KR101356228B1 - 기판처리장치 - Google Patents

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KR101356228B1
KR101356228B1 KR1020130060206A KR20130060206A KR101356228B1 KR 101356228 B1 KR101356228 B1 KR 101356228B1 KR 1020130060206 A KR1020130060206 A KR 1020130060206A KR 20130060206 A KR20130060206 A KR 20130060206A KR 101356228 B1 KR101356228 B1 KR 101356228B1
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다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
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Abstract

기판처리장치는 기판을 유지하는 핸드를 갖는 제1 기판반송로봇과, 기판을 유지하는 핸드를 갖는 제2 기판반송로봇과, 상기 제1 기판반송로봇 및 상기 제2 기판반송로봇의 각각의 핸드를 세정하는 핸드세정유닛을 포함한다. 상기 핸드세정유닛은, 상기 제1 기판반송로봇 및 상기 제2 기판반송로봇이 각각의 핸드를 액세스시킬 수 있도록 구성되어 있고, 상기 제1 및 제2 기판반송로봇 사이에서 기판을 주고 받는 기판주고받기장소의 위쪽 또는 아래쪽에 배치되어 있다.

Description

기판처리장치{SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS}
본 발명은 기판의 주고받기(受渡)를 행하는 2개의 기판반송로봇을 갖는 기판처리장치에 관한 것이다. 처리의 대상이 되는 기판에는, 예를 들면, 반도체 웨이퍼, 액정표시장치용 기판, 플라즈마 디스플레이용 기판, FED(Field Emission Display)용 기판, 광디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광학 자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판, 태양전지용 기판 등이 포함된다.
반도체 장치나 액정표시장치를 제조하는 공정에서 사용되는 기판처리장치에는, 기판을 1매씩 처리하는 매엽형(枚葉型)의 기판처리장치가 있다. 매엽형의 기판처리장치는 예를 들면, 카세트 등의 기판수용기와 기판주고받기위치 사이로 기판을 반송하는 인덱서로봇과, 복수의 처리유닛과, 상기 기판주고받기위치와 상기 처리유닛 사이로 기판을 반송하는 주(主)반송로봇을 포함한다. 인덱서로봇 및 주반송로봇은 각각, 1매의 기판을 유지할 수 있는 핸드를 갖고 있다. 처리유닛은 예를 들면, 처리액(약액 또는 순수(純水))을 기판에 공급하여 기판의 표면 처리를 행한다.
기판에 이물질이 부착되어 있으면, 그 이물질이 핸드로 전이(轉移)되어, 핸드를 오염시키는 경우가 있다. 또한, 처리액으로 처리된 후의 기판에 처리액이 잔류되어 있으면, 그 기판을 유지한 핸드에 처리액의 일부가 전이될 우려가 있다. 이러한 오염 및/또는 처리액이 핸드에 축적되면, 핸드 상에서의 기판유지위치의 정밀도가 나빠질 우려가 있다. 핸드 상에서의 기판유지위치가 부정확하면, 기판주고받기위치에서의 기판의 위치 정밀도가 나빠진다. 그 결과, 인덱서로봇과 주반송로봇 사이의 기판 주고받기, 주반송로봇과 처리유닛 사이의 기판 주고받기, 인덱서로봇과 기판수용기의 기판 주고받기 등에 불량(반송 불량)이 생길 우려가 있다. 즉, 기판이 낙하되거나, 기판이 파괴되거나 할 우려가 있다.
이러한 문제에 대처하기 위하여, 예를 들면, 일본특허공개 2000－68244호 공보에 기재되어 있는 핸드세정장치를 도입하는 것이 고려된다. 그러나, 일본특허공개 2000－68244호 공보의 장치에서는, 반송로봇을 중심으로, 피세정물 반입장치, 핸드 세정장치, 피세정물 세정장치, 피세정물 세정건조장치, 및 피세정물 반출장치가 클러스터(cluster) 형상으로 배치되어 있고, 반도체 웨이퍼의 세정을 위한 유닛과 동등한 공간을 핸드세정장치가 차지하고 있다. 따라서, 공간의 이용 효율이 나쁘고, 그에 따라 장치의 풋프린트(점유 면적)가 커지는 결점이 있다.
본 발명은 점유 면적의 증가를 초래함이 없이 핸드 세정을 위한 구성을 마련할 수 있는 기판처리장치를 제공한다.
본 발명의 기판처리장치는 기판을 유지하는 핸드를 갖는 제1 기판반송로봇과, 기판을 유지하는 핸드를 갖는 제2 기판반송로봇과, 상기 제1 기판반송로봇 및 상기 제2 기판반송로봇이 각각의 핸드를 액세스시킬 수 있고, 상기 제1 및 제2 기판반송로봇 사이에서 기판을 주고 받는 기판주고받기장소의 위쪽 또는 아래쪽에 배치되어, 상기 제1 기판반송로봇 및 상기 제2 기판반송로봇의 각각의 핸드를 세정하는 핸드세정유닛을 포함한다.
이 구성에 의하면, 제1 및 제2 기판반송로봇 사이에서 기판을 주고 받는 기판주고받기장소의 위쪽 또는 아래쪽에, 핸드세정유닛이 배치되어 있다. 따라서, 기판주고받기장소와 핸드세정유닛이 평면에서 보아 적어도 일부가 서로 겹치도록 입체적으로 배치되어 있으므로, 기판처리장치의 점유 면적(풋프린트)을 증가함이 없이 핸드세정유닛을 배치할 수 있어, 이 핸드세정유닛에 의해, 제1 및 제2 기판반송로봇의 핸드를 세정할 수 있다. 따라서, 기판처리장치의 점유 면적을 증가시킴이 없이 반송 불량을 억제 또는 방지할 수 있어, 신뢰성이 높은 기판 처리가 가능하게 된다.
상기 제1 기판반송로봇은 기판수용기 재치(載置)장소에 배치된 기판수용기와 기판주고받기장소 사이로 기판을 반송하는 인덱서로봇이어도 좋다. 또한, 상기 제2 기판반송로봇은 기판주고받기장소와 처리유닛 사이로 기판을 반송하는 주반송로봇이어도 좋다.
상기 기판주고받기장소는 상기 제1 및 제2 기판반송로봇의 사이에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 처리유닛은 2층 이상의 복수층으로 적층되어 입체적으로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 기판주고받기장소의 위쪽 또는 아래쪽에 비교적 큰 공간을 확보하기 쉽기 때문에, 핸드세정유닛을 용이하게 배치할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 의한 기판처리장치, 상기 기판주고받기장소에 배치되어 기판을 유지하는 기판유지유닛을 더 포함한다. 이 구성에 의하면, 기판유지유닛에 의해 기판을 유지할 수 있으므로, 이 기판유지유닛에 의해, 제1 및 제2 기판반송로봇 사이의 반송을 중개할 수 있다. 이 기판유지유닛의 위쪽 또는 아래쪽에 핸드세정유닛을 배치함으로써, 기판처리장치의 점유 면적을 크게 하지 않고 핸드세척기능을 추가할 수 있다.
기판유지유닛은 제1 기판반송로봇과의 사이에 기판 주고받기를 행하는 제1 기판주고받기위치와, 제2 기판반송로봇과의 사이에 기판 주고받기를 행하는 제2 기판주고받기위치 사이로 기판을 반송하는 셔틀기구를 포함하고 있어도 좋다.
또한, 기판주고받기장소에 기판유지유닛을 배치하지 않고, 제1 및 제2 기판반송로봇 사이의 기판의 주고받기를, 한쪽의 핸드로부터 다른 한쪽의 핸드에의 직접 주고받기에 의해 행하여도 좋다.
상기 핸드세정유닛은 핸드를 수용하여 처리하기 위한 핸드처리공간을 구획하는 하우징을 포함하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 핸드처리공간(바람직하지는 폐공간) 내에서 핸드를 세정할 수 있으므로, 예를 들면, 핸드 세정을 위한 처리가 기판에 영향을 주는 것을 회피할 수 있다.
핸드를 상기 핸드처리공간에 출입하기 위한 핸드수용구(受容口)가 상기 하우징에 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이 구성에 의해, 핸드수용구로부터 핸드처리공간으로 핸드를 진입시켜, 핸드처리공간 내에서의 처리에 의해 핸드를 세정할 수 있다.
상기 핸드수용구는 서로 다른 위치에 형성된 제1 핸드수용구 및 제2 핸드수용구를 포함하는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, 상기 제1 핸드수용구가 상기 제1 기판반송로봇으로 향해져 있고, 상기 제2 핸드수용구가 상기 제2 기판반송로봇으로 향해져 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 제1 및 제2 기판반송로봇의 핸드를 공통의 핸드세정유닛에 의해 세정할 수 있다. 이에 의해, 기판처리장치 내의 공간을 더 효율적으로 이용하여, 핸드세척기능을 추가할 수 있다.
이러한 핸드세정유닛은 2개 이상 설치하여도 좋다. 예를 들면, 2개의 핸드세정유닛을 설치하는 경우에, 이 2개의 핸드세정유닛은 모두 기판주고받기장소의 위쪽에 배치되어도 좋고, 모두 아래쪽에 배치되어도 좋고, 위쪽 및 아래쪽에 배분하여 배치되어도 좋다. 2 이상의 핸드세정유닛을 설치함으로써, 제1 및 제2 기판반송로봇의 핸드 세정의 기간을 중복시킬 수 있다. 즉, 제1 및 제2 기판반송로봇은 핸드 세정의 타이밍을 늦출 필요가 없고, 따라서, 그 타이밍 조정의 필요도 없다.
상기 하우징에는, 상기 핸드수용구가 1개만 형성되어 있어도 좋다. 이 경우에, 상기 핸드세정유닛은 상기 핸드수용구를 상기 제1 기판반송로봇으로 향하여 배치된 제1 핸드세정유닛과, 상기 핸드수용구를 상기 제2 기판반송로봇으로 향하여 배치된 제2 핸드세정유닛을 포함하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 제1 및 제2 기판반송로봇의 핸드를 각각 세정할 수 있다. 제1 및 제2 핸드세정유닛은 모두 기판주고받기장소의 위쪽에 배치되어도 좋고, 모두 아래쪽에 배치되어도 좋고, 위쪽 및 아래쪽에 배분하여 배치되어도 좋다. 제1 및 제2 핸드세정유닛을 설치함으로써, 제1 및 제2 기판반송로봇의 핸드 세정의 기간을 중복시킬 수 있다. 즉, 제1 및 제2 기판반송로봇은 핸드 세정의 타이밍을 늦출 필요가 없고, 따라서, 그 타이밍 조정의 필요도 없다. 7개의 핸드수용구를 갖는 핸드세정유닛을 3개 이상 설치하여도 상관 없다.
또한, 1개의 핸드수용구를 갖는 핸드세정유닛을 1개만 설치하고, 그 1개의 핸드수용구로부터 제1 및 제2 기판반송로봇의 핸드를 다른 타이밍으로 수용하여, 그들을 별개의 기간으로 세정하는 것으로 하여도 좋다. 제1 및 제2 기판반송로봇이 다른 방향으로부터 기판주고받기위치에 액세스하는 경우에는, 그러한 방향으로 핸드수용구를 향하도록 핸드세정유닛을 회전시키는 유닛회전기구를 설치하는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시형태에 의한 기판처리장치는 상기 핸드수용구를 개폐하는 셔터기구를 더 포함한다. 이 구성에 의해, 핸드의 세정을 행하지 않는 기간에서의 핸드처리공간의 밀폐성을 높일 수 있으므로, 핸드처리공간 내의 분위기가 유출되어 기판에 영향을 주거나 핸드처리공간 내에 이물질이 들어가거나 하는 것을 억제 또는 방지할 수 있다.
상기 핸드처리공간 내를 배기(排氣)하기 위한 배기로(排氣路)가 상기 하우징에 결합되어 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 핸드처리공간 내의 분위기가 유출되는 것을 억제 또는 방지할 수 있기 때문에, 핸드 세정에 의한 악영향이 기판에 미치는 것을 회피할 수 있다. 또한, 핸드처리공간 내의 분위기를 제어할 수 있으므로, 핸드의 청정도를 높일 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서는, 상기 핸드세정유닛은 상기 핸드처리공간에 도입된 핸드에 세정액을 공급하는 세정액공급유닛을 포함하고, 상기 핸드처리공간 내의 액체를 배액하기 위한 배액로가 상기 하우징에 결합되어 있다. 이 구성에 의해, 핸드를 세정액에 의해 세정할 수 있으므로, 효율적인 핸드 세정이 가능하고, 핸드의 청정도를 높일 수 있다. 또한, 핸드처리공간 내의 액체는 배액로를 통하여 배출되기 때문에, 핸드처리공간 내에 오염물이 축적될 우려가 없다. 상기 세정액은 약액이어도 좋고, 순수이어도 좋고, 약액 및 순수의 양쪽 모두를 포함하고 있어도 좋다.
상기 세정액공급유닛은 핸드의 기판접촉부에 대응하도록 상기 핸드처리공간 내에 배치된 세정액노즐을 포함하는 것이 바람직하다. 핸드 상의 오염 축적 부위는 기판에 접촉하는 기판접촉부 부근에 집중한다. 그래서, 세정액노즐을 기판접촉부에 정합(整合)하도록 배치함으로써, 기판접촉부를 집중적으로 세정할 수 있기 때문에, 효율적인 핸드 세정이 가능하게 된다.
본 발명의 일 실시형태에 의한 기판처리장치는 상기 핸드처리공간에 도입된 핸드에 건조촉진제(액 또는 가스)를 공급하는 건조촉진제공급유닛을 더 포함한다. 이 구성에 의해, 건조촉진제의 공급에 의해 핸드의 건조를 단시간에 행할 수 있기 때문에, 세정액에 의한 핸드의 세정 후, 신속하게 핸드를 건조시킬 수 있다. 이에 의해, 핸드 세정 후, 기판 유지를 위하여 핸드를 이용할 수 있을 때까지의 시간을 단축할 수 있기 때문에, 핸드 세정의 기판 반송에의 영향을 최소한으로 억제할 수 있다.
상기 핸드세정유닛은 핸드에 자외선을 조사하는 자외선 램프를 포함하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 자외선의 조사에 의해, 핸드 상의 이물질(특히, 유기물)을 분해하여 제거할 수 있다.
본 발명에서의 상술한, 또는 또 다른 목적, 특징 및 효과는 첨부 도면을 참조하여 이하에 기술하는 실시형태의 설명에 의하여 명백해진다.
도 1a는 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판처리장치의 내부의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이며, 도 1b는 도 1a의 절단면선 IB-IB에서 본 도해적인 종단면도이다.
도 2a는 핸드세정유닛의 구성예를 설명하기 위한 도면이며, 내부 구성을 투시하여 나타내는 도해적인 사시도이다.
도 2b는 핸드세정유닛의 구성예를 설명하기 위한 도면이며, 내부 구성을 투시하여 나타내는 도해적인 사시도이다.
도 3은 상기 기판처리장치의 전기적 구성을 설명하기 위한 블럭도이다.
도 4는 본 발명의 제2의 실시형태에 의한 기판처리장치의 도해적인 종단면도이다.
도 5는 제1 핸드세정유닛의 구성을 설명하기 위한 도해적인 사시도이다.
도 6은 제2 핸드세정유닛의 구성을 설명하기 위한 도해적인 사시도이다.
도 7은 상기 제2 실시형태의 변형예를 나타내는 도해적인 종단면도이다.
도 8은 상기 제2 실시형태의 다른 변형예를 나타내는 도해적인 종단면도이다.
도 9a는 본 발명의 제3의 실시형태에 의한 기판처리장치의 내부의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이며, 도 9b는 그 도해적인 종단면도이다.
도 10a는 본 발명의 제4의 실시형태에 의한 기판처리장치의 내부의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이며, 도 10b는 그 도해적인 측면도이다.
도 1a는 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판처리장치의 내부의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이며, 도 1b는 도 1a의 절단면선 IB-IB에서 본 도해적인 종단면도이다.
이 기판처리장치는 반도체 기판 그 밖의 처리 대상 기판을 1매씩 처리하기 위한 매엽형의 장치이며, 인덱서 섹션(indexer section)(1)과, 프로세스 섹션(process section)(2)을 포함한다.
인덱서 섹션(1)은 기판수용기(3)를 유지하는 기판수용기 유지부(4)와, 인덱서로봇(11)을 포함한다. 기판수용기(3)는 예를 들면, 수평 자세의 복수매의 기판을 상하 방향으로 간격을 두고 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 기판수용기 유지부(4)는 예를 들면, 복수개 병렬로 설치되어 있고, 각각의 기판수용기 유지부(4)에 1개씩의 기판수용기(3)를 유지시킬 수 있다.
한편, 프로세스 섹션(2)은 주반송로봇(12)과, 평면에서 보아 주반송로봇(12)을 둘러싸도록 배치된 복수의 처리유닛(6)을 포함한다. 처리유닛(6)은 기판에 대하여 처리액(약액 또는 린스액)을 공급하여 기판을 처리하는 유닛이어도 좋고, 기판에 대하여 처리 가스를 공급하여 기판을 처리하는 유닛이어도 좋고, 기판에 자외선 등의 전자파를 조사하여 기판을 처리하는 유닛이어도 좋다. 본 실시형태에서는, 프로세스 섹션(2)에는, 12개의 처리유닛(6)이 설치되어 있다. 12개의 처리유닛(6)은 연직 방향으로 적층된 각 3개의 처리유닛(6)을 포함한 처리유닛군(61∼64)이 평면에서 보아 주반송로봇(12)을 둘러싸는 4곳에 분산 배치되어 있다. 즉, 3층 구조의 유닛 배치가 채택되어 있다. 보다 구체적으로는, 인덱서 섹션(1)에 인접하여 2개의 처리유닛군(61, 62)이 배치되어 있고, 이러한 2개의 처리유닛군(61, 62) 사이에는, 그러한 처리유닛군(61, 62)에 의해 반송로(8)가 구획되어 있다. 또한, 그들 2개의 처리유닛군(61, 62)에 있어서 인덱서 섹션(1)과는 반대 측에 2개의 처리유닛군(63, 64)이 각각 인접하여 있다. 이러한 처리유닛군(63, 64) 사이에는, 반송로(8)와 같은 공간이 그것의 처리유닛군(63, 64)에 의해 구획되어 있다. 그리고, 반송로(8)에는, 미(未)처리 기판 및 처리가 끝난 기판을 일시적으로 유지할 수 있는 주고받기유닛(9)이 배치되어 있다.
