KR101236651B1 - 엘라스토머 조성물 및 성형체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 (A) 퍼플루오로엘라스토머 및 (B) 불소 고무, 실리콘 고무 및 에틸렌-프로필렌계 고무 중에서 선택된 하나 이상의 엘라스토머의 혼합물을 중량비로 환산하여 0.5/99.5∼80/20의 혼합비(A/B)로 포함하는 엘라스토머 조성물을 제공한다.

Description

엘라스토머 조성물 및 성형체{ELASTOMER COMPOSITION AND MOLDED BODY}
도 1은 두 성분[퍼플루오로엘라스토머(A) 및 엘라스토머(B)]의 비연속상이 본 발명의 엘라스토머 조성물에 분산된 상태를 나타내는 TEM 사진이다.
도 2는 실시예 2에서 제조한 시트의 TEM 사진이다.
도 3은 실시예 3에서 제조한 시트의 TEM 사진이다.
도 4는 비교예 3에서 제조한 시트의 TEM 사진이다.
기술분야
본 발명은 내플라즈마성, 내화학성, 내열성 등이 요구되는 부위에서 사용되는 성형체에 관한 것이다. 본 발명은 또한 성형체를 성형하기 위한 엘라스토머 조성물에 관한 것이다.
배경기술
플라즈마 분위기 및 화학 분위기와 같은 환경에서 사용되는 소자에 사용된 밀봉(seal) 물질의 성형체는 다양한 환경 종(species)에 대해 안전성이 높을 것이 요구되며, 불소계 엘라스토머로 만든 성형체가 주로 사용된다(예, 특허 문헌 1 참조). 최근에는, 효율 등을 개선하기 위해 농도와 화학 반응성이 높은 기체, 화학 액체 등을 이들 소자에 사용해 왔다. 그러나, 지금까지 널리 사용되어 온 불소계 엘라스토머로 만든 성형체에는, 열화가 너무 강해 더 이상 유용하지 않은 것과 같은 문제점이 있다.
불소계 엘라스토머 중 퍼플루오로엘라스토머는 특히 우수한 내플라즈마성 및 내화학성을 나타내기 때문에, 이들 엘라스토머는 상기한 가혹한 조건 하에서 사용되는 소자에 흔히 사용된다(예, 특허 문헌 2 참조). 그러나, 퍼플루오로엘라스토머의 열간 강도가 낮기 때문에, 고온 처리 도중 O-고리 성형체의 절단과 같은 불편함이 발생할 가능성이 다소 존재한다.
특허 문헌 1 : JP-A-2000-119468
특허 문헌 2 : JP-A-2000-044930
상기 조건을 고려하여, 본 발명을 수행하였다.
본 발명의 목적은 우수한 내플라즈마성 및 내화학성 뿐만 아니라, 내열성 및 충분한 기계적 강도를 가지는 성형체를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 성형체를 성형하기 위한 엘라스토머 조성물을 제공하는 것이다.
상술한 문제점을 해결하기 위해, 본 발명자들은 광범위한 연구를 수행하였다. 그 결과, (A) 퍼플루오로엘라스토머 및 (B) 불소 고무, 실리콘 고무 및 에틸렌-프로필렌계 고무 중에서 선택된 하나 이상의 엘라스토머를 특정 비로 혼합하여, 우수한 내플라즈마성 및 내화학성 뿐만 아니라, 내열성 및 기계적 강도를 가지는 성형체를 얻을 수 있다는 것을 발견하였다.
구체적으로, 본 발명은 다음의 엘라스토머 조성물 및 성형체에 관한 것이다.
(1) 퍼플루오로엘라스토머 및 (B) 불소 고무, 실리콘 고무 및 에틸렌-프로필렌계 고무 중에서 선택된 하나 이상의 엘라스토머의 혼합물을 중량비로 환산하여 0.5/99.5∼80/20의 혼합비(A/B)로 포함하는 엘라스토머 조성물.
(2) 엘라스토머(B)에 대한 퍼플루오로엘라스토머(A)의 혼합비(A/B)는 중량비로 환산하여 5/95∼60/40인, (1)에 개시된 엘라스토머 조성물.
(3) 퍼플루오로엘라스토머(A) 및 엘라스토머(B) 각각의 가교, 또는 퍼플루오로엘라스토머(A)와 엘라스토머(B)의 가교를 위한 공가교제 및 유기 과산화물을 더 함유하는, (1) 또는 (2)에 개시된 엘라스토머 조성물.
(4) 퍼플루오로엘라스토머(A) 및 엘라스토머(B)는 서로 상용성이거나, 또는 성분 (A) 및 (B) 중 하나는 다른 성분 중에 평균 입자 크기가 10 ㎛ 이하인 응집체로서 분산되어 있는 해도 구조(sea-island structure)를 형성하는 것인, (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 개시된 엘라스토머 조성물.
(5) (1) 내지 (4) 중 어느 하나에 개시된 엘라스토머 조성물을 성형하여 생산한 성형체.
(6) 퍼플루오로엘라스토머(A) 및 엘라스토머(B)는 서로 상용성이거나, 또는 성분 (A) 및 (B) 중 하나는 다른 성분 중에 평균 입자 크기가 10 ㎛ 이하인 응집체로서 분산되어 있는 해도 구조를 형성하는 것인, (5)에 개시된 성형체.
본 발명에 따라, 우수한 내플라즈마성 및 내화학성 뿐만 아니라, 내열성 및 기계적 강도를 가지는 성형체를 얻을 수 있다. 성형체는 특히 플라즈마, 화학물질 등에 노출된 반도체를 제조하기 위한 소자의 봉인 물질로서 특히 유용하다.
본 발명은 하기에서 상세하게 설명될 것이다.
본 발명에서, 퍼플루오로엘라스토머(A)는 특별히 한정되지 않는다. 그러나, 퍼플루오로올레핀; 퍼플루오로(알킬비닐)에테르, 퍼플루오로(알콕시비닐)에테르 및 이의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 퍼플루오로비닐 에테르; 및 경화 부위 단량체의 공중합 단위를 함유하는 퍼플루오로엘라스토머가 바람직하며, 유기 과산화물과 가교할 수 있는 것이 더 바람직하다. 퍼플루오로엘라스토머(A)의 예는 Daikin Industries, Ltd.에서 제조한 DAI-EL GA-05를 포함한다.
본 발명에서, 엘라스토머(B)는 불소 고무, 실리콘 고무 및 에틸렌-프로필렌계 고무 중에서 선택되는데, 이들 각각은 단독으로 또는 혼합물로 사용될 수 있다. 또한, 엘라스토머(B)는 유기 과산화물과 가교할 수 있는 것이 바람직하다.
불소 고무는 특별히 한정되지 않지만, 유기 과산화물과 가교할 수 있는 불소 고무가 성형체의 기계적 강도의 관점에서 바람직하다. 이의 예는 불화비닐리덴/헥사플루오로프로펜계 공중합체, 불화비닐리덴/헥사플루오로프로펜/테트라플루오로에틸렌계 공중합체 및 테트라플루오로에틸렌/프로필렌계 공중합체를 포함한다. 에틸렌, 퍼플루오로알킬비닐 에테르 등과 상기한 공중합체의 추가 공중합으로 생성된 공중합체 또한 유용하다. 불소 고무(예, 불화비닐리덴/헥사플루오로프로펜/테트라 플루오로에틸렌계 공중합체) 및 불소 수지(예, 테트라플루오로에틸렌/에틸렌 교대 공중합체(alternating copolymer) 및 불화폴리비닐리덴)의 블록 공중합체인 불소계 열가소성 엘라스토머 또한 유용하다. 또한, 상기한 불소 고무 중 둘 이상의 혼합물을 사용할 수 있다.
실리콘 고무는 특별히 한정되지 않지만, 유기 과산화물과 가교할 수 있는 실리콘 고무가 성형체의 기계적 강도의 관점에서 바람직하다. 예를 들어, 메틸 비닐 실리콘 고무, 메틸 비닐 페닐 실리콘 고무 및 플루오로실리콘 고무가 적합하다. 상기한 실리콘 고무 중 둘 이상의 혼합물을 사용할 수 있다.
