JP7379036B2 - シャッタ装置、光量制御方法、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、露光装置等に用いられるシャッタ装置や光量制御方法等に関するものである。

ステップ・アンド・リピート方式の露光装置においては、露光光およびその量を制御する機能として露光シャッタが用いられる。露光シャッタは、例えば光束を遮断する遮光部と、光束を通過させる開口部とを有する回転体などからなっている。

ステップ・アンド・リピート方式の露光装置における露光処理のひとつの例としては次のような処理がある。まず、露光対象となる基板上の露光領域が露光するための位置に位置決めされた状態で、シャッタ羽根を閉状態（遮光状態）から開状態（非遮光状態）にするための開駆動し、静止させる。そして露光光が露光領域に所定時間照射される、所望の露光量に達したら、開状態から閉状態にするための閉駆動を行ない、露光を完了する。次に基板を保持したステージが次の露光領域を露光するための位置に移動させる。ステージの移動が完了したら露光シャッタは再び開駆動を行い、露光を開始する。これをあらかじめ設定された露光領域の数だけ繰り返していくことで露光処理を行う。

次に露光量制御方式について説明する。前述のような露光量制御では、シャッタの閉駆動時にはリアルタイムで露光量制御を行なえない。シャッタ羽根の形状やその駆動動作で、閉駆動中の露光量が決まってしまうため、露光量をフィードバックしながらの制御が行えないためである。そこで、シャッタ羽根の閉駆動開始から閉駆動完了までの露光量を、シャッタ羽根の開駆動開始から一定時間経過するまでの露光量と等価と考えて制御を行う。つまり、シャッタ閉駆動中の露光量をシャッタ開駆動時の露光量計測値にもとづいて算出し、算出した閉駆動中露光量にもとづいてシャッタ閉駆動開始タイミングにおける露光量を決定し、駆動する。閉駆動開始タイミングの露光量は、設定露光量から前記一定時間分の露光量を減算した結果で得られる。この構成は特許文献１にて開示されている。

一方、近年の露光装置への要求として、装置生産性向上のため、露光処理時間の短縮が求められている。これを達成する手段の一つとして、シャッタ羽根開動作完了から閉動作開始までの時間短縮がある。

しかし、露光量のリアルタイムでの計測時間は、シャッタ羽根の動作指令に対するアクチュエータ応答や動作指令通信の遅れ、フィードバックによる演算処理の遅延などにより、シャッタ開動作開始から開動作完了までの時間よりも長くかかる。つまり、シャッタ羽根はすでに開動作を完了しているが、シャッタ閉動作の開始タイミングは、前記計測時間完了を待つ必要があり、それまではシャッタ閉動作を開始することができない。これがシャッタ羽根開動作完了から閉動作開始までの時間短縮への阻害要因となりうる。

そこで、特許文献２では、シャッタ開駆動において、開状態となり、照度が最大に達してからの一定時間分の露光量を計測し、規定の時間分の露光量は、前記一定時間分の露光量から比例算出する方法が提案されている。これにより、前記露光量計測時間の経過を待たずにシャッタ閉駆動開始時の露光量を決定することができるため、シャッタ羽根開動作完了から閉動作開始までの時間短縮につながる。

特公昭６１－３４２５２号公報 特開平６－１２０１０３号公報

しかし、特許文献２の技術では、露光中に照度変動が発生した場合、シャッタ閉駆動タイミングを決定するための露光量を一定時間だけ計測した時の照度と、実際にシャッタ閉駆動を行う時の照度に差が発生する。その結果、シャッタ閉動作時の予測した露光量と、シャッタ閉動作時の実際の露光量の差が発生し、露光量制御精度が低下してしまう。
本発明は、上記の問題に着目してなされたものであり、露光装置等における、シャッタ閉駆動タイミングを早めつつ、照度変動による積算光量制御精度の低下を抑制したシャッタ装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明のシャッタ装置は、
光源からの光を遮蔽または通過させるシャッタと、
前記シャッタを通過した光の照度を計測する計測手段と、
前記シャッタが全開状態にあるときに前記計測手段によって計測された照度値Ｂと、予め設定した設定積算光量Ａに基づき、以下の式（１）により計測時間Ｔｅｘｐを算出し、
Ｔｅｘｐ＝Ａ／Ｂ・・・（１）
前記計測時間Ｔｅｘｐにおける積算光量に基づき、前記シャッタの閉駆動を開始してから閉駆動が終了するまでの期間の積算光量Ａｃｌｓを算出し、設定積算光量Ａと前記積算光量Ａｃｌｓに基づき、前記シャッタの閉駆動を開始する時の積算光量を算出する制御手段と、を有することを特徴とする。

本発明によれば、シャッタ閉駆動タイミングを早めつつ、照度変動による積算光量制御精度の低下を抑制したシャッタ装置を得ることができる。

本発明の実施例の露光制御装置を含む露光装置の構成ブロック図である。 実施例の露光時のシャッタ駆動状態と照度のイメージを示す図である。 基本的な露光量制御方法を示す図である。 本発明の実施例１の動作タイミングを示す図である。 本発明の実施例２の動作タイミングを示す図である。 図３に対応した露光方法のシーケンスを示すフローチャートである。 本発明の実施例１の動作シーケンスを示すフローチャートである。 本発明の実施例２の動作シーケンスを示すフローチャートである。

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について実施例を用いて説明する。なお、各図において、同一の部材ないし要素については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略ないし簡略化する。

図１に実施例１のシャッタ装置を含む露光装置（リソグラフィ装置）の構成ブロック図を示す。露光装置には、光源である露光用紫外線を発光するランプ１、ランプ１の光をレチクル１８上に導くための楕円ミラー２、楕円ミラー２からの光をレチクル１８上に照射する時間を制御する回転型の露光シャッタ３がある。露光シャッタ３は、前記光源からの光を遮断させるシャッタ羽根３０１と通過させる開口部３０２とから成る。楕円ミラー２と露光シャッタ３の間には、露光光を遮断するための第２シャッタ５０が設けられる。また、露光シャッタ３を通過した露光光は、レンズ４を介した後、ハーフミラー５で光の一部が照度計測用のホトディテクタ８に導かれる。一方ハーフミラー５を通過した光はミラーＭＲにより反射されてレチクル（原版）１８に導かれ、投影光学系ＬＳを介して対象物としての基板ＳＴに導かれて結像し、基板ＳＴ上の不図示の感光材を露光する。なお、上記露光シャッタ３、レンズ４、ハーフミラー５、ミラーＭＲ等によって照明光学系が構成されている。

更には、露光シャッタ駆動用モータ６、露光シャッタの回転を検出するためのエンコーダ７がある。電流ドライバ１０は、露光シャッタ駆動用モータ６を駆動する。ＦＶＣ（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｖｏｌｔａｇｅ Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）１１は、エンコーダ７からのシャッタスピードに比例したパルス列を電圧に交換する。ＡＤコンバータ１２は、積算露光計測用のホトディテクタ８からの光量に比例するアナログ電圧をデジタルデータに変換する。
スピードサーボアンプ１３は、露光シャッタ３の実際のスピードが２次スピード指令値２４と一致するように、実際のスピードに対応したＦＶＣ１１からの値と２次スピード指令値２４の差分に比例する出力を発生する。

乗算器１４は、１次スピード指令値２１と、ゲインコントロールデータ２０から２次スピード指令値２４を作成する。ポジションカウンタ１５は、シャッタの回転位置をモニタする。積算露光量（積算光量）カウンタ１６は、ＡＤコンバータ１２からの出力を計数することによりシャッタ開放動作後にホトディテクタ８に入射する光の量の時間的積分量（積算露光量／積算光量）をモニタする。積算露光量カウンタ１６は、ホトディテクタ８、ＡＤコンバータ１２と共に、前記シャッタを通過した光の照度を計測する計測手段を構成している。なお、ここで積算露光量（積算光量）とは瞬間的な光量（照度）ではなく照射期間中に積算（積分）された光量を意味し、実施例において、積算露光量（積算光量）と露光量は同じ意味で用いる。コントローラ１７は、全体の動作を制御するためのものであり、メモリ１９を内蔵する。メモリ１９には積算露光量Ｅｔに対するシャッタ駆動速度の関係式やパラメータが格納されている。また、コントローラ１７にはコンピュータとしてのＣＰＵが内蔵されており、前記メモリ１９に記憶された関係式やパラメータやコンピュータプログラムに基づき装置全体の各種動作を実行する制御手段として機能する。

図２は露光時のシャッタ駆動状態と照度のイメージを示す図である。まず、露光シャッタが光束を遮断する閉位置から駆動がはじまる。露光シャッタ３が回転を開始してもただちに光束を通過させる状態（開状態）にはならず、閉状態がつづく。光束の端部に露光シャッタ３の端部が到達すると、徐々に光束が通過しはじめ、光束の逆側の端部まで到達すると、開状態となる。
開駆動が始まるとホトディテクタ８から入射光量に応じたアナログ電圧が出力される。アナログ電圧はＡＤコンバータ１２を介し、照度データに変換される。この照度データを積算していくことで積算露光量（露光量）を計測することができる。そして所望の露光量に達したタイミングで露光シャッタの閉駆動を開始する。

閉駆動は、光束が通過する位置から駆動が始まり、露光シャッタ３が光束に対し、再び回転する。光束の端部に露光シャッタ３の端部が到達すると、徐々に光束を遮蔽し始め、光束の逆側の端部まで到達すると、遮光状態（閉状態）となる。閉状態となるまで露光量の積算は行われ、最終的な積算露光量が決まる。つまり、予め設定した露光量になるように、シャッタ羽根３０１によって開状態となってから閉駆動を開始するまでの時間の長短をコントロールする。

図３に基本的な露光量制御方法を示す。１０１～１０９はそれぞれタイミングを表すとともに、そのタイミングにおけるシャッタの状態を表している。まず、露光光がシャッタ羽根３０１により閉じていてシャッタが停止している状態１０１から、シャッタ羽根３０１の開駆動が開始する。シャッタ羽根が回転すると状態１０２にて露光光が通過開始され、照度が上昇し始める。状態１０１から状態１０２の間は、羽根は回転駆動しているが、まだ光は通過していない。状態１０２から徐々に開いていく。

そして、開状態１０３となり、シャッタ羽根は１０４の状態で停止し、開駆動が完了する。その後、所定の期間露光を継続してから、シャッタ閉駆動が開始される状態１０６となる。その後、露光光を遮断し始める状態１０７、露光光を遮光する状態１０８と推移し、シャッタ羽根は１０９の状態で停止する。
上記の図３のシーケンスを、図６のフローチャートを用いて説明する。

まず、コントローラ１７は、積算露光量Ｅｔを０にリセットして、ホトディテクタ８により積算露光量Ｅｔの計測を開始する（ステップＳ４０１）。次にコントローラ１７は、シャッタの開駆動を開始し（ステップＳ４０２）、露光をスタートする。次にコントローラ１７は、予め設定した固定の計測時間Ｔｃｍｄが経過するまで待つ（ステップＳ４０３）。そして、計測時間Ｔｃｍｄが経過したら、コントローラ１７は、その時点までの露光量（図３のＳ１＋Ｓ２）を記憶する（ステップＳ４０４）。次にコントローラ１７は、シャッタ開状態のまま、積算露光量Ｅｔが（設定露光量Ａ－上記ステップＳ４０４で記憶された露光量（Ｓ１＋Ｓ２））になるまで待つ（ステップＳ４０５）。積算露光量が上記露光量に達したら、コントローラ１７は、シャッタの閉駆動を開始する（ステップＳ４０６）。

この例では、図３の状態１０６から状態１０９にかけてのシャッタ閉駆動時の露光量Ｓ４＋Ｓ５と状態１０１から状態１０５にかけてのシャッタ開駆動開始から規定時間経過するまでの露光量Ｓ１＋Ｓ２が等しくなるように計測時間Ｔｃｍｄを決める。なお計測時間Ｔｃｍｄは、シャッタ開動作完了の状態１０４より時間がかかり、シャッタ閉動作は計測時間Ｔｃｍｄの経過を待つ必要がある。従って、状態１０４（シャッタ羽根停止状態）から状態１０５の間、シャッタ羽根は駆動可能な状態であるにも関わらず、計測に時間がかかるために、この時間を短縮することが出来ない。

そこで、シャッタ羽根が開状態になったタイミングとなる状態１０３から状態１０４の間にて、一定時間分の露光量を測定し、その露光量を本来取得したい時間分で比例算出し、シャッタ閉駆動における露光量を決定する方法が考えられる。この方法を用いれば、一定の計測時間Ｔｃｍｄの経過を待つことなく、シャッタ閉駆動開始タイミングにおける露光量を決定できるため、露光処理時間の短縮につながる。ただし、前記一定時間分の露光量計測を行うタイミングと、シャッタ閉駆動開始までの間で照度変動が発生した場合は、その照度変動分の露光量が誤差として生じ、露光量制御精度の低下を招く可能性がある。

図４に上記の点を改善した実施例１の動作を示す。２０１～２０９はそれぞれタイミングを表すとともに、そのタイミングにおけるシャッタの状態を表している。まずシャッタが停止しており、かつ露光光がシャッタ羽根３０１で遮断されている状態２０１から、シャッタ羽根３０１の開駆動が開始する。シャッタ羽根３０１が駆動すると状態２０２にて露光光が通過し始め、照度が上昇し始める。そして、シャッタ羽根が開いた状態２０３となり、シャッタ羽根は２０４の状態で停止し、開駆動が完了する。

状態２０６にてシャッタが閉駆動開始指令を受けると、シャッタ羽根の閉動作（回転）が開始される。その後、状態２０７からシャッタ羽根が露光光の閉じ動作が始まり、状態２０８にて光束を遮断し、状態２０９でシャッタ羽根の回転が停止し閉駆動が完了する。状態２０６から状態２０８までの時間Ｔｃｌｓは、シャッタ開駆動開始である状態２０１から、照度が最大到達する状態２０３までの時間Ｔｏｐｎと等価である。シャッタ羽根駆動中の状態２０２から状態２０３までの時間と状態２０７から状態２０８までの時間が等価であり、また、状態２０１から状態２０２までの時間と状態２０６から状態２０７までの時間が等価だからである。

また、実施例１では、Ｔｃｌｓの間に累積される露光量Ａｃｌｓは、模式的に左右、上下反転し、Ｔｏｐｎの間に蓄積される露光量Ａｏｐｎと合わせると、底辺がＴｏｐｎ、高さが状態２０３時点に計測される照度値Ｂからなる長方形の面積とみなしている。開口部３０２の形状が所定の半径方向の線について対称形ならば、状態２０２から状態２０３までの露光量変化のカーブと状態２０７から状態２０８までの露光量変化のカーブは反転すると一致するためである。
そして、閉駆動時以降は露光量Ａｃｌｓが得られることが期待できる。従って、予測露光時間（所定の計測時間）Ｔｅｘｐは、設定露光量（設定積算光量）Ａと状態２０３時点（シャッタ全開状態にあるとき）に計測される照度値Ｂと以下の式（１）を用いて予測演算できる。

Ｔｅｘｐ＝Ａ／Ｂ （１）
また、以下の式（２）のように、ＴｅｘｐからＴｏｐｎを引いた時間を、シャッタ羽根が開状態（全開状態）になったタイミングから計測する可変の露光計測時間Ｔｍｅａｓとする。なお、ここで全開状態とは、シャッタ羽根が、光源からの光束が通過する所望の径の通過領域（例えば図３～５の実線の白丸領域）と重ならない状態をいう。
Ｔｍｅａｓ＝Ｔｅｘｐ－Ｔｏｐｎ （２）
ここで図３における計測時間をＴｃｍｄ、状態２０１から状態２０３までに蓄積した露光量（所定の計測時間における積算光量）をＡｏｐｎ、前記露光計測時間Ｔｍｅａｓにて蓄積した露光量をＡｍｅａｓとする。その場合、露光量Ａｃｌｓは、以下の式（３）で表わすことができる。

Ａｃｌｓ＝Ａｏｐｎ＋Ａｍｅａｓ×（Ｔｃｍｄ－Ｔｏｐｎ）／（Ｔｅｘｐ－Ｔｏｐｎ） （３）
照度値Ｂを計測するタイミングは、シャッタ羽根の開駆動を開始するタイミングの状態２０１から所定時間Ｔｏｐｎが経過した時点とする。ここで所定時間Ｔｏｐｎは、シャッタ開駆動を開始してから全開状態に達するまでの時間を予め測定またはシミュレーションすることによって決めた固定の時間とする。あるいは、シャッタ開駆動から照度変化を測定し、照度が最大に到達した時点としても良い。あるいは照度が最大となった後に照度変化が所定値以下になった時点としてもよい。いずれの場合も、シャッタ全開状態となった時点とみなすことができる。なお、予測露光時間Ｔｅｘｐが、計測時間Ｔｃｍｄを超える場合は、予測露光時間Ｔｅｘｐ＝計測時間Ｔｃｍｄとすればよい。即ち、予測露光時間Ｔｅｘｐの上限を計測時間Ｔｃｍｄとすればよい。

