KR101199749B1 - 스크린판, 층간 절연막, 회로 기판, 액티브 매트릭스 회로 기판, 및 화상 표시 장치 - Google Patents

스크린판, 층간 절연막, 회로 기판, 액티브 매트릭스 회로 기판, 및 화상 표시 장치 Download PDF

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Abstract

이차원적으로 배열된 개구 패턴을 스크린 인쇄로 인쇄하기 위한 스크린판이 개시된다. 이 스크린판은, 스크린판의 인쇄 방향과 평행한 1개 변의 엣지부 또는 2개 변의 엣지부를 따라 미리 정해진 패턴이 단수개 또는 복수개 배열되어 있는 더미 인쇄 영역과, 이 더미 인쇄 영역보다 상기 스크린판의 중심측에 가까운 위치에 띠형으로 형성되어 있는, 전면 인쇄를 실시하기 위한 전면 인쇄 영역과, 이 전면 인쇄 영역보다 중심측에 가까운 위치에 형성되며, 상기 개구 패턴이 이차원적으로 형성되어 있는 인쇄 영역을 포함한다.

Description

스크린판, 층간 절연막, 회로 기판, 액티브 매트릭스 회로 기판, 및 화상 표시 장치{SCREEN PLATE, INTERLAYER INSULATION FILM, CIRCUIT BOARD, ACTIVE MATRIX CIRCUIT BOARD, AND IMAGE DISPLAY APPARATUS}
본 발명은 스크린판, 층간 절연막, 회로 기판, 액티브 매트릭스 회로 기판 및 화상 표시 장치에 관한 것이다.
종래부터 지금까지, 인쇄 기판, 및 세라믹 그린 시트(ceramic green sheet)가 적층되어 있는 세라믹 기판에는 다층 배선이 널리 이용되고 있다. 다층 배선에서는, 층간 절연막에 의해 분리되어 있는 하부 배선과 상부 배선을 컨택트홀(비아홀이라고도 함)을 통해 접속하는 기술이 필요하다. LSI의 고집적화와 고속화의 경향에 따라, 인쇄 배선 기판과 세라믹 기판의 고밀도 패키지도 요구되고 있다. 최근, 미세한 컨택트홀을 통해 상부 배선과 하부 배선을 서로 접속하는 기술이 중요해지고 있다.
층간 절연막을 형성하는 데에는 2가지 방법이 있다. 한 방법으로서, 먼저 전체 기판 상에 스퍼터링법, 진공 증착법 등으로 절연막을 형성한다. 이어서, 그 절연막을 포토레지스트로 코팅하고, 프리베이킹, 노광 및 현상을 실시함으로써, 레지스트 패턴을 형성한다. 그런 다음, RIE 등의 건식 에칭에 의해 절연막에 관통홀을 형성한다. 이런 식으로, 층간 절연막을 형성한다. 다른 방법으로서, 먼저 기판을 포토레지스트로 코팅하고, 프리베이킹, 노광 및 현상을 실시함으로써, 레지스트 패턴을 형성한다. 그런 다음, 스퍼터링법, 진공 증착법 등으로, 절연막을 형성하여 유기 용제에 침지시킨다. 이렇게, 패터닝된 레지스트 상의 절연막을 리프트오프하여 레지스트와 함께 제거한다. 이런 식으로, 층간 절연막이 형성된다. 이들 방법은 고가의 진공 성막 장치를 필요로 하고 제조 공정수가 많으며 절연막으로서 기능하는 재료의 이용 효율이 불량하여, 제조 비용이 상승하게 된다.
한편, 플랫 패널 디스플레이(flat panel display)의 배면 회로 기판은 고선명화, 고속 응답 및 저비용을 요구한다. 또한, 저비용으로 제작할 수 있는 액티브 매트릭스 구동형의 전자 회로에 대한 요구도 있다. 플랫 패널 디스플레이에는, 일정 피치로 배열된 개별 관통홀이 형성되고, 이들 관통홀은 200 dpi에서 약 30 ㎛ 내지 60 ㎛의 크기를 갖는 원형 또는 직사각형의 형태를 갖고, 100 dpi에서 약 80 ㎛ 내지 120 ㎛의 크기를 갖는 원형 또는 직사각형의 형태를 갖는다. 이러한 개별 관통홀을 갖는 층간 절연막을 저비용으로 제조하는 방법으로서, 인쇄 기술, 특히 스크린 인쇄법이 주목을 받고 있다.
더욱이, 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 경우에 있어서, 액티브 매트릭스 구동형의 전자 회로 상에 층간 절연막을 형성한 다음, 그 층간 절연막 상에 개별 전극 및 금속 배선을 더 형성한다. 이 때, 전자 회로와 개별 전극을, 층간 절연막의 개별 관통홀(비아홀)을 통해 전기 배선에 의해 전기적으로 접속시킨다. 이러한 전기 배선을 형성하는 데에도 스크린 인쇄법이 유효하다.
일반적으로, 스크린 인쇄법에서는, 솔리드 프린팅(solid printing)으로 패턴이 없는 절연막을 형성하고 땜납으로 전극을 형성하는 데에 이용되는 페이스트의 점도가 백 수십 Pa?s이다. 이 미세한 개별 관통홀(비아홀)을 형성함에 있어서, 페이스트의 점도 부족 또는 틱소트로피(thixotropy)의 부족으로 인해 누설(oozing) 및 돌출(feathering) 등의 패턴 불량이 발생하기 쉽다. 이러한 이유로, 인쇄 영역에서 균일하고 결함 없이 미세 패턴을 형성하는 것이 곤란하기 때문에, 대량 생산 시 수율을 높일 수 없다.
특허문헌 1에는 포지티브형 인쇄(유제 패턴을 있는 그대로 전사하는 방식)되는 패턴의 영역 외측에 더미 패턴 영역을 마련하여 패턴 해상도를 개선하는 방법이 개시되어 있다. 이 방법에서는, 스크린 인쇄법으로 반도체 웨이퍼에 보호막을 인쇄할 경우, 칩패턴 외측에 50 ㎛～2000 ㎛의 간격을 두고 50 ㎛～100 ㎛의 폭을 갖는 더미 패턴을 형성하는 것이다. 외주부에 있는 칩패턴을 인쇄할 때에는, 더미 패턴으로 인해 태킹(tacking)력이 상승한다. 그 결과, 페이스트가 칩패턴에 전사되는 데 충분한 접착 시간을 얻을 수 있고, 보호막의 엣지에 작은 결함(thin spot)이 발생하기 어렵게 되어, 균일한 인쇄 패턴을 형성할 수 있다.
일본 특허출원 공개 2004-253575호 공보
그러나, 특허문헌 1에 기재되어 있는 방법에서는, 폭이 넓은 더미 패턴에 의해 지나친 태킹력이 발생한다. 플랫 패널 디스플레이의 개별 관통홀을 형성할 때에, 지나친 태킹력에 의한 패턴 치수의 변동은 패턴의 최외주부에서의 소자 면적의 증가와 직결되어, 최종적으로는 화상 품질의 저하를 초래할 수 있다. 또한, 최외주부의 개별 관통홀에 돌출 및 누설 등의 결함이 생길 수 있어, 최외주부에서의 개별 관통홀의 형상을 정밀하게 제어하는 것이 필요하다. 이 때문에, 더미 패턴 영역에서 페이스트의 전사량이 균일해지도록 패턴을 배열해야 하므로, 실용상 어려움을 수반한다.
전술한 문제의 관점에 있어서, 본 발명은 미세한 개구 패턴을 용이하고 저비용으로 인쇄하기 위한 스크린판, 이 스크린판을 이용하여 형성되는 층간 절연막, 회로 기판, 액티브 매트릭스 회로 기판, 및 화상 표시 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 따르면, 이차원적으로 배열된 개구 패턴을 스크린 인쇄로 인쇄하기 위한 스크린판을 제공한다. 이 스크린판은 스크린판의 인쇄 방향과 평행한 1개 변의 엣지부 또는 2개 변의 엣지부를 따라 미리 정해진 패턴이 단수개 또는 복수개 배열되어 있는 더미 인쇄 영역과, 상기 더미 인쇄 영역보다 상기 스크린판의 중심측에 가까운 위치에서 띠형으로 형성되어 있으며, 전면(全面) 인쇄를 실시하기 위한 전면 인쇄 영역과, 상기 전면 인쇄 영역보다 상기 중심측에 가까운 위치에 형성되며, 상기 개구 패턴이 이차원적으로 배열되어 있는 인쇄 영역을 포함한다.
도 1은 제1 실시형태에 따른 스크린판의 평면도이다.
도 2는 제1 실시형태에 따른 스크린판의 상면 확대도이다.
도 3a 내지 도 3c는 제1 실시형태에 따른 스크린판을 이용한 스크린 인쇄의 공정도이다.
도 4는 제1 실시형태에 따른 스크린판의 패턴 레이아웃도이다.
도 5a 내지 도 5g는 제2 실시형태에 따른 더미 인쇄 패턴의 형상을 도시하는 도면이다.
도 6은 제2 실시형태에 따른 스크린판의 패턴 레이아웃도이다.
도 7은 제2 실시형태에 따른 스크린판의 평면도(1)이다.
도 8은 제2 실시형태에 따른 스크린판의 평면도(2)이다.
도 9는 제3 실시형태에 따른 액티브 매트릭스 회로 기판의 평면도이다.
도 10은 제3 실시형태에 따른 액티브 매트릭스 회로 기판의 단면도(1)이다
도 11은 제3 실시형태에 따른 액티브 매트릭스 회로 기판의 단면도(2)이다.
도 12는 제4 실시형태에 따른 화상 표시 장치의 단면도이다.
도 13은 제4 실시형태에 따른 스크린판의 패턴 레이아웃도이다.
도 14는 실시예 7부터 실시예 9 및 비교예 4와 비교예 5에 따른 스크린판의 패턴 레이아웃도이다.
도 15는 실시예 1에 따라 형성된 인쇄 패턴의 현미경 사진이다.
도 16은 비교예 1에 따라 형성된 인쇄 패턴의 현미경 사진이다.
이하, 본 발명의 실시형태들에 대해 설명한다.
(제1 실시형태)
본 실시형태에서는, 스크린 인쇄법에 의해 개구 패턴이 이차원적으로 배열되어 있는 층간 절연막을 인쇄로 형성한다. 이 실시형태에 대해서는 도 1 및 도 2에 기초하여 설명한다.
도 1은 본 실시형태에 따른 스크린판(10)의 평면도이다. 이 스크린판(10)을 제작하는 방법에 대해서 설명한다.
먼저, 폴리에스테르 메시를 사이에 두고 평직의 스테인리스강 메시를 스크린판 프레임에 더블 바이어스 컴비네이션(double bias combination)의 형태로 미리 정해진 장력에 의해 부착한다.
다음에, 스테인리스강 메시의 일면에 감광성 유제를 코팅하고 반복적으로 베이킹하여, 미리 정해진 두께를 갖는 차폐 유제를 형성한다.
그리고, 인쇄 페이스트가 통과하는 영역으로서 기능하는 패턴이 형성되어 있는 Cr 패턴의 유리 원판을 차폐 유제의 앞면에 밀착시키고, 노광 유닛에 의해 노광시킨다
다음에, 차폐 유제를 현상하여 미리 정해진 차폐 유제로 이루어지는 패턴을 형성한다. 필요에 따라서는 스크린판에 카렌더 가공을 적용하는 것이 바람직하다.
