KR101750355B1 - 도포액 관찰방법, 도포방법, 도포액 관찰장치 및 도포장치 - Google Patents

도포액 관찰방법, 도포방법, 도포액 관찰장치 및 도포장치 Download PDF

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Abstract

(과제) 캐리어 필름에 도포된 도포액의 액저류의 형상선이나 도포결함을 용이하게 검지한다.
(구성) 도포 헤드(12)로부터 토출되는 슬러리(S)는 반송롤(18,20)에 의해 반송되는 캐리어 필름(F)의 한쪽 주면에 연속적으로 도포된다. 한편, 적외 조명(34,36)으로부터 발생되는 적외광은 캐리어 필름(F)에 도포된 슬러리(S)를 향해서 캐리어 필름(F)의 다른쪽 주면측으로부터 조사된다. 슬러리(S)에 의해 산란된 적외 산란광은 카메라(32)에 의해 촬상된다. 슬러리(S)의 도포상태는 카메라(32)로부터 출력된 화상 데이터에 의거해서 관찰된다. 또한, 슬러리(S)의 공급량이나 캐리어 필름(F)의 텐션 등의 도포설정은 관찰된 도포상태에 따라서 변경된다.

Description

도포액 관찰방법, 도포방법, 도포액 관찰장치 및 도포장치{METHOD FOR OBSERVING COATING SOLUTION, COATING METHOD, DEVICE FOR OBSERVING COATING SOLUTION, AND COATING DEVICE}
이 발명은 도포액 관찰방법, 도포방법, 도포액 관찰장치 및 도포장치에 관한 것이다. 특히, 도포 헤드에 의해 지지체에 도포된 도포액을 관찰하는 도포액 관찰방법, 이 도포액 관찰방법을 포함하는 도포방법, 도포 헤드에 의해 지지체에 도포된 도포액을 관찰하는 도포액 관찰장치, 및 이 도포액 관찰장치를 포함하는 도포장치에 관한 것이다.
이 종류의 도포액 관찰방법, 도포방법의 일례가 특허문헌 1에 개시되어 있다. 이 배경기술에 의하면, 연속해서 주행되는 웹(지지체)으로서 열가소성 수지 필름, 종이, 피혁, 부직포, 직물 등을 들 수 있다. 도포액은 파운틴에 의해 웹에 도포되고, 또한 메탈링바에 의해 긁혀진다. 이것에 의해, 소정 두께의 도막이 웹에 형성된다. 메탈링바의 직하류측에는 메니스커스라고 불리는 도포액 저류부가 정상적으로 형성된다. 단, 웹의 폭방향으로 연장되는 도포액 저류부의 형상선은 웹의 상방으로부터 관측할 수 있다. 그래서, 도포액 저류부의 형상선을 촬상하는 카메라가 웹의 상방에 설치된다. 카메라는 가이드를 따라 웹의 폭방향으로 주사되고, 1대의 카메라로 전폭에 걸쳐 도포액 저류부의 형상선을 검출한다.
도포액 저류부의 형상선을 촬상하기 위해서는 통상은 도포액 저류부에 가시광을 조사하고, 직접 되돌아온 반사광을 카메라로 취득함으로써 촬상이 행해진다.
일본 특허 공개 2003-117466호 공보
그러나, 도포액에 가시광을 조사하고, 되돌아온 반사광을 취득하는 방법에서는 도포액 저류부의 형상선을 적확하게 촬상할 수 없을 우려가 있다. 또한, 웹에 형성된 도막의 도포결함(줄무늬나 기포 등)을 정확하게 촬상할 수 없을 우려도 있다.
그 때문에, 이 발명의 주된 목적은 지지체에 도포된 도포액의 도포상태를 용이하게 검지할 수 있는 도포액 관찰방법 및 도포액 관찰장치를 제공하는 것이다. 또한, 이 도포액 관찰방법을 포함하는 도포방법, 및 도포액 관찰장치를 포함하는 도포장치를 제공하는 것이다.
이 발명에 따른 도포액 관찰방법은 도포액을 지지체(F:실시예에서 해당되는 참조 부호. 이하 동일)에 대해서 연속적으로 도포함으로써 도막을 형성하는 도막 형성공정(S3∼S5), 적외 조명(34,36)으로부터 발생되는 적외광을 지지체에 도포된 도포액에 대해서 조사하는 조사공정(S1), 및 도포액에 대한 적외광의 조사에 의해 산란된 적외 산란광을 카메라(32)에 의해 촬상하는 촬상공정(S7)을 구비한다.
바람직하게는 도막 형성공정은 지지체를 연속적으로 반송하는 반송공정(S3)을 포함한다.
보다 바람직하게는 조사공정에서는 지지체의 반송방향에 직교하는 방향으로부터 적외광을 조사한다.
바람직하게는 지지체는 적외광에 대해서 투광성을 갖고, 도막 형성공정에서는 지지체의 한쪽 주면에 도포액을 도포하고, 촬상공정에서는 도포된 도포액을 지지체의 다른쪽 주면으로부터 촬상한다.
이 발명에 따른 도포방법은 상기 본 발명에 따른 도포액 관찰방법을 포함하고, 촬상공정에 의해 취득한 화상 데이터에 의거해서 도포된 도포액의 도포상태를 파악하는 도포상태 파악공정(S9∼S11, S15∼S17), 및 도포상태 파악공정에 의해 파악된 도포상태에 따라 도막 형성공정에 있어서의 도포설정을 변경하는 도포설정 변경공정(S13, S21)을 더 구비한다.
바람직하게는 도막 형성공정에서는 도포액을 도포하는 도포 헤드(12)의 토출구(14)로부터 지지체를 향해서 도포액이 토출되고, 도포상태 파악공정은 도포 헤드의 토출구의 근방으로부터 액저류를 검지하는 액저류 검지공정(S9∼S11), 및 도포 헤드의 토출구의 하류로부터 도포결함을 검지하는 도포결함 검지공정(S15∼S17) 중 적어도 한쪽의 공정을 포함한다.
보다 바람직하게는 도포결함 검지공정에서 검지된 도포결함의 위치를 나타내는 결함 위치 정보를 기억장치(70)에 보존하는 보존공정(S19)이 더 구비된다.
이 발명에 따른 도포액 관찰장치(110)는 도포액을 지지체에 대해서 연속적으로 도포함으로써 도막을 형성하는 도막 형성장치(10)와, 적외 조명으로부터 발생되는 적외광을 지지체에 도포된 도포액에 대해서 조사하는 조사장치(34,36)와, 도포된 도포액에 대한 적외광의 조사에 의해서 산란된 적외 산란광을 카메라(32)에 의해 촬상하는 촬상장치(30)를 구비한다.
바람직하게는 도막 형성장치는 지지체를 연속적으로 반송하는 반송장치(16)를 더 포함한다.
보다 바람직하게는 조사장치는 지지체의 반송방향에 직교하는 방향으로부터 상기 적외광을 조사한다.
바람직하게는 지지체는 적외광에 대해서 투광성을 갖고, 도막 형성장치는 지지체의 한쪽 주면에 도포액을 도포하고, 촬상장치는 도포된 도포액을 지지체의 다른쪽 주면으로부터 촬상한다.
이 발명에 따른 도포장치(100)는 상기 본 발명에 따른 도포액 관찰장치(110)를 포함하고, 촬상장치(30)에 의해 취득한 화상 데이터에 의거해서 도포된 도포액의 도포상태를 파악하고, 도막 형성장치(10)에 있어서의 최적인 도포설정을 연산해서 제어하는 제어장치(120)를 더 구비한다.
바람직하게는 제어장치는 촬상장치에 의해 취득한 화상 데이터에 의거해서 도포액의 도포상태를 파악하는 도포화상 처리장치(50)와, 도포화상 처리장치에 의해 파악된 도포상태에 따라서 도막 형성장치에 있어서의 최적인 도포설정을 연산하는 도포설정 연산장치(60)를 포함한다.
보다 바람직하게는 도막 형성장치는 지지체에 도포액을 도포하는 도포 헤드를 포함하고, 도포 헤드는 지지체를 향해서 도포액을 토출하는 토출구를 갖고, 도포화상 처리장치는 도포 헤드의 토출구 근방으로부터 액저류를 파악하는 액저류 화상 처리장치(52), 및 도포 헤드의 토출구의 하류로부터 도포결함을 파악하는 결함화상 처리장치(54) 중 적어도 한쪽을 포함한다.
