KR102470583B1

KR102470583B1 - 진공 유리 및 이의 제조 방법

Info

Publication number: KR102470583B1
Application number: KR1020197023510A
Authority: KR
Inventors: 위치 리안
Original assignee: 위치 리안
Priority date: 2017-01-26
Filing date: 2017-09-27
Publication date: 2022-11-24
Also published as: EP3575273A4; RU2733258C1; HUE059619T2; KR20190103358A; WO2018137354A1; US20200123040A1; HRP20221057T1; CN107337358B; CN110248907A; JP7064498B2; EP3575273A1; JP2020506861A; SI3575273T1; LT3575273T; CA3050155A1; DK3575273T5; SG11201906654WA; DK3575273T3; CA3050155C; CN107337358A

Abstract

진공 유리 및 이의 제조 방법이 개시된다. 진공 유리는, 유리체, 유리체 및 밀봉재에 의해 둘러싸인 공동, 및 공동 내에 배치된 게터를 포함한다. 공동은 밀폐형이다. 게터는 비증발성 게터이고, 진공 유리는 게터를 둘러싸기 위한 인클로저를 포함하지 않고, 인클로저는 밀폐형 재료로 제조된다. 공동을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리의 열 전도도 값 K는 4 W/(m^2ㆍK) 이하이다. 진공 유리는 게터를 둘러싸기 위한 인클로저를 포함하지 않는다.

Description

진공 유리 및 이의 제조 방법

본원은 2017년 1월 26일에 중국 특허청에 제출된 중국 특허 출원 제201710056845.6호를 기초로 하며, 이의 우선권을 주장하고, 상기 중국 특허 출원의 개시는 본원에 참조로 통합된다.

본 발명은 유리 분야에 속하며, 특히 진공 유리 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.

에너지 및 환경 문제는 현재 세계에서 2개의 주요한 문제이며, 그 결과의 기후 문제는 인간이 21세기에 직면한 가장 큰 도전과제 중 하나이다. 석탄 및 오일과 같은 화석 연료를 주 에너지 공급원으로 갖는 수세기 동안, 에너지 부족 및 환경 오염의 문제는 보다 뚜렷해졌다. 에너지 보존 및 에너지의 효율적인 사용은 상기 문제점들을 해결하기 위한 효율적인 방법이다.

건물 에너지 소비는 총 에너지 소비에서 상당한 비율을 차지한다. 건물 에너지 소비는 총 건물 에너지 소비의 50% 초과를 차지하는 냉난방 에너지 소비에 의해 지배된다. 건물의 열 보존 성능을 개선함으로써, 예컨대 건물 문 및 창문의 열 보존 성능을 개선함으로써, 건물의 에너지 소비는 효과적으로 감소될 수 있으며, 생활의 편이 또한 개선될 수 있다.

발명자들에게 알려져 있는 진공 유리는 열 보존, 단열 및/또는 차음의 기능을 갖고, 건물, 에너지 보존, 태양 에너지 등의 분야에 사용될 수 있으며, 예를 들어 단열 및/또는 차음을 요구하는 장소 또는 장치에 사용되거나, 또는 단열 및/또는 차음을 요구하는 장치로서, 예컨대 건물 문 및 창문, 냉장 설비 문 및 창문, 태양 에너지 수집기(solar collector) 등으로서 사용된다. 진공 유리는, 단열 및 단열을 달성하고/거나, 에너지를 절약하고/거나, 소비를 감소시키고/거나, 이슬맺힘(dew formation)을 방지하고/거나 차음 및 잡음 감소를 달성하는 것 등에서 역할을 할 수 있다.

도 1은 발명자들에게 알려져 있는 진공 유리의 투시도이고, 도 2는 도 1에서의 진공 유리의 단면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 진공 유리는 2개의 유리 플레이트(101 및 102), 2개의 유리 플레이트 및 밀봉재(4)에 의해 둘러싸인 공동(5), 차단된 배기 포트(6), 배기 포트(6)를 보호하기 위한 밀봉 캡(8), 및 2개의 유리 플레이트 사이에 배치된 지지체(2)를 포함한다. 공동(5)의 내부는 진공 상태이며, 지지체(2)는 2개의 유리 플레이트 사이의 틈(gap)을 지지하기 위한 것이다.

발명자들에게 알려져 있는 진공 유리의 제조 방법은 주로 하기 단계를 포함한다:

(1) 2개의 유리 플레이트(101 및 102)를 제조하고, 배기 포트(6)를 유리 플레이트(101) 상에 배치하는 단계;

(2) 유리 플레이트(102)를 실질적으로 수평으로 배치하고, 유리 플레이트(102)의 주변 영역을 따라 슬러리 밀봉재(4)를 코팅하고, 지지체(2)를 적절한 위치에 배치하는 단계;

(3) 나머지 유리 플레이트(101)를 유리 플레이트(102) 상에 적층하여 유리 플레이트(101 및 102) 및 밀봉재(4)에 의해 획정된 플레이트-유사 공동을 형성하는 단계;

(4) 적층된 유리 플레이트를 대기압에서 가열하여, 제1 유리 플레이트(101) 및 제2 유리 플레이트(102)의 주변부를 따른 틈을 밀봉재(4)로 밀봉하는 단계; 및

(5) 밀봉된 유리 플레이트의 내부를 배기 포트(6)를 통해 진공화(vacuuming)하고, 진공화가 완료된 후 배기 포트(6)를 차단하고, 차단된 배기 포트(6)를 밀봉 캡(8)으로 덮는 단계.

CN1621653은 배기 포트를 갖는 진공 유리를 개시하고 있으며, 진공 유리는 적외선 흡수 재료 쉘(infrared-absorbing-material shell)에 의해 둘러싸인 게터(getter)를 추가로 포함한다. 도 3을 참조하면, 진공 유리는 서로 대향하는 2개의 유리 플레이트(101 및 102) 및 그 사이에 배열된 지지체(2)를 포함하여, 공동(5)은 유리 플레이트(101 및 102) 사이에 둘러싸인다. 배기 포트(6)는 유리 플레이트(101) 상에 제공되며, 배기 포트(6)는 밀봉 캡(8)에 의해 차단된다. 폐쇄된 적외선 흡수 재료 쉘(31) 및 그 안에 배치된 게터(3)로 구성된, 둘러싸인 게터는 배기 포트(6)에 의해 둘러싸인 홈 내에 배치된다. 폐쇄된 적외선 흡수 재료 쉘을 갖는 둘러싸인 게터를 천공하기 위한 레이저 발생기(91)는 진공 유리의 외부에서 게터에 대해 정렬된 위치에 배치되고, 레이저 발생기(91)로부터 방출된 적외선 레이저 빔(92)은 유리 플레이트(102)를 관통하여 적외선 흡수 재료 쉘(31)을 천공하여 이를 개봉한다.

CN1621653에 개시된 "둘러싸인 게터"는 둘러싸는 층 (폐쇄된 적외선 흡수 재료 쉘) 및 폐쇄된 적외선 흡수 재료 쉘 내에 배치된 게터로 이루어진다. 본 발명자들은, 둘러싸인 게터를 포함하는 진공 유리는, 게터가 구조가 복잡하고, 비용이 높고, 배기 포트를 유리 플레이트 상에 보유할 필요가 있고, 배치된 게터의 양은 보유된 홈/구멍의 크기에 의해 제한될 뿐만 아니라, 중앙보다 플레이트의 주변부로부터 발생하는 불균등한 응력 분포가 더 높다 (이는 처음에는 밀봉 과정 및 이어서 진공화에 의해 유발됨)는 등의 결함을 갖는다는 것을 발견하였다.

본 발명은 게터를 둘러싸기 위한 인클로저(enclosure)를 포함하지 않는 진공 유리를 창조적으로 제공하며, 상기 인클로저는 밀폐형(hermetic) 재료로 이루어진다.

본 발명의 하나의 목적은 진공 유리를 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 진공 유리의 제조 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 문 또는 창문을 제공하는 것이다. 본 발명의 추가의 목적은 기기 또는 계량기(meter)를 제공하는 것이며, 본 발명의 또 다른 추가의 목적은 태양 에너지 수집기를 제공하는 것이다.

본 발명의 제1 측면은,

유리체(glass body), 상기 유리체 및 밀봉재에 의해 둘러싸인 공동, 및 상기 공동 내에 배치된 게터

를 포함하는 진공 유리를 제공하고;

상기 공동은 밀폐형이고;

상기 게터는 비증발성 게터이고, 상기 진공 유리는 게터를 둘러싸기 위한 인클로저를 포함하지 않고, 상기 인클로저는 밀폐형 재료로 제조되고;

공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 4 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

본 발명의 제2 측면은 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나를 포함하는 문 또는 창문을 제공한다.

본 발명의 또 다른 측면은 온실을 제공하며, 여기서 온실의 외벽은 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나를 포함한다.

본 발명의 제3 측면은 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나를 포함하는 기기 또는 계량기를 제공한다.

본 발명의 제4 측면은 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나를 포함하는 태양 에너지 수집기를 제공한다.

본 발명의 또 다른 측면은, 광전 변환 부품 및 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나를 포함하는 태양 전지를 제공하며, 상기 진공 유리는 광전 변환 부품을 덮는다.

본 발명의 제5 측면은 하기 단계를 포함하는, 진공 유리의 제조 방법을 제공한다:

i) 공동을 유리체 및 밀봉재로 둘러싸고, 공동 내에 게터를 배치하는 단계;

ii) 단계 i)의 생성물을 진공 환경에서 가열하여, 이에 의해 공동 내에 진공을 생성하고, 밀봉재 및 유리체를 함께 용접하고, 게터를 활성화시키는 단계;

iii) 단계 ii)에서의 생성물을 냉각한 다음, 진공 유리를 얻는 단계.

개시된 구현예의 유리한 효과:

하나 이상의 개시된 구현예는 하기의 유리한 효과 중 하나 이상을 갖는다:

1) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리는 단단히 밀봉되어, 공동 내의 높은 진공도가 달성되고;

2) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리는 보다 양호한 단열 성능을 갖고; 이는 보다 낮은 열 전도도 K를 갖고;

3) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리는 보다 양호한 차음 성능을 갖고; 이는 보다 높은 차음 값 R_w+C_tr을 갖고;

4) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리는 보다 양호한 방사 저항(radiation resistance) 성능을 갖고;

5) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리 내의 게터의 양은 유리 면적과 정적 상관관계(positive correlation)를 가질 수 있으며, 이에 의해 사용 동안 진공 공동 내로 침투되거나 또는 방출되는 공기가 흡수되는 것을 보장하여, 유리의 보다 양호한 내구성이 달성되고;

6) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리는 임의의 차단된(blocked) 배기 포트를 갖지 않으므로, 이의 구조는 보다 완전하고;

7) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리는 임의의 차단된 배기 포트를 갖지 않고; 따라서, 배기 포트에 의해 유발되는 응력 약점(weak point) 및 취약점(vulnerable point)이 방지될 수 있고;

8) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리의 표면은 불침투성 홈 또는 구멍 (숨겨진 홈, 블라인드 구멍(blind hole))을 갖지 않으며; 따라서 상기 홈 또는 블라인드 구멍에 의해 유발되는 응력 약점 및 취약점이 방지될 수 있고;

9) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리는 진공 하에 밀봉되고, 따라서 유리의 밀봉된 주변부 및 중앙 사이의 응력 분포는 균일하고, 생성물은 보다 안전하며, 보다 안정하고;

10) 탄성 지지체가 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리에 적용되고; 따라서, 지지체의 높이 편차 또는 공동에서의 높이 편차에 의해 유발되는 지지체 및 유리 플레이트 사이의 불균등한 응력 분포의 상황이 방지되고, 지지체 중 일부의 변위의 상황이 또한 방지될 수 있으며, 따라서 생성물은 보다 안전하고, 보다 안정하고;

11) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리는 차단된 배기 포트를 갖지 않고, 따라서 외관은 보다 매력적이고;

12) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리는 지지체로서 투명한 무기 물질, 예컨대 유리를 사용하며, 따라서 생성물은 보다 훌륭한 시각 효과를 갖고;

13) 하나 이상의 구현예에 따른 진공 유리의 제조 방법은 단계가 더 간단하고, 비용이 더 낮다.