이런 식으로, 본 실시형태에 따른 스크린판(10)이 제작된다. 이 스크린판(10)에 있어서, 인쇄 방향을 따른 변의 엣지부에는 더미 인쇄 영역(12)이 형성되고, 이 더미 인쇄 영역(12)에 인접해서, 인쇄 방향과 평행한 전면 인쇄 영역(13)이 형성되며, 그 전면 인쇄 영역(13) 내에는, 미리 정해진 개구 패턴으로 구성된 인쇄 패턴이 형성되어 있는 인쇄 영역(11)이 형성된다.
도 2에 기초하여, 스크린판(10)에서의 차폐 유제의 패턴에 대해서 설명한다. 더미 인쇄 영역(12)에서는, 인쇄될 패턴이 미리 정해진 개구 패턴이 되는 방식으로 더미 인쇄 패턴(16)이 형성된다. 차폐 유제는 이 개구 패턴이 형성되어 있는 영역에 형성된다. 따라서, 인쇄 페이스트를 이용하여 인쇄할 경우, 인쇄 페이스트는 차폐 유제가 형성되어 있는 영역을 통과하는 것이 아니라, 차폐 유제가 형성되어 있지 않은 영역을 통과한다. 따라서, 인쇄된 패턴은 차폐 유제가 형성되어 있는 영역, 즉 더미 인쇄 패턴(16)에 대응하는 개구부를 갖는 개구 패턴이 된다.
전면 인쇄 영역(13)에는 차폐 유제가 형성되지 않는다. 그러기 때문에, 인쇄 페이스트를 이용하여 인쇄할 경우, 인쇄 페이스트가 전면 인쇄 영역(13)을 통과하는 것에 의해, 전면 인쇄, 즉 소위 솔리트 프린팅(solid printing)이 이루어진다.
인쇄 영역(11)에는, 인쇄될 패턴이 미리 정해진 개구 패턴이 되는 방식으로 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 차폐 유제는 이 개구 패턴이 형성되어 있는 영역에 형성된다. 따라서, 인쇄 페이스트를 이용하여 인쇄할 경우, 인쇄 페이스트는 이들 차폐 유제가 형성되어 있는 영역을 통과하는 것이 아니라, 차폐 유제가 형성되어 있지 않은 영역을 통과한다. 따라서, 인쇄된 패턴은 차폐 유제가 형성되어 있는 영역, 즉 인쇄 패턴(15)에 대응하는 개구부를 갖는 개구 패턴이 된다.
다음에, 도 3에 기초하여 본 실시형태에 따른 스크린판을 이용하는 스크린 인쇄법에 대해서 설명한다. 또한, 인쇄 페이스트로서 절연성 페이스트를 사용한다.
도 3a에 도시하는 바와 같이, 기판(21) 상에는 본 실시형태에 따른 스크린판(10)이 제공되고, 스퀴지(squeegee)(24)를 이용하여 절연성 페이스트(23)를 도포한다. 인쇄에 이용되는 절연성 페이스트(23)는 무기 필러 입자, 열가소성 수지 바인더, 부틸카르비톨 등으로 이루어진다. 미세 피치로 패턴을 인쇄할 경우, 절연성 페이스트(23)의 점도는 약 260 Pa?s[브룩필드(Brookfield)사의 HBT No.14 스핀들을 사용하여 10 rpm에서 계측]인 것이 바람직하다. 스크린판(10)과 기판(21)과의 클리어런스는 스크린판(10)의 크기에 따라 적절하게 설정된다.
이 후, 도 3b에 도시하는 바와 같이, 스퀴지(24)를 이동시켜 스크린 인쇄를 실시한다. 이 때, 이용되는 스퀴지(24)는 고무제 플랫 스퀴지이며, 어택각(attack angle)이 70°이고 인쇄 속도가 10 ㎜/s～80 ㎜/s 범위에 있는 조건으로 스크린 인쇄를 실시한다. 이에 따라, 절연 페이스트로 이루어진 인쇄 패턴(25)이 기판(21)의 앞면에 형성된다.
전술한 스크린 인쇄법에 대해서 더 상세하게 설명한다. 절연성 페이스트(23)를 도포할 경우, 인쇄될 기판(21)으로부터 수 밀리미터 떨어진 위치에 스크린판(10)을 설치한다. 그런 다음, 스크린판(10)에 절연성 페이스트(23)를 얇게 코팅하고, 인쇄될 기판(21)에 대해 스크린판(10)을 스퀴지(24)로 누르면서 인쇄한다. 스크린판(10)은 스퀴지(24)에 의해 눌러질 경우, 신장되어 기판(21)의 앞면과 선형으로 접촉한다. 스크린판(10)이 기판(21)의 앞면과 선형으로 접촉하게 되는 영역은 스퀴지(24)의 이동과 함께 이동한다. 이 때, 절연성 페이스트(23)는 스크린판(10)에서 차폐 유제가 형성되어 있지 않은 영역을 통과하여 기판(21) 상에 인쇄 패턴(25)을 형성한다. 또한, 스크린판(10)에서 차폐 유제가 형성되어 있는 영역은 차폐 유제에 의해 차폐되기 때문에 절연성 페이스트(23)가 그 영역을 통과하지 못한다.
스퀴지(24)가 이동할 때 스크린판(10)이 기판(21)과 선형으로 접촉하게 되는 영역은 스퀴지의 이동과 함께 기판(21)으로부터 떨어지게 되는데, 이 현상을 스크린 인쇄의 판 분리라고 한다. 이 판 분리 시에, 강한 전단력이 스크린판(10)과 절연성 페이스트(23)와의 접촉 부분에 인가된다. 판 분리로 인해 전단력을 받은 절연성 페이스트(23)의 점도는 급격히 감소하고, 절연성 페이스트(23)는 기판(21)의 앞면에 전사된다.
