KR101099563B1 - 바이폴라 접합 트랜지스터 및 그의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
그리고 본 발명의 바이폴라 접합 트랜지스터의 제조방법은, 고전압용 N형 웰이 구비된 반도체 기판을 제공하는 단계, 상기 기판의 소정 부위에 P형 불순물을 이온주입하여 십자 모양(cross)의 P형 베이스 영역을 형성하는 단계, 상기 기판 결과물에 대해 열처리를 실시하는 단계, 상기 P형 베이스 영역의 기판을 소정 깊이로 식각하여 트렌치를 형성하는 단계, 상기 트렌치를 매립하도록 트렌치 표면에 매립 산화막을 증착하여 P형 베이스 영역에 소자분리막을 형성하는 단계, 상기 P형 베이스 영역 내에 N형 불순물을 이온주입하여 십자 모양의 에미터 영역을 형성하는 단계, 상기 P형 베이스 영역 내에 P형 불순물을 이온주입하여 상기 소자분리막을 경계로 상기 에미터 영역 양측에 베이스 영역을 형성하는 단계, 및 상기 P형 베이스 영역 외부의 상기 N형 웰 영역 내에 N형 불순물을 이온주입하여 상기 소자분리막을 경계로 상기 베이스 영역 측면에 콜렉터 영역을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Claims (2)
- 고전압용 N형 웰이 구비된 반도체 기판을 제공하는 단계;상기 기판의 소정 부위에 P형 불순물을 이온주입하여 십자 모양(cross)의 P형 베이스 영역을 형성하는 단계;상기 기판 결과물에 대해 열처리를 실시하는 단계;상기 P형 베이스 영역의 기판을 소정 깊이로 식각하여 트렌치를 형성하는 단계;상기 트렌치를 매립하도록 트렌치 표면에 매립 산화막을 증착하여 P형 베이스 영역에 소자분리막을 형성하는 단계;상기 P형 베이스 영역 내에 N형 불순물을 이온주입하여 십자 모양의 에미터 영역을 형성하는 단계;상기 P형 베이스 영역 내에 P형 불순물을 이온주입하여 상기 소자분리막을 경계로 상기 에미터 영역 양측에 베이스 영역을 형성하는 단계; 및상기 P형 베이스 영역 외부의 상기 N형 웰 영역 내에 N형 불순물을 이온주입하여 상기 소자분리막을 경계로 상기 베이스 영역 측면에 콜렉터 영역을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이폴라 접합 트랜지스터의 제조방법.
- 고전압용 N형 웰이 구비된 반도체 기판;상기 기판의 소정 부위에 P형 불순물을 이온주입하여 형성된 십자 모양(cross)의 P형 베이스 영역;상기 P형 베이스 영역에 형성된 트렌치 소자분리막;상기 P형 베이스 영역 내에 N형 불순물을 이온주입하여 형성된 십자 모양의 에미터 영역;상기 P형 베이스 영역 내에 P형 불순물을 이온주입하여 상기 소자분리막을 경계로 상기 에미터 영역 양측에 형성된 베이스 영역; 및상기 P형 베이스 영역 외부의 상기 N형 웰 영역 내에 N형 불순물을 이온주입하여 상기 소자분리막을 경계로 상기 베이스 영역 측면에 형성된 콜렉터 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이폴라 접합 트랜지스터.
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KR20030057391A (ko) * | 2001-12-27 | 2003-07-04 | 가부시끼가이샤 도시바 | 가변 용량 컨덴서 및 증폭기에 적용되는 반도체 장치 |
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