KR102018506B1 - Coating divece - Google Patents

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KR102018506B1
KR102018506B1 KR1020130012368A KR20130012368A KR102018506B1 KR 102018506 B1 KR102018506 B1 KR 102018506B1 KR 1020130012368 A KR1020130012368 A KR 1020130012368A KR 20130012368 A KR20130012368 A KR 20130012368A KR 102018506 B1 KR102018506 B1 KR 102018506B1
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nozzle
substrate
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토시히로 모리
켄지 하마카와
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도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 반송되는 기판에 대하여 도포가 행하여지는 도포 장치에 있어서, 간단한 구성에 의하여, 센서에 의한 노즐의 폭 방향 양 단부(端部)에 있어서의 높이 위치의 검출 정도(精度)를 높인다.
[해결 수단] 기판(W)을 수평인 반송 방향으로 반송하는 반송 기구부(2)와, 폭 방향으로 길고 또한 반송되는 기판(W)에 대향하는 노즐(30)을 가지고 있는 도포 기구부(3)와, 수평면에 대한 노즐(30)의 자세를 조정하기 위하여 노즐(30)의 폭 방향 양 단부(35)에 있어서의 높이 위치를 검출하는 센서(7)를 구비하고 있다. 반송 기구부(2)는, 반송 방향으로 연장되어 있는 레일(21)과, 이 레일(21)을 따라 이동하는 베이스 부재(23)와, 베이스 부재(23)에 탑재되고 기판(W)을 반송할 때에 기판(W)의 폭 방향 양 단부(E)를 보지(保持)하는 흡착 기구(25)를 가지고 있다. 센서(7)는, 흡착 기구(25)와 함께 베이스 부재(23)에 탑재되어 있다.[PROBLEMS] In a coating device in which coating is applied to a substrate to be conveyed, the degree of detection of the height position at both ends in the width direction of the nozzle by the sensor is increased by a simple configuration.
RESOLUTION The coating mechanism part 3 which has the conveyance mechanism part 2 which conveys the board | substrate W to a horizontal conveyance direction, and the nozzle 30 which opposes the board | substrate W conveyed long and wide in the width direction, and In order to adjust the attitude | position of the nozzle 30 with respect to a horizontal plane, the sensor 7 which detects the height position in the width direction both ends 35 of the nozzle 30 is provided. The conveyance mechanism part 2 is mounted in the rail 21 extended in the conveyance direction, the base member 23 which moves along this rail 21, and the base member 23, and can convey the board | substrate W. FIG. At this time, it has the adsorption mechanism 25 which hold | maintains the width direction both ends E of the board | substrate W. As shown in FIG. The sensor 7 is mounted on the base member 23 together with the adsorption mechanism 25.

Description

도포 장치{COATING DIVECE}Coating device {COATING DIVECE}

본 발명은 반송하는 기판에 대하여 도포액을 도포하는 도포 장치에 관한 것이다.This invention relates to the coating device which apply | coats a coating liquid with respect to the board | substrate to convey.

액정 디스플레이(liquid crystal display) 등의 플랫 패널 디스플레이(flat panel display), 태양 전지 패널 등에는, 화소, 회로 패턴 등이 형성된 기판이 이용되고 있고, 이와 같은 기판은, 예를 들어 레지스트액(resist solution, 도포액)을 도포하여 행하는 포토리소그래피(photolithography) 기술이 이용되는 것에 의하여 제작되고 있다. As a flat panel display such as a liquid crystal display, a solar cell panel, or the like, a substrate on which pixels, circuit patterns, etc. are formed is used. Such a substrate is, for example, a resist solution. And photolithography techniques by applying a coating liquid) are used.

그리고, 도포액을 기판에 대하여 도포하는 장치로서, 기판을 수평으로 하여 고정하는 스테이지와, 폭 방향으로 긴 슬릿이 내부에 형성되어 있는 노즐을 구비한 도포 장치가 알려져 있고, 이 도포 장치에 의하면, 스테이지 상의 기판에 대하여 노즐을 수평 방향으로 이동시키면서 슬릿으로부터 도포액을 토출하는 것으로, 기판의 표면에 도포액에 의한 도막을 형성할 수 있다. 또한, 슬릿으로부터 도포액을 토출할 때, 기판과 노즐(슬릿)과의 사이에는 높이 방향의 간극(間隙)이 설치된 상태에 있고, 이 간극의 값을 조정하기 위하여, 노즐은 승강 가능하게 구성되어 있다. And as an apparatus which apply | coats a coating liquid to a board | substrate, the coating apparatus provided with the stage which horizontally fixes a board | substrate and the nozzle in which the slit long in the width direction is formed inside is known, According to this coating apparatus, By discharging the coating liquid from the slit while moving the nozzle in the horizontal direction with respect to the substrate on the stage, a coating film by the coating liquid can be formed on the surface of the substrate. In addition, when discharging the coating liquid from the slit, a gap in the height direction is provided between the substrate and the nozzle (slit), and in order to adjust the value of the gap, the nozzle is configured to move up and down. have.

이와 같은 도포 장치에 의하여 도포 작업을 행하여, 기판 상에 형성되는 도막의 품질을 향상시키기(막 두께를 균일하게 하기) 위해서는, 노즐을 기판(수평면)에 대하여 평행으로 하고, 또한, 노즐과 기판과의 간극을 폭 방향으로 일정하게 할 필요가 있다. 이 때문에, 스테이지의 단부(端部)에 있어서 노즐의 폭 방향 양 단부에 대응하는 위치 각각에, 센서가 설치되어 있다. 그리고, 이들 센서의 상방(上方)까지 노즐을 수평 방향으로 이동시켜, 이들 센서에 의하여 노즐의 폭 방향 양 단부의 높이의 차이를 구하고, 그 차이에 기초하여 노즐을 승강시키는 것으로 그 기울기 등의 자세를 조정한다. 이것에 의하여, 노즐을 수평으로 하고, 또한, 기판과의 간극을 일정하게 할 수 있다. In order to apply | coat with such a coating apparatus and to improve the quality of the coating film formed on a board | substrate (to make a film thickness uniform), a nozzle is made parallel to a board | substrate (horizontal plane), and a nozzle and a board | substrate and It is necessary to make the clearance gap in the width direction constant. For this reason, the sensor is provided in each position corresponding to the width direction both ends of a nozzle in the edge part of a stage. Then, the nozzle is moved in the horizontal direction to the upper side of these sensors, the difference between the heights of both ends in the width direction of the nozzle is obtained by these sensors, and the nozzle is raised and lowered based on the difference, such as the inclination and the like. Adjust it. Thereby, the nozzle can be leveled and the clearance with a board | substrate can be made constant.

이와 같이, 노즐이 스테이지 상을 수평 방향으로 이동하는 형식의 도포 장치의 경우, 다른 기구를 설치하지 않고, 노즐의 자세를 조정하기 위한 센서를 설치하는 것은 비교적 용이하지만, 노즐이 상하로 승강할 뿐이며 기판이 수평 방향으로 반송되는 형식의 도포 장치(예를 들어 특허 문헌 1 참조)의 경우, 상기 센서의 구성을 그대로 채용할 수 없다.As described above, in the case of the coating device in which the nozzle moves on the stage in the horizontal direction, it is relatively easy to install a sensor for adjusting the attitude of the nozzle without installing another mechanism, but the nozzle only moves up and down. In the case of the application | coating apparatus (for example, refer patent document 1) of the form in which a board | substrate is conveyed in a horizontal direction, the structure of the said sensor cannot be employ | adopted as it is.

일본국 공개특허공보 특개2005-244155호(도 2 참조)Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2005-244155 (see Fig. 2).

그래서, 기판이 수평 방향으로 반송되는 형식의 도포 장치의 경우, 도 6에 도시하는 바와 같이, 노즐(91)을 취부하고 있는 승강체(95)를 승강시키는 가이드로 되는 지주(支柱, 90)로부터, 노즐(91)의 폭 방향의 단부(92)를 향하여 연장되는 암(93)을 설치하고, 이 암(93)의 선단(先端)에 센서(94)를 취부하는 구성이 생각된다. 그러나, 이 경우, 암(93)은 길어지고, 또한, 노즐(91)을 청소(초기화)하기 위한 유닛(도시하지 않음)이 노즐(91)에 접근 이동하였을 때에, 이 유닛의 일부가 암(93)과 간섭하는 것으로부터, 이것을 피하기 위하여 암(93) 또는 유닛의 형상에 궁리가 필요하게 되어, 구성이 복잡하게 된다고 하는 문제점이 있다. Therefore, in the case of the coating apparatus of the type | mold which a board | substrate is conveyed in a horizontal direction, as shown in FIG. 6, from the support | pillar 90 used as the guide which raises and lowers the lifting body 95 which mounts the nozzle 91. The structure which installs the arm 93 extended toward the edge part 92 of the width direction of the nozzle 91, and attaches the sensor 94 to the front-end | tip of this arm 93 is considered. In this case, however, the arm 93 is long, and when a unit (not shown) for cleaning (initializing) the nozzle 91 moves closer to the nozzle 91, a part of this unit is the arm ( In order to avoid this, it is necessary to devise the shape of the arm 93 or the unit so as to avoid this, and the configuration is complicated.

암(93) 또는 유닛의 형상을 궁리하면, 센서(94)를 노즐(91)의 폭 방향의 단부(92)의 직하(直下, 바로 아래)에 설치시키는 것은 가능하지만, 센서(94)에 의한 높은 측정 정도(精度)를 확보하기 위해서는 강성이 높은 암(93)이 필요하다. 그러나, 암(93)의 강성을 높이기 위하여 그 단면적을 크게 하면, 유닛과의 간섭이 더 문제로 된다. 이것과는 반대로, 유닛과 암(93)과의 간섭을 막기 위하여 암(93)을 가늘게 하면, 암(93)의 강성이 저하하여, 센서(94)의 지지가 불안정하게 되어 정확한 계측이 곤란해진다. When the shape of the arm 93 or the unit is devised, it is possible to install the sensor 94 directly below (directly below) the end portion 92 in the width direction of the nozzle 91. In order to secure a high measurement accuracy, a high rigid arm 93 is required. However, if the cross-sectional area is increased to increase the rigidity of the arm 93, interference with the unit becomes more problematic. On the contrary, when the arm 93 is thinned to prevent the unit and the arm 93 from interfering with each other, the rigidity of the arm 93 is lowered and the support of the sensor 94 becomes unstable, making accurate measurement difficult. .

그래서, 본 발명의 목적은, 반송되는 기판에 대하여 도포가 행하여지는 도포 장치에 있어서, 간단한 구성에 의하여, 센서에 의한 노즐의 폭 방향 양 단부에 있어서의 높이 위치의 검출 정도를 높이는 것에 있다.Then, the objective of this invention is to raise the detection degree of the height position in the width direction both ends of a nozzle by a sensor in the coating apparatus which apply | coats with respect to the board | substrate conveyed by a simple structure.

(1) 본 발명은, 기판을 수평인 반송 방향으로 반송하는 반송 기구부와, 상기 반송 방향에 직교하는 수평인 폭 방향으로 길고 또한 반송되는 기판에 대하여 높이 방향의 간극을 두고 대향하는 노즐, 및, 이 노즐을 높이 방향으로 승강시키는 승강 구동부를 가지고, 당해 기판에 대하여 당해 노즐로부터 도포액을 토출하는 도포 기구부와, 수평면에 대한 상기 노즐의 자세를 조정하기 위하여 당해 노즐의 폭 방향 양 단부에 있어서의 높이 위치를 검출하는 센서를 구비하고, 상기 반송 기구부는, 반송하는 기판의 폭 방향 양측에 설치되고 상기 반송 방향으로 연장되어 있는 레일과, 상기 레일을 따라 이동하는 베이스 부재와, 상기 베이스 부재에 탑재되고 상기 기판을 반송할 때에 당해 기판의 폭 방향 양 단부를 보지(保持)하는 보지부를 가지고, 상기 센서는, 상기 보지부와 함께 상기 베이스 부재에 탑재되어 있고, 상기 베이스 부재는, 상기 레일의 상면(上面)에 대하여 당해 베이스 부재를 부상시키는 부상 기구부를 가지고, 이 부상 기구부에 의하여 당해 베이스 부재는 당해 레일에 대하여 부상한 상태로 이동하고, 상기 센서에 의하여 상기 노즐의 폭 방향 양 단부에 있어서의 높이 위치의 검출을 행할 때, 상기 베이스 부재에 탑재된 상기 센서가 상기 노즐의 직하에 위치하고 있는 상태로, 상기 부상 기구부에 의한 상기 베이스 부재의 부상을 해제하여, 당해 베이스 부재를 상기 레일 상에 착석시키는 것을 특징으로 한다. (1) This invention provides the conveyance mechanism part which conveys a board | substrate to a horizontal conveyance direction, the nozzle which opposes the clearance gap of a height direction with respect to the board | substrate conveyed by the horizontal width direction orthogonal to the said conveyance direction, and long, An elevating drive unit for elevating the nozzle in the height direction; an application mechanism unit for discharging the coating liquid from the nozzle with respect to the substrate; and in order to adjust the attitude of the nozzle with respect to the horizontal plane, It is equipped with the sensor which detects a height position, The said conveyance mechanism part is installed in the width direction both sides of the board | substrate to convey, the rail extended in the said conveyance direction, the base member moving along the said rail, and the said base member And a holding part for holding both ends in the width direction of the substrate when conveying the substrate. It is mounted to the base member together with the holding portion, and the base member has a floating mechanism portion for floating the base member with respect to the upper surface of the rail, and the base member is attached to the rail by the floating mechanism portion. The sensor mounted on the base member is located directly under the nozzle when the sensor is moved in a floating state to detect the height position at both ends of the nozzle in the width direction by the sensor. The floating of the base member by the floating mechanism part is released, and the base member is seated on the rail.

본 발명에 의하면, 반송 기구부에 의하여 기판을 수평인 반송 방향으로 반송하기 위하여, 레일은 수평면에 대하여 치수 정도 좋게 구성되어 있으며, 또한, 이 기판을 보지하는 보지부를 탑재하고 있는 베이스 부재도, 수평면에 대하여 치수 정도 좋게 구성되고 또한 수평을 유지한 상태로 정도 좋게 레일을 따라 이동하는 구성으로 된다. 그래서, 이와 같은 베이스 부재에 센서가 탑재되어 있는 것으로, 수평면에 대한 센서의 취부 위치도 고정도(高精度)로 되어, 이 센서에 의하여 노즐의 폭 방향 양 단부의 높이 위치를 정도 좋게 검출하는 것이 가능해진다. 또한, 보지부는, 기판의 반송 시에 그 기판의 폭 방향 양 단부를 보지하는 것인 것으로부터, 보지부 및 이 보지부를 탑재하는 베이스 부재는, 기판의 폭 방향 양 단부에 대응한 위치에 존재한다. 그리고, 이와 같은 위치에 존재하는 베이스 부재에 센서를 탑재하는 것으로, 종래와 같이 긴 암을 필요로 하지 않아, 노즐의 폭 방향 양 단부에 대응한 위치에 센서를 설치할 수 있어, 센서를 설치하기 위한 구성이 간단해진다. According to this invention, in order to convey a board | substrate to a horizontal conveyance direction by a conveyance mechanism part, the rail is comprised so that the dimension may be good with respect to a horizontal plane, and also the base member which mounts the holding | maintenance part which hold | maintains this board | substrate also has a With respect to the dimensions, the configuration is configured to move along the rail with good accuracy and to maintain the level. Therefore, since the sensor is mounted on such a base member, the mounting position of the sensor with respect to the horizontal plane is also high accuracy, and it is desirable to detect the height position of both ends of the width direction of the nozzle with this sensor with high accuracy. It becomes possible. Moreover, since a holding | maintenance part hold | maintains the width direction both ends of the board | substrate at the time of conveyance of a board | substrate, the holding | maintenance part and the base member which mounts this holding | maintenance part exist in the position corresponding to the width direction both ends of a board | substrate. . And by mounting a sensor to the base member which exists in such a position, a long arm is not required as conventionally, and a sensor can be installed in the position corresponding to the both ends of the nozzle in the width direction, and for installing a sensor The configuration is simplified.

또한, 본 발명에 의하면, 상기 베이스 부재는, 상기 레일의 상면(上面)에 대하여 당해 베이스 부재를 부상시키는 부상 기구부를 가지고, 이 부상 기구부에 의하여 당해 베이스 부재는 당해 레일에 대하여 부상한 상태로 이동하며, 이 경우, 베이스 부재는 부드럽게 레일을 따라 이동하는 것이 가능해진다. Moreover, according to this invention, the said base member has the floating mechanism part which raises the said base member with respect to the upper surface of the said rail, The base member is moved in the state which floated with respect to the said rail by this floating mechanism part. In this case, the base member can smoothly move along the rail.

또한, 본 발명에 의하면, 상기 센서에 의하여 상기 노즐의 폭 방향 양 단부에 있어서의 높이 위치의 검출을 행할 때, 상기 베이스 부재에 탑재된 상기 센서가 상기 노즐의 직하에 위치하고 있는 상태로, 상기 부상 기구부에 의한 상기 베이스 부재의 부상을 해제하여, 당해 베이스 부재를 상기 레일 상에 착석시키고 있다.Moreover, according to this invention, when the height position in the width direction both ends of the said nozzle is detected by the said sensor, the said sensor mounted in the said base member is located directly under the said nozzle, and the said floating Lifting of the base member by the mechanism part is released, and the base member is seated on the rail.

이 경우, 상기대로, 레일은 수평면에 대하여 치수 정도 좋게 구성되어 있고, 또한, 베이스 부재도 수평면에 대하여 치수 정도 좋게 구성되어 있는 것으로부터, 이와 같은 베이스 부재를 레일 상에 착석시키는 것으로, 이 베이스 부재에 탑재되어 있는 센서는, 수평면에 대하여 치수 정도가 높은 상태로, 노즐의 직하에 위치할 수 있다. 따라서, 이 상태로, 센서가 노즐의 폭 방향 양 단부에 있어서의 높이 위치의 검출을 행하는 것으로, 그 검출 정도를 높이는 것이 가능해진다. In this case, as mentioned above, since the rail is comprised so that the dimension may be good with respect to a horizontal plane, and the base member is also comprised so much with respect to a horizontal plane, this base member is seated on a rail, The sensor mounted in the can be positioned directly under the nozzle in a state where the degree of dimension is high with respect to the horizontal plane. Therefore, in this state, the sensor detects the height position at both ends of the nozzle in the width direction, and the detection accuracy can be increased.

