KR102148842B1 - Inspection tool, inspection unit and inspection apparatus - Google Patents

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Abstract

소형화에 대응 가능한 검사구를 제공한다.
검사구가, 적어도 3개의 수용부를 내부에 갖는 하우징과, 연장 방향의 양단부가 하우징의 외부에 노출된 상태로 수용부에 각각 수용된 제1 전원 단자, 신호 단자 및 제2 전원 단자를 구비한다. 제1 전원 단자, 신호 단자 및 제2 전원 단자의 각각이, 연장 방향으로 신축 가능한 적어도 하나의 판상의 프로브 핀으로 구성되고, 이 프로브 핀이, 그 판면끼리가 대향하도록 판 두께 방향으로 직렬적으로 나열되어 배치되어 있다. 또한, 신호 단자가, 프로브 핀의 판 두께 방향에 있어서, 제1 전원 단자 및 제2 전원 단자 사이에 배치되어 있다.We provide inspection tools that can cope with miniaturization.
The inspection tool includes a housing having at least three accommodating portions therein, and a first power terminal, a signal terminal, and a second power terminal respectively accommodated in the accommodating portion with both ends in the extending direction exposed to the outside of the housing. Each of the first power supply terminal, the signal terminal and the second power supply terminal is composed of at least one plate-shaped probe pin expandable and contractible in the extension direction, and the probe pins are serially arranged in the plate thickness direction so that the plate surfaces thereof face each other. They are arranged and arranged. Further, the signal terminal is disposed between the first power supply terminal and the second power supply terminal in the thickness direction of the probe pin.

Description

검사구, 검사 유닛 및 검사 장치 {INSPECTION TOOL, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS}Inspection tool, inspection unit and inspection device {INSPECTION TOOL, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS}

본 개시는 검사 대상물(예를 들어, 배터리 모듈 등의 전자 부품 모듈)을 검사 가능한 검사구, 이 검사구를 구비한 검사 유닛, 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to an inspection tool capable of inspecting an object to be inspected (for example, an electronic component module such as a battery module), an inspection unit including the inspection tool, and an inspection apparatus including the inspection unit.

배터리 모듈 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로, 그 제조 공정에 있어서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는, 일반적으로, 복수의 프로브 핀이 수용된 검사구를 사용하여, 검사 장치와 전자 부품 모듈을 접속함으로써 행해진다.In an electronic component module such as a battery module, in general, a conduction test and an operation characteristic test are performed in the manufacturing process. These inspections are generally performed by connecting an inspection device and an electronic component module using an inspection tool in which a plurality of probe pins are accommodated.

이와 같은 프로브 핀으로서는, 특허문헌 1에 기재된 포고 핀 타입의 프로브 핀이 있다. 이 프로브 핀은 접촉 단자 및 접촉 단자와 동축에 마련된 플런저 본체부를 갖는 플런저부와, 플런저부의 외주측에 마련된 배럴부를 구비하고 있다.As such a probe pin, there is a pogo pin type probe pin described in Patent Document 1. The probe pin has a contact terminal, a plunger portion having a plunger body portion disposed coaxially with the contact terminal, and a barrel portion provided on the outer circumference side of the plunger portion.

일본 특허 공개 제2016-142644호 공보Japanese Patent Publication No. 2016-142644

근년, 전자 부품 모듈의 소형화가 진행되고, 전자 부품 모듈의 검사를 행하기 위한 검사구도 소형화에 대응할 것이 요청되고 있다.In recent years, miniaturization of electronic component modules has progressed, and inspection tools for inspecting electronic component modules are also requested to cope with miniaturization.

상기 프로브 핀과 같은 포고 핀 타입의 프로브 핀은 일반적으로, 소형화되면 될수록 강성이 저하되어 손상되기 쉬워진다. 이 때문에, 상기 프로브 핀을 사용한 검사구로는, 소형화에 대응할 수 없을 우려가 있다.In general, a pogo pin type probe pin, such as the probe pin, becomes more susceptible to damage due to lower rigidity as the size decreases. For this reason, there is a fear that the inspection tool using the probe pin cannot cope with miniaturization.

본 개시는, 소형화에 대응 가능한 검사구, 검사 유닛 및 검사 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.An object of the present disclosure is to provide an inspection tool, an inspection unit, and an inspection device capable of miniaturization.

본 개시의 일례의 검사구는,An example inspection tool of the present disclosure,

적어도 3개의 수용부를 내부에 갖는 하우징과, A housing having at least three receiving portions therein,

연장 방향의 양단부가 상기 하우징의 외부에 노출된 상태로 상기 수용부에 각각 수용된 제1 전원 단자, 신호 단자 및 제2 전원 단자를 구비하고,A first power terminal, a signal terminal, and a second power terminal respectively accommodated in the accommodating portion with both ends of the extension direction exposed to the outside of the housing,

상기 제1 전원 단자, 상기 신호 단자 및 상기 제2 전원 단자의 각각이, 상기 연장 방향으로 신축 가능한 적어도 하나의 판상의 프로브 핀으로 구성되고,Each of the first power terminal, the signal terminal, and the second power terminal is composed of at least one plate-shaped probe pin expandable and contractable in the extension direction,

상기 제1 전원 단자, 상기 신호 단자 및 상기 제2 전원 단자의 각각을 구성하는 상기 프로브 핀이, 그 판면끼리가 대향하도록 판 두께 방향으로 직렬적으로 나열되어 배치되고,The probe pins constituting each of the first power terminal, the signal terminal, and the second power terminal are arranged in series in the plate thickness direction so that the plate surfaces thereof face each other,

상기 신호 단자가, 상기 판 두께 방향에 있어서, 상기 제1 전원 단자 및 상기 제2 전원 단자 사이에 배치되어 있다.The signal terminal is disposed between the first power terminal and the second power terminal in the thickness direction.

또한, 본 개시의 일례의 검사 유닛은,In addition, the inspection unit of an example of the present disclosure,

상기 검사구를 적어도 하나 구비했다.At least one test tool was provided.

또한, 본 개시의 일례의 검사 장치는,In addition, the inspection device of an example of the present disclosure,

상기 검사 유닛을 적어도 하나 구비했다.At least one inspection unit was provided.

상기 검사구에 의하면, 연장 방향의 양단부가 하우징의 외부에 노출된 상태로 적어도 3개의 수용부에 각각 수용된 제1 전원 단자, 신호 단자 및 제2 전원 단자를 구비하고, 제1 전원 단자, 신호 단자 및 제2 전원 단자의 각각이, 적어도 하나의 판상의 프로브 핀으로 구성되어 있다. 즉, 제1 전원 단자, 신호 단자 및 제2 전원 단자의 각각이, 소형화해도 강성이 저하되기 어려운 판상의 프로브 핀으로 구성되어 있으므로, 소형화에 대응 가능한 검사구를 실현할 수 있다.According to the inspection tool, a first power terminal, a signal terminal, and a second power terminal respectively accommodated in at least three accommodating portions with both ends in the extension direction exposed to the outside of the housing, and a first power terminal and a signal terminal And each of the second power supply terminals is constituted by at least one plate-shaped probe pin. That is, since each of the first power supply terminal, the signal terminal and the second power supply terminal is constituted by a plate-shaped probe pin whose rigidity is difficult to decrease even when miniaturized, an inspection tool capable of miniaturization can be realized.

상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사구에 의해, 더 소형의 전자 부품 모듈의 검사를 행하는 것이 가능한 검사 유닛을 실현할 수 있다.According to the inspection unit, it is possible to realize an inspection unit capable of inspecting a smaller electronic component module by the inspection tool.

상기 검사 장치에 의하면, 상기 검사 유닛에 의해, 더 소형의 전자 부품 모듈의 검사를 행하는 것이 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.According to the inspection device, the inspection unit can realize an inspection device capable of inspecting a smaller electronic component module.

도 1은 본 개시의 일 실시 형태의 검사구를 도시하는 사시도.
도 2는 도 1의 검사구의 단자 접속부를 제거한 상태의 사시도.
도 3은 도 1의 III-III선을 따른 단면도.
도 4는 도 1의 IV-IV선을 따른 단면도.
도 5는 도 1의 검사구의 단자 접속부 부분의 확대 평면도.
도 6은 도 1의 검사구의 단자 접속부를 도시하는 평면도.
도 7은 도 1의 검사구의 프로브 핀을 도시하는 사시도.1 is a perspective view showing an inspection tool according to an embodiment of the present disclosure.
Fig. 2 is a perspective view of the inspection tool of Fig. 1 in a state in which a terminal connection is removed.
3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 1;
4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 1;
5 is an enlarged plan view of a terminal connection portion of the inspection tool of FIG. 1;
Fig. 6 is a plan view showing a terminal connection portion of the inspection tool of Fig. 1;
Fig. 7 is a perspective view showing a probe pin of the inspection tool of Fig. 1;

이하, 본 개시의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 개시의 이해를 용이하게 하기 위해서이며, 이들 용어의 의미에 따라 본 개시의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않고, 본 개시, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이고, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과는 반드시 합치하고 있지는 않다.Hereinafter, an example of the present disclosure will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description, terms indicating a specific direction or position (e.g., terms including ``top'', ``bottom'', ``right'', ``left'') are used as necessary, but the use of these terms Is to facilitate understanding of the present disclosure with reference to the drawings, and the technical scope of the present disclosure is not limited according to the meaning of these terms. In addition, the following description is essentially merely an illustration and is not intended to limit the present disclosure, its applications, or its use. In addition, the drawings are schematic, and the ratios of the dimensions and the like are not necessarily consistent with the actual ones.

본 개시의 일 실시 형태의 검사구(1)는, 도 1에 도시한 바와 같이 절연성의 하우징(10)과, 하우징(10)의 내부에 수용된 도전성의 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)를 구비하고 있다. 또한, 도 1에는 제1 전원 단자(21) 및 신호 단자(22)만 도시하고 있다.As shown in FIG. 1, the inspection tool 1 of the embodiment of the present disclosure includes an insulating housing 10, a conductive first power supply terminal 21, and a signal terminal accommodated in the housing 10. 22) and a second power supply terminal 23. In addition, only the first power terminal 21 and the signal terminal 22 are shown in FIG. 1.

하우징(10)은, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이 적어도 3개의 수용부(17)를 내부에 갖고 있다. 각 수용부(17)에는 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)가 각각 수용되어 있다. 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 각각은 적어도 하나의 판상의 프로브 핀(30)으로 구성되어 있다.The housing 10 has at least three accommodating portions 17 therein, as shown in FIGS. 2 and 3. Each accommodating part 17 accommodates a first power terminal 21, a signal terminal 22, and a second power terminal 23, respectively. Each of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 is composed of at least one plate-shaped probe pin 30.

상세하게는, 하우징(10)은, 도 2에 도시한 바와 같이 대략 직육면체상의 베이스 하우징(11)과, 이 베이스 하우징(11)의 내부에 수용된 코어 하우징(12)을 갖고 있다.Specifically, the housing 10 has a substantially rectangular parallelepiped base housing 11 and a core housing 12 accommodated in the base housing 11 as shown in FIG. 2.

베이스 하우징(11)은, 도 2에 도시한 바와 같이 그 외면의 하나를 구성하는 대략 직사각 형상의 접속면(111)을 갖고, 이 접속면(111)의 긴 쪽 방향의 대략 중앙에는, 도 3에 도시한 바와 같이 대략 직사각 형상의 개구부(14)를 갖는 오목부(13)가 마련되어 있다. 이 오목부(13)는, 도 2에 도시한 바와 같이 개구부(14)의 긴 쪽 방향이 베이스 하우징(11)의 짧은 쪽 방향과 대략 평행이 되도록 배치되고, 그 내부에 대략 직육면체상의 코어 하우징(12)이 수용되어 있다.The base housing 11 has a connection surface 111 of a substantially rectangular shape constituting one of its outer surfaces, as shown in FIG. 2, and in the substantially center of the longitudinal direction of the connection surface 111, FIG. 3 As shown in FIG. 1, a recess 13 having an opening 14 having a substantially rectangular shape is provided. As shown in FIG. 2, the concave portion 13 is disposed so that the long direction of the opening 14 is substantially parallel to the short direction of the base housing 11, and a substantially rectangular parallelepiped core housing ( 12) is accepted.

또한, 이하의 설명에 있어서, 접속면(111)의 짧은 쪽 방향을 X방향이라고 하고, 접속면(111)의 긴 쪽 방향을 Y방향이라고 하고, 접속면(111)에 교차하는 방향을 Z방향이라고 한다.In the following description, the shorter direction of the connection surface 111 is referred to as the X direction, the longer direction of the connection surface 111 is referred to as the Y direction, and the direction crossing the connection surface 111 is referred to as the Z direction. It is called.

코어 하우징(12)은, 도 3에 도시한 바와 같이 그 내부에 프로브 핀(30)을 수용 가능한 적어도 3개의 수용부(17)를 갖고 있다. 상세하게는, 코어 하우징(12)의 내부에는, 서로 전기적으로 독립된 상태로, 개구부(14)의 긴 쪽 방향(즉, X방향)을 따라 직렬적으로 나열되어 배치되고 또한 접속면(111)의 직교 방향(즉, Z방향)으로 연장되는 5개의 수용부(17)의 열이, 개구부(14)의 짧은 쪽 방향(즉, Y방향)으로 간격을 두고 2열 마련되어 있다. 즉, 이 실시 형태에서는, 코어 하우징(12)은 10개의 수용부(17)를 갖고 있다.As shown in FIG. 3, the core housing 12 has at least three accommodating portions 17 capable of accommodating the probe pins 30 therein. Specifically, inside the core housing 12, in a state that is electrically independent from each other, it is arranged in series along the long direction of the opening 14 (that is, the X direction), and the connection surface 111 A row of five accommodating portions 17 extending in the orthogonal direction (ie, the Z direction) is provided in two rows at intervals in the shorter direction of the opening 14 (ie, the Y direction). That is, in this embodiment, the core housing 12 has ten accommodating portions 17.

각 수용부(17)의 열에 있어서의 양단의 수용부(17)에는 각각 제1 전원 단자(21) 및 제2 전원 단자(23)가 수용되고, 각 수용부(17)의 열에 있어서의 중간의 수용부(17)에는 신호 단자(22)가 수용되어 있다. 각 수용부(17)의 열에 있어서, 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 각각을 구성하는 프로브 핀(30)은 연장 방향의 양단부가 하우징의 외부에 노출된 상태로, 판면끼리가 대향하도록 판 두께 방향으로 직렬적으로 나열되어 배치되어 있다. 즉, 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 각각은, 연장 방향의 양단부가 하우징의 외부에 노출된 상태로 수용부(17)에 수용되어 있다.The first power terminal 21 and the second power terminal 23 are respectively accommodated in the accommodating portions 17 at both ends of the row of each accommodating portion 17, and the intermediate portion of the row of each accommodating portion 17 The signal terminal 22 is accommodated in the receiving portion 17. In the row of each accommodating portion 17, the probe pins 30 constituting each of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 have both ends in the extension direction outside the housing. In a state exposed to, the plate surfaces are arranged in series in the plate thickness direction so as to face each other. That is, each of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 is accommodated in the receiving portion 17 with both ends in the extending direction exposed to the outside of the housing.

제1 전원 단자(21) 및 제2 전원 단자(23)의 각각은, 복수의 프로브 핀(30)으로 구성되어 있다. 상세하게는, 도 3에 도시한 바와 같이 제1 전원 단자(21) 및 제2 전원 단자(23)의 각각은, 5개의 프로브 핀(30)이 서로 접촉한 상태로 판 두께 방향으로 적층된 프로브 핀 적층체(211, 231)로 구성되어 있다. 또한, 신호 단자(22)는 판 두께 방향으로 간격을 두고 서로 독립되어 배치된 복수의 프로브 핀(30)으로 구성되어 있다. 상세하게는, 도 3에 도시한 바와 같이 신호 단자(22)는 각 수용부(17)의 열에 있어서의 중간의 3개의 수용부(17)에 각각 1개 수용된 3개의 프로브 핀(30)으로 구성되어 있다.Each of the first power supply terminal 21 and the second power supply terminal 23 is constituted by a plurality of probe pins 30. In detail, as shown in FIG. 3, each of the first power terminal 21 and the second power terminal 23 is a probe stacked in a thickness direction with five probe pins 30 in contact with each other. It is composed of pin stacks 211 and 231. Further, the signal terminal 22 is composed of a plurality of probe pins 30 arranged independently of each other at intervals in the thickness direction. In detail, as shown in FIG. 3, the signal terminal 22 is composed of three probe pins 30 each accommodated in three intermediate three receiving portions 17 in a row of each receiving portion 17. Has been.

또한, 이 실시 형태에서는, 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 각각을 구성하는 프로브 핀(30)이 동일 형상을 갖고 있다.In addition, in this embodiment, the probe pins 30 constituting each of the first power supply terminal 21, the signal terminal 22, and the second power supply terminal 23 have the same shape.

또한, 하우징(10)은, 도 1에 도시한 바와 같이 검사 대상물 또는 검사 장치의 커넥터(100)(도 5에 도시함)에 접속 가능한 절연성의 단자 접속부(40)를 갖고 있다. 단자 접속부(40)는 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 연장 방향(즉, Z방향. 이하, 단자 연장 방향이라고 함.)에 교차(예를 들어, 직교)하는 접속면(111) 상에서, 하우징(10)에 대하여, 단자 연장 방향으로 요동 가능한 상태로 지지되어 있다.In addition, the housing 10 has an insulating terminal connecting portion 40 that can be connected to an object to be inspected or a connector 100 (shown in FIG. 5) of an inspection device, as shown in FIG. 1. The terminal connection part 40 intersects the extension direction of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 (that is, in the Z direction. Hereinafter, referred to as the terminal extension direction) For example, it is supported on the connection surface 111 (orthogonal) with respect to the housing 10 in a state capable of swinging in the terminal extension direction.

상세하게는, 도 4에 도시한 바와 같이, 단자 접속부(40)는 접속면(111)에 대향하도록 배치된 대략 직사각형 판상의 접속 판부(41)와, 이 접속 판부(41)의 대향하는 한 쌍의 주변부로부터 접속 판부(41)에 교차(예를 들어, 직교)하는 방향으로 연장되는 한 쌍의 접속 벽부(42)를 갖고 있다.In detail, as shown in FIG. 4, the terminal connection portion 40 includes a substantially rectangular plate-shaped connection plate portion 41 arranged to face the connection surface 111, and a pair of the connection plate portions 41 facing each other. It has a pair of connecting wall portions 42 extending in a direction intersecting (for example, orthogonal) to the connecting plate portion 41 from the peripheral portion of.

접속 판부(41)는, 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 단자 연장 방향으로 관통하고 또한 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)를 동시에 수용 가능한 접속 구멍(43)을 갖고 있다. 이 접속 구멍(43)은 제1 수용 영역(44)과, 제2 수용 영역(45)을 갖고 있다.As shown in Figs. 5 and 6, the connection plate part 41 penetrates in the terminal extension direction and can accommodate the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 at the same time. It has a connection hole 43. This connection hole 43 has a first accommodation region 44 and a second accommodation region 45.

제1 수용 영역(44)은 단자 연장 방향에서 보아, 접속 구멍(43)의 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 배열 방향(즉, X방향. 이하, 단자 배열 방향이라고 함.)에 교차하는 방향(즉, Y방향)의 대략 중앙에 마련되고, 후술하는 각 프로브 핀(30)의 제1 접점부(31)가 배치되어 있다. 이 제1 수용 영역(44)은 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)에 동시에 접촉 가능한 검사 대상물 또는 검사 장치의 커넥터(100)(도 5에 도시함)를 수용 가능하게 구성되어 있다.The first accommodating region 44 is in the direction of the arrangement of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 of the connection hole 43 (ie, the X direction. Hereinafter, the first contact portion 31 of each probe pin 30 to be described later is disposed at approximately the center of a direction intersecting with the terminal arrangement direction (ie, the Y direction). This first receiving area 44 is a connector 100 of the test object or test apparatus capable of simultaneously contacting the first power terminal 21, the signal terminal 22 and the second power terminal 23 (shown in FIG. ) Is configured to be acceptable.

제2 수용 영역(45)은 단자 연장 방향에서 보아, 제1 수용 영역(44)에 대한 단자 배열 방향에 교차하는 방향의 적어도 한쪽(이 실시 형태에서는, Y방향의 양쪽)에 배치되어 있다. 이 제2 수용 영역(45)은 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 일부를 배치 가능하게 구성되어 있다.The second accommodation region 45 is disposed in at least one (in this embodiment, both sides of the Y direction) in a direction crossing the terminal arrangement direction with respect to the first accommodation region 44 when viewed from the terminal extension direction. The second accommodating region 45 is configured to allow a part of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 to be disposed.

또한, 접속 구멍(43)은, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 후술하는 접속 판부(41)의 외면(411)측에 개구된 오목부(431)와, 이 오목부(431)의 저면에 개구된 복수의 관통 구멍(432)으로 구성되어 있다. 각 관통 구멍(432)은, 도 6에 도시한 바와 같이 단자 연장 방향에 있어서 각 코어 하우징(12)의 수용부(17)에 각각 대응하고 있다. 즉, 이 실시 형태에서는, 오목부(431)의 저면에는 10개의 관통 구멍(432)이 형성되어 있다.In addition, the connection hole 43 is a concave portion 431 opened on the outer surface 411 side of the connecting plate portion 41 to be described later as shown in Figs. 3 and 4, and the bottom surface of the concave portion 431 It is composed of a plurality of through-holes 432 opened in. Each through hole 432 corresponds to the receiving portion 17 of each core housing 12 in the terminal extension direction, as shown in FIG. 6. That is, in this embodiment, ten through holes 432 are formed in the bottom surface of the concave portion 431.

또한, 접속 구멍(43)은 제2 수용 영역(45)에 있어서, 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23) 사이를 서로 구획하는 2개의 절연 벽(48)을 갖고 있다. 각 절연 벽(48)은 제2 수용 영역(45)의 제1 전원 단자(21) 및 신호 단자(22) 사이와, 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23) 사이에 각각 마련되고, 단자 연장 방향에서 보아, 단자 배열 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 있다.In addition, in the second accommodation area 45, the connection hole 43 has two insulating walls 48 that partition between the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 from each other. ). Each insulating wall 48 is provided between the first power terminal 21 and the signal terminal 22 of the second receiving area 45 and between the signal terminal 22 and the second power terminal 23, respectively, When viewed from the terminal extension direction, it extends in a direction crossing the terminal arrangement direction.

또한, 접속 판부(41)는 단자 연장 방향에 있어서의 접속면(111)에 대향하는 면의 반대측의 외면(411)이고 또한 접속 구멍(43)의 주위에 마련된 위치 결정용 오목부(46)를 갖고 있다. 이 위치 결정용 오목부(46)는 검사 대상물 또는 검사 장치의 커넥터(100)를 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)에 접속한 때에, 검사 대상물 또는 검사 장치의 일부가 수용되고, 단자 접속부(40)에 대한 검사 대상물 또는 검사 장치의 커넥터(100)의 위치가 결정되도록 구성되어 있다.In addition, the connection plate portion 41 is an outer surface 411 on the opposite side of the surface facing the connection surface 111 in the terminal extension direction, and a positioning recess 46 provided around the connection hole 43 is provided. I have. When the connector 100 of the inspection object or the inspection device is connected to the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23, the positioning recess 46 is a A part of the inspection device is accommodated, and the position of the inspection object or the connector 100 of the inspection device with respect to the terminal connection portion 40 is determined.

