KR101912025B1 - 하단 부재의 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치 - Google Patents

하단 부재의 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치 Download PDF

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겐지 아이카와
다카히로 마츠다
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가부시키가이샤 후지킨
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Abstract

고정을 위한 공구를 불필요로 하며, 고정의 수고를 삭감한 하단 부재의 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치를 제공한다. 하단 부재(2)의 관통 구멍(11)은, 상면에 개구하는 대직경부(11a)와, 대직경부(11a)의 하측에 연속하며 하면에 개구하는 소직경부(11b)를 포함한다. 고정 부재(14)는, 하단 부재(2)의 관통 구멍(11)의 대직경부(11a) 내에 삽입되는 머리부(21)와, 하단 부재(2)의 관통 구멍(11)의 소직경부(11b) 내에 삽입되는 상측 축부(22)와, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)에 상단부가 삽입된 하측 축부(23)를 포함한다. 하측 축부(23)에, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)의 하측 개구 연부에 맞물려 고정 부재(14)가 지지 부재(51)로부터 탈락하는 것을 방지하는 맞물림 볼록부(29)가 마련되어 있다.

Description

하단 부재의 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치{DEVICE FOR AFFIXING LOWER-LEVEL MEMBER AND FLUID CONTROL DEVICE PROVIDED WITH SAME}
본 발명은, 예컨대, 지지 부재 상에 복수의 조인트(블록 조인트)를 고정하고, 이들 조인트에 걸치도록 유체 제어 기기를 고정해 감으로써 조립되는 유체 제어 장치에서 이용되는, 지지 부재와 유체 제어 기기(상단 부재) 사이에 배치되는 블록 조인트(하단 부재)를 지지 부재에 고정하는 고정 장치에 관한 것이며, 또한, 이 고정 장치를 구비한 유체 제어 장치에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 본 발명이 대상으로 하는 하단 부재의 고정 장치 및 유체 제어 장치로서, 도 8에 나타내는 것이 개시되어 있다.
유체 제어 장치(1)는, 반도체 제조 장치 등에서 이용되는 것으로, 상방으로 개구한 유체 통로가 마련된 복수의 블록 조인트(하단 부재)(2, 3)와, 블록 조인트(2, 3)의 유체 통로로 통하고 하방으로 개구한 유체 통로가 마련된 복수의 유체 제어 기기(상단 부재)(4, 5, 6, 7)와, 블록 조인트(2, 3)의 유체 통로와 유체 제어 기기(4, 5, 6, 7)의 본체(4a, 5a, 6a, 7a)에 마련된 유체 통로의 맞댐면에 개재되어 있는 복수의 시일부(도시 생략)와, 복수의 블록 조인트(2, 3)를 지지하는 지지 부재(51)와, 각 블록 조인트(2, 3)를 지지 부재(51)에 부착하는 복수의 조인트 부재 고정 볼트(52)와, 각 유체 제어 기기(4, 5, 6, 7)를 블록 조인트(2, 3)에 부착하는 복수의 유체 제어 기기 고정 볼트(8)를 구비하고 있다.
블록 조인트(2, 3)에는, 볼트 삽입 관통용의 관통 구멍(11)이 마련되어 있으며, 관통 구멍(11)에 원통형 스페이서(12)가 끼워 넣어져 있고, 스페이서(12)의 상단부에 마련된 플랜지의 하면에, 블록 조인트(2, 3)를 하방으로[지지 부재(51)를 향하여] 편향시키는 환형의 탄성 부재(13)가 배치되어 있다.
하단 부재의 고정 장치(9)는, 지지 부재(51)와 상단 부재(4, 5, 6, 7) 사이에 배치되는 블록 조인트(2, 3)[즉 관통 구멍(11)을 갖는 하단 부재(2, 3)]를 지지 부재(51)에 고정하는 장치로서, 지지 부재(51)에 마련된 나사 구멍(51a), 볼트(52), 스페이서(12), 탄성 부재(13) 등으로 이루어진다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 평성11-94098호 공보
상기 특허문헌 1의 하단 부재의 고정 장치에서는, 볼트[조인트 고정 볼트(52)]에 의해 고정하는 것이기 때문에, 볼트 체결의 공구가 필요하며, 또한, 볼트의 체결에 요하는 수고도 크다고 하는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 고정을 위한 공구를 불필요로 하며, 고정의 수고를 삭감한 하단 부재의 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 따른 하단 부재의 고정 장치는, 관통 구멍을 갖는 하단 부재를 고정 부재에 의해 지지 부재에 고정하는 장치로서, 지지 부재에, 고정 부재 삽입 관통용의 관통 구멍이 마련되고, 하단 부재의 관통 구멍은, 상면에 개구하는 대직경부와, 대직경부의 하측에 연속하며 하면에 개구하는 소직경부를 포함하고, 고정 부재는, 하단 부재의 관통 구멍의 대직경부 내에 삽입되는 머리부와, 하단 부재의 관통 구멍의 소직경부 내에 삽입되는 상측 축부와, 지지 부재의 관통 구멍에 상단부가 삽입되는 하측 축부를 포함하며, 하측 축부에, 지지 부재의 관통 구멍의 하측 개구 연부에 맞물려 고정 부재가 지지 부재로부터 탈락하는 것을 방지하는 맞물림 볼록부가 마련되는 것을 특징으로 하는 것이다.
고정 부재는, 먼저 하단 부재에 부착하고 나서, 지지 부재의 관통 구멍에 삽입 관통하도록 하여도 좋고, 하단 부재와 지지 부재를 위치 맞춤한 상태로, 하단 부재의 관통 구멍 및 지지 부재의 관통 구멍의 양방에 삽입 관통하도록 하여도 좋다. 전자로 하는 편이 보다 바람직하다.
고정 부재가 하단 부재에 삽입된 상태로, 하측 축부의 상단부를 제외한 부분은, 하단 부재의 하면으로부터 하방으로 돌출하고 있으며, 이 하측 축부의 돌출한 부분이 상방으로부터 지지 부재의 관통 구멍에 삽입된다. 이때, 하측 축부에 마련된 맞물림 볼록부는, 강제적으로, 지지 부재의 관통 구멍에 통과된다. 이에 의해, 맞물림 볼록부가 지지 부재의 관통 구멍의 하측 개구 연부에 맞물려, 고정 부재의 지지 부재에 대한 상방으로의 이동이 방지된다. 이때, 고정 부재의 머리부에 의해 하단 부재의 상방으로의 이동이 방지되어, 하단 부재의 지지 부재로부터의 이탈이 방지된다. 즉, 볼트를 사용하는 일없이, 하단 부재를 지지 부재에 고정할 수 있다. 따라서, 렌치 등의 고정을 위한 공구가 불필요하며, 고정의 수고를 삭감할 수 있다.
하측 축부는, 중실부와, 중실부의 하단으로부터 상방으로 연장하는 접힘부를 포함하고, 접힘부의 상단부는 지지 부재의 관통 구멍 내에 삽입되어 있으며, 맞물림 볼록부는 접힘부의 외주면에 마련되어 있는 것이 바람직하다.
접힘부는, 예컨대 2개(한쌍)로 되지만, 이것에 한정되는 것이 아니며, 중실부의 둘레에 복수 형성하도록 하여도 좋다. 그리고, 맞물림 볼록부는, 모든 접힘부에 형성하여도 좋지만, 복수 있는 쌍 중 일부의 쌍에만 형성하도록 하여도 좋다. 또한, 복수의 접힘부에 맞물림 볼록부를 형성하는 경우, 각각의 접힘부의 쌍마다, 맞물림 볼록부의 위치가 상이하도록 배치하여도 좋다. 이렇게 함으로써, 판 두께가 상이한 지지 부재에 대해서도, 복수 있는 것 중 어느 한 맞물림 볼록부가, 관통 구멍의 하측 개구 연부에 맞물릴 수 있기 때문에, 적용 범위를 넓힐 수 있다.
접힘부는, 탄성 변형 용이하며, 이곳에 맞물림 볼록부가 마련되어 있음으로써, 맞물림 볼록부를 강제적으로 지지 부재의 관통 구멍에 통과시키는 작업이 용이해진다. 여기서, 접힘부의 변형이 커지면, 접힘부의 베이스 부분에 응력이 집중하여, 파손의 우려가 있지만, 중실부의 측면에 소정 간격을 두고 대향하도록 마련된 접힘부는, 변형 시에는 중실부의 측면에 접촉하고, 이에 의해, 접힘부의 변형이 커지는 것이 방지된다.
고정 부재는, 일체품으로 되는(머리부, 상측 축부 및 하측 축부는, 일체로 형성되어 있음) 경우가 있으며, 2개 이상의 부품의 조합품(하측 축부는, 교환 가능하게 상측 축부에 부착되어 있음)인 경우가 있다. 고정 부재는, 합성 수지제여도 좋고, 금속제여도 좋다.
하단 부재의 고정 장치는, 관통 구멍의 소직경부 내에 삽입되는 원통형 스페이서를 더 구비하는 경우가 있다. 하단 부재의 고정 장치는, 하단 부재를 하방으로 편향시키는 환형의 탄성 부재를 더 구비하는 경우가 있다.
원통형 스페이서 및 환형의 탄성 부재는, 모두, 종래부터 사용되고 있는 것으로, 이들을 사용함으로써, 하단 부재의 위치 결정(평행 배열)이 용이해진다.
탄성 부재는, 변형함으로써 하단 부재의 상방으로의 이동을 가능하게 하는 것으로, 고무 또는 합성 수지로 이루어지는 환형체로 되어 있는 것이 바람직하다. 탄성 부재에 의해, 하단 부재의 상면끼리를 동일면으로 하는 레벨링 작업을 용이하게 할 수 있고, 또한, 탄성 부재가 탄성 변형함으로써 진동을 흡수할 수도 있다.
스페이서는, 플랜지 없음(원통체)으로 되는 경우가 있고, 상단부에 플랜지가 마련되어 있는 경우가 있다. 스페이서가 플랜지 없음의 경우에는, 탄성체는, 고정 부재의 머리부 하면과 단차(대직경부와 소직경부의 경계 부분에 형성되는 단차)에 배치되고, 스페이서가 플랜지 있음의 경우에는, 탄성체는, 스페이서의 플랜지의 하면과 단차 사이에 배치된다. 후자의 구성이 보다 바람직하다.
머리부 및 상측 축부가 모두 원통형으로 되며, 상측 축부의 하단부에, 지지 부재의 관통 구멍의 직경보다 큰 직경을 갖는 플랜지부가 마련되어 있고, 머리부 및 상측 축부에, 머리부의 외직경을 작게 하는 것을 가능하게 하는 적어도 하나의 슬릿이 마련되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 상측 및 하측 축부의 외직경이 하단 부재의 관통 구멍의 소직경부의 직경보다 작게 이루어져 있어, 고정 부재를 하단 부재의 상측으로부터 관통 구멍에 삽입하는 것이어도 좋지만, 이와 같이 하면, 맞물림 볼록부가 마련되어 있는 하측 축부의 직경을 작게 할 필요가 있어, 강도적으로 불리해지기 때문에, 상측 및 하측 축부의 외직경이 지지 부재의 관통 구멍의 직경보다 크게 이루어져, 고정 부재를 하단 부재의 하측으로부터 관통 구멍에 삽입하는 것으로 하는 것이 보다 바람직하다. 이와 같이 함으로써, 하단 부재로부터의 고정 부재의 상방으로의 빠짐이 방지되며, 맞물림 볼록부를 하단 부재의 관통 구멍의 소직경부의 직경에 제약되는 일없이 형성할 수 있어, 내구성 확보의 점에서 유리해진다.
고정 부재를 하단 부재의 하측으로부터 관통 구멍에 삽입하기 위해서는, 머리부를 관통 구멍의 소직경부 내에 삽입할 필요가 있고, 이것을 가능하게 하기 위해, 머리부 및 상측 축부가 모두 원통형으로 되어, 머리부 및 상측 축부에 적어도 하나의 슬릿이 마련되어 있는 것으로 된다. 슬릿은, 머리부 상면으로부터 축부의 하단 근처까지 연장하도록, 또한 둘레 방향으로 복수 마련되어 있는 것이 바람직하다. 플랜지부는, 슬릿이 마련된 상측 축부가 흩어지는 것을 막으며, 지지 부재의 관통 구멍의 상면 측연부에 상측으로부터 접촉하여, 고정 부재의 지지 부재에 대한 위치 결정을 행한다.
본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 상방으로 개구한 유체 통로가 마련된 복수의 블록 조인트와, 블록 조인트의 유체 통로로 통하고 하방으로 개구한 유체 통로가 마련된 복수의 유체 제어 기기와, 블록 조인트의 유체 통로와 유체 제어 기기의 유체 통로의 맞댐면에 개재되어 있는 복수의 시일부와, 복수의 블록 조인트를 지지하는 지지 부재와, 각 유체 제어 기기를 블록 조인트에 부착하는 복수의 볼트를 포함하는 유체 제어 장치에 있어서, 블록 조인트가 하단 부재로 되며, 이것이 상기에 기재된 것 중 어느 하나의 하단 부재의 고정 장치에 의해 지지 부재에 부착되는 것을 특징으로 하는 것이다.
복수의 블록 조인트의 전부가, 상기 하단 부재의 고정 장치에 의해 지지 부재에 부착되어 있어도 좋고, 복수의 블록 조인트 중 일부가, 상기 하단 부재의 고정 장치에 의해 지지 부재에 부착되어 있어도 좋다. 후자의 경우, 복수의 블록 조인트 중 나머지는, 예컨대, 볼트를 사용한 하단 부재의 고정 장치에 의해 부착된다.
또한, 본 명세서에 있어서, 상하는 도 8의 상하를 말하는 것으로 하지만, 이 상하는 편의적인 것으로, 고정 장치 및 유체 제어 장치는, 도면에 나타낸 상태로 수평면에 설치되는 것 외에, 수직면에 설치되는 경우도 있다.
본 발명의 하단 부재의 고정 장치에 따르면, 맞물림 볼록부가 지지 부재의 관통 구멍의 하측 개구 연부에 맞물림으로써, 고정 부재의 지지 부재에 대한 상방으로의 이동이 방지되고, 고정 부재의 머리부에 의해 하단 부재의 상방으로의 이동이 방지되어, 하단 부재의 지지 부재로부터의 이탈이 방지된다. 즉, 볼트를 사용하는 일없이, 하단 부재를 지지 부재에 고정할 수 있다. 따라서, 렌치 등의 고정을 위한 공구가 불필요하며, 고정의 수고를 삭감할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 하단 부재의 고정 장치의 제1 실시형태를 나타내는 단면도이다.
도 2는 지지 부재 및 하단 부재를 나타내는 사시도이다.
도 3은 지지 부재를 나타내는 사시도이다.
도 4는 고정 부재를 나타내는 사시도이다.
도 5는 고정 부재를 나타내는 정면도이다.
도 6은 고정 부재를 접힘부를 삭제하여 나타내는 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 하단 부재의 고정 장치의 제2 실시형태를 나타내는 단면도이다.
도 8은 종래의 하단 부재의 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치를 나타내는 일부를 절결한 측면도이다.
본 발명의 실시형태를 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 상하는 도 1의 상하를 말하는 것으로 한다.
도 1부터 도 6까지는, 본 발명의 하단 부재의 고정 장치의 제1 실시형태를 나타내고 있다.
하단 부재의 고정 장치(10)는, 하단 부재(2)를 고정 부재(14)에 의해 지지 부재(51)에 고정하는 장치로서, 도 8에 나타낸 유체 제어 장치(1)에 있어서, 볼트(52)를 후술하는 고정 부재(14)로 변경한 것으로 되어 있다. 지지 부재(51), 스페이서(12) 및 탄성 부재(13)에 대해서는, 도 8에 나타낸 것과 동일한 것으로 할 수 있고, 필요에 따라, 도 8에 나타낸 것으로부터 약간 변경할 수도 있다.
하단 부재(2)는, 도 8에 나타낸 블록 조인트(2)와 동일한 것이며, 볼트(52)가 삽입되던 관통 구멍(11)을 가지고 있다. 관통 구멍(11)은, 상면에 개구하는 대직경부(11a)와, 대직경부(11a)의 하측에 연속하며 하면에 개구하는 소직경부(11b)를 포함한다.
하단 부재(블록 조인트)(2)에는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 상방으로 개구하는 2개의 개구를 갖는 V자형의 유체 통로(2a)와, 유체 통로(2a)의 각 개구 돌기부에 마련된 시일부 수납 오목부(2b)와, 유체 제어 기기 고정 볼트[도 8의 도면 부호 8]가 나사 결합되는 암나사부(2c)가 더 마련되어 있다. 또한, 도 1에 있어서, 유체 통로(2a)는 도시 생략하고 있다.
지지 부재(51)는, 판 두께가 2 ㎜ 정도인 강판의 도장품으로 되어 있다. 지지 부재(51)에는, 도 3에도 나타내는 바와 같이, 관통 구멍(16)이 마련되어 있다. 이 관통 구멍(16)은, 도 8에 나타내는 나사 구멍(51a)을 그대로 사용하는 것이어도 좋고, 나사 구멍(51a)으로 할 필요는 없기 때문에, 단순한 단면 원형의 관통 구멍이어도 좋다.
하단 부재(2)의 관통 구멍(11)의 소직경부(11b)에, 플랜지(12a)를 갖는 원통형 스페이서(12)가 끼워 넣어져 있다. 스페이서(12)는, 하단이 지지 부재(51)에 받쳐지고, 상단이 대직경부(11a) 내에 있어 고정 부재(14)의 머리부(21)를 받치고 있다. 스페이서(12)의 플랜지(12a)의 하면과 관통 구멍(11)의 대직경부(11a)의 바닥면[대직경부(11a)와 소직경부(11b)의 경계 부분에 형성되는 단차] 사이에, 하단 부재(2)를 하방으로[지지 부재(51)를 향하여] 편향시키는 환형의 탄성 부재(13)가 개재되어 있다. 또한, 스페이서(12)는, 생략하여도 좋고, 또한, 플랜지(12a)가 없는 것으로 하여, 탄성 부재(13)가 고정 부재(14)의 머리부(21)의 하면과 관통 구멍(11)의 대직경부(11a)의 바닥면 사이에 개재되도록 하여도 좋다.
탄성 부재(13)는, 고무 또는 합성 수지로 이루어지는 환형체로 되어 있다. 탄성 부재(13)는, 그 외주면의 상하부에 절결이 마련되어 있어도 좋다.
고정 부재(14)는, 도 4부터 도 6까지에도 나타내는 바와 같이, 관통 구멍(11)의 대직경부(11a) 내에 삽입되는 머리부(21)와, 관통 구멍(11)의 소직경부(11b) 내에 삽입되는 상측 축부(22)와, 상측 축부(22)의 하단에 연속하는 하측 축부(23)를 포함한다.
머리부(21), 상측 축부(22) 및 하측 축부(23)는, 합성 수지제 성형품으로서, 일체로 형성되어 있다. 고정 부재(14)는, 금속제로 할 수도 있다. 머리부(21), 상측 축부(22) 및 하측 축부(23)의 전부를 일체품으로 하는 것 대신에, 머리부(21) 및 상측 축부(22)와 하측 축부(23)를 별도 부품으로 하여, 하측 축부(23)를 교환 가능하게 머리부(21)와 일체의 상측 축부(22)에 부착되어 있게 하여도 좋다.
머리부(21)는 상대적으로 짧고 직경이 큰 원통형으로 되며, 상측 축부(22)는 상대적으로 길고 직경이 작은 원통형으로 되어 있다.
상측 축부(22)는, 원통부(24)와, 그 하단부에 마련된 원판형의 플랜지부(25)를 포함한다.
머리부(21)의 하면이 관통 구멍(11)의 대직경부(11a)의 바닥면에서 받쳐진 상태에서, 플랜지부(25)의 하면이 지지 부재(51)의 상면에 접촉하도록, 상측 축부(22)의 길이가 설정되어 있다.
머리부(21) 및 상측 축부(22)에는, 머리부(21)의 상면으로부터 축방향으로 평행하게 연장하는 4개의 슬릿(26)이 둘레 방향으로 등간격으로 마련되어 있다. 각 슬릿(26)은, 플랜지부(25)의 상면에 도달하도록 마련되어 있고, 이에 의해, 상측 축부(22)의 외직경을 작게 함으로써, 머리부(21)의 외직경을 작게 할 수 있게 되어 있다.
상측 축부(22)의 플랜지부(25)의 직경은, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)의 직경보다 큰 것으로 되어 있다. 플랜지부(25)는, 슬릿(26)이 마련된 상측 축부(22)가 흩어지는 것을 막으며, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)의 상면 측연부에 상측으로부터 접촉하여, 고정 부재(14)의 지지 부재(51)에 대한 위치 결정을 행하고 있다. 플랜지부(25)의 직경은, 스페이서(12)의 내직경과 외직경 사이의 크기로 되어 있다.
하측 축부(23)는, 한쌍의 평탄형 측면(27a)을 갖는 중실부(27)와, 각 평탄형 측면(27a)에 소정 간격을 두고 대향하도록 중실부(27)의 하단으로부터 상방으로 연장하는 한쌍의 접힘부(28)를 포함한다.
각 접힘부(28)와 중실부(27)의 각 평탄형 측면(27a) 사이에 간격이 마련되어 있음으로써, 각 접힘부(28)는, 중실부(27)의 측면(27a)에 접촉할 때까지 직경 방향 내방으로 변형 가능하게 되어 있고, 중실부(27)의 측면(27a)에 접촉함으로써 그 이상의 변형이 방지된다.
중실부(27)의 평탄형 측면(27a)끼리를 잇는 외주면과 한쌍의 접힘부(28)의 외주면에 의해 대략 원통형의 외주면이 형성되어 있고, 이 외주면의 직경[하측 축부(23)의 직경]은, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)의 직경과 동일하게 이루어져 있다.
접힘부(28)의 상단부는, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16) 내에 삽입되어 있고, 각 접힘부(28)에, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)의 하측 개구 연부에 맞물려 고정 부재(14)의 상방으로의 이동을 방지하는 반구형의 맞물림 볼록부(29)가 마련되어 있다.
도 1에 있어서, 고정 부재(14)는 스페이서(12)를 지지 부재(51)에 고정하고 있으며, 지지 부재(51)에 대하여, 고정 부재(14) 및 스페이서(12)는, 이동 불가능하게 되어 있다. 그리고, 하단 부재(2)는, 스페이서(12)로부터 탄성 부재(13)를 통해 하향의 힘을 받음으로써, 그 하면이 지지 부재(51)에 접촉하여, 이동 불가능하게 되어 있다. 고무제의 탄성 부재(13)의 탄성력은, 손의 힘에 비해서 작기 때문에, 이 탄성력에 대항하여 하단 부재(2)에 상향의 힘을 작용시킴으로써, 하단 부재(2)를 손으로 상방으로 들어올릴 수 있다. 따라서, 어떤 하단 부재(2)의 상면이 낮은 경우에는, 이 하단 부재(2)를 탄성 부재(13)의 탄성력에 대항하여 상방으로 이동시킴으로써, 하단 부재(2)의 상면 위치의 미세 조정, 즉 레벨링을 행할 수 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이 고정 부재(14)에 의해 하단 부재(2)를 지지 부재(51)에 고정하기 위해서는, 먼저, 고정 부재(14)의 머리부(21) 및 상측 축부(22)를 하단 부재(2)의 관통 구멍(11)에 삽입하고, 그 후에, 고정 부재(14)의 하측 축부(23)를 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)에 삽입한다.
플랜지부(25)의 직경은, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)의 직경보다 크게 이루어져 있으며, 스페이서(12)의 내직경보다 크게 이루어져 있기 때문에, 고정 부재(14)는, 상방으로부터 하단 부재(2)에 삽입할 수는 없게 되어 있고, 지지 부재(51)가 없는 상태에서 하방으로부터 하단 부재(2)에 삽입된다. 여기서, 머리부(21)의 직경은, 스페이서(12)의 내직경보다 크게 이루어져 있기 때문에, 그대로는 머리부(21)를 관통 구멍(11) 내에 삽입할 수 없지만, 슬릿(26)이 마련되어 있기 때문에, 슬릿(26)의 폭이 좁아지도록 상측 축부(22)의 직경을 작게 함으로써, 머리부(21)의 직경을 작게 할 수 있다. 슬릿(26)의 폭은, 머리부(21)를 스페이서(12) 내에 삽입 가능하게 마련되어 있고, 머리부(21)의 직경을 작게 함으로써, 고정 부재(14)를 하측으로부터 관통 구멍(11)에 삽입할 수 있다. 플랜지부(25)가 관통 구멍(11)의 소직경부(11b)의 하단부 내에 삽입된 시점에서, 고정 부재(14)의 하단 부재(2)에의 삽입 작업은 중지되고, 이때에는, 머리부(21)가 대직경부(11a) 내에 있어서, 원래의 크기로 확장되고, 이에 의해, 고정 부재(14)는, 하측 축부(23)를 하방으로 돌출시킨 상태로, 관통 구멍(11)에 삽입된다.
이어서, 고정 부재(14)의 하측 축부(23)를 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)에 상방으로부터 삽입하여, 맞물림 볼록부(29)가 관통 구멍(16)을 통과하도록 한다. 이에 의해, 상측 축부(22)의 플랜지부(25)가 지지 부재(51)에 상면측으로부터, 맞물림 볼록부(29)가 지지 부재(51)에 하면측으로부터 접촉함으로써, 고정 부재(14)는, 하측으로도 상측으로도 빠지지 않는 상태로, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)에 삽입된다. 이에 의해, 고정 부재(14)의 지지 부재(51)로부터의 빠짐 방지와 지지 부재(51)로부터의 하단 부재(2)의 빠짐 방지가 동시에 달성된다.
고정 부재(14)의 관통 구멍(16)에의 삽입에 있어서, 접힘부(28)는, 중실부(27)의 평탄형 측면(27a)에 의해, 그 이상의 변형이 방지된다. 따라서, 접힘부(28)와 중실부(27) 하단부 사이에 소정값 이상의 큰 힘이 작용하는 것이 방지되어, 내구성이 우수한 것으로 되어 있다.
맞물림 볼록부(29)의 형상이 반구형으로 되어 있기 때문에, 고정 부재(14)의 하측 축부(23)는, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)을 상측으로부터 하측에 삽입 관통하는 것이 가능할 뿐만 아니라, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)을 하측으로부터 상측에 삽입 관통하는 것도 가능하게 되어 있다. 따라서, 도 1에 있어서, 하단 부재(2)를 상방으로 들어올림으로써, 하단 부재(2)에 부착된 상태로 고정 부재(14)를 지지 부재(51)로부터 뽑아낼 수 있어, 고정 부재(14)를 하측으로부터 누름으로써 제거할 수 없는 상황 하에서, 지지 부재(51)로부터 하단 부재(2)를 제거할 필요가 있는 경우에 유리하다. 또한, 맞물림 볼록부(29)의 형상은, 반구형에 한정되는 것이 아니다.
이렇게 하여, 본 실시형태의 하단 부재의 고정 장치(10)에 따르면, 볼트를 사용하는 일없이, 하단 부재(2)를 지지 부재(51)에 고정할 수 있다. 고정 부재(14)의 관통 구멍(11)에의 삽입에는, 렌치 등의 공구가 불필요하며, 볼트를 사용한 종래의 하단 부재의 고정 장치에 대하여, 고정의 수고를 대폭 삭감할 수 있다.
또한, 도 1부터 도 6까지 나타낸 하단 부재의 고정 장치(10)는, 도 8에 나타낸 유체 제어 장치(1)의 모든 블록 조인트(2, 3)의 고정에 적용되어도 물론 좋지만, 일부의 블록 조인트(2, 3)는, 종래의 볼트(52)를 사용한 하단 부재의 고정 장치에 의해 고정하고, 나머지에 대해서, 본 발명의 하단 부재의 고정 장치(10)를 사용하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 제1 실시형태의 하단 부재의 고정 장치(10)에서는, 스페이서(12)가 사용되고 있지만, 스페이서(12)는 생략하여도 좋다. 그 실시형태를 도 7에 나타낸다.
도 7에 나타내는 제2 실시형태의 하단 부재의 고정 장치(10)는, 제1 실시형태의 하단 부재의 고정 장치(10)로부터 스페이서(12)가 생략되고, 그에 따라 고정 부재(15)의 형상이 변경되어 있다.
고정 부재(15)는 제1 실시형태의 것과 마찬가지로, 관통 구멍(11)의 대직경부(11a) 내에 삽입되는 머리부(21)와, 관통 구멍(11)의 소직경부(11b) 내에 삽입되는 상측 축부(22)와, 상측 축부(22)의 하단에 연속하는 하측 축부(23)를 포함한다.
이 고정 부재(15)에서는, 제1 실시형태의 것에 대하여, 머리부(21) 및 상측 축부(22)의 형상이 변경되고, 하측 축부(23)의 형상에 대해서는, 동일하게 되어 있다.
변경점으로서는, 상측 축부(22)의 축방향의 길이가 스페이서(12)의 플랜지(12a)의 두께만큼 짧게 이루어지며, 머리부(21)의 직경이 스페이서(12)의 플랜지(12a)의 직경과 동일한 정도로 크게 이루어져 있다.
이 도 7에 나타내는 제2 실시형태의 하단 부재의 고정 장치(10)에 따르면, 도 1부터 도 6까지 나타내는 제1 실시형태의 하단 부재의 고정 장치(10)로부터 스페이서(12)가 생략되어 있지만, 제1 실시형태의 것과 동일한 작용 효과가 얻어지는 것으로 되어 있다.
또한, 스페이서(12)가 생략되는 경우, 머리부(21)는 도 7에 나타낸 것과 같은 대직경의 것으로 하며, 지지 부재(51)의 관통 구멍(16)을 하단 부재(2)의 관통 구멍(11)과 동일한 직경으로 하여, 이들 관통 구멍(16, 11) 내에 꼭 맞게 들어가도록, 상측 축부(22) 및 하측 축부(23)의 직경을 도 7에 나타낸 것으로부터 대직경이 되도록 하여도 좋다.
본 발명의 하단 부재의 고정 장치에 따르면, 볼트를 사용하는 일없이, 하단 부재를 지지 부재에 고정할 수 있기 때문에, 고정을 위한 공구를 불필요로 하며, 고정의 수고를 삭감할 수 있다. 따라서, 이 고정 장치를 구비한 유체 제어 장치를 설치할 때의 수고를 삭감할 수 있다.
2, 3: 블록 조인트(하단 부재), 4, 5, 6, 7: 유체 제어 기기(상단 부재), 11: 관통 구멍, 11a: 대직경부, 11b: 소직경부, 12: 스페이서, 13: 탄성 부재, 14: 고정 부재, 15: 고정 부재, 16: 관통 구멍, 21: 머리부, 22: 상측 축부, 23: 하측 축부, 25: 플랜지부, 26: 슬릿, 27: 중실부, 27a: 측면, 28: 접힘부, 29: 맞물림 볼록부, 51: 지지 부재

Claims (6)

  1. 관통 구멍을 갖는 하단 부재를 고정 부재에 의해 지지 부재에 고정하는 장치로서,
    지지 부재에, 고정 부재 삽입 관통용의 관통 구멍이 마련되고,
    하단 부재의 관통 구멍은, 상면에 개구하는 대직경부와, 대직경부의 하측에 연속하며 하면에 개구하는 소직경부를 포함하고,
    고정 부재는, 하단 부재의 관통 구멍의 대직경부 내에 삽입되는 머리부와, 하단 부재의 관통 구멍의 소직경부 내에 삽입되는 상측 축부와, 지지 부재의 관통 구멍에 상단부가 삽입되는 하측 축부를 포함하며,
    하측 축부에, 지지 부재의 관통 구멍의 하측 개구 연부에 맞물려 고정 부재가 지지 부재로부터 탈락하는 것을 방지하는 맞물림 볼록부가 마련되어 있고,
    머리부 및 상측 축부가 모두 원통형으로 되며, 상측 축부의 하단부에, 지지 부재의 관통 구멍의 직경보다 큰 직경을 갖는 플랜지부가 마련되어 있고, 머리부 및 상측 축부에, 머리부의 외직경을 작게 하는 것을 가능하게 하는 슬릿이 마련되어 있으며,
    고정 부재는, 하단 부재의 하측으로부터 관통 구멍 내에 삽입되고, 고정 부재가 하단 부재에 삽입된 상태에서, 하측 축부는, 하단 부재의 하면으로부터 하방으로 돌출되어 있고, 이 하측 축부가 상방으로부터 지지 부재의 관통 구멍 내에 삽입되어 있으며,
    상기 플랜지부의 외직경은, 상기 관통 구멍의 소직경부의 내직경보다 작은 것을 특징으로 하는 하단 부재의 고정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 하측 축부는, 중실부와, 중실부의 하단으로부터 상방으로 연장하는 접힘부를 포함하고, 접힘부의 상단부는 지지 부재의 관통 구멍 내에 삽입되어 있으며, 맞물림 볼록부는 접힘부의 외주면에 마련되는 것을 특징으로 하는 하단 부재의 고정 장치.
  3. 제1항에 있어서, 머리부, 상측 축부 및 하측 축부는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 하단 부재의 고정 장치.
  4. 제1항에 있어서, 하측 축부는 교환 가능하게 상측 축부에 부착되는 것을 특징으로 하는 하단 부재의 고정 장치.
  5. 삭제
  6. 상방으로 개구한 유체 통로가 마련된 복수의 블록 조인트와, 블록 조인트의 유체 통로로 통하고 하방으로 개구한 유체 통로가 마련된 복수의 유체 제어 기기와, 블록 조인트의 유체 통로와 유체 제어 기기의 유체 통로의 맞댐면에 개재되어 있는 복수의 시일부와, 복수의 블록 조인트를 지지하는 지지 부재와, 각 유체 제어 기기를 블록 조인트에 부착하는 복수의 볼트를 포함하는 유체 제어 장치에 있어서,
    블록 조인트가 하단 부재로 되며, 이것이 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 하단 부재의 고정 장치에 의해 지지 부재에 부착되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
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