KR102058281B1 - 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 제어 방법 및 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체 - Google Patents

기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 제어 방법 및 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체 Download PDF

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Abstract

(과제) 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 문제의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제한다.
(해결 수단) 기판 처리 장치는, 노즐, 배관부, 밸브, 발동부, 제어부 및 검지부를 구비하고 있다. 노즐은, 기판을 향하여 처리액을 토출한다. 배관부는, 노즐에 연결되어 있는 처리액의 유로를 형성한다. 밸브는, 배관부의 도중 부분에 형성되고, 배관부 및 노즐에 있어서의 처리액의 존재 상태를 변화시킨다. 발동부는, 밸브를 동작시키는 구동력을 밸브에 부여한다. 제어부는, 트리거 신호를 출력함으로써 발동부에 의해 밸브를 동작시킨다. 검지부는, 특정 상태를 검지한다. 제어부는, 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터 검지부가 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 기준 동작 시간의 관계에 따라, 발동부에 의한 밸브의 동작의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.

Description

기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 제어 방법 및 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, CONTROL METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND COMPUTER READABLE STORAGE MEDIUM}
본 발명은 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 제어 방법 및 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체에 관한 것이다. 처리 대상이 되는 기판에는, 예를 들어, 반도체 기판, 액정 표시 장치용 기판, 플라즈마 디스플레이용 기판, FED (Field Emission Display) 용 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광 자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판, 태양 전지용 기판 등이 포함된다.
기판 처리 장치에서는, 노즐에 연결되어 있는 배관의 도중에 형성된 토출 밸브에 의해 노즐에의 처리액의 공급 경로가 개폐된다. 이로써, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출이 개시 및 정지된다.
이와 같은 기판 처리 장치에서는, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출이 정지된 후에, 노즐의 선단부로부터 기판 상에 처리액이 낙하하는 현상 (드리핑이라고도 한다) 이 생기는 경우가 있다.
이 때문에, 노즐의 선단부로부터 기판에의 드리핑을 방지하기 위해, 다이어프램의 변형에 의해 노즐의 선단부로부터 처리액을 흡인하여 회수하는 동작 (다이어프램 방식의 석백이라고도 한다) 이 실시되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 등).
일본 공개특허공보 평5-82431호
상기 다이어프램 방식의 석백의 속도 조정은, 예를 들어, 다이어프램을 사용한 에어 오퍼레이트식의 석백용의 밸브 (흡인 회수 밸브라고도 한다) 에 있어서의 제어 가스의 공급 또는 배출 속도가, 속도 제어 밸브 (스피드 컨트롤러) 등에 의해 제어됨으로써 실현된다.
그런데, 예를 들어, 속도 제어 밸브로부터의 제어 가스의 공급 속도, 공급원으로부터 공급되는 제어 가스의 압력, 및 흡인 회수 밸브에 있어서의 슬라이딩 저항 등과 같은 흡인 회수 밸브의 동작 환경에 변화가 생기는 경우가 있었다. 이 경우, 예를 들어, 흡인 회수 밸브의 동작 속도가 변동되어, 석백의 불량이 생길 수 있다.
예를 들어, 흡인 회수 밸브의 동작 속도가 지나치게 빨라지면, 도 24 에서 나타내는 바와 같이, 노즐 (Nz0) 내에 처리액 (Lq0) 의 액적 (Dr0) 이 남겨지고, 그 액적 (Dr0) 이 기판 (W0) 의 상면 (Us0) 에 낙하하는 드리핑이 발생하는 경우가 있다. 한편, 예를 들어, 흡인 회수 밸브의 동작 속도가 지나치게 느려지면, 석백에 필요로 하는 시간이 길어져, 기판 (W0) 에 대한 처리에 필요로 하는 시간 (택 타임) 이 길어지기 때문에, 기판 처리 장치에 있어서의 생산 효율이 저하된다. 이러한 문제는, 예를 들어, 노즐로부터 토출되는 처리액을 교환할 때, 토출 밸브로부터 노즐에 이르는 경로에 존재하고 있는 처리액을 흡인 회수하여 배출하는 경우에도 생길 수 있다. 이와 같은 처리액의 흡인 회수에는, 예를 들어, 사이펀 방식의 석백 및 콘범 방식의 석백이 있다.
그래서, 석백을 적정하게 실시하기 위해, 예를 들어, 상기 특허문헌 1 에서 나타내는 바와 같이, 노즐의 선단에 있어서의 석백의 상태를 카메라 시스템 등에 의해 감시하는 것을 생각할 수 있다.
그러나, 예를 들어, 감시용 카메라 시스템의 설치에 수반하여 기판 처리 장치의 복잡화 및 대형화를 초래할 우려가 있다. 또한 예를 들어, 감시용의 카메라 시스템에는 처리액의 부착에 의한 오염 및 부식 등이 생기는 것도 생각할 수 있다. 이 때문에, 석백의 불량의 발생을 방지하는 것은 용이하지 않다.
본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 문제의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제하는 것이 가능한 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 제어 방법 및 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 제 1 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 노즐과, 배관부와, 밸브와, 발동부와, 제어부와, 검지부를 구비하고 있다. 상기 노즐은, 기판을 향하여 처리액을 토출한다. 상기 배관부는, 상기 노즐에 연결되어 있는 상기 처리액의 유로를 형성한다. 상기 밸브는, 상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시킨다. 상기 발동부는, 상기 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여한다. 상기 제어부는, 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시킨다. 상기 검지부는, 특정 상태를 검지한다. 상기 제어부는, 상기 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터 상기 검지부가 상기 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 2 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 1 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 특정 상태는, 상기 배관부 내에 있어서의 상기 처리액의 존재 또는 흐름 혹은 상기 밸브의 동작에 관련된 특정 상태를 포함하고 있다.
제 3 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 1 또는 제 2 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 제어부는, 상기 변경량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작의 상기 동작 속도에 관련된 설정을 변경한다.
제 4 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 1 내지 제 3 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 추가로 구비하고, 상기 밸브는, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브를 포함하고, 상기 발동부는, 상기 제어부에 의한 상기 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 토출 밸브를 폐쇄하는 폐쇄 동작과, 상기 흡인 회수 밸브에 의한 상기 액 흡인 회수 동작을 개시시킨다.
제 5 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 4 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 흡인 회수 밸브는, 상기 배관부 내의 상기 액 공급 경로에 연통되어 있는 액 흡인 회수 영역을 형성하는 밸브 박스부와, 상기 액 흡인 회수 영역에 면하고 또한 그 액 흡인 회수 영역의 용적을 변경 가능하게 동작하는 밸브체부와, 상기 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 갖고, 상기 구동 기구는, 용기부와, 상기 용기부 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와, 상기 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 갖고, 상기 발동부는, 상기 제 1 영역에 기체를 공급하여 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 액 흡인 회수 영역의 용적이 축소되도록 상기 밸브체부를 동작시킴과 함께, 상기 제 1 영역으로부터 기체를 배출시켜 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 액 흡인 회수 영역의 용적이 확대되도록 상기 밸브체부를 동작시켜 상기 흡인 회수 밸브에 상기 액 흡인 회수 동작을 실행시키고, 상기 제어부는, 상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출을 개시시키고, 상기 특정 상태는, 상기 제 1 영역의 기압이 기준압에 도달한 기준압 도달 상태를 포함하고, 상기 동작 속도에 관련된 설정은, 상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정을 포함한다.
제 6 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 4 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 흡인 회수 밸브는, 상기 특정 부분 또는 상기 분기 배관 부분의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐 및 상기 배관부 중 상기 노즐로부터 상기 토출 밸브에 걸친 영역에 존재하고 있는 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 경로를 개폐하고, 상기 동작 속도는, 상기 흡인 회수 밸브에 의해 상기 액 흡인 회수 경로를 개방하는 속도를 포함한다.
제 7 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 6 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 흡인 회수 밸브는, 상기 액 흡인 회수 경로를 개폐하는 밸브체부와, 상기 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 갖고, 상기 구동 기구는, 용기부와, 상기 용기 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와, 상기 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 갖고, 상기 발동부는, 상기 제 1 영역에의 기체의 공급 및 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출에 의해 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 밸브체부를 동작시키고, 상기 제어부는, 상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 밸브체부의 동작에 의한 액 흡인 회수 경로의 개방을 개시시킴으로써 상기 흡인 회수를 개시시키고, 상기 특정 상태는, 상기 흡인 회수 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태, 또는 상기 분기 배관 부분의 특정 위치까지 상기 처리액의 액면이 도달한 특정 흡인 회수 상태를 포함하고, 상기 동작 속도에 관련된 설정은, 상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역에의 기체의 공급 속도 또는 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정을 포함한다.
제 8 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 6 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 흡인 회수 밸브는, 상기 액 흡인 회수 경로를 개폐하는 밸브체부를 갖고, 상기 발동부는, 상기 흡인 회수 밸브에 구동력을 부여하는 모터를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 모터에 의해 상기 흡인 회수 밸브에 의한 상기 액 흡인 회수 경로의 개방을 개시시킴으로써 상기 흡인 회수를 개시시키고, 상기 특정 상태는, 상기 분기 배관 부분의 특정 위치까지 상기 처리액의 액면이 도달한 특정 흡인 회수 상태, 또는 상기 흡인 회수 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태를 포함하고, 상기 동작 속도에 관련된 설정은, 상기 모터에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 개방 속도를 조정하는 설정을 포함한다.
제 9 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 1 내지 제 3 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 밸브는, 상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 포함하고, 상기 발동부는, 상기 토출 밸브에 의해 상기 액 공급 경로를 개폐시키는 구동력을 상기 토출 밸브에 부여하고, 상기 제어부는, 상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 개방을 개시시키고, 상기 특정 상태는, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐에 걸친 부분에 있어서의, 특정 위치까지 상기 처리액이 도달한 특정 급액 상태 또는 상기 처리액의 유속이 기준 유속에 도달한 특정 흐름 상태, 혹은 상기 토출 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태를 포함하고, 상기 동작 속도는, 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 개방 속도를 포함한다.
제 10 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 9 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 발동부는, 상기 토출 밸브에 의해 상기 액 공급 경로를 개폐시키는 구동력을 상기 토출 밸브에 부여하는 모터를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 모터에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 개방을 개시시키고, 상기 동작 속도에 관련된 설정은, 상기 모터에 의한 상기 토출 밸브의 개방 속도를 조정하는 설정을 포함한다.
제 11 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 9 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 토출 밸브는, 상기 액 공급 경로를 개폐하는 밸브체부와, 상기 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 갖고, 상기 구동 기구는, 용기부와, 상기 용기부 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와, 상기 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 갖고, 상기 발동부는, 상기 제 1 영역에의 기체의 공급 및 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출에 의해 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 밸브체부를 동작시키고, 상기 제어부는, 상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 밸브체부에 의한 상기 액 공급 경로의 개방을 개시시키고, 상기 동작 속도에 관련된 설정은, 상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역에의 기체의 공급 속도 또는 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정을 포함한다.
제 12 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 1 내지 제 3 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 밸브는, 상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 포함하고, 상기 발동부는, 상기 토출 밸브에 의해 상기 액 공급 경로를 개폐시키는 구동력을 상기 토출 밸브에 부여하고, 상기 제어부는, 상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 폐쇄를 개시시키고, 상기 특정 상태는, 상기 토출 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태, 혹은 상기 배관부에 있어서의 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐을 향한 상기 처리액의 유속이 기준 유속에 도달한 특정 흐름 상태를 포함하고, 상기 동작 속도에 관련된 설정은, 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 폐쇄 속도를 조정하는 설정을 포함한다.
제 13 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 12 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 토출 밸브는, 상기 액 공급 경로를 개폐하는 밸브체부와, 상기 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 갖고, 상기 구동 기구는, 용기부와, 상기 용기부 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와, 상기 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 갖고, 상기 발동부는, 상기 제 1 영역에의 기체의 공급 및 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출에 의해 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 밸브체부를 동작시키고, 상기 제어부는, 상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 밸브체부에 의한 상기 액 공급 경로의 폐쇄를 개시시키고, 상기 동작 속도에 관련된 설정은, 상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역에의 기체의 공급 속도 또는 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정을 포함한다.
제 14 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 9 내지 제 11 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 제어부는, 제 1 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 개방을 개시시키고, 제 2 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 폐쇄를 개시시키고, 상기 검지부는, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐에 걸친 부분에 있어서의, 상기 처리액의 도달 또는 유속, 혹은 상기 토출 밸브의 개도에 관련된 제 1 특정 상태를 검지함과 함께, 상기 토출 밸브의 개도 또는 상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐을 향한 상기 처리액의 유속에 관련된 제 2 특정 상태를 검지하고, 상기 제어부는, 상기 제 1 트리거 신호를 출력한 제 1 개방 타이밍으로부터 상기 검지부가 상기 제 1 특정 상태를 검지한 제 2 개방 타이밍까지의 실개방 동작 시간과, 미리 설정된 기준 개방 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 토출 밸브의 개방 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출함과 함께, 상기 제 2 트리거 신호를 출력한 제 1 폐쇄 타이밍으로부터 상기 검지부가 상기 제 2 특정 상태를 검지한 제 2 폐쇄 타이밍까지의 실폐쇄 동작 시간과, 미리 설정된 기준 폐쇄 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 토출 밸브의 폐쇄 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 15 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 1 내지 제 14 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 트리거 신호가 출력되는 타이밍으로부터 상기 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계를 나타내는 기준 관계 정보를 기억하는 기억부를 추가로 구비하고, 상기 제어부는, 상기 기준의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 16 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 1 내지 제 14 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 트리거 신호가 출력되는 타이밍으로부터 상기 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 비례 또는 반비례의 관계를 나타내는 정보를 기억하는 기억부를 추가로 구비하고, 상기 제어부는, 상기 비례 또는 상기 반비례의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 상기 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 17 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 1 내지 제 14 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 제어부는, 상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 짧으면, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도가 작아지는 상기 변경량을 산출하고, 상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 길면, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도가 커지는 상기 변경량을 산출한다.
제 18 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브와, 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키는 구동력을 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브에 부여하는 발동부와, 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키는 제어부와, 제 1 특정 상태를 검지하는 제 1 검지부와, 제 2 특정 상태를 검지하는 제 2 검지부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 제 1 검지부가 상기 제 1 특정 상태를 검지한 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 검지부가 상기 제 2 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 19 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 18 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 제 1 특정 상태는, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이에 있어서의 상기 처리액의 존재 또는 흐름 혹은 상기 토출 밸브의 동작에 관련된 특정 상태를 포함하고 있다.
제 20 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 18 또는 제 19 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 제 2 특정 상태는, 상기 배관부 중 상기 노즐과 상기 흡인 회수 밸브 사이에 있어서의 상기 처리액의 존재 또는 상기 흡인 회수 밸브의 동작에 관련된 특정 상태를 포함하고 있다.
제 21 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 18 내지 제 20 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 제어부는, 상기 변경량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정을 변경한다.
제 22 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 18 내지 제 21 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 흡인 회수 밸브는, 상기 배관부 내의 상기 액 공급 경로에 연통되어 있는 액 흡인 회수 영역을 형성하는 밸브 박스부와, 상기 액 흡인 회수 영역에 면하고 또한 그 액 흡인 회수 영역의 용적을 변경 가능하게 동작하는 밸브체부와, 상기 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 갖고, 상기 구동 기구는, 용기부와, 상기 용기부 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와, 상기 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 갖고, 상기 발동부는, 상기 제 1 영역에 기체를 공급하여 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 액 흡인 회수 영역의 용적이 축소되도록 상기 밸브체부를 동작시킴과 함께, 상기 제 1 영역으로부터 기체를 배출시켜 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 액 흡인 회수 영역의 용적이 확대되도록 상기 밸브체부를 동작시켜 상기 흡인 회수 밸브에 상기 액 흡인 회수 동작을 실행시키고, 상기 제 2 특정 상태는, 상기 제 1 영역의 기압이 기준압에 도달한 기준압 도달 상태를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 제 1 타이밍으로부터 상기 검지부가 상기 기준압 도달 상태를 검지한 상기 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정의 변경량을 산출한다.
제 23 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 18 내지 제 22 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 제 1 특정 상태가 실현되는 타이밍으로부터 상기 제 2 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계를 나타내는 기준 관계 정보를 기억하는 기억부를 추가로 구비하고, 상기 제어부는, 상기 기준의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 24 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 18 내지 제 22 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 제 1 특정 상태가 실현되는 타이밍으로부터 상기 제 2 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 비례 또는 반비례의 관계를 나타내는 정보를 기억하는 기억부를 추가로 구비하고, 상기 제어부는, 상기 비례 또는 반비례의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 상기 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 25 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 제 18 내지 제 22 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치로서, 상기 제어부는, 상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 짧으면, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도가 작아지는 상기 변경량을 산출하고, 상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 길면, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도가 커지는 상기 변경량을 산출한다.
제 26 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성된 밸브와, 그 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와, 제어부를 구비하는 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키기 시작함으로써, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키기 시작하는 제 1 공정과, 특정 상태를 검지하는 제 2 공정과, 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 공정에 있어서 상기 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 공정에 있어서 상기 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 3 공정을 갖는다.
제 27 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 26 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 특정 상태는, 상기 배관부 내에 있어서의 상기 처리액의 존재 또는 흐름 혹은 상기 밸브의 동작에 관련된 특정 상태를 포함하고 있다.
제 28 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 26 또는 제 27 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 3 공정에서 산출된 상기 변경량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정을 변경하는 제 4 공정을 추가로 갖는다.
제 29 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 26 내지 제 28 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 기판 처리 장치는, 상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 추가로 구비하고, 상기 밸브는, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브를 포함하고, 상기 제 1 공정에 있어서, 상기 발동부에 의해, 상기 제어부에 의한 상기 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 토출 밸브를 폐쇄하는 폐쇄 동작과, 상기 흡인 회수 밸브에 의한 상기 액 흡인 회수 동작을 개시시킨다.
제 30 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 29 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 흡인 회수 밸브는, 상기 배관부 내의 상기 액 공급 경로에 연통되어 있는 액 흡인 회수 영역을 형성하는 밸브 박스부와, 상기 액 흡인 회수 영역에 면하고 또한 그 액 흡인 회수 영역의 용적을 변경 가능하게 동작하는 밸브체부와, 그 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 포함하고, 상기 구동 기구는, 용기부와, 그 용기부 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와, 그 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 포함하고, 상기 제 1 공정에 있어서, 상기 발동부에 의해, 상기 제어부에 의한 상기 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 제 1 영역으로부터 기체를 배출시켜 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 액 흡인 회수 영역의 용적이 확대되도록 상기 밸브체부를 동작시켜 상기 흡인 회수 밸브에 상기 액 흡인 회수 동작을 개시시키고, 상기 특정 상태가, 상기 제 1 영역의 기압이 기준압에 도달한 기준압 도달 상태를 포함하고, 상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 실동작 시간과 상기 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정의 변경량을 산출한다.
제 31 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 29 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 흡인 회수 밸브는, 상기 특정 부분 또는 상기 분기 배관 부분의 도중 부분에 형성되어 있고, 상기 제 1 공정에 있어서, 상기 발동부에 의해, 상기 제어부에 의한 상기 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 흡인 회수 밸브에, 상기 노즐 및 상기 배관부 중 상기 노즐로부터 상기 토출 밸브에 걸친 영역에 존재하고 있는 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 경로를 개방시키기 시작하고, 상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 실동작 시간과 상기 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브에 의한 상기 액 흡인 회수 경로의 개방 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 32 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 26 내지 제 28 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 밸브는, 상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 포함하고, 상기 발동부는, 상기 토출 밸브에 의해 상기 액 공급 경로를 개폐시키는 구동력을 상기 토출 밸브에 부여하고, 상기 제 1 공정에 있어서, 상기 발동부에 의해, 상기 제어부에 의한 상기 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 개방을 개시시키고, 상기 특정 상태가, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐에 걸친 부분에 있어서의, 특정 위치까지 상기 처리액이 도달한 특정 급액 상태 또는 상기 처리액의 유속이 기준 유속에 도달한 특정 흐름 상태, 혹은 상기 토출 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태를 포함하고, 상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 실동작 시간과 상기 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 개방 속도를 조정하는 설정의 변경량을 산출한다.
제 33 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 26 내지 제 28 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 밸브는, 상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 포함하고, 상기 발동부는, 상기 토출 밸브에 의해 상기 액 공급 경로를 개폐시키는 구동력을 상기 토출 밸브에 부여하고, 상기 제 1 공정에 있어서, 상기 발동부에 의해, 상기 제어부에 의한 상기 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 폐쇄를 개시시키고, 상기 특정 상태가, 상기 토출 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태, 혹은 상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐을 향한 상기 처리액의 유속이 기준 유속에 도달한 특정 흐름 상태를 포함하고, 상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 실동작 시간과 상기 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 폐쇄 속도를 조정하는 설정의 변경량을 산출한다.
제 34 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 32 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 1 공정에 있어서, 상기 제어부가 제 1 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 개방을 개시시키고, 상기 제 2 공정에 있어서, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐에 걸친 부분에 있어서의, 상기 처리액의 도달 또는 유속, 혹은 상기 토출 밸브의 개도에 관련된 제 1 특정 상태를 검지하고, 상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 공정에 있어서 상기 제어부가 상기 제 1 트리거 신호를 출력한 제 1 개방 타이밍으로부터, 상기 제 2 공정에 있어서 상기 제 1 특정 상태를 검지한 제 2 개방 타이밍까지의 실개방 동작 시간과, 미리 설정된 기준 개방 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 토출 밸브의 개방 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하고, 상기 기판 처리 장치의 제어 방법은, 추가로, 상기 제어부가 제 2 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 폐쇄를 개시시키는 제 5 공정과, 상기 토출 밸브의 개도 혹은 상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐을 향한 상기 처리액의 유속에 관련된 제 2 특정 상태를 검지하는 제 6 공정과, 상기 제어부에 의해, 상기 제 5 공정에 있어서 상기 제어부가 상기 제 2 트리거 신호를 출력한 제 1 폐쇄 타이밍으로부터 상기 제 6 공정에 있어서 상기 제 2 특정 상태를 검지한 제 2 폐쇄 타이밍까지의 실폐쇄 동작 시간과, 미리 설정된 기준 폐쇄 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 토출 밸브의 폐쇄 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 7 공정을 갖는다.
제 35 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 26 내지 제 34 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 트리거 신호를 출력하는 타이밍으로부터 상기 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 36 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 26 내지 제 34 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 트리거 신호를 출력하는 타이밍으로부터 상기 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 비례 또는 반비례의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 상기 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 37 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 26 내지 제 34 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 짧으면, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도가 작아지는 상기 변경량을 산출하고, 상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 길면, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도가 커지는 상기 변경량을 산출한다.
제 38 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브와, 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키는 구동력을 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각에 부여하는 발동부와, 제어부를 갖는 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 발동부에 의해, 상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키기 시작하는 제 1 공정과, 제 1 특정 상태를 검지하는 제 2 공정과, 제 2 특정 상태를 검지하는 제 3 공정과, 상기 제어부에 의해, 상기 제 2 공정에서 상기 제 1 특정 상태를 검지한 제 1 타이밍으로부터 상기 제 3 공정에서 상기 제 2 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 4 공정을 갖는다.
제 39 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 38 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 1 특정 상태는, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이에 있어서의 상기 처리액의 존재 또는 흐름 혹은 상기 토출 밸브의 동작에 관련된 특정 상태를 포함하고 있다.
제 40 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 38 또는 제 39 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 2 특정 상태는, 상기 배관부 중 상기 노즐과 상기 흡인 회수 밸브 사이에 있어서의 상기 처리액의 존재 또는 상기 흡인 회수 밸브의 동작에 관련된 특정 상태를 포함하고 있다.
제 41 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 38 내지 제 40 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제어부에 의해, 상기 제 4 공정에 있어서 산출된 상기 변경량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정을 변경하는 제 5 공정을 추가로 갖는다.
제 42 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 38 내지 제 41 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 흡인 회수 밸브는, 상기 배관부 내의 상기 액 공급 경로에 연통되어 있는 액 흡인 회수 영역을 형성하는 밸브 박스부와, 상기 액 흡인 회수 영역에 면하고 또한 그 액 흡인 회수 영역의 용적을 변경 가능하게 동작하는 밸브체부와, 그 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 갖고, 상기 구동 기구는, 용기부와, 그 용기부 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와, 그 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 갖고, 상기 제 1 공정에 있어서, 상기 발동부에 의해, 상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 제 1 영역으로부터 기체를 배출시켜 상기 칸막이부를 동작시키기 시작함으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 액 흡인 회수 영역의 용적이 확대되도록 상기 밸브체부를 동작시키기 시작하여 상기 흡인 회수 밸브에 상기 액 흡인 회수 동작을 실행시키기 시작하고, 상기 제 2 특정 상태는, 상기 제 1 영역의 기압이 기준압에 도달한 기준압 도달 상태를 포함하고, 상기 제 4 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 실동작 시간과 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정의 변경량을 산출한다.
제 43 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 38 내지 제 42 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 4 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 특정 상태가 실현되는 타이밍으로부터 제 2 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 대한 기준의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 44 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 38 내지 제 42 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 4 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 특정 상태가 실현되는 타이밍으로부터 제 2 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 대한 비례 또는 반비례의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 45 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 38 내지 제 42 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 4 공정에 있어서, 상기 제어부에 의해, 상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 짧으면, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도가 작아지는 상기 변경량을 산출하고, 상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 길면, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도가 커지는 상기 변경량을 산출한다.
제 46 양태에 관련된 프로그램이 기억된 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체는, 상기 프로그램이, 기판 처리 장치에 있어서 제어부의 프로세서에 의해 실행될 때, 제 1 스텝과, 제 2 스텝과, 제 3 스텝을 실현시키는 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체이다. 상기 기판 처리 장치는, 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성된 밸브와, 그 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와, 상기 제어부를 구비한다. 상기 제 1 스텝에서는, 상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키기 시작함으로써, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키기 시작한다. 상기 제 2 스텝에서는, 특정 상태를 검지한다. 상기 제 3 스텝에서는, 상기 제어부에 의해, 상기 제 1 스텝에 있어서 상기 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 스텝에 있어서 상기 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 47 양태에 관련된 프로그램이 기억된 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체는, 상기 프로그램이, 기판 처리 장치에 있어서 제어부의 프로세서에 의해 실행될 때, 제 1 스텝과, 제 2 스텝과, 제 3 스텝과, 제 4 스텝을 실현시키는 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체이다. 상기 기판 처리 장치는, 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브와, 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키는 구동력을 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각에 부여하는 발동부와, 상기 제어부를 갖는다. 상기 제 1 스텝에서는, 상기 발동부에 의해, 상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키기 시작한다. 상기 제 2 스텝에서는, 제 1 특정 상태를 검지한다. 상기 제 3 스텝에서는, 제 2 특정 상태를 검지한다. 상기 제 4 스텝에서는, 상기 제어부에 의해, 상기 제 2 스텝에서 상기 제 1 특정 상태를 검지한 제 1 타이밍으로부터 상기 제 3 스텝에서 상기 제 2 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출한다.
제 1 내지 제 17 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 26 내지 제 37 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 노즐에 연결되어 있는 배관부의 도중에 형성된 밸브를 동작시키는 신호가 출력된 타이밍으로부터, 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 기준 동작 시간의 관계에 따라, 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출된다. 이로써, 예를 들어, 밸브의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 문제의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
제 4 내지 제 8 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 29 내지 제 31 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 흡인 회수 밸브의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 드리핑의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
제 9 내지 제 11 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 32 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 토출 밸브의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 스플래시의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
제 12 및 제 13 양태에 관련된 기판 처리 장치 그리고 제 33 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 토출 밸브의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐로부터 기판에 대한 워터 해머에 의한 처리액의 드리핑의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
제 14 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 34 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 토출 밸브의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 스플래시 및 워터 해머에 의한 처리액의 드리핑의 발생의 양방을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
제 15 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 35 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 밸브의 동작 시간과 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계와, 실측된 밸브의 실동작 시간에 기초하여, 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되기 때문에, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 문제의 발생을 용이하게 억제할 수 있다.
제 16 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 36 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 밸브의 동작 시간과 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 비례 또는 반비례의 관계와, 실측된 밸브의 실동작 시간에 기초하여, 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되기 때문에, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 문제의 발생을 용이하게 억제할 수 있다.
제 17 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 37 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 기준 동작 시간보다 실동작 시간이 짧으면, 발동부에 의한 밸브의 동작 속도가 작아지는 변경량이 산출되고, 기준 동작 시간보다 실동작 시간이 길면, 발동부에 의한 밸브의 동작 속도가 커지는 변경량이 산출되기 때문에, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 문제의 발생을 용이하게 억제할 수 있다.
제 18 내지 제 25 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 38 내지 제 45 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 토출 밸브의 개도에 관련된 제 1 특정 상태가 검지된 타이밍으로부터, 제 2 특정 상태가 검지된 타이밍까지의 흡인 회수 밸브의 실동작 시간과, 기준 동작 시간의 관계에 따라, 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출된다. 이로써, 예를 들어, 흡인 회수 밸브의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 문제의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
제 22 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 42 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 흡인 회수 밸브의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 드리핑의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
제 23 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 43 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 흡인 회수 밸브의 동작 시간과 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계와, 실측된 흡인 회수 밸브의 실동작 시간에 기초하여, 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되기 때문에, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 문제의 발생을 용이하게 억제할 수 있다.
