JP5668472B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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図15は、本実施形態に係る配線基板の製造方法によって基板をエッチングしたときの評価方法を説明するための平面図である。図16は、評価に供した基板の配線パターンの配置例を示す平面図である。図17は、評価に用いた配線パターンの拡大図である。本実施形態に係る配線基板の製造方法によって基板をエッチングし、エッチングのばらつきを評価した。図15に示すように、3個の長方形板を組み合わせ、評価用基板1Eを支持する支持部を有する基板支持治具25に評価用基板1Eを取り付け、搬送方向側に中間基準体20Eを配置し、さらに、基板支持治具25の搬送方向後方に後方基準体26を配置した。この状態で、図3に示すエッチング装置10を用いて評価用基板1Eをエッチングした。
1D 領域
1E 評価用基板
1P 配線パターン領域
1Pt 境界
1T 端部
2 基材
3 導電層
5 基準体
5T 配線パターン
10 エッチング装置
11 スプレー
11s エッチング液噴射口
12 吸引ノズル
12n エッチング液吸引口
13、14 搬送ローラー
20、10a、10E 中間基準体
21、21a 側方基準体
22、26 後方基準体
23 基板配置部
25 基板支持治具
26 後方基準体
Claims (4)
- 複数の基板を、隣接する前記基板の間に前記基板と厚みが略同一の板状の中間基準体を配置しつつ、前記基板を搬送する搬送装置に搬送させながら、前記基板の搬送方向に向かって配置された複数のエッチング液供給手段に複数の前記基板にエッチング液を供給させつつ、前記エッチング液供給手段の前記搬送方向側に配置された複数のエッチング液吸引手段に複数の前記基板に供給された前記エッチング液を吸引させながらエッチングを行う工程を含み、
前記基板と前記中間基準体とを当接又は前記基板と前記中間基準体との配置間隔を極めて狭くし、
前記エッチング液供給手段と当該エッチング液供給手段に対して前記搬送方向側に最初に配置された前記エッチング液吸引手段との距離をA、前記エッチング液吸引手段と当該エッチング液吸引手段に対して前記搬送方向側に最初に配置された前記エッチング液供給手段との距離をB、前記搬送方向側における前記基板の捨て領域の長さと前記中間基準体の長さとの和をCとしたとき、A+B≦Cであることを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記基板の厚みと前記中間基準体の厚みとは同じ大きさである請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記搬送方向と直交する方向における前記基板の両側に、前記基板と厚みが略同一の板状の側方基準体が配置され、
前記基板と前記側方基準体とを当接又は前記基板と前記側方基準体との配置間隔を極めて狭くする請求項1又は2に記載の配線基板の製造方法。 - 最後にエッチングする前記基板の前記搬送方向後方には、前記基板と厚みが略同一の板状の後方基準体が配置され、
前記基板と前記後方基準体とを当接又は前記基板と前記後方基準体との配置間隔を極めて狭くする請求項1から3のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
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