본원에 예시된 도면은 본 발명의 보다 나은 이해를 제공하도록 의도되고, 본원의 부분을 구성하고, 본 발명의 예시적인 구현예 및 이의 설명은 본 발명을 제한하는 것이 아니며, 본 발명을 설명하기 위한 것이다. 도면에서:
도 1은 발명자들에게 알려져 있는 진공 유리의 투시도이고;
도 2는 도 1의 진공 유리의 단면도이고;
도 3은 CN1621653의 진공 유리의 도시적인 다이어그램이고;
도 4는 실시예 1의 진공 유리의 투시도이고;
도 5는 도 4의 진공 유리의 A-A 단면도이고;
도 6은 실시예 2의 진공 유리의 투시도이고;
도 7은 도 6의 진공 유리의 A-A 단면도이고;
도 8은 실시예 3의 진공 유리의 투시도이고;
도 9는 도 8의 진공 유리의 A-A 단면도이고;
도 10은 실시예 4의 진공 유리의 투시도이고;
도 11은 도 10의 진공 유리의 A-A 단면도이고;
도 12는 실시예 5의 진공 유리의 투시도이고;
도 13은 도 12의 진공 유리의 A-A 단면도이고;
도 14는 탄성 가스킷(gasket)의 전방도 및 측면도이다.

본 발명의 특정 구현예가 이제 상세히 기술될 것이다. 특정 구현예의 예가 도면에 예시되어 있다. 본 발명이 특정 구현예와 함께 기술되었지만, 본 발명은 이러한 특정 구현예에 제한되도록 의도되지 않음을 알아야 한다. 반대로, 이들 구현예는 청구범위에 의해 제한된 본 발명의 취지 및 범위 내에 치환되거나, 대안적이거나 또는 균등한 구현예를 포함하도록 의도된다. 하기 설명에서, 다수의 특정 상세사항들이 본 발명의 포괄적인 이해를 제공하도록 제시된다. 본 발명은 이러한 특정 상세사항 중 일부 또는 전부 없이 실시될 수 있다. 다른 예에서, 널리 알려져 있는 공정 조작은 본 발명을 불필요하게 모호하게 하지 않도록 상세하게 기술되지 않는다.

본 명세서 및 첨부된 청구범위에서 "포함하다" 또는 유사한 단어와 함께 공동으로 사용되는 경우, 단수 형태는 문맥에서 명확히 달리 나타내지 않는 한 복수 지시대상을 포함한다. 달리 정의되지 않는 한, 본원에 사용된 모든 기술적 및 과학적 용어는 본 발명이 속하는 당업계의 통상의 기술자에 의해 통상적으로 이해되는 바와 동일한 의미를 갖는다.

본 발명의 제1 측면은,

유리체(1), 유리체(1) 및 밀봉재(4)에 의해 함께 둘러싸인 공동(5), 및 공동(5) 내에 배치된 게터(3)

를 포함하는 진공 유리를 제공하고;

공동(5)은 밀폐형이고;

게터(3)는 비증발성 게터이고, 진공 유리는 게터(3)를 둘러싸기 위한 인클로저를 포함하지 않고, 인클로저는 밀폐형 재료로 제조되고;

공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 4 W/(m²·K) 이하, 예를 들어 3.9 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 인클로저는 대기 중에서의 게터의 패시베이션(passivation)을 방지하기 위해 게터를 그 안에 밀폐형으로 둘러싸기 위한 것이다. 인클로저에 의해 둘러싸인 게터가 진공 유리의 공동(5) 내에 배치되고, 공동(5)이 진공 상태이며, 밀봉된 이후에야 비로소, 공동(5) 내의 인클로저의 밀폐형 밀봉(hermetic seal)이 공동(5)의 외부로부터 유리체를 통해 파괴되어, 인클로저에 의해 밀폐형으로 둘러싸인 게터는 공동(5) 내 환경에 노출된다. 본원에 의해 개시된 구현예의 진공 유리는 상기 언급된 인클로저를 함유하지 않는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 진공 유리는 밀봉된 배기 포트를 포함하지 않는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 그 위에 밀봉된 배기 포트를 갖지 않는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 밀봉재(4)는 그 위에 밀봉된 배기 포트를 갖지 않는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 진공 유리는 그 위에 배기 포트를 갖지 않을 뿐만 아니라, 그 위에 배기 포트를 밀봉하기 위한 밀봉 장치도 갖지 않는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 진공 유리는 적어도 2개의 유리체(1)를 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 진공 유리는 적어도 3개의 유리체(1)를 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 인접한 유리체(1)는 밀봉재(4)에 의해 결합된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 플레이트-유사 유리체를 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 적어도 2개의 플레이트-유사 유리체를 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 플레이트-유사 유리체는 서로 대향한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 플레이트-유사 유리체는 서로에 평행하다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 유리관을 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 유리 플레이트를 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리 플레이트는 평면 유리 플레이트 또는 곡선형 유리 플레이트이다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 플레이트화된 필름 또는 페이스트화된 파일(pasted file)이 적어도 하나의 유리체(1) 상에 제공된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 편평한 표면을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 그 위에 홈을 갖지 않는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 그 위에 블라인드 홈 또는 블라인드 구멍을 갖지 않는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 실리케이트 유리로 형성된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 550℃ 초과의 연화점을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 650℃ 초과의 연화점을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 750℃ 초과의 연화점을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 플레이트-유사 공동이다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 진공 유리는 적어도 하나의 공동(5)을 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 진공 유리는 적어도 2개의 공동(5)을 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 밀봉재(4) 및 유리체(1)는 함께 용접된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 밀봉재(4)는 밀봉 유리를 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 밀봉 유리는 PbO-ZnO-B₂O₃ 시스템, Bi₂O₃-B₂O₃-SiO₂ 시스템, Bi₂O₃-B₂O₃-ZnO 시스템, Na₂O-Al₂O₃-B₂O₃ 시스템, SnO-ZnO-P₂O₅시스템, V₂O₅-P₂O₅-Sb₂O₃ 시스템, ZnO-B₂O₃-SiO₂ 시스템 및 ZnO-B₂O₃-BaO 시스템으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 유형의 유리를 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 밀봉 유리는 500℃ 미만의 밀봉 온도를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 밀봉 유리는 300 내지 450℃의 밀봉 온도를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 밀봉 유리는 400 내지 450℃의 밀봉 온도를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 활성화된 게터이다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 O₂, N₂, CO₂, CO 및 H₂로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 기체를 흡수할 수 있다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 게터링(gettering) 능력을 갖는 원소 물질, 게터링 능력을 갖는 합금, 게터링 능력을 갖는 화합물 또는 게터링 능력을 갖는 혼합물을 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 지르코늄 원소 또는 티타늄 원소를 함유한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 하나 이상의 전이 금속 원소를 함유한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 하나 이상의 희토류 원소를 함유한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 Zr-Al 유형의 게터 또는 Zr-V-Fe 유형의 게터이다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 0.1g/cm³ 이상의 밀도로 공동(5) 내에 존재한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 0.5g/cm³ 이상의 밀도로 공동(5) 내에 존재한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 1g/cm³ 이상의 밀도로 공동(5) 내에 존재한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 밀봉재(4)의 밀봉 온도 이하의 활성화 온도를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터(3)는 300 내지 450℃에서 활성화될 수 있다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 하기를 특징으로 한다:

게터(3)는 1시간 이상 동안 300℃ 이상에서 진공 열 처리에 의해 활성화될 수 있거나; 또는

게터(3)는 0.5시간 초과 동안 350℃ 이상에서 진공 하에 열 처리에 의해 활성화될 수 있거나; 또는

게터(3)는 10분 이상 동안 400℃ 이상에서 진공 하에 열 처리에 의해 활성화될 수 있다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 본 발명은 공동(5)의 형상을 유지하도록 유리체(1)를 지지하기 위한 지지체(2)를 추가로 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 지지체(2)는 공동(5) 내에 배치된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 지지체(2)는 금속 재료 또는 비금속 재료로 제조된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 지지체(2)는 투명한 무기 재료이다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 지지체(2)는 유리로 제조된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 지지체(2)는 유리 시트이다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 지지체(2)는 원형 유리 시트, 타원형 유리 시트 또는 다각형 유리 시트이다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 진공 유리는 투명하다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 진공 유리의 총 면적의 85% 초과가 투명하다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 진공 유리의 총 면적의 90% 초과가 투명하다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 진공 유리의 총 면적의 95% 초과가 투명하다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 3 W/(m²·K) 이하, 예를 들어 2.9 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 2.5 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 2 W/(m²·K) 이하, 예를 들어 1.9 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 1.8 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 1.6 W/(m²·K) 이하, 예를 들어 1.5 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 1.4 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 1.2 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 1 W/(m²·K) 이하, 예를 들어 0.9 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 0.8 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 0.6 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 0.5 내지 1 W/(m²·K)의 열 전도도 값 K를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 10dB 이상의 차음 값 R_w+C_tr을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 20dB 이상의 차음 값 R_w+C_tr을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 30dB 이상의 차음 값 R_w+C_tr을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 진공 유리는 30 내지 35dB의 차음 값 R_w+C_tr을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 진공 유리의 두께 방향은 공동(5)을 통해 통과하는 방향이다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 유리체(1)는 0.01m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 유리체(1)는 0.05m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 유리체(1)는 0.1m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 유리체(1)는 0.3m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 유리체(1)는 0.5m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 유리체(1)는 1m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 서로에 수직인 2개의 방향에서, 유리체(1)는 0.01m Х 0.01m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 서로에 수직인 2개의 방향에서, 유리체(1)는 0.1m Х 0.1m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 서로에 수직인 2개의 방향에서, 유리체(1)는 0.3m Х 0.3m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 서로에 수직인 2개의 방향에서, 유리체(1)는 0.5m Х 0.5m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 서로에 수직인 2개의 방향에서, 유리체(1)는 1m Х 1m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 진공 유리는 1 내지 50mm의 두께를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 진공 유리는 5 내지 25mm의 두께를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 1 내지 20mm의 두께를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 유리체(1)는 5 내지 10mm의 두께를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 3mm 미만의 두께를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 1mm 미만의 두께를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 0.5mm 미만의 두께를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 0.1mm 미만의 두께를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 0.05mm 미만의 두께를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 공동(5)은 0.1m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 공동(5)은 0.5m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 적어도 하나의 방향에서, 공동(5)은 1m 이상의 크기를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 1Х10^-4Pa 이하의 절대 압력을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 1Х10^-3Pa 이하의 절대 압력을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 1Х10^-2Pa 이하의 절대 압력을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 1Х10^-1Pa 이하의 절대 압력을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명의 어느 하나의 문 또는 창문에 따르면, 문 또는 창문은 건물의 문 또는 창문, 구조물의 문 또는 창문, 운송수단의 문 또는 창문, 냉장 설비의 문 또는 창문, 단열 장비의 문 또는 창문, 또는 차음 장비의 문 또는 창문이다.

본 발명의 또 다른 측면은 온실 (예를 들어, 온실 보관소(shed))을 제공하며, 여기서 온실의 외벽은 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따른 것을 포함한다.

i) 유리체 및 밀봉재로 공동을 둘러싸고, 공동 내에 게터를 배치하는 단계;

ii) 단계 i)의 생성물을 진공 환경에서 가열하여, 이에 의해 진공을 공동 내에 생성하고, 밀봉재 및 유리체를 함께 용접하고, 게터를 활성화시키는 단계;

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법의 어느 하나에 따르면, 단계 i)에서, 게터는 패시베이션된 게터이다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 i)에서, 게터의 표면은 밀폐형 재료로 제조된 인클로저를 포함하지 않는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 i)은 유리체를 지지하기 위한 지지체를 공동 내에 배치하는 단계를 추가로 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 i)은 밀봉재를 몰드(mold)에서 목적하는 형상으로 형상화하는 단계를 추가로 포함한다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 i)에서, 밀봉재는 밀봉 유리이다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 ii)에서, 가열은 밀봉재의 밀봉 온도 이상의 온도에서 수행된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 ii)에서, 가열은 게터의 활성화 온도 이상의 온도에서 수행된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 ii)에서, 가열은 게터의 활성화 시간 이상의 기간 동안 수행된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 ii)에서, 밀봉재에서 버블이 형성되기 시작하고 나면 온도 증가 속도는 감소되거나 또는 온도 증가는 중단된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 ii)에서, 가열은 300 내지 600℃의 온도에서 수행된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 ii)에서, 가열은 400 내지 500℃의 온도에서 수행된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 ii)에서, 진공 환경은 1Х10^-1Pa 이하의 절대 압력 값을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 ii)에서, 진공 환경은 1Х10^-2Pa 이하의 절대 압력 값을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 ii)에서, 진공 환경은 1Х10^-3Pa 이하의 절대 압력 값을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 단계 ii)에서, 진공 환경은 1Х10^-4Pa 이하의 절대 압력 값을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 방법 중 어느 하나에 따르면, 진공 유리는 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따른 것이다.

일 구현예에서, 밀봉재는 밀봉 유리이다.

밀봉 유리 및 유리체는 유사한 표면 특성을 가지며, 이에 의해 이들은 견고하게 결합될 뿐만 아니라, 이들은 유사한 팽창 계수를 가지며, 이에 의해 이들은 온도 충격 하에 분리되지 않을 수 있다.

일 구현예에서, 유리는 고형화 동안 실질적으로 결정화되지 않는 무기 용융물이다.

일 구현예에서, 유리는, 증가된 점도를 갖는 과냉각된 용융물로부터 생성된 기계적인 고체 특성을 갖는 비정질 고체이다.

일 구현예에서, 유리는 유리 재료의 매뉴얼(Manual of Glass Materials) (Wang Chengyu, Tao Ying. Manual of Glass Materials [M]. Chemical Industry Press, 2008.)에 개시된 임의의 유리, 예를 들어 상기 문헌의 챕터 1, 섹션 1.3 "Variety of Glass"에 개시된 임의의 유리이다.

일 구현예에서, 유리는 원소 유리, 옥시드 유리, 플루오라이드 유리, 클로라이드 유리, 브로마이드 유리, 아이오다이드 유리, 칼코게나이드 유리, 할로겐 칼코게나이드 유리, 니트레이트 유리, 술페이트 유리 및 아세테이트 유리로부터 선택된 하나 이상을 포함한다.

일 구현예에서, 옥시드 유리는 1성분 옥시드 유리, 실리케이트 유리, 보레이트 유리, 보로실리케이트 유리, 알루미네이트 유리, 알루미늄 보레이트 유리, 포스페이트 유리, 보론산 포스페이트(boric phosphate) 유리, 알루미늄 포스페이트 유리, 티타네이트 유리, 티타늄 실리케이트 유리, 텔루라이트 유리, 게르마네이트 유리, 안티모네이트 유리, 아르세네이트 유리 및 갈레이트 유리로부터 선택된 하나 이상을 포함한다.

일 구현예에서, 유리체는 실리카, 마그네슘 옥시드, 칼슘 옥시드, 바륨 옥시드, 리튬 옥시드, 소듐 옥시드, 포타슘 옥시드, 보론 옥시드, 바나듐 옥시드, 아연 옥시드, 텔루륨 옥시드, 알루미늄 옥시드, 납 옥시드, 주석 옥시드, 인 옥시드, 루테늄 옥시드, 로듐 옥시드, 철 옥시드, 구리 옥시드, 티타늄 옥시드, 텅스텐 옥시드, 비스무트 옥시드, 안티모니 옥시드, 납 보레이트 유리, 인산제2주석(stannic phosphate) 유리, 바나데이트 유리 및 보로실리케이트 유리로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 화합물을 포함한다.

일 구현예에서, 유리체는 제1 유리로 제조되고, 밀봉재는 제2 유리로 제조된다.

일 구현예에서, 유리체는 밀봉 유리의 연화점 온도보다 더 높은 연화점 온도를 갖는다.

일 구현예에서, 연화점 온도는, 유리의 점도가 유리를 더 이상 지지할 수 없어 변형을 일으키는 온도를 지칭한다.

일 구현예에서, 연화점 온도는 GB T 28195-2011 "유리 연화점 시험 방법(Glass Softening Point Test Method)"에 따라 측정된다.

일 구현예에서, 밀봉 온도는, 밀봉 유리가 진공 상태에서 용융되어 유리체와 함께 용접되는 온도를 지칭한다.

일 구현예에서, 시일(seal) 온도로서 또한 지칭되는 밀봉 온도는, 유리 점도가 10³Pa·s에 도달하는 온도를 지칭한다.

일 구현예에서, 유리체는, 밀봉 유리의 밀봉 온도보다 50℃ 이상, 예를 들어 100℃ 이상, 예를 들어 150℃ 이상, 또 다른 예로서 200℃ 이상, 또 다른 예로서 250℃ 이상, 또 다른 예로서 300℃, 또 다른 예로서 350℃ 이상, 또 다른 예로서 400℃ 이상, 또 다른 예로서 500℃ 이상, 및 또 다른 예로서 600℃ 이상만큼 더 높은 연화점 온도를 갖는다.

일 구현예에서, 유리체는 300℃ 이상, 예를 들어 350℃ 이상, 또 다른 예로서 400℃ 이상, 또 다른 예로서 450℃ 이상, 또 다른 예로서 500℃ 이상, 또 다른 예로서 550℃ 이상, 또 다른 예로서 600℃ 이상, 또 다른 예로서 650℃ 이상, 또 다른 예로서 700℃ 이상, 및 또 다른 예로서 750℃ 이상의 연화점 온도를 갖는다.

일 구현예에서, 밀봉 유리는 또한 용접 유리, 용제(welding flux) 유리, 땜납(solder) 유리, 밀봉 유리, 낮은 융점을 갖는 유리 분말, 저융점 유리 또는 에나멜 프릿(enamel frit) 등으로서 지칭될 수 있다.

일 구현예에서, 밀봉 유리는 저온 유리 또는 저융점 유리이다.

일 구현예에서, 밀봉 유리는 600℃ 이하, 또 다른 예로서 550℃ 이하, 또 다른 예로서 500℃ 이하, 또 다른 예로서 490℃ 이하, 또 다른 예로서 480℃ 이하, 또 다른 예로서 470℃ 이하, 또 다른 예로서 460℃ 이하, 또 다른 예로서 450℃ 이하, 또 다른 예로서 440℃ 이하, 또 다른 예로서 430℃ 이하, 또 다른 예로서 420℃ 이하, 또 다른 예로서 410℃ 이하, 또 다른 예로서 400℃ 이하, 또 다른 예로서 380℃ 이하, 또 다른 예로서 360℃ 이하, 및 또 다른 예로서 340℃ 이하의 밀봉 온도를 갖는다.

일 구현예에서, 밀봉 유리는 유리 재료의 매뉴얼 (Wang Chengyu, Tao Ying. Manual of Glass Materials [M]. Chemical Industry Press, 2008.)에 개시된 임의의 저융점 유리, 예를 들어 챕터 12, 섹션 12.4, "용제 유리(Welding Flux Glass)"에 개시된 임의의 용제 유리이다.

일 구현예에서, 밀봉 유리는 옥시드가 아닌 유리 (예를 들어, 칼코게나이드 유리 또는 플루오라이드 유리), 옥시드 유리, 또는 하이브리드 유리 (예를 들어, 옥시황산(oxysulfuric) 유리)를 포함한다.

일 구현예에서, 밀봉 유리는 납-함유 보레이트 유리, 납-함유 보로실리케이트 유리 또는 납-함유 실리케이트 유리를 포함한다.

일 구현예에서, 밀봉 유리는 마그네슘 옥시드, 칼슘 옥시드, 바륨 옥시드, 리튬 옥시드, 소듐 옥시드, 포타슘 옥시드, 보론 옥시드, 바나듐 옥시드, 아연 옥시드, 텔루륨 옥시드, 알루미늄 옥시드, 규소 디옥시드, 납 옥시드, 주석 옥시드, 인 옥시드, 루테늄 옥시드, 로듐 옥시드, 철 옥시드, 구리 옥시드, 티타늄 옥시드, 텅스텐 옥시드, 비스무트 옥시드, 안티모니 옥시드, 납 보레이트 유리, 주석 포스페이트 유리, 바나데이트 유리 및 보로실리케이트 유리로부터 선택된 하나 이상의 화합물을 포함한다.

일 구현예에서, 밀봉 유리는 PbO-ZnO-B₂O₃ 시스템, Bi₂O₃-B₂O₃-SiO₂ 시스템, Bi₂O₃-B₂O₃-ZnO 시스템, Na₂O-Al₂O₃-B₂O₃ 시스템, SnO-ZnO-P₂O₅ 시스템, V₂O₅-P₂O₅-Sb₂O₃ 시스템, ZnO-B₂O₃-SiO₂시스템 및 ZnO-B₂O₃-BaO 시스템으로부터 선택된 하나 이상의 유형의 유리를 포함한다.

진공 유리 중 어느 하나의 일 구현예에서, 밀봉재는 금속을 포함하지 않는다.

진공 유리 중 어느 하나의 일 구현예에서, 밀봉재는 금속 단순 물질 또는 합금을 포함하지 않는다.

진공 유리 중 어느 하나의 일 구현예에서, 밀봉재는 유기 물질, 예컨대 수지, 및 또 다른 예로서 유기 검을 포함하지 않는다.

일 구현예에서, 게터를 둘러싸기 위한 인클로저는 금속 쉘, 유리 쉘 또는 적외선 흡수 재료 쉘을 지칭한다.

일 구현예에서, 비증발성 게터는, 게터를 증발시키기 않으면서 게터링 특성을 달성할 수 있는 게터를 지칭한다.

일 구현예에서, 게터의 활성화는 진공 열 처리 방법을 통해 게터가 게터링 특성을 나타내도록 하는 것을 지칭한다 .

일 구현예에서, 게터는 비증발성 게터, 예를 들어 문헌 ["Jiang Dikui, Chen Liping. Performance characteristics and practical application problems of non-evaporable getter (NEG) [J]. Vacuum, 2004, 41 (4): 88-93"]에 개시된 비증발성 게터이다.

일 구현예에서, 게터는 Zr 원소를 함유한다.

일 구현예에서, 게터는 Ti 원소를 함유한다.

일 구현예에서, 게터는 하나 이상의 전이 금속 원소를 함유한다. 전이 금속 원소는, 예를 들어 Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Y, Zr, Nb, Mo, Tc, Ru, Rh, Pd, La, Hf, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt 및 Ac를 포함한다.

일 구현예에서, 게터는 하나 이상의 희토류 원소를 함유한다. 희토류 원소는, 예를 들어 란타넘 (La), 세륨 (Ce), 프라세오디뮴 (Pr), 네오디뮴 (Nd), 프로메튬 (Pm), 사마륨 (Sm), 유로퓸 (Eu), 가돌리늄 (Gd), 터븀 (Tb), 디스프로슘 (Dy), 홀뮴 (Ho), 에르븀 (Er), 툴륨 (Tm), 이터븀 (Yb), 루테슘 (Lu), (Sc) 및 이트륨 (Y)을 포함한다.

일 구현예에서, 게터는 Zr-유형의 게터, 예컨대 Zr-Al 유형, Zr-Ni 유형, Zr-C 유형, Zr-Co-RE 유형 (RE는 희토류 원소를 지칭함) 또는 Zr-V-Fe 유형의 게터이다.

일 구현예에서, 게터는 Ti-유형의 게터, 예컨대 Ti-Mo 유형 또는 Ti-Zr-V 유형의 게터이다.

일 구현예에서의 진공 유리는 배기 포트를 갖지 않고, 배기 포트를 갖지 않는 이 진공 유리는 비교적 완전한 전체 구조, 비교적 매력적인 외관을 갖고, 보다 양호한 안전성 및 안정성을 갖는다. 또한, 배기 포트가 없는 진공 유리는 완전한 표면을 가지며, 이는 추가의 가공에 양호하고, 진공 유리는 다양한 용도의 필요성을 충족시키도록 특수 유리, 예컨대 적층 유리, 필름 고정된 유리(film mounted glass) 등으로 추가로 가공될 수 있다.

일 구현예에서, 배기 포트는 또한 배기 구멍, 배기 포트 또는 배기구 등으로서 지칭된다.

일 구현예에서, 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 배기 포트는 유리체가 밀봉재 (예컨대, 밀봉 유리)로 밀폐형으로 밀봉된 후 유리체 또는 밀봉 유리 상에 남아있는 개구부(opening)를 지칭한다. 진공 유리의 공동은 배기 포트를 통해 진공화되어야 하며, 이어서 배기 포트는 플러깅 물체(plugging object)에 의해 차단된다.

일 구현예에서, 밀봉재에 의해 밀봉된 유리체 사이의 틈은 차단된 배기 포트가 아니다.

JC/T 1709-2008 "진공 유리(Vacuum Glass)"는 진공 유리를 개시하고 있으며, 진공 유리에 관하여, 2개 이상의 유리 플레이트는 지지체에 의해 이격되며, 이들의 주변부는 밀봉되어, 유리 사이에 진공 층을 갖는 유리를 형성한다. 진공 유리는 차단된 공기 배기 포트 및 진공 유리의 배기 포트에 부착된 보호 장치 (보호 캡)를 포함한다.

CN203923018U는 주변부 상에 배기 포트를 갖는 진공 유리를 개시하고 있으며, 상기 진공 유리는 2개 이상의 유리 플레이트를 포함하고, 유리 상의 밀봉하고자 하는 부분 상에 금속화된 층이 배열된다. 2개의 인접한 유리 사이의 밀폐형 연결은 금속 에지 시일(edge seal)을 통해 달성되며, 밀봉하고자 하는 위치에 배기 포트가 보유되고, 밀봉 부재는 배기 포트에 배열되어 있고, 밀봉 부재는 금속화된 층과 함께 배기 포트의 밀폐형 밀봉을 실현한다. 진공 유리는 진공 유리의 주변부 상에 형성된 배기 포트를 갖고, 특히, 배기 포트는 밀봉 테이프 상에 보유되고, 배기가 완료된 후 밀봉 부재에 의해 밀봉되며, 이는 배기 포트를 유리 표면 상에 형성하는 종래 방식과 상이하다.

CN104291632A는 하기를 특징으로 하는, 진공 유리의 배기 포트를 개시하고 있다: 진공 유리의 상부 유리 플레이트를 천공함으로써 배기 포트가 형성되고, 배기 포트 주변의 상부 유리 플레이트의 저부 표면 상에 밀봉 링(sealing ring)이 제조되고, 저부 유리의 상부 표면 상에 배기 포트에 상응하는 위치에 밀봉 박스가 배치되고, 밀봉 링은 밀봉 박스 내로 삽입될 수 있고; 상부 유리 및 저부 유리가 밀봉된 후, 금속 용제가 배기 포트에 배치되고, 배기 포트는 진공 상태이며, 가열되어, 금속 용제가 액체로 용융되고, 액체는 밀봉 박스에 남아있으며, 밀봉 링 또한 액체 중에 침지되고, 배기 포트는, 액체가 냉각된 후 고형화되는 액체 밀봉 원리에 따라 자가 밀봉되어 배기 포트의 밀폐형 밀봉을 달성한다.

일 구현예에서, 진공 유리 중 어느 하나는 JC/T 1079-2008에 기술된 배기 포트를 포함하지 않는다.

일 구현예에서, 진공 유리 중 어느 하나는 CN203923018U, CN104291632A 또는 CN104108862A에 기술된 배기 포트를 포함하지 않는다.

진공 유리 중 어느 하나의 일 구현예에서, 진공 유리는 진공 하에 열 처리에 완전히 가해져, 공동의 진공화, 게터의 활성화, 및 유리체 및 밀봉 유리의 용접을 완료한다.

진공 유리 중 어느 하나의 일 구현예에서, 지지체는 금속 재료 또는 비금속 재료로 제조된다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 금속 재료는 강, 알루미늄 합금, 니켈, 몰리브덴 및 니오븀으로부터 선택된 하나 이상이다.

일 구현예에서, 금속 재료는 크롬 또는 구리일 수 있다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 비금속 재료는 유리, 세라믹 및 금속 산화물로부터 선택된 하나 이상이다.

일 구현예에서, 비금속 재료는 나일론, 흑연, 석영 유리 또는 사파이어 유리(sapphire glass)일 수 있다.

일 구현예에서, 진공 유리의 열 전도도 및 차음 성능을 검출하기 위한 방법은 "진공 유리" (JC/T1079-2008)에 따른다.

본 발명에서, 진공도는 절대 압력 값에 의해 측정되고, 높은 진공도 또는 작은 진공도는 낮은 절대 압력 값을 나타내고; 낮은 진공도 또는 큰 진공도는 높은 절대 압력 값을 나타낸다.

본 발명자들은, 진공 하에 가열되는 경우, 밀봉 유리 (저융점 유리)는 용융 및 연화되고, 연화된 밀봉 유리에서 버블이 형성되면서 다량의 기체를 생성한다는 것을 발견하였다. 이 때, 밀봉 유리는 기체를 진공 유리의 공동의 외부로 방출할 뿐만 아니라, 기체를 진공 유리의 진공 공동 내로 방출한다. 밀봉 유리로부터 공동의 외부로 방출된 기체는 진공 펌프에 의해 배출되고; 밀봉된 공동은 용융된 유리 분말, 및 상부 및 저부 유리 플레이트에 의해 둘러싸여 있기 때문에, 밀봉 유리로부터 공동으로 방출된 기체는 배출될 수 없어, 진공 유리의 밀봉된 공동의 압력의 증가, 낮은 진공도를 낳고, 진공 유리의 높은 단열 및 차음의 탁월한 특성 (이는 진공 유리를 중공 유리와 상이하게 함)이 손실된다.

일 구현예에서, 본 발명의 진공 유리의 제조 방법은, 가열 동안 밀봉 유리 내에 버블이 있는지 관찰하고, 초기 버블 형성 스테이지에서 온도 증가 속도를 감소시키거나 또는 온도 증가를 중단하는 단계를 포함한다. 이 단계는 기체를 방출하는 밀봉 유리의 과도한 버블링(bubbling)을 방지할 수 있어, 높은 진공도를 갖는 진공 유리를 얻는 것을 유리하게 한다. 그렇지 않은 경우, 과도한 버블링이 발생하면, 충분한 양의 게터가 첨가될지라도, 중공 유리의 것과 상이한 단열 및 차음 효과를 갖는 진공 유리가 얻어질 수 없다.

일 구현예에서, 단계 ii)에서, 가열은 밀봉재 (예를 들어, 밀봉 유리)의 초기 버블 형성 스테이지에서 중단된다.

본 발명자들은, 더 많은 게터가 진공 유리의 에지 시일 스테이지에서 공동 내로 첨가되는 경우, 보다 높은 진공도를 갖는 진공 유리가 얻어질 수 있다는 것을 또한 발견하였다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 0.1g/cm³이상, 예를 들어 0.5g/cm³ 이상, 또 다른 예로서 1g/cm³ 이상, 및 또 다른 예로서 1.5g/cm³ 이상의 상기 게터(3)의 함량을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 약 300 내지 350cm³ (예를 들어, 330cm³)의 부피를 갖고, 게터는 600 내지 700g (예를 들어, 640g)의 중량을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 공동(5)은 약 300 내지 350cm³ (예를 들어, 330cm³)의 부피를 갖고, 게터는 10 내지 15cm³ (예를 들어, 12cm³)의 부피를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터는 공동 부피의 300 내지 350cm³ (예를 들어, 330cm³)당 600 내지 700g (예를 들어, 640g)의 중량을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명에 따른 진공 유리 중 어느 하나에 따르면, 게터는 공동 부피의 300 내지 350cm³ (예를 들어, 330cm³)당 10 내지 15cm³ (예를 들어, 12cm³)의 부피를 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명의 진공 유리 또는 본 발명의 진공 유리의 제조 방법에 따르면, 게터는 진공 유리의 총 면적과 정적 상관관계를 갖는 질량을 갖는다.

일 구현예에서, 본 발명의 진공 유리 또는 본 발명의 진공 유리의 제조 방법에 따르면, 게터는 밀봉재에 의해 밀봉된 진공 유리의 측면 길이와 정적 상관관계를 갖는 질량을 갖는다.

본 발명자들은 또한, 게터가 밀봉재에 근접한 위치에 배치되어, 보다 높은 진공도를 갖는 진공 유리를 얻는 것을 유리하게 한다는 것을 발견하였다.

일 구현예에서, 본 발명의 진공 유리 또는 본 발명의 진공 유리의 제조 방법에 따르면, 게터는 밀봉재의 내측에 근접한 위치에 배치된다.

일 구현예에서, 본 발명의 진공 유리 또는 본 발명의 진공 유리의 제조 방법에 따르면, 게터로부터 밀봉재까지의 거리는 10cm 이하, 예를 들어 5cm 이하이다.

본 발명자들은, 탄성 가스킷이 지지체로서 작용하는 진공 유리는 보다 작은 두께 편차를 갖는다는 것을 발견하였다.

일 구현예에서, 지지체는 탄성 가스킷, 예컨대 스테인리스강 탄성 가스킷이다.

일 구현예에서, 탄성 가스킷은 탄성 와셔(washer), 예컨대 C-형상의 탄성 와셔, 새들(saddle)-형상의 탄성 와셔 또는 물결-형상의 탄성 와셔 또는 디스크-형상의 스프링 와셔이다.

일 구현예에서, 탄성 가스킷 (예를 들어, 탄성 와셔)은 탄소 섬유, 흑연 나일론 (aps), 강 (예를 들어, 중탄소강, 65Mn, SK5, SK7, 스테인리스강, 예컨대 SUS304 스테인리스강), 알루미늄, 구리 (예를 들어, 적동(red copper), 베릴륨 구리, 청동) 또는 크롬으로 제조된다.

도 14는 C-형상의 탄성 와셔의 전방도 (좌측) 및 측면도 (우측)이다.

일 구현예에서, 탄성 가스킷의 높이는 0.1 내지 1.0mm, 예컨대 0.7mm이다.

본 발명자들은, 진공 유리를 제조할 때, 밀봉 유리의 고형화 스테이지에서, 먼저 로(furnace) 내 압력이 대기압으로 감소된 다음, 로 내 온도가 50℃ 이하로 낮춰지는 경우, 넓은 에지 시일 유효 폭, 예를 들어 10mm가 얻어질 수 있다는 것을 발견하였다.

일 구현예에서, 진공 유리의 제조 방법의 단계 iii)은, 먼저 로 내 압력을 대기압으로 감소시키고, 후속으로 로 내 온도를 50℃ 이하로 낮춤으로써 로 내 진공도 및 온도를 감소시킨 다음, 로를 개방하여 생성물을 얻는 단계를 포함한다.

