JP2023183530A - 真空パッド振れ防止機構 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークが高速で搬送されてワークに大きな加減速度が作用しても、ベローズの振れが確実に防止される真空パッドを提供する。【解決手段】真空パッド１２は、真空通路１４ａを有する支持部材１４と、支持部材に取り付けられるベローズ１６とを備え、カバー体は、円筒状の本体部３２と、本体部の一端から突出する取付け部３４と、本体部の他端から径方向外方に突出するフランジ部３６とを備える。ベローズが収縮してワークを吸着保持したとき、カバー体がベローズの外側を覆う。【選択図】図２

Description

本発明は、負圧（真空圧）による吸引力でワークを吸着保持する真空パッドの振れを防止する真空パッド振れ防止機構に関する。

従来から、ベローズの内部に負圧を生成せしめ、ベローズの開口端部でワークを吸着保持する真空パッドが知られている。この真空パッドは、伸縮可能なベローズを備えているので、ワークの様々な形状に追従してワークを吸着することができ、また、傾斜した状態で置かれたワークを容易に吸着することができる。

ベローズを備えた真空パッドにおいて、ワークに外力が作用しても、ワークが安定した状態で保持されるように工夫した技術も知られている。例えば、特許文献１には、ワークの傾きを防止するための固定ロッドをベローズ式吸着パッドの外側に配置することが記載されている。

特開２０１０－１８８４６５号公報

ベローズを備えた真空パッドを用いてワークを高速で搬送する場合、ワークに大きな加速度または減速度が作用したとき、ベローズが変形しながら激しく振れることがある。特許文献１に記載された技術は、このような事象に着目してなされたものではなく、ベローズの振れを防止する技術は、十分に開発されていない。

本発明は、上述した課題を解決することを目的とする。

本発明に係る真空パッド振れ防止機構は、カバー体が真空パッドに取り付けられたもので、真空パッドは、真空通路を有する支持部材と、支持部材に取り付けられるベローズとを備え、カバー体は、円筒状の本体部と、本体部の一端から突出する取付け部と、本体部の他端から径方向外方に突出するフランジ部とを備える。ベローズが収縮してワークを吸着保持したとき、カバー体がベローズの外側を覆う。カバー体は、取付け部が支持部材に螺合されることによって真空パッドに取り付けられ、真空パッドに対するカバー体の取付け位置を調整可能である。

本発明に係る真空パッド振れ防止機構によれば、ベローズが収縮してワークを吸着保持したとき、カバー体がベローズの外側を覆う。このため、ワークが高速で搬送されてワークに大きな加減速度が作用しても、ベローズの変形がカバー体によって抑制され、ベローズの振れが確実に防止される。また、カバー体は、取付け部が支持部材に螺合されることによって真空パッドに取り付けられ、真空パッドに対するカバー体の取付け位置を調整可能である。このため、使用されるベローズの長さ等に応じて、カバー体の取付け位置を容易に変更することができる。

図１は、本発明の実施形態に係る真空パッド振れ防止機構の外観図である。 図２は、図１の真空パッド振れ防止機構をＩＩ－ＩＩ線に沿って切断した断面図である。 図３は、ワーク吸着時における図２に対応する図である。 図４は、図１の真空パッド振れ防止機構のカバー体について、取り付け前の状態を示す図である。 図５は、拡張プレートの外観図である。 図６は、図５の拡張プレートが図１の真空パッド振れ防止機構のカバー体に取り付けられた状態を示す図である。 図７は、図６の拡張プレート付き真空パッド振れ防止機構の要部断面を含む図である。 図８は、図５の拡張プレートの第１変形例を説明するための図である。 図９は、図５の拡張プレートの第２変形例を説明するための図である。 図１０は、図５の拡張プレートの第３変形例を説明するための図である。 図１１は、図４のカバー体の変形例を説明するための図である。 図１２は、図１の真空パッド振れ防止機構における拡張プレート位置決め構造の第１変形例を説明するための図である。 図１３は、図１の真空パッド振れ防止機構における拡張プレート位置決め構造の第２変形例を説明するための図（位置決め前の図）である。 図１４は、図１の真空パッド振れ防止機構における拡張プレート位置決め構造の第２変形例を説明するための図（位置決め後の図）である。 図１５は、図１の真空パッド振れ防止機構における拡張プレート位置決め構造の第３変形例を説明するための図（位置決め前の図）である。 図１６は、図１の真空パッド振れ防止機構における拡張プレート位置決め構造の第３変形例を説明するための図（位置決め後の図）である。

