KR102653021B1 - 기판 건조 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판 건조 장치에 관한 것으로, 상부지그와 하부지그 사이에 기판을 고정하여 결합체를 생성하는 투입부; 투입부가 생성한 결합체를 건조하는 건조부; 및 건조부가 건조한 결합체로부터 기판을 분리하여 배출하고, 상부지그와 하부지그를 투입부로 복귀시키는 배출부;를 포함하여 구비된다. 본 발명에 따르면 순환시스템을 이용하여 건조부 내부에 균일한 풍속과 풍량으로 정형적인 형태의 공기순환을 제공하여 온도 분포를 정밀하게 유지하므로, 건조부 내부의 온도 분포가 양호하여 기판을 안정적으로 가열, 건조 및 냉각할 수 있고, 지그에 기판을 결합하여 건조를 수행하므로, 건조 과정 중에 발생하는 기판의 손상 및 오염을 최소화할 수 있다.
Description
본 발명은 기판 건조 장치에 관한 것이다. 보다 자세하게는 지그를 이용하여 기판을 건조기 내부에 자동 투입하고, 열풍을 이용한 건조 및 냉각을 수행하는 장치에 관한 것이다.
제조한 기판을 최종적으로 상품화하기 위해서는, 기판을 건조하는 마무리 공정을 거쳐야 한다. 그러나, 종래의 기판 건조 공정은 기판을 컨베이어의 상면에서 이동하도록 하는 상태에서 건조장치를 가동하여 작동하는 방식으로 기판의 한 면 만을 건조할 수 있어 양면을 모두 건조하기 위해서는 작업시간이 두 배로 소요되는 한계점이 있었다. 이를 극복하기 위해 기판을 매달아 건조기에 투입하는 방법이 제시된 바 있으나, 이와 같이 기판을 직접 매다는 경우 이 과정에서 기판이 손상되거나 오염되는 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점들을 해결하기 위해, 본 발명에서는 지그를 이용하여 기판을 손상 및 오염 없이 건조하는 기판 건조 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 기술적 과제는 기판을 안정적으로 가열, 건조 및 냉각할 수 있는 기판 건조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 기술적 과제는 기판의 손상 및 오염을 최소화하는 기판 건조 장치를 제공하는 것이다.
상기한 과제를 해결하기 위해 본 발명은 상부지그와 하부지그 사이에 기판을 고정하여 결합체를 생성하는 투입부; 투입부가 생성한 결합체를 건조하는 건조부; 및 건조부가 건조한 결합체로부터 기판을 분리하여 배출하고, 상부지그와 하부지그를 투입부로 복귀시키는 배출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치를 제공한다.
본 발명에 따르면, 순환시스템을 이용하여 건조부 내부에 균일한 풍속과 풍량으로 정형적인 형태의 공기순환을 제공하여 온도 분포를 정밀하게 유지하므로, 건조부 내부의 온도 분포가 양호하여 기판을 안정적으로 가열, 건조 및 냉각할 수 있다.
본 발명에 따르면, 지그에 기판을 결합하여 건조를 수행하므로, 건조 과정 중에 발생하는 기판의 손상 및 오염을 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 투입부의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬유닛의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 결합유닛의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 지그투입부의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 리프트의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 배출부의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그배출부의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 분리유닛의 사시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송컨베이어의 사시도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판누름유닛의 사시도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 배출컨베이어의 사시도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 리프트의 사시도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 방법의 순서도이다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치가 기판 및 지그를 공급하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 17은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 건조 장치의 결합체 생성 단계를 나타내는 도면이다.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치가 결합체를 건조부에 투입하고, 건조가 완료된 결합체를 배출하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치가 결합체로부터 기판을 분리하여 기판을 배출하고 지그를 복귀시키는 모습을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 투입부의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬유닛의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 결합유닛의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 지그투입부의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 리프트의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 배출부의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그배출부의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 분리유닛의 사시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송컨베이어의 사시도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판누름유닛의 사시도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 배출컨베이어의 사시도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 리프트의 사시도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 방법의 순서도이다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치가 기판 및 지그를 공급하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 17은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 건조 장치의 결합체 생성 단계를 나타내는 도면이다.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치가 결합체를 건조부에 투입하고, 건조가 완료된 결합체를 배출하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치가 결합체로부터 기판을 분리하여 기판을 배출하고 지그를 복귀시키는 모습을 나타내는 도면이다.
