KR102080119B1 - 노광 장치 및 물품의 제조 방법 - Google Patents

노광 장치 및 물품의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 회전 셔터와, 상기 회전 셔터의 회전속도와, 그 회전속도로, 상기 회전 셔터의 회전을 정지시키지 않고, 상기 회전 셔터가 빛을 차광하는 제1상태, 상기 회전 셔터가 상기 빛을 통과시키는 제2상태, 상기 제1상태의 순서로 이행하도록, 상기 회전 셔터를 회전시켰을 때의 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 제1정보에 근거하여, 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 상기 기판의 노광량이 목표 노광량과 일치하도록, 상기 회전 셔터의 회전속도를 제어하는 제어부를 구비한 노광 장치를 제공하고, 상기 제어부가, 상기 빛의 조도의 변화에 관한 제2정보에 근거하여 상기 제1정보를 갱신한다.

Description

노광 장치 및 물품의 제조 방법{EXPOSURE APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE}
본 발명은, 노광 장치 및 물품의 제조 방법에 관한 것이다.
자외선 램프를 사용한 스테퍼 방식(순차 노광 방식)에 근거한 노광 장치는, 자외선 램프로부터의 노광 빛을 ON/OFF 하는 기능, 다시 말해, 기판에의 빛의 입사를 제어하는 기능을 실현하기 위해서, 회전 셔터를 사용한다. 회전 셔터는, 빛을 차광하는 차광부를 구비하는 회전체로 구성되어 있다. 회전 셔터를 회전시켜서, 노광 빛이 기판에 입사하는 시간을 제어함으로써, 목표 노광량을 얻는다.
회전 셔터를 구동 및 제어하는 모드로서는, 예를 들면, 적산 노광 제어 모드가 이용 가능하다. 적산 노광 제어 모드에서는, 우선, 노광 빛을 차광하는 상태(차광 상태)로부터 노광 빛을 투과시키는 상태(투광 상태)에 이행하도록 회전 셔터를 구동한다(회전시킨다). 이 투광 상태에서, 회전 셔터를 정지한다. 그리고, 노광량이 목표 노광량에 달하기 전에, 투광 상태로부터 차광 상태에 이행하도록 회전 셔터를 구동한다. 이 경우에, 회전 셔터의 구동을 시작하는 타이밍은, 투광 상태로부터 차광 상태에 완전히 이행할 때 까지 기판에 입사하는 노광 빛, 다시 말해, 노광량을 고려해서 결정한다. 적산 노광 제어 모드에서는, 노광량을 정밀하게 제어하는 것이 가능하다. 그렇지만, 노광 처리마다 회전 셔터가 2회 구동되어야 한다. 이 때문에, 노광 처리에 필요로 하는 시간의 단축이 과제가 된다.
따라서, 회전 셔터의 구동시간을 단축하기 위해서, 차광 상태가 투광 상태에 이행한 후 회복될 때까지 회전 셔터를 정지시키지 않고 연속적으로 회전 셔터를 구동하는 모드, 즉, 소위 연속 구동 모드가 일본 특개평4-229843호 공보에 제안되어 있다. 연속 구동 모드에서는, 회전 셔터의 회전속도와 노광량간의 관계를 미리 취득하고, 상기 취득된 관계에 근거하여, 목표 노광량을 취득하도록 회전 셔터의 회전속도를 제어한다.
회전 셔터의 구동 및 제어에 관련된 기술로서, 로트(lot)의 1장째의 기판에 대하여는 저속노광 모드를 실행하고, 로트의 2장째 이후의 기판에 대하여는 고속노광 모드를 실행하는 기술이 일본 특허공개2008-118062호 공보에 제안되어 있다. 저속노광 모드에서는, 기판에 입사하는 노광 빛의 강도를 저하시킨 동안에, 광 센서로부터의 출력에 대응한 펄스수를 카운트하고, 그 펄스수가 목표 펄스수에 달할 때 회전 셔터를 닫고, 회전 셔터의 개방 시간을 기억한다. 이와 대조하여, 고속노광 모드에서는, 우선, 저속노광 모드에서 기억된 회전 셔터의 개방시간으로부터, 2장째이후의 기판의 목표 노광량을 보정해서, 최종 목표 노광량을 산출한다. 그리고, 메모리에 기억된, 회전 셔터의 회전속도와 노광량간의 관계를 나타내는 근사 함수 또는 테이블에 근거하여, 최종 목표 노광량이 되도록, 회전 셔터의 회전속도를 결정한다.
그렇지만, 노광 빛의 광원인 자외선 램프는, 그 사용 시간에 따라 얻어진 조도가 서서히 저하되어 간다. 따라서, 일본 특개평4-229843호 공보에 개시된 연속 구동 모드에 있어서는, 자외선 램프의 사용 시간에 따라, 목표 노광량에 대한 회전 셔터의 최적의 회전속도가 변화되게 된다. 그 결과, 연속 구동 모드에서는, 회전 셔터에 의거한 노광량의 정밀도가 서서히 저하하고, 실제의 노광량은 목표 노광량으로부터 벗어남으로써, 원하는 노광 결과가 얻어지지 않게 된다.
이러한 문제를 회피하기 위해서, 회전 셔터의 회전속도와 노광량간의 관계를 정기적인 메인티넌스로 다시 취득하여, 회전 셔터에 의거한 노광량의 정밀도를 소정의 범위내에 유지하여도 된다. 최근 요구된 노광량의 정밀도를 유지하기 위해서는, 메인티넌스의 주기를 단축하는 것이 필요하다. 이에 따라, 노광 장치의 가동률과, 생산성을 저하시킨다.
또한, 일본 특허공개2008-118062호 공보에 개시된 기술은, 자외선 램프의 사용 시간, 즉, 노광 빛의 조도의 저하에 대해서는 아무런 고려를 하지 않는다. 따라서, 메모리에 기억된, 회전 셔터의 회전속도와 노광량간의 관계를 나타내는 근사 함수 또는 테이블을 사용해서 회전 셔터의 회전속도를 결정하는 경우에도, 자외선 램프의 사용 시간이 많아짐에 따라서, 최종 목표 노광량이 얻어질 수 없다.
본 발명은, 기판의 노광량의 정밀도와 생산성의 양쪽에 대한 요구사항을 만족시킬 때 유리한 노광 장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따른 기판을 노광하는 노광 장치는, 광원으로부터의 빛을 차광하는 차광부를 구비하고, 상기 기판에의 상기 빛의 입사를 제어하기 위한 회전 셔터; 및 상기 회전 셔터의 회전속도와, 그 회전속도로, 상기 회전 셔터의 회전을 정지시키지 않고, 상기 회전 셔터가 상기 빛을 차광하는 제1상태, 상기 회전 셔터가 상기 빛을 통과시키는 제2상태, 상기 제1상태의 순서로 이행하도록, 상기 회전 셔터를 회전시켰을 때의 상기 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 제1정보에 근거하여, 상기 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 상기 기판의 노광량이 목표 노광량과 일치하도록, 상기 회전 셔터의 회전속도를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 빛의 조도가 제1조도에서 제2조도로 변화하는 경우에, 상기 제1조도와 상기 제2조도의 비율을 포함하는 제2정보에 근거하여, 상기 제1정보에 포함되는 상기 제1조도에 대한 제1테이블 또는 제1함수를 상기 제2조도에 대한 상기 관계를 나타내는 제2테이블 또는 제2함수로 갱신하여, 상기 제2테이블 또는 제2함수를 포함하는 상기 제1정보에 근거하여 상기 회전속도를 제어한다.
본 발명의 또 다른 측면들은, 첨부도면을 참조하여 이하의 실시예들의 설명으로부터 명백해질 것이다.
도 1은, 본 발명의 일 측면으로서의 노광 장치의 구성을 도시한 개략도다.
도 2는, 연속 구동 모드에 있어서의 회전 셔터의 구동상태와 기판상의 조도간의 관계를 도시한 그래프다.
도 3은, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계의 일례를 도시한 그래프다.
도 4는, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블의 일례를 도시한 도면이다.
도 5는, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블의 일례를 도시한 도면이다.
도 6은, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블의 일례를 도시한 도면이다.
도 7은, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계의 일례를 도시한 그래프다.
도 8은, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신하는 타이밍을 설명하기 위한 도다.
도 9는, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계의 일례를 도시한 그래프다.
도 10은, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 가변 테이블의 일례를 도시한 도면이다.
도 11은, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계의 일례를 도시한 그래프다.
도 12는, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 가변 테이블의 일례를 도시한 도면이다.
도 13은, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계의 일례를 도시한 그래프다.
도 14는, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 가변 테이블의 일례를 도시한 도면이다.
도 15는, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계의 일례를 도시한 그래프다.
도 16은, 회전 셔터의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 가변 테이블의 일례를 도시한 도면이다.
도 17은, 광원부의 사용 시간에 의한 조도의 경시변화의 일례를 도시한 그래프다.
이하, 첨부된 도면을 참조해서 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명한다. 이때, 동일한 참조부호는 그 도면들 전체에 걸쳐 동일한 부재를 의미하고, 그에 대한 반복적인 설명을 하지 않는다.
도 1은, 본 발명의 일 측면으로서의 노광 장치(100)의 구성을 도시한 개략도다. 노광 장치(100)는, 물품으로서의 반도체소자, 액정표시 소자, 박막자기 헤드 등의 디바이스의 제조에 사용되고, 기판을 노광하는 리소그래피 장치다. 노광 장치(100)는, 본 실시예에서는, 스테퍼 방식으로 레티클(마스크) 패턴을 기판에 전사한다.
노광 장치(100)는, 광원부LS로부터의 빛으로 레티클(도시되지 않음)을 조명하는 조명 광학계IL과, 레티클 패턴을 기판에 투영하는 투영 광학계(도시되지 않음)와, 검출기(8)와, 전류 드라이버(10)와, 주파수 전압 변환기(11)와, 전압 주파수 변환기(12)를 구비한다. 또한, 노광 장치(100)는, 서보 증폭기(13)와, 승산기(14)와, 포지션 카운터(15)와, 노광량 카운터(16)와, 제어부(17)를 구비한다.
광원부LS는, 기판을 노광하기 위한 빛(노광 빛)을 사출하는 자외선 램프(1)와, 그 자외선 램프(1)로부터의 빛을 집광해서 조명 광학계IL에 이끄는 타원 미러(2)를 구비한다. 조명 광학계IL은, 광원부LS로부터의 빛으로 레티클을 조명하는 시간을 제어하는, 즉, 기판에의 빛의 입사를 제어하기 위한 회전 셔터(3)와, 렌즈(4)와, 하프 미러(5)와, 모터(6)와, 인코더(7)를 구비한다.
회전 셔터(3)는, 예를 들면, 광원부LS로부터의 빛을 차광하는 3개의 차광부(301)와, 광원부LS로부터의 빛을 통과시키는 3개의 개구부(302)를 구비하는, 회전체로 구성되어 있다. 모터(6)는, 회전 셔터(3)를 회전시키기 위한 구동원이다. 인코더(7)는, 회전 셔터(3)의 회전을 검출하기 위한 검출기다. 회전 셔터(3)를 통과하는 빛은, 렌즈(4)를 통하여 하프 미러(5)에 입사한다. 하프 미러(5)에 입사하는 빛의 일부, 예를 들면, 하프 미러(5)에서 반사된 빛은, 광원부LS로부터의 빛의 조도를 검출하는 검출부나, 기판의 노광량을 계측하는 계측부로서 기능하는 검출기(8)에 이끌어진다. 또한, 노광량은, 빛의 조도와 시간과의 적으로 정의되는 것으로 가정한다.
전류 드라이버(10)는, 모터(6)에 전류를 공급해서 모터(6)를 구동한다. FVC(주파수 전압 변환기)(11)는, 인코더(7)로부터 출력된, 회전 셔터(3)의 회전속도에 비례한 펄스 열(string)을 전압으로 변환한다. VFC(전압 주파수 변환기)(12)는, 검출기(8)로부터 출력된, 기판의 노광량에 비례한 아날로그 전압을 펄스 열로 변환한다.
서보 증폭기(13)는, 회전 셔터(3)의 실제의 회전속도가 2차 지령 값(24)(2차 지령 값(24)에 의해 지정되는 회전 셔터(3)의 회전속도)과 일치하도록, 회전 셔터(3)의 실제의 회전속도와 2차 지령 값(24)간의 차이에 비례하는 출력을 전류 드라이버(10)에 공급한다. 승산기(14)는, 회전 셔터(3)의 회전속도를 지정하는 1차 지령 값(21)과, 게인 컨트롤 데이터(20)에 근거하여, 2차 지령 값(24)을 생성한다.
포지션 카운터(15)는, 회전 셔터(3)의 회전 위치를 감시해서 위치 데이터(22)를 출력한다. 노광량 카운터(16)는, VFC(12)로부터 출력된 펄스를 계수함으로써, 검출기(8)에 입사하는 빛의 시간적 적분량, 즉, 기판의 노광량을 감시해서, 노광량 데이터(23)를 출력한다.
제어부(17)는, CPU(17a)나 메모리(기억부)(17b)를 구비하고, 노광 장치(100)의 전체를 제어한다. 예를 들면, 제어부(17)는, 노광 장치(100)의 각 부를 총괄적으로 제어해서 기판의 숏(shot) 영역을 노광하는 노광 처리를 행한다. 제어부(17)는, 회전 셔터(3)를 연속 구동 모드로 구동 및 제어한다. 보다 구체적으로는, 제어부(17)는, 숏 영역에 대한 노광 처리를 행할 때, 차광부(301)가 광원부LS로부터의 빛을 차광하는 제1상태, 개구부(302)가 광원부LS로부터의 빛을 통과시키는 제2상태, 상기 제1상태의 순서로 이행하도록, 회전 셔터(3)를 회전시킨다. 또한, 숏 영역을 노광하는 동안, 제어부(17)는, 회전 셔터(3)의 회전을 정지시키지 않는다. 추가로, 본 실시예에서는, 제어부(17)는, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 기판의 노광량이 목표 노광량과 일치하도록, 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정 및 제어한다. 메모리(17b)는, 회전 셔터(3)의 회전속도와, 그 회전속도로, 회전 셔터(3)의 회전을 정지시키지 않고, 제1상태, 제2상태, 상기 제1상태의 순서로 이행하도록, 회전 셔터(3)를 회전시킬 때의 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 제1정보를 기억한다. 이 경우에, 제1정보는, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블 또는 함수를 포함한다.
도 1에 도시된 노광 장치(100)의 구성은 일례이며, 노광 장치(100)의 구성을 한정하지 않는다. 예를 들면, 노광량 카운터(16)는, 검출기(8)로부터 출력된 아날로그 전압을 AD변환기에 입력하여서 노광량을 산출해도 좋다.
도 2는, 연속 구동 모드에 있어서의 회전 셔터(3)의 구동상태와 기판상의 조도간의 관계를 도시한 그래프다. 이 경우에, 회전 셔터(3)의 차광부(301)가 광원부LS로부터의 빛을 완전히 차광하는 상태, 즉, 제1상태로부터 회전 셔터(3)의 회전이 개시되는 것으로 가정한다. 도 3을 참조하면, 회전 셔터(3)의 회전 개시 직후, 회전 셔터(3)의 개구부(302)가 광원부LS로부터의 빛을 통과시키는 상태, 즉, 제2상태에 이행하지 않는다. 즉, 회전 셔터(3)의 회전이 개시되고나서도 제1상태가 계속된다.
광원부LS로부터의 빛이 차광부(301)의 단부에 도달하면, 빛이 서서히 개구부(302)를 통과한다. 반대측의 빛의 단부가 차광부(301)의 단부에 도달하면, 개구부(302)가 빛을 완전히 통과하는 상태, 즉, 제2상태에 이행한다. 그리고, 광원부LS로부터의 빛의 단부가 회전 셔터(3)의 다음 차광부(301)의 단부에 도달하면, 제1상태에 이행하기 시작하고, 반대측의 빛의 단부가 다음 차광부(301)에 의해 덮어져 빛이 완전히 차광된다. 그 결과, 다시 제1상태로 설정된다.
또한, 도 2는, 연속 구동 모드에 있어서의 기판의 노광량을 나타내는 그래프를 도시한다. 이 그래프는, 기판에 입사하는 빛의 조도를 종축을 따라 나타내고, 시간을 횡축을 따라 나타낸다. 상술한 것처럼, 기판에 입사하는 빛의 조도의 적분 값이 기판의 노광량이 된다. 연속 구동 모드에서는, 제1상태로부터 제2상태를 경과해서 제1상태에 이르는 일련의 동작을, 회전 셔터(3)의 회전을 정지시키지 않고, 회전 셔터(3)를 1회 회전시켜서 행한다. 따라서, 연속 구동 모드에 있어서의 기판의 노광량은, 회전 셔터(3)의 개구부(302)가 광원부LS로부터의 빛을 통과시키는 상태에서의 회전 셔터(3)의 회전속도와, 광원부LS로부터의 빛의 조도에 의해 결정된다.
한편, 자외선 램프(1)를 구비하는 광원부LS로부터의 빛의 조도는 경시적으로 변화되기 때문에, 회전 셔터(3)의 회전속도가 동일하다고 하는 조건하에서는, 노광량도 조도에 따라서 변화되어버린다. 이 때문에, 본 실시예에서는, 연속 구동 모드에 있어서, 기판의 노광량의 정밀도를 유지하기 위해서(즉, 기판의 노광량을 정확하게 제어하기 위해서), 광원부LS로부터의 빛의 조도에 관한 제2정보를 취득하고, 회전 셔터(3)의 구동에 피드백 한다. 이에 따라, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 기판상의 노광량이 목표 노광량과 일치하도록, 회전 셔터(3)의 회전속도를 제어하는 것이 가능하다. 이 경우에, 제2정보는, 후술하는 것처럼, 기판의 노광량의 경시변화 및 광원부LS로부터의 빛의 조도의 경시변화 중 적어도 한쪽을 포함한다. 이하 기재된 각 실시예는, 광원부LS로부터의 빛의 조도가 변화되었을 때에도, 기판의 노광량의 정밀도를 유지하기 위해 회전 셔터(3)의 제어의 예를 구체적으로 든다.
<제1의 실시예>
자외선 램프(1)를 교환할 때, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기준이 되는 기판의 노광량간의 관계를 취득한다. 즉, 회전 셔터(3)의 회전속도와, 연속 구동 모드에서 회전 셔터(3)를 회전시켰을 때의 기판의 노광량간의 관계를 취득한다. 도 3은, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계의 일례를 도시한 그래프다.
도 3을 참조하면, 회전 셔터(3)의 회전속도가 느릴 경우, 개구부(302)가 광원부LS로부터의 빛을 통과시키는 제2상태의 시간이 길어지므로, 기판의 노광량은 크다. 회전 셔터(3)의 회전속도가 빨라짐에 따라서, 기판의 노광량은 감소된다. 예를 들면, 회전 셔터(3)를 회전속도RVA1로 회전시킨 경우, 기판의 노광량EXA1이 검출기(8)에 의해 계측된다. 마찬가지로, 회전 셔터(3)를 회전속도RVB1, RVC1 및 RVD1로 회전시켰을 경우, 기판의 노광량EXB1, EXC1 및 EXD1이 검출기(8)에 의해 계측된다. 이렇게, 본 실시예에서는, 회전 셔터(3)의 회전속도RVA1, RVB1, RVC1 및 RVD1에 대해서, 각각의 회전속도에 대응한 기판의 노광량EXA1, EXB1, EXC1 및 EXD1이 얻어진다. 도 4는, 도 3에 나타낸, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 테이블의 형태로 표현해서 얻어진 테이블(제1정보)TB1의 일례를 도시한 도면이다. 도 4에 도시된 테이블TB1은, 예를 들면, 제어부(17)의 메모리(17b)에 기억된다.
제어부(17)(CPU(17a))는, 메모리(17b)에 기억된 테이블TB1에 의거하여, 검출기(8)에서 계측하지 않고 있는 회전 셔터(3)의 회전속도에 대응하는 기판의 노광량을, 검출기(8)에서 계측된 기판의 노광량을 선형 보간하여서 구할 수 있다. 보다 구체적으로는, 도 3에 도시한 바와 같이, 제어부(17)는, 회전속도 RVA1에 대응하는 노광량EXA1과, 회전속도RVB1에 대응하는 노광량EXB1과의 사이에서 선형관계식(함수)LR1을 결정한다. 그리고, 제어부(17)는, 선형관계식LR1으로부터, 회전속도RVA1과 회전속도RVB1과의 사이에 있어서의 임의의 회전속도RVAB1에 대응하는 노광량EXAB1을 용이하게 구할 수 있다.
또한, 메모리(17b)는, 테이블TB1에 더하여, 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계가 서로 다른 복수의 테이블TB2 및 TB3을 기억한다. 도 3에 도시된 테이블TB1, 도 5에 도시된 테이블TB2 및 도 6에 도시된 테이블TB3은, 광원부LS(자외선 램프(1))로부터의 빛의 조도를 변화시키는 것으로 얻는 것이 가능하다. 본 실시예에서는, 메모리(17b)는, 3개의 테이블TB1, TB2 및 TB3을 기억하고 있다. 그렇지만, 그 테이블의 수는 2개 이상이면 이것에 한정되지 않는다.
도 7을 참조하여, 본 실시예에 따른 회전 셔터(3)의 구체적인 제어에 대해서 설명한다. 이하의 설명에서는, 도 7에 도시한 바와 같이, 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화 때문에, 회전 셔터(3)의 회전속도RVB1에 대응하는 노광량EXB1이 노광량EXB1'으로 변화되었다고 가정한다.
제어부(17)는, 메모리(17b)에 기억된 테이블TB1, TB2 및 TB3에서, 회전속도RVB1에 대응하는 노광량EXB1, EXB2 및 EXB3과, 노광량EXB1'를 비교하고, 노광량EXB1'에 가장 가까운 테이블을 선택한다. 도 7을 참조하면, 노광량EXB1'과 노광량EXB1과의 차이를 ΔB1, 노광량EXB1'과 노광량EXB2과의 차이를 ΔB2, 노광량EXB1'과 노광량EXB3과의 차이를 ΔB3으로 나타내고 있다. 이 경우에, 차이ΔB1, ΔB2 및 ΔB3의 관계가 ΔB2 <ΔB3 <ΔB1이면, 노광량EXB1'에 가장 가까운 노광량은, 노광량EXB2이다.
따라서, 제어부(17)는, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정하는데 사용되는, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을, 테이블TB1로부터 테이블TB2로 갱신한다. 목표 노광량은 노광량EXB1이라고 가정한다. 이 경우에, 테이블TB1을 테이블 TB2로 갱신함으로써, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도로서, 회전속도RVE1을 결정(설정)할 수 있다. 이렇게, 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화(제2정보)에 따라, 순차로, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신하여서, 목표 노광량에 대응하는 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정할 수 있다. 그리고, 제어부(17)는, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서, 상기 갱신된 테이블에 근거하여, 기판의 노광량이 목표 노광량과 일치하도록, 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정 및 제어한다.
