JP6308814B2 - 基材浮上装置 - Google Patents

基材浮上装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6308814B2
JP6308814B2 JP2014043384A JP2014043384A JP6308814B2 JP 6308814 B2 JP6308814 B2 JP 6308814B2 JP 2014043384 A JP2014043384 A JP 2014043384A JP 2014043384 A JP2014043384 A JP 2014043384A JP 6308814 B2 JP6308814 B2 JP 6308814B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
floating
substrate
base material
block
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2014043384A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015168499A (ja
Inventor
顕真 本田
顕真 本田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Engineering Co Ltd
Original Assignee
Toray Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Engineering Co Ltd filed Critical Toray Engineering Co Ltd
Priority to JP2014043384A priority Critical patent/JP6308814B2/ja
Publication of JP2015168499A publication Critical patent/JP2015168499A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6308814B2 publication Critical patent/JP6308814B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Advancing Webs (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

本発明は、気体を噴出させることにより基材を浮上させる基材浮上装置に関するものである。
カラーフィルタ、有機ELなどに代表される画像表示機器を製作する際に画素要素を形成する色素を塗布する方法の一つとして、従来からインクジェット法が提案されている。具体的には、マトリクス状に遮光部が基材上に形成された複数の区画のそれぞれに、塗布ヘッドのノズルからインクを吐出して塗布し、インク層が形成される。
近年では、画像表示機器、特に携帯用の画像表示機器に対する耐衝撃性の向上、軽量化、および薄型化等の要求に応えるために、樹脂などの可撓性を有する基材が用いられることも多い。
このように可撓性を有する基材は、上記の塗布などの処理が行われる間はロールに巻かれた長尺の帯状の形態を有している場合が多く、この場合、このロール(巻き出しロール)から基材を連続して巻き出し、同時に別のロール(巻き取りロール)で巻き取ることによって基材を搬送するという、いわゆるロールトゥロール方式で基材は搬送されて、インクの塗布などが実施される。そして、一連の処理が実施されたあと、長尺の基材は製品サイズに切断される。
図4は、このロールトゥロール方式を採用した塗布システムの概略図である。この塗布システム80において、基材Wが巻き出しロール81から巻き出され、巻き取りロール82に巻き取られることによって所定の張力が付与された状態で搬送され、この搬送経路の途中で口金83が塗布液を基材Wへ吐出することにより、基材Wへの塗布液の塗布が行われる。ここで、巻き出しロール81と巻き取りロール82との間の搬送経路では、基材Wは所定の位置を維持するようにサポートロール84や基材浮上装置85により適宜保持される。
この基材浮上装置85は、たとえば下記特許文献1および図5に示すように、多孔質体からなる浮上ブロック91と、この浮上ブロック91に接続された気体供給部92とを備える形態を有しており、気体供給部92から供給されて浮上ブロック91の内部を通った気体が浮上ブロック91の上面の多数の孔から噴出し、この気体が下方から基材Wに吹き付けられることによって、基材Wが浮上する。
特開2008−41989号公報
近年では、上記の通りロールトゥロール方式で基材を搬送するにあたり、基材Wに負荷をかけないことを目的として、基材Wを低い張力で搬送する要求が高まっている。
ここで、図5のような基材浮上装置85において経路93と経路94が示すように、浮上ブロック91の中央部と端部とでは気体が浮上ブロック91の表面から噴出するまでの経路長に差が生じる。一方、気体が浮上ブロック91内を通る際には圧力損失が生じるため、浮上ブロック91の中央部と端部において経路長の差が大きいほど圧力損失の影響によって中央部と端部とで気体の噴出量に差が生じ、端部に近づくにつれ気体の噴出量が低くなる。この端部において、気体の噴出によって基材Wを浮上させる力よりも基材Wが撓む力の方が大きくなった場合、基材Wと基材浮上装置85とが干渉して基材Wが傷つくおそれがあった。
本発明は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、基材の長尺方向の両端部において基材との干渉を回避しつつ基材を浮上させることのできる基材浮上装置を提供することを目的としている。
上記課題を解決するために本発明の基材浮上装置は、多孔質体から形成され、表面が基材と対向する浮上ブロックと、前記浮上ブロックに気体を供給する気体供給部と、を備え、前記気体供給部から前記浮上ブロックの下面の略中央部へ供給される気体を前記浮上ブロックの表面から噴出させることにより、前記浮上ブロックの上方で基材を浮上させる基材浮上装置であって、基材の長尺方向に関して、前記浮上ブロックが基材を浮上させる領域は、中央部分にあたる第1の浮上領域と、前記第1の浮上領域の前後にあたる第2の浮上領域とを有し、前記第2の浮上領域では、前記基材の長尺方向における前記第1の浮上領域側の端部から反対側の端部に向かって前記浮上ブロックの厚みが小さくなっていることを特徴としている。
上記基材浮上装置によれば、第2の浮上領域では、基材の長尺方向における第1の浮上領域側の端部から反対側の端部に向かって浮上ブロックの厚みが小さくなっていることにより、浮上ブロックは基材の長尺方向端部においても基材を浮上させる力を確保でき、基材と干渉することなく基材を浮上させることができる。具体的には、基材の長尺方向端部において気体が浮上ブロックの表面から噴出するまでの圧力損失を小さくすることができるため、端部と中央部との基材を浮上させる力の差を小さくすることができる。
また、前記浮上ブロックは、前記第2の浮上領域では、前記基材の長尺方向における前記第1の浮上領域側の端部から反対側の端部に向かって上面の高さが低くなっていると良い。
こうすることにより、万が一基材の長尺方向端部において基材を浮上させる力が小さくなったとしても、浮上ブロックと基材とが干渉する可能性を低くすることができる。
本発明の基材浮上装置によれば、基材の長尺方向の両端部において基材との干渉を回避しつつ基材を浮上させることができる。
本発明の一実施形態における基材浮上装置を表す概略図である。 本実施形態の基材浮上装置の正面図である。 基材浮上装置を備える塗布システムを表す概略図である。 従来の基材浮上装置を表す概略図である。
本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
本発明の一実施形態における基材浮上装置を図1に示す。
本実施形態における基材浮上装置1は、浮上ブロック2、気体供給部3、および台座部4を有しており、台座部4に固定された浮上ブロック2に気体供給部3から気体を供給し、この気体を浮上ブロック2の表面から上向きに噴出することにより、この気体によって基材Wを上方へ浮上させる。
なお、基材Wは本実施形態では長尺の帯状の形状を有しており、その両端は図示しない巻き出しロールと巻き取りロールに巻かれている。そして、巻き出しロールによる基材Wの巻き出しと巻き取りロールによる基材Wの巻き取りとが同時に行われることにより、基材Wが基材浮上装置1の上方で搬送される。なお、本説明では、基材浮上装置1の上方で基材Wが搬送される方向をX軸方向、水平面上でX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向およびY軸方向の両方に直交する方向、すなわち鉛直方向をZ軸方向と呼ぶ。
浮上ブロック2は、基材Wを浮上させる際に上面が基材Wと対向し、気体供給部3から供給された気体を上方の基材Wに向かって噴出するブロックであり、たとえば、セラミック、アルミニウムなどを材料とする多孔質体から形成されている。多孔質体は、その表面および内部に多数の孔を有し、これらの孔が周囲の孔とつながった形態となるように製造されたものであり、この形態によって高い通気性を有している。この多孔質体から形成される浮上ブロック2に対し、浮上ブロック2の表面の所定の箇所から気体を供給した場合、この気体は浮上ブロック2の内部の孔を通って、浮上ブロック2の表面の多数の孔から外部に噴出する。
ここで、本実施形態では浮上ブロック2の側面の孔はパテなどによって塞がれており、また、浮上ブロック2の下面は後述の台座部4に接しており、実質的に孔が塞がっている。そのため、気体供給部3から供給されて浮上ブロック2の内部を通った気体は、浮上ブロック2の側面や下面からは噴出せずに浮上ブロック2の上面の孔から噴出する。すなわち、基材Wを浮上させる方向にのみ気体が噴出するようになっている。なお、本説明では浮上ブロック2から噴出する気体を鉛直上向きの矢印で模式的に図示しているが、実際は気体が噴出する方向は鉛直上向きに限らず、斜め上向きにも気体は噴出する。
気体供給部3は、ポンプ、ブロアなどの気体供給源11および配管12を有し、気体供給源11が送り出した気体が配管12を通って浮上ブロック2へ供給される。なお、本実施形態において基材浮上装置1が基材Wを浮上させるのに用いる気体はたとえば乾燥空気、窒素などであり、この気体が気体供給源11から送り出される。また、配管12はSUSなどの金属製でも良く、また、たとえば樹脂製などの可撓性を有するものであっても構わない。