일 구현예에서, 진공 유리의 제조 방법의 단계 iii)은, 밀봉재가 여전히 반고체 상태인 경우 로 내 압력을 대기압으로 감소시키고, 후속으로 로 내 온도를 밀봉재의 고형화 온도로 낮춤으로써 로 내 진공도 및 온도를 감소시킨 다음; 로를 개방하여 생성물을 얻는 단계를 포함한다.

일 구현예에서, 진공 유리의 제조 방법의 단계 iii)은, 로 내 압력을 5 내지 10분 내에 대기압으로 감소시키고, 로 내 온도를 10 내지 12시간 내에 50℃ 이하로 낮춤으로써 로 내 진공도 및 온도를 감소시킨 다음; 로를 개방하여 생성물을 얻는 단계를 포함한다.

본 발명의 실시예는 특정 구현예와 함께 하기에 추가로 기술된다.

실시예 1

도 4는 실시예 1의 진공 유리의 투시도이고, 도 5는 도 4의 진공 유리의 A-A 단면도이다. 도면을 참조한다:

실시예 1의 진공 유리 생성물은 2개의 유리체(1) (이들은 서로에 평행하게 배열된 2개의 저-E 유리 플레이트(101 및 102)임); 저-E 유리 플레이트(101 및 102) 및 밀봉재(4) (즉, 밀봉 유리)에 의해 함께 둘러싸인 공동(5); 뿐만 아니라 공동(5) 내에 배치된 지지체(2) 및 게터(3)를 포함하며; 공동(5)은 그 안이 밀폐형이고; 게터(3)는 비증발성 게터이고, 진공 유리는 게터(3)를 둘러싸기 위한 인클로저를 포함하지 않고, 인클로저는 밀폐형 재료로 제조된다. 진공 유리는 차단된 배기 포트를 갖지 않는다.

상기 언급된 진공 유리의 제조 단계는 하기와 같다:

1. 유리 플레이트를 제공하는 단계: 1m Х 1m Х 5mm의 크기를 갖는 2개의 저-E 유리 (저-방사율(emissivity) 유리) 플레이트(101 및 102)를 제공한다.

저-E 유리 플레이트의 면은 그 위에 코팅된 필름을 갖고, 유리 플레이트 및 밀봉 유리 사이의 결합 강도를 개선하기 위해, 밀봉 유리와 연결되는 영역 상의 코팅된 필름은 저-E 유리 플레이트의 면으로부터 연마 제거된다. 본 실시예에서, 저-E 유리 플레이트(101 및 102)의 코팅된 필름 면의 주변부를 따른 필름의 10mm 폭이 연마 제거된다.

2. 밀봉재를 배치하는 단계: 밀봉재(4)는 밀봉 유리이다. 410 내지 430℃의 밀봉 온도를 갖는, Beijing Beixu Electronic Glass Co., Ltd로부터의 JN-48 유형의 유리 분말이 사용된다. 필름 코팅된 면이 상향으로 향하게 하면서 저-E 유리 플레이트(102)를 실질적으로 수평으로 배치하고, 유리 분말 슬러리를 표면의 주변부에 근접한 영역 상에 코팅한 다음, 유리 분말 슬러리를 건조시켜 이를 건조되게 하고, 소정의 형상으로 형성되도록 한다.

3. 지지체를 배치하는 단계: 지지체(2)는 φ1mmХ0.33mm의 크기를 갖는 원형의 얇은 유리 시트이다. 복수의 지지체(2)를 30mm Х 30mm의 간격에서 저-E 유리 플레이트(102)의 필름 코팅된 면 상에 배치한다.

4. 게터를 배치하는 단계: 게터(3)는 스트립(strip) 형상의 게터 스트립 (Liaoning Kehua Gettering Material Co., Ltd., 모델 번호 ZV8J60Q, 구성성분: 지르코늄, 바나듐 및 철, 활성화 조건: 400℃/5min)이며, 이는 약 0.3mm Х 10mm Х 970mm의 크기 및 약 160g/스트립의 중량을 갖는다. 4개의 게터 스트립을 저-E 유리 플레이트(102)의 필름 코팅된 면 상에 배치하고, 4개의 게터 스트립은 각각 유리 플레이트의 4개의 측에 평행하며, 밀봉재(4)의 내측에 근접한 위치에 배치된다.

5. 적층 단계: 저-E 유리 플레이트(101)를 저-E 유리 플레이트(102) 상에 적층하여, 저-E 유리 플레이트(101, 102) 및 밀봉재(4) (밀봉 유리)가 함께 플레이트-유사 공동을 둘러싸도록 하며, 저-E 유리 플레이트(101)의 필름 코팅된 면은 플레이트-유사 공동를 향한다.

6. 진공 하의 가열 및 패키징 단계: 적층된 유리 플레이트를 진공 로 내에 배치하고, 하기 작업을 수행한다:

(1) 진공 로를 배기시켜, 로 내 진공도 (절대 압력 값)가 1Х10^-4Pa 이하이도록 하고;

(2) 로 내 진공도 (절대 압력 값)를 1Х10^-4Pa 이하로 유지하고, 약 1 내지 5℃/min의 온도 증가 속도로 진공 로를 가열하고, 온도가 약 410 내지 430℃에 도달할 때, 밀봉 유리 내에 버블이 형성되는지 관찰하고, 초기 버블 형성 스테이지에서 온도 증가 속도를 감소시키거나 또는 온도 증가를 중단하여, 과도한 버블링을 방지하고, 5 내지 10min 동안 열을 보존하고; 게터는 단계 2)에서 활성화되고;

(3) 로 내 진공도 및 온도를 감소시킨다. 로 내 압력을 5 내지 10분 내에 대기압으로 감소시키고, 로 내 온도를 10 내지 12시간 내에 50℃ 이하로 감소시킨 다음, 로를 개방하여 진공 유리를 얻는다.

실시예 2

도 6은 실시예 2의 진공 유리의 투시도이고, 도 7은 도 6의 진공 유리의 A-A 단면도이다. 도면을 참조한다:

실시예 2의 진공 유리는 3개의 유리체(1) (이들은 서로에 평행하게 배열된 저-E 유리 플레이트(101 및 102) 및 비코팅된 유리 플레이트(103)이며, 비코팅된 유리 플레이트(103)는 저-E 유리 플레이트(101 및 102) 사이에 배치됨); 및 저-E 유리 플레이트(102), 비코팅된 유리 플레이트(103) 및 밀봉재(4) (밀봉 유리)에 의해 함께 둘러싸인 공동(5), 및 비코팅된 유리 플레이트(103), 저-E 유리 플레이트(101) 및 밀봉재(4) (밀봉 유리)에 의해 함께 둘러싸인 또 다른 공동(5); 및 지지체(2) 및 게터(3) (이들은 두 공동(5) 모두 내에 배치됨)를 포함한다. 공동(5)은 그 안이 밀폐형이고; 게터(3)는 비증발성 게터이고, 진공 유리는 게터(3)를 둘러싸기 위한 인클로저를 포함하지 않는다. 인클로저는 밀폐형 재료로 제조된다. 진공 유리는 차단된 배기 포트를 갖지 않는다.

상기 언급된 진공 유리의 제조 단계는 하기와 같다:

1. 유리체(1) (유리 플레이트)를 제조하는 단계: 1m Х 1m Х 5mm의 크기를 갖는 2개의 템퍼링된(tempered) 저-E (저-방사율 코팅된) 유리 플레이트(101 및 102), 및 990mm Х 990mm Х 5mm의 크기를 갖는 비코팅 템퍼링된 유리 플레이트(103)를 제조한다.

2개의 저-E 유리 플레이트(101 및 102)의 주변부를 따른 코팅된 필름의 10mm 폭이 연마 제거된다.

2. 지지체를 배치하고, 유리 플레이트를 적층하는 단계

저-E 유리 플레이트(102)를 실질적으로 수평으로 배치한다.

지지체를 유리 플레이트의 필름 코팅된 면 상에 배치한다. 지지체는, 0.35mm의 직경을 갖는 304L 스테인리스강 와이어를 구부림으로써 제조된 스프링 링이며, 스프링 링의 크기는 하기와 같다: 내부 직경은 0.35mm이고, 외부 직경은 1.05mm이고, 높이는 0.35mm이다. 지지체의 위치 간격은 40mm Х 40mm이다.

비코팅된 유리 플레이트(103)를, 지지체가 위에 배치된 저-E 유리 플레이트(102) 상에 배치하고, 이들의 중앙은 정렬된다. 40mm Х 40mm의 위치 간격을 가지면서 지지체를 유리 플레이트(103) 상에 배치한다.

코팅된 저-E 유리 플레이트(101)를, 지지체가 위에 배치된 유리 플레이트(103) 상에 배치한다. 유리 플레이트(101)는 이의 필름 코팅된 면이 유리 플레이트(103)를 대향하도록 배치된다. 따라서, 유리 플레이트(101, 102 및 103)의 주변부를 따라 5.70mm의 높이 및 5mm의 폭을 갖는 공간이 형성되며, 이는 이후에 사용된다.

3. 게터를 배치하는 단계: 게터(3)는 Italian Seth Company (모델 번호: ST2002/CTS/NI/8D 스트립, 및 활성화 조건: 400℃/5min)로부터의 스트립 형상의 지르코늄-바나듐-철 게터였다. 스트립 형상의 지르코늄-바나듐-철 게터는 0.3mm Х 8mm Х 970mm의 사양 및 150g/스트립의 중량을 갖는다. 8개의 스트립 형상의 지르코늄-바나듐-철 게터는 이후 사용을 위해 제공되었다. 스트립 형상의 지르코늄-바나듐-철 게터의 4개의 시트를 각각 유리 플레이트(102 및 103) 사이의 4개의 에지 상에 배치하고, 스트립 형상의 지르코늄-바나듐-철 게터의 4개의 시트를 각각 유리 플레이트(101 및 103) 사이의 4개의 에지 상에 배치하고, 스트립 형상의 지르코늄-바나듐-철 게터의8개의 시트는 유리 플레이트(103)의 주변부로부터 5mm 떨어져 배치된다.

4. 밀봉재를 배치하는 단계: 밀봉재(4)는 밀봉 유리이다. Beijing Beixu Electronic Material Co., Ltd로부터의 BDH-0118 유형의 유리 분말이 사용되었고, 이의 밀봉 온도는 430℃이다. 상기 언급된 유리 분말은 유리 분말 스트립으로 제조되었다. 유리 분말 스트립의 사양은 6mm Х 8mm Х 1m이고, 4개의 유리 분말 스트립은 이후의 사용을 위해 제조되었다. 유리 분말 스트립을 유리 플레이트(101 및 102) 사이에 8mm의 높이를 가지면서 배치한다.

5. 진공 하의 가열 및 패키징 단계: 적층된 유리 플레이트를 진공 로 내에 배치하고, 하기 조작을 수행한다:

(2) 로 내 진공도 (절대 압력 값)를 1Х10^-4Pa 이하로 유지하고, 약 1 내지 5℃/min의 온도 증가 속도로 진공 로를 가열하고, 온도가 약 430℃에 도달할 때, 밀봉 유리에 버블 형성이 있는지 관찰하고, 초기 버블 형성 스테이지에서 온도 증가 속도를 감소시키거나 또는 온도 증가를 중단하여, 과도한 버블링을 방지하고, 5 내지 10분 동안 열을 보존하고; 게터는 단계 2)에서 활성화되고;

(3) 로 내 진공도 및 온도를 감소시키고, 로 내 압력을 5 내지 10분 내에 대기압으로 감소시키고, 로 내 온도를 10 내지 12시간 내에 50℃ 이하로 감소시킨 다음, 로를 개방하여 진공 유리를 얻는다.