본 발명의 목적 및 효과는 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이나 하기의 기재만으로 본 발명의 목적 및 효과가 제한되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한 도면에서 본 발명을 명확하게 개시하기 위해서 본 발명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 도면에서 동일하거나 유사한 부호들은 동일하거나 유사한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치의 사시도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치는 투입부(100); 건조부(200); 및 배출부(300)를 포함하여 구성된다.
투입부(100)는 상부지그(21)와 하부지그(22) 사이에 기판(10)을 고정하여 결합체(30)를 생성하는 구성이며, 건조부(200)는 투입부(100)가 생성한 상기 결합체(30)를 건조하는 구성이고, 배출부(300)는 건조부(200)가 건조한 결합체(30)로부터 기판(10)을 분리하여 배출하고, 상부지그(21)와 하부지그(22)를 투입부(100)로 복귀시키는 구성이다.
본 발명에 따른 지그(20)는 기판(10)을 이송하기 위해 마그네틱 방식으로 제작된 거치대로, 상부지그(21)와 하부지그(22) 한 쌍으로 구성되어 상부지그(21)와 하부지그(22) 사이에 기판(10)을 고정하여 이송하도록 구비된다. 이와 같이 본 발명에 따른 기판 건조 장치는 상부지그(21)와 하부지그(22) 사이에 기판(10)을 고정하여 결합체(30)를 생성하고 결합체(30)를 건조하도록 구비됨으로써, 기판(10)의 손상 및 오염을 최소화하는 상태에서 건조를 수행하는 효과가 있다.
이하, 도 2 내지 도 7을 참조하여 투입부(100)의 구성요소에 대해 상세히 살펴보도록 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 투입부(100)의 사시도이다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 투입부(100)는, 컨베이어(110); 정렬유닛(120); 결합유닛(130); 및 지그투입부(140);를 포함하여 구성된다.
도면을 통해 각 구성을 상세히 살펴보기에 앞서 투입부(100)에서 수행하는 작업을 간략히 살펴보도록 한다. 컨베이어(110)에 투입된 기판(10)을 정렬유닛(120)에서 정렬하며, 정렬된 기판(10)을 상부지그(21)와 하부지그(22) 사이에 결합하여 결합체(30)를 생성하고, 생성된 결합체(30)를 클램핑하여 건조부(200)로 투입하게 된다.
보다 바람직한 실시예로, 후술할 건조부(200)에 리턴컨베이어가 더 구비되는 경우, 리턴컨베이어에 의해 투입부(100)로 복귀되는 지그(20)를 제2 리프트(150)가 상승시켜 공급하도록 구비될 수 있다. 이와 같이 복귀되는 지그(20)는 상부지그(21)와 하부지그(22)가 한 쌍으로 결합된 형태로 공급되므로, 이를 인계받은 결합유닛(130)에서 상부지그(21)와 하부지그(22) 사이에 기판(10)이 결합될 공간이 생기도록 두 지그(21, 22)를 분리할 수 있다.
다른 바람직한 실시예로, 도 2에는 도시되지 않았으나, 투입부(100)는 건조부(200)와 인접한 부분에서 건조부(200)로부터 배출되는 열을 배기하기 위해, 배기팬과 급기팬이 상단에 구비되도록 실시될 수 있다.
이하, 도 3 내지 도 7을 참조하여 투입부(100)의 각 구성요소에 대해 보다 상세히 살펴보도록 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어(110)의 사시도이다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어(110)는 기판(10)을 공급하는 구성으로, 기판진입센서(111), 기판도착확인센서(112), 스토퍼실린더(113) 및 QR코드리더기(114)를 더 포함하도록 구비될 수 있다.
기판진입센서(111)는 컨베이어(110)에 진입하는 기판(10)을 감지하는 구성이고, 기판도착확인센서(112)는 미리 지정된 컨베이어(110) 상면의 위치에 기판(10)이 도착하는 것을 감지하여 확인하는 구성이며, 스토퍼실린더(113)는 컨베이어(110)의 상면에서 이동하는 기판(10)이 미리 설정된 위치에 정지하도록 하는 구성이다.
