KR101399163B1 - 표시장치의 박리장치 및 이를 이용한 박리방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 높은 신뢰도의 자동 박리공정을 수행할 수 있는 박리장치가 개시된다.
개시된 표시장치의 박리장치는 박리액이 담겨진 박리 탱크 및 박리 탱크로부터 보호필름 찌꺼기를 수거하는 이물질 필터링 시스템을 포함하고, 보호필름은 투명기판 일면에 형성되고, 투명기판은 복수개가 카세트에 수납되어 박리 탱크에 제공된다.

Description

표시장치의 박리장치 및 이를 이용한 박리방법{DETACHING APPARATUS FOR DISPLAY DEVICE AND DETACHING METHOD USING THE SAME}
본 발명은 표시장치의 박리장치에 관한 것으로, 높은 신뢰도의 자동 박리공정을 수행할 수 있는 표시장치의 박리장치 및 이를 이용한 박리방법에 관한 것이다.
일반적으로 널리 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(cathode ray tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보 단말기기 등의 모니터에 주로 이용되고 있으나, CRT 자체의 무게와 크기로 인해 전자 제품의 소형화, 경량화의 대응에 적극적으로 대응할 수 없었다.
이러한 문제에 대한 해결책으로서, 액정표시장치는 경량화, 박형화, 저소비 전력 구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있다. 이에 따라 액정표시장치는 사용자의 요구에 부응하여 대면적화, 박형화, 저소비전력화의 방향으로 진행되고 있다.
액정표시장치는 액정을 투과하는 광의 양을 조절하여 화상을 표시하는 디스플레이 장치로서 박형화 및 저소비전력 등의 장점으로 많이 사용되고 있다.
도 1은 일반적인 액정표시장치에 포함된 액정표시패널을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 액정표시패널은 일정 공간 이격되어 합착된 어레이 기판(10) 및 컬러필터 기판(20)과, 상기 어레이 기판(10)과 컬러필터 기판(20) 사이에 주입된 액정층(30)으로 구성된다.
구체적으로 상기 어레이 기판(10)에는 화소 영역(P)을 정의하기 위하여 일정한 간격 이격되어 일방향으로 복수의 게이트 라인(14)이 배열되고, 상기 게이트 라인(14)과 수직한 방향으로 복수의 데이터 라인(16)이 배열된다.
상기 화소 영역(P)에는 화소전극(18)이 형성되고, 상기 게이트 라인(14)과 데이터 라인(16)이 교차하는 영역에는 상기 게이트 라인(14)의 구동신호에 따라 온/오프되어 상기 데이터 라인(16)의 영상신호를 각 화소전극(18)에 인가하는 복수의 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된다.
상기 컬러필터 기판(20)에는 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위해 블랙 매트릭스 패턴(25)과 상기 화소 영역(P)과 대응되어 컬러를 표현하기 위한 적색, 녹색 및 청색 컬러필터(26a, 26b, 26c)을 포함하는 컬러필터 패턴(26)이 형성된다.
도면에는 도시되지 않았지만, 상기 컬러필터 기판(20)에는 상기 화소 전극(18)과의 전위차를 형성하기 위한 공통전극(미도시)이 더 형성될 수 있고, 이와 다르게 화소전극(18)이 형성된 어레이 기판(10)에 형성될 수도 있다.
도면에는 도시되지 않았지만, 상기 어레이 기판(10) 및 컬러필터 기판(20)에는 서로 마주보는 면 각각에는 액정의 배향을 위한 배향막이 형성된다.
이와 같은 구조를 가지는 액정표시패널은 어레이 기판(10) 및 컬러필터 기판(20) 각각을 제조하기 위한 패턴 제조공정이 수행되고, 이들을 합착하는 공정이 수행되고, 액정을 주입한 후에 구동회로와 접속시키는 모듈 공정이 수행되어 제조가 완료된다.
상기 액정표시패널과 광을 제공하는 백라이트 유닛은 시스템 케이스에 수납되어 TV, 모니터 및 휴대폰 등과 같은 소형 표시장치로 제조된다.
여기서, 표시장치는 외부의 의한 파손 및 손상을 방지하기 위해 액정표시패널 상에 보호기판이 추가로 구비된다.
상기 보호기판은 투명한 유리 또는 플라스틱 기판으로 이루어질 수 있으며, 휴대폰과 같은 소형 디스플레이 장치를 일예로 설명하면, 스피커 또는 입력 버튼과 같은 장치들과 대응되는 영역이 노출되는 개방영역을 가지며, 개방영역을 포함하여 전체 디자인은 사용자의 요구에 따라 다양화되고 있다.
상기 보호기판은 상기 디자인에 따라 절단되는 공정 전에 표면을 보호하기 위한 보호필름이 형성되는 공정이 수행된다.
상기 보호필름은 빛에 반응하여 경화될 수 있는 드라이 필름 레진(DFR: Dry Film Resist)으로 형성된다.
상기 디자인에 따라 제작된 보호기판은 보호필름을 박리하기 위해 약액 처리를 통해 경화된 보호필름을 연화시킨 후에 작업자에 의해 박리된다.
그러나, 일반적인 보호필름의 박리공정은 작업자에 의해 수행됨으로써, 생산성이 크게 저하될 뿐만 아니라 파손 및 손상되는 문제가 빈번하게 발생되었고, 작업자에 의한 박리공정으로 박리단계에서 이물질 유입으로 발생하는 불량이 빈번하게 발생되는 문제가 있었다.
본 발명은 높은 신뢰도의 자동 박리공정을 수행할 수 있는 표시장치의 박리장치 및 이를 이용한 박리방법을 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 박리장치는,
박리액이 담겨진 박리 탱크; 및 상기 박리 탱크로부터 보호필름 찌꺼기를 수거하는 이물질 필터링 시스템을 포함하고, 상기 보호필름은 투명기판 일면에 형성되고, 상기 투명기판은 복수개가 카세트에 수납되어 상기 박리 탱크에 제공된다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치의 박리방법은,
복수의 투명기판이 수납된 카세트가 박리액이 담겨진 박리 탱크에 반입 빛 반출을 반복하여 보호필름을 박리하는 단계; 및 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 수거하는 단계를 포함한다.
본 발명은 투명기판의 DFR 패턴을 박리하는 공정이 자동화 시스템으로 진행됨으로써, 작업자의 수작업에 의해 DFR 패턴을 박리하는 일반적인 박리공정과 대비하여 대량생산에 매우 유리하고, 불량률을 최소화하여 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
따라서, 본 발명은 투명기판의 DFR 패턴을 자동으로 박리하는 상기 보호필름 박리부가 세정부 및 건조부와 인라인 형태로 배치되어 제조 시간을 크게 단축시킬 수 있다.
도 1은 액정표시패널의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 단위 투명기판을 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 투명기판을 제조하기 위한 모기판을 도시한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 투명기판 제조장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 박리장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 박리장치의 구성을 구체적으로 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 투명기판을 제조하는 단계를 도시한 순서도이다.
도 8은 본 발명의 자동 박리 단계를 구체적으로 도시한 순서도이다.
본 발명은 박리액이 담겨진 박리 탱크 및 박리 탱크로부터 보호필름 찌꺼기를 수거하는 이물질 필터링 시스템을 포함하고, 보호필름은 투명기판 일면에 형성되고, 투명기판은 복수개가 카세트에 수납되어 박리 탱크에 제공된다.
또한, 본 발명은 복수의 투명기판이 수납된 카세트가 박리액이 담겨진 박리 탱크에 반입 빛 반출을 반복하여 보호필름을 박리하는 단계; 및 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 수거하는 단계를 포함한다.
첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세히 설명하도록 한다.
본 발명의 일 실시예는 당업자에게 본 발명의 기술 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위함이다. 따라서, 이하에서 설명하는 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술 사상을 기초로 다른 실시예들은 얼마든지 추가될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 단위 투명기판을 도시한 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 투명기판을 제조하기 위한 모기판을 도시한 평면도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치 단위 투명기판(150)은 표시장치의 최외곽에 구비되어 표시패널(미도시)을 보호하는 기능을 가진다.
도면에는 도시되지 않았지만, 표시패널은 박막 트랜지스터와 같은 스위치 소자들이 형성된 어레이 기판과, 색을 표현하기 위한 컬러필터 패턴이 형성된 컬러필터 기판이 서로 대면되어 액정층을 사이에 두고 합착된 구조일 수 있다.
여기서, 본 발명에서는 일 실시예로 표시패널에 있어서, 액정층을 가지는 액정표시패널을 한정하여 설명하고 있지만, 이에 한정하지 않고, OLED 발광층을 포함하는 유기전계 발광표시패널과 같은 디스플레이용 평판표시패널은 모두 포함될 수 있다.
상기 투명기판(150)은 먼저, 모기판(140) 상에 보호막을 도포 및 노광하여 보호막의 패턴에 의해 복수개의 단위 투명기판(150)이 형성된다.
상기 보호막은 빛에 반응하여 경화될 수 있는 드라이 필름 레진(DFR: Dry Film Resist)일 수 있다.
상기 드라이 필름 레진(DFR)은 라미네이팅 공정을 통해 모기판(140)의 상부 및 하부 전면에 걸쳐 단일층 또는 복수층으로 50㎛ 이상의 두께로 형성될 수 있다.
상기 모기판(140) 상에 형성된 상기 드라이 필름 레진(DFR)은 포토 마스크를 이용한 노광 및 현상 공정을 통해 복수의 DFR 패턴(151)이 형성된다.
상기 DFR 패턴(151)은 표시패널의 디자인에 따라 변경될 수 있으며, 본 발명의 일 실시예에서는 핸드폰용 소형 표시장치에 제공되는 투명기판(150)으로 스피커와 대응되는 제1 개방영역(153)과 대응되는 제어버튼과 대응되는 제2 개방영역(155)을 포함한다.
상기 제1 및 제2 개방영역(153, 155)은 표시장치의 디자인에 따라 그 형상과 위치 및 사이즈가 변경될 수 있고, 개수도 변경될 수 있다.
본 발명은 샌드 블라스트(sandblast) 공법을 이용하여 상기 모기판(140)으로부터 상기 단위 투명기판(150)을 분리하는 절단공정이 진행된다.
상기 샌드 블라스트 공법은 다양한 디자인에 쉽게 적용할 수 있는 장점을 가지며 다른 물리적인 공법과 대비하여 공정 중에 투명기판(150) 파손 등의 불량을 최소화하여 공정 신뢰도를 향상시킬 수 있는 장점으로 적용된다.
이상에서와 같이, 본 발명의 단위 투명기판(150)은 샌드 블라스트 공법에 의해 절단된 후, DFR 패턴을 박리하는 박리공정이 수행된다.
본 발명의 상기 박리공정은 세정공정 전에 수행되며, 자동으로 수행하여 대량 생산에 유리하고, 박리공정 중에 발생하는 단위 투명기판(150)의 파손 등을 최소화함으로써, 신뢰성 및 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 박리장치는 도 4 내지 도 8을 통해 상세히 설명하도록 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 투명기판 제조장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 박리장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 박리장치의 구성을 구체적으로 도시한 도면이다.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 투명기판 제조장치(160)는 드라이 필름 레진(DFR)을 이용하여 DFR 패턴을 형성하고 절단하여 단위 투명기판을 제작하는 단위 투명기판 절단부(미도시)와, 상기 단위 투명기판의 DFR 패턴을 박리하는 보호필름 박리부(170)와, 상기 DRF 패턴이 박리된 단위 투명기판을 세정하는 세정부(191) 및 세정이 완료된 단위 투명기판을 건조시키는 건조부(193)로 구성될 수 있다.
상기 절단부, 보호필름 박리부(170), 세정부(191) 및 건조부(193)는 하나의 라인을 따라 순차적으로 진행되는 인라인 구조로 이루어질 수 있다.
또한, 투명기판 제조장치(160)는 전체가 자동화 시스템으로 이루어질 수 있다.
상기 보호필름 박리부(170)는 박리액(171a)이 담겨진 박리 탱크(171)와, 상기 박리 탱크(171)의 가장자리 외곽에서 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 수거하기 위한 이물질 필터링 시스템(173)과, 상기 이물질 필터링 시스템(173)으로부터 제공되는 상기 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 여과하는 여과부(180)와, 상기 여과부(180)에 의해 보호필름 찌꺼기가 제거된 순수 박리액(171b)을 보관하는 박리액 보관 탱크(185)와, 상기 박리액 보관 탱크(185)의 순수 박리액(171b)을 박리 탱크(171)에 제공하는 펌프(175)를 포함한다.
여기서, 상기 보호필름 박리부(170)는 이상의 각각의 구성들이 모두 자동화 시스템으로 구동된다.
상기 박리 탱크(171)는 박리액(171a)을 가득 담고 있으며, 복수의 투명기판(150)을 수납하는 카세트(130)가 제공되어 투명기판(150)의 DFR 패턴이 박리된다.
여기서, 박리된 DFR 패턴은 설명의 편의를 위해 보호필름 찌꺼기로 정의한다.
상기 카세트(130)는 상하(x-x') 이동되어 박리 탱크(171)에 반입 및 반출을 반복한다. 따라서, 본 발명의 카세트(130)가 반입 및 반출을 반복하는 것은 박리 탱크(171)의 박리액(171a)에 반입 및 반출되면서 화학 작용과 더불어 물리적 작용을 부가하여 박리 효율을 향상시키기 위함이다.
도면에는 도시되지 않았지만, 상기 박리 탱크(171)는 초음파 유닛(미도시)을 더 포함한다.
상기 초음파 유닛은 미세한 진동을 제공하여 박리 효율을 향상시키기 위해 추가로 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는 상기 투명기판(150)으로부터 DFR 패턴의 최적화된 박리 조건을 제공한다.
상기 박리 탱크(171) 내부에 담겨진 박리액(171a)의 온도는 50 내지 80℃이며, 대략 2~5분 동안 진행된다. 따라서, 상기 박리 탱크(171)는 이상의 공정조건을 만족시킬 수 있도록 상기 박리액(171a)의 온도를 제어할 수 있는 히터 유닛(미도시)를 더 포함할 수 있다.
상기 박리액(171a)은 KOH 계열, NAOH 계열, Amine 계열 등으로 이루어질 수 있다.
상기 이물질 필터링 시스템(173)은 상기 박리 탱크(171)로부터 반출되는 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 수거한다. 즉, 상기 이물질 필터링 시스템(173)은 상기 카세트(130)의 상하(x-x') 이동 및 초음파에 의한 진동 등으로 박리 탱크(171)의 외곽으로 넘치는 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 수거한다.
상기 이물질 필터링 시스템(173)은 상기 박리 탱크(171)의 외곽 가장자리 및 하부를 따라 형성되는 수거 통로(173)를 가진다.
상기 이물질 필터링 시스템(173)은 수거된 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 상기 여과부(180)에 제공한다.
상기 여과부(180)는 상기 보호필름 찌꺼기를 여과하기 위한 필터(181)를 포함한다.
상기 필터(181)는 제1 및 제2 롤러(182, 183)에 의해 일정한 텐션(tension)을 가진다.
상기 필터(181)는 거름망, 부직포 등으로 그 종류는 한정하지 않고, 상기 보호필름 찌꺼기를 제거할 수 있는 재질과 구조를 가질 수 있다.
상기 필터(181) 상에는 여과된 여과박(濾過粕)의 정도를 센싱하는 센서부(184)가 구비된다.
상기 여과박은 상기 필터(181)에 의해 걸려 남은 보호필름의 찌꺼기로 정의할 수 있다.
상기 센서부(184)는 상기 여과박의 높이를 측정하여 일정 기준 이상인 경우, 상기 제1 및 제2 롤러(182, 183)를 이용하여 필터(181)를 이동시켜 상기 여과박을 제거한다.
상기 여과박 제거는 여과박을 포함하는 폐 필터(186)의 일부를 찌꺼기 수거탱크(187)로 반출시키거나, 상기 필터(181)로부터 여과박을 제거하는 제거유닛(미도시)을 이용하여 여과박 만을 상기 찌꺼기 수거탱크(187)로 반출시킬 수 있다.
상기 박리액 보관 탱크(185)는 상기 필터(181)로부터 여과박이 제거된 순수 박리액(171b)을 보관한다.
상기 박리액 보관 탱크(185)는 상기 순수 박리액(171b)의 온도를 제어할 수 있는 히터 유닛(미도시)를 더 포함한다. 따라서, 상기 박리액 보관 탱크(185)는 박리 탱크(171)로 제공되는 순수 박리액(171b)의 온도를 미리 설정된 공정조건에 대응되도록 조절할 수 있다.
상기 펌프(175)는 상기 박리액 보관 탱크(185)에 담겨진 상기 순수 박리액(171b)을 상기 박리 탱크(171)에 공급하는 기능을 가진다.
이상에서 설명한, 상기 보호필름 박리부(170)는 상기 투명기판(150)의 DFR 패턴을 박리하고, 박리된 보호필름 찌꺼기를 여과하여 순수 박리액(171b)을 박리 탱크(171)에 공급하는 단계가 모두 자동화 시스템으로 수행된다.
이상에서와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 보호필름 박리부(170)는 투명기판(150)의 DFR 패턴을 박리하는 공정이 자동화 시스템으로 진행됨으로써, 작업자의 수작업에 의해 DFR 패턴을 박리하는 일반적인 박리공정과 대비하여 대량생산에 매우 유리하고, 불량률을 최소화하여 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
따라서, 본 발명은 투명기판(150)의 DFR 패턴을 자동으로 박리하는 상기 보호필름 박리부(170)가 세정부(191) 및 건조부(193)와 인라인 형태로 배치되어 제조 시간을 크게 단축시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 투명기판을 제조하는 단계를 도시한 순서도이고, 도 8은 본 발명의 자동 박리 단계를 구체적으로 도시한 순서도이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 투명기판을 제조하는 단계는 먼저, 모기판 상에 보호막을 도포하는 단계가 수행된다.(S100)
상기 보호막은 빛에 반응하여 경화될 수 있는 드라이 필름 레진(DFR: Dry Film Resist)일 수 있다. 따라서, 상기 보호막은 라미네이터를 이용하여 모기판의 상부 및 하부 전면에 걸쳐 단일층 또는 복수층으로 50㎛ 이상의 두께로 형성될 수 있다.
상기 보호막이 도포되면, 상기 보호막 상에 마스크가 구비되고, 노광 및 현상 공정이 수행되어 DFR 패턴을 형성한다.(S110)
상기 모기판은 상기 DFR 패턴을 따라 샌드 블라스트 공법을 이용하여 단위 유리기판으로 절단된다.(S120)
상기 단위 유리기판은 자동화 시스템의 보호필름 박리부에 의해 자동으로 보호필름의 박리공정이 수행된다. 여기서, 상기 보호필름은 상기 DFR 패턴으로 정의할 수 있다.(S130)
상기 보호필름 박리공정(S130)은 박리액이 담겨진 박리 탱크에 복수의 단위 유리기판이 수납된 카세트가 반입 및 반출을 반복하여 그 진동으로 보호필름을 박리하는 단계(S131)와, 박리된 보호필름 찌꺼기를 포함한 박리액을 수거하는 단계(S132)와, 상기 보호필름 찌꺼기를 여과하는 단계(S133)와, 상기 보호필름 찌꺼기가 여과된 순수 박리액을 상기 박리 탱크에 공급하는 단계(S134)를 포함한다.
상기 박리탱크에 담겨진 박리액의 온도는 50 내지 80℃이며, 대략 2~5분 동안 진행된다. 상기 박리액의 온도 및 박리하는 단계의 시간은 박리액의 종류 및 초음파 유닛의 유무에 따라 변경될 수 있다.
상기 박리액은 KOH 계열, NAOH 계열, Amine 계열 등으로 이루어질 수 있다.
상기 보호필름의 박리공정이 완료되면, 세정부에 의해 유리기판이 세정된다.(S140)
상기 세정공정이 완료된 유리기판은 건조부로 이송되어 건조되어 유리기판의 제조가 완료된다.(S150)
이상에서와 같이 본 발명의 DFR 패턴의 박리공정은 투명기판의 DFR 패턴을 박리하는 공정이 자동화 시스템으로 진행됨으로써, 작업자의 수작업에 의해 DFR 패턴을 박리하는 일반적인 박리공정과 대비하여 대량생산에 매우 유리하고, 불량률을 최소화하여 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
따라서, 본 발명은 투명기판의 DFR 패턴을 자동으로 박리하는 상기 보호필름 박리부가 세정부 및 건조부와 인라인 형태로 배치되어 제조 시간을 크게 단축시킬 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
170: 보호필름 박리부 171: 박리 탱크
173: 이물질 필터링 시스템 175: 펌프
180: 여과부 181: 필터
182: 제1 롤러 183: 제2 롤러
184: 센서부 185: 박리액 보관 탱크

Claims (23)

  1. 투명기판의 보호필름을 박리하기 위한 박리액이 담겨진 박리 탱크;
    상기 박리 탱크의 외곽으로 넘치는 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 수거하는 이물질 필터링 시스템; 및
    상기 이물질 필터링 시스템으로부터 제공되는 상기 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 여과하는 여과부를 포함하고,
    상기 투명기판은 복수개가 카세트에 수납되어 상기 박리 탱크에 제공되며,
    상기 여과부는 상기 보호필름 찌꺼기를 여과하는 필터 및 상기 필터 상에 쌓이는 여과박의 양을 센싱하는 센서부를 포함하며,
    상기 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액은 상기 이물질 필터링 시스템으로부터 상기 여과부의 필터의 상부에 제공되며, 상기 센서부에 의해 미리 설정된 기준값 이상으로 상기 여과박이 쌓인 경우 상기 여과박을 제거하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 박리장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 여과부는,