더욱 바람직하게는 결함화상 처리장치에 의해 파악된 도포결함의 위치를 나타내는 결함 위치 정보를 보존하는 기억장치(70)가 더 구비된다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면, 지지체에 대해서 도포액이 연속적으로 도포되고, 도포된 도포액에 대해서 적외광이 조사되고, 도포액에의 조사에 의해 산란된 적외 산란광이 카메라에 의해 촬상된다. 적외 산란광에 의거한 전자화상에는 도포액 표면의 콘트라스트가 나타나기 쉽기 때문에 도포액의 도포상태를 용이하게 검지할 수 있다.
이 발명의 상술의 목적, 그 밖의 목적, 특징 및 이점은 도면을 참조해서 행하는 이하의 실시예의 상세한 설명으로부터 한층 명확하게 될 것이다.
도 1은 이 실시예의 도포장치의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 도포장치가 구비하고 있는 제어장치에 대해서 그 하드웨어 구성의 일례를 나타내는 하드웨어 구성도이다.
도 3은 도포장치에 설치된 촬상장치, 조사장치 및 도포 헤드의 위치 관계의 일례를 나타내는 도해도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 도포장치의 동작의 일부를 나타내는 플로우도이다.
도 5의 (A)는 슬러리 도포전에 있어서의 도포 헤드의 토출구를 나타내는 도해도이며, (B)는 슬러리 도포중에 있어서의 정상인 도포상태를 나타내는 도해도이며, (C)∼(E)는 슬러리 도포중에 있어서의 이상한 도포상태의 일례를 각각 나타내는 도해도이다.
도 6은 다른 실시예의 도포장치에 설치된 촬상장치, 조사장치 및 도포 헤드의 위치 관계의 일례를 나타내는 도해도이다.
도 7은 기타 실시예의 도포장치에 설치된 촬상장치, 조사장치 및 도포 헤드의 위치 관계의 일례를 나타내는 도해도이다.
도 1은 본 발명의 도포장치에 의한 실시예의 일례를 나타내는 사시도, 도 2는 도 1에 나타내는 도포장치가 구비하고 있는 제어장치에 대해서 그 하드웨어 구성의 일례를 나타내는 하드웨어 구성도이다. 도 1을 참조해서 이 실시예의 도포장치(100)는 슬러리(S)(도포액)를 띠형상의 캐리어 필름(F)(지지체)에 도포함으로써 도막을 형성하는 도막 형성장치(10)를 포함한다. 도막 형성장치(10)는 슬러리(S)를 토출하는 도포 헤드(12)와, 슬러리(S)를 도포 헤드(12)로 송출하는 급송펌프(도시생략)에 의해 구성된다. 도포 헤드(12)는 슬러리(S)를 토출하는 토출구(14)를 갖는다. 이 도포 헤드(12)의 토출구(14)를 캐리어 필름(F)에 근접시키면서 슬러리(S)를 압출함으로써 도포가 행해진다. 슬러리(S)로서는 예를 들면, 세라믹 입자, 바인더 수지, 가소제 및 유기용매를 포함하는 세라믹스 랠리가 사용된다.
이하, 캐리어 필름(F)을 「필름(F)」이라고 부른다. 또한, 도 1에 있어서, 슬러리(S)가 도포될 때의 도포 폭방향을 X축방향으로 하고, 도포 헤드(12)의 토출구(14)에 근접하는 필름(F)이 반송되는 방향을 Y축방향으로 하고, 필름(F)에 대해서 슬러리(S)가 토출되는 방향을 Z축방향으로 한다.
도막 형성장치(10)는 필름(F)을 반송하기 위한 반송장치(16)를 더 갖는다. 반송장치(16)는 필름(F)을 공급하는 권출부(도시생략), 필름(F)을 권취하는 권취부(도시생략), 및 필름(F)을 소정의 패스 라인으로 반송하기 위한 복수의 반송롤(18,20)에 의해 구성된다. 반송롤(18)은 토출구(14)보다 상류측(Y축방향의 마이너스측)에 설치되고, 반송롤(20)은 토출구(14)보다 하류측(Y축방향의 플러스측)에 설치된다. 필름(F)은 반송롤(18,20)에 안내되어서 화살표(T1,T2,T3)의 방향으로 방향전환되면서 반송된다. 그것에 따라 반송롤(18,20)은 각각 화살표(R) 방향으로 회전된다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 반송롤(18,20)은 도포 헤드(12)의 상방(Z축방향의 플러스측)에 배치되지만, 엄밀하게는 롤면의 하단이 도포 헤드(12)의 토출구(14)의 선단(14a)보다 하측(Z축방향의 마이너스측)이 되도록 배치된다. 필름(F)은 토출구(14)로부터 토출된 슬러리(S)의 압출력에 의해 토출구(14)의 상방을 부상하면서 반송된다. 이것에 의해, 필름(F)의 한쪽 주면(Z축방향의 마이너스측)에 슬러리(S)가 도포된다. 또한, 토출구(14)의 선단(14a)의 형상으로서는 예를 들면 평면상, 곡면상, 돌출상 등의 형상을 들 수 있다.
도포 헤드(12) 및 필름(F)의 상방에는 촬상장치(30) 및 조사장치(적외 조명)(34,36)가 설치된다.
촬상장치(30)는 적어도 CCD형의 카메라(32)를 갖는다. 촬상장치(30)는 카메라(32)의 광축이 도포 헤드(12)의 토출구(14)와 겹치도록 배치된다. 이것에 의해, 필름(F)의 다른쪽 주면측(Z축방향의 플러스측)으로부터 도포 헤드(12)의 토출구(14) 및 슬러리(S)를 촬상하고, 필름(F)에 도포된 슬러리(S)(도포액)의 상태를 관찰한다.
조사장치(34,36)는 도포 헤드(12)의 토출구(14)를 포함하는 영역에 적외광(파장:0.7㎛∼1mm)을 조사한다. 조사장치(34,36)는 도 1에 나타낸 바와 같이 X축 방향으로 나란히 배치되어 있어도 좋고, 도 3에 나타낸 바와 같이 Y축 방향으로 나란히 배치되어 있어도 좋다. 조사장치(34,36)는 촬상장치(30)에 대해서 적외광의 직접광(투과광을 포함한다) 및 반사광을 입사시키지 않도록 배치하는 것이 바람직하다. 단, 촬상장치(30)로 촬상한 화상 데이터로부터 적외 산란광에 의한 화상을 분리해서 취득할 수 있는 것이라면, 그 한정은 없다.
필름(F)은 적외광에 대해서 투광성을 갖는 것이 사용된다. 그 때문에, 조사된 적외광은 필름(F)을 투과하여 슬러리(S)에 조사된다. 조사된 적외광은 슬러리(S)에 의해 산란되어 적외 산란광이 된다. 이 적외 산란광이 촬상장치(30)에 의해 촬상된다. 촬상장치(30)로부터는 적외 산란광에 의거하는 화상 데이터가 출력된다. 적외 산란광에 의거하는 화상 데이터에는 필름(F)에 도포된 슬러리(S)의 콘트라스트가 나타나기 쉽다. 이것에 의해, 도포이상의 검지가 용이해진다.
또한, 촬상장치(30) 및 조사장치(34,36)는 도 1에 나타내는 1축 로봇(38)에 의해 X축 방향으로 이동 가능하다. X축 방향으로 이동 가능한 것에 의해 슬러리(S)의 도포폭 전역을 촬상할 수 있다. 또한, 촬상장치(30)는 1축 로봇(40)에 의해 Z축 방향으로 이동 가능하다. Z축 방향으로 이동 가능한 것에 의해 슬러리(S)를 촬상하기 위한 초점 맞춤이 용이해진다.
카메라(32)에 의해 포착된 씬을 나타내는 화상 데이터는 제어장치(120)(도 2 참조)에 부여된다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 예에 있어서의 제어장치(120)는 도포화상 처리장치(50), 도포설정 연산장치(60), 및 기억장치(메모리)(70)로 구성되어 있다. 도포화상 처리장치(50)는 액저류 화상 처리장치(52) 및 결함화상 처리장치(54)를 포함하고 있다. 제어장치(120)는 도포장치(100)의 제어를 위해서 도 4에 나타내는 플로우 챠트에 따른 처리를 실행한다.
우선 스텝S1에서 조사장치(34,36)의 적외 조명을 온하고, 스텝S3에서 반송장치(16)에 의해 필름(F)의 반송을 개시하고, 스텝S5에서 도막 형성장치(10)에 의해 도포를 개시한다.
도 5(A)∼도 5(E)에 도포 헤드(12)의 토출구(14) 및 슬러리(S)의 도포상태를 촬상했을 때의 도해도를 나타낸다. 필름(F)은 적외광에 대해서 투광성을 갖기 때문에 슬러리 도포전에는 토출구(14)를 필름(F) 너머로 시인할 수 있다. 슬러리 도포중에는 토출구(14) 근방의 슬러리(S)의 도포상태를 필름(F) 너머로 시인할 수 있다. 또한, 도 5(A)는 슬러리 도포전에 있어서의 도포 헤드(12)의 토출구(14)를 나타내는 도해도이며, 도 5(B)는 슬러리 도포중에 있어서의 정상인 도포상태를 나타내는 도해도이며, 도 5(C)∼도 5(E)는 슬러리 도포중에 있어서의 이상한 도포상태의 일례를 각각 나타내는 도해도이다.
스텝S7에서는 촬상장치(30)의 카메라(32)로부터의 화상 데이터를 취득한다. 카메라(32)로부터의 화상 데이터는 도포화상 처리장치(50)에 의해 처리된다. 도포화상 처리장치(50)는 액저류 화상 처리장치(52) 및 결함화상 처리장치(54)를 포함하고, 화상 데이터에 이상한 도포상태(예를 들면 액저류의 형상선이 적정한 위치를 초과하고 있는 상태나 도포결함이 있는 상태)가 아닌지를 파악한다. 구체적으로는 이하에 나타내는 스텝에 의해 처리가 실행된다.
스텝S9에서는 액저류 화상 처리장치(52)에 의해 토출구(14) 근방에 있어서의 액저류(메니스커스)에 관한 화상을 파악한다. 그리고, 스텝S11에서는 액저류의 형상선이 적정한 위치에 있는지의 여부를 스텝S9의 파악 결과에 의거해서 판별한다. 슬러리(S)의 공급량이 지나치게 많을 때, 액저류의 형상은 도 5(C)의 "PL"로 나타내는 상태가 되고, 토출구(14)로부터 슬러리(S)의 액누설이 발생하기 쉬워진다. 액저류의 형상선에 관한 판별결과가 YES(적정)이면 그대로 스텝S15로 진행되고, 판별 결과가 NO이면 스텝S13으로 진행된다.
스텝S13에서는 도포설정 연산장치에 의해 도막 형성장치(10)에 의한 적절한 슬러리(S)의 공급량을 연산해서 변경한다. 액저류의 형상선이 적정한 위치를 초과하고 있을 때에는 슬러리(S)의 공급량을 적게 설정 변경하면 좋다. 또한, 슬러리(S)의 공급량의 변경에 추가해서 필름(F)의 텐션이나, 토출구(14)에 대한 반송롤(18,20)의 거리를 변경해도 좋다. 이들 도포설정의 변경을 거친 후에 스텝S15로 진행된다.
스텝S15에서는 결함화상 처리장치(54)에 의해 토출구(14)의 하류에 있어서의 도포결함(줄무늬 또는 기포)에 관한 화상을 파악한다. 스텝S17에서는 도포결함이 발생했는지의 여부를 스텝S15의 파악 결과에 의거해서 판별한다. 줄무늬는 슬러리(S)의 일부가 응고하거나, 토출구(14)의 내부나 표면에 이물이 혼입 또는 부착되었을 때에, 도 5(D)에서 "LN"으로 나타내는 상태로 발생한다. 또한, 기포는 공급 도중의 슬러리(S)에 공기가 혼입되었을 때에 도 5(E)에 "BBL"로 나타내는 상태로 발생한다. 도포결함의 판별 결과가 NO이면 스텝S7로 되돌아가는 한편, 판별 결과가 YES이면 스텝S19로 진행된다.
스텝S19에서는 도포결함이 발생한 위치를 검출하고, 검출된 위치를 나타내는 결함 위치 정보를 기억장치(메모리)(70)에 보존한다. 결함 위치 정보는 예를 들면 필름(F)의 기준위치로부터 도포결함의 발생한 위치까지의 상대거리로서 기억된다.
스텝S21에서는 도포설정 연산장치에 의해 도막 형성장치(10)(반송장치(16)를 포함한다)에 있어서의 적절한 도포설정을 연산한다. 도포결함을 해소하기 위해서는 필름(F)의 텐션을 반복하여 변경하거나, 토출구(14)에 대한 반송롤(18,20)의 거리를 반복해서 변경하면 좋다. 스텝S21의 처리가 완료되면 스텝S7로 되돌아간다.
이상의 설명으로부터 알 수 있는 바와 같이, 도포 헤드(12)의 토출구(14)로부터 토출되는 슬러리(S)는 반송롤(18,20)에 의해 반송되는 필름(F)의 한쪽 주면에 연속적으로 도포된다(S3∼S5, 도막 형성공정). 한편, 조사장치(34,36)로부터 발생되는 적외광은 필름(F)에 도포된 슬러리(S)를 향해서 필름(F)의 다른쪽 주면측으로부터 조사된다(S1, 조사공정). 조사된 적외광은 슬러리(S)에 의해 산란되어서 적외 산란광이 되고, 이 적외 산란광이 카메라(32)에 의해 촬상된다(S7, 촬상공정).
슬러리(S)의 도포상태는 카메라(32)로부터 출력된 화상 데이터에 의거해서 관찰된다(S9∼S11, S15∼S17, 도포상태 파악공정). 슬러리(S)의 공급량이나 필름(F)의 텐션 등의 도포설정은 관찰된 도포상태에 따라서 변경된다(S13, S21, 도포설정 변경공정).
또한, 도포상태 파악공정에서는 상세하게는 도포 헤드(12)의 토출구(14) 근방으로부터 액저류가 검지되고(S9∼S11, 액저류 검지공정), 도포 헤드(12)의 토출구(14) 하류로부터 도포결함이 검지된다(S15∼S17, 도포결함 검지공정). 또한, 도포결함 검지공정에서 검지된 도포결함의 위치를 나타내는 결함 위치 정보는 메모리(70)에 보존된다(S19, 보존공정).
스텝S1∼S21에서 나타낸 바와 같이, 슬러리(S)는 필름(F)의 한쪽 주면에 연속적으로 도포되고, 적외광이 슬러리(S)를 향해서 조사되고, 조사된 적외광이 슬러리(S)에 의해 산란되고, 적외 산란광이 카메라(32)에 의해 촬상된다. 적외 산란광에 의거하는 화상 데이터에는 도포액 표면의 콘트라스트가 나타나기 쉽기 때문에 도포액의 도포상태를 용이하게 검지할 수 있다. 특히, 적외 산란광은 줄무늬나 기포 등과 같이, 도막의 두께 방향으로 관통하고 있지 않은 결함형상을 검출하는데에 적합하다. 또한, 관찰 대상인 도포액으로서는 슬러리(S)와 같이 입자를 포함하고 있는 액체의 쪽이 적외광이 산란되기 쉬워 도포상태를 보다 선명하게 파악할 수 있다.
또한, 파악된 도포상태에 따라서 도포설정을 변경함으로써 액저류의 형상선을 적정한 위치로 되돌리고, 또한, 도포결함을 신속하게 해소할 수 있다. 또한, 도포결함의 위치를 나타내는 결함 위치 정보를 메모리(70)에 보존함으로써 슬러리(S)가 도포된 필름(F)을 다음 작업공정으로 옮길 때에 도포결함의 위치를 용이하게 특정할 수 있다. 이것에 의해 다음 작업공정에서 결함위치에 상당하는 부분을 확실하게 제거할 수 있다.
또한, 이 실시예에서는 필름(F)의 하면(한편 주면)에 슬러리(S)를 도포하는 것을 상정하고 있다. 그러나, 관찰 대상을 도포 헤드(12)의 토출구(14) 하류에 발생하는 도포결함(줄무늬 또는 기포)에 한정하는 것이라면, 슬러리(S)를 필름(F)의 상면(다른쪽 주면)에 도포하도록 해도 좋다.
여기에서, 도포 헤드(12)의 하류로부터 상류를 향해서 적외광을 조사할 경우, 조사장치(36)는 도 6에 나타낸 바와 같이 배치된다.
또한, 필름(F)의 폭방향에 있어서의 한쪽 끝에서 다른쪽 끝을 향해서(필름(F)의 반송방향과 직교하는 방향으로) 적외광을 조사할 경우, 조사장치(36)는 도 7에 나타낸 바와 같이 배치된다. 또한, 도 7에 나타내는 요령으로 조사장치(36)를 배치하면 줄무늬 등의 반송방향으로 연속적으로 발생하는 도포결함에 대해서 음영이 생기기 쉬워 이러한 도포결함을 용이하게 파악할 수 있다.
또한, 상술의 실시예에서는 슬러리(S)를 도포 헤드(다이 헤드)(12)에 의해 도포하도록 하고 있지만, 이것에 대신해서 블레이드, 에어, 나이프, 그라비어 또는 오프셋 그라비어에 의해 슬러리(S)를 도포하도록 해도 좋다.
또한, 상술의 실시예에서는 수지제의 필름(F)에 슬러리(S)를 도포하도록 하고 있지만, 적외광에 대해서 투광성을 갖는 것이면 도포대상의 재질은 상관없고, 형상도 또한 판상이나 롤상이어도 좋다. 또한, 상술의 실시예에서는 도포액으로서 슬러리(S)를 사용하고 있지만, 적외광을 산란시키는 것이면 도포액의 종류는 한정되지 않는다.
또한, 이 실시예에서는 도막 형성공정과 촬상공정을 병렬적으로 실행하는 것을 전체로 해서 카메라(32)와 조사장치(34,36)와 도포 헤드(12)를 고정하면서 필름(F)을 이동시킨다. 그러나, 필름(F)을 고정하면서 카메라(32)와 조사장치(34,36)와 도포 헤드(12)를 이동시키도록 해도 좋다.
또한, 촬상공정은 도막 형성공정과는 다른 시기에 실행하도록 해도 좋다. 이 경우, 도막 형성공정에서는 도포 헤드(12)와 필름(F)이 상대이동하고, 촬상공정에서는 카메라(32) 및 조사장치(34,36)와 필름(F)이 상대이동한다.
100…도포장치
110…도포액 관찰장치
10…도막 형성장치
12…도포 헤드
14…토출구
14a …토출구의 선단
16…반송장치
18,20…반송롤
30…촬상장치
32…카메라
34,36…조사장치(적외 조명)
38,40…1축 로봇
120…제어장치
50…도포화상 처리장치
52…액저류 화상 처리장치
54…결함화상 처리장치
60…도포설정 연산장치
70…기억장치(메모리)
S …슬러리(도포액)
F …캐리어 필름(지지체)

Claims (15)

  1. 도포액을 지지체에 대해서 연속적으로 도포함으로써 도막을 형성하는 도막 형성공정,
    적외 조명으로부터 발생되는 적외광을 상기 지지체에 도포된 상기 도포액에 대해서 조사하는 조사공정,
    상기 도포된 도포액에 대한 상기 적외광의 조사에 의해 산란된 적외 산란광을 카메라에 의해 촬상하고, 적외 산란광에 의거해서 화상 데이터를 취득하는 촬상공정, 및
    상기 촬상공정에 의해 취득한 화상 데이터의 콘트라스트에 의거해서 상기 도포된 도포액의 도포상태를 파악하는 도포상태 파악공정을 구비하고,
    상기 적외 조명은 상기 카메라에 대해서 적외광의 직접광, 투과광 및 반사광을 입사시키지 않도록 배치되고,
    상기 도막 형성공정은 상기 지지체를 연속적으로 반송하는 반송공정을 포함하고,
    상기 조사공정에서는 상기 지지체의 폭방향에 있어서의 한쪽 끝에서 다른쪽 끝을 향하는 방향인, 상기 지지체의 반송방향으로 직교하는 방향으로부터 상기 적외광을 조사하는 것을 특징으로 하는 도포액 관찰방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지체는 상기 적외광에 대해서 투광성을 갖고,
    상기 도막 형성공정에서는 상기 지지체의 한쪽 주면에 상기 도포액을 도포 하고,
    상기 촬상공정에서는 상기 도포된 도포액을 상기 지지체의 다른쪽 주면으로부터 촬상하는 것을 특징으로 하는 도포액 관찰방법.
