KR101076969B1 - 반송부 위치 결정 방법 및 반송 장치 - Google Patents

반송부 위치 결정 방법 및 반송 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101076969B1
KR101076969B1 KR1020097017937A KR20097017937A KR101076969B1 KR 101076969 B1 KR101076969 B1 KR 101076969B1 KR 1020097017937 A KR1020097017937 A KR 1020097017937A KR 20097017937 A KR20097017937 A KR 20097017937A KR 101076969 B1 KR101076969 B1 KR 101076969B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
carrier
positioning
conveyance
notch groove
conveying
Prior art date
Application number
KR1020097017937A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090113316A (ko
Inventor
마사나리 마쯔우라
소따로오 오오이
도모유끼 구보따
마사야 쯔루따
Original Assignee
히라따기꼬오 가부시키가이샤
도요타지도샤가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 히라따기꼬오 가부시키가이샤, 도요타지도샤가부시키가이샤 filed Critical 히라따기꼬오 가부시키가이샤
Publication of KR20090113316A publication Critical patent/KR20090113316A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101076969B1 publication Critical patent/KR101076969B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B65G47/26Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles
    • B65G47/28Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles during transit by a single conveyor
    • B65G47/29Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles during transit by a single conveyor by temporarily stopping movement
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/005Soldering by means of radiant energy
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/005Soldering by means of radiant energy
    • B23K1/0053Soldering by means of radiant energy soldering by means of I.R.
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/005Soldering by means of radiant energy
    • B23K1/0056Soldering by means of radiant energy soldering by means of beams, e.g. lasers, E.B.
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/008Soldering within a furnace
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K3/00Tools, devices, or special appurtenances for soldering, e.g. brazing, or unsoldering, not specially adapted for particular methods
    • B23K3/08Auxiliary devices therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K35/00Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
    • B23K35/02Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by mechanical features, e.g. shape
    • B23K35/0222Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by mechanical features, e.g. shape for use in soldering, brazing
    • B23K35/0233Sheets, foils
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K35/00Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
    • B23K35/22Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by the composition or nature of the material
    • B23K35/24Selection of soldering or welding materials proper
    • B23K35/26Selection of soldering or welding materials proper with the principal constituent melting at less than 400 degrees C
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/14Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
    • F27B9/20Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace
    • F27B9/24Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace being carried by a conveyor
    • F27B9/2469Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace being carried by a conveyor the conveyor being constituted by rollable bodies
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/14Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
    • F27B9/20Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace
    • F27B9/26Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace on or in trucks, sleds, or containers
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D3/00Charging; Discharging; Manipulation of charge
    • F27D3/12Travelling or movable supports or containers for the charge
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D3/00Charging; Discharging; Manipulation of charge
    • F27D3/12Travelling or movable supports or containers for the charge
    • F27D3/123Furnace cars
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0008Apparatus or processes for manufacturing printed circuits for aligning or positioning of tools relative to the circuit board
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/15Position of the PCB during processing
    • H05K2203/1509Horizontally held PCB
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3494Heating methods for reflowing of solder

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Special Conveying (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Tunnel Furnaces (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
  • Automatic Assembly (AREA)

Abstract

작업물을 고정하는 캐리어(40)와, 반송용 컨베이어(20)와, 작업물의 가열을 행하는 가열로(13)와, 캐리어(40)의 위치 결정을 행하는 위치 결정 기구를 구비하고, 캐리어(40)를 소정의 위치에 정지시키는 반송부 위치 결정 방법에 있어서, 가열로(13)는 작업물을 가열하는 할로겐 히터(30)를 복수 구비하고, 캐리어(40)에 돌기(41) 및 절결 홈(42)을 구비하고, 캐리어 스토퍼(35)에 빗살 형상으로 복수개 형성된 돌기(41)와 결합하는 위치 결정 돌기(35a)를 갖고, 캐리어 스토퍼(35)를 전진시킴으로써, 위치 결정 돌기(35a)와 돌기(41)를 결합시키고, 복수매의 캐리어(40)를 할로겐 히터(30)와 대응하는 위치에 한 번에 위치 결정하여, 작업물을 가열한다.
