JP2005149817A - プラズマディスプレイパネルの製造方法、その製造装置及びプラズマ表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】隔壁付きの基板の生産効率を向上させ、かつ、歩留まりを向上させる。
【解決手段】未硬化のペーストが塗布されたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）を導入して、基板搬送ベルト３７に、位置合わせを行って吸着固定し、転写ローラと支持台９との間に、型搬送ベルト２３，２４に固定された転写シート２と、基板搬送ベルト３７に固定されペーストが塗布されたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）とを挟み込み、転写型１１を未硬化のペースト内に埋め込み転写する。次に、ペースト硬化部８で、紫外線照射により硬化させる。次に、剥離ローラが回転し、転写型１１をガラス基板３_１（３_２，３_３，…）上に形成された硬化済ペーストから引き剥がしていく。ガラス基板３_３に転写処理が施されているときは、このガラス基板３_３の直前に導入されたガラス基板３_２には、剥離処理が施される。
【選択図】図１

Description

この発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法、その製造装置及びプラズマ表示装置の製造方法に係り、詳しくは、転写型を用いて、背面基板上に放電セルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法、その製造装置及びプラズマ表示装置の製造方法に関する。

一般に、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）ともいう）を含むプラズマ表示装置は、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）ディスプレイや液晶表示装置等に比べて、ちらつきがなく、表示コントラスト比が大きく、薄型大画面化が可能であり、応答速度が速い等の利点を有し、近年、情報処理機器のディスプレイとして利用されている。
このプラズマ表示装置は、動作方式により、電極が誘電体で被覆されて間接的に交流放電の状態で動作させるＡＣ型のものと、電極が放電空間に露出されて直流放電の状態で動作させるＤＣ型のものとに略大別され、特にＡＣ型のものは、比較的簡単な構造で上述したような大画面化が容易に実現できるので、広く用いられている。
このようなＡＣ型のプラズマ表示装置の主要部を構成するプラズマディスプレイパネルは、ガラス等の透明材料からなる前面基板と背面基板とが対向するように配置されて、両基板間にプラズマを発生させる放電ガス空間が形成されて概略構成されている。

また、ＡＣ型のプラズマ表示装置のなかで、プラズマディスプレイパネルにおいて、放電セルを形成する上述したような一対の基板のうちの一方の基板である前面基板の内面に、水平方向に沿って平行に走査電極と維持電極（共通電極）とからなる行電極を配置すると共に、他方の基板である背面基板の内面に、上記行電極と直交するように垂直方向に沿ってデータ電極（アドレス電極）からなる列電極を配置した３電極面放電型の構成のものは、前面基板において行われる面放電時に発生する高エネルギのイオンによる影響を抑えることができるので、長寿命化が図れるため、最も広く採用されている。

この３電極面放電型のＡＣ型のプラズマ表示装置は、背面基板のデータ電極と前面基板の走査電極との間で表示（発光）すべき放電セル（以下、セルともいう）を選択する書込放電を行い、次に、前面基板の走査電極と維持電極との間で選択したセルの面放電による維持放電（表示放電）を行うように構成されている。
また、このようなプラズマディスプレイパネルにおいては、背面基板の内面に赤色、緑色、及び青色の各蛍光体層を配置するとともに、前面基板の内面の上記各蛍光体層にそれぞれ対向する位置に赤色、緑色、及び青色の各カラーフィルタ層を配置するように構成して多色発光が可能とされている。

ここで、隣接するセル間は、電荷の移動を制限し、誤灯を防止するために、高さ１００［μｍ］〜１５０［μｍ］、幅３０［μｍ］〜１５０［μｍ］の隔壁で仕切られている。
このような隔壁を作成する方法としては、所謂、サンドブラスト法、リフトオフ法、感光性ペースト法、スクリーン印刷法等様々な方法が提案され、用いられている。
これらの方法のうち、サンドブラスト法、リフトオフ法、感光性ペースト法等には、位置精度や、パターン形状には優れるものの、工程が長くなり、生産コストが嵩むという問題点がある。
また、スクリーン印刷法には、１回当りに印刷されるペーストの厚さが１０［μｍ］程度であることから、印刷及び乾燥を十数回繰り返す必要があり、生産性が低いという問題点があり、さらに、電極との間の位置精度の調整が困難であるという問題点もある。

このため、可塑性の転写シートを用いた転写法の技術（例えば、特許文献１参照。）や、可塑性の凹版を用いた転写法の技術（例えば、特許文献２参照。）が提案されている。
転写シートを用いた転写法について説明する。
まず、事前準備として、転写シートと基板支持固定台とのアライメント調整を行う。 まず、図１３（ａ）に示すように、基板支持固定台１０１の上に、転写シート１０２を転写面が基板支持固定台１０１に向き合うように配置する。
次に、転写シート１０２のアライメントマーカと、基板支持固定台１０１のアライメントマーカとを一致させ、転写シート１０２の一端をラミネートローラ１０３によって固定し、転写シート１０２をラミネートローラ１０３側に巻き上げる。

次に、ガラス基板１０４と基板支持固定台１０１とのアライメント調整を行う。
ガラス基板１０４の受入れ準備が完了した後、未硬化のペーストＰが塗布されたガラス基板１０４を基板支持固定台１０１に導入し、ガラス基板１０４のアライメントマーカと基板支持固定台１０１のアライメントマーカとを一致させる。

次に、隔壁転写工程に移る。
同図（ｂ）に示すように、ラミネートローラ１０３に転写シート１０２を巻き付けた状態で、ラミネートローラ１０２をガラス基板１０４上を転がし、未硬化のペーストＰを転写シート１０２の凹部に充填しながら、転写シート１０２の端まで到達させ、転写シート１０２とガラス基板１０４との間に未硬化のペーストＰを挟んだ状態とし、転写を行う。

次に、隔壁硬化工程に移る。
同図（ｃ）に示すように、光照射ランプ１０５を平坦な転写シート１０２上に配置した後、転写シート１０２を通して紫外線をガラス基板１０４上の未硬化のペーストＰに照射して、ペーストを硬化させ、ガラス基板１０４上に隔壁パターンを固定する。この後、光照射ランプ１０５を後退させる。

次に、剥離工程に移る。
同図（ｄ）に示すように、ラミネートローラ１０３を転写開始位置まで移動させ、転写シート１０２の端を圧着し、転写シート１０２を固定する。自由になった転写シート１０２の端から、隔壁パターンが形成されたガラス基板１０４から転写シート１０２を引き離す。こうして、ガラス基板１０４上への隔壁パターン１０６の形成が完了する。

また、凹版を用いた転写法においては、型シートに未硬化のペーストを充填するペースト充填工程と、型シートをガラス基板に湿着させた後、型シートを剥離してペーストを転写する転写工程と、ペーストを焼成してセル隔壁を形成する焼成工程とを経て、ガラス基板上へ隔壁パターンを形成する。
さらに、可塑性の転写シートや凹版を用いた方法のほかに、転写法の他の例として、例えば、凸付きローラによって、ドライフィルム上に凹版を形成した後に、ペーストをブレードで凹版パターンに塗り込み、直後にラミネートローラによってガラス基板と貼り合わせ、次に、光又は熱によってペーストを硬化させ、ドライフィルムをアルカリ水溶液で剥離するか、又は焼失させて除去する方法が提案されている（例えば、特許文献３参照。）。
特開２００１−１９１３４５号公報 特開平８−２７３５３７号公報 特開２００１−２５０４７４号公報

解決しようとする第１の問題点は、上記従来技術では、転写型が、シート状又は版状であるために、１枚のガラス基板について隔壁形成処理が完了した後に、次のガラス基板について隔壁形成処理を行わなければならないので、製造タクトを短縮することができず、生産性を向上させることができないという点である。
すなわち、順にアライメント工程と、転写工程と、ペースト硬化工程と、剥離工程とからなる一連の工程で、１枚のガラス基板について剥離工程まで完了した後に、次のガラス基板について、アライメント工程から実行しなければならない。換言すれば、並列処理ができない。

また、例えばシリコンゴムを使用した転写シートの場合、生産タクトを６０秒としたとき、転写シートの使用限界が約１００回であり、転写シートを１枚しか使用しな場合には、１００分に１回の割合で転写シートの交換が必要となり、この転写シートの交換のために生産停止時間が、１日１４回以上発生し、このことも生産性を低下させる原因となっている。
また、特に、特許文献１に記載された従来技術では、転写シートを１枚しか使用できず、また、転写シートの一端を必ず基板支持固定台に固定する必要があるので、このことによても、時間がかかり、作業性が低下し、生産性が低下してしまっている。
また、特に、特許文献３に記載された従来技術では、ドライフィルムの剥離装置を新たに設けるか、ガラス基板上に形成した隔壁を、ドライフィルムごと焼成しなければならないので、焼成炉の負担が重くなり、空気の導入を十分に確保する必要があるとともに、焼成時間もかかり、このことも、生産性を低下させる原因となっている。

また、第２の問題点は、特に、特許文献３に記載された従来技術では、ドライフィルムに凹部を形成して転写シートとして用いていており、ペーストとドライフィルムとの密着性が高いために、ペーストを硬化させた後に機械的に剥離を行うと、ドライフィルムがベースフィルムから剥がれて、ガラス基板上に付着して残存したり、形成された隔壁がガラス基板から剥がれてしまう不具合が発生することがあり、歩留まりが悪化するという点である。

この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、隔壁を形成したガラス基板の製造について、製造タクトを短縮し、生産性を向上させることができるプラズマディスプレイパネルの製造方法、その製造装置及びプラズマ表示装置の製造方法を提供することを第１の目的としている。
また、歩留まりを向上させることができるプラズマディスプレイパネルの製造方法、その製造装置及びプラズマ表示装置の製造方法を提供することを第２の目的としている。

上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、放電セルを画成する隔壁を、上記隔壁の形状に対応する凹凸パターンを有する転写型を用いて、基板上に形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記基板又は上記転写型に、未硬化のペーストを供給するペースト供給工程と、回転軸が互いに平行な略円筒状の第１及び第２の回転体の間に掛け渡された無端状の型搬送体の外面側に固定された上記転写型を、上記第１又は第２の回転体によって、未硬化のペーストを挟んだ状態で、上記基板に押し付けるパターン転写工程と、上記第１及び第２の回転体の間に配置されたペースト硬化手段によって、上記ペーストを硬化させるペースト硬化工程と、上記第２又は第１の回転体によって、硬化されたペーストが固着された上記基板から、上記転写型を引き離して上記基板に上記隔壁を形成する転写型剥離工程とを含むことを特徴としている。

また、請求項２記載の発明は、請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記パターン転写工程では、上記第１及び第２の回転体の回転によって、上記第１又は第２の回転体の配置位置で上記基板を引き込む向きに、上記転写型を所定の搬送速度で搬送すると共に、上記型搬送体の所定の直線部分の外面側を該外面に対して所定の離隔を保って、上記第１又は第２の回転体側から上記第２又は第１の回転体側へ向けて、上記転写型の上記搬送速度と同一の速度で搬送される上記基板に、上記未硬化のペーストを挟んだ状態で、上記転写型を押し付け、上記転写型剥離工程では、上記第１及び第２の回転体の回転によって、上記第２又は第１の回転体の配置位置で上記基板を排出する向きに、上記転写型を上記搬送速度で搬送すると共に、上記第１又は第２の回転体側から上記型搬送体の上記直線部分の外面側を該外面に対して所定の離隔を保って、上記転写型の上記搬送速度と同一の速度で搬送されてくる硬化されたペーストが固着された上記基板から、上記転写型を引き離すことを特徴としている。

また、請求項３記載の発明は、請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記パターン転写工程では、上記第１及び第２の回転体の回転によって、上記第１又は第２の回転体の配置位置で上記基板を引き込む向きに、上記転写型を所定の搬送速度で搬送すると共に、上記第１及び第２の回転体並びに上記型搬送体を、上記第１及び第２の回転体の両回転軸間の距離を保った状態で、かつ、上記基板に対して上記型搬送体の所定の直線部分の外面が上記基板に対して所定の離隔を保つように、上記第１又は第２の回転体側から上記基板に接近するように、基板面に平行な方向に沿って上記転写型の上記搬送速度と同一の速度で並進運動させて、上記基板に、未硬化のペーストを挟んだ状態で、上記転写型を押し付け、上記転写型剥離工程では、上記第１及び第２の回転体の回転によって、上記第２又は第１の回転体の配置位置で上記基板を排出する向きに、上記転写型を上記搬送速度で搬送すると共に、上記第１及び第２の回転体並びに上記型搬送体を、上記第１及び第２の回転体の両回転軸間の距離を保った状態で、かつ、上記基板に対して上記型搬送体の上記直線部分の外面が上記基板に対して所定の離隔を保つように、上記第２又は第１の回転体側から上記基板に接近するように、基板面に平行な方向に沿って上記転写型の上記搬送速度と同一の速度で並進運動させて、硬化されたペーストが固着された上記基板から、上記転写型を引き離すことを特徴としている。

また、請求項４記載の発明は、請求項２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記基板は、上記型搬送体の直線部分の外面側を該外面に対して所定の離隔を保って、上記第１又は第２の回転体側から上記第２又は第１の回転体側へ向けて、上記転写型の搬送速度と同一の速度で駆動される基板搬送体に固定されて、搬送されることを特徴としている。

また、請求項５記載の発明は、請求項４記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記基板搬送体は、回転軸が互いに平行な略円筒状の第３及び第４の回転体に掛け渡された無端状の搬送体からなることを特徴としている。

また、請求項６記載の発明は、請求項４又は５記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記パターン転写工程を実行する前に上記基板と上記基板搬送体との位置合わせを行う第１のアライメント工程を含むことを特徴としている。

また、請求項７記載の発明は、請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第１のアライメント工程は、上記型搬送体に固定された上記転写型と上記基板搬送体との位置合せを行う第２のアライメント工程が実行された後に実行することを特徴としている。

また、請求項８記載の発明は、請求項１乃至７のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記型搬送体には複数の上記転写型が固定されていることを特徴としている。

また、請求項９記載の発明は、請求項１乃至８のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、第１の上記基板が上記転写型剥離工程において処理されるときに、第２の上記基板が上記パターン転写工程において処理されることを特徴としている。

また、請求項１０記載の発明は、請求項６乃至９のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、第１の上記基板が上記ペースト硬化工程において処理されるときに、第２の上記基板が上記第１のアライメント工程において処理されることを特徴としている。

また、請求項１１記載の発明は、請求項１乃至１０のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記転写型剥離工程では、予め設定された剥離角度に応じて、上記型搬送体は、上記転写型の上記基板からの引離しを行う上記第２又は第１の回転体によって上記型搬送体を引っ張る上記基板の搬送方向に対する引張方向が所定の方向となるように、配置されていることを特徴としている。

また、請求項１２記載の発明は、請求項１乃至１１のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第１及び第２の回転体は、それぞれ回転ローラの両端にプーリが設けられ、上記型搬送体は、上記第１及び第２の回転体の上記プーリ間に掛け渡された一対の無端状のベルトからなることを特徴としている。

また、請求項１３記載の発明は、請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記プーリの周縁部には、上記プーリの回転によって無端状の上記ベルトを駆動するための凸部又は凹部が形成され、上記ベルトには、上記プーリの上記凸部又は凹部と噛合する凹部又は凸部が形成されていることを特徴としている。

また、請求項１４記載の発明は、請求項１乃至１３のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記ペースト供給工程では、上記基板上に未硬化のペーストを塗布することを特徴としている。

また、請求項１５記載の発明は、請求項１乃至１４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記型搬送体は、肉薄の金属製部材からなることを特徴としている。

また、請求項１６記載の発明は、請求項１乃至１５のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記転写型は、シート状支持部材によって支持され、該シート状支持部材の下面の側端部が、無端状の上記ベルト上に載置され、上記ベルトと磁気的引力を及ぼし合う磁性固定部材が上記シート状支持部材の上面の側端部に重ねられることによって、上記ベルトに固定されることを特徴としている。

また、請求項１７記載の発明は、請求項５乃至１６のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第３及び第４の回転体は、それぞれ回転ローラの両端にプーリが設けられ、上記基板搬送体は、上記第３及び第４の回転体の上記プーリ間に掛け渡された一対の無端状のベルトからなり、かつ、上記各ベルトには、吸着用孔が形成され、上記基板は、上記吸着用孔を経由する吸気経路に沿って吸気が行われることによって吸着されて上記ベルトに固定されることを特徴としている。

また、請求項１８記載の発明は、放電セルを画成する隔壁を、上記隔壁の形状に対応する凹凸パターンを有する転写型を用いて、基板上に形成してプラズマディスプレイパネルを製造するための装置に係り、上記基板又は上記転写型に未硬化のペーストを供給するペースト供給手段と、上記転写型を、直線部を含む所定の閉曲線に沿って移動させて、上記基板に対して、上記隔壁パターンの転写を行うための転写型駆動手段と、未硬化のペーストを硬化させるペースト硬化手段とを備えてなり、上記転写型駆動手段は、回転軸が互いに平行な略円筒状の第１及び第２の回転体と、上記第１及び第２の回転体の間に掛け渡され、外面側に上記転写型が固定された無端状の型搬送体とを有し、上記第１又は第２の回転体によって、上記転写型を、未硬化のペーストを挟んだ状態で、上記基板に押し付け、上記第２又は第１の回転体によって、硬化されたペーストが固着された上記基板から、上記転写型を引き離して上記基板に上記隔壁を形成し、上記ペースト硬化手段は、上記第１及び第２の回転体の間に配置されていることを特徴としている。

また、請求項１９記載の発明は、請求項１８記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記型搬送体の所定の直線部の外面側を該外面に対して所定の離隔を保って、上記第１又は第２の回転体側から上記第２又は第１の回転体側へ向けて、上記転写型の搬送速度と同一の速度で上記基板を搬送する基板搬送手段を備え、上記転写型駆動手段は、上記第１及び第２の回転体の回転によって、上記第１又は第２の回転体の配置位置で上記基板を引き込む向きに、かつ、上記第２又は第１の回転体の配置位置で上記基板を排出する向きに、上記転写型を所定の搬送速度で搬送し、上記基板搬送体によって上記第１又は第２の回転体に搬送されてくる上記基板に、上記未硬化のペーストを挟んだ状態で、上記転写型を押し付けると共に、上記基板搬送体によって上記第２又は第１の回転体に搬送されてくる硬化されたペーストが固着された上記基板から、上記転写型を引き離すことを特徴としている。

また、請求項２０記載の発明は、請求項１８記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記転写型駆動手段を、上記第１及び第２の回転体の両回転軸間の距離を保った状態で、かつ、上記基板に対向する側の上記型搬送体の所定の直線部の外面が上記基板に対して所定の離隔を保つように基板面に平行な方向に沿って並進運動させる移動手段を備え、上記転写型駆動手段が、上記第１及び第２の回転体の回転によって、上記第１又は第２の回転体の配置位置で上記基板を引き込む向きに、かつ、上記第２又は第１の回転体の配置位置で上記基板を排出する向きに、上記転写型を所定の搬送速度で搬送し、上記移動手段が、上記第１又は第２の回転体側から上記基板に接近するように、基板面に平行な方向に沿って上記転写型の搬送速度と同一の速度で並進運動させると同時に、上記転写型駆動手段が、上記基板に、未硬化のペーストを挟んだ状態で、上記転写型を押し付け、上記移動手段が、上記第２又は第１の回転体側から上記基板に接近するように、基板面に平行な方向に沿って上記転写型の搬送速度と同一の速度で並進運動させると同時に、上記転写型駆動手段が、硬化されたペーストが固着された上記基板から、上記転写型を引き離すことを特徴としている。

また、請求項２１記載の発明は、請求項１９記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記基板搬送手段は、上記基板を、上記型搬送体の外面側を該外面に対して所定の離隔を保って、上記第１又は第２の回転体側から上記第２又は第１の回転体側へ向けて、上記転写型の搬送速度と同一の速度で駆動される基板搬送体に固定して搬送することを特徴としている。

また、請求項２２記載の発明は、請求項２１記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記基板搬送体は、回転軸が互いに平行な略円筒状の第３及び第４の回転体に掛け渡された無端状の搬送体からなることを特徴としている。

また、請求項２３記載の発明は、請求項２１又は２２記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記基板と上記基板搬送体との位置合わせを行うための第１のアライメント手段を備えたことを特徴としている。

また、請求項２４載の発明は、請求項２３記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記型搬送体に固定された上記転写型と上記基板搬送体との位置合せを行うための第２のアライメント手段を備えたことを特徴としている。

また、請求項２５記載の発明は、請求項１８乃至２４のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記型搬送体には複数の上記転写型が固定されていることを特徴としている。

また、請求項２６記載の発明は、請求項１８乃至２５のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記転写型駆動手段は、第１の上記基板から、上記転写型を引き離す処理を行うと同時に、第２の上記基板に、未硬化のペーストを挟んだ状態で、上記転写型を押し付ける処理を行うことを特徴としている。

また、請求項２７記載の発明は、請求項２３乃至２６のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記ペースト硬化手段が第１の上記基板上のペーストを硬化させているときに、上記第１のアライメント手段が、上記第２の上記基板と上記基板搬送体との位置合わせを行うことを特徴としている。

また、請求項２８記載の発明は、請求項１８至２７のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、予め設定された剥離角度に応じて、上記型搬送体は、上記転写型の上記基板からの引離しを行う上記第２又は第１の回転体によって上記型搬送体を引っ張る上記基板の搬送方向に対する引張方向が所定の方向となるように、配置されていることを特徴としている。

また、請求項２９記載の発明は、請求項１８乃至２８のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記第１及び第２の回転体は、それぞれ回転ローラの両端にプーリが設けられ、上記型搬送体は、上記第１及び第２の回転体の上記プーリ間に掛け渡された一対の無端状のベルトからなることを特徴としている。

また、請求項３０記載の発明は、請求項２９記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記プーリの周縁部には、上記プーリの回転によって無端状の上記ベルトを駆動するための凸部又は凹部が形成され、上記ベルトには、上記プーリの上記凸部又は凹部と噛合する凹部又は凸部が形成されていることを特徴としている。

また、請求項３１記載の発明は、請求項１８乃至３０のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記ペースト供給手段は、上記基板上に未硬化のペーストを塗布することを特徴としている。

また、請求項３２記載の発明は、請求項１８乃至３１のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記型搬送体は、肉薄の金属製部材からなることを特徴としている。

また、請求項３３記載の発明は、請求項１８乃至３２のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記転写型は、シート状支持部材によって支持され、該シート状支持部材の下面の側端部が、無端状の上記ベルト上に載置され、上記ベルトと磁気的引力を及ぼし合う磁性固定部材が上記シート状支持部材の上面の側端部に重ねられることによって、上記ベルトに固定されることを特徴としている。

また、請求項３４記載の発明は、請求項２２乃至３３のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置に係り、上記第３及び第４の回転体は、それぞれ回転ローラの両端にプーリが設けられ、上記基板搬送体は、上記第３及び第４の回転体の上記プーリ間に掛け渡された一対の無端状のベルトからなり、かつ、上記各ベルトには、吸着用孔が形成され、上記基板は、上記吸着用孔を経由する吸気経路に沿って吸気が行われることによって吸着されて上記ベルトに固定されることを特徴としている。

また、請求項３５記載の発明は、プラズマディスプレイパネルを製造する第１の工程と、上記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに上記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第２の工程と、画像信号のフォーマット変換を行い、上記モジュールに送信するインタフェースを上記モジュールに電気的に接続する第３の工程とを含むプラズマ表示装置の製造方法に係り、上記第１の工程では、請求項１乃至１７のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法が実行されることを特徴としている。

この発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法及びその製造装置の構成によれば、第１及び第２の回転体間に無端状の型搬送体を掛け渡して、型搬送体に転写型を固定し、第１及び第２の回転体の配置箇所で、パターン転写工程及び転写型剥離工程を実行し、第１及び第２の回転体間に配置したペースト硬化手段によって、ペースト硬化工程を実行するように構成したので、転写型を閉曲線に沿った搬送経路上を、搬送し、パターン転写工程、ペースト硬化工程及び転写型剥離工程を循環的に実行することによって、隔壁付き基板の製造について、生産性を向上させることができる。
例えば、第１及び第２の回転体のうち、いずれか一方の配置箇所でパターン転写工程を実行し、同時に、他方の配置箇所で転写型剥離工程を実行することができる。

したがって、少なくとも２つの基板について、例えば、パターン転写工程及び転写型剥離工程、パターン転写工程の前に実行されるアライメント工程及びペースト硬化工程を、それぞれ、同時に（同一作業時間内で）実行することができ、製造タクトを従来の半分以下とすることができ、単位時間当りの隔壁付き基板の製造個数を増大せ、生産性を向上させることができる。
また、型搬送体には、複数の転写型を同時に固定することによって、転写型の交換による生産停止時間を従来の半分以下とすることができるため、一段と生産性を向上させることができる。また、保守作業の手間も軽減することができる。

また、型搬送体として、金属製部材を用いることによって、型搬送体は、第１又は第２の回転体から張力や転写時の応力を受けても、殆ど変形しないので、第１又は第２の回転体からの張力や転写時の応力を、型搬送体に固定した転写型に伝えることがない。したがって、転写型は、たとえ材料として弾性部材を用いていたとしても殆ど変形することがないので、高い精度で隔壁パターンを形成することができる。
例えば、型搬送体は、第１又は第２の回転体から張力や転写時の応力を受けても、皺の発生や緩み、伸びがない状態で、第１又は第２の回転体の周面に沿って転写型を貼り付けることができるので、張力や応力による転写型の変形（皺の発生や緩み、伸び等）による寸法の狂いを回避することができる。したがって、歩留まりを向上させることができる。

また、予め設定された剥離角度に応じて、型搬送体の基板の搬送方向に対する引張方向を調整しておくことによって、剥離時に発生するストレスを低減し、例えば隔壁の一部の欠けや破壊を回避できるため、一段と歩留まりを向上させることができる。
例えば、転写型の剥離に用いる第２又は第１の回転体の径を調整したり、剥離のための補助ローラを設置して、この設置位置を調整することによって、剥離時に発生するストレスを低減することができる。
また、剥離のための補助ローラを設置することによって、張力の調整を容易とし、型搬送体の変形を確実に防止することができる。
また、この発明のプラズマ表示装置の製造方法の構成によれば、プラズマ表示装置をモジュール化することによって、部品交換の必要が生じた場合に、モジュール毎交換することによって、補修の簡素化及び迅速化を図ることができる。

以下、図面を参照して、この発明を実施するための最良の形態について説明する。
第１及び第２の回転体間に無端状の型搬送体を掛け渡して、型搬送体に転写型を固定し、第１及び第２の回転体の配置箇所で、パターン転写工程及び転写型剥離工程を実行し、第１及び第２の回転体間に配置したペースト硬化手段によって、ペースト硬化工程を実行するように構成したので、転写型を閉曲線に沿った搬送経路上を、搬送し、パターン転写工程、ペースト硬化工程及び転写型剥離工程を循環的に実行することによって、隔壁付きガラス基板の製造について、生産性を向上させるという第１の目的を実現した。
また、型搬送体に、複数の転写型を同時に固定することによって、転写型の交換による生産停止時間を従来の半分以下とすることができるため、一段と生産性を向上させることができる。

また、型搬送体として、金属製部材を用いることによって、型搬送体は、第１又は第２の回転体から張力や転写時の応力を受けても、殆ど変形しないので、第１又は第２の回転体からの張力や転写時の応力を、型搬送体に固定した転写型に伝えることがない。したがって、転写型は、たとえ材料として弾性部材を用いていたとしても殆ど変形することがないので、高い精度で隔壁パターンを形成することができるので、歩留まりを向上させるという第２の目的を実現した。
また、予め設定された剥離角度に応じて、型搬送体の基板の搬送方向に対する引張方向を調整おくことによって、剥離時に発生するストレスを低減し、例えば隔壁の一部の欠けや破壊を回避できるため、一段と歩留まりを向上させることができる。

図１及び図２は、この発明の第１実施例であるセル隔壁形成装置の構成を模式的に示す断面図、図３は、同セル隔壁形成装置の型搬送部の構成を示す平面図、図４は、同型搬送部の構成を示す断面図、図５は、同型搬送部の転写ローラ及び剥離ローラの構成を示す平面図、図６は、同転写ローラ及び剥離ローラの構成を示す断面図、図７は、同セル隔壁形成装置を用いたセル隔壁形成方法を説明するための工程図、また、図８は、同セル隔壁形成装置によって製造されたセル隔壁を備えたＰＤＰの概略構成を示す斜視図である。
この例のセル隔壁形成装置１は、図１及び図２に示すように、隔壁形状に対応する凹凸パターンが形成された転写シート２を、下方に水平な直線部を有する所定の閉曲線に沿って移動させて、搬送されてきたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）に対して、隔壁パターンの転写を行うための転写キャタピラ部（転写型駆動手段）４と、ガラス基板（基板）３_１（３_２，３_３，…）を導入部５から搬出部６へ向けて上記直線部を通過させるように搬送する基板搬送部（基板搬送手段）７と、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）に塗布された未硬化のペーストを硬化させるペースト硬化部８と、転写キャタピラ部４や基板搬送部７を支持する支持台９とを備えてなっている。

転写シート２は、図３に示すように、ゴム製の転写型１１が裏打シート材１２上に固定されてなっている。ここで、裏打シート材１２の型搬送ベルト２３，２４に載置される両側部には、型搬送ベルト２３，２４に形成された支持固定ピン２３ｂ，２４ｂを挿通するための挿通孔１２ａ，１２ａ，…と、送りピン１７ａ，２１ａ，１８ａ，２２ａを挿通するための開口１２ｂ，１２ｂ，…とが形成されている。
この例では、２つの転写シート２，２が、両側（進行方向に対して前方側及び後方側）の間隔を同一にして（互いに線対称の関係となるように）、型搬送ベルト２３，２４に固定されている。

また、転写型１１は、例えばシリコーンゴムからなり、裏打シート材１２は、厚さ略４００μｍのＰＥＴ（polyethylen terephthalate）等の合成樹脂からなっている。
この例では、転写シート２を次のようにして製造する。すなわち、銅板を切削して隔壁パターンとアライメントマーカとを作成した金型を原板とし、この原板上に室温硬化型シリコーンゴムをスキージによって隔壁パターンに埋め込み、減圧下で略１０時間放置して、充分に脱泡及び硬化を同時に行う。
次に、脱泡及び硬化を行い成型されたシリコーンゴムとＰＥＴフィルムとの間に接着剤を挟んだ状態でラミネートを施し、上記原板のアライメントマーカとＰＥＴフィルムのアライメントマーカとを一致させた後、接着剤を硬化させて、原板から成型されたシリコーンゴムを引き離し、シート状の転写シート２を製造する。

転写キャタピラ部４は、図３及び図４に示すように、転写型１１を未硬化のペーストが塗布されたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）に押し付ける転写部１３と、転写型１１を硬化済のペーストが形成されたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）から引き離す剥離部１４と、転写シート２を固定して搬送する型搬送体１５とを有している。
転写部１３は、図５に示すように、円筒形状の転写ローラ１６の両端部にプーリ１７，１８が一体的に設けられてなっている。
転写ローラ１６の表面部は、シリコンゴム等からなる所定の厚さ（例えば８μｍ）の弾性部材からなっている。
プーリ１７（１８）の周縁部には、図５及び図６に示すように、型搬送ベルト２３（２４）を位置決めされた状態で（ベルトのすべりが起こらないように）送るための送りピン１７ａ（１８ａ）と、型搬送ベルト２３（２４）の支持固定ピン２３ｂ（２４ｂ）の裏面側に形成された突起との干渉を避けるための逃げ孔１７ｂ（１８ｂ）とがそれぞれ等角度間隔で形成されている。

剥離部１４は、円筒形状の剥離ローラ１９の両端部にプーリ２１，２２が一体的に設けられてなっている。
剥離ローラ１９の表面部も、シリコンゴム等からなる所定の厚さ（例えば８μｍ）の弾性部材からなっている。
プーリ２１（２２）の周縁部には、型搬送ベルト２３（２４）を位置決めされた状態で送るための送りピン２１ａ（２２ａ）と、型搬送ベルト２３（２４）の支持固定ピン２３ｂ（２４ｂ）の裏面側に形成された突起との干渉を避けるための逃げ孔２１ｂ（２２ｂ）とがそれぞれ等角度間隔で形成されている。

型搬送体１５は、図３及び図４に示すように、プーリ１７，２１間に掛け渡された金属製の型搬送ベルト２３と、プーリ１８，２２間に掛け渡された金属製の型搬送ベルト２４とを有し、転写型シート２は、型搬送ベルト２３、２４上に載置され、型搬送ベルト２３、２４と磁石からなる磁気固定ベルト２５，２６との間に挟まれることによって固定される。
型搬送ベルト２３（２４）には、送りピン１７ａ，２１ａ（１８ａ，２２ａ）を挿通するための開口２３ａ（２４ａ）が形成されている。
また、型搬送ベルト２３，２４には、転写シート２を位置決めした状態で支持固定するための支持固定ピン２３ｂ，２４ｂが、それぞれ形成されている。
また、この例では、型搬送ベルト２３，２４は、ステンレス鋼等の磁性体からなっている。

磁気固定ベルト２５（２６）には、図３に示すように、支持固定ピン２３ａ，２４ａを挿通するための挿通孔２５ａ，２５ａ，…（２６ａ，２６ａ，…）と、送りピン１７ａ，２１ａ（１８ａ，２２ａ）を挿通するための開口２５ｂ，２５ｂ，…（２６ｂ，２６ｂ，…）とが形成されている。この磁気固定ベルト２５，２６は、フェライト磁石等の永久磁石からなっている。

基板搬送部７は、図１及び図２に示すように、導入側駆動部３１と、搬出側駆動部３２と、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）を固定して導入部５から搬出部６へ向けて搬送する基板搬送体３３と、例えばガラス基板３の位置を検出するための位置検出部３４と、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）を基板搬送体３３の基板搬送ベルトに吸着固定するための基板吸着部３５とを有している。
導入側駆動部３１は、転写部１３や剥離部１４と同様に、円筒形状の駆動ローラの両端部にプーリが一体的に設けられ、駆動ローラには駆動モータ３６が接続されてなっている。
また、プーリの周縁部には、基板搬送ベルトを位置決めされた状態で送るための送りピンが形成されている。

この例では、駆動モータ３６によって、導入側駆動部３１の駆動ローラが回転駆動されると共に、導入側駆動部３１のプーリと、剥離部１４のプーリ２１，２２との間に襷掛けにされた動力伝達ベルトによって、剥離部１４の剥離ローラ１９へも動力が伝達され、型搬送ベルト２３（２４）と基板搬送ベルト３７とが、同一速度で、かつ、所定の離隔を保って並行運動を行う上記直線部では同一方向に、移動するように構成されている。型搬送ベルト２３（２４）と基板搬送ベルト３７とが、同一速度で移動することによって、高精度で隔壁パターンが作成される。
搬出側駆動部３２は、円筒形状の駆動ローラの両端部にプーリが一体的に設けられてなっている。また、プーリの周縁部には、基板搬送ベルトを位置決めされた状態で送るための送りピンが形成されている。

基板搬送体３３は、導入側駆動部３１及び搬出側駆動部３２のプーリ間に掛け渡された一対の金属製の基板搬送ベルト３７，３７を有し、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）は、基板搬送ベルト３７，３７上に載置され、基板搬送ベルト３７に形成された吸着用孔を経由する吸気経路に沿って吸気が行われることによって吸着され、基板搬送ベルト３７，３７に固定される。
基板搬送ベルト３７，３７は、導入側駆動部３１と搬出側駆動部３２との間を、支持台９の上面を摺動しながらガラス基板３を載せて搬送する。また、基板搬送ベルト３７には、所定の箇所に吸着用孔が形成されている。基板搬送ベルト３７は、例えばステンレス鋼製の部材からなっている。

位置検出部３４は、基板搬送部７の導入部５側に配置された例えば４台のアライメント用カメラ３８，３８，…を有し、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）上の４隅部に設けられたアライメントマーカを検出し、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）と基板搬送部７との位置合わせを行う。
なお、例えば上記直線部の直下には、転写シート２を型搬送ベルト２３，２４に固定する際に、転写シート２と基板搬送ベルト３７との間のアライメントを行うためのアライメント用カメラ（不図示）が配置されている。

基板吸着部３５は、支持台９に配置された吸着ボックス３９ａ，３９ｂと、エジェクタ（不図示）とを有し、基板搬送ベルト３７に形成された吸着用孔と、吸着ボックス３９ａ（３９ｂ）とを経由してエジェクタに到る吸気経路に沿って吸気が行われることによってガラス基板３_１（３_２，３_３，…）の吸着が行われる。
また、ペースト硬化部８は、上記直線部の直上に配置された紫外線照射装置からなっている。この例の紫外線照射装置は、例えば出力４ｋＷの高圧水銀灯を有し、ランプ高さを例えば１５ｃｍに設定する。

次に、図１及び図２を参照して、この例のセル隔壁形成装置１を用いたセル隔壁の形成方法について説明する。
まず、図１及び図２に示すように、転写シート２に設けられたアライメントマーカ（例えば４箇所）と、型搬送ベルト２３，２４に設けられたアライメントマーカ（１つの転写シート２に対して例えば各２箇所）とを一致させた状態で、転写シート２を型搬送ベルト２３，２４に固定する。

すなわち、支持固定ピン２３ｂ，２４ｂの位置に挿通孔１２ａ，１２ａ，…を合わせて、型搬送ベルト２３，２４上に、転写シート２を載置し、支持固定ピン２３ｂ（２４ｂ）の位置に挿通孔２５ａ，２５ａ，…（２６ａ，２６ａ，…）を合わせて、転写シート２の上に磁気固定ベルト２５，２６を配置して、転写シート２を固定する。
同様にして、もう１枚の転写シート２を、型搬送ベルト２３，２４上に固定する。この例では、これらの２つの転写シート２，２を、両側（進行方向に対して前方側及び後方側）の間隔を同一にして（互いに線対称の関係となるように）、型搬送ベルト２３，２４に固定する。

次に、転写シート２と基板搬送ベルト３７との間のアライメントをアライメント用カメラを用いて行う。すなわち、転写シート２のアライメントマーカの直下に、基板搬送ベルト３７（１つの転写シート２に対して例えば各２箇所）のアライメントマーカが位置し、概略一致させるようにして、転写シート２を上記直線部に配置する。
次に、上記直線部の直下に配置されたアライメント用カメラを用いて、両アライメントマーカの位置と、アライメント用カメラの配置位置（基準位置）からの誤差（ずれ）とを計測し、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）導入時のアライメントの際の補正値として用いる。

次に、未硬化のペーストが塗布されたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）を基板搬送部７の導入部５に導入する。
この例では、ペーストとしては、フィラー（例えば、Ａｌ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２）ガラス（ＰｂＯ、Ｂ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２）、紫外線硬化樹脂を、それぞれ１４％、７２％、１４％の重量比で混合して調整した光硬化ペーストを用いる。
この未硬化のペーストを、例えば、テーブルコーダを用いて、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）上に１２０μｍの膜厚で塗布する。
次に、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）を基板搬送ベルト３７，３７に載せて、転写シート２に設けられたアライメントマーカと、基板搬送ベルト３７，３７のアライメントマーカとを、アライメント用カメラ３８によって両アライメントマーカを検出しながら位置合わせを行う。
ここで、転写シート２と基板搬送ベルト３７との間のアライメントを行った際の補正値に基づいて、基板搬送ベルト３７のアライメントマーカに対して、転写シート２のアライメントマーカの位置にずらした状態で、アライメントを行う。
この後、吸着ボックス３９ａを経由する吸気経路に沿って吸気が行うことによってガラス基板３_１（３_２，３_３，…）を基板搬送ベルト３７，３７に吸着固定する（図１中ガラス基板３_３の位置）。

次に、転写工程に移る。
駆動モータ３６の回転によって、型搬送ベルト２３，２４に固定された転写シート２は、図中時計周りに転写ローラ１６へ向けて移動すると同時に、基板搬送ベルト３７，３７に固定され、未硬化のペーストが塗布されたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）も転写ローラ１６へ向けて移動する。
転写型１１の前方側の端部が、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）の対応する前方側の部位のペーストに接触した後、転写ローラ１６と支持台９との間に、型搬送ベルト２３，２４に固定された転写シート２と、基板搬送ベルト３７，３７に固定されペーストが塗布されたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）とが挟み込まれ、転写ローラ１６の回転及びガラス基板３_１（３_２，３_３，…）の移動と共に、図７（ａ）に示すように、転写型１１がガラス基板３_１（３_２，３_３，…）側に押し付けられて、転写型１１が未硬化のペースト内に埋め込まれていく。

転写ローラ１６がさらに回転し、同時にガラス基板３_１（３_２，３_３，…）が移動して、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）の全体が転写ローラ１６と剥離ローラ１９との間（すなわち、ペースト硬化部８の直下（図１中ガラス基板３_２の位置）に到達すると、転写型１１の全部が未硬化のペースト内に埋め込まれる。すなわち、転写型１１の凹部に未硬化のペーストが充分行き渡った状態となる。
ここで、駆動モータ３６は一旦停止し、硬化工程に移る。
ペースト硬化部８では、紫外線照射装置が、同図（ｂ）に示すように、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）のペーストへ向けて紫外線Ｕを所定時間（例えば、１５［ｓｅｃ］〜３０［ｓｅｃ］）照射する。１枚のガラス基板３_１（３_２，３_３，…）について、略３０ｋＪ／ｍ^２の光量を照射する。転写シート２を透過した紫外線は、ペーストに当ってこれを硬化させる。

この後、駆動モータ３６が再び回転し、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）が剥離ローラ１９へ向けて移動すると同時に、剥離ローラ１９が回転し、剥離工程を実行する。すなわち、同図（ｃ）に示すように、転写型１１を前方側からガラス基板３_１（３_２，３_３，…）上に形成された硬化済ペーストから引き剥がしていく。
剥離ローラ１９がさらに回転し、同時にガラス基板３_１（３_２，３_３，…）が移動して、転写型１１の全部がペーストから引き離されると、隔壁パターンが形成されたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）が、搬出部６に到達する。
この例では、１６０μｍの高さの隔壁を形成するためのタクトは、略６０秒となり、従来の１２０秒から半減した。

上述したセル隔壁の形成方法において、図１に示すように、ガラス基板３_２に硬化処理が施されているときは、このガラス基板３_２の直後に導入されたガラス基板３_３には、アライメント処理が施されており、かつ、このガラス基板３_２の直前に導入されていたガラス基板３_１は、隔壁パターンが形成されて、搬出中とされている。
また、図２に示すように、ガラス基板３_３に転写処理が施されているときは、このガラス基板３_３の直前に導入されたガラス基板３_２には、剥離処理が施されており、かつ、このガラス基板３_２の直前に導入されていたガラス基板３_１は、隔壁パターンが形成されて、搬出完了とされている。

このように、この例のセル隔壁の形成方法では、同一装置で、１つのガラス基板３_１（３_２，３_３，…）への隔壁パターンの形成が完了した後に、次のガラス基板３_２（３_３，３_４，…）が導入されて隔壁パターンの形成が行われるのでなく、例えば、１つのガラス基板３_１（３_２，３_３，…）の１つの工程が実行されているときに、同時に次のガラス基板３_２（３_３，３_４，…）の１つ前の工程が実行される。

この後、隔壁３１が形成されたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）に対して焼成処理を施し、図８に示すように、蛍光体層３２を形成する。蛍光体層３２は、放電用ガスの放電によって発生する紫外線を可視光に変換する赤色蛍光体層、緑色蛍光体層、及び青色蛍光体層に塗り分けられてなっている。
なお、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）上には、予めデータ電極３３やデータ電極３３を被覆する白誘電体層３４が形成されている。データ電極３３は、垂直方向Ｖに沿って形成され、Ａｌ（アルミニウム），Ｃｕ（銅）、Ａｇ（銀）等からなっている。

こうして、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）上にデータ電極３３及び白誘電体層３４が形成され、隔壁３１によって画成されて、さらに蛍光体層３２が形成されてなる背面基板３５が製造される。
この背面基板３５を、同図に示すように、ガラス基板３６の内面に水平方向Ｈに沿って平行に透明電極３７ａ，３８ａ及びバス電極（トレース電極）３７ｂ，３８ｂからなる走査電極３７及び維持電極（共通電極）３８が形成され、走査電極３７及び維持電極３８を被覆する透明誘電体層３９が形成され、さらに透明誘電体層３９を放電から保護する保護膜４１が形成されて概略構成される前面基板４２と貼り合わせる。

ここで、透明電極３７ａ，３８ａは、酸化錫やＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなっている。また、バス電極３７ｂ，３８ｂは、抵抗値を小さくするために配置される。バス電極３７ｂ，３８ｂは、Ａｌ，Ｃｕ、Ａｇ等からなっている。また、透明誘電体層３９は、例えばＰｂＯ（酸化鉛）等の低融点ガラスからなっている。また、保護膜４１は、ＭｇＯ（酸化マグネシウム）等からなっている。
背面基板３５と前面基板４２とは、両基板３５，４２間に放電ガス空間４３が形成されるように、互いに対向するように配置されて貼り合わせられ、放電ガス空間４３内に放電用ガスが封入されることによって、プラズマディスプレイパネル４４が製造される。
放電用ガスとしては、Ｈｅ（ヘリウム）、Ｎｅ（ネオン）、Ｘｅ（キセノン）等は、単独で又は混合されて用いられる。

背面基板３５と前面基板４２とは、１００μｍ程度のギャップを隔てて対向した状態で固定され、その周縁部は、封止材によって気密封止される。背面基板３５を構成しているガラス基板３_１（３_２，３_３，…）には、所定の箇所に通気孔が形成されており、このガラス基板３_１（３_２，３_３，…）の外側表面には、上記通気孔に位置合わせした状態で、通気管が密封状態の下で取り付けられている。背面基板３５に取り付けられている端部とは反対側の通気管の端部は、当初の状態では開口されており、この端部を介して通気管が排気・ガス充填装置に接続される。
この排気・ガス充填装置によって、まず、放電ガス空間４３が真空に排気された後、放電ガス空間４３に放電用ガスが充填される。放電用ガスの充填が終了した後、通気管は過熱によってチップオンされ、開口端部が閉塞される。このようにして、放電ガス空間４３に放電用ガスが充填されてプラズマディスプレイパネル４４が完成する。

このように、この例の構成によれば、少なくとも２つのガラス基板について、アライメント工程とペースト硬化工程、隔壁転写工程と転写型剥離工程を、それぞれ、同時に（同一作業時間内で）実行することができるので、製造タクトを従来の半分以下とすることができ、生産性（単位時間当りの生産個数）を向上させることができる。
また、型搬送ベルト２３，２４には、複数の転写型シート２を同時に固定することができるので、転写型シート２の交換による生産停止時間を従来の半分以下することができるため、一段と生産性を向上させることができる。また、保守作業の手間も軽減することができる。

また、型搬送ベルト２３，２４として、金属製部材を用いているので、型搬送ベルト２３，２４は、転写ローラ１６や剥離ローラ１９から張力や転写時の応力を受けても、殆ど変形しないので、転写ローラ１６や剥離ローラ１９からの張力や転写時の応力を、型搬送ベルト２３，２４に固定した転写型１１に伝えることがない。したがって、転写型１１は、殆ど変形することがないので、転写型１１の変形（皺の発生や緩み、伸び等）による寸法の狂いを回避し、高い精度で隔壁パターンを形成することができる。したがって、歩留まりを向上させることができる。

図９及び図１０は、この発明の第２実施例であるセル隔壁形成装置の構成を模式的に示す断面図である。
この例が上述した実施例１と大きく異なるところは、ガラス基板を支持台上に固定し、転写キャタピラ部を自走式とし、この転写キャタピラ部全体をガラス基板に対して往復運動させる点である。
これ以外の構成は、上述した実施例１の構成と略同一であるので、その説明を簡略にする。

この例のセル隔壁形成装置１Ａは、図９及び図１０に示すように、隔壁パターンに対応する凹凸パターンが形成された転写シート２を、下方に水平な直線部を有する所定の閉曲線に沿って移動させると共に、自身が、支持台上に固定されたガラス基板３に対して往復運動し、隔壁パターンの転写を行うための自走式の転写キャタピラ部（転写型駆動手段）４Ａと、転写キャタピラ部４Ａに固定され、ガラス基板３に塗布された未硬化のペーストを硬化させるペースト硬化部８Ａと、ガラス基板３を載置し固定すると共に転写キャタピラ部４Ａを水平面に沿って往復運動可能なように支持する支持台９Ａとを備えてなっている。

転写キャタピラ部４Ａは、同図に示すように、第１転写・剥離部５１と、第２転写・剥離部５２と、転写シート２を固定して閉曲線に沿って搬送する型搬送部１５と、転写キャタピラ部本体を支持台９Ａに対して変位させる駆動モータからなる移動手段としての駆動部（不図示）とを有している。
第１転写・剥離部５１と第２転写・剥離部５２とは、共に、転写型１１を未硬化のペーストが塗布されたガラス基板３に押し付ける転写機能と、転写型１１を硬化済のペーストが形成されたガラス基板３から引き離す剥離機能とを有し、転写キャタピラ部４Ａの往復運動の度に交互に転写機能と剥離機能とを切り換える。
支持台９Ａは、中央部に配置され、ガラス基板３を載置し固定するための基板載置固定部５４と、天井部に設けられ転写キャタピラ部４Ａを水平方向に沿って案内するための案内部５５とを有している。基板載置固定部５４には、ガラス基板３を吸着するための吸着孔及び吸着溝が設けられている。

次に、図９及び図１０を参照して、この例のセル隔壁形成装置１Ａを用いたセル隔壁の形成方法について説明する。
まず、転写キャタピラ部４Ａを基板載置固定部５４に移動させて、この状態で、転写キャタピラ部４Ａの転写シート２のアライメントマーカにアライメント用カメラを一致させておく。
次に、転写キャタピラ部４Ａを基板載置固定部５４から退避させた状態で、未硬化のペーストが塗布されたガラス基板３が、アライメント用カメラを用いて、ガラス基板３の４隅部に設けられたアライメントマーカと基板載置固定部５４のアライメントマーカを一致させて（すなわち、転写時に転写シート２のアライメントマーカに一致するように）位置決めがなされ、基板載置固定部５４に吸着によって固定される。

次に、図９に示すように、転写キャタピラ部４Ａが基板載置固定部５４の左側に配置された状態から、転写工程に移る場合には、図中右側に設けられた第１転写・剥離部５１が、まず、転写部として機能し、左側からガラス基板３に向けて移動すると同時に、転写シート２は、第１転写・剥離部５１へ向けて移動する。
転写型１１の前方側の端部が、ガラス基板３の対応する前方側の部位のペーストに接触した後、第１転写・剥離部５１のローラと支持台９Ａとの間に、型搬送ベルト２３，２４に固定された転写シート２と、ペーストが塗布されたガラス基板３とが挟み込まれ、第１転写・剥離部５１のローラの回転及び並進運動と共に、転写型１１がガラス基板３側に押し付けられて、転写型１１が未硬化のペースト内に埋め込まれていく。

第１転写・剥離部５１のローラがさらに回転し、同時に並進運動によって、ガラス基板３の全体が第１転写・剥離部５１のローラと第２転写・剥離部５２のローラとの間（すなわち、ペースト硬化部８の直下）に到達すると、転写型１１の全部が未硬化のペースト内に埋め込まれる。すなわち、転写型１１の凹部に未硬化のペーストが充分行き渡った状態となる。
ここで、第１転写・剥離部５１及び第２転写・剥離部５２のローラを駆動する駆動モータ及び転写キャタピラ部本体を並進運動させる駆動モータは一旦停止し、硬化工程に移る。
ペースト硬化部８Ａでは、紫外線照射装置が、同図（ｂ）に示すように、ガラス基板３のペーストへ向けて紫外線Ｕを所定時間（例えば、１５［ｓｅｃ］〜３０［ｓｅｃ］）照射する。転写シート２を透過した紫外線は、ペーストに当ってこれを硬化させる。

この後、第１転写・剥離部５１及び第２転写・剥離部５２のローラを駆動する駆動モータ及び転写キャタピラ部本体を並進運動させる駆動モータは、転写工程における向きと同じ向きに再び回転し、第２転写・剥離部５２のローラが、剥離部として機能し、第２転写・剥離部５２のローラが回転すると同時に並進運動し、剥離工程を実行する。すなわち、転写型１１を前方側からガラス基板３上に形成された硬化済ペーストから引き剥がしていく。
第２転写・剥離部５２のローラがさらに回転し、同時に並進運動し、図１０に示すように、転写キャタピラ部４Ａが右側に移動し、転写型１１の全部がペーストから引き離されると、ガラス基板３には隔壁パターンが形成される。

次に、基板載置固定部５４には、新しく未硬化のペーストが塗布されたガラス基板３が固定され、図１０に示すように、転写キャタピラ部４Ａが右側に配置された状態から、転写工程に移る。今度は、図中左側に設けられた第２転写・剥離部５２が、まず、転写部として機能し、右側の第１転写・剥離部５１が剥離部として機能する。このように、転写キャタピラ部４Ａの往復運動の度に、第１転写・剥離部５１と第２転写・剥離部５２とは、その機能が入れ替わる。

この例の構成によれば、上述した実施例１と略同様の効果を得ることができる。
加えて、転写シート２は、少なくとも１つ用意するのみで、実施例１と略同様に、製造タクトを短縮することができる。

図１１は、この発明の第３実施例であるセル隔壁形成装置の型搬送部の構成を模式的に示す断面図である。
この例が上述した実施例１と大きく異なるところは、補助剥離ローラを設けて、剥離角度の調整が可能なように構成した点である。
これ以外の構成は、上述した実施例１の構成と略同一であるので、その説明を簡略にする。

この例の転写キャタピラ部４Ａは、図１１に示すように、転写型１１を未硬化のペーストが塗布されたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）に押し付ける転写部１３Ａと、転写型１１を硬化済のペーストが形成されたガラス基板３_１（３_２，３_３，…）から引き離す剥離部１４Ａと、転写シート２を固定して搬送する型搬送部１５と、転写補助回転体６１と、剥離補助回転体６２とを有している。
転写補助回転体６１及び剥離補助回転体６２は、共に円筒形状のローラの両端部にプーリが一体的に設けられてなっている。
この例では、転写型１１やペーストの物理的性質や転写型１１の搬送速度等に応じて、予め設定した適切な剥離角度θに基づいて、これに合わせるように、転写部１３Ａの転写ローラの径と剥離補助回転体６２の設置位置とを調整して、搬送ベルト２３，２４の引張方向を調整しておく。

この例の構成によれば、上述した実施例１と略同様の効果を得ることができる。
加えて、予め設定された剥離角度に応じて、型搬送ベルト２３，２４にガラス基板３_１（３_２，３_３，…）をの搬送方向に対する引張方向を調整しておくので、剥離時に発生するストレスを低減し、例えば隔壁の一部の欠けや破壊を回避できるため、一段と歩留まりを向上させることができる。
すなわち、剥離ローラの径と剥離補助回転体のローラの設置位置とを調整して、適切な剥離角度となるように型搬送ベルト２３，２４の引張方向を調整しておくので、剥離時に発生するストレスを低減することができる。
また、転写補助回転体及び剥離補助回転体のローラを設置したので、張力の調整を容易とし、型搬送体の変形を確実に防止することができる。

図１２は、この発明の第４実施例であるプラズマ表示装置の製造方法によって製造されたプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。
この例のプラズマ表示装置７１は、図１２に示すように、モジュール構造を有するものとして設計されており、具合的には、アナログインタフェース（以下、ＩＦという）７２とＰＤＰモジュール７３とから構成されている。

アナログＩＦ７２は、同図に示すように、クロマ・デコーダを有するＹ／Ｃ分離回路７４と、Ａ／Ｄ変換回路７５と、ＰＬＬ回路を有する同期信号制御回路７６と、画像フォーマット変換回路７７と、逆γ（ガンマ）変換回路７８と、システムコントロール回路７９と、ＰＬＥ制御回路８１とから構成されている。
概略的には、アナログＩＦ７２は、受信したアナログ映像信号をデジタル映像信号に変換した後、このデジタル映像信号をＰＤＰモジュール７３に供給する。例えば、テレビチューナから発信されたアナログ映像信号は、Ｙ／Ｃ分離回路７４において、ＲＧＢの各色の輝度信号に分解された後、Ａ／Ｄ変換回路７５において、デジタル映像信号に変換される。

この後、ＰＤＰモジュール７３の画素構成と映像信号の画素構成とが異なる場合には、画像フォーマット変換回路７７において、必要な画像フォーマットの変換が行われる。ＰＤＰの入力信号に対する表示輝度の特性は線形的に比例するが、通常の映像信号は、ＣＲＴの特性に合わせて、予め補正されている（γ変換されている）。
このため、Ａ／Ｄ変換回路７５において、映像信号のＡ／Ｄ変換を行った後、逆γ変換回路７８において、映像信号に対して逆γ変換を施し、線形特性に復元されたデジタル映像信号を生成する。このデジタル映像信号は、ＲＧＢ映像信号としてＰＤＰモジュール７３に出力される。

アナログ映像信号には、Ａ／Ｄ変換用のサンプリングクロック及びデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路７６に内蔵されているＰＬＬ回路がアナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック及びデータクロック信号を生成し、ＰＤＰモジュール７３に出力する。
アナログＩＦ７２のＰＬＥ制御回路８１は,輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には、表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を超える場合には、表示輝度を低下させる。

システムコントロール回路７９は、各種制御信号をＰＤＰモジュール７３に出力する。ＰＤＰモジュール７３は、さらに、デジタル信号処理・制御回路８２と、パネル部８３と、Ｄ／Ｄコンバータを内蔵するモジュール内電源回路８４とから構成されている。
デジタル信号処理・制御回路８２は、入力ＩＦ信号処理回路８５と、フレームメモリ８６と、メモリ制御回路８７と、ドライバ制御回路８８とから構成されている。
例えば、入力ＩＦ信号処理回路８５に入力された映像信号の平均輝度レベルは、入力ＩＦ信号処理回路８５内の入力信号平均輝度レベル演算回路（不図示）によって計算され、例えば、５ビットデータとして出力される。また、ＰＬＥ制御回路８１は、平均輝度レベルに応じてＰＬＥ制御データを設定し、入力ＩＦ信号処理回路８５内の輝度レベル制御回路（不図示）に入力する。

パネル部８３は、ＰＤＰ４４と、走査電極を駆動する走査ドライバ８９と、データ電極を駆動するデータドライバ９１と、ＰＤＰ４４及び走査ドライバ８９にパルス電圧を供給する高圧パルス回路９２と、高圧パルス回路９２からの余剰電力を回収する電力回収回路９３とから構成されている。
ＰＤＰ４４は、例えば１３６５個×７６８個に配列された画素を有するものとして構成されている。ＰＤＰ４４では、走査ドライバ８９が走査電極を制御し、データドライバ９１がデータ電極を制御することにより、これらの画素のうちの所定の画素の点灯又は非点灯が制御され、所望の表示が行われる。
なお、ロジック用電源がデジタル信号処理・制御回路８２及びパネル部８３にロジック用電源を供給している。さらに、モジュール内電源回路８４は、表示電源から直流電力を供給され、この直流電力の電圧を所定の電圧に変換した後、パネル部８３に供給している。

次に、図１２を参照して、この例のプラズマ表示装置７１の製造方法について概略的に説明する。
まず、ＰＤＰ４４と、走査ドライバ８９と、データドライバ９１と、高圧パルス回路９２と、電力回収回路９３とを一基板上に配置し、パネル部８３を形成する。さらに、パネル部８３とは別個にデジタル信号処理・制御回路８２を形成する。
このようにして形成されたパネル部８３及びデジタル信号処理・制御回路８２を一つのモジュールとして組み立て、ＰＤＰモジュール７３を形成する。さらに、ＰＤＰモジュール７３とは別個にアナログＩＦ７２を形成する。
このように、ＰＤＰモジュール７３とは別個にアナログＩＦ７２を形成した後、双方を電気的に接続することによって、プラズマ表示装置７１が完成する。

このように、プラズマ表示装置７１をモジュール化することによって、プラズマ表示装置７１を構成する他の構成部品とは別個に独立にプラズマ表示装置７１を製造することが可能となり、例えば、プラズマ表示装置７１が故障した場合には、ＰＤＰモジュール７３毎交換することによって、補修の簡素化及び迅速化を図ることができる。

この例の構成によれば、プラズマ表示装置をモジュール化することによって、例えば、故障時にＰＤＰモジュール毎交換して、補修の簡素化及び迅速化を図ることができる。

以上、この発明の実施例を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。
例えば、上述した実施例では、予めガラス基板上に、未硬化のペーストを塗布する場合について述べたが、転写型に供給しても良いし、ガラス基板と転写型とが重なっていく箇所に、転写が行われる直前に、供給するようにしても良い。

また、上述した実施例では、転写シート２に設けられたアライメントマーカと、型搬送ベルト２３，２４に設けられたアライメントマーカを一致させた状態で、転写シート２を型搬送ベルト２３，２４に固定した後に、転写シート２のアライメントマーカと、基板搬送ベルト３７のアライメントマーカとを概略一致させるようにして、転写シート２を上記直線部に配置し、アライメント用カメラを用いて、両アライメントマーカの位置と、アライメント用カメラの配置位置（基準位置）からの誤差（ずれ）とを検出し、ガラス基板３_１（３_２，３_３，…）導入時のアライメントの際の補正値として用いるようにした場合について述べたが、転写シート２を型搬送ベルト２３，２４に固定する際に、アライメント用カメラを用いて、転写シート２と基板搬送ベルト３７とのアライメントが正確になされた状態で転写シート２を固定するようにして、導入時のガラス基板３_１（３_２，３_３，…）と基板搬送ベルト３７，３７とのアライメントの際に、補正をしなくても済むようにしても良い。

また、上述した実施例では、単一の駆動モータ３６で搬出側駆動部３２を駆動する場合について述べたが、型搬送ベルト２３，２４と基板搬送ベルト３７，３７とが同一速度となるように同期がとれていれば駆動モータを別々に配置しても良い。
また、上述した実施例では、磁気固定ベルト２５，２６として、フェライト磁石等の永久磁石を用いる場合について述べたが、永久磁石としては、フェライト磁石に限らず、例えばサマリウム・コバルト磁石やネオジム・鉄・ボロン磁石等であっても良い。
また、永久磁石として、プラスチックと永久磁石粉とから成形したボンド磁石を用いても良いし、永久磁石としての例えばフェライト磁石粉とゴム（例えばウレタンゴムやシリコンゴム）とからなり、磁場を発生すると共に弾性を有するボンド磁石を用いても良い。

また、上述した実施例では、磁気固定ベルト２５，２６を用いて、転写シート２を型搬送ベルト２３，２４に固定する場合について述べたが、例えば、固定ベルトとして磁性体を用いなくても、単に転写シート２上に固定ピンに挿通孔を合わせように配置して、プーリ１７（１８）とプーリ２１（２２）との間隔を広げて固定し、型搬送ベルト２３（２４）と固定ベルトとに張力を与えて、転写シート２を型搬送ベルト２３（２４）と固定ベルトとの間に挟み込んで圧接して固定するようにしても良い。この場合、型搬送ベルト２３，２４に用いる金属製部材は、必ずしも磁性体でなくても良い。
また、型搬送ベルト２３，２４としては、ステンレス鋼に限らず、ニッケルやフェライト等を用いても良い。

また、実施例１では、転写シート２を２つ固定する場合について述べたが、３つ以上固定しても良い。
また、実施例２では、予め剥離ローラの径と補助剥離ローラの配置位置との調整によって、剥離角度、すなわち引張角度を調整する場合について述べたが、剥離ローラの径と剥離補助ローラの配置位置とのうち、いずれか一方のみの調整によっても良い。

光硬化性のペーストを用いて紫外線照射によって硬化させる場合のほか、加熱硬化性のペーストや、冷却硬化性のペーストを用いて、それぞれ、加熱装置又は冷却装置によって硬化させる場合に適用することができる。

この発明の第１実施例であるセル隔壁形成装置の構成を模式的に示す断面図である。 同セル隔壁形成装置の構成を模式的に示す断面図である。 同セル隔壁形成装置の型搬送部の構成を示す平面図である。 同型搬送部の構成を示す断面図である。 同型搬送部の転写ローラ及び剥離ローラの構成を示す平面図である。 同転写ローラ及び剥離ローラの構成を示す断面図である。 同セル隔壁形成装置を用いたセル隔壁形成方法を説明するための工程図である。 同セル隔壁形成装置によって製造されたセル隔壁を備えたＰＤＰの概略構成を示す斜視図である。 この発明の第２実施例であるセル隔壁形成装置の構成を模式的に示す断面図である。 同セル隔壁形成装置の構成を模式的に示す断面図である。 この発明の第３実施例であるセル隔壁形成装置の型搬送部の構成を模式的に示す断面図である。 この発明の第４実施例であるプラズマ表示装置の製造方法によって製造されたプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。 従来技術を説明するための説明図である。

符号の説明

１，１Ａ セル隔壁形成装置
２ 転写シート
３_１，３_２，３_３，…，３ ガラス基板（基板）
４，４Ａ，４Ｂ 転写キャタピラ部（転写型駆動手段）
７ 基板搬送部（基板搬送手段）
８，８Ａ ペースト硬化部（ペースト硬化手段）
１１ 転写型
１２ 裏打シート材（シート状支持部材）
１３ 転写部（第１又は第２の回転体）
１４ 剥離部（第１又は第２の回転体）
１５ 型搬送体
１６ 転写ローラ
１９ 剥離ローラ
２３，２４ 型搬送ベルト
２５，２６ 磁気固定ベルト
３１ 導入側駆動部（第３の回転体）
３２ 搬出側駆動部（第４の回転体）
３３ 基板搬送体
３４ 位置検出部
４４ ＰＤＰ
５１ 第１転写・剥離部
５２ 第２転写・剥離部
７１ プラズマ表示装置

Claims (35)

1. 放電セルを画成する隔壁を、前記隔壁の形状に対応する凹凸パターンを有する転写型を用いて、基板上に形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
   前記基板又は前記転写型に、未硬化のペーストを供給するペースト供給工程と、
   回転軸が互いに平行な略円筒状の第１及び第２の回転体の間に掛け渡された無端状の型搬送体の外面側に固定された前記転写型を、前記第１又は第２の回転体によって、未硬化のペーストを挟んだ状態で、前記基板に押し付けるパターン転写工程と、
   前記第１及び第２の回転体の間に配置されたペースト硬化手段によって、前記ペーストを硬化させるペースト硬化工程と、
   前記第２又は第１の回転体によって、硬化されたペーストが固着された前記基板から、前記転写型を引き離して前記基板に前記隔壁を形成する転写型剥離工程とを含む
   ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
2. 前記パターン転写工程では、前記第１及び第２の回転体の回転によって、前記第１又は第２の回転体の配置位置で前記基板を引き込む向きに、前記転写型を所定の搬送速度で搬送すると共に、前記型搬送体の所定の直線部分の外面側を該外面に対して所定の離隔を保って、前記第１又は第２の回転体側から前記第２又は第１の回転体側へ向けて、前記転写型の前記搬送速度と同一の速度で搬送される前記基板に、前記未硬化のペーストを挟んだ状態で、前記転写型を押し付け、
   前記転写型剥離工程では、前記第１及び第２の回転体の回転によって、前記第２又は第１の回転体の配置位置で前記基板を排出する向きに、前記転写型を前記搬送速度で搬送すると共に、前記第１又は第２の回転体側から前記型搬送体の前記直線部分の外面側を該外面に対して所定の離隔を保って、前記転写型の前記搬送速度と同一の速度で搬送されてくる硬化されたペーストが固着された前記基板から、前記転写型を引き離す
   ことを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
3. 前記パターン転写工程では、前記第１及び第２の回転体の回転によって、前記第１又は第２の回転体の配置位置で前記基板を引き込む向きに、前記転写型を所定の搬送速度で搬送すると共に、前記第１及び第２の回転体並びに前記型搬送体を、前記第１及び第２の回転体の両回転軸間の距離を保った状態で、かつ、前記基板に対して前記型搬送体の所定の直線部分の外面が前記基板に対して所定の離隔を保つように、前記第１又は第２の回転体側から前記基板に接近するように、基板面に平行な方向に沿って前記転写型の前記搬送速度と同一の速度で並進運動させて、前記基板に、未硬化のペーストを挟んだ状態で、前記転写型を押し付け、
   前記転写型剥離工程では、前記第１及び第２の回転体の回転によって、前記第２又は第１の回転体の配置位置で前記基板を排出する向きに、前記転写型を前記搬送速度で搬送すると共に、前記第１及び第２の回転体並びに前記型搬送体を、前記第１及び第２の回転体の両回転軸間の距離を保った状態で、かつ、前記基板に対して前記型搬送体の前記直線部分の外面が前記基板に対して所定の離隔を保った状態で、前記第２又は第１の回転体側から前記基板に接近するように、基板面に平行な方向に沿って前記転写型の前記搬送速度と同一の速度で並進運動させて、硬化されたペーストが固着された前記基板から、前記転写型を引き離す
   ことを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
4. 前記基板は、前記型搬送体の前記直線部分の外面側を該外面に対して所定の離隔を保って、前記第１又は第２の回転体側から前記第２又は第１の回転体側へ向けて、前記転写型の搬送速度と同一の速度で駆動される基板搬送体に固定されて、搬送されることを特徴とする請求項２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
5. 前記基板搬送体は、回転軸が互いに平行な略円筒状の第３及び第４の回転体に掛け渡された無端状の搬送体からなることを特徴とする請求項４記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
6. 前記パターン転写工程を実行する前に前記基板と前記基板搬送体との位置合わせを行う第１のアライメント工程を含むことを特徴とする請求項４又は５記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
7. 前記第１のアライメント工程は、前記型搬送体に固定された前記転写型と前記基板搬送体との位置合せを行う第２のアライメント工程が実行された後に実行することを特徴とする請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
8. 前記型搬送体には複数の前記転写型が固定されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
9. 第１の前記基板が前記転写型剥離工程において処理されるときに、第２の前記基板が前記パターン転写工程において処理されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
10. 第１の前記基板が前記ペースト硬化工程において処理されるときに、第２の前記基板が前記第１のアライメント工程において処理されることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
11. 前記転写型剥離工程では、予め設定された剥離角度に応じて、前記型搬送体は、前記転写型の前記基板からの引離しを行う前記第２又は第１の回転体によって前記型搬送体を引っ張る前記基板の搬送方向に対する引張方向が所定の方向となるように、配置されていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
12. 前記第１及び第２の回転体は、それぞれ回転ローラの両端にプーリが設けられ、前記型搬送体は、前記第１及び第２の回転体の前記プーリ間に掛け渡された一対の無端状のベルトからなることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
13. 前記プーリの周縁部には、前記プーリの回転によって無端状の前記ベルトを駆動するための凸部又は凹部が形成され、前記ベルトには、前記プーリの前記凸部又は凹部と噛合する凹部又は凸部が形成されていることを特徴とする請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
14. 前記ペースト供給工程では、前記基板上に未硬化のペーストを塗布することを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
15. 前記型搬送体は、肉薄の金属製部材からなることを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
16. 前記転写型は、シート状支持部材によって支持され、該シート状支持部材の下面の側端部が、無端状の前記ベルト上に載置され、前記ベルトと磁気的引力を及ぼし合う磁性固定部材が前記シート状支持部材の上面の側端部に重ねられることによって、前記ベルトに固定されることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
17. 前記第３及び第４の回転体は、それぞれ回転ローラの両端にプーリが設けられ、前記基板搬送体は、前記第３及び第４の回転体の前記プーリ間に掛け渡された一対の無端状のベルトからなり、かつ、前記各ベルトには、吸着用孔が形成され、前記基板は、前記吸着用孔を経由する吸気経路に沿って吸気が行われることによって吸着されて前記ベルトに固定されることを特徴とする請求項５乃至１６のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
18. 放電セルを画成する隔壁を、前記隔壁の形状に対応する凹凸パターンを有する転写型を用いて、基板上に形成してプラズマディスプレイパネルを製造するための装置であって、
    前記基板又は前記転写型に未硬化のペーストを供給するペースト供給手段と、
    前記転写型を、直線部を含む所定の閉曲線に沿って移動させて、前記基板に対して、前記隔壁の転写を行うための転写型駆動手段と、
    未硬化のペーストを硬化させるペースト硬化手段とを備えてなり、
    前記転写型駆動手段は、回転軸が互いに平行な略円筒状の第１及び第２の回転体と、前記第１及び第２の回転体の間に掛け渡され、外面側に前記転写型が固定された無端状の型搬送体とを有し、
    前記第１又は第２の回転体によって、前記転写型を、未硬化のペーストを挟んだ状態で、前記基板に押し付け、前記第２又は第１の回転体によって、硬化されたペーストが固着された前記基板から、前記転写型を引き離して前記基板に前記隔壁を形成し、
    前記ペースト硬化手段は、前記第１及び第２の回転体の間に配置されている
    ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
19. 前記型搬送体の所定の直線部の外面側を該外面に対して所定の離隔を保って、前記第１又は第２の回転体側から前記第２又は第１の回転体側へ向けて、前記転写型の搬送速度と同一の速度で前記基板を搬送する基板搬送手段を備え、
    前記転写型駆動手段は、前記第１及び第２の回転体の回転によって、前記第１又は第２の回転体の配置位置で前記基板を引き込む向きに、かつ、前記第２又は第１の回転体の配置位置で前記基板を排出する向きに、前記転写型を所定の搬送速度で搬送し、前記基板搬送体によって前記第１又は第２の回転体に搬送されてくる前記基板に、前記未硬化のペーストを挟んだ状態で、前記転写型を押し付けると共に、前記基板搬送体によって前記第２又は第１の回転体に搬送されてくる硬化されたペーストが固着された前記基板から、前記転写型を引き離すことを特徴とする請求項１８記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
20. 前記転写型駆動手段を、前記第１及び第２の回転体の両回転軸間の距離を保った状態で、かつ、前記基板に対向する側の前記型搬送体の所定の直線部の外面が前記基板に対して所定の離隔を保つように基板面に平行な方向に沿って並進運動させる移動手段を備え、
    前記転写型駆動手段が、前記第１及び第２の回転体の回転によって、前記第１又は第２の回転体の配置位置で前記基板を引き込む向きに、かつ、前記第２又は第１の回転体の配置位置で前記基板を排出する向きに、前記転写型を所定の搬送速度で搬送し、
    前記移動手段が、前記第１又は第２の回転体側から前記基板に接近するように、基板面に平行な方向に沿って前記転写型の搬送速度と同一の速度で並進運動させると同時に、前記転写型駆動手段が、前記基板に、未硬化のペーストを挟んだ状態で、前記転写型を押し付け、
    前記移動手段が、前記第２又は第１の回転体側から前記基板に接近するように、基板面に平行な方向に沿って前記転写型の搬送速度と同一の速度で並進運動させると同時に、前記転写型駆動手段が、硬化されたペーストが固着された前記基板から、前記転写型を引き離す
    ことを特徴とする請求項１８記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
21. 前記基板搬送手段は、前記基板を、前記型搬送体の外面側を該外面に対して所定の離隔を保って、前記第１又は第２の回転体側から前記第２又は第１の回転体側へ向けて、前記転写型の搬送速度と同一の速度で駆動される基板搬送体に固定して搬送することを特徴とする請求項１９記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
22. 前記基板搬送体は、回転軸が互いに平行な略円筒状の第３及び第４の回転体に掛け渡された無端状の搬送体からなることを特徴とする請求項２１記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
23. 前記基板と前記基板搬送体との位置合わせを行うための第１のアライメント手段を備えたことを特徴とする請求項２１又は２２記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
24. 前記型搬送体に固定された前記転写型と前記基板搬送体との位置合せを行うための第２のアライメント手段を備えたことを特徴とする請求項２３記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
25. 前記型搬送体には複数の前記転写型が固定されていることを特徴とする請求項１８乃至２４のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
26. 前記転写型駆動手段は、第１の前記基板から、前記転写型を引き離す処理を行うと同時に、第２の前記基板に、未硬化のペーストを挟んだ状態で、前記転写型を押し付ける処理を行うことを特徴とする請求項１８乃至２５のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
27. 前記ペースト硬化手段が第１の前記基板上のペーストを硬化させているときに、前記第１のアライメント手段が、前記第２の前記基板と前記基板搬送体との位置合わせを行うことを特徴とする請求項２３乃至２６のいずれか１記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
28. 予め設定された剥離角度に応じて、前記型搬送体は、前記転写型の前記基板からの引離しを行う前記第２又は第１の回転体によって前記型搬送体を引っ張る前記基板の搬送方向に対する引張方向が所定の方向となるように、配置されていることを特徴とする請求項１８至２７のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
29. 前記第１及び第２の回転体は、それぞれ回転ローラの両端にプーリが設けられ、前記型搬送体は、前記第１及び第２の回転体の前記プーリ間に掛け渡された一対の無端状のベルトからなることを特徴とする請求項１８乃至２８のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
30. 前記プーリの周縁部には、前記プーリの回転によって無端状の前記ベルトを駆動するための凸部又は凹部が形成され、前記ベルトには、前記プーリの前記凸部又は凹部と噛合する凹部又は凸部が形成されていることを特徴とする請求項２９記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
31. 前記ペースト供給手段は、前記基板上に未硬化のペーストを塗布することを特徴とする請求項１８乃至３０のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
32. 前記型搬送体は、肉薄の金属製部材からなることを特徴とする請求項１８乃至３１のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
33. 前記転写型は、シート状支持部材によって支持され、該シート状支持部材の下面の側端部が、無端状の前記ベルト上に載置され、前記ベルトと磁気的引力を及ぼし合う磁性固定部材が前記シート状支持部材の上面の側端部に重ねられることによって、前記ベルトに固定されることを特徴とする請求項１８乃至３２のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
34. 前記第３及び第４の回転体は、それぞれ回転ローラの両端にプーリが設けられ、前記基板搬送体は、前記第３及び第４の回転体の前記プーリ間に掛け渡された一対の無端状のベルトからなり、かつ、前記各ベルトには、吸着用孔が形成され、前記基板は、前記吸着用孔を経由する吸気経路に沿って吸気が行われることによって吸着されて前記ベルトに固定されることを特徴とする請求項２２乃至３３のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
35. プラズマディスプレイパネルを製造する第１の工程と、前記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに前記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第２の工程と、画像信号のフォーマット変換を行い、前記モジュールに送信するインタフェースを前記モジュールに電気的に接続する第３の工程とを含むプラズマ表示装置の製造方法であって、
    前記第１の工程では、請求項１乃至１７のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法が実行されることを特徴とするプラズマ表示装置の製造方法。
    
    

Images