KR102564611B1 - 진공밸브 - Google Patents

Abstract

진공밸브는 내부공간 (2) 과 제 1 밸브 개구부 (3) 및 제 2 밸브 개구부 (4) 를 갖는 밸브 하우징 (1) 을 포함하고, 상기 진공밸브는 상기 밸브 하우징 (1) 의 상기 내부공간 (2) 에 배치된 폐쇄유닛 (10) 을 포함하고, 상기 폐쇄유닛은 제 1 플레이트 (11), 제 2 플레이트 (12), 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 사이에 배치된 롤러 지지체 (13), 다수의 롤러쌍, 및 적어도 하나의 스프링 (30, 31) 을 구비하고, 상기 롤러쌍들은 각각 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 제 2 스프레딩 롤러 (15) 에 의해 형성되고, 이때 개방위치로부터 중간위치로의, 이동방향 (16) 에 대해 평행하는 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 는 상기 롤러 지지체 (13) 에 의해 동행되고, 상기 중간위치로부터 폐쇄위치로의 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 이동방향 (16) 으로의 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 의 그 밖의 이동이 봉쇄된다. 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 오목부들 (23) 의 상승 측면들 (23a) 을 따라서 이동되고, 이때 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 를 스프레딩 방향 (22) 에 대해 평행으로 서로 벌린다. 각각의 롤러쌍의 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 회전축들 (28, 29) 은 상기 이동방향 (16) 과 관련하여 서로 오프셋되고, 상기 스프레딩 방향 (22) 과 관련하여 간격 (b) 을 가지며, 상기 간격은 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 의 반지름과 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 반지름의 합계보다 작다.

Description

진공밸브 {VACUUM VALVE}

본 발명은 진공밸브에 관한 것이며, 상기 진공밸브는 내부공간과 제 1 밸브 개구부 (valve opening) 및 제 2 밸브 개구부를 갖는 밸브 하우징 (valve housing) 을 포함하고, 상기 밸브 개구부들은 제 1 시트면 (seat surface) 과 제 2 시트면에 의해 둘러싸여 있고, 상기 진공밸브는 상기 밸브 하우징의 상기 내부공간에 배치된 폐쇄유닛 (closure unit) 을 포함하고, 상기 폐쇄유닛은 제 1 플레이트 (plate), 제 2 플레이트, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이에 배치된 롤러 지지체 (roller support), 다수의 롤러쌍, 및 적어도 하나의 스프링을 구비하고, 상기 롤러쌍들은 각각 제 1 스프레딩 롤러 (spreading roller) 와 제 2 스프레딩 롤러에 의해 형성되고, 상기 스프레딩 롤러들은 상기 롤러 지지체에 각각의 회전축 둘레로 회전 가능하게 설치되고, 상기 스프링에 의해 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트는 상기 스프레딩 롤러들을 향하여 잡아당겨지고, 상기 스프레딩 롤러들은 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트의 서로를 향한 표면들에 밀착하고, 이때 상기 롤러 지지체는, 상기 진공밸브가 열려 있는 그리고 상기 제 1 밸브 개구부와 상기 제 2 밸브 개구부가 해제되어 있는 개방위치로부터, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트가 상기 제 1 밸브 개구부와 상기 제 2 밸브 개구부 사이에 놓여 있는, 하지만 상기 제 1 시트면과 상기 제 2 시트면으로부터 간격을 두고 있는 중간위치를 거쳐, 상기 진공밸브가 닫혀 있는 폐쇄위치로, 이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 개방위치로부터 상기 중간위치로의 상기 롤러 지지체의 이동시 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트는 상기 롤러 지지체에 의해 동행되고, 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 롤러 지지체의 이동시 상기 이동방향으로의 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트의 그 밖의 이동이 봉쇄되고, 이때 상기 롤러 지지체의 상기 개방위치와 상기 중간위치에 있어서 각각의 롤러쌍의 상기 제 1 스프레딩 롤러는 상기 제 1 플레이트의 표면 안의 각각의 오목부의 영역 안의 상기 제 1 플레이트의 표면에 밀착하고, 각각의 롤러쌍의 상기 제 2 스프레딩 롤러는 상기 제 2 플레이트의 표면 안의 각각의 오목부의 영역 안의 상기 제 2 플레이트의 표면에 밀착하고, 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 롤러 지지체의 이동시 상기 제 1 스프레딩 롤러와 상기 제 2 스프레딩 롤러는 상기 오목부들의 상승 측면들을 따라서 이동되고, 이때 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 스프레딩 방향에 대해 평행으로 서로 벌린다.

서로 벌려질 수 있는 폐쇄유닛들을 갖는 이러한 종류의 진공밸브들, 슬라이드 밸브라고도 불린다, 은 여러 가지의 실시형태들로 알려져 있다. 통례적인 실시형태에 있어서, 상기 폐쇄유닛의 두 플레이트를 서로 벌리기 위해 볼들 (balls) 이 이용되고, 상기 볼들은 한 쌍씩, 상기 두 플레이트 사이에 배치된 볼 케이지 안에 배치된다. 상기 폐쇄유닛의 서로 근접된 상태에서, 상기 볼들은 상기 플레이트들의 오목부들 안으로 돌출한다. 상기 플레이트들을 서로 벌리기 위해 상기 볼 케이지는 상기 플레이트들에 대해 이동되고, 이때 상기 볼들은 적어도 부분적으로 상기 플레이트들의 상기 오목부들 밖으로 안내된다. 이러한 종류의 형성들은 예컨대 US 4,052,036 A, US 5,379,983 A, US 3,368,792 A 및 CH 508 154 A 에 나타나 있다.

볼 케이지 안에 배치된 볼들 대신에, 스프레딩 롤러들의 이용이 이미 또한 알려져 있고, 상기 스프레딩 롤러들은, 제 1 플레이트와 제 2 플레이트 사이에 배치된 롤러 지지체에 회전축들 둘레로 회전 가능하게 설치된다. 마모가 이를 통해 감소될 수 있다. 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 서로 벌리기 위해 필요한 힘이 각각 상기 롤러 지지체의 동일한 영역들 안으로 도입되도록, 상기 스프레딩 롤러들은 한 쌍씩 롤러쌍들로서 배치된다. 각각의 롤러쌍에서 제 1 스프레딩 롤러는 상기 제 1 플레이트와 함께 작용하고 제 2 스프레딩 롤러는 상기 제 2 플레이트와 함께 작용한다.

도입부에서 언급된 종류의 이러한 유형의 진공밸브는 CN 204 26 77 68 U 에 나타나 있다.

볼 대신 스프레딩 롤러들을 이용할 때의 단점은, 그의 전체 두께 (= 스프레딩 방향으로의 확장) 와 관련하여 폐쇄유닛의 비교적 큰 제작크기에 있다. 상기 스프레딩 롤러들이 그들의 축볼트들 위에서 슬라이딩하게 설치되어 있으면, 발생하는 마찰 상태에 근거하여 스프레딩 롤러들이 제 1 플레이트와 제 2 플레이트를 서로 벌릴 때 플레이트 표면들에서 미끄러져 떨어지는 (그들에서 굴러가는 대신에) 위험이 존재하고, 이는 또다시 증가된 마모를 초래한다. 하지만, 롤링 몸체에 의해 지지된 스프레딩 롤러들의 이용은 상기 스프레딩 롤러들의 훨씬 더 큰 지름을 요구하고, 이로 인해 상기 폐쇄유닛의 두께가 더 커질 것이다.

본 발명의 목적은, 두께 (= 상기 스프레딩 방향과 관련된 연장) 와 관련하여 비교적 작은 제작크기가 가능해지는, 상기 도입부에서 언급된 종류의 유리한 진공밸브를 제공하는 것이다.

이는 본 발명에 따르면 청구항 1 항의 특징들을 갖는 진공밸브를 통해 달성된다.

본 발명에 따른 진공밸브에 있어서, 각각의 롤러쌍의 제 1 스프레딩 롤러와 제 2 스프레딩 롤러의 회전축들은 이동방향과 관련하여 서로 오프셋되고 (offset), 즉 상기 이동방향과 관련하여 서로 간격을 두고 있다. 이를 통해, 각각의 롤러쌍의 상기 제 1 스프레딩 롤러와 상기 제 2 스프레딩 롤러가 스프레딩 방향과 관련하여 서로 간격을 가지며, 상기 간격이 상기 제 1 스프레딩 롤러의 반지름과 상기 제 2 스프레딩 롤러의 반지름의 합계보다 작은 것이 가능해진다. 이를 통해, 제 1 플레이트와 제 2 플레이트는 서로 작은 간격을 두고 배치될 수 있고, 이를 통해 상기 폐쇄유닛의 그리고 상기 전체 진공밸브의 제작폭이 감소될 수 있다.

바람직하게는, 각각의 롤러쌍의 상기 제 1 스프레딩 롤러와 상기 제 2 스프레딩 롤러는 상기 스프레딩 방향과 관련하여 서로 간격을 가지며, 상기 간격은 상기 제 1 스프레딩 롤러의 반지름의 절반과 상기 제 2 스프레딩 롤러의 반지름의 절반의 합계보다 작다.

각각의 롤러쌍의 상기 두 스프레딩 롤러들의 반지름들은 유리하게 크기가 같고, 특히 모든 롤러쌍의 모든 스프레딩 롤러들은 동일한 반지름을 갖는다.

상기 폐쇄유닛의 상기 플레이트들에서의 상기 스프레딩 롤러들의 정확한 굴러감을 보장하기 위해, 상기 스프레딩 롤러들은 바람직하게는 롤링 베어링들 (rolling bearings) 을 이용해 그들의 회전축들 둘레로 회전 가능하게 지지된다.

본 발명의 유리한 실시형태에 있어서, 상기 스프레딩 롤러들의 회전축들은 축볼트에 의해 형성되고, 상기 축볼트들은, 그들이 롤러 지지체 안의 각각의 윈도우 개구부 (window opening) 를 가로지를 정도로, 상기 판 모양으로 형성된 롤러 지지체에 고정된다. 각각의 롤러쌍의 상기 스프레딩 롤러들은 이때 상기 롤러 지지체의 하나의 공통의 윈도우 개구부를 관통하고, 즉 각각의 롤러쌍의 상기 스프레딩 롤러들의 축볼트들은 상기 롤러 지지체의 상기 동일한 윈도우 개구부를 가로지른다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점들과 상세내용은 첨부된 도면을 근거로 설명된다.

도 1 은 닫힌 상태에서의 본 발명에 따른 진공밸브의 실시예의 사투상도;
도 2 는 도 1 의 진공밸브의 도면;
도 3 은 열린 상태에서의 도 1 의 진공밸브의 도면;
도 4 는 밸브 하우징의 앞 섹션이 제거된, 도 2 에 상응하는 도면;
도 5 는 도 4 의 선 (A-A) 을 따른 단면;
도 6 은 도 5 에 상응하는, 하지만 롤러 지지체의 중간위치에서의 단면;
도 7 은 도 5 에 상응하는, 하지만 롤러 지지체의 개방위치에서의 단면 (= 상기 진공밸브의 열린 상태에서);
도 8 은 도 4 에 도시된 선 (B-B) 에 상응하는, 하지만 롤러 지지체의 중간위치에서의 단면;
도 9 는 폐쇄유닛의 분해도;
도 10 은 롤러 지지체의 개방위치에서 그리고 중간위치에서 폐쇄유닛이 갖는 상태에서의 상기 폐쇄유닛의 도면;
도 11 은 롤러 지지체의 폐쇄위치에서 (= 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서) 폐쇄유닛이 갖는 상태에서의 상기 폐쇄유닛의 도면;
도 12 는 도 10 안의 선 (C-C) 을 따른 단면;
도 13 은 도 11 안의 선 (D-D) 을 따른 단면을 나타낸다.

