JP2003115266A - ガス放電パネルの製造方法及びガス放電パネル用封着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＰＤＰをはじめとするガス放電パネルを製造
する上で、隔壁頂部とパネル基板とが全面的に密着され
たガス放電パネルを安定的に製造することのできる製造
方法を提供することを主目的とする。 【解決手段】 ＰＤＰの外囲器４０を形成した後、加熱
炉５１に入れて、その両パネル１０，２０の外周部どう
しを封着材で封着する工程を行う際に、外囲器４０の内
部圧力が外部圧力よりも低くなるよう圧力調整しながら
行う。この圧力調整は、例えば、外囲器４０の内部のガ
スを配管部材２６を通して真空ポンプ５２で排気するこ
とによって行う。これによって、両パネルは外側から押
圧された状態で封着がなされるので、隔壁頂部と前面パ
ネル１０とが全体的にぴったり密着した状態で封着され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス放電パネルの
製造方法に関し、特に、前面パネルと背面パネルを封着
する工程に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ハイビジョンをはじめとする高品
位で大画面のテレビに対する期待が高まっている中で、
ＣＲＴ，液晶ディスプレイ（ＬＣＤ），プラズマディス
プレイパネル（Plasma Display Panel，以下ＰＤＰと記
載する）といった各ディスプレイの分野において、これ
に適したディスプレイの開発が進められている。

【０００３】従来からテレビのディスプレイとして広く
用いられているＣＲＴは、解像度・画質の点で優れてい
るが、画面の大きさに伴って奥行き及び重量が大きくな
る点で４０インチ以上の大画面には不向きである。ま
た、ＬＣＤは、消費電力が少なく、駆動電圧も低いとい
う優れた性能を有しているが、大画面を作製するのに技
術上の困難さがある。

【０００４】これに対して、ＰＤＰは、小さい奥行きで
大画面を実現することが可能であって、既に５０インチ
クラスの製品も開発されている。ＰＤＰは、駆動方式に
よって直流型（ＤＣ型）と交流型（ＡＣ型）とに大別さ
れるが、現在は、微細なセル構造のパネルを形成するの
に適しているＡＣ型が主流となっている。

【０００５】ＡＣ型として代表的な交流面放電型ＰＤＰ
は、一般的に、放電電極を配した前面プレートとアドレ
ス電極を配した背面プレートとが、両電極はマトリック
スを組むように、間隙をおいて平行に配され、両プレー
ト間の間隙は、ストライプ状の隔壁で仕切られている。
そして、隔壁と隔壁との間の溝には、赤，緑，青の蛍光
体層が形成されると共に放電ガスが封入されて構成され
ており、駆動回路で各電極に電圧を印加することによっ
て放電すると、紫外線が放出され、蛍光体層の蛍光体粒
子（赤，緑，青）がこの紫外線を受けて励起発光するこ
とによって画像表示されるようになっている。

【０００６】ところで、このようなＰＤＰは、通常、背
面プレート側に隔壁を配設し、隔壁間の溝に蛍光体層を
形成し、その上に前面プレートを重ね合わせることによ
って外囲器（前面プレートと背面プレートが重ね合わさ
れたもので内部空間を有する。）を形成し、この外囲器
における両プレートの外周部を封着材で封着し、外囲器
の内部から真空排気した後、放電ガスを封入することに
よって製造される。

【０００７】この封着材は通常、熱によって軟化する低
融点ガラスであって、前面プレートおよび背面プレート
を対向配置して外囲器を形成する前に、どちらか一方の
プレートの外周部に、低融点ガラスをバインダとの混合
物の状態にしてディスペンサ等で塗布しておき、封着工
程においては、封着材を塗布した箇所から外周端縁にか
けてクリップ等で固定しながら、低融点ガラスの軟化点
以上の温度に加熱焼成することによって封着を行う。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
してＰＤＰを作製すると、出来上がったＰＤＰは、隔壁
と前面パネル間に隙間が発生し、しかもその間隙は、隔
壁ごとあるいは各隔壁の中でも場所によってばらつきが
ある。これは、隔壁材料を背面プレート上に積み上げて
隔壁を形成する際にその高さにばらつきが生じること
や、ガス放電パネルの製造工程においては、隔壁の焼成
・蛍光体の焼成・電極の焼成・誘電体層の焼成・封着ガ
ラス層の仮焼成といった加熱を伴う工程が封着工程の前
に行われるので、この加熱工程によってプレートや隔壁
に歪みが生じることなどが原因と考えられる。

【０００９】また、ＰＤＰの封着工程において、通常
は、前面プレートおよび背面プレートを位置合わせしな
がら対向配置した後、位置ずれを防ぐためにクリップな
どの締結具で両プレートの外周部を締め付けながら封着
を行っている。ところが、このように外周部を押圧する
と、隔壁の端部を支点とする「てこの作用」によって、
中央部においては隔壁頂部と前面パネルとが互いに離れ
て間隙が形成されやすく、締結具の押圧力がばらついて
いることも多いため、この間隙が不均一に形成されやす
い。

【００１０】そして、このような間隙が形成されている
状態で封着工程が行われると、作製されたＰＤＰを駆動
して表示する際に、クロストークが発生する原因になっ
たり、放電によるパネルの振動で隔壁とパネル基板の間
で雑音が発生する原因となる。ところで、実開平１−１
１３９４８号公報には、前面プレートおよび背面プレー
トを対向配置する前に、予め隔壁頂部に低融点ガラスを
塗布しておいて、隔壁頂部と前面プレートとの間を接合
するという技術が開示されている。この技術を用いて隔
壁頂部の全体を前面パネルに接着すれば、放電ガスを高
い圧力で封入しても外囲器が膨らむことはなく、また、
隔壁と前面パネルとの間隙を接合材で埋めることができ
るので、上記振動の課題も解決することができる。

【００１１】しかしながら実際には、隔壁頂部の全体を
前面プレートと接合することはなかなか難しく、未接合
の箇所が部分的に残ってしまうことが多い。従って、こ
の技術だけでは、耐圧の問題が十分に解決されないこと
もあり、特に、背面プレート上に形成された隔壁の高さ
が均一でない場合には、未接合の箇所が多く残るので、
耐圧性が十分に得られない傾向にある。

【００１２】一方、前面パネルと背面パネルとを重ねあ
わせ、その中央部に重石等を置いて押圧しながら外囲器
を加熱して封着する方法もあるが、この方法によれば重
石も一緒に加熱することになるので、加熱エネルギーが
多く必要であると共に外囲器の加熱温度も不均一になり
やすく、特に大型のＰＤＰを作製する場合には、この技
術を適用することは困難である。

【００１３】また、真空排気や放電ガス封入を行う際に
は、通常、外囲器に取り付けた排気管に真空ポンプや放
電ガスボンベを接続して行い、その後、この排気管はバ
ーナやヒータを用いてチップオフされるが、この排気管
を容易に且つ確実にチップオフする方法が望まれる。本
発明は、上記課題に鑑み、ＰＤＰをはじめとするガス放
電パネルを製造する上で、隔壁頂部とパネル基板とが全
面的に密着されたガス放電パネルを安定的に製造するこ
とのできる製造方法を提供することを主な目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、ガス放電パネルの外囲器を形成した
後、その両基板の外周部どうしを封着材で封着する工程
を行う際に、外囲器の内部圧力が外部圧力よりも低くな
るよう圧力調整しながら行うようにした。これによっ
て、外囲器を形成する両基板は、外側から押圧された状
態で封着がなされるので、一方の基板上の隔壁頂部と他
方の基板とが全体的にぴったり密着した状態で封着され
ることになる。

【００１５】このような効果を十分得るために、上記の
圧力調整は、封着材が硬化する前に開始することが好ま
しい。上記の圧力調整を行う方法としては、以下のよう
なものが挙げられる。外囲器の内部と外部とを連通させ
る連通路を設けておき、外囲器内部のガスを連通路から
外部に排気する方法。

【００１６】外囲器の内部空間の圧力よりも低い内圧を
持つ低内圧容器を用いて前記内部空間の圧力を低下させ
る方法。外囲器の内部空間と外部空間との間のガス流通
が遮断された状態にすると共に、遮断後の外囲器内の圧
力を遮断前の外囲器内の圧力よりも低くする方法（具体
的には、より低い温度に冷却したり、ガス吸着部材のガ
ス吸着作用を用いる。）。

【００１７】加圧装置などを用いて、外囲器の外部空間
の圧力を、外囲器の外周部のシールがなされる前よりも
後の方で高くする方法。上記の封着工程において、更
に、外囲器を形成する前に、一方の基板上の隔壁頂部に
接合材を配設しておき、封着材による両基板の外周部の
封着と共に、接合材によって隔壁頂部と他方の基板との
接合を行うようにすれば、パネル全面にわたって隔壁頂
部と他方の基板とが接合され、両者の間隙をほとんど無
くすことができる。

【００１８】また、封着工程の中において、或は封着工
程の前後において、レーザ光や超音波などのエネルギー
を隔壁頂部に照射する方法を用いて隔壁頂部と他方の基
板とを接合することによっても、同様に、パネル全面に
わたって隔壁頂部と他方の基板との間隙をなくすことが
できる。また、上記の封着工程において、これを確実に
行うため、両基板を締結具で挟み込むことによって両基
板同士を押圧しながら封着を行うことが好ましい。この
場合、締結具による押圧に伴って基板が変形するのを防
止するために、押圧箇所に変形防止用の部材を配設して
おくのが好ましい。

【００１９】また、外囲器に両基板の相対的位置ずれを
防止する位置ずれ防止手段を設けた状態で封着を行った
り、基板の外周部に、封着材が外囲器の内部に流入する
のを防止する流入防止部材を設けたりすることも好まし
い。また、排気管を容易に且つ確実にチップオフするた
めに、保持手段を用いて排気管から距離を確保した状態
で発熱体を保持し、この状態で発熱体を駆動させればよ
い。

【００２０】

【発明の実施の形態】〔ＰＤＰの全体構成及び製法につ
いて〕図１は、実施の形態に係る交流面放電型ＰＤＰを
示す斜視図であり、図２は、このＰＤＰに回路ブロック
を実装した表示装置の構成図である。このＰＤＰは、前
面ガラス基板１１上に放電電極１２（走査電極１２ａ，
維持電極１２ｂ）、誘電体層１３、保護層１４が配され
てなる前面パネル１０と、背面ガラス基板２１上にアド
レス電極２２、誘電体層２３が配された背面パネル２０
とが、電極１２ａ，１２ｂとアドレス電極２２とを対向
させた状態で間隔をおいて互いに平行に配されて構成さ
れている。

【００２１】ＰＤＰの中央部は画像を表示する領域であ
って、ここでは前面パネル１０及び背面パネル２０間の
間隙は、ストライプ状の隔壁２４で仕切られることによ
って放電空間３０が形成され、当該放電空間３０内には
放電ガスが封入されている。また放電空間３０内におい
て、背面パネル２０側には、蛍光体層２５が配設されて
いる。この蛍光体層２５は、赤，緑，青の順で繰返し並
べられている。

【００２２】放電電極１２及びアドレス電極２２は、共
にストライプ状であって、放電電極１２は隔壁２４と直
交する方向に、アドレス電極２２は隔壁２４と平行に配
されている。そして、放電電極１２とアドレス電極２２
が交差するところに、赤，緑，青の各色を発光するセル
が形成されたパネル構成となっている。