台座部4は、浮上ブロック2を載置することにより浮上ブロック2を下方から支持する台座であり、この台座部4と基材Wの搬送システムとが物理的に連結されることにより、基材浮上装置1が搬送システムに組み込まれている。
また、台座部4は、気体供給部3の配管12とも連結されており、配管12と台座部4との連結部から台座部4の上面に向かって台座部4には貫通穴13が設けられている。これにより、配管12を通って気体供給源11から送られた気体は貫通穴13を通って浮上ブロック2の下面の所定箇所に供給される。
なお、本実施形態では、台座部4の上面側の貫通穴13の開口部は浮上ブロック2の下面の略中央部と接する部分に設けられており、気体供給部3から送り出された気体は、浮上ブロック2の下面の略中央部に供給される。
また、本実施形態では、先述の通り台座部4に載置された浮上ブロック2の側面の孔をパテなどにより塞ぐことにより、気体が浮上ブロック2の上面からのみ噴出するようにされているが、このような形態とは別に、台座部4に浮上ブロック2を上方から入れ込むような形態として、台座部4が浮上ブロック2の側面を塞ぐようにしても良い。
次に、基材浮上装置1の正面図を図2に示す。
本発明にかかる基材浮上装置1では、浮上ブロック2が基材Wを浮上させる領域は、浮上させる基材Wの長尺方向(X軸方向)に関して中央部分にあたる第1の浮上領域21と、第1の浮上領域21の前後にあたる第2の浮上領域22を有しており、特に第2の浮上領域22では、基材Wの長尺方向における第1の浮上領域21側の端部から反対側の端部に向かって浮上ブロック2の厚みが小さくなっている。
ここで、本実施形態では、図2に示すように、浮上ブロック2の下面は平坦であるのに対して、浮上ブロック2の上面は第2の浮上領域22において基材Wの長尺方向(X軸方向)における第1の浮上領域21側の端部から反対側の端部に向かって高さが低くなる、いわゆるテーパ形状となっている。
なお、第2の浮上領域22は、単なる面取りとは異なって気体の噴出口となる孔を多数有しており、基材Wの浮上に積極的に寄与している。
図2に示している経路23と経路24は、それぞれ気体供給部3から供給された気体が第1の浮上領域21、第2の浮上領域22から噴出するときに辿る経路の一例である。
経路23とくらべて経路24は長くなるものの、第2の浮上領域22において浮上ブロック2の厚さが小さくなっていることによって、図5のように浮上ブロック91が均一な厚さである場合とくらべた場合に経路94と経路93との経路差よりも経路24と経路23との経路差を小さめに抑えることができる。
ここで経路23や経路24に示すように気体が浮上ブロック2の内部を通る際は圧力損失が発生するため、経路24と経路23との経路差を小さくすることにより経路23を通った気体の噴出量と経路24を通った気体の噴出量との差を小さくし、第1の浮上領域21における基材Wを浮上させる力と第2の浮上領域22における基材Wを浮上させる力の差を小さくすることができる。すなわち、第2の浮上領域22でも基材Wを浮上させる力を確保することができる。
ここで、本実施形態のように基材Wが長尺な形状を有する場合、特に基材Wが可撓性を有するときにその長尺方向(X軸方向)において撓み変形する挙動を示す可能性があるため、仮に第2の浮上領域22における基材Wを浮上させる力が小さ過ぎる場合には、基材Wが自重により垂れ下がる力に基材Wを浮上させる力が負けて、浮上ブロック2の端部が基材Wと干渉するおそれがある。これに対し、本発明のように第2の浮上領域22において浮上ブロック2の厚さが小さくなっていることによって、基材Wとの干渉を回避することができる。
また、浮上ブロック2の上面は第2の浮上領域22において基材Wの長尺方向(X軸方向)における第1の浮上領域21側の端部から反対側の端部に向かって高さが低くなっていることにより、万が一基材Wの長尺方向端部において基材Wを浮上させる力が低くなり、基材Wが下方に垂れ下がってきたとしても、浮上ブロック2の上面自体の高さも低くなっているため、浮上ブロック2と基材Wとが干渉する可能性を低くすることができる。
なお、本説明では上記の通り浮上ブロック2が基材Wを浮上させる領域を便宜上第1の浮上領域21と第2の浮上領域22とに分けて呼んでいるが、決して第1の浮上領域21と第2の浮上領域22との間に仕切りなど物理的な境界があることを示しているのではない。
以上に説明した基材浮上装置により、基材の長尺方向の両端部において基材との干渉を回避しつつ基材を浮上させることが可能である。
なお、以上の説明ではロールトゥロール方式で搬送される帯状の基材Wを浮上させる実施形態を示しているが、これに限らず、たとえばガラス基板のような矩形状の基材を浮上させるために本発明にかかる基材浮上装置1が用いられても良い。
1 基材浮上装置
2 浮上ブロック
3 気体供給部
4 台座部
11 気体供給源
12 配管
13 貫通穴
21 第1の浮上領域
22 第2の浮上領域
23 経路
24 経路
80 塗布システム
81 巻き出しロール
82 巻き取りロール
83 口金
84 サポートロール
85 基材浮上装置
91 浮上ブロック
92 気体供給部
93 経路
94 経路
W 基材

