KR20180062104A - 기판건조장치 - Google Patents

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KR20180062104A
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Abstract

롤투롤 방식의 건조 공정에서 기판의 건조 품질을 개선할 수 있는 기판건조장치가 제공된다. 기판건조장치는, 내부를 고압가스로 양압 환경을 구성함으로써, 플렉서블 기판이 인입되는 인입부와 플렉서블 기판이 인출되는 인출부를 통해 고압가스를 배출하여 외부 공기의 유입을 차단한다.

Description

기판건조장치{Substrate drying apparatus}
본 발명은 기판건조장치에 관한 것으로, 특히 롤투롤(Roll-to-Roll) 방식의 건조 공정에서 기판의 건조 품질을 개선할 수 있는 기판건조장치에 관한 것이다.
최근 디지털 기술의 발전으로 인하여 터치패널, OLED 등과 같이, 현재 상용화되어 있는 평판표시장치의 고기능화 연구를 중심으로 차세대 표시장치의 개발이 활발히 진행되고 있다. 이 중, 플렉서블 표시장치는 표시장치의 특성에 손실을 가져오지 않으면서 구부리거나 접을 수 있는 표시장치로, 기존의 평판표시장치의 대체뿐만 아니라 전자종이 등과 같은 차세대 표시장치 등에 적용된다.
플렉서블 표시장치는 플렉서블 기판 상에 유기발광다이오드 등과 같은 패턴들을 형성하여 구성된다. 플렉서블 표시장치는 플렉서블 기판이 감겨있는 롤을 이용한 롤투롤(Roll-to-Roll) 방식을 이용하여 제조된다.
여기서, 플렉서블 기판은 합성수지 등으로 이루어진 필름이 사용된다. 그러나, 필름은 생산 공정 중에 수분 또는 기름 등과 같은 오염물질인 아웃개싱(outgassing)이 표면에 잔존된다. 이에 따라, 플렉서블 표시장치의 증착 공정에서는 필름 표면의 아웃개싱에 의해 금속물질의 증착률이 저하된다. 따라서, 플렉서블 표시장치는 증착 공정 전에 반드시 필름, 즉 플렉서블 기판에 대한 아웃개싱을 제거하는 공정, 즉 건조 공정이 이루어져야 한다.
도 1은 종래의 롤투롤 방식의 기판건조장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 기판건조장치(20)는 롤투롤 방식으로 플렉서블 기판(40)을 제공받고, 이에 대한 건조 공정을 수행하여 기판의 수분 등과 같은 아웃개싱을 제거한다.
이를 살펴보면, 플렉서블 기판(40)이 감겨있는 언와인딩(unwinding roll) 롤(10)로부터 플렉서블 기판(40)이 언와인딩되어 기판건조장치(20) 내부로 인입된다. 이어, 기판건조장치(20) 내부의 건조유닛(미도시)이 동작되어 플렉서블 기판(40)에 잔존하고 있는 수분 등을 건조시킨다. 건조 공정이 완료된 플렉서블 기판(40)은 리와인딩(rewinding roll) 롤(30)에 의해 기판건조장치(20)로부터 인출되며, 리와인딩 롤(30)에 감겨 후속 공정, 예컨대 증착장치로 이송된다. 여기서, 도면부호 25는 기판건조장치(20) 내부에서 플렉서블 기판(40)을 이송하는 롤러이다.
상술한 종래의 건조 공정에서, 언와인딩 롤(10) 및 리와인딩 롤(30)은 대기압(atmospheric pressure) 환경에 배치된다. 이에 따라, 언와인딩 롤(10)에 의해 플렉서블 기판(40)이 기판건조장치(20)의 내부로 인입될 때, 대기 중의 수분이 플렉서블 기판(40)과 함께 내부로 인입된다. 또한, 리와인딩 롤(30)에 의해 플렉서블 기판(40)이 기판건조장치(20)의 외부로 인출될 때, 건조 된 플렉서블 기판(40)이 다시 대기 중에 노출되므로 플렉서블 기판(40)에 수분이 재흡습되어 기판의 품질 저하가 발생된다.
본 발명은 롤투롤 방식의 건조 공정에서 플렉서블 기판의 건조 품질을 개선하여 품질 저하를 방지할 수 있는 기판건조장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판건조장치는, 일체로 구성된 인입부, 인출부 및 몸체부를 포함한다.
인입부에는 언와인딩 롤러로부터 플렉서블 기판이 인입되고, 인출부는 몸체부로부터 리와인딩 롤러에 플렉서블 기판을 인출한다.
몸체부는 내부에 고압가스로 인한 양압 환경이 구성되고, 인입부를 통해 제공된 플렉서블 기판을 적어도 하나의 건조유닛을 이용하여 건조한다.
인입부 및 인출부는 몸체부에서 외부로 고압가스를 배출하여 외부 공기 유입을 차단한다.
본 발명에 따른 기판건조장치는, 내부를 외부 대기압보다 큰 압력을 갖는 양압 환경으로 구성함으로써, 플렉서블 기판이 인입되는 인입부 및 플렉서블 기판이 인출되는 인출부에서 내부의 고압가스가 배출되도록 할 수 있다. 따라서, 기판건조장치는 인입부 및 인출부를 통해 외부 공기가 유입되는 것을 차단하여 플렉서블 기판의 건조 효율을 높일 수 있다.
또한, 본 발명의 기판건조장치는, 인출부의 끝단에 양압 환경으로 외부와 밀폐되는 카트리지를 결합하고, 그 내부에 리와인딩 롤러를 배치할 수 있다. 따라서, 기판건조장치는 건조가 완료되어 리와인딩 롤러에 감기는 플렉서블 기판의 건조 품질을 유지할 수 있다.
또한, 본 발명의 기판건조장치는, 내부가 진공 환경이 아닌 양압 환경으로 구성되므로, 진공 환경의 기판건조장치와 대비하여 장치의 건조공정의 시간을 감소시킬 수 있다.
도 1은 종래의 롤투롤 방식의 기판건조장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 기판건조장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2의 기판건조장치의 단면을 나타내는 도면이다.
도 4a 및 도 4b는 도 2의 기판건조장치의 인입부의 단면을 나타내는 도면들이다.
도 5는 도 2의 기판건조장치의 인출부의 단면을 나타내는 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판건조장치를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 기판건조장치를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 3은 도 2의 기판건조장치의 단면을 나타내는 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시예의 기판건조장치(100)는 롤투롤 방식으로 필름, 즉 플렉서블 기판(400)을 제공받아 건조 공정을 수행함으로써, 플렉서블 기판(400)에 잔존된 수분 등과 같은 오염물질을 제거할 수 있다. 이에, 기판건조장치(100)에 인접되어 언와인딩 롤러(200) 및 리와인딩 롤러(300)가 각각 배치될 수 있다. 언와인딩 롤러(200)에는 기판건조장치(100)에 의해 건조 공정이 수행될 플렉서블 기판(400)이 감겨있다. 리와인딩 롤러(300)에는 기판건조장치(100)에 의해 건조 공정이 완료된 플렉서블 기판(400)이 감겨있다.
본 실시예의 기판건조장치(100)는 몸체부(110), 인입부(120) 및 인출부(130)를 포함할 수 있다. 몸체부(110), 인입부(120) 및 인출부(130)는 일체로 구성될 수 있다. 인입부(120)와 인출부(130)는 몸체부(110)의 동일한 일 측벽에 구성되거나 또는 서로 다른 측벽들에 각각 구성될 수 있다.
몸체부(110)는 인입부(120)를 통해 제공된 플렉서블 기판(400)을 건조한 후, 이를 인출부(130)를 통해 외부로 인출할 수 있다. 몸체부(110)는 하나 이상의 건조유닛(111, 113) 및 플렉서블 기판(400)을 이송시키는 다수의 이송롤러들(115)을 포함할 수 있다. 또한, 몸체부(110)의 일 측벽에는 인입부(120)에 대응되는 개구부(미도시)와 인출부(130)에 대응되는 개구부(미도시)가 형성될 수 있다.