노광 장치(100)는, 도 8에 도시한 바와 같이, 기판을 로딩하는 처리, 기판 스테이지에 보유된 기판을 정렬하는 처리, 노광에 의해 레티클 패턴을 기판에 전사하기 위해 실제의 노광을 행하는 처리, 노광이 완료한 기판을 언로딩하는 처리를 순차로 행한다. 또한, 노광 장치(100)는, 다음 노광 처리(JOB)가 개시될 때까지 대기한다. 상술한 것처럼, 노광 처리는, 로딩, 얼라인먼트, 실제의 노광, 언로딩 및 대기를 포함한다. 노광 장치(100)는, 기판의 각 숏 영역에 대하여, 이것들의 처리를 반복적으로 행한다.
제어부(17)는, 기판의 숏 영역을 노광하는 기간을 제외한 기간에, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신한다. 예를 들면, 제어부(17)는, 로딩 기간에, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신한다. 보다 구체적으로는, 제어부(17)는, 로딩의 기간 중, 투영 광학계 밑에 기판이 존재하지 않는 기간에, 회전 셔터(3)를 소정의 회전속도(제1회전속도)로 회전시키면서, 검출기(8)에 의해 기판의 노광량을 계측한다. 그리고, 제어부(17)는, 검출기(8)에서 계측된 노광량, 즉, 소정의 회전속도에 대응하는 노광량과, 메모리(17b)에 기억된 테이블TB1, TB2 및 TB3의 소정의 회전속도에 대응하는 노광량과를 비교하여서, 테이블을 갱신한다.
도 8을 참조하면, 기판의 노광량의 변동을 고려하여, 회전 셔터(3)를 소정의 회전속도로 회전시키는 동안 노광량을 3회 계측하고 있다. 그렇지만, 노광량을 계측하는 횟수는 1회 이상이면 이것에 한정되지 않는다. 또한, 노광 장치(100)가 하프 미러(5)와 기판과의 사이에 차광 기구(도시되지 않음)를 구비하면, 이 차광 기구에 의해 광원부LS로부터의 빛을 차광함으로써, 투영 광학계 밑에 기판이 존재하지 않는 기간을 확보할 수 있다.
또한, 제어부(17)는, 얼라인먼트의 기간에, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신해도 좋다. 얼라인먼트의 기간에는, 회전 셔터(3)를 개폐하는, 즉, 회전 셔터(3)를 회전시키는 경우가 있다. 이러한 경우, 일반적으로, 실제의 노광과 같은 높은 노광량의 정밀도를 요구될 필요는 없기 때문에, 회전 셔터(3)의 회전속도를 임의로 결정할 수 있다. 따라서, 얼라인먼트의 기간에, 회전 셔터(3)를 소정의 회전속도로 회전시키는 동안에 기판의 노광량을 계측하여서, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신하는 것이 가능하다.
또한, 제어부(17)는, 로딩의 기간뿐만 아니라 언로딩의 기간에도, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신하는 것이 가능하다. 게다가, 제어부(17)는, 다음 노광 처리가 개시될 때까지의 대기의 기간에, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신할 수 있다.
로딩, 언로딩 및 대기의 각각의 기간에서는, 회전 셔터(3)의 회전속도를 자유롭게 선택가능하고, 또한, 투영 광학계 밑에 기판이 존재하지 않는 기간동안 시간이 허용하는 한, 기판의 노광량을 계측할 수 있다. 이에 따라, 노광량의 계측 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신하기 위해서 기판의 노광량을 계측할 때, 회전 셔터(3)를 적어도 1개의 회전속도로 회전시키면 좋다. 바꾸어 말하면, 회전 셔터(3)에 설정하는 회전속도나 회전속도의 수는 구체적으로 한정되지 않는다. 이때, 도 8에 도시된 테이블을 갱신하는 타이밍은 일례이며, 완전하지 않다.
자외선 램프(1)를 구비하는 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화는, 시간적으로 완만하다. 따라서, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블은, 장기적인 간격으로(예를 들면, 몇 매의 기판마다) 갱신되어도 좋다. 한편, 엄밀한 노광량의 정밀도가 요청될 경우에는, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신하는 간격을 최소화하여도 된다. 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신하는 타이밍이나 간격등은, 제어부(17)가 파라미터로서 관리함으로써, 임의의 타이밍과 간격을 선택하는 것이 가능하다.
상술한 것처럼, 본 실시예에서는, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계가 서로 다른 복수의 테이블을 메모리(17b)에 기억시킨다. 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화에 근거하여, 메모리(17b)에 기억된 복수의 테이블 중 1개의 테이블을 선택함으로써, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정하는데 사용된 테이블을 갱신한다. 또한, 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정하기 전에, 회전 셔터(3)를 제1회전속도로 회전시키는 동안에 검출기(8)에 의해 계측된 제1노광량에 의거하여 1개의 테이블을 선택한다. 이 경우에, 예를 들면, 메모리(17b)에 기억된 복수의 테이블로부터, 제1회전속도와 제1노광량간의 관계에 가장 가까운 관계를 포함하는 테이블을 선택하는 것이 바람직하다.
따라서, 본 실시예에 의해, 회전 셔터(3)의 회전속도와 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 다시 취득하기 위한 정기적인 메인티넌스를 행하는 것이 불필요하다. 이에 따라, 광원부LS로부터의 빛의 조도가 변화되었을 경우이여도, 노광 장치(100)의 가동률을 저하시키지 않고, 목표 노광량에 대응하는 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정하는 것이 가능하다. 또한, 본 실시예에 의하면, 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화에 따라 테이블을 갱신하기 위해서, 연속 구동 모드에 있어서, 회전 셔터(3)에 의거한 노광량의 정밀도를 저하시키지 않고, 소정의 범위내에 유지하는 것이 가능하다. 이렇게, 노광 장치(100)는, 기판의 노광량의 정밀도와 생산성과의 양쪽의 요구 사항을 만족시킬 수 있다.
