KR101631783B1 - 컨포멀한 금속 실리사이드 막들을 형성하는 방법 - Google Patents

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도시오 하세가와
구니히로 다다
히데아키 야마사키
데이빗 엘 오메아라
게릿 제이 루싱크
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

기판 상에 금속 실리사이드 층을 형성하기 위한 방법이 제공된다. 일 실시예에 따라, 이 방법은 프로세스 챔버에 기판을 제공하는 단계, 금속 전구체(metal precursor)를 포함하는 증착 가스로부터 생성된 플라즈마에 제 1 기판 온도로 상기 기판을 노출시키는 단계를 포함하며, 여기서 상기 플라즈마 노출은 자기-제한적 프로세스(self-limiting process)에서 기판 상에 컨포멀한 금속-함유 층(conformal metal-containing layer)을 형성한다. 이 방법은 또한 플라즈마 없이 환원성 가스에 제 2 기판 온도로 금속-함유층을 노출시키는 단계를 포함하고, 여기서 상기 노출시키는 단계들은 금속 실리사이드 층을 형성하기 위해 적어도 한번 교번적으로 수행되고, 상기 증착 가스는 환원성 가스를 포함하지 않는다. 이 방법은 또한 높은 종횡비들을 갖는 딥 트랜치들내의 컨포멀한 금속 실리사이드 형성을 제공한다.

Description

컨포멀한 금속 실리사이드 막들을 형성하는 방법{METHOD OF FORMING CONFORMAL METAL SILICIDE FILMS}
관련 출원들에 대한 상호참조
본 출원은 2012년 1월 27일 출원된 미국 가출원 번호 61/591,843(Ref.no.TTCA-389Pro)와 관련되며 이를 우선권으로 주장하고, 상기 가출원의 전체 내용물들은 본원에 인용에 의해 포함된다. 이 출원은 2012년 3월 22일 출원된 미국 출원 번호 13/427,343(Ref.no.TTCA-389)과 관련되며 이를 우선권으로 주장하고, 상기 출원의 전체 내용물들은 본원에 인용에 의해 포함된다.
발명의 분야
본 발명은 일반적으로 기상 증착을 이용하여 기판 상에 컨포멀한 금속 실리사이드 막들(conformal metal silicide films)을 형성하는 것에 관한 것이다. 기판은 반도체 디바이스들에서 이용되는 높은 종횡비들을 갖는 딥 트랜치들(deep trenches)을 포함할 수 있다.
반도체 산업에서, 마이크로전자 디바이스들의 최소 피처 크기들이 더 빠르고 더 낮은 전력 마이크로프로세서들 및 디지털 회로들에 대한 요구들을 충족하기 위해 딥 서브-마이크론 레짐(deep sub-micron regime)에 접근하고 있다. 예를 들어, 저 저항 내열 금속 실리사이드 층들은 동적 랜덤 액세스 메모리(DRAM) 및 강화된 DRAM(EDRAM) 제조에서 게이트 스택의 부분으로서 널리 이용된다. 저 저항 금속 실리사이드 층에 대한 다른 응용은 스택된 DRAM 셀들의 비아들에 또는 딥 트랜치-DRAM의 커패시터에 있다. 양자의 애플리케이션들은 내부 전극(플러그, 딥-트랜치-DRAM) 또는 비아(스택된 DRAM)의 직렬 저항이 역 그라운드 규칙의 제곱으로 증가한다는 사실을 경험한다. 이 효과는, 일정한 커패시턴스의 요건이 진보된 DRAM들에서 더 깊은 트랜치들(또는 각각 더 높은 스택들)을 야기하기 때문에 추가로 강화된다.
딥 트랜치-DRAM에 대한 핵심적인 요건은 높은 종횡비들을 갖는 트랜치들에서 금속 실리사이드 막들 및 층들의 양호한 스텝 커버리지(step coverage)이다. 부가적인 요건들은 금속 실리사이드 막들이 낮은 전기 저항을 가져야 하고 집적 회로들을 제조하는데 이용되는 종래의 프로세싱 온도들에서 안정되어야 한다는 것을 포함한다. 이들 막들의 컨포멀한 증착이 보통 요구되며, 이는 매우 딥 트랜치들에 대해 매우 힘들다.
본 발명의 실시예들은 기판 상에 컨포멀한 금속 실리사이드 층들, 예를 들어, 기판에 형성되는 딥 트랜치들을 형성하기 위한 방법들을 설명한다. 금속 실리사이드 층은 예를 들어, 티타늄 실리사이드, 몰리브덴 실리사이드, 텅스텐 실리사이드, 탄탈륨 실리사이드, 또는 바나듐 실리사이드 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따라, 이 방법은 a) 프로세스 챔버에 기판을 제공하는 단계, b) 금속 전구체(metal precursor)를 포함하는 증착 가스로부터 생성된 플라즈마에 제 1 기판 온도로 기판을 노출시키는 단계로서, 상기 플라즈마 노출은 자기-제한적 프로세스(self-limiting process)에서 기판 상에 컨포멀한 금속-함유 층(conformal metal-containing layer)을 증착하는, 상기 노출시키는 단계; 및 c) 플라즈마 없이 환원성 가스에 제 2 기판 온도로 금속-함유층을 노출시키는 단계를 포함하고, 상기 b) 및 c)는 금속 실리사이드 층을 형성하기 위해 적어도 한번 교번적으로 수행되고, 상기 증착 가스는 환원성 가스를 포함하지 않는다.
다른 실시예에 따라, 방법은 a) 프로세스 챔버에 기판을 제공하는 단계; 및 b) 금속 전구체를 포함하는 증착 가스로부터 생성된 플라즈마에 제 1 기판 온도로 기판을 노출시키는 단계를 포함하며, 여기서 상기 플라즈마 노출은 자기-제한적 프로세스에서 기판 상에 컨포멀한 금속-함유층을 형성한다. 이 방법은 추가로 c) 플라즈마 없이 환원성 가스에 제 2 기판 온도로 기판을 노출시키는 단계로서, 상기 단계 b) 및 c)는 상기 기판 상에 금속 막을 형성하기 위해 적어도 한번 교번적으로 수행되고, 상기 증착 가스는 환원성 가스를 포함하지 않는 것인, 상기 노출시키는 단계; 및 d) 금속 실리사이드 막을 형성하기 위해 제 3 기판 온도로 기판을 어닐링하는 단계를 포함하고 상기 제 3 기판 온도는 제 2 기판 온도보다 높다. 이 방법은 d)에, 어닐링 이전에 금속 막 상에 실리콘을 증착하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따라, 방법은 a) 프로세스 챔버에 기판을 제공하는 단계, 및 b) 플라즈마 없이 금속 전구체를 포함하는 증착 가스에 제 1 기판 온도로 상기 기판을 열적으로 노출시키는 단계를 포함하고, 여기서 상기 열적 노출은 자기-제한적 프로세스에서 상기 기판 상에 컨포멀한 금속-함유 층을 형성한다. 이 방법은 또한 c) 비활성 가스를 포함하는 플라즈마로의 노출에 의해 금속-함유층을 개질시키는 단계, 및 d) 플라즈마 없이 환원성 가스에 제 2 기판 온도로 개질된 금속-함유층을 노출시키는 단계를 포함하고, 상기 b) 내지 d)는 상기 금속 실리사이드 막을 형성하기 위해 적어도 한번 순차적으로 그리고 교번적으로 수행된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따라 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하기 위한 방법의 흐름도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하기 위한 프로세스 흐름의 개략적 단면도들을 도시한다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예들에 따라 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법의 흐름도이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 다른 실시예들에 따라 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하기 위한 프로세스 흐름의 개략적 단면도들을 도시한다.
도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따라 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하기 위한 프로세스 흐름의 개략적 단면도들을 도시한다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따라 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하기 위한 방법의 흐름도이다.
도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 실시예에 따라 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하기 위한 프로세스 흐름의 개략적 단면도들을 도시한다.
기판 상에 컨포멀한 금속 실리사이드 층들을 형성하기 위한 방법은 몇 개의 실시예들에서 개시된다. 금속 실리사이드 층들은 예를 들어, 티타늄 실리사이드(예를 들어, TiSix), 몰리브덴 실리사이드(예를 들어, MoSix), 텅스텐 실리사이드(WSix), 탄탈륨 실리사이드(예를 들어, TaSix), 또는 바나듐 실리사이드(VSix), 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함할 수 있다.
관련 분야의 숙련자들은 다양한 실시예들이 특정한 세부사항들 중 하나 이상 없이, 또는 다른 대체 및/또는 부가적인 방법들, 물질들 또는 컴포넌트들을 통해 실시될 수 있다는 것을 인지할 것이다. 다른 예들에서, 잘-알려진 구조들, 물질들, 또는 동작들은 본 발명의 다양한 실시예들의 양상들을 모호하게 하는 것을 방지하기 위해 상세히 도시되거나 설명되지 않을 것이다. 유사하게, 설명을 위해, 특정한 번호들, 물질들, 및 구성들은 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해 제시된다. 또한, 도면들에서 도시된 다양한 실시예들은 예시적인 표현들이며 반드시 제 축적대로 그려지는 것은 아니란 것이 이해된다.
본 명세서 전체에 걸친 "일 실시예" 또는 "실시예"의 참조는 실시예와 관련하여 설명되는 특정한 피처, 구조, 물질, 또는 특성이 본 발명의 적어도 일 실시예에 포함된다는 것을 의미하지만, 이들이 각각의 실시예에 존재한다는 것을 나타내는 것은 아니다. 따라서, 본 명세서 전체에 걸친 다양한 장소들에서 "일 실시예에서" 또는 "실시예에서"란 구문들의 출현은 반드시 본 발명의 동일한 실시예를 참조하는 것은 아니다. 이 상세한 설명에서, 유사한 부분들은 몇 개의 도면들에 걸쳐서 유사한 참조 번호들에 의해 지정된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따라 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법에 대한 흐름도(100)이다. 이 방법은, 102에서, 프로세스 챔버에 기판을 제공하는 것을 포함한다. 몇몇 실시예들에서, 기판은 그 내부에 형성된 에칭된 피처들을 포함하는 패터닝된 기판일 수 있다. 에칭된 피처들은 예를 들어, 반도체 디바이스들에서 흔히 발견되는 트랜치들, 비아들 또는 이들의 결합을 포함할 수 있다. 그러나 본 발명의 실시예들은 또한 패터닝되지 않은 평면 기판들에 성공적으로 적용될 수 있다.
도 2a 내지 도 2c를 또한 참조하면, 도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따라 패터닝된 기판(20)의 개략적 단면도를 도시한다. 기판 물질(200)은 벌크 실리콘, 단결정 실리콘(도핑되거나 도핑되지 않음), SiC, SiGe, SiGeC, 또는 이들의 임의의 결합들을 포함할 수 있다. 일 실시예에 따라, 기판 물질(200)은 SixGe1 -x 화합물들을 포함할 수 있으며, 여기서 x는 Si의 원자분율(atomic fraction)이고, 1-x는 Ge의 원자분율이며, 0 < 1-x < 1이다. 일 예에서, 기판 물질(200)은 완화된(relaxed) Si0 .5Ge0 .5 버퍼층 상에 증착된 인장-변형(tensile-strained) SixGe1-x (x>0.5)를 포함할 수 있다. 패터닝된 기판(20)은 임의의 크기로 이루어지는데, 예를 들어, 200mm 기판, 300mm 기판, 450mm 기판, 또는 훨씬 더 큰 기판일 수 있다. 일 예에서, 패터닝된 기판(20)은 인장-변형 Si 층을 포함할 수 있다.
도 2a에서 도시된 실시예에서, 패터닝된 기판(20)은 기판 물질(200)에 형성되는 트랜치(202)를 포함한다. 트랜치(202)는 예를 들어, 약 2:1 이상, 예를 들어, 3:1, 5:1, 10:1, 15:1, 20:1, 30:1, 40:1, 50:1, 60:1, 70:1 또는 70:1 초과의 종횡비(깊이/폭)를 가질 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 트랜치(202)는 약 20:1과 약 40:1 사이, 약 40:1과 약 60:1 사이, 약 60:1과 약 80:1 사이, 또는 약 80:1과 약 100:1 사이의 종횡비를 가질 수 있다. 트랜치(202)는 약 200nm(나노미터들) 또는 그 미만, 예를 들어, 150nm, 100nm, 65nm, 32nm, 22nm 또는 그 미만의 폭(개구)을 가질 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 트랜치(202)는 약 200nm와 약 100nm 사이, 약 100nm와 약 80nm 사이, 약 80nm와 약 60nm 사이, 약 60nm와 약 40nm 사이 또는 약 40nm와 약 20nm 사이의 폭을 가질 수 있다. 트랜치(202)는 약 20nm와 약 5000nm 사이, 예를 들어, 약 20nm와 약 100nm 사이, 약 100nm와 약 500nm 사이, 약 500nm와 약 1000nm 사이, 또는 약 1000nm와 약 5000nm 사이의 깊이를 가질 수 있다. 그러나 본 발명의 실시예들은, 다른 종횡비들, 트랜치 폭들, 및 트랜치 깊이들이 활용될 수 있기 때문에, 이들 종횡비들, 트랜치 폭들, 및 트랜치 깊이들로 제한되지 않는다. 예를 들어, 트랜치(202)는 당업자들에게 잘 알려진 포토리소그라피 프로세스 및 건식 에칭 기법들을 이용하여 형성될 수 있다.
도 2a를 계속 참조하면, 일 예에서, 트랜치(202)는 약 50nm와 100nm 사이의 폭, 약 2000nm와 5000nm 사이의 깊이 및 약 40:1과 약 100:1 사이의 종횡비를 갖는 딥 트랜치일 수 있다. 기판 물질(200)은 예를 들어, Si(예를 들어, 단결정 Si, 폴리 Si, 또는 비정질 Si) 또는 Si-함유 물질을 포함할 수 있다.
104에서, 기판은 금속 실리사이드 막을 형성하기 위해 금속-함유 전구체를 포함하는 증착 가스로부터 생성되는 플라즈마에 제 1 기판 온도로 노출된다. 금속-함유 전구체는 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta), 또는 바나듐(V), 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함할 수 있다. 그러나 본 발명의 몇몇 실시예들은 이들 금속 원소들로 제한되지 않으며, 다른 금속 원소들이 원소 주기율표로부터 선택될 수 있다. 금속 전구체는 금속 할로겐화물(예를 들어, 티타늄 할로겐화물, 몰리브덴 할로겐화물, 텅스텐 할로겐화물, 탄탈륨 할로겐화물, 바나듐 할로겐화물, 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물)을 포함할 수 있다. 티타늄 할로겐화물은 TiF4, TiCl4, TiBr4, 또는 TiI4를 포함할 수 있다. 몰리브덴 할로겐화물은 MoCl4를 포함할 수 있다. 텅스텐 할로겐화물은 WCl6 또는 WF6을 포함할 수 있다. 탄탈륨 할로겐화물은 TaF5, TaBr5, TaCl5, 또는 TaI5을 포함할 수 있다. 바나듐 할로겐화물은 VCl4를 포함할 수 있다. 다른 산화 상태들의 금속 원자를 갖는 다른 금속 할로겐화물이 또한 이용될 수 있다. 몇몇 예들에서, 증착 가스는 금속 전구체 가스 및 불활성 가스(예를 들어, 비활성 가스)로 구성될 수 있다. 비-제한적인 예들은 TiCl4 및 아르곤(Ar), TaCl5 및 Ar, 또는 WCl6 및 Ar를 포함한다.
104의 플라즈마 노출은 트랜치(202)의 측벽 및 하부 상을 비롯해서, 자기-제한 프로세스(self-limiting process)에서 패터닝된 기판(20)의 지형(topography) 위에 컨포멀한 금속-함유층을 증착한다. 이는 개략적으로 도 2b에서 도시된다. 컨포멀한 금속-함유 층(204)의 두께는 약 1 모노층(monolayer) 정도 또는 그 미만일 수 있다. 플라즈마 노출은 자기-제한적이며, 금속-함유 층(204)의 증착은 패터닝된 기판(20)의 노출된 표면들이 금속-함유 층(204)의 물질로 포화되면 정지된다.
본 발명의 실시예들에 따라, 104의 플라즈마는 수소-함유 환원성 가스(예를 들어, H2)를 포함하지 않는다. 발명자들은 104의 플라즈마에서 수소-함유 환원성 가스의 부재가 패터닝된 기판(20)의 지형 위에 자기-제한적 컨포멀 증착을 가능케 하는 것을 알았다. 증착 가스가 TiCl4 가스를 포함할 때, TiCl2 분자 종들은 플라즈마에서 형성되고, 컨포멀한 금속-함유 층(204)은 패터닝된 기판(20)의 표면들 상의 흡수된 TiCl2 분자종들의 대략 1 모노층을 함유할 수 있다는 것이 고려된다. 플라즈마 노출들이 보통 지향성(이방성)일지라도, 플라즈마에서 형성되는 TiCl2 분자종들은 모든 TiCl2 흡수 사이트들이 점유될 때까지 패터닝된 기판(20)의 지형 위에서 이주할 것으로 생각된다. 따라서 104의 플라즈마 노출은 금속-함유 층(204)의 컨포멀한 증착을 발생시키고, 본 발명의 실시예들에서 설명되는 막 형성 프로세스는 기판에 에칭되는 단순 및 복잡 딥 피처들에서 증착이 어려운 금속-함유 층(hard-to-deposit metal-containing layer)들의 매우 필요한 컨포멀한 증착을 제공한다.
비교를 위해, 증착 가스가 또한 H2를 포함하는 경우, 금속-함유 층(204)은 플라즈마 자극 H2의 환원 효과들(reducing effects)로 인해, 비-자기-제한적 프로세스에서 패터닝된 기판(20)의 지형 위에 Ti 금속 층으로서 비-컨포멀하게 증착될 것이다. 비-컨포멀 금속-함유 층은 트랜치(202), 특히 트랜치(202)의 하부 근처의 측벽 상에 거의 증착됨 없이, 패터닝된 기판(20)의 수평 필드 표면 상에 가장 두껍게 될 것이다.
플라즈마 프로세싱 조건들은 패터닝된 기판(20)의 지형 위에 컨포멀한 금속-함유 층(204)을 효율적으로 형성하기 위해 선택될 수 있다. 예를 들어, 제 1 기판 온도는 약 25℃와 약 650℃ 사이, 예를 들어, 약 25℃와 약 200℃ 사이, 약 200℃와 약 450℃ 사이, 또는 약 450℃와 약 700℃ 사이일 수 있다. 일 실시예에 따라, 제 1 기판 온도는 약 450℃ 또는 그 미만일 수 있다. 다른 실시예에 따라, 제 1 기판 온도는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다. 플라즈마 노출 동안 프로세스 챔버의 가스 압력은 약 0.1 Torr와 약 5 Torr 사이일 수 있고, 플라즈마 노출 시간은 약 1초와 약 10초 사이일 수 있다. 그러나 다른 가스 압력들 및 플라즈마 노출 시간들이 이용될 수 있다.
104의 플라즈마 노출에 이어, 프로세스 챔버는 프로세스 챔버로부터 증착 가스 및 임의의 반응 부산물들을 제거하기 위해 Ar 또는 질소(N2)를 이용하여 세척(purge)될 수 있다.
그 후, 106에서, 컨포멀한 금속-함유 층(204)(예를 들어, 흡수된 TiCl2의 층)은 플라즈마 없이 환원성 가스에 제 2 기판 온도로 노출된다. 발명자들은 흡수된 TiCl2이, 플라즈마 자극 환원성 가스로의 노출을 요구하는 흡수된 TiCl4에 대조적으로 플라즈마 없이 환원성 가스로의 열적 노출에 의해 Ti 금속으로 환원될 수 있다는 것을 알았다. Ti 금속이 Si와 반응하는 프로세스는 원자층 증착(ALD) 프로세스에서 Ti를 연속적으로 증착할 필요 없이 컨포멀한 TiSix 층을 생성하며, 이는 지금까지 보고되지 않았다.
환원성 가스는 수소-함유 가스(예를 들어, H2), 실리콘-수소-함유 가스(예를 들어, SiH4), 붕소-수소 함유 가스(예를 들어, B2H6), 또는 이들의 결합을 포함할 수 있다. 환원성 가스는 비활성 가스와 같은 불활성 가스를 더 포함할 수 있다. 발명자들은 환원성 가스로의 컨포멀한 금속-함유 층(204)의 등방성 노출이 컨포멀한 금속-함유 층(204)을, 도 2c에 도시된 컨포멀한 금속 실리사이드 층(206)을 형성하기 위해 기판 물질(200)의 Si와 후속적으로 반응할 수 있는 대응하는 금속(예를 들어, Ti 금속)으로 화학적으로 환원시킨다는 것을 알았다. 금속 실리사이드 층(206)은 티타늄 실리사이드(예를 들어, TiSix), 몰리브덴 실리사이드(예를 들어, MoSix), 텅스텐 실리사이드(WSix), 탄탈륨 실리사이드(예를 들어, TaSix) 또는 바나듐 실리사이드(VSix), 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따라, 제 2 기판 온도는 환원된 금속이 금속 기판 물질과 효율적으로 반응하고 금속 실리사이드 층(206)을 형성하기에 충분히 높다.
106의 프로세싱 조건들은 컨포멀한 금속-함유 층(204)을 효율적으로 환원시키고 컨포멀한 금속 실리사이드 층(206)을 형성하도록 선택될 수 있다. 예를 들어, 제 2 기판 온도는 약 200℃와 약 700℃ 사이, 예를 들어, 약 200℃와 약 450℃ 사이, 또는 약 450℃와 약 700℃ 사이일 수 있다. 일 실시예에 따라, 제 2 기판 온도는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다. 환원성 가스로의 노출 동안 프로세스 챔버의 가스 압력은 0.1 Torr와 약 5 Torr 사이일 수 있고, 노출 시간은 약 1초와 10초 사이일 수 있다. 다른 가스 압력들 및 노출 시간들이 이용될 수 있다.
일 예에서, 제 1 및 제 2 기판 온도는 동일하거나 대략 동일할 수 있다. 다른 예에서, 제 1 및 제 2 기판 온도들을 상이할 수 있다. 일 실시예에 따라, 제 1 기판 온도는 약 450℃ 미만일 수 있고, 제 2 기판 온도는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다. 일 실시예에 따라, 제 1 및 제 2 기판 온도들 둘 다는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다.
106의 환원성 가스로의 노출에 이어, 프로세스 챔버는 프로세스 챔버로부터 환원성 가스 및 임의의 반응 부산물들을 제거하도록 Ar 또는 질소(N2)를 이용하여 세척될 수 있다.
프로세싱 단계들(104 및 106)은 컨포멀한 금속 실리사이드 층(206)의 두께 및 전도율을 증가시키기 위해 프로세스 화살표(108)에 의해 개략적으로 도시된 바와 같이 적어도 한번 반복될 수 있다. 금속 실리사이드 층(206)이 원하는 두께를 가질 때, 패터닝된 기판(20)은 추가로 반도체 디바이스를 제조하기 위해 프로세싱될 수 있다. 컨포멀한 금속 실리사이드 층(206)의 두께는 예를 들어, 약 0.5nm와 약 5nm 사이일 수 있다.
도 3은 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하기 위한 방법의 흐름도(300)이며, 도 4a 내지 4d 및 도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 실시예들에 따라 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하기 위한 프로세스 흐름들의 개략적 단면도들을 도시한다. 방법은 302에서, 프로세스 챔버에 기판을 제공하는 것을 포함한다. 도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따라 패터닝된 기판(40)의 개략적 단면도를 도시한다. 패터닝된 기판(40)은 기판 물질(200)에 형성되는 트랜치(202)를 포함한다. 기판 물질(200) 및 트랜치(202)의 예들은 위에서 설명되었다.
304에서, 패터닝된 기판(40)은 금속 실리사이드 막을 형성하기 위해 금속-함유 전구체를 포함하는 증착 가스로부터 생성되는 플라즈마에 제 1 기판 온도로 노출된다. 금속-함유 전구체는 Ti, Mo, W, Ta, 또는 V, 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함할 수 있다. 그러나 본 발명의 몇몇 실시예들은 이들 금속 원소들로 제한되지 않고, 다른 금속 원소들은 원소의 주기율표로부터 선택될 수 있다. 금속 전구체는 금속 할로겐화물(예를 들어, 티타늄 할로겐화물, 몰리브덴 할로겐화물, 텅스텐 할로겐화물, 탄탈륨 할로겐화물, 또는 바나듐 할로겐화물, 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물)을 포함할 수 있다. 몇몇 예들에서, 증착 가스는 금속 전구체 가스 및 불활성 가스(예를 들어, 비활성 가스)로 구성될 수 있다. 비-제한적인 예들은 TiCl4 및 아르곤(Ar), TaCl5 및 Ar, 또는 WCl6 및 Ar을 포함한다.
304의 플라즈마 노출은 트랜치(202)의 측벽 및 하부를 비롯해서, 자기-제한 프로세스에서 패터닝된 기판(40)의 지형 위에 컨포멀한 금속-함유 층(404)을 증착한다. 이는 개략적으로 도 4b에서 도시된다. 컨포멀한 금속-함유 층(404)의 두께는 약 1 모노층 정도 또는 그 미만일 수 있다. 플라즈마 노출은 자기-제한적이며, 금속-함유 층(404)의 증착은 패터닝된 기판(40)의 노출된 표면들이 금속-함유 층(404)의 물질로 포화되면 정지된다. 본 발명의 실시예들에 따라 404의 플라즈마 노출은 수소-함유 환원성 가스(예를 들어, H2)를 포함하지 않는다.
플라즈마 프로세싱 조건들은 자기-제한적 프로세스에서 패터닝된 기판(40)의 지형 위에 컨포멀한 금속-함유 층(404)을 효율적으로 형성하도록 선택될 수 있다. 예를 들어, 제 1 기판 온도는 약 25℃와 약 650℃사이, 예를 들어, 25℃와 약 200℃ 사이, 약 200℃와 약 450℃ 사이, 또는 약 450℃와 약 700℃ 사이일 수 있다. 일 실시예에 따라, 제 1 기판 온도는 약 450℃ 또는 그 미만일 수 있다 . 다른 실시예에 따라, 제 1 기판 온도는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다. 플라즈마 노출 동안 프로세스 챔버의 가스 압력은 약 0.1 Torr와 약 5 Torr 사이일 수 있고, 플라즈마 노출 시간은 약 1초와 약 10초 사이일 수 있다. 그러나 다른 가스 압력들 및 플라즈마 노출 시간들이 이용될 수 있다.
304의 플라즈마 노출에 이어, 프로세스 챔버는 프로세스 챔버로부터 증착 가스 및 임의의 반응 부산물들을 제거하기 위해 Ar 또는 질소(N2)를 이용하여 세척될 수 있다.
그 후, 306에서, 컨포멀 금속-함유 층(404)(예를 들어, 흡수된 TiCl2의 층)은 플라즈마 없이 환원성 가스에 제 2 기판 온도로 노출된다. 환원성 가스는 수소-함유 가스(예를 들어, H2), 실리콘-수소-함유 가스(예를 들어, SiH4), 붕소-수소 함유 가스(예를 들어, B2H6), 또는 이들의 결합을 포함할 수 있다. 환원성 가스는 비활성 가스와 같은 불활성 가스를 더 포함할 수 있다. 환원성 가스로의 컨포멀한 금속-함유 층(404)의 노출은 대응하는 금속(예를 들어, Ti 금속)을 포함하는 컨포멀한 층(406)으로 컨포멀한 금속-함유 층(404)을 화학적으로 환원시킨다. 일 실시예에 따라, 제 2 온도는 환원된 금속이 기판 물질과 효율적으로 반응하고 금속 실리사이드를 형성하기에 충분히 높지 않다.
306의 프로세싱 조건은, 금속 층이 기판 물질(200)로부터의 실리콘과 반응함 없이, 대응하는 컨포멀한 금속층(406)으로 컨포멀한 금속-함유 층(404)을 효율적으로 환원시키도록 선택될 수 있다. 예를 들어, 제 2 기판 온도는 약 200℃와 약 450℃ 사이 또는 약 450℃ 미만일 수 있다. 환원성 가스로의 노출 동안 프로세스 챔버의 가스 압력은 약 0.1Torr와 약 5Torr 사이일 수 있고, 노출 시간은 약 1초와 약 10초 사이일 수 있다. 그러나 다른 가스 압력들 및 노출 시간들이 이용될 수 있다.
일 예에서, 제 1 및 제 2 기판 온도는 동일하거나 대략 동일할 수 있다. 다른 예에서, 제 1 및 제 2 기판 온도들을 상이할 수 있다. 일 실시예에 따라, 제 1 기판 온도는 제 2 기판 온도보다 높을 수 있다. 일 실시예에 따라, 양자의 제 1 및 제 2 기판 온도는 약 450℃ 미만일 수 있다.
305의 플라즈마 노출(예를 들어, 플라즈마에서 형성되는 TiCl2의 기판 노출의 포화) 및 308의 환원성 가스(H2)로의 노출 둘 다는 모두 등방성 노출 프로세스이므로, 결과적인 금속층(406)은 트랜치(202)의 측벽 및 하부 상을 비롯해서, 패터닝된 기판(40)의 지형 위에 컨포멀하게 형성된다.
306의 환원성 가스로의 노출에 이어, 프로세스 챔버는 프로세스 챔버로부터 환원성 가스 및 임의의 반응 부산물들을 제거하기 위해 Ar 또는 질소(N2)를 이용하여 세척될 수 있다.
308에서, 기판은 제 2 기판 온도보다 높은 제 3 기판 온도로 어닐링된다. 308의 프로세싱 조건은 기판 물질(200)과 금속층(406)이 효율적으로 반응하고 도 4d에서 개략적으로 도시된 컨포멀한 금속 실리사이드 층(408)을 형성하도록 선택될 수 있다. 예를 들어, 제 2 기판 온도는 약 450℃와 약 700℃ 사이일 수 있다. 일 실시예에 따라, 제 2 기판 온도는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다. 어닐링 동안 프로세스 챔버에서 어닐링 가스(예를 들어, Ar 또는 N2)의 가스 압력은 약 0.1 Torr와 약 5 Torr 사이일 수 있고 어닐링 시간은 1초와 500초 사이일 수 있다. 그러나 다른 가스 압력들 및 어닐링 시간들이 이용될 수 있다.
프로세싱 단계들(304-308)은 컨포멀한 금속 실리사이드 층(408)의 두께 및 전도율을 증가시키기 위해 프로세스 화살표(310)에 의해 개략적으로 도시된 바와 같이 적어도 한번 반복될 수 있다. 컨포멀한 금속 실리사이드 층(408)의 두께는 예를 들어, 약 0.5nm와 약 5nm 사이일 수 있다.
일 실시예에 따라, 프로세스 흐름(300)은 추가로 307에서 컨포멀한 금속층(406) 상에 실리콘 층(410)을 증착하는 것을 포함한다. 이는 도 5a에서 개략적으로 도시된다. 실리콘 층(410)은 기판 물질(200)로부터 실리콘의 소비를 감소 또는 방지하고 측벽 제어를 위해 금속 실리사이드 두께를 부가할 수 있다. 이는 더 두껍거나 다른 금속 실리사이드 물질들의 이용을 가능하게 한다. 실리콘 층(410)은 임의의 종래의 증착 방법 예를 들어, 화학 기상 증착(chemical vapor deposition; CVD), 플라즈마-강화 CVD(plasma-enhanced CVD; PECVD), ALD, 또는 플라즈마-강화 ALD(plasma-enhanced ALD; PEALD)를 이용하여 증착될 수 있다. 실리콘 층(410)은 패터닝된 기판(50)의 지형 위에 컨포멀하게 증착될 수 있다. 실리콘 층(410)의 두께는 약 0.5nm와 약 10nm 사이 또는 그 초과일 수 있다. 예를 들어, 실리콘 층(410)의 두께는 약 0.5nm와 약 1nm 사이, 약 1nm와 약 3nm 사이, 약 3nm와 약 5nm 사이, 또는 약 5nm와 약 10nm 사이일 수 있다.
307의 실리콘 증착에 이어, 기판은 위에서 설명된 바와 같이, 308에서 어닐링될 수 있다. 308의 프로세싱 조건들은 금속 층(406)이 실리콘 층(410)과 효율적으로 반응하고 도 5b에서 개략적으로 도시된 컨포멀한 금속 실리사이드 층(412)을 형성하도록 선택될 수 있다. 금속 실리사이드 층(412)은 티타늄 실리사이드(예를 들어, TiSix), 몰리브덴 실리사이드(예를 들어, MoSix), 텅스텐 실리사이드(WSix), 탄탈륨 실리사이드(예를 들어, TaSix) 또는 바나듐 실리사이드(VSix), 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제 2 기판 온도는 약 450℃와 약 700℃ 사이일 수 있다. 일 실시예에 따라, 제 3 기판 온도(어닐링 온도)는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다. 어닐링 동안 프로세스 챔버에서 어닐링 가스(예를 들어, Ar 또는 N2)의 압력은 약 0.1Torr와 약 5Torr 사이일 수 있고 어닐링 시간은 약 1초와 500초 사이일 수 있다. 그러나 다른 가스 압력들 및 어닐링 시간들이 이용될 수 있다.
도 6은 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하기 위한 방법의 흐름도(600)이고, 도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 실시예에 따라 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하기 위한 프로세스 흐름의 개략적 단면도들을 도시한다. 방법은 602에서 프로세스 챔버에 기판을 제공하는 것을 포함한다. 도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따라 패터닝된 기판(70)의 대략적 단면도를 도시한다. 패터닝된 기판(70)은 기판 물질(200)에 형성되는 트랜치(202)를 포함한다. 기판 물질(200) 및 트랜치(202)의 예들은 위에서 설명되었다.
604에서, 패터닝된 기판(70)은 플라즈마 없이 금속-함유 전구체를 포함하는 증착 가스에 제 1 기판 온도로 열적으로 노출된다. 금속-함유 전구체는 Ti, Mo, W, Ta, 또는 V, 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함할 수 있다. 그러나 본 발명의 몇몇 실시예들은 이들 금속 원소들로 제한되지 않고, 다른 금속 원소들이 원소의 주기율표로부터 선택될 수 있다. 금속 전구체는 금속 할로겐화물(예를 들어, 티타늄 할로겐화물, 몰리브덴 할로겐화물, 텅스텐 할로겐화물, 탄탈륨 할로겐화물, 바나듐 할로겐화물, 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물)을 포함할 수 있다. 몇몇 예들에서, 증착 가스는 금속 전구체 가스 및 불활성 가스(예를 들어, 비활성 가스)로 구성될 수 있다. 비-제한적인 예들은 TiCl4 및 아르곤(Ar), TaCl5 및 Ar, 또는 WCl6 및 Ar을 포함한다.
증착 가스로의 패터닝된 기판(70)의 열적 노출은 트랜치(202)의 측벽 및 하부 상을 비롯해서, 자기-제한적인 프로세스에서 패터닝된 기판(70)의 지형 위에 컨포멀한 금속-함유 층(704)을 형성한다. 이는 도 7b에서 개략적으로 도시된다. 컨포멀한 금속-함유 층(704)의 두께는 대략 1 모노층 정도 또는 그 미만일 수 있다. 일 예에서, TiCl4 가스의 노출은 기판 상에 흡수된 TiCl4의 층을 형성한다. 예를 들어, 제 1 기판 온도는 약 25℃와 약 650℃ 사이, 예를 들어, 25℃와 약 200℃ 사이, 약 200℃와 약 450℃ 사이, 또는 약 450℃와 약 700℃ 사이일 수 있다. 일 실시예에 따라, 제 1 기판 온도는 약 450℃ 또는 그 미만일 수 있다 . 다른 실시예에 따라, 제 1 기판 온도는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다. 가스 노출 동안 프로세스 챔버의 가스 압력은 약 0.1 Torr와 약 5 Torr 사이일 수 있고, 가스 노출 시간은 약 1초와 약 10초 사이일 수 있다. 그러나 다른 가스 압력들 및 노출 시간들이 이용될 수 있다.
604의 노출에 이어, 프로세스 챔버는 프로세스 챔버로부터 증착 가스 및 임의의 반응 부산물들을 제거하기 위해 Ar 또는 질소(N2)를 이용하여 세척될 수 있다.
그 후, 606에서, 컨포멀한 금속-함유층(704)을 포함하는 기판은 개질된 금속-함유 층(706)을 형성하기 위해 비활성 가스(예를 들어, Ar)로 구성되거나 이를 포함하는 플라즈마에 제 2 기판 온도로 노출된다. 개질된 금속-함유 층(706)은 개략적으로 도 7c에서 도시된다. 606의 플라즈마 노출은 금속-함유 층(704)의 흡수된 종들을 부분적으로 분리(dissociate)한다. 일 예에서, 플라즈마 노출은 흡수된 TiCl4를 분리하고 기판 상에 흡수된 TiClx (x<4) 종들을 형성한다.
예를 들어, 606의 플라즈마 노출은 약 25℃와 약 650℃ 사이, 예를 들어, 약 25℃와 약 200℃ 사이, 약 200℃와 약 450℃ 사이, 또는 약 450℃와 약 700℃ 사이의 제 2 기판 온도를 활용할 수 있다. 일 실시예에 따라, 제 2 기판 온도는 약 450℃ 또는 그 미만일 수 있다 . 다른 실시예에 따라, 제 2 기판 온도는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다. 플라즈마 노출 동안 프로세스 챔버의 가스 압력은 약 0.1 Torr와 약 5 Torr 사이일 수 있고, 플라즈마 노출 시간은 약 10초와 약 500초 사이일 수 있다. 그러나 다른 가스 압력들 및 플라즈마 노출 시간들이 이용될 수 있다.
606의 플라즈마 노출에 이어, 프로세스 챔버는 프로세스 챔버로부터 임의의 반응 부산물들을 제거하기 위해 Ar 또는 질소(N2)를 이용하여 세척될 수 있다.
그 후, 608에서, 개질된 금속-함유 층(706)(예를 들어, 흡수된 TiClx (x<4)의 층)이 플라즈마 없이 환원성 가스에 제 3 기판 온도로 노출된다. 환원성 가스는 수소-함유 가스(예를 들어, H2), 실리콘-수소-함유 가스(예를 들어, SiH4), 붕소-수소 함유 가스(예를 들어, B2H6), 또는 이들의 결합을 포함할 수 있다. 환원성 가스는 비활성 가스와 같은 불활성 가스를 더 포함할 수 있다. 환원성 가스로의 개질된 금속-함유 층(706)의 노출은 도 7d에서 도시된 컨포멀한 금속 실리사이드 층(708)을 형성하기 위해, 후속적으로 기판 물질(200)의 Si와 반응할 수 있는 대응하는 금속(예를 들어, Ti 금속)으로 개질된 금속-함유 층(706)을 화학적으로 환원시킨다. 따라서 일 실시예에 따라, 제 3 온도는 환원된 금속이 기판 물질과 효율적으로 반응하고 금속 실리사이드를 형성하기에 충분히 높다. 다른 실시예에 따라, 제 3 기판 온도보다 높은 제 4 기판 온도의 어닐링은 금속이 기판 물질과 반응하고 금속 실리사이드를 형성하기 위해 필요할 수 있다. 금속 실리사이드 층(708)은 티타늄 실리사이드(예를 들어, TiSix), 몰리브덴 실리사이드(예를 들어, MoSix), 텅스텐 실리사이드(WSix), 탄탈륨 실리사이드(예를 들어, TaSix) 또는 바나듐 실리사이드(VSix), 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함할 수 있다.
608의 프로세싱 조건들은 컨포멀한 금속-함유 층(704)을 효율적으로 환원시키고 컨포멀한 금속 실리사이드 층(206)을 형성하도록 선택될 수 있다. 예를 들어, 제 2 기판 온도는 약 200℃ 내지 약 700℃ 사이, 예를 들어, 200℃와 약 450℃ 사이, 또는 약 450℃와 약 700℃ 사이일 수 있다. 일 실시예에 따라, 제 2 기판 온도는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다. 환원성 가스로의 노출 동안 프로세스 챔버의 가스 압력은 약 0.1 Torr와 약 5 Torr 사이일 수 있고, 노출 시간은 약 1초와 약 10초 사이일 수 있다. 그러나 다른 가스 압력들 및 노출 시간들이 이용될 수 있다.
일 예에서, 제 1, 제 2 및 제 3 기판 온도는 동일하거나 대략 동일할 수 있다. 다른 예에서, 제 1, 제 2 및 제 3 기판 온도들 중 적어도 하나는 상이할 수 있다. 일 실시예에 따라, 양자의 제 1 기판 온도는 약 450℃ 미만일 수 있고 제 3 기판 온도는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다. 일 실시예에 따라, 양자의 제 1 및 제 3 기판 온도는 약 450℃와 약 650℃ 사이일 수 있다.
606의 플라즈마 노출이 이방성일지라도, 604의 증착 가스로의 열적 노출 및 608의 환원성 가스로의 노출은 둘 다 등방성이며, 이에 따라 결과적인 금속층(406)은 패터닝된 기판(70)의 지형 위에 높은 정도의 컨포멀성(conformality)을 갖는다. 이는 기판 내의 단순 및 복잡한 딥 피처들 둘 다 위에 금속 실리사이드 층(708)의 실질적으로 컨포멀한 형성을 허용한다.
608의 환원성 가스로의 노출에 이어, 프로세스 챔버는 프로세스 챔버로부터의 증착 가스 및 임의의 반응 부산물들을 제거하기 위해 Ar 또는 질소(N2)를 이용하여 세척될 수 있다.
프로세싱 단계들(604 내지 608)은 컨포멀한 금속 실리사이드 층(708)의 두께 및 전도율을 증가시키기 위해 프로세스 화살표(610)에 의해 개략적으로 도시된 바와 같이 적어도 한번 반복될 수 있다. 컨포멀한 금속 실리사이드 층(708)의 두께는 예를 들어, 약 0.5nm와 약 5nm 사이일 수 있다.
단계(604)가 반복될 때, 금속 실리사이드 층(708)은 플라즈마 없이 금속-함유 전구체를 포함하는 증착 가스에 열적으로 노출된다. 일 예로서 TiCl4를 이용하면, Ti 금속층을 TiCl4에 노출시키는 것이 Ti 금속층을 에칭하지만, 발명자들은, 604에서의 TiCl4를 포함하는 증착 가스로의 티타늄 실리사이드 층의 열적 노출이 티타늄 실리사이드 층을 에칭하는 것이 아니라 티타늄 실리사이드 층 상의 TiCl2의 흡수된 층의 형성을 허용한다는 것을 알았다.
컨포멀한 금속 실리사이드 층들을 형성하는 방법들을 위한 복수의 실시예들이 설명되었다. 방법은 기판에 에칭된 단순 및 복잡한 딥 피처들에 증차기 어려운 금속 실리사이드 층들의 매우 필요한 컨포멀한 증착을 제공한다. 본 발명의 실시예들의 위의 설명은 예시 및 설명을 위해 제시되었다. 개시된 바로 그 형태들로 본 발명을 제한하거나 총망라하는 것으로의 의도되는 것은 아니다. 이 설명 및 이어지는 청구항들은 설명 목적만을 위해 이용되는 용어들을 포함하며, 제한하는 것으로서 해석되지 않는다. 예를 들어, 본 명세서에서(청구범위를 포함함) 이용되는 바와 같이 "~ 상의" 란 용어는 기판 "상의" 막이 기판과 바로 접촉하며 바로 위에 있을 것을 요구하는 것은 아니며; 달리 특정되지 않으면 막과 기판 사이에 제 2 막 또는 다른 구조가 있을 수 있다.
관련 분야의 숙련자들은 다수의 변형들 및 변동들이 위의 교시의 견지에서 가능하다는 것을 인지할 수 있다. 당업자들은 도면들에서 도시된 다양한 컴포넌트들에 대한 다양한 등가의 결합들 및 교체들을 인지할 것이다. 그러므로 본 발명의 범위는 이 상세한 설명에 의해서가 아니라, 오히려 본 명세서에 첨부된 청구범위에 의해서 제한되도록 의도된다.

Claims (22)

  1. 기판 상에 금속 실리사이드 층을 형성하는 방법에 있어서,
    a) 프로세스 챔버에 기판을 제공하는 단계;
    b) 금속 전구체(metal precursor)를 포함하는 증착 가스로부터 생성된 플라즈마에 제 1 기판 온도로 상기 기판을 노출시키는 단계로서, 상기 플라즈마 노출은 자기-제한적 프로세스(self-limiting process)에서 상기 기판 상에 컨포멀한 금속-함유 층(conformal metal-containing layer)을 형성하는 것인, 상기 노출시키는 단계; 및
    c) 플라즈마 없이 환원성 가스에 제 2 기판 온도로 금속-함유층을 노출시키는 단계를 포함하고,
    상기 단계 b) 및 c)는 금속 실리사이드 층을 형성하기 위해 적어도 한번 교번적으로 수행되고, 상기 증착 가스는 상기 환원성 가스를 포함하지 않는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 층을 형성하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 금속 전구체는 티타늄 할로겐화물, 몰리브덴 할로겐화물, 텅스텐 할로겐화물, 탄탈륨 할로겐화물, 또는 바나듐 할로겐화물, 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함하는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 층을 형성하는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 금속 실리사이드 층은 티타늄 실리사이드, 몰리브덴 실리사이드, 텅스텐 실리사이드, 탄탈륨 실리사이드, 또는 바나듐 실리사이드, 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함하는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 층을 형성하는 방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 금속 실리사이드 층은 상기 기판에 형성되는 딥 트랜치(deep trench)의 표면들 위에 컨포멀하게(conformally) 증착되는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 층을 형성하는 방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 딥 트랜치는 50nm와 100nm 사이의 폭, 2000nm와 5000nm 사이의 깊이, 및 40:1과 100:1 사이의 종횡비를 갖는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 층을 형성하는 방법.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 금속 전구체는 티타늄 할로겐화물을 포함하고, 상기 환원성 가스는 H2를 포함하고, 상기 금속 실리사이드 층은 티타늄 실리사이드를 포함하는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 층을 형성하는 방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 기판 온도는 450℃와 650℃ 사이인 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 층을 형성하는 방법.
  8. 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법에 있어서,
    a) 프로세스 챔버에 기판을 제공하는 단계;
    b) 금속 전구체(metal precursor)를 포함하는 증착 가스로부터 생성된 플라즈마에 제 1 기판 온도로 상기 기판을 노출시키는 단계로서, 상기 플라즈마 노출은 자기-제한적 프로세스(self-limiting process)에서 상기 기판 상에 컨포멀한 금속-함유 층(conformal metal-containing layer)을 증착하는 것인, 상기 노출시키는 단계;
    c) 플라즈마 없이 환원성 가스에 제 2 기판 온도로 금속-함유층을 노출시키는 단계로서, 상기 단계 b) 및 c)는 상기 기판 상에 금속 막을 형성하기 위해 적어도 한번 교번적으로 수행되고, 상기 증착 가스는 상기 환원성 가스를 포함하지 않는 것인, 상기 노출시키는 단계; 및
    d) 상기 금속 실리사이드 막을 형성하기 위해 제 3 기판 온도로 상기 기판을 어닐링하는 단계를 포함하고 상기 제 3 기판 온도는 상기 제 2 기판 온도보다 높은 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 단계 d)는, 상기 어닐링하는 단계 이전에 상기 금속 막 상에 실리콘을 증착하는 단계를 더 포함하는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 증착 가스는 티타늄 할로겐화물, 몰리브덴 할로겐화물, 텅스텐 할로겐화물, 탄탈륨 할로겐화물, 또는 바나듐 할로겐화물, 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함하는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  11. 제 8 항에 있어서, 상기 금속 실리사이드 막은 티타늄 실리사이드, 몰리브덴 실리사이드, 텅스텐 실리사이드, 탄탈륨 실리사이드, 또는 바나듐 실리사이드, 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함하는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  12. 제 8 항에 있어서, 상기 금속 실리사이드 막은 상기 기판에 형성되는 딥 트랜치(deep trench)의 표면들 위에 컨포멀하게(conformally) 증착되는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 딥 트랜치는 50nm와 100nm 사이의 폭, 2000nm와 5000nm 사이의 깊이, 및 40:1과 100:1 사이의 종횡비를 갖는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 층을 형성하는 방법.
  14. 제 8 항에 있어서, 상기 금속 전구체는 티타늄 할로겐화물을 포함하고, 상기 환원성 가스는 H2를 포함하고, 상기 금속 실리사이드 층은 티타늄 실리사이드를 포함하는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 기판 온도는 450℃ 미만인 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  16. 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법에 있어서,
    a) 프로세스 챔버에 기판을 제공하는 단계;
    b) 플라즈마 없이 금속 전구체(metal precursor)를 포함하는 증착 가스에 제 1 기판 온도로 상기 기판을 열적으로 노출시키는 단계로서, 상기 열적 노출은 자기-제한적 프로세스(self-limiting process)에서 상기 기판 상에 컨포멀한 금속-함유 층(conformal metal-containing layer)을 형성하는 것인, 상기 노출시키는 단계;
    c) 비활성 가스(noble gas)를 포함하는 플라즈마로의 노출에 의해 제 2 기판 온도로 금속-함유층을 개질시키는 단계; 및
    d) 플라즈마 없이 환원성 가스에 제 2 기판 온도로 상기 개질된 금속-함유층을 노출시키는 단계를 포함하고, 상기 단계 b) 내지 d)는 상기 금속 실리사이드 막을 형성하기 위해 적어도 한번 순차적으로 그리고 교번적으로 수행되는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 증착 가스는 티타늄 할로겐화물, 몰리브덴 할로겐화물, 텅스텐 할로겐화물, 탄탈륨 할로겐화물, 또는 바나듐 할로겐화물, 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함하는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  18. 제 16 항에 있어서, 상기 금속 실리사이드 막은 티타늄 실리사이드, 몰리브덴 실리사이드, 텅스텐 실리사이드, 탄탈륨 실리사이드, 또는 바나듐 실리사이드, 또는 이들 중 2개 이상의 혼합물을 포함하는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  19. 제 16 항에 있어서, 상기 금속 실리사이드 막은 상기 기판에 형성되는 딥 트랜치(deep trench)의 표면들 위에 컨포멀하게(conformally) 증착되는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  20. 제 19 항에 있어서, 상기 딥 트랜치는 50nm와 100nm 사이의 폭, 2000nm와 5000nm 사이의 깊이, 및 40:1과 100:1 사이의 종횡비를 갖는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 층을 형성하는 방법.
  21. 제 16 항에 있어서, 상기 금속 전구체는 티타늄 할로겐화물을 포함하고, 상기 환원성 가스는 H2를 포함하고, 상기 금속 실리사이드 층은 티타늄 실리사이드를 포함하는 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
  22. 제 21 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 기판 온도는 450℃와 650℃ 사이인 것인, 기판 상에 금속 실리사이드 막을 형성하는 방법.
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