여기서, 사용되는 절연성 페이스트(23)의 점도, 인쇄 조건 및 인쇄 패턴의 배열 등에 따라 다르지만, 스크린판(10)과 기판(21) 사이에는 태킹력이라고 불리는 접착력이 생긴다. 이 태킹력은 사용되는 절연성 페이스트(23)의 점도, 및 스크린판(10)과 인쇄될 기판 상에서의 절연성 페이스트(23)의 습윤성 효과 등의 인쇄 조건에 따라 다르다.
일반적으로, 절연성 페이스트(23)가 전면에 통과하는 솔리드 프린팅이 전체 영역에서 실시되는 경우에는, 기판(21)과 스크린판(10)과의 접촉 영역이 커서 태킹력이 강해진다. 한편, 차폐 유제로 이루어진 차폐 영역이 많이 형성되어 있는 경우에는, 기판(21)과 스크린판(10)과의 접촉 영역이 좁아 태킹력이 약해진다. 또한, 기판(21)으로부터 스크린판(10)을 분리하기 쉽다는 점을 고려하여 스크린판(10)의 복원력이 설정된다. 그러나, 스퀴지(24)에 의해 스크린판(10)이 기판(21)과 선형으로 접촉하는 영역에서는, 스크린판(10)의 중심부에서의 복원력이 양단 부분의 복원력보다 작다.
또한, 일반적으로, 인쇄 패턴이 유제에 의해 차폐되더라도, 스퀴지 전방에서 인쇄 페이스트가 전사되고, 인쇄 페이스트의 전사량은 솔리드 프린팅이 실시되는 솔리드 인쇄 영역과 패턴이 인쇄되는 패턴 영역에서 다르다. 그렇기 때문에, 솔리드 인쇄 영역에서부터 패턴 영역으로 인쇄 페이스트가 밀려나오는 "누설"이 발생한다.
그러나, 본 실시형태에서는, 더미 인쇄 영역(12) 및 전면 인쇄 영역(13)이 스크린판(10)에 마련되기 때문에, 스퀴지(24)의 양단에 가까운 인쇄 영역(11)에서 인쇄 페이스트의 전사량을 될 수 있는 한 균일하게 유지할 수 있다. 따라서, 누설 및 판 분리 지연으로 인한 패턴의 돌출 등이 발생하기 어렵다.
이런 식으로 스크린 인쇄가 실시되는 기판은 도 3c에 도시하는 바와 같이, 강제 대류식 오븐(27)에 넣어져 가열되어, 인쇄 패턴(25)으로서 기능하는 절연 페이스트가 경화됨으로써 절연막이 형성된다. 이 때, 절연 페이스트는 250 ℃에서 60분간 가열되어야 한다.
또한, 기판(21)으로서는, 종이와, 유리 기판과, 석영 기판과, 세라믹 기판과, PES(폴리에테르 설폰), PEN(폴리에틸렌 나프탈레이트), PI(폴리이미드), PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트) 등의 플라스틱 기판과, Si, GaAs 등의 반도체 기판을 이용할 수 있다. 또한, 절연성 페이스트(23)로는 미세 피치 인쇄에 대응할 수 있고 스크린 인쇄를 실시하는데 이용될 수 있는 것을 사용할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 따른 스크린판(10)의 스크린 메시는 인치당 360개 내지 800개의 스테인리스강선을 갖는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 도 4에 도시하는 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에서는, 인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향 및 y 방향의 패턴 피치 "ax"와 "ay"가 100 ㎛ 내지 400 ㎛의 범위에 있는 것이 바람직하다. 스크린판(10)을 제작할 때에, 차폐 유제는 메시의 스테인리스강선의 약 3개 또는 4개의 교점에 의해 지지되는 것이 강도면에서 바람직하다. 통상, 메시의 개구부보다 3배 또는 4배 정도 큰 유제를 제조해야 한다. 현재, 양산 레벨에 사용되고 있는 메시 중 가장 미세한 것은 인치당 500 메시를 갖는 스크린판이다. 강도면에서 500 메시로 지지 가능한 유제의 한계 사이즈는 현재 상황에서는 약 30 ㎛ 정도이다. 그와 같은 메시에 대한 유제 사이즈의 제한 하에서 인쇄 패턴 및 인쇄 영역을 설계하면, 인쇄 페이스트의 전사량을 제어할 수 있다. 그렇기 때문에, 본 발명의 효과를 특히 현저하게 얻을 수 있다. 금후에 스크린판 제작에 더욱 미세한 메시를 적용할 수 있다면, 유제 사이즈에 대한 제한도 완화되어, 한층 더 미세 패턴을 형성하는 것이 가능하게 된다.
또한, 전면 인쇄 영역(13)의 폭 "cL"은 인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 1배 이상, 15배 이하인 것이 바람직하다. 후술하는 바와 같이, 이 범위 내에서 전면 인쇄 영역(13)을 형성할 경우, 어떤 결함도 발생하지 않고 인쇄 영역(11)에서 인쇄 패턴의 스크린 인쇄를 실시할 수 있다.
또한, 절연성 페이스트(23)는 브룩필드사의 HBT No.14 스핀들을 사용하여 10 rpm에서 계측될 경우, 그 절연성 페이스트(23)의 점도는 150 Pa?s 내지 350 Pa?s의 범위에 있는 것이 바람직하다. 이 범위 내에서, 전술한 바와 같은 효과를 얻을 수 있다.
(제2 실시형태)
본 실시형태는 스크린판(10)에서의 전면 인쇄 영역(13) 및 더미 인쇄 패턴(16)의 형상에 관한 것이다.
