KR102348542B1 - Workpiece transporting tray - Google Patents

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Abstract

[과제] 피가공물의 가공 비용을 삭감할 수 있는 피가공물의 반송 트레이를 제공한다.
[해결 수단] 반송 트레이 (5) 는 종래의 환상 프레임과 대략 동일한 외형으로 형성된 본체 프레임부 (5a) 를 구비하고, 본체 프레임부 (5a) 에는 개구부 (5b) 가 형성되어 있다. 개구부 (5b) 는 피가공물의 하면측의 외주 영역을 지지하는 외주 지지부 (5d) 와, 피가공물의 면 방향으로의 이동을 규제하는 이동 규제부 (5e) 를 구비하고 있다. 이로써, 피가공물을 풀 컷할 필요가 없는 경우, 점착 테이프를 사용하지 않고 피가공물을 반송 트레이 (5) 의 개구부 (5b) 에 재치하는 것만으로 고정시킬 수 있다. [Problem] To provide a transport tray for a workpiece capable of reducing the processing cost of the workpiece.
[Solutions] The conveying tray 5 has a body frame portion 5a formed in substantially the same outer shape as a conventional annular frame, and an opening 5b is formed in the body frame portion 5a. The opening 5b includes an outer peripheral support portion 5d for supporting an outer peripheral region on the lower surface side of the workpiece, and a movement regulating portion 5e for regulating the movement of the workpiece in the in-plane direction. Thereby, when a to-be-processed object does not need to be fully cut, a to-be-processed object can be fixed only by mounting in the opening part 5b of the conveyance tray 5 without using an adhesive tape.

Description

피가공물의 반송 트레이{WORKPIECE TRANSPORTING TRAY}Transport tray for workpieces {WORKPIECE TRANSPORTING TRAY}

본 발명은 피가공물의 반송 트레이에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying tray for a workpiece.

반도체 웨이퍼 등의 판상의 피가공물을 개개의 디바이스 칩으로 분할하거나 분할용의 홈을 형성할 때에는, 절삭 블레이드를 사용하는 절삭 장치나, 레이저에 의해서 가공하는 레이저 가공 장치를 사용하고 있다. 이들 장치에서는, 환상 프레임의 개구부에 점착 테이프 (다이싱 테이프) 를 통하여 피가공물이 지지된 프레임 유닛을 사용하여 피가공물을 반송하기 쉽게 하고 있다 (특허문헌 1).When a plate-shaped workpiece such as a semiconductor wafer is divided into individual device chips or a groove for division is formed, a cutting device using a cutting blade or a laser processing device for processing with a laser is used. In these apparatuses, the to-be-processed object is made easy to convey by using the frame unit by which the to-be-processed object was supported by the opening part of the annular frame via the adhesive tape (dicing tape) (patent document 1).

일본 공개특허공보 2002-110777호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2002-110777

그러나, 점착 테이프는 소모품이기 때문에, 피가공물의 가공이 끝나면 그때마다 바꾸어 붙여지기 때문에 가공 비용이 증가하는 과제가 있었다.However, since an adhesive tape is a consumable item, since processing of a to-be-processed object is finished, since it replaces each time, there existed a subject that processing cost increased.

그래서, 본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것으로서, 피가공물의 가공 비용을 삭감할 수 있는 피가공물의 반송 트레이를 제공하는 것을 목적으로 한다.Then, this invention has been made in view of the above, and an object of this invention is to provide the conveyance tray of a to-be-processed object which can reduce the processing cost of a to-be-processed object.

상기 서술한 과제를 해결하여 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 관련된 피가공물의 반송 트레이는, 피가공물을 유지하는 유지면을 구비하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지되는 피가공물을 가공하는 가공 수단을 구비하는 가공 장치이고, 판상의 피가공물을 그 척 테이블에 반출입할 때에 사용하는 반송 트레이로서, 그 판상의 피가공물의 외형보다 큰 내주를 구비하는 환상의 본체 프레임부와, 그 본체 프레임부의 내주로부터 중심을 향하여 돌출하고, 피가공물의 하면측의 외주 영역을 지지하는 외주 지지부와, 그 본체 프레임부와 그 외주 지지부의 경계에 형성되어, 재치한 피가공물의 면 방향으로의 이동을 규제하는 이동 규제부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problem and achieve the objective, the conveyance tray of the to-be-processed object which concerns on this invention is a chuck table provided with the holding surface which holds a to-be-processed, and processing which processes the to-be-processed object hold|maintained by the chuck table. A processing apparatus comprising means, a conveying tray used for loading and unloading a plate-shaped workpiece into the chuck table, the annular body frame portion having an inner periphery larger than the outer shape of the plate-shaped workpiece, and the main body frame portion It is formed at the boundary of the outer peripheral support part protruding from the inner periphery toward the center and supporting the outer peripheral region on the lower surface side of the workpiece, and the body frame part and the outer peripheral support part, to regulate movement in the surface direction of the placed workpiece. It is characterized in that it is provided with a movement control unit.

또, 상기 피가공물의 반송 트레이에 있어서, 그 가공 장치는, 환상 프레임의 개구에 점착 테이프를 통하여 피가공물이 지지된 프레임 유닛을 복수 수용하는 카세트를 재치하는 카세트 재치 영역과, 그 카세트 재치 영역에 재치된 그 카세트와 그 척 테이블 사이에서 그 환상 프레임을 지지하여 그 프레임 유닛을 반송하는 반송 수단을 구비하고, 그 본체 프레임부는 그 환상 프레임과 동일한 외경으로 형성되고, 그 카세트에 수용 가능한 것이 바람직하다.Further, in the transport tray of the workpiece, the processing device includes a cassette loading area for placing a cassette for accommodating a plurality of frame units on which the workpiece is supported via an adhesive tape in the opening of the annular frame, and in the cassette loading area It is preferable that a carrying means for carrying the frame unit by supporting the annular frame between the placed cassette and the chuck table is provided, and the main frame portion is formed with the same outer diameter as the annular frame and can be accommodated in the cassette. .

본 발명에 관련된 피가공물의 반송 트레이는, 피가공물의 하면측의 외주 영역을 지지하는 외주 지지부와, 피가공물의 면 방향으로의 이동을 규제하는 이동 규제부를 구비함으로써, 점착 테이프를 사용하지 않고 피가공물을 반송 트레이에 고정시킬 수 있기 때문에 가공 비용을 대폭 삭감할 수 있다.A workpiece transport tray according to the present invention is provided with an outer peripheral support part for supporting an outer peripheral region on the lower surface side of the workpiece and a movement control part for regulating the movement of the workpiece in the in-plane direction. Since the workpiece can be fixed on the conveying tray, the machining cost can be significantly reduced.

도 1 은 실시형태 1 에 관련된 가공 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 2 는 실시형태 1 에 관련된 카세트의 구성예를 나타내는 정면도이다.
도 3 은 실시형태 1 에 관련된 피가공물의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 4 는 실시형태 1 에 관련된 반송 트레이의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 5 는 실시형태 1 에 관련된 반송 트레이에 피가공물을 재치한 재치예를 나타내는 사시도이다.
도 6 은 실시형태 1 에 관련된 반송 트레이에 피가공물을 재치한 재치예를 나타내는 P-P 화살표의 단면도이다.
도 7 은 실시형태 1 에 관련된 척 테이블에 피가공물이 재치된 반송 트레이를 반입하는 반입예를 나타내는 단면도이다.
도 8 은 실시형태 1 에 관련된 척 테이블에 유지된 피가공물을 가공하는 가공예를 나타내는 단면도이다.
도 9 는 실시형태 2 에 관련된 반송 트레이에 피가공물을 재치한 재치예를 나타내는 단면도이다.
도 10 은 실시형태 2 에 관련된 척 테이블에 피가공물이 재치된 반송 트레이를 반입하는 반입예를 나타내는 단면도이다.
도 11 은 실시형태 2 에 관련된 척 테이블에 유지된 피가공물을 가공하는 가공예를 나타내는 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows the structural example of the processing apparatus which concerns on Embodiment 1. FIG.
Fig. 2 is a front view showing a configuration example of the cassette according to the first embodiment.
Fig. 3 is a perspective view showing a configuration example of a to-be-processed object according to the first embodiment.
Fig. 4 is a perspective view showing a configuration example of a conveyance tray according to the first embodiment.
Fig. 5 is a perspective view showing a mounting example in which a to-be-processed object is mounted on the conveyance tray according to the first embodiment.
6 is a cross-sectional view of a PP arrow showing a mounting example in which a to-be-processed object is mounted on the conveyance tray which concerns on Embodiment 1. FIG.
It is sectional drawing which shows the carrying-in example of carrying in the conveyance tray on which the to-be-processed object was mounted to the chuck table which concerns on Embodiment 1. FIG.
Fig. 8 is a cross-sectional view showing a processing example of processing a to-be-processed object held on the chuck table according to the first embodiment.
9 is a cross-sectional view showing a mounting example in which a workpiece is placed on a conveyance tray according to the second embodiment.
It is sectional drawing which shows the carrying-in example which carries in the conveyance tray on which the to-be-processed object was mounted to the chuck table which concerns on Embodiment 2. FIG.
11 is a cross-sectional view showing a processing example of processing a workpiece held on a chuck table according to the second embodiment.

본 발명을 실시하기 위한 형태 (실시형태) 에 대해서 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해서 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 게다가 이하에 기재한 구성은 적절히 조합할 수 있다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 행할 수 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION The form (embodiment) for implementing this invention is demonstrated in detail, referring drawings. This invention is not limited by the content described in the following embodiment. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art, and those that are substantially the same. Moreover, the structures described below can be combined suitably. In addition, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

[실시형태 1][Embodiment 1]

실시형태 1 에 관련된 가공 장치 및 피가공물의 반송 트레이의 구성예에 대해서 설명한다. 도 1 은 실시형태 1 에 관련된 가공 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 2 는 실시형태 1 에 관련된 카세트의 구성예를 나타내는 정면도이다. 도 3 은 실시형태 1 에 관련된 피가공물의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 4 는 실시형태 1 에 관련된 반송 트레이의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 5 는 실시형태 1 에 관련된 반송 트레이에 피가공물을 재치한 재치예를 나타내는 사시도이다. 도 6 은 실시형태 1 에 관련된 반송 트레이에 피가공물을 재치한 재치예를 나타내는 P-P 화살표의 단면도이다. The structural example of the processing apparatus which concerns on Embodiment 1, and a to-be-processed object conveyance tray is demonstrated. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows the structural example of the processing apparatus which concerns on Embodiment 1. FIG. Fig. 2 is a front view showing a configuration example of the cassette according to the first embodiment. 3 is a perspective view showing a configuration example of a to-be-processed object according to the first embodiment. Fig. 4 is a perspective view showing a configuration example of a conveyance tray according to the first embodiment. Fig. 5 is a perspective view showing a mounting example in which a to-be-processed object is mounted on the conveyance tray according to the first embodiment. 6 is a cross-sectional view of arrows P-P showing a mounting example in which a workpiece is placed on a conveyance tray according to the first embodiment.

가공 장치 (1) 는 피가공물 (W) 을 가공하는 것이다. 가공 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 척 테이블 (10A) 과, 가공 수단 (20) 과, 가공 이송 수단 (30) 과, 절입 이송 수단 (40) 과, 제 1 반송 수단 (50) 과, 제 2 반송 수단 (60) 과, 임시 재치용 레일 (70) 과, 세정 수단 (80) 과, 카세트 기구 (90) 와, 도시하지 않은 산출 이송 수단과, 도시하지 않은 제어 수단을 구비하고 있다.The processing apparatus 1 processes the to-be-processed object W. As shown in FIG. The processing apparatus 1 is, as shown in FIG. 1, the chuck table 10A, the processing means 20, the processing feed means 30, the cutting feed means 40, and the 1st conveyance means 50 ), a second transport means 60 , a rail 70 for temporary placement, a cleaning means 80 , a cassette mechanism 90 , a calculation transport means (not shown), and a control means (not shown) are provided. are doing

척 테이블 (10A) 은 X 축 방향으로 이동 가능하게 장치 본체 (2) 의 상면에 배치 형성되어 있다. 척 테이블 (10A) 은 원판상으로 형성되고, 유지면 (11a) 과, 클램프부 (12) 를 구비하고 있다. 척 테이블 (10A) 은 도시하지 않은 회전 수단에 의해서 유지면 (11a) 의 중심과 직교하는 회전축에서 회전된다. 유지면 (11a) 은 척 테이블 (10A) 의 연직 방향의 상단면이고, 수평면에 대해서 평탄하게 형성되어 있다. 유지면 (11a) 은 예를 들어 포러스 세라믹 등으로 구성되어 있고, 도시하지 않은 진공 흡인원의 부압에 의해서, 피가공물 유지 유닛 (U) (예를 들어, 반송 트레이 유닛 (U1A) 또는 프레임 유닛 (U2)) 의 피가공물 (W) 을 흡인 유지한다. 클램프부 (12) 는 피가공물 유지 유닛 (U) 을 사이에 끼우는 것이고, 피가공물 유지 유닛 (U) 의 외주 가장자리를 상하에서 사이에 두어 유지한다.The chuck table 10A is disposed on the upper surface of the apparatus main body 2 so as to be movable in the X-axis direction. The chuck table 10A is formed in the shape of a disk, and is provided with the holding surface 11a and the clamp part 12. As shown in FIG. The chuck table 10A is rotated on a rotational axis orthogonal to the center of the holding surface 11a by a rotation means (not shown). The holding surface 11a is a vertical upper end surface of the chuck table 10A, and is formed flat with respect to a horizontal surface. The holding surface 11a is made of, for example, porous ceramic, etc., and by the negative pressure of a vacuum suction source (not shown), the workpiece holding unit U (for example, the conveying tray unit U1A or the frame unit ( The workpiece W of U2)) is sucked and held. The clamp part 12 sandwiches the to-be-processed object holding unit U, and holds the outer peripheral edge of the to-be-processed object holding unit U between top and bottom.

가공 수단 (20) 은 척 테이블 (10A) 에 유지된 피가공물 (W) 을 가공하는 것이다. 가공 수단 (20) 은 산출 이송 수단 및 절입 이송 수단 (40) 을 통하여 제 1 도어형 프레임 (3) 에 배치 형성되어 있다. 여기서, 제 1 도어형 프레임 (3) 은 척 테이블 (10A) 의 X 축 방향에 있어서의 이동 경로를 Y 축 방향으로 걸치도록 장치 본체 (2) 에 세워져 형성되어 있다. 가공 수단 (20) 은 피가공물 (W) 을 절삭하는 절삭 블레이드 (21) 와, 절삭 블레이드 (21) 를 착탈 가능하게 장착하는 스핀들 (22) 과, Y 축 방향의 회전축 둘레로 자유롭게 회전할 수 있도록 스핀들 (22) 을 지지하는 하우징 (23) 을 구비하고 있다.The processing means 20 is for processing the to-be-processed object W held by the chuck table 10A. The processing means 20 is arrange|positioned by the 1st door-shaped frame 3 via the calculation feed means and the cut feed means 40. As shown in FIG. Here, the 1st door-shaped frame 3 is erected on the apparatus main body 2 so that the movement path in the X-axis direction of the chuck table 10A may be spanned in the Y-axis direction. The processing means 20 includes a cutting blade 21 for cutting the workpiece W, a spindle 22 for removably mounting the cutting blade 21, and a rotation axis in the Y-axis direction so as to freely rotate around the axis of rotation. A housing 23 for supporting the spindle 22 is provided.

가공 이송 수단 (30) 은 척 테이블 (10A) 과 가공 수단 (20) 을 X 축 방향으로 상대 이동시키는 것이다. 예를 들어, 가공 이송 수단 (30) 은 X 축 방향으로 연장되는 도시하지 않은 볼 나사나 펄스 모터 등의 구동원을 갖고 있고, 척 테이블 (10A) 을 지지하는 도시하지 않은 X 축 이동 기대를 X 축 방향으로 이동시킨다. The machining feed means 30 relatively moves the chuck table 10A and the machining means 20 in the X-axis direction. For example, the machining feed means 30 has a driving source such as a ball screw or pulse motor (not shown) extending in the X-axis direction, and an X-axis movement base (not shown) that supports the chuck table 10A on the X-axis. move in the direction

산출 이송 수단은 척 테이블 (10A) 과 가공 수단 (20) 을 Y 축 방향으로 상대 이동시키는 것이다. 예를 들어, 산출 이송 수단은 Y 축 방향으로 연장되는 도시하지 않은 볼 나사나 펄스 모터 등의 구동원을 갖고 있고, 절입 이송 수단 (40) 을 지지하는 도시하지 않은 Y 축 이동 기대를 Y 축 방향으로 이동시킨다.The calculation transfer means relatively moves the chuck table 10A and the machining means 20 in the Y-axis direction. For example, the calculation transfer means has a drive source, such as a ball screw or a pulse motor (not shown) extending in the Y-axis direction, and moves a Y-axis movement base (not shown) that supports the infeed transfer means 40 in the Y-axis direction. move

절입 이송 수단 (40) 은 척 테이블 (10A) 의 유지면 (11a) 과 대략 직교하는 Z 축 방향으로 가공 수단 (20) 을 이동시키는 것이다. 예를 들어, 절입 이송 수단 (40) 은 Z 축 방향으로 연장되는 도시하지 않은 볼 나사나 펄스 모터 등의 구동원을 갖고 있고, 가공 수단 (20) 을 지지하는 도시하지 않은 Z 축 이동 부재를 Z 축 방향으로 이동시킨다.The cutting feed means 40 moves the machining means 20 in the Z-axis direction substantially orthogonal to the holding surface 11a of the chuck table 10A. For example, the cutting feed means 40 has a drive source, such as a ball screw or a pulse motor (not shown) extending in the Z-axis direction, and uses a Z-axis moving member (not shown) that supports the processing means 20 in the Z-axis. move in the direction

제 1 반송 수단 (50) 은 Y, Z 축 방향으로 이동 가능하도록 제 2 도어형 프레임 (4) 에 배치 형성되고, 도시하지 않은 액츄에이터에 의해서 구동된다. 여기서, 제 2 도어형 프레임 (4) 은 제 1 도어형 프레임 (3) 과 마찬가지로, 척 테이블 (10A) 의 이동 경로를 Y 축 방향으로 걸치도록 장치 본체 (2) 에 세워져 형성되어 있다. 제 1 반송 수단 (50) 은 협지 (挾持) 부 (51) 와 흡착부 (52) 를 구비하고 있다. 제 1 반송 수단 (50) 은 카세트 기구 (90) 로부터 가공 전의 피가공물 (W) 이 고정된 피가공물 유지 유닛 (U) 을 협지부 (51) 에 의해서 사이에 끼워 꺼내고, 피가공물 유지 유닛 (U) 을 1 쌍의 임시 재치용의 레일 (70) 에 임시 재치한다. 또, 제 1 반송 수단 (50) 은 레일 (70) 에 임시 재치된 피가공물 유지 유닛 (U) 을 흡착부 (52) 에 의해서 흡착 유지하여 척 테이블 (10A) 에 반송한다. 또, 제 1 반송 수단 (50) 은 세정 후의 피가공물 (W) 이 고정된 피가공물 유지 유닛 (U) 을 흡착 유지하여 레일 (70) 에 임시 재치한다.The first conveying means 50 is disposed on the second door-shaped frame 4 so as to be movable in the Y and Z axis directions, and is driven by an actuator (not shown). Here, similarly to the 1st door frame 3, the 2nd door frame 4 is formed standing up on the apparatus main body 2 so that the movement path of 10 A of chuck tables may be spanned in the Y-axis direction. The 1st conveyance means 50 is equipped with the clamping part 51 and the adsorption|suction part 52. As shown in FIG. The first conveying means 50 sandwiches the workpiece holding unit U to which the unprocessed workpiece W is fixed from the cassette mechanism 90 by the clamping portion 51 and takes it out, and the workpiece holding unit U ) is temporarily placed on a pair of rails 70 for temporary placement. Moreover, the 1st conveyance means 50 adsorbs-holds the to-be-processed object holding unit U temporarily mounted on the rail 70 by the adsorption|suction part 52, and conveys it to the chuck table 10A. Moreover, the 1st conveyance means 50 adsorbs-holds the to-be-processed object holding unit U to which the to-be-processed object W after washing|cleaning was fixed, and places it temporarily on the rail 70.

제 2 반송 수단 (60) 은 X, Y, Z 축 방향으로 이동 가능하게 제 2 도어형 프레임 (4) 에 배치 형성되고, 도시하지 않은 액츄에이터에 의해서 구동된다. 제 2 반송 수단 (60) 은, 흡착부 (61) 를 구비하고, 척 테이블 (10A) 에 유지된 가공 후의 피가공물 (W) 이 고정된 피가공물 유지 유닛 (U) 을 레일 (70) 에 임시 재치한다. 또, 제 2 반송 수단 (60) 은 레일 (70) 에 임시 재치된 가공 후의 피가공물 유지 유닛 (U) 을 흡착부 (61) 에 의해서 흡착 유지하여 세정 수단 (80) 에 반송한다.The second conveying means 60 is disposed on the second door-shaped frame 4 so as to be movable in the X, Y, and Z axis directions, and is driven by an actuator (not shown). The 2nd conveying means 60 is provided with the adsorption|suction part 61, The to-be-processed object holding unit U to which the processed to-be-processed object W hold|maintained by the chuck table 10A was fixed to the rail 70 temporarily. wit Moreover, the 2nd conveying means 60 adsorbs-holds the processed to-be-processed object holding unit U temporarily placed on the rail 70 by the adsorption|suction part 61, and conveys it to the washing|cleaning means 80.

세정 수단 (80) 은 피가공물 유지 유닛 (U) 의 피가공물 (W) 을 세정하여 건조시키는 것이다. 세정 수단 (80) 은 피가공물 유지 유닛 (U) 을 유지하는 스피너 테이블 (81) 을 구비하고 있다. 세정 수단 (80) 은 피가공물 유지 유닛 (U) 을 스피너 테이블 (81) 에 의해서 흡인 유지하여 고속으로 회전시키면서, 순수 등의 세정액을 피가공물 (W) 을 향하여 분사하여 세정하고, 청정한 에어 (압축 공기) 등을 피가공물 (W) 을 향하여 분사하여 건조시킨다.The cleaning means 80 washes and dries the workpiece W of the workpiece holding unit U. The cleaning means (80) is provided with a spinner table (81) for holding the workpiece holding unit (U). The cleaning means 80 sucks and holds the workpiece holding unit U by the spinner table 81 and rotates it at high speed, while spraying a cleaning liquid such as pure water toward the workpiece W for cleaning, clean air (compressed) air), etc., is sprayed toward the object W to dry.

카세트 기구 (90) 는 피가공물 유지 유닛 (U) 을 수용하는 것이고, 카세트 (91) 와 카세트 재치 수단 (92) 을 구비하고 있다. 예를 들어, 카세트 (91) 는 피가공물 유지 유닛 (U) 을 복수 수용하는 것이다. 카세트 (91) 는 도 2 에 나타내는 바와 같이, 반출입용의 개구부 (91a) 와, 수용 선반 (91b) 을 구비하고 있다. 카세트 (91) 의 개구부 (91a) 는 제 1 반송 수단 (50) 에 대향하도록 배치 형성되고, 제 1 반송 수단 (50) 에 의해서 피가공물 유지 유닛 (U) 이 반출입된다. 수용 선반 (91b) 은 피가공물 유지 유닛 (U) 을 지지하는 지지판 (91c) 이, 대향하는 측벽으로부터 카세트 (91) 의 폭 방향 (X 축 방향) 으로 돌출하여 복수 형성되어 있다. 지지판 (91c) 은 높이 방향 (Z 축 방향) 으로 등간격으로 배치 형성되어 있다. 높이 방향에 있어서의 지지판 (91c) 의 간격은 피가공물 유지 유닛 (U) 의 두께보다 크게 설정되어 있다. 카세트 (91) 의 폭 방향에 있어서 대향하는 1 쌍의 지지판 (91c) 은 피가공물 유지 유닛 (U) 을 수평으로 지지한다. 본 실시형태 1 에서는, 카세트 (91) 에는 본 발명에 관련된 반송 트레이 (5) 에 의해서 피가공물 (W1) 이 지지된 반송 트레이 유닛 (U1A) 이 3 장 수용되고, 종래에 관련된 환상 프레임 (F) 의 개구에 점착 테이프 (T) 를 통하여 피가공물 (W2) 이 지지된 프레임 유닛 (U2) 이 5 장 수용되어 있다.The cassette mechanism 90 accommodates the workpiece holding unit U, and includes a cassette 91 and a cassette mounting means 92 . For example, the cassette 91 accommodates a plurality of the workpiece holding units U. As shown in FIG. 2, the cassette 91 is equipped with the opening part 91a for carrying in and out, and the accommodation shelf 91b. The opening 91a of the cassette 91 is arranged to face the first conveying means 50 , and the to-be-processed object holding unit U is carried in and out by the first conveying means 50 . As for the accommodation shelf 91b, the support plate 91c which supports the to-be-processed object holding unit U projects from the opposing side wall in the width direction (X-axis direction) of the cassette 91, and is formed in multiple numbers. The support plate 91c is arrange|positioned at equal intervals in the height direction (Z-axis direction). The space|interval of the support plate 91c in the height direction is set larger than the thickness of the to-be-processed object holding unit U. A pair of supporting plates 91c opposing in the width direction of the cassette 91 supports the workpiece holding unit U horizontally. In the first embodiment, the cassette 91 accommodates three conveying tray units U1A in which the workpiece W1 is supported by the conveying tray 5 according to the present invention, and a conventional annular frame F Five frame units U2 in which the workpiece W2 is supported via the adhesive tape T are accommodated in the opening of the .

카세트 재치 수단 (92) 은 카세트 (91) 를 Z 축 방향으로 자유롭게 상하동할 수 있도록 재치하는 것이다. 카세트 재치 수단 (92) 은, 카세트 재치 영역 (92a) 과, 카세트 재치 영역 (92a) 을 Z 축 방향으로 승강시키는 도시하지 않은 승강 수단을 구비하고 있다. 카세트 재치 영역 (92a) 에는 카세트 (91) 의 개구부 (91a) 가 제 1 반송 수단 (50) 과 대향하도록 카세트 (91) 가 재치되어 있다. 카세트 재치 수단 (92) 은 카세트 재치 영역 (92a) 에 재치된 카세트 (91) 를 승강 수단에 의해서 승강시킴으로써, 제 1 반송 수단 (50) 에 의해서 피가공물 유지 유닛 (U) 이 반출입되는 위치에 카세트 (91) 를 위치 결정한다.The cassette mounting means 92 is to mount the cassette 91 so that it can vertically move freely in the Z-axis direction. The cassette mounting means 92 is provided with the cassette mounting area 92a and the raising/lowering means (not shown) which raises/lowers the cassette mounting area|region 92a in the Z-axis direction. The cassette 91 is mounted in the cassette mounting area 92a so that the opening 91a of the cassette 91 faces the first conveying means 50 . The cassette placing means 92 raises and lowers the cassette 91 placed in the cassette placing area 92a by means of the lifting means, so that the workpiece holding unit U is carried in and out of the cassette by the first carrying means 50. (91) is positioned.

반송 트레이 유닛 (U1A) 은 피가공물 (W1) 과 반송 트레이 (5) 로 구성되어 있다. 피가공물 (W1) 은 실리콘이나 갈륨과 비소 등의 기판에 반도체 디바이스가 형성되거나, 사파이어나 SiC 등의 기판에 광 디바이스가 형성되거나 한 것으로서, 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼, 무기 재료 기판, 연성 수지 재료 기판, 세라믹 기판이나 유리판 등 각종 가공 재료이다. 피가공물 (W1) 은 도 3 에 나타내는 바와 같이 사각형의 판상으로 형성되어 있다.The conveyance tray unit U1A is comprised from the to-be-processed object W1 and the conveyance tray 5. As shown in FIG. The workpiece W1 is a semiconductor device formed on a substrate such as silicon, gallium and arsenic, or an optical device formed on a substrate such as sapphire or SiC, and is a semiconductor wafer, an optical device wafer, an inorganic material substrate, or a flexible resin material. It is various processing materials, such as a board|substrate, a ceramic board|substrate, and a glass plate. The to-be-processed object W1 is formed in the square plate shape as shown in FIG.

반송 트레이 (5) 는 피가공물 (W1) 을 척 테이블 (10A) 이나 세정 수단 (80) 에 반출입할 때에 사용하는 것이다. 반송 트레이 (5) 는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 환상 프레임 (F) 과 동일한 외형으로 형성된 본체 프레임부 (5a) 를 구비하고 있다. 또한, 본체 프레임부 (5a) 의 외경은 제 1 및 제 2 반송 수단 (50, 60) 이 환상 프레임 (F) 과 동일하게 반송할 수 있고, 척 테이블 (10A) 에 의해서 유지할 수 있으면, 환상 프레임 (F) 과 완전히 동일한 외경에 한정되지 않는다. 본체 프레임부 (5a) 는 피가공물 (W1) 의 외형보다 큰 내주를 갖는 개구부 (5b) 를 구비하고 있다. 개구부 (5b) 는 피가공물 (W1) 을 고정시키는 기능을 갖고, 피가공물 (W1) 의 외형보다 약간 크게 개구된 개구 상부 (5c) 와, 개구부 (5b) 의 하방에 형성되고, 피가공물 (W1) 의 외주부를 지지하는 외주 지지부 (5d) 와, 피가공물 (W1) 의 면 방향으로의 이동을 규제하는 이동 규제부 (5e) 를 구비하고 있다.The conveyance tray 5 is used when the to-be-processed object W1 is carried in and out of the chuck table 10A or the washing|cleaning means 80. As shown in FIG. The conveyance tray 5 is provided with the main body frame part 5a formed in the same external shape as the annular frame F, as shown in FIG. In addition, if the outer diameter of the body frame part 5a can be conveyed similarly to the annular frame F by the 1st and 2nd conveying means 50 and 60, and can be hold|maintained by the chuck table 10A, an annular frame (F) is not limited to the exact same outer diameter. The body frame portion 5a has an opening 5b having an inner periphery larger than the outer shape of the workpiece W1. The opening 5b has a function of fixing the to-be-processed object W1, and is formed below the opening upper part 5c and the opening part 5b which are opened slightly larger than the external shape of the to-be-processed object W1, and is formed under the to-be-processed object W1. ), an outer peripheral support portion 5d for supporting the outer peripheral portion, and a movement regulating portion 5e for regulating the movement of the workpiece W1 in the in-plane direction.

외주 지지부 (5d) 는 개구부 (5b) 의 하부의 내주로부터 중심을 향해서 소정 길이 돌출하여 형성되어 있다. 예를 들어, 외주 지지부 (5d) 는, 본체 프레임부 (5a) 가 개구된 개구공 하부의 내주 벽면에, 내주 벽면의 둘레 방향을 따라서 일정 폭의 판상 부재가 용접이나 접착제 등에 의해서 고정되어 있다. 외주 지지부 (5d) 는 피가공물 (W1) 의 외형보다 약간 작은 개구를 형성하고 있다. 외주 지지부 (5d) 의 지지면 (5f) 에는 전역에 걸쳐서 실리콘 등의 합성 수지가 형성되어 있다. 외주 지지부 (5d) 는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 개구부 (5b) 에 재치된 피가공물 (W1) 의 하면측의 외주 영역을 지지한다.The outer peripheral support portion 5d is formed to protrude from the inner periphery of the lower portion of the opening 5b toward the center by a predetermined length. For example, as for the outer peripheral support part 5d, the plate-shaped member of a fixed width along the circumferential direction of the inner peripheral wall surface is fixed to the inner peripheral wall surface under the opening hole which the main body frame part 5a was opened by welding, an adhesive agent, etc.. The outer peripheral support part 5d forms an opening slightly smaller than the external shape of the to-be-processed object W1. Synthetic resin, such as silicone, is formed in the support surface 5f of the outer peripheral support part 5d over the whole area. The outer peripheral support part 5d supports the outer peripheral area|region on the lower surface side of the to-be-processed object W1 mounted in the opening part 5b, as shown in FIG.

이동 규제부 (5e) 는 외주 지지부 (5d) 와 본체 프레임부 (5a) 의 경계, 즉 개구부 (5b) 의 내주 벽면에 형성되어 있다. 이동 규제부 (5e) 는 본체 프레임부 (5a) 의 면 방향에 대해서 대략 수직으로 형성되어 있다. 이동 규제부 (5e) 는 개구부 (5b) 에 재치된 피가공물 (W1) 의 측면 (W1c) 에 맞닿아, 피가공물 (W1) 의 면 방향으로의 이동을 규제한다. 또한, 이동 규제부 (5e) 와 피가공물 (W1) 의 측면 (W1c) 사이에는 간극이 있지만, 피가공물 (W1) 을 가공할 때에 얼라이먼트를 실시하고 있기 때문에, 피가공물 (W1) 과 피가공물 (W1) 의 측면 (W1c) 사이에 간극이 있어도 가공시에 문제는 없다.The movement control part 5e is formed in the boundary between the outer peripheral support part 5d and the main body frame part 5a, ie, the inner peripheral wall surface of the opening part 5b. The movement regulating part 5e is formed substantially perpendicular|vertical with respect to the surface direction of the main body frame part 5a. The movement control part 5e abuts against the side surface W1c of the to-be-processed object W1 mounted in the opening part 5b, and regulates the movement in the surface direction of the to-be-processed object W1. In addition, although there is a gap between the movement control part 5e and the side surface W1c of the workpiece W1, since alignment is performed when the workpiece W1 is processed, the workpiece W1 and the workpiece W1 Even if there is a gap between the side surfaces W1c of W1), there is no problem during machining.

제어 수단은 가공 장치 (1) 의 각 구성 요소를 제어하는 것이다. 예를 들어, 제어 수단은 가공 이송 수단 (30), 산출 이송 수단, 절입 이송 수단 (40) 의 펄스 모터를 구동하는 도시하지 않은 구동 회로에 접속되고, 구동 회로를 제어하여 척 테이블 (10A) 의 X 축 방향의 위치나, 가공 수단 (20) 의 Y 축 방향 및 Z 축 방향의 위치를 결정한다.The control means controls each component of the processing apparatus 1 . For example, the control means is connected to a drive circuit (not shown) that drives the pulse motors of the machining feed means 30 , the calculation feed means and the plunging feed means 40 , and controls the drive circuit to produce the chuck table 10A. The position of the X-axis direction and the position of the Y-axis direction and Z-axis direction of the processing means 20 are determined.

다음으로, 실시형태 1 에 관련된 가공 장치의 동작예에 대해서 설명한다. 피가공물 (W) 을 가공할 경우, 먼저, 가공 장치 (1) 의 제어 수단은, 카세트 재치 수단 (92) 을 제어하고, 카세트 (91) 를 Z 축 방향으로 승강시켜 소정 위치에 위치 결정한다. 다음으로, 제어 수단은, 제 1 반송 수단 (50) 을 제어하고, 카세트 (91) 에 수용되어 있는 가공 대상의 피가공물 유지 유닛 (U), 예를 들어, 반송 트레이 유닛 (U1A) 을 꺼내어 레일 (70) 에 임시 재치한다. 예를 들어, 제 1 반송 수단 (50) 은 협지부 (51) 에 의해서 반송 트레이 유닛 (U1A) 의 본체 프레임부 (5a) 를 사이에 끼워 카세트 (91) 로부터 반송 트레이 유닛 (U1A) 을 꺼낸다.Next, an operation example of the processing apparatus according to the first embodiment will be described. When processing the to-be-processed object W, first, the control means of the processing apparatus 1 controls the cassette mounting means 92, moves the cassette 91 up and down in the Z-axis direction, and positions it at a predetermined position. Next, the control means controls the 1st conveying means 50, and takes out the to-be-processed object holding unit U accommodated in the cassette 91, for example, the conveyance tray unit U1A, and takes out the rail (70) is temporarily relocated. For example, the first conveying means 50 takes out the conveying tray unit U1A from the cassette 91 by sandwiching the body frame portion 5a of the conveying tray unit U1A with the clamping portion 51 .

다음으로, 제어 수단은 제 1 반송 수단 (50) 을 제어하고, 레일 (70) 에 임시 재치된 반송 트레이 유닛 (U1A) 을 흡착부 (52) 에 의해서 흡착 유지하여 척 테이블 (10A) 에 반송한다. 예를 들어, 제 1 반송 수단 (50) 은 도 7 에 나타내는 바와 같이, 흡착부 (52) 의 흡착 패드 (52a) 에 의해서 본체 프레임부 (5a) 의 외주부를 흡착 유지하여 척 테이블 (10A) 에 반송 트레이 유닛 (U1A) 을 반송한다. 이 때, 반송 트레이 유닛 (U1A) 의 피가공물 (W1) 은 이동 규제부 (5e) 에 의해서 면 방향의 이동이 규제되어 개구부 (5b) 에 고정되어 있다. 척 테이블 (10A) 은 유지면 (11a) 에 의해서 반송 트레이 유닛 (U1A) 을 흡인 유지한다. 그리고, 척 테이블 (10A) 은, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 흡착부 (52) 의 흡착 패드 (52a) 가 본체 프레임부 (5a) 의 외주부로부터 해방된 후, 클램프부 (12) 에 의해서 본체 프레임부 (5a) 의 외주 가장자리를 끼운다. 외주 지지부 (5d) 의 지지면 (5f) 에는 합성 수지가 형성되어 있기 때문에, 지지면 (5f) 에 의해서 지지된 피가공물 (W1) 은, 척 테이블 (10A) 의 유지면 (11a) 과 기밀 상태이다. 이로써, 피가공물 (W1) 은 유지면 (11a) 에 부압이 작용하면 외주 지지부 (5d) 를 통하여 유지면 (11a) 에 흡인 유지된다.Next, the control means controls the 1st conveyance means 50, the conveyance tray unit U1A temporarily mounted on the rail 70 is adsorbed and held by the suction part 52, and it conveys to the chuck table 10A. . For example, as shown in FIG. 7, the 1st conveying means 50 adsorbs-holds the outer peripheral part of the main body frame part 5a with the suction pad 52a of the suction part 52, and is attached to the chuck table 10A. The conveyance tray unit U1A is conveyed. At this time, the to-be-processed object W1 of the conveyance tray unit U1A is being fixed to the opening part 5b by regulating the movement in the surface direction by the movement control part 5e. The chuck table 10A suction-holds the conveyance tray unit U1A by the holding surface 11a. And, as for the chuck table 10A, as shown in FIG. 8, after the suction pad 52a of the suction part 52 is released|released from the outer periphery of the body frame part 5a, the main body frame is carried out by the clamp part 12. Fit the outer peripheral edge of the part (5a). Since synthetic resin is formed on the support surface 5f of the outer peripheral support part 5d, the workpiece W1 supported by the support surface 5f is in an airtight state with the holding surface 11a of the chuck table 10A. to be. Thereby, when a negative pressure acts on the holding surface 11a, the to-be-processed object W1 is attracted|sucked and held by the holding surface 11a via the outer peripheral support part 5d.

다음으로, 제어 수단은 척 테이블 (10A) 에 유지된 반송 트레이 유닛 (U1A) 의 피가공물 (W1) 의 얼라이먼트를 실시한다. 그리고, 제어 수단은 가공 수단 (20) 을 제어하여, 피가공물 (W1) 을 절삭 가공한다. 예를 들어, 가공 수단 (20) 은, 절삭 블레이드 (21) 에 의해서 피가공물 (W1) 을 풀 컷하지 않고, 피가공물 (W1) 의 도중까지 절삭한다. 피가공물 (W1) 의 절삭이 종료되면, 제어 수단은 제 2 반송 수단 (60) 을 제어하여, 척 테이블 (10A) 에 유지된 반송 트레이 유닛 (U1A) 을 레일 (70) 에 임시 재치한다. 그리고, 제어 수단은 제 2 반송 수단 (60) 을 제어하여, 레일 (70) 에 임시 재치된 반송 트레이 유닛 (U1A) 을 세정 수단 (80) 에 반송한다. 다음으로, 제어 수단은 세정 수단 (80) 을 제어하여, 반송 트레이 유닛 (U1A) 의 피가공물 (W1) 을 세정하여 건조시킨다. 그리고, 제어 수단은 제 1 반송 수단 (50) 을 제어하여, 세정 수단 (80) 에 의해서 피가공물 (W1) 이 세정 및 건조된 반송 트레이 유닛 (U1A) 을 레일 (70) 에 임시 재치한다. 그리고, 제어 수단은 제 1 반송 수단 (50) 및 카세트 기구 (90) 를 제어하여, 레일 (70) 에 임시 재치된 반송 트레이 유닛 (U1A) 을 카세트 (91) 의 소정 수용 선반 (91b) 에 수용한다.Next, the control means aligns the to-be-processed object W1 of the conveyance tray unit U1A hold|maintained by the chuck table 10A. And the control means controls the processing means 20, and cuts the to-be-processed object W1. For example, the processing means 20 does not cut the to-be-processed object W1 fully with the cutting blade 21, but cuts to the middle of the to-be-processed object W1. When the cutting of the to-be-processed object W1 is complete|finished, the control means controls the 2nd conveyance means 60, and the conveyance tray unit U1A hold|maintained by the chuck table 10A is temporarily mounted on the rail 70. As shown in FIG. And the control means controls the 2nd conveyance means 60, and conveys the conveyance tray unit U1A temporarily mounted on the rail 70 to the washing|cleaning means 80. Next, the control means controls the cleaning means 80 to wash and dry the to-be-processed object W1 of the conveyance tray unit U1A. And the control means controls the 1st conveyance means 50, and the conveyance tray unit U1A in which the to-be-processed object W1 was wash|cleaned and dried by the washing|cleaning means 80 is temporarily mounted on the rail 70. As shown in FIG. And the control means controls the 1st conveyance means 50 and the cassette mechanism 90, and accommodates the conveyance tray unit U1A temporarily mounted on the rail 70 in the predetermined accommodation shelf 91b of the cassette 91. do.

이상과 같이, 실시형태 1 에 관련된 반송 트레이 (5) 에 의하면, 피가공물 (W1) 의 하면측의 외주 영역을 지지하는 외주 지지부 (5d) 와, 피가공물 (W1) 의 면 방향으로의 이동을 규제하는 이동 규제부 (5e) 를 구비하는 것이다. 이로써, 피가공물 (W1) 을 완전히 분리하기 위한 풀 컷을 실시할 필요가 없을 경우, 피가공물 (W1) 을 반송 트레이 (5) 에 재치하는 것만으로 고정시킬 수 있기 때문에, 점착 테이프 (T) 를 필요 없게 할 수 있어 가공 비용을 대폭 삭감할 수 있다. 또, 종래와 같이, 점착 테이프 (T) 를 환상 프레임 (F) 에 첩부하고, 환상 프레임 (F) 에 첩부된 점착 테이프 (T) 에 피가공물 (W2) 을 첩부하여 고정시키는 작업을 생략할 수 있기 때문에, 작업의 노력을 저감할 수 있다. 또, 반송 트레이 (5) 는 종래의 환상 프레임 (F) 과 동일한 외경으로 형성되어 있기 때문에, 종래의 반송 수단을 개조하지 않고 피가공물 (W1) 을 반송할 수 있기 때문에, 도입 비용이 들지 않는다는 효과를 발휘한다.As mentioned above, according to the conveyance tray 5 which concerns on Embodiment 1, the outer peripheral support part 5d which supports the outer peripheral area on the lower surface side of the to-be-processed object W1, and the movement in the surface direction of the to-be-processed object W1 It is provided with the movement control part 5e which regulates. Thereby, when there is no need to perform a pull cut for completely separating the workpiece W1, since the workpiece W1 can be fixed only by placing it on the conveyance tray 5, the adhesive tape T It can be made unnecessary, and processing costs can be significantly reduced. In addition, as in the prior art, the operation of affixing the adhesive tape T to the annular frame F and attaching and fixing the workpiece W2 to the adhesive tape T affixed to the annular frame F can be omitted. Therefore, it is possible to reduce the work effort. Moreover, since the conveying tray 5 is formed with the same outer diameter as that of the conventional annular frame F, the to-be-processed object W1 can be conveyed without remodeling the conventional conveying means, so that introduction cost is not required. to perform

[변형예][Variation]

다음으로, 실시형태 1 의 변형예에 대해서 설명한다. 1 개의 피가공물 (W1) 을 반송 트레이 (5) 에 고정시키는 예에 대해서 설명했지만, 복수 개의 피가공물 (W1) 을 반송 트레이 (5) 에 고정시켜도 된다. 이 경우, 예를 들어, 반송 트레이 (5) 의 본체 프레임부 (5a) 에 복수 개의 개구부 (5b) 를 형성하고, 각각의 개구부 (5b) 에 피가공물 (W1) 을 고정시킨다.Next, a modified example of the first embodiment will be described. Although the example in which one to-be-processed object W1 is fixed to the conveyance tray 5 was demonstrated, you may fix the some to-be-processed object W1 to the conveyance tray 5. FIG. In this case, for example, a plurality of openings 5b are formed in the body frame portion 5a of the conveyance tray 5, and the to-be-processed object W1 is fixed to each opening 5b.

또, 외주 지지부 (5d) 는 본체 프레임부 (5a) 가 개구된 개구공 하부의 내주 벽면에, 내주 벽면의 둘레 방향을 따라서 일정 폭의 판상 부재가 용접이나 접착제 등에 의해서 고정된 별체 성형의 예를 설명했지만, 외주 지지부 (5d) 는 본체 프레임부 (5a) 와 일체 성형으로 해도 된다. 또, 외주 지지부 (5d) 와 본체 프레임부 (5a) 를 별체 성형으로 할 경우, 본체 프레임부 (5a) 에 외주 지지부 (5d) 를 강고하게 고정시키는 위해서, 본체 프레임부 (5a) 의 개구공 하부의 내주 벽면에 판상 부재의 외주 지지부 (5d) 를 끼워 맞추기 위한 오목부를 형성하고, 본체 프레임부 (5a) 의 오목부에 외주 지지부 (5d) 를 고정시켜도 된다.In addition, the outer circumferential support portion 5d is an example of separate molding in which a plate-like member of a certain width is fixed to the inner circumferential wall below the opening in which the body frame portion 5a is opened, along the circumferential direction of the inner circumferential wall, by welding or adhesive. Although demonstrated, it is good also considering the outer peripheral support part 5d integrally molding with the main body frame part 5a. Further, when the outer peripheral support portion 5d and the main frame portion 5a are formed separately, the lower part of the opening of the main frame portion 5a in order to firmly fix the outer peripheral support portion 5d to the main frame portion 5a. A concave portion for fitting the outer circumferential support portion 5d of the plate-like member may be formed on the inner peripheral wall surface of the , and the outer circumferential support portion 5d may be fixed to the concave portion of the body frame portion 5a.

[실시형태 2][Embodiment 2]

다음으로, 실시형태 2 에 관련된 피가공물의 반송 트레이의 구성예에 대해서 설명한다. 도 9 는 실시형태 2 에 관련된 반송 트레이에 피가공물을 재치한 재치예를 나타내는 단면도이다. 도 10 은 실시형태 2 에 관련된 척 테이블에 피가공물이 재치된 반송 트레이를 반입하는 반입예를 나타내는 단면도이다. 도 11 은 실시형태 2 에 관련된 척 테이블에 유지된 피가공물을 가공하는 가공예를 나타내는 단면도이다.Next, the structural example of the conveyance tray of the to-be-processed object which concerns on Embodiment 2 is demonstrated. 9 is a cross-sectional view showing a mounting example in which a workpiece is placed on a conveyance tray according to the second embodiment. It is sectional drawing which shows the carrying-in example which carries in the conveyance tray on which the to-be-processed object was mounted to the chuck table which concerns on Embodiment 2. FIG. 11 is a cross-sectional view showing a processing example of processing a workpiece held on a chuck table according to the second embodiment.

실시형태 2 에 관련된 반송 트레이 (6) 는, 원상 또한 볼록상으로 형성된 척 테이블 (10B) 에 적용 가능한 구성을 갖는 점에서 실시형태 1 과는 상이하다.The conveyance tray 6 which concerns on Embodiment 2 differs from Embodiment 1 in that it has a structure applicable to the chuck table 10B formed in circular shape and convex shape.

반송 트레이 (6) 는 피가공물 (W1) 을 볼록상의 척 테이블 (10B) 이나 세정 수단 (80) 에 반출입할 때에 사용하는 것이다. 반송 트레이 (6) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 환상 프레임 (F) 과 동일한 외형으로 형성된 본체 프레임부 (6a) 를 구비하고 있다. 또한, 본체 프레임부 (6a) 의 외경은, 제 1 및 제 2 반송 수단 (50, 60) 이 환상 프레임 (F) 과 마찬가지로 반송 트레이 (6) 를 반송할 수 있으면, 환상 프레임 (F) 과 완전히 동일한 외경에 한정되지 않는다. 본체 프레임부 (6a) 는 피가공물 (W1) 의 외형보다 큰 내주를 갖는 개구부 (6b) 를 구비하고 있다. 개구부 (6b) 는 피가공물 (W1) 을 고정시키는 기능을 갖고, 피가공물 (W1) 의 외형보다 약간 크게 개구된 개구 상부 (6c) 와, 개구부 (6b) 의 하방에 형성되어 피가공물 (W1) 의 외주부를 지지하는 외주 지지부 (6d) 와, 피가공물 (W1) 의 이동을 규제하는 이동 규제부 (6e) 를 구비하고 있다.The conveyance tray 6 is used when carrying the to-be-processed object W1 into the convex chuck table 10B or the washing|cleaning means 80. As shown in FIG. The conveyance tray 6 is equipped with the main body frame part 6a formed in the same external shape as the annular frame F, as shown in FIG. In addition, the outer diameter of the body frame part 6a is complete with the annular frame F, if the 1st and 2nd conveying means 50 and 60 can convey the conveying tray 6 similarly to the annular frame F. It is not limited to the same outer diameter. The body frame portion 6a has an opening 6b having an inner periphery larger than the outer shape of the workpiece W1. The opening 6b has a function of fixing the to-be-processed object W1, is formed below the opening part 6c and the opening upper part 6c which is slightly larger than the external shape of the to-be-processed object W1, and is formed below the opening part 6b, and the to-be-processed object W1 It is provided with the outer peripheral support part 6d which supports the outer peripheral part of , and the movement control part 6e which regulates the movement of the to-be-processed object W1.

외주 지지부 (6d) 는 개구부 (6b) 의 하부의 내주로부터 중심을 향해서 소정 길이 돌출되어 형성되어 있다. 예를 들어, 외주 지지부 (6d) 는, 본체 프레임부 (6a) 가 개구된 개구공 하부의 내주 벽면에, 내주 벽면의 둘레 방향을 따라서 일정 폭의 판상 부재가 용접이나 접착제 등에 의해서 고정되어 있다. 외주 지지부 (6d) 는 피가공물 (W1) 의 외형보다 약간 작은 개구를 형성하고 있다. 외주 지지부 (6d) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 개구부 (6b) 에 재치된 피가공물 (W1) 의 하면측의 외주 영역을 지지한다.The outer peripheral support portion 6d is formed to protrude from the inner periphery of the lower portion of the opening 6b toward the center by a predetermined length. For example, as for the outer peripheral support part 6d, the plate-shaped member of a fixed width along the circumferential direction of the inner peripheral wall surface is fixed to the inner peripheral wall surface under the opening hole which the main body frame part 6a was opened by welding, an adhesive agent, etc.. The outer peripheral support part 6d forms an opening slightly smaller than the external shape of the to-be-processed object W1. The outer peripheral support part 6d supports the outer peripheral area|region on the lower surface side of the to-be-processed object W1 mounted in the opening part 6b, as shown in FIG.

여기서, 반송 트레이 (6) 의 개구부 (6b) 에 고정된 피가공물 (W1) 을 볼록상의 척 테이블 (10B) 에 의해서 흡인 유지할 경우, 볼록상의 척 테이블 (10B) 의 유지면 (11b) 이 반송 트레이 (6) 의 개구부 (6b) 에 삽입된다. 이 때, 유지면 (11b) 이 피가공물 (W1) 의 바닥면에 직접 맞닿아 흡인 유지하기 때문에 외주 지지부 (6d) 의 지지면 (6f) 에는 합성 수지가 형성되어 있지 않아도 된다. 또, 외주 지지부 (6d) 의 폭 방향의 길이 H1 는 실시형태 1 의 외주 지지부 (5d) 의 폭 방향의 길이 H2 보다 짧게 형성되어 있다. 이것은, 볼록상의 척 테이블 (10B) 의 유지면 (11b) 은 피가공물 (W1) 을 강고하게 흡인 유지할 필요가 있기 때문에, 피가공물 (W1) 의 바닥면에 맞닿는 영역을 가능한 한 넓게 하도록 설계되어 있고, 외주 지지부 (6d) 는 그 내주를 유지면 (11b) 의 외주보다 크게 할 필요가 있기 때문이다.Here, when the to-be-processed object W1 fixed to the opening part 6b of the conveyance tray 6 is sucked and held by the convex chuck table 10B, the holding surface 11b of the convex chuck table 10B is the conveying tray It is inserted into the opening 6b of (6). At this time, since the holding surface 11b directly abuts against the bottom surface of the to-be-processed object W1 and suction-holds, the synthetic resin does not need to be formed in the support surface 6f of the outer peripheral support part 6d. Moreover, the length H1 of the width direction of the outer peripheral support part 6d is formed shorter than the length H2 of the width direction of the outer peripheral support part 5d of Embodiment 1. FIG. Since it is necessary for the holding surface 11b of the convex chuck table 10B to firmly hold the workpiece W1, it is designed to make the area in contact with the bottom surface of the workpiece W1 as wide as possible. , because the outer periphery support portion 6d needs to have its inner periphery larger than the outer periphery of the holding surface 11b.

이동 규제부 (6e) 는, 외주 지지부 (6d) 와 본체 프레임부 (6a) 의 경계, 즉 개구부 (6b) 의 내주 벽면에 형성되어 있다. 이동 규제부 (6e) 는 본체 프레임부 (6a) 의 면 방향에 대해서 대략 수직으로 형성되어 있다. 이동 규제부 (6e) 는 개구부 (6b) 에 재치된 피가공물 (W1) 의 측면 W1c 에 맞닿아, 피가공물 (W1) 의 면 방향으로의 이동을 규제한다.The movement control part 6e is formed in the boundary of the outer peripheral support part 6d and the main body frame part 6a, ie, the inner peripheral wall surface of the opening part 6b. The movement control part 6e is formed substantially perpendicular|vertical with respect to the surface direction of the body frame part 6a. The movement control part 6e abuts against the side surface W1c of the to-be-processed object W1 mounted in the opening part 6b, and regulates the movement in the surface direction of the to-be-processed object W1.

다음으로, 반송 트레이 (6) 를 사용하여 피가공물 (W1) 을 반송하는 반송예에 대해서 설명한다. 제 1 반송 수단 (50) 은, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 흡착부 (52) 의 흡착 패드 (52a) 에 의해서 본체 프레임부 (6a) 의 외주부를 흡착 유지하여 볼록상의 척 테이블 (10B) 에 반송한다. 이 때, 반송 트레이 유닛 (U1B) 의 피가공물 (W1) 은 이동 규제부 (6e) 에 의해서 면 방향의 이동이 규제되어 개구부 (6b) 에 고정되어 있다. 볼록상의 척 테이블 (10B) 은 도 11 에 나타내는 바와 같이, 유지면 (11b) 에 의해서 반송 트레이 유닛 (U1B) 의 피가공물 (W1) 만을 흡인 유지한다. 예를 들어, 반송 트레이 유닛 (U1B) 이 볼록상의 척 테이블 (10B) 에 재치될 때, 유지면 (11b) 은 반송 트레이 (6) 로부터 피가공물 (W1) 을 밀어올리고, 유지면 (11b) 이 피가공물 (W1) 의 이면에 맞닿아 피가공물 (W1) 을 흡인 유지한다. 피가공물 (W1) 이 유지면 (11b) 에 흡인 유지된 상태에서, 가공 수단 (20) 은 피가공물 (W1) 을 절삭 가공한다.Next, the conveyance example which conveys the to-be-processed object W1 using the conveyance tray 6 is demonstrated. As shown in FIG. 10, the 1st conveyance means 50 adsorbs-holds the outer peripheral part of the main body frame part 6a with the suction pad 52a of the suction part 52, and conveys it to the convex chuck table 10B. do. At this time, the to-be-processed object W1 of the conveyance tray unit U1B is being fixed to the opening part 6b by restricting the movement in the plane direction by the movement control part 6e. As shown in FIG. 11, the convex chuck table 10B sucks and holds only the to-be-processed object W1 of the conveyance tray unit U1B by the holding surface 11b. For example, when the conveying tray unit U1B is mounted on the convex chuck table 10B, the holding surface 11b pushes up the workpiece W1 from the conveying tray 6, and the holding surface 11b It abuts against the back surface of the to-be-processed object W1, and suction-holds the to-be-processed object W1. In the state in which the workpiece W1 is sucked and held by the holding surface 11b, the processing means 20 cuts the workpiece W1.

이상과 같이, 실시형태 2 에 관련된 반송 트레이 (6) 에 의하면, 실시형태 1 의 외주 지지부 (5d) 보다 폭 방향의 길이 H1 이 짧게 형성된 외주 지지부 (6d) 와, 피가공물 (W1) 의 면 방향으로의 이동을 규제하는 이동 규제부 (6e) 를 구비함으로써, 실시형태 1 과 동등한 효과를 가짐과 함께, 볼록상의 척 테이블 (10B) 에 대해서 피가공물 (W1) 을 바람직하게 반송할 수 있다. 예를 들어, 피가공물 (W1) 을 강고하게 흡인 유지할 필요가 있기 때문에, 피가공물 (W1) 의 바닥면에 맞닿는 영역을 가능한 한 넓게 하도록 유지면 (11b) 이 설계되어 있을 경우에, 외주 지지부 (6d) 가 유지면 (11b) 에 걸리지 않고, 볼록상의 척 테이블 (10B) 에 피가공물 (W1) 을 반입할 수 있다.As mentioned above, according to the conveyance tray 6 which concerns on Embodiment 2, the outer peripheral support part 6d in which the length H1 in the width direction was formed shorter than the outer peripheral support part 5d of Embodiment 1, and the surface direction of the to-be-processed object W1. By providing the movement control part 6e which restricts the movement to a pole, while having an effect equivalent to Embodiment 1, the to-be-processed object W1 can be conveyed suitably with respect to the convex chuck table 10B. For example, since it is necessary to strongly suction and hold the workpiece W1, when the holding surface 11b is designed to make the area in contact with the bottom surface of the workpiece W1 as wide as possible, the outer peripheral support part ( 6d) is not caught on the holding surface 11b, and the to-be-processed object W1 can be carried in to the convex chuck table 10B.

[변형예][Variation]

다음으로, 실시형태 2 의 변형예에 대해서 설명한다. 외주 지지부 (6d) 는, 본체 프레임부 (6a) 가 개구된 개구공 하부의 내주 벽면에, 내주 벽면의 둘레 방향을 따라서 일정 폭의 판상 부재가 용접이나 접착제 등에 의해서 고정된 별체 성형의 예를 설명했지만, 외주 지지부 (6d) 는 본체 프레임부 (6a) 와 일체 성형으로 해도 된다. 또, 외주 지지부 (6d) 와 본체 프레임부 (6a) 를 별체 성형으로 할 경우, 본체 프레임부 (6a) 에 외주 지지부 (6d) 를 강고하게 고정시키기 위해서, 본체 프레임부 (6a) 의 개구공 하부의 내주 벽면에 판상 부재의 외주 지지부 (6d) 를 끼워 맞추기 위한 오목부를 형성하여 본체 프레임부 (6a) 의 오목부에 외주 지지부 (6d) 를 고정시켜도 된다.Next, a modified example of the second embodiment will be described. The outer circumferential support portion 6d is an example of separate molding in which a plate-like member of a certain width is fixed to the inner circumferential wall below the opening in which the main frame portion 6a is opened, along the circumferential direction of the inner circumferential wall, by welding, adhesive, or the like. However, the outer peripheral support portion 6d may be integrally formed with the body frame portion 6a. Further, when the outer peripheral support portion 6d and the main frame portion 6a are formed separately, the lower part of the opening of the main frame portion 6a in order to firmly fix the outer peripheral support portion 6d to the main frame portion 6a. A recess for fitting the outer circumferential support portion 6d of the plate-like member may be formed on the inner circumferential wall surface of the .

1 : 가공 장치
5, 6 : 반송 트레이
5a, 6a : 본체 프레임부
5b, 6b : 개구부
5d, 6d : 외주 지지부
5e, 6e : 이동 규제부
10A : 척 테이블
10B : 볼록상의 척 테이블
11a, 11b : 유지면
50 : 제 1 반송 수단
60 : 제 2 반송 수단
91 : 카세트
92 : 카세트 재치 수단
W (W1, W2) : 피가공물
U : 피가공물 유지 유닛
U1A, U1B : 반송 트레이 유닛
U2 : 프레임 유닛1: processing device
5, 6: transport tray
5a, 6a: body frame part
5b, 6b: opening
5d, 6d: outer peripheral support
5e, 6e: movement control unit
10A: chuck table
10B: convex chuck table
11a, 11b: holding surface
50: first conveying means
60: second conveying means
91: cassette
92: cassette holding means
W (W1, W2) : Workpiece
U: Workpiece holding unit
U1A, U1B : Transfer tray unit
U2 : frame unit

Claims (2)

환상 프레임의 개구에 점착 테이프를 통하여 피가공물이 지지된 프레임 유닛의 피가공물을 유지하는 유지면을 구비하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지되는 피가공물을 가공하는 가공 수단과, 그 프레임 유닛을 복수 수용하는 카세트를 재치하는 카세트 재치 영역과, 그 카세트 재치 영역에 재치된 그 카세트와 그 척 테이블 사이에서 그 환상 프레임을 지지하여 그 프레임 유닛을 반송하는 반송 수단을 구비하는 가공 장치이고, 판상의 피가공물을 그 척 테이블에 반출입할 때에 사용하는 반송 트레이로서,
그 판상의 피가공물의 외형보다 큰 내주를 구비하는 환상의 본체 프레임부와,
그 본체 프레임부의 내주로부터 중심을 향하여 돌출하고, 피가공물의 하면측의 외주 영역을 지지하는 외주 지지부와,
그 본체 프레임부와 그 외주 지지부의 경계에 형성되고, 재치된 피가공물의 면 방향으로의 이동을 규제하는 이동 규제부를 구비하고, 그 본체 프레임부는, 그 환상 프레임과 동일한 외경으로 형성되고, 그 카세트에 수용 가능한 것을 특징으로 하는 피가공물의 반송 트레이.A chuck table having a holding surface for holding a work piece of a frame unit on which a work piece is supported through an adhesive tape through an opening of the annular frame, a machining means for machining the work piece held on the chuck table, and the frame unit; A processing apparatus comprising: a cassette mounting area for placing a plurality of cassettes; and conveying means for supporting the annular frame and conveying the frame unit between the cassette mounted on the cassette mounting area and the chuck table, A conveying tray used to carry a workpiece into and out of the chuck table, comprising:
An annular body frame portion having an inner periphery larger than the outer shape of the plate-shaped workpiece;
an outer peripheral support portion protruding toward the center from the inner periphery of the body frame portion and supporting an outer peripheral region on the lower surface side of the workpiece;
a movement regulating portion formed at a boundary between the main frame portion and the outer peripheral support portion and regulating movement in the in-plane direction of a mounted workpiece, the main frame portion having the same outer diameter as the annular frame, the cassette The conveyance tray of the to-be-processed object characterized by the above-mentioned. 삭제delete
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