제 24 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 44 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 흡인 회수 밸브의 동작 시간과 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 비례 또는 반비례의 관계와, 실측된 흡인 회수 밸브의 실동작 시간에 기초하여, 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되기 때문에, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 문제의 발생을 용이하게 억제할 수 있다.
제 25 양태에 관련된 기판 처리 장치 및 제 45 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 중 어느 것에 의해서도, 예를 들어, 기준 동작 시간보다 실동작 시간이 짧으면, 발동부에 의한 흡인 회수 밸브의 동작 속도가 작아지는 변경량이 산출되고, 기준 동작 시간보다 실동작 시간이 길면, 발동부에 의한 흡인 회수 밸브의 동작 속도가 커지는 변경량이 산출된다. 이 때문에, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 문제의 발생을 용이하게 억제할 수 있다.
제 46 및 제 47 중 어느 양태에 관련된 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체에 의해서도, 예를 들어, 밸브의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐로부터 기판에 대한 처리액의 토출에 있어서의 문제의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
도 1 은, 각 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 전체 구성의 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2 는, 제 1 실시형태에 관련된 처리 유닛의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 3 은, 에어 오퍼레이트 밸브의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 4 는, 다이어프램형의 석백 밸브의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 5 는, 제 1 제어부 및 제 2 제어부의 기능적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 6 은, 제어 대상의 밸브의 동작 시간과 스피드 컨트롤러의 유량 제어 밸브의 개도를 변경하는 모터의 위치의 기준 관계의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 7 은, 제어 대상의 밸브의 동작 시간과 스피드 컨트롤러의 유량 제어 밸브의 개도를 변경하는 모터의 위치의 기준 관계의 일례를 나타내는 테이블이다.
도 8 은, 제 1 실시형태에 관련된 처리 유닛의 제어 플로우의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 9 는, 제 2 실시형태에 관련된 처리 유닛의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 10 은, 제 1 검지부의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 11 은, 제 2 실시형태에 관련된 처리 유닛의 제어 플로우의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 12 는, 제 3 실시형태에 관련된 처리 유닛의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 13 은, 제 4 실시형태에 관련된 처리 유닛의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 14 는, 제 5 실시형태에 관련된 처리 유닛의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 15 는, 모터 니들 밸브의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 16 은, 제 6 실시형태에 관련된 처리 유닛의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 17 은, 제 6 실시형태에 관련된 처리 유닛의 제어 플로우의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 18 은, 제 7 실시형태에 관련된 처리 유닛의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 19 는, 제 8 실시형태에 관련된 처리 유닛의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 20 은, 제 8 실시형태에 관련된 처리 유닛의 제어 플로우의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 21 은, 제 9 실시형태에 관련된 처리 유닛의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 22 는, 제 9 실시형태에 관련된 처리 유닛의 제어 플로우의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 23 은, 일 변형예에 관련된 처리 유닛의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 24 는, 석백의 불량의 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 25 는, 처리액의 토출 정지시에 있어서의 워터 해머에 의한 처리액의 드리핑의 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 26 은, 처리액의 토출 개시시에 있어서의 스플래시의 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 각 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 도면에 있어서는 동일한 구성 및 기능을 갖는 부분에 대해서는 동일한 부호가 부여되어 있고, 하기 설명에서는 중복 설명이 생략된다. 또, 도면은 모식적으로 나타낸 것이고, 각 도면에 있어서의 각종 구조의 사이즈 및 위치 관계 등은 정확하게 도시된 것은 아니다.
<1. 제 1 실시형태>
<1-1. 기판 처리 장치의 개략 구성>
도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 개략 구성의 일례를 나타내는 모식적인 평면도이다. 기판 처리 장치 (1) 는, 예를 들어, 기판 (W) 의 일례로서의 반도체 기판 (웨이퍼) 의 표면에 대해 처리액을 공급함으로써 각종 처리를 실시할 수 있는 매엽식 (枚葉式) 의 장치이다. 각종 처리에는, 예를 들어, 약액 등으로 에칭을 실시한 약액 처리, 액체로 오염을 제거하는 세정 처리, 물로 씻어내는 린스 처리 및 레지스트 등을 도포하는 도포 처리 등이 포함된다.
기판 처리 장치 (1) 는, 수용기로서의 복수의 캐리어 (C) 를 유지하는 수용기 유지 기구로서의 로드 포트 (LP) 와, 기판 (W) 을 처리하는 복수 (이 실시형태에서는, 12 대) 의 처리 유닛 (100) 을 포함한다. 구체적으로는, 예를 들어, 평면적으로 배치되어 있는 4 대의 처리 유닛 (100) 으로 각각 구성되어 있는 3 세트의 처리 유닛 (100) 이 상하 방향으로 적층되도록 배치되어 있다.
기판 처리 장치 (1) 는, 추가로 예를 들어, 인덱서 로봇 (IR) 과, 센터 로봇 (CR) 과, 제 1 제어부 (91) 를 포함한다. 인덱서 로봇 (IR) 은, 예를 들어, 로드 포트 (LP) 와 센터 로봇 (CR) 사이에서 기판 (W) 을 반송할 수 있다. 센터 로봇 (CR) 은, 예를 들어, 인덱서 로봇 (IR) 과 각 처리 유닛 (100) 사이에서 기판 (W) 을 반송할 수 있다. 제 1 제어부 (91) 는, 예를 들어, 기판 처리 장치 (1) 에 구비된 각 부의 동작 및 밸브의 개폐 등을 제어할 수 있다.
여기서는, 도 1 에서 나타내는 바와 같이, 로드 포트 (LP) 와 각 처리 유닛 (100) 은, 수평 방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. 로드 포트 (LP) 에 있어서, 복수장의 기판 (W) 을 수용하는 복수의 캐리어 (C) 는, 평면에서 보았을 때 수평인 배열 방향 (D) 을 따라 배열되어 있다. 여기서, 인덱서 로봇 (IR) 은, 예를 들어, 캐리어 (C) 로부터 센터 로봇 (CR) 으로 복수장의 기판 (W) 을 1 장씩 반송할 수 있음과 함께, 센터 로봇 (CR) 으로부터 캐리어 (C) 로 복수장의 기판 (W) 을 1 장씩 반송할 수 있다. 동일하게, 센터 로봇 (CR) 은, 예를 들어, 인덱서 로봇 (IR) 으로부터 각 처리 유닛 (100) 으로 복수장의 기판 (W) 을 1 장씩 반입할 수 있음과 함께, 각 처리 유닛 (100) 으로부터 인덱서 로봇 (IR) 으로 복수장의 기판 (W) 을 1 장씩 반송할 수 있다. 또, 예를 들어, 센터 로봇 (CR) 은, 필요에 따라 복수의 처리 유닛 (100) 사이에 있어서 기판 (W) 을 반송할 수 있다.
도 1 의 예에서는, 인덱서 로봇 (IR) 은, 평면에서 보았을 때 U 자상의 2 개의 핸드 (H) 를 가지고 있다. 2 개의 핸드 (H) 는, 상이한 높이에 배치되어 있다. 각 핸드 (H) 는, 기판 (W) 을 수평인 자세로 지지할 수 있다. 인덱서 로봇 (IR) 은, 핸드 (H) 를 수평 방향 및 연직 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한 인덱서 로봇 (IR) 은, 연직 방향을 따른 축을 중심으로 하여 회전 (자전) 함으로써, 핸드 (H) 의 방향을 변경할 수 있다. 인덱서 로봇 (IR) 은, 수수 위치 (도 1 에서 인덱서 로봇 (IR) 이 그려져 있는 위치) 를 지나는 경로에 있어서 배열 방향 (D) 을 따라 이동한다. 수수 위치는, 평면에서 보았을 때 인덱서 로봇 (IR) 과 센터 로봇 (CR) 이 배열 방향 (D) 에 직교하는 방향에 있어서 대향하는 위치이다. 인덱서 로봇 (IR) 은, 임의의 캐리어 (C) 및 센터 로봇 (CR) 에 각각 핸드 (H) 를 대향시킬 수 있다. 여기서, 예를 들어, 인덱서 로봇 (IR) 은, 핸드 (H) 를 이동시킴으로써, 캐리어 (C) 에 기판 (W) 을 반입하는 반입 동작과, 캐리어 (C) 로부터 기판 (W) 을 반출하는 반출 동작을 실시할 수 있다. 또, 예를 들어, 인덱서 로봇 (IR) 은, 센터 로봇 (CR) 과 협동하여, 인덱서 로봇 (IR) 및 센터 로봇 (CR) 의 일방으로부터 타방으로 기판 (W) 을 이동시키는 수수 동작을 수수 위치에서 실시할 수 있다.
도 1 의 예에서는, 센터 로봇 (CR) 은, 인덱서 로봇 (IR) 과 동일하게, 평면에서 보았을 때 U 자상의 2 개의 핸드 (H) 를 가지고 있다. 2 개의 핸드 (H) 는, 상이한 높이에 배치되어 있다. 각 핸드 (H) 는, 기판 (W) 을 수평인 자세로 지지할 수 있다. 센터 로봇 (CR) 은, 각 핸드 (H) 를 수평 방향 및 연직 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한 센터 로봇 (CR) 은, 연직 방향을 따른 축을 중심으로 하여 회전 (자전) 함으로써, 핸드 (H) 의 방향을 변경할 수 있다. 센터 로봇 (CR) 은, 평면에서 보았을 때, 복수대의 처리 유닛 (100) 에 둘러싸여 있다. 센터 로봇 (CR) 은, 임의의 처리 유닛 (100) 및 인덱서 로봇 (IR) 중 어느 것에 핸드 (H) 를 대향시킬 수 있다. 여기서, 예를 들어, 센터 로봇 (CR) 은, 핸드 (H) 를 이동시킴으로써, 각 처리 유닛 (100) 에 기판 (W) 을 반입하는 반입 동작과, 각 처리 유닛 (100) 으로부터 기판 (W) 을 반출하는 반출 동작을 실시할 수 있다. 또, 예를 들어, 센터 로봇 (CR) 은, 인덱서 로봇 (IR) 과 협동하여, 인덱서 로봇 (IR) 및 센터 로봇 (CR) 의 일방으로부터 타방으로 기판 (W) 을 이동시키는 수수 동작을 실시할 수 있다.
<1-2. 처리 유닛의 구성>
도 2 는, 제 1 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다. 처리 유닛 (100) 은, 예를 들어, 평면 내에서 회전하고 있는 기판 (W) 의 1 주면 상 (상면이라고도 한다) (Us1) 에 처리액 (Lq1) 을 공급함으로써, 기판 (W) 의 상면 (Us1) 에 대해 각종 처리를 실시할 수 있다. 처리액 (Lq1) 에는, 예를 들어, 점도가 비교적 낮은 물 또는 약액 혹은 점도가 비교적 높은 유기계의 레지스트 또는 페이스트 등, 유동성을 갖는 액체 일반이 적용된다.
도 2 에서 나타내는 바와 같이, 처리 유닛 (100) 은, 예를 들어, 유지부 (3) 와, 회전 기구 (4) 와, 처리액 공급계 (5) 와, 제 2 제어부 (92) 를 구비하고 있다. 제 2 제어부 (92) 는, 제 1 제어부 (91) 와 함께, 제어부 (9) 를 구성한다.
<1-2-1. 유지부>
유지부 (3) 는, 예를 들어, 기판 (W) 을 대략 수평 자세로 유지하여 회전시킬 수 있다. 유지부 (3) 에는, 예를 들어, 기판 (W) 의 상면 (Us1) 의 반대의 다른 1 주면 (하면이라고도 한다) (Bs1) 을 진공 흡착 가능한 상면 (3uf) 을 갖는 진공 척, 또는 기판 (W) 의 둘레 가장자리부를 협지 가능한 복수개의 척 핀을 갖는 협지식의 척 등이 적용된다.
<1-2-2. 회전 기구>
회전 기구 (4) 는, 유지부 (3) 를 회전시킬 수 있다. 회전 기구 (4) 에는, 예를 들어, 상단부에 유지부 (3) 가 연결되어 연직 방향을 따라 연장되어 있는 회전지축 (4s) 과, 그 회전지축 (4s) 을 연직 방향을 따른 가상적인 회전축 (Ax1) 을 중심으로 하여 회전시키는 것이 가능한 모터 등을 갖는 회전 구동부 (4m) 를 갖는 구성이 적용된다. 여기서는, 예를 들어, 회전 구동부 (4m) 에 의해 회전지축 (4s) 이 회전축 (Ax1) 을 중심으로 하여 회전됨으로써, 유지부 (3) 가 대략 수평면 내에서 회전된다. 이로써, 예를 들어, 유지부 (3) 상에 유지되어 있는 기판 (W) 이, 회전축 (Ax1) 을 중심으로 하여 회전된다. 여기서, 기판 (W) 의 상면 (Us1) 및 하면 (Bs1) 이 대략 원형이면, 회전축 (Ax1) 은, 예를 들어, 기판 (W) 의 상면 (Us1) 및 하면 (Bs1) 의 중심을 지난다. 회전 구동부 (4m) 에 의한 회전지축 (4s) 의 회전, 즉 유지부 (3) 및 기판 (W) 의 회전의 유무 및 속도는, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 및 제 2 제어부 (92) 를 포함하는 제어부 (9) 에 의해 제어된다.
<1-2-3. 처리액 공급계>
처리액 공급계 (5) 는, 노즐 (Nz1) 과, 처리액용의 배관부 (P1) 와, 가스용의 배관부 (P2) 와, 토출 밸브 (51) 와, 흡인 회수 밸브 (52) 와, 발동부 (53) 와, 검지부 (55) 를 구비하고 있다.
<1-2-3-1. 노즐>
노즐 (Nz1) 은, 유지부 (3) 에 유지된 기판 (W) 을 향하여 처리액 (Lq1) 을 토출할 수 있다. 예를 들어, 처리액 (Lq1) 이, 린스물 또는 약액인 경우에는, 노즐 (Nz1) 로는, 연속류의 상태로 처리액 (Lq1) 을 토출하는 스트레이트 노즐이 채용될 수 있다. 또한, 처리 유닛 (100) 의 격벽으로 구획된 처리실 (챔버) (2) (도 1 참조) 내에는, 예를 들어, 적어도 노즐 (Nz1) 과 유지부 (3) 가 배치되어 있으면 된다.
<1-2-3-2. 처리액용의 배관부>
처리액용의 배관부 (P1) 는, 노즐 (Nz1) 로 연결되어 있고, 처리액 (Lq1) 이 흐르는 경로 (유로라고도 한다) 를 형성하고 있다. 도 2 의 예에서는, 배관부 (P1) 는, 제 1 배관 부분 (P1a) 과, 제 2 배관 부분 (P1b) 과, 제 3 배관 부분 (P1c) 을 포함하고 있다. 제 1 배관 부분 (P1a) 은, 처리 유닛 (100) 에 대해 처리액 (Lq1) 을 공급하는 액 공급부 (7) 와 토출 밸브 (51) 를 연결하고 있다. 액 공급부 (7) 는, 예를 들어, 기판 처리 장치 (1) 의 외부에 형성되고, 처리액 (Lq1) 을 저류하는 탱크와, 그 탱크로부터 처리액 (Lq1) 을 기판 처리 장치 (1) 의 제 1 배관 부분 (P1a) 을 향하여 송급하는 펌프를 갖는다. 제 2 배관 부분 (P1b) 은, 토출 밸브 (51) 와 흡인 회수 밸브 (52) 를 연결하고 있다. 제 3 배관 부분 (P1c) 은, 흡인 회수 밸브 (52) 와 노즐 (Nz1) 을 연결하고 있다.
<1-2-3-3. 가스용의 배관부>
가스용의 배관부 (P2) 는, 발동부 (53) 와 토출 밸브 (51) 를 연결하고 있음과 함께, 발동부 (53) 와 흡인 회수 밸브 (52) 를 연결하고 있다. 그리고, 배관부 (P2) 는, 발동부 (53) 와 토출 밸브 (51) 사이에 있어서, 토출 밸브 (51) 의 동작을 제어하기 위한 제어 가스 (Gs1) 가 도입 또는 배출되는 경로를 형성하고, 발동부 (53) 와 흡인 회수 밸브 (52) 사이에 있어서, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작을 제어하기 위한 제어 가스 (Gs1) 가 도입 또는 배출되는 경로를 형성하고 있다. 도 2 의 예에서는, 배관부 (P2) 는, 제 1 배관 부분 (P2a) 과, 제 2 배관 부분 (P2b) 과, 제 3 배관 부분 (P2c) 과, 제 4 배관 부분 (P2d) 과, 제 5 배관 부분 (P2e) 을 포함하고 있다.
제 1 배관 부분 (P2a) 은, 처리 유닛 (100) 에 대해 제어 가스 (Gs1) 를 공급하는 기체 공급부 (6) 와 발동부 (53) 를 연결하고 있다. 기체 공급부 (6) 는, 예를 들어, 기판 처리 장치 (1) 의 외부에 형성되고, 고압의 제어 가스 (Gs1) 를 격납하는 봄베와, 그 봄베로부터 도출되는 제어 가스 (Gs1) 의 압력을 일정값까지 낮추는 밸브 (압력 레귤레이터라고도 한다) 를 갖는다. 제 2 배관 부분 (P2b) 은, 발동부 (53) 내에 위치하고 있다. 제 3 배관 부분 (P2c) 은, 발동부 (53) 와 토출 밸브 (51) 를 연결하고 있다. 제 4 배관 부분 (P2d) 은, 발동부 (53) 와 흡인 회수 밸브 (52) 를 연결하고 있다. 제 5 배관 부분 (P2e) 은, 발동부 (53) 와 처리 유닛 (100) 의 외부 공간을 연결하고 있다.
<1-2-3-4. 토출 밸브>
토출 밸브 (51) 는, 배관부 (P1) 의 도중 부분에 형성되고, 액 공급부 (7) 로부터 노즐 (Nz1) 에 대해 처리액 (Lq1) 을 공급하는 경로 (액 공급 경로라고도 한다) (PA1) 를 개폐할 수 있다. 이로써, 배관부 (P1) 및 노즐 (Nz1) 에 있어서의 처리액의 존재 상태를 변화시킬 수 있다. 도 2 의 예에서는, 토출 밸브 (51) 로서, 제어 가스의 공급 및 배출에 따라 액 공급 경로 (PA1) 를 개폐하는 에어 오퍼레이트 방식의 밸브 (에어 오퍼레이트 밸브라고도 한다) (Vao) 가 적용되어 있다. 보다 구체적으로는, 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 로서, 제어 가스가 배출되어 있는 표준 상태에 있어서 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 타입 (노멀 폐형 (閉型) 이라고도 한다) 의 에어 오퍼레이트 밸브가 채용되어 있다.
도 3 은, 노멀 폐형의 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 도 3 에서 나타내는 바와 같이, 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 는, 본체부 (VM1) 와, 구동 기구 (DR1) 를 가지고 있다.
본체부 (VM1) 는, 액 공급 경로 (PA1) 를 형성하는 관통공 (액 통과공이라고도 한다) (Lh1) 을 개폐하는 밸브체부 (Vb1) 를 가지고 있다. 도 3 의 예에서는, 본체부 (VM1) 는, 밸브 박스부 (Vx1) 와, 밸브 시트부 (Vs1) 와, 밸브체부 (Vb1) 를 가지고 있다.
밸브 박스부 (Vx1) 는, 처리액 (Lq1) 이 통과 가능하게 관통하고 있는 액 통과공 (Lh1) 과, 그 액 통과공 (Lh1) 에 교차하고 또한 밸브체부 (Vb1) 가 슬라이딩 가능한 구멍 (밸브 슬라이딩공이라고도 한다) (Hv1) 을 형성하고 있다. 또, 밸브 박스부 (Vx1) 는, 액 통과공 (Lh1) 의 외부에 개구되어 있는 일방의 개구부 (제 1 개구부라고도 한다) (Pi1) 와, 액 통과공 (Lh1) 의 외부에 개구되어 있는 타방의 개구부 (제 2 개구부라고도 한다) (Po1) 를 가지고 있다. 도 2 의 예에서는, 제 1 개구부 (Pi1) 에 제 1 배관 부분 (P1a) 이 접속되고, 제 2 개구부 (Po1) 에 제 2 배관 부분 (P1b) 이 접속되어 있다.
밸브 시트부 (Vs1) 는, 밸브 박스부 (Vx1) 중 액 통과공 (Lh1) 과 밸브 슬라이딩공 (Hv1) 이 교차하고 있는 부분에 위치하는 환상의 부분이다.
밸브체부 (Vb1) 는, 밸브 슬라이딩공 (Hv1) 의 내벽에 끼워진 상태로, 밸브 시트부 (Vs1) 에 대해 이접 (離接) 가능하게 이동할 수 있다. 도 3 의 예에서는, 밸브체부 (Vb1) 는, 밸브 슬라이딩공 (Hv1) 의 내벽을 따라 상하로 슬라이딩함으로써, 밸브 시트부 (Vs1) 에 대해 이접한다. 이로써, 밸브체부 (Vb1) 는, 액 공급 경로 (PA1) 를 형성하는 액 통과공 (Lh1) 을 개폐할 수 있다.
구동 기구 (DR1) 는, 밸브체부 (Vb1) 를 동작시킬 수 있다. 도 3 의 예에서는, 구동 기구 (DR1) 는, 예를 들어, 용기부 (Bx1) 와, 칸막이부 (Pd1) 와, 탄성체 (Eb1) 와, 연결부 (Vh1) 를 가지고 있다.
용기부 (Bx1) 는, 예를 들어, 내부 공간 (Is1) 과, 가스 통과공 (Gh1) 과, 삽통공 (Hh1) 을 형성하고 있다. 내부 공간 (Is1) 은, 용기부 (Bx1) 의 내부에 위치하는 중공의 공간이다. 가스 통과공 (Gh1) 은, 그 내부 공간 (Is1) 과 외부 공간을 연결하고 또한 제어 가스 (Gs1) 를 통과시킬 수 있다. 도 2 의 예에서는, 가스 통과공 (Gh1) 에 가스용의 제 3 배관 부분 (P2c) 이 접속되어 있다. 삽통공 (Hh1) 은, 연결부 (Vh1) 가 슬라이딩 가능하게 삽입 통과되어 있는 관통공이다. 도 3 의 예에서는, 용기부 (Bx1) 의 측벽부에 가스 통과공 (Gh1) 이 형성되고, 용기부 (Bx1) 의 저벽부에 삽통공 (Hh1) 이 형성되어 있다.
칸막이부 (Pd1) 는, 예를 들어, 용기부 (Bx1) 내의 내부 공간 (Is1) 을 제 1 영역 (Aa1) 과 제 2 영역 (Ab1) 으로 나누고 있다. 도 3 의 예에서는, 제 1 영역 (Aa1) 은, 용기부 (Bx1) 내의 내부 공간 (Is1) 중, 칸막이부 (Pd1) 보다 하방에 위치하고 있다. 제 2 영역 (Ab1) 은, 용기부 (Bx1) 내의 내부 공간 (Is1) 중, 칸막이부 (Pd1) 보다 상방에 위치하고 있다. 또, 칸막이부 (Pd1) 는, 용기부 (Bx1) 의 내벽면에 대해 슬라이딩 가능하게 이동할 수 있다. 칸막이부 (Pd1) 로는, 예를 들어, 용기부 (Bx1) 의 내벽부에 대해 슬라이딩 가능하게 형성된 판상의 부재 (칸막이판) 가 채용된다.
탄성체 (Eb1) 는, 예를 들어, 칸막이부 (Pd1) 와 용기부 (Bx1) 의 내벽부 사이에 형성되어 있다. 탄성체 (Eb1) 는, 예를 들어, 칸막이부 (Pd1) 의 이동에 대한 저항력으로서의 탄성력을 발생시킬 수 있다. 도 3 의 예에서는, 탄성체 (Eb1) 는, 용기부 (Bx1) 의 내부 공간 (Is1) 내의 제 2 영역 (Ab1) 에 형성되어 있고, 용기부 (Bx1) 의 상방의 내벽면과 칸막이부 (Pd1) 의 상방의 면에 접속하도록 위치하고 있다. 탄성체 (Eb1) 로는, 예를 들어, 스프링 등이 채용된다.
연결부 (Vh1) 는, 칸막이부 (Pd1) 와 밸브체부 (Vb1) 를 연결하고 있다. 연결부 (Vh1) 는, 예를 들어, 삽통공 (Hh1) 의 관통 방향을 따라 슬라이딩할 수 있다. 연결부 (Vh1) 로는, 예를 들어, 길이 방향에 수직인 단면 (斷面) 이 삽통공 (Hh1) 의 형상에 맞춘 형상을 갖는 봉상의 부재가 채용된다. 예를 들어, 삽통공 (Hh1) 의 관통 방향에 수직인 단면이 원형이면, 연결부 (Vh1) 의 길이 방향에 수직인 단면도 원형이 된다. 이로써, 연결부 (Vh1) 는, 그 연결부 (Vh1) 의 길이 방향을 따라, 삽통공 (Hh1) 의 내벽면에 대해 슬라이딩할 수 있다.
상기 구성을 갖는 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 에서는, 예를 들어, 가스 통과공 (Gh1) 으로부터 제 1 영역 (Aa1) 으로 제어 가스 (Gs1) 가 도입되면, 탄성체 (Eb1) 의 탄성력에 대항하여, 제 1 영역 (Aa1) 이 확대되는 방향으로 칸막이부 (Pd1) 가, 용기부 (Bx1) 의 내벽면을 따라 슬라이딩한다. 이 때, 칸막이부 (Pd1) 에 연결부 (Vh1) 를 개재하여 연결되어 있는 밸브체부 (Vb1) 가, 밸브 슬라이딩공 (Hv1) 의 내벽을 따라 상방으로 슬라이딩할 수 있다. 이로써, 밸브체부 (Vb1) 가 밸브 시트부 (Vs1) 로부터 떨어져 있는 상태가 되어, 액 공급 경로 (PA1) 를 형성하는 액 통과공 (Lh1) 이 개방된다. 즉, 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 의 액 공급 경로 (PA1) 를 형성하는 액 통과공 (Lh1) 을 처리액 (Lq1) 이 통과할 수 있는 상태가 된다.
한편, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 가스 통과공 (Gh1) 을 통해서 제어 가스 (Gs1) 가 외부 공간에 배출되면, 탄성체 (Eb1) 의 탄성력에 의해, 제 1 영역 (Aa1) 이 좁아지는 방향으로 칸막이부 (Pd1) 가, 용기부 (Bx1) 의 내벽면을 따라 슬라이딩한다. 이 때, 칸막이부 (Pd1) 에 연결부 (Vh1) 를 개재하여 연결되어 있는 밸브체부 (Vb1) 가, 밸브 슬라이딩공 (Hv1) 의 내벽을 따라 하방으로 슬라이딩할 수 있다. 이로써, 밸브체부 (Vb1) 가 밸브 시트부 (Vs1) 에 접하고 있는 상태가 되어, 액 공급 경로 (PA1) 를 형성하는 액 통과공 (Lh1) 이 폐쇄된다. 즉, 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 의 액 공급 경로 (PA1) 를 형성하는 액 통과공 (Lh1) 을 처리액 (Lq1) 이 통과할 수 없는 상태가 된다.
또한, 구동 기구 (DR1) 에서는, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa1) 과 제 2 영역 (Ab1) 이 교체되는 구성도 생각할 수 있다. 이 경우, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa1) 이, 내부 공간 (Is1) 중 칸막이부 (Pd1) 보다 상방에 위치하고, 제 2 영역 (Ab1) 이, 내부 공간 (Is1) 중 칸막이부 (Pd1) 보다 하방에 위치하고 있고, 탄성체 (Eb1) 가, 용기부 (Bx1) 의 하방의 내벽면과 칸막이부 (Pd1) 의 하방의 면에 접속하도록 위치하는 형태가 채용된다. 이 형태에서는, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa1) 에 대해 제어 가스 (Gs1) 가 도입되면, 탄성체 (Eb1) 의 탄성력에 대항하여 칸막이부 (Pd1) 가 제 1 영역 (Aa1) 을 확대하도록 용기부 (Bx1) 의 내벽면을 따라 슬라이딩한다. 이 때, 칸막이부 (Pd1) 에 연결부 (Vh1) 를 개재하여 연결되어 있는 밸브체부 (Vb1) 가, 밸브 슬라이딩공 (Hv1) 의 내벽을 따라 하방으로 슬라이딩할 수 있다. 이로써, 밸브체부 (Vb1) 가 밸브 시트부 (Vs1) 에 접하고 있는 상태가 되어, 액 공급 경로 (PA1) 를 형성하는 액 통과공 (Lh1) 이 폐쇄된다. 또, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출되면, 탄성체 (Eb1) 의 탄성력에 의해 칸막이부 (Pd1) 가 제 1 영역 (Aa1) 을 좁히도록 용기부 (Bx1) 의 내벽면을 따라 슬라이딩한다. 이 때, 칸막이부 (Pd1) 에 연결부 (Vh1) 를 개재하여 연결되어 있는 밸브체부 (Vb1) 가, 밸브 슬라이딩공 (Hv1) 의 내벽을 따라 상방으로 슬라이딩할 수 있다. 이로써, 밸브체부 (Vb1) 가 밸브 시트부 (Vs1) 로부터 멀어진 상태가 되어, 액 공급 경로 (PA1) 를 형성하는 액 통과공 (Lh1) 이 개방된다.
<1-2-3-5. 흡인 회수 밸브>
흡인 회수 밸브 (52) 는, 배관부 (P1) 의 도중 부분에 형성되고, 제 3 배관 부분 (P1c) 및 노즐 (Nz1) 에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재 상태를 변화시킬 수 있다. 도 2 의 예에서는, 흡인 회수 밸브 (52) 는, 배관부 (P1) 중 토출 밸브 (51) 와 노즐 (Nz1) 사이의 특정 부분에 형성되어 있고, 노즐 (Nz1) 및 제 3 배관 부분 (P1c) 에 있어서의 처리액을 흡인하여 회수하는 동작 (액 흡인 회수 동작이라고도 한다) 을 실시할 수 있다. 이로써, 배관부 (P1) 및 노즐 (Nz1) 에 있어서의 처리액의 존재 상태를 변화시킬 수 있다. 또, 도 2 의 예에서는, 흡인 회수 밸브 (52) 로서, 제어 가스의 공급 및 배출에 따라, 액 흡인 회수 동작과, 제 3 배관 부분 (P1c) 에 처리액 (Lq1) 을 압출하는 동작 (액 압출 동작이라고도 한다) 을 실시하는, 에어 오퍼레이트 방식의 흡인 회수 밸브 (에어 제어 흡인 회수 밸브라고도 한다) (Vsb) 가 적용되어 있다. 보다 구체적으로는, 에어 제어 흡인 회수 밸브 (Vsb) 로서, 제어 가스 (Gs1) 가 배출되어 있는 표준 상태에 있어서 처리액 (Lq1) 이 흡인 회수되어 있는 상태가 되는 타입 (노멀 흡인 회수형이라고도 한다) 의 에어 제어 흡인 회수 밸브가 채용되어 있다.
도 4 는, 노멀 흡인 회수형의 에어 제어 흡인 회수 밸브 (Vsb) 의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 도 4 에서 나타내는 바와 같이, 에어 제어 흡인 회수 밸브 (Vsb) 는, 본체부 (VM2) 와, 구동 기구 (DR2) 를 가지고 있다.
도 4 에서 나타내는 바와 같이, 본체부 (VM2) 는, 밸브 박스부 (Vx2) 와, 밸브체부 (Vb2) 를 가지고 있다.
밸브 박스부 (Vx2) 는, 처리액 (Lq1) 이 통과 가능하게 관통하고 있는 구멍 (액 통과공이라고도 한다) (Lh2) 과, 그 액 통과공 (Lh2) 에 교차하고 또한 밸브체부 (Vb2) 가 형성되어 있는 구멍 (밸브 설치공이라고도 한다) (Hv2) 을 형성하고 있다. 또, 밸브 박스부 (Vx2) 는, 액 통과공 (Lh1) 의 외부에 개구되어 있는 일방의 개구부 (제 3 개구부라고도 한다) (Pi2) 와, 액 통과공 (Lh1) 의 외부에 개구되어 있는 타방의 개구부 (제 4 개구부라고도 한다) (Po2) 를 가지고 있다. 도 2 의 예에서는, 제 3 개구부 (Pi2) 에 제 2 배관 부분 (P1b) 이 접속되고, 제 4 개구부 (Po2) 에 제 3 배관 부분 (P1c) 이 접속되어 있다.
밸브체부 (Vb2) 는, 밸브 설치공 (Hv2) 을 액 통과공 (Lh2) 측의 영역과 구동 기구 (DR2) 측의 영역으로 구분되도록 형성되어 있다. 도 4 의 예에서는, 밸브체부 (Vb2) 로서, 밸브 설치공 (Hv2) 의 깊이 방향에 있어서의 도중 부분에 있어서 그 밸브 설치공 (Hv2) 을 형성하는 내벽면 (IW2) 에 고정되어 있는 다이어프램이 채용되어 있다. 이로써, 밸브 박스부 (Vx2) 는, 밸브 설치공 (Hv2) 내 중, 배관부 (P1) 내의 액 공급 경로 (PA1) 를 형성하는 액 통과공 (Lh2) 에 연통되어 있는 영역 (액 흡인 회수 영역이라고도 한다)(AS2) 을 형성하고 있다. 이 때, 밸브체부 (Vb2) 는, 액 흡인 회수 영역 (AS2) 에 면하고 있다. 또, 예를 들어, 다이어프램이, 탄성 변형이 가능한 시트상 혹은 막상의 부재에 의해 구성되어 있으면, 구동 기구 (DR2) 에 의해, 액 통과공 (Lh2) 에 가까워지는 방향 및 액 통과공 (Lh2) 으로부터 멀어지는 방향으로, 밸브체부 (Vb2) 를 탄성 변형시킬 수 있다. 이 때문에, 예를 들어, 밸브체부 (Vb2) 는, 액 흡인 회수 영역 (AS2) 의 용적을 변경 가능하게 동작할 수 있다.
구동 기구 (DR2) 는, 밸브체부 (Vb2) 를 동작시킬 수 있다. 도 4 의 예에서는, 구동 기구 (DR2) 는, 예를 들어, 용기부 (Bx2) 와, 칸막이부 (Pd2) 와, 탄성체 (Eb2) 와, 연결부 (Vh2) 를 가지고 있다.
용기부 (Bx2) 는, 예를 들어, 내부 공간 (Is2) 과, 가스 통과공 (Gh2) 과, 삽통공 (Hh2) 을 형성하고 있다. 내부 공간 (Is2) 은, 용기부 (Bx2) 의 내부에 위치하는 중공의 공간이다. 가스 통과공 (Gh2) 은, 내부 공간 (Is2) 과 외부 공간을 연결하고 또한 제어 가스 (Gs1) 를 통과시킬 수 있다. 도 4 의 예에서는, 가스 통과공 (Gh2) 에 가스용의 제 4 배관 부분 (P2d) 이 접속되어 있다. 삽통공 (Hh2) 은, 연결부 (Vh2) 가 슬라이딩 가능하게 삽입 통과되어 있는 관통공이다. 도 4 의 예에서는, 용기부 (Bx2) 의 측벽부에 가스 통과공 (Gh2) 이 형성되고, 용기부 (Bx2) 의 저벽부에 삽통공 (Hh2) 이 형성되어 있다.
칸막이부 (Pd2) 는, 예를 들어, 용기부 (Bx2) 내의 내부 공간 (Is2) 을 제 1 영역 (Aa2) 과 제 2 영역 (Ab2) 으로 나누고 있다. 도 4 의 예에서는, 제 1 영역 (Aa2) 은, 용기부 (Bx1) 내의 내부 공간 (Is2) 중, 칸막이부 (Pd2) 보다 상방에 위치하고 있다. 제 2 영역 (Ab2) 은, 용기부 (Bx2) 내의 내부 공간 (Is2) 중, 칸막이부 (Pd2) 보다 하방에 위치하고 있다. 또, 칸막이부 (Pd2) 는, 용기부 (Bx2) 의 내벽면에 대해 슬라이딩 가능하게 이동할 수 있다. 칸막이부 (Pd2) 로는, 예를 들어, 용기부 (Bx2) 의 내벽부에 대해 슬라이딩 가능하게 형성된 판상의 부재 (칸막이판) 가 채용된다.
탄성체 (Eb2) 는, 예를 들어, 칸막이부 (Pd2) 와 용기부 (Bx2) 의 내벽부 사이에 형성되어 있다. 탄성체 (Eb2) 는, 예를 들어, 칸막이부 (Pd2) 의 이동에 대한 저항력으로서의 탄성력을 발생시킬 수 있다. 도 4 의 예에서는, 탄성체 (Eb2) 는, 용기부 (Bx2) 의 내부 공간 (Is2) 내의 제 2 영역 (Ab2) 에 형성되어 있고, 용기부 (Bx2) 의 하방의 내벽면과 칸막이부 (Pd2) 의 하방의 면에 접속하도록 위치하고 있다. 탄성체 (Eb2) 로는, 예를 들어, 스프링 등이 채용된다.
연결부 (Vh2) 는, 칸막이부 (Pd2) 와 밸브체부 (Vb2) 를 연결하고 있다. 연결부 (Vh2) 는, 예를 들어, 삽통공 (Hh2) 의 관통 방향을 따라 슬라이딩할 수 있다. 연결부 (Vh2) 로는, 예를 들어, 길이 방향에 수직인 단면이 삽통공 (Hh2) 의 형상에 맞춘 형상을 갖는 봉상의 부재가 채용된다. 예를 들어, 삽통공 (Hh2) 의 관통 방향에 수직인 단면이 원형이면, 연결부 (Vh2) 의 길이 방향에 수직인 단면도 원형이 된다. 이로써, 연결부 (Vh2) 는, 그 연결부 (Vh2) 의 길이 방향을 따라, 삽통공 (Hh2) 의 내벽면에 대해 슬라이딩할 수 있다.
상기 구성을 갖는 에어 제어 흡인 회수 밸브 (Vsb) 에서는, 예를 들어, 가스 통과공 (Gh2) 으로부터 제 1 영역 (Aa2) 으로 제어 가스 (Gs1) 가 도입되면, 탄성체 (Eb2) 의 탄성력에 대항하여, 제 1 영역 (Aa2) 이 확대되는 방향으로 칸막이부 (Pd2) 가, 용기부 (Bx2) 의 내벽면을 따라 슬라이딩한다. 이 때, 칸막이부 (Pd2) 에 연결부 (Vh2) 를 개재하여 연결되어 있는 밸브체부 (Vb2) 가 액 통과공 (Lh2) 측을 향하여 장출되는 방향으로 탄성 변형된다. 이로써, 밸브체부 (Vb2) 가, 액 흡인 회수 영역 (AS2) 의 용적을 축소시킨다. 이 때, 예를 들어, 액 흡인 회수 영역 (AS2) 에 처리액 (Lq1) 이 존재하고 있으면, 그 액 흡인 회수 영역 (AS2) 으로부터 액 통과공 (Lh2) 을 통해서 배관부 (P1) 에 처리액 (Lq1) 을 압출하는 액 압출 동작이 실시된다.
한편, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa2) 으로부터 가스 통과공 (Gh2) 을 통해서 제어 가스 (Gs1) 가 외부 공간에 배출되면, 탄성체 (Eb2) 의 탄성력에 의해, 제 1 영역 (Aa2) 이 좁아지는 방향으로 칸막이부 (Pd2) 가, 용기부 (Bx2) 의 내벽면을 따라 슬라이딩한다. 이 때, 칸막이부 (Pd2) 에 연결부 (Vh2) 를 개재하여 연결되어 있는 밸브체부 (Vb2) 가, 액 통과공 (Lh2) 으로부터 멀어지는 방향으로 탄성 변형된다. 이로써, 밸브체부 (Vb2) 가, 액 흡인 회수 영역 (AS2) 의 용적을 확대시킨다. 이 때, 예를 들어, 노즐 (Nz1) 및 제 3 배관 부분 (P1c) 에 처리액 (Lq1) 이 존재하고 있으면, 노즐 (Nz1) 및 제 3 배관 부분 (P1c) 에 존재하고 있는 처리액 (Lq1) 을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작이 실시된다.
또한, 구동 기구 (DR2) 에서도, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa2) 과 제 2 영역 (Ab2) 이 교체되는 구성이 생각된다. 이 경우, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa2) 이, 내부 공간 (Is1) 중 칸막이부 (Pd2) 보다 하방에 위치하고, 제 2 영역 (Ab2) 이, 내부 공간 (Is1) 중 칸막이부 (Pd2) 보다 상방에 위치하고 있고, 탄성체 (Eb2) 가, 용기부 (Bx2) 의 상방의 내벽면과 칸막이부 (Pd2) 의 상방의 면에 접속하도록 위치하는 형태가 채용된다. 이 형태에서는, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa1) 에 대해 제어 가스 (Gs1) 가 도입되면, 탄성체 (Eb2) 의 탄성력에 대항하여 칸막이부 (Pd2) 가 제 1 영역 (Aa2) 을 확대하도록 용기부 (Bx2) 의 내벽면을 따라 슬라이딩한다. 이 때, 칸막이부 (Pd2) 에 연결부 (Vh2) 를 개재하여 연결되어 있는 밸브체부 (Vb2) 가, 액 흡인 회수 영역 (AS2) 의 용적이 확대되도록 탄성 변형된다. 이로써, 액 흡인 회수 동작이 실시될 수 있다. 한편, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa2) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출되면, 탄성체 (Eb2) 의 탄성력에 의해 칸막이부 (Pd2) 가 제 1 영역 (Aa2) 을 좁히도록 용기부 (Bx2) 의 내벽면을 따라 슬라이딩한다. 이 때, 칸막이부 (Pd2) 에 연결부 (Vh2) 를 개재하여 연결되어 있는 밸브체부 (Vb2) 가, 액 흡인 회수 영역 (AS2) 의 용적이 축소되도록 탄성 변형된다. 이로써, 액 압출 동작이 실시될 수 있다.
또, 여기서, 예를 들어, 밸브체부 (Vb2) 는, 탄성 변형을 실시하지 않고, 밸브 설치공 (Hv2) 에 대해 슬라이딩함으로써, 액 흡인 회수 영역 (AS2) 의 용적을 변경 (확대 및 축소) 할 수 있도록 동작하는 구성이 채용되어도 된다.
<1-2-3-6. 발동부>
발동부 (53) 는, 토출 밸브 (51) 를 동작시키는 구동력을 그 토출 밸브 (51) 에 부여함과 함께, 흡인 회수 밸브 (52) 를 동작시키는 구동력을 그 흡인 회수 밸브 (52) 에 부여할 수 있다.
도 2 의 예에서는, 발동부 (53) 는, 전자 밸브 (53a) 와, 스피드 컨트롤러 (53b) 를 가지고 있다. 전자 밸브 (53a) 에는, 예를 들어, 제 1 배관 부분 (P2a) 이 접속되어 있고, 기체 공급부 (6) 로부터 전자 밸브 (53a) 로 제어 가스 (Gs1) 가 공급된다. 전자 밸브 (53a) 에는, 외부 공간에의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 (배기) 을 실시하기 위한 제 5 배관 부분 (P2e) 이 접속되어 있다. 전자 밸브 (53a) 와 스피드 컨트롤러 (53b) 가 제 2 배관 부분 (P2b) 에 의해 접속되어 있다. 또, 제 2 배관 부분 (P2b) 은, 그 제 2 배관 부분 (P2b) 으로부터 분기되어 있는 제 3 배관 부분 (P2c) 을 개재하여 토출 밸브 (51) 에 접속되어 있다. 또, 스피드 컨트롤러 (53b) 는, 제 4 배관 부분 (P2d) 을 개재하여 흡인 회수 밸브 (52) 에 접속되어 있다.
전자 밸브 (53a) 는, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터의 신호에 응답하여, 기체 공급부 (6) 로부터 제 1 배관 부분 (P2a) 을 개재하여 공급되는 제어 가스 (Gs1) 를 통과시킬 수 있다. 이 때, 예를 들어, 제 2 배관 부분 (P2b) 및 제 3 배관 부분 (P2c) 을 개재하여 토출 밸브 (51) 에 제어 가스 (Gs1) 가 공급됨과 함께, 제 2 배관 부분 (P2b) 과 스피드 컨트롤러 (53b) 와 제 4 배관 부분 (P2d) 을 개재하여 흡인 회수 밸브 (52) 에 제어 가스 (Gs1) 가 공급된다. 또, 전자 밸브 (53a) 는, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터의 신호에 응답하여, 제 5 배관 부분 (P2e) 을 향하여 제어 가스 (Gs1) 를 통과시킬 수 있다. 이 때문에, 전자 밸브 (53a) 는, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터의 트리거 신호에 응답하여, 기체 공급부 (6) 로부터 제 1 배관 부분 (P2a) 을 개재하여 공급되는 제어 가스 (Gs1) 를 통과시키는 상태 (가스 공급 상태라고도 한다) 와, 제 5 배관 부분 (P2e) 을 향하여 제어 가스 (Gs1) 를 배출하는 상태 (가스 배출 상태라고도 한다) 사이에서 상태가 전환된다.
스피드 컨트롤러 (53b) 는, 예를 들어, 유량 제어 밸브로서의 조임 밸브와, 역지 (逆止) 밸브가 병렬로 배치된 구조를 가지고 있다. 스피드 컨트롤러 (53b) 에서는, 예를 들어, 유량 제어 밸브의 조임 정도 (개도라고도 한다) 에 의해, 흡인 회수 밸브 (52) 로부터 전자 밸브 (53a) 를 향한 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도의 제어 (미터아웃 제어라고도 한다) 가 실시된다. 스피드 컨트롤러 (53b) 에서는, 유량 제어 밸브의 개도는, 예를 들어, 제어부 (9) (도 2 의 예에서는 제 2 제어부 (92)) 로부터의 신호에 따라 조정될 수 있다.
상기 구성을 갖는 발동부 (53) 는, 예를 들어, 제어부 (9) 에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 토출 밸브 (51) 에 있어서 액 공급 경로 (PA1) 를 개방하는 동작 (개방 동작이라고도 한다) 과, 흡인 회수 밸브 (52) 에 의한 액 압출 동작을 개시시킬 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터의 제 1 트리거 신호에 응답하여, 전자 밸브 (53a) 가 가스 공급 상태가 된다. 이 때, 기체 공급부 (6) 로부터 제 1 배관 부분 (P2a) 을 개재하여 공급되는 제어 가스 (Gs1) 가, 토출 밸브 (51) 에 공급됨과 함께, 스피드 컨트롤러 (53b) 를 개재하여 흡인 회수 밸브 (52) 에 공급된다.
구체적으로는, 예를 들어, 발동부 (53) 는, 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급에 의해 칸막이부 (Pd1) 를 동작시킴으로써, 연결부 (Vh1) 를 개재하여 밸브체부 (Vb1) 를 동작시킨다. 또, 예를 들어, 발동부 (53) 는, 구동 기구 (DR2) 의 제 1 영역 (Aa2) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급에 의해 칸막이부 (Pd2) 를 동작시킴으로써, 연결부 (Vh2) 를 개재하여 액 흡인 회수 영역 (AS2) 의 용적이 축소되도록 밸브체부 (Vb2) 를 동작시킨다.
이로써, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 는, 구동 기구 (DR1) 에 의해, 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 동작을 개시함과 함께, 흡인 회수 밸브 (52) 는, 구동 기구 (DR2) 에 의해, 액 압출 동작을 개시한다. 여기서, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53b) 는, 미터아웃 제어를 실시하는 것이기 때문에, 토출 밸브 (51) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급에 의한 토출 밸브 (51) 의 개방 동작과, 흡인 회수 밸브 (52) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급에 의한 액 압출 동작이 비교적 단시간 사이에 병행하여 실행된다.
또, 예를 들어, 발동부 (53) 는, 제어부 (9) 에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 토출 밸브 (51) 에 있어서 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 동작 (폐쇄 동작이라고도 한다) 과, 흡인 회수 밸브 (52) 에 의한 액 흡인 회수 동작을 개시시킬 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터의 제 2 트리거 신호에 응답하여, 전자 밸브 (53a) 가 가스 배출 상태가 된다. 이 때, 토출 밸브 (51) 로부터 제 3 배관 부분 (P2c) 과 제 2 배관 부분 (P2b) 과 제 5 배관 부분 (P2e) 을 개재하여 제어 가스 (Gs1) 가 배출된다. 또, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 로부터 제 4 배관 부분 (P2d) 과 스피드 컨트롤러 (53b) 와 제 2 배관 부분 (P2b) 과 제 5 배관 부분 (P2e) 을 개재하여 제어 가스 (Gs1) 가 배출된다.
구체적으로는, 예를 들어, 발동부 (53) 는, 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출에 의해 칸막이부 (Pd1) 를 동작시킴으로써, 연결부 (Vh1) 를 개재하여 밸브체부 (Vb1) 를 동작시킨다. 또, 예를 들어, 발동부 (53) 는, 구동 기구 (DR2) 의 제 1 영역 (Aa2) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 를 배출시켜 칸막이부 (Pd2) 를 동작시킴으로써, 연결부 (Vh2) 를 개재하여 액 흡인 회수 영역 (AS2) 의 용적이 확대되도록 밸브체부 (Vb2) 를 동작시킨다.
이로써, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 는, 구동 기구 (DR1) 에 의해, 액 공급 경로 (PA1) 의 폐쇄 동작을 개시함과 함께, 흡인 회수 밸브 (52) 는, 구동 기구 (DR2) 에 의해, 액 흡인 회수 동작을 개시한다. 여기서, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53b) 는, 미터아웃 제어를 실시할 수 있기 때문에, 토출 밸브 (51) 로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출에 의한 토출 밸브 (51) 의 폐쇄 동작보다, 흡인 회수 밸브 (52) 로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출에 의한 액 흡인 회수 동작쪽이, 비교적 천천히 진행된다. 그 결과, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터 제 2 트리거 신호가 출력되는 타이밍을 기준으로 하여, 폐쇄 동작이 비교적 신속하게 완료하고, 그 후, 약간 느리게 액 흡인 회수 동작이 완료한다.
<1-2-3-7. 검지부>
검지부 (55) 는, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작에 관련된 특정 상태를 검지할 수 있다. 여기서, 특정 상태로서 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 에 있어서의 구동 기구 (DR2) 의 제 1 영역 (Aa2) 의 기압이 기준의 압력 (기준압이라고도 한다) 에 도달한 상태 (기준압 도달 상태라고도 한다) 가 채용된다. 도 2 의 예에서는, 검지부 (55) 로서, 구동 기구 (DR2) 의 제 1 영역 (Aa2) 에 접속된 제 4 배관 부분 (P2d) 에 있어서의 제어 가스 (Gs1) 의 압력을 계측 가능한 압력계가 채용되어 있다. 이 압력계로 계측되는 계측 결과를 나타내는 신호는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 출력된다.
여기서, 토출 밸브 (51) 의 폐쇄 동작이 실시될 때에는, 흡인 회수 밸브 (52) 에서는, 스피드 컨트롤러 (53b) 에 의한 미터아웃 제어에 의해, 구동 기구 (DR2) 의 제 1 영역 (Aa2) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 어느 정도의 시간 (예를 들어, 1 초간 정도) 에 있어서 배출된다. 이로써, 토출 밸브 (51) 에 의해 배관부 (P1) 중 제 2 배관 부분 (P1b) 으로부터 노즐 (Nz1) 에 걸친 영역에 대한 처리액 (Lq1) 의 공급이 완전히 정지된 후에, 흡인 회수 밸브 (52) 에 의한 액 흡인 회수 동작이 실시될 수 있다. 또, 이 때, 구동 기구 (DR2) 에서는, 제 1 영역 (Aa2) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출됨에 따라, 제 1 영역 (Aa2) 에 있어서의 제어 가스 (Gs1) 의 압력이 저하되고, 흡인 회수 밸브 (52) 에 의한 액 흡인 회수 동작이 진행된다. 여기서, 제 1 영역 (Aa2) 의 제어 가스 (Gs1) 의 압력의 변화는, 검지부 (55) 에 의해 제 4 배관 부분 (P2d) 에 있어서의 제어 가스 (Gs1) 의 압력을 계측함으로써 검지될 수 있다.
여기서는, 예를 들어, 검지부 (55) 에 있어서, 제어 가스 (Gs1) 의 압력이 기준압까지 저하된 타이밍을, 흡인 회수 밸브 (52) 에 의한 액 흡인 회수 동작이 완료 혹은 어느 정도 진행된 타이밍으로 간주할 수 있다. 이 때, 제어부 (9) 로부터 제 2 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터, 검지부 (55) 에 있어서 기준압이 검지된 제 2 타이밍에 이를 때까지의 시간에 기초하여, 액 흡인 회수 동작의 속도가 인식될 수 있다.
검지부 (55) 에서는, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 의 제 1 영역 (Aa2) 에 있어서의 제어 가스 (Gs1) 의 압력이 시간적으로 연속적으로 계측된다. 그리고, 검지부 (55) 에서는, 예를 들어, 계측 결과로서의 모든 압력을 나타내는 신호가 즉시 제 2 제어부 (92) 에 계속 출력되어도 되고, 계측 결과로서 압력이 기준압에 도달했던 것에 응답하여 특정한 신호를 제 2 제어부 (92) 에 출력해도 된다.
<1-2-4. 제어부>
제어부 (9) 는, 처리 유닛 (100) 의 동작을 통괄적으로 제어할 수 있다. 제어부 (9) 는, 기판 처리 장치 (1) 의 전체의 제어를 실시하는 제 1 제어부 (91) 와, 각 처리 유닛 (100) 의 스피드 컨트롤러 (53b) 의 제어용으로 형성된 제 2 제어부 (92) 를 가지고 있다.
도 5 는, 제 1 제어부 (91) 및 제 2 제어부 (92) 의 기능적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 5 에서 나타내는 바와 같이, 제 1 제어부 (91) 는, 예를 들어, 연산 처리부 (91a) 와, 메모리 (91b) 와, 기억부 (91c) 를 포함한다. 연산 처리부 (91a) 는, 프로세서로서 작용할 수 있다. 연산 처리부 (91a) 로는, 예를 들어, 중앙 연산부 (CPU) 등의 전자 회로가 채용된다. 메모리 (91b) 는, 정보를 일시적으로 기억할 수 있다. 메모리 (91b) 로는, 예를 들어, 랜덤 액세스 메모리 (RAM) 등이 채용된다. 기억부 (91c) 는, 컴퓨터 프로그램 (이하, 프로그램이라고 약칭한다) (Pg1) 및 각종 데이터 (D1) 등을 기억할 수 있다. 기억부 (91c) 로는, 예를 들어, 플래시 메모리 혹은 하드 디스크 등의 기억 매체가 채용된다. 제 1 제어부 (91) 에서는, 예를 들어, 기억부 (91c) 에 기억되어 있는 프로그램 (Pg1) 이 연산 처리부 (91a) 에 판독 입력되어 실행됨으로써, 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 각종 기판 처리 및 각종 동작이 통괄적으로 제어된다. 바꾸어 말하면, 기억부 (91c) 는, 프로그램 (Pg1) 을 기억하고, 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체이다. 도 2 의 예에서는, 제 1 제어부 (91) 에는, 전자 밸브 (53a) 가 제어 대상으로서 접속되어 있음과 함께, 제 2 제어부 (92) 가 신호의 송수신이 가능한 상태로 접속되어 있다.
또, 제 2 제어부 (92) 는, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 와 동일하게, 연산 처리부 (92a) 와, 메모리 (92b) 와, 기억부 (92c) 를 포함한다. 연산 처리부 (92a) 는, 프로세서로서 작용할 수 있다. 연산 처리부 (92a) 로는, 예를 들어, 중앙 연산부 (CPU) 등의 전자 회로가 채용된다. 메모리 (92b) 는, 정보를 일시적으로 기억할 수 있다. 메모리 (92b) 로는, 예를 들어, 랜덤 액세스 메모리 (RAM) 등이 채용된다. 기억부 (92c) 는, 컴퓨터 프로그램 (이하, 프로그램이라고 약칭한다) (Pg2) 및 각종 데이터 (D2) 등을 기억할 수 있다. 기억부 (92c) 로는, 예를 들어, 플래시 메모리 혹은 하드 디스크 등의 기억 매체가 채용된다. 제 2 제어부 (92) 에서는, 예를 들어, 기억부 (92c) 에 기억되어 있는 프로그램 (Pg2) 이 연산 처리부 (92a) 에 판독 입력되어 실행됨으로써, 처리 유닛 (100) 의 처리액 공급계 (5) 에 있어서의 각종 동작이 제어된다. 바꾸어 말하면, 기억부 (92c) 는, 프로그램 (Pg2) 을 기억하고, 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체이다. 도 2 의 예에서는, 제 2 제어부 (92) 에는, 스피드 컨트롤러 (53b) 가 제어 대상으로서 접속되어 있음과 함께, 검지부 (55) 및 제 1 제어부 (91) 에 대해 신호의 송수신이 가능한 상태로 접속되어 있다. 또한, 제 2 제어부 (92) 의 각종 기능은, 예를 들어, 전용의 전자 회로로 실현되어도 된다.
제어부 (9) 는, 예를 들어, 각종 트리거 신호를 출력함으로써 발동부 (53) 에 의해 토출 밸브 (51) 및 흡인 회수 밸브 (52) 를 동작시킬 수 있다. 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53a) 로 제 1 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53a) 가 가스 공급 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 개방 동작, 및 흡인 회수 밸브 (52) 에 있어서의 액 압출 동작이 실시된다. 이 때, 예를 들어, 제 1 트리거 신호는, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53a) 와 함께 제 2 제어부 (92) 에도 출력된다. 또, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53a) 가 가스 배출 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 폐쇄 동작, 및 흡인 회수 밸브 (52) 에 있어서의 액 흡인 회수 동작이 실시된다. 이 때, 예를 들어, 제 2 트리거 신호는, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53a) 와 함께 제 2 제어부 (92) 에도 출력된다. 여기서는, 예를 들어, 제어부 (9) 에 의해, 제 2 트리거 신호가 출력됨으로써, 발동부 (53) 에 의해 흡인 회수 밸브 (52) 의 제 1 영역 (Aa2) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출이 개시된다.
또, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 제 2 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터 검지부 (55) 가 특정 상태로서의 기준압에 도달한 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 흡인 회수 밸브 (52) 의 실제의 동작 시간 (실동작 시간이라고도 한다) (T1) 과, 미리 설정된 기준의 동작 시간 (기준 동작 시간이라고도 한다) (T0) 의 관계에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정을 변경할 수 있다.
여기서, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에서는, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 트리거 신호가 입력됨으로써, 제 1 타이밍이 인식된다. 또, 특정 상태로는, 예를 들어, 검지부 (55) 에 있어서 계측되는 흡인 회수 밸브 (52) 의 제 1 영역 (Aa2) 에 있어서의 제어 가스 (Gs1) 의 압력이 기준압에 도달한 상태 (기준압 도달 상태) 가 채용된다. 이 경우, 예를 들어, 검지부 (55) 가, 계측 결과로서의 모든 압력을 나타내는 신호를 즉시 제 2 제어부 (92) 에 대해 계속 출력하는 경우에는, 제 2 제어부 (92) 에 있어서, 계측 결과로서의 압력이 기준압에 도달한 타이밍이, 제 2 타이밍으로서 인식된다. 또, 예를 들어, 검지부 (55) 가, 계측 결과로서 압력이 기준압에 도달한 것에 응답하여 특정한 신호를 제 2 제어부 (92) 에 출력하는 경우에는, 제 2 제어부 (92) 에 있어서, 그 특정한 신호가 수신된 타이밍이, 제 2 타이밍으로서 인식된다. 이로써, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에서는, 제 1 타이밍으로부터 제 2 타이밍에 이를 때까지의 흡인 회수 밸브 (52) 의 실동작 시간 (T1) 이 인식된다. 여기서는, 실동작 시간 (T1) 은, 예를 들어, 제 1 타이밍이 발해진 시각 정보와, 제 2 타이밍이 인식된 시각 정보에 기초하여 산출된다.
또, 여기서, 기준 동작 시간 (T0) 은, 예를 들어, 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 단위 시간당 처리수 (처리 효율이라고도 한다) 의 향상과, 액 흡인 회수 동작의 불량의 억제가 양호한 밸런스로 달성되는 시간이다. 기준 동작 시간 (T0) 은, 예를 들어, 실험 혹은 시뮬레이션의 결과 등에 기초하여 미리 설정될 수 있다. 그 기준 동작 시간 (T0) 을 나타내는 데이터는, 예를 들어, 미리 기억부 (92c) 에 기억된다.
또, 여기서, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53) 에 의한 제 1 영역 (Aa2) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 채용된다. 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도는, 예를 들어, 단위 시간당 제 1 영역 (Aa2) 으로부터 배출되는 제어 가스 (Gs1) 의 양 (가스 배출량이라고도 한다) 으로 나타낸다. 이 경우, 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정으로는, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브의 조임 정도 (개도) 가 채용된다. 유량 제어 밸브가 니들 밸브인 경우에는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 의 제어에 따라 동작하는 스테핑 모터 등의 모터에 의해 니들의 위치가 조정됨으로써, 유량 제어 밸브에 있어서의 조임 정도가 변경된다. 유량 제어 밸브에 있어서의 조임 정도 (개도) 는, 예를 들어, 모터의 위치를 나타내는 펄스수 등에 의해 나타낸다.
여기서, 예를 들어, 다이어프램형의 흡인 회수 밸브 (52) 에서는, 액 흡인 회수 동작시에 있어서의 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 시간 (T) 은, 흡인 회수 밸브 (52) 로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도 (단위 시간당 가스 배출량) 에 비례한다. 이 때문에, 예를 들어, 동작 시간 (T) 은, 흡인 회수 밸브 (52) 에 있어서 처리액 (Lq1) 이 흡인 회수되는 양 (석백량) 이 제 1 영역 (Aa2) 으로부터 배출되는 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도 (단위 시간당 가스 배출량) 로 나눔으로써 사전에 산출될 수 있다. 또, 흡인 회수 밸브 (52) 의 제 1 영역 (Aa2) 으로부터 배출되는 제어 가스 (Gs1) 의 압력이 일정하면, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa2) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도 (단위 시간당 가스 배출량) 와, 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브의 유로의 단면적 (개도) 이 비례 관계를 나타낸다. 이 때문에, 실동작 시간 (T1) 과 목표로 하는 기준 동작 시간 (T0) 의 어긋남량으로부터, 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브에 있어서의 조임 정도 (모터의 위치) 의 보정해야 할 양이 산출될 수 있다. 이 때, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브의 개도의 조정을 스테핑 모터 등으로 실시하는 경우에는, 모터의 펄스수의 제어에 의해, 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브의 개도가 변경될 수 있다. 따라서, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터 제 2 트리거 신호가 출력되는 제 1 타이밍으로부터 특정 상태가 실현되는 제 2 타이밍까지의 시간 (동작 시간) (T) 과, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 비례 또는 반비례의 관계를 나타내는 정보를, 사전에 준비하여 기억부 (92c) 등에 기억해 둘 수 있다. 그리고, 예를 들어, 제어부 (9) 에서는, 비례 또는 반비례의 관계에 있어서의, 실측된 실동작 시간 (T1) 과 기준 동작 시간 (T0) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출될 수 있다.
단, 실제로는, 초기 설정에 있어서 설정된 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도의 어긋남을 보정해야 할 경우에서는, 동작 속도의 어긋남의 요인으로, 흡인 회수 밸브 (52) 의 제 1 영역 (Aa2) 으로부터 배출되는 제어 가스 (Gs1) 의 압력의 변동이 포함되는 경우가 있다. 이 때문에, 예를 들어, 제 1 영역 (Aa2) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도 (단위 시간당 가스 배출량) 와, 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브의 유로의 단면적 (개도) 이 완전히 비례 관계가 되지 않는 경우도 있다.
그래서, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 에 의한 흡인 회수 동작이 실시될 때마다, 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브의 개도가 변경됨으로써, 서서히 기준 동작 시간 (T0) 과 실동작 시간 (T1) 의 어긋남량이 저감되어도 된다. 이 때, 예를 들어, 실동작 시간 (T1) 과 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따른, 유량 제어 밸브에 있어서의 조임 정도의 변경에 대해서는, 예를 들어, 기준 동작 시간 (T0) 보다 실동작 시간 (T1) 이 짧으면, 유량 제어 밸브의 조임 정도를 크게 하고, 기준 동작 시간 (T0) 보다 실동작 시간 (T1) 이 길면, 유량 제어 밸브의 조임 정도를 저감시키는 수법이 채용된다. 즉, 제어부 (9) 에서는, 예를 들어, 기준 동작 시간 (T0) 보다 실동작 시간 (T1) 이 짧으면, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도가 작아지는, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되고, 기준 동작 시간 (T0) 보다 실동작 시간 (T1) 이 길면, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도가 커지는 설정의 변경량이 산출되어도 된다.
또, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터 제 2 트리거 신호가 출력되는 제 1 타이밍으로부터 특정 상태가 실현되는 제 2 타이밍까지의 시간 (동작 시간) (T) 과, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계를 나타내는 정보 (기준 관계 정보라고도 한다) 가, 미리 준비되어도 된다. 기준 관계 정보를 나타내는 데이터는, 예를 들어, 실험 혹은 시뮬레이션에 의해 미리 구해지고, 기억부 (92c) 에 기억된다. 이 경우, 예를 들어, 제어부 (9) 에서는, 기준 관계 정보의 기준의 관계에 있어서의, 실측된 실동작 시간 (T1) 과 기준 동작 시간 (T0) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경되어도 된다. 단, 이 때, 기준의 관계 중, 제 1 영역 (Aa2) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도와 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브의 개도가 어느 정도의 비례 관계를 나타내는 범위에서의 기준의 관계를 사용하여, 설정값 (모터의 위치) 의 보정해야 할 양이 산출되어도 된다.
도 6 은, 제어 대상으로서의 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 시간과 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브의 개도를 변경하는 모터의 위치의 기준 관계의 일례를 나타내는 그래프이다. 도 7 은, 제어 대상으로서의 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 시간과 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브의 개도를 변경하는 모터의 위치의 기준 관계의 일례를 나타내는 테이블이다.
도 6 및 도 7 의 예에서는, 동작 시간 (T) 와 모터의 위치가, 동작 시간 (T) 에 관련된 치역 (値域) (Rcc) 에 있어서, 어느 정도의 비례 관계를 나타낸다. 여기서는, 예를 들어, 기준 동작 시간 (T0) 이 1 초간으로 설정되고, 치역 (Rcc) 이 0.4 초간 내지 1.6 초간의 범위로 설정된다. 여기서, 예를 들어, 실측된 실동작 시간 (T1) 이 0.5 초간이면, 실동작 시간 (T1) 이 지나치게 짧아, 액 흡인 회수 동작의 속도가 지나치게 빠르다. 이 때문에, 예를 들어, 기준 동작 시간 (T0) 으로서의 1 초간에 대응하는 모터의 위치 (1002 펄스) 와, 실측된 실동작 시간 (T1) 으로서의 0.5 초간에 대응하는 모터의 위치 (1999 펄스) 의 차분 (-997 = 1002 - 1999) 이, 보정해야 할 개도에 대응하는 모터의 위치의 변경량으로서 산출될 수 있다. 이 때, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브의 개도를 변경하는 모터의 위치가, 997 펄스 감소하도록 변경된다. 이로써, 예를 들어, 다음번의 흡인 회수 밸브 (52) 에 의한 액 흡인 회수 동작에 관련된 실동작 시간 (T1) 이, 기준 동작 시간 (T0) 에 가까워질 수 있다.
이와 같이 하여, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 에 대한 동작 시간 (T) 과 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계와, 실측된 흡인 회수 밸브 (52) 의 실동작 시간 (T1) 에 기초하여, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경되면, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 토출에 있어서의 문제의 발생이 용이하고 또한 간단하게 억제된다.
<1-3. 처리 유닛의 제어 플로우>
도 8 은, 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 처리 유닛 (100) 의 제어 플로우의 일례를 나타내는 흐름도이다. 여기서는, 예를 들어, 제어부 (9) 에 있어서 프로그램 (Pg1, Pg2) 가 실행됨으로써 제어 플로우가 실현된다.
먼저, 도 8 의 스텝 Sp1 에서는, 인덱서 로봇 (IR) 및 센터 로봇 (CR) 에 의해, 기판 (W) 이 처리실 (2) 내에 반입된다. 구체적으로는, 기판 (W) 은, 1 주면을 상방을 향한 상태로 유지부 (3) 에 수수된다. 이 때, 기판 (W) 은, 예를 들어, 유지부 (3) 의 상면 (3uf) 상에 유지된다.
다음으로, 스텝 Sp2 에서는, 회전 기구 (4) 에 의해, 기판 (W) 을 수평으로 유지하고 있는 유지부 (3) 를 회전시키기 시작한다. 이로써, 예를 들어, 유지부 (3) 상에 유지되어 있는 기판 (W) 이, 회전축 (Ax1) 을 중심으로 하여 회전하기 시작한다.
다음으로, 스텝 Sp3 에서는, 제 1 제어부 (91) 에 의해, 제 1 트리거 신호가 출력된다. 이 때, 제 1 트리거 신호는, 예를 들어, 발동부 (53) 의 전자 밸브 (53a) 와 제 2 제어부 (92) 로 출력된다.
다음으로, 스텝 Sp4 에서는, 발동부 (53) 에 의해, 제 1 트리거 신호의 입력에 응답하여, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 개방 동작이 개시된다. 이 때, 예를 들어, 전자 밸브 (53a) 가 가스 공급 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에 제어 가스 (Gs1) 가 도입되기 시작함으로써, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 개방 동작이 개시된다. 이로써, 액 공급부 (7) 로부터 노즐 (Nz1) 로 처리액 (Lq1) 이 송급되기 시작함으로써, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 의 상면 (Us1) 상에 처리액 (Lq1) 이 공급되기 시작한다. 또, 이 때, 흡인 회수 밸브 (52) 의 구동 기구 (DR2) 의 제 1 영역 (Aa2) 에도 제어 가스 (Gs1) 가 도입되기 시작함으로써, 흡인 회수 밸브 (52) 에 의한 액 압출 동작이 개시된다.
다음으로, 스텝 Sp5 에서는, 제 1 제어부 (91) 에 의해, 제 2 트리거 신호가 출력된다. 이 때, 제 2 트리거 신호는, 예를 들어, 발동부 (53) 의 전자 밸브 (53a) 와 제 2 제어부 (92) 로 출력된다. 그 후, 스텝 Sp6 및 스텝 Sp10 로 진행되고, 스텝 Sp6 내지 스텝 Sp9 의 처리와, 스텝 Sp10 내지 스텝 Sp13 의 처리가 병행하여 실행된다.
스텝 Sp6 에서는, 스텝 Sp5 에 있어서의 제 2 트리거 신호의 출력에 응답하여, 발동부 (53) 에 의해, 토출 밸브 (51) 에 의한 폐쇄 동작이 개시된다. 여기서는, 예를 들어, 전자 밸브 (53a) 가 가스 배출 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출되기 시작함으로써, 칸막이부 (Pd2) 가 동작하기 시작한다. 이 때, 연결부 (Vh1) 를 개재하여 밸브체부 (Dp1) 가 동작되기 시작한다. 이로써, 토출 밸브 (51) 에 의한 폐쇄 동작이 개시된다. 요컨대, 액 공급부 (7) 로부터 노즐 (Nz1) 에의 처리액 (Lq1) 의 송급이 정지되기 시작한다. 그 후, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 의 상면 (Us1) 상을 향한 처리액 (Lq1) 의 공급이 정지된다.
스텝 Sp7 에서는, 스텝 Sp5 에 있어서의 제 2 트리거 신호의 출력에 응답하여, 발동부 (53) 에 의해, 흡인 회수 밸브 (52) 가 동작됨으로써, 액 흡인 회수 동작이 개시된다. 요컨대, 배관부 (P1) 및 노즐 (Nz1) 에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재 상태가 변화되기 시작한다. 여기서는, 예를 들어, 전자 밸브 (53a) 가 가스 배출 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52) 의 구동 기구 (DR2) 의 제 1 영역 (Aa2) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출되기 시작함으로써, 칸막이부 (Pd2) 가 동작하기 시작한다. 이 때, 예를 들어, 칸막이부 (Pd2) 와 밸브체부 (Dp2) 가 연결부 (Vh2) 에 의해 연결되어 있기 때문에, 영역 (AS2) 의 용적이 확대되도록 밸브체부 (Dp2) 가 동작되기 시작한다. 이로써, 흡인 회수 밸브 (52) 에 의한 액 흡인 회수 동작이 개시된다.
스텝 Sp8 에서는, 회전 기구 (4) 에 의해, 기판 (W) 을 수평으로 유지하고 있는 유지부 (3) 의 회전이 정지된다.
스텝 Sp9 에서는, 인덱서 로봇 (IR) 및 센터 로봇 (CR) 에 의해, 기판 (W) 이 처리실 (2) 로부터 반출된다.
스텝 Sp10 에서는, 검지부 (55) 에 의해, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작에 관련된 특정 상태가 검지된다. 여기서는, 특정 상태로서 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 의 구동 기구 (DR2) 의 제 1 영역 (Aa2) 에 있어서의 제어 가스 (Gs1) 의 압력이 기준압에 도달한 상태 (기준압 도달 상태라고도 한다) 가 검지된다. 이 때, 예를 들어, 검지부 (55) 에 의한 검지 결과가 제 2 제어부 (92) 에 출력된다.
스텝 Sp11 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Sp5 에 있어서 제 2 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 Sp10 에 있어서 특정 상태 (예를 들어, 기준압 도달 상태) 가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1) 이 인식된다.
스텝 Sp12 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Sp11 에서 인식된 실동작 시간 (T1) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출된다. 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53) 에 의한 제 1 영역 (Aa2) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도에 관련된 설정이 채용된다.
스텝 Sp13 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Sp12 에서 산출된 변경량에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경된다. 이 때, 예를 들어, 발동부 (53) 에 의한 제 1 영역 (Aa2) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 변경된다.
요컨대, 스텝 Sp11 내지 스텝 Sp13 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Sp5 에 있어서 제 2 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 Sp10 에 있어서 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경된다. 여기서는, 예를 들어, 제 2 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 Sp10 에서 기준압 도달 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1) 과, 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 발동부 (53) 에 의한 제 1 영역 (Aa2) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 변경된다. 여기서, 제 1 영역 (Aa2) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정으로서 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53b) 의 유량 제어 밸브의 개도 혹은 그 개도에 대응하는 니들 밸브의 위치 설정이 채용된다.
또, 스텝 Sp11 내지 스텝 Sp13 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 트리거 신호가 출력되는 제 1 타이밍으로부터 특정 상태가 실현되는 제 2 타이밍까지의 시간 (동작 시간) (T) 과, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계를 나타내는 정보 (기준 관계 정보라고도 한다) 에 있어서의, 실측된 실동작 시간 (T1) 과 기준 동작 시간 (T0) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정에 대해, 변경량이 산출되고, 그 변경량에 따른 변경이 이루어져도 된다. 또한, 제 2 제어부 (92) 에서는, 예를 들어, 동작 시간 (T) 과, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이의 비례 또는 반비례의 관계에 있어서의, 실동작 시간 (T1) 과 기준 동작 시간 (T0) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되어도 된다. 또, 제 2 제어부 (92) 에서는, 예를 들어, 기준 동작 시간 (T0) 보다 실동작 시간 (T1) 이 짧으면, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도가 작아지는, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되고, 기준 동작 시간 (T0) 보다 실동작 시간 (T1) 이 길면, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도가 커지는 설정의 변경량이 산출되어도 된다.
이와 같이 하여, 1 장의 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 을 사용한 처리가 완료됨과 함께, 다음번의 흡인 회수 밸브 (52) 에 의한 액 흡인 회수 동작에 관련된 실동작 시간 (T1) 이, 기준 동작 시간 (T0) 에 가까워질 수 있다. 또한, 실동작 시간 (T1) 이 기준 동작 시간 (T0) 에 가까워지는 처리는, 예를 들어, 복수장의 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 을 사용한 처리가 완료될 때마다 실시되어도 되고, 특정한 시간마다 실시되어도 되고, 사용자의 지정에 따라 실시되어도 되고, 랜덤인 타이밍에 실시되어도 되고, 실동작 시간 (T1) 과 기준 동작 시간 (T0) 의 차가 미리 설정된 허용 범위로부터 벗어났을 경우에 실시되어도 된다.
<1-4. 제 1 실시형태의 정리>
이상과 같이, 제 1 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 에서는, 예를 들어, 노즐 (Nz1) 에 연결되어 있는 배관부 (P1) 의 도중에 형성된 흡인 회수 밸브 (52) 를 동작시키는 제 2 트리거 신호가 제어부 (9) 에 의해 출력된 제 1 타이밍으로부터, 배관부 (P1) 내에 있어서의 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작에 관련된 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 흡인 회수 밸브 (52) 의 실동작 시간 (T1) 과, 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경된다. 이로써, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐 (Nz1) 의 선단에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 흡인 회수량을 감시하는 카메라 시스템 등이 없어도, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 토출에 있어서의 문제의 발생이 비교적 간이한 구성으로 억제된다. 구체적으로는, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 드리핑의 발생이 비교적 간이한 구성으로 억제된다.
<2. 다른 실시형태>
본 발명은 상기 서술한 제 1 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변경, 개량 등이 가능하다.
<2-1. 제 2 실시형태>
상기 제 1 실시형태에 있어서, 예를 들어, 실동작 시간 (T1) 이 개시하는 제 1 타이밍으로서, 토출 밸브 (51) 의 동작에 관련된 제 1 특정 상태가 검지된 타이밍이 채용되어도 된다.
도 9 는, 제 2 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 9 에서 나타내는 바와 같이, 제 2 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 으로는, 예를 들어, 상기 제 1 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 이 베이스가 되고, 처리액 공급계 (5) 가, 처리액 공급계 (5A) 로 치환된 것이 채용된다. 여기서, 처리액 공급계 (5A) 로는, 예를 들어, 상기 제 1 실시형태에 관련된 처리액 공급계 (5) 가 베이스가 되고, 제 1 검지부 (56A) 가 추가됨과 함께, 검지부 (55) 가, 그 검지부 (55) 와 동일한 기능을 갖는 제 2 검지부 (55A) 로 치환된 것이 채용된다.
제 1 검지부 (56A) 는, 토출 밸브 (51) 의 동작에 관련된 제 1 특정 상태를 검지할 수 있다. 제 1 특정 상태로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 완전히 폐쇄되어 있는 상태, 혹은 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 어느 정도 폐쇄되어 있는 상태가 채용된다. 여기서, 제 1 검지부 (56A) 는, 예를 들어, 제 1 특정 상태의 검지에 응답하여, 특정한 신호 (폐 (閉) 신호라고도 한다) 를 제 2 제어부 (92) 에 출력해도 된다.
도 10 은, 제 1 검지부 (56A) 의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 제 1 검지부 (56A) 로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 적용되는 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 를 형성하는 액 통과공 (Lh1) 의 개방 정도 (개도) 를 검지 가능한 센서가 채용된다. 도 10 의 예에서는, 제 1 검지부 (56A) 로서, 발광부 (Em1) 와, 수광부 (Dt1) 를 갖는 파이버 센서 등이 채용되어 있다. 그 파이버 센서에서는, 그 발광부 (Em1) 로부터 출사되는 광을 수광부 (Dt1) 가 검지하는 것이 가능하다. 또, 여기서는, 예를 들어, 칸막이부 (Pd1) 의 상면측에 수직 형성된 핀 (Pn1) 이, 용기부 (Bx1) 를 관통하는 삽통공 (Hh1A) 에 삽입 통과되어 있다. 그 핀 (Pn1) 은, 예를 들어, 칸막이부 (Pd1) 의 용기부 (Bx1) 의 내벽부에 대한 슬라이딩에 따라, 그 핀 (Pn1) 중 용기부 (Bx1) 로부터 외부로 돌출되어 있는 부분의 길이를 변화시킨다.
이 경우, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 가 개방 동작을 실시할 때에는, 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에 제어 가스 (Gs1) 가 공급되고, 칸막이부 (Pd1) 가, 탄성체 (Eb1) 의 탄성력에 대항하여 용기부 (Bx1) 의 내벽부에 대해 슬라이딩한다. 이 때, 예를 들어, 핀 (Pn1) 의 일부가, 발광부 (Em1) 와, 수광부 (Dt1) 사이의 영역에 침입한다. 이로써, 예를 들어, 제 1 검지부 (56A) 에 의해, 토출 밸브 (51) 가 액 공급 경로 (PA1) 를 개방하고 있는 상태 (개방 상태라고도 한다) 가 검지된다. 또, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 가 폐쇄 동작을 실시할 때에는, 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출되고, 칸막이부 (Pd1) 가, 탄성체 (Eb1) 의 탄성력에 의해 용기부 (Bx1) 의 내벽부에 대해 슬라이딩한다. 이 때, 예를 들어, 핀 (Pn1) 의 일부가, 발광부 (Em1) 와, 수광부 (Dt1) 사이의 영역으로부터 퇴피한다. 이로써, 예를 들어, 제 1 검지부 (56A) 에 의해, 토출 밸브 (51) 가 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하고 있는 상태 (폐쇄 상태라고도 한다) 가 검지된다. 여기서는, 토출 밸브 (51) 의 개방 상태는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 가, 액 공급 경로 (PA1) 를 완전히 개방하고 있는 상태가 아니라, 액 공급 경로 (PA1) 를 어느 정도 개방하고 있는 상태이어도 된다. 또, 여기서는, 토출 밸브 (51) 의 폐쇄 상태는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 가, 액 공급 경로 (PA1) 를 완전히 폐쇄하고 있는 상태가 아니라, 액 공급 경로 (PA1) 를 어느 정도 폐쇄하고 있는 상태이어도 된다.
또, 예를 들어, 제어부 (9) 는, 제 1 검지부 (56A) 가 제 1 특정 상태를 검지한 제 1 타이밍으로부터 제 2 검지부 (55A) 가 제 2 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 시간을, 실동작 시간 (T1) 으로서 인식해도 된다. 이 때, 예를 들어, 실동작 시간 (T1) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경되어도 된다. 제 2 특정 상태로는, 예를 들어, 상기 제 1 실시형태에 있어서, 검지부 (55) 에 의해 검지되는 특정 상태와 동일한 상태가 채용된다. 보다 구체적으로는, 제 2 특정 상태로서 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 의 제 1 영역 (Aa2) 의 제어 가스 (Gs1) 의 기압이 기준압에 도달한 상태 (기준압 도달 상태라고도 한다) 가 포함된다. 또, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 제 1 영역 (Aa2) 로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 채용된다. 이로써, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 드리핑의 발생이 비교적 간이한 구성으로 억제된다.
상기 구성이 채용되는 경우에도, 예를 들어, 상기 제 1 실시형태와 동일하게, 예를 들어, 제 1 특정 상태가 실현되는 제 1 타이밍으로부터 제 2 특정 상태가 실현되는 제 2 타이밍까지의 시간과, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계를 나타내는 정보 (기준 관계 정보) 가 미리 준비되어도 된다. 기준 관계 정보를 나타내는 데이터는, 예를 들어, 기억부 (92c) 에 기억된다. 이 경우, 예를 들어, 제어부 (9) 에서는, 기준 관계 정보의 기준의 관계에 있어서의, 실측된 실동작 시간 (T1) 과 기준 동작 시간 (T0) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정에 대해, 변경량이 산출되고, 그 변경량에 따른 변경이 이루어져도 된다. 이로써, 예를 들어, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 토출에 있어서의 문제의 발생이 용이하고 또한 간단하게 억제된다. 또한, 제어부 (9) 에서는, 예를 들어, 제 1 특정 상태가 실현되는 제 1 타이밍으로부터 제 2 특정 상태가 실현되는 제 2 타이밍까지의 시간과, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이의 비례 또는 반비례의 관계에 있어서의, 실동작 시간 (T1) 과 기준 동작 시간 (T0) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되어도 된다. 또, 제어부 (9) 에서는, 예를 들어, 기준 동작 시간 (T0) 보다 실동작 시간 (T1) 이 짧으면, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도가 작아지는, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되고, 기준 동작 시간 (T0) 보다 실동작 시간 (T1) 이 길면, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도가 커지는, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되어도 된다.
도 11 은, 제 2 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 처리 유닛 (100) 의 제어 플로우의 일례를 나타내는 흐름도이다.
본 제어 플로우는, 도 8 에서 나타낸 제어 플로우 중, 스텝 Sp7 와 스텝 Sp8 사이에 스텝 Sp7A 가 삽입되고, 스텝 Sp11 이 스텝 Sp11A 로 치환된 것이다. 여기서, 스텝 Sp7A 에서는, 예를 들어, 제 1 검지부 (56A) 에 의해, 토출 밸브 (51) 의 동작에 관련된 제 1 특정 상태가 검지된다. 이 때, 예를 들어, 제 1 검지부 (56A) 에서는, 특정한 신호로서의 폐신호가 제 2 제어부 (92) 에 대해 출력된다. 이로써, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 있어서 제 1 타이밍이 인식된다. 또, 예를 들어, 스텝 Sp11A 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Sp7A 에 있어서 제 1 검지부 (56A) 가 제 1 특정 상태를 검지한 제 1 타이밍으로부터 스텝 Sp10 에 있어서 제 2 검지부 (55A) 가 제 2 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1) 이 인식된다.
상기 서술한 제 2 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 에서는, 예를 들어, 노즐 (Nz1) 에 연결되어 있는 배관부 (P1) 의 도중에 형성된 처리액 (Lq1) 의 액 공급 경로 (PA1) 를 개폐하는 토출 밸브 (51) 의 개도에 관련된 제 1 특정 상태가 검지된 제 1 타이밍으로부터, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작에 관련된 제 2 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 흡인 회수 밸브 (52) 의 실동작 시간 (T1) 과, 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경된다. 이로써, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐 (Nz1) 의 선단에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 흡인 회수량을 감시하는 카메라 시스템 등이 없어도, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 토출에 있어서의 문제의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 드리핑의 발생이 비교적 간이한 구성으로 억제된다.
또한, 제 2 실시형태에서는, 예를 들어, 제 1 검지부 (56A) 에서 검지되는 제 1 특정 상태로는, 배관부 (P1) 내에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 유속에 관련된 상태이어도 된다. 보다 구체적으로는, 제 1 특정 상태로는, 예를 들어, 배관부 (P1) 중 토출 밸브 (51) 와 노즐 (Nz1) 사이에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 유속에 관련된 상태가 채용되어도 된다. 예를 들어, 제 1 검지부 (56A) 로서, 제 2 배관 부분 (P1b) 에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 유속이 특정한 유속에 도달한 것을 검지 가능한 유량계가 채용되어도 된다.
<2-2. 제 3 실시형태>
상기 각 실시형태에 있어서, 예를 들어, 액 흡인 회수 동작으로서, 다이어프램 방식의 석백 대신에, 사이펀 방식의 석백 또는 콘범 방식의 석백이 채용되어도 된다. 사이펀 방식의 석백 및 콘범 방식의 석백은, 노즐 (Nz1) 로부터 토출되는 처리액 (Lq1) 을 교환할 때, 배관부 (P1) 중 토출 밸브 (51) 로부터 노즐 (Nz1) 에 이를 때까지의 부분에 존재하고 있는 처리액 (Lq1) 을 흡인 회수하여 배출하는 액 흡인 회수 동작이다.
도 12 는, 제 3 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 12 에서 나타내는 바와 같이, 제 3 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 으로는, 예를 들어, 제 1 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 이 베이스가 되고, 처리액 공급계 (5) 가, 처리액 공급계 (5B) 로 치환된 것이 채용된다.
처리액 공급계 (5B) 로는, 예를 들어, 상기 제 1 실시형태에 관련된 처리액 공급계 (5) 가 베이스가 되고, 주로, 처리액용의 배관부 (P1) 가 배관부 (P1B) 로 변경되고, 가스용의 배관부 (P2) 가 배관부 (P2B) 로 변경되고, 흡인 회수 밸브 (52) 가 흡인 회수 밸브 (52B) 로 치환되고, 발동부 (53) 가 발동부 (53B) 로 변경되고, 검지부 (55) 가 검지부 (55B) 로 치환된 것이 채용된다.
처리액용의 배관부 (P1B) 로는, 예를 들어, 상기 제 1 실시형태에 관련된 처리액용의 배관부 (P1) 가 베이스가 되고, 토출 밸브 (51) 와 노즐 (Nz1) 사이의 특정 부분 (분기 부분이라고도 한다) (Pb1) 으로부터 분기한 배관 부분 (분기 배관 부분이라고도 한다) (P1d) 이 추가된 것이 채용된다. 도 12 의 예에서는, 분기 부분 (Pb1) 은, 제 2 배관 부분 (P1b) 과 제 3 배관 부분 (P1c) 이 접속되는 부분에 위치하고 있다. 또, 분기 배관 부분 (P1d) 에는, 예를 들어, 분기 부분 (Pb1) 과 흡인 회수 밸브 (52B) 를 연결하는 제 1 분기 배관 부분 (P1d1) 과, 흡인 회수 밸브 (52B) 와 처리 유닛 (100) 의 외부에 위치하는 배액부를 연결하는 제 2 분기 배관 부분 (P1d2) 이 포함된다. 배액부에는, 예를 들어, 처리액 (Lq1) 을 저류하는 조 또는 탱크가 형성되어 있으면 된다. 또한, 예를 들어, 콘범 방식의 석백이 실시되는 구성이면, 배액부에는, 예를 들어, 압축 공기를 이용하여 부압을 발생시켜, 강제적으로 처리액 (Lq1) 을 흡인하기 위한 진공 이젝터 등이 형성된다.
가스용의 배관부 (P2B) 로는, 예를 들어, 상기 제 1 실시형태에 관련된 가스용의 배관부 (P2) 가 베이스가 되고, 제 3 배관 부분 (P2c) 이, 제 3 배관 부분 (P2cB) 으로 변경되고, 제 6 배관 부분 (P2f) 및 제 7 배관 부분 (P2g) 이 추가된 것이 채용된다.
흡인 회수 밸브 (52B) 는, 분기 배관 부분 (P1d) 의 도중 부분에 형성되어 있다. 분기 배관 부분 (P1d) 은, 예를 들어, 노즐 (Nz1), 및 배관부 (P1) 중의 노즐 (Nz1) 로부터 토출 밸브 (51) 에 걸친 영역에 존재하고 있는 처리액 (Lq1) 을 흡인하여 회수하는 경로 (액 흡인 회수 경로라고도 한다) (PB1) 를 형성한다. 흡인 회수 밸브 (52B) 는, 분기 배관 부분 (P1d) 의 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개폐할 수 있다. 도 12 의 예에서는, 흡인 회수 밸브 (52B) 로는, 도 3 에서 나타낸 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 가 채용되어 있다. 이 경우, 흡인 회수 밸브 (52B) 에서는, 제 1 개구부 (Pi1) 에 제 1 분기 배관 부분 (P1d1) 이 접속되고, 제 2 개구부 (Po1) 에 제 2 분기 배관 부분 (P1d2) 이 접속되고, 가스 통과공 (Gh1) 에 가스용의 제 4 배관 부분 (P2d) 이 접속되어 있다.
발동부 (53B) 로는, 예를 들어, 상기 제 1 실시형태에 관련된 발동부 (53) 가 베이스가 되고, 상기 제 1 실시형태에 관련된 스피드 컨트롤러 (53b) 가, 스피드 컨트롤러 (53bB) 로 치환되고, 전자 밸브 (53c) 가 추가된 것이 채용된다. 스피드 컨트롤러 (53bB) 는, 예를 들어, 유량 제어 밸브의 조임 정도 (개도) 에 의해, 전자 밸브 (53a) 로부터 흡인 회수 밸브 (52B) 를 향한 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도의 제어 (미터인 제어라고도 한다) 를 실시할 수 있다. 스피드 컨트롤러 (53bB) 에서는, 유량 제어 밸브의 개도는, 예를 들어, 제어부 (9) (도 12 의 예에서는 제 2 제어부 (92)) 로부터의 신호에 따라 조정될 수 있다. 전자 밸브 (53c) 에는, 예를 들어, 제 6 배관 부분 (P2f) 이 접속되어 있고, 기체 공급부 (6) 로부터 전자 밸브 (53c) 로 제어 가스 (Gs1) 가 공급된다. 또, 전자 밸브 (53c) 에는, 외부 공간에 대한 제어 가스 (Gs1) 의 배출 (배기) 을 실시하기 위한 제 7 배관 부분 (P2g) 이 접속되어 있다. 또한 전자 밸브 (53c) 와, 토출 밸브 (51) 가, 제 3 배관 부분 (P2cB) 에 의해 연결되어 있다. 구체적으로는, 제 3 배관 부분 (P2cB) 은, 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 의 가스 통과공 (Gh1) 에 접속되어 있다.
여기서, 예를 들어, 전자 밸브 (53a) 는, 제어부 (9) 로부터의 제 1 트리거 신호에 응답하여, 가스 공급 상태가 되고, 기체 공급부 (6) 로부터 제 1 배관 부분 (P2a) 을 개재하여 공급되는 제어 가스 (Gs1) 를, 스피드 컨트롤러 (53bB) 및 제 4 배관 부분 (P2d) 을 개재하여, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에 공급할 수 있다. 또, 전자 밸브 (53a) 는, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터의 제 2 트리거 신호에 응답하여, 가스 배출 상태가 되고, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터, 제 4 배관 부분 (P2d), 스피드 컨트롤러 (53bB) 및 제 5 배관 부분 (P2e) 을 개재하여, 제어 가스 (Gs1) 를 외부 공간에 배출할 수 있다. 이 때문에, 발동부 (53B) 는, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급, 및 흡인 회수 밸브 (52B) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출에 의해, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 구동 기구 (DR1) 에 있어서, 칸막이부 (Pd1) 를 동작시키고, 연결부 (Vh1) 를 개재하여 밸브체부 (Vb1) 를 동작시킬 수 있다. 이로써, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 의해, 분기 배관 부분 (P1d) 의 액 흡인 회수 경로 (PB1) 가 개폐될 수 있다.
또, 전자 밸브 (53c) 는, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터의 제 1 트리거 신호에 응답하여, 기체 공급부 (6) 로부터 제 6 배관 부분 (P2f) 을 개재하여 공급되는 제어 가스 (Gs1) 를 통과시키는 상태 (가스 공급 상태) 와, 제 7 배관 부분 (P2g) 을 향하여 제어 가스 (Gs1) 를 배출하는 상태 (가스 배출 상태) 사이에서 상태가 전환된다. 여기서, 전자 밸브 (53c) 는, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터의 제 1 트리거 신호에 응답하여, 가스 공급 상태가 됨으로써, 기체 공급부 (6) 로부터 제 6 배관 부분 (P2f) 을 개재하여 공급되는 제어 가스 (Gs1) 를, 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에 공급할 수 있다. 또, 전자 밸브 (53c) 는, 예를 들어, 제어부 (9) 로부터의 제 2 트리거 신호에 응답하여, 가스 배출 상태가 됨으로써, 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터, 제 3 배관 부분 (P2cB) 및 제 7 배관 부분 (P2g) 을 개재하여, 제어 가스 (Gs1) 를 외부 공간에 배출할 수 있다.
검지부 (55B) 는, 예를 들어, 상기 제 2 실시형태에 관련된 제 1 검지부 (56A) 와 동일한 구성을 가지고 있고, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 동작에 관련된 특정 상태를 검지할 수 있다. 특정 상태로는, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 의해 액 흡인 회수 경로 (PB1) 가 완전히 개방되어 있는 상태, 혹은 흡인 회수 밸브 (52B) 에 의해 액 흡인 회수 경로 (PB1) 가 어느 정도 개방되어 있는 상태 등의 액 흡인 회수 경로 (PB1) 의 특정한 개방 정도 (개도) 에 관련된 상태 (특정 개도 상태라고도 한다) 가 채용된다. 여기서, 검지부 (55B) 는, 예를 들어, 특정 상태의 검지에 응답하여, 특정한 신호 (폐신호라고도 한다) 를 제 2 제어부 (92) 에 출력해도 된다.
상기 구성을 갖는 처리 유닛 (100) 에서는, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 각종 트리거 신호를 출력함으로써, 발동부 (53B) 에 의해 토출 밸브 (51) 및 흡인 회수 밸브 (52B) 를 동작시킬 수 있다. 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53a) 에 제 1 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53a) 가 가스 배출 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 있어서의 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 폐쇄하는 동작 (폐쇄 동작이라고도 한다) 이 실시된다. 이 때, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53a) 와 함께 전자 밸브 (53c) 에도 제 1 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53c) 가 가스 공급 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 동작이 실시된다. 이 때, 예를 들어, 제 1 트리거 신호는, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 제어부 (92) 에도 출력되어도 된다. 또, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53a) 로 제 2 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53a) 가 가스 공급 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 있어서의 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개방하는 동작 (개방 동작이라고도 한다) 이 개시된다. 이 때, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53c) 에도 제 2 트리거 신호가 출력됨으로써, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 의 폐쇄 동작이 실시된다. 이 때, 예를 들어, 제 2 트리거 신호는, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53a, 53c) 와 함께 제 2 제어부 (92) 에도 출력된다. 여기서는, 예를 들어, 제어부 (9) 에 의해, 제 2 트리거 신호가 출력됨으로써, 발동부 (53B) 에 의해 흡인 회수 밸브 (52B) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급이 개시된다.
또, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 제 2 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터, 검지부 (55B) 가 특정 상태로서의, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 있어서의 액 흡인 회수 경로 (PB1) 의 특정한 개방 정도 (개도) 를 검지한 제 2 타이밍까지의 흡인 회수 밸브 (52B) 의 실동작 시간 (T1) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 발동부 (53B) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52B) 의 동작 속도에 관련된 설정을 변경할 수 있다.
여기서, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 동작 속도로는, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 의해 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개방하는 속도 (개방 속도라고도 한다) 가 채용된다. 또, 발동부 (53B) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52B) 의 개방 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53B) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52B) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정이 채용된다. 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도는, 예를 들어, 단위 시간당 제 1 영역 (Aa2) 에 공급되는 제어 가스 (Gs1) 의 양 (가스 공급량이라고도 한다) 으로 나타낸다. 이 경우, 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정으로는, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53bB) 의 유량 제어 밸브의 조임 정도 (개도) 가 채용된다. 유량 제어 밸브가 니들 밸브인 경우에는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 의 제어에 따라 동작하는 스테핑 모터 등의 모터에 의해 니들의 위치가 조정됨으로써, 유량 제어 밸브에 있어서의 조임 정도가 변경된다. 유량 제어 밸브에 있어서의 조임 정도 (개도) 는, 예를 들어, 모터의 위치를 나타내는 펄스수 등에 의해 나타낸다.
상기 구성을 갖는 제 3 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 처리 유닛 (100) 의 제어 플로우는, 도 8 에서 나타낸 상기 제 1 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 처리 유닛 (100) 의 제어 플로우와 동일한 것이 된다.
단, 스텝 Sp3 에서는, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 에 의해 출력되는 제 1 트리거 신호는, 예를 들어, 발동부 (53) 의 전자 밸브 (53a, 53c) 및 제 2 제어부 (92) 에 대해 출력된다.
또, 스텝 Sp4 에서는, 예를 들어, 발동부 (53B) 에 의해, 제 1 트리거 신호의 입력에 응답하여, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 개방 동작이 개시된다. 이 때, 예를 들어, 전자 밸브 (53c) 가 가스 공급 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에 제어 가스 (Gs1) 가 도입되기 시작함으로써, 토출 밸브 (51) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 동작이 개시된다. 이로써, 액 공급부 (7) 로부터 노즐 (Nz1) 로 처리액 (Lq1) 이 송급되기 시작함으로써, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 의 상면 (Us1) 상에, 처리액 (Lq1) 이 공급되기 시작한다. 또, 이 때, 예를 들어, 전자 밸브 (53a) 가 가스 배출 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출됨으로써, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 의 폐쇄 동작이 실시된다. 이로써, 액 흡인 회수 동작이 실시되지 않는 상태로 설정된다.
또, 스텝 Sp5 에서는, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 에 의해, 제 2 트리거 신호가 출력된다. 이 때, 예를 들어, 발동부 (53) 의 전자 밸브 (53a, 53c) 및 제 2 제어부 (92) 에 대해 제 2 트리거 신호가 출력된다.
또, 스텝 Sp6 에서는, 예를 들어, 스텝 Sp5 에서 출력된 제 2 트리거 신호의 입력에 응답하여, 발동부 (53B) 에 의해, 토출 밸브 (51) 에 의한 폐쇄 동작이 개시된다. 여기서는, 예를 들어, 전자 밸브 (53c) 가 가스 배출 상태가 되고, 토출 밸브 (51) 에 있어서, 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출되기 시작하고, 칸막이부 (Pd1) 가 동작하기 시작함으로써, 연결부 (Vh1) 를 개재하여 밸브체부 (Dp1) 가 동작되기 시작한다. 이로써, 토출 밸브 (51) 에 의한 폐쇄 동작이 개시된다.
또, 스텝 Sp7 에서는, 예를 들어, 스텝 Sp5 에서 출력된 제 2 트리거 신호의 입력에 응답하여, 발동부 (53B) 에 의해, 흡인 회수 밸브 (52) 에, 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개방시키기 시작함으로써, 액 흡인 회수 동작이 개시된다. 요컨대, 배관부 (P1) 및 노즐 (Nz1) 에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재 상태가 변화되기 시작한다. 여기서는, 예를 들어, 전자 밸브 (53a) 가 가스 공급 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에 제어 가스 (Gs1) 가 공급되어, 칸막이부 (Pd1) 가 동작하기 시작한다. 이 때, 연결부 (Vh1) 를 개재하여 밸브체부 (Vb1) 가 동작되기 시작한다. 이로써, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 의한 액 흡인 회수 동작이 개시된다.
또, 스텝 Sp10 에서는, 예를 들어, 검지부 (55B) 에 의해, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 동작에 관련된 특정 상태가 검지된다. 여기서는, 그 특정 상태로서, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 의해 액 흡인 회수 경로 (PB1) 가 완전히 개방되어 있는 상태, 혹은 흡인 회수 밸브 (52B) 에 의해 액 흡인 회수 경로 (PB1) 가 어느 정도 개방되어 있는 상태 등의 액 흡인 회수 경로 (PB1) 의 특정한 개방 정도 (개도) 에 관련된 특정 개도 상태가 검지된다. 이 때, 예를 들어, 검지부 (55B) 에 있어서의 검지 결과를 나타내는 특정한 신호 (폐신호) 가 제 2 제어부 (92) 에 출력된다.
또, 스텝 Sp12 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Sp11 에서 인식된 실동작 시간 (T1) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 발동부 (53) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52B) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출된다.
또, 스텝 Sp13 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Sp12 에서 산출된 변경량에 따라, 발동부 (53B) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52B) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정이 변경된다.
요컨대, 스텝 Sp11 내지 스텝 Sp13 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Sp5 에 있어서 제 2 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 Sp10 에 있어서 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 발동부 (53B) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52B) 의 개방 속도에 관련된 설정이 변경된다. 여기서는, 예를 들어, 제 2 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 Sp10 에서 특정한 개도가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1) 과, 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 발동부 (53B) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52B) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정이 변경된다. 여기서, 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정으로서 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53bB) 의 유량 제어 밸브의 개도 혹은 그 개도에 대응하는 니들 밸브의 위치 설정이 채용된다.
이와 같이 하여, 1 장의 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 을 사용한 처리가 완료됨과 함께, 다음번 이후의 흡인 회수 밸브 (52B) 에 의한 액 흡인 회수 동작에 관련된 실동작 시간 (T1) 이, 기준 동작 시간 (T0) 에 가까워질 수 있다.
또한, 여기서, 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 로서 예를 들어, 제어 가스 (Gs1) 가 배출되어 있는 표준 상태에 있어서 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개방하는 타입 (노멀 개형 (開型) 이라고도 한다) 의 에어 오퍼레이트 밸브가 채용되어도 된다. 이 경우에는, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53bB) 가, 미터아웃 제어를 실시하는 상기 제 1 실시형태에 관련된 스피드 컨트롤러 (53b) 로 치환되면 된다. 그리고, 이 경우, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 동작 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53B) 에 있어서의 흡인 회수 밸브 (52B) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 채용되면 된다.
<2-3. 제 4 실시형태>
상기 제 3 실시형태에 있어서, 예를 들어, 도 13 에서 나타내는 바와 같이, 검지부 (55B) 가, 배관부 (P1B) 내에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재 또는 유속에 관련된 특정 상태를 검지하는 검지부 (55C) 로 변경되어도 된다. 이 변경에 따라, 처리액 공급계 (5B) 는, 처리액 공급계 (5C) 가 된다. 도 13 은, 제 4 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
여기서, 배관부 (P1B) 내에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재에 관련된 특정 상태로는, 예를 들어, 분기 배관 부분 (P1d) 의 특정 위치까지 처리액 (Lq1) 의 액면이 도달한 상태 (특정 흡인 회수 상태라고도 한다) 가 채용된다. 이 경우, 예를 들어, 제 1 분기 배관 부분 (P1d1) 이 투명 혹은 반투명의 관을 사용하여 형성되어 있으면, 검지부 (55C) 를, 제 1 분기 배관 부분 (P1d1) 의 특정 위치에 대향하도록 배치하고, 그 검지부 (55C) 에 의해, 처리액 (Lq1) 의 액면의 통과를 검지해도 된다. 투명한 관은, 예를 들어, 석영관 등으로 구성될 수 있다. 반투명의 관은, 예를 들어, 불소 수지인 PFA 로 구성될 수 있다. 처리액 (Lq1) 의 액면의 통과는, 예를 들어, 광의 굴절의 변화에 의해 검출될 수 있다. 또, 예를 들어, 제 1 분기 배관 부분 (P1d1) 이 투명 혹은 반투명의 관이 아닌 경우에는, 검지부 (55C) 는, 예를 들어, 정전 용량의 변화, 초음파의 반사의 변화 및 전자적인 변화 등을 사용하여, 처리액 (Lq1) 의 액면의 통과를 검지해도 된다.
또, 여기서, 배관부 (P1B) 내에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 유속에 관련된 특정 상태로는, 예를 들어, 분기 배관 부분 (P1d) 의 특정 위치에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 유속이 특정한 유속에 도달한 상태가 채용된다. 이 경우, 예를 들어, 검지부 (55C) 로서, 제 1 분기 배관 부분 (P1d1) 의 특정 위치에 대해 배치된 유량계가 채용될 수 있다.
<2-4. 제 5 실시형태>
상기 제 4 실시형태에 있어서, 예를 들어, 도 14 및 도 15 에서 나타내는 바와 같이, 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 가 적용된 흡인 회수 밸브 (52B) 대신에, 모터부 (53d) 의 구동력에 의해 밸브체부 (Vb1) 를 동작시키는 전동식 모터 밸브 (Vmo) 가 적용된 흡인 회수 밸브 (52D) 가 채용되어도 된다. 도 14 는, 제 5 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 15 는, 전동식 모터 밸브 (Vmo) 의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 14 에서 나타내는 바와 같이, 제 5 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 으로는, 예를 들어, 제 4 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 이 베이스가 되고, 처리액 공급계 (5C) 가, 처리액 공급계 (5D) 로 치환된 것이 채용된다.
처리액 공급계 (5D) 로는, 예를 들어, 상기 제 4 실시형태에 관련된 처리액 공급계 (5C) 가 베이스가 되고, 가스용의 배관부 (P2B) 가 가스용의 배관부 (P2D) 로 변경되고, 흡인 회수 밸브 (52B) 가 흡인 회수 밸브 (52D) 로 치환되고, 발동부 (53B) 가 발동부 (53D) 로 변경된 것이 채용된다.
가스용의 배관부 (P2D) 로는, 예를 들어, 상기 제 4 실시형태에 관련된 가스용의 배관부 (P2B) 로부터 제 1 배관 부분 (P2a), 제 2 배관 부분 (P2b), 제 4 배관 부분 (P2d) 및 제 5 배관 부분 (P2e) 이 제거된 구성을 가지고 있다.
흡인 회수 밸브 (52D) 는, 예를 들어, 모터부 (53d) 가 부여하는 구동력에 의해, 밸브체부 (Vb1) 를 동작시켜 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개폐할 수 있다. 도 15 에서 나타내는 바와 같이, 흡인 회수 밸브 (52D) 에 적용되는 전동식 모터 밸브 (Vmo) 로는, 예를 들어, 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 중 구동 기구 (DR1) 가, 모터부 (53d) 에 의해 삽통공 (Hh1) 에 대해 슬라이딩되는 연결부 (Vh1) 를 갖는 구동 기구 (DR1D) 로 변경된 것이 채용된다. 이 때문에, 흡인 회수 밸브 (52D) 와, 모터부 (53d) 에 의해, 전동식 모터 밸브 (Vmo) 가 구성된다. 전동식 모터 밸브 (Vmo) 에는, 예를 들어, 모터 니들 밸브가 적용될 수 있다.
발동부 (53D) 는, 예를 들어, 상기 제 4 실시형태에 관련된 발동부 (53D) 로부터 전자 밸브 (53a) 및 스피드 컨트롤러 (53bB) 가 제거되고, 흡인 회수 밸브 (52D) 에 있어서 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개폐하기 위해서 밸브체부 (Vb1) 를 이동시키는 모터부 (53d) 가 더해진 구성을 가지고 있다. 여기서, 모터부 (53d) 는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 로부터의 신호에 따라, 회전 방향의 구동력을 발생시킨다. 예를 들어, 모터부 (53d) 는, 인코더를 가지고 있다. 이 경우, 인코더로부터 회전각의 변화분에 따른 펄스가 제 2 제어부 (92) 에 출력됨으로써, 제 2 제어부 (92) 에 있어서, 모터부 (53d) 의 회전각의 변화가 인식될 수 있다.
상기 구성을 갖는 처리 유닛 (100) 에서는, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 각종 트리거 신호를 출력함으로써, 발동부 (53D) 에 의해 흡인 회수 밸브 (52D) 를 동작시킬 수 있다. 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 로부터의 신호에 따라 모터부 (53d) 에 의해 흡인 회수 밸브 (52D) 에 의한 액 흡인 회수 경로가 개폐된다. 여기서는, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 발동부 (53D) 의 전자 밸브 (53c) 및 제 2 제어부 (92) 에 제 1 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53c) 가 가스 공급 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 를 개방하는 개방 동작이 개시된다. 이 때, 제 2 제어부 (92) 에서는, 제 1 제어부 (91) 로부터의 제 1 트리거 신호의 입력에 응답하여, 모터부 (53d) 에 대해 구동을 제어하기 위한 신호가 출력된다. 이로써, 모터부 (53d) 에 의해 흡인 회수 밸브 (52D) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 의 폐쇄가 실시된다. 또, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 발동부 (53D) 의 전자 밸브 (53c) 및 제 2 제어부 (92) 에 제 2 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53c) 가 가스 배출 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 폐쇄 동작이 개시된다. 이 때, 제 2 제어부 (92) 에서는, 제 1 제어부 (91) 로부터의 제 2 트리거 신호의 입력에 응답하여, 모터부 (53d) 에 대해 구동을 제어하기 위한 신호가 출력된다. 이로써, 모터부 (53d) 에 의해 흡인 회수 밸브 (52D) 에 있어서의 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개방하는 개방 동작이 개시된다. 이로써, 액 흡인 회수 동작이 실시된다.
또, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 제 2 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터, 검지부 (55C) 가 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 흡인 회수 밸브 (52D) 의 실동작 시간 (T1) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 발동부 (53D) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52D) 의 동작 속도에 관련된 설정을 변경할 수 있다. 여기서는, 동작 속도에 관련된 설정으로서 예를 들어, 모터부 (53d) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52D) 의 개방 속도를 조정하는 설정이 포함된다. 개방 속도를 조정하는 설정으로는, 예를 들어, 모터부 (53d) 에 있어서의 단위 시간당 회전 각도 등이 채용될 수 있다.
<2-5. 제 6 실시형태>
그런데, 예를 들어, 노즐 (Nz0) 로부터 기판 (W0) 에 대한 처리액 (Lq0) 의 토출의 개시 및 정지를 실시하는 토출 밸브에 대해서도, 흡인 회수 밸브와 동일하게, 토출 밸브에 의한 처리액 (Lq0) 의 공급 경로의 개폐가 지나치게 느려지면, 기판 (W0) 에 대한 처리액 (Lq0) 의 공급에 필요로 하는 시간이 길어진다. 이 때, 기판 (W0) 에 대한 처리에 필요로 하는 시간 (택 타임) 이 길어져, 기판 처리 장치에 있어서의 생산 효율이 저하된다. 또, 예를 들어, 기판 (W0) 으로서의 반도체 기판이 불산 등의 처리액으로 처리된 후에 과도한 에칭을 방지하기 위해 린스물 등의 다른 처리액을 재빠르게 토출하고자 하는 경우 등에서는, 처리액의 공급의 정지 및 처리액의 공급의 개시를 재빠르게 실시하고자 하는 경우도 있다.
단, 예를 들어, 토출 밸브에 의해 처리액 (Lq0) 의 공급 경로가 갑자기 개방되면, 도 26 에서 나타내는 바와 같이, 노즐 (Nz0) 로부터 기판 (W) 의 상면 (Us0) 에 대한 처리액 (Lq0) 의 토출이 갑자기 개시된다. 이 때, 예를 들어, 노즐 (Nz0) 의 선단부로부터 처리액 (Lq0) 이 기세 좋게 비산하는 현상 (스플래시라고도 한다) 이 발생하는 경우가 있다. 그리고, 이 스플래시는, 토출 밸브의 동작 환경의 변화에 따른 토출 밸브의 동작 속도의 변동에 의해 발생할 수 있다.
그래서, 상기 각 실시형태에 있어서, 예를 들어, 도 16 에서 나타내는 바와 같이, 토출 밸브 (51) 가, 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 동작의 속도 (개방 속도라고도 한다) 가 제어 가능한 토출 밸브 (51E) 가 되어, 토출 밸브 (51E) 에 있어서의 개방 속도가 조정되어도 된다. 즉, 토출 밸브 (51) 이 제어 대상으로 되어도 된다. 이로써, 예를 들어, 토출 밸브 (51E) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 개방되는 개방 속도가 제어됨으로써, 노즐 (Nz0) 의 선단부로부터 처리액 (Lq0) 이 기세 좋게 비산하는 스플래시의 발생이 억제될 수 있다. 즉, 예를 들어, 토출 밸브 (51E) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 토출에 있어서의 문제의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다. 도 16 은, 제 6 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
제 6 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 로는, 예를 들어, 도 16 에서 나타내는 바와 같이, 제 5 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 가 베이스가 되고, 처리액 공급계 (5D) 가 처리액 공급계 (5E) 로 변경된 것이 채용된다.
처리액 공급계 (5E) 로는, 예를 들어, 처리액 공급계 (5D) 가 베이스가 되고, 가스용의 배관부 (P2D) 가 삭제되고, 토출 밸브 (51) 가 토출 밸브 (51E) 로 치환되고, 발동부 (53D) 가 발동부 (53E) 로 변경되고, 검지부 (55C) 가 검지부 (55E) 로 변경된 것이 채용된다.