上記の動作シーケンスを、図７のフローチャートに示す。
まず、コントローラ１７は、積算露光量を０にリセットして計測準備を行う（ステップＳ５０１）。次にコントローラ１７は、シャッタの開駆動を開始し（ステップＳ５０２）、露光スタートする。シャッタ開駆動開始後、コントローラ１７は、Ｔｏｐｎが経過するまで待ち（ステップＳ５０３）、経過したらコントローラ１７は、その時点の積算露光量カウンタ１６のカウント値である積算露光量Ａ１をＡｏｐｎとして記憶する（ステップＳ５０４）。

ステップＳ５０５では、コントローラ１７は、ステップＳ５０４までに計測した積算露光量Ａ１とは別の積算露光量Ａ２で積算を開始する。そして、コントローラ１７は、式（１）と式（２）に基づき算出される露光計測時間Ｔｍｅａｓが経過するまで待ち（ステップＳ５０６）、コントローラ１７は、Ｔｍｅａｓ経過時点の積算露光量Ａ２をＡｍｅａｓとして記憶する（ステップＳ５０７）。
次にコントローラ１７は、ステップＳ５０４とステップＳ５０７でそれぞれ記憶した積算露光量Ａ１（Ａｏｐｎ）とＡ２（Ａｍｅａｓ）から、式（３）を用いてシャッタが閉状態になるまでの露光量Ａｃｌｓを計算する（ステップＳ５０８）。

次にコントローラ１７は、ステップＳ５０９で、シャッタ閉駆動開始時の積算露光量Ｅｔを、前記設定露光量Ａと、ステップＳ５０８で計算した露光量Ａｃｌｓに基づき以下の式（４）で算出する。
Ｅｔ＝Ａ－Ａｃｌｓ （４）
そしてコントローラ１７は、積算露光量Ｅｔが上記式（４）に達するまで待つ。ステップＳ５０９でＹｅｓになったらコントローラ１７は、シャッタの閉駆動を開始する（ステップＳ５１０）。
このように構成することによってシャッタ閉駆動の開始タイミングを前記の固定の計測時間Ｔｃｍｄよりも短い時間に短縮しつつ、露光中の照度変動による露光量（積算光量）制御精度の低下を抑制したシャッタ装置を得ることができる。

次に実施例２の動作タイミングを図５に示す。３０１～３０９はそれぞれタイミングを表すとともに、そのタイミングにおけるシャッタの状態を表しており、実施例１との差は以下の通りである。
シャッタ羽根が開状態となり照度が最大到達する状態３０３からその後シャッタ羽根が停止した状態３０４にかけて照度が変動すると、状態３０３の時点で決定する予測露光時間Ｔｅｘｐは、実際の露光時間とかい離が生じる可能性がある。例えば、状態３０３から状態３０４までの間に照度が増加した状態で、前記規定時間分、露光量の計測を行うと、シャッタ閉駆動を開始すべきタイミングの露光量を過ぎてしまいかねない。よって、シャッタ羽根が開状態（全開）になった状態３０３から計測する露光計測時間Ｔｍｅａｓは、下記の式（５）のようにＴｅｘｐからＴｏｐｎを引いた時間から、更に所定の時間分のオフセットＴｏｆｓを引いた時間とする。

オフセットＴｏｆｓは、例えば、照度変動のレンジ、もしくは、予め測定したシャッタの駆動タイミングのバラつきから決定する。
Ｔｍｅａｓ＝Ｔｅｘｐ－Ｔｏｐｎ－Ｔｏｆｓ （５）
上記式（５）の演算を行うことにより、状態３０３から状態３０５の間で照度変動が発生しても、その変動分を考慮したシャッタ閉駆動タイミングの露光量が設定できる。従って、露光量制御精度の低下を抑制しつつ、露光量時間の短縮化や装置の生産性向上が実現できる。
図８は実施例２の動作シーケンスを示すフローチャートである。図７と同じ番号のステップは同じ動作を表す。図７との違いは、ステップＳ６０６の露光計測時間Ｔｍｅａｓを得るための計算を式（５）により演算する点であり、オフセットＴｏｆｓを引く処理が追加となっている。
（物品の製造方法）

次に、前述の露光装置（リソグラフィ装置）による物品（半導体ＩＣ素子、液晶表示素子、ＭＥＭＳ等）の製造方法を説明する。物品は、前述の露光装置を使用して、感光剤が塗布された基板（ウェハ、ガラス基板等）ＳＴを、前記レチクル（原版）１８を介して露光することによって原版のパターンを基板に形成する工程と、前記パターンが形成された基板（感光剤）を現像する工程と、現像された基板を他の周知の工程で処理することにより製造される。他の周知の工程には、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等が含まれる。本物品製造方法によれば、従来よりも高品位の物品を製造することができる。