【００２３】誘電体層１３は、前面ガラス基板１１の放
電電極１２が配された表面全体を覆って配設された誘電
物質からなる層であって、一般的に、鉛系低融点ガラス
が材料として用いられているが、ビスマス系低融点ガラ
ス、或は鉛系低融点ガラスとビスマス系低融点ガラスの
積層物で形成しても良い。保護層１４は、酸化マグネシ
ウム（ＭｇＯ）からなる薄層であって、誘電体層１３の
表面全体を覆っている。誘電体層２３は、可視光反射層
としての働きも兼ねるように、ＴｉＯ₂粒子が混合され
ている。隔壁２４は、ガラス材料からなり、背面パネル
２０の誘電体層２３の表面上に突設されている。

【００２４】一方、ＰＤＰの外周部では、前面パネル１
０及び背面パネル２０が封着材によって封着されてい
る。隔壁２４の頂部と前面パネル１０とは、ほぼ全体的
に接触しているか接合材によって接合された状態になっ
ている。このようなＰＤＰを作製する方法の一例につい
て以下に説明する。

【００２５】前面パネルの作製：前面ガラス基板１１上
に、放電電極１２を形成し、その上を覆うように誘電体
層１３を形成し、更に誘電体層１３の表面に、真空蒸着
法，電子ビーム蒸着法，あるいはＣＶＤ法で、酸化マグ
ネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層１４を形成すること
によって作製する。

【００２６】放電電極１２は、銀電極用のペーストをス
クリーン印刷で塗布した後に焼成することによって形成
することができる。この他に、ＩＴＯ（インジウム・ス
ズ・オキサイド）やＳｎＯ₂で透明電極を形成した後、
その上に上記のように銀電極を形成したり、フォトリソ
グラフィー法でＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒ電極を形成してもよ
い。

【００２７】誘電体層１３は、鉛系のガラス材料（その
組成は、例えば、酸化鉛［ＰｂＯ］７０重量％，酸化硼
素［Ｂ₂Ｏ₃］１５重量％，酸化硅素［ＳiＯ₂］１５重量
％。）を含むペーストをスクリーン印刷法で塗布し焼成
することによって形成することができる。 背面パネルの作製：背面ガラス基板２１上に、放電電極
１２と同様にスクリーン印刷法を用いて、アドレス電極
２２を形成する。

【００２８】次に、ＴｉＯ₂粒子が混合されたガラス材
料をスクリーン印刷法を用いて塗布し焼成することによ
って誘電体層２３を形成する。次に隔壁２４を形成す
る。隔壁２４は、スクリーン印刷法で隔壁用ガラスペー
ストを重ね塗布した後、焼成することによって形成する
ことができる。この外に、隔壁用ガラスペーストを背面
ガラス基板２１上の全面に塗布した後、隔壁を形成しな
い部分をサンドブラスト法で削りとる方法を用いても隔
壁２４を形成することができる。

【００２９】そして、隔壁２４の間の溝に蛍光体層２５
を形成する。この蛍光体層２５は、一般的には各色蛍光
体粒子を含む蛍光体ペーストをスクリーン印刷法で塗布
し焼成することによって形成されるが、蛍光体インキを
ノズルから連続的に噴射しながら溝に沿って走査する方
法で塗布し、塗布後に蛍光体インキに含まれている溶剤
やバインダーを除去するため焼成することによって形成
することもできる。この蛍光体インキは、各色蛍光体粒
子が、バインダー、溶剤、分散剤などの混合物に分散さ
れ、適度な粘度に調整されたものである。

【００３０】蛍光体粒子の具体例としては、 青色蛍光体： ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ²⁺ 緑色蛍光体： ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：ＭｎあるいはＺｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ 赤色蛍光体： （Ｙ_xＧｄ_1-x）ＢＯ₃：Ｅｕ³⁺あるいはＹＢＯ₃：Ｅｕ³⁺ を挙げることができる。

【００３１】本実施形態では、４０インチクラスのＶＧ
Ａやハイビジョンテレビに合わせて、隔壁の高さは０．
１〜０．１５ｍｍ、隔壁のピッチは０．１５〜０．３６
ｍｍとする。 封着工程・排気工程・放電ガス封入工程：次に、このよ
うに作製した前面パネルと背面パネルとを封着する。

【００３２】この封着工程においては、前面パネル１０
及び背面パネル２０を、外周部に封着材を介挿させて重
ね合わせて外囲器を形成し、当該封着材で封着を行う。
このとき、必要に応じて背面パネル２０の隔壁２４の頂
部に接合材を塗布しておく。封着材としては、熱などの
エネルギーを外部から加えることによって軟化しするも
の、通常は低融点ガラスを用い、封着材を加熱して軟化
させた後、硬化させることによって封着を行う。

【００３３】そして、封着工程を行う際に、外囲器の内
部と外部とで圧力差を形成することによって、両パネル
１０・２０は外側から均一的に押圧されるようにする。
それによって、隔壁２４の頂部と前面パネル１０とが全
体的に接触もしくは接近した状態で封着がなされる。封
着工程が終われば、外囲器の内部に吸着されている不純
物ガスなどを追い出すために内部空間を高真空（例えば
８×１０^-7Ｔｏｒｒ）にして排気する（真空排気工
程）。

【００３４】その後、外囲器の内部に放電ガス（例えば
Ｈｅ−Ｘｅ系，Ｎｅ−Ｘｅ系の不活性ガス）を所定の圧
力で封入する（放電ガス封入工程）ことによってＰＤＰ
を作製する。なお、本実施形態では、放電ガスにおける
Ｘｅの含有量を５体積％程度とし、封入圧力は５００〜
８００Ｔｏｒｒの範囲に設定する。

【００３５】ＰＤＰを駆動表示する際には、図２のよう
に回路ブロックを実装して駆動を行う。以下、封着工
程、並びに排気工程，放電ガス封入工程について、実施
の形態１〜１０に分けて詳細に説明する。 〔実施の形態１〕本実施形態では、外囲器の内部空間か
ら真空ポンプで排気しながら封着工程を行う。

【００３６】図３は、本実施形態の封着工程で用いる封
着装置５０の断面を模式的に示す図であり、図４は、そ
の概略斜視図である。この封着装置５０は、前面パネル
１０及び背面パネル２０が重ね合わせられた外囲器４０
を収納してこれを加熱する加熱炉５１と、加熱炉５１の
外部に設けられた真空ポンプ５２とから構成されてい
る。

【００３７】この加熱炉５１は、ヒータ５５で加熱する
ことができ、内部の温度は所望の設定温度に制御できる
ようになっている。この封着装置５０を用いて、以下の
ように封着工程を行う。図３，４に示すように、予め、
背面パネル２０には、表示領域より外側の外周部に通気
孔２１ａを設けておく。

【００３８】前面パネル１０及び背面パネル２０の対向
面のどちらか一方または両方の外周部に、封着材を含む
ペーストを塗布し焼成することによって封着材層４１を
形成する。ここでは、封着材として隔壁２４や誘電体層
２３の材料よりも軟化温度の低い低融点ガラスを用い
る。低融点ガラスペーストの具体例としては、低融点ガ
ラスフリット（軟化点３７０℃）８０部、エチルセルロ
ース系バインダー５部、酢酸イソアミル１５部を混合し
たもの挙げることができ、これをディスペンサーで塗布
することによって、封着材層４１を形成することができ
る。

【００３９】次に、前面パネル１０と背面パネル２０と
を、位置合わせしながら重ね合わせて外囲器４０を形成
する。そして、位置合わせされた前面パネル１０と背面
パネル２０とが位置ずれしないように、外囲器４０の外
縁部をクリップ４２で締め付けて固定する。この外囲器
４０を、加熱炉５１内にセットする。そして、外囲器４
０の通気孔２１ａと真空ポンプ５２とを連結する配管部
材２６を取り付ける。配管部材２６は、クリップなどの
締結具（不図示）で背面パネル２０に固定するのがよ
い。

【００４０】なお本実施形態では、配管部材２６を取り
付けやすくするため、前面パネル１０が下側、背面パネ
ル２０が上側になるようセットするものとするが、上下
を逆にしてセットしてもよい。また、両パネル１０・２
０が位置ずれしないように固定されていれば、加熱炉内
に外囲器４０を立ててセットしてもかまわない。この配
管部材２６は、封着温度以上の耐熱性を有するガラスで
形成され、途中で折れ曲がった形状であって、上記のよ
うにセットされた外囲器４０の通気孔２１ａから上方に
伸び、更に加熱炉５１の壁面に設けられた貫通孔５１ａ
を通って先端が加熱炉５１の外部に突き出ている。また
配管部材２６の通気孔２１ａに接続する側の端部（接
続端部）は広がって通気孔２１ａの径より大きな径を有
している。

【００４１】なお、配管部材２６と背面パネル２０との
間を気密にシールするために、予め配管部材２６の接続
端部と背面パネル２０との間に接着材層２６ａを介挿さ
せておく。本実施形態では、接着材層２６ａと封着材層
４１の材料は、同じものを用いることとする。配管部材
２６の先端は、真空ポンプ５２と連結する。

【００４２】そして、加熱炉５１内を加熱して、封着材
の軟化温度より若干高い封着温度（例えば４５０℃）ま
で昇温し、封着温度で１０〜３０分程度保った後、再び
軟化点温度以下に降温することによって両パネル１０・
２０間を封着するが、真空ポンプ５２で外囲器４０内部
から排気しながら封着を行う。この排気は、加熱炉５１
内が封着材の軟化温度に達した後に開始することが望ま
しい。封着材の軟化温度に達するまでは、両パネル１０
・２０間の外周部の気密性があまりないので、外囲器４
０の内部空間から排気してもその内部を高い真空度にす
ることができないが、封着材が軟化した後は、両パネル
１０・２０間の外周部が気密シールされると共に、接着
材層２６ａも軟化されて配管部材２６と通気孔２１ａと
の接続部分も気密シールされるので、外囲器４０内部か
ら排気すると高い真空度（数Ｔｏｒｒ程度）に減圧され
るからである。

【００４３】このように外囲器４０の内部空間から排気
することによって両パネル１０・２０は外側から均一に
加圧された状態となる。真空ポンプ５２による排気は、
外囲器４０内部が１分間に５Ｔｏｒｒ程度のゆっくりし
た減圧速度となるように行えばよい。両パネル１０・２
０が外側から均一に加圧されると、図３に示すように、
背面パネル２０上の隔壁頂部と前面パネル１０とは、全
体的にぴったり密着した状態となる。そして、この状態
で降温されると、封着材が軟化以下の温度となり硬化す
ることによって外囲器４０の封着がなされる。従って、
封着された後の外囲器４０においては、隔壁頂部と前面
パネル１０とが全体的にぴったり密着した状態が保たれ
ていることになる。

【００４４】また、配管部材２６と背面パネル２０との
間も、硬化した接着材層２６ａによって気密にシールさ
れていることになる。このようにして外囲器４０の封着
が完了した後、クリップ４２を外して、次の真空排気工
程に移る。真空排気工程は、外囲器４０を真空排気用の
加熱炉に入れると共に、配管部材２６に真空ポンプを連
結し、加熱炉内を封着材の軟化温度より若干低い排気温
度（例えば３５０℃程度）に所定時間（例えば１時間）
維持することによって行う。

【００４５】引き続き、放電ガス封入工程では、放電ガ
スが入っているボンベを配管部材２６に連結して外囲器
４０の内部空間に放電ガスを所定の封入圧力（例えば４
００Ｔｏｒｒ）となるよう供給する。そして、配管部材
２６の付根部分をバーナやヒータ（実施の形態１４参
照）で溶融して封じ切る（チップオフ）ことによって通
気孔２１ａを封止する。

【００４６】なお、上記のように、封着工程が終わった
外囲器を、別の真空排気用の加熱炉で真空排気する方法
以外に、１つの加熱装置の中で、外囲器４０に封着工程
−真空排気工程−放電ガス封入工程を連続して施す方法
を採ることもできる。例えば、封着装置５０において、
放電ガスを供給するボンベを、配管部材２６に接続可能
にしておいて、封着工程終了後も外囲器４０を加熱炉５
１内にセットしたまま、加熱炉５１の温度を排気温度に
下げ真空ポンプ５２を用いて排気工程を行い、更に、ボ
ンベを配管部材２６に接続して放電ガスを供給するよう
にすることもできる。

【００４７】また、連続式加熱装置を用いて、外囲器４
０に封着工程−真空排気工程−放電ガス封入工程を連続
的に施すことも可能である。例えば、連続炉の中を移動
するカートに、外囲器４０と共に真空ポンプ及び放電ガ
スボンベを積載し、連続炉で外囲器４０を加熱しなが
ら、真空ポンプによる排気並びに放電ガス封入を行うこ
とも可能である。

【００４８】〔本実施形態の製造方法による効果につい
て〕従来のように外囲器４０の内外圧力差を設けること
なく外縁部をクリップなどで締め付ける場合、外囲器４
０の中央部を押圧されないため、背面パネル２０上の隔
壁頂部と前面パネル１０とが全体的あるいは部分的に離
れた状態で封着されやすいのに対して、上記のように、
外囲器４０は、内外の圧力差によって両パネル１０・２
０が外側から均一的に押圧された状態で封着材層４１が
硬化して封着されるので、隔壁頂部と前面パネル１０と
の隙間がほとんどない状態で封着がなされる。

【００４９】従って、本実施形態の製造方法によれば、
ＰＤＰ駆動時の振動が発生しにくく且つ表示品位の良好
なＰＤＰを容易に作製することができる。このような効
果を得るためには、少なくとも軟化した封着材層４１が
硬化する時点においては、真空ポンプ５２を駆動して外
囲器４０の内外圧力差が生じている状態にする必要はあ
るが、封着工程の始めから終わりまで連続して真空ポン
プ５２を駆動する必要はない。例えば、封着材層４１が
軟化した後で、真空ポンプ５２の駆動を開始しても、両
パネル１０・２０の内外圧差による効果を十分に得るこ
とができる。

【００５０】また、外囲器４０の内外圧力差を設けた状
態で封着を行うため、両パネル１０・２０がこの内外圧
力差によって互いに押圧されるので、クリップ４２の押
圧力は、従来から封着工程で用いられているクリップよ
りも押圧力が小さくても、十分に位置ずれを防止するこ
とができる。なお、クリップ４２は必ずしも用いなくて
も、封着中の両パネル１０・２０の位置ずれを防止する
ことはできるが、本実施形態のようにクリップ４２で固
定すれば、両パネル１０・２０の位置ずれをより確実に
防止できるとともに、両パネル１０・２０の外周部がク
リップ４２で押圧されることによってこの外周部に介挿
されている封着材層４１が押圧されるため、封着材層４
１が軟化したときに、この押圧力によって当該外周部全
体に均一的に封着材層４１が広がり、外周部をより気密
性よくシールすることができる。

【００５１】また、接着材層２６ａと封着材層４１の材
料は、別々の材料を用いてもよいが、本実施形態のよう
に同一の低融点ガラスを用いれば、封着材層４１が軟化
・硬化して外囲器４０が封着されるのに伴って、接着材
層２６ａも軟化・硬化されることによって配管部材２６
と背面パネル２０の通気孔２１ａとの接続及び気密シー
ルも自動的になされるという効果を奏する。

【００５２】〔本実施形態の変形例〕本実施形態では、
接着材層２６ａとして、低融点ガラスを用いる例を示し
たが、この場合、接着材層２６ａが軟化しているときに
外囲器４０の内部が減圧にされるので、場合によって
は、接着材層２６ａが通気孔２１ａの方に流出すること
によって、配管部材２６と背面パネル２０の通気孔２１
ａとのシールが破られる可能性もある。

【００５３】これに対して、接着材層２６ａとして封着
材層４１より低い温度で結晶化する結晶化ガラスを用い
ればよい。結晶化ガラスとしては、ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ
₂Ｏ₃系フリットガラスが代表的である。結晶化ガラス
は、加熱されて流動状態になった後、結晶化して固化
し、その後は当初の結晶化温度まで加熱されても軟化し
ない性質を持つので、接着材層２６ａとして結晶化ガラ
スを用い、外囲器４０をゆっくりと加熱昇温させれば、
封着材層４１が軟化する時点で結晶化ガラスが固化して
いることになるため、接着材層２６ａの流出によるシー
ル不良の問題を解消することができる。

【００５４】また、接着材層２６ａの材料として、封着
材層４１の材料よりも軟化温度が若干高いガラスを用い
ることによっても、接着材層２６ａの流出を抑える効果
が期待できる。その他、接着材層２６ａとして低融点ガ
ラスを用いるのではなく、封着温度では軟化しないよう
な材料（封着材層４１の材料よりも軟化点がかなり高い
ガラスやセラミック系接着剤）を用い、予め配管部材２
６を背面パネル２０の通気孔２１ａに取り付けておくこ
とによっても、この問題を解消することができる。

【００５５】〔実施の形態２〕本実施形態は、上記実施
の形態１と同様であるが、封着工程において、図５
（ａ）および（ｂ）に示すように、両パネル１０・２０
を互いに対向配置して外囲器４０を形成した後に、両パ
ネル１０・２０の外周部に介挿されている封着材層４１
の外側に更にシール材層４３を形成する。

【００５６】このように封着材層４１とは別に更にシー
ル材層４３を形成することにより、仮に封着材層４１に
よるシールが不完全であったとしても、両パネル１０・
２０の外周部がシール材層４３によってシールされるた
め、封着をより確実に行うことができると共に、隔壁頂
部と前面パネル１０との隙間をより少なくすることがで
きる。

【００５７】この他にも、シール材層４３を形成するこ
とによって、シール材層４３が軟化する以前において
は、両パネル１０・２０がシール材層４３によって互い
に固定されるので、両パネル１０・２０の位置ずれが防
止される。また、封着材層４１やシール材層４３が軟化
する以前から、シール材層４３によってある程度の気密
性は確保されるので、真空ポンプ５２を駆動することに
よって両パネル１０・２０に押圧力を加えることができ
る。

【００５８】このような効果を奏するようにするため、
シール材層４３を形成する材料としては、封着材層４１
の材料と同様のものを用いるのが望ましく、例えば、封
着材層４１を形成するのに用いたのと同じ封着材（低融
点ガラス）を含むペーストを、外囲器４０の封着材層４
１の外側に塗布することによって形成することができ
る。

【００５９】またこの他に、セラミック系の接着剤を塗
布することによって封着材層４１を形成することもでき
る。 〔実施の形態３〕本実施形態は、上記実施の形態１と同
様であるが、封着工程に入る前に、予め、図６（ａ）に
示すように、前面パネル１０及び背面パネル２０の一方
または両方の外周部表面において、封着材層４１を形成
する領域の内側沿って、封着材流入防止リブ４４を形成
しておく点が異なっている。

【００６０】このような封着材流入防止リブ４４を形成
しておくことによって、封着工程において、封着材層４
１が軟化した状態で外囲器４０の内圧が外圧よりも低く
なったときに封着材層４１が表示エリア内に流入するの
を防止することができる。封着材流入防止リブ４４の高
さは、両パネル１０・２０を対向配置したときに、隔壁
２４と同程度の高さとなるように形成するのが好まし
い。封着材流入防止リブ４４の方が隔壁２４よりも高い
と、隔壁２４の頂部と前面パネル１０との間に間隙が形
成されることになり、封着材流入防止リブ４４が隔壁２
４と比べて低すぎると、封着材層４１の流入防止効果が
あまり期待できないためである。

【００６１】このような封着材流入防止リブ４４は、例
えば、図６（ｂ）に示されるように、背面パネル２０に
おいて背面ガラス基板２１に隔壁２４を形成する際に、
同じ材料で同時に形成すれば、容易に形成することがで
きる。 〔実施の形態４〕本実施形態は、上記実施の形態１と同
様であるが、封着工程において、外囲器４０の内部が外
部より圧力が低くなるよう圧力差を設けるのに、実施の
形態１では、外囲器４０の内部から排気することによっ
て当該内部を減圧する方法を用いたのに対して、本実施
の形態では、逆に、外囲器４０の外部を加圧する方法を
用いる点が異なっている。

【００６２】そのため、本実施形態の封着装置５０にお
いては、図７に示すように、真空ポンプ５２は設けられ
ず、加熱炉５１の内部を加圧できるように、加熱炉５１
を密封可能な構造とし、これに加圧ポンプ５３が取り付
けられている。そして、本実施形態の封着工程において
は、配管部材２６の先端は加熱炉５１の外で大気中に開
放された状態にし、加圧ポンプ５３で加熱炉５１内を加
圧状態にしながら外囲器４０を加熱して封着を行う。

【００６３】このような封着方法によれば、外囲器４０
の内部空間はほぼ大気圧に保たれる一方、外囲器４０の
外部空間は高圧となるため、外囲器４０は外側から押圧
された状態で封着される。従って、上記実施の形態１と
同様の効果を奏する。 〔実施の形態５〕本実施形態では、上記実施の形態４と
同様の封着装置５０を用いて外囲器４０の封着を行う
が、図８に示すように、本実施形態の配管部材２６は直
線状であって、その先端は加熱炉５１の内部で閉じられ
ている。

【００６４】図９は、外囲器４０を封着材層４１で封着
する過程において、（ａ）は封着材層４１が軟化する前
の状態、（ｂ）は封着材層４１が軟化した後の状態を示
す図である。本図を参照しながら、本実施形態の封着工
程について説明する。本実施形態の封着工程において
は、まず、加圧ポンプ５３を作動させず加熱炉５１内を
大気圧に保ったまま、外囲器４０を加熱して封着材層４
１を軟化させる。

【００６５】図９（ａ）に示すように、封着材層４１が
軟化する前は、外囲器４０の内部空間と外部空間とはガ
ス流通が遮断された状態になっておらず、相互のガス流
通が可能である。従って、封着材層４１が軟化する時点
における外囲器４０の内部空間の圧力はほぼ大気圧とな
る。そして、封着材層４１及び接着材層２６ａが軟化し
た後に、加圧ポンプ５３を作動させて加熱炉５１内を加
圧する。

【００６６】図９（ｂ）に示すように、封着材層４１及
び接着材層２６ａが軟化した後には、外囲器４０の内部
空間と外部空間とはガス流通が遮断されるので、加熱炉
５１内を加圧すると、外囲器４０の内部空間が大気圧に
近い圧力であるのに対して、外囲器４０の外部空間の方
がより高い圧力となる。そして、このように加熱炉５１
内を加圧した状態で、加熱炉５１内の温度を下げ封着材
層４１を硬化させれば、外囲器４０が外側から押圧され
た状態で封着される。

【００６７】従って、本実施形態の封着方法によって
も、上記実施の形態１と同様の効果を奏する。このよう
な封着工程の後、真空排気工程では、配管部材２６の先
端部をカットして開封してから、配管部材２６に真空ポ
ンプを連結して真空排気を行う。 〔実施の形態６〕本実施形態は、基本的に上記実施の形
態５と同様であるが、封着工程において、実施の形態５
では外囲器４０の内部を大気圧に近い圧力、外部を高圧
にして内外の圧力差を設けたのに対して、本実施形態で
は、外囲器４０の内部を減圧にし外部を大気圧にして内
外の圧力差を設ける点が異なっている。

【００６８】本実施形態で用いる封着装置５０は、図８
に示す封着装置５０において、加圧ポンプ５３の代わり
に真空ポンプが設けられたものである。本実施形態の封
着工程においては、まず、真空ポンプを作動して加熱炉
５１内を減圧に保ったまま、外囲器４０を加熱して封着
材層４１を軟化させる。封着材層４１が軟化する前は、
外囲器４０の内部空間と外部空間とはガス流通が可能な
ので、封着材層４１が軟化する時点における外囲器４０
の内部空間は減圧状態となる。

【００６９】そして、封着材層４１及び接着材層２６ａ
が軟化した後に、真空ポンプを停止させて加熱炉５１内
を大気圧にする。封着材層４１及び接着材層２６ａが軟
化した後には、外囲器４０の内部空間と外部空間はガス
流通が気密に遮断されるので、加熱炉５１内を大気圧に
すると、外囲器４０の内部空間が減圧状態であるのに対
して、外囲器４０の外部空間の方がより高い圧力とな
る。

【００７０】そして、この状態で、加熱炉５１内の温度
を下げ封着材層４１を硬化させれば、外囲器４０が外側
から押圧された状態で封着される。従って、本実施形態
の封着方法によっても、上記実施の形態５と同様の効果
を奏する。 〔実施の形態７〕本実施形態では、封着工程において、
内部圧力の低い容器を外囲器に連結し外囲器内から排気
することによって外囲器内の圧力を低くしながら封着を
行う例を示す。

【００７１】図１０は、本実施形態の封着方法で外囲器
４０を封着している様子を示す斜視図である。実施の形
態１では、予め、背面パネル２０の表示領域より外側の
外周部に通気孔２１ａを設けたが、本実施形態では、通
気孔２１ａの他に通気孔２１ｂも外周部に設けておく。

【００７２】実施の形態１と同様に、前面パネル１０及
び背面パネル２０の対向面のどちらか一方または両方の
外周部に封着材層４１を形成し、前面パネル１０と背面
パネル２０とを、位置合わせしながら重ね合わせて外囲
器４０を形成し、その外縁部をクリップ４２で締め付け
て固定する。そして、外囲器４０の通気孔２１ａには低
内圧容器７０を取り付け、通気孔２１ｂには、実施の形
態５で用いたものと同様の先端が閉じられた配管部材２
６を取り付ける。

【００７３】この低内圧容器７０は、配管部材２６と同
様に封着温度以上の耐熱性を有するガラスで形成され、
容器本体７１と、通気孔２１ａに接続されるように容器
本体７１から突出する接続管７２とから構成されてい
る。そして、容器本体７１の内部は、接続管７２内に設
けられた気体流通遮断層７３（図１３（ａ）参照）によ
って外部とのガス流通が気密に遮断され、減圧状態に保
たれている。

【００７４】低内圧容器７０及び配管部材２６を各通気
孔２１ａ，２１ｂに取り付ける際に、低内圧容器７０及
び配管部材２６と背面パネル２０との間が気密にシール
できるように、接続管７２と背面パネル２０との間には
接着材層７４を形成し、配管部材２６と背面パネル２０
との間には接着材層２６ａを形成しておく。本実施形態
では、接着材層２６ａ及び接着材層７４は、封着材層４
１と同じ材料を用いることとする。

【００７５】気体流通遮断層７３は、封着工程において
封着材層４１並びに接着材層２６ａ，接着材層７４が軟
化するよりも後で軟化するかもしくはほぼ同時に軟化す
るように、封着材層４１の材料よりも軟化点の若干高い
低融点ガラスを用いて形成するか、封着材層４１の材料
と同じ材料を用いて形成する。ここで、低内圧容器７０
の作製方法の一例について、図１１を参照しながら説明
する。

【００７６】容器本体７１及び接続管７２は、フラスコ
等を作製するときのガラス加工技術を用いて作製する。
なお、容器本体７１には、接続管７２とは別に真空排気
するための排気管７２ａを形成しておく。図１１（ａ）
に示すように、接続管７２の中に、気体流通遮断層７３
の材料となる低融点ガラスを含むペーストを充填し、ガ
スバーナなどのヒータを用いてこれを加熱して一旦軟化
させ、再び硬化させることによって、気体流通遮断層７
３を形成する。

【００７７】次に、図１１（ｂ）に示すように、排気管
７２ａに真空ポンプを連結して、容器本体７１内が所定
の真空度になるまで、容器本体７１内から排気する。次
に、図１１（ｃ）に示すように、真空ポンプを連結した
まま、容器本体７１内を所定の真空度に保った状態で、
排気管７２ａをガスバーナでチップオフする。

【００７８】以上で、容器本体７１内が所定の真空度に
保たれた低内圧容器７０が出来上がる。図１２は、本実
施の形態で外囲器４０の封着に使用するベルト式加熱装
置を示す概略構成図である。この加熱装置６０は、基板
を加熱する加熱炉６１、加熱炉６１内を通過するように
外囲器４０を搬送する搬送ベルト６２、加熱炉６１内に
搬送方向に沿って設けられた複数のヒータ６３などから
構成されている。

【００７９】そして、各ヒータ６３で加熱炉６１の入口
６４から出口６５に至るまでの各箇所の温度を設定する
ことによって、外囲器４０を所望の温度プロファイルで
昇温並びに降温できるようになっている。図１３は、外
囲器４０の封着工程における状態変化を示す説明図であ
る。上記のように低内圧容器７０及び配管部材２６を取
り付けた外囲器４０を、以下のようにして加熱装置６０
を用いて封着する。

【００８０】外囲器４０を加熱装置６０の搬送ベルト６
２上に置くと、外囲器４０は、加熱炉６１内を搬送さ
れ、気体流通遮断層７３の軟化温度よりも若干高く設定
された封着温度まで昇温される。この昇温速度は、例え
ば１０℃／分とする。外囲器４０が封着材層４１の軟化
温度より低いときには、封着材層４１を通して外囲器４
０の内部と外部との間でガス流通が可能である。一方、
容器本体７１内は、図１３（ａ）に示されるように、気
体流通遮断層７３によって外部とのガス流通ができず、
真空度が保たれる。

【００８１】外囲器４０が、封着材層４１の軟化温度ま
で昇温されると、封着材層４１は軟化し、両パネル１０
・２０の外周部の間は、封着材層４１によって気密にシ
ールされる。また、接着材層２６ａ，接着材層７４も軟
化するので、低内圧容器７０及び配管部材２６と背面パ
ネル２０との間も気密にシールされる。これによって、
外囲器４０の内部空間と外部空間との間でガス流通が遮
断されることになる。すなわち、詳しくいえば、外囲器
４０と低内圧容器７０とが合わさってなる容器複合体の
内部と外部との間でガス流通が遮断されることなる。

【００８２】そして、この封着材層４１の軟化する時期
とほぼ同時もしくは少し後で、気体流通遮断層７３も軟
化する。このとき、容器本体７１内は真空度が保たれて
いるので、図１３（ｂ）に示されるように、気体流通遮
断層７３は圧力差によって破られてガス流通可能とな
り、外囲器４０内部のガスが容器本体７１に引き込まれ
る。

【００８３】それに伴って、外囲器４０内部が減圧状態
となるので、外囲器４０の内外圧力差によって両パネル
１０・２０は外側から押圧される。この押圧力によっ
て、図１３（ｃ）に示されるように、隔壁２４の頂部と
前面パネル１０との隙間は少なくなる。外囲器４０は、
封着温度でしばらく（例えば３０分間）保たれた後、降
温されて加熱炉６１から排出される。

【００８４】外囲器４０が封着材層４１の軟化温度以下
に降温されると、両パネル１０・２０が外側から押圧さ
れた状態のまま封着材層４１が硬化するので、隔壁２４
の頂部と前面パネル１０との隙間が少ない状態で封着が
なされることになる。このように加熱装置６０で封着工
程が終わった後、接続管７２をバーナで焼き切って通気
孔２１ｂを封止する。また、配管部材２６の先端部をカ
ットして開封してから、配管部材２６に真空ポンプを連
結して真空排気を行う。

【００８５】〔本実施形態の封着方法による効果につい
て〕本実施形態の封着方法によれば、実施の形態１と同
様に、両パネル１０・２０が外側から均一に加圧された
状態で封着されるので、背面パネル２０上の隔壁頂部と
前面パネル１０とが、全体的にぴったり密着した状態で
封着される。更に、本実施形態の封着工程では、実施形
態１のように真空ポンプを外囲器４０に接続したり、実
施の形態３〜５のように加熱炉内を加圧したり減圧した
りする必要がないので、上記加熱装置６０のような連続
式加熱装置を用いて連続的に封着工程を行うことも容易
である。

【００８６】なお、低内圧容器７０を作製する上で、容
器本体７１の容積や真空度は、気体流通遮断層７３が破
られた後の外囲器４０内の圧力が１０〜６００Ｔｏｒｒ
の範囲内になるよう設定するのが好ましい。これは、外
囲器４０内の圧力が１０Ｔｏｒｒ未満の低圧になると封
着材層４１が圧力差によってシールが破られることがあ
り、一方６００Ｔｏｒｒを越える場合は、押圧力も弱く
効果があまり期待できないためである。

【００８７】〔本実施形態の変形例について〕本実施形
態では、気体流通遮断層７３を、封着工程の途中で熱に
より軟化するように低融点ガラスで形成する例を示した
が、光あるいは超音波のようなエネルギーを加えること
によって溶融もしくは分解する材料を用いて気体流通遮
断層７３を形成し、封着工程の途中でこれに光や超音波
といったエネルギーを加えるようにしてもよい。

【００８８】例えば、ノボラック樹脂を用いて気体流通
遮断層７３を形成し、封着工程の途中でこれに光を照射
して分解するようにしても、同様に実施することがで
き、同様の効果を奏する。 〔実施の形態８〕本実施の形態では、封着工程におい
て、高温に加熱した外囲器４０の内部空間と外部空間と
の間でガスが流通しないよう遮断した後、温度を下げて
内部空間の圧力を下げることによって内外圧力差を形成
する例を示す。

【００８９】図１４は、本実施の形態で外囲器４０の封
着に使用するベルト式加熱装置を示す概略構成図であ
り、図１５は、このベルト式加熱装置内に外囲器４０が
置かれて封着工程がなされる様子を示す図である。本実
施形態の封着工程では、実施の形態５と同様、直線状の
配管部材２６（ただし先端は開放されている）が通気孔
２１ａに取り付けられた外囲器４０を形成し（図１５参
照）、形成した外囲器４０を、図１４に示すように、ベ
ルト式の加熱装置８０を用いて封着する。

【００９０】加熱装置８０は、実施の形態７で説明した
加熱装置６０と同様の構成であるが、加熱炉６１の内部
に配管部材２６の先端部を加熱して封止するためのバー
ナ８１が設置されている。加熱炉６１内におけるバーナ
８１の取り付け位置は、搬送ベルト６２に載って加熱炉
６１内を搬送される外囲器４０が最も高い温度（ピーク
温度）になる範囲内に設定されている。

