KR101259929B1 - 부상 반송 방법 및 부상 반송 장치 - Google Patents

부상 반송 방법 및 부상 반송 장치 Download PDF

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Abstract

[과제] 벨트 형상물을 안정되게 반송할 수 있는 부상 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[해결수단] 제 1 횡이동 노즐(8)로부터 반송해야 할 벨트 형상물(30)의 하면에 기체를 분사해서 벨트 형상물(30)의 반송 방향과 직교하는 제 1 방향으로 벨트 형상물(30)을 이동시키는 제 1 기체 분사 공정과, 제 2 횡이동 노즐(9)로부터 벨트 형상물(30)의 하면에 기체를 분사해서 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 벨트 형상물(30)을 이동시키는 제 2 기체 분사 공정을 교대로 반복해서 벨트 형상물(30)을 반송한다.

Description

부상 반송 방법 및 부상 반송 장치{A CONVEYING METHOD USING FLOATING CONVEYOR AND AN APPARATUS FOR THE METHOD}
본 발명은 부상 반송 방법에 관한 것이다.
종래, 벨트 형상물(30)을 부상시킨 상태에서 반송하는 장치로서는 다음과 같은 것이 있다. 도 9 및 도 10에 의거하여 설명한다.
도 9는 종래의 부상 반송 장치(101)의 내부를 측면 방향으로부터 바라본 모식도이다. 종래의 부상 반송 장치(101)에 있어서, 중공 직육면체 형상의 하우징(102)에 벨트 형상물 반입용 입구(103)가, 입구(103)에 대향하는 위치에 벨트 형상물 반출용 출구(104)가 각각 설치되어 있다. 벨트 형상물(30)은 입구(103) 근방에 배치된 입구 롤(106) 및 출구(104) 부근에 배치된 출구 롤(107)에 의해 이동된다. 하우징(102)의 내부에는 벨트 형상물(30)을 주행시키는 반송로의 상측 및 하측에 각각 폭 방향으로 연장되는 가늘고 긴 형상의 에어 분출 노즐(108)이 설치되어 있다. 각 에어 분출 노즐(108)은 하우징(102)의 입구(103)로부터 출구(104)에 걸쳐 상하 교대로 설치되어 있다. 즉, 반송로의 상측에 있어서의 노즐군을 구성하는 1개의 에어 분출 노즐(108)과 다른 인접하는 에어 분출 노즐(108) 사이의 바로 아래에 반송로의 하측에 있어서의 노즐군의 일구성체로서 에어 분출 노즐(108)이 존재한다. 또한, 싱글 블로잉 노즐(single blowing nozzle)(110)이 하우징(102) 내부에 있어서 벨트 형상물(30)의 반송로 상측에 있어서의 길이 방향 중앙부에 설치되어 있다.
도 10은 도 9에 있어서의 종래의 부상 반송 장치(101)의 싱글 블로잉 노즐(110) 주변을 나타낸 모식도이다. 벨트 형상물(30)의 반송 방향은 지면의 좌측으로부터 우측이다. 에어 탱크(109)로부터 에어 분출 노즐(108) 내에 보내진 에어는 벨트 형상물(30)의 반송로측에서 개구되는 입구측 통기로(108a) 및 출구측 통기로(108b)에 각각 도입된다.
입구측 통기로(108a)에 도입된 에어는 점점 출구(104)의 방향(반송 방향)을 향해서 노즐 외부에 분사되고, 출구측 통기로(108b)에 도입된 에어는 점점 입구(103)의 방향(반송 방향과 역방향)을 향해서 분사된다. 이에 따라, 에어 분출 노즐(108)로부터 분사된 2방향의 에어는 서로 충돌하여 입구측 통기로(108a) 및 출구측 통기로(108b)를 갖는 면으로부터 수직인 방향으로 방향을 변경한다. 즉, 2방향의 에어가 에어 분출 노즐(108)로부터 분사된 후에 합류되어 반송되는 벨트 형상물(30)의 하면 또는 상면에 대해서 대략 직각으로 분사된다.
또한, 싱글 블로잉 노즐(110)의 에어 분출 슬릿(110a)으로부터 벨트 형상물(30)의 상면에 대해 벨트 형상물(30)의 반송 방향과 동일하거나 또는 대략 동일한 방향으로 폭 방향 좌우 양측부에 있어서 대략 균등하게 되도록 에어가 흘려진다. 또한, 정류판(110b)을 에어 분출 슬릿(110a)보다 하우징(102)의 출구(104)측의 위치에 설치하면 싱글 블로잉 노즐(110)이 떨어질 때에 있어서의 에어의 난류를 억제할 수 있다. 그 결과, 연속 주행하는 벨트 형상물(30)이 상하로 진동하는 것을 억제하고, 하우징(102) 내부의 벨트 형상물(30)을 도 9에 나타낸 바와 같이 파형으로 부상한 상태(플로팅 상태)로 안정되게 주행시킬 수 있다.
일본 공개 특허 평9-40242호 공보
그러나, 종래의 부상 반송 장치는 다음과 같은 과제를 갖는다.
종래의 부상 반송 장치에서는 벨트 형상물의 상하의 진동을 억제하여 안정되게 부상 반송되고 있는 것처럼 보여도 돌연히 반송 장치 내의 벨트 형상물에 반송로의 우측 또는 좌측으로 큰 위치 어긋남이 생길 경우가 있었다. 이 큰 위치 어긋남이 원인으로 벨트 형상물의 주행 불량이나 주름의 발생에 따른 품질 불량을 초래해버렸다.
이것은 반송에 의해 축적된 에너지가 단숨에 개방됨으로써 벨트 형상물에 큰 위치 어긋남이 발생했기 때문이라 생각된다.
종래의 부상 반송 장치에서는 이러한 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 없었다.
