KR102172681B1 - Method and apparatus for breaking brittle material substrate - Google Patents

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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 표면에 볼록부를 갖는 기판을 브레이크 바로 깨끗하게 브레이크할 수 있는 브레이크 방법 그리고 브레이크 장치를 제공한다.
(해결 수단) 기판 본체(W1)의 한쪽의 면에 형성된 수지층(W2)의 표면에 볼록부(1)가 형성되고, 기판 본체(W1)의 다른 한쪽의 면에 스크라이브 라인(S)이 형성되어 있는 취성 재료 기판(W)을, 수지층(W2)의 면으로부터 브레이크 바(9)를 압압함으로써, 취성 재료 기판(W)을 휘게 하여 스크라이브 라인(S)을 따라 브레이크하는 취성 재료 기판의 브레이크 방법으로서, 브레이크 바(9) 선단의 직선 형상 능선부(9a)에서, 브레이크되는 취성 재료 기판(W)의 볼록부(1)에 상대되는 부분에, 당해 볼록부(1)가 끼이는 오목부(9b)를 형성하고, 브레이크 바(9)의 압압시에 취성 재료 기판(W)의 압압면 전역에 균등한 압압 하중이 가해지도록 하여 브레이크한다. (Task) To provide a brake method and a brake device that can cleanly brake a substrate having a convex portion on the surface with a brake bar.
(Solution means) A convex portion 1 is formed on the surface of the resin layer W2 formed on one surface of the substrate main body W1, and a scribe line S is formed on the other surface of the substrate main body W1. The brittle material substrate W is braked along the scribe line S by bending the brittle material substrate W by pressing the brake bar 9 from the surface of the resin layer W2. As a method, a concave portion in which the convex portion 1 is pinched in a portion opposite to the convex portion 1 of the brittle material substrate W to be braked in the straight ridge portion 9a at the tip of the brake bar 9 (9b) is formed, and when the brake bar 9 is pressed, an equal pressing load is applied to the entire pressing surface of the brittle material substrate W to thereby brake.

Description

취성 재료 기판의 브레이크 방법 그리고 브레이크 장치{METHOD AND APPARATUS FOR BREAKING BRITTLE MATERIAL SUBSTRATE}Brake method and brake device of brittle material substrate {METHOD AND APPARATUS FOR BREAKING BRITTLE MATERIAL SUBSTRATE}

본 발명은, 유리나 세라믹 등의 취성 재료(brittle material)로 이루어지는 기판 본체의 편면(片面)에 실리콘 등의 수지층이 형성된 기판에 대하여, 기판 본체에 형성된 스크라이브 라인(scribing line;절홈)을 따라 기판을 브레이크하는 브레이크 방법 그리고 브레이크 장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은, 수지층 표면에 볼록부가 형성되고, 기판 본체의 이면(裏面)에 전단(前段) 공정에서 스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판의 브레이크 방법 그리고 그 브레이크 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate in which a resin layer such as silicon is formed on one side of a substrate body made of a brittle material such as glass or ceramic, along a scribing line formed in the substrate body. It relates to a brake method and a brake device for braking the vehicle. In particular, the present invention relates to a braking method for a brittle material substrate in which a convex portion is formed on a surface of a resin layer and a scribe line is formed in a shearing step on the back surface of a substrate body, and a brake device thereof.

종래부터, 기판의 표면에 커터 휠(스크라이빙 휠이라고도 함)이나 고정날, 또는 레이저빔 등의 스크라이브 수단을 이용하여, 서로 직교하는 X방향 그리고 Y방향의 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후, 당해 스크라이브 라인의 반대측의 면으로부터 외력을 인가하여 기판을 휘게 하거나, 눌러 굽히거나 함으로써, 기판을 스크라이브 라인을 따라 브레이크하여 칩 등의 단위 제품을 취출하는 방법은 알려져 있고, 예를 들면, 특허문헌 1∼특허문헌 3 등에서 개시되어 있다. Conventionally, scribe lines in the X and Y directions orthogonal to each other are formed on the surface of a substrate using scribing means such as a cutter wheel (also referred to as a scribing wheel), a fixed blade, or a laser beam, and then, A method of breaking the substrate along the scribe line by applying an external force from the side opposite to the scribe line to bend or press bending the substrate to take out unit products such as chips is known. For example, Patent Document 1 -It is disclosed in patent document 3 etc.