상기 도면들은 서로 다른 척도를 갖는다.

본 발명에 따른 진공밸브의 실시예는 도 1 내지 도 13 에 도시된다. 슬라이드 밸브의 종류에 따라 형성된 상기 진공밸브는 밸브 하우징 (1) 을 구비하고, 이때 밸브 하우징 (1) 의 내부공간 (2) 은 상기 진공밸브의 진공영역을 형성한다. 상기 밸브 하우징은 제 1 밸브 개구부 (3) 와 제 2 밸브 개구부 (4) 를 구비하며, 상기 밸브 개구부들은 밸브 하우징 (1) 의 내부공간 (2) 으로 통한다. 밸브 하우징 (1) 과 그 밖의 진공 구성요소들과의, 특히 진공챔버들 또는 관 라인들과의 진공 밀봉적 연결을 가능하게 하기 위해, 밸브 개구부들 (3, 4) 의 영역에, 밸브 하우징 (1) 의 플랜지들 (5, 6) 이 제공된다. 밸브 개구부들 (3, 4) 은 밸브 하우징 (1) 의 마주 보고 있는 벽들 (40, 41) 안에 배치되고, 바람직하게는 크기가 같고 일치한다.

제 1 밸브 개구부 (3) 와 제 2 밸브 개구부 (4) 는 제 1 시트면 (7) 과 제 2 시트면 (8) 에 의해 둘러싸인다. 시트면들 (7, 8) 은 서로를 향해 있고, 밸브 하우징 (1) 의 벽들 (40, 41) 의, 내부공간 (2) 을 한정하는 벽 표면들의 섹션들에 의해 형성된다.

밸브 하우징 (1) 에, 상기 진공밸브를 열고 닫기 위한 드라이브 유닛 (9) 이 부착되고, 상기 드라이브 유닛은 실시예에서 공압식 피스톤-실린더 유닛을 구비한다. 드라이브들의 다른 종류들, 또는 상기 진공밸브를 수동으로 열고 닫기 위해 드라이브 유닛 (9) 의 영역에 그 대신에 배치된 수동 작동요소도 마찬가지로 있을 수 있고 가능하다.

밸브 하우징 (1) 은 도시된 실시예에서 밸브 개구부들 (3, 4) 을 구비하는 메인 부품 (1a) 과, 뚜껑 부품 (1b) 을 갖고 두 부분으로 형성되고, 상기 뚜껑 부품에 드라이브 유닛 (9) 이 부착된다. 상기 두 하우징 부품들은 플랜지 연결을 이용해 서로 나사결합되고, 서로 밀봉된다.

실시예에 있어서, 밸브 개구부들 (3, 4) 을 구비하는 밸브 하우징 (1) 의 마주 보고 있는 벽들 (40, 41) 은, 이 두 벽 (40, 41) 을 연결하는 좁은 측 벽들 (42, 43) 과 마찬가지로 금속 박판으로 형성된다. 안정성을 높이기 위해, 이때 유리하게 보강 리브 (reinforcement ribs, 1c) 가 밖에 상기 밸브 하우징에 배치된다.

밸브 하우징 (1) 의 다른 형성들이 마찬가지로 있을 수 있고 가능하다.

밸브 하우징 (1) 의 내부공간 (2) 에 폐쇄유닛 (10) 이 배치된다. 그는 제 1 플레이트 (11), 제 2 플레이트 (12), 및 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이에 배치된, 바람직하게는 판 모양으로 형성된, 롤러 지지체 (13) 를 구비한다. 롤러 지지체 (13) 에는, 한 쌍씩 배치된 스프레딩 롤러들 (14, 15) 이 회전축들 (28, 29) 둘레로 회전 가능하게 설치된다. 즉, 다수의 롤러쌍이 제공되고, 상기 롤러쌍들은 각각 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 제 2 스프레딩 롤러 (15) 에 의해 형성된다. 하기에서 보다 상세히 설명하는 바와 같이, 스프레딩 롤러들 (14, 15) 은 스프레딩 방향 (22) 으로 플레이트들 (11, 12) 을 서로 벌리기 위해 쓰인다.

상기 진공밸브를 닫고 열기 위해, 롤러 지지체 (13) 는 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 이동된다. 실시예에서, 롤러 지지체 (13) 는 이를 위해, 알려져 있는 바와 같이, 레버 메커니즘을 통하여 상기 드라이브 유닛의 피스톤 (9a) 과 연결된다. 연결암 (connection arm, 17) 은 일 단부에서 선회 가능하게 롤러 지지체 (13) 와 연결된다. 상기 연결은 롤러 지지체 (13) 의 돌기 (13b) 안의 아이 (eye, 13c) 를 통하여 수행된다. 다른 단부에서, 연결암 (17) 은 선회 가능하게 선회레버 (18) 와 연결되고, 상기 선회레버는 밸브 하우징 (1) 에 대해 선회 가능하게 설치된다. 선회레버 (18) 는 드라이브 유닛 (9) 에 의해 선회될 수 있고, 이때 실시예에 있어서 그 밖의 연결암 (19) 이 연결을 위해 쓰이고, 상기 그 밖의 연결암은 한편으로는 선회 가능하게 선회레버 (18) 에 설치되고, 다른 한편으로는 선회 가능하게 피스톤 로드 (9b) 에 설치된다. 상기 진공밸브의 열림 및 닫힘은 이 방식으로 짧은 피스톤 행정을 갖고 실행될 수 있다. 그러나, 예컨대 또한, 상응하여 긴 행정의 피스톤을 이용하는 것이 있을 수 있고 가능하고, 상기 피스톤의 피스톤 로드는 직접적으로 롤러 지지체 (13) 와 연결된다.