【００９１】この加熱装置８０を用いて、配管部材２６
を取り付けた外囲器４０を、以下のようにして封着す
る。外囲器４０を加熱装置８０の搬送ベルト６２上に置
くと、外囲器４０は、加熱炉６１内を搬送され、封着材
層４１の軟化温度（例えば３８０℃）よりも高く設定さ
れたピーク温度（例えば５００℃）まで昇温される。こ
のときの昇温速度は例えば１０℃／分とする。

【００９２】そして、ピーク温度でしばらく（例えば１
０分程度）保たれた後、配管部材２６の先端がバーナ８
１によって加熱溶融されて封止される。このとき、外囲
器４０の状態は、実施の形態５の図９（ｂ）に示されて
いる状態と同様、封着材層４１及び接着材層２６ａが軟
化しているので、外囲器４０の内部空間と外部空間とは
ガスの流通が遮断された密封空間となっている。

【００９３】バーナ８１を通過した後、加熱炉６１内を
搬送される外囲器４０は降温され、加熱炉６１から排出
される。密閉空間内の圧力は絶対温度に比例する（ボイ
ル−シャルルの法則）ので、外囲器４０の降温に伴っ
て、外囲器４０の内部空間は、圧力が低下する。そのた
め、外部空間との圧力差が生じ、両パネル１０・２０が
外側から押圧される。そして、この状態で、外囲器４０
が封着材層４１の軟化温度まで降温されると、封着材層
４１及び接着材層２６ａが硬化するので、隔壁２４の頂
部と前面パネル１０との隙間が少ない状態で封着がなさ
れることになる。また、配管部材２６の背面パネル２０
上への固着もなされる。

【００９４】封着工程が終わった後、配管部材２６の先
端部をカットして開封してから、配管部材２６に真空ポ
ンプを連結して真空排気を行う。 〔本実施形態の封着方法による効果について〕本実施形
態の封着方法によれば、上記実施の形態７と同様に、背
面パネル２０上の隔壁頂部と前面パネル１０とは、全体
的にぴったり密着した状態で封着されると共に、加熱装
置８０のような連続式加熱装置を用いて連続的に封着工
程を行うことも容易である。

【００９５】なお、本実施形態の封着工程において、十
分な効果を得るために、封着材層４１が硬化するときに
外囲器４０の内外圧力差が十分に設けられていることが
必要である。従って、配管部材２６の先端を封止すると
きの温度（ピーク温度）は、封着材層４１の軟化温度よ
りも１０℃以上高く設定すべきであり、好ましくは数十
度以上高く設定する。

【００９６】〔本実施形態の変形例について〕本実施形
態では、外囲器４０の内部空間と外部空間とのガス流通
を遮断する方法として、配管部材２６の先端をバーナ８
１で封止する例を示したが、この他に以下のように行う
こともできる。外囲器４０を形成する際に、予め、配管
部材２６の先端部に、軟化温度が上記ピーク温度より若
干低い低融点ガラスを充填しておけば、配管部材２６の
先端をバーナ８１で封止しなくても、外囲器４０がピー
ク温度に達するときには、この低融点ガラスが軟化して
配管部材２６の先端部は封止される。そして、外囲器４
０がピーク温度から降温されると、すぐに配管部材２６
の先端部の低融点ガラスは硬化する。更に、封着材層４
１の軟化温度まで降温されると、外囲器４０に内外圧力
差が生じるので、本実施の形態と同様の効果を奏する。

【００９７】或は、外囲器４０を形成する際に、実施の
形態７と同様に、背面ガラス基板２１に予め通気孔２１
ａとは別の通気孔２１ｂを設けておき、先端部が封止さ
れた配管部材２６を通気孔２１ｂに取り付けておく。但
し、通気孔２１ａには何も取り付けずに開放しておく。
そして、外囲器４０がピーク温度に達したときに、軟化
温度がこのピーク温度より若干低い低融点ガラスを通気
孔２１ａに滴らして通気孔２１ａを封止する。この場合
も、外囲器４０がピーク温度から降温されると、この低
融点ガラスは硬化し、更に、封着材層４１の軟化温度ま
で降温されると、外囲器４０に内外圧力差が生じるの
で、本実施の形態と同様の効果を奏する。

【００９８】〔実施の形態９〕本実施の形態では、封着
工程において、外囲器に容器を連結して容器複合体を形
成し、連結した容器を高温にした状態で、容器複合体の
内部空間と外部空間とのガス流通を遮断した後、降温す
ることによって、外囲器内の圧力を低くしながら封着を
行う例を示す。

【００９９】図１６は、本実施の形態の封着工程におい
て外囲器４０を封着する様子を示す図である。図１６
（ａ）に示すように、本実施形態の封着工程では、実施
の形態１と同様に、封着材層４１を介して前面パネル１
０及び背面パネル２０を重ねて外囲器４０を、加熱炉５
１内にセットするが、背面ガラス基板２１の通気孔２１
ａには、配管部材２６の代わりに、先端が開放された容
器部材９０を取り付けておく。

【０１００】容器部材９０は、容器本体９１と、通気孔
２１ａに接続されるように容器本体９１から突出する接
続管９２と、容器本体９１から接続管９２と反対側に延
設され先端が開放された延設管９３とから構成されてい
る。容器部材９０を通気孔２１ａに取り付ける際に、容
器本体９１を加熱炉５１の外部に露出させた状態で取り
付ける。また、容器部材９０と背面パネル２０との間が
気密にシールできるように、接続管９２と背面パネル２
０との間には接着材層９４を形成しておく。本実施形態
では、接着材層９４は封着材層４１と同じ材料を用いる
こととする。

【０１０１】また、容器本体９１には、これを加熱昇温
できるように、電熱ヒータ９５を取り付けておく。この
ようにセットした後、加熱炉５１で外囲器４０を封着材
層４１の軟化温度以上の封着温度（例えば４８０℃）に
なるまで加熱昇温させる（昇温速度は例えば１０℃／
分）。それと共に、電熱ヒータ９５で容器本体９１をそ
の設定温度（例えば２００℃）まで加熱昇温させる。そ
して、延設管９３の先端部をバーナで封止する。

【０１０２】このとき、図１６（ｂ）のように、延設管
９３の先端部は閉じられ、且つ封着材層４１及び接着材
層９４は軟化しているので、外囲器４０の内部空間及び
容器本体９１内と外部空間（加熱炉５１内の空間）と
は、ガス流通が遮断された状態となっている。次に、図
１６（ｃ）のように、加熱炉５１で外囲器４０を封着材
層４１の軟化温度以上の温度に保温したまま、電熱ヒー
タ９５を切って容器本体９１を放冷する。

【０１０３】容器本体９１の温度が降下するのに伴っ
て、容器本体９１内の圧力が低下し、それに伴って外囲
器４０内の圧力も低下する。そのため、実施形態８と同
様に、外囲器４０の内部空間と外部空間との圧力差が生
じ、両パネル１０・２０が外側から押圧される。そし
て、この状態で加熱炉５１内を降温して、外囲器４０を
封着材層４１の軟化温度まで降温すると、封着材層４１
及び接着材層９４が硬化するので、隔壁２４の頂部と前
面パネル１０との隙間が少ない状態で封着がなされるこ
とになる。また、容器部材９０の背面パネル２０上への
固着もなされる。

【０１０４】封着工程が終わった後、延設管９３の先端
部をカットして開封してから、これに真空ポンプを連結
して真空排気を行う。 〔本実施形態の封着方法による効果について〕本実施形
態の封着方法によれば、上記実施の形態８と同様に、背
面パネル２０上の隔壁頂部と前面パネル１０とは、全体
的にぴったり密着した状態で封着される。

【０１０５】また、本実施形態では、実施の形態８のよ
うに外囲器４０自体の温度降下により圧力を低下させる
のではなく、これと別個に温度調整可能な容器部材９０
の温度を降下させることによって外囲器４０の内部空間
の圧力を低下させているため、実施の形態８のように外
囲器４０の温度を封着材層４１の軟化温度よりもかなり
高い温度まで昇温させる必要はなく、封着材層４１の軟
化温度と同等以上の温度まで上昇させれば十分である。

【０１０６】〔実施の形態１０〕本実施の形態では、連
続式の加熱装置を用いて、実施の形態９と同様に、外囲
器４０に容器部材９０を連結し、複合容器の内部空間を
外部空間と遮断した後、降温することによって、外囲器
内の圧力を低くしながら封着を行う例を示す。図１７
は、本実施の形態で外囲器４０の封着に使用するベルト
式加熱装置を示す概略構成図であり、図１８は、このベ
ルト式加熱装置内に外囲器４０が置かれて封着工程がな
される様子を示す図である。

【０１０７】本実施形態の封着工程では、実施の形態８
と同様にして、外囲器４０を形成すると共に、接着材層
９４を介して容器部材９０を外囲器４０の通気孔２１ａ
に取り付け、これを、図１７に示すように加熱装置１０
０を通過させることによって封着する。この加熱装置１
００は、実施の形態８で説明した加熱装置８０と同様の
構成であって、加熱炉６１の内部に容器部材９０の延設
管９３先端部を加熱して封止するためのバーナ１０１が
設置されている。なお、加熱炉６１内におけるバーナ１
０１の取り付け位置は、搬送ベルト６２に載って加熱炉
６１内を搬送される外囲器４０が封着温度以上（封着材
層４１の軟化温度以上）となる範囲内に設定されてい
る。

【０１０８】また、加熱装置１００は、バーナ１０１よ
り出口側では、加熱炉６１の天井板６１ａの高さが低く
設定され、当該天井板６１ａには、搬送方向に沿って容
器部材９０の接続管９２が貫通するための溝６１ｂ、並
びに容器本体９１が通過するための通過窓６１ｃが開設
されている。この加熱装置１００の搬送ベルト６２上
に、容器部材９０を取り付けた上記外囲器４０をセット
して流通させると、この外囲器４０は、封着温度に昇温
されて封着温度でしばらく保たれる共に、容器部材９０
の延設管９３先端部がバーナ１０１によって加熱溶融さ
れて封止される。

【０１０９】このときの外囲器４０は、実施の形態９の
図１６（ｂ）の状態と同様であって、延設管９３の先端
部は閉じられ、且つ封着材層４１及び接着材層９４は軟
化しているので、外囲器４０の内部空間及び容器本体９
１内と外部空間とは、ガス流通が遮断された状態とな
る。バーナ１０１を通過した後の外囲器４０は、バーナ
１０１より出口側でも加熱炉６１の内部を通過すること
によって封着材層４１の軟化温度以上の温度に保温がな
されるが、容器本体９１は、通過窓６１ｃを通過した
後、加熱炉６１の外（天井板６１ａより上）に出て放冷
される。

【０１１０】このときの外囲器４０は、実施の形態９の
図１６（ｃ）の状態と同様、容器本体９１が降温するの
に伴って、容器本体９１内及び外囲器４０内の圧力は低
下するため、外囲器４０の内部空間と外部空間との圧力
差が生じ、両パネル１０・２０が外側から押圧される。
この状態で外囲器４０が封着材層４１の軟化温度まで降
温されると、封着材層４１及び接着材層９４が硬化する
ので、隔壁２４の頂部と前面パネル１０との隙間が少な
い状態で封着がなされる。それと共に、容器部材９０の
背面パネル２０上への固着もなされて、外囲器４０は加
熱炉６１から排出される。

【０１１１】封着工程が終わった後、延設管９３の先端
部をカットして開封してから、これに真空ポンプを連結
して真空排気を行う。なお、図示はしないが、通過窓６
１ｃに開閉シャッタを設けておいて、容器本体９１が通
過するときだけ開放するようすることが、加熱炉６１内
部を保温する上で好ましい。

【０１１２】（外囲器４０の内部空間を減圧する方法に
ついての変形例）上記実施の形態９，１０においては、
最初は延設管９３の先端部を開放しておいて、容器本体
９１を加熱してから延設管９３の先端部をバーナで封止
することによって、外囲器４０の内部空間及び容器本体
９１内と外部空間とをガス流通が遮断された状態にした
が、延設管９３の先端部を最初から閉じておいても、封
着材層４１が軟化するより先に容器本体９１を加熱昇温
させれば、封着材層４１が軟化した後に容器本体９１の
温度を下げると、同様に内部は減圧されることになる。

【０１１３】また、上記実施の形態８〜１０において
は、外囲器４０の内部空間を減圧する際に、外囲器４０
を温度降下したり、外囲器４０に連結した容器部材９０
を温度降下することによって行ったが、この他にも、次
のように、内部に封入されているガス分子の数を減らす
ことによって減圧する変形例が考えられる。例えば予
め、外囲器４０の内部、或は外囲器４０に連結した容器
部材９０の内部に酸素ガスを封入しておき、封着材層４
１が軟化した状態にあるときに、レーザ光を照射するこ
とによって酸素をオゾンに変化させ、封入されているガ
ス分子の数を減らすことによって、外囲器４０の内部空
間を減圧することも可能である。

【０１１４】また、予め外囲器４０の内部、或は外囲器
４０に連結した容器部材９０の内部に、熱や光などの刺
激を加えることによって活性化される気体吸着材（例え
ばゲッター）と、この気体吸着材が活性化されるときに
吸着されるガスを封入しておき、封着材層４１が軟化状
態にあるときに気体吸着材が活性化されるようにすれ
ば、封入されているガス分子の数を減らし外囲器４０の
内部空間を減圧することができる。

【０１１５】そのため、気体吸着材として、封着材層４
１の軟化温度以上の温度で活性状態になるものを用いて
もよいし、封着材層４１が軟化状態にあるときに気体吸
着材にレーザ光を照射してこれを活性化させるようにし
てもよい。 〔実施の形態１１〕本実施の形態は実施の形態１と同様
であるが、図１９に示すように、外囲器４０を形成する
前に、予め背面パネル２０の隔壁２４の頂部全体にわた
って、隔壁２４と前面ガラス基板１０とを接合するため
の接合材層４５を形成しておく点が異なっている。

【０１１６】接合材層４５を形成する接合材料として
は、隔壁２４と前面ガラス基板１０とを接合する能力を
持ち、且つＰＤＰの動作に悪い影響を与えることのない
材料を用いればよく、ここでは、封着材層４１と同様の
低融点ガラスを用いることとする。接合材層４５は、こ
の接合材料（低融点ガラス）を含むペーストを、スクリ
ーン印刷などを用いて隔壁２４の頂部に塗布し、焼成す
ることによって形成することができる。

【０１１７】このように隔壁２４の頂部に接合材層を形
成した上で、実施の形態１と同様に、封着工程におい
て、封着材層４１及び接合材層４５が軟化しているとき
に外囲器４０の内部が外部より圧力が低くなるよう圧力
差を設ければ、内外の圧力差によって両パネル１０・２
０が外側から均一的に押圧された状態となるので、接合
材層４５は全体的に前面ガラス基板１０と確実に接触す
ることになる。従って、この状態のまま封着材層４１及
び接合材層を硬化させると、隔壁２４の頂部と前面ガラ
ス基板１０とは、全体にわたって確実に接合材層４５に
よって接合されることになる。

【０１１８】本実施形態の製造方法によって作製された
ＰＤＰは、隔壁２４と前面ガラス基板１０との間は全体
にわたって接合されているので、放電ガスを高圧で封入
することができ、且つＰＤＰ駆動時における振動抑制効
果や表示品位を向上させる効果は、実施の形態１と比べ
てより優れたものとなる。なお、本実施形態では、実施
の形態１の製法について隔壁２４の頂部に予め接合材層
４５を設けておく技術について説明したが、上記実施の
形態２〜１０に示したいずれの製法においても適用でき
る。すなわち、上記実施の形態２〜１０に示した例にお
いて、隔壁２４の頂部に予め接合材層４５を設けておけ
ば、作製されたＰＤＰは、隔壁２４と前面ガラス基板１
０との間は全体にわたって接合されているので、放電ガ
スを高圧で封入することができ、且つＰＤＰ駆動時にお
ける振動抑制効果や表示品位向上効果は、実施の形態２
〜１０と比べてより優れたものとなる。

【０１１９】〔実施の形態１２〕本実施形態は、実施の
形態１と同様であるが、封着工程に入る前に、予め、図
２０（ａ），（ｂ）に示すように、前面パネル１０及び
背面パネル２０の一方または両方の外周部表面におい
て、封着材層４１を形成する領域近傍に基板変形規制リ
ブ４６を形成しておく。

【０１２０】図２０（ａ）の例では、封着材層４１の外
側に沿って基板変形規制リブ４６が形成され、図２０
（ｂ）の例では、封着材層４１の外側と内側に沿って基
板変形規制リブ４６ａ，４６ｂが形成されている。この
ように基板変形規制リブ４６を形成しておけば、クリッ
プ４２で両パネル１０・２０の外周部を押圧しても両パ
ネル１０・２０の変形は防止できる。

【０１２１】すなわち、図２０（ｄ）に示すように封着
材層４１の近傍に基板変形防止用のリブが形成されてい
ない場合は、封着工程において、封着材層４１が軟化し
たときに、クリップ４２の押圧力によって、外囲器４０
の外周部では、両パネル１０・２０が互いに接近する方
向（矢印Ａ）に変形しようし、それに伴って外囲器４０
の中央部では、隔壁２４の端部を支点として、てこの作
用により両パネル１０・２０が互いに離れる方向（矢印
Ｂ）に変形しようとする。このような作用は、隔壁２４
の頂部と前面パネル１０との間隙を大きくするので好ま
しくない。

【０１２２】これに対して、上記のように基板変形規制
リブ４６を形成しておけば、封着工程において、封着材
層４１が軟化しても、クリップ４２の押圧力による両パ
ネル１０・２０の変形作用は生じない。従って、基板変
形規制リブ４６を設けることによって、隔壁２４の頂部
と前面パネル１０との間の間隙を抑える効果を高めるこ
とができることになる。

【０１２３】また、上記のように、隔壁２４とは別の基
板変形規制リブ４６を設ける方法の他に、図２０（ｃ）
に示すように、クリップ４２で押圧する位置が隔壁２４
の端部よりも内側となるように設定すること、すなわ
ち、クリップ４２で画像表示領域を押圧するようにする
ことによっても、同様にクリップ４２の押圧力による両
パネル１０・２０の変形作用は防止することができる。

【０１２４】なお、図１０（ｂ）の例では、封着材層４
１の内側に沿っても基板変形規制リブ４６ｂが形成され
ているので、封着材層４１が軟化した状態で外囲器４０
の内圧が外圧よりも低くなったときに封着材層４１が表
示エリア内に流入するのを防止する効果も奏する。すな
わち、図２０（ｂ）の内側の基板変形規制リブ４６ｂ
は、実施の形態３で説明した封着材流入防止リブ４４の
働きを兼ねていることになる。

【０１２５】基板変形規制リブ４６を形成する際の高さ
については、両パネル１０・２０を対向配置したとき
に、隔壁２４と同程度の高さとなるように形成するのが
好ましい。これは、基板変形規制リブ４６の高さが隔壁
２４の高さよりも高いと、隔壁２４の頂部と前面パネル
１０との間に間隙が形成されることになる一方、基板変
形規制リブ４６が隔壁２４と比べて低すぎると、両パネ
ル１０・２０の変形防止効果があまり期待できないため
である。

【０１２６】基板変形規制リブ４６の形成方法について
は、実施の形態３で封着材流入防止リブ４４を形成する
場合について説明したのと同様、背面ガラス基板２１に
隔壁２４を形成する際に、同じ材料で同時に基板変形規
制リブ４６を形成すれば、容易に形成することができ
る。図２１（ａ）〜（ｆ）は、背面パネル２０に設ける
基板変形規制リブ４６の形状の具体例を示す部分上面図
である。図中、斜線で示す領域Ｃが、封着材層４１を形
成する領域である。

【０１２７】（ａ）では、封着材層４１が形成される領
域Ｃの外側と内側に沿って、連続線状に基板変形規制リ
ブ４６ａ，４６ｂが形成されている。（ｂ）では、封着
材層４１が形成される領域Ｃを跨いで、基板変形規制リ
ブ４６が、一定の間隔で分散されている。（ｃ）では、
封着材層４１が形成される領域Ｃの中に、短い基板変形
規制リブ４６がランダムに分散されている。

【０１２８】（ｄ）では、封着材層４１が形成される領
域Ｃの中に、短い基板変形規制リブ４６が、傾斜して一
定の間隔で分散されている。（ｅ）では、封着材層４１
が形成される領域Ｃの外側に沿って、破線状に基板変形
規制リブ４６ａが形成され、内側に沿って連続線状に基
板変形規制リブ４６ｂが形成されている。

【０１２９】（ｆ）では、封着材層４１が形成される領
域Ｃを横切って、基板変形規制リブ４６ａが、一定の間
隔で分散され、内側に沿って連続線状に基板変形規制リ
ブ４６ｂが形成されている。 〔本実施形態についての変形例〕なお、上記のように基
板変形規制リブ４６を設ける技術やクリップ４２で画像
表示領域を押圧する技術は、外囲器４０の内部が外部よ
り圧力が低くなるよう圧力差を設けて封着工程を行う場
合に限らず、ＰＤＰの一般的な封着工程においても適用
することができ、同様の効果を奏する。

【０１３０】〔実施の形態１３〕本実施の形態では、上
記実施の形態１〜１０で説明したように封着工程を行っ
た後で、隔壁頂部に集中的にエネルギー照射することに
よって、隔壁頂部と前面パネルとの接合を行う例を示
す。図２２は、レーザ光照射により隔壁頂部と前面パネ
ルとの接合を行う工程を示す図である。

【０１３１】先ず、実施の形態１〜１０と同様にして、
前面パネル１０と背面パネル２０とを重ね合わせて外囲
器４０を形成し、封着材層４１を軟化し硬化させること
によって封着を行う（図２２（ａ））。次に図２２
（ｂ）に示すように、レーザ加工機２００を用いて、封
着した外囲器４０の前面パネル１０側から隔壁頂部にレ
ーザ光を照射して接合する。

【０１３２】このレーザ加工機２００は、詳しくは後述
するが、ＹＡＧレーザ発振器２０１からパルス状に発振
されるレーザ光をレーザヘッド２０３から照射しなが
ら、レーザヘッド２０３をワーク（外囲器４０）に対し
て相対的に縦横方向（図中ｘｙ方向）に走査するもので
あって、レーザヘッド２０３には、集光レンズ２０４が
設けられ、レーザ光は、長円形状のスポットとしてワー
クの表面に集光して照射されるようになっている。

【０１３３】隔壁頂部にレーザ光が照射されると、その
頂部表面が集中的に高温に加熱される。そして、隔壁材
料の軟化温度（例えば５００〜６００℃）よりも高温に
加熱されて軟化（溶融）し、その後冷却されて硬化す
る。このとき、隔壁頂部と前面パネル１０とはぴったり
と密着した状態にあるので、隔壁２４と前面パネル１０
とが接合される。

