KR101470128B1

KR101470128B1 - 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR101470128B1
Application number: KR1020130023922A
Authority: KR
Inventors: 유키오 도미후지; 시게키 미나미; 가즈오 조다이; 노리오 요시카와
Original assignee: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date: 2012-03-29
Filing date: 2013-03-06
Publication date: 2014-12-05
Also published as: CN103369840A; JP2013207140A; TWI505393B; US20130255732A1; CN103369840B; TW201342517A; KR20130111284A; JP5819759B2; US9358587B2

Abstract

[과제] 가요성을 갖는 기판에 대해, 그 중앙부의 접촉 불가 영역에 접촉하지 않고, 기판의 표리 양면을 균일하게 처리하는 것이 가능한 기판 처리 장치를 제공한다.
[해결 수단] 기판 처리 장치는, 반입부(1)와, 처리조(2)와, 수세조(4)와, 건조조(5)와, 반출부(6)와, 기판을 반입부(1), 처리조(2), 수세조(4), 건조조(5), 반출부(6)에 순차적으로 반송하기 위한 무단 벨트(7)를 구비한다. 또 기판 처리 장치는, 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를, 한 쌍의 무단 벨트(7)에 고정하기 위한 고정 기구를 구비한다. 기판은, 반입부(1)에 있어서, 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를 한 쌍의 무단 벨트(7)에, 일정한 피치로 복수장 고정된다. 또 처리를 종료한 기판은, 반출부(6)에 있어서, 한 쌍의 무단 벨트(7)로부터 분리된다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE TREATING APPARATUS}

이 발명은, 가요성을 갖는 직사각형상의 기판을 수평 방향으로 반송함과 더불어, 기판의 양면에 처리액을 공급함으로써, 기판의 양면을 동시에 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

예를 들면, 프린트 기판이나 전자 페이퍼용 기판은, 가요성을 갖는 직사각형상의 재질로 구성되어 있다. 이러한 기판에서는, 직사각형상을 형성하는 4변 부근의 끝 가장자리 영역은, 접촉 가능 영역으로 되어 있지만, 끝 가장자리 영역 이외의 영역은, 접촉 불가 영역으로 되어 있다.

예를 들면, 전자 페이퍼용 기판은, 지지층과, 접착층과, 전자 페이퍼용 필름을 이 순서대로 적층한 구성을 갖는다. 그리고 전자 페이퍼용 필름의 사이즈는 지지층의 사이즈보다 약간 작아지고 있으며, 전자 페이퍼용 필름의 끝 가장자리는 지지층의 끝 가장자리보다 10mm 정도 내측에 배치되어 있다. 이 전자 페이퍼용 기판에서는, 제품의 정밀도를 향상시키기 위해, 전자 페이퍼용 필름과의 접촉은 금지되어 있으며, 전자 페이퍼용 기판의 반송 시 등에 있어서는, 전자 페이퍼용 필름측에서는 지지층의 둘레 가장자리부에만 접촉이 허용되고 있다. 이러한 전자 페이퍼용 기판 이외에도, 일반적으로 기판은 그 중앙부가 접촉 불가 영역으로 되고 둘레 가장자리부가 접촉 가능 영역으로 되어 있다.

이러한 기판에 대해, 그 양면에 처리액을 공급하여 기판의 양면을 동시에 처리하는 경우에, 기판을 반송 롤러 등으로 반송한 것에서는, 기판의 하면에 반송 롤러가 접촉하게 되어, 기판을 적정하게 처리하는 것은 불가능해진다.