토출 밸브 (51E) 는, 배관부 (P1B) 의 도중 부분에 형성되고, 그 배관부 (P1B) 및 노즐 (Nz1) 에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재 상태를 변화시킬 수 있다. 토출 밸브 (51E) 에는, 예를 들어, 상기 제 5 실시형태에 관련된 흡인 회수 밸브 (52D) 와 동일하게, 전동식 모터 밸브 (Vmo) (도 15) 의 구성이 적용된다. 여기서는, 토출 밸브 (51E) 는, 예를 들어, 본체부 (VM1) 와 그 본체부 (VM1) 에 대해 슬라이딩하는 연결부 (Vh1) 를 갖는 구동 기구 (DR1D) 를 가지고 있다. 그리고, 토출 밸브 (51E) 에는, 모터부 (53e) 에 의해 구동력이 부여된다. 이 때문에, 토출 밸브 (51E) 와, 모터부 (53e) 에 의해, 전동식 모터 밸브 (Vmo) 가 구성된다. 전동식 모터 밸브 (Vmo) 에는, 예를 들어, 모터 니들 밸브가 적용될 수 있다.
발동부 (53E) 는, 예를 들어, 상기 제 5 실시형태에 관련된 발동부 (53D) 로부터 전자 밸브 (53c) 가 제거되고, 토출 밸브 (51E) 에 있어서 액 공급 경로 (PA1) 를 개폐하기 위해 밸브체부 (Vb1) 를 이동시키는 모터부 (53e) 가 더해진 구성을 가지고 있다. 이 경우, 발동부 (53E) 는, 토출 밸브 (51E) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 를 개폐시키는 구동력을 모터부 (53e) 에 의해 그 토출 밸브 (51E) 를 부여할 수 있다. 여기서, 모터부 (53e) 는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 로부터의 신호에 따라, 회전 방향의 구동력을 발생시킨다. 예를 들어, 모터부 (53e) 에서는, 인코더로부터 회전각의 변화분에 따른 펄스가 제 2 제어부 (92) 에 출력되고, 제 2 제어부 (92) 에 있어서 모터부 (53d) 의 회전각의 변화가 인식될 수 있다.
검지부 (55E) 는, 예를 들어, 배관부 (P1B) 내에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재 또는 유속에 관련된 특정 상태를 검지할 수 있다. 여기서, 그 특정 상태로는, 예를 들어, 배관부 (P1B) 중 토출 밸브 (51E) 로부터 노즐 (Nz1) 에 걸친 부분에 있어서의, 특정 위치까지 처리액 (Lq1) 이 도달한 상태 (특정 급액 상태라고도 한다), 또는 처리액 (Lq1) 의 유속이 기준 유속에 도달한 상태 (특정 흐름 상태라고도 한다) 가 채용된다.
이 경우, 예를 들어, 검지부 (55E) 에는, 상기 제 4 실시형태에 관련된 검지부 (55C) 와 동일한 구성이 적용될 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51E) 와 노즐 (Nz1) 을 연결하고 있는 제 2 배관 부분 (P1b) 가 투명 혹은 반투명의 관을 사용하여 형성되어 있으면, 검지부 (55E) 를, 제 2 배관 부분 (P1b) 의 특정 위치에 대향하도록 배치하고, 그 검지부 (55E) 에 의해, 처리액 (Lq1) 의 액면의 통과를 검지해도 된다. 이 때, 투명 혹은 반투명의 관은, 석영관 혹은 PFA 의 관으로 구성될 수 있다. 처리액 (Lq1) 의 액면의 통과는, 예를 들어, 광의 굴절의 변화에 의해 검출될 수 있다. 또, 예를 들어, 제 2 배관 부분 (P1b) 이 투명 혹은 반투명이 아닌 경우에는, 검지부 (55E) 에서는, 예를 들어, 정전 용량의 변화, 초음파의 반사의 변화 및 전자적인 변화 등을 사용하여, 처리액 (Lq1) 의 액면의 통과가 검지되어도 된다. 또, 여기서, 배관부 (P1B) 내에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 유속에 관련된 특정 상태로서 예를 들어, 특정 흐름 상태가 채용되는 경우에는, 예를 들어, 검지부 (55E) 로서, 제 2 배관 부분 (P1b) 의 특정 위치에 대해 배치된 유량계가 채용되어도 된다.
상기 구성을 갖는 처리 유닛 (100) 에서는, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 각종 트리거 신호를 출력함으로써 발동부 (53E) 에 의해 토출 밸브 (51E) 및 흡인 회수 밸브 (52D) 를 동작시킬 수 있다. 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 제어부 (92) 에 대한 제 1 트리거 신호의 출력에 응답하여, 제 2 제어부 (92) 로부터의 신호에 따라 모터부 (53e) 가 토출 밸브 (51E) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 를 개폐시킨다. 또, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 로부터의 신호에 따라 모터부 (53d) 가 흡인 회수 밸브 (52D) 에 의해 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개폐시킨다.
여기서는, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 제어부 (92) 로 제 1 트리거 신호가 출력되면, 제 2 제어부 (92) 가, 모터부 (53d) 및 모터부 (53e) 에 대해, 구동을 제어하기 위한 신호를 출력한다. 이로써, 예를 들어, 모터부 (53d) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52D) 에 있어서의 액 흡인 회수 경로 (PB1) 의 폐쇄 동작과, 모터부 (53e) 에 의한 토출 밸브 (51E) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 동작이 개시된다. 또, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 제어부 (92) 로 제 2 트리거 신호가 출력되면, 제 2 제어부 (92) 가, 모터부 (53d) 및 모터부 (53e) 에 대해, 구동을 제어하기 위한 신호를 출력한다. 이로써, 예를 들어, 모터부 (53e) 에 의한 토출 밸브 (51E) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 의 폐쇄 동작과, 모터부 (53d) 에 의한 흡인 회수 밸브 (52D) 에 있어서의 액 흡인 회수 경로 (PB1) 의 개방 동작이 개시된다. 이로써, 액 흡인 회수 동작이 실시되기 시작한다.
또, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 제 2 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터, 검지부 (55E) 가 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 토출 밸브 (51E) 의 실동작 시간 (T1E) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0E) 의 관계에 따라, 발동부 (53E) 에 의한 토출 밸브 (51E) 의 동작 속도에 관련된 설정을 변경할 수 있다. 여기서는, 동작 속도에 관련된 설정으로서 예를 들어, 모터부 (53e) 에 의한 토출 밸브 (51E) 의 개방 속도를 조정하는 설정이 포함된다. 개방 속도를 조정하는 설정으로는, 예를 들어, 모터부 (53e) 에 있어서의 단위 시간당 회전 각도 등이 채용될 수 있다. 이로써, 예를 들어, 토출 밸브 (51E) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 토출에 있어서의 스플래시의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
도 17 은, 제 6 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 처리 유닛 (100) 의 제어 플로우의 일례를 나타내는 흐름도이다. 여기서는, 예를 들어, 제어부 (9) 에 있어서 프로그램 (Pg1, Pg2) 이 실행됨으로써 제어 플로우가 실현된다.
먼저, 도 17 의 스텝 St1 및 스텝 St2 에서는, 도 8 의 스텝 Sp1 및 스텝 Sp2 와 동일한 처리가 실시된다.
다음으로, 스텝 St3 에서는, 제 1 제어부 (91) 에 의해, 제 1 트리거 신호가 출력된다. 이 때, 제 1 트리거 신호는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 대해 출력된다. 그 후, 스텝 St4 및 스텝 St10 으로 진행되고, 스텝 St4 내지 스텝 St9 의 처리와, 스텝 St10 내지 스텝 St13 의 처리가 병행하여 실행된다.
스텝 St4 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 St3 에서 출력된 제 1 트리거 신호의 입력에 응답하여, 발동부 (53E) 에 토출 밸브 (51E) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 동작을 개시시킨다. 이 때, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 로부터 출력되는 제어 신호에 따라, 모터부 (53e) 가 구동력을 발함으로써, 토출 밸브 (51E) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 동작이 개시된다. 또, 여기서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 제 1 트리거 신호의 입력에 응답하여, 발동부 (53E) 에 흡인 회수 밸브 (52D) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 의 폐쇄 동작을 개시시킨다. 이 때, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 로부터 출력되는 제어 신호에 따라, 모터부 (53d) 가 구동력을 발함으로써, 흡인 회수 밸브 (52D) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 의 폐쇄 동작이 개시된다. 이로써, 액 공급부 (7) 로부터 노즐 (Nz1) 로 처리액 (Lq1) 이 송급되기 시작하고, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 의 상면 (Us1) 을 향하여 처리액 (Lq1) 이 공급되기 시작한다.
스텝 St5 에서는, 제 1 제어부 (91) 에 의해, 제 2 트리거 신호가 출력된다. 이 때, 제 2 트리거 신호는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 대해 출력된다.
스텝 St6 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 St5 에서 출력된 제 2 트리거 신호의 입력에 응답하여, 발동부 (53E) 에 토출 밸브 (51E) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 의 폐쇄 동작을 개시시킨다. 이 때, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 로부터 출력되는 제어 신호에 따라, 모터부 (53e) 가 구동력을 발함으로써, 토출 밸브 (51E) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 의 폐쇄 동작이 개시된다. 이로써, 액 공급부 (7) 로부터 노즐 (Nz1) 에의 처리액 (Lq1) 의 송급이 정지되기 시작한다. 그 후, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 의 상면 (Us1) 을 향한 처리액 (Lq1) 의 공급이 정지된다.
스텝 St7 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 St5 에서 출력된 제 2 트리거 신호의 입력에 응답하여, 발동부 (53E) 에 흡인 회수 밸브 (52D) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 의 개방 동작을 개시시킨다. 이 때, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 로부터 출력되는 제어 신호에 따라, 모터부 (53d) 가 구동력을 발함으로써, 흡인 회수 밸브 (52D) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 의 개방 동작이 개시된다. 이로써, 액 흡인 회수 동작이 실시되기 시작한다.
스텝 St8 및 스텝 St9 에서는, 도 8 의 스텝 Sp8 및 스텝 Sp9 와 동일한 처리가 실시된다.
또, 스텝 St10 에서는, 검지부 (55E) 에 의해, 배관부 (P1B) 내에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재 또는 유속에 관련된 특정 상태가 검지된다. 여기서는, 특정 상태로서 예를 들어, 배관부 (P1B) 중 토출 밸브 (51E) 로부터 노즐 (Nz1) 에 걸친 부분에 있어서의, 특정 위치까지 처리액 (Lq1) 이 도달한 특정 급액 상태, 또는 처리액 (Lq1) 의 유속이 기준 유속에 도달한 특정 흐름 상태가 검지된다. 이 때, 예를 들어, 검지부 (55E) 에 있어서의 검지 결과가, 제 2 제어부 (92) 에 출력된다.
스텝 St11 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 St3 에 있어서 제 1 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 St10 에 있어서 특정 상태 (예를 들어, 특정 급액 상태 또는 특정 흐름 상태) 가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1E) 이 인식된다.
스텝 St12 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 St11 에서 인식된 실동작 시간 (T1E) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0E) 의 관계에 따라, 발동부 (53E) 에 의한 토출 밸브 (51E) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출된다. 여기서, 토출 밸브 (51E) 의 동작 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51E) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 를 개방하는 속도 (개방 속도) 에 관련된 설정이 채용된다. 개방 속도를 조정하는 설정으로는, 예를 들어, 모터부 (53e) 에 있어서의 단위 시간당 회전 각도 등이 채용될 수 있다.
스텝 St13 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 St12 에서 산출된 변경량에 따라, 발동부 (53E) 의 모터부 (53e) 가 토출 밸브 (51E) 에 있어서 액 공급 경로 (PA1) 를 개방하는 속도에 관련된 설정이 변경된다.
요컨대, 스텝 St11 내지 스텝 St13 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 St3 에 있어서 제 1 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 St10 에 있어서 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1E) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0E) 의 관계에 따라, 발동부 (53E) 에 의한 토출 밸브 (51E) 의 개방 속도에 관련된 설정이 변경된다.
또, 스텝 St11 내지 스텝 St13 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 제 1 트리거 신호가 출력되는 제 1 타이밍으로부터 특정 상태가 실현되는 제 2 타이밍까지의 시간 (동작 시간) (TE) 과, 발동부 (53E) 에 의한 토출 밸브 (51E) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계를 나타내는 정보 (기준 관계 정보) 에 있어서의, 실측된 실동작 시간 (T1E) 과 기준 동작 시간 (T0E) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 모터부 (53e) 에 의한 토출 밸브 (51E) 의 개방 속도에 관련된 설정에 대해, 변경량이 산출되고, 그 변경량에 따른 변경이 이루어져도 된다. 또한, 제 2 제어부 (92) 에서는, 예를 들어, 동작 시간 (TE) 과, 발동부 (53E) 에 의한 토출 밸브 (51E) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이의 비례 또는 반비례의 관계에 있어서의, 실동작 시간 (T1E) 과 기준 동작 시간 (T0E) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53) 에 의한 토출 밸브 (51E) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되어도 된다. 또, 제 2 제어부 (92) 에서는, 예를 들어, 기준 동작 시간 (T0E) 보다 실동작 시간 (T1E) 이 짧으면, 토출 밸브 (51E) 의 동작 속도가 작아지는, 발동부 (53E) 에 의한 토출 밸브 (51E) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되고, 기준 동작 시간 (T0E) 보다 실동작 시간 (T1E) 이 길면, 토출 밸브 (51E) 의 동작 속도가 커지는, 발동부 (53E) 에 의한 토출 밸브 (51E) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되어도 된다.
이와 같이 하여, 1 장의 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 을 사용한 처리가 완료됨과 함께, 다음번 이후의 토출 밸브 (51E) 에 의한 개방 동작에 관련된 실동작 시간 (T1E) 이, 기준 동작 시간 (T0E) 에 가까워질 수 있다. 여기서도, 실동작 시간 (T1E) 이 기준 동작 시간 (T0E) 에 가까워지는 처리는, 예를 들어, 복수장의 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 을 사용한 처리가 완료될 때마다 실시되어도 되고, 특정한 시간마다 실시되어도 되고, 사용자의 지정에 따라 실시되어도 되고, 랜덤인 타이밍에 실시되어도 되고, 실동작 시간 (T1E) 과 기준 동작 시간 (T0E) 의 차가 미리 설정된 허용 범위로부터 벗어났을 경우에 실시되어도 된다.
<2-6. 제 7 실시형태>
상기 제 6 실시형태에 있어서, 예를 들어, 도 18 에서 나타내는 바와 같이, 토출 밸브 (51E) 가, 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 가 적용된 토출 밸브 (51) 로 변경됨으로써, 토출 밸브 (51) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 속도가 제어되어도 된다. 이로써, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 가 개방되는 개방 속도가 제어됨으로써, 노즐 (Nz0) 의 선단부로부터 처리액 (Lq0) 이 기세 좋게 비산하는 스플래시의 발생이 억제될 수 있다. 또, 예를 들어, 도 18 에서 나타내는 바와 같이, 흡인 회수 밸브 (52D) 가, 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 가 적용된 흡인 회수 밸브 (52B) 로 변경되어도 된다. 도 18 은, 제 7 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
제 7 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 로는, 예를 들어, 도 18 에서 나타내는 바와 같이, 제 3 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) (도 12) 가 베이스가 되고, 처리액 공급계 (5B) 가, 처리액 공급계 (5F) 로 변경된 것이 채용된다.
처리액 공급계 (5F) 로는, 예를 들어, 상기 제 3 실시형태에 관련된 처리액 공급계 (5B) 가 베이스가 되고, 주로, 가스용의 배관부 (P2B) 가 배관부 (P2F) 로 변경되고, 발동부 (53B) 가 발동부 (53F) 로 변경되고, 검지부 (55F) 가 추가된 것이 채용된다.
가스용의 배관부 (P2F) 로는, 예를 들어, 상기 제 3 실시형태에 관련된 가스용의 배관부 (P2B) 가 베이스가 되고, 제 3 배관 부분 (P2c) 이, 제 3a 배관 부분 (P2ca) 과 제 3b 배관 부분 (P2cb) 으로 분할된 것이 채용된다.
발동부 (53F) 로는, 예를 들어, 상기 제 3 실시형태에 관련된 발동부 (53B) 가 베이스가 되고, 스피드 컨트롤러 (53f) 가 추가된 것이 채용된다. 스피드 컨트롤러 (53f) 는, 예를 들어, 제 3a 배관 부분 (P2ca) 에 의해 전자 밸브 (53c) 에 접속됨과 함께, 제 3b 배관 부분 (P2cb) 에 의해 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 에 접속되어 있다. 스피드 컨트롤러 (53f) 로는, 예를 들어, 유량 제어 밸브의 조임 정도 (개도) 에 의해, 전자 밸브 (53c) 로부터 토출 밸브 (51) 를 향한 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도의 제어 (미터인 제어) 를 실시하는 것이 채용된다.
검지부 (55F) 는, 예를 들어, 상기 제 3 실시형태에 관련된 검지부 (55B) 와 동일한 구성을 가지고 있고, 토출 밸브 (51) 의 동작에 관련된 특정 상태를 검지할 수 있다. 특정 상태로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 완전히 개방되어 있는 상태, 혹은 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 어느 정도 개방되어 있는 상태 등의 액 공급 경로 (PA1) 의 특정한 개방 정도 (개도) 에 관련된 상태 (특정 개도 상태) 가 채용된다. 여기서, 검지부 (55F) 는, 예를 들어, 특정 상태의 검지에 응답하여, 특정한 신호 (개 (開) 신호라고도 한다) 를 제 2 제어부 (92) 에 출력해도 된다.
상기 구성을 갖는 처리 유닛 (100) 에서는, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 각종 트리거 신호를 출력함으로써, 발동부 (53F) 에 의해 토출 밸브 (51) 및 흡인 회수 밸브 (52B) 를 동작시킬 수 있다. 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53c) 에 제 1 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53c) 가 가스 공급 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 를 개방하는 개방 동작이 개시된다. 이 때, 예를 들어, 발동부 (53F) 중 전자 밸브 (53c) 및 스피드 컨트롤러 (53f) 를 개재하여 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 에 제어 가스 (Gs1) 가 공급되기 시작하고, 밸브체부 (Vb1) 가 동작하기 시작함으로써, 그 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 를 개방하는 동작 (개방 동작) 이 개시된다. 또, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53a) 에도 제 1 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53a) 가 가스 배출 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 있어서 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 폐쇄하는 동작 (폐쇄 동작) 이 개시된다. 이 때, 예를 들어, 제 1 트리거 신호는, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 제어부 (92) 에도 출력되어도 된다.
또, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 제 1 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터, 검지부 (55F) 가 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 토출 밸브 (51) 의 실동작 시간 (T1F) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0F) 의 관계에 따라, 발동부 (53F) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정을 변경할 수 있다. 여기서, 특정 상태로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 의 특정한 개방 정도 (개도) 에 관련된 특정 개도 상태가 채용된다.
여기서, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 를 개방하는 개방 속도가 채용된다. 또, 발동부 (53F) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 개방 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53F) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정이 채용된다. 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도는, 예를 들어, 단위 시간당 제 1 영역 (Aa1) 에 공급되는 제어 가스 (Gs1) 의 양 (가스 공급량) 으로 나타낸다. 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정으로는, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53f) 의 유량 제어 밸브의 조임 정도 (개도) 가 채용된다.
상기 구성을 갖는 제 7 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 처리 유닛 (100) 의 제어 플로우는, 도 17 에서 나타낸 상기 제 6 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 처리 유닛 (100) 의 제어 플로우와 동일한 것이 된다.
단, 스텝 St3 에서는, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 에 의해 출력되는 제 1 트리거 신호는, 예를 들어, 발동부 (53F) 의 전자 밸브 (53a, 53c) 및 제 2 제어부 (92) 에 대해 출력된다.
또, 스텝 St4 에서는, 예를 들어, 발동부 (53F) 에 의해, 제 1 트리거 신호의 입력에 응답하여, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 개방 동작이 개시된다. 이 때, 예를 들어, 전자 밸브 (53c) 가 가스 공급 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에 제어 가스 (Gs1) 가 도입되기 시작함으로써, 토출 밸브 (51) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 동작이 개시된다. 이로써, 액 공급부 (7) 로부터 노즐 (Nz1) 로 처리액 (Lq1) 이 송급되기 시작함으로써, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 의 상면 (Us1) 을 향하여 처리액 (Lq1) 이 공급되기 시작한다. 또, 이 때, 예를 들어, 전자 밸브 (53a) 가 가스 배출 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출되기 시작함으로써, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 있어서 액 흡인 회수 경로 (PB1) 가 폐쇄되기 시작한다. 이로써, 액 흡인 회수 동작이 실시되지 않는 상태로 설정된다.
또, 스텝 St5 에서는, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 에 의해 출력되는 제 2 트리거 신호는, 예를 들어, 발동부 (53F) 의 전자 밸브 (53a, 53c) 및 제 2 제어부 (92) 에 대해 출력된다.
또, 스텝 St6 에서는, 예를 들어, 스텝 St5 에서 출력된 제 2 트리거 신호의 입력에 응답하여, 발동부 (53F) 에 의해, 토출 밸브 (51) 에 의한 폐쇄 동작이 개시된다. 여기서는, 예를 들어, 전자 밸브 (53c) 가 가스 배출 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 에 있어서, 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출되기 시작하고, 칸막이부 (Pd1) 가 동작하기 시작함으로써, 연결부 (Vh1) 를 개재하여 밸브체부 (Dp1) 가 동작되기 시작한다. 이로써, 토출 밸브 (51) 에 의한 폐쇄 동작이 개시된다.
또, 스텝 St7 에서는, 예를 들어, 스텝 St5 에서 출력된 제 2 트리거 신호의 입력에 응답하여, 발동부 (53F) 에 의해, 흡인 회수 밸브 (52B) 에, 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개방시키기 시작함으로써, 액 흡인 회수 동작이 개시된다. 요컨대, 배관부 (P1B) 및 노즐 (Nz1) 에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재 상태가 변화되기 시작한다. 여기서는, 예를 들어, 전자 밸브 (53a) 가 가스 공급 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에 제어 가스 (Gs1) 가 공급되기 시작함으로써, 칸막이부 (Pd1) 가 동작하기 시작한다. 이 때, 연결부 (Vh1) 를 개재하여 밸브체부 (Vb1) 가 동작되기 시작한다. 이로써, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 의한 액 흡인 회수 동작이 개시된다.
또, 스텝 St10 에서는, 예를 들어, 검지부 (55F) 에 의해, 토출 밸브 (51) 의 동작에 관련된 특정 상태가 검지된다. 여기서는, 특정 상태로서 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 완전히 개방되어 있는 상태, 혹은 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 어느 정도 개방되어 있는 상태 등의 액 공급 경로 (PA1) 의 특정한 개방 정도 (개도) 에 관련된 특정 개도 상태가 검지된다. 이 때, 예를 들어, 검지부 (55F) 에 있어서의 검지 결과를 나타내는 특정한 신호 (폐신호) 가 제 2 제어부 (92) 에 출력된다.
또, 스텝 St11 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 St3 에 있어서 제 1 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 St10 에 있어서 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1F) 이 인식된다.
또, 스텝 St12 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 St11 에서 인식된 실동작 시간 (T1F) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0F) 의 관계에 따라, 발동부 (53F) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출된다.
또, 스텝 St13 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 St12 에서 산출된 변경량에 따라, 발동부 (53F) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정이 변경된다.
요컨대, 스텝 St11 내지 스텝 St13 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 St3 에 있어서 제 1 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 St10 에 있어서 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1F) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0F) 의 관계에 따라, 발동부 (53F) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 개방 속도에 관련된 설정이 변경된다. 여기서는, 예를 들어, 제 1 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 St10 에서 특정한 개도가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1F) 과, 기준 동작 시간 (T0F) 의 관계에 따라, 발동부 (53F) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정이 변경된다. 여기서, 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정으로서 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53f) 의 유량 제어 밸브의 개도 혹은 그 개도에 대응하는 니들 밸브의 위치 설정이 채용된다.
이와 같이 하여, 예를 들어, 1 장의 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 을 사용한 처리가 완료됨과 함께, 다음번 이후의 토출 밸브 (51) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 동작에 관련된 실동작 시간 (T1F) 이, 기준 동작 시간 (T0F) 에 가까워질 수 있다. 이로써, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 토출에 있어서의 스플래시의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
또한, 상기 제 7 실시형태에 있어서도, 상기 제 3 실시형태와 동일하게, 토출 밸브 (51) 에 적용되는 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 로서 예를 들어, 노멀 개형의 에어 오퍼레이트 밸브가 채용되어도 된다. 이 경우에는, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53f) 가, 미터아웃 제어를 실시하는 상기 제 1 실시형태에 관련된 스피드 컨트롤러 (53b) 와 동일한 것으로 치환되어도 된다. 그리고, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도 (예를 들어 개방 속도) 에 관련된 설정으로서 예를 들어, 발동부 (53F) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 채용되어도 된다.
또, 상기 제 7 실시형태에 있어서, 예를 들어, 검지부 (55F) 가 상기 제 6 실시형태에 관련된 검지부 (55E) 로 치환되고, 그 검지부 (55E) 가, 예를 들어, 배관부 (P1) 내에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재 또는 유속에 관련된 특정 상태를 검지해도 된다. 이 때, 특정 상태로는, 예를 들어, 배관부 (P1) 중 토출 밸브 (51E) 로부터 노즐 (Nz1) 에 걸친 부분에 있어서의, 특정 위치까지 처리액 (Lq1) 이 도달한 상태 (특정 급액 상태), 또는 처리액 (Lq1) 의 유속이 기준 유속에 도달한 상태 (특정 흐름 상태) 가 채용된다. 또한, 여기서는, 기준 유속에 도달한 상태란, 예를 들어, 처리액 (Lq1) 의 유속이 기준 유속보다 느린 상태로부터 기준 유속 이상이 된 상태를 말한다.
<2-7. 제 8 실시형태>
또, 예를 들어, 토출 밸브에 의해 처리액 (Lq0) 의 공급 경로가 갑자기 폐쇄되면, 노즐 (Nz0) 로부터 기판 (W0) 을 향한 처리액 (Lq0) 의 토출이 갑자기 정지된다. 이 때, 예를 들어, 도 25 에서 나타내는 바와 같이, 이른바 워터 해머에 의해 노즐 (Nz0) 의 선단부로부터 기판 (W0) 의 상면 (Us0) 에 처리액 (Lq0) 의 액적 (Dp0) 이 낙하하는 드리핑이 생기는 경우가 있다. 이 워터 해머에 의한 드리핑도, 상기 스플래시 등과 동일하게, 토출 밸브의 동작 환경의 변화에 따른 토출 밸브의 동작 속도의 변동에 의해 발생할 수 있다.
그래서, 상기 제 7 실시형태에 있어서, 예를 들어, 도 19 에서 나타내는 바와 같이, 미터인 제어를 실시하는 것이 가능한 스피드 컨트롤러 (53f) 가, 미터아웃 제어를 실시하는 것이 가능한 스피드 컨트롤러 (53g) 로 치환되어도 된다. 이로써, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 폐쇄되는 속도 (폐쇄 속도) 가 제어됨으로써, 워터 해머에 의한 처리액 (Lq1) 의 드리핑의 발생이 억제될 수 있다. 도 19 는, 제 8 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
제 8 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 로는, 예를 들어, 도 19 에서 나타내는 바와 같이, 제 7 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 구성 (도 18) 이 베이스가 되고, 처리액 공급계 (5F) 가, 처리액 공급계 (5G) 로 변경된 것이 채용된다. 처리액 공급계 (5G) 로는, 예를 들어, 상기 제 7 실시형태에 관련된 처리액 공급계 (5F) 가 베이스가 되고, 발동부 (53F) 가 발동부 (53G) 로 변경된 것이 채용된다.
발동부 (53G) 로는, 예를 들어, 상기 제 7 실시형태에 관련된 발동부 (53F) 가 베이스가 되고, 미터인 제어를 실시하는 것이 가능한 스피드 컨트롤러 (53f) 가, 미터아웃 제어를 실시하는 것이 가능한 스피드 컨트롤러 (53g) 로 치환된 것이 채용된다. 이와 같은 구성이 채용되어도, 상기 제 7 실시형태에 관련된 발동부 (53F) 와 동일하게, 예를 들어, 발동부 (53G) 는, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 를 개폐시키는 구동력을 그 토출 밸브 (51) 에 부여할 수 있다. 여기서는, 발동부 (53G) 는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 및 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출에 의해 칸막이부 (Pd1) 를 동작시킴으로써, 연결부 (Vh1) 를 개재하여 밸브체부 (Vb1) 를 동작시킬 수 있다.
상기 구성을 갖는 처리 유닛 (100) 에서는, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 각종 트리거 신호를 출력함으로써, 발동부 (53G) 에 의해 토출 밸브 (51) 및 흡인 회수 밸브 (52B) 를 동작시킬 수 있다. 예를 들어, 제어부 (9) 는, 제 2 트리거 신호를 출력함으로써, 발동부 (53G) 에 의해 토출 밸브 (51) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 의 폐쇄를 개시시킬 수 있다. 여기서는, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53c) 로 제 2 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53c) 가 가스 배출 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 에 있어서 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 폐쇄 동작이 실시된다. 이 때, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 로부터, 발동부 (53G) 중 스피드 컨트롤러 (53f) 및 전자 밸브 (53c) 를 개재하여 제어 가스 (Gs1) 가 배출됨으로써, 밸브체부 (Vb1) 가 동작하여, 그 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 폐쇄 동작이 개시된다. 또, 이 때, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53a) 에도 제 2 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53a) 가 가스 공급 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 있어서 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개방하는 개방 동작이 실시된다. 이 때, 예를 들어, 제 2 트리거 신호는, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 제어부 (92) 에도 출력되어도 된다.
또, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 제 2 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터, 검지부 (55F) 가 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 토출 밸브 (51) 의 실동작 시간 (T1G) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0G) 의 관계에 따라, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정을 변경할 수 있다. 특정 상태로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 의 특정한 개방 정도 (개도) 에 관련된 특정 개도 상태가 채용된다.
여기서, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 속도 (폐쇄 속도) 가 채용된다. 또, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 폐쇄 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 채용된다. 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도는, 예를 들어, 단위 시간당 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 배출되는 제어 가스 (Gs1) 의 양 (가스 배출량이라고도 한다) 으로 나타낸다. 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정으로는, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53g) 의 유량 제어 밸브의 조임 정도 (개도) 가 채용된다.
도 20 은, 제 8 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 처리 유닛 (100) 의 제어 플로우의 일례를 나타내는 흐름도이다. 여기서는, 예를 들어, 제어부 (9) 에 있어서 프로그램 (Pg1, Pg2) 이 실행됨으로써 제어 플로우가 실현된다.
먼저, 도 20 의 스텝 Ss1 및 스텝 Ss2 에서는, 도 8 의 스텝 Sp1 및 스텝 Sp2 와 동일한 처리가 실시된다.
다음으로, 스텝 Ss3 에서는, 제 1 제어부 (91) 에 의해, 제 1 트리거 신호가 출력된다. 이 때, 제 1 트리거 신호는, 예를 들어, 발동부 (53) 의 전자 밸브 (53a, 53c) 와, 제 2 제어부 (92) 에 대해 출력된다.
다음으로, 스텝 Ss4 에서는, 발동부 (53G) 에 의해, 제 1 트리거 신호의 입력에 응답하여, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 개방 동작이 실시된다. 이 때, 예를 들어, 전자 밸브 (53a) 가 가스 공급 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 에 있어서 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에 제어 가스 (Gs1) 가 도입됨으로써 액 공급 경로 (PA1) 가 개방된다. 이로써, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 의 상면 (Us1) 을 향하여 처리액 (Lq1) 이 공급된다. 또, 이 때, 예를 들어, 전자 밸브 (53a) 가 가스 배출 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출됨으로써, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 있어서 액 흡인 회수 경로 (PB1) 가 폐쇄된다.
다음으로, 스텝 Ss5 에서는, 제 1 제어부 (91) 에 의해, 제 2 트리거 신호가 출력된다. 이 때, 제 2 트리거 신호는, 예를 들어, 발동부 (53) 의 전자 밸브 (53a, 53c) 와, 제 2 제어부 (92) 에 대해 출력된다. 그 후, 스텝 Ss6 및 스텝 Ss10 으로 진행되고, 스텝 Ss6 내지 스텝 Ss9 의 처리와, 스텝 Ss10 내지 스텝 Ss13 의 처리가 병행하여 실행된다.
스텝 Ss6 에서는, 스텝 Ss5 에서 출력된 제 2 트리거 신호의 입력에 응답하여, 발동부 (53G) 에 의해, 토출 밸브 (51) 에 있어서 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 동작 (폐쇄 동작) 이 개시된다. 여기서는, 예를 들어, 전자 밸브 (53c) 가 가스 배출 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출되기 시작하고, 칸막이부 (Pd1) 가 동작하기 시작한다. 이 때, 연결부 (Vh1) 를 개재하여 밸브체부 (Vb1) 가 동작되기 시작한다. 이로써, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 폐쇄 동작이 개시된다. 이로써, 액 공급부 (7) 로부터 노즐 (Nz1) 에의 처리액 (Lq1) 의 송급이 정지되기 시작한다. 그 후, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 의 상면 (Us1) 을 향한 처리액 (Lq1) 의 공급이 정지된다.
스텝 Ss7 에서는, 스텝 Ss5 에서 출력된 제 2 트리거 신호의 입력에 응답하여, 발동부 (53G) 에 의해, 흡인 회수 밸브 (52B) 가 동작됨으로써, 액 흡인 회수 동작이 개시된다. 여기서는, 예를 들어, 전자 밸브 (53a) 가 가스 공급 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 구동 기구 (DR1) 의 제 1 영역 (Aa1) 에 제어 가스 (Gs1) 가 공급되기 시작하고, 칸막이부 (Pd1) 가 동작하기 시작한다. 이 때, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 있어서 액 흡인 회수 경로 (PB1) 가 개방되기 시작한다. 이로써, 그 후, 액 흡인 회수 경로 (PB1) 에 있어서의 액 흡인 회수 동작이 실행된다.
스텝 Ss8 및 스텝 Ss9 에서는, 도 8 의 스텝 Sp8 및 스텝 Sp9 와 동일한 처리가 실시된다.
스텝 Ss10 에서는, 검지부 (55F) 에 의해, 토출 밸브 (51) 의 동작에 관련된 특정 상태가 검지된다. 여기서는, 특정 상태로서 예를 들어, 토출 밸브 (51) 의 개도에 관련된 특정 상태 (특정 개도 상태) 가 검지된다. 이 때, 예를 들어, 검지부 (55F) 에 있어서의 검지 결과가 제 2 제어부 (92) 에 출력된다.
스텝 Ss11 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Ss5 에 있어서 제 2 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 Ss10 에 있어서 특정 상태 (예를 들어, 특정 개도 상태) 가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1G) 이 인식된다.
스텝 Ss12 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Ss11 에서 인식된 실동작 시간 (T1G) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0G) 의 관계에 따라, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출된다. 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도에 관련된 설정이 채용된다.
스텝 Ss13 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Ss12 에서 산출된 변경량에 따라, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경된다. 구체적으로는, 예를 들어, 발동부 (53G) 에 의한 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 변경된다.
요컨대, 스텝 Ss11 내지 스텝 Ss13 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Ss5 에 있어서 제 2 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 스텝 Ss10 에 있어서 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간 (T1G) 과, 미리 설정된 기준 동작 시간 (T0G) 의 관계에 따라, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경된다. 토출 밸브 (51) 의 동작 속도로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 속도 (폐쇄 속도) 가 채용된다. 폐쇄 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53G) 에 의한 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 채용된다. 이 배출 속도를 조정하는 설정으로는, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53f) 의 유량 제어 밸브의 개도 혹은 그 개도에 대응하는 니들 밸브의 위치 설정이 채용된다.
또, 스텝 Ss11 내지 스텝 Ss13 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 트리거 신호가 출력되는 제 1 타이밍으로부터 특정 상태가 실현되는 제 2 타이밍까지의 시간 (동작 시간) (TG) 과, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계를 나타내는 정보 (기준 관계 정보라고도 한다) 에 있어서의, 실측된 실동작 시간 (T1G) 과 기준 동작 시간 (T0G) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정에 대해, 변경량이 산출되고, 그 변경량에 따른 변경이 이루어져도 된다. 또한, 제 2 제어부 (92) 에서는, 예를 들어, 동작 시간 (TG) 과, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이의 비례 또는 반비례의 관계에 있어서의, 실동작 시간 (T1G) 과 기준 동작 시간 (T0G) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되어도 된다. 또, 제 2 제어부 (92) 에서는, 예를 들어, 기준 동작 시간 (T0G) 보다 실동작 시간 (T1G) 이 짧으면, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도가 작아지는, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되고, 기준 동작 시간 (T0G) 보다 실동작 시간 (T1G) 이 길면, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도가 커지는, 발동부 (53G) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되어도 된다.
이와 같이 하여, 1 장의 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 을 사용한 처리가 완료됨과 함께, 다음번 이후의 토출 밸브 (51) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 의 폐쇄 동작에 필요로 하는 실동작 시간 (T1G) 이, 기준 동작 시간 (T0G) 에 가까워질 수 있다. 이로써, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 워터 해머에 의한 처리액 (Lq1) 의 드리핑의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다. 여기서도, 실동작 시간 (T1G) 이 기준 동작 시간 (T0G) 에 가까워지는 처리는, 예를 들어, 복수장의 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 을 사용한 처리가 완료될 때마다 실시되어도 되고, 특정한 시간마다 실시되어도 되고, 사용자의 지정에 따라 실시되어도 되고, 랜덤인 타이밍에 실시되어도 되고, 실동작 시간 (T1G) 과 기준 동작 시간 (T0G) 의 차가 미리 설정된 허용 범위로부터 벗어났을 경우에 실시되어도 된다.
또한, 상기 제 8 실시형태에 있어서도, 상기 제 3 실시형태와 동일하게, 토출 밸브 (51) 에 적용되는 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 로서 예를 들어, 노멀 개형의 에어 오퍼레이트 밸브가 채용되어도 된다. 이 경우에는, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53g) 가, 미터인 제어를 실시하는 상기 제 7 실시형태에 관련된 스피드 컨트롤러 (53f) 와 동일한 것으로 치환되어도 된다. 그리고, 이 경우, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도 (예를 들어 폐쇄 속도) 에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53G) 에 있어서의 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정이 채용될 수 있다.
또, 상기 제 8 실시형태에 있어서, 예를 들어, 검지부 (55F) 가 상기 제 6 실시형태에 관련된 검지부 (55E) 와 동일한 것으로 치환되고, 그 검지부 (55E) 가, 예를 들어, 배관부 (P1) 내에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 유속에 관련된 특정 상태를 검지해도 된다. 이 때, 특정 상태로는, 예를 들어, 배관부 (P1) 중 토출 밸브 (51) 로부터 노즐 (Nz1) 에 걸친 부분에 있어서의, 처리액 (Lq1) 의 유속이 기준 유속에 도달한 상태 (특정 흐름 상태) 가 채용된다. 또한, 여기서는, 기준 유속에 도달한 상태란, 예를 들어, 처리액 (Lq1) 의 유속이 기준 유속보다 빠른 상태로부터 기준 유속 이하가 된 상태를 말한다.
<2-8. 제 9 실시형태>
예를 들어, 도 21 에서 나타내는 바와 같이, 상기 제 7 실시형태에 관련된 처리액 (Lq1) 의 스플래시의 발생을 억제하기 위한 구성과, 상기 제 8 실시형태에 관련된 워터 해머에 의한 처리액 (Lq1) 의 드리핑의 발생을 억제하기 위한 구성은 조합할 수 있다. 도 21 은, 제 9 실시형태에 관련된 처리 유닛 (100) 의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
제 9 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 로는, 예를 들어, 도 21 에서 나타내는 바와 같이, 제 7 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 구성 (도 18) 이 베이스가 되고, 처리액 공급계 (5F) 가, 처리액 공급계 (5H) 로 변경된 것이 채용된다. 처리액 공급계 (5H) 로는, 예를 들어, 상기 제 7 실시형태에 관련된 처리액 공급계 (5F) 가 베이스가 되고, 가스용의 배관부 (P2F) 가 배관부 (P2H) 로 변경됨과 함께, 발동부 (53F) 가 발동부 (53H) 로 변경된 것이 채용된다. 가스용의 배관부 (P2H) 로는, 예를 들어, 상기 제 7 실시형태에 관련된 가스용의 배관부 (P2F) 가 베이스가 되고, 제 3a 배관 부분 (P2ca) 과 제 3b 배관 부분 (P2cb) 사이에 제 3c 배관 부분 (P2cc) 이 더해진 것이 채용된다.
발동부 (53H) 로는, 예를 들어, 상기 제 7 실시형태에 관련된 발동부 (53F) 가 베이스가 되고, 전자 밸브 (53c) 와 토출 밸브 (51) 사이에, 상기 제 7 실시형태에 관련된 미터인 제어를 실시하는 것이 가능한 스피드 컨트롤러 (53f) 에 더하여, 상기 제 8 실시형태에 관련된 미터아웃 제어를 실시하는 것이 가능한 스피드 컨트롤러 (53g) 를 형성한 것이 채용된다. 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53f) 와 스피드 컨트롤러 (53g) 가 직렬로 접속된 구성이 채용된다. 도 21 의 예에서는, 전자 밸브 (53c) 와 스피드 컨트롤러 (53g) 가 제 3a 배관 부분 (P2ca) 에 의해 접속되고, 스피드 컨트롤러 (53g) 와 스피드 컨트롤러 (53f) 가 제 3c 배관 부분 (P2cc) 에 의해 접속되고, 스피드 컨트롤러 (53f) 와 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 가 제 3b 배관 부분 (P2cb) 에 의해 접속되어 있다.
이와 같은 구성이 채용되어도, 상기 제 7 실시형태에 관련된 발동부 (53F) 및 상기 제 8 실시형태에 관련된 발동부 (53G) 와 동일하게, 예를 들어, 발동부 (53H) 는, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 를 개폐시키는 구동력을 그 토출 밸브 (51) 에 부여할 수 있다. 여기서는, 발동부 (53H) 는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 및 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출에 의해 칸막이부 (Pd1) 를 동작시킴으로써, 연결부 (Vh1) 를 개재하여 밸브체부 (Vb1) 를 동작시킬 수 있다.
검지부 (55F) 는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 의 동작에 관련된 제 1 특정 상태와 제 2 특정 상태를 검지할 수 있다. 제 1 특정 상태로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 완전히 개방되어 있는 상태, 혹은 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 어느 정도 개방되어 있는 상태 등의 액 공급 경로 (PA1) 의 특정한 개방 정도 (개도) 에 관련된 상태 (제 1 특정 개도 상태라고도 한다) 가 채용된다. 제 2 특정 상태로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 완전히 폐쇄되어 있는 상태, 혹은 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 가 어느 정도 폐쇄되어 있는 상태 등의 액 공급 경로 (PA1) 의 특정한 폐쇄 정도 (개도) 에 관련된 상태 (제 2 특정 개도 상태라고도 한다) 가 채용된다.
상기 구성을 갖는 처리 유닛 (100) 에서는, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 각종 트리거 신호를 출력함으로써, 발동부 (53H) 에 의해 토출 밸브 (51) 및 흡인 회수 밸브 (52B) 를 동작시킬 수 있다. 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53c) 로 제 1 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53c) 가 가스 공급 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 를 개방하는 개방 동작이 개시된다. 이 때, 예를 들어, 발동부 (53H) 중 전자 밸브 (53c) 및 스피드 컨트롤러 (53f, 53g) 를 개재하여 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 에 제어 가스 (Gs1) 가 공급되기 시작함으로써, 밸브체부 (Vb1) 가 동작하고, 그 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 를 개방하는 동작 (개방 동작) 이 개시된다. 또, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53a) 에도 제 1 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53a) 가 가스 배출 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 있어서 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 폐쇄하는 폐쇄 동작이 실시된다. 이 때, 예를 들어, 제 1 트리거 신호는, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 제어부 (92) 에도 출력되어도 된다.
또, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53c) 에 제 2 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53c) 가 가스 배출 상태가 되어, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 폐쇄 동작이 개시된다. 이 때, 예를 들어, 발동부 (53H) 중 전자 밸브 (53c) 및 스피드 컨트롤러 (53f, 53g) 를 개재하여 토출 밸브 (51) 의 구동 기구 (DR1) 로부터 제어 가스 (Gs1) 가 배출됨으로써, 밸브체부 (Vb1) 가 동작하고, 그 밸브체부 (Vb1) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 동작 (폐쇄 동작) 이 개시된다. 또, 예를 들어, 제 1 제어부 (91) 로부터 전자 밸브 (53a) 에도 제 2 트리거 신호가 출력됨으로써, 전자 밸브 (53a) 가 가스 공급 상태가 되어, 흡인 회수 밸브 (52B) 에 있어서 밸브체부 (Vb1) 가 동작하기 시작함으로써, 액 흡인 회수 경로 (PB1) 를 개방하는 동작 (개방 동작) 이 개시된다. 이 때, 예를 들어, 제 2 트리거 신호는, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 제어부 (92) 에도 출력되어도 된다.
또, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 제 1 트리거 신호를 출력한 타이밍 (제 1 개방 타이밍이라고도 한다) 으로부터, 검지부 (55F) 가 제 1 특정 상태를 검지한 타이밍 (제 2 개방 타이밍이라고도 한다) 까지의 토출 밸브 (51) 의 실동작 시간 (실개방 동작 시간이라고도 한다) (T1oH) 과, 미리 설정된 개방에 관련된 기준 동작 시간 (기준 개방 동작 시간이라고도 한다) (T0oH) 의 관계에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정을 변경할 수 있다. 여기서, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 를 개방하는 개방 속도가 채용된다. 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 개방 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정이 채용된다. 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도는, 예를 들어, 단위 시간당 제 1 영역 (Aa1) 에 공급되는 제어 가스 (Gs1) 의 양 (가스 공급량) 으로 나타낸다.
또, 제어부 (9) 는, 예를 들어, 제 2 트리거 신호를 출력한 타이밍 (제 1 폐쇄 타이밍이라고도 한다) 으로부터, 검지부 (55F) 가 제 2 특정 상태를 검지한 타이밍 (제 2 폐쇄 타이밍이라고도 한다) 까지의 토출 밸브 (51) 의 실동작 시간 (실폐쇄 동작 시간이라고도 한다) (T1cH) 과, 미리 설정된 기준의 폐쇄 동작 시간 (기준 폐쇄 동작 시간이라고도 한다) (T0cH) 의 관계에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정을 변경할 수 있다. 여기서, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 폐쇄 속도가 채용된다. 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 폐쇄 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 채용된다. 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도는, 예를 들어, 단위 시간당 제 1 영역 (Aa1) 으로부터 배출되는 제어 가스 (Gs1) 의 양 (가스 배출량) 으로 나타낸다. 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도 및 배출 속도를 조정하는 설정으로는, 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53f, 53g) 의 유량 제어 밸브의 조임 정도 (개도) 가 채용된다.
도 22 는, 제 9 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 처리 유닛 (100) 의 제어 플로우의 일례를 나타내는 흐름도이다. 여기서는, 예를 들어, 제어부 (9) 에 있어서 프로그램 (Pg1, Pg2) 이 실행됨으로써 제어 플로우가 실현된다.
먼저, 도 22 의 스텝 Se1 및 스텝 Se2 에서는, 도 8 의 스텝 Sp1 및 스텝 Sp2 와 동일한 처리가 실시된다.
다음으로, 스텝 Se3 에서는, 도 20 의 스텝 Ss3 과 동일하게, 제 1 제어부 (91) 에 의해, 제 1 트리거 신호가 출력된다. 이 때, 제 1 트리거 신호는, 예를 들어, 발동부 (53) 의 전자 밸브 (53a, 53c) 와, 제 2 제어부 (92) 에 대해 출력된다. 그 후, 스텝 Se4 및 스텝 Se6 으로 진행되고, 스텝 Se4, 스텝 Se5 및 스텝 Se10 내지 스텝 Se17 까지의 처리와, 스텝 Se6 내지 스텝 Se9 의 처리가 병행하여 실행된다.
스텝 Se4 에서는, 도 20 의 스텝 Ss4 와 동일하게, 발동부 (53H) 에 의해, 스텝 Se3 에 있어서의 제 1 트리거 신호의 출력에 응답하여, 토출 밸브 (51) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 의 개방을 개시시킨다.
스텝 Se5 에서는, 도 20 의 스텝 Ss5 와 동일하게, 제 1 제어부 (91) 에 의해, 제 2 트리거 신호가 출력된다. 제 2 트리거 신호는, 예를 들어, 발동부 (53) 의 전자 밸브 (53a, 53c) 와, 제 2 제어부 (92) 에 대해 출력된다. 그 후, 스텝 Se10 및 스텝 Se14 로 진행되고, 스텝 Se10 내지 스텝 Se13 의 처리와, 스텝 Se14 내지 스텝 Se17 의 처리가 병행하여 실행된다.
스텝 Se6 에서는, 검지부 (55F) 에 의해, 토출 밸브 (51) 의 동작에 관련된 제 1 특정 상태가 검지된다. 이 때, 예를 들어, 검지부 (55F) 에 있어서의 검지 결과를 나타내는 특정한 신호가 제 2 제어부 (92) 에 출력된다.
스텝 Se7 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Se3 에 있어서 제 1 트리거 신호가 출력된 제 1 개방 타이밍으로부터 스텝 Se6 에 있어서 제 1 특정 상태가 검지된 제 2 개방 타이밍까지의 실개방 동작 시간 (T1oH) 이 인식된다.
스텝 Se8 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Se7 에서 인식된 실개방 동작 시간 (T1oH) 과, 미리 설정된 기준 개방 동작 시간 (T0oH) 의 관계에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 개방 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출된다.
스텝 Se9 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Se8 에서 산출된 변경량에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정이 변경된다.
요컨대, 스텝 Se7 내지 스텝 Se9 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 실개방 동작 시간 (T1oH) 과, 미리 설정된 기준 개방 동작 시간 (T0oH) 의 관계에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 개방 속도에 관련된 설정이 변경된다. 여기서는, 예를 들어, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정이 변경된다. 여기서, 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정으로서 예를 들어, 스피드 컨트롤러 (53f) 의 유량 제어 밸브의 개도 혹은 그 개도에 대응하는 니들 밸브의 위치 설정이 채용된다. 이와 같이 하여, 다음번 이후의 토출 밸브 (51) 에 의한 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 동작에 관련된 실개방 동작 시간 (T1oH) 이, 기준 개방 동작 시간 (T0oH) 에 가까워질 수 있다. 이로써, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 토출에 있어서의 스플래시의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
또한, 스텝 Se7 내지 스텝 Se9 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 제 1 트리거 신호가 출력되는 제 1 개방 타이밍으로부터 제 1 특정 상태가 실현되는 제 2 개방 타이밍까지의 개방 동작 시간 (ToH) 과, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계를 나타내는 정보 (기준 관계 정보) 에 있어서의, 실측된 실개방 동작 시간 (T1oH) 과 기준 개방 동작 시간 (T0oH) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정에 대해, 변경량이 산출되고, 그 변경량에 따른 변경이 이루어져도 된다. 또한, 제 2 제어부 (92) 에서는, 예를 들어, 개방 동작 시간 (ToH) 과, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이의 비례 또는 반비례의 관계에 있어서의, 실개방 동작 시간 (T1oH) 과 기준 개방 동작 시간 (T0oH) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되어도 된다. 또, 제 2 제어부 (92) 에서는, 예를 들어, 기준 개방 동작 시간 (T0oH) 보다 실개방 동작 시간 (T1oH) 이 짧으면, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도가 작아지는, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되고, 기준 개방 동작 시간 (T0oH) 보다 실개방 동작 시간 (T1oH) 이 길면, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도가 커지는, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되어도 된다.
스텝 Se10 에서는, 도 20 의 스텝 Ss6 과 동일하게, 스텝 Se5 에 있어서의 제 2 트리거 신호의 출력에 응답하여, 발동부 (53H) 에 의해, 토출 밸브 (51) 에 있어서 액 공급 경로 (PA1) 의 폐쇄를 개시시킨다.
다음으로, 스텝 Se11 에서는, 도 20 의 스텝 Ss7 과 동일하게, 스텝 Se5 에 있어서의 제 2 트리거 신호의 출력에 응답하여, 발동부 (53H) 에 의해, 흡인 회수 밸브 (52B) 가 동작됨으로써, 액 흡인 회수 동작이 개시된다.
다음으로, 스텝 Se12 및 스텝 Se13 에서는, 도 20 의 스텝 Ss8 및 스텝 Ss9 와 동일한 처리가 실시된다.
다음으로, 스텝 Se14 에서는, 도 20 의 스텝 Ss10 과 동일하게, 검지부 (55F) 에 의해, 토출 밸브 (51) 의 동작에 관련된 제 2 특정 상태가 검지된다. 이 때, 예를 들어, 검지부 (55F) 에 있어서의 검지 결과가, 제 2 제어부 (92) 에 출력된다.
다음으로, 스텝 Se15 에서는, 도 20 의 스텝 Ss11 과 동일하게, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Se5 에 있어서 제 2 트리거 신호가 출력된 제 1 폐쇄 타이밍으로부터 스텝 Se14 에 있어서 제 2 특정 상태가 검지된 제 2 폐쇄 타이밍까지의 실폐쇄 동작 시간 (T1cH) 이 인식된다.
다음으로, 스텝 Se16 에서는, 도 20 의 스텝 Ss12 과 동일하게, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Se15 에서 인식된 실폐쇄 동작 시간 (T1cH) 과, 미리 설정된 기준 폐쇄 동작 시간 (T0cH) 의 관계에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 폐쇄 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출된다. 토출 밸브 (51) 의 폐쇄 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도에 관련된 설정이 채용된다.
스텝 Se17 에서는, 도 20 의 스텝 Ss13 과 동일하게, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 스텝 Se16 에서 산출된 변경량에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경된다. 구체적으로는, 예를 들어, 발동부 (53H) 에 의한 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 변경된다.
요컨대, 스텝 Se15 내지 스텝 Se17 에서는, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 예를 들어, 스텝 Se5 에 있어서 제 2 트리거 신호가 출력된 제 1 폐쇄 타이밍으로부터 스텝 Se14 에 있어서 제 2 특정 상태가 검지된 제 2 폐쇄 타이밍까지의 실폐쇄 동작 시간 (T1cH) 과, 미리 설정된 기준 폐쇄 동작 시간 (T0cH) 의 관계에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경된다. 토출 밸브 (51) 의 동작 속도로는, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 에 의해 액 공급 경로 (PA1) 를 폐쇄하는 폐쇄 속도가 채용된다.
또, 스텝 Se15 내지 스텝 Se17 에서는, 예를 들어, 제 2 제어부 (92) 에 의해, 제 1 제어부 (91) 로부터 제 2 트리거 신호가 출력되는 제 1 폐쇄 타이밍으로부터 제 2 특정 상태가 실현되는 제 2 폐쇄 타이밍까지의 폐쇄 동작 시간 (TcH) 과, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계를 나타내는 정보 (기준 관계 정보) 에 있어서의, 실측된 실폐쇄 동작 시간 (T1cH) 과 기준 폐쇄 동작 시간 (T0cH) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정에 대해, 변경량이 산출되고, 그 변경량에 따른 변경이 이루어져도 된다. 또한, 제 2 제어부 (92) 에서는, 예를 들어, 폐쇄 동작 시간 (TcH) 과, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정값 사이의 비례 또는 반비례의 관계에 있어서의, 실폐쇄 동작 시간 (T1cH) 과 기준 폐쇄 동작 시간 (T0cH) 의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되어도 된다. 또, 제 2 제어부 (92) 에서는, 예를 들어, 기준 폐쇄 동작 시간 (T0cH) 보다 실폐쇄 동작 시간 (T1cH) 이 짧으면, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도가 작아지는, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되고, 기준 폐쇄 동작 시간 (T0cH) 보다 실폐쇄 동작 시간 (T1cH) 이 길면, 토출 밸브 (51) 의 동작 속도가 커지는, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량이 산출되어도 된다.
이와 같이 하여, 1 장의 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 을 사용한 처리가 완료됨과 함께, 다음번 이후의 토출 밸브 (51) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 의 폐쇄 동작에 관련된 실폐쇄 동작 시간 (T1cH) 이, 기준 폐쇄 동작 시간 (T0cH) 에 가까워질 수 있다. 이로써, 예를 들어, 토출 밸브 (51) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 워터 해머에 의한 처리액 (Lq1) 의 드리핑의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
또한, 상기 제 9 실시형태에 있어서도, 상기 제 7 실시형태 및 상기 제 8 실시형태와 동일하게, 토출 밸브 (51) 에 적용되는 에어 오퍼레이트 밸브 (Vao) 로서 예를 들어, 노멀 개형의 에어 오퍼레이트 밸브가 채용되어도 된다. 이 경우에는, 예를 들어, 미터아웃 제어를 실시하기 위한 스피드 컨트롤러 (53g) 에 의해 토출 밸브 (51) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 의 개방 속도가 제어되고, 예를 들어, 미터인 제어를 실시하기 위한 스피드 컨트롤러 (53f) 에 의해 토출 밸브 (51) 에 있어서의 액 공급 경로 (PA1) 의 폐쇄 속도가 제어될 수 있다. 이 때문에, 이 경우에는, 토출 밸브 (51) 의 개방 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 으로부터의 제어 가스 (Gs1) 의 배출 속도를 조정하는 설정이 채용되고, 토출 밸브 (51) 의 폐쇄 속도에 관련된 설정으로는, 예를 들어, 발동부 (53H) 에 의한 토출 밸브 (51) 의 제 1 영역 (Aa1) 에의 제어 가스 (Gs1) 의 공급 속도를 조정하는 설정이 채용될 수 있다.
