에 다른 단계가 수행되어 지는 것이다.
우선, 도 1을 참고하면, 4개의 성형 프레스(10)들로 구성되는 종래 기술의 사출 성형 배열의 개략도를 나타낸다. 성형 프레스(10)들은 모두 같은 방향으로 접하며, 한 행으로 배치된다. 참조번호 12로 나타내어 지는 영역은 적재 로봇의 성형 프레스(10)들의 앞을 따라서 이동하는 영역을 나타내고, 이 적재 로봇은 각각의 성형 프레스들의 앞에 접근할 필요가 있다. 유사하게, 참조번호 14는 각 성형 프레스(10)의 앞에 접근이 또한 요구되는 하역 로봇의 이동 영역을 나타낸다. 세정 로봇은 성형 프레스들의 후미를 따라서 영역(16)을 이동하도록 배치된다. 게다가, 기구가 매거진 스토리지(magazine storage)(도시되지 않음)에서 적재 로봇(12)까지 집적회로와 고정 리이드 프레임(leadframe)이 지나가고, 캡슐화 재료 펠릿이 적재 로봇(12)에 각각 지나가도록 18과 20에 배열된다. 또한, 하역 기구가 하역 로봇으로부터 캡슐화된 집적회로를 수용하고, 리드프레임을 꺼내며 캡슐화된 집적회로가 저장 영역으로 통과하도록 22와 24에 배열된다.
도 2A, 도 2B와 도 2C는 두 개의 금형(32)들을 수용하기 적합한 예시적 이송 성형 프레스(30)의 횡단면도들이다. 각 금형(32)은 성형 프레스(30)내에 배치되고, 금형 공동(34)을 한정하도록 함께 맞물려지는 상단 금형부(32a)와 하단 금형부(32b)로 구성된다.
성형 프레스(30)는 폐쇄 위치로 도 2A에 나타나고, 각 금형 공동내에 집적회로 리드프레임이 적재되고, 캡슐화 재료 펠릿(40)이 갱폿(36)에 적재된다. 집적회로(36)의 캡슐화는 캡슐화 재료 펠릿(40)을 가열하고, 이송 플런저(flunger)(38)를 사용하여 갱폿내에 그 물질을 가압하여 달성되는 데, 이것은 펠릿(40)이 갱폿과 금형 공동들 사이의 작은 경로를 통하여 금형 공동(34)들로 액화되어 흘러 들어가게 한다(도 2B 참조). 캡슐화 재료가 다시 응고되도록 한 후, 성형 프레스(30)가 개방 되는데(도 2C 참조), 여기서, 금형부(32a)와 (32b)가 분리된다. 캡슐화된 집적회로(50)들은, 성형 프레스에서 제거하여 들어내기 위하여, 압출핀(42)를 이용하여 금형 공동으로부터 들어올려 진다. 캡슐화된 집적회로(50)들의 제거 후, 개방 성형 프레스는 캡슐화 공정을 반복하기 위하여, 새로운 리드프레임 삽입물(36)들과 캡슐화 재료 펠릿(40)을 수용하게 준비된다.
집적회로 리드프레임을 캡슐화하기 위하여 도 1에 나타난 종래의 성형 시스템의 작동은 아래에 설명된다.
첫째, 하나 또는 그 이상의 이미 가열된 집적회로 리드프레임들은 모든 성형 프레스(10)들을 도와주는 적재 로봇 팔에 의하여 약 섭씨 160도에서 200도의 온도를 갖는 성형 프레스(10)에 적재된다. 이것은 동일한 적재 로봇이 이미 형성된 에폭시(epoxy) 수지 펠릿을 성형 프레스의 갱폿으로 삽입하는 데 사용되고, 그 후 프레스는 닫힌다(도 2A 참조). 다음, 에폭시 수지는 이송 플런저를 이용하여 뜨거운 금형 표면에 대하여 수지 펠릿을 압축하므로써 금형 공동을 채우기 위하여 갱폿에서 이송된다(도 2B). 수지는 금형 내에서 약 20 ~ 90초 동안 경화된 후, 성형 프레스가 개방되고, 캡슐화된 집적회로가 금형 공동에서 배출된다(도 2C). 성형 프레스에서 캡슐화된 집적회로를 제거하기 위하여, 하역 로봇은 적재 로봇이 제자리로 돌아갈 때까지 기다려야 하고, 그 반대일 때도 마찬가지며, 이것은 주어진 시간에 적재 로봇과 하역 로봇들이 접근이 요구되는 금형들과 적재와 하역 로봇들의 상대적 위치에 따라서 상당한 시간을 소비하게 한다. 또한, 세정 로봇(16)이 성형 프레스들의 후미에 배열되어, 점검과 유지보수를 꽤 어렵게 할 수 있는 성형 프레스들의 행의 양축상 로봇 팔들이 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 사출 성형 시스템은 적재, 하역 기구들(로봇 팔)의 이동보다는, 적재와 하역 스테이션들에 대하여 성형 프레스들의 회전운동을 제공한다. 도 3은 본 발명의 일 형태에 따른 사출 성형 장치의 평면도이고, 도 4는 도 3의 사출 성형 장치의 횡단면도이다.
복수의 성형 프레스(10)들(도 3)이 동일하게 이격되어 배열되고, 원형 회전형 색인 테이블(70)의 원주 주위에 장착된다. 성형 프레스(10)들이 색인 테이블 축에 대하여 외부로 접하도록 적재되고, 이것은 성형 프레스들이 열릴 때, 성형 프레스들의 금형들 내부의 금형 공동이 접근 가능하도록 한다. 여기서, 색인 테이블(70)은 반시계 방향의 회전이 가능하고, 각각의 성형 프레스(10)들이 각각의 복수의 등간격 각위치 (101)에서 (108)에 정렬되도록 색인이 가능하다. 도 3에 도시된 스테이션(60,62,64)은 색인 테이블상에 장착된 성형 프레스들의 주위에 위치하고, 각각의 스테이션들은 각위치 (101)에서 (108)중 하나와 성형 프레스(10)들이 정렬되도록 위치한다. 이 경우에, 집어놓기(pick and place) 로봇 팔과 같은 하역 스테이션(60)이 참조번호(108)로 나타나는 각위치에 놓여질 때, 성형 프레스와 정렬되도록 위치한다. 삽입 적재 스테이션(62)은 각위치(101)에 성형 프레스를 정렬되도록 위치하고, 캡슐화 재료 펠릿 적재 스테이션(64)은 각위치(102)에 성형 프레스를 정렬되도록 위치한다. 색인 테이블(70)의 반시계 방향 순환에 대하여, 삽입 적재 스테이션(62)은 하역 스테이션(60)에 대하여 테이블 주위로 반시계 방향으로 배치되고, 펠릿 적재 스테이션(64)는 삽입 적재 스테이션(62)에 반시계 방향으로 배치된다.
성형 장치의 동작은 삽입 적재 스테이션(62)과 일치하는 각위치(101)에서 시작하여, 색인된 회전 테이블(10)상의 하나의 성형 프레스를 고려하면 가장 잘 이해될 수 있다. 이 위치에서, 성형 프레스(10)는, 도 4의 10b로 도시된 바와 같이, 이미 가열된 집적회로 다이와 고정 리드프레임을 적재 스테이션(62)의 집어놓기 로봇 팔을 이용하여 성형 프레스들의 하나 또는 그 이상의 금형들 내에 위치되도록 개방한다. 리드프레임의 적재 후, 색인 테이블(70)은 성형 프레스와 성형 프레스의 펠릿 적재 스테이션(64)을 정렬시키기 위하여 회전되고, 여기서 캡슐화 재료 펠릿이 성형 프레스의 갱폿으로 적재된다. 펠릿의 적재 후, 색인 테이블이 다시 회전하여 성형 프레스가 각위치(103)을 통과하고, 여기서 프레스가 닫히고 이송 성형 작동이 일어난다. 성형 프레스가 연속적으로 각위치(104),(105),(106)를 통과하므로써, 금형 공동들 내에 캡슐화 재료가 채워지고, 각위치(107)에서 성형 프레스가 캡슐화된 집적회로들을 접근할 수 있도록 개방된다. 마지막으로, 예를 들면, 집어놓기 장치를 사용하여 성형 프레스에서 캡슐화된 집적회로를 제거하게 작동되는 하역 스테이션(60)과 일치하는 각위치(108)로 성형 프레스가 회전한다. 하역 후, 캡슐화된 집적회로는 디게이팅 스테이션(degating station), 스토리지 매거진, 금형 세정을 통과한다(도시되지 않음). 각위치(108)에서 하역 작동 후, 성형 프레스는 캡슐화 공정을 반복하기 위하여 각위치(101)로 복귀한다.
색인 테이블(10) 주위에 배치된 각 성형 프레스들은 위에 설명된 동작을 동시에 수행할 수 있으며, 해당 성형 프레스의 캡슐화 공정의 단계는 스테이션(60),(62),(64)에 대한 성형 프레스의 각위치에 의하여 결정된다.
적재와 하역 작업 사이에는 어떠한 간섭도 일어날 수 없으므로, 사출 성형 장치와 이미 언급한 본 발명의 구현 방법은 위에서 언급되었던 종래의 시스템과 비교하여 생산시간 단축을 향상시킬 수 있다.