  5. 제 1 항에 기재된 도포액 관찰방법을 포함하는 도포방법으로서,
    상기 도포상태 파악공정에 의해 파악된 도포상태에 따라 상기 도막 형성공정에 있어서의 도포설정을 변경하는 도포설정 변경공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 도막 형성공정에서는 상기 도포액을 도포하는 도포 헤드의 토출구로부터 상기 지지체를 향해서 상기 도포액이 토출되고,
    상기 도포상태 파악공정은 상기 도포 헤드의 토출구의 근방으로부터 액저류를 검지하는 액저류 검지공정, 및 상기 도포 헤드의 토출구의 하류로부터 도포결함을 검지하는 도포결함 검지공정 중 적어도 한쪽의 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 도포결함 검지공정에서 검지된 도포결함의 위치를 나타내는 결함 위치 정보를 기억장치에 보존하는 보존공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  8. 도포액을 지지체에 대해서 연속적으로 도포함으로써 도막을 형성하는 도막 형성장치와,
    적외 조명으로부터 발생되는 적외광을 상기 지지체에 상기 도포된 도포액에 대해서 조사하는 조사장치와,
    상기 도포된 도포액에 대한 상기 적외광의 조사에 의해 산란된 적외 산란광을 카메라에 의해 촬상하고, 적외 산란광에 의거해서 화상 데이터를 취득하는 촬상장치와,
    상기 촬상장치에 의해 취득한 화상 데이터의 콘트라스트에 의거해서 상기 도포된 도포액의 도포상태를 파악하는 제어장치를 구비하고,
    상기 적외 조명은 상기 카메라에 대해서 적외광의 직접광, 투과광 및 반사광을 입사시키지 않도록 배치되고,
    상기 도막 형성장치는 상기 지지체를 연속적으로 반송하는 반송장치를 더 포함하고,
    상기 조사장치는 상기 지지체의 폭방향에 있어서의 한쪽 끝에서 다른쪽 끝을 향하는 방향인, 상기 지지체의 반송방향에 직교하는 방향으로부터 상기 적외광을 조사하는 것을 특징으로 하는 도포액 관찰장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 지지체는 상기 적외광에 대해서 투광성을 갖고,
    상기 도막 형성장치는 상기 지지체의 한쪽 주면에 상기 도포액을 도포하고,
    상기 촬상장치는 상기 도포된 도포액을 상기 지지체의 다른쪽 주면으로부터 촬상하는 것을 특징으로 하는 도포액 관찰장치.
  12. 제 8 항에 기재된 도포액 관찰장치를 포함하는 도포장치로서,
    상기 제어장치는 상기 도막 형성장치에 있어서의 도포설정을 연산해서 제어하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제어장치는,
    상기 촬상장치에 의해 취득한 화상 데이터에 의거해서 상기 도포액의 도포상태를 파악하는 도포화상 처리장치와,
    상기 도포화상 처리장치에 의해 파악된 도포상태에 따라 상기 도막 형성장치에 있어서의 도포설정을 연산하는 도포설정 연산장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 도막 형성장치는 상기 지지체에 상기 도포액을 도포하는 도포 헤드를 포함하고,
    상기 도포 헤드는 상기 지지체를 향해서 상기 도포액을 토출하는 토출구를 갖고,
    상기 도포화상 처리장치는 상기 도포 헤드의 토출구의 근방으로부터 액저류를 파악하는 액저류 화상 처리장치, 및 상기 도포 헤드의 토출구의 하류로부터 도포결함을 파악하는 결함화상 처리장치 중 적어도 한쪽을 포함하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 결함화상 처리장치에 의해 파악된 도포결함의 위치를 나타내는 결함 위치 정보를 보존하는 기억장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 도포장치.
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