또한, 기판을 스크라이브 라인을 따라 휘게 하여 브레이크하기 위한 수단은, 종래부터 각종의 것이 알려져 있다. In addition, various types of means for breaking the substrate by bending it along the scribe line have been conventionally known.

도 6은, 일반적으로 이용되고 있는 브레이크 방법의 일 예를 나타내는 도면이다. 도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 기판 본체(W1)의 표면에 수지층(W2)이 형성된 기판(W')은, 다이싱 링(도시하지 않음)에 지지된 탄력성이 있는 점착성의 다이싱 테이프(16)에 접착된다. 6 is a diagram showing an example of a generally used brake method. As shown in Fig. 6(a), the substrate W'on which the resin layer W2 is formed on the surface of the substrate main body W1 is a flexible adhesive dicing supported by a dicing ring (not shown). It is adhered to the tape 16.

기판 본체(W1)의 하면에는, 전단 공정에서 서로 직교하는 복수조의 스크라이브 라인(S)이 형성되어 있고, 이 기판(W')을 접착한 다이싱 테이프(16)를, 수평인 테이블(17) 상에 쿠션 시트(18)를 개재하여 올려놓는다. 이때, 기판(W')의 스크라이브 라인(S)이 형성되어 있는 면이 하측이 되도록 한다. 그리고, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 기판(W')의 상방으로부터 브레이크 바(19)를 강하시켜 기판(W')을 휘게 함으로써, 기판 본체(W1)의 스크라이브 라인(S)의 균열(크랙)을 두께 방향으로 진전시켜, 기판 본체(W1)를 브레이크함과 동시에 수지층(W2)도 브레이크한다. On the lower surface of the substrate main body W1, a plurality of sets of scribe lines S, which are orthogonal to each other in a shearing step, are formed, and a dicing tape 16 adhered to the substrate W'is placed on a horizontal table 17. The cushion sheet 18 is placed on top. At this time, the surface of the substrate W'on which the scribe line S is formed is made to be the lower side. And, as shown in Fig. 6(b), by lowering the brake bar 19 from above the substrate W'to bend the substrate W', the scribe line S of the substrate main body W1 is cracked. The (crack) advances in the thickness direction to break the substrate main body W1 and also break the resin layer W2.

도 7은 다른 브레이크 방법을 나타내는 도면이다. 이 방법에서는, 상기 쿠션 시트(18)를 대신하여, 스크라이브 라인(S)을 사이에 끼워 기판(W')을 수용하는 한 쌍의 수용날(20, 20)을 배치한다. 그리고, 다이싱 테이프(16)에 접착된 기판(W')의, 스크라이브 라인(S)을 형성한 면과는 반대측의 면으로부터 브레이크 바(19)를 기판(W')에 밀어붙임으로써, 기판(W')을 상기와 동일하게 스크라이브 라인(S)을 따라 휘게 하여 브레이크하도록 하고 있다. 7 is a diagram showing another braking method. In this method, in place of the cushion sheet 18, a pair of receiving blades 20 and 20 for accommodating the substrate W'is disposed between the scribe line S. Then, by pushing the brake bar 19 against the substrate W'from the side opposite to the surface on which the scribe line S is formed of the substrate W'adhered to the dicing tape 16, the substrate In the same manner as above, (W') is bent along the scribe line S to brake.

일본공개특허공보 제2013-071335호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2013-071335 일본공개특허공보 제2012-131216호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-131216 일본공개특허공보 제2011-212963호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2011-212963

브레이크되는 기판(W')은, 대부분의 경우, 브레이크 바가 밀어붙여지는 면이 평탄한 면으로 형성되어 있다. 따라서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 브레이크 바(19)의 직선 형상의 하단 능선부(19a)를 기판(W')에 대하여 그 전역에 걸쳐 균등한 압압(pushing) 하중으로 밀어붙일 수 있다. In most cases, the substrate W'to be braked has a flat surface on which the brake bar is pressed. Accordingly, as shown in Fig. 8, the linear lower ridge portion 19a of the brake bar 19 can be pushed against the substrate W'with an equal pushing load over the entire area.

그러나 기판에 따라서는, 예를 들면 도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 수지층(W2)의 표면에 볼록부(1)가 기판(W)의 주변부를 따라 형성되며, 이 볼록부(1)에 의해 둘러싸인 영역 내에, 단위 제품을 구분하는 X-Y방향의 스크라이브 라인(S)이 기판 본체(W1)의 하면에 형성되어 있는 경우가 있다. However, depending on the substrate, for example, as shown in Fig. 1(a), a convex portion 1 is formed along the periphery of the substrate W on the surface of the resin layer W2, and this convex portion 1 A scribe line S in the XY direction for separating unit products may be formed on the lower surface of the substrate main body W1 in the area surrounded by.

이러한 경우, 도 8과 같이 선단 능선부(19a)가 그 전체 길이에 걸쳐 직선 형상으로 형성되어 있는 브레이크 바(19)로 도 1의 기판(W)을 밀어붙이면, 볼록부(1) 근방의 압압력이 다른 부분보다 강해져 기판(W)의 상면에 가해지는 하중이 불균등해진다. 이 때문에, 기판 본체(W1)의 스크라이브 라인(S)의 크랙이 비스듬하게 발생하거나, 칩핑(이빠짐) 등이 발생하거나 함과 함께, 수지층(W2)의 내부에 불규칙한 균열이 발생하거나 하는 경우가 있어 불량품이 되어, 제품 수율이 악화된다는 문제점이 있었다. In this case, when the substrate W of FIG. 1 is pushed with the brake bar 19 in which the tip ridge portion 19a is formed in a linear shape over the entire length as shown in FIG. 8, the pressure in the vicinity of the convex portion 1 The pressure becomes stronger than that of other parts, so that the load applied to the upper surface of the substrate W becomes uneven. For this reason, when a crack occurs in the scribe line S of the substrate main body W1 at an angle, or chipping (separating) occurs, and an irregular crack occurs inside the resin layer W2. There is a problem that the product yield is deteriorated due to a defective product.

또한, 브레이크 바(19)의 날끝이 되는 선단 능선부(19a)에 있어서, 수지층(W2)의 볼록부(1)가 맞닿는 부분이 다른 부분보다 큰 하중을 받기 때문에, 반복 사용하는 동안에 국부적인 마모가 발생하여, 평탄한 표면을 갖는 기판의 브레이크용으로서 사용할 수 없게 된다는 문제점도 있었다. In addition, in the tip ridge portion 19a that becomes the blade tip of the brake bar 19, the portion where the convex portion 1 of the resin layer W2 abuts receives a larger load than the other portions, so that localized during repeated use There is also a problem that abrasion occurs and it cannot be used as a brake for a substrate having a flat surface.