(2) 상기 부상 기구부는, 상기 레일의 상면에 대하여 기체를 분출하는 것에 의하여 상기 베이스 부재를 부상시키는 분출부로 이루어지는 것이 바람직하다. (2) It is preferable that the said floating mechanism part consists of a blowing part which floats the said base member by blowing a gas with respect to the upper surface of the said rail.

이 경우, 분출부로부터 기체의 분출을 행하는 것으로 베이스 부재를 부상시킬 수 있고, 그리고, 이 분출을 정지하는 것으로 이 부상을 해제할 수 있어, 이들의 전환이 용이하다. In this case, the base member can be floated by blowing gas from the blower, and the floating can be canceled by stopping the blower, and these switching is easy.

(3) 또한, 상기 (2)에 기재된 도포 장치에 있어서, 상기 베이스 부재를 상기 레일 상에 착석시킬 때에 상기 분출부에 잔류하는 기체를 외부로 방출시키는 유로가, 당해 분출부에 접속되어 있는 것이 바람직하다. (3) Moreover, in the coating device as described in said (2), when the base member is seated on the said rail, the flow path which discharge | releases the gas which remains in the said blowing part to the outside is connected to the said blowing part. desirable.

제어 장치에 의하여, 분출부로부터의 기체의 분출을 정지시켜 베이스 부재를 레일 상에 착석시키려고 하여도, 에어 분출부 내에 에어가 잔존하고 있으면, 베이스 부재가 부상한 채로의 상태로 되어, 베이스 부재를 레일 상에 착석시킬 수 없게 되지만, 이 유로에 의하면, 이러한 문제점을 방지할 수 있다. 이 결과, 상기 센서에 의하여 상기 노즐의 폭 방향 양 단부에 있어서의 높이 위치의 검출을 행하는 작업마다, 베이스 부재의 높이 위치를 일정하게 할 수 있다(재현성이 확보된다).Even when the base member is seated on the rails by stopping the ejection of the gas from the ejecting portion by the controller, if air remains in the air ejecting portion, the base member remains in a floating state, Although it cannot be seated on a rail, according to this flow path, such a problem can be prevented. As a result, the height position of a base member can be made constant for every operation | work which detects the height position in the width direction both ends of the said nozzle by the said sensor (reproducibility is ensured).

본 발명에 의하면, 수평면에 대하여 치수 정도 좋게 구성되어 있는 베이스 부재에, 센서가 탑재되어 있는 것으로부터, 이 센서에 의하여 노즐의 폭 방향 양 단부의 높이 위치를 정도 좋게 검출하는 것이 가능해진다. 또한, 베이스 부재에 센서를 탑재하는 것으로, 종래와 같이 긴 암을 필요로 하지 않아, 노즐의 폭 방향 양 단부에 대응한 위치에 센서를 설치할 수 있어, 센서를 설치하기 위한 구성이 간단해진다.According to this invention, since a sensor is mounted in the base member comprised by the dimension about the horizontal plane with high precision, it becomes possible to detect the height position of the both ends of the width direction of a nozzle by this sensor with high precision. In addition, by mounting the sensor on the base member, a long arm is not required as in the prior art, and the sensor can be installed at positions corresponding to both ends in the width direction of the nozzle, thereby simplifying the configuration for installing the sensor.

도 1은 본 발명의 도포 장치의 개략 구성을 도시하는 사시도이다.
도 2는 레일, 이동 유닛, 부상 스테이지 및 노즐을 반송 방향으로부터 본 도면이다.
도 3은 공급용 에어 유로 및 배기용 에어 유로의 설명도이다.
도 4는 센서의 설명도이다.
도 5는 리셋 기구의 설명도이다.
도 6은 종래의 도포 장치의 설명도이다.1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a coating apparatus of the present invention.
2 is a view of the rail, the moving unit, the floating stage and the nozzle as viewed from the conveying direction.
3 is an explanatory view of a supply air flow path and an exhaust air flow path.
4 is an explanatory diagram of a sensor.
5 is an explanatory diagram of a reset mechanism.
6 is an explanatory view of a conventional coating device.

이하, 본 발명의 실시예를 도면에 기초하여 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the Example of this invention is described based on drawing.

도 1은 본 발명의 도포 장치(1)의 개략 구성을 도시하는 사시도이다. 이 도포 장치(1)는, 반송하는 박판상(薄板狀)의 기판(W)에 대하여, 약액(藥液)이나 레지스트액 등의 액상물인 도포액을 도포하는 것이며, 기판(W)을 수평인 반송 방향으로 반송하는 반송 기구부(2)와, 이 반송 기구부(2)에 의하여 반송되는 기판(W)에 대하여 도포액을 토출하여 도포하는 노즐(30)을 가지고 있는 도포 기구부(3)를 구비하고 있다. 나아가, 이 도포 장치(1)는, 반송 기구부(2) 및 도포 기구부(3)의 동작을 제어하는 컴퓨터로 이루어지는 제어 장치(4)를 구비하고 있다. 이 도포 장치(1)는, 고정 상태에 있는 노즐(30)에 대하여, 기판(W)이 수평 방향으로 반송되는 형식의 장치이다. 덧붙여, 본 실시예에서는, 기판(W)의 반송 방향을 X 방향으로 하고, 이 X 방향에 직교하는 수평 방향(Y 방향)을 폭 방향이라고 한다. 그리고, X 방향과 Y 방향에 직교하는 Z 방향을 높이 방향이라고 한다. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a coating device 1 of the present invention. This coating device 1 applies the coating liquid which is a liquid substance, such as a chemical | medical solution and a resist liquid, to the thin plate-shaped board | substrate W to convey, and conveys the board | substrate W horizontally. And a coating mechanism portion 3 having a conveyance mechanism portion 2 to be conveyed in the direction and a nozzle 30 for discharging and applying a coating liquid to the substrate W conveyed by the conveyance mechanism portion 2. . Furthermore, this coating device 1 is equipped with the control apparatus 4 which consists of a computer which controls the operation of the conveyance mechanism part 2 and the application | coating mechanism part 3. This coating device 1 is an apparatus of the type in which the substrate W is conveyed in the horizontal direction with respect to the nozzle 30 in the fixed state. In addition, in a present Example, the conveyance direction of the board | substrate W is made into X direction, and the horizontal direction (Y direction) orthogonal to this X direction is called width direction. The Z direction orthogonal to the X direction and the Y direction is referred to as the height direction.

본 실시예에 관련되는 반송 기구부(2)는, 상면으로부터 기체(에어)를 분출하여 기판(W)을 부상시키는 부상 스테이지(20)와, 이 부상 스테이지(20)의 폭 방향 양측에 설치되어 있는 레일(21)과, 부상 스테이지(20)에 의하여 부상시킨 기판(W)의 폭 방향의 단부(E)를 보지하여 레일(21)을 따라 수평 이동하는 이동 유닛(22)을 가지고 있다. 덧붙여, 레일(21)은, 폭 방향 양측에 설치되어 있는 것으로부터, 이동 유닛(22)도 폭 방향 양측에 설치되어 있다. The conveyance mechanism part 2 which concerns on a present Example is provided in the floating stage 20 which ejects a gas (air) from an upper surface, and raises the board | substrate W, and the width direction both sides of this floating stage 20. The rail 21 and the movement unit 22 which hold | maintain the edge part E of the width direction of the board | substrate W floated by the floating stage 20, and move horizontally along the rail 21 are included. In addition, since the rail 21 is provided in the width direction both sides, the moving unit 22 is also provided in the width direction both sides.

부상 스테이지(20)는, 복수로 분할되어 있고, 반송 방향으로 나란히 놓인 복수의 스테이지 유닛을 구비하고 있다. 부상 스테이지(20)의 폭 방향 치수는 기판(W)의 좌우 방향 치수보다도 작고, 기판(W)의 폭 방향의 단부(E)는 부상 스테이지(20)로부터 비어져 나온 상태로 된다. 분출하는 에어의 유량(분출 강도)은 제어 장치(4)에 의하여 제어되고, 이 제어에 의하여, 기판(W)을 수평상(水平狀)의 자세로 부상시킨다. 이 부상 스테이지(20)의 상면(20a)은, 뒤에 설명하는 조정 작업의 기준면(H0)(도 4 참조)으로 되는 것으로부터, 이 상면(20a)이 수평면으로 되도록 하여 부상 스테이지(20)는 정도 좋게 구성되고 설치되어 있다. The floating stage 20 is divided into a plurality, and includes a plurality of stage units placed side by side in the conveying direction. The width direction dimension of the floating stage 20 is smaller than the horizontal dimension of the board | substrate W, and the edge part E of the width direction of the board | substrate W is protruded from the floating stage 20. As shown in FIG. The flow rate (jet strength) of the air to blow is controlled by the control apparatus 4, and by this control, the board | substrate W is made to float in a horizontal attitude | position. Since the upper surface 20a of this floating stage 20 becomes the reference surface H0 (refer FIG. 4) of the adjustment operation demonstrated later, the upper surface 20a makes the upper surface 20a a horizontal surface, and the floating stage 20 is accurate. It is nicely constructed and installed.

