KR20180068640A - 기판건조장치 - Google Patents

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Abstract

롤투롤 방식의 진공 건조 공정에서 플렉서블기판의 건조 품질을 향상시키면서, 플렉서블기판에 형성된 패턴들의 손상을 방지할 수 있는 기판건조장치가 제공된다. 기판건조장치는, 챔버 내부에서 나선형 구조로 배치되어 플렉서블기판을 이송하는 다수의 이송롤러들과, 이에 의해 정의되는 다수의 건조구간들마다 배치되어 플렉서블기판의 일면에 열을 가하는 다수의 가열유닛들을 포함한다.

Description

기판건조장치{Substrate drying apparatus}
본 발명은 기판건조장치에 관한 것으로, 특히 롤투롤(Roll-to-Roll) 방식의 진공 건조 공정에서 건조 품질을 향상시킬 수 있는 기판건조장치에 관한 것이다.
최근 디지털 기술의 발전으로 인하여 터치패널, OLED 등과 같이, 현재 상용화되어 있는 평판표시장치의 고기능화 연구를 중심으로 차세대 표시장치의 개발이 활발히 진행되고 있다. 이 중, 플렉서블 표시장치는 표시장치의 특성에 손실을 가져오지 않으면서 구부리거나 접을 수 있는 표시장치로, 기존의 평판표시장치의 대체뿐만 아니라 전자종이 등과 같은 차세대 표시장치 등에 적용된다.
플렉서블 표시장치는 플렉서블기판 상에 유기발광다이오드 등과 같은 패턴들을 형성하여 구성된다. 플렉서블 표시장치는 플렉서블기판이 감겨있는 롤을 이용한 롤투롤(Roll-to-Roll) 방식을 이용하여 제조된다.
여기서, 플렉서블기판은 합성수지 등으로 이루어진 필름이 사용된다. 그러나, 필름은 생산 공정 중에 수분 또는 기름 등과 같은 오염물질인 아웃개싱(outgassing)이 표면에 잔존된다. 이에 따라, 플렉서블 표시장치의 증착 공정에서는 필름 표면의 아웃개싱에 의해 금속물질의 증착률이 저하된다. 따라서, 플렉서블 표시장치는 증착 공정 전에 반드시 필름, 즉 플렉서블기판에 대한 아웃개싱을 제거하는 공정, 즉 건조 공정이 이루어져야 한다.
도 1은 종래의 롤투롤 방식의 기판건조장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 기판건조장치(10)는 롤투롤 방식으로 플렉서블기판(40)을 제공받고, 이에 대한 건조 공정을 수행하여 기판의 수분 등과 같은 아웃개싱을 제거한다.
이를 살펴보면, 종래의 기판건조장치(10)는 챔버(11) 내부에 히팅 롤(15)이 구비된다. 그리고, 언와인딩(unwinding roll) 롤(20)에서 플렉서블기판(40)이 이송되어 히팅 롤(15)에 제공된다. 히팅 롤(15)은 소정 방향으로 회전하면서 외주면을 따라 이동되는 플렉서블기판(40)에 잔존하고 있는 수분 등을 건조시킨다. 이어, 건조 공정이 완료된 플렉서블기판(40)은 리와인딩(rewinding roll) 롤(30)로 이송되어 권취된다.
여기서, 언와인딩 롤(20)과 히팅 롤(15) 사이 및 히팅 롤(15)과 리와인딩 롤(30) 사이에는 플렉서블기판(40)의 이송을 위한 이송롤러(13)가 배치된다. 또한, 언와인딩 롤(20)과 리와인딩 롤(30)은 챔버(11) 내부에 삽입되어 배치되거나 또는 챔버(11) 외부에 배치된다. 또한, 챔버(11) 내부는 진공 상태의 환경이 조성된다.
상술한 바와 같이, 종래의 기판건조장치(10)는 챔버(11) 내부에 배치된 히팅 롤(15)에 의해 플렉서블기판(40)의 건조가 이루어지므로 플렉서블기판(40)의 건조 품질이 저하된다. 또한, 플렉서블기판(40)이 히팅 롤(15)에 밀착되어 건조되기 때문에, 히팅 롤(15)에 의해 플렉서블기판(40) 상에 형성된 다수의 패턴들이 손상되어 불량을 야기한다.
