KR102411805B1 - 처리액 공급 장치 및 처리액 공급 장치의 세정 방법 - Google Patents

처리액 공급 장치 및 처리액 공급 장치의 세정 방법 Download PDF

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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 처리액 유로 및 노즐을 구비한 처리액 공급 장치를 세정하는 데 있어서, 세정액의 양 절약화 및 세정 시간의 단축화를 도모하는 것을 목적으로 한다.
세정액 탱크(10)로부터 중간 탱크(22, 32, 42) 내에 세정액을 공급하고, 중간 탱크(22, 32, 42) 내를 질소 가스에 의해 가압함으로써, 세정액을 처리액 유로(1∼4) 내에서 노즐(21, 31, 41)쪽의 부위를 향해 이동시키고, 계속해서 순환로(6, 61∼63)를 통해 세정액 탱크(10)로 복귀시키도록 이동시켜 세정을 행한다. 순환로(6)에는 세정용의 필터부(64)가 설치되고, 필터부(64)에 의해 이물이 제거된 세정액이 세정액 탱크(10)로 복귀되어 재사용되기 때문에, 세정액량의 절약화를 도모할 수 있다. 또한 세정액량이 절약화되기 때문에, 세정액 탱크(10)로부터 세정액을 복수의 처리액 유로(1∼4)에 동시에 공급하여 세정 처리를 행할 수 있으므로, 전체적인 세정 시간이 단축된다.

Description

처리액 공급 장치 및 처리액 공급 장치의 세정 방법{PROCESSING LIQUID SUPPLYING APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING THE SAME}
본 발명은 처리액 공급원으로부터 처리액 유로 및 노즐을 통해 피처리체에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치를 세정하는 기술에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 이용되는 매엽식(枚葉式)의 액처리 장치는, 예컨대 스핀척에 유지되어 있는 기판의 표면에 노즐로부터 처리액을 토출하도록 구성되어 있다. 액처리로서는, 레지스트 패턴을 형성하기 위해서 레지스트액을 기판에 도포하는 처리, 노광 후의 기판에 현상액을 공급하는 처리, 혹은 실리콘 산화막의 전구 물질을 포함하는 도포액을 기판에 도포하는 처리 등을 들 수 있다. 이러한 액처리 장치에 이용되는 처리액 공급 장치는, 그 선단부에 노즐이 접속되고, 도중에 밸브, 필터부, 펌프 등의 기기를 설치한 배관의 기단측을, 처리액 탱크에 접속하여 구성된다.
배관이나 기기를 포함하는 유로에 파티클(이물)이 부착되어 있으면, 파티클이 처리액과 함께 기판에 공급되어 버린다. 이 때문에 예컨대 액처리 장치의 기동시에는, 배관의 상류측에 시너액 등의 세정액 공급원(세정액 탱크)을 접속하고, 유로의 상류측으로부터 세정액을 송액하여 노즐로부터 토출시킴으로써 파티클의 제거를 행하고 있다. 배관의 내부 직경은 예컨대 직경이 2 ㎜ 정도로 작으며, 소정 유량의 세정액을 통류시키면, 이 세정액의 액 흐름에 의해 유로의 내벽 등에 부착되는 파티클이 벗겨져, 세정액과 함께 하류측으로 흘러 노즐을 통해 배출된다.
그리고 노즐로부터 배출된 세정액 중의 파티클의 검사가 행해지고, 이 파티클이 설정값 이하가 될 때까지, 세정액 공급원으로부터 노즐을 향해 세정액의 통류가 계속된다. 이렇게 해서 세정 처리를 행한 처리액 공급 장치에서는, 세정액 공급원을 대신하여 처리액의 공급원이 접속되고, 액처리 장치에 있어서 피처리체 예컨대 반도체 웨이퍼(이하 「웨이퍼」라고 함)에 대해 액처리가 행해진다.
그런데 노즐로부터 토출된 세정액은 폐기하고 있으나, 회로의 미세화에 따라, 배관의 청정도를 보다 높게 하는 요청에 응하고자 하면, 보다 장시간 세정액을 유로에 통류시킬 필요가 있어, 세정액의 소비량이 증대한다. 따라서 비용면이나 환경면을 고려하면, 종래와 같이 세정액을 폐기하는 수법은 득책이 아니다.
또한 유로에 대량의 세정액을 통류시키는 수법에서는, 세정액 공급원의 용량의 관계로부터, 동시에 세정액 공급원으로부터 세정액을 공급할 수 있는 유로의 수에는 제한이 있다. 따라서 액처리 장치의 노즐의 수가 많은 경우에는, 어떤 유로를 세정하고 나서, 다른 유로에 세정액 공급원을 갈아 끼워 세정을 행할 필요가 있어, 모든 유로의 세정에는 상당한 공정수가 필요해져 시간이 걸린다.
특허문헌 1에는, 배관에 있어서의 세정 대상이 되는 필터부나 펌프 등의 배관 부품의 상류측 및 하류측에 삼방 밸브로 이루어지는 유통 차단 수단을 각각 설치하고, 삼방 밸브에 세정용의 배관을 접속하며, 세정액을 배관 부품에 공급하여 세정하는 수법이 기재되어 있다. 이 수법에서는 세정액의 절약화나 세정 시간의 단축화 등에 대해서는 고려되어 있지 않기 때문에, 본 발명의 과제를 해결할 수 있는 것이 아니다.
일본 특허 공개 제2003-257924호 공보
본 발명은 이러한 사정에서 이루어진 것으로, 그 목적은, 처리액 공급원으로부터 처리액 유로 및 노즐을 통해 피처리체에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치를 세정하는 데 있어서, 세정액의 양 절약화 및 세정 시간의 단축화를 도모할 수 있는 기술을 제공하는 것에 있다.
이 때문에 본 발명의 처리액 공급 장치는, 처리액 공급원으로부터 처리액 유로 및 노즐을 통해 피처리체에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치에 있어서,
상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급원과,
상기 처리액 유로 내에서 상기 처리액 공급원쪽의 부위로부터 상기 노즐쪽의 부위를 향해 세정액을 이동시키고, 계속해서 상기 노즐쪽의 부위로부터 상기 처리액 공급원쪽의 부위로 상기 세정액을 복귀시키는 동작을 행하기 위한 액 이동 기구와,
상기 세정액이 이동하는 유로에 설치되고, 이물을 제거하기 위한 세정용의 필터부와,
상기 세정액 공급원으로부터 상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하여, 상기 동작을 행하도록 제어 신호를 출력하는 제어부를 구비하고,
상기 액 이동 기구는, 상기 세정액이 이동하는 유로에 설치된 탱크와, 이 탱크 내의 액면을 가압하여 상기 탱크로부터 세정액을 토출하는 가압 기구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
다른 발명의 처리액 공급 장치는, 처리액 공급원으로부터 처리액 유로 및 노즐을 통해 피처리체에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치에 있어서,
상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급원과,
상기 처리액 유로에 있어서의 상기 노즐쪽의 부위에 일단이 접속되고, 상기 일단으로부터 세정액을 처리액 유로의 상기 처리액 공급원쪽의 부위로 복귀시키기 위해서 처리액 유로에 바이패스하여 형성된 순환로와,
상기 세정액을 상기 순환로를 통해 순환시키기 위한 액 이동 기구와,
상기 세정액이 이동하는 유로에 설치되고, 이물을 제거하기 위한 세정용의 필터부와,
상기 세정액 공급원으로부터 상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하고, 상기 액 이동 기구가 세정액의 이동을 위한 동작을 행하도록 제어 신호를 출력하는 제어부를 구비하며,
상기 액 이동 기구는, 세정액 탱크와, 이 세정액 탱크 내의 액면을 가압하여 상기 세정액 탱크로부터 세정액을 토출시키는 가압 기구와, 상기 세정액 탱크로부터 토출한 세정액이 유로를 통해 보내지는 중간 탱크와, 이 중간 탱크 내의 액면을 가압하여 상기 중간 탱크로부터 세정액을 처리액 유로를 통해 상기 순환로의 일단측을 향해 토출시키고, 상기 순환로의 일단측으로부터 상기 세정액 탱크로 복귀시키기 위한 가압 기구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 처리액 공급 장치의 세정 방법은, 처리액 공급원으로부터 처리액 유로 및 노즐을 통해 피처리체에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치의 세정 방법에 있어서,
상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하고, 상기 처리액 유로 내에서 상기 처리액 공급원쪽의 부위로부터 상기 노즐쪽의 부위를 향해 세정액을 이동시키며, 계속해서 상기 노즐쪽의 부위로부터 상기 처리액 공급원쪽의 부위로 상기 세정액을 복귀시켜 상기 처리액 유로를 세정하는 세정 공정과,
상기 세정 공정에 이용된 세정액이, 이물을 제거하기 위한 필터부를 통과하여, 청정화되는 청정화 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 세정액을 처리액 유로 내에서, 액 이동 기구에 의해 처리액 공급원쪽의 부위로부터 노즐쪽의 부위를 향해 이동시키고, 계속해서 노즐쪽의 부위로부터 처리액 공급원쪽의 부위로 복귀시키도록 이동시켜 세정을 행하고 있다. 세정액이 이동하는 유로에는 세정용의 필터부가 설치되고, 필터부에 의해 이물이 제거된 세정액이 처리액 공급원쪽의 부위로 복귀되어 재사용되기 때문에, 세정액량의 절약화를 도모할 수 있다. 또한 세정액량이 절약화되기 때문에, 세정액 공급원으로부터 세정액을 복수의 처리액 유로에 동시에 공급할 수 있으므로, 복수의 처리액 유로에 있어서 동시에 병행하여 세정 처리를 행할 수 있어, 전체적인 세정 시간이 단축된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 9는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 10은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 변형예의 구성도이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 12는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 13은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 14는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 15는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 16은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 17은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 18은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 19는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 20은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 21은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 처리액 공급 장치의 구성도이다.
도 22는 펌프 유로계의 다른 예를 도시한 구성도이다.
도 23은 펌프 유로계의 다른 예를 도시한 구성도이다.
도 24는 펌프 유로계의 다른 예를 도시한 구성도이다.
(제1 실시형태)
도 1 및 도 2는 본 발명에서의 제1 실시형태에 따른 액처리 장치의 일부를 이루는 처리액 공급 장치를 도시한 것이며, 도 1 및 도 2 중 도면 부호 10은, 세정액을 저류하는 세정액 탱크(세정액 공급원)이다. 세정액으로서는, 예컨대 레지스트액의 용제인 시너액, 현상액이나 염산, 순수 등이 이용되며, 이 세정액 탱크(10)에는 처리액 유로(1)의 상류단이 돌입(突入)되어 형성되어 있다. 세정액 탱크(10)는 처리액 유로(1)에 착탈 가능하게 설치되는 것이며, 처리액 유로(1)의 세정이 종료된 후 제거되고, 처리액 유로(1)의 상류단에는 처리액 예컨대 레지스트액의 공급원인 레지스트액 탱크(처리액 공급원)가 접속된다. 세정액 탱크(10)는, 밸브(V5)를 구비한 가스 공급로(5)를 통해 불활성 가스 예컨대 질소(N2) 가스의 공급원(50)에 접속되어 있다. 이들 질소 가스 공급원(50) 및 가스 공급로(5)는, 세정액 탱크(10) 내의 액면을 가압하여 세정액 탱크(10)로부터 세정액을 토출시키는 가압 기구를 구성하고 있다. 또한 가스 공급로(5)에는, 질소 가스의 배기로(501)가 질소 가스 공급원(50)과 밸브(V5) 사이에 접속되어 있다.
처리액 유로(1)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 후술하는 순환로(6)의 접속부(60)보다 하류측에서 복수 개 예컨대 3개로 분기되어 있고, 분기된 각 처리액 유로를 제1 유로(2), 제2 유로(3), 제3 유로(4)라고 부르기로 한다. 제1 유로(2), 제2 유로(3), 제3 유로(4)의 하류단에는, 각각 노즐(21, 31, 41)이 설치되어 있다. 이들 노즐(21, 31, 41)은 액처리 모듈(100)(도 8 및 도 9 참조)에 반송된 웨이퍼에 동일한 종류의 처리액인 레지스트액을 공급하는 것이다. 액처리 모듈(100)은, 예컨대 기판 유지부(110)에 의해 연직축 주위로 회전 가능하게 유지된 웨이퍼에 대해, 노즐[21(31, 41)]로부터 레지스트액을 공급하고, 회전의 원심력에 의해 레지스트액을 웨이퍼 표면에 진전시켜, 도포막을 형성하도록 구성되어 있다.
제1 유로(2)에는, 상류측으로부터 순서대로 밸브(V21), 제1 중간 탱크(22), 펌프 유로계(23), 디스펜스 밸브(액 토출용 밸브)(V22), 밸브(V23)가 설치되어 있고, 디스펜스 밸브(V22)와 밸브(V23) 사이에는 밸브(V61)를 구비한 순환로(61)의 일단측이 접속되어 있다. 디스펜스 밸브(V22)는, 미리 설정된 액량의 레지스트액을 토출하는 기능을 구비한 것이며, 처리액을 설정량 토출시키기 위한 공급 기기이다. 마찬가지로 제2 유로(3)에는, 상류측으로부터 순서대로 밸브(V31), 제2 중간 탱크(32), 펌프 유로계(33), 디스펜스 밸브(V32), 밸브(V33)가 설치되고, 디스펜스 밸브(V32)와 밸브(V33) 사이에는 밸브(V62)를 구비한 순환로(62)의 일단측이 접속되어 있다. 또한 제3 유로(4)에는, 상류측으로부터 순서대로 밸브(V41), 제3 중간 탱크(42), 펌프 유로계(43), 디스펜스 밸브(V42), 밸브(V43)가 설치되고, 디스펜스 밸브(V42)와 밸브(V43) 사이에는 밸브(V63)를 구비한 순환로(63)의 일단측이 접속되어 있다.
순환로(61, 62, 63)는 각 밸브(V61, V62, V63)의 하류측에서 합류하고, 합류한 순환로(6)에는 필터부(64)가 설치되며, 순환로(6)의 타단측은, 처리액 유로(1)에 있어서의 제1∼제3 유로(2∼4)의 합류점의 상류측에 접속부(60)를 통해 접속되어 있다. 순환로(6, 61∼63)는, 세정액을, 처리액 유로에 있어서의 노즐(21, 31, 41)쪽의 부위(순환로의 일단)로부터, 처리액 유로에 있어서의 세정액 탱크(10)쪽의 부위로 복귀시키기 위해서, 처리액 유로에 바이패스하여 형성된 것이다. 필터부(64)는, 세정액 중에 포함되는 예컨대 5 ㎚ 사이즈 이상의 파티클을 제거하기 위한 세정용의 필터부이며, 배출로(641)를 구비하고 있다.
순환로(6, 61∼63)는, 예컨대 일단측이 2개로 분기되고, 분기된 한쪽의 분기로와 다른쪽의 분기로가, 제1 유로(2)(처리액 유로)를 접촉 및 분리 가능하게 분단한 분단단(分斷端)에 착탈할 수 있도록 형성되고, 타단측이 접속부(60)에 의해 처리액 유로(1)에 착탈 가능하게 접속되도록 구성되어 있다. 즉 제1 유로(2)를 예로 하면, 순환로(61)의 일단측은 예컨대 디스펜스 밸브(V22)로 이루어지는 분단단에 착탈되는 한쪽의 분기로와, 밸브(V23)를 구비한 다른쪽의 분기로를 구비하고 있다. 그리고 제1 유로(2)에 순환로(61)를 부착할 때에는, 한쪽의 분기로를 디스펜스 밸브(V22)를 통해 제1 유로(2)에 접속하고, 다른쪽의 분기로를 밸브(V23)를 통해 제1 유로(2)에 접속하며, 순환로(6)의 타단측을 접속부(60)에 접속한다. 또한 순환로(61, 6)를 제거했을 때에는, 디스펜스 밸브(V22)에 노즐(21)이 배관을 통해 부착되도록 구성되어 있다(도 8 및 도 9 참조). 제2 유로(3), 제3 유로(4)에 형성되는 순환로(6, 62, 63)에 대해서도 마찬가지이다.
제1∼제3 중간 탱크(22, 32, 42)는, 각각 밸브(V51, V52, V53)를 구비한 가스 공급로(51, 52, 53) 및 공통의 가스 공급로(54)를 통해 질소 가스의 공급원(50)에 접속되어 있다. 이들 질소 가스 공급원(50) 및 가스 공급로(54)는, 중간 탱크(22, 32, 42) 내의 액면을 각각 가압하여 중간 탱크(22, 32, 42)로부터 세정액을 순환로(61∼63, 6)의 일단측을 향해 토출시키고, 순환로(61∼63, 6)의 일단측으로부터 세정액 탱크(10)로 복귀시키기 위한 가압 기구를 구성하는 것이다. 이렇게 해서 질소 가스를 제1∼제3 중간 탱크(22, 32, 42)에 각각 공급하여 가압함으로써, 이들 탱크(22, 32, 42) 내의 세정액이 각각 제1∼제3 유로(2∼4)의 하류측으로 송액되도록 구성되어 있다.
제1∼제3 중간 탱크(22, 32, 42)는 동일하게 구성되어 있기 때문에, 도 2에 도시한 제1 중간 탱크(22)를 예로 하여 설명한다. 제1 중간 탱크(22)에는, 탱크(22) 내의 세정액의 양을 파악하기 위해서, 탱크(22) 내의 액면의 상한 레벨을 검지하는 액면 센서(221)와, 탱크(22) 내의 액면의 하한 레벨을 검지하는 액면 센서(222)가 설치되어 있다. 후술하는 바와 같이 세정액 탱크(10)로부터 제1 중간 탱크(22)에 세정액이 공급되는데, 탱크(22) 내의 액면이 상한 레벨에 도달하면, 세정액 탱크(10)로부터의 세정액의 공급을 정지하고, 탱크(22) 내의 액면이 하한 레벨 이하가 되면, 세정액 탱크(10)로부터의 세정액의 공급을 개시하도록 제어된다. 또한 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 중간 탱크(22)에는, 밸브(V64)를 구비한 배출로(223)와, 밸브(V65)를 구비하고 공장의 배기계에 접속된 배기로(224)가 각각 형성되어 있다. 제2 중간 탱크(32) 및 제3 중간 탱크(42)에 있어서도 제1 중간 탱크(22)와 동일하게 구성되어 있다.