【０１３４】従って、このようにレーザ光を隔壁頂部に
照射しながらその位置を隔壁の長手方向に沿って図中矢
印の方向に走査することによって、パネル全体にわたっ
て隔壁２４の頂部と前面パネル１０とが接合されること
になる（図中斜線部は接合された部分）。図２２（ｃ）
においては、レーザ光を間欠的に照射しながら走査する
ことによって、隔壁頂部のレーザスポットが照射された
部分（図中斜線部）が、点状に連なって前面パネル１０
と接合されている様子が示されているが、レーザ光を照
射する間隔を狭くしたりレーザ光を連続的に照射するこ
とによって、線状に接合することもできる。

【０１３５】このようにレーザ光を照射して隔壁２４と
前面パネル１０とを接合する工程を行う際に、外囲器４
０の内部空間と外部空間に圧力差を設けなくても接合は
できるが、上記実施の形態１〜５，７〜１０の封着工程
で説明した外囲器４０の内部空間を外部空間に対して減
圧にした状態をそのまま保ちながら行えば、隔壁頂部と
前面パネル１０とがより密着した状態で接合されるので
望ましい。

【０１３６】図２３は、レーザ加工機２００の具体例を
示す概略斜視図である。本図に示すレーザ加工機２００
は、ガントリー式と称されるレーザ加工機であって、テ
ーブル２０２はｘ方向に移動可能に支持され、このテー
ブル２０２を跨ぐようにアーチ２１０が設けられ、この
アーチ２１０によって、レーザトーチ２１１がｙ方向へ
移動可能に支持されている。そして、レーザトーチ２１
１およびテーブル２０２は、ステッピングモータ（不図
示）により精密に駆動されるようになっている。

【０１３７】テーブル２０２上には、真空チャック機構
によって外囲器４０を固定できるようになっている。ま
た、このレーザトーチ２１１にレーザヘッド２０３が固
着され、レーザ発振器２０１から発振されるレーザ光
は、石英ガラス製の光ファイバケーブル２１２を通って
レーザヘッド２０３に導かれる。レーザ発振器２０１と
しては、短時間で強い光を発振できるＹＡＧレーザ発振
器または炭酸ガスレーザ発振器を用いるのが好ましく、
その出力は例えば１０ｍＷである。

【０１３８】このレーザ加工機２００のテーブル２０２
に、先ず外囲器４０をセットする。このとき、隔壁２４
の長手方向がｘ方向に沿うようにセットする。そして、
レーザ光を隔壁２４の頂部照射しながらｘ方向に走査す
ることによって、１つの隔壁２４についての接合がなさ
れる。次に、ｙ方向に隔壁ピッチに相当する距離だけず
らして同様の操作を行う。このような動作を繰り返すこ
とによって、パネル全体にわたって接合がなされる。

【０１３９】（本実施形態の効果）本実施形態の方法に
よれば、隔壁２４と前面パネル１０とが外囲器４０全面
にわたって接合されるので、放電ガスを高圧で封入する
ことができ、ＰＤＰ駆動時における振動抑制効果や表示
品位向上効果は、上記実施の形態１１と同様に優れてい
る。

【０１４０】本実施形態の方法を用いて作製したＰＤＰ
について駆動実験を行った結果においても、従来のよう
に隔壁と前面パネルとの間の共振は起こらず、ノイズレ
ベルも従来の１０分の１以下に低減され、セル間のクロ
ストークも全く観測されなかった。また、本実施形態の
方法によれば、上記実施の形態１１のように隔壁頂部に
接合材を塗布しなくても接合することができるので、そ
の点で工程が簡便である。

【０１４１】また、本実施形態の方法によって製造され
たＰＤＰは、背面パネル２０の隔壁２４の頂部と前面パ
ネル１０とが、隔壁とは別の接合材で接合されているの
ではなく、隔壁２４の材料によって融着されている。Ｐ
ＤＰの画像表示領域に接合材が存在すると、その接合材
から放電ガス中に不純物が混じる可能性もあるが、本実
施形態の方法で製造されたＰＤＰはそのような可能性を
なくせる点でも有利である。

【０１４２】但し、予め実施の形態１１と同様に隔壁２
４の頂部に接合材層４５を形成しておいて、外囲器４０
を形成した後、本実施形態のようにレーザ光を接合材層
４５に照射して前面パネル１０と接合する方法をとるこ
とも可能であって、この場合、上記メリットは得られな
いが、より確実に接合を行うことはできる。なお、接合
材層４５を形成する場合は、接合材に黒色フィラーのよ
うにレーザ光の吸収を向上させる物質を混ぜておけば、
更に確実に接合することができる。

【０１４３】（本実施形態の変形例）上記のようなレー
ザ加工機２００は、一般的にワークに対してマイクロオ
ーダーで精密な２次元レーザ加工を施すことが可能であ
って、このレーザ加工機２００に、ワークの表面を観測
する装置を設けることによって、以下に説明するように
更に精密な接合を行うことができる。

【０１４４】図２４に示すレーザ加工機２００において
は、レーザヘッド２０３とは別に観測用ヘッド２０５を
備えられている。この観測用ヘッド２０５には、ワーク
表面にプローブ光を照射するプローブ光発生器２０６
と、ワーク表面で反射された光を検出する検出器２０７
とを備え、レーザヘッド２０３と同様にワーク（外囲器
４０）に対して相対的に縦横方向（図中ｘｙ方向）に走
査できるようになっている。

【０１４５】そして、先ずレーザ光を照射するのに先立
って、制御器２０８は、観測用ヘッド２０５を走査しな
がら検出器２０７からの信号を受信することによって、
隔壁２４の形状をモニターする（テーブル２０２上のｘ
ｙ座標において、隔壁頂部の存在する位置を記憶す
る）。次に、レーザ光を照射しながらレーザヘッド２０
３をＸ方向に走査するが、このとき、制御器２０８は、
上記のモニターした隔壁頂部の位置情報を用いて、レー
ザ光のスポットが丁度隔壁２４の頂部中央に照射される
ように、レーザヘッド２０３をＹ方向に微調整する。

【０１４６】これによって、仮に隔壁２４が湾曲（蛇
行）したり部分的に欠けたりしていたとしても、確実に
隔壁中央部にレーザが照射され、高精度の接合がなされ
ることになる。この他に、図２４に示すレーザ加工機２
００を用いて、隔壁頂部の部分ごとの幅や光反射率をモ
ニターしておいて、レーザ光を照射する強度をそれに応
じて調整することも可能である。

【０１４７】例えば、隔壁頂部にレーザ光を照射して軟
化させる場合、隔壁頂部の幅が大きい部分や光反射率が
大きい部分では、レーザ光が照射されても昇温しにくい
ので、接合面積も小さくなると考えられる。一方、隔壁
頂部に接合材層が形成されている場合には、隔壁頂部の
幅が大きいところは接合材の量も多いので、接合面積が
大きくなる可能性も考えられる。従って、隔壁頂部の幅
や光反射率にばらつきがある場合は、レーザ光の照射強
度が固定されていると、各部分の接合状態（隔壁頂部の
溶融する面積）にばらつきが生じやすい。

【０１４８】これ対して、モニターした隔壁頂部の部分
ごとの幅や光反射率に応じてレーザ光の照射強度や照射
角度を制御すれば、隔壁頂部の部分ごとのばらつきに起
因する接合状態のばらつきをなくすことができる。な
お、本実施形態では、レーザ光照射による隔壁２４と前
面パネル１０との接合工程を、外囲器４０の内部空間を
外部空間に対して低圧にした状態で封着工程を行った後
で行う例を示したが、この接合工程は、従来の封着工程
の後で行うこともできる。ただし、この場合、本実施形
態と比べて、隔壁２４と前面パネル１０との間隙が大き
いので接合状態が劣ると考えられる。

【０１４９】また、本実施形態では、レーザ光照射によ
る隔壁２４と前面パネル１０との接合工程を封着工程の
後に行う例を示したが、この接合工程は、封着工程に先
立って行うことも可能であるし、封着工程を行いながら
これと並行して行うことも可能である。封着工程に先立
ってこの接合工程を行う場合、パネル全体にわたって良
好に接合させるために、例えば実施の形態２のように外
囲器４０の外周部をシール材層でシールしておいて外囲
器４０の内部空間から排気することによって減圧にしな
がら接合工程を行うことが望ましい。

【０１５０】また、本実施形態では、レーザ光を隔壁２
４の頂部に照射することによって隔壁２４の頂部や接合
材を軟化（溶融）させる例を示したが、隔壁頂部を集中
的に加熱できればよく、超音波のようなエネルギーを隔
壁２４の頂部に照射したり、前面パネル１０をヒータで
集中的に加熱することによっても同様に隔壁頂部や接合
材を軟化させることは可能である。

【０１５１】また、外囲器４０を形成する際に、隔壁２
４の材料が軟化する温度程度に前面パネル１０を加熱し
た状態で背面パネル２０に重ねることによっても、前面
パネル１０に密接する隔壁２４の頂部や接合材を軟化さ
せて接合することが可能と考えられる。 〔実施の形態１４〕本実施形態では、ＰＤＰを製造する
際、放電ガス封入工程の後などに、外囲器に付いている
排気管（例えば上記実施の形態１で示した配管部材２
６）を容易にチップオフすることのできる排気管封止装
置について説明する。

【０１５２】図２５は、排気管３００に排気管封止装置
３１０が取り付けられる様子を示す斜視図であり、図２
６は、排気管３００に取り付けられている排気管封止装
置３１０の概略断面図である。なお、図２５，２６で
は、外囲器は示されていないが、排気管３００の図中下
端側が根元であって、この根元が背面パネルの通気孔に
接続されている（図５参照）。

【０１５３】排気管封止装置３１０は、排気管３００を
加熱するための発熱ユニット３１１と、この発熱ユニッ
ト３１１の排気管３００に対する装着位置を規制する規
制部材３１５とから構成されている。発熱ユニット３１
１は、排気管３００の外径よりもかなり大きい径を持つ
円筒状の支持部材３１２と、この支持部材の内周面全体
にわたって張りめぐらされたコイル状の電熱ヒータ３１
３とから構成されている。

【０１５４】規制部材３１５は、排気管３００を挿入す
る孔が中心軸に沿って形成された円柱状の部材であっ
て、その片端側（図中下側）には、発熱ユニット３１１
の片端部（図中上端部）が填まり込むよう小径の填込部
３１６が形成されている。この規制部材３１５は、中心
軸を通る平面で２つの規制部材片３１５ａ，３１５ｂに
分割できるようになっている。

【０１５５】規制部材３１５の材料としては、絶縁性が
高く、排気管３００が溶融する温度でも溶融しないセラ
ミックスなどが望ましい。規制部材３１５の孔は、排気
管３００の外形よりやや大きい径であることが望まし
い。これは、孔の径が大きすぎると規制部材３１５の位
置ががたつき、位置の規制ができないからである。

【０１５６】また、填込部３１６は、発熱ユニット３１
１の径よりやや小さくすることが望ましい。これは、大
きすぎるとヒータに接触し、昇温の妨げとなり、一方小
さすぎると、電熱ヒータ３１３の位置ががたつき、位置
の規制ができないからである。上記構成の排気管封止装
置３１０を用いて、以下のように排気管３００の封止を
行う。

