KR101683135B1 - 수직자기기록매체 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 수직자기기록매체에 관한 것이다. 개시된 수직자기기록매체의 기록층은 복수의 강자성층과, 상기 복수의 강자성층 사이에 개재된 비자성층을 가지는 다층 구조로서, 하부쪽 강자성층의 수직 자기이방성 에너지를 상부쪽 강자성층의 수직 자기이방성 에너지보다 크게 함으로써, 작은 기록자장으로도 용이하게 하부쪽 강자성체를 자화반전시킬 수 있어, 열적 안정성과 기록 특성을 향상시킬 수 있다.
Description
본 발명은 수직자기기록매체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기록층의 입자 크기를 작게 하면서도 열적 안정성과 기록성능을 향상시킬 수 있는 수직자기기록매체에 관한 것이다.
최근 정보량의 급격한 증가로 보다 고밀도로 데이터를 기록/재생할 수 있는 정보 기억 장치가 요청되고 있다. 특히, 기록 매체를 이용하는 자기 기록 장치는 대용량이면서 고속 액세스(access)가 가능하다는 특성으로 인해, 컴퓨터뿐만 아니라 각종 디지털 기기의 정보 기억 장치로서 주목받고 있다.
이러한 자기 기록 장치는 기록 방식에 따라 크게 수평 자기 기록 방식과 수직 자기 기록 방식으로 나눌 수 있다. 수평 자기 기록 방식은 자성층의 자화 방향이 자성층의 표면에 평행하게 정렬되는 것을 이용하여 정보를 기록하는 방식이고, 수직 자기 기록 방식은 자성층의 자화 방향이 자성층의 표면에 수직 방향으로 정렬되는 것을 이용하여 정보를 기록하는 방식이다. 기록 밀도 측면에서 볼 때, 수직 자기 기록 방식은 수평 자기 기록 방식보다 훨씬 유리하다.
현재 사용되고 있는 수직자기기록매체는 크게 연자성 하지층(soft magnetic under layer), 기록층 및 보호층으로 이루어져 있다. 수직자기기록매체에 있어서, 기록밀도를 증가시키기 위해서는 트랙폭을 작게 하고 기록 비트(bit)의 트랙방향 길이를 짤게 하여야 하며, 이를 위해서는 기록층 입자(grain)의 크기를 작게 형성할 필요가 있다. 한편, 기록층 입자(grain)의 크기를 작게 하면서 기록층의 열적 안정성을 확보하기 위해서는 기록층 물질의 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 크게 하여야 하는데, 이와 같이 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 크게 하면, 기록층의 보자력값이 증가된다는 것이 알려져 있다. 또한, 기록층 입자(grain)의 크기를 작게 하면서 재생시 요구되는 출력을 확보하려면 기록층 물질의 포화자화(Ms)가 커져야 함이 알려져 있다. 또한, 기록층의 입자 크기 변화에 따라 기록층의 자기적 특성이 매우 민감하게 변화되어 특성안정화를 시키기가 매우 어렵다는 점이 알려져 있다.
본 발명은, 기록밀도를 향상시키기 위하여 기록층의 입자 크기를 작게 하면서, 열적 안정성과 기록 특성을 향상시킨 수직자기기록매체를 제공하고자 한다. 이를 위해 기록층의 입자가 갖는 포화자화(Ms)의 크기를 크게 하고, 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 크게 하면서, 기록특성(write-ability)을 향상시킬 수 있는 기록층 구조를 제공하고자 한다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 의한 수직자기기록매체는 기판; 상기 기판 위에 형성되는 연자성층; 및 상기 연자성층 위에 형성되는 것으로, 복수의 강자성층과 상기 복수의 강자성층 사이에 개재되는 비자성층을 갖는 기록층;을 포함한다.
상기 복수의 강자성층은 상기 비자성층을 사이에 두고 자기적으로 분리될 수 있다.
상기 비자성층은 Ru 또는 Ru 합금으로 형성될 수 있다.
상기 복수의 강자성층은 하부 강자성층, 중간 강자성층 및 상부 강자성층을 포함하며, 상기 하부 강자성층의 수직 자기이방성 에너지는 상기 중부 강자성층의 수직 자기이방성 에너지보다 클 수 있다.
상기 하부 강자성층의 수직 자기이방성 에너지가 9x106erg/cc 내지 5x107erg/cc일 수 있다.
상기 하부 및 중부 강자성층은 그래뉼러 구조일 수 있다. 나아가, 상기 하부 및 중부 강자성층은 다수의 자성입자와 상기 자성입자들을 자기적으로 분리시키는 비자성물질을 갖는 그래뉼러 구조일 수 있다.
상기 상부 강자성층의 포화자화 값은 상기 중부 강자성층의 포화자화 값보다 클 수 있다.
상기 상부 강자성층은 자성입자들의 분리가 없는 연속박막형태일 수 있다.
상기 비자성층은 상기 하부 강자성층과 중부 강자성층 사이에 개재될 수 있다.
상기 비자성층은 상기 중부 강자성층 및 상부 강자성층 사이에 개재될 수 있다.
상기 복수의 강자성층은 Co합금 또는 Co합금 산화물로 형성될 수 있다.
상기 하부 강자성층의 Pt 조성비가 상기 중부 강자성층의 Pt 조성비보다 클 수 있다.
상기 하부 강자성층의 Cr 조성비가 상기 중부 강자성층의 Cr 조성비보다 작을 수 있다.
상기 하부 강자성층은 (Co100-XCrX)100-YPtY (0≤X≤20, 20≤Y≤30) 합금으로 형성될 수 있다.
상기 기록층의 결정을 제어하는 층으로, 상기 기록층의 하부에 마련되는 중 간층이 더 포함될 수 있다.
상기 중간층은 Ru, Ru 산화물, MgO 또는 Ni을 포함하는 합금으로 형성될 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나 아래에 예시되는 실시예는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니며, 본 발명을 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 충분히 설명하기 위해 제공되는 것이다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 수직자기기록매체의 개략적인 구조를 보여준다.
도 1을 참조하면, 본 실시예의 수직자기기록매체(100)는 하부로부터 기판(110), 연자성층(soft magnetic underlayer)(120), 중간층(intermediate layer)(150), 기록층(160) 및 보호층(190)이 순차적으로 적층되어 형성된다.
상기 기판(110)의 재질로는 통상적인 수직자기기록매체의 기판 재료로 이용할 수 있는 것이면 제한이 없으며, 예를 들어 유리(glass), MgO, AlMg, Si 등이 있다. 이러한 기판(110)은 원반의 형상으로 제조될 수 있다.
상기 연자성층(120)은 자기기록시 기록헤드로부터 발생하는 자기필드를 끌어당겨, 기록층(160)에 수직인 자기필드의 자로(magnetic path)를 형성할 수 있게끔 하는 층으로 단층 내지 다층 구조로 형성될 수 있다. 이러한 연자성층(120)의 재질로는 통상적인 수직자기기록매체의 연자성층 재료로 이용될 수 있는 것이면 제한이 없으며, 예를 들어, Co계 비정질 구조를 가지고 있거나 Fe 또는 Ni을 포함하고 있는 연자성체(soft magnetic material)로 형성될 수 있다.
상기 기판(110)과 연자성층(120) 사이에는 연자성층(120)의 성장을 위하여 Ta나 Ta 합금 등으로 형성되는 시드층(미도시)이 개재될 수 있다. 기판(110)과 연자성층(120) 사이에는 그밖에 버퍼층(미도시)나 자구제어층(미도시)이 더 개재될 수 있으며, 이러한 구성들은 당해 분야에 잘 알려져 있으므로 상세한 설명은 생락한다.
상기 중간층(150)은 기록층(160)의 결정 배향성과 자기적 특성을 향상시키는 층으로, 상기 기록층(160)의 하부에 마련된다. 이러한 중간층(150)은 기록층(160)의 재질과 결정 구조에 따라 적절하게 선택되어 형성될 수 있다. 예를 들어 중간층(150)은 Ru, Ru 산화물, MgO 또는 Ni을 포함하는 합금으로 이루어진 단층 내지 다층 구조로 형성될 수 있다.
기록층(160)은 자기기록이 이루어지는 층으로, 복수의 강자성층(161, 165, 169)과 상기 복수의 강자성층(161, 165, 169) 사이에 개재되는 비자성층(163)을 포함한다.
상기 복수의 강자성층은 Co합금 또는 Co합금 산화물로 형성되는 하부 강자성층(161), 중간 강자성층(165) 및 상부 강자성층(167)을 포함한다. 여기서, 보호층(190)쪽을 상부, 기판(110)쪽을 하부로 칭하기로 한다. 경우에 따라서는, 상기 복수의 강자성층은 FePt합금 계열로 형성될 수도 있을 것이다. 본 실시예의 기록층(160)은 3개의 강자성층과 1개의 비자성층으로 이루어진 4층구조를 예로 들어 설명하고 있으나, 경우에 따라서는 보다 많은 층으로 이루어질 수도 있다.
상기 하부 강자성층(161)은 5~50x106erg/cc의 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 갖도록 하부 강자성층(161)을 구성하는 원소들의 조성비를 조절하여, 열적 안정성을 확보한다. 나아가, 상기 하부 강자성층(161)은 500emu/cc 이상의 포화자화(Ms) 값을 갖도록 하부 강자성층(161)을 구성하는 원소들의 조성비를 조절하여, 자성입자의 크기가 작더라도 출력이 감소되지 않도록 한다. 요구되는 수직 자기이방성 에너지(Ku)와 포화자화(Ms) 값은, 기록층(160)의 자성입자 크기에 따라 달라질 수 있다. 가령, 자성입자 크기가 6nm 내지 그 이하가 되면, 5~50x106erg/cc의 수직 자기이방성 에너지(Ku)와 500emu/cc 이상의 포화자화(Ms) 값을 갖도록 하부 강자성층(161)을 구성하는 원소들의 조성비를 조절한다.
도 2와 도 3은 기록층의 각 조성 변화에 따른 포화자화와 수직 자기이방성 에너지를 보여주는 그래프이다.
도 2와 도 3을 참조하면, Pt조성이 증가함에 따라 수직 자기이방성 에너지(Ku)가 증가되고, Cr조성이 증가됨에 따라 포화자화(Ms)와 수직 자기이방성 에너지(Ku)가 감소됨을 볼 수 있다.
자성입자(grain)의 크기가 10nm이상인 자성층의 경우, 대략 500emu/cc 정도의 포화자화(Ms)와 3~5x106erg/cc 정도의 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 갖더라도, 통상의 헤드를 이용하여 기록/재생이 가능할 정도의 출력과 열적 안정성을 확보할 수 있음이 알려져 있다. 이러한 포화자화(Ms)와 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 갖는 자성층은 도 2와 도 3에서 A영역의 조성비를 갖는다.
반면에 본 실시예의 기록층(150)은 자성입자(grain)의 크기가 9nm 이하인 경우에서도 열적 안정성과 충분한 출력을 확보할 있도록, 500emu/cc 이상의 포화자화(Ms)와 5x106erg/cc 이상의 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 가진다. 나아가, 본 실시예의 기록층(150)은 자성입자(grain)의 크기가 6nm 정도인 경우에서도 열적 안정성과 충분한 출력을 확보할 수 있도록, 1000emu/cc 이상의 포화자화(Ms)와 9x106erg/cc 이상의 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 가질 수 있다. 도 2와 도 3을 참조하면, 1000emu/cc 이상의 포화자화(Ms)와 9x106erg/cc 이상의 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 갖는 영역이 B로 표시되는바, 이러한 포화자화(Ms)와 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 갖기 위해서는, (Co100-XCrX)100-YPtY 합금 내지 (Co100-XCrX)100-YPtY 합금 산화물에서 Co, Cr, Pt의 조성관계가 대략 0≤X≤20 및 20≤Y≤30일 것이 요구됨을 알 수 있다. 가령, CoCrPt 자성체에서 Cr 조성을 없애고 Pt 함유량을 10at% 내지 50at%, 바람직하게는 20at% 내지 30at%로 하게 되면, 자성체의 수직 자기 이방성 에너지를 1.5x107erg/cc정도까지 향상시킬 수 있다.
상기와 같이 하부 자성층(161)의 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 충분히 크게 하여, 자성입자의 크기를 미세하게 하더라도 기록층(160)의 열적 안정성을 확보할 수 있도록 한다. 한편, 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 크게 함에 따라 하부 자성층(161)의 보자력(Hc)도 증가하게 된다. 이와 같이 보자력(Hc)이 증가하게 되면, 자화반전시 요구되는 자력의 세기가 증가되어, 기록시 요구되는 기록필드(writing field)가 클 것이 요구된다. 본 실시예의 기록층(160)은 상대적으로 낮은 크기의 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 갖는 중부 자성층(165)을 상기 하부 자성층(161) 위에 마련함으로써, 하부 자성층(161)의 자화반전을 용이하게 한다.
상기 중부 자성층(165)은 상대적으로 낮은 수직 자기이방성 에너지(Ku)와 자성입자간 분리를 촉진하는 특성을 가진 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 중부 자성층(165)은 CoCrPt합금 내지 CoCrPt합금 산화물로 형성될 수 있다. 이때, 중부 강자성층(163)을 구성하는 원소들의 조성비는, 상기 중부 강자성층(163)의 수직 자기이방성 에너지(Ku)가 하부 강자성층(161)의 수직 자기이방성 에너지(Ku)보다 낮은 값을 갖도록 정해진다. 가령, 상기 중부 강자성층(163)은 3~5x106erg/cc 정도의 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 가져, 종래의 기록헤드로서도 충분히 기록될 수 있도록 할 수 있다.
상기 하부 및 중부 강자성층(161,165)은 다수의 자성입자들로 이루어진 그래뉼러 구조를 가질 수 있다. 나아가, 상기 하부 및 중부 강자성층(161,165)은 다수의 자성입자와 상기 자성입자들을 자기적으로 분리시키는 비자성물질을 갖는 그래뉼러 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 하부 및 중부 강자성층(161,165)이 Co합금 산화물로 형성되는 경우, Co합금의 자성입자들이 산화물로 둘러싸여 자기적으로 분리되어 그래뉼러 구조를 가지게 된다.
상기 비자성층(163)은 하부 및 중부 강자성층(161,165) 사이에 개재되며, 하부 강자성층(161)과 나머지 강자성층, 즉 중부 및 상부 강자성층(165,167)을 자기적으로 분리시킨다. 상기 비자성층(163)은 예를 들어 Ru 또는 Ru 합금으로 형성될 수 있다. 이러한 비자성층(163)은 예를 들어, 0.2~1.0nm의 두께로 마련될 수 있다. 도 4는 Ru 비자성층을 사이에 둔 경우에 있어서, 상부 강자성층과 하부 강자성층과의 자기적 결합력에 따른 자화반전자계 (Hsw)의 변화를 보여주고 있다. 자기적 결합력 (inter-layer coupling energy)의 값은 Ru 비자성층의 두께가 두꺼워질수록 감소되는바, 도 4에 도시된 바와 같이 가장 낮은 자화반전자계를 나타내는 5~10erg/cm2의 자화반전자계(Hsw)를 갖기 위해서는, 기록층에 사용되는 재료마다 차이가 있지만, Ru 비자성층은 대략 0.5~0.8nm의 두께를 가질 수 있다.
상기 상부 강자성층(167)은 기록 특성을 개선하기 위한 층으로, CoCrPtB와 같이 산소가 없는 Co합금으로 형성될 수 있다. 따라서, 상부 강자성층(167)은 산화물에 의해 자성입자(grain)들의 분리가 없이 연속박막형태(continuous thin film)로 형성될 수 있다. 또한, 상기 상부 강자성층(167)은 중부 강자성층(165)에 비해 높은 포화자화(Ms)를 갖도록 형성시켜 자성입자가 작아짐에 따른 출력저하를 방지할 수 있다.