    상기 필터의 텐션(tension)을 일정하게 유지하기 위한 제1 및 제2 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 박리장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 센서부에 의해 미리 설정된 기준값 이상으로 상기 여과박이 쌓인 경우, 상기 여과박을 포함하는 필터를 찌꺼기 수거 탱크로 반출시키는 표시장치의 박리장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 센서부에 의해 미리 설정된 기준값 이상으로 상기 여과박이 쌓인 경우, 상기 여과박을 찌꺼기 수거 탱크로 제거하는 표시장치의 박리장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 여과부로부터 제공되는 순수 박리액을 보관하는 박리액 보관 탱크를 더 포함하는 표시장치의 박리장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 박리액 보관 탱크로부터 상기 순수 박리액을 상기 박리 탱크에 제공하는 펌프를 더 포함하는 표시장치의 박리장치.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 박리 탱크 및 상기 박리액 보관 탱크는 수용된 액체를 일정 온도로 가열하기 위한 히팅 유닛을 포함하는 표시장치의 박리장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 보호필름은 빛에 반응하여 경화될 수 있는 드라이 필름 레진(DFR: Dry Film Resist)인 표시장치의 박리장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 박리액은 KOH 계열, NAOH 계열 및 Amine 계열 중 적어도 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치의 박리장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 박리탱크는 초음파 유닛을 더 포함하는 표시장치의 박리장치.
  12. 복수의 투명기판이 수납된 카세트가 박리액이 담겨진 박리 탱크에 반입 빛 반출을 반복하여 보호필름을 박리하는 단계;
    상기 박리 탱크의 외곽으로 넘치는 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 수거하는 단계; 및
    상기 수거된 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 여과하는 단계를 포함하며,
    상기 여과하는 단계는, 상기 수거된 보호필름 찌꺼기를 포함하는 박리액을 필터의 상부에 제공하는 단계, 상기 필터 상에 쌓이는 여과박의 양을 센싱하는 단계 및 미리 설정된 기준값 이상으로 상기 여과박이 쌓인 경우 상기 여과박을 제거하는 단계를 포함하는 표시장치의 박리방법.
  13. 삭제
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 여과하는 단계는,
    상기 필터의 텐션(tension)을 일정하게 유지하는 단계를 더 포함하는 표시장치의 박리방법.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 여과박을 제거하는 단계는
    상기 여과박을 포함하는 필터를 찌꺼기 수거 탱크로 반출시키는 단계인 것을 특징으로 하는 표시장치의 박리방법.
  16. 제14 항에 있어서,
    상기 여과박을 제거하는 단계는,
    상기 여과박을 찌꺼기 수거 탱크로 제거하는 단계인 것을 특징으로 하는 표시장치의 박리방법.
  17. 제 12 항에 있어서,
    상기 여과하는 단계로부터 제공되는 순수 박리액을 보관하는 단계를 더 포함하는 표시장치의 박리방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 순수 박리액을 상기 박리 탱크에 제공하는 단계를 더 포함하는 표시장치의 박리방법.
  19. 제17 항에 있어서,
    상기 박리액 및 상기 순수 박리액을 일정 온도로 가열하는 단계를 포함하는 표시장치의 박리방법.
  20. 제12 항에 있어서,
    상기 보호필름은 빛에 반응하여 경화될 수 있는 드라이 필름 레진(DFR: Dry Film Resist)인 표시장치의 박리방법.
  21. 제12 항에 있어서,
    상기 박리액은 KOH 계열, NAOH 계열 및 Amine 계열 중 적어도 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치의 박리방법.
  22. 제12 항에 있어서,
    상기 박리탱크는 초음파 유닛을 더 포함하는 표시장치의 박리방법.
  23. 제12 항에 있어서,
    상기 보호필름이 박리된 후에 상기 투명기판을 세정하는 단계와 상기 투명기판을 건조하는 단계가 순차적으로 진행되고, 상기 박리하는 단계, 상기 세정하는 단계 및 상기 건조하는 단계는 하나의 라인으로 수행되는 인라인 구조인 표시장치의 박리방법.
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