KR101567164B1 - 데이터 변환 방법, 묘화 시스템 및 기록 매체 - Google Patents

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Abstract

데이터 변환 장치에서는, 계층화된 입력 데이터를 출력 데이터로 데이터 변환할 때에, 입력 데이터가 나타내는 패턴인 친도형에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 캐시화한 경우의 데이터 변환의 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율과, 제1 참조 도형 요소에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 캐시화한 경우의 데이터 변환의 효율 향상의 정도를 나타내는 제2 캐시 효율이 비교된다. 그리고, 데이터 변환의 효율 향상의 정도가 큰 쪽의 참조 도형 요소가 캐시화된 후, 캐시화된 참조 도형 요소의 참조 런 렝스를 이용하여, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 데이터 변환이 행해진다. 이에 따라, 데이터 변환의 효율 향상에 의해 적합한 참조 도형 요소를 캐시화할 수 있다. 그 결과, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 데이터 변환의 효율을 적절하게 향상시킬 수 있다.

Description

데이터 변환 방법, 묘화 시스템 및 기록 매체{DATA CONVERSION METHOD, DRAWING SYSTEM, AND PROGRAM}
본 발명은, 복수의 도형 요소를 나타내는 계층화된 입력 데이터를 런 렝스 데이터인 출력 데이터로 변환하는 기술에 관한 것이다.
종래부터, 반도체 기판이나 프린트 기판, 혹은, 플라즈마 표시 장치나 액정 표시 장치용의 유리 기판 등(이하, 「기판」이라고 한다)에 형성된 감광 재료에 광을 조사함으로써, 패턴의 묘화가 행해지고 있다. 최근, 패턴의 고세밀화에 따라, 감광 재료 상에서 광 빔을 주사하여 패턴을 직접 묘화하는 패턴 묘화 장치가 이용되고 있다.
이러한 패턴은, 설계 단계에서는 통상, CAD 데이터 등의 벡터 데이터에 의해 표현되어 있고, 패턴 묘화 장치에 의한 패턴의 묘화에 있어서, 당해 벡터 데이터를, 패턴 묘화 장치가 이용가능한 런 렝스 데이터 등의 래스터 데이터로 변환하는 처리(RIP: Raster Image Processing)가 행해진다. 패턴 묘화 장치에서는, 데이터 변환에 필요로 하는 시간을 단축하는 것이 요구되고 있다.
예를 들면, 일본국 특허공개 2010-80777호 공보(문헌 1)에서는, 묘화 패턴에 반복하여 나타나는 정형 패턴을 추출하여 노광용 정형 래스터 데이터를 생성해 두고, 노광 장치에 의한 노광 동작 시에, 고유 패턴의 패턴 데이터를 고유 래스터 데이터로 변환함과 더불어, 노광용 정형 래스터 데이터를 고유의 래스터 데이터와 합성함으로써, 노광 래스터 데이터를 생성하는 기술이 제안되어 있다.
일본국 특허공개 2008-225187호 공보(문헌 2)에서도 마찬가지로, 벡터 형식의 설계 데이터를 래스터화할 때에, 설계 데이터에 있어서 반복 기술되는 구성 요소인 부품을 추출하여, 1종의 부품에 대하여 1개만을 래스터화하여 부품 래스터 데이터로 변환하는 기술이 제안되어 있다. 문헌 2에서는, 또한, 멀티 헤드의 묘화 장치에 있어서, 전체의 래스터 데이터로부터 각 기록 헤드마다 래스터 데이터를 작성할 때에, 부품과 레이아웃 정보를 가지는 방법과, 레이아웃 정보에 따라 부품을 배열하여 합성하는 방법의 데이터량을 추측 및 비교하여, 어떠한 방법을 선택할지를 판단하는 기술도 제안되어 있다.
일본국 특허공개 2007-208057호 공보(문헌 3)에서는, 입력 데이터에 포함되는 도형 데이터 요소에 대하여, 직사각형 분할 처리가 행해진 처리 완료 데이터 요소의 데이터 베이스를 검색하여, 대응하는 처리 완료 데이터 요소가 검출된 경우는 당해 처리 완료 데이터 요소를 출력 데이터에 포함시키고, 검출되지 않은 경우는, 도형 데이터 요소에 직사각형 분할 처리를 행하여 처리 완료 데이터 요소를 생성하여 출력 데이터에 포함시키는 방법이 제안되어 있다.
그런데, 패턴의 벡터 데이터는, 통상, 계층 구조를 가지는 데이터 블록의 집합으로서 표현된다. 각 데이터 블록은, 1개 이상의 도형 요소나 다른 데이터 블록이 나타내는 도형 요소를 참조하기 위한 정보를 포함한다. 상술의 문헌 1 내지 문헌 3에서 제안되는 기술에서는, 이러한 벡터 데이터를 래스터 데이터로 변환할 때에, 반복 출현하는 데이터 블록을 1회만 래스터화하여 참조 래스터 데이터를 작성해 두고(즉, 캐시화해 두고), 동종의 데이터 블록에 대해서는, 참조 래스터 데이터를 사용하게 된다.
그러나, 반복 출현하는 데이터 블록이 계층 구조를 가지는 경우, 1의 데이터 블록을 캐시화했을 때에 데이터 변환에 요하는 시간이, 당해 데이터 블록이 참조하고 있는 데이터 블록을 캐시화했을 때에 데이터 변환에 요하는 시간보다도 길어져 버릴 가능성이 있다. 바꾸어 말하면, 계층 구조의 어느 계층에서 캐시화를 행할지에 따라 데이터 변환 효율이 변화된다.
본 발명은, 복수의 도형 요소를 나타내는 계층화된 입력 데이터를 런 렝스 데이터인 출력 데이터로 변환하는 데이터 변환 방법에 적합하다. 본 발명은, 기판 상에 패턴을 묘화하는 묘화 시스템에도 적합하다. 본 발명은, 복수의 도형 요소 벡터 데이터인 입력 데이터를 런 렝스 데이터인 출력 데이터로 변환하는 프로그램을 기록하는 기록 매체에도 적합하다. 본 발명은, 데이터 변환 효율을 향상시키는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관련된 하나의 데이터 변환 방법은, a) 친(親)도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과, b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과, c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작은 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과, d) 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 구비하고, 상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고, 상기 b) 공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해진다. 이에 따라, 데이터 변환 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 관련된 다른 데이터 변환 방법은, a) 친도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환의 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과, b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소 내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과, c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 크고, 또한, 소정의 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작고, 또한, 상기 제2 캐시 효율이 상기 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과, d) 상기 c)공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억된 경우, 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하고, 상기 c)공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억되지 않은 경우, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 구비하고, 상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고, 상기 b) 공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해진다. 이에 따라, 데이터 변환 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 하나의 바람직한 실시의 형태에서는, 상기 제1 참조 런 렝스 및 상기 제2 참조 런 렝스에 있어서 복수의 런 렝스가 각각 길어지는 방향을 제1의 방향으로 하고, 상기 제1의 방향에 수직인 방향을 제2의 방향으로 하고, 상기 제1 특징량이, 상기 제1 참조 도형 요소에 포함되는 도형 요소군의 상기 제2의 방향의 폭의 합계이며, 상기 제2 특징량이, 상기 제2참조 도형 요소에 포함되는 도형 요소군의 상기 제2의 방향의 폭의 합계이다.
본 발명의 다른 바람직한 실시의 형태에서는, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제1 참조 도형 요소가 참조되고, 각 제1 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고, 상기 데이터 변환 방법이, 상기 a) 공정보다도 전에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비한다.
본 발명의 다른 바람직한 실시의 형태에서는, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제2 참조 도형 요소가 참조되고, 각 제2 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고, 상기 데이터 변환 방법이, 상기 b) 공정보다도 전에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비한다.
본 발명에 관련된 하나의 묘화 시스템은, 소정의 데이터 변환 방법에 의해 입력 데이터를 출력 데이터로 변환하는 데이터 변환 장치와, 상기 데이터 변환 장치에 의해 생성된 상기 출력 데이터에 의거하여 기판 상에 패턴을 묘화하는 묘화 장치를 구비하고, 상기 데이터 변환 방법이, a) 친도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환의 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과, b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소 내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과, c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작은 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과, d) 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 구비하고, 상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고, 상기 b) 공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해지고, 상기 묘화 장치가, 상기 기판을 유지하는 기판 유지부와, 상기 기판에 광을 조사하는 광 변조 소자와, 상기 광 변조 소자로부터 이끌어진 광의 상기 기판 상에 있어서의 조사 위치를 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동하는 조사 위치 이동 기구와, 상기 출력 데이터에 의거하여 상기 광 변조 소자로부터의 광의 변조를 제어하는 광 변조 소자 제어부를 구비한다. 이에 따라, 데이터 변환 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 관련된 다른 묘화 시스템은, 소정의 데이터 변환 방법에 의해 입력 데이터를 출력 데이터로 변환하는 데이터 변환 장치와, 상기 데이터 변환 장치에 의해 생성된 상기 출력 데이터에 의거하여 기판 상에 패턴을 묘화하는 묘화 장치를 구비하고, 상기 데이터 변환 방법이, a) 친도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환의 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과, b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소 내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과, c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 크고, 또한, 소정의 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작고, 또한, 상기 제2 캐시 효율이 상기 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과, d) 상기 c) 공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억된 경우, 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하고, 상기 c)공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억되지 않은 경우, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 구비하고, 상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고, 상기 b)공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해지고, 상기 묘화 장치가, 상기 기판을 유지하는 기판 유지부와, 상기 기판에 광을 조사하는 광 변조 소자와, 상기 광 변조 소자로부터 이끌어진 광의 상기 기판 상에 있어서의 조사 위치를 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동하는 조사 위치 이동 기구와, 상기 출력 데이터에 의거하여 상기 광 변조 소자로부터의 광의 변조를 제어하는 광 변조 소자 제어부를 구비한다. 이에 따라, 데이터 변환 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 관련된 하나의 기록 매체에 기록되는 상기 프로그램 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, a) 친도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과, b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소 내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과, c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작은 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과, d) 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 실행시키고, 상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고, 상기 b) 공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해진다. 이에 따라, 데이터 변환 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 관련된 다른 기록 매체에 기록되는 상기 프로그램의 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, a) 친도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과, b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소 내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과, c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 크고, 또한, 소정의 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작고, 또한, 상기 제2 캐시 효율이 상기 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과, d) 상기 c) 공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억된 경우, 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하고, 상기 c) 공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억되지 않은 경우, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 실행시키고, 상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고, 상기 b) 공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해진다. 이에 따라, 데이터 변환 효율을 향상시킬 수 있다.
상술의 목적 및 다른 목적, 특징, 양태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 행하는 본 발명의 상세한 설명에 의해 명확해진다.
도 1은 일실시 형태에 관련된 묘화 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 묘화 장치의 측면도이다.
도 3은 묘화 장치의 평면도이다.
도 4는 공간 광 변조기를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 5a는 광 변조 소자의 단면을 나타내는 도면이다.
도 5b는 광 변조 소자의 단면을 나타내는 도면이다.
도 6은 데이터 변환 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 7a는 데이터 변환의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 7b는 데이터 변환의 흐름의 일부를 나타내는 도면이다.
도 8은 친도형을 나타내는 도면이다.
도 9는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 도면이다.
도 10은 제2 참조 도형 요소를 나타내는 도면이다.
도 11은 친도형을 나타내는 개념도이다.
도 12는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 개념도이다.
도 13은 제1 참조 도형 요소를 나타내는 도면이다.
도 14는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 도면이다.
도 15는 친도형을 나타내는 도면이다.
도 16은 처리 시간을 나타내는 도면이다.
도 17은 친도형을 나타내는 도면이다.
도 18은 친도형을 나타내는 개념도이다.
도 19는 도형 요소를 나타내는 도면이다.
도 20은 도형 요소를 나타내는 도면이다.
도 21은 제1 참조 도형 요소를 나타내는 개념도이다.
도 22는 데이터 변환의 흐름의 일부를 나타내는 도면이다.
도 23은 친도형을 나타내는 개념도이다.
도 24는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 개념도이다.
도 25는 처리 시간을 나타내는 도면이다.
도 26은 데이터 변환의 흐름의 일부를 나타내는 도면이다.
도 27은 데이터 변환의 흐름의 일부를 나타내는 도면이다.
도 1은, 본 발명의 일실시 형태에 관련된 묘화 시스템(100)의 구성을 나타내는 도면이다. 묘화 시스템(100)은, 액정 표시 장치용의 유리 기판 (이하, 간단히 「기판」이라고 한다) 상의 감광 재료에 광을 이용하여 패턴을 묘화하는 시스템이다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 묘화 시스템(100)은, 데이터 변환 장치(7)와, 묘화 장치(1)를 구비한다. 데이터 변환 장치(7)는, 패턴을 나타내는 벡터 데이터인 입력 데이터를, 런 렝스 데이터인 출력 데이터로 변환한다(즉, 래스터화를 행한다). 묘화 장치(1)는, 데이터 변환 장치(7)에 의해 생성된 출력 데이터에 의거하여, 기판 상에 패턴을 묘화한다. 도 1에서는, 데이터 변환 장치(7)의 각 기능도 함께 나타내고 있다. 이하에서는, 묘화 장치(1)에 대하여 설명한 후, 데이터 변환 장치(7) 및 데이터 변환 장치(7)에서 취급되는 데이터에 대하여 설명한다.
도 2 및 도 3은 각각, 묘화 장치(1)의 측면도 및 평면도이다. 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 묘화 장치(1)는, 유지부 이동 기구(2)와, 기판 유지부(3)와, 광 조사부(4)와, 프레임(12)을 구비한다. 기판 유지부(3)는, (+Z)측의 주면(91)(이하, 「상면(91)」이라고 한다) 상에 감광 재료의 층이 형성된 기판(9)을 유지한다. 유지부 이동 기구(2)는, 기대(11) 상에 설치되고, 기판 유지부(3)를 Z방향에 수직인 X방향 및 Y방향으로 이동한다. 프레임(12)은, 기판 유지부(3) 및 유지부 이동 기구(2)를 타넘도록 기대(11)에 고정된다. 광 조사부(4)는, 프레임(12)에 부착되고, 기판(9) 상의 감광 재료에 변조된 광을 조사한다. 또한, 묘화 장치(1)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 유지부 이동 기구(2)나 광 조사부(4) 등의 각 구성을 제어하는 제어부(6)를 구비한다.
도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 기판 유지부(3)는, 스테이지(31)와, 스테이지 회전 기구(32)와, 지지 플레이트(33)를 구비한다. 기판(9)은, 스테이지(31) 상에 재치된다. 지지 플레이트(33)는, 스테이지(31)를 회전가능하게 지지한다. 스테이지 회전 기구(32)는, 지지 플레이트(33) 상에 있어서, 기판(9)의 상면(91)에 수직인 회전축(321)을 중심으로 하여 스테이지(31)를 회전한다.
유지부 이동 기구(2)는, 부주사 기구(23)와, 베이스 플레이트(24)와, 주주사 기구(25)를 구비한다. 부주사 기구(23)는, 기판 유지부(3)를 도 2 및 도 3 중의 X방향(이하, 「부주사 방향」이라고 한다)으로 이동한다. 베이스 플레이트(24)는, 부주사 기구(23)를 통하여 지지 플레이트(33)를 지지한다. 주주사 기구(25)는, 기판 유지부(3)를 베이스 플레이트(24)와 함께 X방향에 수직인 Y방향(이하, 「주주사 방향」이라고 한다)으로 이동한다. 묘화 장치(1)에서는, 유지부 이동 기구(2)에 의해, 기판(9)의 상면(91)에 평행한 주주사 방향 및 부주사 방향으로 기판 유지부(3)가 이동된다.
도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 부주사 기구(23)는, 리니어 모터(231)와, 1쌍의 리니어 가이드(232)를 구비한다. 리니어 모터(231)는, 지지 플레이트(33)의 하측(즉, (-Z)측)에 있어서, 스테이지(31)의 주면에 평행하고, 또한, 주주사 방향에 수직인 부주사 방향으로 신장된다. 1쌍의 리니어 가이드(232)는, 리니어 모터(231)의 (+Y)측 및 (-Y)측에 있어서 부주사 방향으로 신장된다. 주주사 기구(25)는, 리니어 모터(251)와, 1쌍의 에어 슬라이더(252)를 구비한다. 리니어 모터(251)는, 베이스 플레이트(24)의 하측에 있어서, 스테이지(31)의 주면에 평행한 주주사 방향으로 신장된다. 1쌍의 에어 슬라이더(252)는, 리니어 모터(251)의 (+X)측 및 (-X)측에 있어서 주주사 방향으로 신장된다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 광 조사부(4)는, 부주사 방향을 따라 등피치로 배열되어 프레임(12)에 부착되는 복수(본 실시의 형태에서는, 8개)의 광학 헤드(41)를 구비한다. 또한, 광 조사부(4)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 각 광학 헤드(41)에 접속되는 광원 광학계(42) 및 자외광을 출사하는 UV 광원(43) 및 광원 구동부(44)를 구비한다. UV 광원(43)은 고체 레이저이다. 광원 구동부(44)가 구동됨으로써, UV 광원(43)으로부터 파장 355nm의 자외광이 출사되어, 광원 광학계(42)를 통하여 광학 헤드(41)로 이끌어진다.
각 광학 헤드(41)는, 출사부(45)와, 광학계(451, 47)와, 공간 광 변조기(46)를 구비한다. 출사부(45)는, UV 광원(43)으로부터의 광을 하방을 향해서 출사한다. 광학계(451)는, 출사부(45)로부터의 광을 반사하여 공간 광 변조기(46)로 이끈다. 공간 광 변조기(46)는, 광학계(451)를 통하여 조사된 출사부(45)로부터의 광을 변조하면서 반사한다. 광학계(47)는, 공간 광 변조기(46)로부터의 변조된 광을, 기판(9)의 상면(91)에 설치된 감광 재료 상으로 이끈다.
도 4는, 공간 광 변조기(46)를 확대하여 나타내는 도면이다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 공간 광 변조기(46)는, 출사부(45)를 통하여 조사된 UV 광원(43)(도 2 참조)으로부터의 광을 기판(9)의 상면(91)으로 이끄는 회절 격자형의 복수의 광 변조 소자(461)를 구비한다. 광 변조 소자(461)는 반도체 장치 제조 기술을 이용하여 제조되고, 격자의 깊이를 변경할 수 있는 회절 격자로 되어 있다. 광 변조 소자(461)에는 복수의 가요 리본(461a) 및 복수의 고정 리본(46lb)이 교호로 평행하게 배열 형성되고, 복수의 가요 리본(461a)은 배후의 기준면에 대하여 개별로 승강 이동 가능하게 되고, 복수의 고정 리본(46lb)은 기준면에 대하여 고정된다. 회절 격자형의 광 변조 소자로는, 예를 들면, GLV(Grating Light Valve: 그레이팅·라이트·밸브)(실리콘·라이트·머신즈(써니베일, 캘리포니아)의 등록 상표)이 알려져 있다.
도 5a 및 도 5b는, 가요 리본(461a) 및 고정 리본(461b)에 대하여 수직인 면에 있어서의 광 변조 소자(461)의 단면을 도시하는 도면이다. 도 5a에 도시하는 바와 같이 가요 리본(461a) 및 고정 리본(461b)이 기준면(461c)에 대하여 동일한 높이에 위치하는 (즉, 가요 리본(461a)이 휘어지지 않는) 경우에는, 광 변조 소자(461)의 표면은 면일하게 되어, 입사광(L1)의 반사광이 0차광(L2)으로서 도출된다. 한편, 도 5b에 도시하는 바와 같이 가요 리본(461a)이 고정 리본(461b)보다도 기준면(461c)측으로 휘어지는 경우에는, 가요 리본(461a)이 회절 격자의 홈 저면이 되고, 입사광(L1)이 입사한 광 변조 소자(461)로부터 1차 회절광(L3)(또한, 고차 회절광)이 도출되어, 0차 광은 소멸한다. 이와 같이, 광 변조 소자(461)는 회절 격자를 이용한 광 변조를 행한다.
도 2에 도시하는 광 조사부(4)에서는, UV 광원(43)으로부터의 광이 광원 광학계(42)에 의해 선형상 광(광속 단면이 선형상인 광)으로 되고, 출사부(45)를 통하여 공간 광 변조기(46)의 라인형상으로 배열된 복수의 가요 리본(461a) 및 고정 리본(461b)(도 5a 및 도 5b 참조) 상에 조사된다. 광 변조 소자(461)에서는, 인접하는 각 1개의 가요 리본(461a) 및 고정 리본(461b)을 1개의 리본쌍으로 하면, 3개 이상의 리본쌍이 묘화되는 패턴의 1개의 화소에 대응한다.
광 변조 소자(461)에서는, 각 공간 광 변조기(46)에 접속되는 광 변조 소자 제어부(61)로부터의 신호에 의거하여 패턴의 각 화소에 대응하는 리본쌍의 가요 리본(461a)이 각각 제어되고, 각 화소에 대응하는 리본쌍이 0차광(정반사광)을 출사하는 도 5a에 도시하는 상태와, 비0차 회절광(주로 1차 회절광((+1)차 회절광 및 (-1)차 회절광))을 출사하는 도 5b에 도시하는 상태의 사이에서 천이 가능해진다. 또한, 광 변조 소자(461)는, 가요 리본(461a)이 도 5a에 도시하는 상태와 도 5b에 도시하는 상태 사이의 상태까지 휘어짐으로써, 도 5a에 도시하는 상태보다도 강도가 작은 0차 광을 출사하는 상태로 된다.
광 변조 소자(461)로부터 출사되는 0차 광은 광학계(47)로 이끌어지고, 1차 회절광은 광학계(47)와는 상이한 방향으로 이끌어진다. 또한, 미광이 되는 것을 방지하기 위해서 1차 회절광은 도시를 생략하는 차광부에 의해 차광된다. 광 변조 소자(461)로부터의 0차광은, 광학계(47)를 통하여 기판(9)의 상면(91)으로 이끌어지고, 이에 따라, 기판(9)의 상면(91) 상에 있어서 X방향(즉, 부주사 방향)으로 늘어서는 복수의 조사 위치의 각각에 변조된 광이 조사된다.
도 2 및 도 3에 도시하는 묘화 장치(1)에서는, 유지부 이동 기구(2)의 주주사 기구(25)에 의해 주주사 방향으로 이동되는 기판(9)에 대하여, 광 조사부(4)의 광 변조 소자(461)로부터 변조된 광이 조사된다. 바꾸어 말하면, 주주사 기구(25)는, 광 변조 소자(461)로부터 기판(9)으로 이끌어진 광의 기판(9) 상에 있어서의 조사 위치를, 기판(9)에 대하여 주주사 방향으로 상대적으로 이동하는 조사 위치 이동 기구로 되어 있다. 또한, 묘화 장치(1)에서는, 예를 들면, 기판(9)을 이동하지 않고, 광 변조 소자(461)가 주주사 방향으로 이동함으로써 기판(9) 상의 조사 위치가 주주사 방향으로 이동되어도 된다. 묘화 장치(1)에서는, 기판(9)을 주주사 방향으로 이동하면서, 도 2에 도시하는 제어부(6)의 광 변조 소자 제어부(61)에 의해, 광 변조 소자(461)로부터의 광의 변조가 데이터 변환 장치(7)로부터 묘화 장치(1)로 출력된 출력 데이터에 의거하여 제어됨으로써, 데이터 변환 장치(7)에 입력된 입력 데이터가 나타내는 패턴이 기판(9) 상에 묘화된다.
다음에, 데이터 변환 장치(7)에 대하여 설명한다. 도 6은, 데이터 변환 장치(7)의 구성을 나타내는 도면이다. 데이터 변환 장치(7)는, 통상의 컴퓨터와 마찬가지로, 각종 연산 처리를 행하는 CPU(701), 실행되는 프로그램을 기억하거나 연산 처리의 작업 영역이 되는 RAM(702), 기본 프로그램을 기억하는 ROM(703), 각종 정보를 기억하는 고정 디스크(704), 작업자에게 각종 정보를 표시하는 디스플레이(705), 및, 키보드나 마우스 등의 입력부(706) 등을 접속한 구성으로 되어 있다. 고정 디스크(704) 내에는, 데이터 변환 장치(7)에 의해 실행되는 프로그램(707)이 기억된다. 프로그램(707)은, 기판 상에 묘화되는 예정의 패턴을 나타내는 벡터 데이터인 입력 데이터를, 런 렝스 데이터인 출력 데이터로 변환하는 (즉, 래스터화를 행하는) 프로그램이다.
도 1에서는, 데이터 변환 장치(7)의 CPU(701)(도 6 참조) 등이 프로그램(707)에 따라서 연산 처리 등을 행함으로써(즉, 프로그램(707)이 데이터 변환 장치(7)에 의해 실행됨으로써) 실현되는 기능을 블록으로 나타낸다. 도 1 중의 데이터 접수부(71)와, 도형 요소 합성부(72)와, 캐시 효율 연산부(73)와, 캐시화부(74)와, 캐시 메모리(75)와, 출력 데이터 생성부(76)와, 포맷 변환부(77)와, 데이터 출력부(78)가, CPU(701) 등에 의해 실현되는 기능에 상당한다. 또한, 이들 기능은 복수대 컴퓨터에 의해 실현되어도 된다.
다음에, 도 1에 도시하는 데이터 변환 장치(7)에 의한 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 데이터 변환에 대하여 설명한다. 이하에서는, 먼저, 도형 요소 합성부(72)를 사용하지 않는 데이터 변환에 대하여 설명하고, 그 후, 도형 요소 합성부(72)를 사용하는 데이터 변환에 대하여 설명한다. 도 7a 및 도 7b는, 도형 요소 합성부(72)를 사용하지 않는 데이터 변환의 흐름을 나타내는 도면이다. 데이터 변환 장치(7)에서는, 우선, 도 1에 도시하는 데이터 접수부(71)에 의해 벡터 데이터인 입력 데이터가 접수된다.
도 8은, 입력 데이터에 의해 나타내는 패턴(이하, 「친도형(81)」이라고 한다)을 나타내는 도면이다. 입력 데이터에서는, 소정의 배치 영역(80)에 묘화되는 친도형(81)을 복수의 도형 요소로서 입력한 다음에, 복수의 도형 요소의 각각이 벡터 데이터인 데이터 블록으로서 표현된다. 당해 데이터 블록에는, 대응하는 도형 요소의 형상이나 기판(9) 상에 있어서의 위치를 나타내는 정보, 다른 도형 요소에 대응하는 데이터 블록을 참조하기 위한 정보 등이 포함된다. 실제 데이터 변환 장치(7)에서는, 후술하는 처리가, 입력 데이터에 포함되는 복수의 도형 요소에 대응하는 데이터 블록에 대하여 행해지는데, 이하의 설명에서는, 이해를 용이하게 하기 위해서, 도형 요소 그 자체를 처리의 취급 대상으로서 설명한다. 또한, 실제의 입력 데이터는 통상, 다종류이고 또한 다양한 형상의 다수의 도형 요소를 나타내는 데이터 블록을 포함한다.
친도형(81)은, 2개의 직사각형의 도형 요소(811), 2개의 삼각형의 도형 요소(812)와, 6개의 평행 사변형의 도형 요소(813)와, 1개의 사다리꼴의 도형 요소(814)와, 1개의 마름모꼴의 도형 요소(815)를 포함한다. 합계 12개의 도형 요소(811∼815)는, 4행×3열의 매트릭스형상으로 배열된다. 도형 요소(811∼815)의 최대폭은 서로 동일하고, 「1」이다. 도 8에서는, 각 도형 요소에 평행 사선을 긋는다. 나중에 나오는 다른 동일한 도면에 있어서도, 도형 요소에 평행 사선을 긋는다.
친도형(81)을 나타내는 친도형 데이터 블록에서는, 도 8 중의 좌측으로부터 1열째의 4개의 도형 요소가, 도 9에 도시하는 1개의 제1 참조 도형 요소(82)를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록으로서 참조된다. 제1 참조 도형 요소(82)는, 각 1개의 도형 요소(811, 812)와, 2개의 도형 요소(813)를 포함한다. 또한, 친도형 데이터 블록에서는, 도 8중의 좌측으로부터 2열째의 4개의 도형 요소도, 제1 참조 도형 요소(82)를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록으로서 참조된다.
친도형 데이터 블록에서는, 도 8중의 좌측으로부터 3열째의 도형 요소 중, 하측 2개의 도형 요소(813)가 각각, 도 10에 도시하는 1개의 제2 참조 도형 요소(83)를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록으로서 참조된다. 제2 참조 도형 요소(83)는, 1개의 도형 요소(813)를 포함한다. 제1 참조 도형 요소(82)를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록에서는, 도 9중의 하측 2개의 도형 요소(813)가 각각, 도 10에 나타내는 1개의 제2 참조 도형 요소(83)를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록으로서 참조된다.
또한, 입력 데이터에 있어서의 데이터 블록의 참조에서는, 도형 요소를 확대 또는 축소하여 참조하거나, 회전시켜서 방향을 변경하여 참조하는 경우가 있다. 데이터 변환 장치(7)에서는, 이러한 참조가 행해지는 도형 요소는, 참조 도형 요소로 간주하지 않고, 도형 요소를 그대로의 크기 및 방향에서 참조하는 경우만을 참조 도형 요소로 간주한다. 단, 도형 요소를 회전시킨 참조가 복수 회 반복됨으로써, 원래의 도형 요소와 동일한 방향을 향하는 동일한 크기의 도형 요소는, 참조 도형 요소로 간주한다.
도 11은, 친도형 데이터 블록으로 표시되는 친도형(81)을, 상기 참조 관계를 고려하여 개념적으로 나타내는 도면이다. 친도형(81)은, 2개의 제1 참조 도형 요소(82)와, 2개의 제2 참조 도형 요소(83)와, 각 1개의 도형 요소(814, 815)를 포함한다. 도 12는, 제1 참조 도형 데이터 블록으로 나타내는 제1 참조 도형 요소(82)를, 상기 참조 관계를 고려하여 개념적으로 나타내는 도면이다. 제1 참조 도형 요소(82)는, 2개의 제2 참조 도형 요소(83)와, 각 1개의 도형 요소(811, 812)를 포함한다.
입력 데이터에는, 친도형 데이터 블록, 제1 참조 도형 데이터 블록, 및, 제2 참조 도형 데이터 블록을 각각 나타내는 데이터 블록이 포함된다. 입력 데이터에서는, 친도형 데이터 블록, 제1 참조 도형 데이터 블록 및 제2 참조 도형 데이터 블록이 계층화되어 있다.
도 8에서는, 도면 중의 상측으로부터 하측을 향하는 방향(이하, 「제1의 방향」이라고 한다)이, 도 2 및 도 3에 도시하는 묘화 장치(1)에 있어서의 (+Y)측으로부터 (-Y)측을 향하는 주주사 방향에 대응하고, 도면 중의 좌측으로부터 우측을 향하는 방향(즉, 제1의 방향에 수직인 방향이며, 이하, 「제2의 방향」이라고 한다)이, 묘화 장치(1)에 있어서의 (+X)측으로부터 (-X)측을 향하는 부주사 방향에 대응한다.
입력 데이터가 접수되면, 캐시 효율 연산부(73)(도 1 참조)에 의해, 도 9에 도시하는 제1 참조 도형 요소(82)에 관련된 제1 캐시 효율이 입력 데이터에 의거하여 구해진다(단계 S11). 제1 캐시 효율이란, 제1 참조 도형 요소(82)를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리(75)에 기억해 두고, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 친도형(81) 내의 제1 참조 도형 요소(82)가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 효율 향상의 정도를 나타내는 값이다.
제1 캐시 효율의 산출에서는, 먼저, 친도형 데이터 블록에 있어서의 제1 참조 도형 요소(82)의 참조 횟수가 구해진다(도 7b: 단계 S111). 도 11에 도시하는 바와 같이, 친도형(81)을 나타내는 친도형 데이터 블록에서는, 제1 참조 도형 요소(82)의 참조 횟수는 2회이다. 계속하여, 제1 참조 도형 요소(82)의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량이 구해진다(단계 S112). 제1 특징량은, 제1 참조 도형 요소(82)의 런 렝스화에 요하는 시간이 길어짐에 따라서 커지는 양이다. 예를 들면, 제1 특징량으로서, 제1 참조 도형 요소(82)를 실제로 런 렝스화한 경우의 소요 시간이 이용되어도 된다.
제1 참조 도형 요소(82)를 런 렝스화할 경우에는, 먼저, 도 13에 도시하는 바와 같이, 제1 참조 도형 요소(82)가, 제1의 방향을 향하는 복수의 직선(801)으로 소정폭마다 분할된다. 이에 따라, 제2의 방향으로 배열된 당해 소정폭의 복수의 영역(800)이 설정된다. 직선(801)은, 묘화 장치(1)에 있어서의 주주사 방향에 평행한 직선이며, 이하, 「주사선(801)」이라고 한다. 상기의 소정폭은, 묘화 장치(1)에 있어서의 묘화의 분해능에 의거하여 결정되는 폭이며, 이하, 「단위폭」이라고 한다. 또한, 영역(800)을, 이하, 「단위 영역(800)」이라고 한다.
계속하여, 각 단위 영역(800)에 있어서의 제1 참조 도형 요소(82)의 런 렝스를 나타내는 단위 런 렝스가 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 생성된다. 그리고, 이들 단위 런 렝스와, 대응하는 단위 영역(800)의 위치를 나타내는 데이터가 관련됨으로써, 각각이 제1의 방향으로 연장되는 복수의 런 렝스 집합으로서 제1 참조 도형 요소(82)를 나타내는 제1 참조 런 렝스가 생성된다.
또한, 제1 캐시 효율의 산출에서는, 제1 특징량으로서, 제1 참조 도형 요소(82)의 외접 직시각형의 면적, 제1 참조 도형 요소(82)에 포함되는 도형 요소의 수, 제1 참조 도형 요소(82)에 포함되는 도형 요소의 꼭짓점의 총 수, 또는, 제1 참조 도형 요소(82)에 포함되는 도형 요소군의 제2의 방향의 폭의 합계가 이용되어도 된다. 본 실시의 형태에서는, 제1 특징량으로서, 제1 참조 도형 요소(82)에 포함되는 도형 요소군(즉, 각 1개의 도형 요소(811, 812), 및, 2개의 도형 요소(813))의 제2의 방향의 폭의 합계가 이용된다.
제1 특징량이 구해지면, 제1 특징량에, 단계 S111에서 구해진 제1 참조 도형 요소(82)의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수가 곱해짐으로써, 제1 캐시 효율이 구해진다(단계 S113). 상술한 바와 같이, 참조 횟수는 2회이며, 제1 특징량은, 4개의 도형 요소의 최대폭의 합계인 「4」이므로, 제1 캐시 효율은 「4」가 된다.
제1 캐시 효율이 구해지면, 캐시 효율 연산부(73)에 의해, 제2 참조 도형 요소(83)에 관련된 제2 캐시 효율이 입력 데이터에 의거하여 구해진다(단계 S12). 제2 캐시 효율이란, 제2 참조 도형 요소(83)를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 캐시 메모리(75)에 기억해 두고, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 친도형(81) 및 제1 참조 도형 요소(82) 내의 제2 참조 도형 요소(83)가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 효율 향상의 정도를 나타내는 값이다.
제2 캐시 효율의 산출은, 상술한 제1 캐시 효율의 산출과 거의 같다. 제2 캐시 효율의 산출에서는, 먼저, 친도형 데이터 블록 및 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 제2 참조 도형 요소(83)의 참조 횟수가 구해진다. 도 11에 도시하는 바와 같이, 친도형(81)을 나타내는 친도형 데이터 블록에서는, 제2 참조 도형 요소(83)의 참조 횟수는 2회이다. 또한, 도 12에 도시하는 바와 같이, 제1 참조 도형 요소(82)를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록에서는, 제2 참조 도형 요소(83)의 참조 횟수는 2회이다. 도 11에 도시하는 바와 같이, 친도형 데이터 블록에서는, 제1 참조 도형 요소(82)가 2회 참조되기 때문에, 제2 참조 도형 요소(83)는, 2개의 제1 참조 도형 데이터 블록에 의해 합계 4회 참조된다. 따라서, 친도형 데이터 블록 및 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 제2 참조 도형 요소(83)의 참조 횟수는 6회이다.
계속하여, 제2 참조 도형 요소(83)의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량이 구해진다. 제2 특징량은, 제2 참조 도형 요소(83)의 런 렝스화에 요하는 시간이 길어짐에 따라서 커지는 양이다. 제2 특징량으로는, 제1 특징량과 동일한 양이 이용된다. 본 실시의 형태에서는, 제2 특징량으로서, 제2 참조 도형 요소(83)에 포함되는 도형 요소군(즉, 1개의 도형 요소(813))의 제2의 방향의 폭의 합계가 이용된다.
제2 특징량은, 제1 특징량과 동일한 양이 이용되는 것이면 되고, 예를 들면, 제2 참조 도형 요소(83)를 실제로 런 렝스화한 경우의 소요 시간이, 제2 특징량으로서 이용되어도 된다. 제2 참조 도형 요소(83)의 런 렝스화는, 상술의 제1 참조 도형 요소(82)의 런 렝스화와 동일하게 행해진다. 제2 참조 도형 요소(83)를 런 렝스화할 경우에는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 제2 참조 도형 요소(83)가 복수의 단위 영역(800)으로 분할되고, 각 단위 영역(800)에 있어서의 제2 참조 도형 요소(83)의 런 렝스를 나타내는 단위 런 렝스가 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 생성된다. 그리고, 이들 단위 런 렝스와, 대응하는 단위 영역(800)의 위치를 나타내는 데이터가 관련됨으로써, 각각이 제1의 방향으로 연장되는 복수의 런 렝스 집합으로서 제2 참조 도형 요소(83)를 나타내는 제2 참조 런 렝스가 생성된다. 또한, 제2 특징량으로서, 제2 참조 도형 요소(83)의 외접 직사각형의 면적, 제2 참조 도형 요소(83)에 포함되는 도형 요소의 수, 또는, 제2 참조 도형 요소(83)에 포함되는 도형 요소의 꼭짓점의 총 수가 이용되어도 된다.
제2 특징량이 구해지면, 제2 특징량에, 제2 참조 도형 요소(83)의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수가 곱해짐으로써, 제2 캐시 효율이 구해진다. 상술한 바와 같이, 참조 횟수는 6회이며, 제2 특징량은, 1개의 도형 요소(813)의 최대 폭인 「1」이므로, 제2 캐시 효율은 「5」가 된다. 또한, 제2 캐시 효율의 산출은, 제1 캐시 효율의 산출(단계 S11)과 병행하여 행해져도 되고, 단계 S11보다도 앞에 행해져도 된다.
제1 캐시 효율 및 제2 캐시 효율이 구해지면, 제1 캐시 효율과 제2 캐시 효율이 비교된다(단계 S13). 제1 캐시 효율이 제2 캐시 효율보다도 큰 경우, 캐시화부(74)(도 1 참조)에 의해, 제1 참조 도형 요소(82)를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 제1 참조 런 렝스가 생성되어, 참조 런 렝스로서 캐시 메모리(75)에 기억된다(단계 S14). 한편, 제1 캐시 효율이 제2 캐시 효율보다도 작은 경우, 제2 참조 도형 요소(83)를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 제2 참조 런 렝스가 생성되어, 참조 런 렝스로서 캐시 메모리(75)에 기억된다(단계 S15).
환언하면, 제1 캐시 효율이 제2 캐시 효율보다도 큰 경우, 제1 참조 도형 요소(82)가 캐시화되고, 제1 캐시 효율이 제2 캐시 효율보다도 작은 경우, 제2 참조 도형 요소(83)가 캐시화된다. 제1 캐시 효율과 제2 캐시 효율이 동일한 경우, 본 실시의 형태에서는 단계 S15가 행해지는데, 단계 S14가 행해져도 된다.
상술한 바와 같이, 제1 캐시 효율은 「4」이며, 제2 캐시 효율은 「5」이므로, 도 14에 도시하는 제2 참조 도형 요소(83)와 대응하는 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터, 제2 참조 런 렝스가 생성되고, 제2 참조 런 렝스가, 참조 런 렝스로서 캐시 메모리(75)에 기억된다.
참조 런 렝스가 캐시 메모리(75)에 기억되면, 출력 데이터 생성부(76)에 의해, 도 15에 도시하는 바와 같이, 친도형(81)의 배치 영역(80)이 복수의 단위 영역(800)으로 분할된다. 계속하여, 각 단위 영역(800)에 대하여, 각 단위 영역(800)과 겹치는 도형 요소의 런 렝스를 나타내는 단위 런 렝스가 생성된다.
단위 런 렝스의 생성 시에는, 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소(본 실시의 형태에서는, 제2 참조 도형 요소(83))에 대해서는, 캐시 메모리(75) 내의 참조 런 렝스로부터, 단위 영역(800)과 겹치는 부분이 독출되어 단위 런 렝스에 포함된다. 또한, 참조 도형 요소 이외의 도형 요소에 대해서는, 단위 영역(800)과 겹치는 영역의 시점 및 종점 등의 정보가, 당해 도형 요소를 나타내는 데이터 블록에 의거하여 취득되어, 단위 런 렝스에 포함된다.
그리고, 각 단위 영역(800)에 대응하는 단위 런 렝스와, 각 단위 영역(800)의 위치를 나타내는 데이터가 관련됨으로써, 각각이 제1의 방향으로 연장되는 복수의 런 렝스의 집합인 출력 데이터(즉, 런 렝스 데이터)가 생성된다(단계 S16). 바꾸어 말하면, 출력 데이터 생성부(76)에서는, 친도형(81) 내에 있어서, 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소(본 실시의 형태에서는, 제2 참조 도형 요소(83))가 배치되는 모든 참조 영역에, 캐시 메모리(75)에 기억되어 있는 참조 런 렝스를 배치하면서, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환이 행해진다.
데이터 변환이 종료하면, 당해 출력 데이터가, 포맷 변환부(77)에 의해 묘화 장치(1)에 있어서의 처리에 적합한 포맷으로 포맷 변환된 후, 데이터 출력부(78)에 의해 묘화 장치(1)로 출력된다. 묘화 장치(1)에서는, 포맷 변환 후의 데이터에 의거하여, 도 2에 도시하는 제어부(6)의 광 변조 소자 제어부(61)로부터 각 공간 광 변조기(46)로 신호가 보내짐과 더불어, 주주사 기구(25)에 의해 기판(9)이 주주사 방향(즉, 기판(9) 상에 있어서의 상기 제1의 방향에 대응하는 방향)으로 이동함으로써, 데이터 변환 장치(7)에 입력된 입력 데이터가 나타내는 패턴이 기판(9) 상의 감광 재료에 묘화된다.
이상에 설명한 바와 같이, 데이터 변환 장치(7)에서는, 제1 참조 도형 요소(82)를 캐시화한 경우의 데이터 변환 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율과, 제2 참조 도형 요소(83)를 캐시화한 경우의 데이터 변환 효율 향상의 정도를 나타내는 제2 캐시 효율이 비교된다. 그리고, 데이터 변환의 효율 향상의 정도가 큰 쪽의 참조 도형 요소가 캐시화된 후, 캐시화된 참조 도형 요소의 참조 런 렝스를 이용하여, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 데이터 변환이 행해진다. 이에 따라, 데이터 변환의 효율 향상에 의해 적합한 참조 도형 요소를 캐시화할 수 있다. 그 결과, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 데이터 변환의 효율을 적절하게 향상시킬 수 있다.
그런데, 단변에 대한 장변의 비율이 어느 정도 이상 큰 직사각형(즉, 가늘고 긴 직사각형)의 도형 요소의 런 렝스화를 생각하면, 당해 도형 요소의 장변이 제1의 방향에 평행해지도록 도형 요소가 배치되어 있는 경우, 도형 요소가 겹치는 단위 영역(800)의 수는 적어지므로, 런 렝스화에 요하는 시간은 비교적 짧아진다. 한편, 당해 도형 요소의 장변이 제2의 방향에 평행해지도록 도형 요소가 배치되어 있는 경우, 도형 요소가 겹치는 단위 영역(800)의 수는 많아지므로, 런 렝스화에 요하는 시간은 길어진다.
제1 캐시 효율 및 제2 캐시 효율을 구할 때의 제1 특징량 및 제2 특징량으로서, 제1 참조 도형 요소(82) 및 제2 참조 도형 요소(83)의 외접 직사각형의 면적이나 꼭짓점수 등이 이용되면, 친도형(81)에 상술한 바와 같은 가늘고 긴 직사각형의 도형 요소가 포함된 경우, 도형 요소의 방향에 의한 런 렝스화의 소요 시간의 차이는, 제1 캐시 효율 및 제2 캐시 효율에 반영되지 않는다.
이에 대하여, 본 실시의 형태에 관련된 데이터 변환 장치(7)에서는, 제1 특징량은, 제1 참조 도형 요소(82)에 포함되는 도형 요소군의 제2의 방향의 폭의 합계이며, 제2 특징량은, 제2 참조 도형 요소(83)에 포함되는 도형 요소군의 제2의 방향의 폭의 합계이다. 이에 따라, 가늘고 긴 직사각형의 도형 요소 등, 방향에 따라 런 렝스화의 소요 시간이 크게 상이한 도형 요소가 친도형(81)에 포함되는 경우에도, 이러한 도형 요소의 영향을 고려하여, 제1 캐시 효율 및 제2 캐시 효율을 고정밀도로 구할 수 있다. 그 결과, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 데이터 변환의 효율을 더욱 적절하게 향상시킬 수 있다.
또한, 제1 특징량 및 제2 특징량으로서, 제1 참조 도형 요소(82) 및 제2 참조 도형 요소(83)를 실제로 런 렝스화한 경우의 소요 시간이 이용되는 경우에 비하여, 제1 특징량 및 제2 특징량을 구하기 위해서 필요한 시간을 짧게 할 수 있다. 그 결과, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 데이터 변환에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
도 16은, 데이터 변환 장치(7)에 의한 데이터 변환에 필요로 하는 시간(즉, 처리 시간)과, 비교예의 데이터 변환 장치에 의한 데이터 변환의 처리 시간을 비교하는 도면이다. 비교예의 데이터 변환 장치에서는, 캐시 효율을 고려하지 않고, 입력 데이터에 있어서 4회 이상 참조되는 도형 요소가 모두 캐시화된다. 각 막대 그래프의 하측의 부위는, 도형 요소의 캐시화에 요하는 시간을 나타내고, 상측의 부위는, 입력 데이터가 나타내는 패턴의 런 렝스화에 요하는 시간이다. 본 실시의 형태에 관련된 데이터 변환 장치(7)에서는, 비교예의 데이터 변환 장치에 비하여, 런 렝스화에 요하는 시간은 다소 증가하지만, 캐시화에 요하는 시간이 크게 감소한다. 그 결과, 비교예의 데이터 변환 장치에 비하여, 데이터 변환에 요하는 단축을 감소시킬 수 있다.
다음에, 다른 친도형(81a)을 나타내는 입력 데이터의 출력 데이터로의 데이터 변환에 대하여 설명한다. 도 17은, 데이터 접수부(71)에 의해 접수된 입력 데이터에 의해 나타내는 친도형(81a)을 도시하는 도면이다. 친도형(81a)에서는, 도 8에 도시하는 친도형(81)의 각 도형 요소(813)에 대신하여, 도형 요소(813a) 및 도형 요소(813b)의 조합이 배치된다. 각 조합에 있어서의 도형 요소(813a)와 도형 요소(813b)의 위치 관계는 서로 동일하다. 또한, 친도형(81)과 마찬가지로, 도형 요소(811, 812, 814, 815)를 포함한다.
도형 요소(813a)는 대략 L자형상의 도형 요소이며, 칠(塗) 속성을 가진다. 도형 요소(813b)는, 도형 요소(813a)보다도 1회 작은 대략 L자형상의 도형 요소이며, 제거 속성을 가진다. 도형 요소(813b)는 도형 요소(813a) 상에 겹쳐 배치된다. 묘화 장치(1)에서는, 칠 속성을 가지는 도형 요소에 대응하는 기판(9) 상의 영역에 묘화가 행해지고, 제거 속성을 가지는 도형 요소에 대응하는 영역에는 묘화가 행해지지 않는다. 도형 요소(813a, 813b)에 대해서는, 도형 요소(813a) 중 도형 요소(813b)와 겹치지 않는 영역에 대응하는 기판(9) 상의 영역에 묘화가 행해진다. 도 17에서는, 도형 요소(813a, 813b) 중, 기판(9) 상에 있어서 묘화가 행해지는 영역과 대응하는 영역에 평행 사선을 긋는다.
도 18은, 친도형(81a)을, 참조 관계를 고려하여 개념적으로 도시하는 도면이다. 친도형(81a)은, 2개의 제1 참조 도형 요소(82a)와, 2개의 제3 참조 도형 요소(84)와, 2개의 제4 참조 도형 요소(85)와, 각 1개의 도형 요소(814, 815)를 포함한다. 제4 참조 도형 요소(85)는, 제3 참조 도형 요소(84) 상에 겹쳐 배치된다. 도 19 및 도 20은 각각, 제3 참조 도형 요소(84) 및 제4 참조 도형 요소(85)를 나타내는 도면이다. 제3 참조 도형 요소(84)는, 1개의 도형 요소(813a)를 포함하고, 제4 참조 도형 요소(85)는, 1개의 도형 요소(813b)를 포함한다. 도 21은, 제1 참조 도형 요소(82a)를, 참조 관계를 고려하여 개념적으로 도시하는 도면이다. 제1 참조 도형 요소(82a)는, 각 1개의 도형 요소(811, 812)와, 2개의 제3 참조 도형 요소(84)와, 2개의 제4 참조 도형 요소(85)를 포함한다.
도 7a에 도시하는 방법(즉, 도 1에 도시하는 도형 요소 합성부(72)를 사용하지 않는 방법)에서 친도형(81a)을 나타내는 입력 데이터를 데이터 변환할 경우, 제3 참조 도형 요소(84)와 제4 참조 도형 요소(85)는, 서로 참조하는 관계를 가지지 않으므로, 제3 참조 도형 요소(84)의 캐시화, 및, 제4 참조 도형 요소(85)의 캐시화가 함께 실행된다. 그리고, 단계 S16의 출력 데이터의 생성에 있어서, 친도형(81a) 내의 제3 참조 도형 요소(84)가 배치되는 모든 참조 영역에, 캐시화된 제3 참조 도형 요소(84)의 참조 런 렝스가 배치되고, 제4 참조 도형 요소(85)가 배치되는 모든 참조 영역(즉, 제3 참조 도형 요소(84)가 배치되는 참조 영역과 겹치는 영역)에, 캐시화된 제4 참조 도형 요소(85)의 참조 런 렝스가 배치된다. 그 후, 각 참조 영역에 있어서, 양 참조 런 렝스의 합성이 행해진다. 이 경우에도, 상술과 마찬가지로, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 데이터 변환의 효율을 적절하게 향상시킬 수 있다.
한편, 데이터 변환 장치(7)에 있어서 도형 요소 합성부(72)를 사용할 경우, 도 22에 도시하는 바와 같이, 단계 S12보다도 앞에, 구체적으로는, 단계 S11과 단계 S12의 사이에 있어서, 도형 요소 합성부(72)에 의한 도형 요소(813a, 813b)의 합성이 행해진다(단계 S120). 합성 후의 각 도형 요소(813a, 813b)는, 도 23 및 도 24에 도시하는 바와 같이, 친도형(81a) 및 각 제1 참조 도형 요소(82a)에 있어서, 제2 참조 도형 요소(83a)로서 참조된다. 바꾸어 말하면, 각 제2 참조 도형 요소(83a)는, 2개의 도형 요소(813a, 813b)를 포함하고, 당해 도형 요소(813a, 813b)는 단계 S120에 있어서 합성된다.
다음에, 단계 S12에 있어서 제2 참조 도형 요소(83a)의 제2 캐시 효율(즉, 합성후의 도형 요소(813a, 813b)의 캐시 효율)가 구해진다. 제2 특징량은, 상술한 바와 같이, 제2 참조 도형 요소(83a)에 포함되는 도형 요소군의 제2의 방향의 폭의 합계이다. 본 실시의 형태에서는, 합성전의 도형 요소(813a)의 폭 「1」과 도형 요소(813b)의 폭「1」의 합계「2」를 제2 특징량으로 한다. 제2 특징량「2」에 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈된 횟수(5회)가 곱셈됨으로써, 제2 캐시 효율은 「10」이 된다. 또한, 제1 참조 도형 요소(82a)의 제1 캐시 효율은, 제1 특징량 「6」에 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈된 횟수(1회)가 곱셈됨으로써, 「6」이 된다.
그리고, 단계 S13, S15에 있어서, 제2 참조 도형 요소(83a)(즉, 합성후의 도형 요소(813a, 813b))가 런 렝스화되어, 참조 런 렝스로서 캐시 메모리(75)에 기억된다. 그 후, 단계 S16의 출력 데이터의 생성에 있어서, 도 17에 도시하는 친도형(81a) 내의 도형 요소(813a, 813b)가 배치되는 모든 참조 영역에, 캐시화된 제2 참조 도형 요소(83a)의 참조 런 렝스가 배치된다.
도 25는, 도형 요소 합성부(72)에 의한 도형 요소의 합성 유무에 의한 데이터 변환의 처리 시간을 비교하는 도면이다. 각 막대 그래프의 하측의 부위는, 도형 요소의 캐시화에 요하는 시간을 나타내고, 상측의 부위는, 입력 데이터가 나타내는 패턴의 런 렝스화에 요하는 시간이다. 도형 요소 합성부(72)를 사용하여 도형 요소의 합성을 행함으로써, 도형 요소의 합성을 행하지 않는 경우에 비하여, 캐시화에 요하는 시간은 거의 변함없지만, 런 렝스화에 요하는 시간은 감소한다. 그 결과, 도형 요소의 합성을 캐시화 전에 행함으로써, 도형 요소의 합성을 행하지 않는 경우에 비하여, 데이터 변환에 요하는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 제2 참조 도형 요소(83a)에 포함되는 복수의 도형 요소(813a, 813b)는, 반드시 겹칠 필요는 없다. 도형 요소(813a, 813b)는, 서로 일부만이 겹쳐 있어도 되고, 이간되어 있어도 된다.
도 17 내지 도 25를 참조하여, 복수의 제2 참조 도형 요소(83a)가 각각 복수의 도형 요소(813a, 813b)를 포함하는 경우의 데이터 변환에 대하여 설명했는데, 복수의 제1 참조 도형 요소가 각각 복수의 도형 요소를 포함하는 경우의 데이터 변환도 동일하다. 또한, 각 제1 참조 도형 요소에 포함되는 복수의 도형 요소의 위치 관계는 서로 같다. 이 경우, 도 26에 도시하는 바와 같이, 단계 S11보다도 앞에, 복수의 도형 요소가 도형 요소 합성부(72)에 의해 합성되어 제1 참조 도형 요소로 된다(단계 S110).
도 7a에 도시하는 단계 S11에서는, 합성 후의 복수의 도형 요소에 대하여 캐시 효율이 요구되고, 제1 참조 도형 요소의 제1 캐시 효율로 된다. 그리고, 단계 S13에 있어서, 제1 캐시 효율이 제2 캐시 효율보다도 크다고 판단된 경우, 단계 S14에 있어서, 상술의 합성 후의 도형 요소인 제1 참조 도형 요소가 런 렝스화되어, 참조 런 렝스로서 캐시 메모리(75)에 기억된다. 그 후, 단계 S16의 출력 데이터의 생성에 있어서, 친도형 내의 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에, 캐시된 제1 참조 도형 요소의 참조 런 렝스가 배치된다. 그 결과, 제2 참조 도형 요소(83a)에 포함되는 복수의 도형 요소(813a, 813b)의 합성을 행하는 경우와 마찬가지로, 도형 요소의 합성을 행하지 않는 경우에 비하여, 데이터 변환에 요하는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 제1 참조 도형 요소 및 제2 참조 도형 요소가 각각 복수의 도형 요소를 포함할 경우, 단계 S110 및 단계 S120의 쌍방이 행해져도 된다.
다음에, 입력 데이터에 복수 종류의 친도형이 포함되는 경우의 데이터 변환의 일예를 설명한다. 각 친도형은, 적어도 제1 참조 도형 요소를 참조하고 있고, 제1 참조 도형 요소는 제2 참조 도형 요소를 참조하고 있다. 각 친도형에 있어서의 제1 참조 도형 요소 및 제2 참조 도형 요소는, 다른 친도형에 있어서의 제1 참조 도형 요소 및 제2 참조 도형 요소와 동일한 도형 요소여도 되고, 상이한 도형 요소여도 된다. 바꾸어 말하면, 입력 데이터는, 친도형 데이터 블록, 제1 참조 도형 데이터 블록 및 제2 참조 도형 데이터 블록의 복수의 조합을 포함한다.
입력 데이터에 포함되는 당해 조합의 수가 증가하면, 캐시 메모리(75)에 기억되는 참조 런 렝스의 데이터량도 증대한다. 여기서, 각 조합에 대하여(즉, 각 친도형에 대하여), 단계 S11, S12을 행한 후에, 도 27에 도시하는 바와 같이, 제1 캐시 효율과 제2 캐시 효율이 비교되어(단계 S13), 제1 캐시 효율이 제2 캐시 효율보다도 큰 경우, 제1 캐시 효율이 소정의 효율 역치와 비교된다(단계 S131).
제1 캐시 효율이 효율 역치보다도 크면, 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 제1 참조 런 렝스가 생성되고, 참조 런 렝스로서 캐시 메모리(75)에 기억된다(도 7a: 단계 S14). 바꾸어 말하면, 제1 참조 도형 요소가 캐시화된다. 그리고, 친도형 내에 있어서, 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소(제1 참조 도형 요소)가 배치되는 모든 참조 영역에, 캐시 메모리(75)에 기억되어 있는 참조 런 렝스를 배치하면서, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환이 행해진다(단계 S16). 한편, 제1 캐시 효율이 효율 역치 이하인 경우, 제1 참조 도형 요소의 캐시화는 행해지지 않고, 단계 S16에 있어서, 제1 참조 도형 요소도 다른 도형 요소와 마찬가지로 런 렝스화된다.
제1 캐시 효율이 제2 캐시 효율 이하인 경우, 제2 캐시 효율이 효율 역치와 비교된다(단계 S132). 제2 캐시 효율이 효율 역치보다도 크면, 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 제2 참조 런 렝스가 생성되어, 참조 런 렝스로서 캐시 메모리(75)에 기억된다(단계 S15). 바꾸어 말하면, 제2 참조 도형 요소가 캐시화된다. 그리고, 친도형 내에 있어서, 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소(제2 참조 도형 요소)가 배치되는 모든 참조 영역에, 캐시 메모리(75)에 기억되어 있는 참조 런 렝스를 배치하면서, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환이 행해진다(단계 S16). 한편, 제2 캐시 효율이 효율 역치 이하인 경우, 제2 참조 도형 요소의 캐시화는 행해지지 않고, 단계 S16에 있어서, 제2 참조 도형 요소도 다른 도형 요소와 마찬가지로 런 렝스화된다.
즉, 데이터 변환 장치(7)에서는, 제1 캐시 효율 및 제2 캐시 효율 중 큰 쪽의 캐시 효율과 효율 역치가 비교되고, 당해 캐시 효율이 효율 역치보다도 큰 경우, 당해 캐시 효율에 대응하는 참조 도형 요소의 캐시화(단계 S14 또는 단계 S15)가 행해진다. 한편, 상기 캐시 효율이 효율 역치 이하인 경우, 당해 캐시 효율에 대응하는 참조 도형 요소의 캐시화는 행해지지 않는다. 참조 도형 요소의 캐시화가 행해져, 캐시 메모리(75)에 참조 런 렝스가 기억된 경우, 캐시화된 참조 런 렝스를 이용하여, 입력 데이터의 출력 데이터로의 데이터 변환이 행해진다(단계 S16). 참조 런 렝스가 기억되지 않은 경우, 당해 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소는, 단계 S16에 있어서 다른 도형 요소와 마찬가지로 런 렝스화된다.
이와 같이, 데이터 변환 장치(7)에서는, 캐시 효율이 소정의 효율 역치보다도 큰 참조 도형 요소만을 캐시화함으로써, 캐시 메모리(75)에 기억되는 참조 런 렝스의 데이터량의 증대를 억제하면서, 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 데이터 변환의 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 효율 역치를 변경함으로써, 캐시 메모리(75)의 용량에 맞추어 적절한 캐시화를 행할 수 있다. 또한, 효율 역치를 이용한 상술의 데이터 변환에 있어서도, 도 17 내지 도 25에서 설명한 바와 같이, 제2 참조 도형 요소에 포함되는 복수의 도형 요소가 합성되어도 된다. 마찬가지로, 제1 참조 도형 요소에 포함되는 복수의 도형 요소가 합성되어도 된다.
상기 묘화 시스템(100)은, 다양한 변경이 가능하다.
데이터 변환 장치(7)에서는, 단계 S13보다도 앞에, 도 8 내지 도 11에 도시하는 친도형(81)에 포함되는 모든 도형 요소(811∼815), 제1 참조 도형 요소(82) 및 제2 참조 도형 요소(83)에 대하여 캐시 효율이 구해지고, 단계 S13에 있어서 비교되어도 되지만, 다른 도형 요소로부터 참조되지 않는 도형 요소의 참조 횟수는 1회가 되고, 캐시 효율은 0이 된다. 이 때문에, 실질적으로는, 제1 참조 도형 요소(82) 및 제2 참조 도형 요소(83)의 캐시 효율이 구해져 비교되게 된다.
상기 실시의 형태에서, 입력 데이터는, 친도형(81), 제1 참조 도형 요소(82) 및 제2 참조 도형 요소(83)에 3개의 계층으로 계층화되어 있는데, 4개 이상의 계층으로 계층화되어도 된다. 이 경우, 다른 도형 요소로부터 참조되는 1개의 도형 요소를 제1 참조 도형 요소로 하고, 당해 제1 참조 도형 요소가 참조하는 도형 요소를 제2 참조 도형 요소로 하여, 상술의 데이터 변환이 행해진다. 제1 참조 도형 요소는, 친도형으로부터 직접적으로 참조될 필요는 없고, 다른 도형 요소를 통하여 간접적으로 참조되어도 된다.
묘화 시스템(100)에서는, 데이터 변환 장치(7)에 있어서 출력 데이터가 포맷 변환되지 않고 묘화 장치(1)에 출력되고, 묘화 장치(1)에 있어서 포맷 변환이 행해져도 된다.
데이터 변환 장치(7)에 의해 출력 데이터로 변환되는 입력 데이터는, 반드시 액정 표시 장치용의 유리 기판 상에 묘화되는 패턴을 나타내는 데이터에는 한정되지 않고, 예를 들면, 플라즈마 표시 장치 등의 다른 플랫 패널 표시 장치 또는 포토 마스크용 유리 기판 상에 묘화되는 패턴을 나타내는 데이터여도 되고, LSI용의 패턴 데이터여도 된다. 또한, 다른 다양한 목적에 이용되는 입력 데이터가 데이터 변환 장치에 의해 출력 데이터로 변환되어도 된다.
묘화 장치(1)는, 상술의 구조를 구비하는 것에 한정되지 않고, 런 렝스 데이터인 출력 데이터에 의거하여 묘화를 행하는 장치면 된다. 예를 들면, 묘화 장치(1)의 광 조사부(4)는, GLV 이외의 다른 광 변조 소자를 구비하는 공간 광 변조기를 구비해도 된다.
상기 실시의 형태 및 각 변형예에 있어서의 구성은, 서로 모순되지 않는한 적절히 조합하면 된다.
발명을 상세하게 묘사하여 설명했는데, 기술의 설명은 예시적이며 한정적인 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 범위를 일탈하지 않는한, 다수의 변형이나 양태가 가능하다고 할 수 있다.
1: 묘화 장치 3: 기판 유지부
7: 데이터 변환 장치 9: 기판
25: 주주사 기구 61: 광 변조 소자 제어부
75: 캐시 메모리 81, 81a: 친도형
82, 82a: 제1 참조 도형 요소 83, 83a: 제2 참조 도형 요소
100: 묘화 시스템 461: 광 변조 소자
707: 프로그램
811∼815, 813a, 813b: 도형 요소
S11∼S16, S110∼S113, S120, S131, S132: 단계

Claims (24)

  1. 데이터 변환 장치에 의하여, 복수의 도형 요소를 나타내는 계층화된 입력 데이터를 런 렝스 데이터인 출력 데이터로 변환하는 데이터 변환 방법으로서,
    a) 친(親)도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환의 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과,
    b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소 내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과,
    c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작은 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과,
    d) 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 구비하고,
    상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고,
    상기 b) 공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해지는, 데이터 변환 방법.
  2. 데이터 변환 장치에 의하여, 복수의 도형 요소를 나타내는 계층화된 입력 데이터를 런 렝스 데이터인 출력 데이터로 변환하는 데이터 변환 방법으로서,
    a) 친도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환의 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과,
    b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과,
    c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 크고, 또한, 소정의 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작고, 또한, 상기 제2 캐시 효율이 상기 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과,
    d) 상기 c) 공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억된 경우, 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하고, 상기 c) 공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억되지 않은 경우, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 구비하고,
    상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고,
    상기 b) 공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해지는, 데이터 변환 방법.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 참조 런 렝스 및 상기 제2 참조 런 렝스에 있어서 복수의 런 렝스가 각각 연장되는 방향을 제1의 방향으로 하고, 상기 제1의 방향에 수직인 방향을 제2의 방향으로 하고, 상기 제1 특징량이, 상기 제1 참조 도형 요소에 포함되는 도형 요소군의 상기 제2의 방향의 폭의 합계이며, 상기 제2 특징량이, 상기 제2 참조 도형 요소에 포함되는 도형 요소군의 상기 제2의 방향의 폭의 합계인, 데이터 변환 방법.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 친도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제1 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제1 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 데이터 변환 방법이, 상기 a) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비하는, 데이터 변환 방법.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제2 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제2 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 데이터 변환 방법이, 상기 b) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비하는, 데이터 변환 방법.
  6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 친도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제1 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제1 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 데이터 변환 방법이, 상기 a) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비하는, 데이터 변환 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제2 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제2 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 데이터 변환 방법이, 상기 b) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비하는, 데이터 변환 방법.
  8. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제2 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제2 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 데이터 변환 방법이, 상기 b) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비하는, 데이터 변환 방법.
  9. 기판 상에 패턴을 묘화하는 묘화 시스템으로서,
    소정의 데이터 변환 방법에 의해 입력 데이터를 출력 데이터로 변환하는 데이터 변환 장치와,
    상기 데이터 변환 장치에 의해 생성된 상기 출력 데이터에 의거하여 기판 상에 패턴을 묘화하는 묘화 장치를 구비하고,
    상기 데이터 변환 방법이,
    a) 친도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환의 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과,
    b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소 내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과,
    c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작은 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과,
    d) 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 구비하고,
    상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고,
    상기 b) 공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해지고,
    상기 묘화 장치가,
    상기 기판을 유지하는 기판 유지부와,
    상기 기판에 광을 조사하는 광 변조 소자와,
    상기 광 변조 소자로부터 이끌어진 광의 상기 기판 상에 있어서의 조사 위치를 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동하는 조사 위치 이동 기구와,
    상기 출력 데이터에 의거하여 상기 광 변조 소자로부터의 광의 변조를 제어하는 광 변조 소자 제어부를 구비하는, 묘화 시스템.
  10. 기판 상에 패턴을 묘화하는 묘화 시스템으로서,
    소정의 데이터 변환 방법에 의해 입력 데이터를 출력 데이터로 변환하는 데이터 변환 장치와,
    상기 데이터 변환 장치에 의해 생성된 상기 출력 데이터에 의거하여 기판 상에 패턴을 묘화하는 묘화 장치를 구비하고,
    상기 데이터 변환 방법이,
    a) 친도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환의 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과,
    b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소 내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과,
    c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 크고, 또한, 소정의 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작고, 또한, 상기 제2 캐시 효율이 상기 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과,
    d) 상기 c) 공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억된 경우, 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하고, 상기 c) 공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억되지 않은 경우, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 구비하고,
    상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고,
    상기 b) 공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해지고,
    상기 묘화 장치가,
    상기 기판을 유지하는 기판 유지부와,
    상기 기판에 광을 조사하는 광 변조 소자와,
    상기 광 변조 소자로부터 이끌어진 광의 상기 기판 상에 있어서의 조사 위치를 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동하는 조사 위치 이동 기구와,
    상기 출력 데이터에 의거하여 상기 광 변조 소자로부터의 광의 변조를 제어하는 광 변조 소자 제어부를 구비하는, 묘화 시스템.
  11. 청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
    상기 제1 참조 런 렝스 및 상기 제2 참조 런 렝스에 있어서 복수의 런 렝스가 각각 연장되는 방향을 제1의 방향으로 하고, 상기 제1의 방향에 수직인 방향을 제2의 방향으로 하고, 상기 제1 특징량이, 상기 제1 참조 도형 요소에 포함되는 도형 요소군의 상기 제2의 방향의 폭의 합계이며, 상기 제2 특징량이, 상기 제2 참조 도형 요소에 포함되는 도형 요소군의 상기 제2의 방향의 폭의 합계인, 묘화 시스템.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 친도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제1 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제1 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 데이터 변환 방법이, 상기 a) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비하는, 묘화 시스템.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제2 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제2 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 데이터 변환 방법이, 상기 b) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비하는, 묘화 시스템.
  14. 청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
    상기 친도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제1 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제1 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 데이터 변환 방법이, 상기 a) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비하는, 묘화 시스템.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제2 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제2 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 데이터 변환 방법이, 상기 b) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비하는, 묘화 시스템.
  16. 청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
    상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제2 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제2 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 데이터 변환 방법이, 상기 b) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 구비하는, 묘화 시스템.
  17. 복수의 도형 요소의 벡터 데이터인 입력 데이터를 런 렝스 데이터인 출력 데이터로 변환하는 프로그램을 기록하는 기록 매체로서,
    상기 프로그램의 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에,
    a) 친도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환의 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과,
    b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소 내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과,
    c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작은 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과,
    d) 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 실행시키고,
    상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고,
    상기 b) 공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해지는, 기록 매체.
  18. 복수의 도형 요소의 벡터 데이터인 입력 데이터를 런 렝스 데이터인 출력 데이터로 변환하는 프로그램을 기록하는 기록 매체로서,
    상기 프로그램의 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에,
    a) 친도형을 나타내는 친도형 데이터 블록과, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제1 참조 도형 요소를 나타내는 제1 참조 도형 데이터 블록과, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 참조되는 제2 참조 도형 요소를 나타내는 제2 참조 도형 데이터 블록을 포함하는 입력 데이터에 의거하여, 상기 제1 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제1 참조 런 렝스를 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 내의 상기 제1 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제1 참조 영역에 상기 제1 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 효율 향상의 정도를 나타내는 제1 캐시 효율을 구하는 공정과,
    b) 상기 입력 데이터에 의거하여, 상기 제2 참조 도형 요소를 단독으로 런 렝스화한 제2 참조 런 렝스를 상기 캐시 메모리에 기억해 두고, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환 시에, 상기 친도형 및 상기 제1 참조 도형 요소 내의 상기 제2 참조 도형 요소가 배치되는 모든 제2 참조 영역에 상기 제2 참조 런 렝스를 배치한다고 가정한 경우의 제2 캐시 효율을 구하는 공정과,
    c) 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 크고, 또한, 소정의 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제1 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제1 참조 런 렝스를 생성하여 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하고, 상기 제1 캐시 효율이 상기 제2 캐시 효율보다도 작고, 또한, 상기 제2 캐시 효율이 상기 효율 역치보다도 큰 경우, 상기 제2 참조 도형 데이터 블록으로부터 상기 제2 참조 런 렝스를 생성하여 상기 참조 런 렝스로서 상기 캐시 메모리에 기억하는 공정과,
    d) 상기 c) 공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억된 경우, 상기 친도형 내에 있어서 상기 참조 런 렝스에 대응하는 참조 도형 요소가 배치되는 모든 참조 영역에 상기 참조 런 렝스를 배치하면서, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하고, 상기 c) 공정에 있어서 상기 참조 런 렝스가 기억되지 않은 경우, 상기 입력 데이터로부터 상기 출력 데이터로의 변환을 행하는 공정을 실행시키고,
    상기 a) 공정에 있어서, 상기 제1 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제1 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제1 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제1 캐시 효율이 구해지고,
    상기 b) 공정에 있어서, 상기 제2 참조 도형 요소의 런 렝스화에 요하는 시간을 나타내는 제2 특징량에, 상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서의 상기 제2 참조 도형 요소의 참조 횟수로부터 1만큼 뺄셈한 횟수를 곱셈함으로써, 상기 제2 캐시 효율이 구해지는, 기록 매체.
  19. 청구항 17 또는 청구항 18에 있어서,
    상기 제1 참조 런 렝스 및 상기 제2 참조 런 렝스에 있어서 복수의 런 렝스가 각각 연장되는 방향을 제1의 방향으로 하고, 상기 제1의 방향에 수직인 방향을 제2의 방향으로 하고, 상기 제1 특징량이, 상기 제1 참조 도형 요소에 포함되는 도형 요소군의 상기 제2의 방향의 폭의 합계이며, 상기 제2 특징량이, 상기 제2 참조 도형 요소에 포함되는 도형 요소군의 상기 제2의 방향의 폭의 합계인, 기록 매체.
  20. 청구항 19에 있어서,
    상기 친도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제1 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제1 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 프로그램의 상기 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, 상기 a) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 실행시키는, 기록 매체.
  21. 청구항 20에 있어서,
    상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제2 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제2 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 프로그램의 상기 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, 상기 b) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 실행시키는, 기록 매체.
  22. 청구항 17 또는 청구항 18에 있어서,
    상기 친도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제1 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제1 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 프로그램의 상기 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, 상기 a) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 실행시키는, 기록 매체.
  23. 청구항 22에 있어서,
    상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제2 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제2 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 프로그램의 상기 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, 상기 b) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 실행시키는, 기록 매체.
  24. 청구항 17 또는 청구항 18에 있어서,
    상기 친도형 데이터 블록 및 상기 제1 참조 도형 데이터 블록에 있어서 복수의 제2 참조 도형 요소가 참조되며, 각 제2 참조 도형 요소가 복수의 도형 요소를 포함하고,
    상기 프로그램의 상기 컴퓨터에 의한 실행은, 상기 컴퓨터에, 상기 b) 공정보다도 앞에, 상기 복수의 도형 요소를 합성하는 공정을 더 실행시키는, 기록 매체.
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