기술적으로, 적절한 수의 성형 프레스들, 바랍직하게는 4개, 6개 또는 8개의 성형 프레스들이 색인 테이블 주위에 배열될 수 있는 것은 당업자에 의하여 인식될 수 있을 것이다. 게다가, 한 세트(set) 이상의 적재와 하역 스테이션(60),(62),(64)이 색인 테이블 주위에 배열될 수 있다. 예를 들어, 또 다른 하역 스테이션(60)이 각각 각위치(105),(106)에 위치한 적재 스테이션(62),(64)과 함께, 각위치(104)에 위치한다. 바람직한 형태의 배열은 색인 테이블 상의 성형 프레스들의 수와 성형 재료들의 응고 시간에 의존한다. 더욱이, 금형들의 정기적 세정이 필요하면, 사출 성형 기술에 알려져 있듯이 각 성형 작업후에 세정 스테이션이 금형들을 폐쇄하는 하역 스테이션(60)과 적재 스테이션(62) 사이에 삽입될 수 있다.
성형 프레스들의 개, 폐를 제어하기 위하여, 제어기(80)가 프레스(10)들과 색인 테이블(70)의 회전을 위하여 설치될 수도 있다. 적당히 프로그램된 마이크로 프로세서가, 기술분야에서 공지된 피엘씨(PLC) 또는 유사한 것이 될 수 있다. 바람직한 실시예에 있어, 테이블 위에 장착된 제어기(80)도 또한 각각 금형의 온도와 각 성형 프레스의 성형압력을 개별적으로 제어하도록 프로그램된다. 예를 들어 컴퓨터나 마이크로 프로세서 회로를 포함하는 스테이션(60),(62),(64)들의 기능을 제어하기 위하여 제 2 제어기가 제공될 수 있다. 제 2 제어기는 스테이션(60),(62),(64)들에 고정되어 제어판(도시되지 않음)에 내장되는 것이 바람직하다. 제어판은 사용자가 소정 금형 온도와 압력 등을 입력할 수 있는 기능들을 포함한다. 두 제어기 회로들 사이의 협력과 통신을 원활히 하기 위하여, 전기적 연결이 색인 테이블(70) 상에 장착된 제어기가 회전할 수 있게 하는 두 제어기 사이의 통신을 위하여 필요하다. 따라서, 예를 들어 색인 테이블 축과 동축인 환형의 전기적 접촉을 갖고, 브러쉬 형태(brush-type)의 접촉이 환형의 전기적 접촉을 포함하도록 배열되게, 회전 가능한 전기적 접속이 채용될 수 있다. 예를 들어, 아마추어(armature) 권선을 움직이게 하는 전기 모터의 연결에서 채용된 것과 비슷한 접촉 기술이 사용될 수 있다. 또한, 성형 프레스(10)가 액압력 또는 공기압력을 사용하여 동작한다면, 프레스들의 액압 또는 공기압 회로들과 가압된 액체 또는 공기 유체의 사이에 접속이 요구된다. 이것을 위하여, 액압 또는 공기압 파이프가 성형 장치의 베이스(75)에 회전 테이블과 동축으로 제공될 수 있고, 이것은 색인 테이블 위에 장착된 프레스들의 액압/공기압 회로들을 접속하는 파이프와 회전 가능한 접속을 갖는다.
고정되고 회전가능한 제어기 회로들 사이의 신호를 통과시키는 회전 가능한 전기 커넥터의 대용으로, 제어기들 사이의 신호를 통과시키는 무선 적외선 또는 무선 신호 송, 수신 시스템이 채용될 수 있다.
전술의 본 발명의 상세한 설명은 예시적이며, 첨부된 청구범위에 정의된 본 발명을 제한하려는 의도는 아니다.
Claims (16)
- 성형 제품을 형성하기 위하여 성형된 공동을 형성하는 적어도 하나의 금형을 각각 수용하는 데 적합한 복수의 성형 프레스를 포함하여 이루어지고,상기 복수의 성형 프레스는 상기 복수의 성형 프레스 주위에 배열된 복수의 스테이션에 대한 공통의 축에 대하여 회전운동이 가능하게 장착되고,상기 복수의 성형 프레스 중 하나가 상기 스테이션 중 하나와 순차적으로 일직선으로 정렬하는 데 적합하게 되어 성형 재료를 적재하고 성형된 제품을 하역하는 것을 특징으로 하는 사출 성형 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 복수의 성형 프레스는 회전가능 플래터(platter)상에 장착되고, 이들의 회전운동은 색인가능하여 상기 성형 프레스들 및 상기 스테이션들을 정렬시키도록 색인가능한 것을 특징으로 하는 사출 성형 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 성형 프레스는 이송 성형 프레스를 포함하는 것을 특징으로 하는 사출 성형 장치.