図１および図２に示されるように、本発明の実施形態に係る真空パッド振れ防止機構１０は、真空パッド１２およびカバー体２０を含む。

真空パッド１２は、内部に真空通路１４ａを有する円筒状の支持部材１４と、支持部材１４の下部に取り付けられるベローズ１６とを備える。真空通路１４ａは、支持部材１４の軸心Ｘに沿って延び、支持部材１４の上下両端で開口する。真空通路１４ａの上端には、図示しない真空発生装置からの負圧が供給される。支持部材１４は、所定長さに亘って外周に雄ねじ１４ｂを有し、雄ねじ１４ｂの下方において外周に凹溝１４ｃを有する。支持部材１４には、ロックナット１８が螺合されている。

ベローズ１６は、シリコーン等のゴム材料または樹脂材料から筒状に構成される。ベローズ１６は、外壁から突出するリング状の肉厚部１６ａと内壁から突出するリング状の肉厚部１６ｂとが交互に形成された襞構造を有し、上下に伸縮可能である。ベローズ１６の内部空間は、支持部材１４の真空通路１４ａに連通する。ベローズ１６は、下端面においてワークと接触する。ベローズ１６の上端は、径方向内方に突出するフランジ部１６ｃを有する。ベローズ１６は、フランジ部１６ｃが支持部材１４の凹溝１４ｃに嵌合することによって支持部材１４に取り付けられる。

図４に示されるように、カバー体２０は、ヒンジ部４０を介して相対回動可能に連結された第１カバー体２２および第２カバー体３０を含む。第１カバー体２２および第２カバー体３０は、半円筒状の本体部２４、３２と、本体部２４、３２の上端から縮径されて突出する取付け部２６、３４と、本体部２４、３２の下端から径方向外方に突出するフランジ部２８、３６とを備える。第１カバー体２２および第２カバー体３０の本体部２４、３２の内径は、ベローズ１６の外径よりも僅かに大きい。

以下において、第１カバー体２２の本体部２４および第２カバー体３０の本体部３２をまとめて、カバー体２０の本体部２４、３２という場合がある。また、第１カバー体２２の取付け部２６および第２カバー体３０の取付け部３４をまとめて、カバー体２０の取付け部２６、３４という場合がある。また、第１カバー体２２のフランジ部２８および第２カバー体３０のフランジ部３６をまとめて、カバー体２０のフランジ部２８、３６という場合がある。

カバー体２０の取付け部２６、３４は、支持部材１４の雄ねじ１４ｂと螺合する雌ねじ２６ａ、３４ａを有する。カバー体２０のフランジ部２８、３６は、下端面においてワークと接触する。カバー体２０の本体部２４、３２は、ヒンジ部４０に近接する位置で互いに突き合う第１合わせ部２４ａ、３２ａと、ヒンジ部４０から離れた位置で互いに突き合う第２合わせ部２４ｂ、３２ｂとを有する。

第１カバー体２２の本体部２４は、第１合わせ部２４ａの近傍に係合凹部２４ｃを備えるとともに、第２合わせ部２４ｂから突出する一対の係合片２４ｄを備える。第２カバー体３０の本体部３２は、第１合わせ部３２ａから突出する係合片３２ｄを備えるとともに、第２合わせ部３２ｂの近傍に一対の係合凹部３２ｃを備える。第１カバー体２２の各係合片２４ｄは、第２カバー体３０の各係合凹部３２ｃに係合する。第２カバー体３０の係合片３２ｄは、第１カバー体２２の係合凹部２４ｃに係合する。

第１カバー体２２の本体部２４の下部は、周方向中央から外方に突出する第１突出片２４ｅと、第１合わせ部２４ａの近傍で外方に突出する第２突出片２４ｆとを備える。第１突出片２４ｅおよび第２突出片２４ｆは、フランジ部２８と所定の隙間を隔てて向き合う。第２カバー体３０の本体部３２の下部は、周方向中央から外方に突出する第３突出片３２ｅと、第１合わせ部３２ａの近傍で外方に突出する第４突出片３２ｆと、第２合わせ部３２ｂの近傍で外方に突出する第５突出片３２ｇとを備える。第３突出片３２ｅ、第４突出片３２ｆおよび第５突出片３２ｇは、フランジ部３６と所定の隙間を隔てて向き合う。

第１カバー体２２および第２カバー体３０が相互に突き合わされることによって、カバー体２０の本体部２４、３２は円筒状に構成される。第１カバー体２２および第２カバー体３０が相互に突き合わされたとき、第１カバー体２２の第２突出片２４ｆおよび第２カバー体３０の第４突出片３２ｆは、一つの連続した突出片（以下「連続突出片」という）を形成する。第１突出片２４ｅ、連続突出片、第３突出片３２ｅおよび第５突出片３２ｇは、互いに同一形状であり、カバー体２０の周方向に等間隔に（９０度おきに）配置される。

第５突出片３２ｇは、後述する拡張プレート４２を位置決め固定するためのフック部３２ｈを備える。フック部３２ｈの先端には、ドライバ等の工具を挿入可能なスリット３２ｉが形成されている（図７参照）。第１カバー体２２および第２カバー体３０の本体部２４、３２は、上下方向に延びる細長い窓部３８を有する。作業者は、この窓部３８を通してベローズ１６の取付け位置を確認することができる。窓部３８の脇には、目盛り３９が表示されている。

カバー体２０は、例えば以下の手順で、真空パッド１２に取り付けられる。第１カバー体２２および第２カバー体３０を相対回動して両者を大きく開き、第２カバー体３０を真空パッド１２の側方から真空パッド１２に被せる。次に、第１カバー体２２を真空パッド１２に被せるため、第１カバー体２２を閉じる方向に回動させる。

第１カバー体２２を閉じる方向に回動させると、第１カバー体２２の各係合片２４ｄが第２カバー体３０の各係合凹部３２ｃに係合し、第２カバー体３０の係合片３２ｄが第１カバー体２２の係合凹部２４ｃに係合する。また、第１カバー体２２および第２カバー体３０の第１合わせ部２４ａ、３２ａが相互に突き合うとともに、第１カバー体２２および第２カバー体３０の第２合わせ部２４ｂ、３２ｂが相互に突き合う。カバー体２０の取付け部２６、３４は、螺合によって支持部材１４に取り付けられる。このとき、カバー体２０の軸心Ｘは、支持部材１４の軸心Ｘと一致する。

次に、ベローズ１６が収縮してワークを吸着保持したときにカバー体２０がベローズ１６の外側を覆うように、支持部材１４に対するカバー体２０の取付け位置を調整する。真空パッド振れ防止機構１０によって、例えば冷凍食品の一種であるワークＷが吸着保持された様子が図３に示されている。この場合、ベローズ１６の下端面がベローズ１６の収縮量Ｌだけ上方に変位したときにカバー体２０のフランジ部２８、３６の下端面がベローズ１６の下端面と整合するように、支持部材１４の軸心Ｘ回りにカバー体２０を回動し、取付け部２６、３４の螺合位置を調整する。

作業者は、第１カバー体２２または第２カバー体３０の窓部３８を通してベローズ１６の位置を確認できるので、上記調整作業を容易に行うことができる。その後、ロックナット１８を締め付けてロックナット１８をカバー体２０の取付け部２６、３４に圧接させ、カバー体２０の取付けが完了する。

なお、ベローズ１６が収縮してワークを吸着保持したとき、カバー体２０のフランジ部２８、３６の下端面がベローズ１６の下端面と整合するとは限らない。例えば、ワークが袋状であってワーク自体が変形する場合は、ワークを吸着保持したときにワークの一部がカバー体２０の内側に入り込むので、カバー体２０のフランジ部２８、３６の下端面は、ベローズ１６の下端面より下方に突出する。

真空パッド１２は、支持部材１４の上端において、図示しない真空発生装置に取り付けられている。カバー体２０の取付けに支障のない方向である真空パッド１２の側方から第１カバー体２２および第２カバー体３０を被せるので、真空パッド１２を真空発生装置から外すことなく、カバー体２０のみを着脱することが可能である。

ワークＷの形状、大きさ等に応じた拡張プレートをカバー体２０に取り付けるのが好ましい。図５に円形の拡張プレート４２が示されている。拡張プレート４２は、中央に孔部４４を有する。孔部４４は、カバー体２０の本体部２４、３２を挿通することが可能な中心孔部４４ａと、中心孔部４４ａから十字状に拡がる４つの周辺孔部４４ｂとを含む。４つの周辺孔部４４ｂは、互いに同一形状であって、カバー体２０の第１突出片２４ｅ、連続突出片、第３突出片３２ｅおよび第５突出片３２ｇを挿通することが可能な形状を有する。また、各周辺孔部４４ｂは、ヒンジ部４０を挿通するのに十分な大きさを有している。

拡張プレート４２は、隣接する周辺孔部４４ｂの間に差し込み部４８を有する。各差し込み部４８には、概ね径方向に延びるスリット４６が形成されている。拡張プレート４２の厚さは、第１突出片２４ｅ、連続突出片、第３突出片３２ｅおよび第５突出片３２ｇがカバー体２０のフランジ部２８、３６と向き合う隙間と略等しい。

次に、図６および図７を参照しながら、拡張プレート４２をカバー体２０に取り付ける手順について説明する。まず、カバー体２０の上方から拡張プレート４２をカバー体２０に嵌め込む。すなわち、カバー体２０の本体部２４、３２を拡張プレート４２の中心孔部４４ａに挿通するとともに、ヒンジ部４０、第１突出片２４ｅ、連続突出片、第３突出片３２ｅおよび第５突出片３２ｇを拡張プレート４２の各周辺孔部４４ｂに挿通する。この場合、４つの突出片は同一形状であり、４つの周辺孔部４４ｂも同一形状であるから、各突出片を任意の周辺孔部に挿通すればよい。なお、ヒンジ部４０および連続突出片は、１つの周辺孔部４４ｂに挿通される。

拡張プレート４２がカバー体２０に嵌め込まれると、拡張プレート４２の下面は、カバー体２０のフランジ部２８、３６の上面に当接する。その後、フック部３２ｈのスリット３２ｉに図示しないドライバの先端を差し込んで、フック部３２ｈを持ち上げながら、拡張プレート４２をカバー体２０の軸心Ｘ回りに回転させる。拡張プレート４２の差し込み部４８は、第１突出片２４ｅ、連続突出片、第３突出片３２ｅおよび第５突出片３２ｇがカバー体２０のフランジ部２８、３６と向き合う隙間に入り込む。拡張プレート４２を略４５度回転させると、フック部３２ｈが拡張プレート４２のスリット４６の一つに弾性的に係合する。これにより、拡張プレート４２がカバー体２０に位置決めされ固定される。なお、拡張プレート４２をカバー体２０の軸心Ｘ回りに回転させる方向はいずれであってもよい。

拡張プレート４２をカバー体２０から外す場合は、フック部３２ｈのスリット３２ｉにドライバの先端を差し込んでフック部３２ｈを持ち上げ、拡張プレート４２を回転させる。拡張プレート４２を略４５度回転させると、拡張プレート４２の各周辺孔部４４ｂがカバー体２０の第１突出片２４ｅ、連続突出片、第３突出片３２ｅおよび第５突出片３２ｇと整合する。これにより、拡張プレート４２をカバー体２０から外すことができる。本実施形態の拡張プレート４２は円形であるが、拡張プレートの形状は、ワークの形状に応じて、矩形状とする等、様々に設計することができる。

本実施形態に係る真空パッド振れ防止機構１０によれば、ベローズ１６が収縮してワークを吸着保持したとき、ベローズ１６の外側は、僅かな隙間を隔ててカバー体２０によって覆われる。このため、ワークＷが高速で搬送されてワークＷに大きな加減速度が作用しても、ベローズ１６の変形がカバー体２０によって抑制され、ベローズ１６の振れが確実に防止される。

また、カバー体２０は、取付け部２６、３４が支持部材１４に螺合されることによって真空パッド１２に取り付けられ、真空パッド１２に対するカバー体２０の取付け位置を調整可能である。しかも、カバー体２０の本体部２４、３２は、ベローズ１６の取付け位置を外部から確認できる窓部３８を有する。このため、使用されるベローズ１６の長さ等に応じて、カバー体２０の取付け位置を容易に調整できる。

また、ヒンジ部４０を介して相対回動可能に連結された第１カバー体２２および第２カバー体３０を真空パッド１２の側方から順次真空パッド１２に被せることができるので、カバー体２０のみを容易に着脱できる。

（拡張プレートの第１変形例）
第１変形例に係る拡張プレート５０を備えた真空パッド振れ防止機構１０が図８に示されている。この拡張プレート５０は、円形のプレート部５２と、プレート部５２の外周から下方に延びる円筒状のスカート部５４とから構成される。ワークの側方をスカート部５４で覆うことができるので、ワークの吸着時およびワークの搬送時にワークが搬送する方向に横滑りするのを防ぐことができる。また、柔軟で傷つき易いワークを吸着するとき、ワークが押し潰されないように保護することができる。また、ワークの搬送時にワークが周囲の装置等に接触するのを防止できる。

（拡張プレートの第２変形例）
第２変形例に係る拡張プレート６０を備えた真空パッド振れ防止機構１０が図９に示されている。この拡張プレート６０は、円形のプレート本体６２と、プレート本体６２の板面に垂直な方向に配置される複数のガイド軸６６とを組み合わせて構成される。プレート本体６２は、外周縁から径方向内方に向けて切り欠かれた複数のスリット６４を有する。複数のスリット６４は、円周方向に均等に配置されている。

雄ねじを有するガイド軸６６は、各スリット６４に挿通され、一対のナット６８を用いてプレート本体６２に固定される。具体的には、一対のナット６８が螺合されたガイド軸６６がスリット６４に挿通され、プレート本体６２が一対のナット６８で挟持される。これにより、ガイド軸６６は、スリット６４上の所望の位置でプレート本体６２に固定され、かつ、プレート本体６２から所望の長さだけ下方に突出した状態でプレート本体６２に固定される。

拡張プレート６０によれば、ワークの外側に複数のガイド軸６６が配置されるので、ワークの吸着時およびワークの搬送時にワークを保護し、また、ワークの横滑りを防止することができる。しかも、複数のガイド軸６６の位置および高さを調整できるので、プレート本体６２を交換することなく、異なる形状、大きさ等のワークに対応できる。

（拡張プレートの第３変形例）
第３変形例に係る拡張プレート７０を備えた真空パッド振れ防止機構１０が図１０に示されている。この拡張プレート７０は、規則的に配列された複数の孔部４４を有する。複数の真空パッド振れ防止機構１０のカバー体２０が１つの拡張プレート７０に取り付けられる。本変形例では、合計６個の真空パッド振れ防止機構１０が配置されている。拡張プレート７０によれば、複数の真空パッド振れ防止機構１０を規則正しく配列できる。

（カバー体の変形例）
カバー体２０の変形例が図１１に示されている。上述した真空パッド振れ防止機構１０のカバー体２０は、第１カバー体２２および第２カバー体３０がヒンジ部４０を介して相対回動可能に連結された構造を有する。しかしながら、図１１に示されるように、第１カバー体２２および第２カバー体３０は、分離可能な別部材であってもよい。

（拡張プレート位置決め構造の第１変形例）
第１変形例に係る拡張プレート位置決め構造が図１２に示されている。第２カバー体３０の第５突出片３２ｇは、拡張プレート４２を位置決め固定するためのフック部３２ｈと、フック部３２ｈを持ち上げるためのレバー部３２ｊとを備える。レバー部３２ｊを所定方向に倒せば、フック部３２ｈが持ち上がる。

（拡張プレート位置決め構造の第２変形例）
第２変形例に係る拡張プレート位置決め構造が図１３および図１４に示されている。第１カバー体２２の本体部２４の下部は、所定の弾性を有する係合レバー３２ｋを備える。係合レバー３２ｋの下面には、図示しない球状の突部が形成されている。拡張プレート４２の各周辺孔部４４ｂは、第５突出片３２ｇおよび係合レバー３２ｋを同時に挿通することができる大きさになっている。拡張プレート４２の差し込み部４８には、係合レバー３２ｋの突部が係合可能なピン孔４７が形成されている。