피스톤 로드 (9b) 는 진공 피드스루 (vacuum feed-through) 를 이용해 상기 진공밸브의 상기 진공영역 밖으로 안내된다. 실시예에 있어서, 도식적으로 밀봉링 (44) 이 도시된다. 리니어 피드스루는 예컨대 벨로스 (bellows) 에 의해서도 형성될 수 있다.

마찬가지로 알려져 있는 방식으로 롤러 지지체 (13) 에 가이드 롤러들 (20, 21) 이 회전 가능하게 설치됨으로써, 폐쇄유닛 (10) 은 밸브 하우징 (1) 에 대해 이동방향 (16) 으로 이동 가능하게 안내된다. 가이드 롤러들 (20) 의 회전축들은 가이드 롤러들 (21) 의 회전축들에 대해 직각으로 있다. 가이드 롤러들 (20) 은 밸브 하우징 (1) 의 벽들 (42, 43) 의 내부 표면들과 함께 작용하고, 가이드 롤러들 (21) 은 밸브 하우징 (1) 의 벽들 (40, 41) 의 내부 표면들과 함께 작용하고, 이동방향 (16) 에 대해 직각으로 있는 모든 방향들로의 롤러 지지체 (13) 의 그리고 이로써 통째로 폐쇄유닛 (10) 의 이동을 저지한다.

이동방향 (16) 과 스프레딩 방향 (22) 은 서로 직각으로 있다. 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 회전축들 (28, 29) 은 이동방향 (16) 에 대해 직각으로 그리고 스프레딩 방향 (22) 에 대해 직각으로 있다.

상기 진공밸브의 열린 상태에서, 폐쇄유닛 (10) 은, 그가 제 1 밸브 개구부 (3) 와 제 2 밸브 개구부 (4) 를 해제하는 위치로 이동되어 있다. 즉, 제 1 밸브 개구부 (3), 내부공간 (2) 및 제 2 밸브 개구부 (4) 를 통해 연장되는, 상기 진공밸브를 통한 관통채널이 해제된다. 상기 진공밸브의 이 열린 상태는 도 3 및 도 7 에 도시된다. 롤러 지지체 (13) 는 상기 진공밸브의 열린 상태에서 그의 개방위치에 있다.

상기 진공밸브의 닫힌 상태에서, 도 1, 도 2, 도 4 및 도 5 참조할 것, 상기 진공밸브를 통한 관통부는 폐쇄유닛 (10) 에 의해 밀봉되어 있다. 이를 위해, 폐쇄유닛 (10) 은 서로 벌려지고, 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (12) 는 제 1 시트면 (7) 과 제 2 시트면 (8) 에 밀어붙여진다. 제 1 밸브 개구부 (3) 를 밀봉하기 위해 제 1 플레이트 (11) 는 탄성적 밀봉링 형태의 시일 (seal, 38) 을 갖추고 있고, 상기 밀봉링은 예컨대 플레이트 (11) 에 가황 처리될 수 있다. 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이에 있는 공간을 환기시키기 위해, 제 2 플레이트 (12) 는 개구부들 (12a) 을 갖추고 있다. 개구부들 (12a) 대신에, 예컨대 적어도 하나의 그루브 (groove) 도, 제 2 시트면 (8) 에 밀착하는 제 2 플레이트 (12) 의 영역에 제공될 수 있다. 원칙적으로, 두 플레이트 (11, 12) 도 시일들을 갖추고 있을 수 있고, 이때 개구부들 (12a) 은 생략될 것이고, 유리하게, 내부공간 (2) 을 펌프 아웃 (pump out) 하기 위한 펌프 아웃 가능성이 제공될 것이다.

상기 진공밸브의 열린 상태에서, 즉 롤러 지지체 (13) 의 개방위치에 있어서, 스프레딩 롤러들 (14, 15) 은, 플레이트들 (11, 12) 의 서로를 향한 표면들이 오목부들 (23) 을 구비하는 영역들에서, 플레이트들 (11, 12) 의 서로를 향한 표면들에 밀착한다. 바람직하게는, 스프레딩 롤러들 (14, 15) 은 플레이트들 (11, 12) 에서의 이 오목부들 (23) 의 가장 깊은 부위들에 밀착한다. 그러면, 상기 폐쇄유닛은 그의 서로 근접된 상태에 있고, 상기 서로 근접된 상태는 도 10 및 도 12 에도 도시된다.

각각의 오목부 (23) 는, 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 연장되는 횡단면에 있어서 각각의 플레이트 (11, 12) 의 상기 각각의 깊어진 영역을 통해 볼 때, 그가 도 5 내지 도 7 과 도 12 및 도 13 에 도시된 바와 같이, 그의 가장 깊은 점에서 시작하여 상승 측면 (23a) 을 갖는다. 상기 상승 측면은 오목부 (23) 의, 드라이브 유닛 (9) 으로부터 멀리 떨어진 측에 놓여 있고, 즉 상기 진공밸브를 닫을 때 폐쇄유닛 (10) 의 이동의 방향과 관련하여 앞으로 놓여 있고, 각각의 오목부 (23) 와 맞물리는 스프레딩 롤러 (14, 15) 를 위한 주행경로를 형성한다.

