JP5893592B2 - 液処理装置 - Google Patents
液処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5893592B2 JP5893592B2 JP2013173759A JP2013173759A JP5893592B2 JP 5893592 B2 JP5893592 B2 JP 5893592B2 JP 2013173759 A JP2013173759 A JP 2013173759A JP 2013173759 A JP2013173759 A JP 2013173759A JP 5893592 B2 JP5893592 B2 JP 5893592B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line
- liquid
- processing
- control valve
- processing liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 133
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000002079 cooperative effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
- G05D7/0641—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means
- G05D7/0664—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged for the control of a plurality of diverging flows from a single flow
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/85978—With pump
- Y10T137/85986—Pumped fluid control
Description
104 第1ライン
106 ポンプ
120 構成要素の組
121 第2ライン
123 オリフィス
124 第1制御弁
125 分岐点
126 分岐ライン
129 液処理ユニット
134 第2制御弁
Claims (5)
- 処理液供給源に接続された第1ラインと、
前記処理液供給源から前記第1ラインに処理液を送るポンプと、
前記第1ラインに接続され、前記第1ラインを流れる処理液が流入する複数の第2ラインと、
前記各第2ライン上の分岐点に接続された分岐ラインと、
前記各分岐ラインを介して供給される処理液により基板に処理を施す液処理ユニットと、
前記各第2ライン上の前記分岐点よりも上流側に設けられたオリフィスと、
前記各第2ライン上の前記分岐点よりも下流側に設けられた第1制御弁と、を備え、
前記第1制御弁は、前記第1制御弁よりも下流側に流す処理液の量を変化させることにより対応する前記第2ラインの前記オリフィスと前記第1制御弁との間の区間内の処理液の圧力を制御し、対応する前記分岐ラインを通って対応する前記液処理ユニットに供給される処理液の流量を制御する、液処理装置。 - 前記各分岐ラインに設けられた流量計と、
前記流量計による検出流量に基づいて、対応する前記第1制御弁を制御して対応する分岐ラインに流れる処理液の流量を制御する制御部と、
をさらに備えた、請求項1記載の液処理装置。 - 前記処理液供給源は処理液を貯留するタンクであり、前記各第2ラインの前記分岐点よりも下流側の部分は前記タンクに連通している、請求項1記載の液処理装置。
- 前記処理液供給源は処理液を貯留するタンクであり、前記第1ラインは、前記タンクから出て前記タンクに戻る循環ラインとして形成されている、請求項1記載の液処理装置。
- 前記第1ラインの最も下流側で前記第1ラインに接続されている前記第2ラインの前記第1ラインに対する接続点よりも下流側において、前記第1ラインに第2制御弁が設けられ、当該第2制御弁よりも下流側に流す処理液の量を変化させることにより当該第2制御弁よりも上流側の前記第1ライン内の圧力が調整可能となっている、請求項4記載の液処理装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013173759A JP5893592B2 (ja) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | 液処理装置 |
US14/456,319 US9348340B2 (en) | 2013-08-23 | 2014-08-11 | Liquid processing apparatus |
TW103127953A TWI585564B (zh) | 2013-08-23 | 2014-08-14 | 液體處理裝置 |
KR1020140107729A KR102255943B1 (ko) | 2013-08-23 | 2014-08-19 | 액처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013173759A JP5893592B2 (ja) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | 液処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015041751A JP2015041751A (ja) | 2015-03-02 |
JP5893592B2 true JP5893592B2 (ja) | 2016-03-23 |
Family
ID=52479280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013173759A Active JP5893592B2 (ja) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | 液処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9348340B2 (ja) |
JP (1) | JP5893592B2 (ja) |
KR (1) | KR102255943B1 (ja) |
TW (1) | TWI585564B (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI630652B (zh) | 2014-03-17 | 2018-07-21 | 斯克林集團公司 | 基板處理裝置及使用基板處理裝置之基板處理方法 |
JP6499414B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2019-04-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
US10717117B2 (en) | 2017-02-22 | 2020-07-21 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
JP6975018B2 (ja) * | 2017-02-22 | 2021-12-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6959743B2 (ja) * | 2017-02-22 | 2021-11-05 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6887836B2 (ja) * | 2017-03-16 | 2021-06-16 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液供給装置、基板処理装置、および処理液供給方法 |
JP6983008B2 (ja) * | 2017-08-28 | 2021-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置および液処理方法 |
JP6979852B2 (ja) * | 2017-10-26 | 2021-12-15 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液供給装置、基板処理装置、および処理液供給方法 |
JP2020035920A (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
TWI702675B (zh) * | 2018-08-31 | 2020-08-21 | 辛耘企業股份有限公司 | 基板處理裝置 |
CN110875212B (zh) * | 2018-08-31 | 2022-07-01 | 辛耘企业股份有限公司 | 基板处理装置 |
CN110531794A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-12-03 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 液体压力控制装置和方法、清洗液供给机构 |