상기 보호층(190)은 상기 기록층(160)을 외부로부터 보호하기 위한 것으로 DLC 보호층(미도시)과 윤활층(미도시)을 포함할 수 있다. DLC 보호층은 DLC로 증착 되어 형성되며, 수직자기기록매체(100)의 표면 경도를 높인다. 상기 윤활층은 테트라올(Tetraol) 윤활제 등으로 이루어지며, 헤드(미도시)와의 충돌 및 습동(sliding)에 의한 자기 헤드 및 DLC 보호층의 마모를 감소시킨다.
다음으로, 도 5를 참조하여, 본 실시예의 수직자기기록매체(100)에서 자기기록되는 과정을 설명하기로 한다.
도 5를 참조하면, 기록헤드(200)는 주어진 정보에 상응하는 기록필드(B1)를 수직자기기록매체(100)에 방출한다. 상기 기록필드(B1)는 적어도 중부 강자성층(165)을 자화반전시키기에 충분한 세기를 가지며, 바람직하게는 중부 강자성층(165) 및 상부 강자성층(167)을 자화반전시키기에 충분한 세기를 가진다.
상기 기록필드(B1)에 의해 중부 강자성층(165)의 자성입자들이 자화반전되며, 이는 각 기록비트별로 중부 강자성층(165)의 자기도메인들의 자화벡터가 소정 방향으로 정렬됨을 의미한다. 중부 강자성층(165)의 자화벡터의 방향에 따라, 중부 강자성층(165)은 자기필드(B2)를 생성하며, 이와 같은 중부 강자성층(165)에서 생성된 자기필드(B2)는 하부 강자성층(167)의 자화에 기여할 수 있다. 즉, 기록헤드(200)에서 방출된 기록필드(B1)에 중부 강자성층(165)에서 생성된 자기필드(B2)가 더해져, 하부 강자성층(167)에 가해지는 필드는 강화된다. 이에 따라, 비록 하부 강자성층(167)이 높은 수직 자기이방성 에너지(Ku)에 따른 높은 보자력(Hc)을 갖더라도, 종래의 기록헤드(200)를 사용하여 하부 강자성층(167)을 자화반전시킬 수 있게 된다.
만일, 상기 기록필드(B1)가 중부 강자성층(165)만을 자화반전시킨다면, 상기 기록필드(B1)와 중부 강자성층(165)에서 생성된 자기필드(B2)가 함께 작용하여 상부 강자성층(167)도 자화반전시킬 수 있을 것이다.
한편, 상대적으로 낮은 수직 자기이방성 에너지(Ku)의 중부 강자성층(165)의 자화(magnetization)는 하부 강자성층(161)의 상대적으로 높은 수직 자기이방성 에너지(Ku)에 의해 열적으로 안정되게 지지된다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 수직자기기록매체의 개략적인 구조를 보인 단면도이다.
도 6을 참조하면, 본 실시예의 수직자기기록매체(100´)는 하부로부터 기판(110), 연자성층(120), 중간층(150), 기록층(160´), 보호층(190)이 순차적으로 적층되어 형성된다. 본 실시예의 기록층(160´)은 복수의 강자성층(161, 165, 169)과 상기 복수의 강자성층(161, 165, 169) 사이에 개재되는 비자성층(163´)을 포함한다. 상기 복수의 강자성층은 Co합금 또는 Co합금 산화물로 형성되는 하부 강자성층(161), 중간 강자성층(165) 및 상부 강자성층(167)을 포함한다. 상기 비자성층(163´)은 예를 들어 Ru 또는 Ru 합금으로 형성될 수 있다. 이러한 하부 강자성층(161), 중간 강자성층(165), 상부 강자성층(167) 및 비자성층(163´) 각각의 구성은 전술한 실시예와 실질적으로 동일하며, 다만 비자성층(163´)의 위치에 차이가 있다. 따라서, 전술한 실시예와 실질적으로 동일한 구성을 갖는 각 층들의 구성 자체에 대해서는 설명을 생략하기로 하고, 비자성층(163´)의 위치와 이에 관련된 사항만을 설명하기로 한다.
상기 비자성층(163´)은 상기 중부 강자성층(165)과 상부 강자성층(169) 사 이에 개재된다. 이에 따라, 하부 강자성층(161)과 중부 강자성층(165)은 직접 맞닿게 되어, 자기적으로 결합된다. 이와 같이 하부 강자성층(161)과 중부 강자성층(165)이 자기적으로 결합되면, 중부 강자성층(165)의 자성입자 크기를 6nm이하로 매우 작게 형성하더라도, 중부 강자성층(165)의 자화는 하부 강자성층(161)의 상대적으로 높은 수직 자기이방성 에너지(Ku)에 의해 더욱 열적으로 안정되게 지지될 수 있다.
이러한 본 발명인 수직자기기록매체는 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 수직자기기록매체의 개략적인 구조를 보인 단면도이다.
도 2는 기록층의 각 조성 변화에 따른 기록층의 포화자화 값을 보여주는 그래프이다.
도 3은 기록층의 각 조성 변화에 따른 기록층의 수직 자기이방성 에너지를 보여주는 그래프이다.
도 4는 Ru 비자성층을 사이에 두고 상부 및 하부 기록층의 자기적 결합력에 따른 자화반전자계(Hsw)의 변화를 나타내는 그래프이다.
도 5는 도 1의 수직자기기록매체의 기록층 동작을 설명하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 수직자기기록매체의 개략적인 구조를 보인 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100, 100′...수직자기기록매체 110...기판
120...연자성층 150...중간층
160,160′...기록층 161,165,167...강자성층
163,163′...비자성층 190...보호층
200...기록헤드 B1,B2...자장
Claims (19)
- 데이터를 저장하기 위한 장치로서,기판; 및상기 기판에 의해 지지되며, 제 1 강자성층과 제 2 강자성층 및 비자성층을 포함하는 기록 부분을 포함하며,상기 제 1 강자성층은 상기 기판과 상기 제 2 강자성층 사이에 배치되고, 상기 제 2 강자성층의 수직 자기이방성 에너지보다 더 큰 수직 자기이방성 에너지(Ku) 및 500emu/cc보다 더 큰 포화자화(Ms) 값을 가지며,상기 제 1 강자성층의 수직 자기이방성 에너지(Ku)는 5x106erg/cc 내지 5x107erg/cc이고,상기 기록 부분은 1000emu/cc 이상의 전체 포화자화(Ms)를 가지고,상기 기록 부분은 9x106erg/cc 이상의 전체 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 가지고,상기 제 1 강자성층과 상기 제 2 강자성층은 각각, 0≤X≤5 관계 및 25＜Y≤30 관계를 충족시키는 (Co100-XCrX)100-YPtY 합금 또는 (Co100-XCrX)100-YPtY 합금 산화물로 형성되며, 여기서 X의 농도와 Y의 농도는 at.%로 측정되는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 비자성층은 상기 제 1 강자성층과 상기 제 2 강자성층 사이에 배치되는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 제 1 강자성층과 상기 제 2 강자성층은 각각 9㎚ 또는 그 미만의 평균 자성입자 크기를 갖는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 기록 부분 바로 밑으로 상기 기판 상에 배치되는 중간 부분을 더 포함하며,상기 중간 부분은 Ru, Ru 산화물, MgO 및 Ni 중 적어도 하나를 포함하는 합금으로 형성되는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제4 항에 있어서,상기 기판과 상기 중간 부분 사이에 배치되는 연자성 재료층을 더 포함하는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 삭제
- 제1 항에 있어서,상기 제 1 강자성층 또는 상기 제 2 강자성층 중 적어도 선택된 하나의 강자성층의 자성입자들의 평균 크기는 6㎚인,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 제 1 강자성층 및 상기 제 2 강자성층은 각각, 25<Y<30 관계를 충족시키는 Co100-YPtY 합금 또는 Co100-YPtY 합금 산화물로 형성되며, 여기서 Y의 농도는 at.%로 측정되고,상기 기록 부분의 상기 전체 수직 자기이방성 에너지(Ku)는 1.5x107erg/cc인,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 제 2 강자성층의 수직 자기이방성 에너지(Ku)는 3x106erg/cc 내지 5x106erg/cc인,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 기록 부분은 상기 제 2 강자성층의 포화자화보다 더 큰 포화자화(Ms)를 갖는 제 3 강자성층을 더 포함하는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 제 1 강자성층과 상기 제 2 강자성층 모두 Pt를 포함하며,상기 제 1 강자성층은 상기 제 2 강자성층의 Pt와 비교하여 더 높은 비율의 Pt를 갖고, 상기 제 1 강자성층과 상기 제 2 강자성층 모두, 25at.% 내지 40at.%인 Pt의 비율을 갖는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 데이터를 저장하기 위한 장치로서,기판; 및상기 기판에 의해 지지되는 기록 부분을 포함하며,상기 기록 부분은, 5x106erg/cc 내지 50x106erg/cc의 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 갖는 제 1 강자성 기록층, 상기 제 1 강자성 기록층에 의해 지지되며 3x106erg/cc 내지 5x106erg/cc의 다른 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 갖는 제 2 강자성 기록층, 및 상기 제 2 강자성 기록층이 제 3 강자성 기록층과 상기 제 1 강자성 기록층 사이에 있도록 상기 제 2 강자성 기록층에 의해 지지되는 제 3 강자성 기록층을 포함하고,상기 제 1 강자성 기록층은 500emu/cc 초과의 제 1 포화자화(Ms)를 가지고,상기 제 2 강자성 기록층은 상기 제 1 포화자화 미만의 제 2 포화자화(Ms)를 가지고,상기 제 3 강자성 기록층은 상기 제 2 포화자화 초과의 제 3 포화자화(Ms)를 가지고,상기 제 1 강자성 기록층 및 상기 제 2 강자성 기록층은 각각, 0≤X≤5 관계 및 25＜Y≤30 관계를 충족시키는 (Co100-XCrX)100-YPtY 합금 또는 (Co100-XCrX)100-YPtY 합금 산화물로 형성되며, 여기서 X의 농도와 Y의 농도는 at.%로 측정되는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제12 항에 있어서,상기 기록 부분은 1000emu/cc 이상의 전체 포화자화(Ms) 값을 가지고, 9x106erg/cc 이상의 전체 수직 자기이방성 에너지(Ku)를 가지는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제12 항에 있어서,상기 기록 부분은 상기 제 1 강자성 기록층과 상기 제 3 강자성 기록층 사이에 배치되는 비자성층을 더 포함하는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제12 항에 있어서,상기 제 2 강자성 기록층은 상기 제 1 강자성 기록층 바로 위에 증착되며,상기 기록 부분은 상기 제 2 강자성 기록층 바로 위에 배치되는 비자성층을 더 포함하고,상기 제 3 강자성 기록층은 상기 비자성층 바로 위에 배치되는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제12 항에 있어서,상기 제 1 강자성 기록층과 상기 제 2 강자성 기록층은 복수의 구성 금속들의 공통 합금으로 형성되며, 상기 제 1 강자성 기록층과 상기 제 2 강자성 기록층은 서로 다른 각각의 비율들의 상기 구성 금속들을 갖는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제12 항에 있어서,상기 제 3 강자성 기록층은 0≤X≤20 관계 및 20≤Y≤30 관계를 충족시키는 (Co100-XCrX)100-YPtY 합금 또는 (Co100-XCrX)100-YPtY 합금 산화물로 형성되며, 여기서 X의 농도와 Y의 농도는 at.%로 측정되는,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제12 항에 있어서,상기 제 1 강자성 기록층, 상기 제 2 강자성 기록층 또는 상기 제 3 강자성 기록층 중 적어도 선택된 하나의 강자성 기록층의 자성입자들의 평균 크기는 6㎚인,데이터를 저장하기 위한 장치.
- 제12 항에 있어서,상기 제 1 강자성 기록층, 상기 제 2 강자성 기록층 및 상기 제 3 강자성 기록층은 각각, 25<Y<30 관계를 충족시키는 Co100-YPtY 합금 또는 Co100-YPtY 합금 산화물로 형성되며, 여기서 Y의 농도는 at.%로 측정되고,상기 기록 부분의 전체 수직 자기이방성 에너지(Ku)는 1.5x107erg/cc인,데이터를 저장하기 위한 장치.
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| N231 | Notification of change of applicant | ||
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| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E90F | Notification of reason for final refusal | ||
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