CN107923554B

CN107923554B - 真空阀

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Publication number: CN107923554B
Application number: CN201680049671.4A
Authority: CN
Inventors: 弗洛里安·恩尔奈; 马丁·内策尔
Original assignee: VAT Holding AG
Current assignee: VAT Holding AG
Priority date: 2015-08-28
Filing date: 2016-07-25
Publication date: 2022-09-09
Anticipated expiration: 2036-07-25
Also published as: US10738895B2; US20180216739A1; WO2017036672A1; CN107923554A; JP6783297B2; JP2018525584A; KR102564611B1; KR20180044290A

Abstract

一种真空阀，包括：阀壳体(1)，该阀壳体带有内腔(2)和第一与第二阀开口(3、4)；设置在阀壳体(1)的内腔(2)中的关闭单元(10)，该关闭单元具有第一板(11)、第二板(12)、设置在第一板(11)与第二板(12)之间的滚轮支架(13)、多个滚轮对和至少一个弹簧(30、31)，这些滚轮对分别由第一扩张滚轮(14)和第二扩张滚轮(15)构成。在所述滚轮支架(13)平行于移动方向(16)从打开位置移动至中间位置时，第一和第二板(11、12)被滚轮支架(13)带动，在滚轮支架(13)从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二板(11、12)沿移动方向(16)的进一步移动被锁止。在滚轮支架(13)从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二扩张滚轮(14、15)沿着内凹(23)的上升的边沿(23a)移动，在这种情况下，第一和第二板(11、12)平行于扩张方向(22)彼此分开。相应滚轮对的第一和第二扩张滚轮(14、15)的转动轴(28、29)参照移动方向(16)彼此错开，并参照扩张方向(22)具有间距(b)，该间距小于第一扩张滚轮(14)的半径与第二扩张滚轮(15)的半径的总和。

Description

真空阀

技术领域

本发明涉及一种真空阀。

背景技术

真空阀包括：阀壳体，该阀壳体带有内腔和第一与第二阀开口，这些阀开口被第一和第二配合面包围；设置在阀壳体内腔中的关闭单元，该关闭单元具有第一板、第二板、设置在第一板与第二板之间的滚轮支架、多个滚轮对和至少一个弹簧，这些滚轮对分别由第一扩张滚轮和第二扩张滚轮构成，这些扩张滚轮围绕相应的转动轴可转动地安置在滚轮支架上，第一和第二板被所述至少一个弹簧朝向扩张滚轮牵拉，这些扩张滚轮贴靠在第一和第二板的彼此相向的表面上，其中，滚轮支架可平行于移动方向从打开位置经由中间位置移动至关闭位置，其中在打开位置，真空阀打开并且开通第一和第二阀开口；在中间位置，第一和第二板位于第一和第二阀开口之间、但与第一和第二配合面间隔开；在关闭位置，真空阀关闭；以及在滚轮支架从打开位置移动至中间位置时，第一和第二板被滚轮支架带动，而在滚轮支架从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二板沿移动方向的进一步移动被锁止，其中，在滚轮支架的打开位置和中间位置中，相应滚轮对的第一扩张滚轮在第一板的表面上的相应内凹的区域中贴靠在第一板的表面上，相应滚轮对的第二扩张滚轮在第二板的表面上的相应内凹的区域中贴靠在第二板的表面上，以及在滚轮支架从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二扩张滚轮沿着内凹的上升的边沿移动，并且在这种情况下，第一和第二板平行于扩张方向彼此分开。这种带有可彼此分开的关闭单元的真空阀，也称为滑阀，其已知有各种不同的实施方式。在一种常见的实施方式中，为了使得关闭单元的两个板彼此分开，采用了滚珠，这些滚珠成对地布置在滚珠架中，该滚珠架设置在两个板之间。在关闭单元的收拢的状态下，滚珠伸入到板的内凹中。为了使得这些板相互分开，滚珠架相对于板移动，其中，滚珠至少部分地从板的内凹中伸出。这种构造例如由US 4,052,036 A、US 5,379,983 A、US 3,368,792 A和CH 508 1 54 A已知。

代替设置在滚珠架中的滚珠，也已知采用扩张滚轮，这些扩张滚轮围绕转动轴可转动地安置在滚轮支架上，该滚轮支架布置在第一和第二板之间。由此可以避免磨损。为了把对于第一和第二板的彼此分开所必需的力引入到滚轮支架的相同的区域中，把扩张滚轮成对地设置成滚轮对。相应的滚轮对中，第一扩张滚轮与第一板配合作用，第二扩张滚轮与第二板配合作用。

开篇所述类型的这种真空阀由CN 204 26 77 68 U已知。

代替滚珠而使用扩张滚轮的缺点在于，关闭单元在其整个厚度方面（=在扩张方向上的延展度）相对大的构造尺寸。如果扩张滚轮滑动地支撑在其轴螺栓上，就会存在如下危险：由于出现摩擦状况，这些扩张滚轮在第一和第二板彼此分开时在板表面上滑动，而不是在其上滚动，这又会导致增大的磨损。然而，使用滚动体支撑的扩张滚轮引起扩张滚轮的明显较大的直径，由此会进一步增大关闭单元的厚度。

发明内容

本发明的目的是，提出开篇所述类型的有利的真空阀，其中能在厚度方面（参照扩张方向的延展度）实现相当小的结构尺寸。根据本发明，提出了一种真空阀，包括：阀壳体，该阀壳体带有内腔和第一与第二阀开口，这些阀开口被第一和第二配合面包围；以及设置在阀壳体的内腔中的关闭单元，该关闭单元具有第一板、第二板、设置在第一板与第二板之间的滚轮支架、多个滚轮对和至少一个弹簧，这些滚轮对分别由第一扩张滚轮和第二扩张滚轮构成，这些扩张滚轮成对地布置并且围绕相应的转动轴可转动地安置在滚轮支架上，第一和第二板被所述弹簧朝向第一和第二扩张滚轮牵拉，这些扩张滚轮贴靠在第一和第二板的彼此相向的表面上，其中，该滚轮支架能够平行于移动方向从打开位置经由中间位置移动至关闭位置，在所述打开位置，所述真空阀打开并且第一和第二阀开口开通，在所述中间位置，第一和第二板位于第一和第二阀开口之间、但与第一和第二配合面间隔开，在关闭位置，所述真空阀关闭，以及在所述滚轮支架从打开位置移动至中间位置时，第一和第二板被滚轮支架带动，以及在滚轮支架从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二板沿移动方向的进一步移动被锁止，其中，在滚轮支架的打开位置和中间位置，相应滚轮对的第一扩张滚轮在第一板的表面上的相应内凹的区域中贴靠在第一板的表面上，相应滚轮对的第二扩张滚轮在第二板的表面上的相应内凹的区域中贴靠在第二板的表面上，在滚轮支架从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二扩张滚轮沿着内凹的上升的边沿移动，在这种情况下，第一和第二板平行于扩张方向彼此分开，其特征在于，相应滚轮对的第一和第二扩张滚轮的转动轴参照移动方向彼此错开，并参照扩张方向具有间距，该间距小于第一扩张滚轮的半径与第二扩张滚轮的半径的总和，其中，所述关闭单元还具有引导滚轮，所述引导滚轮设置于滚轮支架的边缘区域，所述滚轮支架板状地构造，相应滚轮对的所述第一扩张滚轮和第二扩张滚轮设置于所述滚轮支架上的相应的共同的窗口中，从而得以实现其目的。

对于根据本发明的真空阀，相应滚轮对的第一和第二扩张滚轮的转动轴参照移动方向彼此错开，也就是说，参照移动方向相互间隔开。由此可以实现相应滚轮对的第一和第二扩张滚轮参照扩张方向相互间具有间距，该间距小于第一扩张滚轮的半径与第二扩张滚轮的半径的总和。第一和第二板由此可以相互间以较小的间距布置，由此可以减小关闭单元的和整个真空阀的构造宽度。

优选地，相应滚轮对的第一和第二扩张滚轮参照扩张方向相互间具有间距，该间距小于第一扩张滚轮的半个半径与第二扩张滚轮的半个半径的总和。

相应滚轮对的两个扩张滚轮的半径最好一样大，特别地，全部滚轮对的全部扩张滚轮都具有相同的半径。

为了保证扩张滚轮在关闭单元的板上顺畅地滚动，扩张滚轮优选借助于滚动轴承围绕其转动轴可转动地安置。

在本发明的一种有利的实施方式中，扩张滚轮的转动轴由轴螺栓形成，这些轴螺栓固定在板形地构造的滚轮支架上，从而它们横穿在滚轮支架中的相应的窗口。在这种情况下，相应滚轮对的扩张滚轮穿过滚轮支架的共同的窗口，也就是说，相应滚轮对的扩张滚轮的轴螺栓横穿滚轮支架的相同的窗口。

附图说明

下面参照附图介绍本发明的其它优点和细节。其中：

图1以斜视图示出处于关闭状态下的根据本发明的真空阀的一个实施例；

图2为图1的真空阀的视图；

图3为处于打开状态下的图1的真空阀的视图；

图4为根据图2的视图，其去掉了阀壳体的前面的区段；

图5为沿着图4的线A-A剖切的剖视图；

图6为根据图5的剖视图，但处于滚轮支架的中间位置；

图7为根据图5的剖视图，但处于滚轮支架的打开位置（=在真空阀的打开状态下）；

图8为按照图4中所示的线B-B的剖视图，但处于滚轮支架的中间位置；

图9为关闭单元的分解图；

图10为关闭单元在一种状态下的视图，该关闭单元在滚轮支架的打开位置和中间位置具有该状态；

图11为关闭单元在一种状态下的视图，该关闭单元在滚轮支架的关闭位置（=在真空阀的关闭状态下）具有该状态；

图12为沿着图10中的线C-C剖切的剖视图；

图13为沿着图11中的线D-D剖切的剖视图。

这些附图具有不同的比例。

具体实施方式

在图1至13中示出了根据本发明的真空阀的一个实施例。按照滑阀方式构造的该真空阀具有阀壳体1，其中，阀壳体1的内腔2形成真空阀的真空区域。阀壳体具有伸入到阀壳体1的内腔2中的第一和第二阀开口3、4。在阀开口3、4的区域中设置了阀壳体1的法兰5、6，以便能实现使得其它真空组件特别是真空腔或管路与阀壳体1真空密封地连接。阀开口3、4设置在阀壳体1的相对的壁40、41中，且优选大小相同并叠合。

第一和第二阀开口3、4被第一和第二配合面7、8包围。配合面7、8彼此相向，且由阀壳体1的壁40、41的限定内腔2边界的壁表面的区段构成。

在阀壳体1上安置了用于打开和关闭真空阀的驱动单元9，该驱动单元在该实施例中具有气动的活塞-气缸单元。其它种类的驱动件、或者替代于所述驱动件而设置在驱动单元9的区域中的用于手动地关闭和打开真空阀的手动的操纵部件，也是可考虑且可行的。

阀壳体1在所示实施例中两组件式地构造，其带有主要部分1a和顶盖部分1b，主要部分具有阀开口3、4，在顶盖部分上安置着驱动单元9。这两个壳体部分通过法兰连接而相互拧紧，并彼此密封。

在该实施例中，阀壳体1的具有阀开口3、4的相对的壁40、41由金属板构成，就像狭窄侧的、使得这两个壁40、41连接起来的壁42、43一样。为了提高稳固性，在此最好在阀壳体外面设置增强肋1c。

阀壳体1的其它构造也是可考虑且可行的。

在阀壳体1的内腔2中设置了关闭单元10。该关闭单元具有第一板11、第二板12和设置在第一与第二板之间的、优选板状构造的滚轮支架13。在滚轮支架13上，围绕转动轴28、29可转动地安置了成对地布置的扩张滚轮14、15。因而设置了多个滚轮对，它们分别由第一扩张滚轮14和第二扩张滚轮15构成。这些扩张滚轮14、15用于使得板11、12在扩张方向22上彼此分开，如下详述。

为了关闭和打开真空阀，滚轮支架13平行于移动方向16移动。在该实施例中，滚轮支架13为此通过杆件机构与驱动单元的活塞9a连接，这比如是已知的。连接臂17在一端可摆动地与滚轮支架13连接。这种连接通过在滚轮支架13的凸起部13b中的孔眼13c进行。在另一端，连接臂17可摆动地与摆动杆件18连接，该摆动杆件相对于阀壳体1可摆动地安置。摆动杆件18可以被驱动单元9摆动，其中，在该实施例中，为了连接而采用了另一连接臂19，其一方面可摆动地安置在摆动杆件18上、另一方面可摆动地安置在活塞杆9b上。对真空阀的打开与关闭可以采用这种方式利用短的活塞行程来实现。但例如也可考虑且可行的是，采用相应地长行程的活塞，该活塞的活塞杆直接与滚轮支架13连接。

活塞杆9b借助于真空穿引件从真空阀的真空区域伸出。在该实施例中示意性地示出了密封圈44。直线式穿引件例如也可以由皮囊构成。

关闭单元10相对于阀壳体1沿着移动方向16可移动地被引导，其方式为，采用同样公知的方式在滚轮支架13上可转动地安置引导滚轮20、21。引导滚轮20的转动轴线垂直于引导滚轮21的转动轴线。引导滚轮20与阀壳体1的壁42、43的内表面配合作用，引导滚轮21与阀壳体1的壁40、41的内表面配合作用，并抑制滚轮支架13、进而抑制关闭单元10作为整体沿着全部垂直于移动方向16的方向移动。

移动方向16和扩张方向22相互垂直。扩张滚轮14、15的转动轴28、29垂直于移动方向16，且垂直于扩张方向22。

在真空阀的打开状态下，关闭单元10移动到一个位置，在该位置，该关闭单元将第一和第二阀开口3、4开通。由此开通了穿过真空阀的贯通通道，该贯通通道延伸穿过第一阀开口3、内腔2和第二阀开口4。真空阀的这种打开状态在图3和7中示出。滚轮支架13在真空阀的打开状态下处于其打开位置。

在真空阀的关闭状态下，参见图1、2、4和5，穿过真空阀的通路被关闭单元10密封。为此，关闭单元10张开，第一和第二板11、12顶压到第一和第二配合面7、8上。为了密封第一阀开口3，第一板11设置有弹性密封圈形式的密封件38，该密封圈例如可以硫化到板11上。为了给位于第一和第二板之间的容腔通风，第二板12设置有开口12a。代替开口12a，例如也可以在第二板12的贴靠在第二配合面8上的区域中设置至少一个槽。原则上也可以给两个板11、12设置密封件，其中，开口12a被省去，并且最好规定用于抽吸内腔2的抽吸方案。

在真空阀的打开状态下，也就是在滚轮支架13的打开位置，扩张滚轮14、15在如下区域中贴靠在板11、12的彼此相向的表面上，在所述区域中，板11、12的彼此相向的表面具有内凹23。优选地，扩张滚轮14、15在这些内凹23的最低位置贴靠在板11、12上。关闭单元于是处于其也在图10和12中示出的收拢的状态下。

在相应的板11、12的相应的内凹区域的平行于移动方向16伸展的横截面中观察，该横截面比如在图5至7和12、13中示出，相应的内凹23从其最低点出发具有上升的边沿23a。该边沿位于内凹23的远离驱动单元9的一侧，即参照关闭单元10的移动方向在真空阀关闭时位于前面，并形成嵌入到相应的内凹23中的扩张滚轮14、15的滚道。

在该实施例中设置了四个滚轮对，这些滚轮对分别由可转动地安置在滚轮支架13上的第一和第二扩张滚轮14、15构成。由于第一与第二板11、12在该实施例中构造有圆形的外轮廓，滚轮对最好位于假想的正方形的顶角处。也可以存在更多些或更少些的滚轮对。有利地存在至少三个、优选至少四个并非设置在共同的直线上的滚轮对。例如可以设置五个或六个滚轮对，这些滚轮对沿着滚轮支架分布地可转动地安置，例如对于具有圆形外轮廓的板11、12，这些滚轮对至少近乎沿着假想的、相对于板11、12的中轴线同心的圆分布。

相应的滚轮对的两个扩张滚轮14、15穿过在板形滚轮支架13中的相应的共同的窗口13a。为了把扩张滚轮14、15可转动地安置在滚轮支架13上，在滚轮支架上固定了轴螺栓24，这些轴螺栓横穿相应的窗口13a。在轴螺栓24的位于窗口13a两侧的区段中，进行在滚轮支架13上的固定。为此，轴螺栓24例如可以焊接在滚轮支架13上。作为另一固定方案，在图8中示出了固定螺钉25，这些固定螺钉穿过滚轮支架13上的孔，并拧入到轴螺栓24中的螺纹孔内。为简明起见，这些固定螺钉25在其它附图中未示出。这种固定例如也可以采用其它形式进行，例如通过栓紧进行。

扩张滚轮14、15优选通过滚动轴承26、特别是针轴承或球轴承可转动地安置在轴螺栓24上。

在相应的扩张滚轮14、15的两侧存在被轴螺栓24穿过的接触连接片27。由此避免了扩张滚轮14、15在窗口13a的狭窄的边缘上的摩擦。在该实施例中，在相应的滚轮对的扩张滚轮14、15的每一侧上都设置了用于滚轮对的两个扩张滚轮14、15的共同的接触连接片27，该接触连接片被两个轴螺栓24穿过。也可行的是，为每个扩张滚轮14、15都在扩张滚轮14、15的两侧设置自己的接触连接片，这些接触连接片被指配给相应的扩张滚轮14、15的轴螺栓24穿过。

第一扩张滚轮14围绕转动轴28、且第二扩张滚轮15围绕转动轴29可转动地安置在滚轮支架13上。由于相应的滚轮对的第一扩张滚轮14要与第一板11的指配给它的表面配合作用，相应的滚轮对的第二扩张滚轮15要与第二板12的指配给它的表面配合作用，所以转动轴28、29参照扩张方向22错开，即间隔开。换句话说，转动轴28、29位于与扩张方向22平行的坐标轴的不同的位置。

为了减小转动轴28、29的必需的、以扩张方向22为参照的间距b，转动轴28、29也参照移动方向16彼此错开，即间隔开。换句话说，转动轴28、29位于与移动方向16平行的坐标轴的不同的位置。

相应的滚轮对的扩张滚轮14、15的转动轴28、29之间的参照移动方向16的间距a，最好为第一扩张滚轮14的半径与第二扩张滚轮15的半径的总和的至少80%，其中，这些半径的总和的至少90%的值是优选的。

相应的滚轮对的扩张滚轮14、15的转动轴28、29之间的参照移动方向16的间距a，最好小于第一扩张滚轮的直径与第二扩张滚轮的直径的总和，其中，这些直径的总和的至多75%的值是优选的。

在该实施例中，间距a大致等于两个扩张滚轮14、15的半径的总和（±5%），这是特别优选的。

相应的滚轮对的扩张滚轮14、15的两个转动轴28、29之间的参照扩张方向b的间距，小于第一扩张滚轮14的半径与第二扩张滚轮15的半径的总和。间距b优选小于第一扩张滚轮14的半径与第二扩张滚轮15的半径的总和的一半。

在所示实施例中，全部扩张滚轮14、15的半径都相等，这比如是优选的。

第一和第二扩张滚轮14、15的转动轴28、29对于不同的滚轮对可以在平行于移动方向16的相反的方向上错开，即参照关闭单元10的移动方向，在真空阀关闭时，对于至少一个滚轮对，第一扩张滚轮14相比于第二扩张滚轮15更加靠前；而对于至少一个其它的滚轮对，第二扩张滚轮15相比于第一扩张滚轮14更加靠前。在该实施例中，参照移动方向16位于相同位置的滚轮对的转动轴28、29，在平行于移动方向16的相同的方向上彼此错开。

扩张滚轮14、15的转动轴28、29之间的参照移动方向16的错开量的量值，对于全部的滚轮对来说最好都相同。

按照相应的滚轮对的两个扩张滚轮14、15的参照移动方向16的错开量，在第一板11与第二板12中的指配给该滚轮对的两个扩张滚轮14、15的内凹23以相同的方式错开。两个板11、12中的指配给相应滚轮对的内凹23优选镜对称地构造，其中，它们参照移动方向16彼此相对地移动，移动量的大小等于相应滚轮对的两个扩张滚轮14、15之间的参照移动方向16的间距a。

一个、多个或全部的滚轮对的两个扩张滚轮14、15在垂直于移动方向16且垂直于扩张方向22的方向上错开，进而内凹23相应地错开，这在原则上是可行的，其中，这种错开量优选小于扩张滚轮14、15的长度的一半。

在板11、12中构造的其它内凹39最好被设置用来提高这些板的抗弯强度。

关闭单元10的第一板11和第二板12通过弹簧以它们的彼此相向的表面顶压到扩张滚轮14、15上。该弹簧在所示实施例中包括安置在第一板11上的第一弹簧臂30和安置在第二板12上的第二弹簧臂31。弹簧臂30、31分别构造成片簧，且在中间区域中与相应的板11、12连接，并在其两端分别相互连接。这些连接在该实施例中分别设计成旋拧连接。例如也考虑焊接或铆接。在弹簧臂30、31的一端，在这些弹簧臂之间设置了滑动垫圈32。这些滑动垫圈32与滚轮支架13的平行于移动方向16伸展的引导面33配合作用，并引起在板11、12与滚轮支架13之间的在移动方向16上的引导。在另一端，在弹簧臂30、31之间设置了间隔片34、35。在间隔片34上可转动地安置着引导滚轮36。该引导滚轮位于滚轮支架13的凹缺37中，并与该凹缺37的平行于移动方向16伸展的侧面配合作用，由此引起平行于移动方向16相对于滚轮支架13进一步引导第一和第二板11、12。由此也形成了一种引导机构，用于使得第一和第二板11、12相对于滚轮支架13平行于移动方向16直线地移动。这种引导机构的不同的变型是可考虑且可行的，例如可以采用至少一个滚轮来代替滑动垫圈32、或者采用至少一个滑动部件来代替引导滚轮36。省去滑动垫圈32或省去引导滚轮36也是可考虑且可行的，从而平行于移动方向16的引导只在一个部位上进行。

通过具有弹簧臂30、31的弹簧，在该实施例中，彼此相向地牵拉第一板11和第二板12，由此将板11、12顶压到扩张滚轮14、15上。也可以替代地，分别在相应的板11、12与滚轮支架13之间存在一个弹簧，由此将相应的板11、12顶压到指配于其的扩张滚轮14、15上。

用于把板11、12顶压到扩张滚轮14、15上的弹簧也可以采用其它方式例如以螺旋弹簧的形式来构造。为此，可以设置多于一个的弹簧。

为了使得真空阀从其打开状态关闭，在该打开状态下，滚轮支架13取其打开位置（参见图7），通过驱动单元9使得滚轮支架13平行于移动方向16移动。由此使得整个关闭单元10平行于移动方向16移动。当滚轮支架13到达其中间位置时，参见图6，第一和第二板11、12位于第一和第二阀开口3、4之间，关闭单元10因而遮盖第一和第二阀开口3、4（在阀开口3、4的轴线方向上观察）。在滚轮支架13从打开位置移动至中间位置期间，滚轮支架13与第一和第二板11、12之间的相对位置并不改变。关闭单元10的在图10和图12中示出的收拢的状态得以保持。

在滚轮支架13沿移动方向16进一步移动时，第一和第二板11、12相对于阀壳体1沿移动方向16的进一步移动被锁止。为此在该图所示的实施例中，间隔片34、35在端侧靠碰到阀壳体1的接触面上。第一和第二板11、12的移动被锁止，以防沿移动方向16进一步移动，这也可以采用其它方式来进行，其方式例如为，第一板11和/或第二板12直接顶靠到阀壳体的或者与其连接的部件的（相应的）止挡面上。

因此，在滚轮支架13沿移动方向16进一步移动时，滚轮支架、进而可转动地安置在其上的扩张滚轮14、15就会相对于第一和第二板11、12出现移动。在这种情况下，扩张滚轮14、15沿着内凹23的上升的边沿23a滚动，其中，板11、12相互分开，进而朝向配合面7、8移动。

当滚轮支架13已到达其关闭位置时，第一板11的弹性密封件38压靠到第一配合面7上，由此将第一阀开口3密封。第二板压靠到第二配合面8上。

关闭单元10在真空阀的关闭状态下所取的彼此张开的状态在图11和13中示出。

为了打开真空阀，滚轮支架13从其关闭位置朝向其打开位置平行于移动方向16移动。在滚轮支架13从其关闭位置朝向其中间位置移动期间，扩张滚轮14、15利用弹簧的力被朝向内凹23的最低点顶压，其中，滚轮支架13参照移动方向16相对于板11、12移动，这些板11、12靠拢。在滚轮支架13的中间位置又达到了关闭单元10的收拢状态。结果，在滚轮支架13朝向其打开位置进一步移动时，板11、12被带动。滚轮支架13相对于第一和第二板11、12并不出现进一步的移动，确切地说，在该实施例中，这是因为相应的内凹23的边沿23b的陡峭地上升，该边沿位于内凹23的与边沿23a相对的一侧。

代替边沿23b的这种陡峭的上升，或者附加于此，也可以在滚轮支架13与第一和/或第二板11、12或者同其连接的部件（特别是弹簧臂30、31）之间设置相应的止挡。

在不偏离于本发明的范畴的情况下，例如在滚轮支架13与第一和第二板11、12之间的引导机构方面，所示实施例的各种不同的其它的改型是可考虑且可行的，利用该引导机构相对于滚轮支架13平行于移动方向16引导第一和第二板11、12。

附图标记清单

1 阀壳体 20 引导滚轮

1a 主要部分 21 引导滚轮

1b 顶盖部分 22 扩张方向

1c 增强肋 23 内凹

2 内腔 23a 边沿

3 第一阀开口 23b 边沿

4 第二阀开口 24 轴螺栓

5 法兰 25 固定螺钉

6 法兰 26 滚动轴承

7 第一配合面 27 接触连接片

8 第二配合面 28 转动轴

9 驱动单元 29 转动轴

9a 活塞 30 第一弹簧臂

9b 活塞杆 31 第二弹簧臂

10 关闭单元 32 滑动垫圈

11 第一板 33 引导面

12 第二板 34 间隔片

12a 开口 35 间隔片

13 滚轮支架 36 引导滚轮

13a 窗口 37 凹缺

13b 凸起部 38 密封件

13c 孔眼 39 内凹

14 第一扩张滚轮 40 壁

15 第二扩张滚轮 41 壁

16 移动方向 42 壁

17 连接臂 43 壁

18 摆动杆件 44 密封件

19 连接臂

Claims

1.一种真空阀，包括：

阀壳体（1），该阀壳体带有内腔（2）和第一与第二阀开口（3、4），这些阀开口被第一和第二配合面（7、8）包围；以及

设置在阀壳体（1）的内腔（2）中的关闭单元（10），该关闭单元具有第一板（11）、第二板（12）、设置在第一板（11）与第二板（12）之间的滚轮支架（13）、多个滚轮对和至少一个弹簧（30、31），这些滚轮对分别由第一扩张滚轮（14）和第二扩张滚轮（15）构成，这些扩张滚轮成对地布置并且围绕相应的转动轴（28、29）可转动地安置在滚轮支架（13）上，第一和第二板（11、12）被所述弹簧朝向第一和第二扩张滚轮（14、15）牵拉，这些扩张滚轮贴靠在第一和第二板（11、12）的彼此相向的表面上，

其中，该滚轮支架（13）能够平行于移动方向（16）从打开位置经由中间位置移动至关闭位置，在所述打开位置，所述真空阀打开并且第一和第二阀开口（3、4）开通，在所述中间位置，第一和第二板（11、12）位于第一和第二阀开口（3、4）之间、但与第一和第二配合面（7、8）间隔开，在关闭位置，所述真空阀关闭，以及在所述滚轮支架（13）从打开位置移动至中间位置时，第一和第二板（11、12）被滚轮支架（13）带动，以及在滚轮支架（13）从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二板（11、12）沿移动方向（16）的进一步移动被锁止，

其中，在滚轮支架（13）的打开位置和中间位置，相应滚轮对的第一扩张滚轮（14）在第一板（11）的表面上的相应内凹（23）的区域中贴靠在第一板（11）的表面上，相应滚轮对的第二扩张滚轮（15）在第二板（12）的表面上的相应内凹的区域中贴靠在第二板（12）的表面上，在滚轮支架（13）从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二扩张滚轮（14、15）沿着内凹（23）的上升的边沿（23a）移动，在这种情况下，第一和第二板（11、12）平行于扩张方向（22）彼此分开，

其特征在于，相应滚轮对的第一和第二扩张滚轮（14、15）的转动轴（28、29）参照移动方向（16）彼此错开，并参照扩张方向（22）具有间距（b），该间距小于第一扩张滚轮（14）的半径与第二扩张滚轮（15）的半径的总和，

其中，所述关闭单元（10）还具有引导滚轮（20、21），所述引导滚轮（20、21）设置于滚轮支架（13）的边缘区域，所述滚轮支架（13）板状地构造，相应滚轮对的所述第一扩张滚轮（14）和第二扩张滚轮（15）设置于所述滚轮支架（13）上的相应的共同的窗口（13a）中。

2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，相应滚轮对的第一扩张滚轮（14）的半径等于第二扩张滚轮（15）的半径。

3.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，这些扩张滚轮（14、15）借助于滚动轴承围绕其转动轴（28）可转动地安置。

4.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，相应的扩张滚轮（14、15）的转动轴（28、29）由轴螺栓（24）构成，所述轴螺栓横穿窗口（13a）并固定在滚轮支架（13）上。

5.如权利要求4所述的真空阀，其特征在于，所述轴螺栓（24）穿过设置在相应的扩张滚轮（14、15）的两侧的接触连接片（27）。

6.如权利要求5所述的真空阀，其特征在于，对于相应滚轮对的两个扩张滚轮（14、15），在扩张滚轮（14、15）的相对的两侧上，分别设置了共同的接触连接片（27），该接触连接片被两个扩张滚轮（14、15）的轴螺栓（24）穿过。

7.如权利要求1至6中任一项所述的真空阀，其特征在于，设置了引导机构，用于沿着移动方向（16）相对于滚轮支架（13）可移动地引导第一和第二板（11、12）。

8.如权利要求1至6中任一项所述的真空阀，其特征在于，相应滚轮对的第一和第二扩张滚轮（14、15）的转动轴（28、29）参照扩张方向（22）具有间距（b），该间距小于第一扩张滚轮（14）的半径与第二扩张滚轮（15）的半径的总和的一半。