인덱서로봇(11)은 기판수용기 유지부(4)에 유지된 기판수용기(3)에 대하여, 기판의 반입/반출을 행할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 인덱서로봇(11)은 주고받기유닛(9) 사이에서, 기판의 주고받기를 행할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 인덱서로봇(11)은 미처리 기판을 주고받기유닛(9)에 건네, 처리가 끝난 기판을 주고받기유닛(9)으로부터 받도록 동작한다. 인덱서로봇(11)은 기판을 유지할 수 있는 핸드(20)(이하, 「인덱서핸드(20)」라고 함)와, 인덱서핸드(20)를 구동하는 핸드구동기구(21)를 포함한다. 핸드구동기구(21)는 예를 들면, 인덱서핸드(20)를 연직축선 둘레로 회전시키는 회전구동기구, 인덱서핸드(20)를 상하 이동시키는 승강구동기구, 및 인덱서핸드(20)를 수평 방향으로 진퇴시키기 위한 진퇴구동기구를 포함한다. 이 구성에 의해, 인덱서로봇(11)은 인덱서핸드(20)를 임의의 기판수용기(3) 및 주고받기유닛(9)에 대향시켜, 그것에 대하여 인덱서핸드(20)를 진퇴시킬 수 있다. 또한, 인덱서핸드(20)를 상하 이동시킴으로써, 그러한 반송처와의 사이에서 기판의 주고받기를 실행할 수 있다.
주반송로봇(12)은 처리유닛(6)에 대하여, 미처리의 기판을 반입하고, 처리가 끝난 기판을 처리유닛(6)으로부터 반출하기 위한 반입/반출 동작을 행한다. 또한, 주반송로봇(12)은 주고받기유닛(9) 사이에서 기판의 주고받기를 행할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 주반송로봇(12)은 주고받기유닛(9)으로부터 미처리 기판을 받아, 처리가 끝난 기판을 주고받기유닛(9)에 건네도록 동작한다. 주반송로봇(12)은 기판을 유지할 수 있는 핸드(30)(이하, 「주반송핸드(30)」라고 함)와, 주반송핸드(30)를 구동하는 핸드구동기구(31)를 포함한다. 핸드구동기구(31)는 예를 들면, 주반송핸드(30)를 연직축선 둘레로 회전시키는 회전구동기구, 주반송핸드(30)를 상하 이동시키는 승강구동기구, 및 주반송핸드(30)를 수평 방향으로 진퇴시키기 위한 진퇴구동기구를 포함한다. 이 구성에 의해, 주반송로봇(12)은 주반송핸드(30)를 임의의 처리유닛(6) 및 주고받기유닛(9)에 대향시켜, 그것에 대하여 주반송핸드(30)를 진퇴시킬 수 있다.
또한, 주반송로봇(12)은 주반송핸드(30)를 상하 이동시킴으로써, 그러한 반송처 사이에서 기판의 주고받기를 실행할 수 있다.
주고받기유닛(9)의 위쪽에는, 핸드세정유닛(15)(도 1a에서는, 가상선으로 나타냄)이 배치되어 있다. 핸드세정유닛(15)은 반송로(8) 내에 배치되어 있고, 본 실시형태에서는, 평면에서 보아, 핸드세정유닛(15)과 적어도 일부가 중복하도록 배치되어 있다. 인덱서로봇(11)은 인덱서핸드(20)를 핸드세정유닛(15)에 액세스시킬 수 있다. 또한, 주반송로봇(12)은 주반송핸드(30)를 핸드세정유닛(15)에 액세스시킬 수 있다. 바꿔 말하면, 핸드세정유닛(15)은 인덱서핸드(20)의 상하 이동의 높이 범위 내에서, 또한 주반송핸드(30)의 상하 이동의 높이 범위 내에 배치되어 있고, 인덱서로봇(11) 및 주반송로봇(12)의 양쪽 모두로부터 액세스를 받도록 반송로(8) 내에 배치되어 있다. 핸드세정유닛(15)은 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)를 세정하기 위한 유닛이다.
이 기판처리장치의 통상의 동작을 개략적으로 설명하면, 다음과 같다.
인덱서로봇(11)은 기판수용기 유지부(4)에 유지된 어느 쪽의 기판수용기(3)로부터 미처리의 1매의 기판을 반출하여, 주고받기유닛(9)에 반입한다. 주반송로봇(12)은 주고받기유닛(9)으로부터 미처리의 기판을 반출하여, 그 기판을 복수의 처리유닛(6) 중 어느 쪽에 반입한다. 또한, 주반송로봇(12)은 처리가 끝난 기판을 처리유닛(6)으로부터 꺼내서, 이 처리가 끝난 기판을 주고받기유닛(9)에 건넨다. 인덱서로봇(71)은 주고받기유닛(9)으로부터 처리가 끝난 기판을 반출하여, 어느 하나의 기판수용기 유지부(4)에 유지된 기판수용기(3)에 반입한다.
인덱서로봇(11)은 한쌍의 인덱서핸드(20)를 갖고 있어도 좋고, 그들 중 한쪽으로 주고받기유닛(9)에 미처리 기판을 건네고, 그들 중 다른 한쪽으로 주고받기유닛(9)으로부터 처리가 끝난 기판을 반출하도록 동작하여도 좋다. 또한, 주반송로봇(12)은 한쌍의 주반송핸드(30)를 갖고 있어도 좋고, 그들 중 한쪽으로 처리유닛(6)으로부터 처리가 끝난 기판을 반출하고, 그 후에, 그들 중 다른 한쪽으로 해당 처리유닛(6)에 미처리 기판을 반입하도록 동작하여도 좋다. 즉, 주반송로봇(12)은 각 처리유닛(6)에서의 처리 대상 기판을 바꿔 넣도록 동작하여도 좋다.
도 2a 및 도 2b는 핸드세정유닛(15)의 구성예를 설명하기 위한 도면이며, 내부 구성을 투시하여 나타내는 도해적인 사시도이다. 도 2a는 인덱서로봇(11)측에서 본 구성을 나타내며, 도 2b는 주반송로봇(12)측에서 본 구성을 나타낸다.
핸드세정유닛(15)은 핸드(20, 30)를 수용하여, 그들에 대하여 세정 처리를 행하기 위한 핸드처리공간(43)을 구획하는 하우징(40)을 포함한다. 하우징(40)은 예를 들면, 평평한 직방체(直方體)의 상자 모양으로 형성되어 있고, 한쌍의 단면(41, 42)을 각각 인덱서로봇(11) 및 주반송로봇(12)에 대향시켜 배치되어 있다. 인덱서로봇(11)측의 제1 단면(41)에는, 인덱서핸드(20)를 받아 수용하기 위한 제1 핸드수용구(45)가 형성되어 있고, 이 핸드수용구(45)를 개폐하기 위한 제1 셔터기구(47)가 배치되어 있다. 마찬가지로, 주반송로봇(12)측의 제2 단면(42)에는, 주반송핸드(30)를 받아 수용하기 위한 제2 핸드수용구(46)가 형성되어 있고, 이 핸드수용구(46)를 개폐하기 위한 제2 셔터기구(48)가 배치되어 있다. 제1 핸드수용구(45)와 제2 핸드수용구(46)는, 같은 높이로 형성되어 있어도 좋고, 높이를 어긋나게 하여 배치되어 있어도 좋다. 높이를 어긋나게 하여 배치되어 있으면, 인덱서로봇(11) 및 주반송로봇(12)이 각각의 핸드(20, 30)를 동시에 핸드처리공간(43)에 삽입하여도, 그러한 핸드(20, 30)가 서로 간섭되지 않음을 구조적으로 보증할 수 있다.
인덱서핸드(20)는 수평면을 따라 서로 평행하게 뻗은 한쌍의 손가락형상부(指狀部)(22)를 기단부(起端部)(23)에서 결합한 형상을 갖고 있다. 이러한 인덱서핸드(20)의 구조에 정합하도록, 제1 핸드수용구(45)는 수평 방향으로 뻗는 슬롯 형상으로 형성되어 있다. 한쌍의 손가락형상부(22)의 선단부(先端部) 및 기단부(23)의 폭방향(손가락형상부(22)의 길이 방향과 직교하는 방향)의 중앙 전단부(前端部)에는, 각각, 기판의 하면 주연부(周緣部)를 유지함과 함께, 기판의 수평 방향으로의 이동을 규제하는 기판가이드(25)(합계 3개. 기판접촉부의 일례)가 배치되어 있다.
제1 셔터기구(47)는 예를 들면, 제1 단면(41)의 상하 방향에 관한 일부(예를 들면, 2/1 정도)의 영역을 폐색하는 고정셔터판(471)과, 제1 단면(41)의 나머지의 부분의 영역을 폐색함과 함께 고정셔터판(471)의 일부와 서로 겹치는 가동셔터판(472)과, 가동셔터판(472)을 구동하는 셔터구동기구(473)를 포함한다. 예를 들면, 고정셔터판(471) 및 가동셔터판(472)은 각각 직사각 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 고정셔터판(471) 및 가동셔터판(472) 중 어느 한쪽(도 2a의 예에서는, 가동셔터판(472))에는, 가늘고 긴 직사각 형상의 볼록부(凸部)(474)가 상대측의 셔터판(도 2a의 예에서는, 고정셔터판(471))과의 중복 부분의 한 변(邊)으로부터 후퇴하여 형성되어 있다. 셔터구동기구(473)는 가동셔터판(472)을 제1 단면(42)을 따라서 상하 방향으로 슬라이드 구동한다. 가동셔터판(472)이 고정셔터판(471)으로부터 멀어지는 방향(고정셔터판(471)과의 겹침 부분이 감소하는 방향)으로 구동되어 열림 위치에 도달하면, 볼록부(474)는 상대측의 셔터판(도 2의 예에서는, 고정셔터판(471))의 대향하는 가장자리 부분과의 사이에 제1 핸드수용구(45)를 구획한다. 가동셔터판(472)이 고정셔터판(471)에 가까워지는 방향(고정셔터판(471)과의 겹침 부분이 증가하는 방향)으로 구동되어 닫힘 위치에 도달하면, 볼록부(474)는 상대측의 셔터판(도 2a의 예에서는, 고정셔터판(471))과 완전하게 겹쳐, 제1 핸드수용구(45)가 닫혀진다. 가동셔터판(472)이 열림 위치에 있을 때 제1 핸드수용구(45)를 형성하기 위한 볼록부는 고정셔터판(471) 및 가동셔터판(472)의 양쪽 모두에 설치되어도 좋다. 또한, 한쌍의 셔터판(471, 472)은 모두가 서로 접근/이반 (離反)하는 방향으로 이동하는 가동셔터판이어도 좋다.