이제, 도 5a 내지 도 5g에 기초하여 더미 인쇄 패턴(16)의 형상에 관해서 설명한다. 더미 인쇄 패턴(16)의 형상예로서는, 도 5a에 도시하는 원형, 도 5b에 도시하는 타원형, 도 5c에 도시하는 도넛형, 도 5d에 도시하는 정사각형, 도 5e에 도시하는 마름모형, 도 5f에 도시하는 직사각형, 도 5g에 도시하는 육각형을 포함하며, 원형은 직경이 20 ㎛ 이상이고, 다각형은 한 변이 20 ㎛ 이상이다. 더미 인쇄 패턴(16)을 이들 형상으로 형성할 경우, 본 발명의 효과를 얻을 수 있다.
또한, 더미 인쇄 영역(12)에 형성되는 패턴은 도 6에 도시하는 인쇄 방향과 평행한 띠형의 더미 인쇄 패턴(17)일 수 있다. 이 경우의 띠형 더미 인쇄 패턴(17)의 폭은 20 ㎛ 이상이다. 더미 인쇄 패턴(17)을 이러한 형상으로 형성할 경우에도, 본 발명의 효과를 얻을 수 있다.
또한, 도 7에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)은 인쇄 방향과 평행한 2개 변, 즉 인쇄 영역(11)의 양측의 2개 변을 따라 더미 인쇄 영역(12a, 12b) 및 전면 인쇄 영역(13a, 13b)이 형성되도록 구성될 수도 있다. 이러한 구성에 의해, 인쇄 영역(11)의 전면에 인쇄 패턴(15)을 상위 레벨에서의 결함 발생 없이 형성할 수 있다. 더욱이, 도 8에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)은 인쇄 방향에 있어서 더미 인쇄 영역(12)의 길이를 인쇄 영역(11)의 길이보다 길게 하여 구성될 수 있다.
(제3 실시형태)
이제, 제3 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태는 본 발명에 기초한 액티브 매트릭스 회로 기판 및 액티브 매트릭스 회로 기판의 형성 방법에 관한 것이다.
본 실시형태에 따른 액티브 매트릭스 회로 기판은 도 9와 도 10에 도시하는 회로 기판 상에 층간 절연막 및 개별 전극을 형성하는 방식으로 제작된다.
도 9는 회로 기판의 배선 패턴을 도시하는 평면도이고, 도 10은 도 9의 10A-10B 선을 따라 자른 단면도이다. 이 회로 기판에 있어서, 석영이나 유리로 이루어지는 기판(51) 상에, 이차원 매트릭스형으로 TFT(박막 트랜지스터)가 배열된다. 각각의 TFT는, 기판(51) 상에 형성되며 Al로 이루어진 게이트 전극(52), 드레인 전극(54) 및 소스 전극(55)을 전극으로서 이용하며, SiO2로 이루어진 게이트 절연막(53), a-Si로 이루어진 반도체층(56)으로 구성된다.
또한, 게이트 전극(52), 드레인 전극(54) 및 소스 전극(55)은 다음과 같이 형성된다. 즉, 먼저 Cr, Cu, Au 등을 이용한 스퍼터링법으로서 막을 형성하여 포토레지스트로 코팅한다. 그리고, 그 막에 프리베이킹, 노광 및 현상 처리하여, 레지스트 패턴을 형성한다. 그 후, 레지스트 패턴에 RIE 등의 에칭을 실시한다. 그 결과, 게이트 전극(52), 드레인 전극(54) 및 소스 전극(55)이 형성된다. 또한, 산화규소 또는 질화규소로 이루어진 절연막을 플라즈마 CVD법으로 형성할 경우 게이트 절연막(53)이 형성된다.
다음에, 도 11에 도시하는 바와 같이, 제1 실시형태에 따른 스크린판을 이용해 회로 기판 상에 스크린 인쇄를 실시하여 층간 절연막(57)을 형성한다. 이 층간 절연막(57)은 TFT에 대응하는 관통홀을 갖는다. 이 관통홀에 도전성 재료가 충전될 경우, TFT의 드레인 전극(54)은 개별 전극(59)에 전기적으로 접속된다. 이런 식으로, 본 실시형태에 따른 액티브 매트릭스 회로 기판이 제작된다.
(제4 실시형태)
이제, 제4 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태는 본 발명에 따른 화상 표시 장치에 관한 것이다.
구체적으로는, 제3 실시형태에 따라 제작된 액티브 매트릭스 회로 기판을 이용하여, 화상 표시 소자로서 전기영동 소자를 형성한다.
도 12에 기초하여, 본 실시형태에 따른 화상 표시 장치에 대해서 설명한다.
제3 실시형태에 따라 제작된 액티브 매트릭스 회로 기판의 개별 전극(59)이 형성되어 있는 표면에, 접착층(60)을 사이에 두고, 예컨대 오일 블루로 착색된 아이소퍼(isoper)와 산화티타늄 입자가 캡슐로 둘러싸인 전기영동형 표시 소자층(61)을 적층한다. 또한, 그 전기영동형 표시 소자층(61)에 공통 전극(62)을 갖는 상부 기판(63)을 추가 접착시킨다. 이에, 화상 표시 장치가 형성된다.
본 실시형태에서 이용되는 표시 소자는 본 실시형태에 따른 전기영동 표시 소자 외에, 일렉트로크로믹 소자 및 폴리머 분산형 액정 소자일 수도 있다.
(실시예)
다음에, 본 발명에 따른 실시예에 대해서 이하에 설명한다. 구체적으로는, 이하의 구성을 갖는 스크린판을 제작한 다음, 절연성 페이스트를 이용해 인쇄하여 결과를 얻었다.
(실시예 1)
실시예 1에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 400개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 x 방향에 있는 160 ㎛의 장축과 y 방향에 있는 120 ㎛의 단축을 갖는 타원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 1000×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 200 ㎛의 직경을 갖는 원형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 3×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 전면 인쇄 영역(13)은 700 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 2.3 배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
(비교예 1)
비교예 1에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 400개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, x 방향에 있는 160 ㎛의 장축과 y 방향에 있는 120 ㎛의 단축을 갖는 타원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치로 이차원적으로 1000×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)에는 더미 인쇄 영역(12) 및 전면 인쇄 영역(13)이 형성되지 않는다.
(실시예 2)
실시예 2에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 400개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 x 방향에 있는 160 ㎛의 장축과 y 방향에 있는 120 ㎛의 단축을 갖는 타원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 1000×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 200 ㎛의 직경을 갖는 원형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 3×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 전면 인쇄 영역(13)은 2100 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 7배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
(실시예 3)
실시예 3에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 400개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 x 방향에 있는 160 ㎛의 장축과 y 방향에 있는 120 ㎛의 단축을 갖는 타원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 1000×800개 배열된다. 또한, 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 200 ㎛의 직경을 갖는 원형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 3×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 전면 인쇄 영역(13)은 4500 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 15배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
(비교예 2)
비교예 2에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 400개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 x 방향에 있는 160 ㎛의 장축과 y 방향에 있는 120 ㎛의 단축을 갖는 타원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 1000×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 200 ㎛의 직경을 갖는 원형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 3×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 전면 인쇄 영역(13)은 4800 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 16배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
(비교예 3)
비교예 3에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 400개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 x 방향에 있는 160 ㎛의 장축과 y 방향에 있는 120 ㎛의 단축을 갖는 타원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 1000×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 200 ㎛의 직경을 갖는 원형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 3×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 전면 인쇄 영역(13)은 9000 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 30배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
(실시예 4)
실시예 4에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 400개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 13에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 x 방향에 있는 160 ㎛의 장축과 y 방향에 있는 120 ㎛의 단축을 갖는 타원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 300 ㎛의 패터 피치 "ax" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 1000×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 한 변이 150 ㎛인 마름모형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 400 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 6×800개 배열된다(편의상 도 13에는 일부가 생략되어 있다). 또한, 스크린판(10)의 전면 인쇄 영역(13)은 700 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 2.3배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
(실시예 5)
실시예 5에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 400개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 x 방향에 있는 160 ㎛의 장축과 y 방향에 있는 120 ㎛의 단축을 갖는 타원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 1000×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 200 ㎛의 폭을 갖는 3개의 띠형 더미 인쇄 패턴(17)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx"로 배열된다. 또한, 전면 인쇄 영역(13)은 700 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 2.3배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
(실시예 6)
실시예 6에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 400개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 구체적으로는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 더미 인쇄 영역(12a, 12b) 및 전면 인쇄 영역(13a, 13b)이 인쇄 영역(11)의 양측에 형성된다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 x 방향에 있는 160 ㎛의 장축과 y 방향에 있는 120 ㎛의 단축을 갖는 타원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 1000×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 200 ㎛의 직경을 갖는 원형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 3×800개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 전면 인쇄 영역(13)은 2100 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 7배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다. 전술한 구성은 스크린판(10)의 반대측에도 형성된다.
(실시예 7)
실시예 7에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 500개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 100 ㎛의 직경을 갖는 원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 2500×2000개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 150 ㎛의 직경을 갖는 원형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 3×2000개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 전면 인쇄 영역(13)은 200 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 1배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
(실시예 8)
실시예 8에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 500개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 100 ㎛의 직경을 갖는 원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 2500×2000개 배열된다. 또한, 스크린판의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 150 ㎛의 직경을 갖는 원형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 3×2000개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 전면 인쇄 영역(13)은 800 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 4배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
(실시예 9)
실시예 9에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 500개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 100 ㎛의 직경을 갖는 원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 2500×2000개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 150 ㎛의 직경을 갖는 원형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 3×2000개 배열된다. 또한, 전면 인쇄 영역(13)은 3000 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 15배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
(비교예 4)
비교예 4에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 500개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 그 인쇄 영역(11)에서 각각 100 ㎛의 직경을 갖는 원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 2500×2000개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 150 ㎛의 직경을 갖는 원형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 3×2000개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 전면 인쇄 영역(13)은 3200 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 16배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
(비교예 5)
비교예 5에 따른 스크린판의 스크린 메시는 인치당 500개의 평직 스테인리스강선으로 구성된다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 스크린판(10)의 인쇄 영역(11)에는, 각각 100 ㎛의 직경을 갖는 원형의 인쇄 패턴(15)이 형성된다. 이 인쇄 패턴(15)은 x 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "ax" 및 y 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "ay"로 이차원적으로 2500×2000개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 더미 인쇄 영역(12)에는, 각각 150 ㎛의 직경을 갖는 원형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어, x 방향에서의 300 ㎛의 패턴 피치 "bx" 및 y 방향에서의 200 ㎛의 패턴 피치 "by"로 이차원적으로 3×2000개 배열된다. 또한, 스크린판(10)의 전면 인쇄 영역(13)은 4000 ㎛[인쇄 패턴(15) 사이의 x 방향의 패턴 피치 "ax"의 20배]의 폭 "cL"을 갖는 띠형으로 형성된다.
표 1은 실시예 1부터 실시예 9와 비교예 1부터 비교예 5에서 인쇄 영역(11)에 형성된 인쇄 패턴(15)의 결함수와, 더미 인쇄 영역(12)에 형성된 더미 인쇄 패턴(16)의 결함수를 나타낸다.
Figure 112010087272102-pct00001
실시예 1과 비교예 1은 더미 인쇄 영역(12) 및 전면 인쇄 영역(13)가 존재한다는 것이 차이점이다. 다시 말해, 실시예 1에서는 본 발명에 따라 더미 인쇄 영역(12) 및 전면 인쇄 영역(13)이 형성되어 있는 스크린판을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 한편, 비교예 1에서는, 더미 인쇄 영역(12) 및 전면 인쇄 영역(13)이 형성되어 있지 않은 스크린판을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 표 1에 나타내는 바와 같이, 실시예 1에서는 인쇄 영역(11)에 형성된 인쇄 패턴(15)에 결함이 없었지만, 비교예 1에서는 인쇄 영역(11)에 형성된 인쇄 패턴의 결함수가 약 4000개였다.
도 15는 실시예 1에 따른 스크린판을 이용하여 인쇄된 인쇄 패턴의 현미경 사진을 나타내고, 도 16은 비교예 1에 따른 스크린판을 이용하여 인쇄된 인쇄 패턴의 현미경 사진을 나타낸다. 도 15에 나타내는 실시예 1에서는, 인쇄 영역(11)이 전면 인쇄 영역(13)을 사이에 두고 더미 인쇄 영역(12)으로부터 이격되어 형성되었고, 전면 인쇄 영역(13)에는 절연 페이스트가 전면에 인쇄되었다. 인쇄 영역(11) 및 더미 인쇄 영역(12)에는 결함 개구부가 형성되지 않았다. 한편, 도 16에 나타내는 비교예 1에서는 결함 개구부가 형성되었다.
또한, 실시예 2, 실시예 3, 비교예 2, 비교예 3은 전면 인쇄 영역(13)의 폭에 대한 의존성을 나타내는 것이다. 다시 말해, 실시예 2에서는 전면 인쇄 영역(13)의 폭이 2100 ㎛[인쇄 영역(11)에서 인쇄 패턴 사이의 x 방향의 패턴 피치의 7배]인 스크린 인쇄판을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 실시예 3에서는 전면 인쇄 영역(13)의 폭이 4500 ㎛[인쇄 영역(11)에서 인쇄 패턴 사이의 x 방향의 패턴 피치의 15배]인 스크린 인쇄판을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 비교예 2에서는 전면 인쇄 영역(13)의 폭이 4800 ㎛[인쇄 영역(11)에서 인쇄 패턴 사이의 x 방향의 패턴 피치의 16배]인 스크린 인쇄판을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 비교예 3에서는 전면 인쇄 영역(13)의 폭이 9000 ㎛[인쇄 영역(11)에서 인쇄 패턴 사이의 x 방향의 패턴 피치의 30배]인 스크린 인쇄판을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 표 1에 나타낸 바와 같이, 실시예 2와 실시예 3에서는 인쇄 영역(11)에 형성된 인쇄 패턴(15)에 결함이 없었지만, 비교예 2에서는 인쇄 영역(11)에 약 400개의 결함 인쇄 패턴(15)이 형성되었고, 비교예 3에서는 인쇄 영역(11)에 약 2700개의 결함 인쇄 패턴(15)이 형성되었다.
더욱이, 실시예 4와 실시예 5는 더미 인쇄 영역(12)에서의 더미 인쇄 패턴(16)의 형상이 변할 경우에 대한 의존성을 나타내는 것이다. 다시 말해, 실시예 4에서는 도 13에 도시하는 바와 같이, 더미 인쇄 영역(12)에 마름모형의 더미 인쇄 패턴(16)이 형성되어 있는 스크린판(10)을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 실시예 5에서는 도 6에 도시하는 바와 같이, 더미 인쇄 영역(12)에 띠형의 더미 인쇄 패턴(17)이 형성되어 있는 스크린판(10)을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 표 1에 나타내는 바와 같이, 실시예 4와 실시예 5에서는 실시예 1의 경우와 같이 인쇄 영역(11)에 형성된 인쇄 패턴(15)에 결함이 없었다.
또한, 실시예 6에서는 도 7에 도시하는 바와 같이, 실시예 1에 따른 더미 인쇄 영역(12) 및 전면 인쇄 영역(13)이 인쇄 영역(11)의 양측에 마련되어 있는 스크린판(10)을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 표 1에 나타내는 바와 같이, 실시예 6에서는 실시예 1의 경우와 같이, 인쇄 영역(11)에 형성된 인쇄 패턴(15)에 결함이 없었다.
또한, 실시예 7, 실시예 8, 실시예 9 및 비교예 4, 실시예 5는 전면 인쇄 영역(13)의 폭 "cL"에 대한 의존성을 나타내는 것이다. 구체적으로는, 실시예 7, 실시예 8, 실시예 9, 비교예 4, 비교예 5는 실시예 1부터 실시예 3, 비교예 1부터 비교예 3보다, 인쇄 영역(11)에서의 인쇄 패턴(15) 사이의 패턴 피치와 더미 인쇄 영역(12)에서의 더미 인쇄 패턴(16) 사이의 패턴 피치를 작게 한 경우에 있어서 전면 인쇄 영역(13)의 폭 "cL"에 대한 의존성을 나타내는 것이다. 즉, 실시예 7에서는, 전면 인쇄 영역(13)의 폭 "cL"이 200 ㎛[인쇄 영역(11)에서 인쇄 패턴 사이의 x 방향의 패턴 피치의 1배]인 스크린 인쇄판을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 실시예 8에서는, 전면 인쇄 영역(13)의 폭 "cL"이 800 ㎛[인쇄 영역(11)에서 인쇄 패턴 사이의 x 방향의 패턴 피치의 4배]인 스크린 인쇄판을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 실시예 9에서는 전면 인쇄 영역(13)의 폭 "cL"이 3000 ㎛[인쇄 영역(11)에서 인쇄 패턴 사이의 x 방향의 패턴 피치의 15배]인 스크린 인쇄판을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 비교예 4에서는, 전면 인쇄 영역(13)의 폭 "cL"이 3200 ㎛[인쇄 영역(11)에서 인쇄 패턴 사이의 x 방향의 패턴 피치의 16배]인 스크린 인쇄판을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 비교예 5에서는, 전면 인쇄 영역(13)의 폭 "cL"이 4000 ㎛[인쇄 영역(11)에서 인쇄 패턴 사이의 x 방향의 패턴 피치의 20배]인 스크린 인쇄판을 이용하여 스크린 인쇄를 실시하였다. 표 1에 나타내는 바와 같이, 실시예 7, 실시예 8, 실시예 9에서는 인쇄 영역(11)에 형성된 인쇄 패턴(15)에 결함이 없었지만, 비교예 4에서는 인쇄 영역(11)에 약 2000개의 결함 인쇄 패턴(15)이 형성되었고, 비교예 3에서는 인쇄 영역(11)에 약 4500개의 결함 인쇄 패턴(15)이 형성되었다.
본 발명은 구체적으로 개시된 실시형태들에 한정되지 않으며, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않고 변화 및 변경이 이루어질 수 있다.
본 출원은 2008년 7월 18일자로 일본 특허청에 제출한 일본 우선권 출원 제2008-187655호에 기초하며, 이것의 전체 내용은 여기에서의 인용에 의해 본 명세서에 원용된다.

Claims (9)

  1. 이차원적으로 배열된 개구 패턴을 스크린 인쇄로 인쇄하기 위한 스크린판에 있어서,
    상기 스크린판의 인쇄 방향과 평행한 1개 변의 엣지부 또는 2개 변의 엣지부를 따라 미리 정해진 패턴이 단수개 또는 복수개 배열되어 있는 더미 인쇄 영역과,
    상기 더미 인쇄 영역보다 상기 스크린판의 중심측에 가까운 위치에서 띠형으로 형성되어 있는, 전면(全面) 인쇄를 실시하기 위한 전면 인쇄 영역과,
    상기 전면 인쇄 영역보다 상기 중심측에 가까운 위치에 형성되고, 상기 개구 패턴이 이차원적으로 배열되어 있는 인쇄 영역
    을 포함하는 스크린판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 전면 인쇄 영역은 상기 스크린판의 인쇄 방향과 평행하게 형성되는 것인 스크린판.
  3. 제1항에 있어서, 상기 전면 인쇄 영역의 폭은 상기 인쇄 영역에서의 개구 패턴 사이의 패턴 피치의 1배 이상, 15배 이하인 것인 스크린판.
  4. 제1항에 있어서, 상기 더미 인쇄 영역에서의 상기 미리 정해진 패턴은 직경이 20 ㎛ 이상인 원형의 개구 패턴, 또는 한 변이 20 ㎛ 이상인 다각형의 개구 패턴인 것인 스크린판.
  5. 제1항에 있어서, 상기 더미 인쇄 영역에서의 상기 미리 정해진 패턴은 상기 스크린판의 인쇄 방향을 따라 배열되어 있는, 폭이 20 ㎛ 이상인 띠형의 패턴인 것인 스크린판.
  6. 제1항에 있어서, 상기 스크린 인쇄에는 절연 페이스트가 이용되는 것인 스크린판.
  7. 제1항에 있어서, 상기 스크린판의 스크린 메시는 인치당 360개 내지 800개의 스테인리스강선으로 구성되고, 상기 인쇄 영역에서의 개구 패턴 사이의 패턴 피치는 100 ㎛ 내지 400 ㎛의 범위에 있는 것인 스크린판.
  8. 브룩필드(Brookfield)사의 HBT No.14 스핀들을 사용해서 10 rpm에서 계측할 경우 150 Pa?s 내지 350 Pa?s의 점도를 갖는 절연 페이스트를 이용하고, 제1항에 기재된 스크린판을 이용하여, 스크린 인쇄법으로 인쇄함으로써 인쇄 영역에 형성되는 층간 절연막.
  9. 액티브 매트릭스 회로 기판 상에 적층된 화상 표시 소자를 갖는 화상 표시 장치에 있어서,
    상기 액티브 매트릭스 회로 기판은 이차원적으로 배열된 트랜지스터와 다이오드를 서로 전기적으로 접속하는 전기 배선을 갖는 회로 기판을 포함하고,
    상기 회로 기판은, 층간 절연막에 형성된 개구 패턴에 도전성 재료가 충전될 경우 상부 전극과 하부 전극이 상기 층간 절연막을 통해 서로 전기적으로 접속되는 다층 배선을 가지며,
    상기 층간 절연막은, 브룩필드사의 HBT No.14 스핀들을 사용해서 10 rpm에서 계측할 경우 150 Pa?s 내지 350 Pa?s의 점도를 갖는 절연 페이스트를 이용하고, 이차원적으로 배열된 개구 패턴을 스크린 인쇄로 인쇄하기 위한 스크린판을 이용하여 스크린 인쇄법을 적용함으로써 인쇄 영역에 형성되고,
    상기 스크린판은,
    상기 스크린판의 인쇄 방향과 평행한 1개 변의 엣지부 또는 2개 변의 엣지부를 따라 미리 정해진 패턴이 단수개 또는 복수개로 배열되어 있는 더미 인쇄 영역과,
    상기 더미 인쇄 영역보다 상기 스크린판의 중심측에 가까운 위치에서 띠형으로 형성되어 있는, 전면 인쇄를 실시하기 위한 전면 인쇄 영역과,
    상기 전면 인쇄 영역보다 상기 중심측에 가까운 위치에 형성되며, 상기 개구 패턴이 이차원적으로 배열되어 있는 인쇄 영역
    을 포함하는 것인 화상 표시 장치.
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