본 발명은 이러한 과제를 감안하여 주행 불량이나 주름 발생의 원인이 되는 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 있는 부상 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 부상 반송 방법은 벨트 형상물의 상면 및 하면에 기체를 분사해서 부상 상태로 해서 상기 벨트 형상물을 반송할 때에 상기 벨트 형상물의 상면 또는 하면 중 어느 한쪽에 기체를 분사해서 상기 벨트 형상물의 면 내에서 상기 벨트 형상물의 반송 방향과 직교하는 제 1 방향으로 상기 벨트 형상물을 이동시키는 제 1 기체 분사 공정과, 상기 벨트 형상물의 상기 제 1 기체 분사 공정에서 기체를 분사하는 면과 동일한 면에 기체를 분사해서 상기 벨트 형상물의 면 내에서 상기 제 1 방향과 반대의 제 2 방향으로 상기 벨트 형상물을 이동시키는 제 2 기체 분사 공정을 갖고, 상기 제 1 기체 분사 공정 및 제 2 기체 분사 공정을 교대로 반복하는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해 입구로부터 출구에 걸쳐서 반복해서 벨트 형상물을 폭 방향으로 이동시킴으로써 벨트 형상물의 폭 방향으로의 이동량을 조절하여 돌발적으로 생기는 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 부상 반송 방법은 상기 벨트 형상물이 이동되는 양은 상기 벨트 형상물을 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향 중 어느쪽의 방향으로도 이동시키지 않은 상태로부터 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향으로 각각 1㎜이상 10㎜이하의 범위로 이동시키는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해 벨트 형상물의 폭 방향으로의 이동을 제어해서 이 이동에 수반하여 발생되는 주름이나 균열 등의 품질 불량의 발생을 방지하고, 돌발적으로 생기는 큰 위치 어긋남이나 사행(蛇行)의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 부상 반송 방법은 상기 벨트 형상물의 상기 제 1 방향으로의 이동량과 상기 제 2 방향으로의 이동량이 같은 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해 에너지를 균일하게 개방할 수 있기 때문에 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 부상 반송 장치는 서로 대향하는 입구와 출구와, 벨트 형상물을 반송하는 반송로와, 상기 반송로의 측방에 위치하는 제 1 측면과 제 2 측면을 갖는 하우징과, 상기 하우징 내부의 연직 상부에 설치되고 상기 반송로와 대향하는 면으로부터 기체를 분사하는 제 1 기체 분출 노즐과, 상기 하우징 내부의 연직 하부에 설치되고 상기 반송로와 대향하는 면으로부터 기체를 분사하는 제 2 기체 분출 노즐을 구비하고, 상기 제 1 기체 분출 노즐과 상기 제 2 기체 분출 노즐은 상기 반송로를 사이에 두고 설치되고, 상기 제 1 기체 분출 노즐 또는 상기 제 2 기체 분출 노즐 중 어느 한쪽은 제 1 횡이동 노즐과 제 2 횡이동 노즐이 상기 입구로부터 상기 출구에 걸쳐서 교대로 배치되어서 구성되고, 상기 제 1 횡이동 노즐은 상기 제 2 측면 방향으로 상기 벨트 형상물을 이동시키는 기체를 분사하고, 상기 제 2 횡이동 노즐은 상기 제 1 측면 방향으로 상기 벨트 형상물을 이동시키는 기체를 분사하는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해 기체의 작용에 의해 벨트 형상물이 입구로부터 출구에 걸쳐서 폭 방향으로 이동을 반복한다. 이에 따라, 벨트 형상물의 폭 방향으로의 이동량을 제어하여 돌발적으로 생기는 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 부상 반송 장치는, 상기 제 1 횡이동 노즐은 상기 제 2 측면 방향으로 경사진 방향으로 기체를 분출하고, 상기 제 2 횡이동 노즐은 상기 제 1 측면 방향으로 경사진 방향으로 기체를 분출하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 부상 반송 장치는, 상기 제 1 횡이동 노즐은 기체를 분사하는 위치가 상기 제 1 측면에 가까워질수록 기체의 동압이 강하고, 상기 제 2 횡이동 노즐은 기체를 분사하는 위치가 상기 제 2 측면에 가까워질수록 기체의 동압이 강해지는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해 벨트 형상물에 모멘트를 작용시킴으로써 폭 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 부상 노즐로부터 분사되는 기체의 방향이 같기 때문에 난류의 발생을 억제하여 안정되게 벨트 형상물을 반송할 수 있다.
또한, 본 발명의 부상 반송 장치는, 상기 제 1 횡이동 노즐은 상기 반송로를 향해서 기체를 분사하는 면이 상기 제 1 측면측으로부터 상기 제 2 측면측을 향해서 하행 경사의 면이며, 상기 제 2 횡이동 노즐은 상기 반송로를 향해서 기체를 분사하는 면이 상기 제 2 측면측으로부터 상기 제 1 측면측을 향해서 하행 경사의 면인 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해 모멘트와 기체에 의한 작용에 의해 효과적으로 벨트 형상물을 이동시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 부상 반송 장치는 상기 제 1 횡이동 노즐의 기체를 분사하는 면과, 상기 제 1 횡이동 노즐과 상기 반송로를 사이에 두고 반대측에 설치된 상기 제 1 기체 분출 노즐의 상기 반송로와 대향하는 면이 이루는 연직 거리 중 가장 짧은 연직 거리를 H11, 가장 긴 연직 거리를 H12로 했을 때 하기의 제 1 식을 만족하고, 상기 제 2 횡이동 노즐의 기체를 분사하는 면과, 상기 제 2 횡이동 노즐과 상기 반송로를 사이에 두고 반대측에 설치된 상기 제 1 기체 분출 노즐의 상기 반송로와 대향하는 면이 이루는 연직 거리 중 가장 짧은 연직 거리를 H22, 가장 긴 연직 거리를 H21로 했을 때 하기의 제 2 식을 만족함과 아울러 하기의 제 3 식 및 제 4 식을 만족하는 것을 특징으로 한다.
H11/H12=a(0.4≤a≤0.8) …제 1 식
H22/H21=b(0.4≤b≤0.8) …제 2 식
an/bn=c(0.7≤c≤1, n은 입구로부터의 노즐의 순서를 나타냄) …제 3 식
Σan/Σbn=d(0.8≤d≤1, n은 입구로부터 노즐의 순서를 나타냄) …제 4 식
이러한 구성에 의해 벨트 형상물의 폭 방향으로의 이동을 제어해서 폭 방향의 이동에 따라 발생하는 주름이나 균열 등의 품질 불량의 발생을 방지하고, 돌발적으로 생기는 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 있다.