실시예에 있어서 4개의 롤러쌍이 제공되고, 상기 롤러쌍들은 각각 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 제 2 스프레딩 롤러 (15) 에 의해 형성되고, 상기 스프레딩 롤러들은 롤러 지지체 (13) 에 회전 가능하게 설치된다. 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (12) 가 실시예에서 원형 외부윤곽을 갖고 형성되기 때문에, 상기 롤러쌍들은 유리하게 가상의 정사각형의 모서리들에 놓여 있다. 더 많은 또는 더 적은 롤러쌍들도 존재할 수 있다. 유리하게, 하나의 공통의 직선 위에 배치되어 있지 않은, 적어도 3개의, 바람직하게는 적어도 4개의, 롤러쌍이 존재한다. 예컨대, 5개 또는 6개의 롤러쌍이 제공될 수 있고, 상기 롤러쌍들은 상기 롤러 지지체 위에 분배되어 회전 가능하게 설치되고, 예컨대 원형 외부윤곽을 갖는 플레이트들 (11, 12) 에 있어서 적어도 근사적으로, 플레이트들 (11, 12) 의 중앙축들에 대해 동심적으로 놓여 있는 가상의 원을 따라서 설치된다.

각각의 롤러쌍의 두 스프레딩 롤러들 (14, 15) 은 판 모양의 롤러 지지체 (13) 안의 하나의 각각의 공통의 윈도우 개구부 (13a) 를 관통한다. 롤러 지지체 (13) 에서의 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 회전 가능한 설치를 위해, 축볼트들 (24) 이 상기 롤러 지지체에 고정되고, 상기 축볼트들은 각각의 윈도우 개구부 (13a) 를 가로지른다. 윈도우 개구부 (13a) 의 양쪽에 놓여 있는, 축볼트들 (24) 의 섹션들에서, 롤러 지지체 (13) 에서의 고정이 수행된다. 이를 위해, 축볼트들 (24) 은 예컨대 롤러 지지체 (13) 에 용접될 수 있다. 도 8 에는, 그 밖의 고정 가능성으로서 고정나사들 (25) 이 도시되고, 상기 고정나사들은 롤러 지지체 (13) 안의 보어들을 관통하고, 축볼트들 (24) 안의 나사보어들 (threaded bores) 안으로 나사결합된다. 이 고정나사들 (25) 은 다른 도면들에는 간단하게 하기 위해 도시되지 않는다. 상기 고정은 다른 형태로도 수행될 수 있고, 예컨대 볼트결합을 통해 수행될 수 있다.

스프레딩 롤러들 (14, 15) 은 바람직하게는 롤링 베어링 (26), 특히 니들 베어링 또는 볼 베어링을 통하여 축볼트들 (24) 위에서 회전 가능하게 지지된다.

각각의 스프레딩 롤러 (14, 15) 의 양쪽에, 축볼트들 (24) 에 의해 관통된 밀착 접합판 (27) 이 존재한다. 이를 통해, 윈도우 개구부들 (13a) 의 좁은 가장자리들에서의 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 마찰이 방지된다. 실시예에 있어서, 각각의 롤러쌍의 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 각각의 측에, 상기 롤러쌍의 두 스프레딩 롤러들 (14, 15) 을 위한 하나의 공통의 밀착 접합판 (27) 이 제공되고, 상기 밀착 접합판은 두 축볼트 (24) 에 의해 관통된다. 각각의 스프레딩 롤러 (14, 15) 를 위해 자신의 밀착 접합판들을 스프레딩 롤러 (14, 15) 의 양쪽에 제공하는 것도 가능하고, 상기 밀착 접합판들은 각각의 스프레딩 롤러 (14, 15) 에 할당된 축볼트들 (24) 에 의해 관통된다.

제 1 스프레딩 롤러 (14) 는 회전축 (28) 둘레로, 그리고 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 회전축 (29) 둘레로 회전 가능하게 롤러 지지체 (13) 에 설치된다. 각각의 롤러쌍의 제 1 스프레딩 롤러 (14) 는 제 1 플레이트 (11) 의 그를 향한 표면과 함께 작용해야 하고, 각각의 롤러쌍의 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 제 2 플레이트 (12) 의 그를 향한 표면과 함께 작용해야 하기 때문에, 회전축들 (28, 29) 은 스프레딩 방향 (22) 과 관련하여 오프셋되고, 즉 간격을 두고 있다. 다른 말로 하자면, 회전축들 (28, 29) 은 스프레딩 방향 (22) 에 대해 평행으로 놓인 좌표축의 서로 다른 부위들에 있다.

필요한, 스프레딩 방향 (22) 과 관련된, 회전축들 (28, 29) 의 간격 (b) 을 감소시키기 위해, 회전축들 (28, 29) 은 이동방향 (16) 과 관련하여서도 서로 오프셋되고, 즉 간격을 두고 있다. 다른 말로 하자면, 회전축들 (28, 29) 은 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 놓인 좌표축의 서로 다른 부위들에 있다.

이동방향 (16) 과 관련된, 각각의 롤러쌍의 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 회전축들 (28, 29) 사이의 간격 (a) 은 유리하게 제 1 스프레딩 롤러 (14) 의 반지름과 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 반지름의 합계의 적어도 80% 이고, 이때 이 반지름들의 합계의 적어도 90% 의 값이 바람직하다.

유리하게, 이동방향 (16) 과 관련된, 각각의 롤러쌍의 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 회전축들 (28, 29) 사이의 간격 (a) 은 상기 제 1 스프레딩 롤러의 지름과 상기 제 2 스프레딩 롤러의 지름의 합계보다 작고, 이때 이 지름들의 합계의 기껏해야 75% 의 값이 바람직하다.

실시예에 있어서, 간격 (a) 은 두 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 반지름들의 합계에 대략 상응하고 (± 5%), 이는 특히 바람직하다.

상기 스프레딩 방향과 관련된, 각각의 롤러쌍의 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 두 회전축 (28, 29) 사이의 간격 (b) 은 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 의 반지름과 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 반지름의 합계보다 작다. 바람직하게는, 간격 (b) 은 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 의 반지름과 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 반지름의 합계의 절반보다 작다.

바람직한 바와 같이, 모든 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 반지름들은 도시된 실시예에 있어서 동일하다.

제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 회전축들 (28, 29) 은 상이한 롤러쌍들을 위해 반대 방향들로 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 오프셋될 수 있고, 즉 상기 진공밸브를 닫을 때 폐쇄유닛 (10) 의 이동의 방향과 관련하여, 상기 롤러쌍들 중 적어도 하나에 있어서 제 1 스프레딩 롤러 (14) 는 제 2 스프레딩 롤러 (15) 보다 멀리 앞으로 놓여 있고, 상기 롤러쌍들 중 적어도 하나의 다른 것에 있어서 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 제 1 스프레딩 롤러 (14) 보다 멀리 앞으로 놓여 있다. 실시예에 있어서, 이동방향 (16) 과 관련하여 동일한 부위에 놓여 있는 롤러쌍들의 회전축들 (28, 29) 은 이동방향 (16) 에 대해 평행하는 동일한 방향으로 서로 오프셋된다.

이동방향 (16) 과 관련된, 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 회전축들 (28, 29) 사이의 오프셋의 양은 유리하게 모든 롤러쌍들을 위해 동일하다.

이동방향 (16) 과 관련된 각각의 롤러쌍의 두 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 오프셋에 상응하여, 이 롤러쌍의 두 스프레딩 롤러들 (14, 15) 에 할당된, 제 1 플레이트 (11) 안의 그리고 제 2 플레이트 (12) 안의 오목부들 (23) 은 같은 방식으로 오프셋된다. 각각의 롤러쌍에 할당된, 두 플레이트 (11, 12) 안의 오목부들 (23) 은 바람직하게는 거울상 (mirror image) 으로 형성되고, 이때 그들은 이동방향 (16) 과 관련하여 서로 이동되고, 이 이동의 크기는, 이동방향 (16) 과 관련된, 상기 각각의 롤러쌍의 두 스프레딩 롤러들 (14, 15) 사이의 간격 (a) 에 상응한다.

이동방향 (16) 에 대해 직각인 그리고 스프레딩 방향 (22) 에 대해 직각인 방향으로의 상기 롤러쌍들 중 하나의, 다수의 또는 모두의 두 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 오프셋, 그리고 이로써 오목부들 (23) 의 상응하는 오프셋은 원칙적으로 가능하고, 이때 이러한 오프셋은 바람직하게는 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 길이들의 절반보다 작을 것이다.

플레이트들 (11, 12) 안에 형성된 그 밖의 오목부들 (39) 은 유리하게 상기 플레이트들의 굽힘 강성을 높이기 위해 제공된다.

폐쇄유닛 (10) 의 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (15) 는 스프링을 통해, 그들의 서로를 향한 표면들과 함께 스프레딩 롤러들 (14, 15) 에 밀어붙여진다. 이 스프링은 도시된 실시예에 있어서 제 1 플레이트 (11) 에 부착된 제 1 스프링암 (spring arm, 30) 과 제 2 플레이트 (12) 에 부착된 제 2 스프링암 (31) 을 포함한다. 스프링암들 (30, 31) 은 각각 리프 스프링으로서 형성되고, 중앙 영역에서 각각의 플레이트 (11, 12) 와 연결되고, 그들의 두 단부에서 각각 서로 연결된다. 상기 연결들은 실시예에 있어서 각각 나사결합으로서 실시된다. 예컨대, 용접 또는 리벳체결도 고려된다. 스프링암들 (30, 31) 의 한 단부들에서, 그들 사이에 슬라이딩 디스크들 (32) 이 배치된다. 이 슬라이딩 디스크들 (32) 은 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 연장된, 롤러 지지체 (13) 의 안내면들 (33) 과 함께 작용하고, 이동방향 (16) 으로의 플레이트들 (11, 12) 과 롤러 지지체 (13) 사이의 안내를 야기시킨다. 다른 단부들에는, 스프링암들 (30, 31) 사이에 간격 라멜라들 (34, 35) 이 배치된다. 간격 라멜라 (34) 에, 가이드 롤러 (36) 가 회전 가능하게 설치된다. 상기 가이드 롤러는 롤러 지지체 (13) 의 리세스 (37) 안에 놓여 있고, 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 연장되는, 이 리세스 (37) 의 측면들과 함께 작용하고, 이를 통해 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 롤러 지지체 (13) 에 대해 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (12) 의 그 밖의 안내가 야기된다. 즉, 이를 통해, 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 롤러 지지체 (13) 에 대해 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (12) 를 직선으로 이동시키기 위한 가이드 장치 (guide device) 가 형성된다. 이러한 가이드 장치의 상이한 변화들이 있을 수 있고 가능하고, 예컨대 적어도 하나의 롤러가 슬라이딩 디스크들 (32) 대신에 이용될 수 있고, 적어도 하나의 슬라이딩 요소가 가이드 롤러 (36) 대신에 이용될 수 있다. 슬라이딩 디스크들 (32) 의 생략 또는 가이드 롤러 (36) 의 생략도 있을 수 있고 가능하고, 따라서 이동방향 (16) 에 대해 평행인 안내는 단지 한 부위에서만 수행된다.

스프링암들 (30, 31) 을 구비하는 상기 스프링을 통해, 실시예에 있어서 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (12) 는 서로 잡아당겨지고, 이를 통해 스프레딩 롤러들 (14, 15) 에의 플레이트들 (11, 12) 의 밀어붙임이 수행된다. 그 대신에 각각 하나의 스프링이 각각의 플레이트 (11, 12) 와 롤러 지지체 (13) 사이에 존재할 수 있고, 이를 통해 각각의 플레이트 (11, 12) 는 그에 할당된 스프레딩 롤러들 (14, 15) 에 눌려진다.

스프레딩 롤러들 (14, 15) 에 플레이트들 (11, 12) 을 밀어붙이기 위한 스프링들은 다른 방식으로도, 예컨대 코일 스프링의 형태로, 형성될 수 있다. 1개보다 많은 스프링이 이를 위해 제공될 수 있다.

롤러 지지체 (13) 가 그의 개방위치를 차지하는 (도 7 참조) 그의 개방된 상태로부터 시작하여 상기 진공밸브를 닫기 위해, 롤러 지지체 (13) 는 드라이브 유닛 (9) 을 통해 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 이동된다. 이를 통해, 전체 폐쇄유닛 (10) 은 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 이동된다. 롤러 지지체 (13) 가 그의 중간위치에 도달하면 (도 6 참조), 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (12) 는 제 1 밸브 개구부 (3) 와 제 2 밸브 개구부 (4) 사이에 놓여 있고, 즉 폐쇄유닛 (10) 은 제 1 밸브 개구부 (3) 와 제 2 밸브 개구부 (4) 를 덮는다 (밸브 개구부들 (3, 4) 의 축들의 방향으로 볼 때). 롤러 지지체 (13) 가 상기 개방위치로부터 상기 중간위치로 이동되는 동안, 롤러 지지체 (13) 와 제 1 플레이트 (11) 및 제 2 플레이트 (12) 사이의 상대적 자세가 변하지 않는다. 도 10 및 도 12 에 도시된, 폐쇄유닛 (10) 의 서로 근접된 상태가 유지된다.

이동방향 (16) 으로의 롤러 지지체 (13) 의 그 밖의 이동시, 이동방향 (16) 으로의, 밸브 하우징 (1) 에 대한 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (12) 의 그 밖의 이동이 봉쇄된다. 도면들에 도시된 실시예에 있어서, 이를 위해 간격 라멜라들 (34, 35) 은 정면측에서 밸브 하우징 (1) 의 밀착면에 부딪친다. 이동방향 (16) 으로의 그 밖의 이동에 대한 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (12) 의 이동의 봉쇄는 다른 방식으로도 수행될 수 있고, 예컨대 제 1 플레이트 (11) 및/또는 제 2 플레이트 (12) 가 직접적으로 밸브 하우징의 또는 그와 연결된 부품의 (각각의) 스톱면에 부딪침으로써 수행될 수 있다.

그러므로, 이동방향 (16) 으로의 롤러 지지체 (13) 의 이 그 밖의 이동시, 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (12) 에 대한 상기 롤러 지지체의 그리고 이로써 그에 회전 가능하게 설치된 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 이동이 발생한다. 스프레딩 롤러들 (14, 15) 은 이때 오목부들 (23 ab) 의 상승 측면들 (23a) 을 따라서 구르고, 이때 플레이트들 (11, 12) 은 서로 벌려지고, 그러므로 시트면들 (7, 8) 을 향하여 이동된다.

롤러 지지체 (13) 가 그의 폐쇄위치에 도달했으면, 제 1 플레이트 (11) 의 탄성적 시일 (38) 은 제 1 시트면 (7) 에 내리눌려져 있고, 제 1 밸브 개구부 (3) 는 이를 통해 밀봉된다. 상기 제 2 플레이트는 제 2 시트면 (8) 에 내리눌려져 있다.

폐쇄유닛 (10) 이 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 차지하는 상기 서로 벌려진 상태는 도 11 및 도 13 에 도시된다.

상기 진공밸브를 열기 위해, 롤러 지지체 (13) 는 그의 폐쇄위치로부터 시작하여 그의 개방위치의 방향으로 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 이동된다. 롤러 지지체 (13) 가 그의 폐쇄위치로부터 그의 중간위치로 움직이는 동안, 스프레딩 롤러들 (14, 15) 은 상기 스프링의 힘을 통해 오목부들 (23) 의 가장 깊은 점들의 방향으로 눌려지고, 이때 롤러 지지체 (13) 는 플레이트들 (11, 12) 에 대해 이동방향 (16) 과 관련하여 이동하고, 플레이트들 (11, 12) 은 서로 근접한다. 롤러 지지체 (13) 의 상기 중간위치에 있어서, 다시 폐쇄유닛 (10) 의 서로 근접된 상태가 달성된다. 그 후, 플레이트들 (11, 12) 은 상기 롤러 지지체의 개방위치의 방향으로의 상기 롤러 지지체 (13) 의 그 밖의 이동시 동행된다. 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (12) 에 대한 롤러 지지체 (13) 의 그 밖의 이동이 발생하지 않고, 보다 정확히 말하면 실시예에 있어서 오목부 (23) 의, 측면 (23a) 과 마주 보고 있는 측에 놓여 있는 각각의 오목부 (23) 의 측면 (23b) 의 가파른 상승에 근거하여 발생하지 않는다.

측면들 (23b) 의 이 가파른 상승 대신에 또는 그에 추가적으로, 롤러 지지체 (13) 와 제 1 플레이트 (11) 및/또는 제 2 플레이트 (12) 또는 그와 연결된 부품 (특히 스프링암들 (30, 31) 의) 사이에 상응하는 스톱 (stop) 이 제공될 수도 있다.

본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서, 상기 도시된 실시예의 상이한 그 밖의 변화들이, 예컨대 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 롤러 지지체 (13) 에 대해 제 1 플레이트 (11) 와 제 2 플레이트 (12) 를 안내하는, 롤러 지지체 (13) 와 제 1 플레이트 (11) 및 제 2 플레이트 (12) 사이의 가이드 장치와 관련하여, 있을 수 있고 가능하다.

1 : 밸브 하우징 1a : 메인 부품
1b : 뚜껑 부품 1c : 보강 리브
2 : 내부공간 3 : 제 1 밸브 개구부
4 : 제 2 밸브 개구부 5 : 플랜지
6 : 플랜지 7 : 제 1 시트면
8 : 제 2 시트면 9 : 드라이브 유닛
9a : 피스톤 9b : 피스톤 로드
10 : 폐쇄유닛 11 : 제 1 플레이트
12 : 제 2 플레이트 12a : 개구부
13 : 롤러 지지체 13a : 윈도우 개구부
13b : 돌기 13c : 아이
14 : 제 1 스프레딩 롤러 15 : 제 2 스프레딩 롤러
16 : 이동방향 17 : 연결암
18 : 선회레버 19 : 연결암
20 : 가이드 롤러 21 : 가이드 롤러
22 : 스프레딩 방향 23 : 오목부
23a : 측면 23b : 측면
24 : 축볼트 25 : 고정나사
26 : 롤링 베어링 27 : 밀착 접합판
28 : 회전축 29 : 회전축
30 : 제 1 스프링암 31 : 제 2 스프링암
32 : 슬라이딩 디스크 33 : 안내면
34 : 간격 라멜라 35 : 간격 라멜라
36 : 가이드 롤러 37 : 리세스
38 : 시일 39 : 오목부
40 : 벽 41 : 벽
42 : 벽 43 : 벽
44 : 시일

Claims (10)

1. 진공밸브로서,
   내부공간 (2) 과 제 1 밸브 개구부 (3) 및 제 2 밸브 개구부 (4) 를 갖는 밸브 하우징 (1) 으로서, 상기 제 1 밸브 개구부 (3) 및 상기 제 2 밸브 개구부 (4)는 제 1 시트면 (seat surface, 7) 과 제 2 시트면 (8) 에 의해 둘러싸여 있는, 상기 밸브 하우징 (1), 및
   상기 밸브 하우징 (1) 의 상기 내부공간 (2) 에 배치된 폐쇄유닛 (10) 으로서, 상기 폐쇄유닛은 제 1 플레이트 (11), 제 2 플레이트 (12), 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 사이에 배치된 롤러 지지체 (13), 다수의 롤러쌍들, 및 적어도 하나의 스프링 (30, 31) 을 구비하고, 상기 롤러쌍들은 각각 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 제 2 스프레딩 롤러 (15) 에 의해 형성되고, 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 상기 롤러 지지체 (13) 에서 각각의 회전축 (28, 29) 둘레로 회전 가능하게 설치되고, 상기 스프링에 의해 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 는 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 를 향하여 잡아당겨지고, 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 의 서로를 향한 표면들에 밀착하는, 상기 폐쇄유닛 (10) 을 포함하고,
   상기 롤러 지지체 (13) 는, 상기 진공밸브가 열려 있는 그리고 상기 제 1 밸브 개구부 (3) 와 상기 제 2 밸브 개구부 (4) 가 해제되어 있는 개방위치로부터, 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 가 상기 제 1 밸브 개구부 (3) 와 상기 제 2 밸브 개구부 (4) 사이에 놓이지만, 상기 제 1 시트면 (7) 과 상기 제 2 시트면 (8) 으로부터 간격을 두고 있는 중간위치를 거쳐, 상기 진공밸브가 닫혀 있는 폐쇄위치로, 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 개방위치로부터 상기 중간위치로의 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 는 상기 롤러 지지체 (13) 에 의해 동행되고, 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 이동방향 (16) 으로의 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 의 이동이 봉쇄되고,
   상기 롤러 지지체 (13) 의 상기 개방위치와 상기 중간위치에 있어서 각각의 롤러쌍의 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 는 상기 제 1 플레이트 (11) 의 표면 안의 각각의 오목부 (23) 의 영역 안의 상기 제 1 플레이트 (11) 의 표면에 밀착하고, 각각의 롤러쌍의 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 상기 제 2 플레이트 (12) 의 표면 안의 각각의 오목부의 영역 안의 상기 제 2 플레이트 (12) 의 표면에 밀착하고, 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 오목부들 (23) 의 상승 측면들 (23a) 을 따라서 이동되고, 이때 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 를 스프레딩 방향 (22) 에 대해 평행으로 서로 벌리고,
   각각의 롤러쌍의 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 회전축들 (28, 29) 은 상기 이동방향 (16) 과 관련하여 서로 오프셋되고, 상기 스프레딩 방향 (22) 과 관련하여 간격 (b) 을 가지며, 상기 간격은 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 의 반지름과 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 반지름의 합계보다 작은 것을 특징으로 하는 진공밸브.
2. 제 1 항에 있어서,
   각각의 롤러쌍의 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 의 반지름은 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 반지름과 같은 것을 특징으로 하는 진공밸브.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 그들의 회전축들 (28) 둘레로 롤링 베어링들 (rolling bearings) 을 이용해 회전 가능하게 지지되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 롤러 지지체 (13) 는 판 모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
5. 제 4 항에 있어서,
   각각의 롤러쌍의 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 상기 롤러 지지체 (13) 안의 하나의 각각의 공통의 윈도우 개구부 (window opening, 13a) 안에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
6. 제 5 항에 있어서,
   각각의 스프레딩 롤러 (14, 15) 의 상기 회전축 (28, 29) 은 상기 윈도우 개구부 (13a) 를 가교하는, 상기 롤러 지지체 (13) 에 고정된 축볼트 (24) 에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 축볼트 (24) 는 각각의 스프레딩 롤러 (14, 15) 의 양쪽에 배치된 밀착 접합판들 (27) 을 관통하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
8. 제 7 항에 있어서,
   각각의 롤러쌍의 두개의 스프레딩 롤러들 (14, 15) 을 위해 상기 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 마주 보고 있는 양쪽에 각각 하나의 공통의 밀착 접합판 (27) 이 제공되고, 상기 밀착 접합판은 두 스프레딩 롤러들 (14, 15) 의 축볼트들 (24) 에 의해 관통되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
9. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 이동방향 (16) 으로 상기 롤러 지지체 (13) 에 대해 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 를 이동 가능하게 안내하기 위한 가이드 장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
10. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 간격 (b) 은 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 의 반지름과 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 반지름의 합계의 절반보다 작은 것을 특징으로 하는 진공밸브.

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