JP2007208057A - データ変換方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】データ変換に要する時間を短縮する。
【解決手段】データ変換装置におけるデータ変換作業では、セル名とセルデータ要素に対して矩形分割処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベースが予め用意されており、処理対象データ要素に対応する処理済データ要素が処理データベースにおいて検索される(ステップS16)。そして、処理済データ要素が検出された場合(ステップS17)、処理対象データ要素に対して矩形分割処理を行って処理済データ要素を生成する代わりに、処理対象データ要素と検出された処理済データ要素との同名異形チェックが行われた後に当該処理済データ要素が出力データに追加される(ステップS171,S19)。これにより、入力データに含まれる複数のセルデータ要素に対して行われる矩形分割処理の回数を減らすことができ、データ変換作業に要する時間を短縮することができる。
【選択図】図7.B
【解決手段】データ変換装置におけるデータ変換作業では、セル名とセルデータ要素に対して矩形分割処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベースが予め用意されており、処理対象データ要素に対応する処理済データ要素が処理データベースにおいて検索される(ステップS16)。そして、処理済データ要素が検出された場合(ステップS17)、処理対象データ要素に対して矩形分割処理を行って処理済データ要素を生成する代わりに、処理対象データ要素と検出された処理済データ要素との同名異形チェックが行われた後に当該処理済データ要素が出力データに追加される(ステップS171,S19)。これにより、入力データに含まれる複数のセルデータ要素に対して行われる矩形分割処理の回数を減らすことができ、データ変換作業に要する時間を短縮することができる。
【選択図】図7.B
Description
本発明は、入力データに対して所定の図形処理を行って出力データに変換する技術に関する。
近年、半導体基板(以下、「基板」という。)に形成されるLSI(Large Scale Integrated Circuit)の高集積化に伴い、電子ビームを照射してパターンを描画するパターン描画装置(電子ビーム露光装置とも呼ばれる。)が利用されている。パターン描画装置では、基板に描画される描画パターンを示す複数の描画図形のそれぞれが、複数の矩形図形に分割され、分割後の複数の矩形図形に合わせて電子ビームの断面形状を変更しつつ描画が行われる。また、パターン描画装置における描画の高速化を図るため、特許文献1に示すように、所定の定形図形に合わせた開口パターンを有するマスクを準備し、描画パターン中の定形図形についてはマスクを利用して描画する技術(いわゆる、ブロック露光)も採用されている。
特開2002−57083号公報
ところで、LSIの回路パターンは通常、ストリームフォーマットまたはGDSIIと呼ばれる階層構造を有するセルデータ要素の集合として表現され、各セルデータ要素は、1つ以上の図形や他のセルデータ要素が示す図形を参照するための情報を含む。パターンの描画では、ストリームフォーマット等により表現されている回路パターンのデータを、パターン描画装置が利用可能な形式に変換する必要がある。
特許文献1のように、ブロック露光と矩形分割露光とが組み合わされて行われる場合、回路パターンを示す複数のセルデータ要素の一部はブロック露光用のデータに変換され、残りのセルデータ要素が示す図形に対しては矩形分割処理が施されて矩形分割露光用のデータに変換される。
ここで、ブロック露光をするためには予めマスクを準備しておく必要があるため、あまり多種類のセルデータ要素が示す図形に対してブロック露光を適用しようとすると、パターン描画装置において多数のマスクを準備する必要があり、装置の製造コストが上昇してしまう。また、装置構造の観点からも、あまり多数のマスクを利用することは難しい。一方で、矩形分割処理には比較的多大な処理時間が必要となるため、矩形分割処理を施すべきセルデータ要素が多いと、データ変換に要する時間が増大してしまう。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、データ変換に要する時間を短縮することを目的としている。
請求項1に記載の発明は、複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換するデータ変換方法であって、a)入力データから一の図形データ要素を処理対象データ要素として取り出す工程と、b)図形データ要素が示すパターンを特定する各識別子と前記図形データ要素に対して所定の図形処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、c)前記b)工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理済データ要素を出力データに含め、前記b)工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程と、d)前記入力データに含まれる複数の図形データ要素に対して前記a)工程ないし前記c)工程を順次繰り返す工程とを備える。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のデータ変換方法であって、前記b)工程と前記c)工程との間に、前記b)工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理対象データ要素が示す対象パターンと検出された前記処理済データ要素が示す参照パターンとを比較し、前記対象パターンが前記参照パターンと異なる場合に前記処理対象データの前記識別子を変更して前記b)工程に戻る工程をさらに備える。
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載のデータ変換方法であって、前記b)工程と前記c)工程との間に、前記b)工程において処理済データが検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素が示す対象パターンと前記処理データベースに含まれる処理済データ要素が示す参照パターンとを順次比較し、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に、前記c)工程に代えて、検出された前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程をさらに備える。
請求項4に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記c)工程において前記処理対象データ要素に対する前記図形処理が行われた場合、前記処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の前記識別子と生成された前記処理済データ要素とを関連づける工程をさらに備える。
請求項5に記載の発明は、請求項1ないし4のいずれかに記載のデータ変換方法であって、e)前記a)工程よりも前に、前記処理データベースに処理済データ要素を登録する工程をさらに備え、前記e)工程が、e1)登録対象となる図形データ要素を登録対象データ要素として準備する工程と、e2)前記処理データベースにおいて、前記登録対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、e3)前記e2)工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記登録対象データ要素が示す対象パターンと検出された前記処理済データ要素が示す参照パターンとを比較し、前記対象パターンが前記参照パターンと異なる場合に前記登録対象データ要素の前記識別子を変更して前記e2)工程に戻り、前記e2)工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記登録対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理データベースにおいて、前記登録対象データ要素の前記識別子と前記処理済データ要素とを関連づける工程とを備える。
請求項6に記載の発明は、請求項5に記載のデータ変換方法であって、前記e2)工程と前記e3)工程との間に、e4)前記e2)工程において処理済データ要素が検出されなかった場合、前記登録対象データ要素が示す対象パターンと前記処理データベースに含まれる処理済データ要素が示す参照パターンとを順次比較し、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に、前記e3)工程を取りやめる工程をさらに備える。
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載のデータ変換方法であって、前記e4)工程において、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された場合、前記処理済データ要素に関連づけられた識別子を代表識別子として前記代表識別子と前記登録対象データ要素の前記識別子との関連づけを示す情報を異名同形リストに登録し、前記a)工程と前記b)工程との間に、前記異名同形リストにおいて前記処理対象データ要素の前記識別子に関連づけられた代表識別子を検索し、代表識別子が検出された場合に、前記処理対象データ要素の前記識別子を検出された前記代表識別子に変更する工程をさらに備える。
請求項8に記載の発明は、請求項5ないし7のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記複数の図形データ要素が、一の図形データ要素が他の一の図形データ要素を参照する階層構造を形成し、前記e1)工程において、所定の登録条件を満たす図形データ要素のみが登録対象データ要素として準備される。
請求項9に記載の発明は、請求項8に記載のデータ変換方法であって、前記登録条件が、図形データ要素が示すパターンが所定の大きさ以下である条件、図形データ要素が示すパターンの頂点数が所定の個数以上である条件、および、図形データ要素の他の図形データ要素からの参照回数が所定の回数以上である条件の少なくともいずれか1つを含む。
請求項10に記載の発明は、請求項1ないし9のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記出力データが、基板に描画される前記複数の図形データ要素が示すパターンの形状、および、各パターンの前記基板上の位置を示す描画データである。
請求項11に記載の発明は、請求項10に記載のデータ変換方法であって、前記a)工程と前記b)工程との間に、ブロック描画が可能なブロックパターンを示す複数のブロックデータ要素を含むブロックパターンデータベースを参照し、前記処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が前記ブロックパターンデータベースに含まれている場合に、前記b)工程および前記c)工程に代えて、前記ブロックデータ要素のブロック描画を指示するデータを前記出力データに含める工程をさらに備える。
請求項12に記載の発明は、請求項10または11に記載のデータ変換方法であって、前記基板が半導体集積回路用の基板である。
請求項13に記載の発明は、請求項1ないし12のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記図形処理が、図形データ要素が示すパターンを複数の矩形に分割する矩形分割処理である。
請求項14に記載の発明は、請求項1ないし12のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記処理済データ要素が、ラスタデータである。
請求項15に記載の発明は、請求項1ないし12のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記処理済データ要素が、ランレングスデータである。
請求項16に記載の発明は、複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換させるプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、a)入力データから一の図形データ要素を処理対象データ要素として取り出す工程と、b)図形データ要素が示すパターンを特定する各識別子と前記図形データ要素に対して所定の図形処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、c)前記b)工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理済データ要素を出力データに含め、前記b)工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程と、d)前記入力データに含まれる複数の図形データ要素に対して前記a)工程ないし前記c)工程を順次繰り返す工程とを実行させる。
本発明では、データ変換に要する時間を短縮することができる。請求項2および3の発明では、データ変換に要する時間をより短縮することができる。請求項2の発明では、入力データを出力データに正確に変換することもできる。
請求項4の発明では、データ変換作業と並行して処理データベースを容易に更新することができる。請求項5の発明では、未登録のパターンを示す図形データ要素を確実に処理データベースに登録することができる。請求項6の発明では、処理済データ要素が示すパターンと同じパターンを示す図形データ要素を処理データベースに重複して登録することを防止することができる。請求項8の発明では、処理データベースの容量増加を抑制することができる。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るデータ変換装置1の構成を示す図である。データ変換装置1は、複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換する装置である。
本実施の形態では、入力データは、半導体集積回路であるLSI(Large Scale Integration)用の基板上に形成される回路パターンをストリームフォーマットにて表すデータであり、回路パターンを回路要素(すなわち、セル)の集合として捉えた上で、各セルの形状を示す図形データ要素(以下、「セルデータ要素」という。)、および、各セルの基板上の位置等を示す位置データ要素の集合として表現される(第2の実施の形態においても同様)。
各セルデータ要素には、セルに含まれる1つ以上の図形(以下、「パターン」という。)の形状を表すベクトルデータ、並びに、当該パターンを特定する識別子(以下、「セル名」という。)を含む。入力データでは、複数のセルデータ要素が、一のセルデータ要素が他の一のセルデータ要素を参照する階層構造を形成する。すなわち、一のセルデータ要素に含まれるパターンの形状の一部が、他のセルデータ要素のパターンの形状と同一である場合、一のセルデータ要素において当該他のセルデータ要素を参照しつつパターンの形状が表現される。これにより、入力データの表現が簡素化される。
出力データは、基板に描画される複数のセルデータ要素が示すパターンの形状、および、各パターンの基板上の位置等を示す描画データであり、基板に対する回路パターンの描画を行う描画装置では、当該出力データに基づいて基板の露光が行われることにより、基板上に複数のセル(すなわち、回路パターン)が描画される。データ変換装置1では、図2に示すように、セルデータ要素が示すパターンであるセル901に対して所定の図形処理(すなわち、矩形分割処理)が行われることによりセル901が複数の矩形911に分割され、複数の矩形911を示すデータ要素(以下、「処理済データ要素」という。)が得られる。そして処理済データ要素の集合として出力データが生成される。
基板に対する回路パターンの描画では、使用頻度が高いセルが予めブロックパターンとして登録されており、ブロックパターンに対応する開口が設けられたマスクが描画装置に準備されている。そして、当該マスクを介して基板に電子ビームが照射されることにより、ブロックパターンが一括して露光される。一方、対応するマスクが形成されていないセルは、セルに含まれる多角形が上述のように複数の矩形領域に分割された上で、変形可能な矩形の照射領域を有する電子ビーム(いわゆる、VSB(Variable Shaped Beam))が、当該複数の矩形領域のそれぞれと同一形状となるように照射領域を変形させつつ各矩形領域に順次照射される。
図1に示すように、データ変換装置1は、通常のコンピュータと同様に、各種演算処理を行うCPU11、実行されるプログラムを記憶したり演算処理の作業領域となるRAM12、基本プログラムを記憶するROM13、各種情報を記憶する固定ディスク14、作業者に各種情報を表示するディスプレイ15、および、キーボードやマウス等の入力部16等を接続した構成となっている。固定ディスク14内には、データ変換装置1により実行されるプログラム141、および、後述する各種データベース等が記憶される。プログラム141は、複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換させるプログラムである。
図3は、データ変換装置1のCPU11(図1参照)等がプログラム141に従って演算処理を行うことにより実現される機能を他の構成と共に示すブロック図であり、図3中のデータ受付部2、データ変換部3、データベース更新部4およびデータ出力部5が、CPU11等により実現される機能に相当する。なお、これらの機能は複数台のコンピュータにより実現されてもよい。
データ変換部3は、CPU11(図1参照)等より実現される機能として、代表セル名検出部31、ブロックパターン検出部32、処理済データ検出部33、同名異形チェック部34、セル名変更部35、図形処理部36および出力データ生成部37を有する。データベース更新部4は、登録条件チェック部41、処理済データ検出部42、同名異形チェック部43、セル名変更部44、異名同形チェック部45、図形処理部46およびデータ登録部47を有する。これらの機能の詳細については後述する。
固定ディスク14内には、処理データベース61、ブロックパターンデータベース62、および、異名同形リスト63が記憶される。図4は、処理データベース61の構造を示す図である。図4に示すように、処理データベース61は、セル(すなわち、セルデータ要素が示すパターン)を識別するためのセル名611とセルデータ要素に対して矩形分割処理を行って得られる処理済データ要素612とが関連づけられたレコード610の集合であり、セル名611と処理済データ要素612との関連づけを示す。実際の処理データベース61では、矩形分割されたセルを示すベクトルデータが処理済データ要素612として格納されているが、図4では、矩形分割されたセルそのもの(すなわち、処理済データ要素が示すパターン)を図示している。
図5.Aは、ブロックパターンデータベース62の構造を示す図である。図5.Aに示すように、ブロックパターンデータベース62は複数のレコード620を含み、各レコード620は、セル名621およびセル名621に関連づけられるブロックデータ要素622を含む。ブロックデータ要素622が示すブロックパターンとは、基板に対する描画においてマスクを介して一括露光することができる(すなわち、ブロック描画が可能な)セルであり、ブロックデータ要素622は、ブロックパターンの形状に対応する開口を有するマスクの識別子(マスクID)等、ブロック描画を指示するデータを含む。図5.Bは、ブロックパターン902,903を示す図であり、ブロックパターン902,903はそれぞれ、セル名621が「CELL_M1」および「CELL_M2」であるレコード620のブロックデータ要素622が示すデータにより描画されるセルである。
図6は、異名同形リスト63を示す図である。図6に示すように、異名同形リスト63は、セル名は異なるがセルの形状が同一の複数のセルデータ要素のセル名のリストである。異名同形リスト63は、一のセルデータ要素のセル名を代表セル名(すなわち、代表識別子であり、図6中ではリスト中の最も左側に図示される。)として、当該代表セル名と他のセルデータ要素のセル名との関連づけを示す情報(以下、「異名同形情報」という。)を有する。図6中では、CELL_Aが代表セル名に相当し、CELL_BおよびCELL_CがCELL_Aに関連づけられる。
次に、データ変換装置1によるデータ変換の流れについて説明する。図7.Aおよび図7.Bは、データ変換装置1によるデータ変換の流れを示す図である。データ変換装置1では、まず、図3に示すデータ受付部2により入力データが受け付けられてデータ変換部3へと送られる。図8は、入力データが示す回路パターンを示す図である。図8に示すセル91a〜91dのセル名は、「CELL_A」〜「CELL_D」であり、セル92,93のセル名は、「CELL_M1」,「CELL_M2」である。また、セル91aおよびセル91bの形状は同一である。なお、実際の入力データは、図8に示す個数よりも多くのセルを示すセルデータ要素を含む。
続いて、入力データから、図8中のセル91aに対応する一のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_Aであるセルデータ要素)が、処理対象データ要素として取り出される(ステップS11)。処理対象データ要素が取り出されると、データ変換部3の代表セル名検出部31により、図6に示す異名同形リスト63において処理対象データ要素のセル名「CELL_A」に関連づけられた(すなわち、処理対象データ要素に対応する)代表セル名が検索される(ステップS12)。図6に示すように、異名同形リスト63では「CELL_A」自身が代表セル名であるため、処理対象データ要素に対応する代表セル名は検出されない(ステップS13)。
次に、ブロックパターン検出部32により図5.Aに示すブロックパターンデータベース62が参照され、処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素622が検索される(ステップS14)。図5.Aに示すように、ブロックパターンデータベース62には、セル名621が「CELL_A」であるレコードは含まれていないため、処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素は検出されない(ステップS15)。
データ変換部3では、ブロックデータ要素が検出されない場合、処理済データ検出部33により、図4に示す処理データベース61において、処理対象データ要素のセル名「CELL_A」に関連づけられた(すなわち、処理対象データ要素に対応する)処理済データ要素612が検索される(ステップS16)。そして、処理データベース61からセル名611が「CELL_A」である処理済データ要素612が検出される(ステップS17)。
処理済データ要素が検出されると、同名異形チェック部34により、処理対象データ要素が示す対象パターン(すなわち、図8中のセル91a)と、検出された処理済データ要素が示す参照パターン(すなわち、図4中のCELL_Aに関連づけられたセル)とが比較される(ステップS171)。これにより、セル名が同一である処理対象データ要素および処理済データ要素がそれぞれ示すパターンが同一であるか否かが確認される(すなわち、同名異形チェックが行われる。)。
同名異形チェックが行われる際には、まず、処理対象データ要素が他のセルデータ要素を参照しているか否かが確認される。そして、参照している場合には処理対象データ要素が展開されて参照関係が解除された上で、処理対象データ要素に含まれる複数の図形のOR処理(すなわち、図形間の境界における図形同士の接触や重なりを除去する処理であり、マージ処理ともいう。)が行われる。続いて、処理済データ要素に含まれる複数の矩形のOR処理が行われた後、処理対象データ要素が示す対象パターンと処理済データ要素が示す参照パターンとのXOR(排他的論理和)が求められ、XOR処理の結果、図形が存在していれば2つのパターンが同一でない(すなわち、同名異形)と判断され、図形が存在していなければ2つのパターンが同一であると判断される。ここで、対象パターンであるセル91aと参照パターンであるCELL_Aに関連づけられたセルとは、図4および図8に示すように同一である。
同名異形チェック部34により、処理対象データ要素が示す対象パターンと処理済データ要素が示す参照パターンとが同一である(すなわち、同名同形)と判断されると、当該処理済データ要素が出力データ生成部37に送られて出力データに追加される(換言すれば、処理済データ要素が出力データに含められる)(ステップS19)。出力データ内には、処理対象データ要素が示すパターンの基板上の位置等を示す位置データが含まれており、処理済データ要素が位置データに関連づけられる。これにより、セル名がCELL_Aであるセルデータ要素に対するデータ変換作業が終了し、処理対象データ要素が示すセル91aについて、図8中に破線にて示すように矩形分割された処理済データ要素が出力データ内に準備される。
そして、入力データに未変換のセルデータ要素が残っているか否かが確認され(ステップS20)、次のセルデータ要素があるため、ステップS11に戻って次のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_Bであるセルデータ要素)が、2番目の処理対象データ要素として取り出される(ステップS11)。
続いて、代表セル名検出部31により、図6に示す異名同形リスト63において処理対象データ要素に対応する代表セル名が検索される(ステップS12)。「CELL_B」に対応する代表セル名として「CELL_A」が検出されると、処理対象データ要素のセル名「CELL_B」が代表セル名である「CELL_A」に変更される(ステップS13,S131)。
処理対象データ要素のセル名が変更されると、1番目の処理対象データ要素の場合と同様に、ブロックパターンデータベース62において処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が検出されることなく(ステップS14,S15)、処理データベース61において処理対象データ要素のセル名「CELL_A」に関連づけられた処理済データ要素が検出される(ステップS16,S17)。その後、同名異形チェックが行われ、同名同形であることが確認された後、処理済データ要素が出力データに追加されて2番目の処理対象データ要素に対するデータ変換作業が終了する(ステップS171,S19)。これにより、2番目の処理対象データ要素が示すセル91bについても、図8中に破線にて示すように矩形分割された処理済データ要素が出力データ内に準備される。
データ変換部3では、再び入力データに未変換のセルデータ要素が残っているか否かが確認され(ステップS20)、ステップS11に戻って次のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_Cであるセルデータ要素)が、3番目の処理対象データ要素として取り出される(ステップS11)。
3番目の処理対象データ要素に対しても異名同形リスト63における代表セル名の検索が行われ、処理対象データ要素のセル名「CELL_C」が代表セル名である「CELL_A」に変更される(ステップS12,S13,S131)。そして、1番目の処理対象データ要素の場合と同様に、ブロックパターンデータベース62において処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が検出されることなく(ステップS14,S15)、処理データベース61において処理対象データ要素のセル名「CELL_A」に関連づけられた処理済データ要素が検出される(ステップS16,S17)。
処理済データ要素が検出されると、同名異形チェック部34により、3番目の処理対象データ要素が示す対象パターン(すなわち、図8中のセル91c)と、検出された処理済データ要素が示す参照パターン(すなわち、図4中のCELL_Aに関連づけられたセル)とが比較される(ステップS171)。ここで、対象パターンであるセル91c(図8参照)と参照パターンであるCELL_Aに関連づけられたセル(図4参照)とは異なっている。データ変換装置1では、対象パターンと参照パターンとが異なっている場合、セル名変更部35により処理対象データ要素のセル名の末尾に「?」が付加されてセル名が「CELL_A?」に変更される(ステップS172)。すなわち、3番目の処理対象データ要素のセル名は、「CELL_C」から「CELL_A」に変更され、さらに、「CELL_A?」に変更されたことになる。
そして、ステップS16に戻って、処理データベース61において処理対象データ要素のセル名「CELL_A?」に関連づけられた処理済データ要素が検索され、図4に示すように、処理対象データ要素に対応する処理済データ要素が処理データベース61に含まれていないことが確認される(ステップS16,S17)。続いて、図形処理部36により、処理対象データ要素に対する矩形分割処理が行われて処理済データ要素が生成される(ステップS18)。
生成された処理済データ要素は出力データ生成部37に送られて出力データに追加され(換言すれば、処理済データ要素が出力データに含められ)、3番目の処理対象データ要素に対するデータ変換作業が終了する(ステップS19)。これにより、処理対象データ要素が示すセル91cについて、図8中に破線にて示すように矩形分割された処理済データ要素が出力データ内に準備される。
続いて、再び入力データに未変換のセルデータ要素が残っているか否かが確認され(ステップS20)、ステップS11に戻って次のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_Dであるセルデータ要素)が、4番目の処理対象データ要素として取り出される(ステップS11)。
4番目の処理対象データ要素に対しても、1番目の処理対象データ要素と同様に、代表セル名およびブロックデータ要素が検出されることなく(ステップS12〜S15)、処理データベース61が検索され、処理対象データ要素のセル名「CELL_D」に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース61に存在しないことが確認される(ステップS16,S17)。そして、処理対象データ要素に対する矩形分割処理が行われて処理済データ要素が生成されて出力データに追加され、4番目の処理対象データ要素に対するデータ変換作業が終了する(ステップS18,S19)。これにより、処理対象データ要素が示すセル91dについて、図8中に破線にて示すように矩形分割された処理済データ要素が出力データ内に準備される。
データ変換部3では、再び入力データに未変換のセルデータ要素が残っているか否かが確認され(ステップS20)、ステップS11に戻って次のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_M1であるセルデータ要素)が、5番目の処理対象データ要素として取り出される(ステップS11)。
5番目の処理対象データ要素に対しても、1番目の処理対象データ要素と同様に、代表セル名は検出されない(ステップS12,S13)。続いて、ブロックパターン検出部32により図5.Aに示すブロックパターンデータベース62が検索され(ステップS14)、処理対象データ要素に対応する(すなわち、処理対象データ要素のセル名「CELL_M1」に関連づけられた)ブロックデータ要素622が検出される(ステップS15)。
ブロックデータ要素が検出されると、ステップS16〜S19に代えて、ブロックパターン検出部32により当該ブロックデータ要素が出力データ生成部37に送られて出力データに追加され(換言すれば、処理済データ要素が出力データに含められ)、5番目の処理対象データ要素に対するデータ変換作業が終了する(ステップS151)。
次に、再び入力データに未変換のセルデータ要素が残っているか否かが確認され(ステップS20)、ステップS11に戻って次のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_M2であるセルデータ要素)が、6番目の処理対象データ要素として取り出される(ステップS11)。
6番目の処理対象データ要素に対しても、5番目の処理対象データ要素と同様の流れで作業が行われ、6番目の処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が出力データに追加されて6番目の処理対象データ要素に対するデータ変換作業が終了する(ステップS12〜S15,S151)。
データ変換装置1では、入力データに含まれる複数のセルデータ要素の全てに対して上記データ変換作業が順次繰り返され、変換されるべき次のデータがない場合に、入力データに対する一連のデータ変換作業が終了する(ステップS20)。入力データに対するデータ変換作業が終了すると、出力データ生成部37において生成された出力データが、データ出力部5により露光装置に送られ、当該出力データに基づいて基板の露光が行われる。露光装置では、セル92およびセル93がそれぞれマスクを介して一括露光され、セル91a〜91dが矩形の照射領域を有する電子ビームの照射により描画される。
データ変換装置1では、上述のデータ変換作業よりも前に、処理データベース61に対する処理済データ要素の登録が行われる。以下では、処理済データ要素の処理データベース61への登録作業について説明する。図9.Aないし図9.Cは、処理済データ要素の登録の流れを示す図である。
データ変換装置1では、まず、複数のセルデータ要素を含む登録データが、図3に示すデータ受付部2により受け付けられてデータベース更新部4へと送られる。本実施の形態では、上述の入力データと同様に、登録データの複数のセルデータ要素が、一のセルデータ要素が他の一のセルデータ要素を参照する階層構造を形成する。
続いて、登録データから一のセルデータ要素が取り出され、データベース更新部4の登録条件チェック部41により所定の登録条件を満たすか否かが確認される。登録条件チェック部41においてチェックされる登録条件は、セルデータ要素が示すパターンが所定の大きさ以下である条件、セルデータ要素が示すパターンの頂点数が所定の個数(例えば、5個)以上である条件、およびセルデータ要素の他のセルデータ要素からの参照回数が所定の回数以上である条件の少なくとも1つ以上を含む。
登録条件チェック部41では、登録データ内の全セルデータ要素について登録条件を満たすか否かが確認され、所定の登録条件を満たすセルデータ要素のみが登録対象として選抜される(ステップS31)。以下、登録対象となるセルデータ要素の集合を「二次登録データ」という。図10は、二次登録データが示す回路パターンを示す図である。図10に示すセル91aおよびセル91e〜91gのセル名は、「CELL_A」および「CELL_E」〜「CELL_G」であり、セル91a,91f,91gの形状は同一である。また、図4に示す処理データベース61には、セル名が「CELL_A」および「CELL_E」であるレコード610のみが登録されており、図6に示す異名同形リスト63には、「CELL_A=CELL_B=CELL_C」という異名同形情報のみが登録されているものとする。
二次登録データが生成されると、二次登録データから図10中のセル91aに対応する一のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_Aであるセルデータ要素)が取り出され、登録対象データ要素として準備される(ステップS32)。次に、処理済データ検出部42により、図4に示す処理データベース61において、登録対象データ要素のセル名「CELL_A」に関連づけられた(すなわち、登録対象データ要素に対応する)処理済データ要素612が検索される(ステップS33)。そして、処理データベース61からセル名611が「CELL_A」である処理済データ要素612が検出される(ステップS34)。
処理済データ要素が検出されると、同名異形チェック部43により、登録対象データ要素が示す対象パターン(すなわち、図10中のセル91a)と、検出された処理済データ要素が示す参照パターン(すなわち、図4中のCELL_Aに関連づけられたセル)とが比較される(ステップS341)。これにより、セル名が同一である登録対象データ要素および処理済データ要素がそれぞれ示すパターンが同一であるか否かが確認される。同名異形チェックの方法は、既述のデータ変換作業における同名異形チェック(ステップS171)と同様である。
登録対象データ要素が示す対象パターンと処理済データ要素が示す参照パターンとが同一である(すなわち、同名同形である)場合、同名異形チェック部43により登録対象データ要素の登録が不要であると判断され、図10中のセル91aに対応するセルデータ要素のデータ登録作業が終了する。
データベース更新部4では、二次登録データに未処理のセルデータ要素が残っているか否かが確認され(ステップS36)、次のセルデータ要素があるため、ステップS32に戻って次のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_Eであるセルデータ要素)が、2番目の登録対象データ要素として二次登録データから取り出される(ステップS32)。
続いて、1番目の登録対象データ要素と同様に、図4に示す処理データベース61において、登録対象データ要素のセル名「CELL_E」に関連づけられた処理済データ要素612が検索され、セル名611が「CELL_E」である処理済データ要素612が検出される(ステップS33,S34)。
処理済データ要素が検出されると、同名異形チェック部43により、登録対象データ要素が示す対象パターン(すなわち、図10中のセル91e)と、検出された処理済データ要素が示す参照パターン(すなわち、図4中のCELL_Eに関連づけられたセル)とが比較される(ステップS341)。ここで、対象パターンであるセル91e(図10参照)と参照パターンであるCELL_Eに関連づけられたセル(図4参照)とは異なっている。データ変換装置1では、対象パターンと参照パターンとが異なっている場合、セル名変更部44により登録対象データ要素のセル名の末尾に「?」が付加されてセル名が「CELL_E?」に変更される(ステップS342)。
そして、ステップS33に戻って、処理データベース61において登録対象データ要素のセル名「CELL_E?」に関連づけられた処理済データ要素が検索され、登録対象データ要素に対応する処理済データ要素が処理データベース61に存在しないことが確認されると、当該2番目の登録対象データ要素が三次登録データとしてデータベース更新部4に記憶される(ステップS33〜S35)。
次に、再び二次登録データに未処理のセルデータ要素が残っているか否かが確認され(ステップS36)、ステップS32に戻って次のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_Fであるセルデータ要素)が、3番目の登録対象データ要素として取り出される(ステップS32)。
3番目の登録対象データ要素に対しても、1番目の登録対象データ要素と同様に、処理データベース61が検索される(ステップS33)。そして、登録対象データ要素のセル名「CELL_F」に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース61に存在しないことが確認されると(ステップS34)、当該3番目の登録対象データ要素が三次登録データに追加される(ステップS35)。
データベース更新部4では、再び二次登録データに未処理のセルデータ要素が残っているか否かが確認され(ステップS36)、ステップS32に戻って次のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_Gであるセルデータ要素)が、4番目の登録対象データ要素として取り出される(ステップS32)。
4番目の登録対象データ要素に対しても、処理データベース61が検索されて登録対象データ要素のセル名「CELL_G」に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース61に存在しないことが確認された後、当該4番目の登録対象データ要素が三次登録データに追加される(ステップS33〜S35)。
データ変換装置1では、二次登録データに含まれる全てのセルデータ要素に対してステップS32〜S35に示す作業が繰り返されて三次登録データの生成が終了する(ステップS36)。図11は、三次登録データが示す回路パターンを示す図である。図11に示すように、三次登録データにはセル91e〜91gに対応するセルデータ要素が登録されており、セル91e〜91gのセル名は、「CELL_E?」、「CELL_F」、「CELL_G」である。
三次登録データの生成が終了すると、異名同形チェック部45により、三次登録データに含まれる各セルデータ要素が示すパターンが、他のセルデータ要素が示すパターンと比較される。これにより、セル名が互いに異なる複数のセルデータ要素において、それぞれが示すパターンも互いに異なるか否かが確認される。換言すれば、三次登録データ内において異名同形チェックが行われる(ステップS37)。そして、パターンが同一のセルデータ要素が検出された場合、一方のセルデータ要素のセル名を代表セル名として、代表セル名と他方のセルデータ要素のセル名との関連づけを示す異名同形情報が異名同形リスト63(図6参照)に登録される。
図11に示すように、三次登録データでは、セル91fおよびセル91gの形状が同一であるため、セル名が「CELL_F」および「CELL_G」である2つのセルデータ要素が異名同形として検出される(ステップS38)。そして、代表セル名を「CELL_F」として、当該代表セル名と「CELL_G」との関連づけを示す情報、すなわち、「CELL_F=CELL_G」という異名同形情報が異名同形リスト63に登録されるとともに、三次登録データから、セル名が「CELL_G」であるセルデータ要素が削除される(ステップS381)。これにより、三次登録データが含むセルデータ要素は、セル91e,91fに対応する2つのみとなる。
次に、三次登録データからセル91eに対応する一のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_E?であるセルデータ要素)が取り出され、登録対象データ要素として準備される(ステップS39)。続いて、異名同形チェック部45により、登録対象データ要素が示す対象パターン(すなわち、図11中のセル91e)と、処理データベース61に含まれる複数の処理済データ要素が示す参照パターン(すなわち、図4中のCELL_AおよびCELL_Eにそれぞれ関連づけられたセル)とが順次比較され、登録対象データ要素と処理データベース61に含まれる処理済データ要素との間で異名同形チェックが行われる(ステップS40)。
そして、異名同形チェック部45により、登録対象データ要素が示す対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出されないこと(換言すれば、登録対象データ要素と異名同形である処理済データ要素が処理データベース61に含まれていないこと)が確認される(ステップS41)。続いて、図形処理部46により、登録対象データ要素に対する矩形分割処理が行われて処理済データ要素が生成され(ステップS42)、データ登録部47により、登録対象データ要素のセル名「CELL_E?」と生成された処理済データ要素とを関連づけるレコードが処理データベース61に追加される(ステップS43)。
データベース更新部4では、三次登録データに未処理のセルデータ要素が残っているか否かが確認され(ステップS44)、次のセルデータ要素があるため、ステップS39に戻って次のセルデータ要素(すなわち、セル名がCELL_Fであるセルデータ要素)が、2番目の登録対象データ要素として三次登録データから取り出される(ステップS39)。
続いて、1番目の登録対象データ要素と同様に、登録対象データ要素が示す対象パターン(すなわち、図11中のセル91f)と、処理データベース61に含まれる複数の処理済データ要素が示す参照パターン(すなわち、図4中のCELL_AおよびCELL_Eにそれぞれ関連づけられたセル)とが順次比較され、登録対象データ要素と処理データベース61に含まれる処理済データ要素との間で異名同形チェックが行われる(ステップS40)。
そして、異名同形チェック部45により、セル91f(図11参照)と同一の参照パターンを示す処理済データ要素(すなわち、図4中のCELL_Aに関連づけられたセル)が処理データベース61から検出される(ステップS41)。このように、登録対象データ要素とセル名は異なるが同一のパターンを示す処理済データ要素(すなわち、異名同形の処理済データ要素)が処理データベース61に既に登録されている場合、登録対象データ要素に対する矩形分割処理および処理データベース61への登録は取りやめられる。
異名同形の処理済データ要素が検出されると、検出された処理済データ要素のセル名「CELL_A」を代表セル名として、当該代表セル名と登録対象データ要素のセル名「CELL_F」との関連づけを示す情報、すなわち、「CELL_A=CELL_F」という異名同形情報が異名同形リスト63に送られる。そして、ステップS381にて既に登録されている「CELL_F=CELL_G」という異名同形情報と合わせて「CELL_A=CELL_F=CELL_G」という異名同形情報として異名同形リスト63に登録される(ステップS411)。その後、三次登録データに未処理のセルデータ要素が残っていないことが確認され、全てのセルデータ要素に対するデータ登録作業が終了する(ステップS44)。
以上に説明したように、データ変換装置1におけるデータ変換作業では、セル名とセルデータ要素に対して矩形分割処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベース61が予め用意されており、入力データに含まれるセルデータ要素に対して矩形分割処理を行って処理済データ要素を生成する代わりに、当該セルデータ要素に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース61から検出されて出力データに含められる。これにより、入力データに含まれる複数のセルデータ要素に対して行われる矩形分割処理の回数を減らすことができ、データ変換作業に要する時間を短縮することができる。
ところで、LSIの回路パターンを表す入力データでは、セルデータ要素に対するセル名の付与基準が統一されていないため、セルデータ要素と処理データベース61内の処理済データ要素とでセル名が同一であってもパターンが異なる場合がある。データ変換装置1では、処理データベース61から処理対象データ要素と同名の処理済データ要素が検出された場合に、同名異形チェック部34により処理対象データ要素と処理済データ要素との同名異形チェックを行うことにより、入力データを正確に出力データに変換することができる。また、同名異形の処理済データ要素が検出された処理対象データ要素のセル名を変更して当該処理対象データ要素に対応する処理済データ要素を処理データベース61において再検索することにより、矩形分割処理を行う回数をさらに減少させてデータ変換作業に要する時間をより短縮することができる。
データ変換装置1によるデータ変換作業では、処理対象データ要素のセル名が異名同形リスト63に基づいて代表セル名に変更されることにより、処理データベース61に登録済みの処理済データ要素とセル名は異なるがパターンが同一である処理対象データ要素に対して、矩形分割処理を行うことなく処理済データ要素を得ることができるため、データ変換作業に要する時間をさらに短縮することができる。
また、処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素がブロックパターンデータベース62に含まれている場合に、処理対象データ要素に対する矩形分割処理を行うことなく当該ブロックデータ要素を出力データに追加することにより、データ変換作業に要する時間をより一層短縮することができる。さらには、後工程である基板に対する描画の際に、描画装置においてブロックパターンを一括して露光することにより、パターンの描画に要する時間を短縮することもできる。
データ変換装置1では、対応する処理済データ要素およびブロックデータ要素がデータベースに登録されていない処理対象データ要素に対して矩形分割処理が行われることにより、複数の矩形図形の集合を示す処理済データ要素がベクトルデータとして生成されるが、処理対象データ要素に対する図形処理は必ずしも矩形分割処理には限定されず、また、処理済データ要素も必ずしもベクトルデータには限定されない。
データ変換装置の他の好ましい例では、処理済データ要素は、処理対象データ要素に対して拡大等の所定の図形処理を行って得られたラスタデータとされる。この場合、処理データベースに含まれる各処理済データ要素もラスタデータとして表現される。また、処理対象データ要素に対して所定の図形処理を行って得られた処理済データ要素、および、処理データベースに含まれる処理済データ要素は、例えばランレングスデータであってもよい。
データ変換装置1によるデータ登録作業では、登録対象データ要素が示す対象パターンと、処理データベース61において登録対象データ要素のセル名と関連づけられた処理済データ要素が示す参照パターンとが異なる場合に(すなわち、登録対象データ要素と処理済データ要素とが同名異形である場合に)、登録対象データ要素のセル名を変更して当該登録対象データ要素に対応する処理済データ要素を処理データベース61において再検索することにより、未登録のパターンを示す登録対象データ要素を確実に処理データベース61に登録することができる。
データ変換装置1によるデータ登録作業では、登録対象データ要素とセル名が同一の処理済データ要素が処理データベース61において検出されなかった場合に、登録対象データ要素が示す対象パターンと処理データベース61に含まれる複数の処理済データ要素が示す参照パターンとが順次比較され、対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に(すなわち、登録対象データ要素と異名同形の処理済データ要素が検出された際に)、登録対象データ要素の登録が取りやめられる。これにより、処理済データ要素が示すパターンと同じパターンを示すセルデータ要素を処理データベース61に重複して登録することを防止することができる。
また、三次登録データ内において異名同形チェックを行うことにより、三次登録データに含まれるセルデータ要素の数を減らし、上述の登録対象データ要素と処理データベース61との間における異名同形チェック等の後工程の繰り返し回数を減らすことができる。その結果、データ登録作業に要する時間を短縮することができる。
データ登録作業では、所定の登録条件を満たすセルデータ要素のみが処理データベース61に対する登録対象データ要素とされることにより、処理データベース61の容量増加を抑制することができる。このとき、セルデータ要素が示すパターンが所定の大きさ以下であることが登録条件とされることにより、処理データベース61に登録されるレコードの容量が過剰に大きくなることを防止することができる。また、セルデータ要素が示すパターンの頂点数が所定の個数(例えば、5個)以上であることが登録条件とされることにより、頂点数が多く矩形分割処理に長時間を要するセルデータ要素のみが登録されるため、処理データベース61の容量増加をより抑制しつつデータ変換作業を効率的に行うことができる。さらには、セルデータ要素の他のセルデータ要素からの参照回数が所定の回数以上であることが登録条件とされることにより、入力データにおいて出現頻度が高いセルデータ要素のみが登録されるため、処理データベース61の容量増加をさらに抑制しつつデータ変換作業をより効率的に行うことができる。
次に、本発明の第2の実施の形態に係るデータ変換装置について説明する。第2の実施の形態に係るデータ変換装置の構成は第1の実施の形態と同様であり、装置により処理される入力データ、出力データおよび登録データの形式および構造も同様である。
図12は、第2の実施の形態に係るデータ変換装置のCPU等がプログラムに従って演算処理を行うことにより実現される機能を他の構成と共に示すブロック図である。図12に示すように、第2の実施の形態に係るデータ変換装置では、図3に示すデータ変換装置1の機能に加えて、データ変換部3に登録条件チェック部381、異名同形チェック部382およびデータ登録部39がさらに設けられる。その他の構成は図3と同様であり、以下の説明において同符号を付す。
図13は、第2の実施の形態に係るデータ変換装置におけるデータ変換の流れの一部を示す図である。図3に示す工程の前後の工程(すなわち、図7.Aおよび図7.Bに示すステップS11〜S16およびステップS19,S20)は、第1の実施の形態と同様である。以下、図7.A、図7.Bおよび図13を参照しつつ第2の実施の形態に係るデータ変換装置におけるデータ変換の流れについて説明する。なお、第2の実施の形態に係るデータ変換装置におけるデータ登録の流れは第1の実施の形態と同様であるため、説明を省略する。
第2の実施の形態に係るデータ変換装置では、第1の実施の形態と同様に、データ受付部2により受け付けられた入力データがデータ変換部3へと送られ、一のセルデータ要素が処理対象データ要素として入力データから取り出される(図7.A:ステップS11)。続いて、異名同形リスト63(図6参照)において処理対象データ要素のセル名に関連づけられた代表セル名が検索され、代表セル名が検出された場合には、処理対象データ要素のセル名が代表セル名に変更される(ステップS12,S13,S131)。
次に、ブロックパターンデータベース62(図5.A参照)において処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が検索され(ステップS14)、ブロックデータ要素が検出された場合には当該ブロックデータ要素が出力データに追加される(ステップS15,S151)。また、ブロックデータ要素が検出されなかった場合には、処理データベース61(図4参照)において処理対象データ要素に対応する処理済データ要素が検索される(ステップS15,S16)。
処理済データ要素が検出された場合には、処理対象データ要素が示す対象パターンと処理済データ要素が示す参照パターンとが比較されて同名異形チェックが行われ(ステップS17,S171)、処理対象データ要素および処理済データ要素が同名異形であると判断されると、処理対象データ要素のセル名の末尾に「?」が付与されてセル名が変更され(ステップS172)、ステップS16に戻って処理データベース61における検索が再度行われる。同名同形であると判断されると、検出された処理済データ要素が出力データに追加される(ステップS171,S19)。
一方、処理データベース61において処理対象データ要素に対応する処理済データ要素が検出されなかった場合には、図12に示す登録条件チェック部381により、処理対象データ要素が処理データベース61に規定されている既述の登録条件(例えば、セルデータ要素が示すパターンが所定の大きさ以下であること等)を満たすか否かが確認される(図13:ステップS173)。
上述のように、LSIの回路パターンを表す入力データでは、セルデータ要素に対するセル名の付与基準が統一されていないため、処理対象データ要素とセル名は異なるがパターンが同一の処理済データ要素が処理データベース61に登録されている可能性がある。そこで、処理対象データ要素が処理データベース61の登録条件を満たしている場合には、異名同形チェック部382により、処理対象データ要素が示す対象パターンと処理データベース61に含まれる複数の処理済データ要素が示す参照パターンとが順次比較されて処理対象データ要素と処理データベース61との間で異名同形チェックが行われる(ステップS174)。
データ変換部3では、異名同形チェックにおいて対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に(ステップS175)、検出された当該処理済データ要素が出力データ生成部37により出力データに追加される(すなわち、出力データに含められる。)(ステップS19)。また、処理対象データ要素と異名同形の処理済データ要素が検出されなかった場合には、第1の実施の形態と同様に、図形処理部36による処理対象データ要素に対する矩形分割処理が行われて処理済データ要素が生成される(ステップS18)。そして、データ登録部39により、処理対象データ要素のセル名と生成された処理済データ要素とを関連づけるレコードが処理データベース61に追加され(ステップS181)、その後、当該処理済データ要素が出力データ生成部37により出力データに追加される(ステップS19)。なお、図形処理部36により生成された処理済データ要素の処理データベース61への登録(ステップS181)は、当該処理済データ要素の出力データへの追加(ステップS19)よりも後に行われてもよい。
ステップS173における登録条件のチェックにおいて、処理対象データ要素が処理データベース61の登録条件を満たしていない場合には、処理対象データ要素と異名同形の処理済データ要素が処理データベース61に含まれている可能性はないため、処理対象データ要素に対する矩形分割処理が行われ、処理済データ要素が生成されて出力データに追加される(ステップS176,S19)。
以上に説明したように、第2の実施の形態に係るデータ変換装置におけるデータ変換作業では、第1の実施の形態と同様に、入力データに含まれるセルデータ要素に対して矩形分割処理を行って処理済データ要素を生成する代わりに、当該セルデータ要素に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース61から検出される。これにより、入力データに含まれる複数のセルデータ要素に対して行われる矩形分割処理の回数を減らすことができ、データ変換作業に要する時間を短縮することができる。
また、処理データベース61から処理済データ要素が検出された場合に、処理対象データ要素と処理済データ要素との同名異形チェックを行うことにより、入力データをより正確に出力データに変換することができる。さらには、同名異形とされた処理対象データ要素のセル名を変更して対応する処理済データ要素を再検索することにより、データ変換作業に要する時間をより短縮することができる。その上、ブロックパターンデータベース62を利用することにより、データ変換作業に要する時間をより一層短縮することができる。
第2の実施の形態に係るデータ変換装置では、特に、処理対象データ要素のセル名に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース61から検出されなかった場合に、処理対象データ要素が示す対象パターンと処理データベース61に含まれる処理済データ要素が示す参照パターンとを順次比較し、処理対象データ要素と異名同形の処理済データ要素が検出された場合に、矩形分割処理による処理済データ要素の生成を行うことなく、検出された処理済データ要素が出力データに追加される。データ変換装置では、セル名が処理データベース61に登録されていないセルデータ要素に対応する処理済データ要素をパターンの比較により処理データベース61から検出する作業に要する時間が、セルデータ要素に対して矩形分割処理を施して処理済データ要素を生成する作業に要する時間よりも短いため、処理対象データ要素と処理データベース61との間で異名同形チェックを行うことにより、矩形分割処理を行う回数を減らしてデータ変換作業に要する時間をより短縮することができる。
また、第2の実施の形態に係るデータ変換装置では、第1の実施の形態と同様に、処理対象データ要素のセル名が異名同形リスト63に基づいて代表セル名に変更されることにより、データ変換作業に要する時間をさらに短縮することができる。第2の実施の形態に係るデータ変換装置では、特に、セル名の代表セル名への変更により、上述の処理対象データ要素と処理データベース61との間の異名同形チェックの対象となるセルデータ要素を減らすことができるため、データ変換作業に要する時間をより一層短縮することができる。
第2の実施の形態に係るデータ変換装置では、図形処理部36により矩形分割処理が施された処理対象データ要素のセル名と、当該矩形分割処理により生成された処理済データ要素とを関連づけるレコードが処理データベース61に追加されることにより、データ変換作業と並行して処理データベース61を容易に更新することができる。その結果、以後のデータ変換作業に要する時間を短縮することができる。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
上記実施の形態に係るデータ変換装置では、処理データベースに対するレコードの登録において、三次登録データ内において行われる異名同形チェック(ステップS37,S38)が省略されてもよい。この場合であっても、効率は低下するが、ステップS39〜S44の工程が三次登録データ内の全セルデータ要素に対して繰り返されることにより、同一の処理済データ要素が処理データベースに重複して登録されることが防止される。
処理データベースに対する処理済データ要素の登録では、登録データとしてデータ変換の対象である入力データが利用されてもよい。入力データがスタンダードセルライブラリに含まれるセルデータ要素を含んでいる場合、このような汎用的なセルデータ要素は他の入力データにおいても使用される可能性が高いため、入力データを利用して処理済データ要素を登録することによりデータ変換作業を効率化することができる。また、登録データは、必ずしも階層構造を有する必要はなく、さらには、セルデータ要素を1つだけ含むものであってもよい。入力データも同様に、必ずしも階層構造を有する必要はない。
入力データは、各セルの形状を示すセルデータ要素、および、各セルの基板上の位置等を示す位置データ要素の集合であるが、当該位置データ要素は、例えば、一のセルに対する複写、配列、回転等の論理情報を含んでいてもよい。また、データ変換装置による図形処理は、上述の矩形分割処理やラスタライズ時の拡大等には限定されず、処理対象データ要素および登録対象データ要素に対して様々な図形処理が行われてよい。
データ変換装置により生成される出力データは、必ずしもLSI用の基板に描画される回路パターンの描画データには限定されず、例えば、他の回路基板や半導体基板、または、プラズマ表示装置や液晶表示装置等のフラットパネル表示装置若しくはフォトマスク用のガラス基板等に対するパターンの描画に利用される描画データであってもよい。また、他の様々な目的に利用されるデータが、入力データからの変換の結果として生成されてもよい。
1 データ変換装置
61 処理データベース
62 ブロックパターンデータベース
63 異名同形リスト
91a〜91g,92,93,901 セル
141 プログラム
610 レコード
611 セル名
612 処理済データ要素
622 ブロックデータ要素
902,903 ブロックパターン
911 矩形
S11〜S20,S31〜S44,S131,S151,S171〜S176,S181,S341,S342,S381,S411 ステップ
61 処理データベース
62 ブロックパターンデータベース
63 異名同形リスト
91a〜91g,92,93,901 セル
141 プログラム
610 レコード
611 セル名
612 処理済データ要素
622 ブロックデータ要素
902,903 ブロックパターン
911 矩形
S11〜S20,S31〜S44,S131,S151,S171〜S176,S181,S341,S342,S381,S411 ステップ
Claims (16)
- 複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換するデータ変換方法であって、
a)入力データから一の図形データ要素を処理対象データ要素として取り出す工程と、
b)図形データ要素が示すパターンを特定する各識別子と前記図形データ要素に対して所定の図形処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、
c)前記b)工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理済データ要素を出力データに含め、前記b)工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程と、
d)前記入力データに含まれる複数の図形データ要素に対して前記a)工程ないし前記c)工程を順次繰り返す工程と、
を備えることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項1に記載のデータ変換方法であって、
前記b)工程と前記c)工程との間に、
前記b)工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理対象データ要素が示す対象パターンと検出された前記処理済データ要素が示す参照パターンとを比較し、前記対象パターンが前記参照パターンと異なる場合に前記処理対象データの前記識別子を変更して前記b)工程に戻る工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項1または2に記載のデータ変換方法であって、
前記b)工程と前記c)工程との間に、
前記b)工程において処理済データが検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素が示す対象パターンと前記処理データベースに含まれる処理済データ要素が示す参照パターンとを順次比較し、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に、前記c)工程に代えて、検出された前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記c)工程において前記処理対象データ要素に対する前記図形処理が行われた場合、前記処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の前記識別子と生成された前記処理済データ要素とを関連づける工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
e)前記a)工程よりも前に、前記処理データベースに処理済データ要素を登録する工程をさらに備え、
前記e)工程が、
e1)登録対象となる図形データ要素を登録対象データ要素として準備する工程と、
e2)前記処理データベースにおいて、前記登録対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、
e3)前記e2)工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記登録対象データ要素が示す対象パターンと検出された前記処理済データ要素が示す参照パターンとを比較し、前記対象パターンが前記参照パターンと異なる場合に前記登録対象データ要素の前記識別子を変更して前記e2)工程に戻り、前記e2)工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記登録対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理データベースにおいて、前記登録対象データ要素の前記識別子と前記処理済データ要素とを関連づける工程と、
を備えることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項5に記載のデータ変換方法であって、
前記e2)工程と前記e3)工程との間に、
e4)前記e2)工程において処理済データ要素が検出されなかった場合、前記登録対象データ要素が示す対象パターンと前記処理データベースに含まれる処理済データ要素が示す参照パターンとを順次比較し、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に、前記e3)工程を取りやめる工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項6に記載のデータ変換方法であって、
前記e4)工程において、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された場合、前記処理済データ要素に関連づけられた識別子を代表識別子として前記代表識別子と前記登録対象データ要素の前記識別子との関連づけを示す情報を異名同形リストに登録し、
前記a)工程と前記b)工程との間に、前記異名同形リストにおいて前記処理対象データ要素の前記識別子に関連づけられた代表識別子を検索し、代表識別子が検出された場合に、前記処理対象データ要素の前記識別子を検出された前記代表識別子に変更する工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項5ないし7のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記複数の図形データ要素が、一の図形データ要素が他の一の図形データ要素を参照する階層構造を形成し、前記e1)工程において、所定の登録条件を満たす図形データ要素のみが登録対象データ要素として準備されることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項8に記載のデータ変換方法であって、
前記登録条件が、図形データ要素が示すパターンが所定の大きさ以下である条件、図形データ要素が示すパターンの頂点数が所定の個数以上である条件、および、図形データ要素の他の図形データ要素からの参照回数が所定の回数以上である条件の少なくともいずれか1つを含むことを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項1ないし9のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記出力データが、基板に描画される前記複数の図形データ要素が示すパターンの形状、および、各パターンの前記基板上の位置を示す描画データであることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項10に記載のデータ変換方法であって、
前記a)工程と前記b)工程との間に、ブロック描画が可能なブロックパターンを示す複数のブロックデータ要素を含むブロックパターンデータベースを参照し、前記処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が前記ブロックパターンデータベースに含まれている場合に、前記b)工程および前記c)工程に代えて、前記ブロックデータ要素のブロック描画を指示するデータを前記出力データに含める工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項10または11に記載のデータ変換方法であって、
前記基板が半導体集積回路用の基板であることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項1ないし12のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記図形処理が、図形データ要素が示すパターンを複数の矩形に分割する矩形分割処理であることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項1ないし12のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記処理済データ要素が、ラスタデータであることを特徴とするデータ変換方法。 - 請求項1ないし12のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記処理済データ要素が、ランレングスデータであることを特徴とするデータ変換方法。 - 複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換させるプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
a)入力データから一の図形データ要素を処理対象データ要素として取り出す工程と、
b)図形データ要素が示すパターンを特定する各識別子と前記図形データ要素に対して所定の図形処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、
c)前記b)工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理済データ要素を出力データに含め、前記b)工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程と、
d)前記入力データに含まれる複数の図形データ要素に対して前記a)工程ないし前記c)工程を順次繰り返す工程と、
を実行させることを特徴とするプログラム。
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