건조유닛(111, 113)은 인입부(120)를 통해 인입된 플렉서블 기판(400)에 열을 가하여 수분 등과 같은 오염물질을 증발시킬 수 있다. 건조유닛(111, 113)은 제1건조유닛(111) 및 제2건조유닛(113)을 포함할 수 있다.
제1건조유닛(111)은 인입부(120)에 인접되어 배치되며, 인입부(120)를 통해 인입된 플렉서블 기판(400)에 열을 가하여 수분을 증발시킬 수 있다. 제1건조유닛(111)은 다수의 히터(미도시)를 포함할 수 있다. 제1건조유닛(111)은 플렉서블 기판(400)의 일면에 대한 건조 공정을 수행하거나 또는 플렉서블 기판(400)의 양면에 대한 건조 공정을 수행할 수 있다.
제2건조유닛(113)은 인출부(130)에 인접되어 배치되며, 제1건조유닛(111)으로부터 다수의 이송롤러들(115)을 통해 제공된 1차 건조된 플렉서블 기판(400)에 열을 가하여 수분을 증발시킬 수 있다. 제2건조유닛(113)은 다수의 히터(미도시)를 포함할 수 있다. 제2건조유닛(113)은 플렉서블 기판(400)이 일면 또는 양면에 대해 건조 공정을 수행할 수 있다.
상술된 기판건조장치(100)의 몸체부(110)는 그 내부가 양압(positive pressure)의 환경으로 구성될 수 있다. 다시 말해, 기판건조장치(100)의 외부는 대기압의 환경일 수 있다. 이에 비해, 기판건조장치(100)의 몸체부(110) 내부는 외부의 대기압보다 큰 압력을 갖는 양압의 환경으로 구성될 수 있다. 따라서, 기판건조장치(100)의 몸체부(110)는 외부 대기압과의 압력차이로 인해 외부 공기가 유입되는 것이 차단될 수 있다. 여기서, 몸체부(110)는 고온의 가스, 예컨대 질소(N2)가스로 양압의 환경을 구성할 수 있으나, 이에 제한되지는 않는다.
예컨대, 기판건조장치(100)의 몸체부(110) 내부는 고온의 가스에 의해 외부보다 큰 압력을 가지며, 이에 내부의 고압가스는 인입부(120) 및 인출부(130)를 통해 외부, 즉 기판건조장치(100)의 외부로 배출될 수 있다. 이때, 고압가스는 인입부(120)를 통해 플렉서블 기판(400)의 인입 방향과 반대의 방향으로 배출되고, 인출부(130)를 통해 플렉서블 기판(400)의 인출 방향과 동일한 방향으로 배출될 수 있다. 따라서, 본 실시예의 기판건조장치(100)는 인입부(120)를 통해 몸체부(110)로 플렉서블 기판(400)이 인입될 때, 외부 공기가 함께 유입되는 것을 방지할 수 있고, 인출부(130)를 통해 몸체부(110)로부터 플렉서블 기판(400)이 인출될 때, 외부 공기가 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이에 대하여, 후에 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명하기로 한다.
인입부(120)는 몸체부(110)의 일 측벽에 형성된 개구부에 대응되어 구성되며, 외부의 언와인딩 롤러(200)로부터 제공된 플렉서블 기판(400)을 몸체부(110)로 인입시킬 수 있다. 인입부(120)에는 내부에 소정의 통로가 구성되며, 플렉서블 기판(400)은 인입부(120)의 내부 통로를 통해 몸체부(110)로 인입될 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 도 2의 기판건조장치의 인입부의 단면을 나타내는 도면들이다.
도 4a를 참조하면, 본 실시예의 인입부(120)는 몸체부(110)의 일 측벽으로부터 소정 길이로 연장되도록 구성될 수 있다. 인입부(120)는 서로 이격되어 나란하게 배치된 인입연장부들, 예컨대 제1연장부(123a) 및 제2연장부(123b)를 포함할 수 있다. 제1연장부(123a) 및 제2연장부(123b)는 일정한 간격으로 이격되어 배치되며, 이에 따라 제1연장부(123a)와 제2연장부(123b)의 내측 사이에는 소정 높이를 갖는 인입통로(123c)가 형성될 수 있다. 인입통로(123c)는 몸체부(110)의 일 측벽에 형성된 개구부에 대응될 수 있다.