<제2의 실시예>
본 실시예에서는, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 가변 테이블TB4를 메모리(17b)에 기억시켜, 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화에 따라 메모리(17b)에 기억된 가변 테이블TB4에 있어서의 관계를 갱신한다. 도 9는, 기준으로서 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계, 즉, 회전 셔터(3)의 회전속도와, 연속 구동 모드로 회전 셔터(3)를 회전시켰을 때의 기판의 노광량간의 관계의 일례를 도시한 그래프다. 도 10은, 도 9에 도시된 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 테이블의 형태로 표현해서 얻어진 가변 테이블TB4의 일례를 도시한 도면이다.
가변 테이블TB4는, 상술한 것 같이, 메모리(17b)에 기억된다. 제어부(17)는, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서, 메모리(17b)에 기억된 가변 테이블TB4에 근거하여, 기판의 노광량이 목표 노광량과 일치하도록, 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정 및 제어한다. 또한, 상술한 것 같이, 제어부(17)는, 가변 테이블TB4로부터 얻어지는 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 선형관계식에 근거하여, 임의의 회전속도에 대응하는 노광량을 구할 수 있다.
도 11 및 도 12를 참조하여, 본 실시예에 따른 회전 셔터(3)의 구체적인 제어에 대해서 설명한다. 이하의 설명에서는, 도 11에 도시한 바와 같이, 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화 때문에, 회전 셔터(3)의 회전속도RVB1에 대응하는 노광량EXB1이 노광량EXB1"으로 변화되었다고 가정한다. 도 12는, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 가변 테이블TB4의 일례를 도시한 도면이다.
제어부(17)는, 도 10에 도시된 가변 테이블TB4에 있어서의 회전속도RVB1에 대응하는 노광량EXB1을 노광량EXB1"으로 갱신한다. 또한, 그 밖의 회전 속도, 예를 들면, 회전속도RVA1, RVC1 및 RVD1의 각각에 대응하는 노광량에 있어서는, 노광량EXB1과 노광량EXB1"간의 변화율(비율)P를 반영시킨다. 보다 구체적으로는, 도 10에 도시된 가변 테이블TB4에 있어서의 회전속도RVA1에 대응하는 노광량EXA1에서 변화율P를 반영시켜서, 노광량EXA1"(=EXA1 x P)로 갱신한다. 마찬가지로, 도 10에 도시된 가변 테이블TB4에 있어서의 회전 속도RVC1 및 RVD1의 각각에 대응하는 노광량EXC1 및 EXD1에서 변화율P를 반영시켜서, 노광량EXC1"(=EXC1 x P) 및 EXD1"(=EXD1 x P)로 갱신한다. 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화에 따라, 순차로, 가변 테이블TB4에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 갱신하여서, 목표 노광량에 대응하는 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정하는 것이 가능하다. 그리고, 제어부(17)는, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서, 갱신한 가변 테이블TB4에 근거하여, 기판의 노광량이 목표 노광량과 일치하도록, 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정 및 제어한다. 또한, 가변 테이블TB4에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 갱신하는 타이밍은, 제1의 실시예와 같기 때문에, 그것의 상세한 설명은 생략한다.
상술한 것 같이, 본 실시예에서는, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 변경 가능한 가변 테이블을 메모리(17b)에 기억시킨다. 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화에 근거하여, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정하는데 사용되는 가변 테이블을 갱신한다. 예를 들면, 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정하기 전에, 회전 셔터(3)를 제1회전속도로 회전시키는 동안 검출기(8)에 의해 계측된 노광량과, 갱신전의 가변 테이블에 있어서의 제1회전속도에 대응하는 노광량간의 변화율을 구한다. 그리고, 그 변화율을, 가변 테이블에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계에 반영시켜서 가변 테이블을 갱신한다.
따라서, 본 실시예에서는, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 갱신 가능한 가변 테이블을 1개 준비하면 좋다. 이에 따라, 제1의 실시예와 비교하여, 테이블의 관리가 용이해진다. 또한, 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화에 의해 생긴 기판의 노광량의 실제의 변화를, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계에 반영시킬 수 있으므로, 목표 노광량에 대응하는 회전 셔터(3)의 회전속도를 보다 정확하게 구할 수 있다.
<제3의 실시예>
제1의 실시예 및 제2의 실시예에서는, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 테이블을 갱신할 때에, 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화에 관한 제2정보로서, 기판의 노광량의 경시변화를 사용하고 있다. 단, 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화에 관한 제2정보로서, 광원부LS로부터의 빛의 조도의 경시변화를 사용해도 좋다.
도 13은, 기준으로서 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계, 즉, 회전 셔터(3)의 회전속도와, 연속 구동 모드로 회전 셔터(3)를 회전시켰을 때의 기판의 노광량간의 관계의 일례를 도시한 그래프다. 도 14는, 도 13에 도시된 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 테이블의 형태로 표현해서 얻어진 가변 테이블TB5의 일례를 도시한 도면이다. 가변 테이블TB5는, 가변 테이블TB를 취득할 때의 기준이 되는 광원부LS로부터의 빛의 조도(제1조도)S1과 관련지어서, 메모리(17b)에 기억된다. 제어부(17)는, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리를 행할 때, 메모리(17b)에 기억된 가변 테이블TB5에 근거하여, 기판의 노광량이 목표 노광량과 일치하도록, 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정 및 제어한다. 또한, 상술한 것 같이, 제어부(17)는, 가변 테이블TB5로부터 얻어지는 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 선형관계식에 근거하여, 임의의 회전속도에 대응한 노광량을 구하는 것도 가능하다.
도 15 및 도 16을 참조하여, 본 실시예에 따른 회전 셔터(3)의 구체적인 제어에 대해서 설명한다. 이하의 설명에서는, 도 15에 도시한 바와 같이, 광원부LS로부터의 빛의 조도S1이 조도S2로 변화되었다고 가정한다. 도 16은, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계가 갱신된 가변 테이블TB5의 일례를 도시한 도면이다.