QR코드리더기(114)는 코드화된 기판(10)의 제품정보를 인식하는 구성이다. 구체적으로, 건조부(200)에 기판(10)을 투입하기 전 건조조건과 동일한 제품인지 미리 식별하여 확인하는 구성이다.
또한, 도 3에는 도시되지 않았으나, 컨베이어(110)는 기판감속센서를 더 포함하도록 구비될 수 있다. 기판감속센서는 컨베이어(110)의 상면에서 이동하는 기판(10)이 스토퍼실린더(113)에 소정의 속도로 접근하여 정지할 수 있도록 기판(10)의 이동속도를 감소시키는 구성이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬유닛(120)의 사시도이다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬유닛(120)은 컨베이어(110)에 의해 공급된 기판(10)을 정렬하는 구성으로, 스토퍼(121) 및 정렬센서(122)를 포함하도록 구비될 수 있다.
스토퍼(121)는 컨베이어(110)에 의해 이송되는 기판(10)이 도 4의 <B>에 도시된 바와 같이 정렬유닛(120)의 상면에 지정된 소정의 위치에 정지하도록 하는 구성이고, 정렬센서(122)는 스토퍼(121)에 의해 이동을 멈춘 기판(10)을 정렬하여 기판(10)이 휘어짐 없이 후술할 상부지그(21)와 하부지그(22) 사이에 결합할 수 있도록 하는 구성이다.
또한, 도 4에는 도시되지 않았으나, 정렬유닛(120)은 기판의 감속여부와 도착여부를 확인하여 정렬 작업을 보다 정확하고 정밀하게 수행하기 위해, 기판감속확인센서 및 기판도착확인센서를 더 포함하도록 구비될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 결합유닛(130)의 사시도이다. 도 5의 <A>를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 결합유닛(130)은 상부지그(21)와 하부지그(22) 사이에 기판(10)을 결합하여 결합체(30)를 생성하고 결합체(30)를 이송하는 구성으로, 기판검출확인센서(131), 지그분리/결합실린더(137), 결합해제실린더(139), 클램프실린더(132) 및 클램프전후실린더(133)를 포함하도록 구비될 수 있다. 보다 상세하게, 도 5의 <B>에 도시된 바와 같이, 결합유닛(130)은 좌우서보유닛(134) 및 서보모터(135)를 포함하도록 구비될 수 있다.
기판검출확인센서(131)는 정렬유닛(120)에 위치하는 상부지그(21)와 하부지그(22)사이에 기판(10)이 위치했는지 여부를 검출하는 센서이며, 지그분리/결합실린더(137) 및 결합해제실린더(139)는 기판(10)의 상면과 하면에 각각 상부지그(21)와 하부지그(22)를 결합하기 위한 구성이고, 클램프실린더(132) 및 클램프전후실린더(133)는 생성된 결합체(30)를 클램핑하여 이송하기 위한 구성이다.
또한, 도 5에는 도시되지 않았으나, 결합유닛(130)은 지그 및 기판(10)에 가해지는 압력 및 기판(10)의 휘어짐을 측정하여 보다 정밀하고 기판(10)의 손상 없는 결합 작업을 수행하기 위해, 로드셀 및 휨검출확인센서를 더 포함하도록 구비될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 지그투입부(140)의 사시도이다. 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 지그투입부(140)는 결합유닛(130)에 의해 이송된 상기 결합체(30)를 클램핑하여 상기 건조부(200)로 투입시키는 구성으로, 지그클램프실린더(141)를 더 포함하여 구비된다.
또한, 도 6에는 도시되지 않았으나, 지그투입부(140)는 결합체(30)가 지그(20)와 기판(10)의 누락없이 온전히 결합되었는지 여부를 확인하여 건조부(200)에 불량품이 투입되는 것을 방지하기 위해, 지그검출센서 및 기판검출센서를 더 포함하도록 구비될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 리프트(150)의 사시도이다. 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 리프트(150)는 리턴컨베이어에 의해 투입부(100)로 복귀된 지그를 상승시켜 결합유닛(130)에 공급하는 구성으로, 지그가 적재된 경우에만 작동하기 위해 지그검출센서(152)를 더 포함하도록 구비될 수 있다.