그래서 본 발명은, 상기 과제를 해결하여, 수지층 표면에 볼록부를 갖는 취성 재료 기판을 브레이크 바로 깨끗하게 브레이크할 수 있는 브레이크 방법 그리고 브레이크 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. Accordingly, an object of the present invention is to solve the above problems and to provide a brake method and a brake device capable of cleanly breaking a brittle material substrate having a convex portion on a surface of a resin layer with a brake bar.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉, 본 발명에 따른 취성 재료 기판의 브레이크 방법은, 기판 본체의 한쪽의 면에 형성된 수지층의 표면에 볼록부가 형성되고, 상기 기판 본체의 다른 한쪽의 면에 스크라이브 라인이 형성되어 있는 취성 재료 기판을, 상기 수지층의 면으로부터 브레이크 바를 압압함으로써 상기 취성 재료 기판을 휘게 하여 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 취성 재료 기판의 브레이크 방법으로서, 상기 브레이크 바의 선단의 직선 형상 능선부에서, 브레이크되는 취성 재료 기판의 상기 볼록부에 상대되는 부분에, 당해 볼록부가 끼이는 오목부를 형성하고, 브레이크 바의 압압시에 취성 재료 기판의 브레이크 바 압압면 전역에 균등한 압압 하중이 가해지도록 하여 브레이크하도록 했다. In order to solve the above problems, the present invention devised the following technical means. That is, in the method of breaking a brittle material substrate according to the present invention, a brittle material substrate in which a convex portion is formed on the surface of a resin layer formed on one side of the substrate main body and a scribe line is formed on the other side of the substrate main body. A brittle material substrate braking method for bending the brittle material substrate by pressing the brake bar from the surface of the resin layer to break along the scribe line, wherein the brittle material is braked at a straight ridge line at the tip of the brake bar. A concave portion in which the convex portion is pinched is formed in a portion of the substrate opposed to the convex portion, and when the brake bar is pressed, an equal pressing load is applied to the entire brake bar pressing surface of the brittle material substrate to brake.

또한, 다른 관점에서 이루어진 본 발명의 취성 재료 기판의 브레이크 장치는, 기판 본체의 한쪽의 면에 형성된 수지층의 표면에 볼록부가 형성되고, 상기 기판 본체의 다른 한쪽의 면에 스크라이브 라인이 형성되어 있는 취성 재료 기판을, 상기 수지층의 면으로부터 브레이크 바를 압압함으로써 상기 취성 재료 기판을 휘게 하여 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 취성 재료 기판의 브레이크 장치로서, 상기 브레이크 바의 선단의 직선 형상 능선부에서, 브레이크되는 취성 재료 기판의 상기 볼록부에 상대되는 부분에, 당해 볼록부가 끼이는 오목부가 형성되도록 되어 있다. Further, in the braking apparatus for a brittle material substrate of the present invention made from another viewpoint, a convex portion is formed on the surface of a resin layer formed on one side of the substrate body, and a scribe line is formed on the other side of the substrate body. A braking device for a brittle material substrate for braking along the scribe line by bending the brittle material substrate by pressing a brake bar from the surface of the resin layer, comprising: a brake at a straight ridge of a tip of the brake bar A concave portion into which the convex portion is pinched is formed in a portion of the brittle material substrate that is opposed to the convex portion.

본 발명에서는, 브레이크 바의 선단 능선부에, 브레이크되는 취성 재료 기판의 볼록부가 끼이는 오목부를 형성하고, 브레이크 바의 압압시에 취성 재료 기판의 브레이크 바 압압면 전역에 균등한 압압 하중이 가해지도록 하여 브레이크하도록 했기 때문에, 브레이크시에 종래와 같은 하중 불균등에 의한 불규칙한 균열의 발생이나, 분단면에서의 칩핑의 발생을 억제하여, 취성 재료 기판을 스크라이브 라인을 따라 깨끗하게 브레이크하는 것이 가능해졌다. In the present invention, a concave portion is formed in the tip ridge of the brake bar to which the convex portion of the brittle material substrate to be braked is pinched, so that an equal pressing load is applied to the entire brake bar pressing surface of the brittle material substrate when the brake bar is pressed. Therefore, it is possible to brake the brittle material substrate cleanly along the scribe line by suppressing the occurrence of irregular cracks due to uneven load or chipping at the divided surface as in the prior art during brake.

본 발명에 있어서, 상기 브레이크 바의 오목부의 깊이가 상기 취성 재료 기판의 볼록부의 높이와 동일하게 형성되고, 상기 오목부의 폭은, 상기 볼록부가 여유를 갖고 끼일 수 있는 치수로 형성되어 있는 구성으로 하는 것이 좋다. In the present invention, the depth of the concave portion of the brake bar is formed equal to the height of the convex portion of the brittle material substrate, and the width of the concave portion is formed such that the convex portion is pinched with a margin. It is good.

이에 따라, 브레이크 바를 취성 재료 기판의 볼록부 그리고 평탄한 표면 부분에 대하여 균등한 하중으로 밀어붙일 수 있음과 함께, 브레이크 바의 오목부가 취성 재료 기판의 볼록부에 끼일 때에 볼록부의 에지에 닿아 파손되는 바와 같은 문제를 막을 수 있다. Accordingly, the brake bar can be pressed against the convex portion and the flat surface portion of the brittle material substrate with an equal load, and when the concave portion of the brake bar is caught in the convex portion of the brittle material substrate, it touches the edge of the convex portion and is damaged. The same problem can be prevented.

도 1은 본 발명의 브레이크 방법 그리고 브레이크 장치에 의해 브레이크되는 기판의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 브레이크 장치의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2의 브레이크 장치에 의한 브레이크 공정을 나타내는 도면이다.
도 4는 기판을 다이싱 테이프에 접착한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 2의 브레이크 장치에 의한 브레이크 공정을 나타내는 단면도이다.
도 6은 종래의 일반적인 브레이크 방법의 일 예를 나타내는 설명도이다.
도 7은 종래의 브레이크 방법의 다른 예를 나타내는 설명도이다.
도 8은 종래의 브레이크 방법에 있어서의 브레이크 바의 형태를 설명하기 위한 단면도이다.1 is a view showing an example of a brake method and a substrate braked by a brake device according to the present invention.
2 is a perspective view showing an example of a brake device according to the present invention.
3 is a diagram showing a braking process by the brake device of FIG. 2.
4 is a perspective view showing a state in which a substrate is adhered to a dicing tape.
5 is a cross-sectional view showing a braking process by the brake device of FIG. 2.
6 is an explanatory diagram showing an example of a conventional general brake method.
7 is an explanatory view showing another example of a conventional brake method.
8 is a cross-sectional view for explaining the shape of a brake bar in a conventional brake method.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Form for carrying out the invention)

이하에 있어서, 본 발명의 기판 브레이크 방법 그리고 기판 브레이크 장치의 실시 형태를 도 1∼도 5에 기초하여 설명한다. 도 1은 본 발명에 의해 브레이크되는 취성 재료 기판(W)의 형태의 일 예를 나타내는 도면이다. 취성 재료 기판(W)은, 유리나 세라믹 등의 취성 재료로 이루어지는 기판 본체(W1)와, 당해 기판 본체(W1)의 상면에 형성된 실리콘 등의 수지층(W2)으로 이루어진다. 수지층(W2)의 표면에는, 도 1(a)의 사시도, 도 1(b)의 단면도, 도 1(c)의 평면도에 나타내는 바와 같이, 상면 주변부를 따라 볼록부(1)가 사각형의 루프를 그리도록 형성되고, 이 볼록부(1)에 의해 둘러싸인 영역 내에서, 기판 본체(W1)의 하면에 단위 제품을 구분하는 X-Y방향의 스크라이브 라인(S)이 전단 공정에서 형성되어 있다. 이하에 있어서, 이 취성 재료 기판(W)을 단순히 「기판(W)」이라고 한다. Hereinafter, an embodiment of the substrate brake method and substrate brake apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5. 1 is a diagram showing an example of a form of a brittle material substrate W to be broken by the present invention. The brittle material substrate W is made of a substrate main body W1 made of a brittle material such as glass or ceramic, and a resin layer W2 such as silicon formed on the upper surface of the substrate main body W1. On the surface of the resin layer W2, as shown in the perspective view of Fig. 1(a), the cross-sectional view of Fig. 1(b), and the plan view of Fig. 1(c), the convex part 1 is a rectangular loop along the periphery of the upper surface. A scribe line S in the XY direction for separating unit products is formed on the lower surface of the substrate main body W1 in a region surrounded by the convex portion 1 in a shearing step. Hereinafter, this brittle material substrate W is simply referred to as "substrate W".

