JP6308814B2 - 基材浮上装置 - Google Patents
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Description
2 浮上ブロック
3 気体供給部
4 台座部
11 気体供給源
12 配管
13 貫通穴
21 第1の浮上領域
22 第2の浮上領域
23 経路
24 経路
80 塗布システム
81 巻き出しロール
82 巻き取りロール
83 口金
84 サポートロール
85 基材浮上装置
91 浮上ブロック
92 気体供給部
93 経路
94 経路
W 基材
Claims (2)
- 多孔質体から形成され、表面が基材と対向する浮上ブロックと、
前記浮上ブロックに気体を供給する気体供給部と、
を備え、
前記気体供給部から前記浮上ブロックの下面の略中央部へ供給される気体を前記浮上ブロックの表面から噴出させることにより、前記浮上ブロックの上方で基材を浮上させる基材浮上装置であって、
基材の長尺方向に関して、前記浮上ブロックが基材を浮上させる領域は、中央部分にあたる第1の浮上領域と、前記第1の浮上領域の前後にあたる第2の浮上領域とを有し、前記第2の浮上領域では、前記基材の長尺方向における前記第1の浮上領域側の端部から反対側の端部に向かって前記浮上ブロックの厚みが小さくなっていることを特徴とする、基材浮上装置。 - 前記浮上ブロックは、前記第2の浮上領域では、前記基材の長尺方向における前記第1の浮上領域側の端部から反対側の端部に向かって上面の高さが低くなっていることを特徴とする、請求項1に記載の基材浮上装置。
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JP2014043384A JP6308814B2 (ja) | 2014-03-06 | 2014-03-06 | 基材浮上装置 |
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Family Applications (1)
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