제1연장부(123a) 및 제2연장부(123b) 각각은 그 단면이 사각 형태일 수 있다. 이에 따라, 제1연장부(123a) 및 제2연장부(123b)에 의해 형성된 인입통로(123c) 역시 일측과 타측의 높이가 동일한 사각 형태일 수 있다. 여기서, 인입통로(123c)의 일측은 몸체부(110)의 개구부에 인접되는 부분이고, 타측은 플렉서블 기판(400)이 인입되는 부분일 수 있다.
한편, 기판건조장치(100)의 몸체부(110) 내부가 양압의 환경으로 구성되므로, 인입부(120)의 내부, 즉 인입통로(123c) 역시 양압의 환경을 가지게 된다. 이에 따라, 인입부(120)의 인입통로(123c)에서는 일측에서 타측, 즉 플렉서블 기판(400)의 인입 방향과 반대의 방향으로 고압가스가 배출될 수 있다. 이와 같이, 인입부(120)의 인입통로(123c)에서 플렉서블 기판(400)의 인입 방향과 반대 방향으로 배출되는 고압가스로 인해 외부 공기가 인입부(120)의 내부로 유입되는 것이 차단될 수 있으며, 이는 기판건조장치(100)의 내부에서 수행되는 플렉서블 기판(400)의 건조 공정 효율을 높일 수 있다.
또한, 인입통로(123c)에는 적어도 하나의 에어커튼(127)이 배치될 수 있다. 에어커튼(127)은 인입통로(123c)의 일측에서 타측 방향으로 고압의 가스를 분출할 수 있다. 이에 따라, 인입통로(123c)에서 플렉서블 기판(400)의 인입 방향과 반대 방향으로 배출되는 고압가스의 배출압력을 더욱 증가시킬 수 있고, 이로 인해 외부 공기의 유입을 차단하여 플렉서블 기판(400)의 건조 공정 효율을 더욱 높일 수 있다. 여기서, 에어커튼(127)에서 분출되는 고압의 가스는 몸체부(110) 내부에 충진된 가스와 동일할 수 있으나 이에 제한되지는 않는다.
도 4b를 참조하면, 본 실시예의 인입부(121)는 몸체부(110)의 일 측벽으로부터 서로 나란하게 연장되어 배치된 제1연장부(125a) 및 제2연장부(125b)를 포함할 수 있다. 제1연장부(125a) 및 제2연장부(125b)는 소정 간격으로 이격되어 배치되며, 이들 내측으로 소정 높이를 갖는 인입통로(125c)가 형성될 수 있다. 인입통로(125c)는 몸체부(110)의 일 측벽에 형성된 개구부에 대응될 수 있다.
제1연장부(125a) 및 제2연장부(125b) 각각은 그 단면이 사다리꼴 형태일 수 있다. 이에 따라, 제1연장부(125a) 및 제2연장부(125b)에 의해 형성되는 인입통로(125c)는 일측과 타측의 높이가 서로 다른 삼각 형태일 수 있다. 여기서, 인입통로(125c)는 일측, 즉 몸체부(110)의 개구부에 인접된 부분에서 타측, 즉 플렉서블 기판(400)이 인입되는 부분으로 갈수록 높이가 감소되는 형태를 가질 수 있다.
이와 같이, 본 실시예의 인입부(121)는 서로 다른 높이를 갖는 인입통로(125c)를 구성함으로써, 인입통로(125c)에서 플렉서블 기판(400)의 인입 방향과 반대의 방향으로 배출되는 고압가스의 배출압력이 증가될 수 있다. 이에 따라, 인입통로(125c)의 타측에서 플렉서블 기판(400)과 함께 외부 공기가 유입되는 것을 차단할 수 있으며, 이로 인해 기판건조장치(100)의 내부에서 수행되는 플렉서블 기판(400)의 건조 공정 효율이 높아질 수 있다.