본 발명은 플렉서블기판의 건조 품질을 높이면서 패턴들의 손상을 방지할 수 있는 기판건조장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판건조장치는, 진공 상태의 챔버 내부에 배치된 다수의 이송롤러들 및 다수의 가열유닛들을 포함한다.
다수의 이송롤러들은 챔버 내부에서 나선형 구조로 배치되어 다수의 건조구간을 정의한다. 다수의 이송롤러들은 언와인딩 롤로부터 제공된 플렉서블기판을 리와인딩 롤까지 이송시킨다.
다수의 가열유닛들은 다수의 이송롤러들에 의해 정의된 다수의 건조구간마다 배치되고, 플렉서블기판의 일면에 열을 가하여 수분을 제거한다.
본 발명에 따른 기판건조장치는, 챔버 내부에 다수의 이송롤러들 및 다수의 가열유닛들을 나선형 구조로 배치함으로써, 종래의 기판건조장치와 대비하여 플렉서블기판의 건조구간의 길이 및 건조시간이 상대적으로 증가될 수 있다. 따라서, 플렉서블기판에 대한 건조 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 기판건조장치는 다수의 가열유닛들을 플렉서블기판의 패턴들이 형성된 일면에 대응되도록 배치함으로써, 플렉서블기판에 대한 건조 품질을 향상시키면서 이송롤러에 의해 플렉서블기판의 패턴들이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 기판건조장치는 다수의 가열유닛들과 함께 하나 이상의 포집유닛을 더 배치하여 수분 등을 제거함으로써, 플렉서블기판에 대한 건조 품질을 더욱 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래의 롤투롤 방식의 기판건조장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 기판건조장치를 나타내는 도면이다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 기판건조장치에서 다수의 가열유닛들의 제어 동작을 나타내는 실시예들이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판건조장치를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 기판건조장치를 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예의 기판건조장치(100)는 롤투롤 방식으로 필름, 즉 플렉서블기판(400)을 제공받아 건조 공정을 수행함으로써, 플렉서블기판(400)에 잔존된 수분 등과 같은 오염물질을 제거할 수 있다.
기판건조장치(100)는 언와인딩 롤(200)로부터 플렉서블기판(400)을 제공받아 건조 공정을 수행하고, 건조가 완료된 플렉서블기판(400)을 리와인딩 롤(300)로 제공할 수 있다.
여기서, 언와인딩 롤(200)은 기판건조장치(100)의 외부에 배치될 수 있고, 리와인딩 롤(300)은 기판건조장치(100)의 내부에 배치될 수 있다. 이때, 리와인딩 롤(300)은 챔버(101) 내부와 동일한 진공의 환경을 갖는 카트리지(310)에 삽입되어 배치될 수 있다. 따라서, 기판건조장치(100)에 의해 플렉서블기판(400)의 건조 공정이 완료되면, 챔버(101)로부터 카트리지(310)를 분리하여 이동함으로써, 건조가 완료된 플렉서블기판(400)이 외부 대기압에 노출되는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 플렉서블기판(400)의 건조 품질을 향상시킬 수 있다.
한편, 본 실시예는 챔버(101)의 외부에 언와인딩 롤(200)이 배치되고, 챔버(101) 내부에 리와인딩 롤(300)이 배치된 구성을 설명하나, 이에 제한되지는 않는다. 예컨대, 언와인딩 롤(200) 및 리와인딩 롤(300) 모두는 기판건조장치(100)의 챔버(101) 외부에 배치되거나 또는 모두 기판건조장치(100)의 챔버(101) 내부에 배치될 수도 있다.
기판건조장치(100)는 외부 대기압 환경에 대비하여 소정의 진공 상태 환경을 갖는 챔버(101)로 구성될 수 있다. 챔버(101)에는 플렉서블기판(400)의 이송을 위한 다수의 이송롤러들(102) 및 플렉서블기판(400)의 건조를 위한 다수의 가열유닛들(111~117)이 배치될 수 있다.
다수의 이송롤러들(102)은 챔버(101) 내부에서 나선형 구조로 배치될 수 있다. 하나의 예로, 본 실시예의 기판건조장치(100)는 11개의 이송롤러들(102)을 포함할 수 있다. 이들은 챔버(101) 내부에서 나선형 구조로 이격되어 배치될 수 있다. 이로 인해, 플렉서블기판(400)은 챔버(101) 내부에서 다수 번의 이동방향이 변경되며, 따라서 챔버(101) 내부에서는 다수개의 건조구간이 정의될 수 있다.
다수의 가열유닛들(111~117)은 챔버(101) 내부에서 다수의 이송롤러들(102)에 의해 정의된 건조구간에 배치될 수 있다. 다수의 가열유닛들(111~117)은 다수의 이송롤러들(102)을 통해 이송되는 플렉서블기판(400)의 일면에 인접되어 배치될 수 있다. 다수의 가열유닛들(111~117) 각각에는 플렉서블기판(400)의 일면에 열을 가하여 수분 등을 건조시킬 수 있는 하나 이상의 히터(미도시)가 포함될 수 있다. 그러나, 다수의 가열유닛들(111~117) 각각에는 히터를 대신하여 열풍을 보낼 수 있는 하나 이상의 열풍기(미도시)가 구비될 수도 있다.
여기서, 다수의 가열유닛들(111~117)은 다수의 이송롤러들(102)과 플렉서블기판(400)을 사이에 두고 대향되도록 배치될 수 있다. 이때, 가열유닛들(111~117)은 플렉서블기판(400)의 일면에 형성된 소정의 증착막들 또는 패턴들에 대응되어 배치될 수 있다.
따라서, 본 실시예의 기판건조장치(100)에서는 다수의 이송롤러들(102)이 플렉서블기판(400)의 타면, 즉 증착막들 또는 패턴들이 형성된 일면에 대응되는 타면에 접촉되고, 다수의 가열유닛들(111~117)은 플렉서블기판의 일면에 근접되어 배치된다. 따라서, 플렉서블기판(400)에 대한 건조 공정에서 플렉서블기판(400)의 일면에 형성된 증착막 및 패턴이 이송롤러들(102)에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 다수의 가열유닛들(111~117) 각각은 후술될 제어유닛(160)의 제어에 따라 히터의 동작상태 및 배치구조 등이 조절될 수 있다. 이러한 다수의 가열유닛들(111~117)은 다수의 이송롤러들(102)과 마찬가지로 챔버(101) 내부에서 나선형 구조로 배치될 수 있다.
기판건조장치(100)는 포집펌프(150) 및 하나 이상의 포집유닛, 예컨대 제1포집유닛(121) 및 제2포집유닛(123)을 더 포함할 수 있다.
포집펌프(150)는 챔버(101) 내부에 잔존하는 수분 등을 포집하여 외부로 배출시킬 수 있다. 또한, 포집펌프(150)는 하나 이상의 포집유닛에 의해 포집된 수분을 외부로 배출시킬 수 있다.
제1포집유닛(121) 및 제2포집유닛(123)은 극저온의 냉매가스가 순환도는 구조로 구성될 수 있으며, 플렉서블기판(400)에 잔존하는 수분 등을 포집할 수 있다. 제1포집유닛(121) 및 제2포집유닛(123)은 다수의 가열유닛들(111~117)이 배치되지 않은 구간, 예컨대 언와인딩 롤(200) 및 리와인딩 롤(300) 각각에 인접되어 배치될 수 있다.
제1포집유닛(121)은 다수의 가열유닛들(111~117) 중 첫번째 가열유닛(111)과 언와인딩 롤(200) 사이에 배치될 수 있다. 제1포집유닛(121)은 언와인딩 롤(200)로부터 챔버(101) 내부로 제공되는 플렉서블기판(400)에 대하여 건조 공정의 수행 전에 수분 등을 포집할 수 있다.
제2포집유닛(123)은 다수의 가열유닛들(111~117) 중 마지막 가열유닛(117)과 리와인딩 롤(300) 사이에 배치될 수 있다. 제2포집유닛(123)은 챔버(101) 내부에서 리와인딩 롤(300)로 제공되는 건조 공정이 완료된 플렉서블기판(400)에 대하여 추가적으로 수분 등을 포집할 수 있다.
기판건조장치(100)는 하나 이상의 정렬유닛, 예컨대 제1정렬유닛(131) 및 제2정렬유닛(133)을 포함할 수 있다. 제1정렬유닛(131) 및 제2정렬유닛(133)은 플렉서블기판(400)이 이송될 때 정렬될 수 있도록 다수의 이송롤러들(102)의 배치를 조절할 수 있다.
제1정렬유닛(131)은 제1포집유닛(121)에 인접되어 배치될 수 있다. 제1정렬유닛(131)은 언와인딩 롤(200)로부터 제공된 플렉서블기판(400)의 이송 정렬도를 제어할 수 있다. 예컨대, 제1정렬유닛(131)은 소정의 광을 플렉서블기판(400)에 조사함으로써 플렉서블기판(400)의 위치를 감지할 수 있다. 이어, 제1정렬유닛(131)은 감지 결과에 따라 다수의 이송롤러들(102) 중 언와인딩 롤(200)에 인접된 첫번째 이송롤러의 배치를 조절함으로써, 플렉서블기판(400)의 이송 정렬도를 높일 수 있다.
제2정렬유닛(133)은 제2포집유닛(123)에 인접되어 배치될 수 있다. 제2정렬유닛(133)은 다수의 이송롤러들(102) 중에서 마지막 이송롤러로부터 리와인딩 롤(300)로 제공되는 플렉서블기판(400)의 이송 정렬도를 제어할 수 있다. 예컨대, 제2정렬유닛(133)은 소정의 광을 플렉서블기판(400)에 조사하여 위치를 감지하고, 그 결과에 따라 다수의 이송롤러들(102) 중 리와인딩 롤(300)에 인접된 마지막 이송롤러의 배치를 조절함으로써, 플렉서블기판(400)의 이송 정렬도를 높일 수 있다.
기판건조장치(100)는 챔버(101) 내부를 진공의 환경으로 구성할 수 있는 진공펌프(140)를 포함할 수 있다. 진공펌프(140)는 챔버(101) 내부를 고진공의 환경, 예컨대 대략 10-7 토르(torr)의 진공 크기를 갖도록 할 수 있다.
또한, 기판건조장치(100)는 다수의 가열유닛들(111~117) 각각의 동작을 제어하는 제어유닛(160)을 포함할 수 있다. 제어유닛(160)은 챔버(101) 내부에서 이송되는 플렉서블기판(400)의 온도를 감지하고, 그 결과에 따라 다수의 가열유닛들(111~117) 각각의 동작 및 배치가 조절되도록 제어할 수 있다.
이를 위해, 챔버(101) 내부에는 하나 이상의 온도센서(미도시)가 배치될 수 있으며, 제어유닛(160)은 온도센서로부터 제공된 감지결과에 따라 가열유닛들(111~117)의 동작 및 배치를 조절할 수 있다. 이러한 제어유닛(160) 및 이에 의한 다수의 가열유닛들(111~117)의 동작은 후에 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
상술한 바와 같이, 본 실시예의 기판건조장치(100)는 챔버(101) 내부에 다수의 이송롤러들(102) 및 다수의 가열유닛들(111~117)을 나선형 구조로 배치됨으로써, 챔버(101) 내부에는 나선형 배치로 인한 다수의 건조구간들이 정의될 수 있다. 따라서, 본 발명의 기판건조장치(100)는 언와인딩 롤(200)로부터 제공된 플렉서블기판(400)에 대한 건조구간 및 건조시간이 종래의 기판건조장치와 대비하여 상대적으로 증가될 수 있다. 이로 인해, 본 발명의 기판건조장치(100)는 플렉서블기판(400)에 대한 건조 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시예의 기판건조장치(100)는 다수의 가열유닛들(111~117)이 플렉서블기판(400)의 일면, 즉 증착막 또는 패턴이 형성된 일면에 근접되어 배치된다. 따라서, 본 발명의 기판건조장치(100)는 플렉서블기판(400)에 대한 건조 공정에서 플렉서블기판(400)의 일면이 이송롤러들(102) 등에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예의 기판건조장치(100)는 다수의 가열유닛들(111~117)과 함께 포집펌프(150) 및 하나 이상의 포집유닛(121, 123)이 더 배치된다. 따라서, 본 발명의 기판건조장치(100)는 플렉서블기판(400)에 대한 건조 품질을 더욱 향상시킬 수 있다.
한편, 도면에 도시되지는 않았으나, 기판건조장치(100)는 적어도 하나의 세정유닛(미도시) 및 정전기 제거유닛(미도시)을 더 포함할 수 있다.
세정유닛은 언와인딩 롤(200)로부터 챔버(101) 내부로 인입되는 플렉서블기판(400)에 대한 세정을 수행할 수 있다. 세정유닛은 플라즈마 가스, 예컨대 아르곤(Ar) 또는 산소(O2) 등을 이용하여 플렉서블기판(400)의 일면을 세정할 수 있다.
정전기 제거유닛은 플렉서블기판(400)의 이송 중에 발생되는 정전기를 제거할 수 있다. 정전기 제거유닛은 소정의 파장대, 예컨대 365nm 파장대의 빛을 플렉서블기판(400)의 일면에 조사하여 정전기를 제거할 수 있다. 정전기 제거유닛은 언와인딩 롤(200) 및 리와인딩 롤(300) 각각에 인접되도록 다수 배치될 수 있다. 또한, 정전기 제거유닛은 다수의 이송롤러들(102) 각각에 인접되도록 다수 배치될 수 있다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 따른 롤투롤 방식의 기판건조장치에서 다수의 가열유닛들의 제어 동작을 나타내는 실시예들이다.
본 실시예들에서는 설명의 편의를 위하여 도 2에 도시된 다수의 가열유닛들(111~117) 중에서 두번째 가열유닛, 즉 제2가열유닛(112)의 제어 동작을 설명하기로 한다. 그러나, 나머지 가열유닛들(111~117)도 제2가열유닛(112)과 동일한 제어 동작이 수행될 수 있다.
도 3a 내지 도 3d를 참조하면, 제2가열유닛(112)은 다수의 히터, 예컨대 제1히터(112_1) 내지 제8히터(112_8)를 포함할 수 있다. 제2가열유닛(112)은 이송롤러(102)에 의해 이송되는 플렉서블기판(400)의 일면에 근접하여 배치될 수 있다. 제2가열유닛(112)은 제1히터(112_1) 내지 제8히터(112_8)의 동작에 따라 플렉서블기판(400)의 일면에 열을 가하여 수분 등을 제거할 수 있다.
제2가열유닛(112)의 양측에는 플렉서블기판(400)의 일면의 온도를 감지할 수 있는 제1온도센서(103) 및 제2온도센서(104)가 배치될 수 있다. 제1온도센서(103)는 제2가열유닛(112)에 의해 건조가 진행되기 전의 플렉서블기판(400)의 일면 온도를 감지할 수 있다. 제2온도센서(104)는 제2가열유닛(112)에 의해 건조가 완료된 플렉서블기판(400)의 일면 온도를 감지할 수 있다. 제1온도센서(103)와 제2온도센서(104)는 각각의 감지결과를 제어유닛(160)으로 제공할 수 있다.
제어유닛(160)은 제1온도센서(103) 및 제2온도센서(104)로부터 제공된 감지결과, 즉 플렉서블기판(400)의 일면 온도에 따라 제2가열유닛(112)의 제1히터(112_1) 내지 제8히터(112_8) 중 적어도 하나의 동작을 제어할 수 있다.
도 3a를 참조하면, 제2온도센서(104)의 감지결과에 따른 플렉서블기판(400)의 일면 온도가 일정 범위를 초과한 경우에, 제어유닛(160)은 제2가열유닛(112)의 제1히터(112_1) 내지 제8히터(112_8) 중 적어도 하나의 히터, 예컨대 제2히터(112_2), 제3히터(112_3), 제6히터(112_6) 및 제7히터(112_7)의 동작을 중단시킬 수 있다.
이러한 제어유닛(160)의 제어에 의해 제2가열유닛(112)은 플렉서블기판(400)의 일면으로 제공하는 열의 총량이 감소될 수 있다. 따라서, 제2가열유닛(112)에 의해 건조 공정이 수행된 플렉서블기판(400)의 일면 온도는 일정 범위 내로 원복되므로, 플렉서블기판(400)의 건조 공정 품질이 개선될 수 있다.
또한, 도 3b를 참조하면, 제2가열유닛(112)은 최초에 플렉서블기판(400)의 일면으로부터 소정 간격, 예컨대 제1거리(d1)로 이격된 상태에서 플렉서블기판(400)의 일면에 열을 제공할 수 있다. 이때, 제2온도센서(104)의 감지결과에 따른 플렉서블기판(400)의 일면 온도가 일정 범위의 미만인 경우에, 제어유닛(160)은 제2가열유닛(112)의 제1히터(112_1) 내지 제8히터(112_8) 전체를 플렉서블기판(400)의 일면으로부터 제2거리(d2)로 이격되도록 이동시킬 수 있다. 여기서, 제2거리(d2)는 제1거리(d1)보다 작은 값을 갖는다.
이러한 제어유닛(160)의 제어에 의해 제2가열유닛(112)은 플렉서블기판(400)의 일면으로 제공하는 열의 총량이 증가될 수 있다. 따라서, 제2가열유닛(112)에 의해 건조 공정이 수행된 플렉서블기판(400)의 일면 온도는 일정 범위 내로 원복되므로, 플렉서블기판(400)의 건조 공정 품질이 개선될 수 있다.
또한, 도 3c 및 도 3d를 참조하면, 제1온도센서(103)의 감지결과에 따른 플렉서블기판(400)의 일면 온도와 제2온도센서(104)의 감지결과에 따른 플렉서블기판(400)의 일면 온도 간의 편차가 일정 범위를 초과한 경우에, 제어유닛(160)은 제2가열유닛(112)의 제1히터(112_1) 내지 제8히터(112_8)의 배치를 조절할 수 있다.
도 3c에 도시된 것과 같이, 제어유닛(160)은 제1히터(112_1) 내지 제8히터(112_8)를 플렉서블기판(400)의 일면에 대해 경사지도록 배치할 수 있다. 이때, 제1히터(112_1) 내지 제8히터(112_8)는 플렉서블기판(400)의 일면에 대해 간격, 즉 이격거리가 점점 증가되도록 배치될 수 있다.
예컨대, 제1히터(112_1)는 플렉서블기판(400)의 일면에 대해 제1거리(d1)로 이격되어 배치되고, 제8히터(112_8)는 플렉서블기판(400)의 일면에 대해 제8거리(d8)로 이격되어 배치될 수 있다. 그리고, 제2히터(112_2) 내지 제7히터(112_7)는 제1거리(d1) 내지 제8거리(d8) 사이의 값을 가지는 거리로 이격되어 배치될 수 있다. 여기서, 제1거리(d1)는 제8거리(d8)보다 작은 값을 갖는다.
이러한 제어유닛(160)의 제어에 의해 제2가열유닛(112)은 플렉서블기판(400)의 일면으로 제공하는 열의 총량이 플렉서블기판(400)의 이동방향에 대해 점점 감소될 수 있다. 따라서, 제1온도센서(103)의 감지결과와 제2온도센서(104)의 감지결과에 따른 플렉서블기판(400)의 일면의 온도 편차는 일정 범위 내로 원복되므로, 플렉서블기판(400)의 건조 공정 품질이 개선될 수 있다.
또한, 도 3d에 도시된 것과 같이, 제어유닛(160)은 제1히터(112_1) 내지 제8히터(112_8)를 플렉서블기판(400)의 일면에 대해 경사지도록 배치할 수 있다. 이때, 제1히터(112_1) 내지 제4히터(112_4) 및 제5히터(112_5) 내지 제8히터(112_8)는 각각 플렉서블기판(400)의 일면에 대해 이격거리가 점점 증가되도록 배치될 수 있다.
예컨대, 제1히터(112_1)는 플렉서블기판(400)의 일면에 대해 제1거리(d1)로 이격되어 배치되고, 제4히터(112_4)는 플렉서블기판(400)의 일면에 대해 제4거리(d4)로 이격되어 배치될 수 있다. 그리고, 제2히터(112_2) 및 제3히터(112_3)는 제1거리(d1) 및 제4거리(d4) 사이의 값을 가지는 거리로 이격되어 배치될 수 있다.