실시예 3 (고정된 관통 구멍(through hole)을 갖는 진공 유리)

도 8은 실시예 3의 진공 유리의 투시도이고, 도 9는 도 8의 진공 유리의 A-A 단면도이고, 도면을 참조한다:

실시예 3의 진공 유리 생성물은 2개의 유리체(1) (이들은, 1m Х 1m Х 5mm의 크기를 갖고, 서로에 평행하게 배열되며, 그 사이에 0.35mm의 틈을 갖는 2개의 저-E 유리 플레이트(101 및 102)임); 저-E 유리 플레이트(101 및 102) 및 밀봉재(4) (밀봉 유리)에 의해 함께 둘러싸인 공동(5); 및 공동(5) 내에 배치된 지지체(2) 및 게터(3)를 포함한다. 실시예 3의 진공 유리에, 전체 진공 유리를 관통하는 관통 구멍(7)이 제공된다. 공동(5)은 그 안이 밀폐형이고; 게터(3)는 비증발성 게터이고, 진공 유리는 게터(3)를 둘러싸기 위한 인클로저를 포함하지 않고, 인클로저는 밀폐형 재료로 제조된다. 진공 유리는 차단된 배기 포트를 갖지 않는다.

제조 단계는 하기와 같다:

1. 유리체(1) (유리 플레이트)의 제조 단계: 1m Х 1m Х 5mm의 크기를 갖는 템퍼링된 저-E (저 방사율 유리) 유리 플레이트(101 및 102)의 2개의 시트를 제조한다. 4개의 관통 구멍(7)은 각각, 1.8cm (필요한 경우 임의의 구멍 직경이 제조될 수 있음)의 구멍 직경을 가지며, 2개의 저-E 유리 플레이트의 4개의 모서리 각각 상에 형성된다. 2개의 저-E 유리 플레이트의 주변부에 근접한 영역 상의 필름 및 4개의 관통 구멍(7) 둘레의 영역 상의 필름은 연마 제거된다.

2. 밀봉재를 배치하는 단계: 필름 코팅된 면이 상향으로 향하게 하면서 저-E 유리 플레이트(102)를 실질적으로 수평으로 배치하고, 유리 분말 슬러리 (Zhuhai Caizhu Industrial Co., Ltd., 711 유형의 유리 분말, 400℃의 밀봉 온도를 가짐)를 상기 면의 주변 영역 및 관통 구멍(7) 부근의 영역 상에 코팅한 다음, 유리 분말 슬러리를 가열하여 건조시키고, 고정된 형상을 형성한다.

3. 지지체 및 게터를 저-E 유리 플레이트(102)의 필름 코팅된 면 상에 배치하는 단계: 이 단계의 파라미터는 실시예 1의 단계 3 및 4의 것와 동일하다.

4. 적층 단계: 저-E 유리 플레이트(101)를 저-E 유리 플레이트(102) 상에 적층하여, 플레이트-유사 공동이 저-E 유리 플레이트(101, 102) 및 밀봉 유리에 의해 함께 둘러싸이도록 하고, 여기서 저-E 유리 플레이트(101)의 필름 코팅된 면은 플레이트-유사 공동을 향한다.

(2) 로 내 진공도 (절대 압력 값)를 1Х10^-4Pa 이하로 유지하고, 약 1 내지 5℃/min의 온도 증가 속도로 진공 로를 가열하고, 온도가 약 400℃에 도달할 때, 밀봉 유리 내에 버블 형성이 있는지 관찰하고, 초기 버블 형성 스테이지에서 온도 증가 속도를 감소시키거나 또는 온도 증가를 중단하여, 과도한 버블링을 방지하고, 5 내지 10분 동안 열을 보존하고, 게터는 단계 2)에서 활성화되고;

(3) 로 내 진공도 및 온도를 감소시키고, 로 내 압력을 5 내지 10분 내에 대기압으로 감소시키고, 로 내 온도를 10 내지 12시간 내에 50℃ 이하로 감소시킨 다음, 로를 개방하여 생성물을 얻는다.

실시예 4 (곡선형-표면 진공 유리)

도 10은 실시예 4의 진공 유리의 투시도이고, 도 11은 도 10의 진공 유리의 A-A 단면도이다. 도면을 참조한다:

실시예 4의 진공 유리 생성물은 유리체(1) (이들은, 100mm/1m의 보우 곡률(bow curvature)을 가지며, 서로에 평행하게 배열된 2개의 저-E 곡선형 유리 플레이트(101 및 102)임); 2개의 저-E 곡선형 유리 플레이트 및 밀봉재(4) (밀봉 유리)에 의해 함께 둘러싸인 공동(5); 뿐만 아니라 공동(5) 내에 배치된 지지체 및 게터를 포함한다. 공동(5)은 밀폐형이고, 진공 유리의 보우 곡률은 100mm/1m이고; 게터(3)는 비증발성 게터이고, 진공 유리는 게터(3)를 둘러싸기 위한 인클로저를 포함하지 않고, 인클로저는 밀폐형 재료로 제조된다. 진공 유리는 차단된 배기 포트를 갖지 않는다.

제조 단계는 하기와 같다:

1. 유리 플레이트를 제공하는 단계: 1mХ1mХ5mm의 크기를 갖고, 방향을 따라 100mm/1m의 보우 곡률을 갖는 2개의 템퍼링된 저-E (저-방사율 유리) 곡선형 유리 플레이트(101 및 102)를 제공하고;

유리 플레이트의 주변 영역 부근의 10mm의 필름은 실시예 1의 방법을 참조하여 연마 제거된다.

2. 실시예 1의 방법을 참조하여, 밀봉재를 배치하고, 지지체를 배치하고 (내고온성 UV 무기 글루(glue)를 사용하여 지지체를 유리 플레이트 상에 고정시킴), 게터를 배치하고 (실시예 2의 것과 동일한 스트립 형상의 게터의 4개의 시트), 유리 플레이트를 적층한다.

3. 진공 가열 및 패키징 단계의 파라미터는 실시예 2의 것과 동일하고, 실시예 4의 곡선형-표면 진공 유리가 얻어진다.

실시예 5 (진공 유리관)

도 12는 실시예 5의 진공 유리의 투시도이고, 도 13은 도 12의 진공 유리의 A-A 단면도이다. 도면을 참조한다:

실시예 5의 진공 유리 생성물은 유리체(1) (이들은 슬리브를 갖는(sleeved) 유리관(104 및 105)이며, 유리관(105)이 유리관(104)을 감쌈); 및 유리관(104, 105) 및 밀봉재(4) (밀봉 유리)에 의해 함께 둘러싸인 공동(5)을 포함한다. 공동(5)은 밀폐형이고; 게터(3)는 비증발성 게터이고, 진공 유리는 게터(3)를 감싸기 위한 인클로저를 포함하지 않고, 인클로저는 밀폐형 재료로 제조된다. 진공 유리는 차단된 배기 포트를 갖지 않는다.

1. 유리체 (유리관)의 제조 단계: 하기와 같은 크기를 갖는 2개의 유리관(104 및 105)을 제조한다: 유리관(104)은 48mm의 외경, 44mm의 내경, 2mm의 두께, 1790mm의 길이를 갖고, 유리관(105)은 58mm의 외경, 54mm의 내경, 2mm의 두께 및 1800mm의 길이를 갖는다. 유리관(104 및 105) 둘 모두는 하나의 개방 단부를 갖는다.

2. 밀봉재를 배치하는 단계: 유리관(104)을 그의 외부로부터 유리관(105)으로 감싸고, 유리관(104)은 중앙에 배치되고, 유리관(104 및 105)의 상부 단부 사이의 틈에 환형 지르코늄-바나듐-철 게터의 시트 (Zr-V-Fe 게터, Nanjing Shangong Electronic Materials Co., Ltd.)를 배치한다.

3. 밀봉재를 배치하는 단계: 밀봉재(4)는 밀봉 유리이다. Beijing Beixu Electronic Materials Co., Ltd로부터의 728H 유리 분말이 사용되었고, 밀봉 온도는 약 400℃였다. 유리 분말은 몰드를 사용하여 하기와 같은 크기를 갖는 링-유사 밀봉 유리로 제조되었다: 44mm의 내경, 58mm의 외경 및 5mm의 두께. 유리관(104 및 105)은 수직으로 배치되고, 이들의 위치는 지지 프레임에 의해 고정되고, 유리관(104 및 105)의 개방부는 둘 모두 링-유사 밀봉 유리와 접촉하고, 따라서 공동은 유리관(104, 105) 및 밀봉 유리에 의해 함께 둘러싸였다.

4. 진공 하에 가열 및 패키징하고, 몰드에 의해 유리관(104 및 105)을 고정시킨 다음, 이들을 진공 로 내에 놓고, 하기 작업을 수행하였다:

(2) 로 내 진공도 (절대 압력 값)를 1Х10^-4Pa 이하로 유지하고, 약 1 내지 5℃/min의 온도 증가 속도로 진공 로를 가열하고, 온도가 약 400℃에 도달했을 때, 밀봉 유리로부터 버블이 나타나는지 관찰하고, 초기 버블 형성 스테이지에서 온도 증가 속도를 감소시키거나 또는 온도 증가를 중단하여, 과도한 버블링을 방지하고, 5 내지 10분 동안 열을 보존하고;

(3) 로 내 진공도를 감소시키며, 로 내 온도를 감소시키고, 로 내 압력은 5 내지 10분 내에 대기압으로 감소되고, 로 내 온도는 10 내지 12시간 내에 50℃ 이하로 감소된 다음, 로를 개방하여 생성물을 얻는다.

실시예 6

실시예 1의 방법을 따르지만, 사용된 지지체는 실시예 2의 것과 상이하다.

실시예 6에 사용된 지지체는 탄성 가스킷이다: 탄성 가스킷은 0.35 mm의 직경을 갖는 304L 스테인리스강 와이어를 구부림으로써 형성되고, 탄성 가스킷의 크기는 하기와 같다: 내경은 0.35mm이고, 외경은 1.05mm이고, 높이는 0.70mm이고, 지지체의 위치 간격은 40mm Х 40mm이다.

비교 실시예 1

실시예 1의 방법을 따르지만, 진공 유리의 공동 내에 게터가 배치되지 않고,비교 실시예 1의 진공 유리가 제조된다.

비교 실시예 2

실시예 1과 관련하여, 게터를 배치하는 단계에서 상이함이 있다:

4. 게터를 배치하는 단계: 12mm의 직경 및 3mm의 깊이를 갖는 바인드 구멍(bind hole)을 유리 플레이트의 하나의 모서리 상에 각각 드릴링(drilling)하고, φ12mmХ3mm의 크기 (약 0.34cm³의 부피 및 약 3g의 질량을 가짐)를 갖는 지르코늄-바나듐-철 게터의 시트를 블라인드 구멍에 배치하였다 (이는 공동의 cm³당 약 0.0091g의 게터를 배치하는 것과 동등함).

분석 및 시험

"진공 유리" (JC/T1079-2008)를 참조하여 상기 실시예에서의 진공 유리의 하기 목차(indexes)가 검출되며, 결과는 하기와 같다:

1. 두께 편차:

실시예 1 내지 5의 진공 유리 생성물의 두께 편차는 ± 0.4mm 미만이었다.

2. 크기 편차:

실시예 1 내지 5의 진공 유리 생성물의 크기 편차는 ± 3.0mm 미만이었다.

3. 대각선 차이(diagonal difference):

실시예 1 내지 3의 진공 유리 생성물의 대각선 차이는 이의 평균 대각선 길이의 2% 미만이었다.

4. 주변부의 가공 품질:

실시예 1 내지 5의 진공 유리 생성물은 주변 부분에서 균열(cracks)과 같은 결함을 갖지 않았다.

5. 밀봉 캡:

실시예 1 내지 5의 생성물의 진공 유리는 차단된 배기 포트 또는 밀봉 캡을 갖지 않았다.

6. 지지체:

실시예 1의 진공 유리에 관하여, 지지체는 중첩 없이, 누락(missing) 없이 30mm Х 30mm의 배열로 배열되며, 깔끔하게(neatly) 배열된다.

실시예 2 내지 4, 및 6의 진공 유리에 관하여, 지지체는 중첩 없이, 누락 없이 40mm Х 40mm의 배열로 배열되며, 깔끔하게 배열된다.

실시예 5의 진공 유리는 지지체를 갖지 않는다.

7. 외관의 품질:

실시예 1 내지 5의 진공 유리의 외관 상에 스크래치, 블라스팅(blasting), 내부 얼룩 또는 균열이 존재하지 않았다.

8. 에지 시일의 품질:

실시예 1 내지 5의 진공 유리 생성물은, 완전하며 편평한 용접 연결부(joints)를 갖고, 5 mm 초과의 에지 시일의 유효 폭을 갖는다.

9. 곡률:

실시예 1 내지 3의 진공 유리 생성물은 이의 두께의 0.3% 미만의 곡률을 갖는다. 실시예 4 및 5의 진공 유리 생성물은 크기 요건을 충족시키는 곡률을 갖는다.

10. 투명한 영역의 비율 (하기 표 1 참조).

일련 번호	실시예 1	실시예 2	실시예 3	실시예 4	실시예 5
투명한 영역의 비율	＞92%	＞92%	＞92%	＞92%	＞98.8%

투명한 영역의 비율은 투명한 영역의 면적/전체 면적 Х100%와 같다.

실시예 1 내지 4에 관하여, 투명도 측정은 진공 유리의 두께 방향에 수직인 방향에서 수행되었고, 실시예 5에서의 투명도 측정은 유리관의 벽에 수직인 방향에서 수행된다.

11. 게터 함량 (하기 표 2 참조):

일련 번호	실시예 1	실시예 2	실시예 3	실시예 4	비교 실시예 1
게터 함량 g/cm³	1.8	1.7	1.8	1.8	없음

12. 단열 성능 시험 (하기 표 3 참조):

일련 번호	실시예 1	실시예 2	실시예 3	비교 실시예 1
K 값 W/(m^2ㆍK)	0.8	0.5	0.8	4.8

12b. 또한, 이슬맺힘 저항 능력 시험을 실시예 1 및 비교 실시예 2의 진공 유리 생성물 상에서 수행하였다. 특히, 실시예 1 및 비교 실시예 2의 진공 유리 생성물은 냉장고의 2개의 유리 문으로 제조되었고, 냉장고 내 온도는 -25℃에서 설정되고, 냉장고 외부의 온도는 25℃이다. 냉장고 내 온도가 -2℃에 도달할 때, 비교 실시예 2의 진공 유리 상에 이슬이 나타난 반면, 실시예 1의 진공 유리 상에는 이슬이 나타나지 않았다. 냉장고의 온도가 계속 감소할 때, 냉장고 내 온도는 -25℃에 도달하였고, 48시간 동안 유지되었으며, 여전히 실시예 1의 진공 유리 상에는 이슬이 나타나지 않았다.

12c. 진공 유리 생성물의 이슬맺힘 저항 능력을 상이한 양의 내장 게터와 비교하기 위해, 실시예 1에 의해 교시된 바와 같이 제조된 진공 유리의 게터 함량을 조정하였다. 구체적으로, 실시예 1에 사용된 게터의 길이를 조정하고; 진공 유리의 4개의 시트를 제조하였으며, 여기서 485mm, 970mm, 2910mm 및 3880mm의 총 길이를 갖는 게터를 각각 첨가하여 진공 유리의 4개의 시트를 제조하였다. 진공 유리의 4개의 시트는 동일한 냉장고의 4개의 유리 문으로 제조되고, 냉장고 내 온도는 -22℃로서 설정되고, 냉장고 외부에서의 온도는 25℃이다. 냉장고 내 온도가 -12℃에 도달할 때, 그 안에 485mm 게터 스트립을 갖는 진공 유리 상에 이슬이 나타나기 시작하였다. 냉장고 내 온도가 지속적으로 감소함에 따라, 냉장고 내 온도가 -22℃에 도달할 때, 970mm, 2910mm 및 3880mm 게터 스트립을 갖는 진공 유리 상에 이슬이 나타나지 않았고, 바깥쪽을 향하는 진공 유리의 표면은 각각 23.4℃, 24℃ 및 24℃였다.

13. 차음 성능 (하기 표 4 참조):

일련 번호	실시예 1	실시예 2	실시예 3
R_w+C_tr（dB）	31	32	31

실시예 1 내지 3의 진공 유리 생성물의 차음 성능은 30dB 초과이다.

14. 조사 저항(irradiation resistance) (하기 표 5 참조):

일련 번호		실시예 1	실시예 2	실시예 3
값 K W/(m^2ㆍK)	시험 전	0.8	0.5	0.8
값 K W/(m^2ㆍK)	시험 후	0.82	0.51	0.82

200시간 동안 UV 조사 후, 시험 전후의 진공 유리 생성물의 값 K의 변화는 3% 이하이다.

15. 기후 사이클 내구성(climate cycle durability) (하기 표 6 참조):

내기후성(climate durability) 시험 후, 실시예 1 내지 3의 진공 유리 생성물은 파열되지 않고, 시험 전후의 값 K의 변화율은 3% 이하이다.

16. 고온 및 고습도 내구성 (하기 표 7 참조):

고온 및 고습도 내구성 시험 후, 진공 유리 생성물은 균열되지 않고, 시험 전후의 값 K의 변화는 3% 이하이다.

단열 성능 또는 차음 성능은 진공 유리의 진공도를 직접 반영한다는 것이 본 발명자들에 의해 알려져 있다. 국가 표준 "진공 유리" (JC/T1079-2008)에 따르면, 단열 성능 또는 차음 성능은 진공 유리의 품질을 반영하는 주요한 지표이다. 단열 성능 시험 (표 3, 이슬맺힘 저항 시험) 또는 차음 성능 시험 (표 4)에 의해 나타내어진 바와 같이, 실시예 1 내지 5의 진공 유리 생성물은 보다 양호한 단열 성능 및 차음 성능을 갖고, 이는 실시예 1 내지 5의 진공 유리 생성물이 비교 실시예 1 및 비교 실시예 2보다 더 높은 진공도를 갖는 공동(5)을 갖는다는 것을 나타낸다.

조사 저항 시험 (표 5), 기후 사이클 내구성 시험 (표 6) 및 고온 및 고습도 내구성 시험 (표 7)을 언급하면, 실시예 1 내지 5의 진공 유리 생성물은 보다 양호한 조사 저항 및 내구성을 갖는다.

상기 개시된 구현예의 유리한 효과 중 하나는, 진공 유리가 게터를 둘러싸기 위한 인클로저를 포함하지 않고, 이는 게터의 구조를 매우 단순화시키며, 게터의 비용을 감소시키고, 이는 또한 진공 유리의 구조를 단순화시키고, 진공 유리의 비용을 감소시킨다는 것이다.

상기 개시된 구현예의 추가의 유리한 효과는, 게터의 두께가 매우 작아, 공동의 두께는 매우 작을 수 있으며, 게터를 홀딩하기 위한 홈/개방부가 유리체 상에 보유될 필요가 없으므로, 유리체의 무결성(integrity)이 유지되도록 한다는 것이다.

상기 개시된 구현예의 또 다른 추가의 유리한 효과는 진공 유리가 배기 포트를 갖지 않는다는 것이다. 배기 포트가 없는 진공 유리는 매력적인 외관, 완전한 표면 및 추가의 가공을 위한 보다 양호한 조건을 갖는다. 상기 실시예의 진공 유리는 다양한 용도의 필요성을 충족시키도록 특수 유리, 예컨대 적층 유리 또는 필름-코팅된 유리로 추가로 가공될 수 있다.

대기 중에서의 게터는 패시베이션되고, 게터의 활성화는 게터가 진공 열 처리 방법에 의해 게터링 특성을 나타내도록 하는 것을 지칭한다는 것이 본 발명자들에 의해 알려져 있다. 상기 개시된 구현예에서, 진공 가열의 중요한 기능은 게터를 활성화시키는 것이다.

진공 유리가 밀봉되고, 로로부터 배출된 후, 진공 유리의 진공도는 진공 유리의 대면적 및/또는 장시간 가열에 의해 손상될 것이며, 진공 유리는 불균등한 가열로 인한 그 자체 내의 과도한 내부 응력으로 인하여 심지어 균열될 수 있다는 것이 본 발명자들에 의해 알려져 있다. 상기 개시된 구현예에서의 진공 유리에 따르면, 게터(3)는 진공 하의 가열 단계에서 활성화되어, 게터의 증발산(evapotranspiration), 활성화 또는 비블록화(deblocking)의 공정이 방지될 수 있으며, 특히 고주파 가열, 적외선 가열 및 다른 방식의 사용에 의한 게터의 증발산, 활성화 또는 비블록화의 공정이 방지될 수 있고, 이에 의해 공정 단계를 간단화하며, 비용을 감소시킨다. 또한, 보다 높은 진공도를 갖는 진공 유리, 특히 보다 양호한 단열 성능 및/또는 차음 성능을 갖는 진공 유리가 상기 구현예에서 얻어질 수 있다.

가열될 때 유리체 및/또는 밀봉재 (예를 들어, 밀봉 유리)가 기체를 방출할 수 있다는 것이 본 발명자들에 의해 알려져 있다. 실시예 1 내지 5에서, 게터(3)의 하나의 기능은, 진공 유리의 제조 동안, 특히 진공 하의 진공 유리의 가열 및 패키징 공정 동안 공동(5)으로 들어갈 수 있는 기체를 흡수하는 것, 공동(5) 내 진공도를 최대 표준으로 유지하여, 진공 유리의 단열 성능 및/또는 차음 성능을 개선하는 것이다.

진공 유리의 제조 동안, 특히 진공 하의 진공 유리의 가열 및 패키징 공정 동안, 공동 부피의 cm³당 0.1g 초과, 예를 들어 0.5g 초과, 또 다른 예로서 1g 초과의 게터가 첨가되는 경우, 공동(5)으로 들어갈 수 있는 기체는 효과적으로 흡수될 수 있고, 공동(5) 내 진공도는 최대 표준으로 유지되어, 진공 유리의 양호한 단열 성능 및/또는 차음 성능을 낳을 수 있다는 것이 본 발명자들에 의해 밝혀졌다.

유리체 및/또는 밀봉재 (예를 들어, 밀봉 유리)는 장기간의 사용 시간 (예를 들어, 1 내지 50년) 동안 특정 양의 기체를 방출할 수 있다는 것이 본 발명자들에 의해 알려져 있다. 게터(3)의 또 다른 기능은, 진공 유리의 사용 동안 공동(5)으로 들어갈 수 있는 기체를 지속적으로 흡수하여, 공동(5) 내 진공도를 최대 표준으로 보장하고, 진공 유리의 내구성을 추가로 개선하는 것이다.

상기 개시된 구현예에서의 진공 유리에 따르면, 게터는 배기 포트를 통해 진공 유리에 배치되지 않고, 게터의 크기는 배기 포트에 의해 제한되지 않는다. 목적하는 양의 게터가 진공 유리의 공동의 크기에 따라 배치될 수 있으며, 예를 들어 1g/cm³ 이상의 게터가 그 안에 배치된다.

상기 개시된 구현예에서의 진공 유리 내 게터는 비증발성 게터이다. 비증발성 게터는 그 자체를 증발시키기 위한 고주파 가열의 요구사항 없이 사용될 수 있으며, 따라서 유리체의 표면 상에 금속 필름이 형성되지 않으므로, 진공 유리의 투명도에 대한 영향이 거의 없다. 얻어진 진공 유리의 투명한 영역의 비율은 비교적 높다.

제조 정확성 문제로 인하여, 진공 유리를 제조하기 위한 유리 플레이트의 두께는 완전히 균일하지 않을 수 있고, 약간의 기복(undulation)이 있을 수 있고, 또한, 지지체의 높이는 완전히 균일하지 않을 수 있고, 약간의 기복이 있을 수 있다. 지지체가 강성인 경우, 진공 유리가 조립된 후, 지지체 중 일부는 불충분한 높이로 인하여 2개의 측 상에서 유리를 지지할 수 없을 수 있고, 따라서 이들 지지체는 이의 2개의 측 상에서 유리로부터의 압출력의 손실로 인하여 이의 위치에 고정될 수 없으므로, 변위가 일어날 수 있어, 진공 유리 내 불균등한 응력을 낳으며, 이는 진공 유리의 심미성 및 안전성에 또한 영향을 미친다.

상기 문제점은 본 발명에 따른 탄성 지지체를 사용함으로써 해결될 수 있고, 탄성 지지체는 각각의 지지체가 진공 유리를 잘 지지하도록 탄성 변형에 의해 다양한 크기의 공간 높이에 적합화될 수 있다. 또한, 금속 재료 (예를 들어, 구리, 알루미늄, 강 또는 크롬)로 제조된 지지체는 양호한 내열성을 가지며, 진공 유리의 제조 동안 가열로 인하여 탄성을 잃지 않는다.

최종적으로, 상기 실시예는 본 발명의 기술적인 해결책을 단지 예시하기 위한 것이며, 이를 제한하고자 하는 것이 아님을 주목해야 한다. 본 발명이 바람직한 예에 관하여 상세하게 기술되었지만, 본 발명이 속하는 당업계의 통상의 기술자는, 본 발명의 특정 실시예에 변형이 또한 이루어질 수 있거나 또는 균등한 치환이 기술적인 특징의 부분에 또한 이루어질 수 있고; 모든 이러한 변형 및 균등한 치환은 본 발명에 의해 청구된 기술적인 해결책의 범위 내에 속할 것임을 이해해야 한다.

Claims

진공 유리의 제조 방법으 로서,
i) 공동을 유리체(glass body) 및 밀봉재로 둘러싸고, 게터(getter)를 상기 공동 내에 배치하는 단계;
ii) 단계 i)의 생성물을 진공 환경에서 가열하여, 이에 의해 상기 공동 내에 진공을 생성하고, 상기 밀봉재 및 상기 유리체를 함께 용접하고, 상기 게터를 활성화시키는 단계;
iii) 단계 ii)의 생성물을 냉각한 다음, 진공 유리를 얻는 단계
를 포함하며;
단계 ii)에서, 상기 밀봉재 내에서 버블이 형성되기 시작하면 온도 증가 속도가 감소되거나 또는 온도 증가가 중단되며,
단계 iii)이, 상기 밀봉재가 여전히 반고체 상태인 경우 로(furnace) 내 압력을 대기압으로 감소시키고, 후속으로 상기 로 내 온도를 상기 밀봉재의 고형화 온도로 낮춤으로써 상기 로 내 진공도 및 온도를 감소시킨 다음, 상기 로를 개방하여 상기 생성물을 얻는 단계를 포함하는, 진공 유리의 제조 방법.
제1항에 있어서, 단계 iii)이, 상기 로 내 압력을 5 내지 10분 내에 대기압으로 감소시키고, 상기 로 내 온도를 10 내지 12시간 내에 50℃ 이하로 낮춤으로써 상기 로 내 진공도 및 온도를 감소시킨 다음, 상기 로를 개방하여 상기 생성물을 얻는 단계를 포함하는, 진공 유리의 제조 방법.
제1항에 있어서, 단계 ii)가 초기 버블 형성 스테이지에서 온도 증가 속도를 감소시키거나 또는 온도 증가를 중단하는 단계를 포함하는, 진공 유리의 제조 방법.
제1항에 있어서, 하기 중 하나 이상을 특징으로 하는 진공 유리의 제조 방법:
단계 i)에서, 상기 게터는 패시베이션된(passivated) 게터이고;
단계 i)에서, 상기 게터의 상기 표면은 밀폐형(hermetic) 재료로 제조된 인클로저(enclosure)를 포함하지 않고;
단계 i)은 상기 유리체를 지지하기 위한 지지체를 상기 공동 내에 배치하는 단계를 추가로 포함하고;
단계 i)은 밀봉재를 몰드(mold)에서 목적하는 형상으로 형상화하는 단계를 추가로 포함하고;
단계 ii)에서, 상기 가열은 300 내지 600℃의 온도에서 수행되고;
단계 ii)에서, 상기 가열은 상기 밀봉재의 밀봉 온도 이상의 온도에서 수행되고;
단계 ii)에서, 상기 가열은 상기 게터의 활성화 온도 이상의 온도에서 수행되고;
단계 ii)에서, 상기 가열은 상기 게터의 활성화 시간 이상의 기간 동안 수행되고;
단계 ii)에서, 상기 진공 환경은 1Х10^-1Pa 이하의 절대 압력 값을 갖고;
단계 ii)에서, 상기 밀봉재의 초기 버블 형성 스테이지에서 상기 가열이 중단된다.
제1항에 있어서, 단계 i)에서, 상기 밀봉재는 밀봉 유리인 진공 유리의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 진공 유리가
유리체(1), 상기 유리체(1) 및 밀봉재(4)에 의해 함께 둘러싸인 공동(5), 및 상기 공동(5) 내에 배치된 게터(3)
를 포함하며;
상기 공동(5)은 그 안이 밀폐형이고;
상기 게터(3)는 비증발성 게터이고, 상기 진공 유리는 상기 게터(3)를 둘러싸기 위한 인클로저로서 밀폐형 재료로 제조된 인클로저를 포함하지 않고;
상기 공동(5)을 통해 통과하는 방향에서, 상기 진공 유리는 4 W/(m²·K) 이하의 열 전도도 값 K를 갖는, 진공 유리의 제조 방법.
제6항에 있어서, 하기 중 하나 이상을 특징으로 하는 진공 유리의 제조 방법:
상기 진공 유리는 밀봉된 배기 포트를 포함하지 않고;
상기 유리체(1)는 그 위에 밀봉된 배기 포트를 갖지 않고;
상기 밀봉재(4)는 그 위에 밀봉된 배기 포트를 갖지 않고;
상기 진공 유리는 상기 배기 포트를 밀봉하기 위한 밀봉 장치를 갖지 않고;
상기 진공 유리는 적어도 2개의 유리체(1)를 포함하고;
상기 진공 유리는 적어도 3개의 유리체(1)를 포함하고;
인접한 유리체(1)는 상기 밀봉재(4)에 의해 결합된다.
제6항에 있어서,
상기 유리체(1)가 플레이트-유사 유리체를 포함하고;
상기 유리체(1)가 적어도 2개의 플레이트-유사 유리체를 포함하고;
상기 플레이트-유사 유리체가 서로 대향하고;
상기 플레이트-유사 유리체가 서로에 평행한, 진공 유리의 제조 방법.
제6항에 있어서, 하기 중 하나 이상을 특징으로 하는 진공 유리의 제조 방법:
상기 유리체(1)는 유리관을 포함하고;
상기 유리체(1)는 유리 플레이트를 포함하고;
상기 유리 플레이트는 평면 유리 플레이트 또는 곡선형 유리 플레이트이다.
제6항에 있어서, 하기 중 하나 이상을 특징으로 하는 진공 유리의 제조 방법:
플레이트화된 필름 또는 페이스트화된 파일(pasted file)이 적어도 하나의 유리체(1) 상에 제공되고;
상기 유리체(1)는 편평한 표면을 갖고;
상기 유리체(1)는 그 위에 홈을 갖지 않고;
상기 유리체(1)는 실리케이트 유리로 형성되고;
상기 유리체(1)는 550℃ 초과의 연화점을 갖고;
상기 공동(5)은 플레이트-유사 공동이고;
상기 진공 유리는 적어도 하나의 공동(5)을 포함하고;
상기 진공 유리는 적어도 2개의 공동(5)을 포함하고;
상기 밀봉재(4) 및 상기 유리체(1)는 함께 용접된다.
제6항에 있어서, 상기 밀봉재(4)가 밀봉 유리를 포함하고; 하기 중 하나 이상을 특징으로 하는 진공 유리의 제조 방법:
상기 밀봉 유리는 PbO-ZnO-B₂O₃ 시스템, Bi₂O₃-B₂O₃-SiO₂ 시스템, Bi₂O₃-B₂O₃-ZnO 시스템, Na₂O-Al₂O₃-B₂O₃ 시스템, SnO-ZnO-P₂O₅시스템, V₂O₅-P₂O₅-Sb₂O₃ 시스템, ZnO-B₂O₃-SiO₂ 시스템 및 ZnO-B₂O₃-BaO 시스템으로부터 선택된 유리를 포함하고;
상기 밀봉 유리는 500℃ 미만의 밀봉 온도를 갖는다.
제6항에 있어서, 하기 중 하나 이상을 특징으로 하는 진공 유리의 제조 방법:
상기 게터(3)는 활성화된 게터이고;
상기 게터(3)는 O₂, N₂, CO₂, CO 및 H₂로부터 선택된 하나 이상의 기체를 흡수할 수 있고;
상기 게터(3)는 게터링(gettering) 능력을 갖는 원소 물질, 게터링 능력을 갖는 합금, 게터링 능력을 갖는 화합물 또는 게터링 능력을 갖는 혼합물을 포함하고;
상기 게터(3)는 지르코늄 원소 또는 티타늄 원소를 함유하고;
상기 게터(3)는 하나 이상의 전이 금속 원소를 함유하고;
상기 게터(3)는 하나 이상의 희토류 원소를 함유하고;
상기 게터(3)는 Zr-Al 유형의 게터 또는 Zr-V-Fe 유형의 게터이고;
상기 게터(3)는 0.1g/cm³ 이상의 밀도로 상기 공동(5) 내에 존재하고;
상기 게터(3)는 상기 밀봉재(4)의 밀봉 온도 이하의 활성화 온도를 갖고;
상기 게터(3)는 300 내지 450℃에서 활성화될 수 있고;
상기 게터(3)는 1시간 이상 동안 300℃ 이상에서 진공 열 처리에 의해 활성화될 수 있다.
제6항에 있어서, 상기 진공 유리가 상기 공동(5)의 형상을 유지하도록 상기 유리체(1)를 지지하기 위한 지지체(2)를 추가로 포함하고; 하기 중 하나 이상을 특징으로 하는 진공 유리의 제조 방법:
상기 지지체(2)는 상기 공동(5) 내에 배치되고;
상기 지지체(2)는 금속 재료 또는 비금속 재료로 제조되고;
상기 지지체(2)는 투명한 무기 물질로 제조되고;
상기 지지체(2)는 유리로 제조되고;
상기 지지체(2)는 유리 시트이고;
상기 지지체(2)는 원형 유리 시트, 타원형 유리 시트 또는 다각형 유리 시트이고,
상기 게터는 상기 밀봉재의 내측에 근접한 위치에 배치되고;
상기 지지체는 탄성 가스킷(gasket)이고;
상기 탄성 가스킷은 금속 재료로 제조된다.
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따른 진공 유리의 제조 방법에 의해 제조된 진공 유리.
제14항에 있어서, 상기 진공 유리는 문(door)용 진공 유리, 창문용 진공 유리, 기기용 진공 유리, 계량기(meter)용 진공 유리, 태양 에너지 수집기(solar collector)용 진공 유리, 온실용 진공 유리 또는 태양 전지용 진공 유리이고,
상기 온실의 외벽이 상기 온실용 진공 유리를 포함하고;
상기 태양 전지가 광전 변환 부품 및 상기 태양 전지용 진공 유리를 포함하고, 상기 태양 전지용 진공 유리가 상기 광전 변환 부품을 덮는, 진공 유리.
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