각 접속 벽부(42)는, 도 4에 도시한 바와 같이 그 연장 방향의 접속 판부(41)로부터 먼 쪽의 선단부가, 접속면(111)의 오목부(13) 주위에 마련된 수용 홈(15)에 수용되어 있다. 각 접속 벽부(42)의 선단부에는, 각 접속 벽부(42)로부터 서로 이격되는 방향으로 연장되는 플랜지부(47)가 마련되어 있다. 각 플랜지부(47)는 각 플랜지부(47)를 접속면(111)을 향해 가압하는 코일 스프링(50)과 함께, 수용 홈(15)에 접속되고 또한 베이스 하우징(11)의 내부에 마련된 수용 공간(16)에 수용되어 있다. 이 수용 공간(16)에 의해, 각 플랜지부(47)의 이동이, 접속면(111)에 교차하는 방향(즉, Z방향)의 초기 위치(P1)과 접속 위치(P2) 사이에만 규제되어 있다. 또한, 초기 위치(P1)는 검사 대상물 또는 검사 장치의 커넥터(100)가 접속되어 있지 않은 상태의 단자 접속부(40)의 위치이고, 접속 위치(P2)는 검사 대상물 또는 검사 장치의 커넥터(100)가 접속된 상태의 단자 접속부(40)의 위치이다.As shown in FIG. 4, each of the connection wall portions 42 has a front end portion farther from the connection plate portion 41 in the extending direction thereof, and a receiving groove 15 provided around the concave portion 13 of the connection surface 111 Is housed in. A flange portion 47 extending in a direction spaced apart from each other from each connection wall portion 42 is provided at the distal end portion of each connection wall portion 42. Each flange portion 47 is connected to the receiving groove 15, together with a coil spring 50 that presses each flange portion 47 toward the connection surface 111, and is accommodated in the interior of the base housing 11 It is accommodated in the space 16. By this accommodation space 16, the movement of each flange portion 47 is restricted only between the initial position P1 and the connection position P2 in the direction intersecting the connection surface 111 (ie, the Z direction). have. In addition, the initial position (P1) is the position of the terminal connection portion 40 in a state where the connector 100 of the inspection object or the inspection device is not connected, and the connection position P2 is the inspection object or the connector 100 of the inspection device. Is the position of the terminal connection part 40 in the connected state.

도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 단자 접속부(40)가 초기 위치(P1)에 있는 경우, 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)를 구성하는 각 프로브 핀(30)의 그 연장 방향의 일단부가, 접속 구멍(43)의 관통 구멍(432)에 수용되어 있다. 이에 의해, 단자 연장 방향에 교차하는 방향(즉, XY방향)에 있어서의 각 프로브 핀(30)의 그 연장 방향의 일단부의 이동이 규제되고, 하우징(10)에 대한 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 각각의 위치를 정확하게 결정할 수 있다.3 and 4, when the terminal connection part 40 is in the initial position P1, the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 are formed. One end of each probe pin 30 in the extension direction is accommodated in the through hole 432 of the connection hole 43. Thereby, movement of one end of each probe pin 30 in the extension direction in the direction intersecting the terminal extension direction (i.e., in the XY direction) is regulated, and the first power supply terminal 21 with respect to the housing 10 , The positions of the signal terminals 22 and the second power terminals 23 can be accurately determined.

각 프로브 핀(30)은, 도 7에 도시한 바와 같이 그 긴 쪽 방향(즉, 도 7의 상하 방향)을 따라 신축 가능한 탄성부(33)와, 탄성부(33)의 프로브 핀(30)의 긴 쪽 방향에 있어서의 양단부에 각각 접속된 제1 접촉부(34) 및 제2 접촉부(35)를 구비하고 있다.Each probe pin 30 has an elastic portion 33 that can be stretched along its long direction (that is, the vertical direction in FIG. 7 ), as shown in FIG. 7, and the probe pin 30 of the elastic portion 33 It is provided with the 1st contact part 34 and the 2nd contact part 35 connected respectively to both ends in the longitudinal direction of.

탄성부(33)는 서로 간극을 두고 배치되고, 프로브 핀(30)의 연장 방향으로 탄성 변형 가능한 복수의 띠상 탄성편(이 실시 형태에서는, 4개의 띠상 탄성편)으로 구성되어 있다. 제1 접촉부(34)는 프로브 핀(30)의 긴 쪽 방향에 있어서의 일단부가 탄성부(33)에 접속되어 있음과 함께, 프로브 핀(30)의 긴 쪽 방향에 있어서의 타단부에 배치된 제1 접점부(31)를 갖고 있다. 또한, 제2 접촉부(35)는 프로브 핀(30)의 긴 쪽 방향에 있어서의 일단부가 탄성부(33)에 접속되어 있음과 함께, 프로브 핀(30)의 긴 쪽 방향에 있어서의 타단부에 배치된 제2 접점부(32)를 갖고 있다.The elastic portions 33 are arranged with a gap from each other and are constituted by a plurality of band-shaped elastic pieces (four strip-shaped elastic pieces in this embodiment) that are elastically deformable in the extending direction of the probe pin 30. The first contact portion 34 has one end in the longitudinal direction of the probe pin 30 connected to the elastic portion 33 and is disposed at the other end in the longitudinal direction of the probe pin 30. It has a 1st contact part 31. In addition, the second contact portion 35 has one end in the long direction of the probe pin 30 connected to the elastic portion 33 and the other end in the long direction of the probe pin 30 It has the arranged 2nd contact part 32.

제1 접촉부(34)의 연장 방향의 중간부에 있어서의 탄성부(33)측에는, 프로브 핀(30)을 수용부(17)에 수용한 때에 코어 하우징(12)과 접촉하여 프로브 핀(30)을 지지하는 지지부(36)가 마련되어 있다. 또한, 제2 접촉부(35)의 연장 방향의 중간부에 있어서의 탄성부(33)측에는, 프로브 핀(30)을 수용부(17)에 수용한 때에 베이스 하우징(11)과 접촉하여 프로브 핀(30)을 지지하는 지지부(37)가 마련되어 있다.On the side of the elastic portion 33 in the middle portion of the extending direction of the first contact portion 34, the probe pin 30 comes into contact with the core housing 12 when the probe pin 30 is accommodated in the accommodating portion 17. A support 36 is provided to support it. Further, on the side of the elastic portion 33 in the intermediate portion in the extending direction of the second contact portion 35, the probe pin 30 comes into contact with the base housing 11 when the probe pin 30 is accommodated in the accommodating portion 17, and the probe pin ( A support part 37 for supporting 30) is provided.

또한, 각 프로브 핀(30)은 일례로서, 전주법으로 형성되고, 탄성부(33), 제1 접촉부(34) 및 제2 접촉부(35)가 일체로 구성되어 있다.In addition, each probe pin 30 is formed by an electroforming method as an example, and the elastic portion 33, the first contact portion 34, and the second contact portion 35 are integrally formed.

상기 검사구(1)에서는, 연장 방향의 양단부가 하우징(10)의 외부에 노출된 상태로 적어도 3개의 수용부(17)에 각각 수용된 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)를 구비하고, 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 각각이, 적어도 하나의 판상의 프로브 핀(30)으로 구성되어 있다. 즉, 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 각각이, 소형화해도 강성이 저하되기 어려운 판상의 프로브 핀(30)으로 구성되어 있으므로, 소형화에 대응 가능한 검사구(1)를 실현할 수 있다.In the inspection tool 1, the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the first power terminal 21, signal terminals 22, and the first power terminals 21, which are respectively accommodated in at least three accommodating portions 17, with both ends in the extension direction exposed to the outside of the housing 10. It has 2 power supply terminals 23, and each of the 1st power supply terminal 21, the signal terminal 22, and the 2nd power supply terminal 23 is comprised by at least one plate-shaped probe pin 30. That is, since each of the first power supply terminal 21, the signal terminal 22, and the second power supply terminal 23 is composed of a plate-shaped probe pin 30 that is difficult to decrease in rigidity even if it is miniaturized, The inspection tool 1 can be realized.