레일(21)은, 반송 방향으로 직선상(直線狀)으로 연장되어 있고, 반송하는 기판(W)의 폭 방향 양측에 설치되어 있다. 또한, 레일(21)의 횡단면은 직사각형이고, 그 상면은 수평이며, 레일(21)은 정도 좋게 구성되고 설치되어 있다. The rail 21 extends linearly in a conveyance direction, and is provided in the width direction both sides of the board | substrate W to convey. In addition, the cross section of the rail 21 is rectangular, the upper surface is horizontal, and the rail 21 is comprised and installed in good grade.

이동 유닛(22)은, 레일(21)을 따라 이동하는 베이스 부재(23)와, 이 베이스 부재(23)를 이동시키는 구동 장치와, 베이스 부재(23)에 탑재되고 기판(W)의 반송 시에 기판(W)의 폭 방향 단부(E)를 보지하는 보지부를 가지고 있다. 덧붙여, 본 실시예에 관련되는 구동 장치는, 리니어 모터(linear motor, 24)를 포함하는 구성으로 이루어지고, 또한, 본 실시예에 관련되는 보지부는, 부상한 기판(W)의 폭 방향 단부(E)의 하면(下面)을 흡착하는 흡착 기구(25)로 이루어진다. The movement unit 22 is mounted on the base member 23 which moves along the rail 21, the drive apparatus which moves this base member 23, and the base member 23, and is conveyed at the time of conveyance of the board | substrate W. FIG. Has the holding part which hold | maintains the width direction edge part E of the board | substrate W. FIG. In addition, the drive apparatus which concerns on a present Example is comprised by the structure containing the linear motor 24, and the holding | maintenance part which concerns on this example is the width direction edge part of the floating board | substrate W ( It consists of the adsorption mechanism 25 which adsorb | sucks the lower surface of E).

흡착 기구(25)는, 부상 스테이지(20)의 상류 측으로 반입되어 부상시킨 기판(W)의 단부(E)의 하면을 흡착하고, 그 흡착 상태를 유지한 채로, 이 흡착 기구(25)를 탑재한 베이스 부재(23)가, 제어 장치(4)의 제어에 기초하여 리니어 모터(24)에 의하여 하류 측까지 이동한다. 이것에 의하여 기판(W)이 수평 방향으로 직선 반송된다. 또한, 흡착 기구(25)는, 부상 스테이지(20)의 좌우 양측 각각에 설치되어 있고, 기판(W)의 편측(片側)의 단부(E)를 따라 전후 방향으로 소정 간격을 가지고 복수대(본 실시예에서는 3대) 설치되어 있다. 편측의 복수대의 흡착 기구(25)는, 공통되는 베이스 부재(23)에 탑재되어 있고, 일체로 되어 이동한다. The adsorption mechanism 25 adsorbs the lower surface of the end portion E of the substrate W carried in the upstream side of the floating stage 20 and floats, and mounts the adsorption mechanism 25 while maintaining the adsorption state. One base member 23 moves to the downstream side by the linear motor 24 based on the control of the control apparatus 4. As a result, the substrate W is linearly conveyed in the horizontal direction. Moreover, the adsorption | suction mechanism 25 is provided in each of the left and right both sides of the floating stage 20, and it has a some space | interval along predetermined edge in the front-back direction along the edge part E of the one side of the board | substrate W. In the embodiment, three units are provided. The plurality of adsorption mechanisms 25 on one side are mounted on a common base member 23 and move integrally.

도 2는 레일(21), 이동 유닛(22), 부상 스테이지(20) 및 노즐(30)을, 반송 방향으로부터 본 도면이다. 상기대로, 레일(21)은 횡단면 직사각형이며, 또한, 베이스 부재(23)는, 이 레일(21)의 상면(21a)과 평행으로 되는 상측 부재(11)와, 이 상측 부재(11)의 폭 방향 양 측부로부터 아래로 연장되는 측벽(側壁) 부재(12, 13)를 가지고, 레일(21)의 상부를 위로부터와 폭 방향 양측으로부터 둘러싸는 단면 형상을 가지고 있다. 2 is a view of the rail 21, the moving unit 22, the floating stage 20, and the nozzle 30 viewed from the conveying direction. As mentioned above, the rail 21 is a cross-sectional rectangle, and the base member 23 is the upper member 11 parallel to the upper surface 21a of this rail 21, and the width | variety of this upper member 11 It has side wall members 12 and 13 extended downward from the both sides of a direction, and has the cross-sectional shape which encloses the upper part of the rail 21 from the upper side and the width direction both sides.

또한, 베이스 부재(23)는, 레일(21)의 상면(21a)에 대하여 비접촉으로 이 베이스 부재(23)를 부상시키는 부상 기구부를 가지고 있고, 본 실시예에 관련되는 부상 기구부는, 레일(21)의 상면(21a)에 대하여 에어(압축 에어)를 분출하는 에어 분출부(26)이다. 에어 분출부(26)는, 상측 부재(11)에 취부되어 있고, 본 실시예에서는 폭 방향으로 두 개 설치되어 있다. 또한, 반송 방향에 관해서도, 에어 분출부(26)는 나란히 놓여 복수 설치되어 있다. 에어 분출부(26)는, 그 하부에 에어 패드(27)를 가지고 있고, 이 에어 패드(27) 내로부터 압축 에어를 레일(21)의 상면(21a)에 대하여 내뿜고 있으며, 이 에어 패드(27)는, 상면(21a)으로부터 약간 부상한 상태, 즉 비접촉 상태로 된다. 덧붙여, 에어 패드(27)를, 예를 들어, 다공질의 카본, 세라믹, 소결 금속 등으로 구성할 수 있다. 이 부상량, 즉 압축 에어의 분출량에 관해서는 제어 장치(4)의 제어에 기초한다. 이러한 에어 분출부(26)에 의하면, 베이스 부재(23)는 레일(21)에 대하여 부상한 상태로 레일(21)을 따라 이동할 수 있다. Moreover, the base member 23 has the floating mechanism part which raises this base member 23 non-contacted with respect to the upper surface 21a of the rail 21, The floating mechanism part which concerns on a present Example is the rail 21 It is an air blowing part 26 which blows out air (compressed air) with respect to the upper surface 21a of (). The air blowing parts 26 are attached to the upper member 11, and two air blowing parts 26 are provided in the width direction in this embodiment. In addition, also regarding the conveyance direction, the air blowing part 26 is provided in multiple numbers side by side. The air blowing part 26 has the air pad 27 in the lower part, blows compressed air from the inside of this air pad 27 with respect to the upper surface 21a of the rail 21, and this air pad 27 ) Slightly rises from the upper surface 21a, that is, in a non-contact state. In addition, the air pad 27 can be comprised with porous carbon, a ceramic, a sintered metal, etc., for example. This floating amount, that is, the blowing amount of the compressed air, is based on the control of the control device 4. According to such an air blowing part 26, the base member 23 can move along the rail 21 in the state which floated with respect to the rail 21. As shown in FIG.

또한, 도 3에 도시하는 바와 같이, 에어 분출부(26)에는, 압축 에어의 공급원으로 되는 펌프(14)가 접속되고 압축 에어를 에어 패드(27)에 공급하는 공급용 에어 유로(15) 외에, 에어 분출부(26)(에어 패드(27)) 중에 잔류하는 에어를 외부로 방출(대기 개방)시키는 배기용 에어 유로(16)가 접속되어 있다. 그리고, 모든 에어 분출부(26)의 펌프 측(상류 측)의 유로에는 밸브(17)가 설치되어 있고, 이 밸브(17)에 의하여, 에어 분출부(26)와 연결되는 유로를, 공급용 에어 유로(15)와 배기용 에어 유로(16)의 어느 일방(一方)으로 선택하는 것이 가능하다. 이 선택(밸브(17)의 전환)은, 제어 장치(4)가 밸브(17)에 대하여 제어 신호를 송신하는 것으로 실행된다. 도포 작업을 위하여 기판(W)을 반송할 때는, 공급용 에어 유로(15)가 선택된다. 배기용 에어 유로(16)가 선택되는 경우로서는, 뒤에 설명하지만, 수평면에 대한 노즐(30)의 자세를 조정하는 조정 작업 때이다. In addition, as shown in FIG. 3, a pump 14 serving as a supply source of compressed air is connected to the air ejecting unit 26, in addition to the supply air passage 15 for supplying the compressed air to the air pad 27. The exhaust air flow path 16 for releasing (waiting to open) the air remaining in the air ejecting portion 26 (air pad 27) to the outside is connected. And the valve 17 is provided in the flow path of the pump side (upstream side) of all the air blowing parts 26, and this valve 17 supplies the flow path connected with the air blowing part 26 for a supply. It is possible to select either one of the air flow path 15 and the exhaust air flow path 16. This selection (switching of the valve 17) is performed by the control device 4 transmitting a control signal to the valve 17. When conveying the board | substrate W for an application | coating operation, the air flow path 15 for supply is selected. When the air flow path 16 for exhaust is selected, although it demonstrates later, it is the time of the adjustment operation which adjusts the attitude | position of the nozzle 30 with respect to a horizontal plane.

도 1에 의하여 도포 기구부(3)에 관하여 설명한다. 도포 기구부(3)는, 상기대로 폭 방향으로 긴 노즐(30)을 가지고 있다. 노즐(30)은, 폭 방향으로 긴 승강체(34)에 취부되어 있다. 노즐(30) 내에는, 그 폭 방향의 거의 전체 길이에 걸쳐 슬릿(31)이 형성되어 있고, 슬릿(31)은, 노즐(30)의 선단(하단(下端))에서 개구(開口)하고 있다. 노즐(30)에 도포액이 공급되고, 기판(W)을 반송하면서 슬릿(31)으로부터 도포액을 토출시키는 것으로, 기판(W)의 폭 방향의 거의 전체 길이(전체 폭)에 대하여 도포액을 도포할 수 있다. 그리고, 노즐(30)의 선단은, 반송되는 기판(W)에 대하여 높이 방향의 간극을 두고 대향한 상태에 있다. The application | coating mechanism part 3 is demonstrated with reference to FIG. The application | coating mechanism part 3 has the nozzle 30 long in the width direction as mentioned above. The nozzle 30 is attached to the lifting body 34 that is long in the width direction. In the nozzle 30, the slit 31 is formed over almost the entire length of the width direction, and the slit 31 opens at the front end (lower end) of the nozzle 30. . The coating liquid is supplied to the nozzle 30, and the coating liquid is discharged from the slit 31 while conveying the substrate W, thereby applying the coating liquid to almost the entire length (full width) of the substrate W in the width direction. It can be applied. And the front end of the nozzle 30 is in the state which opposes the clearance gap of the height direction with respect to the board | substrate W to be conveyed.

이상의 반송 기구부(2) 및 도포 기구부(3)에 의하면, 기판(W)은, 부상 스테이지(20)의 상면으로부터 소정 높이로 부상한 상태로 되고, 이 상태로, 기판(W)의 폭 방향의 단부(E)의 하면이, 흡착 기구(25)에 의하여 흡착된다. 이 흡착 기구(25)를 탑재한 베이스 부재(23)가 레일(21)을 따라 수평 이동하는 것에 의하여, 기판(W)은 수평 방향으로 반송되고, 이 반송의 도중에, 기판(W)의 상면에 대하여 노즐(30)로부터 도포액이 토출되어 도막이 형성된다. According to the conveyance mechanism part 2 and the application | coating mechanism part 3 mentioned above, the board | substrate W will be in the state which floated to the predetermined height from the upper surface of the floating stage 20, and in this state, the board | substrate W of the width direction The lower surface of the end E is adsorbed by the adsorption mechanism 25. By moving the base member 23 on which the adsorption mechanism 25 is horizontally moved along the rail 21, the substrate W is conveyed in the horizontal direction, and on the upper surface of the substrate W during this conveyance. The coating liquid is discharged from the nozzle 30 to form a coating film.

또한, 도포 기구부(3)의 일부로서 폭 방향 양측에 지주(33)가 설치되어 있고, 노즐(30)을 취부하고 있는 승강체(34)는, 지주(33, 33) 사이에 걸쳐 설치되어 있다. 지주(33)는, 승강체(34)의 폭 방향 양 단부를 지지하는 것과 함께 승강체(34)를 상하 방향으로 유도하는 가이드로서의 기능을 가지고 있다. 그리고, 도포 기구부(3)는, 지주(33)를 따라 승강체(34)를 높이 방향으로 승강시키는 승강 구동부(32)를 가지고 있다. 승강 구동부(32)는, 양측의 지주(33) 각각에 설치되어 있고, 승강체(34)의 폭 방향의 단부를 독립하여 상하 이동시키는 액츄에이터(actuator)로 이루어진다. 또한, 승강 구동부(32)는 제어 장치(4)로부터의 제어 신호에 기초하여 동작 가능하고, 폭 방향 양측의 승강 구동부(32)가 동기(同期)하여 동작하면 노즐(30)을 높이 방향으로 평행 이동시킬 수 있고, 또한, 일방의 승강 구동부(32)만이 동작하는 것으로 노즐(30)의 자세를 조정할 수 있다(조정 작업). 예를 들어, 노즐(30)이 수평면에 대하여 기울어 있는 경우, 조정 작업으로서 그 기울기를 해소할 수 있다. In addition, the support | pillar 33 is provided in the width direction both sides as a part of the application | coating mechanism part 3, and the lifting body 34 which mounts the nozzle 30 is provided over the support | pillar 33 and 33. As shown in FIG. . The strut 33 has a function as a guide which guides the lifting body 34 in the vertical direction while supporting both ends in the width direction of the lifting body 34. And the application | coating mechanism part 3 has the lifting drive part 32 which raises and lowers the lifting body 34 along the support | pillar 33 in a height direction. The lifting lowering drive part 32 is provided in each support 33 of both sides, and consists of an actuator which moves the edge part of the lifting direction 34 up and down independently. In addition, the lift drive unit 32 is operable based on the control signal from the control device 4, and when the lift drive units 32 on both sides in the width direction operate in synchronization, the nozzle 30 is parallel to the height direction. The attitude | position of the nozzle 30 can be adjusted by adjusting only one lifting drive part 32 which can be moved (adjustment work). For example, when the nozzle 30 is inclined with respect to the horizontal plane, the inclination can be eliminated as an adjustment work.

이상의 구성을 구비한 도포 장치(1)에 의하여 기판(W) 상에 도포액을 도포하는 도포 작업을 행하는 것이 가능해지지만, 이 기판(W) 상에 형성되는 도포액에 의한 도막의 품질을 향상시키기(막 두께를 균일하게 하기) 위해서는, 노즐(30)은 기판(W)의 상면(수평면)에 대하여 평행이고, 또한, 노즐(30)과 기판(W)과의 간극은 폭 방향으로 일정한 것이 바람직하다. Although it becomes possible to perform the application | coating operation which apply | coats a coating liquid on the board | substrate W by the coating apparatus 1 provided with the above structure, to improve the quality of the coating film by the coating liquid formed on this board | substrate W. In order to make the film thickness uniform, the nozzle 30 is parallel to the upper surface (horizontal surface) of the substrate W, and the gap between the nozzle 30 and the substrate W is preferably constant in the width direction. Do.

따라서, 예를 들어 노즐(30)을 승강체(34)로부터 교체하는 작업을 행한 경우에, 교체 후의 노즐(30)의 자세를 수평으로 하는 조정 작업을 행할 필요가 있다. 이와 같이 수평면에 대한 노즐(30)의 자세를 조정하기 위하여, 도 2에 도시하는 바와 같이, 도포 장치(1)는, 노즐(30)의 폭 방향 양 단부(35)에 있어서의 높이 위치를 검출하는 센서(7)를 구비하고 있다. 그리고, 이 센서(7)는, 흡착 기구(25)와 함께 베이스 부재(23)에 탑재되어 있다. 덧붙여, 베이스 부재(23)는, 폭 방향 양측에 설치되어 있는 것으로부터, 센서(7)도 폭 방향 양측에 설치되어 있고, 이들 양측의 센서(7, 7)는, 폭 방향으로 연장되는 동일 직선(가상선) 상에 배치되어 있다. 또한, 폭 방향 양측 각각의 베이스 부재(23) 상에 있어서, 센서(7)는, 흡착 기구(25)와 반송 방향으로 직선상으로 나란히 놓인 배치로 탑재되어 있다. Therefore, when the operation | work which replaces the nozzle 30 from the lifting body 34 is performed, for example, it is necessary to perform the adjustment work which makes the attitude | position of the nozzle 30 after replacement horizontal. Thus, in order to adjust the attitude | position of the nozzle 30 with respect to a horizontal plane, as shown in FIG. 2, the coating device 1 detects the height position in the width direction both ends 35 of the nozzle 30. As shown in FIG. The sensor 7 is provided. The sensor 7 is mounted on the base member 23 together with the adsorption mechanism 25. In addition, since the base member 23 is provided in the width direction both sides, the sensor 7 is also provided in the width direction both sides, and the sensors 7 and 7 of these both sides are the same straight line extended in the width direction. It is arrange | positioned on (virtual line). Moreover, on the base member 23 of each width direction both sides, the sensor 7 is mounted by the adsorption mechanism 25 and the arrangement arrange | positioned in linear form in the conveyance direction.

센서(7)는, 베이스 부재(23)에 탑재되어 있는 것에 의하여, 베이스 부재(23)가 노즐(30) 아래의 위치까지 이동하는 것으로, 센서(7)를 노즐(30)의 직하에 위치시킬 수 있다. 덧붙여, 베이스 부재(23)의 위치는, 제어 장치(4)에 의하여 관리되고 있고, 제어 장치(4)의 제어에 의하여, 노즐(30)의 직하 위치에 센서(7)를 위치시키는 것이 가능해진다. The sensor 7 is mounted on the base member 23 so that the base member 23 moves to a position below the nozzle 30 so that the sensor 7 can be positioned directly under the nozzle 30. Can be. In addition, the position of the base member 23 is managed by the control apparatus 4, and by the control of the control apparatus 4, it becomes possible to position the sensor 7 in the position directly under the nozzle 30. FIG. .