노광 장치(100)에 있어서, 검출기(8)는, 회전 셔터(3)의 회전속도에 관계없이, 광원부LS로부터의 빛의 조도를 검출할 수 있다. 따라서, 회전 셔터(3)의 개구부(302)가 광원부LS로부터의 빛을 통과시키는 제2상태에 있는 임의의 타이밍에서 광원부LS로부터의 빛의 조도를 검출하는 것이 가능하다. 예를 들면, 노광 장치(100)의 가동률의 저하를 방지하기 위해서, 제1의 실시예에서 같이 기판의 노광량을 계측하는 타이밍에서 빛의 조도를 검출해도 좋거나, 실제의 노광시에 빛의 조도를 검출해도 좋다.
제어부(17)는, 도 14에 도시된 가변 테이블TB5에 있어서의 노광량EXB1을, 노광량EXB1에 있어서의 조도S1과 조도S2간의 변화율(비율)S2/S1을 반영시켜서, 노광량EXB1'''(=EXB1 x S2/S1)d으로 갱신한다. 도 14에 도시된 가변 테이블TB5에 있어서의 노광량EXA1, EXC1 및 EXD1에 대해서도 같다. 제어부(17)는, 노광량EXA1, EXC1 및 EXD1에 있어서의 변화율S2/S1을 반영시켜서, 노광량EXA1'''(=EXA1 x S2/S1), EXC1'''(= EXC1 x S2/S1) 및 EXD1'''(= EXD1 x S2/S1)으로 각각 갱신한다. 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화에 따라, 가변 테이블TB5에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 순차로 갱신하여서, 목표 노광량에 대응한 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정할 수 있다. 그리고, 제어부(17)는, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서, 갱신한 가변 테이블TB5에 근거하여, 기판의 노광량이 목표 노광량과 일치하도록, 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정 및 제어한다.
상술한 것 같이, 본 실시예에서는, 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 갱신가능한 가변 테이블을, 그 때의 광원부LS로부터의 빛의 조도(제1조도)에 관련지어, 메모리(17b)에 기억시킨다. 광원부LS로부터의 빛의 조도의 변화에 근거하여, 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정하는데 사용되는 가변 테이블을 갱신한다. 예를 들면, 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도를 결정하기 전에, 검출기(8)에 의해 검출된 광원부LS로부터의 빛의 조도(제2조도)와, 갱신전의 가변 테이블에 관련된 제1조도간의 변화율을 구한다. 그리고, 이 변화율을, 가변 테이블에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계에 반영시켜서, 가변 테이블을 갱신한다.
따라서, 본 실시예에서는, 가변 테이블을 갱신할 때 광원부LS로부터의 빛의 조도에 있어서의 회전 셔터(3)의 회전속도와 기판의 노광량간의 관계를 얻을 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 광원부LS로부터의 빛의 조도의 검출 결과를 사용하므로, 회전 셔터(3)의 회전속도에 관계없이, 개구부(302)가 광원부LS로부터의 빛을 통과시키는 제2상태에 있는 임의의 타이밍에서 가변 테이블의 갱신을 행할 수 있다.
<제4의 실시예>
제3의 실시예에서는, 검출기(8)에 의해 검출된 광원부LS로부터의 빛의 조도에 근거하여, 메모리(17b)에 기억된 가변 테이블을 갱신하는 경우를 예로 들었다. 단, 자외선 램프(1)를 구비하는 광원부LS로부터의 빛의 조도는, 일반적으로, 그 사용 시간에 따라서 저하하는 경향이 있다.
도 17은, 광원부LS의 사용 시간에 의한 조도의 경시변화의 일례를 도시한 그래프다. 도 17을 참조하면, 횡축은 광원부LS의 사용 시간을 나타내고, 종축은 광원부LS로부터의 빛의 조도의 유지율을 나타낸다. 광원부LS, 즉, 자외선 램프(1)의 종류에 따라, 조도의 저하의 경향에 차이는 있지만, 광원부LS로부터의 빛의 현재의 조도는, 도 17에 도시한 바와 같이, 초기 조도 및 사용 시간으로부터 추정될 수 있다.
따라서, 본 실시예에서는, 제어부(17)는, 광원부LS로부터의 빛의 초기 조도와, 광원부LS의 사용 시간에 근거하여, 광원부LS로부터의 빛의 현재의 조도를 구한다. 그리고, 제어부(17)는, 제3의 실시예와 같이, 메모리(17b)에 기억된 가변 테이블에 있어서의 노광량에, 갱신전의 가변 테이블에 관련된 제1조도와 현재의 조도간의 변화율(비율)을 반영시켜서, 가변 테이블을 갱신한다.
<제5의 실시예>
본 발명의 실시예에 따른 물품의 제조 방법은, 디바이스(예를 들면, 반도체 디바이스, 자기 기억 매체, 또는 액정표시 소자) 등의 물품을 제조하는데 적합하다. 이 제조 방법은, 노광 장치(100)를 사용하여서, 감광제가 도포된 기판을 노광하는 단계와, 노광된 기판을 현상하는 단계를 포함한다. 이 제조 방법은, 다른 주지의 단계들(산화, 성막, 증착, 도핑, 평탄화, 에칭, 레지스트 박리, 다이싱, 본딩, 패키징 등)을 더 포함한다. 본 실시예에 따른 물품의 제조 방법은, 물품의 성능, 품질, 생산성 및 생산 비용 중 적어도 1개에 있어서 종래의 방법보다 우수하다.
본 발명을 실시예들을 참조하여 기재하였지만, 본 발명은 상기 개시된 실시예들에 한정되지 않는다는 것을 알 것이다. 아래의 청구항의 범위는, 모든 변형예, 동등한 구조 및 기능을 포함하도록 폭 넓게 해석해야 한다.