또, 상기 제 9 실시형태에 있어서, 예를 들어, 검지부 (55F) 가 상기 제 6 실시형태에 관련된 검지부 (55E) 로 치환되어도 된다. 이 경우, 검지부 (55E) 가, 예를 들어, 배관부 (P1) 내에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재 또는 유속에 관련된 제 1 특정 상태를 검지해도 된다. 이 때, 그 제 1 특정 상태로는, 예를 들어, 배관부 (P1) 중 토출 밸브 (51) 로부터 노즐 (Nz1) 에 걸친 부분에 있어서의, 특정 위치까지 처리액 (Lq1) 이 도달한 상태 (특정 급액 상태), 또는 처리액 (Lq1) 의 유속이 기준 유속에 도달한 상태 (특정 흐름 상태) 가 채용된다. 또한, 여기서는, 기준 유속에 도달한 상태란, 예를 들어, 처리액 (Lq1) 의 유속이 기준 유속보다 느린 상태로부터 기준 유속 이상이 된 상태를 말한다. 또, 이 경우, 검지부 (55E) 가, 예를 들어, 배관부 (P1) 내에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 유속에 관련된 제 2 특정 상태를 검지해도 된다. 이 때, 그 제 2 특정 상태로는, 예를 들어, 배관부 (P1) 중 토출 밸브 (51) 로부터 노즐 (Nz1) 에 걸친 부분에 있어서의, 처리액 (Lq1) 의 유속이 기준 유속에 도달한 상태 (특정 흐름 상태) 가 채용된다. 또한, 여기서는, 기준 유속에 도달한 상태란, 예를 들어, 처리액 (Lq1) 의 유속이 기준 유속보다 빠른 상태로부터 기준 유속 이하가 된 상태를 말한다.
<2-9. 기타>
상기 각 실시형태에서는, 처리액 (Lq1) 을 공급하는 대상물로서의 기판 (W) 의 상면 (Us1) 의 형상은, 대략 원형에 한정되지 않고, 예를 들어, 대략 사각형상 등, 그 밖의 형상이어도 된다. 예를 들어, 도 23 에서 나타내는 바와 같이, 유지부 (3I) 의 상면 (3uf) 상에 유지된 사각형상의 기판 (W) 의 상면 (Us1) 에 대해, 슬릿상의 노즐 (Nz11) 로부터 처리액 (Lq1) 이 공급되는 구성이 채용되어도 된다. 여기서는, 예를 들어, 처리액 (Lq1) 으로서, 레지스트 등이 채용된다.
상기 제 3 실시형태 및 상기 제 4 실시형태에 있어서, 예를 들어, 제 2 실시형태와 같이, 예를 들어, 실동작 시간 (T1) 이 개시하는 제 1 타이밍이, 토출 밸브 (51) 의 동작에 관련된 제 1 특정 상태가 검지된 타이밍이 되어도 된다. 이 경우, 예를 들어, 제 3 실시형태에 있어서, 제 1 검지부 (56A) 를 추가하는 구성이 채용될 수 있다. 이와 같은 구성에서도, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 실동작 시간 (T1) 과, 기준 동작 시간 (T0) 의 관계에 따라, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 동작 속도에 관련된 설정이 변경되면 된다. 여기서는, 실동작 시간 (T1) 은, 예를 들어, 제 1 특정 상태가 검지된 제 1 타이밍으로부터, 제 2 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 시간이 된다. 여기서, 제 1 특정 상태는, 예를 들어, 노즐 (Nz1) 에 연결되어 있는 배관부 (P1) 의 도중에 형성된 처리액 (Lq1) 의 액 공급 경로 (PA1) 를 개폐하는 토출 밸브 (51) 의 개도에 관련된 특정 상태이면 된다. 제 2 특정 상태는, 예를 들어, 배관부 (P1) 중 토출 밸브 (51) 와 노즐 (Nz1) 사이의 특정 부분으로서의 분기 부분 (Pb1) 으로부터 분기한 분기 배관 부분 (P1d) 에 형성된 흡인 회수 밸브 (52B) 와 노즐 (Nz1) 사이에 있어서의 처리액 (Lq1) 의 존재 또는 흐름 혹은 흡인 회수 밸브 (52B) 의 동작에 관련된 특정 상태이면 된다. 이와 같은 구성이어도, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52B) 의 동작 환경에 변화가 생겨도, 다음번 이후의 기판 처리에서는, 노즐 (Nz1) 로부터 기판 (W) 에 대한 처리액 (Lq1) 의 토출에 있어서의 문제의 발생을 비교적 간이한 구성으로 억제할 수 있다.
상기 제 3 실시형태 내지 상기 제 9 실시형태에 있어서, 예를 들어, 흡인 회수 밸브 (52B, 52D) 가, 특정 부분으로서의 분기 부분 (Pb1) 에 형성되고, 그 분기 부분 (Pb1) 에 있어서 분기 배관 부분 (P1d) 에 처리액 (Lq1) 이 흐르는 상태와, 분기 부분 (Pb1) 에 있어서 분기 배관 부분 (P1d) 에 처리액 (Lq1) 이 흐르지 않는 상태를 전환하는 것이 가능한 흡인 회수 밸브로 변경되어도 된다. 이와 같은 흡인 회수 밸브로는, 예를 들어, 발동부 (53B, 53D, 53E, 53F, 53G, 53H) 에 의해, 토출 밸브 (51, 51E) 와 노즐 (Nz1) 이 연통되어 있는 상태와, 노즐 (Nz1) 과 분기 배관 부분 (P1d) 이 연통되어 있는 상태를 전환하는 것이 가능한 밸브가 적용될 수 있다. 또한, 이 경우에는, 예를 들어, 노즐 (Nz1) 과 분기 배관 부분 (P1d) 이 연통되어 있는 상태가, 분기 배관 부분 (P1d) 에 있어서의 액 흡인 회수 경로 (PB1) 가 개방되어 있는 상태가 되고, 노즐 (Nz1) 과 분기 배관 부분 (P1d) 이 연통되어 있지 않은 상태가, 액 흡인 회수 경로 (PB1) 가 폐쇄되어 있는 상태가 된다.
또한, 상기 일 실시형태 및 각종 변형예를 각각 구성하는 전부 또는 일부를, 적절히 모순되지 않는 범위에서 조합 가능한 것은 말할 필요도 없다.
1 기판 처리 장치
3, 3I 유지부
5, 5A, 5B, 5C, 5D, 5E, 5F, 5G, 5H 처리액 공급계
6 기체 공급부
7 액 공급부
9 제어부
51, 51E 토출 밸브
52, 52B, 52D 흡인 회수 밸브
53, 53B, 53D, 53E, 53F, 53G, 53H 발동부
53a, 53c 전자 밸브
53b, 53bB, 53f, 53g 스피드 컨트롤러
53d, 53e 모터부
55, 55B, 55C, 55E, 55F 검지부
55A 제 2 검지부
56A 제 1 검지부
91 제 1 제어부
91a, 92a 연산 처리부
91c, 92c 기억부
92 제 2 제어부
100 처리 유닛
AS2 액 흡인 회수 영역
Aa1, Aa2 제 1 영역
Ab1, Ab2 제 2 영역
Bx1, Bx2 용기부
D1, D2 데이터
DR1, DR1D, DR2, DR3 구동 기구
Dp1, Dp2 밸브체부
Eb1, Eb2 탄성체
Gh1, Gh2 가스 통과공
Gs1 제어 가스
Hh1, Hh1A, Hh2 삽통공
Hv1 밸브 슬라이딩공
Hv2 밸브 설치공
Is1, Is2 내부 공간
Lh1, Lh2 액 통과공
Lq0, Lq1 처리액
Nz0, Nz1, Nz11 노즐
P1, P1B 배관부 (처리액용의 배관부)
P1d 분기 배관 부분
P2, P2B, P2D, P2F, P2H 배관부 (가스용의 배관부)
PA1 액 공급 경로
PB1 액 흡인 회수 경로
Pb1 분기 부분
Pd1, Pd2 칸막이부
Pg1, Pg2 프로그램 (컴퓨터 프로그램)
T 동작 시간
T1, T1E, T1F, T1G 실동작 시간
T1cH 실폐쇄 동작 시간
T1oH 실개방 동작 시간
T0, T0E, T0F, T0G 기준 동작 시간
T0cH 기준 폐쇄 동작 시간
T0oH 기준 개방 동작 시간
VM1, VM2 본체부
Vb1, Vb2 밸브체부
Vh1, Vh2 연결부
Vs1 밸브 시트부
Vx1, Vx2 밸브 박스부
W, W0 기판

Claims (47)

  1. 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과,
    상기 노즐에 연결되어 있는 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키는 밸브와,
    상기 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와,
    트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키는 제어부와,
    특정 상태를 검지하는 검지부를 구비하고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 흡인 회수 밸브가 갖는 용기부 내의 공간의 일부의 영역의 기압이 기준압에 도달한 기준압 도달 상태를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터 상기 검지부가 상기 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  2. 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과,
    상기 노즐에 연결되어 있는 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키는 밸브와,
    상기 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와,
    트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키는 제어부와,
    특정 상태를 검지하는 검지부를 구비하고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 흡인 회수 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태, 또는 상기 분기 배관 부분의 특정 위치까지 상기 처리액의 액면이 도달한 특정 흡인 회수 상태를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터 상기 검지부가 상기 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  3. 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과,
    상기 노즐에 연결되어 있는 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키는 밸브와,
    상기 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와,
    트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키는 제어부와,
    특정 상태를 검지하는 검지부를 구비하고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐에 걸친 부분에 있어서의, 특정 위치까지 상기 처리액이 도달한 특정 급액 상태 또는 상기 처리액의 유속이 기준 유속에 도달한 특정 흐름 상태, 혹은 상기 토출 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터 상기 검지부가 상기 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  4. 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과,
    상기 노즐에 연결되어 있는 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키는 밸브와,
    상기 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와,
    트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키는 제어부와,
    특정 상태를 검지하는 검지부를 구비하고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 토출 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태, 혹은 상기 배관부에 있어서의 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐을 향한 상기 처리액의 유속이 기준 유속에 도달한 특정 흐름 상태를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력한 제 1 타이밍으로부터 상기 검지부가 상기 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 변경량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작의 상기 동작 속도에 관련된 설정을 변경하는, 기판 처리 장치.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 발동부는,
    상기 제어부에 의한 상기 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 토출 밸브를 폐쇄하는 폐쇄 동작과, 상기 흡인 회수 밸브에 의한 상기 액 흡인 회수 동작을 개시시키는, 기판 처리 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 발동부는,
    상기 제어부에 의한 상기 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 토출 밸브를 폐쇄하는 폐쇄 동작과, 상기 흡인 회수 밸브에 의한 상기 액 흡인 회수 동작을 개시시키고,
    상기 흡인 회수 밸브는,
    상기 배관부 내의 상기 액 공급 경로에 연통되어 있는 액 흡인 회수 영역을 형성하는 밸브 박스부와,
    상기 액 흡인 회수 영역에 면하고 또한 그 액 흡인 회수 영역의 용적을 변경 가능하게 동작하는 밸브체부와,
    상기 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 갖고,
    상기 구동 기구는,
    상기 용기부와,
    상기 용기부 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와,
    상기 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 갖고,
    상기 발동부는,
    상기 제 1 영역에 기체를 공급하여 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 액 흡인 회수 영역의 용적이 축소되도록 상기 밸브체부를 동작시킴과 함께, 상기 제 1 영역으로부터 기체를 배출시켜 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 액 흡인 회수 영역의 용적이 확대되도록 상기 밸브체부를 동작시켜 상기 흡인 회수 밸브에 상기 액 흡인 회수 동작을 실행시키고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출을 개시시키고,
    상기 일부의 영역은, 상기 제 1 영역을 포함하고,
    상기 동작 속도에 관련된 설정은,
    상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정을 포함하는, 기판 처리 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 흡인 회수 밸브는,
    상기 특정 부분 또는 상기 분기 배관 부분의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐 및 상기 배관부 중 상기 노즐로부터 상기 토출 밸브에 걸친 영역에 존재하고 있는 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 경로를 개폐하고,
    상기 동작 속도는,
    상기 흡인 회수 밸브에 의해 상기 액 흡인 회수 경로를 개방하는 속도를 포함하는, 기판 처리 장치.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 발동부는,
    상기 제어부에 의한 상기 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 토출 밸브를 폐쇄하는 폐쇄 동작과, 상기 흡인 회수 밸브에 의한 상기 액 흡인 회수 동작을 개시시키고,
    상기 흡인 회수 밸브는,
    상기 특정 부분 또는 상기 분기 배관 부분의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐 및 상기 배관부 중 상기 노즐로부터 상기 토출 밸브에 걸친 영역에 존재하고 있는 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 경로를 개폐하고,
    상기 동작 속도는,
    상기 흡인 회수 밸브에 의해 상기 액 흡인 회수 경로를 개방하는 속도를 포함하는, 기판 처리 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 흡인 회수 밸브는,
    상기 액 흡인 회수 경로를 개폐하는 밸브체부와,
    상기 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 갖고,
    상기 구동 기구는,
    용기부와,
    상기 용기 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와,
    상기 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 갖고,
    상기 발동부는,
    상기 제 1 영역에의 기체의 공급 및 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출에 의해 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 밸브체부를 동작시키고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 밸브체부의 동작에 의한 액 흡인 회수 경로의 개방을 개시시킴으로써 상기 흡인 회수를 개시시키고,
    상기 동작 속도에 관련된 설정은,
    상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역에의 기체의 공급 속도 또는 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정을 포함하는, 기판 처리 장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 흡인 회수 밸브는,
    상기 액 흡인 회수 경로를 개폐하는 밸브체부를 갖고,
    상기 발동부는,
    상기 흡인 회수 밸브에 구동력을 부여하는 모터를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 모터에 의해 상기 흡인 회수 밸브에 의한 상기 액 흡인 회수 경로의 개방을 개시시킴으로써 상기 흡인 회수를 개시시키고,
    상기 동작 속도에 관련된 설정은,
    상기 모터에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 개방 속도를 조정하는 설정을 포함하는, 기판 처리 장치.
  12. 제 3 항에 있어서,
    상기 발동부는,
    상기 토출 밸브에 의해 상기 액 공급 경로를 개폐시키는 구동력을 상기 토출 밸브에 부여하고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 개방을 개시시키고,
    상기 동작 속도는,
    상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 개방 속도를 포함하는, 기판 처리 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 발동부는,
    상기 토출 밸브에 의해 상기 액 공급 경로를 개폐시키는 구동력을 상기 토출 밸브에 부여하는 모터를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 모터에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 개방을 개시시키고,
    상기 동작 속도에 관련된 설정은,
    상기 모터에 의한 상기 토출 밸브의 개방 속도를 조정하는 설정을 포함하는, 기판 처리 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 토출 밸브는,
    상기 액 공급 경로를 개폐하는 밸브체부와,
    상기 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 갖고,
    상기 구동 기구는,
    용기부와,
    상기 용기부 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와,
    상기 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 갖고,
    상기 발동부는,
    상기 제 1 영역에의 기체의 공급 및 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출에 의해 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 밸브체부를 동작시키고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 밸브체부에 의한 상기 액 공급 경로의 개방을 개시시키고,
    상기 동작 속도에 관련된 설정은,
    상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역에의 기체의 공급 속도 또는 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정을 포함하는, 기판 처리 장치.
  15. 제 4 항에 있어서,
    상기 발동부는,
    상기 토출 밸브에 의해 상기 액 공급 경로를 개폐시키는 구동력을 상기 토출 밸브에 부여하고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 폐쇄를 개시시키고,
    상기 동작 속도에 관련된 설정은,
    상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 폐쇄 속도를 조정하는 설정을 포함하는, 기판 처리 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 토출 밸브는,
    상기 액 공급 경로를 개폐하는 밸브체부와,
    상기 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 갖고,
    상기 구동 기구는,
    용기부와,
    상기 용기부 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와,
    상기 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 갖고,
    상기 발동부는,
    상기 제 1 영역에의 기체의 공급 및 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출에 의해 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 밸브체부를 동작시키고,
    상기 제어부는,
    상기 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 밸브체부에 의한 상기 액 공급 경로의 폐쇄를 개시시키고,
    상기 동작 속도에 관련된 설정은,
    상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역에의 기체의 공급 속도 또는 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정을 포함하는, 기판 처리 장치.
  17. 제 12 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    제 1 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 개방을 개시시키고, 제 2 트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브에 의한 상기 액 공급 경로의 폐쇄를 개시시키고,
    상기 검지부는,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐에 걸친 부분에 있어서의, 상기 처리액의 도달 또는 유속, 혹은 상기 토출 밸브의 개도에 관련된 제 1 특정 상태를 검지함과 함께, 상기 토출 밸브의 개도 또는 상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐을 향한 상기 처리액의 유속에 관련된 제 2 특정 상태를 검지하고,
    상기 제어부는,
    상기 제 1 트리거 신호를 출력한 제 1 개방 타이밍으로부터 상기 검지부가 상기 제 1 특정 상태를 검지한 제 2 개방 타이밍까지의 실개방 동작 시간과, 미리 설정된 기준 개방 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 토출 밸브의 개방 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출함과 함께, 상기 제 2 트리거 신호를 출력한 제 1 폐쇄 타이밍으로부터 상기 검지부가 상기 제 2 특정 상태를 검지한 제 2 폐쇄 타이밍까지의 실폐쇄 동작 시간과, 미리 설정된 기준 폐쇄 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 토출 밸브의 폐쇄 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  18. 제 1 항 내지 제 4 항, 제 7 항 및 제 9 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 트리거 신호가 출력되는 타이밍으로부터 상기 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계를 나타내는 기준 관계 정보를 기억하는 기억부를 추가로 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 기준의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  19. 제 1 항 내지 제 4 항, 제 7 항 및 제 9 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 트리거 신호가 출력되는 타이밍으로부터 상기 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 비례 또는 반비례의 관계를 나타내는 정보를 기억하는 기억부를 추가로 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 비례 또는 상기 반비례의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 상기 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  20. 제 1 항 내지 제 4 항, 제 7 항 및 제 9 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 짧으면, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도가 작아지는 상기 변경량을 산출하고, 상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 길면, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도가 커지는 상기 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  21. 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과,
    상기 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브와,
    상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키는 구동력을 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브에 부여하는 발동부와,
    트리거 신호를 출력함으로써 상기 발동부에 의해 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키는 제어부와,
    제 1 특정 상태를 검지하는 제 1 검지부와,
    제 2 특정 상태를 검지하는 제 2 검지부를 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 제 1 검지부가 상기 제 1 특정 상태를 검지한 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 검지부가 상기 제 2 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 제 1 특정 상태는,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이에 있어서의 상기 처리액의 존재 또는 흐름 혹은 상기 토출 밸브의 동작에 관련된 특정 상태를 포함하고 있는, 기판 처리 장치.
  23. 제 21 항에 있어서,
    상기 제 2 특정 상태는,
    상기 배관부 중 상기 노즐과 상기 흡인 회수 밸브 사이에 있어서의 상기 처리액의 존재 또는 상기 흡인 회수 밸브의 동작에 관련된 특정 상태를 포함하고 있는, 기판 처리 장치.
  24. 제 21 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 변경량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정을 변경하는, 기판 처리 장치.
  25. 제 21 항에 있어서,
    상기 흡인 회수 밸브는,
    상기 배관부 내의 상기 액 공급 경로에 연통되어 있는 액 흡인 회수 영역을 형성하는 밸브 박스부와,
    상기 액 흡인 회수 영역에 면하고 또한 그 액 흡인 회수 영역의 용적을 변경 가능하게 동작하는 밸브체부와,
    상기 밸브체부를 동작시키는 구동 기구를 갖고,
    상기 구동 기구는,
    용기부와,
    상기 용기부 내의 공간을 제 1 영역과 제 2 영역으로 나누고 있는 칸막이부와,
    상기 칸막이부와 상기 밸브체부를 연결하고 있는 연결부를 갖고,
    상기 발동부는,
    상기 제 1 영역에 기체를 공급하여 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 액 흡인 회수 영역의 용적이 축소되도록 상기 밸브체부를 동작시킴과 함께, 상기 제 1 영역으로부터 기체를 배출시켜 상기 칸막이부를 동작시킴으로써, 상기 연결부를 개재하여 상기 액 흡인 회수 영역의 용적이 확대되도록 상기 밸브체부를 동작시켜 상기 흡인 회수 밸브에 상기 액 흡인 회수 동작을 실행시키고,
    상기 제 2 특정 상태는,
    상기 제 1 영역의 기압이 기준압에 도달한 기준압 도달 상태를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 제 1 타이밍으로부터 상기 검지부가 상기 기준압 도달 상태를 검지한 상기 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 제 1 영역으로부터의 기체의 배출 속도를 조정하는 설정의 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  26. 제 21 항 내지 제 25 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 특정 상태가 실현되는 타이밍으로부터 상기 제 2 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 기준의 관계를 나타내는 기준 관계 정보를 기억하는 기억부를 추가로 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 기준의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  27. 제 21 항 내지 제 25 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 특정 상태가 실현되는 타이밍으로부터 상기 제 2 특정 상태가 실현되는 타이밍까지의 시간과, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정값 사이에 있어서의 비례 또는 반비례의 관계를 나타내는 정보를 기억하는 기억부를 추가로 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 비례 또는 반비례의 관계에 있어서의, 상기 기준 동작 시간과 상기 실동작 시간의 차에 대응하는 상기 설정값의 어긋남량에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치
  28. 제 21 항 내지 제 25 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 짧으면, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도가 작아지는 상기 변경량을 산출하고, 상기 기준 동작 시간보다 상기 실동작 시간이 길면, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도가 커지는 상기 변경량을 산출하는, 기판 처리 장치.
  29. 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성된 밸브와, 그 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와, 제어부를 구비하는 기판 처리 장치의 제어 방법으로서,
    상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키기 시작함으로써, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키기 시작하는 제 1 공정과,
    특정 상태를 검지하는 제 2 공정과,
    상기 제어부에 의해, 상기 제 1 공정에 있어서 상기 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 공정에 있어서 상기 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 3 공정을 갖고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 흡인 회수 밸브가 갖는 용기부 내의 공간의 일부의 영역의 기압이 기준압에 도달한 기준압 도달 상태를 포함하는, 기판 처리 장치의 제어 방법.
  30. 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성된 밸브와, 그 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와, 제어부를 구비하는 기판 처리 장치의 제어 방법으로서,
    상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키기 시작함으로써, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키기 시작하는 제 1 공정과,
    특정 상태를 검지하는 제 2 공정과,
    상기 제어부에 의해, 상기 제 1 공정에 있어서 상기 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 공정에 있어서 상기 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 3 공정을 갖고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 흡인 회수 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태, 또는 상기 분기 배관 부분의 특정 위치까지 상기 처리액의 액면이 도달한 특정 흡인 회수 상태를 포함하는, 기판 처리 장치의 제어 방법.
  31. 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성된 밸브와, 그 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와, 제어부를 구비하는 기판 처리 장치의 제어 방법으로서,
    상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키기 시작함으로써, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키기 시작하는 제 1 공정과,
    특정 상태를 검지하는 제 2 공정과,
    상기 제어부에 의해, 상기 제 1 공정에 있어서 상기 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 공정에 있어서 상기 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 3 공정을 갖고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐에 걸친 부분에 있어서의, 특정 위치까지 상기 처리액이 도달한 특정 급액 상태 또는 상기 처리액의 유속이 기준 유속에 도달한 특정 흐름 상태, 혹은 상기 토출 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태를 포함하는, 기판 처리 장치의 제어 방법.
  32. 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성된 밸브와, 그 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와, 제어부를 구비하는 기판 처리 장치의 제어 방법으로서,
    상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키기 시작함으로써, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키기 시작하는 제 1 공정과,
    특정 상태를 검지하는 제 2 공정과,
    상기 제어부에 의해, 상기 제 1 공정에 있어서 상기 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 공정에 있어서 상기 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 3 공정을 갖고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 토출 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태, 혹은 상기 배관부에 있어서의 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐을 향한 상기 처리액의 유속이 기준 유속에 도달한 특정 흐름 상태를 포함하는, 기판 처리 장치의 제어 방법.
  33. 기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브와, 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키는 구동력을 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각에 부여하는 발동부와, 제어부를 갖는 기판 처리 장치의 제어 방법으로서,
    상기 발동부에 의해, 상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키기 시작하는 제 1 공정과,
    제 1 특정 상태를 검지하는 제 2 공정과,
    제 2 특정 상태를 검지하는 제 3 공정과,
    상기 제어부에 의해, 상기 제 2 공정에서 상기 제 1 특정 상태를 검지한 제 1 타이밍으로부터 상기 제 3 공정에서 상기 제 2 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 4 공정을 갖는, 기판 처리 장치의 제어 방법.
  34. 프로그램이 기억된 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체로서,
    상기 프로그램은,
    기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성된 밸브와, 그 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와, 제어부를 구비하는 기판 처리 장치에 있어서 그 제어부의 프로세서에 의해 실행될 때,
    상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키기 시작함으로써, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키기 시작하는 제 1 스텝과,
    특정 상태를 검지하는 제 2 스텝과,
    상기 제어부에 의해, 상기 제 1 스텝에 있어서 상기 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 스텝에 있어서 상기 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 3 스텝을 실현시키고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 흡인 회수 밸브가 갖는 용기부 내의 공간의 일부의 영역의 기압이 기준압에 도달한 기준압 도달 상태를 포함하는, 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체.
  35. 프로그램이 기억된 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체로서,
    상기 프로그램은,
    기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성된 밸브와, 그 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와, 제어부를 구비하는 기판 처리 장치에 있어서 그 제어부의 프로세서에 의해 실행될 때,
    상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키기 시작함으로써, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키기 시작하는 제 1 스텝과,
    특정 상태를 검지하는 제 2 스텝과,
    상기 제어부에 의해, 상기 제 1 스텝에 있어서 상기 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 스텝에 있어서 상기 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 3 스텝을 실현시키고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 흡인 회수 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태, 또는 상기 분기 배관 부분의 특정 위치까지 상기 처리액의 액면이 도달한 특정 흡인 회수 상태를 포함하는, 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체.
  36. 프로그램이 기억된 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체로서,
    상기 프로그램은,
    기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성된 밸브와, 그 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와, 제어부를 구비하는 기판 처리 장치에 있어서 그 제어부의 프로세서에 의해 실행될 때,
    상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키기 시작함으로써, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키기 시작하는 제 1 스텝과,
    특정 상태를 검지하는 제 2 스텝과,
    상기 제어부에 의해, 상기 제 1 스텝에 있어서 상기 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 스텝에 있어서 상기 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 3 스텝을 실현시키고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 배관부 중 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐에 걸친 부분에 있어서의, 특정 위치까지 상기 처리액이 도달한 특정 급액 상태 또는 상기 처리액의 유속이 기준 유속에 도달한 특정 흐름 상태, 혹은 상기 토출 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태를 포함하는, 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체.
  37. 프로그램이 기억된 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체로서,
    상기 프로그램은,
    기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성된 밸브와, 그 밸브를 동작시키는 구동력을 상기 밸브에 부여하는 발동부와, 제어부를 구비하는 기판 처리 장치에 있어서 그 제어부의 프로세서에 의해 실행될 때,
    상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 발동부에 의해 상기 밸브를 동작시키기 시작함으로써, 상기 배관부 및 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액의 존재 상태를 변화시키기 시작하는 제 1 스텝과,
    특정 상태를 검지하는 제 2 스텝과,
    상기 제어부에 의해, 상기 제 1 스텝에 있어서 상기 트리거 신호가 출력된 제 1 타이밍으로부터 상기 제 2 스텝에 있어서 상기 특정 상태가 검지된 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 3 스텝을 실현시키고,
    상기 밸브는,
    상기 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브를 포함하고,
    상기 특정 상태는,
    상기 토출 밸브의 개도에 관련된 특정 개도 상태, 혹은 상기 배관부에 있어서의 상기 토출 밸브로부터 상기 노즐을 향한 상기 처리액의 유속이 기준 유속에 도달한 특정 흐름 상태를 포함하는, 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체.
  38. 프로그램이 기억된 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체로서,
    상기 프로그램은,
    기판을 향하여 처리액을 토출하는 노즐과, 그 노즐에 연결된 상기 처리액의 유로를 형성하는 배관부와, 그 배관부의 도중 부분에 형성되고, 상기 노즐에 대해 상기 처리액을 공급하는 액 공급 경로를 개폐하는 토출 밸브와, 상기 배관부 중 상기 토출 밸브와 상기 노즐 사이의 특정 부분 또는 그 특정 부분에서 분기한 분기 배관 부분에 형성된, 적어도 상기 노즐에 있어서의 상기 처리액을 흡인하여 회수하는 액 흡인 회수 동작을 실시하는 흡인 회수 밸브와, 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키는 구동력을 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각에 부여하는 발동부와, 제어부를 갖는 기판 처리 장치에 있어서 그 제어부의 프로세서에 의해 실행될 때,
    상기 발동부에 의해, 상기 제어부에 의한 트리거 신호의 출력에 응답하여, 상기 토출 밸브 및 상기 흡인 회수 밸브의 각각을 동작시키기 시작하는 제 1 스텝과,
    제 1 특정 상태를 검지하는 제 2 스텝과,
    제 2 특정 상태를 검지하는 제 3 스텝과,
    상기 제어부에 의해, 상기 제 2 스텝에서 상기 제 1 특정 상태를 검지한 제 1 타이밍으로부터 상기 제 3 스텝에서 상기 제 2 특정 상태를 검지한 제 2 타이밍까지의 실동작 시간과, 미리 설정된 기준 동작 시간의 관계에 따라, 상기 발동부에 의한 상기 흡인 회수 밸브의 동작 속도에 관련된 설정의 변경량을 산출하는 제 4 스텝을 실현시키는, 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체.
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