또한, 인입통로(125c)에는 일측에서 타측 방향으로 고압의 가스를 분출하는 하나 이상의 에어커튼(127)이 배치될 수 있다. 이러한 에어커튼(127)으로 인해 인입통로(125c)에서 플렉서블 기판(400)의 인입 방향과 반대 방향으로 배출되는 고압가스의 배출압력이 더 증가될 수 있다. 따라서, 인입통로(125c)에 대한 외부 공기의 유입이 더욱 차단되므로, 플렉서블 기판(400)의 건조 공정 효율을 더욱 높일 수 있다.
다시 도 3을 참조하면, 기판건조장치(100)의 인출부(130)는 몸체부(110)의 일 측벽에 형성된 개구부에 대응되어 구성되며, 몸체부(110)로부터 건조가 완료된 플렉서블 기판(400)은 외부의 리와인딩 롤러(300)에 인출할 수 있다. 인출부(130)의 내부에는 플렉서블 기판(400)이 인출될 수 있는 소정의 통로가 구성될 수 있다. 인출부(130)는 리와인딩 롤러(300)까지 연장되어 구성될 수 있다.
도 5는 도 2의 기판건조장치의 인출부의 단면을 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 본 실시예의 인출부(130)는 몸체부(110)의 일 측벽으로부터 소정 길이로 연장되도록 구성될 수 있다. 인출부(130)는 서로 이격되어 나란하게 배치된 인출연장부들, 예컨대 제3연장부(131) 및 제4연장부(133)를 포함할 수 있다. 제3연장부(131) 및 제4연장부(133)는 일정한 간격으로 이격되어 배치될 수 있다. 이에 따라, 제3연장부(131)와 제4연장부(133) 사이에는 소정 높이를 갖는 인출통로(135)가 형성될 수 있다. 인출통로(135)는 몸체부(110)의 일 측벽에 형성된 개구부에 대응될 수 있다.
제3연장부(131) 및 제4연장부(133) 각각은 사각 형태의 단면 구조를 가질 수 있다. 이에, 인출통로(135)는 일측과 타측이 동일한 높이를 갖는 사각 형태일 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 제한되지는 않으며, 제3연장부(131) 및 제4연장부(133) 각각은 사다리꼴 형태의 단면 구조를 가질 수 있다. 이에, 인출통로(135)는 일측과 타측이 서로 다른 높이를 가질 수 있다. 여기서, 인출통로(135)의 일측은 몸체부(110)의 개구부에 인접된 부분이고, 타측은 플렉서블 기판(400)이 외부로 인출되는 부분이다.
그리고, 앞서 설명한 바와 같이, 기판건조장치(100)의 몸체부(110) 내부가 양압의 환경이므로, 인출부(130)의 인출통로(135)도 양압의 환경을 가지게 된다. 따라서, 인출통로(135)에서는 일측에서 타측, 즉 플렉서블 기판(400)의 인출 방향과 동일한 방향으로 고압가스가 배출될 수 있다. 이로 인해, 인출부(130)로 플렉서블 기판(400)이 인출될 때, 외부 공기가 인출부(130)로 유입되는 것을 차단할 수 있다.
인출부(130)의 연장방향과 교차되는 방향으로 차단부(140)가 배치될 수 있다. 차단부(140)는 외부의 제어신호에 따라 인출통로(135)의 일측과 타측 사이를 차단시킬 수 있다. 차단부(140)는 인출통로(135)에서 수직방향으로 상하로 움직이는 제1차단바(141) 및 제2차단바(143)를 포함할 수 있다.
제1차단바(141)는 제3연장부(131)에 결합되고, 제2차단바(143)는 제4연장부(133)에 결합될 수 있다. 제1차단바(141)와 제2차단바(143)는 서로 대응되도록 배치될 수 있다. 제1차단바(141) 및 제2차단바(143)는 제어신호에 따라 플렉서블 기판(400)의 건조 공정이 완료되었을 때, 인출통로(135)에 대해 각각 상하 방향으로 반전 이동되어 인출통로(135)의 일측과 타측이 서로 분리되도록 차단할 수 있다. 이때, 제1차단바(141) 및 제2차단바(143)는 서로 접촉되도록 상하 방향으로 반전 이동되거나 또는 각각이 플렉서블 기판(400)의 상면 및 하면에 각각 접촉되도록 상하 방향으로 반전 이동될 수 있다.