以上、本発明をその好適な実施例に基づいて詳述してきたが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の主旨に基づき種々の変形が可能であり、それらを本発明の範囲から除外するものではない。例えば実施例では露光装置におけるシャッタ装置について説明したが、本発明のシャッタ装置は露光装置以外にも適用できることは言うまでもない。
また、本実施例における制御の一部または全部を上述した実施例の機能を実現するコンピュータプログラムをネットワーク又は各種記憶媒体を介してシャッタ装置等に供給するようにしてもよい。そしてそのシャッタ装置等におけるコンピュータ（又はＣＰＵやＭＰＵ等）がプログラムを読み出して実行するようにしてもよい。その場合、そのプログラム、及び該プログラムを記憶した記憶媒体は本発明を構成することとなる。

１ ランプ
２ 楕円ミラー
３ 露光シャッタ
４ レンズ
５ ハーフミラー
６ 露光シャッタ駆動用モータ
７ エンコーダ
８ ホトディテクタ
１０ 電流ドライバ
１１ ＦＶＣ
１２ ＡＤコンバータ
１３ スピードサーボアンプ
１４ 乗算器
１５ ポジションカウンタ
１６ 積算露光量カウンタ
１７ コントローラ
２０ ゲインコントロールデータ
２１ １次スピード指令値
２４ ２次スピード指令値
５０ 第２シャッタ

Claims (8)

1. 光源からの光を遮蔽または通過させるシャッタと、
   前記シャッタを通過した光の照度を計測する計測手段と、
   前記シャッタが全開状態にあるときに前記計測手段によって計測された照度値Ｂと、予め設定した設定積算光量Ａに基づき、以下の式（１）により計測時間Ｔｅｘｐを算出し、
   Ｔｅｘｐ＝Ａ／Ｂ・・・（１）
   前記計測時間Ｔｅｘｐにおける積算光量に基づき、前記シャッタの閉駆動を開始してから閉駆動が終了するまでの期間の積算光量Ａｃｌｓを算出し、設定積算光量Ａと前記積算光量Ａｃｌｓに基づき、前記シャッタの閉駆動を開始する時の積算光量を算出する制御手段と、を有することを特徴とするシャッタ装置。
2. 前記照度値Ｂは、前記シャッタの開駆動の開始から所定時間が経過した時点で前記計測手段によって計測された照度値であることを特徴とする請求項１に記載のシャッタ装置。
3. 前記照度値Ｂは、前記シャッタの開駆動の開始から前記計測手段によって計測された照度が最大に到達したときの照度値であることを特徴とする請求項１に記載のシャッタ装置。
4. 前記計測時間Ｔｅｘｐは、前記照度値Ｂと、前記設定積算光量Ａに基づき算出された計測時間に対し、所定の時間だけ短く設定されることを特徴とする請求項１に記載のシャッタ装置。
5. 前記計測時間Ｔｅｘｐは、前記照度値Ｂと、前記設定積算光量Ａに基づき算出された計測時間に対し、所定の時間だけ短く設定されるとともに、前記所定の時間は照度変動のレンジ、または、予め測定した前記シャッタの駆動タイミングのバラつきから決定することを特徴とする請求項１に記載のシャッタ装置。
6. 光源の光を遮蔽または通過させるシャッタと、前記シャッタを通過した光の照度を計測する計測手段と、を用いた露光制御方法であって、
   前記シャッタが全開状態にあるときに前記計測手段によって計測された照度値Ｂと、予め設定した設定積算光量Ａに基づき、以下の式（１）により計測時間Ｔｅｘｐを算出し、
   Ｔｅｘｐ＝Ａ／Ｂ・・・（１）
   前記計測時間Ｔｅｘｐにおける積算光量に基づき、前記シャッタの閉駆動を開始してから閉駆動が終了するまでの期間の積算光量Ａｃｌｓを算出し、設定積算光量Ａと前記積算光量Ａｃｌｓに基づき、前記シャッタの閉駆動を開始する時の積算光量を算出する制御ステップを有することを特徴とする光量制御方法。
7. 原版のパターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、
   前記原版を照明する照明光学系を備え、
   前記照明光学系は、請求項１～５のいずれか１項に記載の前記シャッタ装置を有することを特徴とする露光装置。
8. 請求項７に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
   前記パターンが形成された前記基板を現像する工程と、を含み
   現像された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
   

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