KR102174535B1 - 처리액 공급 장치, 기판 처리 장치, 및 처리액 공급 방법 - Google Patents

처리액 공급 장치, 기판 처리 장치, 및 처리액 공급 방법 Download PDF

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아유미 히구치
에리 후지타
요시유키 후지타니
마사코 마노
유스케 다케마쓰
요스케 오쿠야
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

처리액 공급 장치는, 기판을 처리하는 처리 유닛에 처리액을 공급한다. 처리액 공급 장치는, 처리액을 저류하는 처리액 탱크 내의 처리액이 보내지고, 상기 처리액 탱크로부터 보내진 처리액을 상기 처리 유닛에 공급하는 공급 배관과, 상기 공급 배관에 분기 접속되고, 상기 공급 배관 내의 처리액을 상기 처리액 탱크로 되돌리는 리턴 배관과, 상기 공급 배관에 있어서 상기 리턴 배관이 접속되어 있는 분기 위치보다 상류측에 설정된 상류측 피가열 부분 내의 처리액을 가열하는 제1 가열 유닛과, 상기 공급 배관에 있어서 상기 분기 위치보다 하류측에 설정된 하류측 피가열 부분 내의 처리액을 가열하는 제2 가열 유닛과, 상기 리턴 배관에 설정된 피냉각 부분 내의 처리액을 냉각하는 냉각 유닛과, 상기 상류측 피가열 부분보다 상류측에서 상기 공급 배관에 개재하여 설치되고, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제1 필터를 포함한다.

Description

처리액 공급 장치, 기판 처리 장치, 및 처리액 공급 방법{PROCESSING LIQUID SUPPLYING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND PROCESSING LIQUID SUPPLYING METHOD}
이 출원은 2017년 10월 26일 제출한 일본 특허 출원 2017-207343 호에 기초한 우선권을 주장하며, 이 출원의 전체 내용은 여기에 인용에 의해 통합되는 것으로한다.
이 발명은, 기판을 처리하는 처리 유닛에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치, 당해 처리액 공급 장치를 구비한 기판 처리 장치, 및, 당해 처리액 공급 장치 및 당해 기판 처리 장치를 이용한 처리액 공급 방법에 관한 것이다.
처리 대상이 되는 기판에는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼, 액정 표시 장치용 기판, 유기 EL(Electroluminescence) 표시 장치 등의 FPD(Flat Panel Display)용 기판, 광디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판, 태양 전지용 기판 등의 기판이 포함된다.
기판 처리에 이용되는 처리액 중에는, 파티클이 존재한다. 그로 인해, 처리액을 기판의 표면에 공급하기 전에, 처리액 중으로부터 파티클을 제거해야 한다. 한편, 기판의 표면을 효율적으로 처리하기 위해서, 가열한 처리액을 기판의 표면에 공급하는 것이 요망되는 경우가 있다.
그래서, 미국 특허 출원 공개 제2016/247697호 명세서에 기재된 처리액 공급 시스템에서는, 약액 탱크로부터 처리 유닛을 향해 보내진 약액(처리액)이 통과하는 약액 유로에, 히터 및 필터가 설치되어 있다.
필터에는, 다수의 구멍이 형성되어 있다. 이 구멍의 직경(포어 직경)보다 큰 입경의 파티클이 필터에 의해서 포착된다. 이에 의해, 처리액 중으로부터 파티클이 제거된다. 포어 직경이 파티클의 입경보다 크면 파티클은, 필터에 의해서 포착되지 않고 필터를 통과한다.
미국 특허 출원 공개 제2016/247697호 명세서에 기재된 처리액 공급 시스템에서는, 약액 유로를 통과하는 약액의 일부는, 순환 유로를 통해 탱크에 되돌려진다. 그로 인해, 히터에 의해서 가열된 약액이 필터를 통과한다. 이 가열된 약액에 의해서 필터가 가열된다. 이에 의해, 필터가 팽창해, 필터에 설치된 구멍의 포어 직경이 확대된다. 따라서, 필터에 의해서 포착되지 않고 필터를 통과하는 파티클의 수가 증대할 우려가 있다. 그 때문에, 기판의 표면에서 관측되는 파티클의 수가 증대할 우려가 있다.
그래서, 이 발명의 하나의 목적은, 파티클이 충분히 제거되고, 또한, 충분히 가열된 처리액을 처리 유닛에 공급할 수 있는 처리액 공급 장치, 기판 처리 장치 및 처리액 공급 방법을 제공하는 것이다.
이 발명은, 기판을 처리하는 처리 유닛에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치로서, 처리액을 저류하는 처리액 탱크 내의 처리액이 보내지고, 상기 처리액 탱크로부터 보내진 처리액을 상기 처리 유닛에 공급하는 공급 배관과, 상기 공급 배관에 분기 접속되고, 상기 공급 배관 내의 처리액을 상기 처리액 탱크로 되돌리는 리턴 배관과, 상기 공급 배관에 있어서 상기 리턴 배관이 접속되어 있는 분기 위치보다 상류측에 설정된 상류측 피가열 부분 내의 처리액을 가열하는 제1 가열 유닛과, 상기 공급 배관에 있어서 상기 분기 위치보다 하류측에 설정된 하류측 피가열 부분 내의 처리액을 가열하는 제2 가열 유닛과, 상기 리턴 배관에 설정된 피냉각 부분 내의 처리액을 냉각하는 냉각 유닛과, 상기 상류측 피가열 부분보다 상류측에서 상기 공급 배관에 개재하여 설치되고, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제1 필터를 포함하는, 처리액 공급 장치를 제공한다.
이 장치에 의하면, 제1 필터는, 상류측 피가열 부분보다 상류측에서 공급 배관에 개재하여 설치되어 있다. 그로 인해, 처리액 탱크로부터 공급 배관에 보내진 처리액은, 제1 가열 유닛에 의해서 가열되기 전에 제1 필터를 통과한다.
또, 공급 배관을 통과하는 처리액은, 리턴 배관을 통해 처리액 탱크로 되돌려진다. 즉, 처리액 탱크 내의 처리액은, 공급 배관 및 리턴 배관을 통과해 순환한다. 그 때, 처리액은, 공급 배관의 상류측 피가열 부분을 통과할 때에 제1 가열 유닛에 의해서 가열되고, 리턴 배관의 피냉각 부분을 통과할 때에 냉각 유닛에 의해서 냉각된다. 그로 인해, 처리액은, 공급 배관 및 리턴 배관을 통과해 순환할 때, 충분히 냉각된 상태로 제1 필터를 통과한다. 따라서, 처리액이 공급 배관 및 리턴 배관을 통과해 순환함으로써, 처리액 중의 파티클을 충분히 제거할 수 있다.
한편, 공급 배관으로부터 처리 유닛을 향하는 처리액은, 상류측 피가열 부분을 통과할 때에 제1 가열 유닛에 의해서 가열된 후에, 하류측 피가열 부분을 통과할 때에 제2 가열 유닛에 의해서 더 가열된다. 따라서, 처리액은, 처리 유닛에 도달할 때까지, 제1 가열 유닛 및 제2 가열 유닛에 의해서 충분히 가열된다.
이상에 의해, 파티클이 충분히 제거되고, 또한, 충분히 가열된 처리액을 처리 유닛에 공급할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 처리액 공급 장치가, 상기 분기 위치보다 하류측에서 상기 공급 배관에 개재하여 설치되고, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제2 필터를 더 포함한다. 가열된 처리액이 분기 위치를 통과함으로써 분기 위치가 가열되어 파티클이 발생하는 경우가 있다. 이러한 경우에도, 제2 필터에 의해서 당해 파티클을 제거할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 처리액 공급 장치가, 상기 분기 위치보다 하류측에 있어서 상기 공급 배관에 개재하여 설치된 개폐 밸브를 더 포함한다. 그리고, 상기 제2 필터가, 상기 개폐 밸브보다 상류측에서 상기 공급 배관에 개재하여 설치되어 있다.
개폐 밸브가 닫힌 상태(닫힘 상태)에서는, 처리액 탱크 내의 처리액은, 처리 유닛에는 공급되지 않고, 공급 배관 및 리턴 배관을 통해 순환한다. 그 때문에, 처리액을 처리 유닛에 공급하기 전에, 제1 필터에 의해서 처리액으로부터 파티클을 한층 제거할 수 있다.
한편, 개폐 밸브가 열린 상태(열림 상태)에서는, 처리액 탱크 내의 처리액은, 공급 배관을 통해 처리 유닛에 공급된다. 일반적으로, 처리액의 유량은, 처리액이 필터를 통과함으로써 저감된다. 그래서, 공급 배관에 있어서 개폐 밸브보다 상류측에 제2 필터를 배치함으로써, 제2 필터가 처리 유닛에 공급되는 처리액의 유량에 부여하는 영향을 저감할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 처리액 공급 장치가, 상기 분기 위치보다 하류측에 있어서 상기 공급 배관에 개재하여 설치된 개폐 밸브를 더 포함한다. 그리고, 상기 제2 필터가, 상기 개폐 밸브보다 하류측에서 상기 공급 배관에 개재하여 설치되어 있다.
개폐 밸브가 닫힌 상태(닫힘 상태)에서는, 처리액 탱크 내의 처리액은, 처리 유닛에는 공급되지 않고, 공급 배관 및 리턴 배관을 통해 순환한다. 그로 인해, 처리액을 처리 유닛에 공급하기 전에, 제1 필터에 의해서 처리액으로부터 파티클을 한층 제거할 수 있다.