<발명의 효과>
본 발명에 의하면 벨트 형상물의 반송시에 보이는 큰 위치 어긋남을 방지해서 벨트 형상물을 안정되게 반송할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태 1에 의한 부상 반송 장치의 반송 경로에 따른 종단면도.
도 2는 도 1의 A-AA단면도.
도 3은 도 2에 나타낸 우경사 부상 노즐 부근에 있어서의 벨트 형상물의 상태를 상측으로부터 바라본 도면.
도 4는 도 1의 B-BB단면도.
도 5는 도 4에 나타낸 좌경사 부상 노즐 부근에 있어서의 벨트 형상물의 상태를 상측으로부터 바라본 도면.
도 6은 부상 반송 장치의 반송 경로에 따른 수평 단면도.
도 7은 본 발명의 실시형태 2에 의한 부상 반송 장치의 횡단면도.
도 8은 본 발명의 실시형태 3에 의한 부상 반송 장치의 횡단면도.
도 9는 종래의 부상 반송 장치의 반송 경로에 따른 종단면도.
도 10은 도 9의 요부의 확대도.
이하, 본 발명의 각 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.
이들 도면에 있어서 공통되는 요소에는 동일한 부호를 부여하고 있다. 단, 이하의 실시형태는 일례에 지나지 않고 본 발명은 이 실시형태에 한정되지 않는 것은 말할 필요도 없다.
(실시형태 1)
도 1∼도 6은 본 발명의 실시형태 1을 나타낸다.
도 1은 부상 반송 장치(1)의 내부를 도 2에 나타내는 우측면(2b)의 방향으로부터 바라본 모식도이다.
중공 직육면체 형상의 하우징(2)의 일단에 벨트 형상물 반입용 입구(3)가 형성되어 있다. 또한, 하우징(2)의 타단에 벨트 형상물 반출용 출구(4)가 각각 형성되어 있다. 벨트 형상물(30)은 입구(3)의 근방에 배치된 입구 롤(5)에 안내되면서 입구(3)를 통해서 하우징(2)의 내부에 반입되고, 하우징(2)의 내부를 반송시켜서 출구(4)의 근방에 배치된 출구 롤(6)에 따라서 출구(4)로부터 반출된다.
또한, 하우징(2)의 입구(3) 측을 반송되는 벨트 형상물(30)로부터 바라보아서 후방측이라 부르고, 하우징(2) 출구(4) 측을 반송되는 벨트 형상물(30)로부터 바라보아서 전방측이라 부른다. 또한, 벨트 형상물(30)이 하우징(2) 내에서 반송되는 통로를 반송로(C)로 하고, 하우징(2)의 좌측에 위치하는 측면을 좌측면(2a), 우측에 위치하는 측면을 우측면(2b)으로 한다. 「상」이란 「벨트 형상물(30)의 연직 방향의 상측」, 「하」란 「상기 상의 반대측」을 말한다. 「우」란 벨트 형상물(30)의 반송 방향을 향해서 「우측」, 「좌」란 벨트 형상물(30)의 반송 방향을 향해서 「좌측」을 말한다.
하우징(2)의 내부에서 벨트 형상물(30)의 반송로 상측에는 폭 방향으로 연장되는 가늘고 긴 형상의 제 1 기체 분출 노즐(7)이 설치되어 있다. 또한, 하우징(2)의 내부에서 벨트 형상물(30)의 반송로의 하측에는 제 2 기체 분출 노즐로서의 우경사 부상 노즐(8) 및 좌경사 부상 노즐(9)이 교대로 설치되어 있다.
또한, 제 1 기체 분출 노즐(7), 우경사 부상 노즐(8) 및 좌경사 부상 노즐(9)은 폭 방향으로 연장되는 가늘고 긴 형상의 직육면체 형상물로 이루어지고, 벨트 형상물(30)과 대향하는 면에 각각 도면에 나타내지 않은 입구측 통기로 및 출구측 통기로를 갖고 있다. 각 제 1 기체 분출 노즐(7), 우경사 부상 노즐(8), 및 좌경사 부상 노즐(9)에는 에어 탱크(11)로부터 에어가 공급된다. 여기에서는 입구측 통기로 및 출구측 통기로를 합쳐서 통기로라 한다. 또한, 통기로에 대해서는 도 10에 나타낸 종래의 분출 노즐(108)에 있어서의 입구측 통기로(108a) 및 출구측 통기로(108b)와 같다.
이 통기로로부터 2방향으로 분출된 기체로서의 에어는 서로 충돌하고, 통기로를 갖는 면으로부터 수직인 방향으로 방향을 변경해서 벨트 형상물(30)의 하면 또는 상면에 대해서 분사된다.
제 1 기체 분출 노즐(7)과, 우경사 부상 노즐(8), 및 좌경사 부상 노즐(9)은 하우징(2)의 입구(3)로부터 출구(4)에 걸쳐 상하 교대로 설치되어 있다.
우경사 부상 노즐(8)은 도 2에 나타내는 바와 같이 우측면(2b)의 측이 좌측면(2a)보다 낮아지도록 우경사져 있다. 좌경사 부상 노즐(9)은 도 4에 나타내는 바와 같이 좌측면(2a)의 측이 우측면(2b)보다 낮아지도록 좌경사져 있고, 벨트 형상물(30)은 도 3과 같이 제 1 기체 분출 노즐(7)과 우경사 부상 노즐(8) 사이를 부상해서 통과하고, 도 5에 나타내는 바와 같이 제 1 기체 분출 노즐(7)과 좌경사 부상 노즐(9) 사이를 부상해서 통과하고, 또한 제 1 기체 분출 노즐(7)과 우경사 부상 노즐(8) 사이를 부상해서 통과하면서 도 6에 나타내는 바와 같이 입구(3)에 반입된 벨트 형상물(30)이 출구(4)를 향해서 반송된다.
이 반송 상태를 더욱 상세하게 설명한다.
반송로의 상측에 있어서의 노즐군을 구성하는 1개의 제 1 기체 분출 노즐(7)과 다른 인접하는 제 1 기체 분출 노즐(7) 사이의 바로 아래에 반송로의 하측에 있어서의 노즐군 일구성체로서의 우경사 부상 노즐(8) 또는 좌경사 부상 노즐(9)이 존재한다. 우경사 부상 노즐(8)과 좌경사 부상 노즐(9)은 하우징(2)의 내부에서 벨트 형상물(30)의 반송로의 하측에 입구(3)로부터 출구(4)에 걸쳐 교대로 설치되어 있다.
제 1 기체 분출 노즐(7)은 반송되는 벨트 형상물(30)의 상면에 대해서 대략 직각으로 분사한다. 또한, 우경사 부상 노즐(8) 및 좌경사 부상 노즐(9)은 통기로로부터 분사되는 에어에 의해 대략 직각으로 벨트 형상물(30)의 하면을 하측으로부터 상측으로 들어올리도록 에어를 분사한다. 또한, 각 노즐로부터의 에어 분사량이나 출구 롤(6)의 동작은 제어부(10)에 의해 제어된다.
이에 따라, 하우징(2) 내부의 벨트 형상물(30)을 도 1에 나타내는 바와 같이 상하 방향에 파형으로 부상한 상태(플로팅 상태)에서 벨트 형상물(30)을 출구 롤(6)에 의해 진행 방향으로 인장력을 가해서 반송할 수 있다.
- 제 1 기체 분사 공정 -
우경사 부상 노즐(8)의 작용에 대해서 설명한다.
도 2의 우경사 부상 노즐(8)의 좌측면(2a) 측을 좌단부(8a), 우측면(2b) 측을 우단부(8b)로 한다. 우경사 부상 노즐(8)의 통기로를 갖는 면이 좌단부(8a)로부터 우단부(8b)를 향해서 하향의 경사면 통기로로부터 대략 수직으로 에어가 분출된다. 이 에어 분출 방향을 제 1 방향이라 부른다.
이 때문에, 좌단부(8a)에 가까워질수록 에어의 작용이 커서 벨트 형상물(30)은 좌측면(2a) 측이 솟아오르도록 반송된다. 이 때, 솟아오른 분만큼 실질적으로 좌측면(2a) 측이 우측면(2b) 측보다 벨트 형상물(30)의 주행 거리가 길어진다. 그러나, 출구 롤(6)로부터 벨트 형상물(30)을 진행시키기 위해서 가해지는 장력은 균일하게 작용되고 있다. 이와 같이, 장력이 균일하게 작용하기 때문에 우측면측(2b)에 비해서 좌측면측(2a)이 길다는 말은 실질적인 주행 거리의 차이인 주차(周差)에 의해 좌회전의 회전 모멘트가 생긴다.
또한, 우경사 부상 노즐(8)의 경사면으로부터 대략 수직으로 분출되는 에어는 연직 방향보다 우측면(2b)의 방향으로 경사져 진행한다. 따라서, 이 에어는 벨트 형상물(30)을 우측면(2b) 방향으로 이동시키도록 작용한다.
이러한, 좌회전의 회전 모멘트와 우측면(2b) 방향으로 분사되는 에어의 작용에 의해 벨트 형상물(30)은 도 3에 나타내는 바와 같이 우측면(2b)에 접근하는 방향으로 이동시켜진다. 이 이동량은 출구 롤(6)부에 있어서의 벨트 형상물(30)의 진행 방향에 대한 폭 방향의 중앙부를 통과하고, 입구(3)로부터 출구(4)까지 일직선으로 반송되는 상태, 즉 폭 방향으로 이동하지 않은 상태에 비하면 도 3에 나타내는 바와 같이 벨트 형상물(30)이 우측면(2b)에 접근하는 방향으로 이동량(W1) 폭만큼 끌어당겨지게 된다. 벨트 형상물(30)의 두께가 10∼20㎛, 폭이 500㎜∼1500㎜정도일 경우에는 W1의 값은 1㎜이상 10㎜이하인 것이 바람직하다. W1이 1㎜미만의 경우에는 후술하는 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 없고, 10㎜보다 클 경우에는 벨트 형상물(30)이 비틀려 반송 중의 벨트 형상물(30)에 주름 등의 불량이 발생해버리기 때문이다.
- 제 2 기체 분사 공정 -
좌경사 부상 노즐(9)의 작용에 대해서 설명한다.
도 4의 좌경사 부상 노즐(9)의 좌측면(2a)측을 좌단부(9a), 우측면(2b)측을 우단부(9b)로 한다. 좌경사 부상 노즐(9)의 통기로를 갖는 면이 우단부(9b)로부터 좌단부(9a)를 향해서 하향의 경사면 통기로로부터 대략 수직으로 에어가 분출된다. 이 에어 분출 방향을 제 2 방향이라 부르고 있다.
또한, 좌경사 부상 노즐(9)의 작용은 상기 우경사 부상 노즐(8)의 좌우를 반전한 것과 같다. 이 좌경사 부상 노즐(9)에 의해 도 5와 같이 벨트 형상물(30)은 좌측면(2a)에 접근하는 방향으로 이동된다.
이 이동량은 출구 롤(6)에 있어서의 벨트 형상물(30)의 진행 방향에 대한 폭 방향의 중앙부를 통과하고, 입구(3)로부터 출구(4)까지 일직선으로 반송되는 상태, 즉 폭 방향으로 이동하지 않은 상태와 비교하면 도 5에 나타내는 바와 같이 벨트 형상물(30)이 좌측면(2a)에 접근하는 방향으로 이동량(W2) 폭만큼 끌어당겨지게 된다. 벨트 형상물(30)이 두께 10∼20㎛, 폭 500㎜∼1500㎜정도일 경우에는, W2의 값은 1㎜이상 10㎜이하인 것이 바람직하다. W2가 1㎜미만일 경우에는 후술하는 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 없고, 10㎜보다 클 경우에는 벨트 형상물(30)이 비틀려 반송 중의 벨트 형상물(30)에 주름 등의 불량이 발생해버리기 때문이다.
입구 롤(5)로부터 보내진 벨트 형상물(30)은 도 6에 나타내는 바와 같이 우경사 부상 노즐(8)에 의해 우측면(2b) 방향으로 W1만큼 이동되고, 이어서 우경사 부상 노즐(8)에 전방측에서 인접한 좌경사 부상 노즐(9)에 의해 좌측면(2a) 방향으로 W2만큼 이동된다. 또한, 좌경사 부상 노즐(9)에 전방측에서 인접한 우경사 부상 노즐(8)에 의해 우측면(2b) 방향으로 W1만큼 이동된다.
이와 같이, 벨트 형상물(30)은 교대로 배치된 우경사 부상 노즐(8)과 좌경사 부상 노즐(9)에 의해 좌우로 이동되어 벨트 형상물(30)을 폭 방향으로 점점 사행시키면서 반송함으로써 벨트 형상물(30)에 변형 에너지가 축적되는 것을 방지해서 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 있다.
이어서, 구체적인 수치를 들어서 설명한다.
우선, 우경사 부상 노즐(8) 및 좌경사 부상 노즐(9)을 설치하지 않은 종래의 상태에서 벨트 형상물(30)을 부상 반송했다. 이 경우, 안정된 상태에서는 하우징(2) 내에서 좌우 측면 방향으로의 이동량의 최대값이 1㎜미만이므로 사행은 생기지 않는다.
그러나, 이 안정 상태가 무너지면 돌연히 도 6의 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같은 좌측면(2a) 측 또는 우측면(2b) 측에 30㎜이상의 큰 위치 어긋남이 발생하는 경우가 있었다.
이것은 부상 반송 중의 벨트 형상물(30)은 사행을 발생기키지 않고 안정되게 직진하고 있는 것처럼 보여도 이 벨트 형상물(30)의 내부에 변형 에너지 등이 축적되어 가는 것에 기인한다고 생각된다. 이 축적된 에너지가 돌연히 평형 상태를 무너뜨림으로써 축적된 에너지를 개방하는 것처럼 상술한 큰 위치 어긋남이 생기는 것으로 생각된다.
만약, 사행이 생긴 후에 이 사행을 수정하기 위해서 어떠한 수단을 사용했다고 해도 상술한 큰 위치 어긋남이 한번이라도 생겨버리면 벨트 형상물(30)의 주행 불량이나 주름의 발생에 수반된 품질 불량을 면할 수 없다. 또한, 안정 반송시에 분사되고 있는 에어의 상태와는 달랐던 세기 또는 방향의 에어를 사행 방지를 위해서 분사하면 새로운 에어에 의한 난류가 발생해버린다. 이 난류의 영향에 의해 연속 주행하는 벨트 형상물(30)이 상하로 진동해서 안정 주행이 곤란해지거나 주름 등이 발생되어서 품질 불량을 초래하거나 해버릴 경우가 있다.
이 문제점을 해소할 수 있는 실시형태 1에 있어서의 부상 반송 장치에서는 우경사 부상 노즐(8)과 좌경사 부상 노즐(9)이 교대로 배열되어 있기 때문에 벨트 형상물(30)은 도 6에 나타내는 바와 같이 좌경사 부상 노즐(8)로 W1, 우경사 부상 노즐(9)로 W2만큼 이동되고, 좌측면(2a)의 방향, 우측면(2b) 방향으로 교대로 반복적으로 이동되어 반송된다. 이 때의 좌우 측면 방향으로의 이동량의 최대값은 각각 1㎜이상 10㎜이하의 상태이었다.
이와 같이, 우경사 부상 노즐(8) 및 좌경사 부상 노즐(9)을 배치함으로써 이들 노즐을 설치하지 않은 상태에 비해서 벨트 형상물(30)이 좌우 측면 방향으로 점점 사행되는 것을 허용해서 억지로 좌우 측면 방향으로 벨트 형상물(30)을 이동시킴으로써 축적된 에너지를 개방해서 에너지의 폭발을 미연에 방지하는 것이 가능하다.
이 때문에, 상술한 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 항상 일정한 에어를 일정한 방향으로 분사하고 있기 때문에 난류의 발생을 억제하여 안정된 상태에서 벨트 형상물(30)을 반송할 수 있다.
즉, 좌측면(2a)에 접근하는 방향, 우측면(2b)에 접근하는 방향으로 교대로 반복적으로 이동시키면서 반송시킴으로써, 특히 벨트 형상물(30)을 20m/분∼60m/분의 고속 주행시킬 때에 벨트 형상물(30)의 큰 사행의 발생을 피할 수 있어 주행 불량이나 주름 등의 불량을 회피할 수 있다.
벨트 형상물(30)과 제 1 기체 분출 노즐(7), 우경사 부상 노즐(8), 및 좌경사 부상 노즐(9)의 위치 관계에 대해서 설명한다.
도 2에 나타내는 바와 같이 제 1 기체 분출 노즐(7)의 벨트 형상물(30)과 대향하는 면과, 우경사 부상 노즐(8)의 벨트 형상물(30)과 대향하는 면에 있어서의 좌단부(8a)의 연직 거리를 H11로 하고, 제 1 기체 분출 노즐(7)의 벨트 형상물(30)과 대향하는 면과, 우경사 부상 노즐(8)의 벨트 형상물(30)과 대향하는 면에 있어서의 우단부(8b)의 연직 거리를 H12로 하고, 이 H11을 H12로 나눈 값을 a로 한다.
또한, 도 4에 나타내는 바와 같이 제 1 기체 분출 노즐(7)의 벨트 형상물(30)과 대향하는 면과, 좌경사 부상 노즐(9)의 벨트 형상물(30)과 대향하는 면에 있어서의 좌단부(9a)의 연직 거리를 H21로 하고, 제 1 기체 분출 노즐(7)의 벨트 형상물(30)과 대향하는 면과, 좌경사 부상 노즐(9)의 우단부(9b)와의 연직 거리를 H22로 하고, 이 H22을 H21로 나눈 값을 b로 한다.
이 경우, 하기의 각각 제 1 식 및 제 2 식을 만족하는 것이 후술하는 이유 때문에 바람직하다. 여기서, 좌단부(8a)는 실제의 우경사 부상 노즐(8)의 좌단이 아니라 통기로가 존재하는 노즐의 좌단부이다. 이것은 우단부(8b)에서도 같고, 좌경사 부상 노즐(9)에 있어서도 같다.
H11/H12 = a(0.4≤a≤0.8) …제 1 식
H22/H21 = b(0.4≤b≤0.8) …제 2 식
발명자들은 여러 가지의 실험을 행해서 제 1 식, 제 2 식의 범위에서 하기의 현상이 드러나는 것을 찾아냈다. 상기 제 1 식 및 제 2 식을 만족할 경우 벨트 형상물(30)을 20m/분∼60m/분의 고속 주행시킬 때에도 30㎜이상의 큰 사행은 발생하지 않았다.
또한, 제 1 식 및 제 2 식의 a, b의 값이 0.4미만인 경우에는 우경사 부상 노즐(8) 및 좌경사 부상 노즐(9)의 경사면의 경사각이 크고, 좌우 방향의 굽힘 모멘트(굽힘력)가 커짐으로써 벨트 형상물(30)이 비틀림에 의한 주름이 발생한다. 또한, 제 1 식 및 제 2 식의 a, b의 값이 0.8을 초과하는 경우에는 우경사 부상 노즐(8) 및 좌경사 부상 노즐(9)의 경사면의 경사각이 작고, 20m/분∼60m/분의 고속 주행시켰을 경우 벨트 형상물(30)이 좌측면(2a) 방향 또는 우측면(2b) 방향으로 큰 위치 어긋남을 일으켜버렸다.
또한, 각 노즐로부터 분사되는 에어의 양은 제어부(10)에 의해 조절된다. 이 경우 모든 노즐로부터 분사되는 에어의 양은 일정하지 않아도 좋다. 또한, 벨트 형상물(30)을 좌우 측면 방향으로 이동시킬 때에 모든 이동량이 같지 않아도 좋다. 어느 장소에 있어서도 하우징(2) 내를 입구(3)로부터 출구(4)까지 일직선으로 반송되는 상태로부터 좌우 측면 방향으로 1㎜이상 10㎜이하의 이동이면 좋기 때문이다. 그러나, 축적되는 변형 에너지 등은 어떠한 원인으로 폭발적으로 개방되어 상기의 큰 위치 어긋남을 발생시키는 것인지 해명되고 있지 않다. 따라서, 우경사 부상 노즐(8)과 좌경사 부상 노즐(9)에 의한 벨트 형상물(30)의 이동량(W1)과 이동량(W2)이 같아지도록 에어의 양을 제어하는 것이 바람직하다.
예를 들면, 이웃하는 우경사 부상 노즐(8)과 좌경사 부상 노즐(9)에 있어서, 제 1 식 및 제 2 식의 a, b의 값 중 작은 쪽을 an, 큰 쪽을 bn으로 했을 때 그 관계가 하기의 제 3 식을 만족하는 것이 바람직하다. 이것은 제 3 식의 c값이 0.7미만인 경우에는 좌우의 사행의 불균일이 일어나고, 그것이 기인해서 벨트 형상물(30)이 좌측면(2a) 방향 또는 우측면(2b) 방향으로 큰 위치 어긋남을 일으킨다.
an/bn=c(0.7≤c≤1, n은 입구로부터의 노즐의 순서를 나타냄) …제 3 식
또한, 우경사 부상 노즐(8)과 좌경사 부상 노즐의 a, b의 값의 모든 적산값 중 작은 쪽을 Σan, 큰 쪽을 Σbn으로 했을 때 그 관계가 하기의 제 4 식을 만족하는 것이 바람직하다. 이것은 제 4 식의 d의 값이 0.8미만인 경우는 좌경사 부상 노즐에 의한 좌측 방향으로의 이동과 우경사 부상 노즐에 의한 우측 방향의 이동의 균형을 유지할 수 없기 때문에 벨트 형상물(30)이 좌측면(2a) 방향 또는 우측면(2b) 방향으로 큰 위치 어긋남을 일으킨다.
Σan/Σbn=d(0.8≤d≤1, n은 입구로부터 노즐의 순서를 나타냄) …제 4 식
변형 에너지가 집중해서 폭발의 기점이 될 수 있는 개소를 만들지 않기 위해서이다. 또한, 제어부(10)에서 각 노즐로부터의 에어 분사량 및 출구 롤(6)을 조절함으로써 벨트 형상물(30)의 좌우 측면 방향으로의 이동량을 제어한다.
벨트 형상물(30)이 두께 10∼20㎛, 폭 500㎜∼1500㎜의 동박(銅箔)이나 알루미늄박 등의 금속박이나 수지 필름인 경우 제 1 기체 분출 노즐(7)의 좌우 방향의 폭은 500㎜∼2000㎜이다. 또한, 우경사 부상 노즐(8)의 좌우 방향의 폭은 500㎜∼2000㎜, 벨트 형상물(30)의 반송 방향에 대한 폭은 400㎜∼1900㎜이다. 또한, 좌경사 부상 노즐(9)의 좌우 방향의 폭은 500㎜∼2000㎜, 벨트 형상물(30) 반송 방향에 대한 폭은 400㎜∼1900㎜이다. 도 6에 나타내는 바와 같이 인접하는 우경사 부상 노즐(8)과 좌경사 부상 노즐(9)의 간격(P)은 500㎜∼1000㎜이다.
또한, 제 1 기체 분출 노즐(7)의 높이는 50㎜이다. 우경사 부상 노즐(8)의 좌단부(8a)의 높이는 52∼59㎜, 우단부의 높이는 50㎜이다. 좌경사 부상 노즐(9)의 좌단부(9a)의 높이는 50㎜, 우단부(9b)의 높이는 52∼59㎜이다. 또한, H11의 값은 5∼10㎜, H12의 값은 10∼15㎜, H21의 값은 10∼15㎜, H22의 값은 5∼10㎜이다. 또한, 이들 값은 본 발명의 구성 및 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서 변경 가능하다.
이와 같이, 금속박이나 수지 필름 등의 벨트 형상물의 반송에 있어서 좌우 폭 방향으로 이동시키면서 반송함으로써 생산성을 향상시키기 위해서 고속 주행했을 때에도 벨트 형상물(30)의 큰 위치 어긋남을 방지하고, 위치 어긋남의 발생에 의한 주행 불량이나 주름 등의 품질 불량을 경감할 수 있어 생산성 향상과 품질 향상을 동시 실현할 수 있다.
(실시형태 2)
도 7(a), 도 7(b)는 본 발명의 실시형태 2를 나타낸다.
실시형태 1에서는 에어의 분출면이 경사진 우경사 부상 노즐(8), 좌경사 부상 노즐(9)을 사용해서 벨트 형상물(30)에 이동량(W1, W2)의 사행을 적극적으로 부여하고 있었지만 이 실시형태 2에서는 우경사 부상 노즐(8) 대신에 도 7(a)에 나타내는 바와 같이 우측 분출 부상 노즐(12a)을 사용한 것이다. 우측 분출 부상 노즐(12a)은 좌측면(2a) 측의 높이와 우측면(2b) 측의 높이가 같아서 에어의 분출면이 경사지지 않는다. 또한, 벨트 형상물(30)에 대해서 경사져 있지 않은 이 면으로부터 분출되는 에어가 화살표로 나타내는 바와 같이 우측면(2b)의 방향으로 분출시키는 것이다.
또한, 실시형태 1의 좌경사 부상 노즐(9) 대신에 우측 분출 부상 노즐(12a)과 같이 좌측면(2a) 측의 높이와 우측면(2b) 측의 높이가 같아서 에어의 분출면이 경사져 있지 않다. 또한, 벨트 형상물(30)에 대해서 경사져 있지 않은 이 면으로부터 분출되는 에어가 도 7(b)에 나타내는 바와 같이 좌측면(2a)의 방향으로 분출시키는 좌측 분출 부상 노즐(12b)을 사용한다.
이 구성에 의해서도 우측 분출 부상 노즐(12a)로부터 분출되는 에어에 의해 벨트 형상물(30)을 압출해서 우측면(2b) 측으로 이동시킨다. 또한, 상기 좌측 분출 부상 노즐(12b)로부터 분출되는 에어에 의해 벨트 형상물(30)을 압출해서 좌측면(2a) 측으로 이동시킨다. 이와 같이 해서 벨트 형상물(30)을 좌우 측면 방향으로 사행시킬 수 있어 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 실시형태 1에 나타낸 우경사 부상 노즐(8), 좌경사 부상 노즐(9)에 비해서 벨트 형상물(30)을 좌우 방향으로 사행시키는 작용은 작지만 벨트 형상물(30)에 회전 모멘트를 가하고 싶지 않을 경우 등에, 특히 실시형태 2는 유효하다. 또한, 종래의 에어 분출 노즐(108)을 이용해서 용이하게 우측 분출 부상 노즐(12a) 및 좌측 분출 부상 노즐(12b)을 제작할 수 있다.
(실시형태 3)
도 8(a), 도 8(b)는 본 발명의 실시형태 3을 나타낸다.
실시형태 2의 우측 분출 부상 노즐(12) 및 좌측 분출 부상 노즐에서는 에어가 우측면(2b) 또는 좌측면(2a)을 향해서 분출되고 있었지만, 이 실시형태 3에서는 분출의 방향은 연직 방향이고, 또한 에어의 강도에 폭 방향의 경사를 갖게 한 것을 사용하고 있다.
실시형태 1의 우경사 부상 노즐(8) 대신에 사용되는 우측 동압 부상 노즐(13a)을 도 8(a)에 나타낸다. 우측 동압 부상 노즐(13a)은 좌측면(2a) 측의 단부에 가까워질수록 에어의 동압이 강하다. 이러한 구성에 의해 벨트 형상물(30)이 좌측면(2a) 측에서 솟아오르도록 반송되므로 벨트 형상물(30)의 주행 거리는 우측면(2b) 측에 비해서 좌측면(2a) 측에서 길어진다. 이 주행 거리의 차이에 의한 주차 때문에 좌회전의 회전 모멘트가 생기고, 우측면(2b)에 접근하는 방향으로 벨트 형상물(30)의 이동을 발생시키는 것이 가능하다.
마찬가지로, 실시형태 1의 좌경사 부상 노즐(9) 대신에 사용되는 좌측 동압 부상 노즐(13b)은 도 8(b)에 나타내는 바와 같이 우측면(2b) 측의 단부에 가까워질수록 에어의 동압이 강한 것을 사용한다.
이 구성에 의하면 벨트 형상물(30)이 좌우 측면 방향으로 반복해서 이동될 수 있어 큰 위치 어긋남의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 실시형태 1에 나타낸 우경사 부상 노즐(8), 좌경사 부상 노즐(9)에 비해서 벨트 형상물(30)을 좌우 방향으로 사행시키는 작용은 작지만 좌우 방향으로 에어를 분사함에 의한 난류의 발생을 억제하고 싶을 경우에는 실시형태 3에 의한 구성은 유효하다. 또한, 종래의 에어 분출 노즐(108)을 이용해서 우측 동압 부상 노즐(13a) 및 좌측 동압 부상 노즐(13b)을 용이하게 제작할 수 있다.
상기 실시형태 1에서는 제 1 기체 분사 공정에 있어서 벨트 형상물(30)의 하면에 제 2 기체 분출 노즐로서의 우경사 부상 노즐(8)로부터 기체를 분사해서 벨트 형상물(30)의 면 내에서 벨트 형상물의 반송 방향과 직교하는 제 1 방향으로서 우측면(2b)을 향해서 벨트 형상물(30)을 이동시키고, 제 2 기체 분사 공정에 있어서 벨트 형상물(30)의 하면에 제 2 기체 분출 노즐로서의 좌경사 부상 노즐(9)로부터 기체를 분사해서 벨트 형상물(30)의 면 내에서 벨트 형상물의 반송 방향과 직교하는 제 2 방향으로서 좌측면(2a)을 향해서 벨트 형상물(30)을 이동시켰지만, 제 1 기체 분사 공정에 있어서 벨트 형상물(30)의 상면에 제 2 기체 분출 노즐로서의 우경사 부상 노즐(8)로부터 기체를 분사해서 벨트 형상물(30)의 면 내에서 벨트 형상물의 반송 방향과 직교하는 제 1 방향으로서 우측면(2b)을 향해서 벨트 형상물(30)을 이동시키고, 제 2 기체 분사 공정에 있어서 벨트 형상물(30)의 상면에 제 2 기체 분출 노즐로서의 좌경사 부상 노즐(9)로부터 기체를 분사해서 벨트 형상물(30)의 면 내에서 벨트 형상물의 반송 방향과 직교하는 제 2 방향으로서 좌측면(2a)을 향해서 벨트 형상물(30)을 이동시킬 수도 있다. 이 경우 제 1 기체 분출 노즐(7)을 하측에 설치한다.
상기 각 실시형태에서는 기체로서 에어를 사용했지만 불활성 가스 등의 그 외의 기체도 사용할 수 있다.
본 발명은 금속박이나 수지 필름 등을 재료로서 사용하고 있는 각종 제품의 생산성 향상과 품질 향상에 기여한다.
1 : 부상 반송 장치 2 : 하우징
2a : 좌측면 2b : 우측면
3 : 입구 4 : 출구
7 : 제 1 기체 분출 노즐
8 : 우경사 부상 노즐(제 2 기체 분출 노즐, 제 1 횡이동 노즐)
9 : 좌경사 부상 노즐(제 2 기체 분출 노즐, 제 2 횡이동 노즐)
12a : 우측 분출 부상 노즐(제 2 기체 분출 노즐, 제 1 횡이동 노즐)
12b : 좌측 분출 부상 노즐(제 2 기체 분출 노즐, 제 2 횡이동 노즐)
13a : 우측 동압 부상 노즐(제 2 기체 분출 노즐, 제 1 횡이동 노즐)
13b : 좌측 동압 부상 노즐(제 2 기체 분출 노즐, 제 2 횡이동 노즐)
30 : 벨트 형상물

Claims (8)

  1. 벨트 형상물의 상면 및 하면에 기체를 분사해서 부상 상태로 해서 상기 벨트 형상물을 반송할 때에,
    상기 벨트 형상물의 상면 또는 하면 중 어느 한쪽에 기체를 항상 분사해서 상기 벨트 형상물의 면 내에서 상기 벨트 형상물의 반송 방향과 직교하는 제 1 방향으로 상기 벨트 형상물을 항상 이동시키는 제 1 기체 분사 공정과,
    상기 벨트 형상물의 상기 제 1 기체 분사 공정에서 기체를 분사하는 면과 동일한 면에 기체를 항상 분사해서 상기 벨트 형상물의 면 내에서 상기 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 상기 벨트 형상물을 항상 이동시키는 제 2 기체 분사 공정을 갖고;
    상기 제 1 기체 분사 공정 및 상기 제 2 기체 분사 공정을 교대로 복수 반복하는 것을 특징으로 하는 부상 반송 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 벨트 형상물이 이동되는 양은 상기 벨트 형상물을 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향 중 어느쪽의 방향으로도 이동시키지 않은 상태로부터 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향으로 각각 1㎜이상 10㎜이하의 범위로 이동시키는 것을 특징으로 하는 부상 반송 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 벨트 형상물의 상기 제 1 방향으로의 이동량과 상기 제 2 방향으로의 이동량이 같은 것을 특징으로 하는 부상 반송 방법.
  4. 서로 대향하는 입구와 출구와, 벨트 형상물을 반송하는 반송로와, 상기 반송로의 측방에 위치하는 제 1 측면과 제 2 측면을 갖는 하우징과,
    상기 하우징 내부의 연직 상부에 설치되고 상기 반송로와 대향하는 면으로부터 기체를 분사하는 제 1 기체 분출 노즐과,
    상기 하우징 내부의 연직 하부에 설치되고 상기 반송로와 대향하는 면으로부터 기체를 분사하는 제 2 기체 분출 노즐을 구비하고;
    상기 제 1 기체 분출 노즐과 상기 제 2 기체 분출 노즐은 상기 반송로를 사이에 두고 설치되고;
    상기 제 1 기체 분출 노즐 또는 상기 제 2 기체 분출 노즐 중 어느 한쪽은 제 1 횡이동 노즐과 제 2 횡이동 노즐이 상기 입구로부터 상기 출구에 걸쳐서 교대로 배치되어서 구성되고;
    상기 제 1 횡이동 노즐은 상기 제 2 측면 방향으로 상기 벨트 형상물을 이동시키는 기체를 분사하고;
    상기 제 2 횡이동 노즐은 상기 제 1 측면 방향으로 상기 벨트 형상물을 이동시키는 기체를 분사하는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 횡이동 노즐은 상기 제 2 측면 방향으로 경사진 방향으로 기체를 분출하고, 상기 제 2 횡이동 노즐은 상기 제 1 측면 방향으로 경사진 방향으로 기체를 분출하는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 횡이동 노즐은 기체를 분사하는 위치가 상기 제 1 측면에 가까워질수록 기체의 동압이 강하고;
    상기 제 2 횡이동 노즐은 기체를 분사하는 위치가 상기 제 2 측면에 가까워질수록 기체의 동압이 강해지는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 횡이동 노즐은 상기 반송로를 향해서 기체를 분사하는 면이 상기 제 1 측면측으로부터 상기 제 2 측면측을 향해서 하행 경사진 면이며;
    상기 제 2 횡이동 노즐은 상기 반송로를 향해서 기체를 분사하는 면이 상기 제 2 측면측으로부터 상기 제 1 측면측을 향해서 하행 경사진 면인 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 횡이동 노즐의 기체를 분사하는 면과, 상기 제 1 횡이동 노즐과 상기 반송로를 사이에 두고 반대측에 설치된 상기 제 1 기체 분출 노즐의 상기 반송로와 대향하는 면이 이루는 연직 거리 중 가장 짧은 연직 거리를 H11, 가장 긴 연직 거리를 H12로 했을 때 하기의 제 1 식을 만족하고;
    상기 제 2 횡이동 노즐의 기체를 분사하는 면과, 상기 제 2 횡이동 노즐과 상기 반송로를 사이에 두고 반대측에 설치된 상기 제 1 기체 분출 노즐의 상기 반송로와 대향하는 면이 이루는 연직 거리 중 가장 짧은 연직 거리를 H22, 가장 긴 연직 거리를 H21로 했을 때 하기의 제 2 식을 만족함과 아울러 하기의 제 3 식 및 제 4 식을 만족하는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.
    H11/H12=a(0.4≤a≤0.8) …제 1 식
    H22/H21=b(0.4≤b≤0.8) …제 2 식
    an/bn =c(0.7≤c≤1, n은 입구로부터의 노즐의 순서를 나타냄) …제 3 식
    Σan/Σbn=d(0.8≤d≤1, n은 입구로부터 노즐의 순서를 나타냄) …제 4 식
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