주반송핸드(30)는 수평면을 따라 서로 평행하게 뻗은 한쌍의 손가락형상부(32)를 기단부(33)에서 결합한 형상을 갖고 있다. 이러한 주반송핸드(30)의 구조에 정합하도록, 제2 핸드수용구(46)는 수평 방향으로 뻗는 슬롯 형상으로 형성되어 있다. 한쌍의 손가락형상부(32)의 선단부 및 기단부(33)의 폭방향(손가락형상부(32)의 길이 방향과 직교하는 방향)의 중앙 전단부에는, 각각, 기판의 하면 주연부를 유지함과 함께, 기판의 수평 방향으로의 이동을 규제하는 기판가이드(35)(합계 3개, 기판접촉부의 일례)가 배치되어 있다.
제2 셔터기구(48)는 예를 들면, 제2 단면(42)의 상하 방향에 관한 일부(예를 들면, 1/2 정도)의 영역을 폐색하는 고정셔터판(481)과, 제2 단면(42)의 나머지의 부분의 영역을 폐색함과 함께 고정셔터판(481)의 일부와 서로 겹치는 가동셔터판(482)과, 가동셔터판(482)을 구동하는 셔터구동기구(483)를 포함한다. 예를 들면, 고정셔터판(481) 및 가동셔터판(482)은 각각 직사각 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 고정셔터판(481) 및 가동셔터판(482)의 어느 한쪽(도 2b의 예에서는, 가동셔터판(482))에는, 가늘고 긴 직사각 형상의 볼록부(484)가 상대측의 셔터판(도 2의 예에서는, 고정셔터판(481))과의 중복 부분의 한 변으로부터 후퇴하여 형성되어 있다. 셔터구동기구(483)는 가동셔터판(482)을 제2 단면(42)을 따라 상하 방향으로 슬라이드 구동한다. 가동셔터판(482)이 고정셔터판(481)으로부터 멀어지는 방향(고정셔터판(481)과의 겹침 부분이 감소하는 방향)으로 구동되어 열림 위치에 도달하면, 볼록부(484)는 상대측의 셔터판(도 2b의 예에서는, 고정셔터판(481))의 대향하는 가장자리 부분과의 사이에 제2 핸드수용구(46)를 구획한다. 가동셔터판(482)이 고정셔터판(481)에 가까워지는 방향(고정셔터판(481)과의 겹침 부분이 증가하는 방향)으로 구동되어 닫힘 위치에 도달하면, 볼록부(484)는 상대측의 셔터판(도 2b의 예에서는, 고정셔터판(481))과 완전하게 겹쳐, 제2 핸드수용구(46)가 닫혀진다. 가동셔터판(482)이 열림 위치에 있을 때 제2 핸드수용구(46)를 형성하기 위한 볼록부는 고정셔터판(481) 및 가동셔터판(482)의 양쪽 모두에 설치되어도 좋다. 또한, 한쌍의 셔터판(481, 482)은 모두가 서로 접근/이반하는 방향으로 이동하는 가동셔터판이어도 좋다.
핸드처리공간(43) 내에는, 세정액노즐(51, 52)과, 건조촉진제노즐(53, 54)과, 불활성가스노즐(55, 56)과, 자외선램프(57, 58)가 배치되어 있다.
세정액노즐(51, 52)은 제1 단면(41)을 따른 3곳과, 제2 단면(42)을 따른 3곳에 배치되어 있다. 제1 단면(41)을 따라 배치된 3개 중 중앙의 1개의 세정액노즐(51)은 핸드처리공간(43)에 삽입된 인덱서핸드(20)의 기단부(23)에 배치된 기판가이드(25)의 배치에 정합되어 있다. 또한, 제1 단면(41)을 따라 배치된 3개 중 양단의 2개의 세정액노즐(52)은 핸드처리공간(43)에 삽입된 주반송핸드(30)의 손가락형상부(32)의 선단에 배치된 한쌍의 기판가이드(35)의 배치에 정합되어 있다. 한편, 제2 단면(42)을 따라 배치된 3개 중 중앙의 1개의 세정액노즐(52)는 핸드처리공간(43)에 삽입된 주반송핸드(30)의 기단부(33)에 배치된 기판가이드(35)의 배치에 정합되어 있다. 또한, 제2 단면(42)을 따라 배치된 3개 중 양단의 2개의 세정액노즐(51)은 핸드처리공간(43)에 삽입된 인덱서핸드(20)의 손가락형상부(22)의 선단에 배치된 한쌍의 기판가이드(25)의 배치에 정합되어 있다. 즉, 3개의 세정액노즐(51)의 배치는 인덱서핸드(20)의 기판가이드(25)의 배치에 정합되어 있고, 그러한 기판가이드(25)를 향하여 세정액을 토출하도록 구성되어 있다. 마찬가지로, 3개의 세정액노즐(52)의 배치는 주반송핸드(30)의 기판가이드(35)의 배치에 정합되어 있고, 그러한 기판가이드(35)를 향하여 세정액을 토출하도록 구성되어 있다.
건조촉진제노즐(53, 54), 불활성가스노즐(55, 56), 및 자외선 램프(57, 58)의 배치도, 세정액노즐(51, 52)의 배치와 같다. 즉, 3개의 건조촉진제노즐(53)의 배치는 인덱서핸드(20)의 기판가이드(25)의 배치에 정합되어 있고, 그러한 기판가이드(25)를 향하여 건조촉진제를 토출하도록 구성되어 있다. 나머지의 3개의 건조촉진제노즐(54)의 배치는 주반송핸드(30)의 기판가이드(35)의 배치에 정합되어 있고, 그러한 기판가이드(35)를 향하여 건조촉진제를 토출하도록 구성되어 있다.
또한, 3개의 불활성가스노즐(55)의 배치는 인덱서핸드(20)의 기판가이드(25)의 배치에 정합되어 있고, 그러한 기판가이드(25)를 향하여 불활성 가스를 토출하도록 구성되어 있다. 나머지의 3개의 불활성가스노즐(56)의 배치는 주반송핸드(30)의 기판가이드(35)의 배치에 정합되어 있고, 그러한 기판가이드(35)를 향하여 불활성 가스를 토출하도록 구성되어 있다. 그리고, 3개의 자외선램프(57)의 배치는 인덱서핸드(20)의 기판가이드(25)의 배치에 정합되어 있고, 그러한 기판가이드(25)를 향하여 자외선을 조사하도록 구성되어 있다. 나머지의 3개의 자외선램프(58)의 배치는 주반송핸드(30)의 기판가이드(35)의 배치에 정합되어 있고, 그러한 기판가이드(35)를 향하여 자외선을 조사하도록 구성되어 있다.
세정액의 예는 순수(탈이온수), 온(溫)순수(상온보다 고온의 순수), 탄산수 등이다. 예상되는 오염물의 종류에 따라서는, 약액을 병용하여도 좋다. 건조촉진제의 예는 IPA(이소프로필알콜)로 대표되는 알콜류이며, 특히, 휘발성의 액체이다.불활성 가스의 예는 청정한 건조공기, 질소가스 등이다. 자외선은 핸드(20, 30)(특히, 기판가이드(25, 35))에 부착된 유기물 오염을 분해하기 위하여 사용된다.
세정액노즐(51, 52)에는, 세정액공급원(71)으로부터, 세정액공급로(72)를 통하여 세정액이 공급되도록 되어 있다. 세정액공급로(72)에는, 세정액밸브(73)가 개재 장착되어있다. 세정액밸브(73)를 개폐함으로써, 세정액노즐(51, 52)로부터의 세정액의 토출/정지를 행할 수 있다. 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)에 각각 대응하는 세정액노즐(51, 52)에 대한 세정액공급로를 별개 계통으로 하고, 그들에 대하여 개별적으로 세정액밸브(73)를 설치하여, 세정액노즐(51, 52)로부터의 세정액의 토출/정지를 개별적으로 행할 수 있도록 하여도 좋다.
세정액노즐(51, 52)은 세정액의 연속류(連續流)를 막대 모양으로 토출하는 스트레이트(straight) 노즐이어도 좋고, 세정액을 샤워 형상으로 토출하는 샤워노즐이어도 좋다. 또한, 세정액공급로(72)에 초음파진동유닛(74)(도 2a 및 도 2b에 2점쇄선으로 나타냄)을 배치하여, 세정액공급로(72)를 유통하는 세정액에 초음파 진동을 부여하고, 이 초음파 진동이 부여된 세정액을 세정액노즐(51, 52)로부터 토출하도록 하여도 좋다. 세정액노즐(51, 52)로서, 초음파 진동자를 조립한 초음파 노즐을 사용하여도 같은 작용 효과가 얻어진다.
건조촉진제노즐(53, 54)에는, 건조촉진제공급원(75)으로부터, 건조촉진제공급로(76)를 통하여 건조촉진제가 공급되도록 되어 있다. 건조촉진제공급로(76)에는, 건조촉진제밸브(77)가 개재되어 있다. 건조촉진제밸브(77)를 개폐함으로써, 건조촉진제노즐(53, 54)로부터의 건조촉진제의 토출/정지를 행할 수 있다. 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)에 각각 대응하는 건조촉진제노즐(53, 54)에 대한 건조촉진제공급로를 별개 계통으로 하고, 그들에 대하여 개별적으로 건조촉진제밸브(77)를 설치하여, 건조촉진제노즐(53, 54)로부터의 건조촉진제의 토출/정지를 개별적으로 행할 수 있도록 하여도 좋다.
불활성가스노즐(55, 56)에는, 불활성가스공급원(79)으로부터, 불활성가스공급로(80)를 통하여 불활성 가스가 공급되도록 되어 있다. 불활성가스공급로(80)에는, 불활성가스밸브(81)가 개재 장착되어 있다. 불활성가스밸브(81)를 개폐함으로써, 불활성가스노즐(55, 56)로부터의 불활성 가스의 토출/정지를 행할 수 있다. 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)에 각각 대응하는 불활성가스노즐(55, 56)에 대한 불활성 가스 공급로를 별개 계통으로 하고, 그들에 대하여 개별적으로 불활성가스밸브(81)를 설치하여, 불활성가스노즐(55, 56)로부터의 불활성 가스의 토출/정지를 개별적으로 행할 수 있도록 하여도 좋다.
불활성가스노즐(55, 56)은 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)에 대하여 수직한 방향으로부터 기판가이드(25) 또는 기판가이드(35)를 향하여 불활성 가스를 토출하도록 배치되어도 좋다. 또한, 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)에 대하여 경사지는 방향으로부터 기판가이드(25) 또는 기판가이드(35)를 향하여 불활성 가스를 토출하도록 배치되어도 좋다.
자외선램프(57, 58)에는, 도시하지 않는 전원선으로부터 전력이 공급되어 있다. 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)에 각각 대응하는 자외선램프(57, 58)는 공통으로 점등/소등되도록 되어 있어도 좋고, 개별적으로 점등/소등되도록 회로 배선이 구성되어 있어도 좋다.
하우징(40)의 저면에는, 배액관(83) 및 배기관(84)이 결합되어 있다. 배액관(83)은 예를 들면, 공장의 배액설비에 접속되어 있다. 배기관(84)은 예를 들면, 공장의 배기설비에 접속되어 있다. 따라서, 핸드처리공간(43) 내에서 토출된 세정액 등은 배액관(83)을 통하여 배액된다. 또한, 핸드처리공간(43) 내의 분위기는 배기관(84)을 통하여 배기된다. 따라서, 핸드처리공간(43) 내의 분위기가 하우징(40) 바깥으로 유출되는 것을 억제 또는 방지할 수 있기 때문에, 핸드(20, 30)의 세정의 영향이 기판에 미치는 것을 억제 또는 회피할 수 있다.
도 3은 상기 기판처리장치의 전기적 구성을 설명하기 위한 블럭도이다. 기판처리장치는 장치의 각 부(部)를 제어하기 위한 제어장치(18)를 구비하고 있다. 제어장치(18)는 처리유닛(6), 인덱서로봇(11)(특히, 핸드구동기구(21)), 주반송로봇(12)(특히, 핸드구동기구(31)), 핸드세정유닛(15) 등의 동작을 제어한다. 핸드세정유닛(15)에 관하여, 제어장치(18)는 제1 및 제2 셔터기구(47, 48)(특히, 셔터구동기구(473), 483)의 동작, 밸브(73, 77, 81)의 개폐, 및 자외선램프(58)의 온/오프를 제어하여, 핸드세정공정을 실행하도록 구성(프로그램)되어 있다.
핸드세정공정은 예를 들면, 세정액노즐(51, 52)로부터 세정액을 공급하여 핸드(20, 30)(특히, 기판가이드(25, 35))를 세정하는 세정공정, 그 후에 건조촉진제노즐(53)로부터 건조촉진제를 공급하여 세정액을 건조촉진 별로 치환하는 건조촉진공정, 그 후에 불활성 가스를 공급함으로써 핸드(20, 30)(특히, 기판가이드(25, 35))를 건조시키는 건조공정, 및 자외선램프(57, 58)로부터 자외선을 조사하여 핸드(20, 30)(특히, 기판가이드(25, 35))에 부착된 유기물 오염을 분해하는 자외선조사공정을 포함한다. 다만, 오염의 종류에 따라서는, 자외선조사공정은 생략하여도 좋다. 이와 같이 하여, 핸드처리공간(43) 내에서, 핸드(20, 30)의 오염을 없애, 핸드(20, 30)를 더 건조시킬 수 있다.
보다 상세하게 설명하면, 인덱서핸드(20)를 세정할 때, 제어장치(18)는 인덱서로봇(11)의 핸드구동기구(21)를 제어하여, 인덱서핸드(20)를 핸드세정유닛(15)의 제1 단면(41)에 대향시킨다. 또한, 제어장치(18)는 제1 셔터기구(47)의 셔터구동기구(473)를 구동하여 가동셔터판(472)을 열림 위치로 이동시켜, 제1 핸드수용구(45)를 개구시킨다. 그 상태에서, 제어장치(18)는 핸드구동기구(21)를 제어하여, 인덱서핸드(20)를 제1 핸드수용구(45)를 통하여, 핸드처리공간(43) 내의 핸드세정위치까지 진입시킨다. 핸드세정위치란, 인덱서핸드(20)의 모든 기판가이드(25)가 핸드처리공간(43) 내에 위치하여, 그러한 기판가이드(25)가 세정액노즐(51), 건조촉진제노즐(53), 불활성가스노즐(55) 및 자외선램프(57)의 배치와 정합되어, 그들에 의한 처리를 받을 수 있는 위치이다. 이 상태에서, 제어장치(18)는 전술한 핸드세정공정을 실행한다. 이에 의해, 인덱서핸드(20)의 세정 및 건조가 실행된다. 핸드세정공정이 종료되면, 제어장치(18)는 인덱서로봇(11)의 핸드구동기구(21)를 제어하여, 인덱서핸드(20)를 후퇴시키고, 제1 핸드수용구(45)를 통하여, 핸드처리공간(43)으로부터 퇴피시킨다. 그 후, 제어장치(18)는 제1 셔터기구(47)의 셔터구동기구(473)를 구동하여 가동셔터판(472)을 닫힘 위치로 이동시켜, 제1 핸드수용구(45)를 폐색한다.
또한, 핸드세정공정의 실행 중에, 제어장치(18)는 핸드구동기구(21)를 제어하여, 인덱서핸드(20)를 핸드세정유닛(15) 내에 진입시키는 방향과 핸드세정유닛(15) 내로부터 후퇴시키는 방향 사이로 왕복 이동시켜, 핸드처리공간(43)에서의 인덱서핸드(20)의 배치 위치를 어긋나게 하여도 좋다. 이에 의해, 각 세정액노즐(51)로부터 공급되는 세정액, 각 건조촉진제노즐(53)로부터 공급되는 건조촉진제, 각 불활성가스노즐(55)로부터 공급되는 불활성 가스, 및 각 자외선램프(57)로부터 조사되는 자외선을, 인덱서핸드(20)(특히, 기판가이드(25))에 대하여, 보다 균일하게 공급할 수 있다.
또한, 전술한 바와 같이, 핸드세정공정이 종료된 후에, 인덱서핸드(20)를 핸드처리공간(43)으로부터 퇴피시켜도 좋고, 핸드세정공정 중 건조공정은 인덱서핸드(20)를 핸드처리공간(43)으로부터 퇴피시킴과 동시에 행하게 하여도 좋다. 이 때, 인덱서핸드(20)가 퇴피하는 방향의 역방향을 향하여 인덱서핸드(20)에 대하여 경사지게 불활성 가스가 토출되면, 인덱서핸드(20)에 부착되어 있는 액체가 효율적으로 제거된다.
마찬가지로, 주반송핸드(30)를 세정할 때, 제어장치(18)는 주반송로봇(12)의 핸드구동기구(31)를 제어하여, 주반송핸드(30)를 핸드세정유닛(15)의 제2 단면(42)에 대향시킨다. 또한, 제어장치(18)는 제2 셔터기구(48)의 셔터구동기구(483)를 구동하여 가동셔터판(482)을 열림 위치로 이동시켜, 제2 핸드수용구(46)를 개구시킨다. 그 상태에서, 제어장치(18)는 핸드구동기구(31)를 제어하여, 주반송핸드(30)를 제2 핸드수용구(46)를 통하여, 핸드처리공간(43) 내의 핸드세정위치까지 진입시킨다. 핸드세정위치란, 주반송핸드(30)의 모든 기판가이드(35)가 핸드처리공간(43) 내에 위치하여, 그러한 기판가이드(35)가 세정액노즐(52), 건조촉진제노즐(54), 불활성가스노즐(56) 및 자외선램프(58)의 배치와 정합되어, 그들에 의한 처리를 받을 수 있는 위치이다. 이 상태에서, 제어장치(18)는 전술한 핸드세정공정을 실행한다. 이에 의해, 주반송핸드(30)의 세정 및 건조가 실행된다. 핸드세정공정이 종료되면, 제어장치(18)는 주반송로봇(12)의 핸드구동기구(31)를 제어하여, 주반송핸드(30)를 후퇴시켜, 제2 핸드수용구(46)을 통하여, 핸드처리공간(43)으로부터 퇴피시킨다. 그 후, 제어장치(18)는 제2 셔터기구(48)의 셔터구동기구(483)를 구동하여 가동셔터판(482)을 닫힘 위치로 이동시켜, 제2 핸드수용구(46)을 폐색한다.
또한, 핸드세정공정의 실행 중에, 제어장치(18)는 핸드구동기구(31)를 제어하여, 주반송핸드(30)를 핸드세정유닛(15) 내에 진입시키는 방향과 핸드세정유닛(15) 내로부터 후퇴시키는 방향 사이로 왕복 이동시켜, 핸드처리공간(43)에서의 주반송핸드(30)의 배치 위치를 어긋나게 하여도 좋다. 이에 의해, 각 세정액노즐(52)로부터 공급되는 세정액, 각 건조촉진제노즐(54)로부터 공급되는 건조촉진제, 각 불활성가스노즐(56)로부터 공급되는 불활성 가스, 및 각 자외선램프(58)로부터 조사되는 자외선을, 주반송핸드(30)(특히, 기판가이드(35))에 대하여, 보다 균일하게 공급할 수 있다.
또한, 전술한 바와 같이 핸드세정공정이 종료된 후에, 주반송핸드(30)를 핸드처리공간(43)으로부터 퇴피시켜도 좋고, 핸드세정공정 중 건조공정은 주반송핸드(30)를 핸드처리공간(43)으로부터 퇴피시킴과 동시에 행하게 하여도 좋다. 이 때, 주반송핸드(30)가 퇴피하는 방향의 역방향을 향하여 주반송핸드(30)에 대하여 경사지게 불활성 가스가 토출되면, 주반송핸드(30)에 부착되어 있는 액체가 효율적으로 제거된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 의하면, 인덱서로봇(11) 및 주반송로봇(12)의 사이에서 기판을 주고받기 위한 주고받기유닛(9)의 위쪽에, 핸드세정유닛(15)이 배치되어 있다. 따라서, 주고받기유닛(9)과 핸드세정유닛(15)이 입체적으로 배치되어 있으므로, 기판처리장치의 점유 면적(풋프린트)을 증가시킴이 없이 핸드세정유닛(15)을 배치할 수 있어, 이 핸드세정유닛(15)에 의해, 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)를 세정할 수 있다. 따라서, 기판처리장치의 점유 면적을 증가시킴이 없이 반송 불량을 억제 또는 방지할 수 있어, 신뢰성이 높은 기판 처리가 가능하게 된다.
또한, 처리유닛(6)은 3층으로 적층되어 입체적으로 배치되어 있기 때문에, 반송로(8) 내에서 주고받기유닛(9)의 위쪽 또는 아래쪽에는, 비교적 큰 공간을 확보하기 쉽다. 따라서, 핸드세정유닛(15)을 용이하게 반송로(8) 내에 배치할 수 있다.
또한, 핸드세정유닛(15)은 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)를 수용하여 처리하기 위한 핸드처리공간(43)을 구획하는 하우징(40)을 구비하고 있다. 그리고, 제1 및 제2 셔터기구(47, 48)에 의해 제1 및 제2 핸드수용구(45, 46)를 개폐할 수 있도록 되어 있다. 그 때문에, 핸드처리공간(43)은 실질적으로 폐(閉)공간으로 되어 있어, 이 폐공간 내에서 핸드(20, 30)를 세정할 수 있다. 이에 의해, 핸드 세정을 위한 처리의 영향이 기판에 미치는 것을 회피할 수 있다. 또한, 핸드 세정을 행하지 않는 기간은 핸드수용구(45, 46)를 폐색할 수 있기 때문에, 핸드처리공간(43) 내의 분위기의 누설을 억제 또는 방지할 수 있다. 이에 의해, 핸드 세정 처리의 영향이 기판에 미치는 것을 더 효과적으로 회피할 수 있다.
또한, 핸드세정유닛(15)은 인덱서로봇(11)으로 향해진 제1 핸드수용구(45)와, 주반송로봇(12)으로 향해진 제2 핸드수용구(46)를 갖고 있다. 이에 의해, 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)를 공통의 핸드세정유닛(15)에 의해 세정할 수 있다. 이에 의해, 기판처리장치 내의 공간을 더 효율적으로 이용하여, 핸드세척기능을 추가할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 세정액노즐(51, 52), 건조촉진제노즐(53, 54), 불활성가스노즐(55, 56), 및 자외선램프(57, 58)의 배치가 기판가이드(25, 35)의 배치와 정합되어 있다. 이에 의해, 오염이 축적되기 쉬운 기판가이드(25, 35)를 효율적으로 세정할 수 있고, 또한 그 건조 처리도 단시간에 행할 수 있다.
또한, 건조촉진제노즐(53, 54)로부터 건조촉진제를 공급함으로써, 핸드(20, 30)의 건조를 단시간에 행할 수 있기 때문에, 세정액에 의한 핸드의 세정 후, 신속하게 핸드(20, 30)를 건조시킬 수 있다. 이에 의해, 핸드 세정 후, 기판 유지를 위하여 핸드를 사용할 수 있을 때까지의 시간을 단축할 수 있기 때문에, 핸드 세정의 기판 반송에의 영향을 최소한으로 억제할 수 있다.
또한, 자외선램프(57, 58)에 의한 자외선의 조사에 의해, 핸드 상의 이물질(특히, 유기물)을 분해하여 제거할 수 있기 때문에, 핸드(20, 30)를 더 효율적으로 세정할 수 있다.
인덱서핸드(20) 및/또는 주반송핸드(30)의 세정을 실행하는 타이밍을 예시하면 다음과 같다. 이들 중 하나 또는 복수의 타이밍을 조합하여, 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)의 세정 타이밍을 결정하여도 좋다.
(1) 로트(lot)의 구획：하나의 로트를 구성하는 복수매(예를 들면, 25매)의 기판을 처리한 후에, 또는 그 처리 전에, 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)의 세정을 실행하여도 좋다. 또한, 미리 정하는 복수의 로트를 처리한 후, 또는 그 처리 전에 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)의 세정을 실행하여도 좋다.
(2) 미리 정하는 매수의 기판을 반송 또는 처리한 후：다수매의 기판을 반송하면, 기판가이드(25, 35)에 오염이 축적되어 가서, 반송 불량이 생길 우려가 있다. 그래서, 인덱서로봇(11) 및/또는 주반송로봇(12)이 반송한 기판의 매수나, 그 기판처리장치로 처리한 기판의 매수를 계수(計數)하고, 그 계수치가 소정값에 이르렀을 때에, 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)의 세정을 행하도록 하여도 좋다.
(3) 1매의 기판을 반송한 후：인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)를, 7매의 기판을 반송할 때마다 세정하여도 좋다.
(4) 기판 처리의 종류의 구획：제1 종류의 기판 처리공정을 1매 또는 복수매의 기판에 대하여 실행하고, 다음으로 제1 종류와는 다른 제2 종류의 기판 처리를 다른 1매 또는 복수매의 기판에 대하여 실행하는 경우에, 상기 제2 종류의 기판 처리를 시작시하기 전에, 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)의 세정을 실행하여도 좋다.
(5) 반송 대기 기간 중：예를 들면, 모든 처리유닛(6)으로 기판의 처리가 진행 중일 때는, 인덱서로봇(11) 및/또는 주반송로봇(12)이 기판을 반송할 수 없는 반송 대기 기간이 생기는 경우가 있다. 또한, 모든 처리유닛(6)으로 기판 처리가 진행 중이 아니어도, 반송 대기 기간이 생기는 경우가 있다. 예를 들면, 제1 처리유닛(6)으로 처리된 기판을 제2의 처리유닛(6)으로 반송하여 다른 처리를 행하는 경우(소위, 이동 처리의 경우)에는, 제2의 처리유닛(6)이 기판 처리 중이 아니어도, 제1 처리유닛(6)으로의 기판의 처리가 종료되지 않으면, 그 기판을 제2의 처리유닛(6)으로 반송할 수 없기 때문에, 반송 대기 기간이 생길 가능성이 있다. 이러한 반송 대기 기간 중에 인덱서핸드(20) 및/또는 주반송핸드(30)의 세정을 실행하여도 좋다.
(6) 기판처리장치의 가동 시작시 또는 가동 종료시：가동 시작시란, 기판처리장치에 전원이 투입되어 운전을 시작할 때이다. 가동 종료시란, 기판처리장치의 전원이 차단되어 운전을 끝낼 때이다.
또한, 도 1b에 가상선으로 나타내는 바와 같이, 핸드세정유닛(15)은 2개 이상 설치하여도 좋다. 예를 들면, 2개의 핸드세정유닛(15)을 설치하는 경우에, 이 2개의 핸드세정유닛(15)은 모두 주고받기유닛(9)의 위쪽에 배치되어도 좋고, 모두 아래쪽에 배치되어도 좋고, 위쪽 및 아래쪽에 배분하여 배치되어도 좋다. 도 1b에는, 상하에 배분하여 배치하는 예를 나타냈다. 2개 이상의 핸드세정유닛(15)을 설치함으로써, 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)의 세정 기간을 중복시킬 수 있다. 즉, 인덱서로봇(11) 및 주반송로봇(12)은 핸드 세정의 타이밍을 늦출 필요가 없고, 따라서, 그 타이밍 조정의 필요도 없어진다. 따라서, 기판 반송에 대한 영향을 억제하면서, 핸드(20, 30)의 세정을 실시할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제2의 실시형태에 의한 기판처리장치의 도해적인 종단면도이다. 이 도 4에 있어서, 전술한 도 1b에 나타난 각 부에 대응하는 부분은 동일 참조부호로 나타낸다. 본 실시형태에서는, 주고받기유닛(9)의 위쪽에 제1 핸드세정유닛(151)이 배치되고, 주고받기유닛(9)의 아래쪽에 제2 핸드세정유닛(152)이 배치되어 있다. 제1 핸드세정유닛(151)은 인덱서핸드(20)를 세정하기 위한 세정유닛이다. 제2 핸드세정유닛(152)은 주반송핸드(30)를 세정하기 위한 세정유닛이다. 제1 핸드세정유닛(151)과 제2 핸드세정유닛(152)의 상하 관계를 반대로 하여, 제1 핸드세정유닛(151)을 주고받기유닛(9)의 아래쪽에 배치하고, 제2 핸드세정유닛(152)을 주고받기유닛(9)의 위쪽에 배치하여도 좋다.
도 5는 제1 핸드세정유닛(151)의 구성을 설명하기 위한 도해적인 사시도이다. 도 5에 있어서, 전술한 도 2a에 나타난 각 부에 대응하는 부분에는, 동일 참조부호를 붙여서 나타낸다. 제1 핸드세정유닛(151)은 제1 실시형태에서의 핸드세정유닛(15)으로부터, 주반송핸드(30)의 세정을 위한 구성을 생략하고, 인덱서핸드(20)의 세정을 위한 구성만을 남긴 것이다. 구체적으로는, 제1 핸드세정유닛(151)에 있어서는, 핸드세정유닛(15)과 비교하면, 제2 셔터기구(48), 세정액노즐(52), 건조촉진제노즐(54), 불활성가스노즐(56), 자외선램프(58)가 생략되어 있다. 그 밖의 구성은 핸드세정유닛(15)과 같다. 즉, 제1 핸드세정유닛(151)은 인덱서로봇(11)에 대향하는 제1 단면(41)에, 제1 핸드수용구(45)를 개폐하는 제1 셔터기구(47)를 갖고 있다. 또한, 핸드처리공간(43) 내에는, 인덱서핸드(20)의 기판가이드(25)와 정합되는 위치에, 세정액노즐(51), 건조촉진제노즐(53), 불활성가스노즐(55) 및 자외선램프(57)가 배치되어 있다.
도 6은 제2 핸드세정유닛(152)의 구성을 설명하기 위한 도해적인 사시도이다. 도 6에 있어서, 전술한 도 2b에 나타난 각 부에 대응하는 부분에는, 동일 참조부호를 붙여서 나타낸다. 제2 핸드세정유닛(152)은 제1 실시형태에서의 핸드세정유닛(15)으로부터, 인덱서핸드(20)의 세정을 위한 구성을 생략하고, 주반송핸드(30)의 세정을 위한 구성만을 남긴 것이다. 구체적으로는, 제2 핸드세정유닛(152)에 있어서는, 핸드세정유닛(15)과 비교하면, 제1 셔터기구(47), 세정액노즐(51), 건조촉진제노즐(53), 불활성가스노즐(55), 자외선램프(57)이 생략되어 있다. 그 밖의 구성은 핸드세정유닛(15)과 같다. 즉, 제2 핸드세정유닛(152)은 주반송로봇(12)에 대향하는 제2 단면(42)에, 제2 핸드수용구(46)를 개폐하는 제2 셔터기구(48)를 갖고 있다. 또한, 핸드처리공간(43) 내에는, 주반송핸드(30)의 기판가이드(35)와 정합되는 위치에, 세정액노즐(52), 건조촉진제노즐(54), 불활성가스노즐(56) 및 자외선램프(58)가 배치되어 있다.
이러한 구성에 의해, 인덱서핸드(20)를 제1 핸드세정유닛(151)에 의해 세정할 수 있고, 주반송핸드(30)를 제2 핸드세정유닛(152)에 의해 세정할 수 있다. 그리고, 이러한 제1 및 제2 핸드세정유닛(151, 152)은 주고받기유닛(9)의 위쪽 및 아래쪽에서 반송로(8) 내에 배치되어 있다. 즉, 평면에서 보아, 제1 및 제2 핸드세정유닛(151, 152)은 적어도 일부가 주고받기유닛(9)과 겹쳐 있다. 그 때문에, 기판처리장치의 점유 면적(풋프린트)을 증가시킴이 없이 핸드세정기능을 추가할 수 있어, 기판 반송 불량을 억제 또는 방지할 수 있다.
도 7은 상기 제2 실시형태의 변형예를 나타내는 도해적인 종단면도이다. 이 변형예에서는, 제1 및 제2 핸드세정유닛(151, 152)의 양쪽 모두가 주고받기유닛(9)의 위쪽에 배치되어 있다. 도 7에서는, 제1 핸드세정유닛(151)이 제2 핸드세정유닛(152)보다 위쪽에 배치되어 있지만, 이것의 상하 관계를 반전하여도 좋다.
도 8은 상기 제2 실시형태의 다른 변형예를 나타내는 도해적인 종단면도이다. 이 변형예에서는, 제1 및 제2 핸드세정유닛(151, 152)의 양쪽 모두가 주고받기유닛(9)의 아래쪽에 배치되어 있다. 도 8에서는, 제1 핸드세정유닛(151)이 제2 핸드 세정유닛(152) 보다 위쪽에 배치되어 있지만, 이것의 상하 관계를 반전하여도 좋다.
도 9a는 본 발명의 제3의 실시형태에 의한 기판처리장치의 내부의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이며, 도 9b는 그 도해적인 종단면도이다. 도 9a 및 도 9b에 있어서, 전술한 도 1a, 도 1b 및 도 4에 나타난 각 부에 대응하는 부분은 동일 참조부호로 나타낸다. 본 실시형태에서는, 인덱서로봇(11)과 주반송로봇(12) 사이의 기판 주고받기를 위하여, 셔틀반송기구(10)가 사용되어 있다. 셔틀반송기구(10)는 반송로(8)에 배치되어 있고, 인덱서로봇(11)에 가까운 제1 기판주고받기위치(P1)와 주반송로봇(12)에 가까운 제2 기판주고받기위치(P2) 사이에서 왕복하여, 기판을 반송한다. 즉, 인덱서로봇(11)은 제1 기판주고받기위치(P1)에 있어서, 셔틀반송기구(10)에 미처리의 기판을 주고 받는다. 셔틀반송기구(10)는 받은 미처리 기판을 제2 기판주고받기위치(P2)까지 반송한다. 주반송로봇(12)은 제2 기판주고받기위치(P2)에서 셔틀반송기구(10)로부터 미처리 기판을 받는다. 또한, 주반송로봇(12)은 제2 기판주고받기위치(P2)에 있어서, 처리가 끝난 기판을 셔틀반송기구(10)에 건넨다. 셔틀반송기구(10)는 그 미처리 기판을 제1 기판주고받기위치(P1)까지 반송한다. 인덱서로봇(11)은 제1 기판주고받기위치(P1)에 있어서, 처리가 끝난 기판을 셔틀반송기구(10)로부터 받는다. 이와 같이 하여, 인덱서로봇(11) 및 주반송로봇(12) 사이의 기판 주고받기가 셔틀반송기구(10)에 의해 중개된다. 이러한 구성은 인덱서로봇(11) 및 주반송로봇(12) 사이의 간격이 넓고, 그들이 평면에서 보아 같은 위치(기판주고받기위치)에 액세스할 수 없을 때에 채용된다. 보다 구체적인 예는 인덱서로봇(11) 및/또는 주반송로봇(12)의 핸드 진퇴 거리가 짧고, 인덱서핸드(20)의 이동 범위와 주반송핸드(30)의 이동 범위에 중복 부분이 없는 경우이다.
인덱서핸드(20)를 위한 제1 핸드세정유닛(151)은 제1 기판주고받기위치(P1)에 있어서, 셔틀반송기구(10)의 위쪽에 배치되어 있다. 또한, 주반송핸드(30)를 위한 제2 핸드세정유닛(152)은 제2 기판주고받기위치(P2)에 있어서, 셔틀반송기구(10)의 위쪽에 배치되어 있다. 즉, 평면에서 보아 셔틀반송기구(10)가 이동하는 범위(기판주고받기장소)와 적어도 일부가 중복하도록 제1 및 제2 핸드세정유닛(151, 152)이 반송로(8) 내에 배치되어 있다. 이에 의해, 기판처리장치의 점유 면적을 크게 함이 없이, 핸드(20, 30)의 세정을 위한 구성을 추가하여, 반송 불량을 저감할 수 있다.
도 9b에서 가상선으로 나타내는 바와 같이, 제1 핸드세정유닛(151)은 제1 기판주고받기위치(P1)에 있어서 셔틀반송기구(10)의 아래쪽에 배치되어도 좋다. 마찬가지로, 제2 핸드세정유닛(152)은 제2 기판주고받기위치(P2)에 있어서 셔틀반송기구(10)의 아래쪽에 배치되어도 좋다. 보다 구체적으로는, 제1 및 제2 핸드세정유닛(151, 152)은 모두, 셔틀반송기구(10)의 반송경로의 아래쪽에 배치되어도 좋다. 또한, 제1 및 제2 핸드세정유닛(151, 152)의 한쪽을 셔틀반송기구(10)의 반송경로의 위쪽에 배치하는 한편, 그들 중 한쪽을 셔틀반송기구(10)의 반송경로의 아래쪽에 배치하여도 좋다.