- 제 3항에 있어서,금형 공동은 집적회로 및 캡슐화를 위한 리드프레임을 포함하는 삽입물을 수용하는 것을 특징으로 하는 사출 성형 장치.
- 제 2항에 있어서,상기 성형 프레스들과 함께 운동가능하게 장착된 제어기 회로를 포함하여 상기 성형 프레스의 작동을 제어하는 제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 사출 성형 장치.
- 제 5항에 있어서,상기 제어기 회로는 사용중인 상기 성형 프레스의 개방 및 폐쇄를 개별적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 사출 성형 장치.
- 제 6항에 있어서,상기 제어수단은 복수의 성형 프레스 각각의 금형 온도 및 압력을 독립적으로 제어하도록 동작하는 것을 특징으로 하는 사출 성형 장치.
- 제 7항에 있어서,상기 제어기 회로와 상기 회전가능 플래터와 함께 이동가능하게 장착되지 않은 상기 제어수단의 중앙 제어기 사이에 피봇가능한(pivotable) 전기적 접속을 포함하는 것을 특징으로 하는 사출 성형 장치.
- 제 8항에 있어서,상기 성형 프레스의 유압회로 및 가압된 유압 유체원 사이에 피봇가능한 유압 접속을 포함하는 것을 특징으로 하는 사출 성형 장치.
- 제 8항에 있어서,상기 복수의 스테이션의 기능은 상기 중앙 제어기에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 사출 성형 장치.
- 제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 스테이션은 집적회로 다이 및 고정된 리드프레임을 함께 정렬된 성형 프레스의 금형내에 적재하는 삽입 적재 스테이션을 포함하는 것을 특징으로 하는 사출 성형 장치.
- 집적회로 다이 및 이것의 캡슐화를 위한 고정된 리드프레임을 수용하는 데 적합한 공동을 형성하는 적어도 하나의 금형을 각각 수용하는 데 적합하고, 회전가능 색인 테이블상에 장착된 복수의 이송 성형 프레스와, 상기 회전가능 색인 테이블 주위에 배열된 복수의 스테이션을 포함하고,테이블의 색인 회전은 상기 성형 프레스들의 테이블을 상기 스테이션들의 테이블과 정렬하는데 효과적이고,상기 스테이션들은 집적회로 다이와 고정된 리드프레임을 함께 정렬된 성형 프레스의 금형내로 적재하는 삽입 적재 스테이션, 캡슐화 재료를 정렬된 성형 프레스의 도가니내로 적재하는 성형 혼합물 적재 스테이션 및 정렬된 성형 프레스의 금형으로부터 캡슐화된 집적회로를 제거하는 하역 스테이션을 포함하는 것을 특징으로 하는 집적회로 캡슐화 장치.
- 제 12항에 있어서,상기 테이블과 함께 이동가능하게 장착되고, 상기 복수의 프레스의 기능을 제어하는 제 1제어기 회로와, 상기 스테이션을 제어하는 제 2제어기 회로 및 상기 테이블의 회전 배향에 관계없이 상기 제 1 및 제 2제어기 회로 사이의 신호 통신을 위한 피봇가능 전기 접속을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집적회로 캡슐화 장치.
- 제 13항에 있어서,상기 제 1제어기 회로는 사용중에 상기 복수의 성형 프레스의 각각의 금형 온도 및 압력을 개별적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 집적회로 캡슐화 장치.
- 적어도 하나의 사출 성형 프레스 및 관련 캡슐화 금형이 적어도 하나의 성형 프레스 주위에 배치된 복수의 각 스테이션과 연속적인 정렬로 회전운동 가능하게 장착되는 집적회로 캡슐화 방법에 있어서,상기 프레스를 제 1의 상기 스테이션과 회전적으로 정렬시키고 집적회로 다이를 관련 금형으로 적재하는 단계;상기 프레스를 제 2의 상기 스테이션과 회전적으로 정렬시키고 캡슐화 재료를 구비한 상기 프레스를 적재하는 단계;상기 집적회로 다이가 상기 금형내의 상기 재료로써 캡슐화되는 이송 성형 작업을 행하는 단계; 및상기 프레스를 제 3의 상기 스테이션과 회전적으로 정렬시키고 상기 금형으로부터 캡슐화된 집적회로를 하역하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적회로 캡슐화 방법.
- 제 15항에 있어서,복수의 사출 성형 프레스는 상기 단계들을 반복적으로 순환하도록 사용되어 상기 단계들 중 한 단계가 하나의 프레스상에서 수행될 때, 상기 단계들 중 다른 단계는 다른 프레스상에서 수행되는 것을 특징으로 하는 집적회로 캡슐화 방법.
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