도 4에 도시하는 바와 같이, 본 실시예에 관련되는 센서(7)는, 접촉식의 센서이며, 노즐(30)의 폭 방향의 단부(35)의 하단면(下端面)에 접촉 가능한 접촉자(8)와, 기준면(H0)으로부터의 접촉자(8)의 선단의 높이 위치를 계측하는 계측기(9)를 가지고 있고, 접촉자(8)의 선단을 노즐(30)의 단부(35)의 하단면에 접촉시키는 것으로, 기준면(H0)으로부터 노즐(30)의 단부(35)의 하단면까지의 높이 h를 계측기(9)가 계측할 수 있다. 덧붙여, 본 실시예에서는, 기준면(H0)은 부상 스테이지(20)의 상면(20a)이다. As shown in FIG. 4, the sensor 7 which concerns on a present Example is a contact type sensor, and the contactor which can contact the lower end surface of the edge part 35 of the width direction of the nozzle 30 ( 8) and the measuring instrument 9 which measures the height position of the tip of the contactor 8 from the reference surface H0, and the tip of the contactor 8 is connected to the lower end surface of the end 35 of the nozzle 30. By making a contact, the measuring instrument 9 can measure the height h from the reference surface H0 to the lower end surface of the end part 35 of the nozzle 30. In addition, in this embodiment, the reference surface H0 is the upper surface 20a of the floating stage 20.

그리고, 이 센서(7)에 의한, 기준면(H0)으로부터의 노즐(30)의 단부(35)의 하단면까지의 높이의 값 h는, 폭 방향 양측에 있어서 계측되고, 계측값이 제어 장치(4)에 출력된다. 제어 장치(4)는, 이 계측값에 기초하여, 높이 h의 차이를 구할 수 있고, 이 차이에 기초하여 노즐(30)을 수평으로 하기 위한 조정 작업을 행하는 것이 가능해진다. And the value h of the height from the reference surface H0 to the lower end surface of the edge part 35 of the nozzle 30 by this sensor 7 is measured in the width direction both sides, and a measured value is a control apparatus ( 4) is output. The control apparatus 4 can calculate | require the difference of height h based on this measured value, and it becomes possible to perform the adjustment work for leveling the nozzle 30 based on this difference.

또한, 이 조정 작업을 위하여, 센서(7)에 의하여 노즐(30)의 폭 방향 양 단부(35)에 있어서의 높이 위치의 검출을 행할 때, 베이스 부재(23)가 가지고 있는 에어 분출부(26, 도 2 참조)로부터 압축 에어의 분출을 행하여 베이스 부재(23)를 레일(21)에 대하여 부상시킨 상태여도 무방하지만, 본 실시예에서는, 조정 작업을 위하여, 제어 장치(4)는, 베이스 부재(23)에 탑재된 센서(7)가 노즐(30)의 직하에 위치하고 있는 상태로, 모든 에어 분출부(26)로부터의 압축 에어의 분출을 정지시키는 제어를 행한다. 상기대로, 압축 에어의 분출을 행하고 있는 에어 패드(27)는, 레일(21)의 상면(21a)로부터 약간 부상한 상태에 있지만, 그 분출을 정지하는 것으로, 에어 분출부(26)는, 레일(21)의 상면(21a)에 접촉한 상태로 된다(부상이 해제된 상태로 된다). 즉, 조정 작업을 위하여, 부상하고 있던 베이스 부재(23)를 레일(21) 상에 착석시킨 상태로 한다. In addition, for this adjustment operation | movement, the air ejecting part 26 which the base member 23 has when the height position in the width direction both ends 35 of the nozzle 30 is performed by the sensor 7 is carried out. 2 may be in a state where the base member 23 is lifted up against the rail 21, but in this embodiment, the control device 4 is a base member for adjustment work. In a state in which the sensor 7 mounted on the 23 is located directly under the nozzle 30, control is performed to stop the ejection of the compressed air from all the air blowing units 26. As mentioned above, although the air pad 27 which blows compressed air exists in the state which floated slightly from the upper surface 21a of the rail 21, the air blowing part 26 stops the blowing, and the air blowing part 26 stops It comes in the state which contacted the upper surface 21a of 21 (the state of injuries is canceled | released). That is, for adjustment work, the floating base member 23 is seated on the rail 21.

나아가, 모든 에어 분출부(26)에의 압축 에어의 공급을 정지하는 것과 함께, 제어 장치(4)는, 밸브(17, 도 3 참조)에 대하여 제어 신호를 송신하여 유로의 전환을 행하고, 모든 에어 분출부(26)를 배기용 에어 유로(16)와 연결되도록 제어한다. 이것에 의하여, 베이스 부재(23)를 레일(21) 상에 착석시킬 때에, 모든 에어 분출부(26)에 잔류하는 에어를 외부로 방출(대기 개방)시킬 수 있다. Furthermore, the supply of the compressed air to all the air ejecting parts 26 is stopped, and the control device 4 transmits a control signal to the valve 17 (see FIG. 3) to switch the flow path, thereby all the air. The blowing unit 26 is controlled to be connected to the exhaust air passage 16. Thereby, when the base member 23 is seated on the rail 21, the air which remain | survives in all the air blowing parts 26 can be discharged | released (atmosphere opening).

제어 장치(4)에 의하여, 에어 분출부(26)로부터의 압축 에어의 분출을 정지시켜 베이스 부재(23)를 레일(21) 상에 착석시키려고 하여도, 에어 분출부(26)(에어 패드(27)) 내에 에어가 잔존하고 있으면, 베이스 부재(23)가 부상한 채로의 상태로 되어, 베이스 부재(23)를 레일(21) 상에 확실히 착석시킬 수 없다. 이 경우, 상기 조정 작업마다, 베이스 부재(23)의 높이 위치를 일정하게 할 수 없어 재현성이 확보되지 않게 되고, 이 결과, 계측값에 오차가 발생하여 버린다. Even if the control device 4 tries to stop the ejection of the compressed air from the air blowing section 26 and seat the base member 23 on the rail 21, the air blowing section 26 (air pad ( 27)), the air remains in the base member 23, and the base member 23 cannot be seated on the rail 21 reliably. In this case, the height position of the base member 23 cannot be made constant for each adjustment operation, and reproducibility is not secured. As a result, an error occurs in the measured value.

그러나, 본 실시예에서는, 에어 분출부(26) 중에 잔존하고 있는 압축 에어를 배기용 에어 유로(16)를 통하여 외부로 방출할 수 있기 때문에, 베이스 부재(23)를 레일(21) 상에 확실히 착석시키는 것이 가능해지고, 그리고, 이 상태를 상기 조정 작업마다 확실히 재현시킬 수 있다. 또한, 압축 에어를 배기용 에어 유로(16)를 통하여 외부로 방출하는 것으로, 베이스 부재(23)를 레일(21) 상에 신속히 착석시키는 것이 가능해진다. 이것에 의하여, 센서(7)에 의한 계측이 신속히 행하여진다. However, in the present embodiment, since the compressed air remaining in the air blowing section 26 can be discharged to the outside via the exhaust air flow passage 16, the base member 23 is secured on the rail 21. Seating becomes possible, and this state can be reliably reproduced for every said adjustment operation. In addition, by discharging the compressed air to the outside through the exhaust air passage 16, the base member 23 can be quickly seated on the rail 21. Thereby, the measurement by the sensor 7 is performed quickly.

이상과 같이, 본 실시예에 관련되는 도포 장치에서는, 기판(W)을 수평인 반송 방향으로 반송하기 위하여, 레일(21)은 수평면에 대하여 치수 정도 좋게 구성되고 또한 설치되어 있으며, 또한, 이 기판(W)을 보지하는 흡착 기구(25)를 탑재하고 있는 베이스 부재(23)도, 수평면에 대하여 치수 정도 좋게 구성되고 또한 수평을 유지한 상태로 정도 좋게 레일(21)을 따라 이동하는 구성에 있다. 그리고, 이와 같은 베이스 부재(23)에 센서(7)가 탑재되어 있는 것으로, 수평면에 대한 센서(7)의 취부 위치도 고정도로 되어, 이 센서(7)에 의하여 노즐(30)의 폭 방향 양 단부(35)의 높이 위치를 정도 좋게 검출하는 것이 가능해진다. 예를 들어, 조정 작업을 행할 때마다, 수평면에 대한 센서(7)의 위치가 재현되어, 검출 정도를 높게 하는 것이 가능해진다. As mentioned above, in the coating apparatus which concerns on a present Example, in order to convey the board | substrate W to a horizontal conveyance direction, the rail 21 is comprised and provided in the dimension about the horizontal plane, and this board | substrate is also The base member 23 on which the suction mechanism 25 for holding (W) is mounted is also configured to move along the rails 21 with good dimensions with respect to the horizontal plane and with keeping the level. . The sensor 7 is mounted on such a base member 23, and the mounting position of the sensor 7 with respect to the horizontal plane is also fixed with high accuracy. It becomes possible to detect the height position of the edge part 35 moderately. For example, each time an adjustment is performed, the position of the sensor 7 with respect to the horizontal plane is reproduced, and the detection degree can be made high.