【０１５７】先ず、排気管３００のチップオフすべき位
置に、発熱ユニット３１１を配置する。次に、排気管３
００と発熱ユニット３１１との間に規制部材３１５の填
込部３１６を挿入する。そして、電熱ヒータ３１３に通
電し、排気管３００を加熱してチップオフする。 （本実施形態の効果について）仮に規制部材３１５を用
いないで発熱ユニット３１１だけで排気管３００をチッ
プオフする場合は、電熱ヒータ３１３が排気管３００に
接触しやすく、溶融した排気管３００が電熱ヒータ３１
３に溶着して排気管３００が破壊されることもあるが、
上記のように規制部材３１５を用いてチップオフを行え
ば、電熱ヒータ３１３と排気管３００とが接触すること
なくこれを行うことができる。

【０１５８】また、規制部材３１５が、排気管３００の
軸線を含む平面で割断した割型になっているので、発熱
ユニット３１１を排気管３００に填めた後、規制部材３
１５を排気管３００と電熱ヒータ３１３との間に容易に
装着することができる。 （本実施形態の変形例について）本実施形態では、規制
部材３１５が規制部材片３１５ａ，３１５ｂに分割でき
るようになっているが、規制部材３１５は、必ずしも分
割可能な構成でなくてもよい。

【０１５９】図２６の排気管封止装置３１０では、規制
部材３１５の填込部３１６の外側に発熱ユニット３１１
の一端が填まり込むようになっていたが、図２７の排気
管封止装置３１０では、規制部材３１５の填込部３１６
の内側に発熱ユニット３１１の一端が填まり込むように
なっている。この場合も、同様の効果を得ることができ
る。

【０１６０】図２６の排気管封止装置３１０では、発熱
ユニット３１１の一端が規制部材３１５に填まり込むよ
うになっていたが、図２８に示す排気管封止装置３１０
では、発熱ユニット３１１の両端が規制部材３１５に填
まり込むようなっている。このように２ヶ所で規制すれ
ば、より確実に、電熱ヒータ３１３と排気管３００との
位置を規制して、相互の接触を防止することができる。

【０１６１】また、上記排気管封止装置３１０では、規
制部材３１５と発熱ユニット３１１とを別体としたが、
図２９に示す排気管封止装置３２０のように、支持部材
３１２と規制部材３１５とが一体化させたような構成と
することもできる。すなわち、図２９の排気管封止装置
３２０は、片側に蓋部３２１ａが形成された円筒状の規
制部材３２１の内周面に電熱ヒータ３２２が配設された
一体構成であって、蓋部３２１ａの中心部に排気管３０
０に填め込む孔が開設されている。

【０１６２】図３０の排気管封止装置３３０も、ヒータ
を支持する支持部材と規制部材とが一体化されたもので
あって、両側に蓋部３３１ａ，３３１ｂが形成された円
筒状の規制部材３３１の内周面に電熱ヒータ３３２が配
設された構成である。この排気管封止装置３３０は、円
筒状であるがその中心軸を含む平面によって分割可能で
ある。この排気管封止装置３３０は、２分割可能あっ
て、図３０では２分割された片方だけが図示されてい
る。

【０１６３】このような排気管封止装置３２０，３３０
を用いても，排気管３００に填め込んで電熱ヒータを作
動することにより、上記排気管封止装置３１０と同様に
排気管３００をチップオフすることができる。 〔実施の形態１〜１４についての変形例など〕上記実施
の形態では、背面パネル２０側に隔壁２４が設けられた
ＰＤＰを例示したが、前面パネル１０側に隔壁を設ける
場合においても、同様に実施することができる。

【０１６４】上記実施の形態ではＡＣ型のＰＤＰを例に
とって説明したが、本発明は、ＡＣ型のＰＤＰに限ら
ず、隔壁が配設された基板上に別の基板を重ね合わせて
封着することのよって作製するガス放電パネルを作製す
るのに広く適用することできる。

【０１６５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ガス放
電パネルの外囲器を形成した後、その両基板の外周部ど
うしを封着材で封着する工程を行う際に、外囲器の内部
圧力が外部圧力よりも低くなるよう圧力調整しながら行
うことによって、一方の基板上の隔壁頂部と他方の基板
とが全体的にぴったり密着した状態で封着することが可
能となり、これによって、ＰＤＰ駆動時における振動や
クロストークの発生が抑制される。

【０１６６】ここで、更に、外囲器を形成する前に、一
方の基板上の隔壁頂部に接合材を配設しておき、封着材
による両基板の外周部の封着と共に、接合材によって隔
壁頂部と他方の基板との接合を行うようにすれば、パネ
ル全面にわたって隔壁頂部と他方の基板とが接合される
ので、放電ガスを高圧で封入することができ、振動やク
ロストークの発生の抑制効果はより顕著になる。

【０１６７】また、封着工程の中において、或は封着工
程の前後において、レーザ光や超音波などのエネルギー
を隔壁頂部に照射する方法を用いて隔壁頂部と他方の基
板とを接合することによっても、同様に、パネル全面に
わたって隔壁頂部と他方の基板との間隙をなくすことが
できる。また、排気管をチップオフする際に、保持手段
を用いて、排気管から距離を確保した状態で発熱体を保
持し、この状態で発熱体を駆動させれば、排気管を容易
に且つ確実にチップオフすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態に係る交流面放電型ＰＤＰを示す斜
視図である。

【図２】図１のＰＤＰに回路ブロックを実装した表示装
置の構成図である。

【図３】実施の形態１の封着工程で用いる封着装置の断
面を模式的に示す図である。

【図４】図３に示す封着装置の概略斜視図である。

【図５】実施の形態２の封着工程を説明する図である。

【図６】実施の形態３の封着工程を説明する図である。

【図７】実施の形態４の封着工程を説明する図である。

【図８】実施の形態５の封着工程を説明する図である。

【図９】実施の形態５の封着過程を示す図である。

【図１０】実施の形態７の封着工程を示す斜視図であ
る。

【図１１】実施の形態７の封着工程で用いる低内圧容器
の作製方法を示す図である。

【図１２】実施の形態７の封着工程に使用するベルト式
加熱装置を示す概略構成図である。

【図１３】実施の形態７の封着工程における状態変化を
示す説明図である。

【図１４】実施の形態８で封着工程に用いるベルト式加
熱装置を示す概略構成図である。

【図１５】図１４のベルト式加熱装置で封着工程がなさ
れる様子を示す図である。

【図１６】実施の形態９の封着工程の様子を示す図であ
る。

【図１７】実施の形態１０で使いるベルト式加熱装置を
示す概略構成図である。

【図１８】上記ベルト式加熱装置で封着工程がなされる
様子を示す図である。

【図１９】実施の形態１１の封着工程がなされる様子を
示す図である。

【図２０】実施の形態１２の封着工程がなされる様子を
示す図である。

【図２１】実施の形態１２にかかる基板変形規制リブの
形状の具体例を示す部分上面図である。

【図２２】実施の形態１３において、レーザ光照射によ
り隔壁頂部と前面パネルとの接合を行う工程を示す図で
ある。

【図２３】実施の形態１３で用いるレーザ加工機の具体
例を示す概略斜視図である。

【図２４】実施の形態１３で用いるレーザ加工機の一例
を示す図である。

【図２５】実施の形態１４で用いる排気管封止装置を示
す斜視図である。

【図２６】上記排気管封止装置の概略断面図である。

【図２７】実施の形態１４にかかる排気管封止装置の変
形例を示す図である。

【図２８】実施の形態１４にかかる排気管封止装置の変
形例を示す図である。

【図２９】実施の形態１４にかかる排気管封止装置の変
形例を示す図である。

【図３０】実施の形態１４にかかる排気管封止装置の変
形例を示す図である。

【符号の説明】

１０ 前面パネル １１ 前面ガラス基板 １２ 放電電極 １３ 誘電体層 １４ 保護層 ２０ 背面パネル ２１ 背面ガラス基板 ２１ａ，２１ｂ 通気孔 ２２ アドレス電極 ２３ 誘電体層 ２４ 隔壁 ２５ 蛍光体層 ２６ 配管部材 ２６ａ 接着材層 ３０ 放電空間 ４０ 外囲器 ４１ 封着材層 ４２ クリップ ４３ シール材層 ４４ 封着材流入防止リブ ４５ 接合材層 ４６ 基板変形規制リブ ５０ 封着装置 ７０ 低内圧容器 ７４ 接着材層 ９０ 容器部材 １００ 加熱装置 ２００ レーザ加工機 ２０２ テーブル ２０３ レーザヘッド ２０５ 観測用ヘッド ２０６ プローブ光発生器 ２０７ 検出器 ３１０ 排気管封止装置 ３１１ 発熱ユニット ３１２ 支持部材 ３１３ 電熱ヒータ ３１５ 規制部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平11−66407 (32)優先日 平成11年３月12日(1999．3．12) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平11−119446 (32)優先日 平成11年４月27日(1999．4．27) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平11−122106 (32)優先日 平成11年４月28日(1999．4．28) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (72)発明者 日比野 純一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山下 勝義 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 米原 浩幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 桐原 信幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 大谷 和夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 野々村 欽造 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5C012 AA09 BC03 BC04 5C040 FA01 GB03 GB14 HA01 HA05 MA23

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の基板が対向配置されてなる外囲器
   に取り付けられた排気管を溶融することによって封止す
   る封止ステップを含むガス放電パネルの製造方法であっ
   て、 前記排気管の周囲に、当該排気管から距離を確保した状
   態で発熱体を装着する第１サブステップと、 配置された発熱体で前記排気管を加熱する第２サブステ
   ップとを備え、 前記第１サブステップでは、 前記排気管と前記発熱体との間に填まり込む填込部を備
   えた規制部材を介在させることにより、前記排気管から
   距離を確保した状態で発熱体を装着することを特徴とす
   るガス放電パネルの製造方法。
2. 【請求項２】 一対の基板が対向配置されてなる外囲器
   に取り付けられた排気管を溶融することによって封止す
   る排気管封止装置であって、 前記排気管に装着され、前記排気管と発熱体との間に填
   まり込む填込部を備えた規制部材を介在させることによ
   り、当該排気管から距離を確保した状態で前記発熱体を
   保持する発熱体保持手段を備えることを特徴とする排気
   管封止装置。
3. 【請求項３】 前記発熱体を前記排気管の外経よりも大
   きい径の筒状に保持してなる発熱ユニットを備え、 前記規制部材は、 前記発熱体が前記排気管の周りに距離をおいて配置され
   るよう、前記発熱ユニットの前記排気管に対する装着位
   置を規制することを特徴とする請求項２記載の排気管封
   止装置。
4. 【請求項４】 一対の基板が対向配置されてなる外囲器
   に取り付けられた排気管を溶融することによって封止す
   る排気管封止装置であって、 発熱体を前記排気管の外経よりも大きい径の筒状に保持
   してなる発熱ユニットと、 前記発熱体が前記排気管の周りに距離をおいて配置され
   るよう、前記発熱ユニットの前記排気管に対する装着位
   置を規制する規制部材とから構成され、 前記規制部材は、前記排気管と前記発熱体との間に介在
   され、 前記規制部材および発熱ユニットの少なくとも一方は、 前記排気管の軸を含む平面に沿って分割可能であること
   を特徴とする排気管封止装置。
5. 【請求項５】 前記規制部材は、 前記発熱ユニットと前記排気管との間における２ヶ所以
   上に介在されることを特徴とする請求項３または４記載
   の排気管封止装置。