JP2015168499A - 基材浮上装置 - Google Patents
基材浮上装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015168499A JP2015168499A JP2014043384A JP2014043384A JP2015168499A JP 2015168499 A JP2015168499 A JP 2015168499A JP 2014043384 A JP2014043384 A JP 2014043384A JP 2014043384 A JP2014043384 A JP 2014043384A JP 2015168499 A JP2015168499 A JP 2015168499A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- floating
- levitation
- block
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Advancing Webs (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】多孔質体から形成され、表面が基材Wと対向する浮上ブロック2と、浮上ブロック2に気体を供給する気体供給部3と、を備え、気体供給部3から供給される気体を浮上ブロック2の表面から噴出させることにより、浮上ブロック2の上方で基材Wを浮上させる基材浮上装置1であって、基材Wの長尺方向に関して、浮上ブロック2が基材Wを浮上させる領域は、中央部分にあたる第1の浮上領域21と、第1の浮上領域21の前後にあたる第2の浮上領域22とを有し、第2の浮上領域22では、基材Wの長尺方向における第1の浮上領域21側の端部から反対側の端部に向かって浮上ブロック2の厚みが小さくなっている。
【選択図】図2
Description
2 浮上ブロック
3 気体供給部
4 台座部
11 気体供給源
12 配管
13 貫通穴
21 第1の浮上領域
22 第2の浮上領域
23 経路
24 経路
80 塗布システム
81 巻き出しロール
82 巻き取りロール
83 口金
84 サポートロール
85 基材浮上装置
91 浮上ブロック
92 気体供給部
93 経路
94 経路
W 基材
Claims (2)
- 多孔質体から形成され、表面が基材と対向する浮上ブロックと、
前記浮上ブロックに気体を供給する気体供給部と、
を備え、
前記気体供給部から供給される気体を前記浮上ブロックの表面から噴出させることにより、前記浮上ブロックの上方で基材を浮上させる基材浮上装置であって、
基材の長尺方向に関して、前記浮上ブロックが基材を浮上させる領域は、中央部分にあたる第1の浮上領域と、前記第1の浮上領域の前後にあたる第2の浮上領域とを有し、前記第2の浮上領域では、前記基材の長尺方向における前記第1の浮上領域側の端部から反対側の端部に向かって前記浮上ブロックの厚みが小さくなっていることを特徴とする、基材浮上装置。 - 前記浮上ブロックは、前記第2の浮上領域では、前記基材の長尺方向における前記第1の浮上領域側の端部から反対側の端部に向かって上面の高さが低くなっていることを特徴とする、請求項1に記載の基材浮上装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014043384A JP6308814B2 (ja) | 2014-03-06 | 2014-03-06 | 基材浮上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014043384A JP6308814B2 (ja) | 2014-03-06 | 2014-03-06 | 基材浮上装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015168499A true JP2015168499A (ja) | 2015-09-28 |
JP6308814B2 JP6308814B2 (ja) | 2018-04-11 |
Family
ID=54201583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014043384A Expired - Fee Related JP6308814B2 (ja) | 2014-03-06 | 2014-03-06 | 基材浮上装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6308814B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018140564A (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-13 | 株式会社桜井グラフィックシステムズ | 印刷機 |
JP2020063889A (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | 伸和コントロールズ株式会社 | 空気調和装置、空気調和装置を具備する基板の浮上式搬送ユニット、並びに基板の浮上式搬送用空気の供給方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03102058A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-04-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | ウエブの無接触搬送装置 |
JP2004244186A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-02 | Ckd Corp | 薄板の搬送用支持装置 |
JP2005320095A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd | 検査装置 |
-
2014
- 2014-03-06 JP JP2014043384A patent/JP6308814B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03102058A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-04-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | ウエブの無接触搬送装置 |
JP2004244186A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-02 | Ckd Corp | 薄板の搬送用支持装置 |
JP2005320095A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd | 検査装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018140564A (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-13 | 株式会社桜井グラフィックシステムズ | 印刷機 |
JP2020063889A (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | 伸和コントロールズ株式会社 | 空気調和装置、空気調和装置を具備する基板の浮上式搬送ユニット、並びに基板の浮上式搬送用空気の供給方法 |
JP7171360B2 (ja) | 2018-10-19 | 2022-11-15 | 伸和コントロールズ株式会社 | 空気調和装置、空気調和装置を具備する基板の浮上式搬送ユニット、並びに基板の浮上式搬送用空気の供給方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6308814B2 (ja) | 2018-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5601345B2 (ja) | 大面積パネル用の搬送プレート | |
JP2003063643A (ja) | 薄板の搬送方法及び装置 | |
JP6308814B2 (ja) | 基材浮上装置 | |
KR20130071305A (ko) | 필름의 양면 코팅 디바이스 및 방법, 및 이를 구비한 필름의 양면 코팅 장치 | |
JP2007008644A (ja) | 板状ワークの搬送装置 | |
WO2014173227A1 (zh) | 传输及输送气浮装置 | |
JP2008130892A (ja) | エア浮上搬送装置、およびエア搬送方法 | |
JP2010195592A (ja) | 浮上ユニット及び基板検査装置 | |
JP2013139327A (ja) | エアダンサー | |
JP2011210985A (ja) | 基板搬送装置および基板処理装置 | |
JP2004244186A (ja) | 薄板の搬送用支持装置 | |
KR101362292B1 (ko) | 개선된 필름 양면 코팅 장치 및 방법 | |
JP6368508B2 (ja) | 基材浮上装置 | |
JP4442685B2 (ja) | ワークの支持装置 | |
JP2008041989A (ja) | 薄板状材料搬送用エアテーブル及び薄板状材料搬送装置 | |
KR20090057008A (ko) | 웹 반송 장치 및 반송 방법 | |
JP6268779B2 (ja) | エアターンバー | |
JP2014140989A (ja) | 記録装置 | |
JP2007204153A (ja) | ウエブの無接触搬送装置 | |
JP4171293B2 (ja) | 薄板状材の搬送方法及び装置 | |
KR101097042B1 (ko) | 기판가공장치 | |
JP2009045565A (ja) | ウェブ塗布装置 | |
JP2007175664A (ja) | 建築板の塗装装置 | |
JP2005145577A (ja) | 無接触搬送装置 | |
JP5308647B2 (ja) | 浮上搬送塗布装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170201 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180313 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6308814 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |