KR101874671B1 - 게터 재료의 조합을 포함하는 게터 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공 단열 적용 분야에서 사용되는 데 특히 적절한 진공 적용 분야에서 수소 및 일산화탄소의 제거를 위해 세륨 산화물 및 구리 산화물 그리고 금속 팔라듐의 혼합물을 포함하는 게터 재료의 조합을 포함하는 게터 장치에 관한 것이다. 이러한 게터 재료의 조합의 조성물은 바람직하게는 단열 시스템에서 진공을 유지하는 데 효과적인 알칼리 금속 수산화물 및 건조제 재료 등의 다른 게터 재료의 분말에 추가된다.

Description

게터 재료의 조합을 포함하는 게터 장치{GETTER DEVICES CONTAINING A COMBINATION OF GETTER MATERIALS}
본 발명은 새로운 게터 재료의 조합에 그리고 이 조합을 포함하는 흡착 장치(sorbing device)에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 특히 진공 단열 패널(vacuum insulated panel) 또는 전자 패키징(electronic packaging) 등의 적용 분야에 대해 약 200℃보다 높은 온도까지 가열될 수 없는 장치에서 진공의 유지에 적절한 게터 조합에 관한 것이다.
게터 재료는 진공의 유지가 요구되는 모든 산업 및 상업 적용 분야에서 극히 유리하거나 심지어 필수적인 것으로 입증되었다.
이들의 효과적이고 더 넓은 사용을 가능케 하기 위해, 게터 재료의 흡착 성질은 O2, N2 및 H2O의 제거에 대해 우수하여야 하고, 그에 따라 진공이 유지되어야 하는 체적부 내에 존재하는 가스 혼합물로부터 주요 대기 가스를 제거한다.
그러나, 진공 상태로 유지되어야 하는 체적부를 한정하는 벽의 내부측의 가스 혼합물은 벽을 형성하는 재료의 탈기에 그리고 또한 진공 패널의 경우에 일반적으로 분말, 폼(foam) 또는 솜(wool)의 형태로 되어 있는 즉 높은 비표면(specific surface)이 제공되는 선택 사항으로서 존재하는 충전재에 크게 의존한다. 예컨대, 플라스틱 재료로 제조되는 중합체 충전재를 수용하는 패널 공동의 경우에, 주요 탈기 가스는 CO 및 CO2이고, 한편 예컨대 유리 솜(glass wool)이 사용될 때에는 H2가 주로 존재한다. 이들 가스의 양은 특히 가열 상이 내부-공간(interspace)의 생성 과정에서 사용될 경우에 현저하다. 예컨대 단열 패널이 수 분의 기간 동안 100℃에 근접한 온도에 도달될 수 있는 냉장고의 제조의 경우가 그러하다.
공개된 국제 특허 출원 제WO 94/18876호는 "듀어스(dewars)", "보온병(thermos)" 등의 진공 내부-공간에서의 진공 유지를 위한 귀금속 산화물 특히 팔라듐 산화물(PdO) 그리고 바륨 산화물(BaO) 등의 습기 흡착 재료의 조합의 사용을 기재하고 있다. 그러나, 팔라듐 산화물은 수소와의 반응에 의해 미세하게 분할된 형태를 취하면 인화성을 갖는 금속 Pd로 변화되고; 결국 이러한 재료의 조합의 사용은 안전성 문제로 추천되지 않는다.
본 출원인의 명의로 된 유럽 특허 제EP 0757920호는 건조제 화합물(desiccant compound)과 혼합된 코발트 산화물(Co3O4) 및 구리 산화물(CuO)이 선택 사항으로서 충전재가 충전되는 플라스틱 재료로 제조되는 단열 내부-공간 내에 존재하는 주요 가스들 중 하나인 수소 및 일산화탄소 CO에 대한 양호한 흡착 성질을 갖는다는 것을 기재하고 있다. 그러나, 코발트 산화물은 있을 수 있는 발암성 활동의 의심을 받는 독물학적 관점으로부터의 특정한 문제를 일으키고, 그에 의해 최근의 국제 법규는 그 사용에 강력한 제한을 가하고, 최종적인 금지가 수 년 내에 도달될 것이 예측된다. 이러한 문제는 최종 생성물의 수명 종료 시에 폐기되어야 하는 대규모 적용 분야에서의 사용에 대해 특히 주목된다.
존슨 매티 피엘시(Johnson Matthey PLC)의 명의로 된 공개된 국제 특허 출원 제WO 2006/064289호는 팔라듐이 코발트, 구리, 철, 니켈, 세륨 및 은 산화물로부터 선택되는 단일의 전이 금속 산화물과 관련하여 그리고 선택 사항으로서 건조제 재료와 관련하여 사용되는 조성물의 사용을 기재하고 있다. 그러나, 코발트 산화물의 사용을 수반하지 않는 이들 기재된 조합은 수소에 대한 감소되었지만 여전히 상당한 흡착 능력을 갖지만, 일산화탄소에 대한 불만족스러운 흡착 성질을 갖는다.
본 발명의 목적은 열 활성화를 요구하지 않고 일산화탄소에 대한 높은 흡착 능력을 갖고 코발트 산화물의 높은 유해성으로 인해 이것을 사용하지 않는 개선된 게터 재료의 조합을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 이러한 게터 재료의 조합을 사용하는 흡착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 이들 및 다른 목적은 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물을 포함하는 게터 재료의 조합을 포함하는 게터 장치로서, 금속 팔라듐의 양은 0.2 내지 2 중량%의 범위 내에 있는, 게터 장치에 있어서, 전이 금속 산화물은 세륨 산화물 및 구리 산화물을 포함하고, 구리 산화물은 5 내지 50% 그리고 바람직하게는 10 내지 20%의 범위 내의 양으로 존재하고, 모든 중량 기준 농도는 전이 금속 산화물의 총 중량에 대해 표현되는, 것을 특징으로 하는 게터 장치로써 성취된다.
본 발명의 하나의 실시예에서, 전이 금속 산화물의 분말의 혼합물은 세륨 산화물 및 구리 산화물로 구성된다.
다음의 설명에서 그리고 특허청구범위에서, 구리 산화물은 구리가 산화 상태 Ⅱ로 존재하는 화합물 CuO를 의미하고, 한편 세륨 산화물은 세륨이 산화 상태 Ⅳ로 존재하는 화합물 CeO2를 의미한다. 다음의 설명에서, 약어 MO는 일반적으로 전이 금속의 산화물의 조합을 나타내는 데 또한 사용되고, 약어 MO+Pd는 MO 및 금속 팔라듐의 혼합물을 나타낸다. 용어 "게터 장치"는 다른 가스 화학종을 방출하지 않으면서 수소, 산소, 일산화탄소 및 습기 등의 가스 화학종을 흡착할 수 있고 -80 내지 80℃의 온도 범위에서 작동될 수 있는 임의의 장치를 의미한다.
본 발명의 발명자들은 놀랍게도 세륨 및 구리 산화물의 혼합물의 사용이 금속 팔라듐을 포함할 때에 이들 산화물 중 단지 하나가 사용되는 경우에 비해 수소 및 일산화탄소 등의 가스의 만족스러운 흡착 성질이 얻어지게 한다는 것을 발견하였다. 이것은 단지 산화물의 조합의 총 중량에 대해 50% 미만 그리고 5% 초과 그리고 더 바람직하게는 10 내지 20%의 양으로 구리 산화물을 포함하는 조합에 대해 본 발명에 따라 얻어졌다.
더욱이, 발명자들은 진공 단열 적용 분야의 요건에 따른 흡착 능력을 개선하기 위한 산화물의 혼합물의 중요한 성질이 중량당 표면적의 적절한 선택에 있다는 것을 밝혀내었다. 사실상, 이것은 바람직하게는 5 내지 50 ㎡/g의 범위 내에서 선택되어야 한다. 이러한 표면적의 범위는 예컨대 제US 2003/0186805호로서 공개된 미국 특허 출원에 기재된 것과 같이 자동차 적용 분야 또는 연료 전지에 대해 촉매 반응 시에 통상적으로 사용되는 것과 유사한 전이 금속 산화물의 혼합물과 매우 상이하다. 어쨌든, 선택된 표면적은 본 발명의 관심 적용 분야에 대한 일산화탄소에 대한 유지된 흡착 능력 그리고 수소에 대한 예기치 않은 추가의 흡착 능력을 갖는 본 발명의 조성물의 사용을 가능케 하고, 여기에서 "작동 온도(working temperature)"는 촉매 적용 분야에서 전형적으로 사용되는 것들보다 극히 낮다. 전이 금속 산화물의 혼합물의 준비 중에, 금속 팔라듐의 전구체는 최종 혼합물이 2 중량% 이하의 Pd를 함유하는 양으로 추가된다. 팔라듐은 용해성 염 예컨대 수화 Pd(NO3)2의 형태로 동일한 용액 내로 전이 금속 산화물의 혼합물을 유입시킴으로써 이것과 공동-침전된다. 대체예에서, 팔라듐은 용액으로부터 이전에 형성된 전이 금속 산화물의 입자 상에 피착될 수 있다. 전이 금속 산화물의 조합은 500 ㎛ 미만 그리고 바람직하게는 0.1 내지 100 ㎛로 구성되는 입자 크기를 갖는 분말 형태로 사용된다.
위에서 언급된 것과 같이, 본 발명에 따른 전이 금속 산화물 및 팔라듐의 조합은 수소 및 일산화탄소에 대한 만족스러운 흡착 성질로 이어진다. 그러나, 본 발명의 발명자들은 흡착되어야 하는 가스 혼합물의 조성물이 그렇게 요구하면 게터 재료의 조합에 소정량의 적어도 1개의 알칼리 및/또는 알칼리토 금속 수산화물 바람직하게는 리튬 또는 칼슘 수산화물을 추가함으로써 일산화탄소에 대한 반응성 및 흡착 능력이 증가될 수 있다는 것을 발견하였다. 양호한 실시예에서, 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐(MO+Pd)의 혼합물의 분말에 대한 적어도 1개의 금속 수산화물의 분말의 합계의 중량 비는 20:1 내지 1:1의 범위 내에서 구성된다.
H2O가 제거될 가스 화학종들 중에 존재하면, 본 발명의 게터 재료의 조합은 바람직하게는 종래 기술에 따르면 화학 반응을 통해 비가역 방식으로 물을 고정하는 것들의 그룹에서 선택되는 습기 흡착 재료를 포함할 수 있다. 예컨대, 칼슘, 스트론튬, 바륨 및 인의 산화물은 본 발명의 목적을 위해 적절하다. 칼슘 산화물의 사용이 특히 양호하다. 습기 흡착 재료는 바람직하게는 약 0.1 내지 20 ㎛의 입자 크기를 갖는 분말 형태로 채용된다. 침윤 분말 패킹(wet powder packing)의 문제를 피하기 위해, 불활성 재료 예컨대 알루미나의 분말이 습기 흡착 재료에 추가될 수 있다.
리튬 수산화물이 사용될 때 그리고 이것이 존재하지 않을 때의 양쪽 모두에서, 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 혼합물의 분말(MO+Pd)과 습기 흡착 재료 사이의 중량 비는 또한 의도된 사용 그리고 특히 제거될 실제 가스 혼합물의 타입에 따라 넓은 한계 내에서 변화될 수 있다. 그러나, 일반적으로, MO+Pd 혼합물과 습기 흡착 재료 사이의 중량 비는 약 5:1 내지 1:120 그리고 바람직하게는 1:20 내지 1:120 사이에서 변화될 수 있다.
마지막으로, 추가의 실시예에서, 위에서 설명된 조성물은 소량의 망간 산화물 MnO 또는 철 산화물 FeO와 혼합되어 사용될 수 있고, 흡착될 가스 혼합물이 산소를 포함하면 특히 유용하다. 본 발명이 의도되는 적용 분야에 대해, MnO 또는 FeO의 양은 모든 게터 재료의 조합의 총 중량에 대해 0.5 내지 20 중량% 사이에서 변화될 수 있다.
본 발명의 게터 장치 내의 게터 재료의 조합은 바람직하게는 제거될 혼합물의 가스에 투과성인 중합체 재료로 제조되는 용기 내부측에 이것을 배열함으로써 사용되고, 투과 특성은 용기의 벽의 공극 또는 이들이 구성되는 재료의 투과 특성의 결과이다. 용기의 형태에 대해, 그 측면들 중 하나 이상을 따라 열-밀봉되는 백의 형태가 특히 양호하다. 이러한 포위부(envelope)를 위한 중합체 재료는 부직포, LDPE, HDPE, EVA, SEBS의 형태로 폴리에틸렌으로부터 선택될 수 있다.
대체 실시예에서, 압출 또는 입자 중합체는 이러한 분야의 통상적으로 공지된 기술에 의해 제조될 수 있고, 여기에서 조성물 분말이 분산된다. 이러한 경우에, LDPE, HDPE, PP, EVA, SEBS 등의 중합체 재료가 특히 양호하다.
본 발명 그리고 종래 기술보다 우수한 그 기술적 장점이 다음의 예를 참조하여 예시될 수 있다.
제2 태양에서, 본 발명은, 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물을 포함하는 게터 재료의 조합을 포함하는 게터 장치로서, 금속 팔라듐의 양은 0.2 내지 2 중량%의 범위 내에 있는, 게터 장치에 있어서, 전이 금속 산화물의 분말의 혼합물은 세륨 산화물 및 구리 산화물을 포함하고, 구리 산화물은 5 내지 50% 그리고 바람직하게는 10 내지 20%의 범위 내의 양으로 존재하고, 모든 중량 기준 농도는 전이 금속 산화물의 조합의 총 중량에 대해 표현되는, 것을 특징으로 하는 게터 장치를 추가로 포함하는 2개의 벽 사이에 구속되는 내부 체적부를 포함하는 진공 단열 패널에 있어서, 게터 장치는 내부 체적부 내에 또는 내부 체적부에 연결되는 분리 체적부 내에 삽입되는 게터 장치이다.
예 1 - 10%CuO-CeO2/1%Pd
1.5 g의 Cu2(CO3)(OH)2(말라카이트(malachite))가 Ce(NO3)3·6H2O(10 ml)의 5M 수용액 내에 현탁된다. 물이 그 다음에 증발되고 그에 따라 말라카이트를 함침시킨다. 얻어진 고체 생성물은 110℃에서 오븐 내에서 건조되고, 그 다음에 이것은 Pd(NO3)2(10 ml)의 0.1M 수용액 내에 재차 현탁된다. 물이 재차 증발되어 갈색 분말을 얻는다. 얻어진 고체는 5 시간 동안 300 내지 500℃의 온도에서 머플 퍼니스(muffle furnace) 내에서 분해된다. 이처럼 얻어진 생성물은 여기에서 샘플 1로서 정의되고, 37 ㎡/g의 표면적을 갖는다(BET 측정).
예 2 - 20%CuO-CeO2/1%Pd
2.8 g의 Cu2(CO3)(OH)2(말라카이트)가 Ce(NO3)3·6H2O(10 ml)의 4.6M 수용액 내에 현탁된다. 물이 그 다음에 증발되고 그에 따라 말라카이트를 함침시킨다. 얻어진 고체 생성물은 110℃에서 오븐 내에서 건조되고, 그 다음에 이것은 Pd(NO3)2(10 ml)의 0.1M 수용액 내에 재차 현탁된다. 물이 재차 증발되어 갈색 분말을 얻는다. 얻어진 고체는 5 시간 동안 300 내지 500℃의 온도에서 머플 퍼니스 내에서 분해된다. 이처럼 얻어진 생성물은 여기에서 샘플 2로서 정의되고, 19 ㎡/g의 표면적을 갖는다(B.E.T. 측정).
예 3 - 10%CuO-CeO2/1%Pd 및 LiOH
(예 1에서 설명된 것과 같이 준비된) 10%CuO-CeO2/Pd 및 LiOH가 4:1의 비로 1 시간 동안 기계적으로 혼합된다. 이처럼 얻어진 생성물은 여기에서 샘플 3으로서 정의된다.
예 4 (비교예)- CuO/1%Pd
13.6 g의 Cu2(CO3)(OH)2가 Pd(NO3)2(10 ml)의 0.1M 수용액 내에 현탁된다. 물이 증발되어 갈색 분말을 얻는다. 얻어진 고체는 5 시간 동안 200℃의 온도에서 머플 퍼니스 내에서 분해된다. 이처럼 얻어진 생성물은 여기에서 샘플 4로서 정의되고, 26 ㎡/g의 표면적을 갖는다(B.E.T. 측정).
예 5 (비교예) - Co3O4/1%Pd
PdCl2의 용액이 Co(NO3)2·6H2O의 2M 수용액에 교반 하에서 추가된다. 5 분 후에, NaHCO3의 0.8M 수용액이 추가된다. 가스가 방출된다. 가스 방출이 종료된 후에, 35% H2O2가 추가된다. H2O2의 추가가 종료된 후에, 이것은 85℃까지 가열된다. 얻어진 고체는 여과에 의해 회수된다. Co3O4가 최종적으로 10 시간 동안 130℃에서 오븐 내에서 건조된다. 이처럼 얻어진 생성물은 여기에서 샘플 5로서 정의되고, 100 ㎡/g의 표면적을 갖는다(B.E.T. 측정).
예 6 (비교예) - 80%CuO-CeO2/1%Pd
11.1 g의 Cu2(CO3)(OH)2(말라카이트)가 Ce(NO3)3·6H2O(10 ml)의 1.1M 수용액 내에 현탁된다. 물이 그 다음에 증발되고 그에 따라 말라카이트를 함침시킨다. 얻어진 고체 생성물은 110℃에서 오븐 내에서 건조되고, 그 다음에 이것은 Pd(NO3)2(10 ml)의 0.1M 수용액 내에 재차 현탁된다. 물이 재차 증발되어 녹색 분말을 얻는다. 얻어진 고체는 5 시간 동안 300 내지 500℃의 온도에서 머플 퍼니스 내에서 분해된다. 이처럼 얻어진 생성물은 여기에서 샘플 6으로서 정의되고, 12 ㎡/g의 표면적을 갖는다(B.E.T. 측정).
예 7 (비교예) - 10%CuO-CeO2/0.1%Pd
1.4 g의 Cu2(CO3)(OH)2(말라카이트)가 Ce(NO3)3·6H2O(10 ml)의 5.2M 수용액 내에 현탁된다. 물이 그 다음에 증발되고 그에 따라 말라카이트를 함침시킨다. 얻어진 고체 생성물은 110℃에서 오븐 내에서 건조되고, 그 다음에 이것은 Pd(NO3)2(10 ml)의 0.01M 수용액 내에 재차 현탁된다. 물이 재차 증발되어 갈색 분말을 얻는다. 얻어진 고체는 5 시간 동안 300 내지 500℃의 온도에서 머플 퍼니스 내에서 분해된다. 이처럼 얻어진 생성물은 여기에서 샘플 7로서 정의되고, 26 ㎡/g의 표면적을 갖는다(B.E.T. 측정).
이전의 예의 샘플의 흡착 능력은 외부측으로부터 고립되고 단지 요구된 수치로 Ptest를 유지하도록 조정되는 밸브 V를 통해 도징 룸(dosing room)에 연결되는 이전에 진공된 룸 내에서 시험 가스의 5 torr(Ptest)의 일정한 압력에서 각각의 샘플을 노출시킴으로써 수소 및 일산화탄소에 대한 흡착 시험을 통해 계산된다. 도징 룸 내부측에서의 압력의 하강은 특정한 시험 가스에 대한 샘플의 흡착 능력의 측정을 제공한다.
게터가 H2 또는 CO를 제거할 때에, Ptest가 하강되고, 그 수치를 5 torr로 만들기 위해, V가 개방되고, 그에 의해 도징 룸 내부측의 압력을 하강시킨다.
제거될 가스에 대한 노출 시간의 상이한 기간 후에 흡착된 양으로서 표현되는 결과가 표 1에 기록되어 있고, 여기에서 샘플 1, 2 및 3은 (사용된 전이 산화물 분말이 코발트 산화물로 되어 있는) 비교 샘플 5 그리고 (세륨 산화물 분말이 사용되지 않고 단지 구리 산화물이 사용되는) 비교 샘플 4에 비해 양쪽 모두의 가스의 우수한 흡착 성질을 갖는다는 것이 분명하다.
산화물 MO+Pd의 조합에서의 높은 함량의 CuO(샘플 6) 또는 낮은 함량의 Pd(샘플 7)가 H2의 흡착 성질에서 부정적인 영향을 미친다. 모든 샘플은 실온(RT: room temperature)에서 시험된다.
또한, 측정 온도의 상승(100℃에서의 샘플 1)이 H2의 흡착 성질에서 부정적인 영향을 미친다.
Figure 112014069366391-pct00001

Claims (11)

  1. 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물을 포함하는 게터 재료의 조합을 포함하는 게터 장치이며,
    상기 금속 팔라듐의 양은 상기 전이 금속 산화물의 총 중량에 대해 0.2 내지 2 중량%의 범위 내이며,
    상기 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물은 5 내지 50 m2/g의 표면적을 갖고 세륨 산화물 및 구리 산화물을 포함하며, 상기 구리 산화물은 상기 전이 금속 산화물의 총 중량에 대해 5 내지 50%의 범위 내의 양으로 존재하고,
    상기 게터 재료의 조합은 리튬 수산화물 및 칼슘 수산화물로 구성된 그룹에서 선택되는 적어도 1개의 금속 수산화물의 분말을 추가로 포함하는,
    게터 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 적어도 1개의 금속 수산화물의 분말 대 상기 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물의 중량비가 20:1 내지 1:1로 구성되는, 게터 장치.
  3. 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물을 포함하는 게터 재료의 조합을 포함하는 게터 장치이며,
    상기 금속 팔라듐의 양은 상기 전이 금속 산화물의 총 중량에 대해 0.2 내지 2 중량%의 범위 내이며,
    상기 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물은 5 내지 50 m2/g의 표면적을 갖고 세륨 산화물 및 구리 산화물을 포함하며, 상기 구리 산화물은 상기 전이 금속 산화물의 총 중량에 대해 5 내지 50%의 범위 내의 양으로 존재하고,
    상기 게터 재료의 조합은 습기 흡착 재료의 분말을 추가로 포함하고, 상기 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물 대 상기 습기 흡착 재료의 분말의 중량비가 5:1 내지 1:120으로 구성되는,
    게터 장치.
  4. 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물을 포함하는 게터 재료의 조합을 포함하는 게터 장치이며,
    상기 금속 팔라듐의 양은 상기 전이 금속 산화물의 총 중량에 대해 0.2 내지 2 중량%의 범위 내이며,
    상기 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물은 5 내지 50 m2/g의 표면적을 갖고 세륨 산화물 및 구리 산화물을 포함하며, 상기 구리 산화물은 상기 전이 금속 산화물의 총 중량에 대해 5 내지 50%의 범위 내의 양으로 존재하고,
    상기 게터 재료의 조합은 중합체 용기 내에 포위되는,
    게터 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 용기는 열 밀봉 포위부의 형태로 되어 있는, 게터 장치.
  6. 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물을 포함하는 게터 재료의 조합을 포함하는 게터 장치이며,
    상기 금속 팔라듐의 양은 상기 전이 금속 산화물의 총 중량에 대해 0.2 내지 2 중량%의 범위 내이며,
    상기 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물은 5 내지 50 m2/g의 표면적을 갖고 세륨 산화물 및 구리 산화물을 포함하며, 상기 구리 산화물은 상기 전이 금속 산화물의 총 중량에 대해 5 내지 50%의 범위 내의 양으로 존재하고,
    상기 게터 재료의 조합은 압출 또는 입자 중합체의 형태인 중합체 매트릭스 내에 분산되는,
    게터 장치.
  7. 게터 장치를 추가로 포함하는 2개의 벽 사이에 구속되는 내부 체적부를 포함하는 진공 단열 패널이며,
    상기 게터 장치는 내부 체적부 내에 또는 내부 체적부에 연결되는 분리 체적부 내에 삽입되며,
    상기 게터 장치는 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물을 포함하는 게터 재료의 조합을 포함하고,
    상기 금속 팔라듐의 양은 상기 전이 금속 산화물의 총 중량에 대해 0.2 내지 2 중량%의 범위 내이며,
    상기 전이 금속 산화물 및 금속 팔라듐의 분말의 혼합물은 5 내지 50 m2/g의 표면적을 갖고 세륨 산화물 및 구리 산화물을 포함하며, 상기 구리 산화물은 상기 전이 금속 산화물의 총 중량에 대해 5 내지 50%의 범위 내의 양으로 존재하는,
    진공 단열 패널.
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