Claims (2)

  1. 多孔質体から形成され、表面が基材と対向する浮上ブロックと、
    前記浮上ブロックに気体を供給する気体供給部と、
    を備え、
    前記気体供給部から前記浮上ブロックの下面の略中央部へ供給される気体を前記浮上ブロックの表面から噴出させることにより、前記浮上ブロックの上方で基材を浮上させる基材浮上装置であって、
    基材の長尺方向に関して、前記浮上ブロックが基材を浮上させる領域は、中央部分にあたる第1の浮上領域と、前記第1の浮上領域の前後にあたる第2の浮上領域とを有し、前記第2の浮上領域では、前記基材の長尺方向における前記第1の浮上領域側の端部から反対側の端部に向かって前記浮上ブロックの厚みが小さくなっていることを特徴とする、基材浮上装置。
  2. 前記浮上ブロックは、前記第2の浮上領域では、前記基材の長尺方向における前記第1の浮上領域側の端部から反対側の端部に向かって上面の高さが低くなっていることを特徴とする、請求項1に記載の基材浮上装置。
JP2014043384A 2014-03-06 2014-03-06 基材浮上装置 Expired - Fee Related JP6308814B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014043384A JP6308814B2 (ja) 2014-03-06 2014-03-06 基材浮上装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014043384A JP6308814B2 (ja) 2014-03-06 2014-03-06 基材浮上装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015168499A JP2015168499A (ja) 2015-09-28
JP6308814B2 true JP6308814B2 (ja) 2018-04-11

Family

ID=54201583

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014043384A Expired - Fee Related JP6308814B2 (ja) 2014-03-06 2014-03-06 基材浮上装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6308814B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018140564A (ja) * 2017-02-28 2018-09-13 株式会社桜井グラフィックシステムズ 印刷機
JP7171360B2 (ja) * 2018-10-19 2022-11-15 伸和コントロールズ株式会社 空気調和装置、空気調和装置を具備する基板の浮上式搬送ユニット、並びに基板の浮上式搬送用空気の供給方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2739597B2 (ja) * 1989-09-18 1998-04-15 富士写真フイルム株式会社 ウエブの無接触搬送装置
JP4183525B2 (ja) * 2003-02-14 2008-11-19 シーケーディ株式会社 薄板の搬送用支持装置
JP4314435B2 (ja) * 2004-05-07 2009-08-19 国際技術開発株式会社 検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015168499A (ja) 2015-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4501713B2 (ja) エア浮上搬送装置
JP5601345B2 (ja) 大面積パネル用の搬送プレート
JP6308814B2 (ja) 基材浮上装置
JP2003063643A (ja) 薄板の搬送方法及び装置
JP5885335B2 (ja) エアダンサー
WO2016167074A1 (ja) ガラスフィルムの製造方法
KR20130071305A (ko) 필름의 양면 코팅 디바이스 및 방법, 및 이를 구비한 필름의 양면 코팅 장치
JP2007008644A (ja) 板状ワークの搬送装置
JP2008130892A (ja) エア浮上搬送装置、およびエア搬送方法
JP2010195592A (ja) 浮上ユニット及び基板検査装置
JP2011210985A (ja) 基板搬送装置および基板処理装置
KR101362292B1 (ko) 개선된 필름 양면 코팅 장치 및 방법
JP2010143733A (ja) 基板ハンドリングシステム及び基板ハンドリング方法
JP6368508B2 (ja) 基材浮上装置
JP4442685B2 (ja) ワークの支持装置
JP6268779B2 (ja) エアターンバー
KR20090057008A (ko) 웹 반송 장치 및 반송 방법
JP2014140989A (ja) 記録装置
JP2007204153A (ja) ウエブの無接触搬送装置
JP2005145577A (ja) 無接触搬送装置
JP2007175664A (ja) 建築板の塗装装置
JP5308647B2 (ja) 浮上搬送塗布装置
KR101977244B1 (ko) 건조 장치
JP6021242B2 (ja) 乾燥装置、及び導電性ペーストの乾燥方法
JP2015000801A (ja) ウェブ搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170201

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20171115

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20171121

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180118

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180308

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180313

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6308814

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees