KR101840103B1 - 하단 부재의 고정 장치 및 이를 구비한 유체 제어 장치 - Google Patents

하단 부재의 고정 장치 및 이를 구비한 유체 제어 장치 Download PDF

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가부시키가이샤 후지킨
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Abstract

고정을 위한 공구를 필요로 하지 않고, 또한 고정의 수고를 줄여주는 하단 부재의 고정 장치 및 이를 구비한 유체 제어 장치를 제공한다. 하단 부재(2)의 관통공(11)은, 상면으로 개구되는 대직경부(11a)와, 대직경부(11a)의 하측으로 이어져 하면으로 개구되는 소직경부(11b)로 이루어진다. 고정 부재(14)는, 관통공(11)의 소직경부(11a) 내에 삽입되는 축부(21)와, 관통공(11)의 대직경부(11b) 내에 삽입되는 머리부(22)와, 축부(21)의 하단에 형성된 자석부(23)로 이루어진다. 지지 부재(15)는, 자성체제로 되고, 그 상면에, 고정 부재(11)의 자석부(23)가 끼워 넣어지는 오목부(16)가 형성되어 있다. 고정 부재(11)의 자석부(23)와 지지 부재(15) 사이에 작용하는 자력에 의해, 지지 부재(15)로부터 하단 부재(2)가 이탈하는 것이 방지된다.

Description

하단 부재의 고정 장치 및 이를 구비한 유체 제어 장치{LOWER-MEMBER FIXING DEVICE, AND FLUID CONTROL DEVICE PROVIDED WITH SAME}
본 발명은, 예컨대, 지지 부재 상에 복수의 이음매(블록 이음매)를 고정하고, 이들 이음매에 걸치도록 유체 제어 기기를 고정해 나감으로써 조립되는 유체 제어 장치에서 사용되는, 지지 부재와 유체 제어 기기(상단 부재) 사이에 배치되는 블록 이음매(하단 부재)를 지지 부재에 고정시키는 고정 장치에 관한 것이며, 또한, 이 고정 장치를 구비한 유체 제어 장치에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 본 발명이 대상으로 하는 하단 부재의 고정 장치 및 유체 제어 장치로서, 도 5에 나타낸 것이 개시되어 있다.
유체 제어 장치(1)는, 반도체 제조 장치 등에서 사용되는 것으로, 상측으로 개구된 유체 통로가 형성된 복수의 블록 이음매(하단 부재)(2)(3)와, 블록 이음매(2)(3)의 유체 통로에 통해 있는, 하측으로 개구된 유체 통로가 형성된 복수의 유체 제어 기기(상단 부재)(4)(5)(6)(7)와, 블록 이음매(2)(3)의 유체 통로와 유체 제어 기기(4)(5)(6)(7)의 본체(4a)(5a)(6a)(7a)에 형성된 유체 통로의 맞댐면에 개재되어 있는 복수의 시일부(도시 생략)와, 복수의 블록 이음매(2)(3)를 지지하는 지지 부재(51)와, 각 블록 이음매(2)(3)를 지지 부재(51)에 부착하는 복수의 이음매 부재 고정 볼트(52)와, 각 유체 제어 기기(4)(5)(6)(7)를 블록 이음매(2)(3)에 부착하는 복수의 유체 제어 기기 고정 볼트(8)를 구비하고 있다.
블록 이음매(2)(3)에는, 볼트 삽입 관통용의 관통공(11)이 형성되어 있고, 관통공(11)에 원통형 스페이서(12)가 끼워 넣어져 있고, 스페이서(12)의 플랜지의 하면에, 블록 이음매(2)(3)를 하측으로[지지 부재(51)를 향하여] 압박하는 환형의 탄성 부재(13)가 배치되어 있다.
하단 부재의 고정 장치(9)는, 지지 부재(51)와 상단 부재(4)(5)(6)(7) 사이에 배치되는 블록 이음매(2)(3)[즉 관통공(11) 형성 하단 부재(2)(3)]를 지지 부재(51)에 고정시키는 장치로서, 지지 부재(51)에 형성된 나사 구멍(51a), 볼트(52), 스페이서(12), 탄성 부재(13) 등으로 이루어진다.
특허문헌 1: 일본 특허 제3774800호 공보
상기 특허문헌 1의, 하단 부재의 고정 장치에서는, 볼트[이음매 고정 볼트(52)]에 의해 고정하는 것인 점에서, 볼트 체결의 공구가 필요하고, 또한, 볼트의 체결에 필요한 수고도 크다는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은, 고정을 위한 공구를 필요로 하지 않고, 또한 고정의 수고를 줄여주는, 하단 부재의 고정 장치 및 이를 구비한 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 의한 하단 부재의 고정 장치는, 관통공이 형성된 하단 부재를 고정 부재에 의해 지지 부재에 고정하는 장치로서, 하단 부재의 관통공은, 상면으로 개구되는 대직경부와, 대직경부의 하측으로 이어져 하면으로 개구되는 소직경부로 이루어지고, 고정 부재는, 관통공의 소직경부 내에 삽입되는 축부와, 관통공의 대직경부 내에 삽입되는 머리부와, 축부의 하단에 형성된 자석부로 이루어지고, 지지 부재는 자성체제(磁性體製)로 되어 있고, 고정 부재의 자석부와 지지 부재 사이에 작용하는 자력에 의해, 지지 부재로부터 하단 부재가 이탈하는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 것이다.
고정 부재의 자석부가 자력에 의해 지지 부재에 고정되고, 하단 부재는, 지지 부재에 고정된 고정 부재의 머리부에 의해 상측으로의 이동이 방지되고, 이에 따라, 지지 부재로부터 하단 부재가 이탈하는 것이 방지된다. 즉, 볼트를 사용하지 않고, 하단 부재를 지지 부재에 고정할 수 있다. 따라서, 렌치 등 고정을 위한 공구가 불필요하며, 고정의 수고를 줄일 수 있다.
고정 부재의 축부와 머리부는, 일체로 형성되는 것이 바람직하다. 축부는, 그 하단부가 예컨대 압입에 의해 자석부에 고정되는 것이 되지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.
지지 부재의 상면에, 고정 부재의 자석부가 끼워 넣어지는 오목부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 고정 부재의 축방향과 직교하는 방향의 힘에 대하여, 끼워넣음에 따른 항력이 얻어지기 때문에, 하단 부재의 고정이 보다 강고히 행해진다.
자석부의 하면은, 예컨대, 반구면형으로 되고, 이에 대응하여, 지지 부재의 오목부도 반구면형으로 되는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 자석부의 하면과 지지 부재의 오목부의 접촉 면적이 커지게 되어, 보다 큰 자력을 얻을 수 있다.
하단 부재의 고정 장치는, 관통공의 소직경부 내에 삽입되는 원통형 스페이서(spacer)를 더 구비하고 있는 경우가 있다. 하단 부재의 고정 장치는, 하단 부재를 하측으로 압박하는 환형의 탄성 부재를 더 구비하고 있는 경우가 있다.
원통형 스페이서 및 환형의 탄성 부재는, 모두 종래부터 사용되고 있는 것으로서, 이들을 사용함으로써, 하단 부재의 위치 결정(평행 맞춤)이 용이해진다.
탄성 부재는, 변형하여 하단 부재의 상측으로의 이동을 가능하게 하는 것으로서, 고무 또는 합성 수지로 이루어지는 환형체로 되어 있는 것이 바람직하다. 탄성 부재에 의해, 하단 부재의 상면끼리를 동일면으로 하는 레벨링(leveling) 작업을 용이하게 할 수 있고, 또한, 탄성 부재가 탄성 변형함으로써 진동을 흡수할 수도 있다.
스페이서는, 플랜지가 없이 (원통체로) 마련되는 경우가 있고, 상단부에 플랜지가 형성되어 있는 경우가 있다. 스페이서에 플랜지가 없는 경우, 탄성체는, 고정 부재의 머리부 하면과 단차(대직경부와 소직경부 사이의 단차) 사이에 배치되고, 스페이서에 플랜지가 있는 경우, 탄성체는, 스페이서의 플랜지의 하면과 단차 사이에 배치된다. 후자의 구성이 보다 바람직하다.
자석부의 직경은 관통공의 소직경부의 직경보다 크게 이루어져 있고, 머리부 및 축부가 모두 원통형으로 되고, 머리부 및 축부에는 머리부의 외경이 작아지게 하는 것을 가능하게 하는 적어도 하나의 슬릿(slit)이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 자석부의 직경이 관통공의 소직경부의 직경보다 작게 이루어져 고정 부재를 하단 부재의 상측으로부터 관통공 내에 삽입하는 것이어도 좋지만, 자석부의 직경이 관통공의 소직경부의 직경보다 크게 이루어져 고정 부재를 하단 부재의 하측으로부터 관통공 내에 삽입하는 것으로 하는 것이 보다 바람직하다. 이와 같이 함으로써, 하단 부재로부터 고정 부재가 상측으로 빠지는 것이 방지되고, 또한 관통공의 소직경부의 직경에 제약되지 않고 자석부의 직경을 크게 할 수 있어, 필요한 크기의 자력을 용이하게 얻을 수 있다.
이 경우, 머리부를 관통공의 소직경부 내에 삽입할 필요가 있고, 이것을 가능하게 하기 위해, 머리부 및 축부가 모두 원통형으로 되고, 머리부 및 축부에 적어도 하나의 슬릿이 형성되어 있게 된다. 슬릿은, 머리부 상면으로부터 축부의 하단 근방까지 연장되도록 하는 것이 바람직하고, 또한 주위 방향으로 복수로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 유체 제어 장치는, 상측으로 개구된 유체 통로가 형성된 복수의 블록 이음매와, 블록 이음매의 유체 통로에 통해 있는 하측으로 개구된 유체 통로가 형성된 복수의 유체 제어 기기와, 블록 이음매의 유체 통로와 유체 제어 기기의 유체 통로의 맞댐면에 개재되어 있는 복수의 시일부와, 복수의 블록 이음매를 지지하는 지지 부재와, 각 유체 제어 기기를 블록 이음매에 부착하는 복수의 볼트를 구비하고 있는 유체 제어 장치에 있어서, 블록 이음매가 하단 부재가 되고, 이것이 위 기재한 어느 하나의 하단 부재의 고정 장치에 의해 지지 부재에 부착되는 것을 특징으로 하는 것이다.
복수의 블록 이음매 전부가 전술한 하단 부재의 고정 장치에 의해 지지 부재에 부착되어 있어도 좋고, 복수의 블록 이음매 중 일부가 전술한 하단 부재의 고정 장치에 의해 지지 부재에 부착되어 있어도 좋다. 후자의 경우, 복수의 블록 이음매 중 나머지 부분은, 예컨대, 볼트를 사용한 하단 부재의 고정 장치에 의해 부착된다.
또한, 본 명세서에 있어서, 상하는 도 5에서의 상하를 말하는 것으로 하지만, 이러한 상하는 편의적인 것으로, 고정 장치 및 유체 제어 장치는, 도면에 나타낸 상태에서 수평면으로 설치되는 것 외에 수직면으로 설치되는 경우도 있다.
유체 제어 장치는, 전형적으로는, 수직면으로 설치되고, 이 경우, 자력과 오목부 저면으로부터 자석부에 작용하는 수직 항력을 합한 힘에 의해, 하단 부재 및 이것에 지지된 유체 제어 기기의 자중이 지지된다. 이때, 지지 부재에 유체 제어 기기의 자중 지지용 볼록부를 형성함으로써, 자력에 의한 지지의 부담을 경감시키도록 해도 좋다. 또는, 고정 장치의 일부를, 종래의 볼트를 이용한 고정 구조로 하도록 해도 좋다.
본 발명의 하단 부재의 고정 장치에 의하면, 고정 부재의 자석부가 자력에 의해 지지 부재에 고정되고, 하단 부재는, 지지 부재에 고정된 고정 부재의 머리부에 의해 상측으로의 이동이 방지되고, 이에 따라, 지지 부재로부터 하단 부재가 이탈하는 것이 방지된다. 즉, 볼트를 사용하지 않고, 하단 부재를 지지 부재에 고정할 수 있다. 따라서, 렌치 등 고정을 위한 공구가 불필요하며, 고정의 수고를 줄일 수 있다.
도 1은, 본 발명에 의한, 하단 부재의 고정 장치의 일 실시형태를 나타내는 단면도이다.
도 2는, 지지 부재 및 하단 부재를 나타내는 사시도이다.
도 3은, 지지 부재를 나타내는 사시도이다.
도 4는, 고정 부재를 나타내는 사시도이다.
도 5는, 종래의 하단 부재의 고정 장치 및 이를 구비한 유체 제어 장치를 나타내는 일부 절결 측면도이다.
본 발명의 실시형태를, 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서 상하는, 도 1의 상하를 말하는 것으로 한다.
도 1부터 도 4까지는, 본 발명의, 하단 부재의 고정 장치의 일 실시형태를 나타내고 있다.
하단 부재의 고정 장치(10)는, 하단 부재(2)를 고정 부재(14)에 의해 지지 부재(15)에 고정하는 장치로서, 도 5에 나타낸 유체 제어 장치(1)에 있어서, 볼트(52)를 후술하는 고정 부재(14)로 변경한 것으로 되어 있다. 이러한 변경에 따르는 다른 변경점으로서, 지지 부재(51)에 형성되어 있던 나사 구멍(51a)이 오목부(16)로 변경되어 있다. 스페이서(12) 및 탄성 부재(13)는 도 5에 나타낸 것과 동일한 것이 사용되고 있다.
하단 부재(2)는, 도 5에 나타낸 블록 이음매(2)와 동일한 것이며, 볼트(52)가 삽입되어 있던 관통공(11)을 갖고 있다. 관통공(11)은, 상면으로 개구되는 대직경부(11a)와, 대직경부(11a)의 하측으로 이어져 하면으로 개구되는 소직경부(11b)로 이루어진다.
하단 부재(블록 이음매)(2)에는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 상측으로 개구되는 2개의 개구를 갖는 V자형의 유체 통로(2a)와, 유체 통로(2a)의 각 개구 가장자리에 형성된 시일부 수납 오목부(2b)와, 유체 제어 기기 고정 볼트[도 5의 (8)]가 나사 결합되는 암나사부(2c)가 또한 형성되어 있다. 한편, 도 1에 있어서, 유체 통로(2a)는 도시 생략되어 있다.
고정 부재(14)는, 도 4에도 나타내는 바와 같이, 관통공(11)의 소직경부(11b) 내에 삽입되는 축부(21)와, 관통공(11)의 대직경부(11a) 내에 삽입되는 머리부(22)와, 축부(21)의 선단부에 형성된 자석부(23)로 이루어진다.
자석부(23)는, 반구면형으로 되어 있고, 반구면형의 외주면(23a)과 반구면형의 내주면(23b)을 갖고 있다.
자석부(23)의 직경은, 관통공(11)의 소직경부(11b)의 직경보다 크게 이루어져 있고, 머리부(22) 및 축부(21)에는, 머리부(22)의 상면으로부터 축방향으로 평행하게 연장되는 4개의 슬릿(24)이, 주위 방향으로 등간격으로 형성되어 있다. 각 슬릿(24)은, 축부(21)의 하단부 근방까지 연장되고, 이에 따라, 축부(21)의 외경이 작아지게 함으로써, 머리부(22)의 외경을 작게 할 수 있도록 되어 있다.
머리부(22)와 축부(21)는 일체로 형성되어 있고, 머리부(22)는 상대적으로 짧고 직경이 큰 원통형으로 되고, 축부(21)는 상대적으로 길고 직경이 작은 원통형으로 되어 있다. 축부(21)의 하단부가 자석부(23)의 내주면(23b)에 압입 고정됨으로써, 축부(21)와 자석부(23)가 고정된다.
머리부(22) 및 축부(21)는, 강 등의 적절한 금속제로 형성된다. 머리부(22) 및 축부(21)는, 자성체여도 좋고 자성체가 아니어도 좋다. 축부(21)와 자석부(23)의 고정은, 압입 이외의 방법에 의해 행하여도 좋다.
지지 부재(15)는, 판 두께가 2 mm 정도인 강판의 도장품, 즉, 자성체제로 되어 있다. 지지 부재(15)의 상면에, 고정 부재(14)의 자석부(23)가 끼워 넣어지는 오목부(16)가 형성되어 있다. 이 오목부(16)는, 자석부(23)의 반구면형의 외주면(23a)에 대응하여, 자석부(23)의 외주면(23a)을 정확히 끼워넣을 수 있는 반구면형으로 되어 있다. 오목부(16)의 가공은, 절삭 가공이 아니라 다보 가공에 의해 행해지고, 오목부(16)의 저면(16a)이 지지 부재(15)의 하면으로부터 하측으로 돌출되어 있다.
관통공(11)의 소직경부(11b)에는, 하단이 지지 부재(15)에 받아들여지고 상단이 대직경부(11a) 내에 있어 고정 부재(14)의 머리부(22)를 받아내는 플랜지(12a) 부착식 원통형 스페이서(12)가 끼워 넣어져 있다. 스페이서(12)의 플랜지(12a)의 하면과 관통공(11)의 대직경부(11a)의 저면[대직경부(11a)와 소직경부(11b) 사이의 단차] 사이에, 하단 부재(2)를 하측으로[지지 부재(15)를 향하여] 압박하는 환형의 탄성 부재(13)가 개재되어 있다. 또한, 스페이서(12)는, 종래의 것을 그대로 사용하도록 이루어져 있지만, 스페이서(12)는 생략해도 좋고, 또한, 플랜지(12a)가 없는 것으로 하여, 탄성 부재(13)가 고정 부재(14)의 머리부(22)의 하면과 관통공(11)의 대직경부(11a)의 저면 사이에 개재되도록 해도 좋다.
탄성 부재(13)는, 고무 또는 합성 수지로 이루어지는 환형체로 되어 있다. 탄성 부재(13)는, 그 외주면의 상하부에 절결이 형성되어 있어, 탄성 굽힘 변형이 가능하게 되어 있어도 좋다.
도 1에 있어서, 고정 부재(14)는 스페이서(12)를 지지 부재(15)에 고정하고 있고, 지지 부재(15)에 대하여, 고정 부재(14) 및 스페이서(12)는, 이동 불가능하게 되어 있다. 그리고, 하단 부재(2)는, 스페이서(12)로부터 탄성 부재(13)를 통해 하향의 힘을 받음으로써, 그 하면이 지지 부재(15)에 접촉하여, 이동 불가능하게 되어 있다. 고무제의 탄성 부재(13)의 탄성력은, 손의 힘에 비해 작기 때문에, 이 탄성력에 대항하여 하단 부재(2)에 상향의 힘을 작용시킴으로써, 하단 부재(2)를 손으로 상측으로 들어올릴 수 있다. 따라서, 어느 하단 부재(2)의 상면이 낮은 경우에는, 이 하단 부재(2)를 탄성 부재(13)의 탄성력에 대항하여 상측으로 이동시킴으로써, 하단 부재(2)의 상면 위치의 미세조정, 즉 레벨링을 행할 수 있다.
자석부(23)의 직경이 관통공(11)의 소직경부(11b)의 직경보다 크게 이루어져 있기 때문에, 고정 부재(14)는, 상측으로부터 하단 부재(2)에 삽입할 수는 없도록 되어 있고, 하측으로부터 하단 부재(2)에 삽입된다. 여기서, 머리부(22)의 직경은, 관통공(11)의 소직경부(11b)의 직경보다 크게 이루어져 있기 때문에, 그대로는 머리부(22)를 관통공(11) 내에 삽입할 수 없지만, 슬릿(24)이 형성되어 있기 때문에, 슬릿(24)의 폭이 좁아지도록 축부(21)의 직경을 작게 함으로써, 머리부(22)의 직경이 작아지게 할 수 있다. 슬릿(24)의 폭은, 머리부(22)를 관통공(11)의 소직경부(11b) 내에 삽입 가능하도록 형성되어 있고, 머리부(22)의 직경을 작게 함으로써, 고정 부재(14)를 하측으로부터 관통공(11) 내에 삽입할 수 있다. 자석부(23)의 직경이 관통공(11)의 소직경부(11b)보다 크다는 점에서, 자석부(23)가 소직경부(11b)의 하단 개구 가장자리에 접촉함으로써, 고정 부재(14)는 그 이상 이동할 수 없는 것이 되고, 이때, 머리부(22)가 대직경부(11a) 내에서 원래의 크기로 확대되고, 이에 따라, 고정 부재(14)는 하측으로도 상측으로도 빠지지 않는 상태로 관통공(11) 내에 삽입된다.
전술한 바와 같이 하여 고정 부재(14)가 부착된 상태가 된 하단 부재(2)를 지지 부재(15)에 부착하도록 하고, 이때, 고정 부재(14)의 자석부(23)와 지지 부재(15)의 오목부(16)를 위치 맞춤함으로써, 고정 부재(14)의 자석부(23)와 지지 부재(15) 사이에 작용하는 자력에 의해, 지지 부재(15)로부터 하단 부재(2)가 이탈하는 것이 방지된다.
여기서, 자석부(23)의 직경은, 관통공(11)의 직경에 제약되지 않으면서 크게 할 수 있어, 필요한 크기의 자력을 용이하게 얻을 수 있다.
이렇게 하여, 본 실시형태의 하단 부재의 고정 장치(10)에 의하면, 볼트를 사용하지 않고, 하단 부재(2)를 지지 부재(15)에 고정할 수 있다. 고정 부재(14)의 관통공(11) 내로의 삽입에는, 렌치 등의 공구가 불필요하며, 볼트를 사용한 종래의 하단 부재의 고정 장치에 비해 고정의 수고를 대폭 줄일 수 있다.
또한, 도 1부터 도 4까지 나타낸 본 발명의 하단 부재의 고정 장치(10)는, 도 5에 나타낸 유체 제어 장치(1)의 모든 블록 이음매(2)(3)의 고정에 적용되어도 물론 좋지만, 일부의 블록 이음매(2)(3)는, 종래의 볼트(52)를 사용한 하단 부재의 고정 장치로 고정하고, 나머지에 대하여 본 발명의, 하단 부재의 고정 장치(10)를 사용하도록 해도 좋다.
하단 부재의 고정 시에, 고정을 위한 공구를 필요로 하지 않고, 또한 고정의 수고를 줄일 수 있기 때문에, 예컨대, 반도체 제조 장치 등에 있어서 사용되는 유체 제어 장치에, 본 발명에 따른 하단 부재의 고정 장치를 적용함으로써, 유체 제어 장치의 합리화에 기여할 수 있다.
(2)(3): 블록 이음매(하단 부재), (4)(5)(6)(7): 유체 제어 기기(상단 부재), (11): 관통공, (11a): 대직경부, (11b): 소직경부, (12): 스페이서, (13): 탄성 부재, (14): 고정 부재, (15): 지지 부재, (16): 오목부, (21): 축부, (22): 머리부, (23): 자석부, (24): 슬릿

Claims (5)

  1. 관통공이 형성된 하단 부재를 고정 부재에 의해 지지 부재에 고정시키는 장치로서,
    하단 부재의 관통공은, 상면으로 개구되는 대직경부와, 대직경부의 하측으로 이어져 하면으로 개구되는 소직경부로 이루어지고,
    고정 부재는, 관통공의 소직경부 내에 삽입되는 축부와, 관통공의 대직경부 내에 삽입되는 머리부와, 축부의 하단에 형성된 자석부로 이루어지고,
    지지 부재는, 자성체제(磁性體製)로 되어 있고,
    고정 부재의 자석부와 지지 부재 사이에 작용하는 자력에 의해, 지지 부재로부터 하단 부재가 이탈하는 것이 방지되며,
    자석부의 직경은, 관통공의 소직경부의 직경보다 크게 이루어져 있고, 머리부 및 축부가 모두 원통형으로 되어 있고, 머리부 및 축부에는 머리부의 외경이 작아지게 하는 것을 가능하게 하는 적어도 하나의 슬릿이 형성되는 것을 특징으로 하는 하단 부재의 고정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 지지 부재의 상면에, 고정 부재의 자석부가 끼워 넣어지는 오목부가 형성되는 것을 특징으로 하는 하단 부재의 고정 장치.
  3. 제2항에 있어서, 자석부의 하면이 반구면형으로 되어 있고, 또한 지지 부재의 오목부가 반구면형으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 하단 부재의 고정 장치.
  4. 삭제
  5. 상측으로 개구된 유체 통로가 형성된 복수의 블록 이음매와, 블록 이음매의 유체 통로에 통해 있는 하측으로 개구된 유체 통로가 형성된 복수의 유체 제어 기기와, 블록 이음매의 유체 통로와 유체 제어 기기의 유체 통로의 맞댐면에 개재되어 있는 복수의 시일부와, 복수의 블록 이음매를 지지하는 지지 부재와, 각 유체 제어 기기를 블록 이음매에 부착하는 복수의 볼트와, 하단 부재의 고정 장치를 구비하고 있는 유체 제어 장치에 있어서, 하단 부재의 고정 장치가 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 하단 부재의 고정 장치로 되어 있고, 블록 이음매가 하단 부재로 되어, 이것이 하단 부재의 고정 장치에 의해 지지 부재에 부착되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
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