도 2는 본 발명에 따른 브레이크 장치(A)의 일 예를 나타내는 도면이다. 2 is a view showing an example of a brake device (A) according to the present invention.

브레이크 장치(A)는, 기판(W)을 올려놓고 지지(holding)하는 테이블(2)을 구비하고 있다. 테이블(2)은, 수평인 레일(3)을 따라 Y방향으로 이동할 수 있게 되어 있고, 모터(M)에 의해 회전하는 나사축(4)에 의해 구동된다. 또한, 테이블(2)은, 모터를 내장하는 회전 구동부(5)에 의해 수평면 내에서 회전이동할 수 있게 되어 있다. The brake device A is provided with a table 2 for placing and holding a substrate W. The table 2 is capable of moving in the Y direction along the horizontal rail 3, and is driven by a screw shaft 4 rotating by a motor M. In addition, the table 2 can be rotated within a horizontal plane by a rotation driving unit 5 incorporating a motor.

테이블(2)을 사이에 끼워 형성되어 있는 양측의 지지 기둥(6, 6)과, X방향으로 수평으로 연장되는 빔(동살)(7)으로 이루어지는 브리지(13)가, 테이블(2) 상을 걸치도록 하여 형성되어 있다. 빔(7)에는, 유체 실린더(8)에 의해 테이블(2)을 향하여 상하이동하는 장척판 형상의 브레이크 바(9)가 설치되어 있다. 브레이크 바(9)는, 그 하단에 선단부를 가늘게 한 직선 형상의 능선부(9a)를 구비하고 있다. 이 능선부(9a)의 소정 위치, 즉, 후술하는 브레이크 동작시에 있어서 테이블(2) 상에 올려놓여진 기판(W)의 볼록부(1)에 상대되는 위치에, 볼록부(1)가 끼이는 오목부(9b)가 형성되어 있다(도 3(a) 참조).A bridge 13 composed of a beam (column) 7 extending horizontally in the X direction and the support columns 6 and 6 on both sides formed by sandwiching the table 2 between the table 2 It is formed so as to run. The beam 7 is provided with a brake bar 9 in the shape of a long plate that moves upwardly toward the table 2 by a fluid cylinder 8. The brake bar 9 is provided with a straight ridge portion 9a with a thinner tip end thereof at its lower end. The convex portion 1 is pinched at a predetermined position of the ridge portion 9a, that is, a position relative to the convex portion 1 of the substrate W placed on the table 2 during a brake operation described later. This has a concave portion 9b (see Fig. 3(a)).

도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 브레이크 바(9)의 오목부(9b)의 깊이(H)는 기판(W)의 볼록부(1)의 높이(h)와 동일하고, 오목부(9b)의 폭(L1)은, 기판(W)의 볼록부(1)가 여유를 갖고 끼일 수 있도록 볼록부(1)의 폭(L2)보다 조금 길게 형성되어 있다. As shown in Fig. 3(a), the depth H of the concave portion 9b of the brake bar 9 is the same as the height h of the convex portion 1 of the substrate W, and the concave portion 9b The width L1 of) is formed to be slightly longer than the width L2 of the convex part 1 so that the convex part 1 of the substrate W can be pinched with a margin.

기판(W)을 브레이크함에 있어서는, 우선, 도 4에 나타내는 바와 같이, 기판(W)을 다이싱 링(10)에 지지된 탄력성이 있는 점착성의 다이싱 테이프(11)에 대하여, 스크라이브 라인(S)이 하방이 되도록 하여 접착한다. 그리고 도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 이 기판(W)을 접착한 다이싱 테이프(11)를, 쿠션 시트(12)를 개재하여 브레이크 장치(A)의 테이블(2) 상에 얹어 지지한다. 이때, 기판(W)의 스크라이브 라인(S)이 형성되어 있는 면이 하측이 되도록 한다. In breaking the substrate W, first, as shown in FIG. 4, with respect to the elastic adhesive dicing tape 11 supported by the dicing ring 10, the substrate W is subjected to a scribe line S. Attach it with) facing down. Then, as shown in Fig. 3(a), the dicing tape 11 to which this substrate W is adhered is placed on the table 2 of the brake device A through the cushion sheet 12 and supported. . At this time, the surface of the substrate W on which the scribe line S is formed is positioned at the lower side.

그리고 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 기판(W)의 상방으로부터 브레이크 바(9)를 스크라이브 라인(S)을 향하여 강하시켜 기판(W)을 밀어붙여, 스크라이브 라인(S)을 쿠션 시트(12) 상에서 휘게 하여 스크라이브 라인(S)의 균열을 두께 방향으로 침투시켜 기판(W)을 브레이크한다. Then, as shown in Fig. 3(b), the brake bar 9 is lowered from the upper side of the substrate W toward the scribe line S to push the substrate W, and the scribe line S is replaced with a cushion sheet ( 12) Break the substrate W by bending it on the top to penetrate the crack of the scribe line S in the thickness direction.

이 브레이크 바(9)에 의한 브레이크시에 있어서, 도 5(a), 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 기판(W)의 볼록부(1)는 브레이크 바(9)의 오목부(9b)에 끼임과 함께, 오목부(9b)의 깊이(H)가 볼록부(1)의 높이(h)와 동일하게 형성되어 있기 때문에, 브레이크 바(9)의 오목부(9b)와 직선 형상의 능선부(9a)의 기판(W)에 대한 압압 하중이 균등해진다. 이에 따라, 종래와 같은 하중 불균등에 의해, 기판 본체(W1)의 스크라이브 라인(S)으로부터 어긋나 비스듬하게 브레이크하거나, 수지층(W2)의 내부에 불규칙한 균열을 발생시키거나 하는 일 없이, 기판(W)을 스크라이브 라인(S)을 따라 깨끗하게 브레이크할 수 있다. In the case of a brake by the brake bar 9, as shown in Figs. 5(a) and 5(b), the convex portion 1 of the substrate W is the concave portion 9b of the brake bar 9 ), and the depth (H) of the concave portion (9b) is formed equal to the height (h) of the convex portion (1), so that the concave portion (9b) of the brake bar (9) and the linear shape The pressing load of the ridge portion 9a on the substrate W is equalized. Accordingly, the substrate W is not deviated from the scribe line S of the substrate main body W1 due to a load unevenness as in the prior art, and without causing an irregular crack in the inside of the resin layer W2. ) Can cleanly break along the scribe line (S).

본 발명에 있어서, 상기 실시예에서는 기판(W)의 하면에 쿠션 시트(12)를 부설(敷設)하고, 브레이크 바(9)를 밀어붙임으로써 기판(W)을 휘게 하도록 했지만, 쿠션 시트(12)를 대신하여, 도 7에 나타낸 바와 같은 스크라이브 라인(S)을 사이에 끼워 기판(W')을 수용하는 한 쌍의 수용날(20, 20)을 배치하도록 해도 좋다. In the present invention, in the above embodiment, the cushion sheet 12 is laid on the lower surface of the substrate W, and the substrate W is bent by pushing the brake bar 9, but the cushion sheet 12 Instead of ), a pair of receiving blades 20 and 20 for accommodating the substrate W'may be disposed between the scribe line S as shown in FIG. 7.

이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시예 구조에만 특정되는 것이 아니다. 예를 들면, 상기한 다이싱 테이프(11)를 생략하는 것도 가능하다. 그 외 본 발명에서는, 그 목적을 달성하여, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절하게 수정, 변경할 수 있다. As mentioned above, although the representative example of this invention was demonstrated, this invention is not necessarily specific only to the said Example structure. For example, it is possible to omit the dicing tape 11 described above. In addition, in the present invention, the object can be achieved and appropriately corrected and changed without departing from the scope of the claims.