에틸렌-프로필렌계 고무는 에틸렌 및 프로필렌의 공중합체를 주로 포함하는 고무로, 통상적으로 알려진 물질을 광범위하게 사용할 수 있다. 에틸렌-프로필렌계 고무의 에틸렌 함량은 50∼70 중량%가 바람직하다. 에틸렌-프로필렌계 고무는 소량의 디엔 성분을 함유할 수 있다. 디엔 성분으로는, 디클로로펜타디엔, 에틸리덴 노르보르넨, 1,4-헥사디엔 등이 바람직하다. 에틸렌-프로필렌계 고무 중 둘 이상의 혼합물을 사용할 수 있다. 에틸렌-프로필렌계 고무는 상품일 수 있다. 예를 들어, Keltan 8340A(DSM에서 제조한 EPDM 고무) 등은 시장에서 구할 수 있다.
유기 과산화물 가교제로서, 공지된 불소계 엘라스토머의 가교용 물질을 사용할 수 있다. 이의 예는 디큐밀 과산화물, 디-t-부틸퍼옥시디이소프로필벤젠 및 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥산을 포함한다.
공가교제로서, 공지된 불소계 엘라스토머의 가교용 물질을 사용할 수 있다. 이의 예는 트리알릴 이소시아뉴레이트, 트리알릴 시아뉴레이트, 트리알릴 트리멜리 테이트, N,N'-m-페닐렌 디말레이미드 및 트리메틸올프로판 트리메타크릴레이트를 포함한다. 이 외에, 아크릴레이트계 단량체, 메타크릴레이트계 단량체 등도 사용할 수 있다.
엘라스토머(B)에 대한 퍼플루오로엘라스토머(A)의 혼합비는 중량비로 환산하여 0.5/99.5∼80/20, 바람직하게는 5/95∼60/40이다. 혼합비가 이 범위에 속하지 않으면, 소정의 목적을 이룰 수 없다.
본 발명의 엘라스토머 조성물은 통상의 다양한 방법으로 생산할 수 있다. 예를 들어, 퍼플루오로엘라스토머(A), 엘라스토머(B), 유기 과산화물 가교제 및 공가교제는 오픈 롤(open roll), 혼련기(kneader), 벤버리 믹서, 쌍축압출성형기(twin screw extruder) 등으로 혼합시킬 수 있지만, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.
생성된 엘라스토머 조성물에 대해, 퍼플루오로엘라스토머(A) 및 엘라스토머(B)는 서로 상용성인 것이 바람직하다. 그러나, 성분 (A) 및 (B) 중 하나가 다른 성분 중에 실질적으로 구형 응집체로서 분산되어 있는 "해도 구조"를 두 성분의 혼합비 및 혼합 조건(예를 들어, 혼합 소자의 회전자(rotor)의 모양 및 크기, 및 혼합 시간)에 따라 형성할 수 있다. 또한, 완전한 해도 구조가 형성되지 않아도, 도 1에 나타낸 바와 같이, 각 성분의 무정형 비연속상이 실질적으로 얽혀서 분산되어 있는 상태가 형성될 수 있다. 본 발명에서, 응집체 또는 비연속상이 미세할 경우, 임의의 상기한 분산 상태가 허용될 수 있다. 무엇보다도, 평균 입자 크기로 봤을 때, 응집체(섬)의 크기가 10 ㎛ 이하, 더 바람직하게는 2 ㎛ 이하인 해도 구조가 바람직하다.
본 발명의 성형체는 엘라스토머 조성물을 가교시켜 얻을 수 있다. 가교는 대개 과산화물로 가교시키는 성형법에 따라 수행할 수 있다. 일반적으로, 상기한 엘라스토머 조성물의 양을 소정의 형태를 갖춘 형판(die)에 채운 뒤 열로 압축시킨다. 필요하다면, 2차 가교를 오븐 중에서 1∼32시간 동안 150∼250℃에서 수행할 수 있다. 성형체의 형태는 특별히 한정되지 않지만, 용도에 따라 임의의 형태(예, 시트형, 막대형, 고리형 및 다양한 복합 블록형)를 사용할 수 있다.
하기에 기재된 실시예에서 명백해지는 바와 같이, 본 발명의 성형체는 다양한 특성, 예컨대 특히 고온에서의 신도, 인장 강도, 기계적 강도, 저오염도, 내화학성 및 내플라즈마성이 우수하고, 물성의 밸런스가 우수하다. 이는 원래 퍼플루오로엘라스토머(A)가 보유하는 내플라즈마성, 내화학성 및 저오염도에 더하여 엘라스토머(B)에 의한 인장도 및 신도로 인해 야기되는 것이라 생각된다. 이러한 특성은 퍼플루오로엘라스토머(A) 및 엘라스토머(B)가 균일하게 혼합되어 있는 상태에서 최적이 된다. 또한 성형체에서는, 엘라스토머 조성물과 동일한 분산 상태가 허용될 수 있다. 그러나, 성형체는 바람직하게 평균 입자 크기가 10 ㎛ 이하, 더 바람직하게는 2 ㎛ 이하인 응집체로 만든 해도 구조인 것이 바람직하다. 덧붙여 말하자면, 분산 상태에서의 응집체 및 비연속상의 크기에 대해, 이들이 성형체 중에 분산 상태로 있을 때, 엘라스토머 조성물 중 각각의 크기가 실질적으로 유지된다.
본 발명의 성형체는 상기한 특성을 가지기 때문에, 엄격한 조건(예, 고온 및 고진공) 하에서 사용하는 것이 적절하다. 예를 들어, 본 발명의 성형체는 플라즈 마, 화학물질 등에 노출된 반도체를 제조하기 위한 소자의 봉인 물질로서 유용하다. 덧붙여 말하자면, 플라즈마 기체의 종류는 중요하지 않으며, 예를 들어, 플라즈마 처리 소자에서는 O2, CF4, O2 + CF4, H2, CHF3, CH3F, CH2F2, Cl2, C2F6, BCl3, NF3, NH3 등이 일반적이다. 본 발명의 성형체는 어떠한 플라즈마에 대해서도 우수한 내성을 보인다. 따라서, 본 발명은 특정 플라즈마에 대해 불리하지 않다.
실시예
본 발명은 하기 실시예를 참조하여 더 상세하게 예시될 것이나, 이에 본 발명을 제한하고자 함은 아니다.
실시예 1∼5 및 비교예 1∼6
표 1 및 2에 나타낸 바와 같이, 퍼플루오로엘라스토머(A), 엘라스토머(B), 가교제 및 공가교제는 오픈 롤을 사용하여 혼합한다. 부수적으로, 실시예 2 및 비교예 3에서의 응집체의 크기는 혼합 시간을 변경하면서 조정하였다. 생성된 혼합물은 160℃의 형판 온도에서 10분간 가교 성형한 뒤, 180℃에서 4시간 동안 오븐에서 제2 가교시킨 형판에 세팅하여, 시트를 얻었다. 생성된 시트에서 표본을 잘라내어, 하기 평가에 적용하였다. 얻은 결과는 표 1 및 2에도 나타나 있다.
(1) 상온 특성의 평가:
＊ 파손 시 인장 강도 및 신도:
평가는 JIS K6251에 따라 수행하였다.
(2) 100℃에서의 열간 특성의 평가:
＊ 파손 시 인장 강도 및 신도:
평가는 JIS K6251에 따라 수행하되, 시험 대기는 100℃로 설정하였다.
(3) 내플라즈마성의 평가:
표본은 하기 조건 하에 플라즈마에 노출시켰고, 내플라즈마성은 노출 전후 표본 중량의 감소율로 평가하였다.
＊ 소자 : Shinko Seiki Co., Ltd에서 제조한 표면파 플라즈마 에칭 시스템
＊ 표본 : 두께는 2 mm, 직경은 13 mm인 시트
＊ 기체 : O2 + CF4
＊ 공정 압력 : 133 Pa
＊ 출력 : 3 kW
＊ 노출 시간 : 2시간
＊ 중량 감소율(중량%) = {[(플라즈마에 노출 전 중량) - (플라즈마에 노출 직후 중량)]/(플라즈마 노출 전 중량)} × 100
(4) 응집체의 평균 입자 크기를 측정하는 방법:
얇은 조각을 표본에서 수거한 뒤, 투과형 전자 현미경(JEOL Ltd.에서 제조한 JEM-2000X)을 사용하여 투과형 전자사진을 찍었다. 이 사진에서, 응집체(미립자 물질)의 평균 면적을 측정하였고, 이 평균 면적이 원형이라는 가정 하에, 이의 직경을 측정하여 평균 입자 크기로 정의하였다. 또한, 실시예 2, 실시예 3 및 비교예 3에서 제조된 시트의 TEM 사진은 각각 도 2∼4에 나타나 있다.
표 1에 나타난 바와 같이, 실시예 1∼3 및 비교예 1∼4는 퍼플루오로엘라스토머 및 불소 고무의 혼합된 시스템을 입증한다. 플라즈마에 대한 노출로 인한 중량 감소율에 대해, 실시예 1에 나타난 바와 같이, 본 발명에 따른 성형체는 비교예 1의 퍼플루오로엘라스토머의 성능을 철저하게 유지하였음을 주목한다. 또한, 퍼플루오로엘라스토머의 합성비가 실시예 2 및 3에 나타난 바와 같이 성형체에서 낮을 경우, 비교예 4의 불소 고무만으로 만든 성형체와 비교했을 때, 우수한 내플라즈마성이 입증된다. 반면, 퍼플루오로엘라스토머의 혼합비가 본 발명의 범위보다 낮은 비교예 2의 성형체, 및 응집체의 평균 입자 크기가 큰 비교예 3의 성형체에 대해, 퍼플루오로엘라스토머와 혼합하여 얻은 효과는 제한적이다.
또한, 실시예 1∼3의 성형체는 비교예 1 및 비교예 4의 성형체와 동일하거나 이보다 높은 정상 온도 기계적 강도를 가진다. 또한, 비교예 1의 퍼플루오로엘라스토머 성형체의 열간 강도는 악화되지만, 실시예 1∼3의 성형체는 비교예 4에 따라 열간 강도가 뛰어난 불소 고무만으로 만든 성형체의 열간 강도와 동일하거나 이보다 큰 강도를 가진다.
표 2에 나타나 있는 실시예 4와 5, 및 비교예 5와 6은 실리콘 고무 또는 에틸렌-프로필렌계 고무와 퍼플루오로엘라스토머의 혼합된 시스템을 입증한다. 플라즈마에 대한 노출로 인한 중량 감소율에 대해, 본 발명에 따른 실시예 4 및 5의 성형체는 비교예 5에 따라 실리콘 고무만으로 만든 성형체, 및 비교예 6에 따라 에틸렌-프로필렌계 고무만으로 만든 성형체와 비교했을 때 우수한 내플라즈마성을 보인 다. 또한, 실시예 4 및 5의 엘라스토머 성형체는 비교예 1, 5 및 6의 성형체의 강도와 동일하거나 이보다 큰 강도를 가진다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따라 (A) 퍼플루오로엘라스토머 및 (B) 불소 고무, 실리콘 고무 및 에틸렌-프로필렌계 고무 중에서 선택된 하나 이상의 엘라스토머의 혼합물을 소정의 혼합비로 함유하고 분산된 응집체를 함유하는 엘라스토머 조성물로 성형체를 제조하는 경우에도, 평균 입자 크기가 10 ㎛ 이하인 성형체가 기계적 강도, 내열성, 내화학성 및 내플라즈마성이 뛰어나고 물성의 밸런스가 우수하다는 것이 확인되었다.
실시예 1 실시예 2 실시예 3 비교예 1 비교예 2 비교예 3 비교예 4
(A) 퍼플루오로엘라스토머 Daikin Industries, Ltd.에서 제조한 DAI-EL PERFLUORO GA-05
50
25
5
100
0.1
25
-
(B) 불소
고무		 DuPont에서 제조한 VITON TR-8605 50 75 95 - 99.9 75 100
가교제 NOF사에서 제조한 PERHEXA 25B 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0
공가교제 Nippon Kasei Chemical Co., Ltd.에서 제조한 TAIC
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
플라즈마에 대한 노출에 의한 중량
감소율(중량%)		 0.75 1.89 3.92 0.05 10.1 4.2 11.5
상온 특성
 인장 강도(MPa) 9.04 6.48 10.3 4.36 5.03 4.23 4.86
파손 시 신도(%) 360 340 380 270 330 260 330
100% 응력(MPa) 1.05 1.05 1.13 1.01 1.08 1.00 1.08
100℃에서의 열간 특성 인장 강도(MPa) 1.23 1.4 1.21 0.93 - 0.92 1.19
파손 시 신도(%) 132 140 111 110 - 105 108
응집체의 평균 입자 크기(㎛) 0.8 1.3 0.5 - - 20.5 -
실시예
4		 실시예
5		 비교예
5		 비교예
6
(A) 퍼플루오로엘라스토머 Daikin Industries, Ltd.에서
제조한 DAI-EL PERFLUORO GA-05		 50 75 - -
(B) 실리콘 고무 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.에서
제조한 KE-941-U		 50 - 100 -
(B) 에틸렌
-프로필렌 고무		 JSR사에서 제조한 EP51 - 25 - 100
가교제 NOF사에서 제조한 PERHEXA 25B 0.5 0.75 - -
공가교제 Nippon Kasei Chemical Co., Ltd.에서 제조한 TAIC 0.5 0.75 - -
가교제 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.에서
제조한 C8		 1.0 - 2.0 -
가교제 NOF사에서 제조한 PERCUMYL D - 0.25 - 1.0
플라즈마에 대한 노출에 의한 중량 감소율(중량%) 0.64 2.50 1.80 61.2
상온 특성 인장 강도(MPa) 7.24 7.38 8.30 4.98
파손 시 신도(%) 390 390 450 580
100% 응력(MPa) 0.96 1.11 0.89 1.14
100℃에서의
열간 특성		 인장 강도(MPa) 2.41 1.64 2.62 1.57
파열 시 신도(%) 210 200 250 160
응집체의 평균 입자 크기(㎛) 1.8 1.1 - -
또한, 도 2∼4에서 명백한 바와 같이, 각각의 실시예 2 및 3의 시트는 미세(2 ㎛ 이하) 응집체를 포함하는 해도 구조를 가지는 반면, 비교예 3의 시트에는 10 ㎛를 초과하는 직선형 응집체가 분산되어 있다. 따라서, 이러한 분산 상태의 상이함이 측정값에 반영되어 있음을 유념해야 한다.
본 발명을 이의 구체예를 참조하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명의 발명 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양한 변화 및 변형을 만들 수 있음이 당업자에게는 명백할 것이다.
본 출원은 그 전문이 본원에 참조 인용된 일본 특허 출원 제2004-378969호(2004년 12월 28일에 제출됨) 및 제2005-330112호(2005년 11월 15일에 제출됨)를 기초로 한다.
본 발명에 따라, (A) 퍼플루오로엘라스토머 및 (B) 불소 고무, 실리콘 고무 및 에틸렌-프로필렌계 고무 중에서 선택된 하나 이상의 엘라스토머를 특정 비로 혼합하여, 우수한 내플라즈마성 및 내화학성 뿐만 아니라, 내열성 및 기계적 강도를 가지는 성형체를 얻을 수 있다.

Claims (6)

  1. 퍼플루오로올레핀과, 퍼플루오로(알킬비닐)에테르, 퍼플루오로(알콕시비닐)에테르 및 그 혼합물로 이루어지는 군에서 선택된 퍼플루오로비닐에테르와, 경화 부위 모노머와의 공중합 단위를 함유하는 퍼플루오로엘라스토머(A)와,
    불화비닐리덴/헥사플루오로프로펜계 공중합체, 불화비닐리덴/헥사플루오로프로펜/테트라플루오로에틸렌계 공중합체, 테트라플루오로에틸렌/프로필렌계 공중합체, 이들 공중합체에 에틸렌 또는 퍼플루오로알킬비닐에테르를 공중합시킨 것, 불화비닐리덴/헥사플루오로프로펜/테트라플루오로에틸렌계 공중합체와 테트라플루오로에틸렌/에틸렌 교대 공중합체 또는 불화폴리비닐리덴과의 블록 공중합체, 메틸비닐실리콘 고무, 메틸비닐페닐실리콘 고무, 플루오로실리콘 고무로부터 선택되는 1종 이상의 엘라스토머(B)를
    중량비로 0.5/99.5 ∼ 80/20으로 함유하는 가교물이며, 퍼플루오로엘라스토머(A)와 엘라스토머(B)가 한 쪽에 다른 쪽이 평균 입자 크기 2 ㎛ 이하의 응집체가 되어 분산된 해도 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 엘라스토머 조성물.
  2. 제1항에 있어서, 엘라스토머(B)에 대한 퍼플루오로엘라스토머(A)의 혼합비(A/B)는 중량비로 환산하여 5/95∼60/40인 엘라스토머 조성물.
  3. 제1항에 있어서, 유기 과산화물에 의해 가교되어 있는 엘라스토머 조성물.
  4. 삭제
  5. 제1항에 따른 엘라스토머 조성물을 성형하여 생산한 성형체.
  6. 삭제
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