한편, 개폐 밸브가 열린 상태(열림 상태)에서는, 처리액 탱크 내의 처리액은, 공급 배관을 통해 처리 유닛에 공급된다. 제2 필터는, 공급 배관에 있어서 개폐 밸브보다 하류측에 위치하고 있다. 그로 인해, 개폐 밸브를 처리액이 통과할 때에 파티클이 발생해도, 제2 필터에 의해서, 당해 파티클이 제거된다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 처리액 공급 장치가, 상기 상류측 피가열 부분보다 하류측에서, 또한, 상기 분기 위치보다 상류측에서 상기 공급 배관에 개재하여 설치되고, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제3 필터를 더 포함한다. 가열된 처리액이 공급 배관을 통과함으로써 공급 배관을 구성하는 성분이 처리액에 용출되고, 이에 의해서 파티클이 발생하는 경우가 있다. 이러한 경우에도, 제3 필터에 의해서 당해 파티클을 제거할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 처리액 공급 장치가, 상기 피냉각 부분보다 상류측에서 상기 리턴 배관에 개재하여 설치되고, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제4 필터를 더 포함한다. 여기서, 가열된 처리액이 리턴 배관을 통과함으로써 리턴 배관을 구성하는 성분이 처리액에 용출되고, 이에 의해서 파티클이 발생하는 경우가 있다.
그 때문에, 제1 가열 유닛에 의해서 가열된 처리액이 리턴 배관을 통과할 때에 처리액 중에 파티클이 발생한 경우에도, 제4 필터에 의해서 당해 파티클을 제거할 수 있다. 또, 제4 필터는, 공급 배관보다 하류측의 리턴 배관에 개재하여 설치되어 있기 때문에, 공급 배관에 개재하여 설치된 필터에 비해, 처리액 탱크의 오염을 효과적으로 억제할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 처리액 공급 장치가, 상기 피냉각 부분보다 하류측에서 상기 리턴 배관에 개재하여 설치되고, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제5 필터를 더 포함한다. 그로 인해, 처리액이 리턴 배관의 피냉각 부분을 통과할 때에 파티클이 발생한 경우에도, 제5 필터에 의해서 처리액 중의 파티클이 충분히 제거된다. 또, 제5 필터는, 피냉각 부분보다 하류측에서 리턴 배관에 개재하여 설치되어 있기 때문에, 처리액 탱크의 오염을 한층 효과적으로 억제할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 제1 가열 유닛이, 상기 상류측 피가열 부분의 외주면에 대향하는 내주면을 갖는 제1 통형상 배관과, 상기 상류측 피가열 부분의 외주면과 상기 제1 통형상 배관의 내주면 사이에 가열 유체를 공급하는 제1 가열 유체 공급 유닛을 포함한다.
이 구성에 의하면, 공급 배관의 상류측 피가열 부분의 외주면과 제1 통형상 배관의 내주면 사이에 가열 유체가 공급된다. 그로 인해, 가열 유체에 의해서, 상류측 피가열 부분이 둘러싸인다. 따라서, 상류측 피가열 부분을 흐르는 처리액을 고르게 가열할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 제2 가열 유닛이, 상기 하류측 피가열 부분의 외주면에 대향하는 내주면을 갖는 제2 통형상 배관과, 상기 하류측 피가열 부분의 외주면과 상기 제2 통형상 배관의 내주면 사이에 가열 유체를 공급하는 제2 가열 유체 공급 유닛을 포함한다.
이 구성에 의하면, 공급 배관의 하류측 피가열 부분의 외주면과 제2 통형상 배관의 내주면 사이에 가열 유체가 공급된다. 그로 인해, 가열 유체에 의해서, 하류측 피가열 부분이 둘러싸인다. 따라서, 하류측 피가열 부분을 흐르는 처리액을 고르게 가열할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 제1 가열 유닛이, 상기 공급 배관의 상기 상류측 피가열 부분에 배치된 제1 히터를 포함하고 있어도 된다. 또, 상기 제2 가열 유닛이, 상기 공급 배관의 상기 하류측 피가열 부분에 배치된 제2 히터를 포함하고 있어도 된다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 냉각 유닛이, 상기 리턴 배관의 상기 피냉각 부분의 외주면에 대향하는 내주면을 갖는 제3 통형상 배관과, 상기 피냉각 부분의 외주면과 상기 제3 통형상 배관의 내주면 사이에 냉각 유체를 공급하는 냉각 유체 공급 유닛을 포함한다.
이 구성에 의하면, 리턴 배관의 외주면과 제2 통형상 배관의 내주면 사이에 냉각 유체가 공급된다. 그로 인해, 냉각 유체에 의해서, 피냉각 부분이 둘러싸인다. 따라서, 피냉각 부분을 흐르는 처리액을 고르게 냉각할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 처리액 공급 장치가, 상기 분기 위치보다 상류측에 있어서 상기 공급 배관에 분기 접속되고, 상기 처리 유닛과는 다른 처리 유닛에 처리액을 공급하는 분기 공급 배관과, 상기 분기 공급 배관에 설정된 피가열 부분을 가열하는 분기 가열 유닛을 더 포함한다.
이 구성에 의하면, 복수의 처리 유닛에 처리액을 공급할 수 있다. 분기 공급 배관을 통과해 처리 유닛에 공급되는 처리액은, 피가열 부분을 통과할 때에 분기 가열 유닛에 의해서 가열된다. 따라서, 처리액은, 당해 처리 유닛에 도달할 때까지, 제1 가열 유닛 및 분기 가열 유닛에 의해서 충분히 가열된다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 상기 처리액 공급 장치와, 상기 처리 유닛을 포함하는, 기판 처리 장치를 제공한다. 이 구성에 의하면, 상술한 바와 동일한 효과를 발휘할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 처리액을 저류하는 처리액 탱크 내의 처리액을 공급 배관을 통해 처리 유닛에 공급하는 공급 공정과, 상기 공급 배관에 분기 접속된 리턴 배관을 통해 상기 공급 배관 내의 처리액을 상기 처리액 탱크로 되돌림으로써, 상기 처리액 탱크 내의 처리액을 상기 공급 배관 및 상기 리턴 배관을 통과시켜 순환시키는 순환 공정과, 상기 공급 배관에 있어서 상기 리턴 배관이 접속되어 있는 분기 위치보다 상류측에 설정된 상류측 피가열 부분 내의 처리액을 가열하는 제1 가열 공정과, 상기 리턴 배관에 설정된 피냉각 부분 내의 처리액을 냉각하는 냉각 공정과, 상기 상류측 피가열 부분보다 상류측에 있어서 상기 공급 배관에 개재하여 설치된 필터에 의해서, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제거 공정과, 상기 공급 배관에 있어서 상기 분기 위치보다 하류측에 설정된 하류측 피가열 부분 내의 처리액을 가열하는 제2 가열 공정을 포함하는, 처리액 공급 방법을 제공한다.
이 방법에 의하면, 처리액 탱크 내의 처리액은, 상류측 피가열 부분보다 상류측에 있어서 공급 배관에 개재하여 설치된 필터를 통과한 후, 처리 유닛에 공급된다. 즉, 처리액은, 제1 가열 유닛에 의해서 가열되기 전에 필터를 통과한다.
또, 처리액은, 공급 배관 및 리턴 배관을 통해 순환할 때, 공급 배관의 상류측 피가열 부분을 통과할 때에 제1 가열 유닛에 의해서 가열되고, 리턴 배관의 피냉각 부분을 통과할 때에 냉각 유닛에 의해서 냉각된다. 그로 인해, 처리액은, 충분히 냉각된 상태로 필터를 통과한다. 따라서, 처리액이 공급 배관 및 리턴 배관을 통과해 순환함으로써, 처리액 중의 파티클을 충분히 제거할 수 있다.
한편, 공급 배관으로부터 처리 유닛을 향하는 처리액은, 상류측 피가열 부분을 통과할 때에 제1 가열 유닛에 의해서 가열된 후에, 하류측 피가열 부분을 통과할 때에 제2 가열 유닛에 의해서 더 가열된다. 따라서, 처리액은, 처리 유닛에 도달할 때까지는, 제1 가열 유닛 및 제2 가열 유닛에 의해서 충분히 가열된다.
이상에 의해, 파티클이 충분히 제거되고, 또한, 충분히 가열된 처리액을 처리 유닛에 공급할 수 있다.
본 발명에 있어서의 상술한, 또는 또 다른 목적, 특징 및 효과는, 첨부 도 면을 참조하여 다음에 기술하는 실시형태의 설명에 의해 밝혀진다.
도 1은, 이 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 구비된 처리액 공급 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 2a는, 상기 처리액 공급 장치에 구비된 개폐 밸브의 구성예를 설명하기 위한 도해적인 단면도이며, 열림 상태의 상기 개폐 밸브를 나타내고 있다.
도 2b는, 상기 처리액 공급 장치에 구비된 개폐 밸브의 구성예를 설명하기 위한 도해적인 단면도이며, 열림 상태와 닫힘 상태 사이의 상태의 상기 개폐 밸브를 나타내고 있다.
도 2c는, 상기 처리액 공급 장치에 구비된 개폐 밸브의 구성예를 설명하기 위한 도해적인 단면도이며, 닫힘 상태의 상기 개폐 밸브를 나타내고 있다.
도 3은, 상기 처리액 공급 장치의 주요부의 전기적 구성을 설명하기 위한 블럭도이다.
도 4는, 이 발명의 제2 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 구비된 처리액 공급 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 5는, 이 발명의 제3 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 구비된 처리액 공급 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 6은, 이 발명의 제4 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 구비된 처리액 공급 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 7은, 이 발명의 제5 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 구비된 처리액 공급 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 8은, 이 발명의 제6 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 구비된 처리액 공급 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 9a는, 제6 실시형태에 따른 처리액 공급 장치에 구비된 제1 통형상 배관의 주변의 단면도이다.
도 9b는, 제6 실시형태에 따른 처리액 공급 장치에 구비된 제2 통형상 배관의 주변의 단면도이다.
도 9c는, 제6 실시형태에 따른 처리액 공급 장치에 구비된 제3 통형상 배관의 주변의 단면도이다.
도 9d는, 제6 실시형태에 따른 처리액 공급 장치에 구비된 분기 통형상 배관의 주변의 단면도이다.
도 1은, 이 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)에 구비된 처리액 공급 장치(3)의 구성을 나타내는 모식도이다. 기판 처리 장치(1)는, 실리콘 웨이퍼 등의 기판(W)을 한 장씩 처리하는 매엽식 장치이다. 이 실시형태에서는, 기판(W)은, 원판형상의 기판이다.
기판 처리 장치(1)는, 처리액으로 기판(W)을 처리하는 처리 타워(2)와, 처리 타워(2)에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치(3)와, 처리 타워(2)에 처리액을 공급하기 위한 배관을 수용하는 유체 유닛(4)과, 기판 처리 장치(1)를 제어하는 컨트롤러(5)(후술하는 도 3 참조)를 포함한다.
처리 타워(2)는, 상하로 적층된 복수(이 실시형태에서는 4개)의 처리 유닛(6)을 포함한다. 복수의 처리 유닛(6)은, 예를 들어, 동일한 구성을 갖고 있다. 복수의 처리 유닛(6)을 구별할 때에는, 가장 상방에 배치되어 있는 처리 유닛(6)을 처리 유닛(6A)이라 하고, 처리 유닛(6A)에 하방으로부터 인접하는 처리 유닛(6)을 처리 유닛(6B)이라 하고, 처리 유닛(6B)에 하방으로부터 인접하는 처리 유닛(6)을 처리 유닛(6C)이라 하고, 처리 유닛(6C)에 하방으로부터 인접하는 처리 유닛(6)을 처리 유닛(6D)이라 한다.
처리액에는, 약액, 린스액 및 유기용제 등이 포함된다. 약액은, 예를 들어, 불산(불화수소수:HF)이다. 물론, 약액은, 불산으로 한정되지 않고, 황산, 아세트산, 질산, 염산, 불산, 버퍼드불산(BHF), 희불산(DHF), 암모니아수, 과산화수소수, 유기산(예를 들어, 구연산, 옥살산 등), 유기 알칼리(예를 들어, TMAH:테트라메틸암모늄하이드로옥사이드 등), 계면활성제, 부식 방지제 중 적어도 1개를 포함하는 액이어도 된다. 이들을 혼합한 약액의 예로는, SPM(황산과산화수소수 혼합액), SC1(암모니아과산화수소수 혼합액), SC2(염산과산화수소수 혼합액) 등을 들 수 있다.
린스액이란, 예를 들어, 탈이온수(Deionized Water:DIW)이다. 린스액은, DIW로 한정되지 않고, 탄산수, 전해 이온수, 오존수, 희석 농도(예를 들어, 10ppm~100ppm 정도)의 염산수, 암모니아수, 환원수(수소수)여도 된다.
유기용제란, 예를 들어, IPA(이소프로필알코올)이다. 유기용제는, IPA로 한정되지 않는다. 구체적으로는, 유기용제는, IPA, HFE(하이드로플루오로에테르), 메탄올, 에탄올, 아세톤 및 Trans-1,2-디클로로에틸렌 중 적어도 1개를 포함하는 액이어도 된다. 또, 유기용제는 단체(單體) 성분만으로 이루어질 필요는 없고, 다른 성분과 혼합한 액체여도 된다. 예를 들어, IPA액과 순수의 혼합액이어도 되고, IPA액과 HFE액의 혼합액이어도 된다.
처리 유닛(6)은, 스핀 척(10)과, 컵(11)과, 처리액 노즐(12)과, 처리 챔버(13)를 포함한다. 스핀 척(10)은, 한 장의 기판(W)을 수평의 자세로 유지하면서 기판(W)의 중앙부를 통과하는 연직의 회전축선(A1) 둘레로 기판(W)을 회전시킨다. 컵(11)은, 스핀 척(10)을 둘러싸고, 기판(W)으로부터 비산하는 처리액을 받는다. 처리액 노즐(12)은, 기판(W)의 상면에 처리액을 공급한다. 처리 챔버(13)는, 스핀 척(10), 컵(11) 및 처리액 노즐(12)을 수용한다.
스핀 척(10)은, 복수의 척 핀(15)과, 스핀 베이스(16)와, 회전축(17)과, 전동 모터(18)를 포함한다. 복수의 척 핀(15)은, 스핀 베이스(16)의 상면에 둘레방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. 복수의 척 핀(15)은, 기판(W)이 스핀 베이스(16)와 일체 회전 가능하도록, 기판(W)을 파지한다. 회전축(17)은, 회전축선(A1)을 따라서 연직 방향으로 연장되어 있다. 회전축(17)의 상단은, 스핀 베이스(16)의 하면 중앙에 결합되어 있다. 전동 모터(18)는, 회전축(17)에 회전력을 부여함으로써, 스핀 베이스(16) 및 기판(W)을 회전시킨다.
처리액 공급 장치(3)는, 처리액을 저류하는 처리액 탱크(20)와, 처리액 탱크(20)로부터 보내진 처리액을 처리 유닛(6A)에 공급하는 공급 배관(21)과, 공급 배관(21) 내의 처리액을 처리액 탱크(20)로 되돌리는 리턴 배관(22)을 포함한다.
공급 배관(21)의 상류단은, 처리액 탱크(20)에 접속되어 있다. 공급 배관(21)의 하류단은, 처리 유닛(6A)의 처리액 노즐(12)에 접속되어 있다.
리턴 배관(22)의 상류단은, 리턴 배관 분기 위치(B)에 있어서 공급 배관(21)에 분기 접속되어 있다. 리턴 배관(22)의 하류단은, 처리액 탱크(20)에 접속되어 있다.
처리액 탱크(20)는, 유체 유닛(4)에 인접하는 캐비넷(7)에 수용되어 있다. 처리액 탱크(20)에는, 공급 배관(21) 및 리턴 배관(22) 외에, 처리액 공급원(100)으로부터 처리액 탱크(20)에 처리액을 공급하기 위한 배관(101)이 접속되어 있다. 배관(101)에는, 처리액 중의 금속 이온을 제거하는 메탈 제거 필터(102)가 개재하여 설치되어 있다. 메탈 제거 필터(102)는, 예를 들어, PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) 친수막과 이온 교환막을 여과막으로서 포함한다. PTFE 친수막은, PTFE제의 기재의 표면을 친수화한 막이다.
공급 배관(21) 및 리턴 배관(22)은, 캐비넷(7)과 유체 유닛(4)에 걸쳐서 연장되어 있다. 공급 배관(21)은, 리턴 배관 분기 위치(B)보다 상류측의 제1 배관(21A)과, 리턴 배관 분기 위치(B)보다 하류측의 제2 배관(21B)을 포함한다. 리턴 배관 분기 위치(B)에는, 제1 배관(21A)의 하류단과, 제2 배관(21B)의 상류단과, 리턴 배관(22)의 상류단이 접속된 조인트(접속부)(26)가 설치되어 있다.
처리액 공급 장치(3)는, 리턴 배관 분기 위치(B)보다 상류측에 있어서 공급 배관(21)에 분기 접속된 복수의 분기 공급 배관(23~25)(제1 분기 공급 배관(23), 제2 분기 공급 배관(24) 및 제3 분기 공급 배관(25))을 더 포함한다.
분기 공급 배관(23~25)은, 처리 유닛(6A)과는 다른 처리 유닛(6B~6D)에 처리액을 공급한다. 구체적으로는, 제1 분기 공급 배관(23)은, 공급 배관(21) 내의 처리액을 처리 유닛(6B)에 공급한다. 제1 분기 공급 배관(23)의 상류단은, 리턴 배관 분기 위치(B)보다 상류측의 제1 공급 배관 분기 위치(C1)에 있어서 공급 배관(21)에 접속되어 있다. 제1 분기 공급 배관(23)의 하류단은, 처리 유닛(6B)의 처리액 노즐(12)에 접속되어 있다.
제2 분기 공급 배관(24)은, 공급 배관(21) 내의 처리액을 처리 유닛(6C)에 공급한다. 제2 분기 공급 배관(24)의 상류단은, 제1 공급 배관 분기 위치(C1)보다 상류측의 제2 공급 배관 분기 위치(C2)에 있어서 공급 배관(21)에 접속되어 있다. 제2 분기 공급 배관(24)의 하류단은, 처리 유닛(6C)의 처리액 노즐(12)에 접속되어 있다.
제3 분기 공급 배관(25)은, 공급 배관(21) 내의 처리액을 처리 유닛(6D)에 공급한다. 제3 분기 공급 배관(25)의 상류단은, 제2 공급 배관 분기 위치(C2)보다 상류측의 제3 공급 배관 분기 위치(C3)에 있어서 공급 배관(21)에 접속되어 있다. 제3 분기 공급 배관(25)의 하류단은, 처리 유닛(6D)의 처리액 노즐(12)에 접속되어 있다.
처리액 공급 장치(3)는, 펌프(30)와, 상류측 히터(31)와, 하류측 히터(32)와, 냉각기(33)와, 제1 필터(34)와, 개폐 밸브(35)와, 복수의 분기 배관 히터(36)와, 복수의 분기 배관 개폐 밸브(37)를 포함한다.
펌프(30)는, 제3 공급 배관 분기 위치(C3)보다 상류측(리턴 배관 분기 위치(B)보다 상류측)에서 공급 배관(21)의 제1 배관(21A)에 개재하여 설치되어 있다. 펌프(30)는, 처리액 탱크(20) 내의 처리액을 공급 배관(21)에 송출한다.
상류측 히터(31)는, 공급 배관(21)의 일부에 설정된 상류측 피가열 부분(21a) 내의 처리액을 가열한다. 상류측 피가열 부분(21a)은, 제3 공급 배관 분기 위치(C3)보다 상류측(리턴 배관 분기 위치(B)보다 상류측이기도 함)에 위치한다. 상류측 히터(31)는, 제3 공급 배관 분기 위치(C3)보다 상류측에서, 또한, 펌프(30)보다 하류측에서 공급 배관(21)에 배치되어 있다. 상류측 히터(31)는, 제1 가열 유닛의 일례이다.
제1 필터(34)는, 공급 배관(21)을 흐르는 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 파티클 제거 필터이다. 제1 필터(34)는, 상류측 피가열 부분(21a)보다 상류측에서, 또한, 펌프(30)보다 하류측에서 공급 배관(21)에 개재하여 설치되어 있다. 제1 필터(34)로는, 상온(예를 들어 5℃~25℃ 정도)에서의 사용에 적합한 필터가 이용된다. 제1 필터(34)는, 예를 들어, PTFE 친수막을 여과막으로서 포함한다. 제1 필터(34)로서 이용하는 PTFE 친수막의 포어 직경은, 예를 들어, 7nm보다 작다.
냉각기(33)는, 리턴 배관(22)에 배치되어 있다. 냉각기(33)는, 리턴 배관(22)에 설정된 피냉각 부분(22a) 내의 처리액을 냉각하는 냉각 유닛의 일례이다. 제1 필터(34), 상류측 히터(31), 펌프(30) 및 냉각기(33)는, 캐비넷(7) 내에 배치되어 있다.
하류측 히터(32)는, 공급 배관(21)의 일부에 설정된 하류측 피가열 부분(21b) 내의 처리액을 가열한다. 하류측 피가열 부분(21b)은, 공급 배관(21)에 있어서 리턴 배관 분기 위치(B)보다 하류측에 위치한다. 하류측 히터(32)는, 리턴 배관 분기 위치(B)보다 하류측에서 공급 배관(21)에 배치되어 있다. 하류측 히터(32)는, 제2 가열 유닛의 일례이다.
개폐 밸브(35)는, 공급 배관(21)의 제2 배관(21B)에 개재하여 설치되어 있다. 즉, 개폐 밸브(35)는, 리턴 배관 분기 위치(B)보다 하류측에서 공급 배관(21)에 개재하여 설치되어 있다. 개폐 밸브(35)는, 제2 배관(21B)의 처리액의 유로를 개폐하는 밸브이다. 제2 배관(21B)은, 하류단이 개폐 밸브(35)에 접속된 상류측 배관(21C)과, 상류단이 개폐 밸브(35)에 접속된 하류측 배관(21D)을 포함한다.
분기 배관 히터(36)는, 공급 배관 분기 위치(C1~C3)보다 하류측에서 처리액을 가열하는 히터이다. 분기 배관 히터(36)는, 각 분기 공급 배관(23~25)에 1개씩 배치되어 있다. 제1 분기 공급 배관(23)에 배치된 분기 배관 히터(36)는, 분기 공급 배관(23)에 설정된 피가열 부분(23a)을 가열하는 분기 가열 유닛의 일례이다. 제2 분기 공급 배관(24)에 배치된 분기 배관 히터(36)는, 제2 분기 공급 배관(24)에 설정된 피가열 부분(24a)을 가열하는 분기 가열 유닛의 일례이다. 제3 분기 공급 배관(25)에 배치된 분기 배관 히터(36)는, 제3 분기 공급 배관(25)에 설정된 피가열 부분(25a)을 가열하는 분기 가열 유닛의 일례이다.
분기 배관 개폐 밸브(37)는, 분기 공급 배관(23~25)에 있어서의 처리액의 유로를 개폐하는 밸브이다. 각 분기 배관 개폐 밸브(37)는, 분기 배관 히터(36)보다 하류측에서 대응하는 분기 공급 배관(23~25)에 개재하여 설치되어 있다.
제1 분기 공급 배관(23)은, 하류단이 분기 배관 개폐 밸브(37)에 접속된 상류측 배관(23A)과, 상류단이 분기 배관 개폐 밸브(37)에 접속된 하류측 배관(23B)을 포함한다. 제2 분기 공급 배관(24)은, 하류단이 분기 배관 개폐 밸브(37)에 접속된 상류측 배관(24A)과, 상류단이 분기 배관 개폐 밸브(37)에 접속된 하류측 배관(24B)을 포함한다. 제3 분기 공급 배관(25)은, 하류단이 분기 배관 개폐 밸브(37)에 접속된 상류측 배관(25A)과, 상류단이 분기 배관 개폐 밸브(37)에 접속된 하류측 배관(25B)을 포함한다.
하류측 히터(32), 개폐 밸브(35), 복수의 분기 배관 히터(36) 및 복수의 분기 배관 개폐 밸브(37)는, 유체 유닛(4) 내에 배치되어 있다.
다음에, 개폐 밸브(35)의 구성에 대해서 상세하게 설명한다. 도 2a~2c는, 개폐 밸브(35)의 구성예를 설명하기 위한 도해적인 단면도이다.
개폐 밸브(35)가 열려 있는 상태인 것을 열림 상태라고 한다. 개폐 밸브(35)가 닫혀 있는 상태인 것을 닫힘 상태라고 한다. 도 2a에는, 열림 상태의 개폐 밸브(35)가 도시되어 있다. 도 2b에는, 열림 상태와 닫힘 상태 사이의 중간 상태의 개폐 밸브(35)가 도시되어 있다. 도 2c에는, 닫힘 상태의 개폐 밸브(35)가 도시되어 있다.
개폐 밸브(35)는, 다이어프램 밸브이다. 개폐 밸브(35)는, 하우징(40)과, 개폐 밸브(35)를 개폐시키는 구동부(41)와, 다이어프램(43)을 포함한다. 하우징(40)은, 처리액이 흐르는 유로(42)가 형성된 유로 형성부(40A)와, 구동부(41)가 수용되는 수용 공간(44)이 형성된 수용 공간 형성부(40B)를 포함한다.
유로(42)는, 유로(42)의 일단에 설치된 유입구(42a)와, 유로(42)의 타단에 설치된 유출구(42b)를 포함한다. 제2 배관(21B)의 상류측 배관(21C)의 하류단은, 유입구(42a)에 접속되어 있다. 제2 배관(21B)의 하류측 배관(21D)의 상류단은, 유출구(42b)에 접속되어 있다.
도 2a에 나타낸 바와 같이 개폐 밸브(35)가 열림 상태일 때, 상류측 배관(21C)에 공급된 처리액은, 유로(42)를 통과해 하류측 배관(21D)에 공급된다. 도 2c에 나타낸 바와 같이 개폐 밸브(35)가 닫힘 상태일 때, 상류측 배관(21C)에 공급된 처리액은, 유로(42)의 도중에서 막힌다.
유로(42)의 중간부는, 예를 들어, S자형상으로 굴곡되어 있다. 하우징(40)에 있어서 유로(42)의 중간부를 구획하는 부분에는, 밸브 시트(45)가 설치되어 있다. 밸브 시트(45)는, 중심축선(A2) 둘레의 원환형으로 형성되어 있다. 밸브 시트(45)는, 중심축선(A2) 둘레의 원뿔대형상의 시트면(45a)을 갖는다.
수용 공간(44)은, 중심축선(A2)을 따라서 연장되는 원통형상이다. 구동부(41)는, 샤프트(46)와 압축 코일 스프링(47)을 포함한다. 샤프트(46)는, 중심축선(A2)을 따라서 연장되어 있다. 샤프트(46)는, 중심축선(A2)을 따르는 방향에서 봤을 때 원형상의 축부(46A)와, 축부(46A)의 일단에 설치된 압입(押入)부(46B)와, 축부(46A)의 타단에 설치된 피스톤(46C)을 포함한다. 압입부(46B)는, 시트면(45a)을 향해 끝이 가늘어지는 형상을 갖고, 그 원뿔 형상은 중심축선(A2)을 공유하고 있다.
다이어프램(43)은, 탄성 변형 가능한 수지 등으로 형성되어 있다. 다이어프램(43)은, 하우징(40) 내에 고정되어 있다. 다이어프램(43)은, 밸브 시트(45)의 시트면(45a)의 중심축선(A2)이 연장되는 방향(후술하는 개폐 방향(D))으로부터 시트면(45a)에 대향하고 있다.
유로(42)와 수용 공간(44)은, 서로 연통하고 있는데, 다이어프램(43)에 의해서 구획되어 있다. 다이어프램(43)에 의해서, 유로(42)로부터 수용 공간(44)에 처리액이 누설되는 것이 방지되고 있다.
다이어프램(43)은, 밸브 시트(45)의 시트면(45a)과 접촉 가능한 접촉면(43a)을 갖는다. 접촉면(43a)은, 압입부(46B)를 따르고 있다. 그로 인해, 접촉면(43a)은, 원뿔형상의 형태를 갖고 있으며, 시트면(45a)과 중심축선(A2)을 공유하고 있다.
구동부(41)는, 다이어프램(43)을 탄성 변형시킴으로써, 닫힘 위치(도 2c에 나타낸 위치)와 열림 위치(도 2a에 나타낸 위치) 사이에서 접촉면(43a)을 개폐 방향(D)으로 평행 이동시킨다. 닫힘 위치는, 유로(42)가 닫히도록 접촉면(43a)이 시트면(45a)에 면 접촉하는 위치이며, 열림 위치는, 접촉면(43a)이 시트면(45a)으로부터 떨어져 유로(42)가 열리는 위치이다. 또, 개폐 방향(D)은, 중심축선(A2)을 따르는 방향이다.
하우징(40)에는, 중심축선(A2)을 중심으로 하는 경방향의 내측으로 연장되는 플랜지부(48)가 형성되어 있다. 플랜지부(48)는, 샤프트(46)의 축부(46A)를 개폐 방향(D)으로 안내하는 가이드 구멍(48a)을 구획하고 있다.
수용 공간(44)은, 피스톤(46C)보다 다이어프램(43)측의 공간과, 피스톤(46C)보다 다이어프램(43)측과는 반대측의 공간으로, 피스톤(46C)에 의해서 구획되어 있다. 수용 공간(44)에 있어서 피스톤(46C)보다 다이어프램(43)측의 부분을 제1 공간(44A)이라 하고, 피스톤(46C)보다 다이어프램(43)측과는 반대측의 부분을 제2 공간(44B)이라 한다. 샤프트(46)가 개폐 방향(D)으로 이동함으로써, 제1 공간(44A) 및 제2 공간(44B)의 크기가 변화한다.
피스톤(46C)의 외주면과 수용 공간 형성부(40B)의 내주면 사이의 간극은, 피스톤(46C)에 장착된 시일 부재(50)(예를 들어, O링)에 의해서 시일되어 있다. 하우징(40)은, 제1 공간(44A)에 연통하는 제1 포트(51)와, 제2 공간(44B)에 연통하는 제2 포트(52)를 포함한다.
처리액 공급 장치(3)는, 작동 에어 공급 밸브 유닛(53)과, 제1 에어 배관(54)과, 제2 에어 배관(55)과, 제1 스피드 컨트롤러(56)와, 제2 스피드 컨트롤러(57)를 포함한다. 제1 에어 배관(54)은, 작동 에어 공급 밸브 유닛(53)과 제1 포트(51)에 접속되어 있다. 제2 에어 배관(55)은, 작동 에어 공급 밸브 유닛(53)과 제2 포트(52)에 접속되어 있다.
제1 스피드 컨트롤러(56)는, 제1 에어 배관(54)에 개재하여 설치되어 있다. 제1 스피드 컨트롤러(56)는, 제1 에어 배관(54) 내를 흐르는 에어의 유량을 제어함으로써 피스톤(46C)의 이동 속도를 조절한다.
제2 스피드 컨트롤러(57)는, 제2 에어 배관(55)에 개재하여 설치되어 있다. 제2 스피드 컨트롤러(57)는, 제2 에어 배관(55) 내를 흐르는 에어의 유량을 제어함으로써 피스톤(46C)의 이동 속도를 조절한다.
압축 코일 스프링(47)은, 탄성적으로 압축된 상태로 제2 공간(44B)에 배치되어 있다. 피스톤(46C)은, 압축 코일 스프링(47)의 복원력에 의해서, 다이어프램(43)을 향해 개폐 방향(D)으로 눌려 있다. 도 2b 및 도 2c에 나타낸 바와 같이, 제1 공간(44A)에 에어가 공급되어 있지 않은 상태에서는, 압축 코일 스프링(47)의 복원력에 의해서 다이어프램(43)이 밸브 시트(45)에 눌러져 있다. 즉, 개폐 밸브(35)는, 제1 공간(44A)에 에어가 공급되어 있지 않은 상태에서는 닫혀 있도록 구성된, 상시 닫힘의 밸브이다.
다음에, 개폐 밸브(35)의 개폐 동작에 대해서 설명한다.
우선, 닫힘 상태의 개폐 밸브(35)를 여는 동작에 대해서 설명한다. 작동 에어 공급 밸브 유닛(53)은, 제1 포트(51)를 통해 제1 공간(44A)에 에어를 공급한다. 이에 의해 제1 공간(44A)의 공기압이 증가한다. 한편, 작동 에어 공급 밸브 유닛(53)은, 제2 포트(52)를 통해 제2 공간(44B)을 대기 개방한다.
제1 공간(44A)의 공기압이 증가해 제2 공간(44B)의 공기압이 감소하면, 도 2a에 나타낸 바와 같이, 피스톤(46C)이, 공기압에 의해서 다이어프램(43)과는 반대 측으로 눌려, 압축 코일 스프링(47)의 복원력에 저항하여, 다이어프램(43)과는 반대측으로 이동한다. 그로 인해, 샤프트(46) 전체가 다이어프램(43)과는 반대측으로 이동하고, 접촉면(43a)이 열림 위치를 향해 개폐 방향(D)으로 평행 이동한다. 이에 의해, 접촉면(43a)이 열림 위치에 배치된다. 즉, 개폐 밸브(35)가 열린다.
다음에, 열림 상태의 개폐 밸브(35)를 닫는 동작에 대해서 설명한다. 작동 에어 공급 밸브 유닛(53)은, 제1 포트(51)를 통해 제1 공간(44A)을 대기 개방한다. 이에 의해, 제1 공간(44A)의 공기압이 감소한다. 또, 작동 에어 공급 밸브 유닛(53)은, 제2 포트(52)를 통해 제2 공간(44B)에 에어를 공급한다. 이에 의해 제2 공간(44B)의 공기압이 증가한다.
제1 공간(44A)이 대기 개방됨으로써, 피스톤(46C)을 다이어프램(43)과는 반대측에 누르는 힘이 약해진다. 그로 인해, 피스톤(46C)이, 압축 코일 스프링(47)의 복원력에 의해서 다이어프램(43)측으로 눌려, 접촉면(43a)이 닫힘 위치를 향해 개폐 방향(D)으로 평행 이동한다. 이에 의해, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 접촉면(43a)이 시트면(45a)에 접촉해 눌러진다.
제2 공간(44B)에 공급되는 에어의 유량(F)은, 접촉면(43a)이 시트면(45a)에 접촉한 후에 제2 공간(44B)의 공기압이 피스톤(46C)에 작용(제2 공간(44B)의 공기압이 최대가 되는)하도록, 제2 스피드 컨트롤러(57)에 의해서 조절되고 있다. 이에 의해, 제2 공간(44B)의 공기압이 최대가 되는 타이밍을, 접촉면(43a)이 시트면(45a)에 접촉하는 타이밍보다 늦게 할 수 있다. 이에 의해, 접촉면(43a)이 시트면(45a)에 접촉할 때의 충격을 저감할 수 있다. 따라서, 접촉면(43a)과 시트면(45a)이 접촉할 때의 충격에 기인하는 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 닫힘 상태의 개폐 밸브(35)에서는, 압축 코일 스프링(47)의 복원력과 제2 공간(44B)의 공기압의 양방에 의해서, 접촉면(43a)이 닫힘 위치에 유지되고 있다. 따라서, 개폐 밸브(35)가 닫힘 상태일 때에, 압축 코일 스프링(47) 또는 작동 에어 공급 밸브 유닛(53) 중 어느 한쪽에 이상이 발생한 경우에도, 접촉면(43a)을 닫힘 위치에 유지할 수 있다. 이에 의해, 처리액을 유로(42)의 도중에서 막을 수 있다.
각 분기 배관 개폐 밸브(37)는, 개폐 밸브(35)와 동일한 구성을 가져도 된다. 이 경우, 분기 공급 배관(23~25)의 상류측 배관(23A~25A)(도 1 참조)의 하류단이 유입구(42a)에 접속되고, 분기 공급 배관(23~25)의 하류측 배관(23B~25B)(도 1 참조)의 상류단이 유출구(42b)에 접속된다.
도 3은, 기판 처리 장치(1)의 주요부의 전기적 구성을 설명하기 위한 블럭도이다. 컨트롤러(5)는, 마이크로 컴퓨터를 구비하고 있으며, 소정의 프로그램에 따라서, 기판 처리 장치(1)에 구비된 제어 대상을 제어한다. 보다 구체적으로는, 컨트롤러(5)는, 프로세서(CPU)(5A)와, 프로그램이 저장된 메모리(5B)를 포함하고, 프로세서(5A)가 프로그램을 실행함으로써, 기판 처리를 위한 다양한 제어를 실행하도록 구성되어 있다. 특히, 컨트롤러(5)는, 전동 모터(18), 냉각기(33), 히터(31, 32, 36), 펌프(30), 및 작동 에어 공급 밸브 유닛(53) 등의 동작을 제어한다.
다음에, 처리액 공급 장치(3)에 의한, 기판(W)으로의 처리액 공급의 일례에 대해서 설명한다.
처리액 공급에서는, 우선, 컨트롤러(5)는, 펌프(30), 냉각기(33) 및 히터(31, 32, 36)를 기동한다. 이 처리액 공급 장치(3)에서는, 펌프(30)가 기동될 때, 모든 밸브(35, 37)가 닫혀져 있다. 펌프(30)가 기동됨으로써, 처리액 탱크(20)에 저류된 처리액은, 공급 배관(21)에 보내진다. 그리고, 공급 배관(21)을 통과하는 처리액은, 리턴 배관(22)을 통해 처리액 탱크(20)에 되돌려진다. 밸브(35, 37)가 닫혀져 있으므로, 처리액 탱크(20) 내의 처리액은, 처리 유닛(6)에는 공급되지 않고, 공급 배관(21) 및 리턴 배관(22)을 통과해 처리액 탱크(20)로 되돌아오도록 순환한다(순환 공정).
순환하는 처리액은, 공급 배관(21)의 상류측 피가열 부분(21a)을 통과할 때에 상류측 히터(31)에 의해서 가열되고(제1 가열 공정), 리턴 배관(22)의 피냉각 부분(22a)을 통과할 때에 냉각기(33)에 의해서 냉각된다(냉각 공정). 그로 인해, 처리액은, 충분히 냉각된 상태로 제1 필터(34)를 통과한다. 따라서, 제1 필터(34)에 의해서 처리액 중의 파티클을 충분히 제거할 수 있다(제거 공정).
그 후, 처리액의 공급이 필요한 처리 유닛(6)에 대응하는 밸브(35, 37)를 여는 것으로 인해, 처리 유닛(6)으로의 처리액의 공급이 개시된다.
구체적으로는, 개폐 밸브(35)가 열리면, 처리액이, 공급 배관(21)에 있어서 리턴 배관 분기 위치(B)보다 하류측(제2 배관(21B))에 흐르기 시작한다. 이에 의해, 처리액 탱크(20) 내의 처리액이 공급 배관(21)을 통해 처리 유닛(6A)에 공급된다(공급 공정).
공급 배관(21)으로부터 처리 유닛(6A)을 향하는 처리액은, 상류측 피가열 부분(21a)을 통과할 때에 상류측 히터(31)에 의해서 가열된 후에, 하류측 피가열 부분(21b)을 통과할 때에 하류측 히터(32)에 의해서 추가로 가열된다(제2 가열 공정). 따라서, 처리액은, 처리 유닛(6A)에 도달할 때까지, 상류측 히터(31) 및 하류측 히터(32)에 의해서 충분히 가열된다.
한편, 분기 배관 개폐 밸브(37)가 열리면, 처리액이 대응하는 분기 공급 배관(23~25)에 흐르기 시작해, 대응하는 처리 유닛(6B~6D)을 향한다. 공급 배관(21)으로부터 처리 유닛(6B~6D)을 향하는 처리액은, 상류측 피가열 부분(21a)을 통과할 때에 상류측 히터(31)에 의해서 가열된 후에, 피가열 부분(23a~25a)을 통과할 때에 분기 배관 히터(36)에 의해서 가열된다. 따라서, 처리액은, 처리 유닛(6B~6D)에 도달할 때까지는, 상류측 히터(31) 및 대응하는 분기 배관 히터(36)에 의해서 충분히 가열된다.
이상에 의해, 파티클이 충분히 제거되고, 또한, 충분히 가열된 처리액을 처리 유닛(6)에 공급할 수 있다.
제1 필터(34)는, PTFE 친수막을 여과막으로서 포함한다. 그로 인해, 처리액으로서 IPA 등의 유기용제를 이용한 경우, 고온의 IPA가 제1 필터(34)를 통과하면, PTFE의 기재에 친수화를 실시할 때에 발생하는 잔류물이 처리액 중에 배출될 우려가 있다. 또한, 고온의 IPA에 의해서, PTFE 친수막의 친수기가 데미지를 받는 경우가 있다. 이 실시형태에서는, 제1 필터(34)를 통과하는 처리액은, 냉각기(33)에 의해서 충분히 냉각되어 있다. 따라서, 제1 필터(34)에 PTFE 친수막을 이용한 경우에도 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
개폐 밸브(35) 및 복수의 분기 배관 개폐 밸브(37) 중 적어도 어느 한쪽이 열린 상태로 펌프(30)가 기동되어도 된다. 이 경우에도, 처리액은, 기판(W)에 공급되기 전에, 상온에서 제1 필터(34)를 통과한다. 그로 인해, 파티클이 충분히 제거된 처리액을 기판(W)에 공급할 수 있다.
도 4는, 이 발명의 제2 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3P)의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 4에서는, 지금까지 설명한 부재와 동일한 부재에는 동일한 참조 부호를 부여해, 그 설명을 생략한다.
제2 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3P)가 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3)(도 1 참조)와 상이한 점은, 처리액 공급 장치(3P)가, 리턴 배관 분기 위치(B)보다 하류측에서, 또한, 개폐 밸브(35)보다 상류측에서 공급 배관(21)에 개재하여 설치된 제2 필터(60)와, 분기 배관 개폐 밸브(37)보다 상류측에서 분기 공급 배관(23~25)에 개재하여 설치된 분기 배관 필터(61)를 포함하는 점이다.
제2 필터(60)는, 공급 배관(21)을 흐르는 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 파티클 제거 필터이다. 제2 필터(60)로는, 상온보다 고온에서의 사용에 적합한 필터가 이용된다. 제2 필터(60)는, 예를 들어, PTFE 소수막을 여과막으로서 포함한다. PTFE 소수막은, 표면이 친수화 되어 있지 않은 PTFE 기재를 갖는 막이다. 제2 필터(60)로서 이용하는 PTFE 소수막의 포어 직경은, 예를 들어, 10nm보다 크다.
분기 배관 필터(61)는, 대응하는 분기 공급 배관(23~25)을 흐르는 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 파티클 제거 필터이다. 분기 배관 필터(61)로는, 제2 필터(60)와 동일하게, PTFE 소수막을 여과막으로서 포함하는 것이 이용된다. 분기 배관 필터(61)에 이용하는 PTFE 소수막의 포어 직경은, 예를 들어, 10nm보다 크다.
가열된 처리액이 리턴 배관 분기 위치(B)에 설치된 조인트(26)를 통과함으로써, 조인트(26)가 가열되어 팽창하고, 이에 의해, 파티클이 발생하는 경우가 있다.
제2 실시형태에 의하면, 처리액 공급 장치(3P)가 제2 필터(60)를 포함한다. 그로 인해, 처리액이 리턴 배관 분기 위치(B)를 통과할 때에 조인트(26)가 팽창함으로써 처리액 중에 파티클이 발생한 경우에도, 제2 필터(60)에 의해서 당해 파티클을 제거할 수 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 제2 필터(60)가, 개폐 밸브(35)보다 상류측에서 상기 공급 배관(21)에 개재하여 설치되어 있다. 일반적으로, 처리액이 필터를 통과함으로써, 처리액의 유량이 저하한다. 따라서, 공급 배관(21)에 있어서 개폐 밸브(35)보다 상류측에 제2 필터(60)를 위치시킴으로써, 제2 필터(60)가 처리액 노즐(12)로부터 토출되는 처리액의 유량에 주는 영향을 저감할 수 있다.
또, 제2 실시형태에 의하면, 분기 배관 개폐 밸브(37)보다 상류측에서 분기 공급 배관(23~25)에 분기 배관 필터(61)가 개재하여 설치되어 있다. 그로 인해, 분기 배관 필터(61)가 처리액 노즐(12)로부터 토출되는 처리액의 유량에 주는 영향을 저감할 수 있다.
또, 제2 실시형태와는 달리, 도 4에 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 제2 필터(60)는, 개폐 밸브(35)보다 하류측에서 공급 배관(21)에 개재하여 설치되어 있어도 된다. 개폐 밸브(35)가 열림 상태일 때, 처리액 탱크(20) 내의 처리액은, 공급 배관(21)을 통해 처리 유닛(6A)에 공급된다. 제2 필터(60)가 공급 배관(21)에 있어서 개폐 밸브(35)보다 하류측에 위치하고 있기 때문에, 개폐 밸브(35)를 처리액이 통과할 때에 파티클이 발생해도, 제2 필터(60)에 의해서, 당해 파티클이 제거된다.
또, 제2 실시형태와는 달리, 도 4에 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 각 분기 배관 필터(61)는, 대응하는 분기 배관 개폐 밸브(37)보다 하류측에서 분기 공급 배관(23~25)에 개재하여 설치되어 있어도 된다. 이에 의해, 분기 배관 개폐 밸브(37)를 처리액이 통과할 때에 파티클이 발생해도, 분기 배관 필터(61)에 의해서, 당해 파티클이 제거된다.
또한, 제2 필터(60)는, 개폐 밸브(35)보다 상류측과, 개폐 밸브(35)보다 하류측의 양방의 위치에 설치되어 있어도 된다. 분기 배관 필터(61)는, 분기 배관 개폐 밸브(37)보다 상류측과 분기 배관 개폐 밸브(37)보다 하류측의 양방의 위치에 설치되어 있어도 된다.
도 5는, 이 발명의 제3 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3Q)의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 5에서는, 지금까지 설명한 부재와 동일한 부재에는 동일한 참조 부호를 부여해, 그 설명을 생략한다.
도 5를 참조하여, 제3 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3Q)가 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3)(도 1 참조)와 상이한 점은, 처리액 공급 장치(3Q)가, 상류측 피가열 부분(21a)보다 하류측에서, 또한, 제3 공급 배관 분기 위치(C3)보다 상류측(리턴 배관 분기 위치(B)보다 상류측이기도 함)에서 공급 배관(21)에 개재하여 설치된 제3 필터(65)를 포함하는 점이다.
제3 필터(65)는, 공급 배관(21)을 흐르는 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 파티클 제거 필터이다. 제3 필터(65)로는, 상온보다 고온에서의 사용에 적합한 필터가 이용된다. 제3 필터(65)는, 예를 들어, PTFE 소수막을 여과막으로서 포함한다. 제3 필터(65)에 이용하는 PTFE 소수막의 포어 직경은, 예를 들어, 10nm보다 크다.
가열된 처리액이 공급 배관(21)을 통과함으로써 공급 배관(21)을 구성하는 성분이 처리액에 용출되고, 이에 의해서 파티클이 발생하는 경우가 있다.
이 발명의 일 실시형태에서는, 처리액 공급 장치(3Q)가 제3 필터(65)를 포함한다. 그로 인해, 상류측 히터(31)에 의해서 가열된 처리액이 공급 배관(21)을 통과할 때에 처리액 중에 파티클이 발생해도, 제3 필터(65)에 의해서 당해 파티클을 제거할 수 있다.
도 6은, 이 발명의 제4 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3R)의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 6에서는, 지금까지 설명한 부재와 동일한 부재에는 동일한 참조 부호를 부여해, 그 설명을 생략한다.
도 6을 참조하여, 제4 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3R)가 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3)(도 1 참조)와 상이한 점은, 처리액 공급 장치(3R)가, 피냉각 부분(22a)보다 상류측에서 리턴 배관(22)에 개재하여 설치된 제4 필터(70)를 더 포함하는 점이다.
제4 필터(70)는, 리턴 배관(22)을 흐르는 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 파티클 제거 필터이다. 제4 필터(70)로는, 상온보다 고온에서의 사용에 적합한 필터가 이용된다. 제4 필터(70)는, 예를 들어, PTFE 소수막을 여과막으로서 포함한다. 제4 필터(70)에 이용하는 PTFE 소수막의 포어 직경은, 예를 들어, 10nm보다 크다.
가열된 처리액이 리턴 배관(22)을 통과함으로써 리턴 배관(22)을 구성하는 성분이 처리액에 용출되고, 이에 의해서 파티클이 발생하는 경우가 있다.
이 실시형태에 의하면, 처리액 공급 장치(3R)가 제4 필터(70)를 포함하기 때문에, 상류측 히터(31)에 의해서 가열된 처리액이 리턴 배관(22)을 통과할 때에 처리액 중에 파티클이 발생한 경우에도, 제4 필터(70)에 의해서 당해 파티클을 제거할 수 있다. 또, 제4 필터(70)는, 공급 배관(21)보다 하류측의 리턴 배관(22)에 개재하여 설치되어 있기 때문에, 공급 배관(21)에 개재하여 설치된 필터(제1 필터(34))에 비해, 처리액 탱크(20)의 오염을 효과적으로 억제할 수 있다.
도 7은, 이 발명의 제5 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3S)의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 7에서는, 지금까지 설명한 부재와 동일한 부재에는 동일한 참조 부호를 부여해, 그 설명을 생략한다.
도 7을 참조하여, 제5 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3S)가 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3)(도 1 참조)와 상이한 점은, 처리액 공급 장치(3S)가, 피냉각 부분(22a)보다 하류측에서 리턴 배관(22)에 개재하여 설치된 제5 필터(75)를 더 포함하는 점이다.
제5 필터(75)는, 리턴 배관(22)을 흐르는 처리액 중의 파티클을 제거하기 위한 파티클 제거 필터이다. 제5 필터(75)로는, 상온(예를 들어, 5℃~25℃ 정도)에서의 사용에 적합한 필터가 이용된다. 제5 필터(75)는, 예를 들어, PTFE 친수막을 여과막으로서 포함한다. 제5 필터(75)에 이용하는 PTFE 친수막의 포어 직경은, 예를 들어, 7nm보다 작다.
처리액 공급 장치(3S)가 제5 필터(75)를 포함하기 때문에, 처리액이 리턴 배관(22)의 피냉각 부분(22a)을 통과할 때에 파티클이 발생한 경우에도, 제5 필터(75)에 의해서 처리액 중의 파티클이 충분히 제거된다. 또, 제5 필터(75)는, 피냉각 부분(22a)보다 하류측에서 리턴 배관(22)에 개재하여 설치되어 있기 때문에, 처리액 탱크(20)의 오염을 한층 효과적으로 억제할 수 있다.
도 8은, 이 발명의 제6 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3T)의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 8을 참조하여, 제6 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3T)가 제1 실시형태에 따른 처리액 공급 장치(3)(도 1 참조)와 상이한 점은, 공급 배관(21), 리턴 배관(22) 및 복수의 분기 공급 배관(23~25)의 각각이, 이중 배관 구조를 갖고 있는 점이다.
상세하게는, 처리액 공급 장치(3T)는, 제1 통형상 배관(85), 제2 통형상 배관(86), 제3 통형상 배관(87) 및 복수의 분기 통형상 배관(88)을 포함한다. 제1 통형상 배관(85)은, 제1 필터(34)보다 하류측에서 공급 배관(21)의 제1 배관(21A)에 장착되어 있다. 제2 통형상 배관(86)은, 공급 배관(21)의 제2 배관(21B)의 상류측 배관(21C)에 장착되어 있다. 제3 통형상 배관(87)은, 리턴 배관(22)에 장착되어 있다. 분기 통형상 배관(88)은, 각 분기 공급 배관(23~25)의 상류측 배관(23A~25C)에 장착되어 있다.
도 9a는, 제1 통형상 배관(85)의 주변의 단면도이다. 도 9b는, 제2 통형상 배관(86)의 주변의 단면도이다. 도 9c는, 제3 통형상 배관(87)의 주변의 단면도이다. 도 9d는, 분기 통형상 배관(88)의 주변의 단면도이다.
도 9a에 나타낸 바와 같이, 제1 통형상 배관(85)은, 공급 배관(21)의 제1 배관(21A)의 외주면에 대향하는 내주면을 갖는다. 처리액 공급 장치(3T)는, 공급 배관(21)의 제1 배관(21A)의 외주면과 제1 통형상 배관(85)의 내주면 사이에 온수 등의 가열 유체를 공급하는 제1 가열 유체 공급 유닛(89)을 포함한다. 이 실시형태에서는, 공급 배관(21)의 제1 배관(21A)에 있어서 제1 통형상 배관(85)과 대향하는 부분이 상류측 피가열 부분(21a)이다. 제1 통형상 배관(85) 및 제1 가열 유체 공급 유닛(89)은, 제1 가열 유닛을 구성하고 있다.
제1 가열 유체 공급 유닛(89)은, 예를 들면, 가열 유체를 저류하는 가열 유체 공급원(110)과, 제1 통형상 배관(85)에 가열 유체를 공급하는 가열 유체 공급 배관(111)과, 제1 통형상 배관(85)으로부터 가열 유체를 회수하는 가열 유체 회수 배관(112)과, 가열 유체 공급 배관(111)에 개재하여 설치된 펌프(113)를 포함한다. 펌프(113)는, 컨트롤러(5)에 의해서 제어된다(도 3 참조).
도 9b에 나타낸 바와 같이, 제2 통형상 배관(86)은, 공급 배관(21)의 제2 배관(21B)의 상류측 배관(21C)의 외주면에 대향하는 내주면을 갖는다. 처리액 공급 장치(3)는, 공급 배관(21)의 제2 배관(21B)의 외주면과 제2 통형상 배관(86)의 내주면 사이에 가열 유체를 공급하는 제2 가열 유체 공급 유닛(91)을 포함한다. 이 실시형태에서는, 공급 배관(21)의 제2 배관(21B)에 있어서 제2 통형상 배관(86)과 대향하는 부분이 하류측 피가열 부분(21b)이다. 제2 통형상 배관(86) 및 제2 가열 유체 공급 유닛(91)은, 제2 가열 유닛을 구성하고 있다.
제2 가열 유체 공급 유닛(91)은, 제1 가열 유체 공급 유닛(89)과 동일한 구성을 갖고 있다. 즉, 제2 가열 유체 공급 유닛(91)은, 가열 유체 공급원(110)과, 제2 통형상 배관(86)에 가열 유체를 공급하는 가열 유체 공급 배관(111)과, 제2 통형상 배관(86)으로부터 가열 유체를 회수하는 가열 유체 회수 배관(112)과, 펌프(113)를 포함한다.
도 9c에 나타낸 바와 같이, 제3 통형상 배관(87)은, 리턴 배관(22)의 외주면에 대향하는 내주면을 갖는다. 처리액 공급 장치(3T)는, 리턴 배관(22)의 외주면과 제3 통형상 배관(87) 사이에 냉수 등의 냉각 유체를 공급하는 냉각 유체 공급 유닛(90)을 포함한다. 이 실시형태에서는, 리턴 배관(22)에 있어서 제3 통형상 배관(87)과 대향하는 부분이 피냉각 부분(22a)이다. 제3 통형상 배관(87) 및 냉각 유체 공급 유닛(90)은, 냉각 유닛을 구성하고 있다.
냉각 유체 공급 유닛(90)은, 예를 들어, 냉각 유체를 저류하는 냉각 유체 공급원(114)과, 제3 통형상 배관(87)에 냉각 유체를 공급하는 냉각 유체 공급 배관(115)과, 제3 통형상 배관(87)으로부터 냉각 유체를 회수하는 가열 유체 회수 배관(116)과, 냉각 유체 공급 배관(115)에 개재하여 설치된 펌프(117)를 포함한다. 펌프(117)는, 컨트롤러(5)에 의해서 제어된다(도 3 참조).
도 9d에 나타낸 바와 같이, 분기 통형상 배관(88)은, 대응하는 상류측 배관(23A~25A)의 외주면에 대향한다. 처리액 공급 장치(3T)는, 분기 공급 배관(23~25)의 상류측 배관(23A~25A)의 외주면과 분기 통형상 배관(88) 사이에 가열 유체를 공급하는 복수의 분기 가열 유체 공급 유닛(92)을 포함한다. 이 실시형태에서는, 분기 공급 배관(23~25)에 있어서 분기 통형상 배관(88)과 대향하는 부분이 피가열 부분(23a~25a)이다.
분기 가열 유체 공급 유닛(92)은, 예를 들어, 제1 가열 유체 공급 유닛(89)과 동일한 구성을 갖고 있다. 즉, 분기 가열 유체 공급 유닛(92)은, 가열 유체 공급원(110)과, 분기 통형상 배관(88)에 가열 유체를 공급하는 가열 유체 공급 배관(111)과, 분기 통형상 배관(88)으로부터 가열 유체를 회수하는 가열 유체 회수 배관(112)과, 펌프(113)를 포함한다.
이 실시형태에 의하면, 공급 배관(21)의 상류측 피가열 부분(21a)의 외주면과 제1 통형상 배관(85)의 내주면 사이에 가열 유체가 공급된다. 그 때문에, 가열 유체에 의해서, 상류측 피가열 부분(21a)이 둘러싸인다. 따라서, 상류측 피가열 부분(21a)을 흐르는 처리액을 고르게 가열할 수 있다.
또, 공급 배관(21)의 하류측 피가열 부분(21b)의 외주면과 제2 통형상 배관(86)의 내주면 사이에 가열 유체가 공급된다. 그로 인해, 가열 유체에 의해서, 하류측 피가열 부분(21b)이 둘러싸인다. 따라서, 하류측 피가열 부분(21b)을 흐르는 처리액을 고르게 가열할 수 있다.
또, 리턴 배관(22)의 외주면과 제2 통형상 배관(86)의 내주면 사이에 냉각 유체가 공급된다. 그로 인해, 냉각 유체에 의해서, 피냉각 부분(22a)이 둘러싸인다. 따라서, 피냉각 부분(22a)을 흐르는 처리액을 고르게 냉각할 수 있다.
또, 분기 공급 배관(23~25)의 피가열 부분(23a~25a)의 외주면과 분기 통형상 배관(88)의 내주면 사이에 가열 유체가 공급된다. 그로 인해, 가열 유체에 의해서, 피가열 부분(23a~25a)이 둘러싸인다. 따라서, 분기 공급 배관(23~25)에 흐르는 처리액을 고르게 가열할 수 있다.
이 발명은, 이상에서 설명한 실시형태로 한정되는 것은 아니며, 또 다른 형태로 실시할 수 있다.
예를 들어, 상술한 실시형태는 조합할 수 있다. 즉, 제1 필터(34)에 추가해, 제2 필터(60), 제3 필터(65), 제4 필터(70) 및 제5 필터(75) 중 2개 이상이 설치된 구성이어도 된다.
또, 상술한 실시형태와는 달리, 히터(31, 32, 36)나 냉각기(33)와, 통형상 배관(85~88)이 병용되어도 된다.
또, 상술한 실시형태와는 달리, 제2 스피드 컨트롤러(57) 대신에, 에어의 압력을 조정하는 전공 레귤레이터가 설치되어 있어도 된다.
또, 상술한 실시형태와는 달리, 제2 스피드 컨트롤러(57)가 설치되어 있지 않은 구성이어도 된다. 이 경우, 작동 에어 공급 밸브 유닛(53)이, 접촉면(43a)이 시트면(45a)에 접촉한 후에 제2 공간(44B)의 공기압이 피스톤(46C)에 작용(제2 공간(44B)의 공기압이 최대가 되는)하도록, 제2 공간(44B)에 공급되는 에어의 유량(F)를 제어하면 된다. 이에 의해, 제2 공간(44B)의 공기압이 최대가 되는 타이밍을, 접촉면(43a)이 시트면(45a)에 접촉하는 타이밍보다 늦게 할 수 있다. 이에 의해, 접촉면(43a)이 시트면(45a)에 접촉할 때의 충격을 저감할 수 있다. 본 발명의 실시형태에 대해서 상세하게 설명해왔는데, 이들은 본 발명의 기술적 내용을 분명히 하기 위해서 이용된 구체적인 예에 지나지 않으며, 본 발명은 이들 구체예로 한정하여 해석되어야 하는 것은 아니며, 본 발명의 범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 한정된다.

Claims (24)

  1. 기판을 처리하는 처리 유닛에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치로서,
    처리액을 저류하는 처리액 탱크 내의 처리액이 보내지고, 상기 처리액 탱크로부터 보내지는 처리액을 상기 처리 유닛에 공급하는 공급 배관과,
    상기 공급 배관에 분기 접속되고, 상기 공급 배관 내의 처리액을 상기 처리액 탱크로 되돌리는 리턴 배관과,
    상기 공급 배관에 있어서 상기 리턴 배관이 접속되어 있는 분기 위치보다 상류측에 설정된 상류측 피가열 부분 내의 처리액을 가열하는 제1 가열 유닛과,
    상기 공급 배관에 있어서 상기 분기 위치보다 하류측에 설정된 하류측 피가열 부분 내의 처리액을 가열하는 제2 가열 유닛과,
    상기 리턴 배관에 설정된 피냉각 부분 내의 처리액을 냉각하는 냉각 유닛과,
    상기 상류측 피가열 부분보다 상류측에서 상기 공급 배관에 개재하여 설치된 제1 필터로서, 상기 냉각 유닛에 의해 냉각된 처리액이 당해 제1 필터를 통과할 때에, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제1 필터를 포함하는, 처리액 공급 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 분기 위치보다 하류측에서 상기 공급 배관에 개재하여 설치되고, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제2 필터를 더 포함하는, 처리액 공급 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 분기 위치보다 하류측에 있어서 상기 공급 배관에 개재하여 설치된 개폐 밸브를 더 포함하고,
    상기 제2 필터가, 상기 개폐 밸브보다 상류측에서 상기 공급 배관에 개재하여 설치되어 있는, 처리액 공급 장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 분기 위치보다 하류측에 있어서 상기 공급 배관에 개재하여 설치된 개폐 밸브를 더 포함하고,
    상기 제2 필터가, 상기 개폐 밸브보다 하류측에서 상기 공급 배관에 개재하여 설치되어 있는, 처리액 공급 장치.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 상류측 피가열 부분보다 하류측에서, 또한, 상기 분기 위치보다 상류측에서 상기 공급 배관에 개재하여 설치되고, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제3 필터를 더 포함하는, 처리액 공급 장치.
  6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 피냉각 부분보다 상류측에서 상기 리턴 배관에 개재하여 설치되고, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제4 필터를 더 포함하는, 처리액 공급 장치.
  7. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 피냉각 부분보다 하류측에서 상기 리턴 배관에 개재하여 설치되고, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제5 필터를 더 포함하는, 처리액 공급 장치.
  8. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 가열 유닛이, 상기 상류측 피가열 부분의 외주면에 대향하는 내주면을 갖는 제1 통형상 배관과, 상기 상류측 피가열 부분의 외주면과 상기 제1 통형상 배관의 내주면 사이에 가열 유체를 공급하는 제1 가열 유체 공급 유닛을 포함하는, 처리액 공급 장치.
  9. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제2 가열 유닛이, 상기 하류측 피가열 부분의 외주면에 대향하는 내주면을 갖는 제2 통형상 배관과, 상기 하류측 피가열 부분의 외주면과 상기 제2 통형상 배관의 내주면 사이에 가열 유체를 공급하는 제2 가열 유체 공급 유닛을 포함하는, 처리액 공급 장치.
  10. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 가열 유닛이, 상기 공급 배관의 상기 상류측 피가열 부분에 배치된 제1 히터를 포함하고,
    상기 제2 가열 유닛이, 상기 공급 배관의 상기 하류측 피가열 부분에 배치된 제2 히터를 포함하는, 처리액 공급 장치.
  11. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 냉각 유닛이, 상기 리턴 배관의 상기 피냉각 부분의 외주면에 대향하는 내주면을 갖는 제3 통형상 배관과, 상기 피냉각 부분의 외주면과 상기 제3 통형상 배관의 내주면 사이에 냉각 유체를 공급하는 냉각 유체 공급 유닛을 포함하는, 처리액 공급 장치.
  12. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 분기 위치보다 상류측에 있어서 상기 공급 배관에 분기 접속되고, 상기 처리 유닛과는 다른 처리 유닛에 처리액을 공급하는 분기 공급 배관과,
    상기 분기 공급 배관에 설정된 피가열 부분을 가열하는 분기 가열 유닛을 더 포함하는, 처리액 공급 장치.
  13. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 처리액 공급 장치와, 상기 처리 유닛을 포함하는, 기판 처리 장치.
  14. 처리액을 저류하는 처리액 탱크 내의 처리액을 공급 배관을 통해 처리 유닛에 공급하는 공급 공정과,
    상기 공급 배관에 분기 접속된 리턴 배관을 통해 상기 공급 배관 내의 처리액을 상기 처리액 탱크로 되돌림으로써, 상기 처리액 탱크 내의 처리액을 상기 공급 배관 및 상기 리턴 배관을 통과시켜 순환시키는 순환 공정과,
    상기 공급 배관에 있어서 상기 리턴 배관이 접속되어 있는 분기 위치보다 상류측에 설정된 상류측 피가열 부분 내의 처리액을 가열하는 제1 가열 공정과,
    상기 리턴 배관에 설정된 피냉각 부분 내의 처리액을 냉각하는 냉각 공정과,
    상기 상류측 피가열 부분보다 상류측에 있어서 상기 공급 배관에 개재하여 설치된 필터에, 상기 냉각 공정에서 냉각된 처리액을 통과시킴으로써, 처리액 중의 파티클을 제거하는 제거 공정과,
    상기 공급 배관에 있어서 상기 분기 위치보다 하류측에 설정된 하류측 피가열 부분 내의 처리액을 가열하는 제2 가열 공정을 포함하는, 처리액 공급 방법.
  15. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 필터가 친수성의 필터인, 처리액 공급 장치.
  16. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 제1 필터의 포어 직경이 상기 제2 필터의 포어 직경보다 작은, 처리액 공급 장치.
  17. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 제2 필터가 소수성의 필터인, 처리액 공급 장치.
  18. 청구항 5에 있어서,
    상기 제3 필터가 소수성의 필터인, 처리액 공급 장치.
  19. 청구항 6에 있어서,
    상기 제4 필터가 소수성의 필터인, 처리액 공급 장치.
  20. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 처리액이 유기용제인, 처리액 공급 장치.
  21. 청구항 20에 있어서,
    상기 유기용제가 IPA인, 처리액 공급 장치.
  22. 청구항 14에 있어서,
    상기 필터가 친수성의 필터인, 처리액 공급 방법.
  23. 청구항 14에 있어서,
    상기 처리액이 유기용제인, 처리액 공급 방법.
  24. 청구항 23에 있어서,
    상기 유기용제가 IPA인, 처리액 공급 방법.
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