KR101891894B1 - 수지 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 압축 성형 장치 - Google Patents

수지 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 압축 성형 장치 Download PDF

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Abstract

[과제] 압축 성형 장치의 하형에, 소정의 패턴으로 분말 모양, 과립 모양 또는 시트 모양의 수지 재료를 공급할 수 있는 수지 재료 공급 장치를 제공한다.
[해결 수단] 수지 재료 공급 장치(10)는, 수평하게 배치된 수평부(111)와, 수평부(111)의 일단에 마련된, 하부로의 접음부(112)를 가지는, 하형(21) 상에 배치되는 가요성 시트(11)와, 수지 재료(P)를 수평부(111) 상에 소정의 패턴이 되도록 배치하는 수지 재료 배치부(12)와, 접음부(112)에서 가요성 시트(11)의 하측에 접하면서 접음부(112)를 수평부(111)측으로 이동시키는 접음 부재(13)를 구비한다. 수지 재료(P)를 소정의 패턴으로 수평부(111)에 배치한 다음에 접음부(112)를 수평부(111)측으로 이동시키는 것에 의해, 상기 패턴을 유지한 채로 수지 재료(P)를 하형(21)에 공급할 수 있다.

Description

수지 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 압축 성형 장치{APPARATUS AND METHOD FOR SUPPLYING RESIN MATERIAL, AND COMPRESSION MOLDING APPARATUS}
본 발명은, 수지(樹脂) 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 상기 수지 재료 공급 장치를 가지는 압축 성형 장치에 관한 것이다.
전자 부품의 소형화 및 그것에 의한 반도체 칩 등의 본딩 와이어의 소경화(小徑化)에 따라, 전자 부품의 씰링 성형에 압축 성형이 이용되도록 되어 있다. 압축 성형에서는, 이형(離型) 필름에 의해 피복한 하형(下型)의 캐비티에 수지 재료를 공급하고, 가열 용융한 후, 전자 부품을 장착한 기판을 장착한 상형(上型)과의 사이에서 형(型)체결하여 상기 수지를 압축하는 것에 의해 성형이 이루어진다.
특허 문헌 1에는, 복수개의 슬릿 모양의 수지 재료 공급 구멍이 마련된, 수지 재료를 수용하는 수지 트레이를 하형의 캐비티 상에 배치한 다음에, 수지 트레이의 저부에 마련된, 중앙에서 맞대어진 2매의 평판(平板)으로 이루어지는 셔터를 이 수지 재료 공급 구멍의 슬릿의 길이 방향에 수직인 방향으로 개방하는 것에 의해, 수지 재료 공급 구멍으로부터 수지 재료를 캐비티 내에 낙하시키는 수지 재료 공급 장치가 기재되어 있다. 이 수지 재료 공급 장치에 의하면, 캐비티의 전체에 소정량의 수지 재료를 과부족하지 않게 또한 균등하게 공급할 수 있다.
특허 문헌 2에는, 분말의 수지 재료를 벨트 컨베이어 상에 균등하게 전면에 깔고, 상기 벨트 컨베이어의 종단(終端)으로부터 캐비티에 수지 재료를 낙하시키면서 상기 종단을 미는 방향으로 벨트 컨베이어를 이동시키는 것에 의해, 벨트 컨베이어 위의 수지 재료를 그대로 캐비티에 균등하게 공급하는 수지 재료 공급 장치가 기재되어 있다. 이 수지 재료 공급 장치도 캐비티의 전체에 소정량의 수지 재료를 과부족하지 않게 또한 균등하게 공급하는 것을 목적으로 하고 있다.
특허 문헌 1 : 일본특허공개 제2007-125783호공보 특허 문헌 2 : 일본특허공개 제2003-223901호공보
압축 성형 장치에는, 1개의 하형에 복수개의 캐비티가 형성되는 타입의 것이 있다. 이 경우, 그들 복수의 캐비티 내에는 균등하게 수지 재료를 공급하는 한편, 캐비티와 캐비티의 사이의 부분(마진(margin))에는 수지 재료를 공급해서는 안 된다. 이와 같이, 전체로서 소정의 패턴이 되도록 하형에 수지 재료를 공급하려고 하는 경우, 특허 문헌 1이나 2에 기재된 수지 재료 공급 장치에서는 대응할 수 없다.
본 발명이 해결하려고 하는 과제는, 압축 성형 장치의 하형에, 소정의 패턴으로 수지 재료를 공급할 수 있는 수지 재료 공급 장치 및 수지 재료 공급 방법, 그리고 상기 수지 재료 공급 장치를 가지는 압축 성형 장치를 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 본 발명에 관한 수지(樹脂) 재료 공급 장치는, 압축 성형 장치의 하형에 분말 모양, 과립 모양 또는 시트 모양의 수지 재료를 공급하는 장치로서,
a) 수평하게 배치된 수평부와, 상기 수평부의 일단에 마련된, 하부로의 접음부를 가지는, 상기 하형 상에 배치되는 가요성 시트와,
b) 상기 수지 재료를 상기 수평부 상에 소정의 패턴이 되도록 배치하는 수지 재료 배치부와,
c) 상기 접음부에서 상기 가요성 시트의 하측에 접하면서 상기 접음부를 상기 수평부측으로 이동시키는 접음 부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서, 가요성 시트의 수평부는, 가요성 시트 상의 수지 재료의 패턴이 중력에 의해서 흐트러지지 않고, 또한 접음 부재가 이동하고 있지 않을 때에 수지 재료가 접음 부재로부터 낙하하지 않을 정도로, 엄밀한 수평의 상태로부터 약간 경사져 있는 것이 허용된다.
본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치는 이하와 같이 사용된다. 먼저, 수지 재료 배치부에 의해, 수지 재료를 가요성 시트의 수평부 상에 소정의 패턴이 되도록 배치한다. 수지 재료 배치부에는, 종래의 수지 재료 공급 장치에서 이용되고 있는 것을 적용할 수 있다. 분말 모양 또는 과립 모양의 수지 재료를 이용하는 경우에는, 예를 들면, 특허 문헌 1에 기재된 수지 재료 공급 장치에서 이용되고 있는 피더(feeder)의 선단을, 상기 패턴의 형상에 따라 이동시키면서 수지 재료를 수평부 상에 배치해 가는 것에 의해, 상기 패턴을 형성할 수 있다. 시트 모양의 수지 재료를 이용하는 경우에는, 예를 들면, 미리 소정의 패턴으로 잘라내어진 시트 모양의 수지 재료를 반송 장치에 의해 가요성 시트 상까지 반송하여 재치하면 좋다.
다음으로, 가요성 시트가 압축 성형 장치의 하형 상에 배치된 상태에서, 접음 부재가 가요성 시트의 하측에 접하면서, 상기 접음 부재를 상기 수평부측으로 이동시킨다. 또, 가요성 시트를 상기 하형 상에 배치하는 타이밍은, 수지 재료를 수평부 상에 배치하기 전 및 배치한 후 중 어느 하나라도 좋다. 이 접음 부재의 이동에 의해, 가요성 시트는 수평부측으로 순서대로 접혀 가고, 접음부도 접음 부재와 동일 방향으로 이동하여 간다. 그 때문에, 수평부 상에 배치된 수지 재료는, 접음부로부터 순서대로 하형 내로 낙하하여 간다. 여기서, 가요성 시트가 면(面)이기 때문에, 접음부는 필연적으로 선(線) 모양이 되고, 이 선 모양의 접음부가 이동하는 것에 의해 수지 재료가 면 모양으로 공급된다.
하형에 대해서, 가요성 시트의 수평부 상의 각 점(点)이 이동하지 않고 접음부만이 이동하도록 접음 부재를 이동시키는 것에 의해, 수평부 상의 수지 재료는 그 패턴을 유지한 채로 하형에 공급된다.
한편, 접음 부재의 이동 속도를 그것보다도 빠르게 하는 것에 의해, 하형에는 가요성 시트의 수평부 상에서의 패턴이 상기 이동 방향으로 신장된 패턴으로 수지 재료가 공급된다. 또, 접음 부재의 이동 속도를 상기 이동 속도보다도 느리게 하는 것에 의해, 상기 이동 방향으로 압축된 패턴으로 수지 재료가 공급된다. 이와 같이, 본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치에 의하면, 수평부 상에 배치된 패턴에 대응한, 소망의 패턴으로 수지 재료를 하형에 공급하는 것도 가능하다.
상기 접음 부재는, 상기 가요성 시트에 대해서 미끄러지면서 상기 수평부측으로 이동하는 것이라도 좋다. 그 예로서, 상기 접음 부재는, 상기 접음부에 단부가 배치되어 상기 가요성 시트의 상기 수평부를 하측으로부터 지지하는 판재(板材)라고 하는 구성을 들 수 있다. 이러한 판재를 이용하는 경우에는, 가요성 시트의 접음부의 반대측에 있는 단부 중 판재의 상측에 있는 쪽을 고정한 다음에, 판재의 하측에 있는 단부의 쪽을 상기 이동 방향으로 당기는 것에 의해, 상기 판재를 상기 방향으로 이동시키면서, 상기 접음부를 상기 방향으로 이동시킨다. 이것에 의해, 가요성 시트 상의 각 점이 이동하지 않고 접음부만을 이동시킬 수 있어, 가요성 시트 상의 패턴을 유지한 채로 수지 재료를 하형에 공급할 수 있다. 판재 외에, 선 모양의 접음부의 방향으로 연장되는 봉재(棒材) 등의 접음 부재를 이용할 수도 있다. 수지 재료가 배치된 수평부를 하측으로부터 전면(全面)에서 유지할 수 있다는 점에서, 상기 판 모양의 접음 부재를 이용하는 것이 바람직하다.
혹은, 상기 접음 부재는, 회전하는 것에 의해 상기 가요성 시트에 대해서 미끄러지지 않게 상기 수평부측으로 이동하는 것이라도 좋다. 이 경우, 이 접음 부재와 함께, 상기 접음 부재보다도 상기 수평부측에 마련된, 상기 가요성 시트를 제2 접음부에서 상부측으로 접고, 회전하는 것에 의해 상기 가요성 시트에 대해서 상기 접음 부재와 동일 방향으로 이동하는 제2 접음 부재를 구비하며, 상기 가요성 시트는 상기 접음부로부터 상기 제2 접음부를 거쳐 상기 접음부로 되돌아오는 엔드리스의 시트라고 하는 구성을 취하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의해, 수지 재료 공급 장치를 1회 사용한 후에, 제2 접음부로부터 상부로 접힌 가요성 시트가 수평부에 공급되기 때문에, 가요성 시트를 원래의 상태로 되돌리지 않아도 다음의 수지 재료의 공급 동작을 행할 수 있다. 또, 가요성 시트는, 상기 접음부에서 미끄러지지 않으면, 제2 접음부에서 미끄러지는 것은 허용된다.
본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치에서, 상기 접음부의 이동 범위의 하측에, 상기 접음부로부터 낙하하는 수지 재료를 상기 하형의 소정의 범위 내로 유도(誘導)하는 하부 유도구(誘導具)를 구비하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 수지 재료를 하형의 소정의 범위 내에 확실히 공급할 수 있다. 혹은, 본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치는, 상기 수평부의 상측에, 상기 수지 재료 배치부에 의해 배치되는 수지 재료를 상기 수평부 상에 소정의 위치로 유도하는 상부 유도구를 구비하고 있어도 괜찮다.
본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치에서, 상기 접음부의 이동에 따라 이동함으로써 상기 접음부의 근방에 배치되는, 상기 수지 재료에 생기는 정전기를 제전(除電)하는 제전부를 구비하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 수지 재료와 가요성 시트의 마찰에 의해 생기는 정전기를, 수지 재료가 하형에 공급되기 직전에 제거할 수 있다.
본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치에서, 상기 가요성 시트 및 상기 접음 부재를, 복수 마련된 압축 성형 장치 중 어느 하나의 하형 상으로 반송하는 반송부를 구비하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 1조(組)의 수지 재료 배치부, 가요성 시트 및 접음 부재를 이용하여, 복수의 압축 성형 장치의 하형에 수지 재료를 공급할 수 있다.
본 발명에 관한 압축 성형 장치는, 분말 모양, 과립 모양 또는 시트 모양의 수지 재료를 이용하여 수지 성형품을 제조하는 장치로서,
수지 성형품이 성형되는 공간인 캐비티를 가지는 하형과,
상기 하형에 서로 대향하는 상형과,
본 발명에 관한 상기 수지 재료 공급 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명에 관한 압축 성형 장치의 다른 형태의 것은, 분말 모양, 과립 모양 또는 시트 모양의 수지 재료를 이용하여 수지 성형품을 제조하는 압축 성형 모듈을 구비하는 장치로서,
상기 압축 성형 모듈에 마련된, 수지 성형품이 성형되는 공간인 캐비티를 가지는 하형과,
상기 압축 성형 모듈에 마련된, 상기 하형에 서로 대향하는 상형과,
본 발명에 관한 상기 수지 재료 공급 장치를 구비하며,
상기 압축 성형 모듈이 다른 압축 성형 모듈에 대해서 착탈 가능한 것을 특징으로 한다.
상기 압축 성형 모듈을 가지는 압축 성형 장치에서는, 수지 재료 공급 장치는 압축 성형 모듈마다 마련해도 좋고, 복수개의 압축 성형 모듈에 공통의 것을 마련해도 좋다. 복수개의 압축 성형 모듈에 공통의 수지 재료 공급 장치에는, 전술한 반송부를 마련하면 좋다.
본 발명에 관한 수지 재료 공급 방법은, 압축 성형 장치의 하형에 분말 모양, 과립 모양 또는 시트 모양의 수지 재료를 공급하는 방법으로서,
수평하게 배치된 수평부와, 상기 수평부의 일단에 마련된, 하부로의 접음부를 가지는 가요성 시트의 상기 수평부 상에, 상기 수지 재료를 소정의 패턴이 되도록 배치하고,
상기 접음부에서 상기 가요성 시트의 하측에 접하면서 접음 부재를 상기 수평부측으로 이동시키는 것에 의해, 상기 수평부 상의 상기 수지 재료를 상기 접음부로부터 상기 하형에 공급하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치 및 수지 재료 공급 방법에 의하면, 압축 성형 장치의 하형에, 소정의 패턴으로 수지 재료를 공급할 수 있다. 그리고, 상기 수지 재료 공급 장치를 가지는 압축 성형 장치에 의해, 상기 패턴에 대응한 형상을 가지는 수지 성형품을 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치의 제1 실시 형태를 나타내는 개략 구성도.
도 2의 (a)는 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치에서의 수지 재료 배치부 및 상기 수지 재료 배치부를 이용하여 수지 재료를 가요성 시트에 배치하는 패턴의 일례를 나타내는 상면도, 및 (b)는 상기 수지 재료 공급 장치에 의해 수지 재료가 공급되는 하형의 캐비티를 나타내는 상면도.
도 3은 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치의 동작을 나타내는 도면.
도 4는 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치에서 접음 부재를 원래의 위치로 되돌리기 위한 구성을 나타내는 도면.
도 5는 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치를 이용하여 시트 모양 수지 재료를 하형에 공급하는 동작을 나타내는 도면.
도 6은 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치에서의 시트 이동 장치의 변형예를 나타내는 도면.
도 7은 접음 부재의 다른 예를 나타내는 측면도.
도 8은 시트 이동 장치 및 접음 부재의 또 다른 예를 나타내는 측면도.
도 9의 (a-1), (a-2)는 수지 재료 배치부를 이용하여 수지 재료를 가요성 시트에 배치하는 패턴 중 다른 2개의 예를 나타내는 상면도, 및 (b-1), (b-2)는 이들 패턴으로 가요성 시트에 배치된 수지 재료가 공급되는 하형의 캐비티를 나타내는 상면도.
도 10은 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치에 하부 유도구(a) 및 상부 유도구(b)를 마련한 예를 나타내는 개략도.
도 11은 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치에 제전부를 마련한 예를 나타내는 개략도.
도 12는 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치를 이용하여 수지 씰링품을 제조하는 공정을 나타내는 도면.
도 13은 본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치의 제2 실시 형태를 나타내는 개략 구성도.
도 14는 제2 실시 형태의 수지 재료 공급 장치의 동작을 나타내는 도면.
도 15는 본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치를 1조(組) 가지며, 성형 모듈을 복수조 가지는 예를 나타내는 평면도.
도 1~도 15를 이용하여, 본 발명에 관한 수지(樹脂) 재료 공급 장치 및 수지 재료 공급 방법의 실시 형태를 설명한다. 이들 장치 및 방법은, 압축 성형을 위해서 분말 모양, 과립 모양 또는 시트 모양의 수지 재료를 압축 성형 장치의 형(型)의 캐비티에 공급하는 것이다. 이하에서는 함께, 상기 수지 재료 공급 장치를 이용한 압축 성형 장치의 실시 형태를 설명한다.
(1) 제1 실시 형태
도 1은, 제1 실시 형태의 수지(樹脂) 재료 공급 장치(10)를 나타내는 개략 구성도이다. 수지 재료 공급 장치(10)는, 가요성 시트(11)와, 수지 재료 배치(살포) 장치(12)와, 접음 부재(13)와, 시트 인장 장치(14)를 가진다. 본 실시예에서는, 가요성 시트(11)는 실리콘 고무제이며, 접음 부재(13)는 금속(스테인리스강) 제의 장방형의 판재이다. 가요성 시트(11)에는 실리콘 고무 외에, 폴리우레탄, 폴리에스테르, 불소 수지 등의 재료를 이용할 수 있다. 접음 부재(13)에는 스테인리스강 이외의 금속제의 것이나, 그들 금속제의 판재에 테플론(Teflon)(등록상표) 등의 수지로 코팅한 것, 혹은 세라믹스제의 것 등을 이용할 수 있다. 접음 부재(13)의 판재의 측면 중 하나는, 판재의 상면 및 하면과의 모서리가 둥글게 되어 있다. 이 측면을 「접음면」이라고 부른다.
가요성 시트(11)의 형상은, 본 실시 형태에서는 띠 모양이다. 상기 띠의 일단인 고정단(113)은, 접음 부재(13)의 판재의 측면 중 하나인 접음부(112)와 평행하게, 접음 부재(13)의 상면의 소정의 위치에 배치되도록, 수지 재료 공급 장치(10)의 케이스(도시하지 않음)에 고정되어 있다. 또, 고정단(113)은, 접음 부재(13)에는 고정되어 있지 않다. 가요성 시트(11)의 띠는, 고정단(113)으로부터 접음 부재(13)의 상면으로부터 접음면을 향하고, 접음면에서 하면으로 접혀, 접음면으로부터 멀어지도록 연장되어 있다. 이 접음 부재(13)의 접음면에서 접혀진 가요성 시트(11)의 부분을 접음부(112)라고 부른다. 또, 가요성 시트(11) 중 접음부(112)와 고정단(113)의 사이의 부분을 수평부(111)라고 부른다. 수지 재료 공급 장치(10)의 전체는, 수평부(111)가 대략 수평하게 되도록 배치되어 있다. 또, 수평부(111)는, 후술한 바와 같이 수평부(111) 상에 배치(살포)되는 수지 재료(P)가 중력에 의해 접음부(112)로부터 낙하하지 않을 정도라면, 수평으로부터 다소 경사져 있어도 괜찮다.
수지 재료 배치 장치(12)는, 도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 분말 모양 또는 과립 모양의 수지 재료(P)를 저류(貯留)하는 호퍼(121)와, 호퍼(121)로부터 측부로 연장되고, 선단으로부터 수지 재료(P)를 살포함(낙하시킴)으로써 상기 수지 재료(P)를 수평부(111) 상에 배치하는 리니어 피더(feeder)(122)를 가진다. 수지 재료 배치 장치(12)는, 그 전체가 수평 방향으로 이동하는 것에 의해, 수평부(111) 상의 임의의 위치에 수지 재료(P)를 배치할 수 있다. 시트 모양의 수지 재료를 이용하는 경우에는, 수지 재료 배치 장치(12)를 대신하여, 예를 들면, 반송 장치(도시하지 않음)의 하부에 기체의 흡인 등의 방법에 의해서 시트 모양의 수지 재료를 흡착시킨 상태에서, 상기 반송 장치를 수평부(111) 상의 소정 위치까지 이동시키고, 흡착을 정지하는 것에 의해, 상기 시트 모양의 수지 재료를 상기 소정 위치에 배치할 수 있다. 이상과 같이, 분말 모양, 과립 모양 및 시트 모양 중 어느 하나의 형태의 수지 재료(P)를 이용하는 경우에도, 상기 수지 재료(P)를 수평부(111) 상의 임의의 위치에 배치할 수 있다.
접음 부재(13)는, 대략 수평으로 이동 가능하게, 수지 재료 공급 장치(10)의 케이스에 마련된 가이드 레일(도시하지 않음)에 유지되어 있다. 접음 부재(13)의 상면에 가요성 시트(11)의 수평부(111)가 배치되기 때문에, 수평부(111)는 그 전체가 접음 부재(13)의 상면에서 지지된다.
시트 인장 장치(14)는, 가요성 시트(11)를 감는 드럼(141)과, 가요성 시트(11)를 드럼(141)에 감는(드럼(141)측으로 당기는) 방향으로 상기 드럼을 회전시키는 모터(도시하지 않음)를 가진다. 가요성 시트(11)의 고정단(113)의 반대측인 단부는, 드럼(141)에 고정되어 있다. 또, 가요성 시트(11)의 띠의 폭방향에 있는 접음 부재(13)의 양측면에는, 접음 부재(13)를 접음부(112)측으로 이동시키는 롤러(142)가 맞닿아 있고, 상기 롤러(142)를 회전시키는 모터(도시하지 않음)가 마련되어 있다.
도 2~도 4를 참조하면서, 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10)의 동작을 설명한다. 먼저, 접음 부재(13)의 가동 범위 내에서 접음부(112)가 고정단(113)으로부터 가장 멀어지는, 즉 수평부(111)의 길이가 최대가 되는 위치에 접음 부재(13)를 배치한다. 그리고, 캐비티(211) 상에 수평부(111)가 배치되도록, 수지 재료 공급 장치(10)를 하형 상으로 이동시킨다. 이 상태에서, 수지 재료 배치 장치(12)로부터 수평부(111)에 살포하는 것에 의해, 수지 재료(P)를 소정의 패턴이 되도록 배치한다(도 2의 (a)). 도 3의 (a)에, 수평부(111)에 수지 재료(P)를 배치하는 패턴의 일례를 나타낸다. 이 예에서는, 도 2의 (b)에 상면도에서 나타낸 복수개의 직방체 모양의 캐비티(211)에 맞추어, 수평부(111) 상의 복수의 장방형의 영역에 수지 재료(P)를 배치하고 있다. 이러한 패턴은, 수지 재료 배치 장치(12)를 수평 방향으로 이동시키면서, 수지 재료(P)의 살포(낙하)의 유무를 제어하는 것에 의해 형성할 수 있다. 또, 하형 상에 수지 재료 공급 장치(10)를 이동시키는 타이밍은, 수지 재료(P)의 배치 후라도 좋고, 그 경우에는, 수지 재료 공급 장치(10)의 구성요소 중 수지 재료 배치 장치(12)를 하형 상으로 이동시킬 필요는 없다.
다음으로, 시트 인장 장치(14)의 드럼(141)을 회전시킴으로써 가요성 시트(11)를 상기 드럼(141)에 감아 간다. 이것에 의해, 가요성 시트(11)가 접음부(112)의 반대측으로 당겨짐과 아울러, 접음부(112)에서 접음 부재(13)가 가요성 시트(11)의 내측면에 의해 밀린다. 그 때문에, 접음 부재(13)가 가요성 시트(11)에 접하면서 상기 가요성 시트(11)에 대해서 미끄러지면서 수평부(111)측으로 이동하고, 그것에 따라서 접음부(112)도 수평부(111)측으로 이동한다(도 3의 (b)). 또, 이 때에는 롤러(142)를 회전시킬 필요는 없다. 이 접음부(112)의 이동에 의해, 수평부(111) 상의 수지 재료(P)는, 고정단(113)의 반대측으로부터 순서대로, 그것을 지지하고 있던 가요성 시트(11) 및 접음 부재(13)가 없어져, 캐비티(211)로 낙하하여 간다. 이것에 의해, 수지 재료(P)는, 수평부(111) 상에서의 패턴을 유지한 채로, 하형의 캐비티(211)에 공급된다. 수평부(111) 상의 수지 재료(P)가 모두 하형의 캐비티(211)에 공급될 때까지 접음부(112)를 이동시키는(도 3의 (c)) 것에 의해, 캐비티(211)로의 수지 재료의 공급의 조작을 종료한다.
그 후, 시트 인장 장치(14)의 드럼(141)을 지금까지는 반대 방향으로 회전시키면서, 롤러(142)를 회전시켜, 접음 부재(13)를 접음부(112)측으로 이동시키는(도 4) 것에 의해, 접음부(112)를 원래(수지 재료(P)를 수평부(111) 상에 배치하기 전)의 위치로 되돌린다. 이것에 의해, 가요성 시트(11)도 원래의 위치로 되돌아가, 다음의 수지 재료 공급의 작업을 행할 수 있다.
시트 모양 수지 재료(SP)를 이용하는 경우도 동일한 동작에 의해, 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10)를 이용하여 하형(21)의 소정의 위치에 상기 시트 모양 수지 재료(SP)를 배치할 수 있다. 이 경우, 도 5에 나타내는 바와 같이, 수지 재료 공급 장치(10)와 하형(21)의 캐비티(211)를 가능한 가까이 하여 두는 것에 의해, 시트 모양 수지 재료(SP)의 선단이 캐비티(211)에 이르렀을 때에 타단이 수지 재료 공급 장치(10)의 가요성 시트(11) 상에 남고, 그 상태에서 접음 부재(13)를 더 이동시킴으로써, 시트 모양 수지 재료(SP)를 소정의 위치에 공급할 수 있다.
도 6에, 시트 인장 장치의 다른 예를 나타낸다. 이 시트 인장 장치(14A)는, 전술한 롤러(142)와 동일한 구성(단, 후술한 바와 같이 동작은 다름)을 가지는 롤러(142A)와, 고정단(113)의 반대측의 가요성 시트(11)의 단부에 일단이 장착된 스프링(143)과, 상기 스프링(143)의 타단측이 고정되는 고정부(144)를 가진다.
시트 인장 장치(14A)는 이하와 같이 사용한다. 먼저, 수평부(111) 상에 수지 재료(P)가 배치되기 직전의 상태로 하기 위해서, 롤러(142A)를 회전시켜 접음 부재(13)를 접음부(112)측으로 이동시킨다(도 6의 (a)). 이것에 의해, 가요성 시트(11)가 접음부(112)측으로 당겨져 스프링(143)이 신장된 상태가 되어, 가요성 시트(11) 및 접음 부재(13)가 스프링(143)측으로 당겨지지만, 롤러(142A)에 의해 접음 부재(13)를 밀어 붙이는 것에 의해서 가요성 시트(11) 및 접음 부재(13)의 위치를 고정한다. 가요성 시트(11)의 수평부(111) 상에 수지 재료(P)를 소정의 패턴으로 배치한 후, 롤러(142A)를 앞 과정과는 반대 방향으로 회전시키는 것에 의해, 접음 부재(13)를 접음부(112)의 반대측으로 이동시킨다(도 6의 (b)). 그 때, 가요성 시트(11)가 스프링(143)에 의해 당겨지기 때문에, 접음 부재(13)가 가요성 시트(11)에 대해서 미끄러지면서 이동하게 된다. 수평부(111) 상의 수지 재료(P)가 모두 하형의 캐비티(211)에 공급될 때까지 접음부(112)가 이동한(도 6의 (c)) 후, 롤러(142A)를 회전시켜 가요성 시트(11) 및 접음 부재(13)를, 수지 재료(P)를 배치하는 위치까지 되돌리는 것에 의해, 다음의 수지 재료(P)의 공급 조작을 행할 수 있다.
도 7에, 다른 예의 접음 부재(13A)를 가지는 수지 재료 공급 장치(10A)를 나타낸다. 이 접음 부재(13A)는, 접음부(112)의 선에 평행(가요성 시트(11)의 띠의 폭방향)인 봉재(棒材)로 이루어진다. 접음 부재(13A)의 봉재의 양단은, 수지 재료 공급 장치(10)의 케이스에 마련된 가이드 레일(도시하지 않음)에 유지되어 있고, 전술한 판 모양의 접음 부재(13)와 마찬가지로, 가요성 시트(11)가 시트 인장 장치(14A)에 의해 접음부(112)의 반대측의 방향으로 당겨지는 것에 따라서 상기 방향으로 이동한다. 이 접음 부재(13A)는, 판 모양의 접음 부재(13)와는 달리 수평부(111)의 전체를 지지하지는 않지만, 그것 이외의 동작은 판 모양의 접음 부재(13)와 동일하다.
도 8의 (a)에, 시트 인장 장치 및 접음 부재의 또 다른 예를 가지는 수지 재료 공급 장치(10B)를 나타낸다. 이 예에서는, 접음 부재(13B)는, 판 모양의 부재이다. 가요성 시트(11B)는, 수지 재료 공급 장치(10B)의 케이스(도시하지 않음)에 고정된 고정단(113B)으로부터 접음 부재(13B)의 판재의 측면 중 하나인 접음부(112B)까지 상기 상면으로 연장되고, 접음부(112B)에서 접음 부재(13B)의 하면으로 접히고, 접음부(112B)에 대향하는 접음 부재(13B)의 단면(端面)인 제2 접음부(115B)에서 상면으로 접혀져 있다. 가요성 시트(11B)의 고정단(113B)의 반대측에 있는 단부는 수지 재료 공급 장치(10B)의 케이스에 대해서 이동하는 것이 가능하다(가동단(114B)). 가동단(114B)은 고정단(113B)과 스프링(143B)에 의해 연결되어 있고, 상기 스프링(143B)에 의해서 고정단(113B)측으로 당겨져 있다. 접음 부재(13B)는, 이동 장치(도시하지 않음)에 의해 접음부(112B)측 및 제2 접음부(115B)측을 향하여 이동 가능하다. 이동 기구로는 모터나 에어 실린더 등을 이용할 수 있다. 가요성 시트(11B)의 수평부(111B) 상에는, 상기와 동일한 수지 재료 배치 장치(12)가 마련되어 있다.
이 수지 재료 공급 장치(10B)는, 전술한 수지 재료 공급 장치(10)와 동일한 방법에 의해 수평부(111B) 상에 수지 재료(P)를 배치한 후, 하형 상에서 이동 기구에 의해서 접음 부재(13B)를 제2 접음부(115B)측을 향하여 이동시킨다. 이것에 의해, 가요성 시트(11B)의 고정단(113B)의 위치가 고정된 상태에서 접음부(112B)가 제2 접음부(115B)측을 향하여 이동해 가고, 수평부(111B) 상의 수지 재료(P)가 패턴을 유지한 채로 하형으로 낙하하여 간다(도 8의 (b)). 그 때, 가요성 시트(11B)는, 가동단(114B)이 스프링(143B)에 의해서 고정단(113B)측으로 당겨져 있기 때문에, 장력이 유지되어, 느슨해지지 않는다. 수평부(111B) 상의 수지 재료(P)가 모두 하형에 낙하하면 접음 부재(13B)의 이동을 정지시켜, 1회의 수지 공급을 종료한다(도 8의 (c)). 그 후, 접음 부재(13B)를 원래의 위치에 되돌리고, 다음의 수지 공급을 행한다.
도 9에, 가요성 시트(11)의 수평부(111)에 수지 재료(P)를 배치하는 패턴의 다른 예를 나타낸다. 도 9의 (a-1)에 나타낸 예에서는, 도 9의 (b-1)에 나타내는 복수개의 원판형의 캐비티(211A)의 형상에 맞추어, 그들 원판에 대응하는 복수개의 원형의 영역에 수지 재료(P)를 배치한다. 도 9의 (a-2)에 나타낸 예에서는, 도 9의 (b-2)에 나타내는 바와 같이 전술한 복수개의 직방체 모양의 캐비티(211)보다도 크고, 1개만의 직방체 모양의 캐비티(211B)의 형상에 맞추어, 가요성 시트(11)의 수평부(111)에 수지 재료(P)를 배치한다. 캐비티(211B)는, 특허 문헌 1 및 2에 기재된 종래의 수지 재료 배치 장치에서 수지 재료를 공급하는 대상으로 하고 있는 것이지만, 본 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10)를 이용해도 상기 캐비티(211B)에 수지 재료를 공급할 수 있다. 수지 재료(P)를 배치하는 패턴은 이들 예에 한정되지 않고, 임의의 형상으로 할 수 있다.
도 10의 (a)에, 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10)에 하부 유도구(誘導具)를 마련한 예를 나타낸다. 하부 유도구(15)는, 판재(150)에, 하형의 복수개의 캐비티(후술)에 대응하여 동일한 수의 개구부(151)가 마련되고, 각 개구부(151)의 하측에 통 모양부(152)가 마련된 것이다. 하부 유도구(15)는, 통 모양부(152)가 하형의 각 캐비티(211)의 바로 위에 위치하도록, 가요성 시트(11) 및 접음 부재(13)와 하형의 사이에 배치된다. 판재(150)의 상면에서는, 개구부(151)끼리가 접하고 있고, 개구부(151) 사이에 평탄한 부분이 없다. 개구부(151) 및 통 모양부(152)는 아래를 향해 좁혀지는 형상을 가지고 있다. 이러한 하부 유도구(15)를 이용하는 것에 의해, 수평부(111)로부터 낙하하는 수지 재료(P)를 확실히 캐비티(211)로 유도할 수 있다. 예를 들면, 약간 깊은 캐비티(211)에 수지 재료(P)를 공급하기 위해서, 수평부(111) 상에 수지 재료(P)를 높게 쌓아 올리면, 수지 재료(P)가 수평부(111)로부터 낙하하기 직전에 패턴이 흐트러져 약간 옆으로 이동할 우려가 있지만, 그러한 경우에도 하부 유도구(15)를 이용하면, 수지 재료(P)를 대상의 캐비티(211)에 유도할 수 있다. 혹은, 도 10의 (b)에 나타내는 바와 같이, 하부 유도구(15)와 동일 형상의 상부 유도구(15A)를 수지 재료 배치 장치(12)(리니어 피더(122))와 가요성 시트(11)의 사이에 마련하고, 가요성 시트(11)의 수평부(111)에 수지 재료(P)를 배치할 때에 상기 상부 유도구(15A)에 의해 수지 재료(P)를 유도하도록 해도 괜찮다.
도 11에, 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10)에 제전부(除電部)를 마련한 예를 나타낸다. 도 11의 (a)는, 접음부(112)의 근방에 제전 브러시(brush)로 이루어지는 제전부(16)를 마련한 것을 나타내고, 도 11의 (b)는, 접음부(112)의 근방에 제전에 필요한 이온을 공급하는 제전부(이오나이저(ionizer))(16A)를 마련한 것을 나타낸다. 이들 제전부(16 및 16A)는, 접음부(112)의 이동에 따라서, 이동 기구(도시하지 않음)에 의해 이동한다. 모든 예에서도, 수지 재료(P)와 가요성 시트(11)의 마찰에 의해 생기는 정전기를, 캐비티(211)에 공급되기 직전의 수지 재료(P)로부터 제거할 수 있다.
다음으로, 도 12를 참조하면서, 반도체 칩 등의 전자 부품을 수지로 씰링한 수지 씰링품을 제조하는 방법을 설명한다. 이 수지 씰링품 제조 방법에서는, 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10)와, 캐비티(211)가 마련된 하형(21)과, 상기 하형에 대향하는 상형(22)을 가지는 압축 성형 장치를 사용한다.
먼저, 하형(21)의 캐비티(211)의 표면을 이형 필름(212)에 의해 피복한다. 이 피복은, 캐비티(211)의 상면에 이형 필름(212)을 펼쳐 마련한 다음에, 캐비티(211)측으로부터 공기를 흡인하는 것에 의해 행할 수 있다. 또, 상형(22)에는, 표면에 전자 부품(C)이 캐비티(211)와 동일한 개수가 장착된 기판(S)을, 전자 부품(C)이 하측이 되도록 장착한다. 그리고, 하형(21)과 상형(22)의 사이에, 수지 재료 공급 장치(10)를 배치한다(도 12의 (a)). 또, 이형 필름(212)을 사용하지 않은 형태를 채용하는 것도 가능하다.
다음으로, 전술한 바와 같이 수지 재료 배치 장치(12)로부터 가요성 시트(11)의 수평부(111)에, 상기 복수개의 캐비티(211)에 대응한 패턴으로 수지 재료(P)를 배치한다(도 12의 (b)). 그리고, 전술한 바와 같이 가요성 시트(11)를 접음부(112)의 반대측으로 끌어당김과 아울러 접음 부재(13)를 접음부(112)의 반대측을 향하는 방향으로 이동시킴으로써, 접음부(112)를 상기 방향으로 이동시키는 것에 의해, 수평부(111) 상의 수지 재료(P)를 캐비티(211)에 공급한다(도 12의 (c)). 그 후, 하형(21)과 상형(22)의 사이부터 수지 재료 공급 장치(10)를 제거하고, 하형(21)을 가열하는 것에 의해 각 캐비티(211) 내의 수지 재료(P)를 용융시킨다(도 12의 (d)). 그리고 나서, 하형(21)과 상형(22)을 접근시켜 기판(S) 표면의 각 전자 부품(C)을, 대응하는 캐비티(211) 내의 수지 재료(P)에 침지시킨 다음에, 하형(21)과 상형(22)을 형(型)체결하여(도 12의 (e)), 수지 재료(P)를 경화시킨다. 그 후, 하형(21)과 상형(22)을 떼어 놓으면, 수지 재료(P)가 경화한 수지는 이형 필름(212)이 존재하는 것에 의해 캐비티(211)로부터 떨어져, 기판(S) 표면의 전자 부품(C)이 상기 수지에 의해 씰링된 복수개의 수지 성형품이 얻어진다(도 12의 (f)).
(2) 제2 실시 형태
도 13을 참조하면서, 본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치의 제2 실시 형태를 설명한다. 제2 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10C)는, 가요성 시트(11C)와, 수지 재료 배치 장치(12)와, 접음 부재(13C)와, 제2 접음 부재(17)를 가진다. 수지 재료 배치 장치(12)는 제1 실시 형태의 것과 동일하기 때문에, 상세한 설명은 생략 한다.
가요성 시트(11C)는, 실리콘 고무제의 띠의 양단을 연결하여 고리 모양으로 한 것이다. 접음 부재(13C) 및 제2 접음 부재(17)는 모두 원기둥 모양으로서 전술한 판 모양의 접음 부재(13)와 동일한 재료로 이루어지는 봉재이며, 가요성 시트(11C)의 고리의 내측에, 축을 가요성 시트(11C)의 띠의 폭방향을 향해서 대략 수평하게 또한 서로 대략 평행하게 하여 배치되어 있다. 접음 부재(13C)와 제2 접음 부재(17)는, 상하의 가요성 시트(11C)가 가볍게 인장되도록 거리를 취하여 배치되어 있다. 이것에 의해, 가요성 시트(11C)에는, 접음 부재(13C) 및 제2 접음 부재(17)의 상측의 양 부재 사이에 수평부(111C)가, 접음 부재(13C)측에 접음부(112C)가, 제2 접음 부재(17)측에 제2 접음부(115C)가, 각각 형성되어 있다. 접음 부재(13C)에는, 상기 접음 부재(13C)를 그 축을 중심으로 회전시키는 모터(도시하지 않음)가 접속되어 있다. 또, 이 모터는, 접음 부재(13C)를 대신하여 제2 접음 부재(17)에 접속해도 괜찮다. 게다가, 접음 부재(13C) 및 제2 접음 부재(17)에는, 양자의 간격을 유지하면서 상기 양자를 대략 수평으로 또한 가요성 시트(11C)의 띠의 길이 방향으로 이동시키는 이동 기구(도시하지 않음)가 마련되어 있다. 이 이동 기구는 예를 들면, 접음 부재(13C) 및 제2 접음 부재(17)를 축방향으로 회전 가능하게 공통의 케이스에 유지해 두고, 상기 케이스를 이동시키는 액추에이터를 이용하는 것에 의해 실현할 수 있다.
도 14를 참조하면서, 제2 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10C)의 동작을 설명한다.
먼저, 캐비티(211) 상에 수평부(111C)가 배치되도록, 수지 재료 공급 장치(10C)를 하형 상으로 이동시킨다. 그리고, 제1 실시 형태와 동일한 방법에 의해, 수지 재료 배치 장치(12)로부터 수평부(111C)에 수지 재료(P)를 소정의 패턴이 되도록 배치한다(도 14의 (a)). 또, 제1 실시 형태의 경우와 마찬가지로, 수지 재료 공급 장치(10C)를 하형 상으로 이동시키는 타이밍은, 수지 재료(P)를 수평부(111C)에 배치한 다음이라도 좋다.
다음으로, 접음 부재(13C)를, 접음부(112C)에서 상측의 가요성 시트(11C)가 하측으로 이동하는 방향으로 회전시키면서, 접음 부재(13C) 및 제2 접음 부재(17)를 접음부(112C)의 반대측의 방향으로 대략 수평으로 이동시킨다(도 14의 (b)). 이것에 의해, 접음 부재(13C)에 대해서(접음 부재(13C)로부터 보아) 가요성 시트(11C)가 상기 접음 부재(13C)측으로 이동하여 가고, 그것에 의해, 가요성 시트(11C)(의 이동 전의 수평부(111C)) 상에 배치된 수지 재료(P)가, 접음 부재(13C)측으로부터 순서대로 접음부(112C)로부터 캐비티(211)로 낙하하여 간다. 그 때, 접음 부재(13C) 및 제2 접음 부재(17)를 대략 수평으로 이동시키는 속도를, 접음 부재(13C)에 대한 가요성 시트(11C)의 이동의 속도와 동일하게 하는 것에 의해, 수지 재료(P)는, 수평부(111C) 상에서의 패턴을 유지한 채로, 그 곳으로부터 캐비티(211)로 낙하한다. 수지 재료(P)가 모두 가요성 시트(11C)로부터 낙하하면(도 14의 (c)), 접음 부재(13C) 및 제2 접음 부재(17)의 이동을 정지시킨다.
상기의 동작의 예에서는, 접음 부재(13C) 및 제2 접음 부재(17)의 이동의 속도는, 접음 부재(13C)에 대한 가요성 시트(11C)의 이동의 속도와 동일하게 했지만, 이들 접음 부재(13C) 및 제2 접음 부재(17)를 보다 빠르게 이동시키는 것에 의해, 수평부(111C) 상에서의 패턴보다도 상기 이동 방향으로 신장된 패턴으로 수지 재료(P)를 하형에 공급할 수 있다. 한편, 접음 부재(13C) 및 제2 접음 부재(17)를 보다 느리게 이동시키는 것에 의해, 수평부(111C) 상에서의 패턴보다도 상기 이동 방향으로 압축한 패턴으로 수지 재료(P)를 하형에 공급할 수 있다.
제2 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10C)에서도, 제1 실시 형태와 마찬가지로 유도구(15)나 제전부(16)를 이용해도 괜찮다.
(3) 복수의 압축 성형 장치의 하형에 수지 재료를 공급하는 구성의 예
도 15를 참조하면서, 본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치에서 복수의 압축 성형 장치의 하형에 수지 재료를 공급하는 구성의 예를 나타낸다. 도 15는, 1조의 압축 성형 장치가 수용된 압축 성형 모듈(31)을 가지는 압축 성형 유닛(30)을 나타내고 있다. 여기에서는 압축 성형 모듈(31)을 일방향으로 복수개 접속한 예를 설명한다. 압축 성형 모듈(31)의 개수는 임의이다. 또, 압축 성형 모듈(31)은 서로(다른 압축 성형 모듈(31)에 대해서) 착탈 가능하다. 이것에 의해, 사용 상황에 따라 임의로 증감할 수 있다. 또, 압축 성형 유닛(30)은, 압축 성형 모듈(31)이 1개뿐인 경우에도, 상기 압축 성형 모듈(31)이 복수개인 경우와 동일하게 사용할 수 있다.
압축 성형 유닛(30)은, 압축 성형 모듈(31) 외에, 수지 재료·기판 공급 모듈(32)과, 수지 성형품 반출 모듈(33)을 가진다. 수지 재료·기판 공급 모듈(32)은, 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10)를 1조 가지고 있다. 수지 재료 공급 장치(10)의 각 구성 요소 중 수지 재료 배치 장치(12)는 수지 재료·기판 공급 모듈(32) 내에 고정되어 있지만, 그것 이외의 구성요소(가요성 시트(11), 접음 부재(13), 시트 인장 장치(14), 유도구(15)나 제전부(16)를 이용하는 경우에는 그들도 마찬가지임)는, 각 구성요소 사이의 위치 관계를 유지하면서, 후술의 반송 장치(34)에 의해 수지 재료·기판 공급 모듈(32) 밖으로 이동시킬 수 있다. 이하, 이들 이동 가능한 구성요소를 통틀어, (수지 재료 공급 장치(10)의) 이동부(19)라고 부른다. 수지 재료·기판 공급 모듈(32) 내에는, 표면에 전자 부품(C)이 장착된 기판(S)을 보관하는 기판 보관부(322)를 더 가진다. 또, 여기에서는 제1 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10)를 이용하는 예를 나타냈지만, 제2 실시 형태의 수지 재료 공급 장치(10C)를 이용하는 경우에도 마찬가지로, 수지 재료 배치 장치(12)는 수지 재료·기판 공급 모듈(32) 내에 고정하고, 그것 이외의 구성요소를 이동 가능하게 하면 좋다.
수지 성형품 반출 모듈(33)은, 반송 장치(34)에 의해 압축 성형 모듈(31)로부터 반출된, 압축 성형 후의 수지 씰링품이 표면에 형성된 기판(S)을 보관하는 수지 성형품 형성이 완료한 기판 보관부(331)를 가진다.
반송 장치(34)는, 수지 재료·기판 공급 모듈(32)과 복수의 압축 성형 모듈(31)과 수지 성형품 반출 모듈(33)을 관통하여 마련된 반송 경로(35) 내에서, 수지 재료 공급 장치(10)의 이동부(19)나 기판(S)을 이동시키는 장치이다. 또, 각 압축 성형 모듈(31) 내에서는, 반송 경로(35)와 압축 성형 장치를 연결하는 부(副)반송 경로(311)가 마련되어 있고, 이동부(19)나 기판(S)이 반송 장치(34)에 의해 반송 경로(35)로부터 압축 성형 장치로 반송되도록 되어 있다.
압축 성형 유닛(30)의 동작을 설명한다. 먼저, 수지 재료·기판 공급 모듈(32)의 기판 보관부(322)로부터, 복수개의 압축 성형 모듈(31) 중 하나에 기판(S)을 반송하고, 상기 압축 성형 모듈(31) 내의 상형에 상기 기판을 장착한다. 다음으로, 수지 재료·기판 공급 모듈(32) 내에서, 수지 재료 공급 장치(10)의 수지 재료 배치 장치(12)로부터 수지 재료(P)를 소정의 패턴으로 가요성 시트(11)의 수평부(111) 상에 배치한다. 이어서, 수지 재료(P)가 배치된 수지 재료 공급 장치(10)의 이동부(19)를, 앞서 기판(S)이 반송된 압축 성형 모듈(31)로 반송하고, 상기 압축 성형 모듈(31) 내의 하형(21)에, 수평부(111) 상의 수지 재료(P)를 공급한다. 그 때의 수지 재료(P)의 공급 방법은, 제1 실시 형태에서 설명한 바와 같다. 그 후, 상기 압축 성형 모듈(31)에서, 반송 장치(34)에 의해 이동부(19)를 제거하고, 수지 재료(P)를 가열하여 용융한 다음에 형체결한다. 그리고, 수지가 고체화 하여 수지 성형품이 형성된 후, 반송 장치(34)에 의해, 기판(S)을 압축 성형 모듈(31)로부터 수지 성형품 반출 모듈(33)로 반송하는 것에 의해, 1개의 압축 성형 모듈(31)에서의 1매의 기판(S)에 대한 처리가 종료한다.
상기의 동작의 설명에서는 1개의 압축 성형 모듈(31)에 주목했지만, 하형(21)에 수지 재료를 공급하고 나서 수지 성형품이 얻어지기까지 어느 정도의 시간을 필요로 한다. 그래서, 이 시간에 다른 압축 성형 모듈(31)에 대해서 기판(S)의 반송 및 하형(21)으로의 수지 재료의 공급을 행하는 것에 의해, 복수개의 압축 성형 모듈(31)에 대해서 동시 병행으로 처리를 행할 수 있어, 수지 성형품을 효율적으로 제조할 수 있다.
10, 10A, 10B, 10C - 수지 재료 공급 장치
11, 11B - 가요성 시트
111, 111B, 111C - 가요성 시트의 수평부
112, 112B, 112C - 가요성 시트의 접음부
113, 113B - 가요성 시트의 고정단
114B - 가요성 시트의 가동단
115C - 가요성 시트의 제2 접음부
12 - 수지 재료 배치 장치
121 - 호퍼
122 - 리니어 피더
13, 13A, 13B, 13C - 접음 부재
14, 14A - 시트 인장 장치
141 - 시트 인장 장치의 드럼
142, 142A - 롤러
143, 143B - 스프링
144 - 고정부
15 - 하부 유도구
15A - 상부 유도구
150 - 유도구의 판재
151 - 유도구의 개구부
152 - 유도구의 통 모양부
16, 16A - 제전부
17 - 제2 접음 부재
19 - 이동부
21 - 하형
211, 211A, 211B - 캐비티
212 - 이형 필름
22 - 상형
30 - 압축 성형 유닛
31 - 압축 성형 모듈
311 - 부반송 경로
32 - 수지 재료·기판 공급 모듈
322 - 기판 보관부
33 - 수지 성형품 반출 모듈
331 - 수지 성형품 성형이 끝난 기판 보관부
34 - 반송 장치
35 - 반송 경로
C - 전자 부품
P - 수지 재료
SP - 시트 모양 수지 재료
S - 기판

Claims (18)

  1. 압축 성형 장치의 하형(下型)에 분말 모양, 과립 모양 또는 시트 모양의 수지(樹脂) 재료를 공급하는 장치로서,
    a) 수평하게 배치된 수평부와, 상기 수평부의 일단에 마련된, 하부로의 접음부를 가지는, 상기 하형 상에 배치되는 가요성 시트와,
    b) 상기 수지 재료를 상기 수평부 상에 소정의 패턴이 되도록 배치하는 수지 재료 배치부와,
    c) 상기 접음부에서 상기 가요성 시트의 하측에 접하면서 상기 접음부를 상기 수평부측으로 이동시킴과 아울러, 수평으로 이동하면서 상기 수평부 상에 배치된 수지 재료를 낙하시키는 접음 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 접음 부재는, 상기 가요성 시트에 대해서 미끄러지면서 상기 수평부측으로 이동하는 것인 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 접음 부재는, 상기 접음부에 단부가 배치되고 상기 가요성 시트의 상기 수평부를 하측으로부터 지지하는 판재(板材)인 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 접음 부재는, 회전하는 것에 의해 상기 가요성 시트에 대해서 미끄러지지 않게 상기 수평부측으로 이동하는 것인 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 접음 부재보다도 상기 수평부측에 마련된, 상기 가요성 시트를 제2 접음부에서 상부측으로 접고, 회전시키는 것에 의해 상기 가요성 시트에 대해서 상기 접음 부재와 동일 방향으로 이동하는 제2 접음 부재를 구비하며,
    상기 가요성 시트가 상기 접음부로부터 상기 제2 접음부를 거쳐 상기 접음부로 되돌아오는 엔드리스(endless)의 시트인 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 장치.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접음부의 이동 범위의 하측에 배치된, 상기 접음부로부터 낙하하는 수지 재료를 상기 하형의 소정의 범위 내로 유도(誘導)하는 유도구(誘導具)를 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 장치.
  7. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접음부의 이동에 따라서 이동함으로써 상기 접음부의 근방에 배치되는, 상기 수지 재료에 생기는 정전기를 제전(除電)하는 제전부를 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가요성 시트 및 상기 접음 부재를, 복수 마련된 압축 성형 장치 중 어느 하나의 하형 상으로 반송하는 반송부를 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 장치.
  9. 분말 모양, 과립 모양 또는 시트 모양의 수지 재료를 이용하여 수지 성형품을 제조하는 압축 성형 장치로서,
    수지 성형품이 성형되는 공간인 캐비티를 가지는 하형과,
    상기 하형에 서로 대향하는 상형과,
    청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 수지 재료 공급 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 압축 성형 장치.
  10. 분말 모양, 과립 모양 또는 시트 모양의 수지 재료를 이용하여 수지 성형품을 제조하는 압축 성형 모듈을 구비하는 압축 성형 장치로서,
    상기 압축 성형 모듈에 마련된, 수지 성형품이 성형되는 공간인 캐비티를 가지는 하형과,
    상기 압축 성형 모듈에 마련된, 상기 하형에 서로 대향하는 상형과,
    청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 수지 재료 공급 장치를 구비하며,
    상기 압축 성형 모듈이 다른 압축 성형 모듈에 대해서 착탈 가능한 것을 특징으로 하는 압축 성형 장치.
  11. 압축 성형 장치의 하형에 분말 모양, 과립 모양 또는 시트 모양의 수지 재료를 공급하는 방법으로서,
    수평하게 배치된 수평부와, 상기 수평부의 일단에 마련된, 하부로의 접음부를 가지는 가요성 시트의 상기 수평부 상에, 상기 수지 재료를 소정의 패턴이 되도록 배치하고,
    상기 접음부에서 상기 가요성 시트의 하측에 접하면서 상기 접음부를 상기 수평부측으로 이동시키는 접음 부재를 수평으로 이동시키면서, 상기 수평부 상의 상기 수지 재료를 상기 접음부로부터 낙하시켜 상기 하형에 공급하는 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 접음 부재는, 상기 가요성 시트에 대해서 미끄러지면서 상기 수평부측으로 이동하는 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 접음 부재는, 상기 접음부에 단부가 배치되고 상기 수평부에서 상측에 있는 상기 가요성 시트를 지지하는 판재인 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 방법.
  14. 청구항 11에 있어서,
    상기 접음 부재는, 회전하는 것에 의해 상기 가요성 시트에 대해서 미끄러지지 않고 상기 수평부측으로 이동하는 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 접음 부재보다도 상기 수평부측에 마련된, 상기 가요성 시트를 제2 접음부에서 상부측으로 접고, 회전하는 것에 의해 상기 가요성 시트에 대해서 미끄러지지 않게 상기 접음 부재와 동일 방향으로 이동하는 제2 접음 부재를 이용하며,
    상기 가요성 시트가 상기 접음부로부터 상기 제2 접음부를 거쳐 상기 접음부로 되돌아오는 엔드리스의 시트인 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 방법.
  16. 청구항 11 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접음부의 이동 범위의 하측에, 상기 접음부로부터 낙하하는 수지 재료를 상기 하형의 소정의 범위 내로 유도하는 유도구를 배치하는 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 방법.
  17. 청구항 11 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접음부의 근방에서, 수지 재료에 생기는 정전기를 제전하는 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 방법.
  18. 청구항 11 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가요성 시트 및 상기 접음 부재를, 복수 마련된 압축 성형 장치 중 어느 하나의 하형 상으로 반송하는 것을 특징으로 하는 수지 재료 공급 방법.
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