이하, 도 8 내지 도 14를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 배출부(300)를 설명하기에 앞서, 건조부(200)에 대해 보다 상세히 설명하도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 건조부(200)는 시즈히터의 발생열을 송풍용 FAN으로 OVEN 내부에 강제 순환하여 온도 분포가 양호하며, 기판(10) 표면을 안정적으로 가열할 수 있는 고효율 가열, 건조, 냉각 시스템으로 구성된다. 순환시스템은 가열된 내부에 균일한 풍속, 풍량으로 정형적인 형태의 공기 순환을 제공하므로 내부의 온도 분포를 정밀하게 유지하는 효과가 있다.
건조부(200)에 대한 보다 바람직한 실시예로, 건조부(200)는 상부에 설치되어 건조부(200) 내부에 위치하는 결합체(30)를 미리 설정된 소정의 속도로 이송시키는 이송빔을 더 포함하도록 구비될 수 있다. 이송빔은 워킹빔타입으로 구동하여 건조가 완료된 결합체(30)를 건조부(200)의 출구단을 통해 1개씩 배출하도록 구비되는 것이 바람직할 것이다.
또한, 건조부(200)는 가열장치의 과승온을 방지하기 위한 서모스텟(Thermostat), 건조과정에서 발행하는 화학물질 등을 흡착하기 위한 필터 등을 더 포함하도록 구비될 수 있다. 이 때, 필터는 헤파(Hepa)필터로 구비되는 것이 바람직할 것이다.
이하, 도 8 내지 도 14를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 배출부(300) 및 그 구성 요소를 보다 상세히 살펴보도록 한다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 배출부(300)의 사시도이다. 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 배출부(300)는 지그배출부(310); 분리유닛(320); 이송컨베이어(330); 및 배출컨베이어(340)를 포함하여 구성된다.
도면을 통해 각 구성을 상세히 살펴보기에 앞서 배출부(300)에서 수행하는 작업을 간략히 살펴보도록 한다. 건조부(200)에서 건조를 마친 결합체(30)가 건조부(200)의 출구단에 도착하면 지그배출부(310)가 결합체(30)를 회전 배출하고, 분리유닛(320)이 결합체(30)로부터 기판(10)을 분리하고, 기판(10)을 이송컨베이어(330)와 배출컨베이어(340) 순으로 배출하게 된다.
보다 바람직한 실시예로, 분리유닛(320)에 의해 기판(10)이 제거된 상부지그(21) 및 하부지그(22)를 제1 리프트(350)가 하강시켜 리턴컨베이어에 공급하도록 구비될 수 있다.
이하, 도 9 내지 도 14를 참조하여 배출부(300)의 각 구성요소에 대해 보다 상세히 살펴보도록 한다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그배출부(310)의 사시도이다. 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 지그배출부(310)는 건조부(200)의 출구단에서 건조가 완료된 결합체(30)를 받는 구성으로, 회전서보유닛(311), 지그클램핑유닛(312) 및 지그클램핑실린더(313)을 포함하여 구성된다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 분리유닛(320)의 사시도이다. 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 분리유닛(320)은 결합체(30)로부터 기판(10)을 분리하는 구성으로, 기판검출확인센서(321), 지그분리/결합실린더(327), 결합해제실린더(328), 클램프실린더(322) 및 클램프전후실린더(323)를 포함하도록 구비될 수 있다. 보다 상세하게, 도 10의 <B>에 도시된 바와 같이, 분리유닛(320)은 좌우서보유닛(324) 및 서보모터(325)를 포함하도록 구비될 수 있다
기판검출확인센서(321)는 분리유닛(320)에 위치하는 상부지그(21)와 하부지그(22)사이에 기판(10)이 위치했는지 여부를 검출하는 센서이며, 지그분리/결합실린더(327) 및 결합해제실린더(328)는 기판(10)의 상면과 하면으로부터 각각 상부지그(21)와 하부지그(22)를 분리하기 위한 구성이고, 클램프실린더(322) 및 클램프전후실린더(323)는 지그배출부(310)로부터 결합체(30)를 클램핑하여 이송하기 위한 구성이다.
또한, 도 10에는 도시되지 않았으나, 분리유닛(320)은 지그 및 기판(10)에 가해지는 압력 및 기판(10)의 휘어짐을 측정하여 보다 정밀하고 기판(10)의 손상 없는 분리 작업을 수행하기 위해, 로드셀 및 휨검출확인센서를 더 포함하도록 구비될 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송컨베이어(330)의 사시도이고, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판누름유닛(U)의 사시도이이며, 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 배출컨베이어(340)의 사시도이고, 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 리프트(350)의 사시도이다.
도 11 내지 도 14를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송컨베이어(330)는 분리유닛(320)에 의해 분리된 기판(10)을 이송하는 구성이고, 배출컨베이어(340)는 기판(10)을 배출하는 구성이며, 기판누름유닛(U)은 하부지그(22)가 분리유닛(320)에 의해 결합체(30)로부터 분리된 이후 기판(10)의 상면에 소정의 힘을 가해 상부지그(21)의 하면으로부터 기판(10)을 분리하는 구성이고, 제1 리프트(350)는 분리유닛(320)으로부터 리턴컨베이어로 하강하여 지그(20)를 이송하는 구성으로, 지그(20)가 적재된 경우에만 작동하기 위해 지그검출센서를 더 포함하도록 구비될 수 있다.
보다 바람직한 실시예로, 배출컨베이어(340)는 기판확인센서를 더 포함하도록 구비될 수 있다. 또한, 상기한 기판 건조 장치는, 보다 용이한 조작을 위해 터치스크린부를 통해 조작이 가능한 제어부를 더 포함하도록 구비될 수 있을 것이다.
이하, 도 15 내지 도 19를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치의 기판 건조 방법에 대해 설명하도록 한다. 도 15를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조 장치는, 기판 공급 단계(S100); 기판 정렬 단계(S200); 지그 공급 단계(S300); 결합체 생성 단계(S400); 결합체 투입 단계(S500); 건조 단계(S600); 결합체 배출 단계(S700); 기판 분리 단계(S800); 기판 배출 단계(S900); 및 지그 복귀 단계(S1000);를 포함하는 기판 건조 방법을 실시한다.
기판 공급 단계(S100)는 투입부(100)의 컨베이어(110)가 기판(10)을 공급하는 단계이고, 기판 정렬 단계(S200)는 정렬유닛(120)이 기판(10)을 정렬하는 단계이며, 지그 공급 단계(S300)는 제2 리프트(150)가 리턴컨베이어로부터 상부지그(21) 및 하부지그(22)를 상승시켜 결합유닛(130)에 공급하는 단계이다.
보다 상세하게, 도 16을 참조하면, 기판 공급 단계(S100)에서 기판(10)의 투입이 확인되면 기판 정렬 단계(S200)에서 정렬유닛(120)이 기판(10)을 정렬하고, 제2 리프트(150)가 리턴컨베이어로부터 상부지그(21) 및 하부지그(22)를 상승시켜 지그 공급 단계(S300)를 수행하게 된다.
결합체 생성 단계(S400)는 결합유닛(130)이 상부지그(21)와 하부지그(22) 사이에 기판(10)을 결합하여 결합체(30)를 생성하는 단계이다. 구체적으로, 도 17을 참조하면, 결합체 생성 단계(S400)는 지그분리단계(S401); 기판이송단계(S402); 및 지그합체단계(S403)를 포함하여 실시될 수 있다. 지그분리단계(S401)는, 제2 리프트(150)에 의해 공급된 상부지그(21) 및 하부지그(22) 중 하부지그(22)를 하강시킴으로써 상부지그(21)와 하부지그(22)를 서로 분리하는 단계이다. 기판이송단계(S402)는, 분리되어 이격된 공간이 생긴 상부지그(21)와 하부지그(22)의 사이에 기판(10)을 이송하는 단계이다. 지그합체단계(S403)는, 상부지그(21)와 하부지그(22)를 결합함으로써 상부지그(21), 기판(10), 하부지그(22)의 세 구성이 결합되어 형성되는 결합체(30)를 생성하는 단계이다.
결합체 투입 단계(S500)는 지그투입부(140)가 결합체(30)를 클램핑하여 건조부(200)로 투입하는 단계이고, 건조 단계(S600)는 건조부(200)가 결합체(30)를 건조하는 단계이며, 결합체 배출 단계(S700)는 지그배출부(310)가 건조부(200)의 출구단에서 건조가 완료된 결합체(30)를 배출하는 단계이다.
구체적으로 도 18을 참조하면, 결합체 투입 단계(S500)는 클램핑단계(S501); 및투입단계(S502);를 포함하도록 실시될 수 있다. 클랩핑단계(S501)은 지그투입부(140)가 결합체(30)로 접근하도록 하강하여 지그클램프실린더(141)로 결합체(30)를 클램핑하는 단계이며, 이후에 실시되는 투입단계(S502)에서 지그투입부(140)의 회전서보유닛(미도시)이 회전함으로써 건조부(200)로 결합체(30)를 투입하게 된다. 이후, 건조 단계(S600)를 거쳐 건조가 완료된 결합체(30)를 지그배출부(310)의 회전서보유닛(미도시)이 회전함으로써 배출하게 된다.
기판 분리 단계(S800)는 분리유닛(320)이 결합체(30)로부터 기판(10)을 분리하는 단계이고, 기판 배출 단계(S900)는 이송컨베이어(330)가 기판(10)을 이송하고, 배출컨베이어(340)가 기판(10)을 배출하는 단계이며, 지그 복귀 단계(S1000)는 제1 리프트(350)가 분리유닛(320)에 의해 분리된 상부지그(21) 및 하부지그(22)를 하강시켜 리턴컨베이어에 공급하는 단계이다.
구체적으로 도 19를 참조하면, 지그배출부(310)에 의해 배출된 결합체(30)가 이송되면, 기판 분리 단계(S800)에서 분리유닛(320)이 하부지그(22)를 하강시킴으로써 결합체(30)로부터 기판(10)을 분리하게 된다. 보다 바람직하게, 상부지그(21)를 상승시키고 하부지그(22)를 하강시켜 기판(10)을 분리하도록 실시할 수 있다. 이후, 기판 배출 단계(S900)에서 이송컨베이어(330)가 기판(10)을 배출컨베이어(340)로 이송하고, 배출컨베이어(340)가 기판(10)을 배출하게 된다. 이 때, 분리유닛(320)에 의해 분리된 상부지그(21) 및 하부지그(22)가 제1 리프트(350)에 의해 하강하여 리턴컨베이어로 공급되는 지그 복귀 단계(S1000)가 동시에 수행될 수 있다.
상기한 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적으로 개시된 것이고, 본 발명에 대해 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경 및 부가가 가능할 것이며 이러한 수정, 변경 및 부가는 상기의 특허청구 범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다. 또한 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니다.
상술한 예시적인 시스템에서, 방법들은 일련의 단계 또는 블록으로써 순서도를 기초로 설명되고 있지만, 본 발명은 단계들의 순서에 한정되는 것은 아니며, 어떤 단계는 상술한 바와 다른 단계와 다른 순서로 또는 동시에 발생할 수 있다. 또한, 당업자라면 순서도에 나타낸 단계들이 배타적이지 않고, 다른 단계가 포함되거나 순서도의 하나 또는 그 이상의 단계가 본 발명의 범위에 영향을 미치지 않고 삭제될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 투입부 110 : 컨베이어
120 : 정렬유닛 130 : 결합유닛
140 : 지그투입부 150 : 제2 리프트
200 : 건조부
300 : 배출부 310 : 지그배출부
320 : 분리유닛 U : 기판누름유닛
330 : 이송컨베이어 340 : 배출컨베이어
350 : 제1 리프트 10 : 기판
20 : 지그 21 : 상부지그
22 : 하부지그 30 : 결합체
120 : 정렬유닛 130 : 결합유닛
140 : 지그투입부 150 : 제2 리프트
200 : 건조부
300 : 배출부 310 : 지그배출부
320 : 분리유닛 U : 기판누름유닛
330 : 이송컨베이어 340 : 배출컨베이어
350 : 제1 리프트 10 : 기판
20 : 지그 21 : 상부지그
22 : 하부지그 30 : 결합체
Claims (8)
- 상부지그(21)와 하부지그(22) 사이에 기판(10)을 고정하여 결합체(30)를 생성하는 투입부(100);
상기 투입부(100)가 생성한 상기 결합체(30)를 건조하는 건조부(200); 및
상기 건조부(200)가 건조한 상기 결합체(30)로부터 상기 기판(10)을 분리하여 배출하고, 상기 상부지그(21)와 하부지그(22)를 상기 투입부(100)로 복귀시키는 배출부(300);를 포함하되,
상기 투입부(100)는,
상기 기판(10)을 공급하는 컨베이어(110);
상기 컨베이어(110)에 의해 공급된 상기 기판(10)을 정렬하는 정렬유닛(120);
상기 상부지그(21)와 상기 하부지그(22) 사이에 상기 기판(10)을 결합하여 상기 결합체(30)를 생성하고, 상기 결합체(30)를 이송하는 결합유닛(130); 및
상기 결합유닛(130)에 의해 이송된 상기 결합체(30)를 클램핑하여 상기 건조부(200)로 투입시키는 지그투입부(140);를 더 포함하고,
상기 배출부(300)는,
상기 건조부(200)의 출구단에서 건조가 완료된 상기 결합체(30)를 받는 지그배출부(310);
상기 결합체(30)로부터 상기 기판(10)을 분리하는 분리유닛(320);
상기 기판(10)을 이송하는 이송컨베이어(330);
상기 기판(10)을 배출하는 배출컨베이어(340);
상기 분리유닛(320)에 의해 분리된 상기 상부지그(21) 및 하부지그(22)를 상기 투입부(100)로 복귀시키는 리턴컨베이어; 및
상기 분리유닛(320)으로부터 상기 리턴컨베이어로 하강하여 상기 상부지그(21) 및 하부지그(22)를 이송하는 제1 리프트(350);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 건조부(200)는,
상기 건조부(200)의 상부에 설치되어 상기 건조부(200) 내부에 위치하는 상기 결합체(30)를 미리 설정된 소정의 속도로 이송시키는 이송빔;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 분리유닛(320)은,
상기 하부지그(22)가 상기 결합체(30)로부터 분리된 이후 상기 기판(10)의 상면에 소정의 힘을 가해 상기 상부지그(21)의 하면으로부터 상기 기판(10)을 분리하는 기판누름유닛(U);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 투입부(100)는,
상기 리턴컨베이어에 의해 상기 투입부(100)로 복귀된 상기 상부지그(21) 및 하부지그(22)를 상승시켜 상기 결합유닛(130)에 공급하는 제2 리프트(150);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 투입부(100)의 컨베이어(110)가 기판(10)을 공급하는 기판 공급 단계(S100);
정렬유닛(120)이 상기 기판(10)을 정렬하는 기판 정렬 단계(S200);
제2 리프트(150)가 리턴컨베이어로부터 상부지그(21) 및 하부지그(22)를 상승시켜 결합유닛(130)에 공급하는 지그 공급 단계(S300);
상기 결합유닛(130)이 상기 상부지그(21)와 상기 하부지그(22) 사이에 상기 기판(10)을 결합하여 결합체(30)를 생성하는 결합체 생성 단계(S400);
지그투입부(140)가 상기 결합체(30)를 클램핑하여 건조부(200)로 투입하는 결합체 투입 단계(S500);
상기 건조부(200)가 상기 결합체(30)를 건조하는 건조 단계(S600);
지그배출부(310)가 상기 건조부(200)의 출구단에서 건조가 완료된 상기 결합체(30)를 배출하는 결합체 배출 단계(S700);
분리유닛(320)이 상기 결합체(30)로부터 상기 기판(10)을 분리하는 기판 분리 단계(S800);
이송컨베이어(330)가 상기 기판(10)을 이송하고, 배출컨베이어(340)가 상기 기판(10)을 배출하는 기판 배출 단계(S900);
제1 리프트(350)가 상기 분리유닛(320)에 의해 분리된 상기 상부지그(21) 및 상기 하부지그(22)를 하강시켜 상기 리턴컨베이어에 공급하는 지그 복귀 단계(S1000);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 방법.
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