또한, 도면에 도시되지는 않았으나, 인출통로(135)의 내부에는 하나 이상의 에어커튼(미도시)이 더 배치될 수 있다. 에어커튼은 인출통로(135)의 일측에서 타측으로 고압가스를 분출함으로써, 인출통로(135)로 배출되는 고압가스의 배출압력을 증가시킬 수 있다. 따라서, 인출부(130)로 플렉서블 기판(400)이 인출될 때, 외부 공기가 인출부(130)로 유입되는 것을 차단할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 실시예의 기판건조장치(100)는 몸체부(110)로부터 연장되어 인입부(120) 및 인출부(130)를 구성하고, 이들 모두를 외부 대기압보다 큰 압력을 갖는 양압 환경으로 구성할 수 있다. 따라서, 인입부(120)에서는 플렉서블 기판(400)의 인입 방향과 반대 방향으로 고압의 가스가 배출되고, 인출부(130)에서는 플렉서블 기판(400)의 인출 방향과 동일한 방향으로 고압의 가스가 배출될 수 있다. 이로 인해, 외부의 공기가 인입부(120) 및 인출부(130)를 통해 몸체부(110)에 유입되는 것을 차단할 수 있으며, 이는 몸체부(110)에서 수행되는 플렉서블 기판(400)의 건조 효율을 증가시켜 플렉서블 기판(400)의 품질을 향상시킬 수 있다.
다시 도 3을 참조하면, 언와인딩 롤러(200)는 기판건조장치(100)의 인입부(120)에 인접되어 배치될 수 있다. 언와인딩 롤러(200)에는 건조 공정이 수행될 플렉서블 기판(400)이 감겨있다. 플렉서블 기판(400)은 언와인딩 롤러(200)로부터 이송롤러(미도시) 등과 같은 이송장치에 의해 인입부(120)로 인입될 수 있다.
언와인딩 롤러(200)는 대기압 환경에 배치될 수 있다. 따라서, 언와인딩 롤러(200)에 감겨있는 플렉서블 기판(400)에는 외부 공기에 의해 수분이 흡착된 상태일 수 있다. 그러나, 앞서 설명한 바와 같이, 인입부(120)에서는 플렉서블 기판(400)의 인입 방향과 반대 방향으로 고압 가스가 배출되므로, 플렉서블 기판(400)이 인입될 때 외부 공기가 함께 유입되는 것을 차단할 수 있다.
리와인딩 롤러(300)는 기판건조장치(100)의 인출부(130)에 인접되어 배치될 수 있다. 리와인딩 롤러(300)에는 기판건조장치(100)에 의해 건조가 완료된 플렉서블 기판(400)이 감길 수 있다.
리와인딩 롤러(300)는 인출부(130)의 타측에 결합된 카트리지(350) 내부에 배치될 수 있다. 카트리지(350)는 기판건조장치(100)와 동일한 환경, 즉 내부가 외부의 대기압 환경보다 큰 압력을 갖는 양압 환경을 가질 수 있다. 따라서, 인출부(130)를 통해 인출되는 플렉서블 기판(400)은 카트리지(350)에 의해 외부와 차단되어 리와인딩 롤러(300)에 감길 수 있다. 즉, 기판건조장치(100)에 의해 건조가 완료된 플렉서블 기판(400)은 양압 환경을 갖는 인출부(130) 및 카트리지(350)에 의해 외부와 차단되므로, 외부 공기가 인출부(130) 및 카트리지(350) 내부로 유입되지 않아 플렉서블 기판(400)의 건조 품질을 유지할 수 있다.
한편, 카트리지(350)는 플렉서블 기판(400)의 건조 공정이 완료되면, 예컨대 인출부(130)에 구성된 차단부(140)에 의해 인출통로(135)의 일측과 타측 사이가 차단되면, 인출부(130)의 타측에서 분리되어 밀폐될 수 있다. 그리고, 후속 공정, 예컨대 플렉서블 기판(400)에 패턴을 형성하는 증착 공정을 위해 이동될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 실시예의 기판건조장치(100)는 내부를 외부 대기압보다 큰 압력을 갖는 양압 환경으로 구성함으로써, 인입부(120)에서 플렉서블 기판(400)의 인입 방향과 반대 방향으로 고압의 가스가 배출되고, 인출부(130)에서 플렉서블 기판(400)의 인출 방향과 동일한 방향으로 고압의 가스가 배출되도록 할 수 있다. 따라서, 외부의 공기가 인입부(120) 및 인출부(130)를 통해 몸체부(110)에 유입되는 것을 차단하여 플렉서블 기판(400)의 건조 효율을 증가시킬 수 있다.