拡張プレート４２をカバー体２０に取り付ける際には、カバー体２０の第１突出片２４ｅ、連続突出片、第３突出片３２ｅ、第５突出片３２ｇおよび係合レバー３２ｋを拡張プレート４２の各周辺孔部４４ｂに挿通する。その後、係合レバー３２ｋの先端に力を加えて係合レバー３２ｋを持ち上げながら、拡張プレート４２を回転させる。拡張プレート４２を略４５度回転させると、係合レバー３２ｋの突部が拡張プレート４２のピン孔４７に係合する。これにより、拡張プレート４２がカバー体２０に位置決めされ固定される（図１４参照）。

（拡張プレート位置決め構造の第３変形例）
第３変形例に係る拡張プレート位置決め構造が図１５および図１６に示されている。第１カバー体２２の本体部２４の下部は、所定の弾性を有する係合レバー３２ｍを備える。係合レバー３２ｍは、屈曲形状を有し、幅方向に沿って下方に突出するリブ３２ｎを備える。拡張プレート４２の各周辺孔部４４ｂは、第５突出片３２ｇおよび係合レバー３２ｍを同時に挿通できる大きさになっている。また、拡張プレート４２のスリット４６は、係合レバー３２ｍのリブ３２ｎと同じ幅を有する。

拡張プレート４２をカバー体２０に取り付ける際には、カバー体２０の第１突出片２４ｅ、連続突出片、第３突出片３２ｅ、第５突出片３２ｇおよび係合レバー３２ｍを拡張プレート４２の各周辺孔部４４ｂに挿通する。その後、係合レバー３２ｍの先端に力を加えて係合レバー３２ｍを持ち上げながら、拡張プレート４２を回転させる。拡張プレート４２を略４５度回転させると、係合レバー３２ｍのリブ３２ｎが拡張プレート４２のスリット４６に係合する。これにより、拡張プレート４２がカバー体２０に位置決めされ固定される（図１６参照）。

本発明に係る真空パッド振れ防止機構は、上述した実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得る。

１０…真空パッド振れ防止機構 １２…真空パッド
１４…支持部材 １４ａ…真空通路
１６…ベローズ ２０…カバー体
２２…第１カバー体 ２４、３２…本体部
２４ｃ、３２ｃ…係合凹部 ２４ｄ、３２ｄ…係合片
２４ｅ…第１突出片（突出片） ２４ｆ…第２突出片（突出片）
２６、３４…取付け部 ２８、３６…フランジ部
３０…第２カバー体 ３２ｅ…第３突出片（突出片）
３２ｆ…第４突出片（突出片） ３２ｇ…第５突出片（突出片）
３２ｈ…フック部 ３２ｉ…（フック部の）スリット
３２ｊ…レバー部 ３２ｋ、３２ｍ…係合レバー
３２ｎ…リブ ３８…窓部
４０…ヒンジ部 ４２、５０、６０、７０…拡張プレート
４４…孔部 ４４ａ…中心孔部
４４ｂ…周辺孔部 ４６…（差し込み部の）スリット
４７…ピン孔 ４８…差し込み部
５２…プレート部 ５４…スカート部
６２…プレート本体 ６４…（プレート本体の）スリット
６６…ガイド軸 ６８…ナット

Claims (17)

1. カバー体が真空パッドに取り付けられた真空パッド振れ防止機構であって、
   前記真空パッドは、真空通路を有する支持部材と、前記支持部材に取り付けられるベローズとを備え、前記カバー体は、円筒状の本体部と、前記本体部の一端から突出する取付け部と、前記本体部の他端から径方向外方に突出するフランジ部とを備え、前記ベローズが収縮してワークを吸着保持したとき、前記カバー体が前記ベローズの外側を覆い、前記カバー体は、前記取付け部が前記支持部材に螺合されることによって前記真空パッドに取り付けられ、前記真空パッドに対する前記カバー体の取付け位置を調整可能である真空パッド振れ防止機構。
2. 請求項１記載の真空パッド振れ防止機構において、
   前記カバー体の前記本体部は、前記ベローズの取付け位置を外部から確認することが可能な窓部を有する真空パッド振れ防止機構。
3. 請求項１記載の真空パッド振れ防止機構において、
   前記カバー体は、第１カバー体および第２カバー体を含み、前記第１カバー体および前記第２カバー体は、半円筒状の本体部を備える真空パッド振れ防止機構。
4. 請求項３記載の真空パッド振れ防止機構において、
   前記第１カバー体および前記第２カバー体は、ヒンジ部を介して相対回動可能に連結される真空パッド振れ防止機構。
5. 請求項３記載の真空パッド振れ防止機構において、
   前記第１カバー体および前記第２カバー体は、相互に分離可能な部材である真空パッド振れ防止機構。
6. 請求項３記載の真空パッド振れ防止機構において、
   前記第１カバー体の前記本体部は係合片および係合凹部を備え、前記第２カバー体の前記本体部は係合片および係合凹部を備え、前記第１カバー体の前記本体部の前記係合片が前記第２カバー体の前記本体部の前記係合凹部に係合し、前記第２カバー体の前記本体部の前記係合片が前記第１カバー体の前記本体部の前記係合凹部に係合する真空パッド振れ防止機構。
7. 請求項３記載の真空パッド振れ防止機構において、
   孔部を有する拡張プレートが前記カバー体に取り付けられる真空パッド振れ防止機構。
8. 請求項７記載の真空パッド振れ防止機構において、
   前記カバー体の前記本体部は、外方に突出する複数の突出片を備え、前記複数の突出片は、周方向に等間隔に配置され、前記フランジ部と所定の隙間を隔てて向き合う真空パッド振れ防止機構。
9. 請求項８記載の真空パッド振れ防止機構において、
   前記拡張プレートの前記孔部は、前記カバー体の前記本体部を挿通することが可能な中心孔部と、前記複数の突出片を挿通することが可能な複数の周辺孔部とを含み、前記拡張プレートは、前記複数の周辺孔部のうち互いに隣接する前記周辺孔部の間に差し込み部を有し、前記差し込み部は、前記複数の突出片が前記カバー体の前記フランジ部と向き合う隙間に入り込む真空パッド振れ防止機構。
10. 請求項９記載の真空パッド振れ防止機構において、
    前記複数の突出片の一つは、先端にスリットが形成されたフック部を有し、前記拡張プレートが前記カバー体の軸心回りの所定位置にあるとき、前記拡張プレートの前記差し込み部に形成されたスリットに前記フック部が弾性的に係合する真空パッド振れ防止機構。
11. 請求項９記載の真空パッド振れ防止機構において、
    前記複数の突出片の一つは、フック部と、前記フック部を持ち上げるためのレバー部とを備え、前記拡張プレートが前記カバー体の軸心回りの所定位置にあるとき、前記拡張プレートの前記差し込み部に形成されたスリットに前記フック部が弾性的に係合する真空パッド振れ防止機構。
12. 請求項９記載の真空パッド振れ防止機構において、
    前記カバー体の前記本体部は係合レバーを備え、前記拡張プレートが前記カバー体の軸心回りの所定位置にあるとき、前記拡張プレートの前記差し込み部に形成されたピン孔に前記係合レバーに形成された球状の突部が係合する真空パッド振れ防止機構。
13. 請求項９記載の真空パッド振れ防止機構において、
    前記カバー体の前記本体部は係合レバーを備え、前記拡張プレートが前記カバー体の軸心回りの所定位置にあるとき、前記拡張プレートの前記差し込み部に形成されたスリットに前記係合レバーのリブが係合する真空パッド振れ防止機構。
14. 請求項７記載の真空パッド振れ防止機構において、
    前記拡張プレートは、プレート部と、前記プレート部の外周から延びる筒状のスカート部とから構成される真空パッド振れ防止機構。
15. 請求項７記載の真空パッド振れ防止機構において、
    前記拡張プレートは、プレート本体と、前記プレート本体の板面に垂直な方向に配置される複数のガイド軸とを組み合わせて構成される真空パッド振れ防止機構。
16. 請求項１５記載の真空パッド振れ防止機構において、
    前記プレート本体は、外周縁から内方に向けて切り欠かれた複数のスリットを有し、雄ねじを有する前記ガイド軸は、前記複数のスリットに挿通され、一対のナットを用いて前記プレート本体に固定される真空パッド振れ防止機構。
17. 請求項３記載の真空パッド振れ防止機構において、
    複数の前記カバー体が１つの拡張プレートに取り付けられる真空パッド振れ防止機構。

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