또한, 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 각각을 구성하는 프로브 핀(30)이 동일 형상을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 예를 들어 제1 전원 단자(21) 또는 제2 전원 단자(23)를 복수의 프로브 핀으로 구성함으로써, 전체에 걸쳐서 균일한 단면 형상을 갖는 제1 전원 단자(21) 또는 제2 전원 단자(23)를 용이하게 얻을 수 있다.Further, the probe pins 30 constituting each of the first power supply terminal 21, the signal terminal 22, and the second power supply terminal 23 have the same shape. With such a configuration, for example, by configuring the first power terminal 21 or the second power terminal 23 with a plurality of probe pins, the first power terminal 21 having a uniform cross-sectional shape or The second power supply terminal 23 can be easily obtained.

또한, 제1 전원 단자(21) 및 제2 전원 단자(23)의 각각이, 복수의 프로브 핀(30)이 서로 접촉한 상태로 판 두께 방향으로 적층된 프로브 핀 적층체(211, 231)로 구성되고, 신호 단자(22)가, 판 두께 방향으로 간격을 두고 서로 독립적으로 배치된 복수의 프로브 핀(30)으로 구성되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 흐르는 전류의 크기가 상이한 각 단자(21, 22, 23)를 복수의 프로브 핀(30)을 사용하여 용이하게 형성할 수 있다.In addition, each of the first power terminal 21 and the second power terminal 23 is formed of probe pin stacks 211 and 231 stacked in the plate thickness direction with a plurality of probe pins 30 in contact with each other. It is configured, and the signal terminal 22 is composed of a plurality of probe pins 30 arranged independently of each other at intervals in the thickness direction. With such a configuration, each of the terminals 21, 22, and 23 having different magnitudes of flowing currents can be easily formed using the plurality of probe pins 30.

또한, 단자 연장 방향에 교차하는 하우징(10)의 접속면(111) 상에서, 하우징(10)에 대하여, 단자 연장 방향으로 요동 가능한 상태로 지지되고, 검사 대상물 또는 검사 장치에 접속 가능한 단자 접속부(40)를 갖고, 단자 접속부(40)가, 단자 연장 방향으로 관통하고 또한 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)를 동시에 수용 가능한 접속 구멍(43)을 갖고 있다. 이 단자 접속부(40)에 의해, 예를 들어 검사 대상물 또는 검사 장치에 검사구(1)를 접속하는 경우에만, 각 단자(21, 22, 23)의 단자 연장 방향의 일단부를 검사구(1)의 외부에 노출시킬 수 있으므로, 각 단자(21, 22, 23)의 손상의 발생을 저감할 수 있다.Further, on the connection surface 111 of the housing 10 intersecting the terminal extension direction, the terminal connection portion 40 supported by the housing 10 in a state capable of swinging in the terminal extension direction, and connectable to an inspection object or an inspection device. ), and the terminal connection portion 40 penetrates in the terminal extension direction and has a connection hole 43 capable of accommodating the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 at the same time. have. With this terminal connection part 40, for example, only when connecting the inspection tool 1 to an inspection object or an inspection device, one end of each terminal 21, 22, 23 in the terminal extension direction is the inspection tool 1 Since it can be exposed to the outside of the terminal, it is possible to reduce the occurrence of damage to each of the terminals 21, 22, and 23.

또한, 단자 접속부(40)가, 단자 연장 방향에 있어서의 접속면(111)에 대향하는 면의 반대측의 외면(411)이고 또한 접속 구멍(43)의 주위에 마련되고, 단자 접속부(40)에 대한 검사 대상물 또는 검사 장치의 위치를 결정하는 위치 결정용 오목부(46)를 갖고 있다. 이 위치 결정용 오목부(46)에 의해, 검사 대상물 또는 검사 장치에 검사구(1)를 더 정확하게 접속할 수 있다.Further, the terminal connection portion 40 is an outer surface 411 on the opposite side of the surface facing the connection surface 111 in the terminal extension direction, and is provided around the connection hole 43, and is attached to the terminal connection portion 40. It has a positioning recess 46 for determining the position of the inspection object or the inspection device. With this positioning recess 46, the inspection tool 1 can be more accurately connected to the inspection object or the inspection device.

또한, 접속 구멍(43)이, 검사 대상물 또는 검사 장치의 커넥터(100)가 수용 가능한 제1 수용 영역(44)과, 단자 연장 방향에서 보아, 제1 수용 영역(44)에 대한 단자 배열 방향에 교차하는 방향의 적어도 한쪽에 배치되고 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 일부를 배치 가능한 제2 수용 영역(45)을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 각 단자(21, 22, 23)를 구성하는 각 프로브 핀(30)을 제1 수용 영역(44)으로부터 제2 수용 영역(45)에 걸쳐서 배치할 수 있다. 그 결과, 예를 들어 각 프로브 핀(30)의 폭 방향(즉, 단자 연장 방향 및 단자 배열 방향에 교차하는 방향)의 일단부에 제1 접점부(31)를 마련한 경우, 각 프로브 핀(30)의 제1 접점부(31)를 제1 수용 영역(44)에 배치하여 검사 대상물 또는 검사 장치의 커넥터(100)의 소형화에 대응하면서, 각 단자(21, 22, 23)의 크기를 충분히 확보할 수 있다.In addition, the connection hole 43 is in the terminal arrangement direction with respect to the first accommodation area 44 which can accommodate the test object or the connector 100 of the test apparatus, and the first accommodation area 44 as viewed from the terminal extension direction. It has a second accommodating area 45 which is disposed in at least one of the crossing directions and in which a part of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 can be disposed. With such a configuration, each probe pin 30 constituting each of the terminals 21, 22, and 23 can be disposed from the first accommodation region 44 to the second accommodation region 45. As a result, for example, when the first contact portion 31 is provided at one end of each probe pin 30 in the width direction (ie, a direction crossing the terminal extension direction and the terminal arrangement direction), each probe pin 30 ) Of the first contact part 31 in the first receiving area 44 to cope with the miniaturization of the test object or the connector 100 of the test device, while sufficiently securing the size of each terminal 21, 22, 23 can do.

또한, 접속 구멍(43)이, 제2 수용 영역(45)의 제1 전원 단자(21) 및 신호 단자(22) 사이와, 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23) 사이에 각각 마련되고, 단자 연장 방향에서 보아, 단자 배열 방향에 교차하는 방향으로 각각 연장되어 있는 2개의 절연 벽(48)을 갖고 있다. 이 절연 벽(48)에 의해, 각 단자(21, 22, 23) 사이의 절연성을 더 확실하게 확보할 수 있다.In addition, the connection hole 43 is provided between the first power terminal 21 and the signal terminal 22 of the second receiving area 45 and between the signal terminal 22 and the second power terminal 23, respectively. It has two insulating walls 48 each extending in a direction crossing the terminal arrangement direction as viewed from the terminal extension direction. By this insulating wall 48, the insulating property between the terminals 21, 22, and 23 can be secured more reliably.

상기 검사구(1)는 검사 유닛에 사용할 수 있다. 상기 검사구(1)에 의해, 더 소형의 전자 부품 모듈의 검사를 행하는 것이 가능한 검사 유닛을 실현할 수 있다.The inspection tool 1 can be used for an inspection unit. With the inspection tool 1, an inspection unit capable of inspecting a smaller electronic component module can be realized.

또한, 상기 검사 유닛은 검사 장치에 사용할 수 있다. 상기 검사 유닛에 의해, 더 소형의 전자 부품 모듈의 검사를 행하는 것이 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.Further, the inspection unit can be used for an inspection device. With the above inspection unit, an inspection apparatus capable of performing inspection of a smaller electronic component module can be realized.

또한, 각 프로브 핀(30)은 검사구(1)의 설계 등에 따라, 그 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 각 단자(21, 22, 23)를 구성하는 프로브 핀(30)마다 그 형상을 변경해도 되고, 제1 전원 단자(21) 및 제2 전원 단자(23)의 한쪽을 하나의 프로브 핀(30)으로 구성하고, 다른 쪽을 프로브 핀 적층체(211, 231)로 구성해도 된다.In addition, the shape of each probe pin 30 can be appropriately changed according to the design of the inspection tool 1 or the like. For example, the shape may be changed for each probe pin 30 constituting each terminal 21, 22, 23, and one of the first power terminal 21 and the second power terminal 23 is a probe. The pin 30 may be used, and the other side may be configured with the probe pin stacks 211 and 231.

또한, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 양태에 따라, 제1 접점부(31) 및 제2 접점부(32)의 각각의 형상 및 위치 등을 적절히 변경해도 된다.Further, depending on various aspects of the inspection apparatus or the inspection object, the shape and position of each of the first contact portion 31 and the second contact portion 32 may be appropriately changed.

베이스 하우징(11) 및 코어 하우징(12)은 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 양태에 따라, 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 즉, 베이스 하우징(11) 및 코어 하우징(12)을 범용화하고, 검사구(1)(나아가서는, 검사 유닛 및 검사 장치)의 생산성을 향상시킬 수 있다.The configuration of the base housing 11 and the core housing 12 can be appropriately changed according to various aspects of the inspection apparatus or the inspection object. That is, the base housing 11 and the core housing 12 can be generalized, and the productivity of the inspection tool 1 (in turn, the inspection unit and the inspection device) can be improved.

단자 접속부(40)는 검사구(1)의 설계 등에 따라 생략할 수 있다. 즉, 검사구(1)는 적어도 3개의 수용부(17)를 내부에 갖는 하우징(10)과, 각 수용부(17)에 각각 수용된 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)를 적어도 구비하고 있으면 된다.The terminal connection part 40 may be omitted depending on the design of the inspection tool 1 or the like. That is, the inspection tool 1 includes a housing 10 having at least three accommodating portions 17 therein, and a first power terminal 21, a signal terminal 22, and a first power terminal 21 respectively accommodated in each accommodating portion 17. 2 It is sufficient to have at least the power supply terminal 23.

위치 결정용 오목부(46) 및 절연 벽(48)의 각각은 검사구(1)의 설계 등에 따라 생략할 수 있다.Each of the positioning recess 46 and the insulating wall 48 can be omitted depending on the design of the inspection tool 1 or the like.

접속 구멍(43)은 검사 대상물 또는 검사 장치의 커넥터(100)를 수용 가능한 제1 수용 영역(44)을 적어도 갖고 있으면 되고, 제2 수용 영역(45)은 생략해도 된다.The connection hole 43 just needs to have at least the 1st accommodating area|region 44 which can accommodate the connector 100 of an inspection object or the inspection apparatus, and the 2nd accommodating area 45 may be omitted.

이상, 도면을 참조하여 본 개시에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로, 본 개시의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 일례로서, 참조 부호도 붙여 기재한다.In the above, various embodiments of the present disclosure have been described in detail with reference to the drawings, but finally, various embodiments of the present disclosure will be described. In addition, in the following description, as an example, reference numerals are also attached and described.

본 개시의 제1 양태의 검사구(1)는,The inspection tool 1 of the first aspect of the present disclosure,

적어도 3개의 수용부(17)를 내부에 갖는 하우징(10)과,A housing 10 having at least three receiving portions 17 therein,

연장 방향의 양단부가 상기 하우징(10)의 외부에 노출된 상태로 상기 수용부(17)에 각각 수용된 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)를 구비하고,A first power terminal 21, a signal terminal 22 and a second power terminal 23 respectively accommodated in the accommodating part 17 with both ends of the housing 10 exposed to the outside of the housing 10, ,

상기 제1 전원 단자(21), 상기 신호 단자(22) 및 상기 제2 전원 단자(23)의 각각이, 상기 연장 방향으로 신축 가능한 적어도 하나의 판상의 프로브 핀(30)으로 구성되고,Each of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 is composed of at least one plate-shaped probe pin 30 that can be stretched and contracted in the extension direction,

상기 제1 전원 단자(21), 상기 신호 단자(22) 및 상기 제2 전원 단자(23)의 각각을 구성하는 상기 프로브 핀(30)이, 그 판면끼리가 대향하도록 판 두께 방향으로 직렬적으로 나열되어 배치되고,The probe pins 30 constituting each of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 are serially arranged in the thickness direction so that the plate surfaces thereof face each other. Are listed and placed,

상기 신호 단자(22)가, 상기 판 두께 방향에 있어서, 상기 제1 전원 단자(21) 및 상기 제2 전원 단자(23) 사이에 배치되어 있다.The signal terminal 22 is disposed between the first power terminal 21 and the second power terminal 23 in the thickness direction.

제1 양태의 검사구(1)에 의하면, 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 각각이, 소형화해도 강성이 저하되기 어려운 판상의 프로브 핀(30)으로 구성되어 있으므로, 소형화에 대응 가능한 검사구(1)를 실현할 수 있다.According to the inspection tool 1 of the first aspect, each of the first power supply terminal 21, the signal terminal 22, and the second power supply terminal 23 is a plate-shaped probe pin 30 that is unlikely to decrease in rigidity even if it is miniaturized. ), it is possible to realize the inspection tool 1 capable of miniaturization.

본 개시의 제2 양태의 검사구(1)는,The inspection tool 1 of the second aspect of the present disclosure,

상기 제1 전원 단자(21), 상기 신호 단자(22) 및 상기 제2 전원 단자(23)의 각각을 구성하는 상기 프로브 핀(30)이 동일 형상을 갖고 있다.The probe pins 30 constituting each of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 have the same shape.

제2 양태의 검사구(1)에 의하면, 예를 들어 제1 전원 단자(21) 또는 제2 전원 단자(23)를 복수의 프로브 핀으로 구성함으로써, 전체에 걸쳐서 균일한 단면 형상을 갖는 제1 전원 단자(21) 또는 제2 전원 단자(23)를 용이하게 얻을 수 있다.According to the inspection tool 1 of the second aspect, for example, by configuring the first power supply terminal 21 or the second power supply terminal 23 with a plurality of probe pins, the first The power terminal 21 or the second power terminal 23 can be easily obtained.

본 개시의 제3 양태의 검사구(1)는,The inspection tool 1 of the third aspect of the present disclosure,

상기 제1 전원 단자(21) 및 상기 제2 전원 단자(23)의 각각이, 복수의 상기 프로브 핀(30)이 서로 접촉한 상태로 상기 판 두께 방향으로 적층된 프로브 핀 적층체(211, 231)로 구성되고,Each of the first power terminal 21 and the second power terminal 23 is stacked in the plate thickness direction with the plurality of probe pins 30 in contact with each other. ),

상기 신호 단자(22)가, 상기 판 두께 방향으로 간격을 두고 서로 독립적으로 배치된 복수의 상기 프로브 핀(30)으로 구성되어 있다.The signal terminal 22 is composed of a plurality of probe pins 30 arranged independently of each other at intervals in the plate thickness direction.

제3 양태의 검사구(1)에 의하면, 흐르는 전류의 크기가 상이한 각 단자(21, 22, 23)를 복수의 프로브 핀(30)을 사용하여 용이하게 형성할 수 있다.According to the inspection tool 1 of the third aspect, each of the terminals 21, 22, and 23 having different magnitudes of flowing currents can be easily formed using a plurality of probe pins 30.

본 개시의 제4 양태의 검사구(1)는,The inspection tool 1 of the fourth aspect of the present disclosure,

상기 연장 방향에 교차하는 상기 하우징(10)의 접속면(111) 상에서, 상기 하우징(10)에 대하여, 상기 연장 방향으로 요동 가능한 상태로 지지되고, 검사 대상물 또는 검사 장치에 접속 가능한 단자 접속부(40)를 갖고,On the connection surface 111 of the housing 10 intersecting the extension direction, a terminal connection portion 40 supported by the housing 10 in a state capable of swinging in the extension direction and connectable to an inspection object or an inspection device ),

상기 단자 접속부(40)가, 상기 연장 방향으로 관통하고 또한 상기 제1 전원 단자(21), 상기 신호 단자(22) 및 상기 제2 전원 단자(23)를 동시에 수용 가능한 접속 구멍(43)을 갖고 있다.The terminal connection part 40 has a connection hole 43 that penetrates in the extension direction and is capable of receiving the first power terminal 21, the signal terminal 22 and the second power terminal 23 at the same time. have.

제4 양태의 검사구(1)에 의하면, 단자 접속부(40)에 의해, 예를 들어 검사 대상물 또는 검사 장치에 검사구(1)를 접속하는 경우에만, 각 단자(21, 22, 23)의 그 연장 방향의 일단부를 검사구(1)의 외부에 노출시킬 수 있으므로, 각 단자(21, 22, 23)의 손상의 발생을 저감할 수 있다.According to the inspection tool 1 of the fourth aspect, only when the inspection tool 1 is connected to an inspection object or an inspection device by the terminal connection portion 40, each of the terminals 21, 22, 23 Since one end of the extension direction can be exposed to the outside of the inspection tool 1, the occurrence of damage to each of the terminals 21, 22, and 23 can be reduced.

본 개시의 제5 양태의 검사구(1)는,The inspection tool 1 of the fifth aspect of the present disclosure,

상기 단자 접속부(40)가, 상기 연장 방향에 있어서의 상기 접속면(111)에 대향하는 면의 반대측의 외면(411)이고 또한 상기 접속 구멍(43)의 주위에 마련되고, 상기 단자 접속부(40)에 대한 상기 검사 대상물 또는 상기 검사 장치의 위치를 결정하는 위치 결정용 오목부(46)를 갖고 있다.The terminal connection part 40 is an outer surface 411 on the opposite side of the surface facing the connection surface 111 in the extending direction and is provided around the connection hole 43, and the terminal connection part 40 It has a positioning recess 46 for determining the position of the inspection object or the inspection device with respect to ).

제5 양태의 검사구(1)에 의하면, 위치 결정용 오목부(46)에 의해, 검사 대상물 또는 검사 장치에 검사구(1)를 더 정확하게 접속할 수 있다.According to the inspection tool 1 of the fifth aspect, the inspection tool 1 can be more accurately connected to the inspection object or the inspection device by the positioning recess 46.

본 개시의 제6 양태의 검사구(1)는,The inspection tool 1 of the sixth aspect of the present disclosure,

상기 접속 구멍(43)이,The connection hole 43,

상기 제1 전원 단자(21), 상기 신호 단자(22) 및 상기 제2 전원 단자(23)에 동시에 접촉 가능한 상기 검사 대상물 또는 상기 검사 장치의 커넥터(100)가 수용 가능한 제1 수용 영역(44)과,The first receiving area 44 accommodating the test object or the connector 100 of the test apparatus capable of simultaneously contacting the first power terminal 21, the signal terminal 22 and the second power terminal 23 and,

상기 연장 방향에서 보아, 상기 제1 수용 영역(44)에 대한 상기 제1 전원 단자(21), 상기 신호 단자(22) 및 상기 제2 전원 단자(23)의 배열 방향에 교차하는 방향의 적어도 한쪽에 배치되고 상기 제1 전원 단자(21), 상기 신호 단자(22) 및 상기 제2 전원 단자(23)의 일부를 배치 가능한 제2 수용 영역(45)을 갖고 있다.At least one of a direction crossing the arrangement direction of the first power terminal 21, the signal terminal 22 and the second power terminal 23 with respect to the first receiving region 44 as viewed from the extension direction And a second accommodating region 45 in which a portion of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23 can be disposed.

제6 양태의 검사구(1)에 의하면, 각 단자(21, 22, 23)를 구성하는 각 프로브 핀(30)을 제1 수용 영역(44)으로부터 제2 수용 영역(45)에 걸쳐서 배치할 수 있다. 그 결과, 예를 들어 각 프로브 핀(30)의 폭 방향[즉, 제1 전원 단자(21), 신호 단자(22) 및 제2 전원 단자(23)의 연장 방향 및 배열 방향에 교차하는 방향]의 일단부에 접점부(31)를 마련한 경우, 각 프로브 핀(30)의 접점부(31)를 제1 수용 영역(44)에 배치하고 검사 대상물 또는 검사 장치의 커넥터(100)의 소형화에 대응하면서, 각 단자(21, 22, 23)의 크기를 충분히 확보할 수 있다.According to the inspection tool 1 of the sixth aspect, each probe pin 30 constituting each terminal 21, 22, 23 can be disposed from the first receiving area 44 to the second receiving area 45. I can. As a result, for example, the width direction of each probe pin 30 (that is, the direction crossing the extension direction and the arrangement direction of the first power terminal 21, the signal terminal 22, and the second power terminal 23) When the contact portion 31 is provided at one end of the probe, the contact portion 31 of each probe pin 30 is placed in the first receiving area 44 to cope with the miniaturization of the inspection object or the connector 100 of the inspection device. While doing so, it is possible to sufficiently secure the size of each of the terminals 21, 22, and 23.

본 개시의 제7 양태의 검사구(1)는,The inspection tool 1 of the seventh aspect of the present disclosure,

상기 접속 구멍(43)이,The connection hole 43,

상기 제2 수용 영역(45)의 상기 제1 전원 단자(21) 및 상기 신호 단자(22) 사이와, 상기 신호 단자(22) 및 상기 제2 전원 단자(23) 사이에 각각 마련되고, 상기 연장 방향에서 보아, 상기 배열 방향에 교차하는 방향으로 각각 연장되어 있는 2개의 절연 벽(48)을 갖고 있다.It is provided between the first power terminal 21 and the signal terminal 22 of the second receiving area 45 and between the signal terminal 22 and the second power terminal 23, respectively, and the extension As seen from the direction, it has two insulating walls 48 each extending in a direction crossing the arrangement direction.

제7 양태의 검사구(1)에 의하면, 절연 벽(48)에 의해, 각 단자(21, 22, 23) 사이의 절연성을 더 확실하게 확보할 수 있다.According to the inspection tool 1 of the seventh aspect, insulation between the terminals 21, 22, and 23 can be more reliably ensured by the insulating wall 48.

본 개시의 제8 양태의 검사 유닛은,The inspection unit of the eighth aspect of the present disclosure,

상기 양태의 검사구(1)를 적어도 하나 구비했다.At least one inspection tool 1 of the above aspect was provided.

제8 양태의 검사 유닛에 의하면, 상기 검사구(1)에 의해, 더 소형의 전자 부품 모듈의 검사를 행하는 것이 가능한 검사 유닛을 실현할 수 있다.According to the inspection unit of the eighth aspect, by the inspection tool 1, an inspection unit capable of performing inspection of a smaller electronic component module can be realized.

본 개시의 제9 양태의 검사 장치는,The inspection apparatus of the ninth aspect of the present disclosure,

상기 양태의 검사 유닛을 적어도 하나 구비했다.At least one inspection unit of the above aspect was provided.

제9 양태의 검사 장치에 의하면, 상기 검사 유닛에 의해, 더 소형의 전자 부품 모듈의 검사를 행하는 것이 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.According to the inspection apparatus of the ninth aspect, by the inspection unit, an inspection apparatus capable of performing inspection of a smaller electronic component module can be realized.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.Further, by appropriately combining any of the various embodiments or modifications described above, the effects of each can be exhibited. Further, a combination of embodiments, a combination of examples, or a combination of an embodiment and an embodiment is possible, and a combination of features in different embodiments or examples is also possible.

본 개시의 검사구는 검사 대상물로서, 예를 들어 배터리 모듈의 검사 유닛에 적용할 수 있다.The inspection tool of the present disclosure may be applied to an inspection unit of a battery module as an inspection object.

본 개시의 검사 유닛은 검사 대상물로서, 예를 들어 배터리 모듈의 검사 장치에 적용할 수 있다.The inspection unit of the present disclosure may be applied to, for example, a battery module inspection apparatus as an inspection object.

본 개시의 검사 장치는 검사 대상물로서, 예를 들어 배터리 모듈의 검사에 사용할 수 있다.The inspection apparatus of the present disclosure can be used as an inspection object, for example, for inspection of a battery module.