본 발명은, 기판 본체의 편면에 수지층이 형성되고, 수지층 표면에 볼록부가 형성된 취성 재료 기판의 브레이크에 적용할 수 있다.The present invention can be applied to a brake of a brittle material substrate in which a resin layer is formed on one side of a substrate main body and a convex portion is formed on the resin layer surface.

A : 브레이크 장치
S : 스크라이브 라인
W : 취성 재료 기판
W1 : 기판 본체
W2 : 수지층
1 : 볼록부
2 : 테이블
9 : 브레이크 바
9a : 브레이크 바의 직선 형상의 능선부
9b : 브레이크 바의 오목부
11 : 다이싱 테이프
12 : 쿠션 시트A: brake device
S: scribe line
W: brittle material substrate
W1: board body
W2: resin layer
1: convex
2: table
9: brake bar
9a: Straight ridge of the brake bar
9b: recess of the brake bar
11: dicing tape
12: cushion seat

Claims (3)

기판 본체의 한쪽의 면에 형성된 수지층의 표면에 볼록부가 형성되고, 상기 기판 본체의 다른 한쪽의 면에 스크라이브 라인이 형성되어 있는 취성 재료 기판을, 상기 수지층의 면으로부터 브레이크 바를 압압함으로써 상기 취성 재료 기판을 휘게 하여 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 취성 재료 기판의 브레이크 방법으로서,
상기 브레이크 바의 선단의 직선 형상 능선부에서, 브레이크되는 취성 재료 기판의 상기 볼록부에 상대되는 부분에, 당해 볼록부가 끼이는 오목부를 형성하고, 브레이크 바의 압압시에 취성 재료 기판의 브레이크 바 압압면 전역에 균등한 압압 하중이 가해지도록 하여 브레이크하도록 한 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 브레이크 방법.A brittle material substrate with a convex portion formed on the surface of a resin layer formed on one side of the substrate body and a scribe line formed on the other side of the substrate body is pressed against the surface of the resin layer, thereby pressing the brittle material. A method of breaking a brittle material substrate by bending a material substrate to break along the scribe line,
In the straight ridge of the front end of the brake bar, a concave portion is formed in a portion of the brittle material substrate to be braked against the convex portion, and when the brake bar is pressed, the brake bar pressure of the brittle material substrate A braking method for a brittle material substrate, characterized in that the brake is performed by applying an equal pressing load to the entire pressing surface. 기판 본체의 한쪽의 면에 형성된 수지층의 표면에 볼록부가 형성되고, 상기 기판 본체의 다른 한쪽의 면에 스크라이브 라인이 형성되어 있는 취성 재료 기판을, 상기 수지층의 면으로부터 브레이크 바를 압압함으로써 상기 취성 재료 기판을 휘게 하여 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 취성 재료 기판의 브레이크 장치로서,
상기 브레이크 바의 선단의 직선 형상 능선부에서, 브레이크되는 취성 재료 기판의 상기 볼록부에 상대되는 부분에, 당해 볼록부가 끼이는 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 브레이크 장치.A brittle material substrate with a convex portion formed on the surface of a resin layer formed on one side of the substrate body and a scribe line formed on the other side of the substrate body is pressed against the surface of the resin layer, thereby pressing the brittle material. A braking device for a brittle material substrate that bends a material substrate to break along the scribe line,
A braking device for a brittle material substrate, wherein a concave portion to which the convex portion is pinched is formed in a portion of the brittle material substrate to be braked against the convex portion in the straight ridge portion of the tip of the brake bar. 제2항에 있어서,
상기 브레이크 바의 오목부의 깊이가 상기 취성 재료 기판의 볼록부의 높이와 동일하게 형성되고, 상기 오목부의 폭은, 상기 볼록부가 여유를 갖고 끼일 수 있는 치수로 형성되어 있는 취성 재료 기판의 브레이크 장치.

The method of claim 2,
A brake device for a brittle material substrate, wherein the depth of the concave portion of the brake bar is equal to the height of the convex portion of the brittle material substrate, and the width of the concave portion is formed such that the convex portion can be pinched with a margin.
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