JP7312656B2 (ja) | 2019-09-24 | 2023-07-21 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
KR20230009396A (ko) | 2020-05-12 | 2023-01-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 액처리 장치 및 기판 액처리 방법 |
JP2022110505A (ja) | 2021-01-18 | 2022-07-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法および基板処理装置 |
TWI799172B (zh) * | 2021-03-19 | 2023-04-11 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置、及基板處理方法 |
US11914408B2 (en) * | 2022-01-21 | 2024-02-27 | Hamilton Sundstrand Corporation | Active flow control system |
CN115069640A (zh) * | 2022-06-14 | 2022-09-20 | 赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司 | 一种用于化学机械抛光工艺的清洗系统 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3841945B2 (ja) | 1997-10-29 | 2006-11-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP2000070887A (ja) * | 1998-09-03 | 2000-03-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 炭酸ガス溶存純水供給方法及び炭酸ガス溶存純水供給ユニット並びにそれを備えた基板処理装置 |
JP4856905B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2012-01-18 | 国立大学法人東北大学 | 流量レンジ可変型流量制御装置 |
CL2009000218A1 (es) * | 2008-02-11 | 2009-09-11 | Akzo Nobel Coatings Int Bv | Sistema y metodo de suministro de liquido para aplicar a un sustrato, que comprende; un tanque de liquido; unc onducto de alimentacion de liquido a una abertura de descarga; una bomba de alimentacion; una valvula para cambiar entre un modo de suministro y un modo de recirculacion, y una restriccion de area de flujo en un conducto de retorno. |
US8950414B2 (en) * | 2009-07-31 | 2015-02-10 | Tokyo Electron Limited | Liquid processing apparatus, liquid processing method, and storage medium |
JP5313074B2 (ja) | 2009-07-31 | 2013-10-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置、液処理方法、プログラムおよびプログラム記録媒体 |
JP2011124343A (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-23 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置、基板処理方法及びこの基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
JP5361847B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2013-12-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、この基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び基板処理装置 |
-
2013
- 2013-08-23 JP JP2013173759A patent/JP5893592B2/ja active Active
-
2014
- 2014-08-11 US US14/456,319 patent/US9348340B2/en active Active
- 2014-08-14 TW TW103127953A patent/TWI585564B/zh active
- 2014-08-19 KR KR1020140107729A patent/KR102255943B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150022687A (ko) | 2015-03-04 |
JP2015041751A (ja) | 2015-03-02 |
TWI585564B (zh) | 2017-06-01 |
TW201520718A (zh) | 2015-06-01 |
KR102255943B1 (ko) | 2021-05-24 |
US9348340B2 (en) | 2016-05-24 |
US20150053285A1 (en) | 2015-02-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5893592B2 (ja) | 液処理装置 | |
KR102353792B1 (ko) | 기판 액 처리 장치, 기판 액 처리 장치의 세정 방법 및 기억 매체 | |
JP6468916B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR20210037641A (ko) | 기판 액처리 장치 및 기판 액처리 방법 | |
JP5741549B2 (ja) | 処理液供給方法、処理液供給装置及び記憶媒体 | |
TWI619188B (zh) | Substrate liquid processing device and substrate liquid processing method | |
WO2022009661A1 (ja) | 液処理装置および液処理方法 | |
WO2017057727A1 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2015079884A5 (ja) | ||
JP6159651B2 (ja) | フィルタ洗浄方法、液処理装置及び記憶媒体 | |
JP2016189493A (ja) | 液処理方法、液処理装置及び記憶媒体 | |
US11798819B2 (en) | Liquid processing apparatus and liquid processing method | |
JP4987793B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、プログラムおよび記録媒体 | |
JP6657306B2 (ja) | 基板液処理装置及び基板液処理方法 | |
JP2022069237A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
US20210035825A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP2022108088A (ja) | 処理液供給システムおよび基板処理装置 | |
KR20240040026A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP5991403B2 (ja) | フィルタウエッティング方法、フィルタウエッティング装置及び記憶媒体 | |
JP6236982B2 (ja) | ボイラシステム | |
KR20210003682A (ko) | 액 처리 장치 및 액 처리 방법 | |
JP2012009667A (ja) | 半導体製造装置および処理方法 | |
KR20070082656A (ko) | 항온수 순환장치 | |
KR20060080071A (ko) | 챔버 하부에 가스유량제어기를 갖는 건식식각장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160224 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5893592 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |