JPH04155618A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPH04155618A JPH04155618A JP28101290A JP28101290A JPH04155618A JP H04155618 A JPH04155618 A JP H04155618A JP 28101290 A JP28101290 A JP 28101290A JP 28101290 A JP28101290 A JP 28101290A JP H04155618 A JPH04155618 A JP H04155618A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は垂直磁気異方性を有する金属磁性薄膜を磁気記
録層とする垂直磁気記録媒体に関する。
録層とする垂直磁気記録媒体に関する。
（ロ）従来の技術
従来、知られているようにＣｏはＨＣＰ構造のＣ軸方向
に大きな結晶磁気異方性を有しており、この結晶磁気異
方性を利用した磁気記録媒体は以前から多く提案されて
いる。そして、Ｃｏｌ：Ｃｒを添加し、膜厚方向にＣｏ
のＣ軸を配向した状態で飽和磁化（Ｍｓ）を減少させ、
基板に垂直方向にＣｏの結晶磁気異方性を整列させた垂
直磁気異方性膜が提案されている。Ｃｒを添加し良好な
Ｃｏ結晶磁気異方性を得るには、膜作製時に基板温度の
上昇させる（１５０℃以上）必要がある。これは成膜時
におけるＣｏのＨＣＰ構造の結晶間へのＣｒ層の偏析が
Ｃｒの熱拡散によるためであると考えられる。このため
、基板としてはポリイミド等の耐熱性の高いフィルムが
用いられている。
に大きな結晶磁気異方性を有しており、この結晶磁気異
方性を利用した磁気記録媒体は以前から多く提案されて
いる。そして、Ｃｏｌ：Ｃｒを添加し、膜厚方向にＣｏ
のＣ軸を配向した状態で飽和磁化（Ｍｓ）を減少させ、
基板に垂直方向にＣｏの結晶磁気異方性を整列させた垂
直磁気異方性膜が提案されている。Ｃｒを添加し良好な
Ｃｏ結晶磁気異方性を得るには、膜作製時に基板温度の
上昇させる（１５０℃以上）必要がある。これは成膜時
におけるＣｏのＨＣＰ構造の結晶間へのＣｒ層の偏析が
Ｃｒの熱拡散によるためであると考えられる。このため
、基板としてはポリイミド等の耐熱性の高いフィルムが
用いられている。
しかし乍ら、ポリイミドフィルムはＰＥＴ （ポリエチ
レンテレフタレート）フィルム（ガラス転移点６０〜７
０℃）と比べて耐熱性の点では優れているが、コストが
高いという欠点がある。
レンテレフタレート）フィルム（ガラス転移点６０〜７
０℃）と比べて耐熱性の点では優れているが、コストが
高いという欠点がある。
また、Ｃｏの結晶の周囲を非磁性酸化物であるＣｏの酸
化物の析出層で覆い、結晶磁気異方性及び形状磁気異方
性の両方を有する垂直磁気異方性膜が特開昭５９−１６
２６２２号公報（ＧＩＩＢ５ ／ ６６ ）等で提案さ
れている。
化物の析出層で覆い、結晶磁気異方性及び形状磁気異方
性の両方を有する垂直磁気異方性膜が特開昭５９−１６
２６２２号公報（ＧＩＩＢ５ ／ ６６ ）等で提案さ
れている。
しかし乍ら、このＣｏの酸化物の析出は基板温度を上げ
る必要は無いものの耐食性の点で大きな間組がある。
る必要は無いものの耐食性の点で大きな間組がある。
（ハ）発明が解決しようとする課題
本発明は上記従来例の欠点に鑑み為されたものであり、
製造時に基板を高温に加熱すること無しに良好な垂直磁
気異方性を得ることが出来、且つ耐食性に優れた垂直磁
気記録媒体を提供することを目的とするものである。
製造時に基板を高温に加熱すること無しに良好な垂直磁
気異方性を得ることが出来、且つ耐食性に優れた垂直磁
気記録媒体を提供することを目的とするものである。
（ニ）課題を解決するための手段
本発明の垂直磁気記録媒体は、垂直磁気異方性を有する
金属磁性薄膜がＣｏとＣｏよりも窒化し易い金属（ＡＪ
！、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｍｇ、Ｃｒ、Ｍｎ等の金
属、或いはそれらの合金）の窒化物析出層とよりなり、
該窒化物析出層により前記Ｃｏを磁気分離してなる構造
であることを特徴とする。
金属磁性薄膜がＣｏとＣｏよりも窒化し易い金属（ＡＪ
！、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｍｇ、Ｃｒ、Ｍｎ等の金
属、或いはそれらの合金）の窒化物析出層とよりなり、
該窒化物析出層により前記Ｃｏを磁気分離してなる構造
であることを特徴とする。
（ホ）作 用
上述の垂直磁気記録媒体では、Ｃｏ結晶粒の粒界への金
属窒化物の析出は、窒化物が形成されると同時に析出が
生じるため、窒化に必要なエネルギーを窒素イオンに与
えて成膜時に供給するだけでよく、Ｃｏ−Ｃｒ膜のよう
に基板からの熱拡散は必要とせず、製造時における基板
温度は室温程度以下でよい。
属窒化物の析出は、窒化物が形成されると同時に析出が
生じるため、窒化に必要なエネルギーを窒素イオンに与
えて成膜時に供給するだけでよく、Ｃｏ−Ｃｒ膜のよう
に基板からの熱拡散は必要とせず、製造時における基板
温度は室温程度以下でよい。
また、Ｃｏ粒界に耐食性に優れている金属窒化物が存在
するため、Ｃｏ結晶粒が極めて優れた耐食性被膜に覆わ
れた形となり、耐食性が向上する。
するため、Ｃｏ結晶粒が極めて優れた耐食性被膜に覆わ
れた形となり、耐食性が向上する。
（へ）実施例
以下、本発明の第１実施例の磁気テープについて説明す
る。
る。
第１実施例では、ＰＥＴフィルムを基板として用い、冷
却ロール（０℃）の外周面上に前記ＰＥＴフィルムを密
着・冷却した状態で、該ＰＥＴフィルム上にＣｏとＣｏ
よりも窒化し易いＴ１とを蒸着し、同時に窒素イオンビ
ームをフィルムの蒸着面に照射して磁気記録層を形成し
、試料１の磁気テープを作製した。
却ロール（０℃）の外周面上に前記ＰＥＴフィルムを密
着・冷却した状態で、該ＰＥＴフィルム上にＣｏとＣｏ
よりも窒化し易いＴ１とを蒸着し、同時に窒素イオンビ
ームをフィルムの蒸着面に照射して磁気記録層を形成し
、試料１の磁気テープを作製した。
図面は上述した第１実施例の磁気テープの概略断面図で
あり、ＰＥＴフィルム（１）上に被着形成された磁気記
録層（且）はＣｏ結晶粒（３）の界面に窒化Ｔｊ（４）
が析出している。
あり、ＰＥＴフィルム（１）上に被着形成された磁気記
録層（且）はＣｏ結晶粒（３）の界面に窒化Ｔｊ（４）
が析出している。
尚、上述の磁気記録層の形成における蒸着条件及び窒素
イオン照射条件は下記に示すとおりである。
イオン照射条件は下記に示すとおりである。
蒸着条件
基板温度二〇℃
排圧真空度： Ｉ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒ以下Ｃｏの成
膜速度：３０人／５ｅｃ Ｔｉの成膜速度：〜３人／ｓｅｃ 窒素イオン照射条件 基板近傍でのイオン電流密度：約０ 、５ ｍＡ／ｃｉ
ｎ ’イオンエネルギー：約５０ｅ〜′ また、比較例として、窒素イオンビームを照射しない場
合、Ｔｉを蒸着しない場合についても、他の条件は上述
と同様にして磁気記録層を形成し、試料２〜４の磁気テ
ープを作製した。
膜速度：３０人／５ｅｃ Ｔｉの成膜速度：〜３人／ｓｅｃ 窒素イオン照射条件 基板近傍でのイオン電流密度：約０ 、５ ｍＡ／ｃｉ
ｎ ’イオンエネルギー：約５０ｅ〜′ また、比較例として、窒素イオンビームを照射しない場
合、Ｔｉを蒸着しない場合についても、他の条件は上述
と同様にして磁気記録層を形成し、試料２〜４の磁気テ
ープを作製した。
上記試料１〜４は夫々下記に示すとおりである。
試料１
ＣｏとＴｉの蒸着を行うと同時に窒素イオンの照射を行
って磁気記録層を形成する。
って磁気記録層を形成する。
試料２
ＣｏとＴｉの蒸着を行い、窒素イオンの照射を行わずに
磁気記録層を形成する。
磁気記録層を形成する。
試料３
Ｃｏだけの蒸着を行うと同時に窒素イオンの照射を行っ
て磁気記録層を形成する。
て磁気記録層を形成する。
試料４
Ｃｏだけの蒸着を行い、窒素イオンの照射を行わずに磁
気記録層を形成する。
気記録層を形成する。
更に、比較例として、ＰＥＴフィルム上に基板温度２０
℃でＣｏ−Ｃｒを蒸着して磁気記録層を形成し、試料５
の磁気テープを作製した。
℃でＣｏ−Ｃｒを蒸着して磁気記録層を形成し、試料５
の磁気テープを作製した。
上記試料１〜５の磁気テープについて夫々、磁気記録層
の面内方向保磁力Ｈｃ／、垂直方向保磁力Ｈｅ上及び飽
和磁束密度Ｍｓを測定し、その結果を下記の第１表に示
す。
の面内方向保磁力Ｈｃ／、垂直方向保磁力Ｈｅ上及び飽
和磁束密度Ｍｓを測定し、その結果を下記の第１表に示
す。
第 １ 表
上記第１表から判るようにＣｏ単体の試料３．４の磁気
テープでは、窒素イオンの照射の有無にかかわらず、磁
気記録層は面内に、垂直両方向共、保磁力Ｈｃ／／、Ｈ
ｃ土が低い。これはＣｏ単体では窒化がほとんど生じな
いためであると考えられる。また、ＣｏにＴ１を添加し
、窒素イオンを照射せずに形成した試料２の磁気テープ
では、磁気記録層は飽和磁束密度Ｍｓが下がり、また、
保磁力が多少増大するものの十分なものではない。これ
に対して、Ｃｏｉ：Ｔｉを添加し、更に窒素イオンを照
射して形成した試料１の磁気テープでは、磁気記録層は
面内、垂直方向保磁力ＨＣ／、Ｈｃ上が共に大きく増大
し、優れた垂直磁気異方性を示す。また、この試料ｌの
磁気テープの磁気記録層はＣｏ−Ｃｒを加熱せずに形成
した試料５の磁気テープの磁気記録層と比べても、保磁
力が大きく、特に垂直方向保磁力Ｈｃ土が大きい。
テープでは、窒素イオンの照射の有無にかかわらず、磁
気記録層は面内に、垂直両方向共、保磁力Ｈｃ／／、Ｈ
ｃ土が低い。これはＣｏ単体では窒化がほとんど生じな
いためであると考えられる。また、ＣｏにＴ１を添加し
、窒素イオンを照射せずに形成した試料２の磁気テープ
では、磁気記録層は飽和磁束密度Ｍｓが下がり、また、
保磁力が多少増大するものの十分なものではない。これ
に対して、Ｃｏｉ：Ｔｉを添加し、更に窒素イオンを照
射して形成した試料１の磁気テープでは、磁気記録層は
面内、垂直方向保磁力ＨＣ／、Ｈｃ上が共に大きく増大
し、優れた垂直磁気異方性を示す。また、この試料ｌの
磁気テープの磁気記録層はＣｏ−Ｃｒを加熱せずに形成
した試料５の磁気テープの磁気記録層と比べても、保磁
力が大きく、特に垂直方向保磁力Ｈｃ土が大きい。
次に、上記試料１〜４の磁気テープについて、磁気記録
層の耐食性を調べ、その結果を下記の第２表に示す。尚
、耐食性の評価は、温度６０℃、湿度９０％の雰囲気中
で試料１〜４の磁気テープを所定時間放置し、この時の
磁気記録層の飽和磁化量の変化率（％）で行った。
層の耐食性を調べ、その結果を下記の第２表に示す。尚
、耐食性の評価は、温度６０℃、湿度９０％の雰囲気中
で試料１〜４の磁気テープを所定時間放置し、この時の
磁気記録層の飽和磁化量の変化率（％）で行った。
第 ２ 表
上記第２表から判るように、ＣｏにＴｉを添加し、更に
窒素イオンを照射して形成した試料１の磁気テープの磁
気記録層は耐食性の点でも優れている。
窒素イオンを照射して形成した試料１の磁気テープの磁
気記録層は耐食性の点でも優れている。
次に、本発明の第２実施例の磁気テープについて説明す
る。
る。
第２実施例では、上述の第１実施例におけるＴＩに代え
てＺｒを用いた以外は第１実施例と同様にして試料６〜
９の磁気テープを作製する。
てＺｒを用いた以外は第１実施例と同様にして試料６〜
９の磁気テープを作製する。
上記試料６〜９は夫々下記に示すとおりである。
試料６
ＣｏとＺｒの蒸着を行うと同時に窒素イオンの照射を行
って磁気記録層を形成する。
って磁気記録層を形成する。
試料７
ＣｏとＺｒの蒸着を行い、窒素イオンの照射を行わずに
磁気記録層を形成する。
磁気記録層を形成する。
試料８
Ｃｏだけの蒸着を行うと同時に窒素イオンの照射を行っ
て磁気記録層を形成する。
て磁気記録層を形成する。
試料９
Ｃｏだけの蒸着を行い、窒素イオンの照射を行わずに磁
気記録層を形成する。
気記録層を形成する。
上記試料６〜９の磁気テープについて夫々磁気記録層の
面内方向保磁力Ｈｃ／、垂直方向保磁力Ｈｃ±及び飽和
磁束密度Ｍｓを測定し、その結果を下記の第３表に示す
。尚、この第３表には、参考として上述の試料５の磁気
テープについてのデータも示す。
面内方向保磁力Ｈｃ／、垂直方向保磁力Ｈｃ±及び飽和
磁束密度Ｍｓを測定し、その結果を下記の第３表に示す
。尚、この第３表には、参考として上述の試料５の磁気
テープについてのデータも示す。
第 ３ 表
上記第３表から判るようにＣｏにＺｒを添加し、更に窒
素イオンを照射して形成した試料６の磁気テープでは、
磁気記録層は試料７．８．９に比べ、飽和磁束密度Ｍ
ｓが低下するものの面内、垂直方向保磁力Ｈｃ／、Ｈｃ
土が共に大きく増大し、優れた垂直磁気異方性を示す。
素イオンを照射して形成した試料６の磁気テープでは、
磁気記録層は試料７．８．９に比べ、飽和磁束密度Ｍ
ｓが低下するものの面内、垂直方向保磁力Ｈｃ／、Ｈｃ
土が共に大きく増大し、優れた垂直磁気異方性を示す。
また、この試料６の磁気テープの磁気記録層は試料１と
同様に試料５の磁気テープの磁気記録層と比べても保磁
力が大きく、特に垂直方向保磁力Ｈｃ土が大きい。
同様に試料５の磁気テープの磁気記録層と比べても保磁
力が大きく、特に垂直方向保磁力Ｈｃ土が大きい。
また、上記試料６〜９の磁気テープについて、第１実施
例と同様にして磁気記録層の耐食性を調べたところ、試