도 10a는 본 발명의 제4의 실시형태에 의한 기판처리장치의 내부의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이며, 도 10b는 그 도해적인 측면도이다. 도 10a 및 10b에서, 도 1a에 나타난 각 부의 대응 부분은 동일 참조부호로 나타낸다. 이 기판처리장치는, 프로세스 섹션(2)은 평면에서 보아 병설된 2개의 처리유닛군(63, 64)을 구비하고 있다. 이러한 2개의 처리유닛군(63, 64)과 인덱서 섹션(1) 사이에, 주반송로봇(12)이 배치되어 있다. 다만, 도 10b에서는, 주반송로봇(10)을 나타내기 위하여 처리유닛군(64)의 도시를 생략하여 있다. 인덱서로봇(11) 및 주반송로봇(12) 사이의 기판 주고받기를 위한 주고받기유닛(9)은 하나의 처리유닛군(64)과 인덱서 섹션(1) 사이에 배치되어 있다. 즉, 전술한 실시형태에서는, 주고받기유닛(9)을 통하여 행해지는 인덱서로봇(11) 및 주반송로봇(12) 사이의 기판 주고받기가 평면에서 보아 직선 형상의 경로를 따라 행해짐에 대하여, 본 실시형태에서는, 주고받기유닛(9)을 통하여 행해지는 인덱서로봇(11) 및 주반송로봇(12) 사이의 기판 주고받기가 평면에서 보아 굴곡진 경로를 따라 행하여지도록 되어 있다.
본 실시형태에서는, 주고받기유닛(9)의 위쪽에 인덱서핸드(20)를 위한 제1 핸드세정유닛(151)이 배치되며, 주고받기유닛(9)의 아래쪽에 주반송핸드(30)를 위한 제2 핸드세정유닛(152)이 배치되어 있다(모두 도 10a에서 가상선으로 나타냄). 즉, 평면에서 보아, 주고받기유닛(9)과 적어도 일부가 중복하도록 제1 및 제2 핸드세정유닛(151, 152)이 배치되어 있다. 이에 의해, 기판처리장치의 점유 면적(풋프린트)을 증가함이 없이, 핸드(20, 30)의 세정을 위한 구성을 설치하여, 기판 반송의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
제1 핸드세정유닛(151)은 핸드수용구를 인덱서로봇(11)으로 향하여 배치되어 있다. 마찬가지로, 제2 핸드세정유닛(152)은 핸드수용구를 주반송로봇(12)으로 향하여 배치되어 있다.
제1 핸드세정유닛(151)과 제2 핸드세정유닛(152)의 상하 관계를 반대로 하여, 제1 핸드세정유닛(151)을 주고받기유닛(9)의 아래쪽에 배치하고, 제2 핸드세정유닛(152)을 주고받기유닛(9)의 위쪽에 배치하여도 좋다. 또한, 주고받기유닛(9)의 위쪽에, 제1 및 제2 핸드세정유닛(151, 152)의 양쪽 모두를 배치하여도 좋고, 주고받기유닛(9)의 아래쪽에 제1 및 제2 핸드세정유닛(151, 152)의 양쪽 모두를 배치하여도 좋다. 이 경우, 제1 및 제2 핸드세정유닛(151, 152)은 어느 하나가 위쪽에 배치되어도 좋다.
또한, 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)의 양쪽을 수용하여 그러한 세정을 행할 수 있는 핸드세정유닛을 주고받기유닛(9)의 위쪽 또는 아래쪽에 1개 또는 2개 설치하여도 좋고, 이러한 핸드세정유닛을 주고받기유닛(9)의 위쪽 및 아래쪽의 양쪽 모두에 1개씩 설치하여도 좋다. 이러한 핸드세정유닛은 제1 실시형태에서의 핸드세정유닛(15)과 유사한 구성을 갖는다. 다만, 인덱서핸드(20)의 액세스 방향과 주반송핸드(30)의 액세스 방향이 평면에서 보아 일직선상이 아니므로, 그에 따라, 2개의 핸드수용구의 방향을 인덱서로봇(11) 및 주반송로봇(12)으로 향할 필요가 있다.
이상, 본 발명의 실시형태에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 또 다른 형태로 실시할 수도 있다. 예를 들면, 전술한 실시형태에서는, 인덱서로봇과 주반송로봇 사이에서 기판 반송을 하는 기판처리장치에 대하여 본원발명을 적용한 예를 나타냈다. 그러나, 예를 들면, 복수의 프로세스 섹션을 갖고, 그들이 각각 주반송로봇을 갖는 기판처리장치에 있어서, 주반송로봇끼리의 기판주고받기를 위한 기판주고받기장소의 위쪽 및/또는 아래쪽에 핸드세정유닛을 배치하여도 좋다.
또한, 1개의 핸드수용구를 갖는 핸드세정유닛을 1개만 설치하고, 그 1개의 핸드수용구로부터 인덱서핸드(20) 및 주반송핸드(30)를 다른 타이밍으로 수용하여, 그들을 다른 기간에 세정하는 것으로 하여도 좋다. 이 경우, 핸드세정유닛의 핸드수용구를 인덱서로봇(11) 또는 주반송로봇(12)으로 향하도록 핸드세정유닛을 연직축선 둘레로 회전시키는 유닛회전기구를 설치하는 것이 바람직하다.
또한, 전술한 실시형태에서는, 기판주고받기유닛의 위쪽 및/또는 아래쪽에 핸드세정유닛을 입체 배치한 예에 대하여 설명하였지만, 제1 및 제2 기판반송로봇의 핸드간의 기판 주고받기는 기판주고받기유닛을 통하지 않고, 직접 행하여져도 좋다. 이러한 경우에는, 기판의 직접 주고받기를 하는 기판주고받기장소의 위쪽 및/또는 아래쪽에 있어서, 핸드의 액세스가 가능한 위치에 핸드세정유닛을 배치하면 좋다.
또한, 전술한 실시형태에서는, 핸드세정유닛이 세정액노즐, 건조촉진제노즐, 불활성가스노즐 및 자외선램프를 갖는 예를 설명하였지만, 핸드세정유닛은 반드시 이들 모두를 구비하고 있을 필요는 없다. 예를 들면, 핸드세정유닛은 세정액노즐만을 구비하고 있어도 좋고, 세정액노즐 및 불활성가스노즐만을 구비하고 있어도 좋고, 세정액노즐, 불활성가스노즐 및 자외선램프만을 구비하고 있어도 좋으며, 자외선램프만을 구비하고 있어도 좋다. 또한, 그 밖의 핸드세정유닛이 핸드세정유닛에 구비되어도 좋다.
본 발명의 실시형태에 대하여 상세히 설명하였지만, 이들은 본 발명의 기술적 내용을 분명히 하기 위하여 사용된 구체적인 예에 불과하고, 본 발명은 이러한 구체적인 예에 한정하여 해석되어야 하는 것은 아니며, 본 발명의 범위는 첨부한 청구범위에 의해서만 한정된다.
본 출원은 2011년 3월 18일에 일본특허청에 제출된 특허출원 2011－061479호에 대응하며, 이 출원의 전체 개시(開示)는 여기에 인용에 의하여 편입되는 것으로 한다.

Claims (5)

  1. 기판을 유지하는 제1 핸드를 갖는 제1 기판반송로봇과,
    기판을 유지하는 제2 핸드를 갖는 제2 기판반송로봇과,
    상기 제1 핸드를 수용하여 처리하기 위한 제1 핸드처리공간을 가지며, 상기 제1 핸드의 세정에 대응한 제1 핸드세정유닛과,
    상기 제2 핸드를 수용하여 처리하기 위한 제2 핸드처리공간을 가지며, 상기 제2 핸드의 세정에 대응한 제2 핸드세정유닛을 포함하고,
    상기 제1 핸드세정유닛과 상기 제2 핸드세정유닛이, 상기 제1 기판반송로봇과 제2 기판반송로봇이 액세스할 수 있는 위치에 배치되어 있는, 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 핸드세정유닛이, 상기 제1 핸드처리공간을 구획하는 제1 하우징을 포함하고,
    상기 제2 핸드세정유닛이, 상기 제2 핸드처리공간을 구획하는 제2 하우징을 포함하며,
    상기 제1 하우징에는, 핸드를 상기 제1 핸드처리공간으로 출입하기 위한 핸드수용구가 1개만 형성되어 있고,
    상기 제2 하우징에는, 핸드를 상기 제2 핸드처리공간으로 출입하기 위한 핸드수용구가 1개만 형성되어 있는, 기판처리장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 핸드세정유닛의 상기 핸드수용구는 상기 제1 기판반송로봇으로 향하여 배치되고, 상기 제2 핸드세정유닛의 상기 핸드수용구는 상기 제2 기판반송로봇으로 향하여 배치되어 있는, 기판처리장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 핸드세정유닛 및 상기 제2 핸드세정유닛이, 상기 제1 기판반송로봇 및 상기 제2 기판반송로봇에 의해 반송되는 기판의 반송로 내에 배치되며, 평면에서 보아 겹치도록 적층 배치되어 있는, 기판처리장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 핸드세정유닛과 상기 제2 핸드세정유닛이,
    상기 제1 기판반송로봇과 상기 제2 기판반송로봇 사이에서 평행 이동하기 위한 제3 기판반송로봇 위에 배치되어 있는, 기판처리장치.
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