또한, 본 실시예의 기판건조장치(100)는 인출부(130)의 일측 끝단에 양압 환경으로 외부와 밀폐되는 카트리지(350)를 결합하고, 그 내부에 리와인딩 롤러(300)를 배치함으로써, 인출부(130)를 통해 인출된 플렉서블 기판(400)이 외부와 차단되어 리와인딩 롤러(300)에 감기도록 할 수 있다. 따라서, 리와인딩 롤러(300)에 감긴 플렉서블 기판(400), 즉 건조가 완료된 플렉서블 기판(400)은 그 건조 품질이 유지될 수 있다.
전술한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.
100: 기판건조장치 110: 몸체부
111: 제1건조유닛 113: 제2건조유닛
120: 인입부 130: 인출부
140: 차단부 200: 언와인딩 롤로
300: 리와인딩 롤러 350: 카트리지
400: 플렉서블 기판

Claims (10)

  1. 언와인딩 롤러로부터 플렉서블 기판이 인입되는 인입부;
    상기 플렉서블 기판을 리와인딩 롤러로 인출하는 인출부;
    내부에 고압가스로 인한 양압 환경이 구성되며, 적어도 하나의 건조유닛을 구비하여 상기 인입부를 통해 제공된 상기 플렉서블 기판을 건조시켜 상기 인출부에 제공하는 몸체부를 포함하고,
    상기 인입부 및 상기 인출부는 상기 몸체부에서 외부로 상기 고압가스를 배출하여 외부 공기 유입을 차단하는 기판건조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 인입부는,
    상기 몸체부의 측벽에서 각각 연장되어 서로 나란하게 배치된 제1연장부 및 제2연장부; 및
    상기 제1연장부 및 제2연장부 사이에 구성되어 상기 플렉서블 기판이 인입되는 인입통로를 포함하고,
    상기 인입통로는 상기 플렉서블 기판의 인입 방향과 반대 방향으로 상기 고압가스를 배출하는 기판건조장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 인입통로는 일측과 타측이 동일 높이로 구성된 기판건조장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 인입통로는 일측과 타측이 서로 다른 높이로 구성된 기판건조장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 인입통로의 내측에 하나 이상 배치되어 상기 인입통로의 타측으로 고압가스를 분출하는 에어커튼을 더 포함하는 기판건조장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 인출부는,
    상기 몸체부의 측벽에서 각각 연장되어 서로 나란하게 배치된 제3연장부 및 제4연장부; 및
    상기 제3연장부 및 제4연장부 사이에 구성되어 상기 플렉서블 기판이 인출되는 인출통로를 포함하고,
    상기 인출통로는 상기 플렉서블 기판의 인출 방향과 동일한 방향으로 상기 고압가스를 배출하는 기판건조장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 인출부에 결합되고, 상기 인출통로 내부에서 수직방향으로 이동되어 상기 인출통로의 일측과 타측을 차단하는 차단부를 더 포함하는 기판건조장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 차단부는,
    상기 제3연장부에 결합된 제1차단바; 및
    상기 제4연장부의 상기 제1차단바에 대응되는 위치에 결합된 제2차단바를 포함하고,
    상기 제1차단바 및 상기 제2차단바는 제어신호에 따라 상하 방향으로 반전되어 이동되는 기판건조장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 인출부의 일측에 결합되며, 내부에 상기 리와인딩 롤러가 배치되는 카트리지를 더 포함하고,
    상기 카트리지 내부는 상기 몸체부와 동일한 양압 환경이 구성된 기판건조장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 몸체부, 상기 인입부 및 상기 인출부는 일체로 구성된 기판건조장치.
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