도 1에 기재한 펌프 유로계(23, 33, 43)는, 도시의 편의상 간략화하여 기재한 것이며, 구체적으로는 펌프 유로계(23)를 예로 들면, 도 2에 도시한 바와 같이 구성되어 있다. 예컨대 펌프 유로계(23)는, 하류측으로부터 순서대로, 펌프(71)와, 세정액의 트랩부(72)와, 필터 장착부(73)와, 제1 밸브(V7)를 구비하고 있다. 이 예에서는 순환로(6)에 설치된 필터부(64)가 세정액을 청정화하는 세정용의 필터부로서 기능하기 때문에, 유로의 세정시에는, 필터 장착부(73)에는 더미 필터가 장착된다. 이 더미 필터는 여과재가 들어가 있지 않은 케이싱이다. 유로의 세정 처리가 종료되면, 필터 장착부(73)에는 더미 필터 대신에, 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 여과재(필터)가 장착되고, 그 후 처리액 유로(1)에 처리액이 공급되어, 액처리 모듈(100)에서 액처리가 행해지게 된다.
펌프(71)는 처리액을 노즐(21)에 토출하기 위한 것이며, 예컨대 다이어프램 펌프로 이루어진다. 도 2에는 펌프(71)를 간략하게 그리고 있는데, 도 2 중 도면 부호 711은 다이어프램, 도면 부호 712는 세정액의 유로이다. 펌프(71)에는, 액 공급용의 밸브(V71), 액 배출용의 밸브(V72), 및 벤트용의 밸브(V73)가 설치되어 있고, 벤트용의 밸브(V73)와 트랩부(72) 사이는 유로(74)에 의해 접속되어 있다. 또한 제1 유로(2)에 있어서의 제1 밸브(V7)의 상류측과 펌프(71) 사이에는 트랩부(72)를 통해, 필터 장착부(73)를 바이패스하고 제2 밸브(V75)를 구비한 바이패스로(75)가 형성되어 있다. 또한 필터 장착부(73) 및 트랩부(72)는 각각 벤트용의 밸브(V76, V77)를 통해 배출로(76)에 접속되어 있다. 제2 유로(3)에 형성된 펌프 유로계(33) 및 제3 유로(4)에 형성된 펌프 유로계(43)에 대해서도 동일하게 구성되어 있다.
이 예에서는, 디스펜스 밸브(V22, V32, V42) 이외의 밸브는, 예컨대 에어 오퍼레이트 밸브로 구성된다. 또한 밸브(V21, V31, V41)는, 순환로(6)의 타단측[처리액 유로(1)와 접속되는 측]과 세정액 탱크(10) 내와의 연통(連通)과, 세정액 탱크(10) 내와 제1 중간 탱크(21)[제2 중간 탱크(31), 제3 중간 탱크(41)]와의 연통을 전환하기 위한 밸브에 상당한다.
또한 처리액 공급 장치는, 처리액 유로 내에서 세정액 탱크(10)쪽의 부위로부터 노즐[21(31, 41)]쪽의 부위를 향해 세정액을 이동시키고, 계속해서 노즐[21(31, 41)]쪽의 부위로부터 세정액 탱크(10)쪽의 부위로 세정액을 복귀시키는 동작을 행하는 액 이동 기구를 구비하고 있다. 이 실시형태에서는, 액 이동 기구는, 세정액을 처리액 유로(1∼4) 및 순환로(61∼63, 6)에 의해 순환시키도록, 세정액 탱크(10)와, 세정액 탱크(10) 내의 가압 기구와, 중간 탱크(22, 32, 42)와, 이들 중간 탱크(22, 32, 42)의 가압 기구와, 순환로(61∼63, 6)를 구비하여 구성되어 있다.
액처리 장치에는 컴퓨터로 이루어지는 제어부(C)가 설치되고, 이 제어부(C)는 프로그램 저장부(200)를 갖고 있다. 프로그램 저장부(200)에는, 후술하는 작용에서 설명하는 처리액 공급 장치의 세정 처리 및 액처리 모듈에 있어서의 액처리가 행해지도록 명령이 짜여진, 예컨대 소프트웨어로 이루어지는 프로그램이 저장된다. 이 프로그램이 제어부(C)에 판독됨으로써, 제어부(C)는 처리액 공급 장치 및 액처리 모듈로 이루어지는 액처리 장치의 각부에 제어 신호를 출력한다. 그에 의해, 밸브의 개폐나 펌프의 구동, 노즐의 이동, 기판 유지부의 구동 등의 각 동작이 제어되어, 후술하는 세정 처리 및 액처리가 행해지도록 되어 있다. 이 프로그램은, 예컨대 하드 디스크, 컴팩트 디스크, 마그넷 옵티컬 디스크 또는 메모리 카드 등의 기억 매체에 수납된 상태로 프로그램 저장부(200)에 저장된다.
또한 제어부(C)는, 세정 처리시에는, 세정액 탱크(10)로부터 처리액 유로(1) 내에 세정액을 공급하는 단계와, 처리액 유로(1) 내에서 세정액 탱크(10)쪽의 부위로부터 노즐(21, 31, 41)쪽의 부위를 향해 세정액을 이동시키고, 계속해서 노즐(21, 31, 41)쪽의 부위로부터 세정액 탱크(10)쪽의 부위로 세정액을 복귀시키는 동작을 행하는 단계를 실행하는 제어 신호를 출력하도록 구성되어 있다.
또한 제어부(C)에서는, 처리액 유로(1) 내를 세정액이 이동하고 있을 때에, 세정액의 유로에 설치된 밸브를 상기 밸브로부터의 발진(發塵)을 촉진시키기 위해서 복수 회 온, 오프시키는 제어 신호를 출력하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 제1 유로(2)를 예로 하면, 밸브(V7, V71, V72, V22)를 소정의 타이밍에서 고속으로 개폐 제어하도록 구성되어 있다. 이들 밸브(V7, V71, V72, V22)의 고속 개폐 동작은, 예컨대 1초 간격으로 밸브를 개방하는 동작(온)과, 폐쇄하는 동작(오프)을 복수 회 반복하여 행하는 것이다. 밸브를 폐쇄할 때에는 세정액의 흐름이 차단되지만, 폐쇄한 직후에 밸브를 개방하기 때문에, 이 밸브의 개폐를 행했다고 해도 세정액의 통류의 방해가 되지는 않는다.
계속해서 본 실시형태의 작용에 대해 설명한다. 처리액 공급 장치의 세정의 타이밍은, 예컨대 액처리 장치의 기동시에 처리액 유로를 구성하는 배관 등을 조립한 후이며, 먼저 처리액 유로(1)에 필터부(64)를 구비한 순환로(61∼63, 6)를 부착하고, 처리액 유로(1)의 상류단에 세정액 탱크(10)를 접속하며, 필터 장착부(73)에 더미 필터를 장착한다.
그리고 세정액 탱크(10)로부터 제1 중간 탱크(22), 제2 중간 탱크(32), 제3 중간 탱크(42)의 각각에 세정액을 공급하고, 제1 유로(2), 제2 유로(3), 제3 유로(4)에서 병행하여 세정 처리를 실시한다. 제1 유로(2), 제2 유로(3), 제3 유로(4)에서는 동일하게 세정 처리가 행해지기 때문에, 여기서는 제1 유로(2)를 예로 하여 설명한다.
제1 중간 탱크(22)에의 세정액의 공급은, 세정액 탱크(10)(세정액 공급원)로부터 처리액 유로 내에 세정액을 공급하는 단계에 상당하는 것이며, 도 3에 도시한 바와 같이, 밸브(V5, V21, V65)를 개방하고, 그 이외의 밸브를 폐쇄함으로써 실시된다. 이에 의해 질소 가스가 세정액 탱크(10) 내에 공급되어 세정액의 액면이 가압되고, 세정액 탱크(10) 내의 세정액이 하류측을 향해 공급된다. 제1 중간 탱크(22) 내의 세정액의 액면은 액면 센서(221, 222)에 의해 감시되고, 세정액의 액면이 상한 레벨에 도달하면, 밸브(V5, V51)를 폐쇄하여 세정액의 공급을 정지한다.
계속해서 처리액 유로 내에서 세정액 탱크(처리액 공급원)(10)쪽의 부위로부터 노즐(21)쪽의 부위를 향해 세정액을 이동시키고, 계속해서 노즐(21)쪽의 부위로부터 세정액 탱크(10)쪽의 부위로 세정액을 복귀시키는 동작을 행하는 단계를 실행한다. 이 공정은, 도 4에 도시한 바와 같이, 밸브(V51, V7, V71, V72, V22, V61)를 개방하고, 그 이외의 밸브를 폐쇄하며, 질소 가스를 제1 중간 탱크(22) 내에 공급함으로써, 중간 탱크(22) 내의 세정액을 하류측을 향해 압송함으로써 행해진다.
이에 의해, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 중간 탱크(22) 내의 세정액은, 제1 유로(2) 내를 통류하고, 펌프 유로계(23)의 필터 장착부(이 예에서는 더미 필터)(73), 트랩부(72)를 통해 펌프(71)에 공급되며, 또한 순환로(61, 6)를 통해 필터부(64)를 통류하여 세정액 탱크(10)에 송액된다. 한편 세정액 탱크(10) 내에 세정액을 공급할 때에는, 세정액 탱크(10)의 배기로(501)의 밸브(도시하지 않음)는 개방해 둔다. 한편 도 3 및 도 4에서는, 세정액의 통류를 모식적으로 나타내고 있으며, 폐쇄되어 있는 밸브에 대해서는 「C」를 붙이고, 세정액이 통류하는 유로에 대해서는 볼드체로 나타내고 있다. 이후의 도면에서도 마찬가지이다.
이 세정액의 통류에 의해, 조립 직후의 배관 내에 부착된 파티클이 배관으로부터 벗겨져 처리액 유로가 세정된다. 한편, 세정액에는 파티클이 혼입되지만, 이 세정액이 필터(64)를 통과할 때에, 파티클이 필터(64)에 포착되어, 세정액으로부터 제거되어 청정화된다. 이렇게 해서 처리액 유로에 세정액을 통류시킴으로써 처리액 유로로부터 파티클이 제거되어 세정되고, 필터(64)의 통과에 의해 청정화된 세정액이, 순환로(6)에 의해 세정액 탱크(10)로 복귀되게 된다.
또한 제1 중간 탱크(22)로부터 하류측으로의 세정액의 송액을 개시하면, 제어부(C)에 의해, 밸브(V7, V71, V72, V22)를 고속으로 복수 회 개폐시킨다. 이에 의해, 밸브(V7, V71, V72, V22)의 개폐에 의해 발생할 우려가 있는 파티클의 발진을 촉진해서 강제적으로 발생시켜, 배관에 부착되어 있는 파티클과 함께 제거한다. 이 밸브(V7) 등의 개폐 동작은, 밸브(V51)를 개방하여 제1 중간 탱크(22) 내에 질소 가스를 도입하는 타이밍에서 개시해도 좋고, 밸브(V51)를 개방하고 나서 소정 시간 경과 후나, 밸브(V51)를 개방하기 전에 개시해도 좋다. 또한 밸브의 고속 개폐 동작을 행하는 횟수나 고속 개폐 동작을 행하고 있는 시간은 적절히 설정할 수 있다.
이렇게 해서 제1 중간 탱크(22)로부터 하류측으로의 세정액의 공급을 계속하고, 제1 중간 탱크(22) 내의 세정액의 액면이 하한 레벨까지 내려가면, 밸브(V5, V21, V65)를 개방하여 세정액 탱크(10)로부터의 세정액의 공급을 개시한다. 세정액을 제1 중간 탱크(22)에 공급할 때에는, 제1 중간 탱크(22)의 하류측의 유로에서는, 예컨대 밸브(V7, V71, V72, V22, V61)는 개방하고, 그 외의 밸브는 폐쇄한 상태이지만, 밸브(V7, V71, V72, V22, V61)도 폐쇄해도 좋다. 또한 세정액을 제1 중간 탱크(22)에 공급할 때에는, 밸브(V7, V71, V72, V22)의 고속 개폐 동작은 정지해도 좋고, 속행해도 좋다.
그리고 제1 중간 탱크(22) 내의 세정액의 액면이 상한 레벨이 되면, 밸브(V7, V71, V72, V22, V61) 및 배기로(501)의 밸브를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하여, 제1 중간 탱크(22)의 하류측으로의 세정액의 송액을 개시한다.
이렇게 해서, 세정액 탱크(10)로부터 제1∼제3 중간 탱크(22, 32, 42) 각각으로의 세정액의 공급과, 제1∼제3 중간 탱크(22, 32, 42)로부터 제1∼제3 유로(2∼4) 각각의 하류측으로의 세정액의 송액을 반복해서 행하고, 소정의 유량 예컨대 50 ㎖/분으로 소정 시간 예컨대 10시간, 제1∼제3 유로(2∼4)에 세정액을 통류시키며, 필터부(64)에 의해 파티클을 제거한다.
계속해서, 펌프(71)를 구동시켜 세정하는 공정을 행한다. 이 공정은, 예컨대 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 밸브(V7), 밸브(V71)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 펌프(71)를 구동시켜, 제1 중간 탱크(22) 내의 세정액을 필터 장착부(73) 및 트랩부(72)를 통해 펌프(71) 내부에 빨아들인다. 세정액을 펌프(71)에 의해 빨아들이고 있을 때에는, 예컨대 제1 밸브(V7), 밸브(V71)는 제어부(C)에 의해 고속 개폐시킨다.
계속해서 도 6에 도시한 바와 같이, 밸브(V72, V22, V61) 및 배기로(501)의 밸브를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 펌프(71)를 구동시켜, 펌프(71) 내의 세정액을 하류측으로 토출하여 송액한다. 세정액을 펌프(71)에 의해 토출하고 있을 때에는, 예컨대 밸브(V72, V22)는 제어부(C)에 의해 고속 개폐시킨다. 토출된 세정액은 순환로(61)를 통해 흘러가고, 예컨대 필터부(64)를 통과하여 세정액 탱크(10) 내로 복귀된다.
이렇게 해서 펌프(71)에 의한 흡인과 토출의 1사이클을 예컨대 2초로 행하고, 이 사이클을 반복함으로써, 펌프(71)의 구동에 의한 발진을 촉진하여 필터부(64)에 의해 제거한다. 이 공정에서는, 펌프(71)를 구동시켜 세정액을 이동시키기 때문에, 펌프(71)도 액 이동 기구를 이루고 있다. 펌프(71)의 구동을 예컨대 5시간 행한 후, 도 7에 도시한 바와 같이, 밸브(V51, V7, V71, V72, V22, V23)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 제1 중간 탱크(22) 내의 세정액을 하류측으로 송액하고, 노즐(21)로부터 토출시킨다. 그리고 이 토출된 세정액 중의 파티클의 검사를 행하고, 파티클이 설정값 이하이면 세정 처리를 종료한다. 한편 파티클이 설정값을 초과하고 있을 때에는, 전술한 질소 가스의 가압에 의한 세정 처리와 펌프 동작에 의한 세정 처리 중 적어도 한쪽을 행하고, 재차 세정액을 노즐(21)로부터 토출시켜, 파티클의 검사를 행한다. 한편 디스펜스 밸브(V22)의 하류측의 유로는, 실제로는 매우 짧기 때문에, 노즐(21)에 세정액을 송액함으로써, 상기 유로 내의 파티클은 제거된다.
이렇게 해서 제1 유로(2), 제2 유로(3), 제3 유로(4)의 각각에 대해 세정 처리를 행한 후, 도 8에 도시한 바와 같이, 순환로(6, 61∼63)를 처리액 유로(1)로부터 제거하고, 디스펜스 밸브(V22, V32, V42)에 노즐(21, 31, 41)을 구비한 배관을 접속한다. 이 후, 세정액을 처리액 유로를 통해 노즐(21, 31, 41)에 소정 시간 공급하고, 노즐(21, 31, 41)로부터 세정액을 토출시켜도 좋다. 한편, 제거한 순환로(6, 61∼63)는 세정 처리가 행해진다.
또한 세정액 탱크(10)를 처리액 유로(1)로부터 제거하고, 상기 세정액 탱크(10) 대신에, 처리액 유로(1)의 상류측에 레지스트액의 공급원(처리액 공급원)(120)을 접속하며, 필터 장착부(73)에 처리액 중의 파티클 제거용의 필터를 장착한다. 그리고 도 9에 도시한 바와 같이, 처리액 유로(1, 2) 및 노즐[21(31, 41)]을 통해, 웨이퍼(W)에 대해 처리액을 공급함으로써, 액처리 모듈(100)에 있어서 액처리가 행해진다. 한편 도 9에서는 노즐(21)로부터 웨이퍼(W)에 대해 처리액을 공급하는 모습을 도시하고 있다. 예컨대 액처리 모듈(100)에 있어서, 복수 개 예컨대 3개의 기판 유지부가 준비되고, 3장의 웨이퍼(W)에 대해 액처리를 실시할 수 있는 구성의 경우에는, 노즐(21, 31, 41)로부터 3장의 웨이퍼(W)의 각각에 대해 처리액이 공급되어, 각각 액처리가 행해진다.
전술한 실시형태에 의하면, 세정액을 필터부(64)에 통과시켜, 세정액 중의 파티클을 제거하고 나서, 순환로(6)를 통해 세정액 탱크(10)로 복귀시킨다. 그리고 다시 세정액을 중간 탱크(22, 32, 42)에 송액하여, 처리액 유로(1∼4)에 통류시킨다. 이와 같이, 일단 유로에 통류시킨 세정액으로부터 파티클을 제거한 후, 상기 세정액을 다시 유로의 세정에 재이용하고 있기 때문에, 종래와 같이 세정액을 폐기하고 있었던 경우에 비해, 세정액 사용량을 예컨대 1/10 이하로 저감할 수 있다.
또한 세정액을 재이용하여, 세정액 사용량을 절약화하였기 때문에, 세정 처리에 필요한 시간을 종래에 비해 단축할 수 있다. 즉 세정액 사용량이 많은 경우에는, 배경 기술의 난에서 기재한 바와 같이, 세정액 탱크(10)에 접속할 수 있는 처리액 유로의 개수에는 제한이 있어, 처리액 유로의 수가 많은 경우에는, 모든 처리액 유로를 동시에 세정할 수 없다. 이에 비해 본 실시형태에 의하면, 세정액을 재이용하고 있기 때문에, 종래의 구성에 비해 세정액 탱크(10)에 접속할 수 있는 처리액 유로의 개수가 증가한다. 그리고 세정액 탱크(10)에 접속한 처리액 유로 모두에 있어서, 동시에 병행하여 세정 처리를 행할 수 있기 때문에, 공정수가 대폭 저감되고, 결과로서 토탈 처리 시간이 예컨대 1/4 정도로 단축된다.
또한 전술한 실시형태에서는, 세정액이 통류하는 유로 내에 배치된 밸브에 대해 강제적으로 고속으로 개폐시키기 때문에, 배관에 부착되어 있는 파티클뿐만이 아니라, 밸브를 개폐함으로써 발진할 우려가 있는 파티클에 대해서도 제거할 수 있다. 또한 밸브를 고속 개폐시킴으로써, 세정 처리와 동시에 밸브의 가동 시험을 실시할 수 있어, 장치의 가동 전에 실시하는 처리의 시간을 단축할 수 있다.
또한 펌프(71)의 구동에 의한 세정 공정을 실시하는 경우에는, 펌프(71)의 구동에 의해 발진할 우려가 있는 파티클도 제거할 수 있다. 또한 질소 가스의 가압을 행하지 않기 때문에, 질소의 과용존에 의한 배관이나 밸브, 펌프(71)의 내벽 등에 있어서의 표면 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
또한 순환로(6, 61∼63)를 착탈 가능하게 형성함으로써, 하나의 순환로(6, 61∼63)를 준비하면, 복수의 처리액 공급 장치의 세정에 이용할 수 있다. 또한 처리액 공급 장치의 세정을 행한 후에는 제거할 수 있기 때문에, 액처리 모듈(100)에서 액처리를 행하고 있는 동안에, 순환로(6, 61∼63) 및 필터부(64)의 세정을 행할 수 있다. 단, 순환로(6, 61∼63)는 액처리 모듈(100)에서 액처리를 행할 때에 제거하지 않아도 좋고, 순환로(6, 61∼63)를 제거하는 타이밍은, 세정 처리의 최종 공정에서 세정액을 디스펜스 밸브(V22)의 하류측에 공급하여 노즐(21)로부터 토출시키기 전이어도 좋다. 이 경우에는, 순환로(6, 61∼63)를 제거하고, 디스펜스 밸브(V22)에 노즐(21)을 부착한 후, 세정액을 노즐(21)에 공급한다. 계속해서 처리액 공급원을 처리액 유로(1)의 상류측에 접속하고, 처리액 중의 이물을 제거하기 위한 필터를 필터 장착부(73)에 장착하여, 액처리를 행한다. 또한 순환로(6, 61∼63)는 반드시 처리액 유로(1)에 대해 착탈 가능하게 형성할 필요는 없다.
또한 이 실시형태에서는, 밸브의 고속 개폐 및 펌프 구동에 의한 세정 공정은 반드시 실시할 필요는 없고, 질소 가스의 가압에 의한 세정액의 이동에 의해서만 세정 처리를 행하도록 해도 좋다. 또한 펌프 구동에 의한 세정 공정을 실시하지 않고, 질소 가스의 가압에 의한 세정 공정과, 밸브의 고속 개폐만을 행하도록 해도 좋고, 밸브의 고속 개폐를 행하지 않고, 질소 가스의 가압에 의한 세정 공정과, 펌프 구동에 의한 세정 공정만을 행하도록 해도 좋다.
이상에 있어서 이 실시형태에서는, 도 10에 도시한 바와 같이, 세정액 중의 파티클을 펌프 유로계(23, 33, 43)에 설치된 필터 장착부(73)에 있어서 제거하도록 해도 좋다. 이 예가 전술한 도 1에 도시한 예와 상이한 점은, 필터 장착부(73)에 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 여과재(필터)를 설치하고, 순환로(6)에 필터부(64)가 설치되어 있지 않은 점이다. 이 예의 필터 장착부(73)는, 세정액 중의 파티클을 제거하기 위한 필터부와 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 필터부를 겸용하는 것이다. 그 외의 구성 및 세정 처리의 수법에 대해서는, 전술한 실시형태와 동일하다.
(제2 실시형태)
계속해서 본 발명의 제2 실시형태에 대해, 도 11 내지 도 15를 참조하여 설명한다. 이 실시형태가, 전술한 제1 실시형태와 상이한 점은, 제1∼제3 중간 탱크(22, 32, 42) 내부를 감압하는 감압 기구(8)가 설치되고, 제1∼제3 유로(2∼4)에 순환로(61∼63, 6)가 접속되어 있지 않으며, 필터 장착부(73)에는 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 필터가 장착되는 것이다. 이 예의 필터 장착부(73)에 장착된 필터는, 세정액 중의 파티클을 제거하기 위한 필터부와 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 필터부를 겸용하는 것이다.
예컨대 제1∼제3 중간 탱크(22, 32, 42)의 배기로(224, 324, 424)에는, 각각 밸브(V66, V67, V68)를 통해 흡인 배기로(81)가 접속되고, 이 흡인 배기로(81)의 타단측에 감압 기구(8)가 접속되어 있다. 또한 제1∼제3 유로(2∼4)의 각각에 있어서는, 펌프 유로계(23, 33, 43)와 노즐(21, 31, 41) 사이에 디스펜스 밸브(V22, V32, V42)만을 구비하고 있다.
또한 제어부(C)는, 펌프 유로계(23, 33, 43)에 대해, 제1 밸브(V7)를 개방하고, 제2 밸브(V75)를 폐쇄한 상태에서 세정액을 필터 장착부(73)의 필터를 통해 펌프(71)에 빨아들인다. 계속해서 제1 밸브(V7)를 폐쇄하고, 제2 밸브(V75)를 개방한 상태에서, 펌프(71)로부터 세정액을 바이패스로(75)측으로 토출하는 제어 신호를 출력하도록 구성되어 있다.
또한 제1∼제3 중간 탱크(22, 32, 42)의 각각에는, 액면 센서(221)와 액면 센서(222) 사이의 높이 위치에 액면 센서(223)가 설치되어 있다. 그 외의 구성은 제1 실시형태와 동일하며, 동일한 구성 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 설명을 생략한다.
계속해서 이 실시형태의 작용에 대해, 제1 유로(2)를 예로 하여 설명한다. 처리액 공급 장치의 세정 처리의 타이밍이나, 세정액 탱크(10)로부터 제1 중간 탱크(22), 제2 중간 탱크(32), 제3 중간 탱크(42)의 각각에 세정액을 공급하고, 제1 유로(2), 제2 유로(3), 제3 유로(4)의 각각에서 병행하여 세정 처리가 실시되는 점은 제1 실시형태와 동일하다.
제1 실시형태와 마찬가지로, 세정액 탱크(10)로부터 세정액을, 제1 중간 탱크(22) 내의 세정액의 액면이 상한 레벨에 도달할 때까지 공급한다. 그리고 도 12에 도시한 바와 같이, 밸브(V51, V7, V71, V72, V22)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 질소 가스를 제1 중간 탱크(22) 내에 공급하여 가압함으로써, 예컨대 제1 중간 탱크(22)로부터 노즐(21)의 내부의 유로까지 세정액을 공급한다. 이렇게 해서 처리액 유로 내에 세정액을 통류시킴으로써 상기 유로를 세정하고, 또한 세정액에 혼입되는 파티클은, 세정액이 필터 장착부(73)의 필터를 통과할 때에 제거된다. 또한 세정액이 통류하는 유로에 설치된 밸브, 즉 V7, V71, V72, V22는 고속 개폐시킨다.
계속해서 도 13에 도시한 바와 같이, 밸브(V66, V75, V71, V72, V22)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 감압 기구(8)에 의해 제1 중간 탱크(22) 내부를 흡인하여, 이 중간 탱크(22) 내부를 감압한다. 이에 의해 제1 유로(2) 내의 세정액은, 펌프(71)→트랩부(72)→바이패스로(75)의 경로로 제1 중간 탱크(22)측으로 이동하여, 제1 유로(2) 내의 세정액이 제1 중간 탱크(22)로 빨아 올려진다. 이렇게 해서 제1 유로(2) 내의 세정액을, 예컨대 펌프(71)의 밸브(V72) 바로 하류측까지 흡인한다. 즉 제1 유로(2)에서는 밸브(V72) 내에는 세정액이 있으나, 밸브(V72)의 하류측에는 세정액이 없는 상태이다. 이와 같이 세정액을 제1 중간 탱크(22)측으로 이동시킬 때에도, 예컨대 유로에 설치된 밸브, 즉 밸브(V71, V75, V72, V22)는 고속 개폐시킨다.
이렇게 해서 세정액은 제1 중간 탱크(22) 내를 질소 가스에 의해 가압함으로써, 처리액 유로 내에서 제1 중간 탱크(22)로부터 노즐(21)을 향해 이동하고, 제1 중간 탱크(22) 내부를 감압 기구(8)에 의해 감압함으로써, 노즐(21)로부터 펌프 유로계(23)의 하류측까지 되돌아가도록 이동한다. 따라서 이 예의 액 이동 기구는, 세정액을 처리액 유로 내에서 왕복 이동시키도록 동작하는 것이며, 예컨대 세정액 탱크(10)와, 세정액 탱크(10) 내부를 가압하는 가압 기구와, 중간 탱크(22, 32, 42)와 중간 탱크(22, 32, 42) 내부를 가압하는 기구와, 감압 기구(8)를 구비하여 구성된다.
이 예에서는, 예컨대 제1 중간 탱크(22) 내의 세정액의 액면이 상한 레벨로부터 하한 레벨까지 하류측으로 송액되었을 때에, 제1 중간 탱크(22)로부터 노즐(21)의 내부에 이르는 유로 전체에 세정액이 널리 퍼지도록 설정되어 있다. 또한 제1 중간 탱크(22) 내의 세정액이 하한 레벨로부터 액면 센서(223)에 의해 검지되는 중간 레벨까지 빨아 올려졌을 때에, 펌프(71)의 밸브(V72)의 하류측의 유로의 세정액이 흡인되어 복귀되도록 되어 있다. 따라서 액면 센서(221∼223)의 검출 신호에 기초하여, 밸브(V5, V21, V51, V66)의 개폐를 제어함으로써, 세정액 탱크(10)로부터 제1 중간 탱크(22)에의 세정액의 공급과, 제1 중간 탱크(22)로부터 노즐(21)까지의 세정액의 공급과, 펌프(71)의 하류측의 유로 내의 세정액의 흡인이 행해진다.
이렇게 해서 제1 중간 탱크(22)로부터 노즐(21)의 내부에 이르는 세정액의 유로에 세정액을 공급하는 공정과, 펌프(71)의 하류측의 유로 내의 세정액을 흡인하는 공정을 복수 회 반복해서, 세정액을 노즐(21)과 펌프(71) 사이에서 왕복 이동시켜, 세정액 중의 파티클을 제거한다.
그런 후, 펌프 구동에 의한 세정 공정을 실시한다. 이 공정은, 예컨대 펌프(71)의 밸브(V72)의 하류측의 유로 내의 세정액을 감압 기구(8)에 의해 흡인하고 나서, 펌프(71)를 구동시켜, 펌프(71) 내에 세정액을 빨아들이는 공정과, 펌프(71)로부터 세정액을 토출하는 공정을 교대로 복수 회 반복함으로써 실시된다.
먼저 펌프(71) 내에 세정액을 빨아들이는 공정은, 예컨대 도 14에 도시한 바와 같이, 제1 밸브(V7), 밸브(V71)를 개방하고, 그 외의 밸브는 폐쇄하며, 펌프(71)를 구동시켜 펌프 내에 세정액을 빨아들인다. 이에 의해 제1 중간 탱크(22) 내의 세정액은, 순방향 즉 노즐(21)측으로 필터 장착부(73)의 필터를 통과하도록 이동하여, 파티클이 제거된다. 이때 제1 밸브(V7), 밸브(V71)는 고속 개폐시킨다.
계속해서 펌프(71)로부터 세정액을 토출하는 공정은, 예컨대 도 15에 도시한 바와 같이, 밸브(V71), 제2 밸브(V75), 밸브(V65)를 개방하고, 그 외의 밸브는 폐쇄하며, 펌프(71)로부터 트랩부(72)측을 향해 세정액을 토출한다. 이에 의해 펌프(71) 내의 세정액은, 역방향 즉 제1 중간 탱크(22)측을 향해, 바이패스로(75)를 통해 이동한다. 이때 밸브(V71), 제2 밸브(V75)는 고속 개폐시킨다. 이렇게 해서 펌프(71) 내에 세정액을 빨아들이는 공정과, 펌프(71)로부터 세정액을 토출하는 공정을 복수 회 반복한다. 이 공정에서는, 펌프(71)의 구동에 의해 세정액을 이동시키기 때문에, 펌프(71)도 액 이동 기구를 이루고 있다.
계속해서 밸브(V51, V7, V71, V72, V22)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 제1 중간 탱크(22)로부터 하류측으로 제1 유로(2)를 통해 세정액을 공급하고, 노즐(21)로부터 토출시킨다. 이때 밸브(V51, V7, V71, V72, V22)를 고속 개폐해도 좋다. 그리고 이 토출된 세정액 중의 파티클의 검사를 행하여, 파티클이 설정값 이하이면 세정 처리를 종료한다. 한편 파티클이 설정값을 초과하고 있을 때에는, 전술한 질소 가스의 가압에 의한 세정 공정과 펌프 동작에 의한 세정 공정 중 적어도 한쪽을 소정 시간 반복하고, 재차 세정액을 노즐(21)로부터 토출시켜, 파티클의 검사를 행한다.
이렇게 해서 제1 유로(2), 제2 유로(3), 제3 유로(4)의 각각에 대해 세정 처리를 행한 후, 세정액 탱크(10)를 처리액 유로(1)로부터 제거하고, 상기 세정액 탱크(10) 대신에, 처리액 유로(1)의 상류측에 처리액 공급원을 접속한다. 그리고 처리액 공급로(1∼4)를 통해 처리액을 노즐(21, 31, 41)에 공급하고, 액처리 모듈(100)에 있어서 웨이퍼(W)에 대해 처리액을 공급하여, 액처리가 행해진다.
제2 실시형태에 의하면, 질소 가스의 가압에 의한 세정액의 순방향의 이동과, 감압 기구(8)의 감압에 의한 세정액의 역방향의 이동에 의해, 세정액을 유로 내에서 왕복 이동시키고, 순방향으로 이동할 때에 세정액이 필터 장착부(73)의 필터를 통과한다. 따라서 파티클이 제거된 세정액을 재이용할 수 있어, 종래에 비해 세정액 사용량을 삭감할 수 있다. 또한 세정액 사용량을 삭감하였기 때문에, 복수의 처리액 유로에 있어서, 동시에 병행하여 세정 처리를 행할 수 있어, 세정 처리 시간이 단축된다. 또한 기존의 설비에 감압 기구(8) 및 흡인 배기로(81)를 추가하면 되기 때문에, 설비 개조를 행하기 쉽다고 하는 이점도 있다. 세정액이 통류하는 유로 내에 배치된 밸브에 대해 강제적으로 고속 개폐시키는 효과, 펌프(71)의 구동에 의한 세정 공정의 효과는, 제1 실시형태와 동일하다.
제2 실시형태에서는, 밸브의 고속 개폐 및 펌프 구동에 의한 세정 공정은 반드시 필요한 것은 아니며, 질소 가스를 이용하여 세정액을 제1 중간 탱크(22)의 하류측으로 압송하는 것만을 행하여 세정 처리를 행하도록 해도 좋다. 즉 펌프 구동에 의한 세정 공정을 실시하지 않고, 질소 가스의 가압에 의한 세정 공정과, 밸브의 고속 개폐만을 행하도록 해도 좋으며, 밸브의 고속 개폐를 행하지 않고, 질소 가스의 가압에 의한 세정 공정과, 펌프 구동에 의한 세정 공정만을 행하도록 해도 좋다. 또한 밸브의 고속 개폐의 타이밍은 적절히 설정할 수 있다. 또한 제1 실시형태의 처리액 공급 장치와 같이 순환로(6, 61∼63)에 의해 세정액을 이동시키는 장치에 있어서도, 제2 실시형태와 같이, 감압 기구(8)에 의해 세정액을 이동시켜 세정 처리를 행하도록 해도 좋고, 펌프 구동에 의해 세정액을 왕복 이동시켜 세정 처리를 행하도록 해도 좋다.
(제3 실시형태)
계속해서 본 발명의 제3 실시형태에 대해, 도 16 내지 도 21을 참조하여 설명한다. 이 실시형태가 전술한 제1 실시형태와 상이한 점은, 제1∼제3 유로(2∼4)에 순환로(61∼63, 6)가 접속되어 있지 않고, 필터 장착부(73)에는 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 필터가 장착되는 것이다. 이 예의 필터 장착부(73)의 필터는, 세정액 중의 파티클을 제거하기 위한 필터부와 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 필터부를 겸용하는 것이다. 또한 펌프 유로계(23, 33, 43)와 노즐(21, 31, 41) 사이에는, 디스펜스 밸브(V22, V32, V43)만을 구비하고 있다.
또한 제어부(C)는, 펌프 유로계(23, 33, 43)에 대해, 제1 밸브(V7)를 개방하고, 제2 밸브(V75)를 폐쇄한 상태에서 세정액을 필터 장착부(73)의 필터를 통해 펌프(71)에 빨아들인다. 계속해서 제1 밸브(V7)를 폐쇄하고, 제2 밸브(V75)를 개방한 상태에서, 펌프(71)로부터 세정액을 바이패스로(75)측으로 토출하는 제어 신호를 출력하도록 구성되어 있다. 그 외의 구성은 제1 실시형태와 동일하며, 동일한 구성 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 설명을 생략한다.
이 예의 작용에 대해, 제1 유로(2)를 예로 하여 설명한다. 처리액 공급 장치의 세정 처리의 타이밍이나, 세정액 탱크(10)로부터 제1 중간 탱크(22), 제2 중간 탱크(32), 제3 중간 탱크(42)의 각각에 세정액을 공급하고, 제1 유로(2), 제2 유로(3), 제3 유로(4)의 각각에서 병행하여 세정 처리가 실시되는 점은 제1 실시형태와 동일하다. 먼저 제1 실시형태와 마찬가지로, 세정액을 세정액 탱크(10)로부터 제1 중간 탱크(22) 내에, 세정액이 상한 레벨이 될 때까지 공급한다. 그리고 밸브(V51, V7, V71, V72, V22)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 질소 가스의 가압에 의해, 세정액을 제1 중간 탱크(22)로부터 예컨대 노즐(21)의 내부의 유로까지 공급한다.
계속해서 흡인 공정→제1 역행 공정→여과 공정→제2 역행 공정으로 이루어지는 일련의 세트 동작을 실행한다. 흡인 공정에서는, 도 17에 도시한 바와 같이, 밸브(V72, V22)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 펌프(71)의 흡인 동작에 의해, 펌프(71)의 하류측의 세정액을 펌프(71) 내부에 흡인한다. 또한 밸브(V72, V22)는 고속 개폐시킨다. 도 17은 흡인 공정을 개시한 직후의 상태이고, 도 18은 흡인 공정을 종료한 직후의 상태, 즉 다음의 제1 역행 공정을 개시한 직후의 상태를 도시한다.
다음으로 도 18에 도시한 제1 역행 공정을 실시한다. 이 공정에서는, 밸브(V73, V75, V65)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 펌프(71)의 토출 동작에 의해, 펌프(71) 내의 세정액을 펌프(71)의 상류측으로, 유로(74) 및 바이패스로(75)를 통해 송액한다. 이에 의해 세정액은 제1 유로(2)를 역방향으로 이동하여, 제1 중간 탱크(22)의 내부로 복귀된다. 또한 밸브(V73, V75)는 고속 개폐시킨다.
계속해서 도 19에 도시한 여과 공정을 실시한다. 도 19는 여과 공정을 개시한 직후(제1 역행 공정을 종료한 직후)의 상태를 도시하며, 이 공정에서는, 밸브(V7, V71)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 펌프(71)의 빨아들임 동작에 의해, 제1 중간 탱크(22) 및 펌프 유로계(23)의 상류측의 유로의 세정액을 순방향으로 이동시켜, 펌프(71) 내부에 빨아들인다. 이때 세정액은 필터 장착부(73)의 필터부를 통과하기 때문에, 세정액 내의 파티클이 제거된다. 또한 밸브(V7, V71)는 고속 개폐시킨다.
계속해서 도 20에 도시한 바와 같이 제2 역행 공정을 실시한다. 이 공정은, 제1 역행 공정과 마찬가지로, 밸브(V73, V75, V65)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 펌프(71)의 토출 동작에 의해, 펌프(71) 내의 세정액을 유로(74), 바이패스로(75)를 통해 송액한다. 이에 의해 세정액은 제1 유로(2)를 역방향으로 이동하여, 제1 중간 탱크(22)의 내부로 복귀된다. 또한 밸브(V73, V75)는 고속 개폐시킨다. 한편 제1 역행 공정 및 제2 역행 공정에서는, 밸브(V71, V75, V65)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 펌프(71) 내의 세정액을 펌프(71)의 상류측으로 바이패스로(75)를 통해 송액하도록 해도 좋다.
이렇게 해서 흡인 공정→제1 역행 공정→여과 공정→제2 역행 공정의 세트를 복수 회 반복한다. 세정액이 유로 내를 통류함으로써 유로가 세정되고, 세정액이 필터 장착부(73)의 필터를 통과함으로써, 세정액으로부터 파티클이 제거되어 세정액이 청정화된다. 또한 흡인 공정을 실시할 때마다, 펌프(71)의 하류측의 유로에서는, 세정액이 서서히 펌프(71)측으로 이동하기 때문에, 예컨대 세정액이 펌프(71)의 밸브(V72) 근방까지 이동할 때까지, 전술한 세트를 반복한다. 이 예에서는, 펌프(71)의 구동에 의해 세정액을 처리액 유로 내에서 왕복 이동시키기 때문에, 펌프(71)가 액 이동 기구를 이루고 있다.
이 후, 도 21에 도시한 바와 같이, 밸브(V51, V7, V71, V72, V22)를 개방하고, 그 외의 밸브를 폐쇄하며, 제1 중간 탱크(22)로부터 하류측으로 제1 유로(2)를 통해 세정액을 공급하고, 노즐(21)로부터 토출시킨다. 그리고 이 토출된 세정액 중의 파티클의 검사를 행하여, 파티클이 설정값 이하이면 세정 처리를 종료한다. 한편 파티클이 설정값을 초과하고 있을 때에는, 전술한 세정 공정을 소정 시간 반복하고, 재차 세정액을 노즐(21)로부터 토출시켜, 파티클의 검사를 행한다.
이렇게 해서 제1 유로(2), 제2 유로(3), 제3 유로(4)의 각각에 대해 세정 처리를 행한 후, 세정액 탱크(10)를 처리액 유로(1)로부터 제거하고, 상기 세정액 탱크(10) 대신에, 처리액 유로(1)의 상류측에 처리액 공급원을 접속한다. 그리고 처리액 유로(1∼4)를 통해 노즐(21, 31, 41)에 처리액을 공급함으로써, 액처리 모듈(100)에 있어서 웨이퍼(W)에 대해 처리액을 공급하여 액처리가 행해진다.
제3 실시형태에 의하면, 펌프 동작에 의해 세정액을 유로 내에 왕복 이동시키고, 순방향으로 이동할 때에 세정액을 필터 장착부(73)의 필터를 통과시킨다. 따라서 파티클이 제거된 세정액을 재이용할 수 있어, 종래에 비해 세정액 사용량을 삭감할 수 있다. 또한 세정액 사용량을 삭감하였기 때문에, 복수의 처리액 유로에 있어서 동시에 병행하여 세정 처리를 행할 수 있어, 세정 처리 시간이 단축된다. 또한 기존의 설비의 개조가 불필요하며, 실시하기 쉽다고 하는 이점도 있다. 또한 세정액이 통류하는 유로 내에 배치된 밸브에 대해 고속 개폐하는 효과 및 펌프를 구동시켜 세정 처리를 행하는 효과는 제1 실시형태와 동일하지만, 밸브의 고속 개폐는 반드시 실시할 필요는 없다. 또한 밸브의 고속 개폐의 타이밍은 적절히 설정할 수 있다. 또한 제1 실시형태의 처리액 공급 장치와 같이 순환로(6, 61∼63)에 의해 세정액을 이동시키는 장치에 있어서도, 제3 실시형태와 같이, 펌프 구동에 의해 세정액을 왕복 이동시켜 세정 처리를 행하도록 해도 좋다.
이 실시형태에서는, 펌프(71)를 구동시켜 유로 내에서 제1 중간 탱크(22)측으로부터 노즐(21)측을 향해 순방향으로 세정액을 이동시켰으나, 이 순방향의 이동을 제1 중간 탱크(22)에 질소 가스를 공급하여, 중간 탱크(22) 내부를 가압함으로써 행하도록 해도 좋다.
계속해서 펌프 유로계의 다른 예에 대해, 도 22 내지 도 24를 참조하여, 제1 유로(2)에 형성되는 구성을 예로 하여 간단히 설명한다. 도 22는 2스테이지 펌프로 이루어지는 펌프 유로계(91)를 형성하는 예이다. 펌프 유로계(91)는, 서로 독립된 디스펜스 펌프(911)와 피드 펌프(912)를 구비하고, 이들 사이에 필터부(913)가 설치되어 있다. 디스펜스 펌프(911)와 피드 펌프(912) 사이는, 퍼지용의 밸브(V81)를 구비한 유로(914)에 의해 접속되어 있다. 또한 필터부(913)는 밸브(V82)를 구비한 유로(915)에 의해 피드 펌프(912)에 접속되고, 밸브(V83)를 구비한 유로(916)에 의해 디스펜스 펌프(911)에 접속되어 있다. 또한 피드 펌프(912)는, 액 공급용의 밸브(V84)를 구비한 제1 유로(2)에 의해 제1 중간 탱크(22)에 접속되고, 디스펜스 펌프(911)는 액 배출용의 밸브(V85)를 통해 제1 유로(2)의 디스펜스 밸브(V22)에 접속되어 있다. 도면 부호 910은 벤트용의 밸브(V80)를 구비한 배기로이다.
이 예에서는, 제1 중간 탱크(22) 내의 세정액은, 피드 펌프(912)→필터부(913)→디스펜스 펌프(911)의 경로로 하류측을 향해 흘러간다. 이 펌프 유로계(91)에서는, 피드 펌프(912)와 디스펜스 펌프(911)를 서로 독립적으로 설치하고 있기 때문에, 필터부(913)를 통류하는 세정액의 속도(여과 속도)와, 디스펜스 펌프(911)로부터 하류측으로 세정액을 토출할 때의 토출 속도를 서로 독립적으로 설정할 수 있다.
도 23은 튜브프램 펌프로 이루어지는 펌프 유로계(92)를 형성하는 예이다. 펌프 유로계(92)는, 케이스(921) 내에 튜브프램(922)과, 압력 전달용의 2차 유체부(923)를 구비하고, 2차 유체부(923)에 플런저(924), 피스톤(925)을 통해 스테핑 모터(926)가 접속되어 있다. 튜브프램(922)은, 액 공급용의 밸브(V86)를 구비한 제1 유로(2)를 통해 제1 중간 탱크(22)에 접속되고, 유로(927)에 의해 필터부(928)에 접속되어 있다. 또한 필터부(928)는 디스펜스 밸브(V22)를 구비한 유로(929)를 통해 도시하지 않은 노즐(21)에 접속되고, 벤트용의 밸브(V87)를 구비한 배기로(920)가 형성되어 있다. 도면 부호 930은 벤트용의 밸브(V88)를 구비한 배기로, 도면 부호 939는 압력 센서이다. 이 펌프 유로계(92)에서는, 스테핑 모터(926)와 직접 연결된 플런저(924)에 의해 발생한 용적 변화를 2차 유체부(923)를 통해 튜브프램(922)에 전달함으로써, 세정액의 빨아들임과 토출이 행해지도록 구성되어 있다.
도 24는 벨로우즈 펌프로 이루어지는 펌프 유로계(93)를 형성하는 예이다. 도 24 중 도면 부호 931은 벨로우즈, 도면 부호 932는 벨로우즈 샤프트, 도면 부호 933은 스테핑 모터, 도면 부호 934는 벨트 기구이다. 벨로우즈(931)에는 액 공급용의 밸브(V91)를 구비한 유로(936)를 통해 필터부(935)가 접속되고, 액 배출용의 밸브(V92)를 통해 제1 유로(2)에 의해 도시하지 않은 디스펜스 밸브(V22)에 접속되어 있다. 또한 필터부(935)에는 제1 유로(2)를 통해 제1 중간 탱크(22)가 접속되어 있다. 도면 부호 937은 필터부(935)의 배출로, 도면 부호 938은 압력 센서이다. 이 예에서는, 스테핑 모터(933)에 의해 벨로우즈(931)를 신축시켜 세정액을 빨아들이고, 벨로우즈(931)를 반대로 구동시킴으로써, 세정액을 토출하도록 구성되어 있다.
이상에 있어서, 전술한 실시형태에서는, 세정액으로부터 파티클을 제거하기 위한 필터부에 순방향(세정액 탱크측으로부터 노즐로 향하는 방향)으로 세정액을 통과시켜 파티클의 제거를 행하고, 파티클 제거 후의 세정액을 다시 필터부로 역방향으로 통과시켜, 상기 세정액을 세정액 탱크로 복귀시키도록 해도 좋다.
또한 세정액 탱크에 접속되는 처리액 유로의 분기로는, 제1∼제3 유로에 한정되지 않고, 3개 이상의 분기로를 접속하고, 각각의 분기로에 있어서 병행하여 세정 처리를 행하도록 해도 좋다. 또한 처리액 유로를 분기시킬 필요는 없고, 세정액 탱크에 하나의 처리액 유로를 통해 하나의 노즐을 접속해도 좋다. 또한 처리액 유로를 복수의 분기로로 분기시키는 경우에 있어서도, 반드시 모든 분기로를 세정할 필요는 없고, 일부의 분기로에만 세정 처리를 행하도록 해도 좋다.
또한 제1∼제3 중간 탱크(22, 32, 42)에 세정액을 공급하는 타이밍에서, 바이패스로(75)나 유로(74)에 세정액을 공급하여, 이들 유로를 세정하는 것이 바람직하다. 단, 제1∼제3 중간 탱크(22, 32, 42)에 세정액을 공급할 때마다, 바이패스로(75)나 유로(74)에 세정액을 통류시킬 필요는 없고, 이들 유로에 세정액을 공급하는 타이밍은 적절히 설정할 수 있다.
W: 웨이퍼 100: 액처리 모듈
1: 처리액 유로 10: 세정액 탱크
2: 제1 유로 21, 31, 41: 노즐
23, 33, 43: 펌프 유로계 3: 제2 유로
4: 제3 유로 6, 61, 62, 63: 순환로
64: 필터부 71: 펌프

Claims (14)

  1. 처리액 공급원으로부터 처리액 유로 및 노즐을 통해 피처리체에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치에 있어서,
    상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급원과,
    상기 처리액 유로 내에서 상기 처리액 공급원쪽의 부위로부터 상기 노즐쪽의 부위를 향해 세정액을 이동시키고, 계속해서 상기 노즐쪽의 부위로부터 상기 처리액 공급원쪽의 부위로 상기 세정액을 복귀시키는 동작을 행하기 위한 액 이동 기구와,
    상기 세정액이 이동하는 유로에 설치되고, 이물을 제거하기 위한 세정용의 필터부와,
    상기 세정액 공급원으로부터 상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하여, 상기 동작을 행하도록 제어 신호를 출력하는 제어부
    를 구비하고,
    상기 액 이동 기구는, 상기 세정액이 이동하는 유로에 설치된 탱크와, 이 탱크 내의 액면을 가압하여 상기 탱크로부터 세정액을 토출하는 가압 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 액 이동 기구는, 상기 유로의 도중에 설치된 중간 탱크와, 이 중간 탱크 내부를 감압하는 감압 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치.
  3. 처리액 공급원으로부터 처리액 유로 및 노즐을 통해 피처리체에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치에 있어서,
    상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급원과,
    상기 처리액 유로에 있어서의 상기 노즐쪽의 부위에 일단이 접속되고, 상기 일단으로부터 세정액을 처리액 유로의 상기 처리액 공급원쪽의 부위로 복귀시키기 위해서 처리액 유로에 바이패스하여 형성된 순환로와,
    상기 세정액을 상기 순환로를 통해 순환시키기 위한 액 이동 기구와,
    상기 세정액이 이동하는 유로에 설치되고, 이물을 제거하기 위한 세정용의 필터부와,
    상기 세정액 공급원으로부터 상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하고, 상기 액 이동 기구가 세정액의 이동을 위한 동작을 행하도록 제어 신호를 출력하는 제어부
    를 구비하며,
    상기 액 이동 기구는, 세정액 탱크와, 이 세정액 탱크 내의 액면을 가압하여 상기 세정액 탱크로부터 세정액을 토출시키는 가압 기구와, 상기 세정액 탱크로부터 토출한 세정액이 유로를 통해 보내지는 중간 탱크와, 이 중간 탱크 내의 액면을 가압하여 상기 중간 탱크로부터 세정액을 처리액 유로를 통해 상기 순환로의 일단측을 향해 토출시키고, 상기 순환로의 일단측으로부터 상기 세정액 탱크로 복귀시키기 위한 가압 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 처리액 유로는 복수 개 형성되고,
    상기 순환로의 일단측이 복수로 분기되며, 각 처리액 유로마다, 분기된 순환로의 각 분기로가 접속되고,
    상기 세정용의 필터부는, 상기 순환로에 있어서의 일단측의 상기 분기로의 분기점보다 타단측에 설치되는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 순환로는 상기 처리액 공급로에 대해 착탈 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 순환로의 일단측은, 2개로 분기되고, 분기된 한쪽의 분기로와 다른쪽의 분기로가, 처리액 공급로를 접촉 및 분리 가능하게 분단한 분단단(分斷端)에 착탈할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필터부의 상류측 및 하류측에 각각 설치된 제1 밸브 및 펌프와,
    상기 제1 밸브의 상류측에 그 일단측이 접속되고 상기 펌프에 그 타단측이 접속되며, 상기 필터부를 바이패스하고 제2 밸브가 설치되어 있는 바이패스로를 구비하며,
    상기 제어부는, 상기 제1 밸브를 개방하고, 제2 밸브를 폐쇄한 상태에서, 세정액을 상기 필터부를 통해 상기 펌프 내에 빨아들이고, 계속해서 상기 제1 밸브를 폐쇄하고, 제2 밸브를 개방한 상태에서, 상기 펌프로부터 세정액을 바이패스로측으로 토출하도록 제어 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제어부는, 액 이동 기구에 의해 상기 동작이 행해지고 있을 때에, 세정액의 유로에 설치된 밸브를, 상기 밸브로부터의 발진(發塵)을 촉진시키기 위해서 복수 회 온/오프시키도록 제어 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치.
  9. 처리액 공급원으로부터 처리액 유로 및 노즐을 통해 피처리체에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치의 세정 방법에 있어서,
    상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하고, 상기 처리액 유로 내에서 상기 처리액 공급원쪽의 부위로부터 상기 노즐쪽의 부위를 향해 세정액을 이동시키며, 계속해서 상기 노즐쪽의 부위로부터 상기 처리액 공급원쪽의 부위로 상기 세정액을 복귀시켜 상기 처리액 유로를 세정하는 세정 공정과,
    상기 세정 공정에 이용된 세정액이, 이물을 제거하기 위한 필터부를 통과하여, 청정화되는 청정화 공정을 포함하고,
    상기 세정 공정은, 세정액이 이동하는 유로에 설치된, 세정액을 저류하는 탱크 내부를 가압하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치의 세정 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 세정 공정은, 세정액이 이동하는 유로에 설치된, 세정액을 저류하는 탱크 내부를 감압하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치의 세정 방법.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 세정 공정은, 세정액이 이동하는 유로에 설치된 펌프를 동작시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치의 세정 방법.
  12. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 세정 공정은, 상기 처리액 유로 내에서 처리액 공급원쪽의 부위로부터 상기 노즐쪽의 부위를 향해 세정액을 이동시키고, 계속해서 상기 세정액을, 노즐쪽의 부위로부터 처리액 공급원쪽의 부위로, 처리액 유로에 바이패스하여 형성된 순환로를 통해 복귀시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치의 세정 방법.
  13. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 세정 공정은, 상기 처리액 유로 내에서 처리액 공급원쪽의 부위로부터 상기 노즐쪽의 부위를 향해 세정액을 이동시키고, 계속해서 상기 세정액을, 노즐쪽의 부위로부터 처리액 공급원쪽의 부위로, 상기 처리액 유로를 통해 복귀시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치의 세정 방법.
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