특허 문헌 1에는, 현상 처리용 지그를 이용하여 다층 프린트 배선판을 현상 처리하는 다층 프린트 배선판의 제조 방법이 개시되어 있다. 이 다층 프린트 배선판의 제조 방법에서 사용되는 현상 처리용 지그는, 금속제 틀체와, 이 틀체 내측의 좌우 틀에 탄성체를 통해 탄력적으로 걸쳐진 금속 바 혹은 금속 틀로 이루어지는 현상 처리용 지그로서, 틀체의 상부 틀의 외측에는, 지그의 반송에 사용하기 위한 훅을 설치함과 더불어, 상부 틀의 내측에는, 기판의 상단을 매달아 지지하기 위한 상부 훅을 각각 설치하고, 한편 금속 바 혹은 금속 틀에는, 지그에 기판의 하단을 걸기 위한 하부 훅을 설치한 구성을 갖는다. 이 현상 처리용 지그에 고정된 기판은, 지그 틀체의 상부 틀의 외측에 설치된 훅을 반송 레일에 걸어 현상실로 반송된다. 그리고 현상실에 있어서, 기판을 수직으로 세운 상태로, 지그의 좌우 양측으로부터 기판 양면을 향해 현상액이 스프레이 된다.

일본국 특허공개 평10-107450호 공보

특허 문헌 1에 기재된 장치를 이용하여 기판의 현상 처리를 행하는 경우에는, 기판을 현상 처리용 지그에 장착할 필요가 있으며, 처리 효율이 나쁘다. 또 특허 문헌 1에 기재된 지그와 유사한 것으로서, 가요성을 갖는 직사각형상의 기판을, 액자형상의 프레임에 장착하여, 기판을 프레임과 함께 반송하면서 그 양면에 처리액을 공급함으로써, 기판의 양면을 동시에 처리하는 것도 생각할 수 있다. 그러나 이러한 구성을 채용한 경우에 있어서는, 프레임 내에 처리액이 체류하여 균일한 처리를 행할 수 없을 뿐만 아니라, 프레임 부분에 있어서의 세정이나 건조가 곤란해진다는 문제가 발생한다.

이 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 가요성을 갖는 기판에 대해, 그 중앙부의 접촉 불가 영역에 접촉하지 않고, 기판의 표리 양면을 균일하게 처리하는 것이 가능한 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

청구항 1에 기재된 발명은, 가요성을 갖는 직사각형상의 기판을 수평 방향으로 반송함과 더불어, 상기 기판의 양면에 처리액을 공급함으로써, 상기 기판의 양면을 동시에 처리하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를 지지하는 한 쌍의 무단(無端) 벨트와, 상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를, 상기 한 쌍의 무단 벨트에 고정하기 위한 고정 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 고정 수단은, 상기 무단 벨트와 상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 끝 가장자리를 끼워 유지하는 한 쌍의 자석이다.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 한 쌍의 무단 벨트는 자성체로 구성되어 있으며, 상기 고정 수단은, 상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 끝 가장자리를 상기 무단 벨트와의 사이에 끼워 유지하는 자석을 구비한다.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 기판은, 상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리에 구멍부가 형성되어 있으며, 상기 한 쌍의 무단 벨트에는, 상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리에 형성된 구멍부와 걸어맞춰지는 핀이 형성된다.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 고정 수단은, 상기 무단 벨트와 상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 끝 가장자리의 사이에 배치되는 점착 부재이다.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 고정 수단은, 상기 한 쌍의 무단 벨트와 각각 대향 배치되며, 상기 한 쌍의 무단 벨트와의 사이에 상기 기판을 끼워 유지하는 한 쌍의 제2 무단 벨트이다.

청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 6에 기재된 발명에 있어서, 상기 한 쌍의 무단 벨트에는 자석이 배치됨과 더불어, 상기 한 쌍의 제2 무단 벨트에는, 상기 한 쌍의 무단 벨트에 배치된 자석과 흡착되는 자석이 배치된다.

청구항 8에 기재된 발명은, 청구항 6에 기재된 발명에 있어서, 상기 한 쌍의 무단 벨트 또는 상기 한 쌍의 제2 무단 벨트 중 어느 한쪽은 자성체로 구성되어 있으며, 상기 한 쌍의 무단 벨트 또는 상기 한 쌍의 제2 무단 벨트 중 다른 쪽에는 자석이 배치된다.

청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 6에 기재된 발명에 있어서, 상기 한 쌍의 무단 벨트 및 상기 한 쌍의 제2 무단 벨트에는, 그들이 접촉하는 측의 표면에 서로 걸어맞춰지는 요철이 형성된다.

청구항 10에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 한 쌍의 무단 벨트에 고정되어 반송되는 기판을, 처리조에 저류된 처리액 중을 통과시킴으로써, 상기 기판의 양면을 처리액에 의해 처리한다.

청구항 11에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 한 쌍의 무단 벨트에 고정되어 반송되는 기판에 대해, 그 양면을 향해 처리액을 분출함으로써, 상기 기판의 양면을 처리액에 의해 처리한다.

청구항 1 내지 청구항 9에 기재된 발명에 의하면, 가요성을 갖는 기판에 대해, 그 중앙부의 접촉 불가 영역에 접촉하지 않고, 기판의 표리 양면을 균일하게 처리하는 것이 가능해진다.

청구항 10에 기재된 발명에 의하면, 기판이 처리조에 저류된 처리액 중을 통과할 때에, 기판의 양면을 동시에 균일하게 처리하는 것이 가능해진다.

청구항 11에 기재된 발명에 의하면, 기판의 양면을 향해 처리액을 분출함으로써, 기판의 양면을 동시에 균일하게 처리하는 것이 가능해진다.

도 1은 이 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 측면 개요도이다.
도 2는 제1 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 변형예를 도시하는 측면 개요도이다.
도 3은 처리조(2)의 개요도이다.
도 4는 이 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 측면 개요도이다.
도 5a는 제1 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 5b는 제1 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 6a는 자석(51, 52)의 탈착 상태를 도시하는 설명도이다.
도 6b는 자석(51, 52)의 탈착 상태를 도시하는 설명도이다.
도 7a는 제2 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 7b는 제2 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 8a는 제3 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 8b는 제3 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 9a는 제4 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 9b는 제4 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 10a는 제5 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 10b는 제5 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 11a는 제6 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 11b는 제6 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 12a는 제7 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 12b는 제7 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 13a는 제8 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 13b는 제8 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다.
도 14는 이 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 측면 개요도이다.
도 15는 이 발명의 제4 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 측면 개요도이다.
도 16은 무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(3)의 사이에 기판(100)에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리 중 한쪽의 끝 가장자리를 삽입하는 상태를 나타내는 설명도이다.
도 17은 무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(3)의 사이에 기판(100)에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리 중 한쪽의 끝 가장자리를 삽입하는 상태를 나타내는 설명도이다.
도 18은 무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(3)의 사이에 기판(100)에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리 중 한쪽의 끝 가장자리를 삽입하는 상태를 나타내는 설명도이다.

이하, 이 발명의 실시 형태를 도면에 의거하여 설명한다. 도 1은 이 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 측면 개요도이다.

이 기판 처리 장치는, 반입부(1)와, 처리조(2)와, 수세조(4)와, 건조조(5)와, 반출부(6)와, 기판을 반입부(1), 처리조(2), 수세조(4), 건조조(5), 반출부(6)에 순차적으로 반송하기 위한 무단 벨트(7)를 구비한다. 무단 벨트(7)는, 한 쌍의 풀리(41) 사이에 감겨져 있다. 이들 한 쌍의 풀리(41) 중 어느 한쪽은, 도시 생략의 모터의 구동에 의해 회전하는 구동 풀리로 되어 있으며, 다른 쪽은 종동 풀리로 되어 있다. 무단 벨트(7)는, 후술하는 바와 같이, 직사각형상의 기판의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를 지지하기 위해, 기판의 반송 방향과 직교하는 방향으로 기판의 폭(반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리간의 거리)에 상당하는 거리만큼 서로 이격된 위치에 한 쌍 배치되어 있다.

처리조(2)는, 기판의 양면에 처리액을 공급함으로써 기판의 양면을 동시에 처리액으로 처리하기 위한 것이며, 처리액을 저류하는 처리액조(21)를 구비한다. 또 수세조(4)는, 기판의 양면에 수세수를 공급함으로써 기판의 양면을 동시에 수세 처리하기 위한 것이며, 기판의 상면에 수세수를 분출하는 복수의 노즐(33)과, 기판의 하면에 수세수를 분출하는 복수의 노즐(34)을 구비한다. 또한 건조조(5)는, 기판을 건조하기 위한 것이며, 기판의 양면에 압축 공기를 내뿜는 한 쌍의 에어 나이프(36)를 구비한다.

또 이 기판 처리 장치는, 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를, 한 쌍의 무단 벨트(7)에 고정하기 위한 고정 기구를 구비한다. 기판은, 반입부(1)에 있어서, 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를 한 쌍의 무단 벨트(7)에, 일정한 피치로 복수장 고정된다. 또 처리를 종료한 기판은, 반출부(6)에 있어서, 한 쌍의 무단 벨트(7)로부터 분리된다. 또한 이 고정 기구의 구성에 대해서는, 뒤에서 상세하게 설명한다.

도 2는 도 1에 나타내는 제1 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 변형예를 도시하는 측면 개요도이다.

도 1에 나타내는 기판 처리 장치에서는, 비교적 대경의 풀리(41) 사이에 무단 벨트(7)를 감음으로써, 무단 벨트(7)에 있어서의 단일 영역(왕동부(往動部))이 반입부(1), 처리조(2), 수세조(4), 건조조(5), 반출부(6)를 통과하는 구성으로 하고 있다. 이에 반해, 도 2에 나타내는 기판 처리 장치에서는, 3개의 풀리(42, 43, 44)에 무단 벨트(7)를 감음으로써, 무단 벨트(7)에 있어서의 단일 영역(왕동부)이 반입부(1), 처리조(2), 수세조(4), 건조조(5), 반출부(6)를 통과하는 구성으로 하고 있다. 또한 3개의 풀리(42, 43, 44) 중 하나는, 도시 생략의 모터의 구동에 의해 회전하는 구동 풀리로 되어 있으며, 다른 2개는 종동 풀리로 되어 있다.

도 3은 도 1 및 도 2에 나타내는 처리조(2)의 개요도이다.

이 처리조(2)는, 무단 벨트(7)에 고정되어 반입 및 반출되는 직사각형상의 기판에 대해, 그 표리 양면을 처리액에 의해 동시에 처리하기 위한 것이며, 기판을 처리하기 위한 처리액을 저류하는 처리액조(21)와, 처리액의 회수조(22)와, 처리액을 저류하는 저류조(30)를 구비한다. 또 이 처리조(2)는, 처리액조(21)의 위쪽으로부터 처리액을 공급하는 복수의 처리액 분출 노즐(25)과, 처리액조(21)에 저류된 처리액 중에 있어서 무단 벨트(7)에 고정된 기판의 아래쪽으로부터 처리액을 공급하는 복수의 처리액 분출 노즐(26)을 구비한다. 기판은, 처리액조(21) 중에 있어서, 무단 벨트(7)에 의해 그 양끝 가장자리가 고정된 상태로 수평 방향으로 반송된다.

처리액조(21)에는, 기판의 반입구(23)와 반출구(24)가 형성되어 있다. 무단 벨트(7)는, 이들 반입구(23) 및 반출구(24)를 이용하여, 기판을 처리액조(21)에 대해 반입 및 반출한다. 회수조(22)는, 처리액조(21)에 있어서의 반입구(23) 및 반출구(24)로부터 유하된 처리액을 회수하기 위한 것이다. 이 회수조(12)는 처리액의 회수 관로를 통해 저류조(30)와 연결되어 있다. 그리고 저류조(30) 내의 처리액은, 펌프(29)의 작용에 의해, 관로(27)를 통해 상술한 복수의 처리액 분출 노즐(25)로 송액(送液)되고, 관로(28)를 통해 상술한 복수의 처리액 분출 노즐(26)로 송액된다.

다음에 기판 처리 장치의 다른 실시 형태에 대해 설명한다. 도 4는 이 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 측면 개요도이다. 또한 도 1 및 도 2에 나타내는 제1 실시 형태와 동일한 부재에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고, 상세한 설명을 생략한다.

이 제2 실시 형태에 따른 기판 처리 장치에서는, 도 1 및 도 2에 나타내는 기판 처리 장치에 있어서의 처리액조(21)를 구비한 처리조(2)를 대신하여, 기판의 양면에 처리액을 분출하는 구성의 처리조(3)를 채용하고 있다. 이 처리조(3)는, 기판의 상면에 처리액을 분출하는 복수의 처리액 분출 노즐(31)과, 기판의 하면에 처리액을 분출하는 복수의 처리액 분출 노즐(32)과, 기판의 양면에 압축 공기를 내뿜음으로써 기판에 부착된 처리액을 제거하기 위한 한 쌍의 에어 나이프(35)를 구비한다.

또 도 1 및 도 2에 나타내는 기판 처리 장치에서는, 무단 벨트(7)에 있어서의 단일 영역(왕동부)이 반입부(1), 처리조(2), 수세조(4), 건조조(5), 반출부(6)를 통과하는 구성으로 하고 있다. 이에 반해, 도 2에 나타내는 기판 처리 장치에서는, 무단 벨트(7)는, 비교적 소경의 한 쌍의 풀리(45, 46) 사이에 감겨져 있으며, 무단 벨트(7)에 있어서의 복수의 영역(왕복동부(往復動部))이 반입부(1), 처리조(3), 수세조(4), 건조조(5), 반출부(6)를 통과하는 구성으로 하고 있다.

다음에 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를, 한 쌍의 무단 벨트(7)에 고정하기 위한 고정 기구의 구성에 대해 설명한다. 도 5a 및 도 5b는 제1 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다. 또한 도 5a는 평면도이며, 도 5b는 측면도이다. 또 도 6a 및 도 6b는 자석(51, 52)의 탈착 상태를 나타내는 설명도이다.

이 제1 실시 형태에 따른 고정 기구는, 무단 벨트(7)와 기판(100)을 끼워 유지하는 상하 한 쌍의 자석(51, 52)을 갖는다. 기판(100)은, 이들 자석(51, 52)에 의해, 무단 벨트(7)의 표면에 대해 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리가 고정되며, 무단 벨트(7)에 의해 지지된 상태로 반송된다. 도 1, 도 2, 도 4에 나타내는 반입부(1)에는, 도 6a에 나타내는 자석(51)의 공급부(53)와, 자석(52)의 공급부(54)가 대향 배치되어 있다. 자석(51, 52)은, 이들 공급부(53, 54)로부터 기판(100)의 끝 가장자리와 대응하는 위치에 일정 피치마다 공급되며, 기판(100)과 무단 벨트(7)를 끼워 유지한다. 또 도 1, 도 2, 도 4에 나타내는 반출부(6)에는, 무단 벨트(7)의 이동에 따라 반송되는 자석(51, 52)과 접촉하는 위치에 도 6b에 나타내는 접촉 부재(55, 56)가 대향 배치되어 있으며, 자석(51, 52)은 이들 접촉 부재(55, 56)와 접촉함으로써, 기판(100)과 무단 벨트(7)를 끼워 유지하는 위치로부터 배제된다.

도 7a 및 도 7b는 제2 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다. 또한 도 7a는 평면도이며, 도 7b는 측면도이다.

도 6a 및 도 6b에 나타내는 고정 기구에서는, 기판(100)의 끝 가장자리와 대응하는 위치에 일정 피치마다 자석(51, 52)을 배치하여 기판(100)과 무단 벨트(7)를 끼워 유지하고 있다. 이에 반해, 도 7a 및 도 7b에 나타내는 실시 형태에서는, 기판(100)에 있어서의 반송 방향과 평행한 끝 가장자리와 동일 정도의 길이를 갖는 장척의 한 쌍의 자석(61, 62)을 사용하여, 기판(100)의 끝 가장자리를 무단 벨트(7)에 고정하는 구성을 채용하고 있다.

도 8a 및 도 8b는 제3 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다. 또한 도 8a는 평면도이며, 도 8b는 측면도이다.

이 실시 형태에서는, 무단 벨트(7)가 자성체에 의해 구성되어 있다. 그리고 기판(100)에 있어서의 자성체로 이루어지는 무단 벨트(7)와는 반대쪽(위쪽)의 끝 가장자리와 대응하는 위치에, 일정 피치마다 자석(64)을 배치하여 기판(100)과 무단 벨트(7)를 끼워 유지하고 있다.

도 9a 및 도 9b는, 제4 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다. 또한 도 9a는 평면도이며, 도 9b는 측면도이다.

이 실시 형태에서도, 무단 벨트(7)가 자성체에 의해 구성되어 있다. 그리고 기판(100)에 있어서의 반송 방향과 평행한 끝 가장자리와 동일 정도의 길이를 갖는 장척의 자석(63)을 사용하여, 기판(100)의 끝 가장자리를 무단 벨트(7)에 고정하는 구성을 채용하고 있다.

도 10a 및 도 10b는 제5 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다. 또한 도 10a는 평면도이며, 도 10b는 측면도이다.

이 실시 형태에서는, 무단 벨트(7)의 표면에, 일정 피치로 자석(66)이 부설되어 있다. 그리고 기판(100)에 있어서의 무단 벨트(7)와는 반대쪽의 면(상면)에는 자석(65)이 배치된다. 이 실시 형태에서는, 기판(100)은, 이들 자석(65, 66)에 의해, 무단 벨트(7)에 대해 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리가 고정되며, 무단 벨트(7)에 의해 지지된 상태로 반송된다.

도 11a 및 도 11b는 제6 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다. 또한 도 11a는 평면도이며, 도 11b는 측면도이다.

상술한 제1 내지 제5 실시 형태에 따른 고정 기구에서는, 자석을 이용하여 기판(100)을 무단 벨트(7)와 고정하고 있다. 이에 반해, 이 제6 실시 형태에서는, 기판(100)에 형성된 구멍부에 무단 벨트(7)에 세워진 핀(71)을 걸어맞춤으로써, 기판(100)을 무단 벨트(7)에 고정하는 구성을 채용하고 있다. 즉 이 실시 형태에서는, 기판(100)에 있어서의 반송 방향과 평행한 끝 가장자리에는, 일정 피치로 구멍부가 형성되어 있다. 또 무단 벨트(7)에는, 구멍부의 피치와 동일 피치로 핀(71)이 세워져 있다. 기판(100)은, 이 핀(71)이 기판(100)의 구멍부에 걸어맞춰짐으로써, 무단 벨트(7)에 고정되며, 무단 벨트(7)에 의해 지지된 상태로 반송된다.

도 12a 및 도 12b는 제7 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다. 또한 도 12a는 평면도이며, 도 12b는 측면도이다.

이 실시 형태에서는, 무단 벨트(7)와 기판(100)의 사이에, 그 양면이 점착성을 갖는 점착제(72)를 개재시킴으로, 기판(100)을 무단 벨트(7)에 대해 고정하는 구성을 갖는다.

도 13a 및 도 13b는 제8 실시 형태에 따른 고정 기구의 설명도이다. 또한 도 13a는 평면도이며, 도 13b는 측면도이다.

이 실시 형태에서는, 무단 벨트(7)의 표면(73)이 점착성을 갖는 재질로 구성되어 있다. 이 실시 형태에서는, 기판(100)을 무단 벨트(7) 상에 올려놓고, 이 기판(100)을 무단 벨트(7)에 대해 고정하는 구성을 갖는다.

다음에 기판 처리 장치의 다른 실시 형태에 대해 설명한다. 도 14는 이 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 측면 개요도이다. 또한 도 1 및 도 2에 나타내는 제1 실시 형태와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 상세한 설명을 생략한다.

이 실시 형태에서는, 4개의 풀리(47)에 감겨진 무단 벨트(7)와, 4개의 풀리(48)에 감겨진 제2 무단 벨트(8)의 사이에, 기판(100)에 있어서의 반송 방향과 평행한 끝 가장자리를 끼워 유지하여 반송하는 구성을 갖는다.

이 기판 처리 장치에서는, 무단 벨트(7)가 감겨진 4개의 풀리(47) 중 하나는, 도시 생략의 모터의 구동에 의해 회전하는 구동 풀리로 되어 있으며, 다른 3개는 종동 풀리로 되어 있다. 또 무단 벨트(7)와 대향 배치된 제2 무단 벨트(8)가 감겨진 4개의 풀리(48) 중 하나는, 도시 생략의 모터의 구동에 의해 회전하는 구동 풀리로 되어 있으며, 다른 3개는 종동 풀리로 되어 있다. 또 반입부(1), 처리조(2), 수세조(4), 건조조(5) 및 반출부(6)에는, 각각 무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(8)를 접촉시키기 위한 2쌍의 닙 롤러(39)가 배치되어 있다.

다음에 기판 처리 장치의 다른 실시 형태에 대해 설명한다. 도 15는 이 발명의 제4 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 측면 개요도이다. 또한 도 14에 나타내는 제3 실시 형태와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 상세한 설명을 생략한다.

이 제4 실시 형태에 따른 기판 처리 장치에서는, 도 14에 나타내는 기판 처리 장치에 있어서의 처리액조(21)를 구비한 처리조(2)를 대신하여, 기판의 양면에 처리액을 분출하는 구성의 처리조(3)를 채용하고 있다. 이 처리조(3)는, 기판의 상면에 처리액을 분출하는 복수의 처리액 분출 노즐(31)과, 기판의 하면에 처리액을 분출하는 복수의 처리액 분출 노즐(32)과, 기판의 양면에 압축 공기를 내뿜음으로써 기판에 부착된 처리액을 제거하기 위한 한 쌍의 에어 나이프(35)를 구비한다.

도 16은 도 14 및 도 15에 나타내는 기판 처리 장치에 있어서, 무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(8)의 사이에 기판(100)에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리 중 한쪽의 끝 가장자리를 삽입하는 상태를 나타내는 설명도이다.

무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(8)에는, 그들이 접촉하는 측의 표면에, 서로 걸어맞춰지는 요철이 형성되어 있다. 기판(100)은, 무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(8)의 사이에 그 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리가 끼워 유지되며, 이들 요철의 작용에 의해, 위치 어긋남을 발생시키지 않고 반송된다. 즉 제2 무단 벨트(8)는, 무단 벨트(7)와 대향 배치되어 무단 벨트(7)와의 사이에 기판(100)을 끼워 유지하는 고정 수단으로서 기능한다.

다음에 제3 실시 형태 및 제4 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 변형예에 대해 설명한다. 도 17은 이 변형예에 있어서, 무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(8)의 사이에 기판(100)에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리 중 한쪽의 끝 가장자리를 삽입하는 상태를 나타내는 설명도이다.

이 실시 형태에서는, 무단 벨트(7)의 표면에는, 일정 피치로 자석(68)이 부설되어 있다. 한편 제2 무단 벨트(8)의 표면에도, 무단 벨트(7)의 자석(68)과 동일 피치로 자석(67)이 부설되어 있다. 기판(100)은, 그 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리가 이들 자석(67, 68)의 작용에 의해 무단 벨트(7)에 대해 고정되며, 위치 어긋남을 발생시키지 않고, 무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(8)의 사이에 끼워 유지되어 반송된다.

다음에 제3 실시 형태 및 제4 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 또 다른 변형예에 대해 설명한다. 도 17은 이 변형예에 있어서, 무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(8)의 사이에 기판(100)에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리 중 한쪽의 끝 가장자리를 삽입하는 상태를 나타내는 설명도이다.

이 실시 형태에서는, 무단 벨트(7)가 자성체에 의해 구성되어 있다. 한편 제2 무단 벨트(8)의 표면에는, 일정한 피치로 자석(67)이 부설되어 있다. 기판(100)은, 그 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리가 무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(8)에 부설된 자석(67)의 작용에 의해 무단 벨트(7)에 대해 고정되며, 위치 어긋남을 발생시키지 않고, 무단 벨트(7)와 제2 무단 벨트(8)의 사이에 끼워 유지되어 반송된다.

1 : 반입부
2 : 처리조
3 : 처리조
4 : 수세조
5 : 건조조
6 : 반출부
7 : 무단 벨트
8 : 제2 무단 벨트
21 : 처리액조
22 : 회수조
25 : 처리액 분출 노즐
26 : 처리액 분출 노즐
29 : 펌프
32 : 처리액 분출 노즐
33 : 노즐
35 : 에어 나이프
36 : 에어 나이프
39 : 닙 롤러
41 : 풀리
42 : 풀리
43 : 풀리
44 : 풀리
45 : 풀리
46 : 풀리
47 : 풀리
48 : 풀리
51 : 자석
52 : 자석
61 : 자석
62 : 자석
63 : 자석
64 : 자석
65 : 자석
66 : 자석
67 : 자석
68 : 자석
71 : 핀
72 : 점착제
100 : 기판

Claims

가요성을 갖는 직사각형상의 기판을 수평 방향으로 반송함과 더불어, 상기 기판의 양면에 처리액을 공급함으로써, 상기 기판의 양면을 동시에 처리하는 기판 처리 장치에 있어서,
상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를 지지하는 한 쌍의 무단(無端) 벨트와,
상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를, 상기 한 쌍의 무단 벨트에 고정하기 위한 고정 수단을 구비하고,
상기 고정 수단은, 상기 무단 벨트와 상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 끝 가장자리를 끼워 유지하는 한 쌍의 자석인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 기판의 상기 끝 가장자리에 일정 피치마다 상기 한 쌍의 자석을 각각 공급하는, 대향 배치된 한 쌍의 자석 공급부를 더 구비하는, 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 무단 벨트의 이동에 따라 반송되는 상기 한 쌍의 자석과 각각 접촉하는 것에 의해, 상기 한 쌍의 자석을 상기 기판과 상기 무단 벨트를 끼워 유지하는 위치로부터 배제하는, 대향 배치된 한 쌍의 접촉 부재를 더 구비하는, 기판 처리 장치.
가요성을 갖는 직사각형상의 기판을 수평 방향으로 반송함과 더불어, 상기 기판의 양면에 처리액을 공급함으로써, 상기 기판의 양면을 동시에 처리하는 기판 처리 장치에 있어서,
상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를 지지하는 한 쌍의 무단 벨트와,
상기 기판에 있어서의 반송 방향과 평행한 한 쌍의 끝 가장자리를, 상기 한 쌍의 무단 벨트에 고정하기 위한 고정 수단을 구비하고,
상기 고정 수단은, 상기 한 쌍의 무단 벨트와 각각 대향 배치되며, 상기 한 쌍의 무단 벨트와의 사이에 상기 기판을 끼워 유지하는 한 쌍의 제2 무단 벨트이고,
상기 한 쌍의 무단 벨트에는 자석이 배치됨과 더불어, 상기 한 쌍의 제2 무단 벨트에는, 상기 한 쌍의 무단 벨트에 배치된 자석과 흡착되는 자석이 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 한 쌍의 무단 벨트에 고정되어 반송되는 기판을, 처리조에 저류된 처리액 중을 통과시킴으로써, 상기 기판의 양면을 처리액에 의해 처리하는, 기판 처리 장치.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 한 쌍의 무단 벨트에 고정되어 반송되는 기판에 대해, 그 양면을 향해 처리액을 분출함으로써, 상기 기판의 양면을 처리액에 의해 처리하는, 기판 처리 장치.
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