Claims (13)

  1. 기판을 노광하는 노광 장치로서,
    광원으로부터의 빛을 차광하는 차광부를 구비하고, 상기 기판에의 상기 빛의 입사를 제어하기 위한 회전 셔터; 및
    상기 회전 셔터의 회전속도와, 그 회전속도로, 상기 회전 셔터의 회전을 정지시키지 않고, 상기 회전 셔터가 상기 빛을 차광하는 제1상태, 상기 회전 셔터가 상기 빛을 통과시키는 제2상태, 상기 제1상태의 순서로 이행하도록, 상기 회전 셔터를 회전시켰을 때의 상기 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 제1정보에 근거하여, 상기 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 상기 기판의 노광량이 목표 노광량과 일치하도록, 상기 회전 셔터의 회전속도를 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 빛의 조도가 제1조도에서 제2조도로 변화하는 경우에, 상기 제1조도와 상기 제2조도의 비율을 포함하는 제2정보에 근거하여, 상기 제1정보에 포함되는 상기 제1조도에 대한 제1테이블 또는 제1함수를 상기 제2조도에 대한 상기 관계를 나타내는 제2테이블 또는 제2함수로 갱신하여, 상기 제2테이블 또는 제2함수를 포함하는 상기 제1정보에 근거하여 상기 회전속도를 제어하는, 노광 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 관계가 서로 다른 복수의 제1정보를 기억하는 기억부를 더 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 제2정보에 근거하여, 상기 기억부에 기억된 복수의 제1정보로부터 1개의 제1정보를 선택함으로써 상기 갱신을 행하는, 노광 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판의 노광량을 계측하는 계측부를 더 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 상기 회전 셔터의 회전속도를 결정하기 전에 상기 회전 셔터를 제1회전속도로 회전시키는 동안 상기 계측부에 의해 계측된 제1노광량과, 상기 제1회전속도에 근거하여, 상기 복수의 제1정보로부터 상기 1개의 제1정보를 선택하는, 노광 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 복수의 제1정보 중, 상기 제1회전속도와 상기 제1노광량간의 관계에 가장 가까운 관계를 포함하는 제1정보를 상기 1개의 제1정보로서 선택하는, 노광 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 노광량을 계측하는 계측부를 더 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 상기 회전 셔터의 회전속도를 결정하기 전에 상기 회전 셔터를 제1회전속도로 회전시키는 동안 상기 계측부에 의해 계측된 노광량과, 상기 제1회전속도에 대응하는 상기 기판의 노광량간의 변화율을, 상기 관계에 반영시켜서 상기 갱신을 행하는, 노광 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 빛의 조도를 검출하는 검출부를 더 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 상기 회전 셔터의 회전속도의 결정전에 상기 검출부에 의해 검출된 상기 빛의 상기 제2조도와, 상기 제1조도간의 변화율을, 상기 관계에 반영시켜서 상기 갱신을 행하는, 노광 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2정보는, 상기 기판의 노광량의 경시변화와 상기 빛의 조도의 경시변화 중 적어도 한쪽을 포함하는, 노광 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 숏 영역을 노광하는 기간을 제외한 기간에, 상기 갱신을 행하는, 노광 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 빛의 조도 저하에 관한 제 2 정보에 근거하여 상기 제1정보를 갱신하는, 노광 장치.
  12. 노광 장치를 사용하여 기판을 노광하는 단계; 및
    노광된 기판을 현상하는 단계를 포함하고,
    상기 노광 장치는,
    광원으로부터의 빛을 차광하는 차광부를 구비하고, 상기 기판에의 상기 빛의 입사를 제어하기 위한 회전 셔터; 및
    상기 회전 셔터의 회전속도와, 그 회전속도로, 상기 회전 셔터의 회전을 정지시키지 않고, 상기 회전 셔터가 상기 빛을 차광하는 제1상태, 상기 회전 셔터가 상기 빛을 통과시키는 제2상태, 상기 제1상태의 순서로 이행하도록, 상기 회전 셔터를 회전시켰을 때의 상기 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 제1정보에 근거하여, 상기 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 상기 기판의 노광량이 목표 노광량과 일치하도록, 상기 회전 셔터의 회전속도를 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 빛의 조도가 제1조도에서 제2조도로 변화하는 경우에, 상기 제1조도와 상기 제2조도의 비율을 포함하는 제2정보에 근거하여, 상기 제1정보에 포함되는 상기 제1조도에 대한 제1테이블 또는 제1함수를 상기 제2조도에 대한 상기 관계를 나타내는 제2테이블 또는 제2함수로 갱신하여, 상기 제2테이블 또는 제2함수를 포함하는 상기 제1정보에 근거하여 상기 회전속도를 제어하는, 물품의 제조 방법.
  13. 광원으로부터의 빛으로 기판을 노광하는 노광 방법으로서,
    제어부에 의해, 회전 셔터의 회전속도와, 그 회전속도로, 상기 회전 셔터의 회전을 정지시키지 않고, 상기 회전 셔터가 상기 빛을 차광하는 제1상태, 상기 회전 셔터가 상기 빛을 통과시키는 제2상태, 상기 제1상태의 순서로 이행하도록, 상기 회전 셔터를 회전시켰을 때의 상기 기판의 노광량간의 관계를 나타내는 제1정보에 근거하여, 상기 기판의 숏 영역에 대한 노광 처리에 있어서의 상기 기판의 노광량을 목표 노광량과 일치시키는 단계와,
    상기 제어부에 의해, 상기 빛의 조도가 제1조도에서 제2조도로 변화하는 경우에, 상기 제1조도와 상기 제2조도의 비율을 포함하는 제2정보에 근거하여, 상기 제1정보에 포함되는 상기 제1조도에 대한 제1테이블 또는 제1함수를 상기 제2조도에 대한 상기 관계를 나타내는 제2테이블 또는 제2함수로 갱신하여, 상기 제2테이블 또는 제2함수를 포함하는 상기 제1정보에 근거하여 상기 회전속도를 제어하는 단계를 포함하는, 노광 방법.
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