JP7297591B2 - 基板処理装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
以下、添付図面を参照して、本願の開示する基板処理装置の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
次に本開示の変形例について、図6により説明する。上記実施の形態において、ノズルユニット30の配管30Aの先端に、配管30Aと別体に設けられたノズルチップ40を嵌め込む例を示したが、これに限らず、配管30Aの第1層31を更に先端側まで延長させて延長部分46を形成し、この延長部分46の周囲に延長部分46を外方から覆う覆い部分47を設け、延長部分46と覆い部分47とによりノズルチップ40を構成してもよい。
21 チャンバ
22 基板保持機構
30 ノズルユニット
30A 配管
31 第1層
32 第2層
33 第3層
40 ノズルチップ
41 先端
42 外面
43 内面
48 導線
50 導電体
50a 取付部材
51 継手
60 接地位置
Claims (11)
- 被処理基板を保持する基板保持機構と、前記基板保持機構に保持された前記被処理基板に対して処理液を吐出するノズルユニットとを有する基板処理装置において、
前記ノズルユニットは前記処理液を供給する配管と、前記配管の先端に設けられ前記被処理基板に向けて前記処理液を吐出するノズルチップとを備え、
前記配管は内側から順に配置された耐食性樹脂からなる第1層と、剛性材料からなる第2層と、耐食性樹脂からなる第3層とを有し、
前記ノズルチップは導電性をもつ耐食性樹脂からなり、
前記第3層は前記第1層および前記第2層を外方から覆うとともに、前記ノズルチップの一部を外方から覆う、基板処理装置。 - 前記ノズルチップは前記配管内に嵌め込まれている、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1層が導電性を有し、前記第1層と前記ノズルチップが接合されているか、または前記第2層が導電性を有し、前記第2層と前記ノズルチップが接合されている、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記ノズルチップに導線が接続されている、請求項1乃至3のいずれか記載の基板処理装置。
- 前記第1層および前記第3層に、前記ノズルチップが溶着されている、請求項2乃至4のいずれか記載の基板処理装置。
- 前記第1層は導電性をもつPFAチューブからなる、請求項1乃至5のいずれか記載の基板処理装置。
- 前記第2層はSUSチューブからなる、請求項1乃至6のいずれか記載の基板処理装置。
- 前記第3層はPFAチューブからなる、請求項1乃至7のいずれか記載の基板処理装置。
- 前記ノズルチップは導電性をもつPFA製材料からなる、請求項1乃至8のいずれか記載の基板処理装置。
- 前記ノズルチップは前記配管の前記第1層の延長部分と、この延長部分を外方から覆う覆い部分とを有する、請求項1、2,4、6乃至9のいずれか記載の基板処理装置。
- 被処理基板を保持する基板保持機構と、前記基板保持機構に保持された前記被処理基板に対して処理液を吐出するノズルユニットとを有する基板処理装置の製造方法において、
内側から順に配置された耐食性樹脂からなる第1層と、剛性材料からなる第2層と、耐食性樹脂からなる第3層とを有し、前記処理液を供給する配管を準備する工程と、
導電性をもつ耐食性樹脂からなり、前記被処理基板に向けて前記処理液を吐出するノズルチップを準備する工程と、
前記配管の先端に前記ノズルチップを嵌め込む工程と、を備え、
前記第3層は前記第1層および前記第2層を外方から覆うとともに、前記ノズルチップの一部を外方から覆う、基板処理装置の製造方法。
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