料６の磁気テープの磁気記録層は耐食性の点でも優れて
いることが判る。
例と同様にして磁気記録層の耐食性を調べたところ、試
料６の磁気テープの磁気記録層は耐食性の点でも優れて
いることが判る。
（ト）発明の効果
本発明に依れば、優れた垂直磁気異方性を有する金属磁
性薄膜を低温で形成することが可能であり、且つ耐食性
にも優れた垂直磁気記録媒体を提供し得る。
性薄膜を低温で形成することが可能であり、且つ耐食性
にも優れた垂直磁気記録媒体を提供し得る。
図面は磁気テープの概略断面図である。
（１）・・・ＰＥＴフィルム（非磁性基板）、（２）・
・・磁気記録層、（３）・・・Ｃｏ結晶粒、（４）・・
窒化Ｔ１（窒化物析出層）。
・・磁気記録層、（３）・・・Ｃｏ結晶粒、（４）・・
窒化Ｔ１（窒化物析出層）。
Claims (1)
- （１）非磁性基板上に垂直磁気異方性を有する金属磁性
薄膜よりなる磁気記録層を形成してなる垂直磁気記録媒
体であって、前記金属磁性薄膜はＣｏとＣｏよりも窒化
し易い金属の窒化物析出層とよりなり、該窒化物析出層
により前記Ｃｏを磁気分離してなる構造であることを特
徴とする垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28101290A JPH04155618A (ja) | 1990-10-18 | 1990-10-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28101290A JPH04155618A (ja) | 1990-10-18 | 1990-10-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04155618A true JPH04155618A (ja) | 1992-05-28 |
Family
ID=17633053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28101290A Pending JPH04155618A (ja) | 1990-10-18 | 1990-10-18 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04155618A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8361641B2 (en) * | 2007-05-30 | 2013-01-29 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording layer with regions having different magnetic anisotropy constants |
| US10026429B2 (en) | 2009-03-13 | 2018-07-17 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording medium |
-
1990
- 1990-10-18 JP JP28101290A patent/JPH04155618A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8361641B2 (en) * | 2007-05-30 | 2013-01-29 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording layer with regions having different magnetic anisotropy constants |
| US8889274B2 (en) | 2007-05-30 | 2014-11-18 | Seagate Technology International | Perpendicular magnetic recording layer with regions having different magnetic anisotropy constants |
| US10026429B2 (en) | 2009-03-13 | 2018-07-17 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording medium |
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