1 : 검사구
10 : 하우징
11 : 베이스 하우징
111 : 접속면
12: 코어 하우징
13 : 오목부
14 : 개구부
15 : 수용 홈
16 : 수용 공간
17 : 수용부
21 : 제1 전원 단자
211 : 프로브 핀 적층체
22 : 신호 단자
23 : 제2 전원 단자
231 : 프로브 핀 적층체
30 : 프로브 핀
31 : 제1 접점부
32 : 제2 접점부
33 : 탄성부
34 : 제1 접촉부
35 : 제2 접촉부
36, 37 : 지지부
40 : 단자 접속부
41 : 접속 판부
411 : 외면
42 : 접속 벽부
43 : 접속 구멍
431 : 오목부
432 : 관통 구멍
44 : 제1 수용 영역
45 : 제2 수용 영역
46 : 위치 결정용 오목부
47: 플랜지부
48 : 절연 벽
50 : 코일 스프링
100 : 커넥터
X, Y, Z : 방향
P1 : 초기 위치
P2 : 접속 위치1: inspection area
10: housing
11: base housing
111: connection surface
12: core housing
13: recess
14: opening
15: receiving groove
16: accommodation space
17: receiving part
21: first power terminal
211: probe pin stacked body
22: signal terminal
23: second power terminal
231: probe pin stacked body
30: probe pin
31: first contact part
32: second contact part
33: elastic part
34: first contact portion
35: second contact portion
36, 37: support
40: terminal connection
41: connection plate
411: exterior
42: connection wall
43: connection hole
431: concave
432: through hole
44: first accommodation area
45: second accommodation area
46: concave for positioning
47: flange portion
48: insulation wall
50: coil spring
100: connector
X, Y, Z: direction
P1: initial position
P2: Connection location

Claims (9)

적어도 3개의 수용부를 내부에 갖는 하우징과,
연장 방향의 양단부가 상기 하우징의 외부에 노출된 상태로 상기 수용부에 각각 수용된 제1 전원 단자, 신호 단자 및 제2 전원 단자를 구비하고,
상기 제1 전원 단자, 상기 신호 단자 및 상기 제2 전원 단자의 각각이, 상기 연장 방향으로 신축 가능한 적어도 하나의 판상의 프로브 핀으로 구성되고,
상기 제1 전원 단자, 상기 신호 단자 및 상기 제2 전원 단자의 각각을 구성하는 상기 프로브 핀이, 그 판면끼리가 대향하도록 판 두께 방향으로 직렬적으로 나열되어 배치되고,
상기 신호 단자가, 상기 판 두께 방향에 있어서, 상기 제1 전원 단자 및 상기 제2 전원 단자 사이에 배치되고,
상기 제1 전원 단자 및 상기 제2 전원 단자의 각각이, 복수의 상기 프로브 핀이 서로 접촉한 상태로 상기 판 두께 방향으로 적층된 프로브 핀 적층체로 구성되고,
상기 신호 단자가, 상기 판 두께 방향으로 간격을 두고 서로 독립적으로 배치된 복수의 상기 프로브 핀으로 구성되어 있는, 검사구.A housing having at least three receiving portions therein,
A first power terminal, a signal terminal, and a second power terminal respectively accommodated in the accommodating portion with both ends of the extension direction exposed to the outside of the housing,
Each of the first power terminal, the signal terminal, and the second power terminal is composed of at least one plate-shaped probe pin expandable and contractable in the extension direction,
The probe pins constituting each of the first power terminal, the signal terminal, and the second power terminal are arranged in series in a plate thickness direction so that the plate surfaces thereof face each other,
The signal terminal is disposed between the first power terminal and the second power terminal in the plate thickness direction,
Each of the first power terminal and the second power terminal is composed of a probe pin stacked body stacked in the plate thickness direction with a plurality of probe pins in contact with each other,
Wherein the signal terminal is constituted by a plurality of probe pins disposed independently of each other at intervals in the plate thickness direction. 제1항에 있어서, 상기 제1 전원 단자, 상기 신호 단자 및 상기 제2 전원 단자의 각각을 구성하는 상기 프로브 핀이 동일 형상을 갖고 있는, 검사구.The inspection tool according to claim 1, wherein the probe pins constituting each of the first power terminal, the signal terminal and the second power terminal have the same shape. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 연장 방향으로 교차하는 상기 하우징의 접속면 상에서, 상기 하우징에 대하여, 상기 연장 방향으로 요동 가능한 상태로 지지되고, 검사 대상물 또는 검사 장치에 접속 가능한 단자 접속부를 갖고,
상기 단자 접속부가, 상기 연장 방향으로 관통하고 또한 상기 제1 전원 단자, 상기 신호 단자 및 상기 제2 전원 단자를 동시에 수용 가능한 접속 구멍을 갖고 있는, 검사구.The terminal connection part according to claim 1 or 2, wherein on a connection surface of the housing intersecting in the extension direction, a terminal connection portion supported with respect to the housing in a state capable of swinging in the extension direction and connectable to an inspection object or an inspection device Have,
The inspection tool, wherein the terminal connection portion has a connection hole that penetrates in the extension direction and is capable of receiving the first power terminal, the signal terminal, and the second power terminal at the same time. 제3항에 있어서, 상기 단자 접속부가, 상기 연장 방향에 있어서의 상기 접속면에 대향하는 면의 반대측의 외면이고 또한 상기 접속 구멍의 주위에 마련되고, 상기 단자 접속부에 대한 상기 검사 대상물 또는 상기 검사 장치의 위치를 결정하는 위치 결정용 오목부를 갖고 있는, 검사구.The inspection object or the inspection according to claim 3, wherein the terminal connection portion is an outer surface on a side opposite to a surface facing the connection surface in the extension direction and is provided around the connection hole, and An inspection tool having a positioning recess for determining the position of the device. 제4항에 있어서, 상기 접속 구멍이,
상기 제1 전원 단자, 상기 신호 단자 및 상기 제2 전원 단자에 동시에 접촉 가능한 상기 검사 대상물 또는 상기 검사 장치의 커넥터가 수용 가능한 제1 수용 영역과,
상기 연장 방향에서 보아, 상기 제1 수용 영역에 대한 상기 제1 전원 단자, 상기 신호 단자 및 상기 제2 전원 단자의 배열 방향에 교차하는 방향의 적어도 한쪽에 배치되고 상기 제1 전원 단자, 상기 신호 단자 및 상기 제2 전원 단자의 일부를 배치 가능한 제2 수용 영역을 갖고 있는, 검사구.The method of claim 4, wherein the connection hole,
A first accommodation area in which the test object or the connector of the test apparatus, which can contact the first power terminal, the signal terminal, and the second power terminal at the same time, can be accommodated,
The first power terminal and the signal terminal are disposed in at least one of a direction crossing the arrangement direction of the first power terminal, the signal terminal, and the second power terminal with respect to the first accommodation region as viewed from the extension direction. And a second accommodation area in which a part of the second power supply terminal can be disposed. 제5항에 있어서, 상기 접속 구멍이,
상기 제2 수용 영역의 상기 제1 전원 단자 및 상기 신호 단자 사이와, 상기 신호 단자 및 상기 제2 전원 단자 사이에 각각 마련되고, 상기 연장 방향에서 보아, 상기 배열 방향에 교차하는 방향으로 각각 연장되어 있는 2개의 절연 벽을 갖고 있는, 검사구.The method of claim 5, wherein the connection hole,
It is provided between the first power terminal and the signal terminal of the second receiving area, and between the signal terminal and the second power terminal, and extends in a direction crossing the arrangement direction, as viewed from the extension direction. The inspection tool, which has two insulated walls. 제1항 또는 제2항의 검사구를 적어도 하나 구비한, 검사 유닛.An inspection unit comprising at least one inspection tool according to claim 1 or 2. 제7항의 검사 유닛을 적어도 하나 구비한, 검사 장치.An inspection apparatus comprising at least one inspection unit of claim 7. 삭제delete
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