나아가, 베이스 부재(23)에 탑재되어 있는 흡착 기구(25)는, 기판(W)의 반송 시에 그 기판(W)의 폭 방향 양 단부(E, 도 1 참조)를 보지하는 것인 것으로부터, 이 흡착 기구(25) 및 이 흡착 기구(25)를 탑재하는 베이스 부재(23)는, 기판(W)의 폭 방향 양 단부(E)에 대응한 위치에 존재한다. 그리고, 이와 같은 위치에 존재하는 베이스 부재(23)에 센서(7)를 탑재하는 것으로, 도 6에 도시한 종래와 같은 긴 암을 필요로 하지 않아, 노즐(30)의 폭 방향 양 단부(35)에 대응한 위치에 센서(7)를 설치할 수 있고, 센서(7)를 설치하기 위한 구성이 간단해진다. Furthermore, since the adsorption mechanism 25 mounted in the base member 23 holds the width direction both ends E (refer FIG. 1) of the board | substrate W at the time of conveyance of the board | substrate W, The adsorption mechanism 25 and the base member 23 on which the adsorption mechanism 25 is mounted are present at positions corresponding to both ends E in the width direction of the substrate W. As shown in FIG. The sensor 7 is mounted on the base member 23 existing at such a position, so that the long arm as shown in FIG. 6 is not required, and both ends 35 in the width direction of the nozzle 30 are provided. The sensor 7 can be provided at a position corresponding to the above, and the configuration for installing the sensor 7 is simplified.

나아가, 본 실시예에서는, 조정 작업을 위하여, 베이스 부재(23)에 탑재된 센서(7)가 노즐(30)의 직하에 위치하고 있는 상태로, 에어 분출부(26)로부터의 압축 에어의 분출을 정지시켜, 베이스 부재(23)를 레일(21) 상에 착석시키고 있다. 이 때문에, 상기대로, 레일(21)은 수평면에 대하여 치수 정도 좋게 구성되어 있고, 또한, 기판(W)을 보지하는 흡착 기구(25)를 탑재하고 있는 베이스 부재(23)도 수평면에 대하여 치수 정도 좋게 구성되어 있는 것으로부터, 이와 같은 베이스 부재(23)를 노즐(30)의 직하 위치에서 레일(21) 상에 착석시키는 것으로, 이 베이스 부재(23)에 탑재되어 있는 센서(7)는, 수평면에 대하여 치수 정도가 높은 상태로, 노즐(30)의 직하에 위치할 수 있다. 따라서, 이 상태로, 센서(7)가 노즐(30)의 폭 방향 양 단부(35)에 있어서의 높이 위치의 검출을 행하는 것으로, 그 검출 정도를 높이는 것이 가능해진다. Furthermore, in the present embodiment, for the adjustment work, the ejection of the compressed air from the air blowing section 26 is performed while the sensor 7 mounted on the base member 23 is located directly under the nozzle 30. The base member 23 is seated on the rail 21 by stopping. For this reason, as mentioned above, the rail 21 is comprised so that the dimension may be good about a horizontal plane, and also the base member 23 which mounts the adsorption mechanism 25 holding the board | substrate W is also about the dimension of a horizontal plane. Since the base member 23 is seated on the rail 21 at a position directly below the nozzle 30 because it is configured well, the sensor 7 mounted on the base member 23 is horizontal. It can be located directly under the nozzle 30 in a state where the dimensional accuracy is high with respect to. Therefore, in this state, the sensor 7 detects the height position in the width direction both ends 35 of the nozzle 30, and it becomes possible to raise the detection precision.

또한, 흡착 기구(25)는 기판(W)의 폭 방향 양 단부(E)를 흡착 보지하지만, 도포 작업 시, 이 기판(W)의 단부(E)의 상방에는 노즐(30)의 폭 방향의 단부(35)가 위치한다. 이 때문에, 센서(7)를, 흡착 기구(25)와 반송 방향으로 나란히 놓인 배치로 베이스 부재(23)에 탑재하는 것으로, 이 베이스 부재(23)를 레일(21)을 따라 이동시켜 센서(7)를 노즐(30)의 직하에 위치시키면, 노즐(30)의 폭 방향의 단부(35)에 대응하여 센서(7)는 위치할 수 있다. 이 때문에, 센서(7)를 이용하여 노즐(30)의 높이 위치의 검출을 신속히 개시하는 것이 가능해진다. In addition, although the adsorption | suction mechanism 25 adsorb | sucks and hold | maintains the width direction both ends E of the board | substrate W, at the time of application | coating work, the adsorption | suction mechanism 25 of the width direction of the nozzle 30 above the end E of this board | substrate W is carried out. The end 35 is located. For this reason, the sensor 7 is mounted on the base member 23 in an arrangement arranged in parallel with the adsorption mechanism 25 in the conveying direction, and the base member 23 is moved along the rail 21 to move the sensor 7. ) Is positioned directly below the nozzle 30, the sensor 7 may be positioned corresponding to the end portion 35 in the width direction of the nozzle 30. For this reason, it becomes possible to start detection of the height position of the nozzle 30 quickly using the sensor 7.

또한, 도 4에 있어서, 소정의 수평면을 기준면(H0)으로 하여 노즐(30)의 단부(35)의 하단면의 높이 위치를 정도 좋게 검출할 수 있도록, 센서(7)의 계측기(9)는 설정되어 있지만, 이 설정을 재검토할 필요가 생긴 경우를 위하여, 본 실시예의 도포 장치(1)는 리셋 기구를 구비하고 있다. In addition, in FIG. 4, the measuring instrument 9 of the sensor 7 is able to detect the height position of the lower end surface of the edge part 35 of the nozzle 30 with a predetermined horizontal surface as the reference surface H0. Although it is set, the application apparatus 1 of this embodiment is equipped with the reset mechanism for the case where it is necessary to review this setting.

이 리셋 기구는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 기준면(H0) 상에 설치되는 기준 부재(40)와, 이 기준 부재(40)를 기준면(H0) 상의 소정 위치로 반송하는 액츄에이터(도시하지 않음)를 가지고 있다. 본 실시예에서는, 기준면(H0)이 부상 스테이지(20)의 상면(20a)이다. 액츄에이터는, 직선적인 신축 동작을 행하는 구성이며, 이 액츄에이터가 신장하면, 기준 부재(40)를 부상 스테이지(20)의 상면(20a)에 재치(載置, 물건의 위에 다른 것을 올려 놓음)시키고, 액츄에이터가 단축하면 기준 부재(40)를 퇴피 위치로 퇴피시킨다. 이 퇴피 위치는, 도포 작업 등의 시에, 기준 부재(40)가 방해로 되지 않는 위치이다. As shown in FIG. 5, this reset mechanism includes a reference member 40 provided on the reference surface H0 and an actuator (not shown) that conveys the reference member 40 to a predetermined position on the reference surface H0. Has) In this embodiment, the reference surface H0 is the upper surface 20a of the floating stage 20. The actuator is configured to perform a linear stretching operation, and when the actuator is extended, the reference member 40 is placed on the upper surface 20a of the floating stage 20 (the other one is placed on the object), When the actuator shortens, the reference member 40 is retracted to the retracted position. This retracted position is a position at which the reference member 40 does not interfere in the application operation or the like.

기준 부재(40)의 저면(41)이, 부상 스테이지(20)의 상면(20a)에 실리면, 그 일부가 부상 스테이지(20)의 폭 방향 단부로부터 비어져 나오고, 그 비어져 나온 부분의 저면(41)에 센서(7)의 접촉자(8)의 선단을 접촉시킬 수 있다. 기준 부재(40)의 저면(41)은 수평면으로서 구성되어 있고, 접촉자(8)의 선단과, 부상 스테이지(20)의 상면(20a)을 같은 높이로 가지런히 할 수 있다. 그리고, 이 같은 높이로 가지런히 한 상태로, 계측기(9)는 센서(7)의 원점을 다시 설정한다. 이것에 의하여, 센서(7)에서는, 부상 스테이지(20)의 상면(20a)이 기준면(H0)으로 되어 다시 설정된다. 이 결과, 센서(7)(계측기(9))의 설정을 재검토할 필요가 생긴 경우, 리셋 기구에 의하여 신속히 그 작업을 행하는 것이 가능해진다. When the bottom surface 41 of the reference member 40 is mounted on the upper surface 20a of the floating stage 20, a part thereof is protruded from the widthwise end of the floating stage 20, and the bottom surface of the protruding portion The tip of the contactor 8 of the sensor 7 can be brought into contact with 41. The bottom face 41 of the reference member 40 is comprised as a horizontal surface, and can arrange | position the front end of the contactor 8, and the upper surface 20a of the floating stage 20 to the same height. And the measuring instrument 9 resets the origin of the sensor 7 in the state prepared to such height. Thereby, in the sensor 7, the upper surface 20a of the floating stage 20 is set as the reference surface H0 and set again. As a result, when it becomes necessary to review the setting of the sensor 7 (measuring instrument 9), it becomes possible to perform the operation | work quickly by a reset mechanism.

또한, 본 발명의 도포 장치는, 도시하는 형태에 한정하지 않고 본 발명의 범위 내에 있어서 다른 형태의 것이어도 무방하다. 예를 들어, 본 실시예에 관련되는 부상 스테이지(20)는, 기판(W)을 부상시키기 위하여 에어를 이용한 경우를 설명하였지만, 이것에 한정하지 않고, 초음파를 이용하여도 무방하다. 또한, 기판(W)의 반송은 부상 반송 이외여도 무방하다. 또한, 센서(7)를 접촉식으로 하였지만, 비접촉식으로 하여도 무방하다. 나아가, 기판(W)의 단부(E)를 보지하는 보지부로서, 에어의 흡인에 기초하는 흡착 기구(25)로 하여 설명하였지만, 이것 이외여도 무방하다.In addition, the coating apparatus of this invention is not limited to the form to show in figure, The thing of another form may be sufficient in the range of this invention. For example, although the case where air was used to float the board | substrate W was demonstrated about the floating stage 20 which concerns on a present Example, it is not limited to this, You may use ultrasonic waves. In addition, conveyance of the board | substrate W may be other than floating conveyance. In addition, although the sensor 7 was made into a contact type, you may make it non-contact. Moreover, although it demonstrated as the holding | maintenance part 25 which hold | maintains the edge part E of the board | substrate W as the adsorption mechanism 25 based on the suction of air, it may be other than this.

나아가, 상기 실시예에서는, 부상 기구부를, 에어를 분출하는 에어 분출부(26)로 하고, 베이스 부재(23)를 에어에 의하여 부상시키는 경우로 하여 설명하였지만, 에어 이외에 질소 가스 등의 다른 기체여도 무방하다. Furthermore, in the above embodiment, the floating mechanism portion is used as the air blowing portion 26 for blowing air, and the base member 23 is caused to float with air, but in addition to the air, other gases such as nitrogen gas may be used. It's okay.

또한, 레일(21)에 대하여 베이스 부재(23)를 비접촉으로 하는 구성, 즉, 부상 기구부의 구성은, 기체의 분출에 기초하는 구성 이외에, 예를 들어 자기 부상, 초음파 부상, 정전 부상 등이어도 무방하다. In addition, the structure which makes the base member 23 non-contact with respect to the rail 21, ie, the structure of a floating mechanism part, may be a magnetic injury, an ultrasonic injury, an electrostatic injury, etc. other than the structure based on gas ejection, for example. Do.

또한, 상기 실시예에서는, 베이스 부재(23)를 레일(21) 상에 착석시킬 때에, 배기용 에어 유로(16, 도 3 참조)에 의하여, 에어 분출부(26)에 잔류하는 에어를 외부로 방출(대기 개방)시키는 경우를 설명하였지만, 베이스 부재(23)를 한층 더 신속히 착석시키기 위하여, 도시하지 않지만, 에어 분출부(26)(에어 패드(27)) 내의 에어를 강제적으로 배기하는 흡인 장치를 설치하여도 무방하다. 흡인 장치로서는, 펌프, 블로워(blower) 등으로 할 수 있고, 배기용 에어 유로(16)에 이 흡인 장치를 접속하면 된다. 이 경우, 흡인 장치에 의하여 생기게 한 부압(負壓)에 의하여, 에어 분출부(26)(에어 패드(27))를 레일(21) 상에 흡착시킬 수 있다. In addition, in the said embodiment, when the base member 23 is seated on the rail 21, the air which remain | survives in the air blowing part 26 to the outside by the exhaust air flow path 16 (refer FIG. 3) to the outside. Although the case where discharge | release (atmosphere opening) was demonstrated, in order to seat the base member 23 more quickly, although not shown, the suction device which forcibly exhausts the air in the air blowing part 26 (air pad 27). You may install it. As a suction apparatus, it can be set as a pump, a blower, etc., What is necessary is just to connect this suction apparatus to the air flow path 16 for exhaust. In this case, the air blowing part 26 (air pad 27) can be made to adsorb | suck on the rail 21 by the negative pressure produced by the suction apparatus.

또는, 베이스 부재(23)를 신속히 착석시키기 위하여, 베이스 부재(23)(적어도 그 일부)을 자성체로 하고, 예를 들어 레일(21)에 전자석을 내장시켜, 이 전자석의 자력에 의하여 베이스 부재(23)를 레일(21) 상에 흡착시켜도 무방하다. Alternatively, in order to quickly seat the base member 23, the base member 23 (at least a portion thereof) is made of a magnetic material, and for example, an electromagnet is built in the rail 21, and the base member ( 23 may be adsorbed on the rail 21.

나아가, 베이스 부재(23)를 신속히 착석시키기 위한 다른 수단으로서 신축 실린더 등의 액츄에이터나, 모터에 의하여 구동하는 암 등의 부재에 의하여, 베이스 부재(23)에 대하여, 레일(21)의 상면(21a)을 향하는 방향의 외력(外力)을 주어, 베이스 부재(23)를 레일(21) 상에 꽉 누르는 구성이어도 무방하다.Furthermore, as another means for quickly seating the base member 23, an upper surface 21a of the rail 21 with respect to the base member 23 by a member such as an actuator such as an expansion cylinder or an arm driven by a motor. The external force of the direction toward () may be given, and the structure which presses the base member 23 on the rail 21 may be sufficient.

1 : 도포 장치 2 : 반송 기구부
3 : 도포 기구부 4 : 제어 장치
7 : 센서 16 : 배기용 유로
21 : 레일 21a : 상면
22 : 이동 유닛 23 : 베이스 부재
25 : 흡착 기구(보지부) 26 : 분출부(부상 기구부)
30 : 노즐 32 : 승강 구동부
35 : 단부 E : 단부
W : 기판1: Coating device 2: Transfer mechanism part
3: coating mechanism part 4: control device
7 sensor 16 exhaust channel
21: rail 21a: upper surface
22: moving unit 23: base member
25: adsorption mechanism (holding part) 26: ejection part (injury mechanism part)
30: nozzle 32: lifting drive unit
35: end E: end
W: Substrate

Claims (5)

기판을 수평인 반송 방향으로 반송하는 반송 기구부와,
상기 반송 방향에 직교하는 수평인 폭 방향으로 길고 또한 반송되는 기판에 대하여 높이 방향의 간극(間隙)을 두고 대향하는 노즐, 및, 이 노즐을 높이 방향으로 승강시키는 승강 구동부를 가지고, 당해 기판에 대하여 당해 노즐로부터 도포액을 토출하는 도포 기구부와,
수평면에 대한 상기 노즐의 자세를 조정하기 위하여 당해 노즐의 폭 방향 양 단부(端部)에 있어서의 높이 위치를 검출하는 센서
를 구비하고,
상기 반송 기구부는, 반송하는 기판의 폭 방향 양측에 설치되고 상기 반송 방향으로 연장되어 있는 레일과, 상기 레일을 따라 이동하는 베이스 부재와, 상기 베이스 부재에 탑재되고 상기 기판을 반송할 때에 당해 기판의 폭 방향 양 단부를 보지(保持)하는 보지부를 가지고,
상기 센서는, 상기 보지부와 함께 상기 베이스 부재에 탑재되어 있고,
상기 베이스 부재는, 상기 레일의 상면(上面)에 대하여 당해 베이스 부재를 부상시키는 부상 기구부를 가지고, 이 부상 기구부에 의하여 당해 베이스 부재는 당해 레일에 대하여 부상한 상태로 이동하고,
상기 센서에 의하여 상기 노즐의 폭 방향 양 단부에 있어서의 높이 위치의 검출을 행할 때, 상기 베이스 부재에 탑재된 상기 센서가 상기 노즐의 직하(直下)에 위치하고 있는 상태로, 상기 부상 기구부에 의한 상기 베이스 부재의 부상을 해제하여, 당해 베이스 부재를 상기 레일 상에 착석시키는
것을 특징으로 하는 도포 장치. A conveying mechanism part for conveying the substrate in a horizontal conveying direction;
It has a nozzle which opposes the board | substrate which is long in the horizontal width direction orthogonal to the said conveyance direction, and has a clearance gap of a height direction, and the lifting drive part which raises and lowers this nozzle in a height direction, An application mechanism unit for discharging the coating liquid from the nozzle,
Sensor for detecting the height position in the width direction both ends of the nozzle in order to adjust the attitude of the nozzle with respect to the horizontal plane
And
The said conveyance mechanism part is installed in the width direction both sides of the board | substrate to convey, the rail extended in the said conveyance direction, the base member moving along the said rail, and when mounted in the said base member and conveying the said board | substrate of the said board | substrate. Having a holding part holding the width direction both ends,
The sensor is mounted on the base member together with the holding part,
The base member has a floating mechanism portion for floating the base member with respect to an upper surface of the rail, and the base member is moved in a floating state with respect to the rail by the floating mechanism portion.
When detecting the height position in the width direction both ends of the said nozzle by the said sensor, the said sensor mounted in the said base member is located directly under the said nozzle, and the said Release of the base member to seat the base member on the rail
Applicator characterized in that. 제1항에 있어서,
상기 부상 기구부는, 상기 레일의 상면에 대하여 기체를 분출하는 것에 의하여 상기 베이스 부재를 부상시키는 분출부로 이루어지는 도포 장치. The method of claim 1,
The said floating mechanism part is a coating apparatus which consists of a blowing part which floats the said base member by blowing a gas with respect to the upper surface of the said rail. 제2항에 있어서,
상기 베이스 부재를 상기 레일 상에 착석시킬 때에 상기 분출부에 잔류하는 기체를 외부로 방출시키는 유로가, 당해 분출부에 접속되어 있는 도포 장치.The method of claim 2,
The flow path which discharge | releases the gas which remain | survives in the said blowing part to the outside when the said base member is seated on the said rail is connected to the said blowing part. 삭제delete 삭제delete
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