또한, 제5히터(112_5)는 플렉서블기판(400)의 일면에 대해 제5거리(d5)로 이격되어 배치되고, 제8히터(112_8)는 플렉서블기판(400)의 일면에 대해 제8거리(d8)로 이격되어 배치될 수 있다. 그리고, 제6히터(112_6) 및 제7히터(112_7)는 제5거리(d5) 및 제8거리(d8) 사이의 값을 가지는 거리로 이격되어 배치될 수 있다.
여기서, 제1거리(d1) 및 제5거리(d5)는 각각 제4거리(d4) 및 제8거리(d8)보다 작은 값을 갖는다. 또한, 제1거리(d1)는 제5거리(d5)와 동일할 수 있고, 제4거리(d4)는 제8거리(d8)와 동일할 수 있다.
이러한 제어유닛(160)의 제어에 의해 제2가열유닛(112)은 플렉서블기판(400)의 일면으로 제공하는 열의 총량이 플렉서블기판(400)의 이동방향에 대해 일정하게 제어될 수 있다. 따라서, 제1온도센서(103)의 감지결과와 제2온도센서(104)의 감지결과에 따른 플렉서블기판(400)의 일면의 온도 편차는 일정 범위 내로 원복되므로, 플렉서블기판(400)의 건조 공정 품질이 개선될 수 있다.
전술한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.
100: 기판건조장치 101: 챔버
111~117: 건조유닛 121: 제1포집유닛
123: 제2포집유닛 131: 제1정렬유닛
133: 제2정렬유닛 140: 진공펌프
150: 포집펌프 160: 제어유닛
200: 언와인딩 롤 300: 리와인딩 롤
400: 플렉서블기판

Claims (11)

  1. 진공 상태의 챔버;
    상기 챔버 내부에서 나선형 구조로 배치되어 다수의 건조구간을 정의하고, 언와인딩 롤로부터 제공된 플렉서블기판을 리와인딩 롤까지 이송시키는 다수의 이송롤러들; 및
    상기 다수의 건조구간마다 배치되고, 상기 플렉서블기판의 일면에 열을 가하여 수분을 제거하는 다수의 가열유닛들을 포함하는 기판건조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 이송롤러들은 상기 다수의 가열유닛들과 대향되어 상기 플렉서블기판의 타면에 접촉되는 기판건조장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 가열유닛들 각각에 인접되어 배치되고, 상기 플렉서블기판의 일면 온도를 감지하는 온도센서; 및
    상기 온도센서의 감지 결과에 따라 상기 다수의 가열유닛들 각각의 동작을 제어하는 제어유닛을 더 포함하는 기판건조장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제어유닛은 상기 감지 결과에 따라 상기 다수의 가열유닛들 각각에 구비된 다수의 히터 중 적어도 하나의 동작을 중단시키는 기판건조장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제어유닛은 상기 감지 결과에 따라 상기 다수의 가열유닛들 각각에 구비된 다수의 히터와 상기 플렉서블기판 간의 간격을 조절하는 기판건조장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 제어유닛은 상기 감지 결과에 따라 상기 다수의 가열유닛들 각각에 구비된 다수의 히터를 상기 플렉서블기판의 일면에 대해 경사지도록 배치하는 기판건조장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 챔버 내부의 수분을 포집하여 배출하는 포집펌프; 및
    상기 챔버 내부에서 상기 언와인딩 롤 및 상기 리와인딩 롤 각각에 인접되어 배치되고, 상기 플렉서블기판의 수분을 포집하는 하나 이상의 포집유닛을 더 포함하는 기판건조장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 하나 이상의 포집유닛은,
    상기 언와인딩 롤과 상기 다수의 가열유닛들 중 첫번째 가열유닛 사이에 배치된 제1포집유닛; 및
    상기 리와인딩 롤과 상기 다수의 가열유닛들 중 마지막 가열유닛 사이에 배치된 제2포집유닛을 포함하는 기판건조장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1포집유닛 및 상기 제2포집유닛 각각에 인접되어 배치되어 상기 플렉서블기판을 정렬하는 하나 이상의 정렬유닛을 더 포함하는 기판건조장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 언와인딩 롤, 상기 리와인딩 롤 및 상기 다수의 이송롤러들 중 적어도 하나에 인접되도록 배치된 정전기 제거유닛을 더 포함하는 기판건조장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 플렉서블기판의 일면을 세정하는 세정유닛을 더 포함하는 기판건조장치.
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