작업물, 캐리어, 반송용 컨베이어, 가열로, 할로겐 히터

Description

반송부 위치 결정 방법 및 반송 장치{METHOD OF POSITIONING CONVEYANCE SECTION, AND CONVEYANCE DEVICE}
본 발명은, 반송 컨베이어에 의해 반송되는 캐리어를 가열로 내에서 위치 결정하기 위한 기술이다.
반송 컨베이어 상의 작업물이나 캐리어의 위치 결정을 하는 기술에 관해서는, 다양한 방법이 제안되어 있다. 예를 들어, 특허 문헌 1 내지 특허 문헌 3에 개시되는 기술이 공개되어 있다.
특허 문헌 1에는, 반송 부품의 위치 결정 기구에 관한 기술이 개시되어 있다. 기판 반송용 갈고리 금속 부재를 진행 방향으로 이동시킴으로써, 작업물인 기판을 이동시키고, 선두에 있는 위치 결정 기구로 기판을 소정의 위치에 보유 지지하는 것이 가능하다. 선두에 있는 위치 결정 기구는, 실린더의 선단부로 기판을 안내하는 누름 부재나 롤러를 구비한 블록 등을 이용하여 기판의 위치 결정을 행한다.
이와 같이 함으로써, 선두의 기판을 소정의 위치로 위치 결정하는 것이 가능하다.
특허 문헌 2에는, 땜납 볼의 탑재 장치 및 탑재 방법에 관한 기술이 개시되 어 있다. 이 중에서, 반송 컨베이어에 의해 반송되는 기판의 위치 결정에는, 스토퍼로서의 실린더가 일정한 간격을 두고 4개 설치되어 있다. 그리고 실린더 로드가 상방으로 돌출됨으로써, 기판의 위치 결정을 행할 수 있다.
이 실린더는, 기판 1매당 1개 준비할 필요가 있고, 반송 컨베이어에 고정되어 있다.
특허 문헌 3에는, 인서트용 통체의 장착 장치에 관한 기술이 개시되어 있다. 인서트용 통체를 세운 상태에서 복수의 롤러를 이용하여 반송하고, 소정의 위치에서 인서트용 통체의 반송 방향과 직교하는 방향으로 돌출하는 스토퍼를 구동 기구에 의해 회전시켜, 인서트용 통체의 반송부로 돌출시켜, 인서트용 통체의 위치 결정을 행하고 있다.
특허 문헌 1 : 일본 실용신안 공고 평1-15199호 공보
특허 문헌 2 : 일본 특허 출원 공개 평8-206825호 공보
특허 문헌 3 : 일본 특허 출원 공개 제2002-35920호 공보
그러나 특허 문헌 1 내지 특허 문헌 3에 기재되는 기술을 가열로 내의 위치 결정에 이용하기 위해서는, 이하에 설명하는 과제가 있다고 생각된다.
가열로에 캐리어를 반송하고, 노(爐) 내에서의 위치 결정 정밀도가 요구되는 경우, 캐리어의 열팽창에 의한 영향을 고려할 필요가 있다.
특허 문헌 1 및 특허 문헌 3 중 어느 하나의 기술에 있어서도, 반송 컨베이어 상에 후방의 작업물로부터 밀린 상태로 반송되어 오는 작업물을 선두에서만 위치 결정하는 기술이다. 따라서, 선두만 위치가 확정되어도, 후방의 작업물의 위치는 되어 가는 상황에 따라 결정되게 된다.
가열로 내에서 이러한 방법으로, 작업물을 반송하는 캐리어의 위치 결정을 행하는 경우, 캐리어의 수가 증가할수록 정지 위치의 오차가 적산되게 된다. 특히, 반송 방향으로 긴 캐리어를 이용하는 경우나, 가열로 내의 온도가 높아지는 경우에는 이 오차는 커지기 쉽다.
한편, 복수의 스토퍼를 설치하는 특허 문헌 2와 같은 구성으로 해도 좋지만, 이 경우는 스토퍼를 구동하는 구동 기구가 작업물의 수만큼 필요해져, 비용 절감에 적합하지 않은 것 외에, 가열로 내에 구동 기구의 공간을 확보할 필요가 있다. 또한, 기구가 복잡해지므로, 유지 보수성을 손상시키는 결과가 된다.
따라서, 본 발명은 이러한 과제를 해결하기 위해, 간이한 기구로 가열로 내에서의 작업물 또는 반송용 캐리어의 위치 결정을 행하여 작업물의 가열이 가능해지는 반송부 위치 결정 방법 및 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 의한 반송부 위치 결정 방법은 이하와 같은 특징을 갖는다.
(1) 작업물을 적재하는 캐리어와, 상기 캐리어를 반송하는 반송 컨베이어와, 상기 반송 컨베이어의 일부를 덮고 상기 작업물의 가열을 행하는 가열로와, 상기 가열로 내에서 상기 캐리어의 위치 결정을 행하는 위치 결정 기구를 구비하고, 상기 반송 컨베이어에서 운반되는 상기 캐리어를 상기 위치 결정 기구로 소정의 위치에 위치 결정시켜 상기 작업물을 가열하는, 반송부 위치 결정 방법에 있어서, 상기 가열로가 그 내부에, 상기 작업물을 가열하는 가열 장치를 소정 간격으로 복수 구비하고, 상기 캐리어의 후단측에 결합부를 구비하고, 상기 위치 결정 기구에, 상기 결합부와 결합하는 빗살 형상으로 상기 캐리어의 반송 방향의 폭보다도 넓은 간격으로 복수개 설치된 위치 결정 돌기를 구비하고, 상기 위치 결정 기구에 대해 상기 캐리어의 반송 방향 전방으로 배치되는 임시 고정 기구를 전진시킴으로써, 상기 캐리어의 전진단을 임시 고정하고, 상기 임시 고정 기구를 후퇴시킴과 동시에, 상기 위치 결정 기구의 상기 위치 결정 돌기를 전진시키고, 상기 반송 컨베이어에 의해, 상기 캐리어를 반송 방향으로 다시 반송하고, 상기 위치 결정 돌기와 상기 결합부를 결합시켜, 복수매의 상기 캐리어를, 상기 각 가열 장치와 대향하는 위치에 한꺼번에 소정의 간격을 두어 위치 결정하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 한다.
(2) (1)에 기재된 반송부 위치 결정 방법에 있어서, 바람직하게는, 상기 캐리어의 상기 결합부는, 상기 캐리어의 반송 방향으로 평행하게 형성되는 절결 홈이며, 상기 절결 홈은 상기 위치 결정 돌기의 폭보다도 넓게 홈이 형성되고, 상기 위치 결정 돌기가, 상기 절결 홈의 전방부에서 삽입되고, 상기 반송 컨베이어가 전진하여 상기 캐리어가 반송됨으로써, 상기 위치 결정 돌기가 상기 절결 홈의 후단부에서 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 의한 반송 장치는 이하와 같은 특징을 갖는다.
(3) 작업물을 적재하는 캐리어와, 상기 캐리어를 반송하는 반송 컨베이어와, 상기 반송 컨베이어의 일부를 덮고 상기 작업물의 가열을 행하는 가열로와, 상기 가열로 내에서 상기 캐리어의 위치 결정을 행하는 위치 결정 기구를 구비하는 반송 장치에 있어서, 상기 가열로 내에, 상기 작업물을 가열하는 가열 장치를 소정 간격으로 복수 배치하고, 상기 캐리어가, 적어도 1군데에 결합부를 갖고, 상기 위치 결정 기구가, 복수의 상기 캐리어의 결합부와 결합하는 빗살 형상으로 설치된 위치 결정 돌기를 갖는 캐리어 스토퍼와, 상기 캐리어 스토퍼를 상기 캐리어측을 향해 전진 후퇴시켜, 상기 위치 결정 돌기와 복수의 상기 캐리어의 결합부를 결합시키는 왕복 이동 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.
(4) (3)에 기재된 반송 장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 캐리어의 근접을 검지하는 검출 센서와, 상기 검출 센서에 의한 검지 정보에 기초하여 상기 왕복 이동 기구의 구동을 제어하는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
(5) (3) 또는 (4)에 기재된 반송 장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 캐리어가, 상기 캐리어의 반송 방향의 선단부 및 후단부에 상기 결합부를 갖는 것을 특징으로 한다.
(6) (3) 내지 (5) 중 어느 하나에 기재된 반송 장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 캐리어의 상기 결합부는, 상기 캐리어의 반송 방향으로 평행하게 형성되는 절결 홈이며, 상기 절결 홈은, 상기 위치 결정 돌기의 폭보다도 넓게 홈이 형성되고, 상기 위치 결정 돌기가, 상기 절결 홈의 전방부에서 삽입되고, 상기 반송 컨베이어가 전진하여 상기 캐리어가 반송됨으로써, 상기 위치 결정 돌기가 상기 절결 홈의 후단부에서 결합되는 것을 특징으로 한다.
이러한 특징을 갖는 본 발명에 의한 반송부 위치 결정 방법에 의해, 이하와 같은 작용, 효과가 얻어진다.
우선, (1)에 기재되는 발명은, 작업물을 적재하는 캐리어와, 캐리어를 반송하는 반송 컨베이어와, 반송 컨베이어의 일부를 덮고 작업물의 가열을 행하는 가열로와, 가열로 내에서 캐리어의 위치 결정을 행하는 위치 결정 기구를 구비하고, 반송 컨베이어에서 운반되는 캐리어를 위치 결정 기구로 소정의 위치에 위치 결정시켜 작업물을 가열하는, 반송부 위치 결정 방법에 있어서, 가열로가 그 내부에, 작업물을 가열하는 가열 장치를 소정 간격으로 복수 구비하고, 캐리어의 후단측에 결합부를 구비하고, 위치 결정 기구에, 결합부와 결합하는 빗살 형상으로 캐리어의 반송 방향의 폭보다도 넓은 간격으로 복수개 설치된 위치 결정 돌기를 구비하고, 위치 결정 기구에 대해 캐리어의 반송 방향 전방으로 배치되는 임시 고정 기구를 전진시킴으로써, 캐리어의 전진단을 임시 고정하고, 임시 고정 기구를 후퇴시킴과 동시에, 위치 결정 기구의 위치 결정 돌기를 전진시키고, 반송 컨베이어에 의해, 캐리어를 반송 방향으로 다시 반송하고, 위치 결정 돌기와 결합부를 결합시켜, 복수매의 상기 캐리어를, 각 가열 장치와 대향하는 위치에 한꺼번에 소정의 간격을 두어 위치 결정하는 것이다.
따라서, 위치 결정 돌기를 캐리어의 결합부를 향해 전진시킴으로써, 가열로 내의 복수의 캐리어를 한 번에 위치 결정이 가능하다. 그리고 빗살 형상으로 복수개 설치된 위치 결정 돌기가, 각각의 캐리어의 결합부와 결합하여 위치 결정됨으로써, 정지 위치의 오차가 적산되는 일이 없다.
또한, 위치 결정 돌기의 간격이 캐리어의 진행 방향의 폭보다 넓은 간격으로 위치 결정 기구에 형성되어 있으므로, 정지시에 캐리어끼리가 간섭하는 일도 없다.
복수의 작업물을 복수 부위에서 한 번에 가열하는 경우, 작업물을 적재한 캐리어의 정지 위치에 어긋남이 발생하여, 정지 위치의 오차가 적산되면, 반송 방향에 대해 후방측의 캐리어를 적재한 작업물과 가열 장치의 위치에도 어긋남이 발생하여 본래 필요한 부분을 가열할 수 없게 될 우려가 있다. 그러나 캐리어를 대응하는 위치 결정 돌기에 의해 각각 정지시키면, 오차의 적산을 방지할 수 있다.
또한, 1개 또는 1쌍의 위치 결정 기구로 복수의 캐리어를 위치 결정할 수 있으므로, 비용 절감에 공헌한다.
또한, (2)에 기재되는 발명은, (1)에 기재된 반송부 위치 결정 방법에 있어서, 캐리어의 결합부는, 캐리어의 반송 방향으로 평행하게 형성되는 절결 홈이며, 절결 홈은 위치 결정 돌기의 폭보다도 넓게 홈이 형성되고, 위치 결정 돌기가, 절결 홈의 전방부에서 삽입되고, 반송 컨베이어가 전진하여 캐리어가 반송됨으로써, 위치 결정 돌기가 절결 홈의 후단부에서 결합되는 것이다.
이로 인해, 캐리어에 결합부로서 형성된 절결 홈을 위치 결정 돌기의 폭보다도 폭이 넓게 형성함으로써, 위치 결정 돌기로의 캐리어의 위치 결정을 용이하게 하는 것이 가능하다.
또한, 이러한 특징을 갖는 본 발명에 의한 반송 장치에 의해, 이하와 같은 작용, 효과가 얻어진다.
우선, (3)에 기재되는 발명은, 작업물을 적재하는 캐리어와, 캐리어를 반송하는 반송 컨베이어와, 반송 컨베이어의 일부를 덮고 작업물의 가열을 행하는 가열로와, 가열로 내에서 캐리어의 위치 결정을 행하는 위치 결정 기구를 구비하는 반송 장치에 있어서, 가열로 내에, 작업물을 가열하는 가열 장치를 소정 간격으로 복수 배치하고, 캐리어가 적어도 1군데에 결합부를 갖고, 위치 결정 기구가 복수의 캐리어의 결합부와 결합하는 빗살 형상으로 설치된 위치 결정 돌기를 갖는 캐리어 스토퍼와, 캐리어 스토퍼를 캐리어측을 향해 전진 후퇴시켜, 위치 결정 돌기와 복수의 캐리어의 결합부를 결합시키는 왕복 이동 기구를 구비하는 것이다.
따라서, 위치 결정 돌기를 캐리어의 결합부를 향해 전진시킴으로써, 가열로 내에서 복수의 캐리어를 위치 결정하는 것이 가능하다. 그리고 빗살 형상으로 복수개 설치된 위치 결정 돌기가, 각각의 캐리어의 결합부와 결합하여 위치 결정됨으로써, 정지 위치의 오차가 적산되는 일이 없다.
또한, (4)에 기재되는 발명은, (3)에 기재된 반송 장치에 있어서, 캐리어의 근접을 검지하는 검출 센서와, 검출 센서에 의한 검지 정보에 기초하여 왕복 이동 기구의 구동을 제어하는 제어 수단을 구비하는 것이다.
캐리어 반송 방향에 직교하는 캐리어 측면, 혹은 그 부근에는 결합부가 구비되어 있고, 이 결합부와 빗살 형상의 위치 결정 돌기가 결합된다. 검출 센서에 의해 정확하게 팔레트의 위치를 검출할 수 있고, 팔레트의 결합부에 대해 빗살 형상의 위치 결정 돌기를 필요한 타이밍에 전진시켜, 결합부와 결합하는 것이 가능해진다.
또한, (5)에 기재되는 발명은, (3) 또는 (4)에 기재된 반송 장치에 있어서, 캐리어가, 캐리어 반송 방향의 선단부 및 후단부에 결합부를 갖는 것이다.
캐리어의 선단부 및 후단부에 결합부를 형성함으로써, 캐리어의 전후 방향을 따지지 않게 되어, 투입 오류 등의 방지에 공헌한다.
또한, (6)에 기재되는 발명은, (3) 내지 (5) 중 어느 하나에 기재된 반송 장치에 있어서, 캐리어의 결합부는, 캐리어의 반송 방향으로 평행하게 형성되는 절결 홈이며, 절결 홈은, 위치 결정 돌기의 폭보다도 넓게 홈이 형성되고, 위치 결정 돌기가, 절결 홈의 전방부에서 삽입되고, 반송 컨베이어가 전진하여 캐리어가 반송됨으로써 위치 결정 돌기가 절결 홈의 후단부에서 결합되는 것이다.
이로 인해, 캐리어에 결합부로서 형성된 절결 홈을, 위치 결정 돌기의 폭보다도 폭이 넓게 형성함으로써, 위치 결정 돌기로의 캐리어의 위치 결정을 용이하게 하는 것이 가능하다.
도 1은 본 실시 형태의 반송 장치의 단면도를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 실시 형태의 반송 장치의 내부를 나타낸 평면도를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 실시 형태의 반송용 컨베이어의 확대도를 도시하는 도면이다.
도 4는 본 실시 형태의 반송용 컨베이어의 사시도를 도시하는 도면이다.
도 5는 본 실시 형태의 캐리어의 평면도를 도시하는 도면이다.
도 6A는 본 실시 형태의 마운트부 상에 배치되는 지그의 측면 단면도를 도시하는 도면이다.
도 6B는 본 실시 형태의 마운트부 상에 배치되는 지그의 상면도를 도시하는 도면이다.
도 7A는 본 실시 형태의 마운트부 상에 배치되는 땜납 박과 소자의 단면도를 도시하는 도면이다.
도 7B는 본 실시 형태의 마운트부 상에 배치되는 땜납 박과 소자의 상면도를 도시하는 도면이다.
도 8은 본 실시 형태의 캐리어의 위치 결정의 제1 스텝에 대한 설명도를 도시하는 도면이다.
도 9는 본 실시 형태의 캐리어의 위치 결정의 제2 스텝에 대한 설명도를 도시하는 도면이다.
도 10은 본 실시 형태의 캐리어의 위치 결정의 제3 스텝에 대한 설명도를 도시하는 도면이다.
도 11은 본 실시 형태의 캐리어의 위치 결정의 제4 스텝에 대한 설명도를 도시하는 도면이다.
도 12는 본 실시 형태의 캐리어가 캐리어 스토퍼에 의해 위치 결정된 상태의 측면도를 도시하는 도면이다.
[부호의 설명]
10 : 반송 장치
13 : 가열로
11 : 석영 유리판
30 : 할로겐 히터
35 : 캐리어 스토퍼
35a : 위치 결정 돌기
36 : 스토퍼 샤프트
37 : 실린더
38 : 샤프트 가이드
40 : 캐리어
41 : 돌기
42 : 절결 홈
43 : 단열 부재
44 : 위치 결정 핀
45 : 검출 센서
50 : 인버터 부품
50a : 마운트부
51 : 소자
52 : 땜납 박
53 : 알루미늄 패턴
54 : 절연 기판
55 : 납
56 : 지그
다음에, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1에 본 실시 형태의 반송 장치(10)의 단면도를 도시한다. 또한, 도 2에 반송 장치(10)의 내부를 나타낸 평면도를 도시한다. 또한, 도 3에 반송용 컨베이어(20)의 확대도를 도시한다.
반송 장치(10)는 가열로(13), 반송용 컨베이어(20) 및 위치 결정 기구를 구비하고 있다.
가열로(13)는, 주로 노(爐) 본체인 챔버(17)와 가열 장치인 할로겐 히터(30)로 구성된다. 챔버(17) 내부는, 석영 유리판(11)에 의해 분할되고, 석영 유리 판(11)의 상방이 가열실(16), 석영 유리판(11)의 하방이 감압실(15)이 된다. 이 감압실(15)에 고정하여 할로겐 히터(30)가 설치된다. 가열실(16)의 내부는 질소 가스 등의 불활성 가스 분위기로 된다.
가열 장치인 할로겐 히터(30)는, 석영 유리관 내에 할로겐 가스를 가득 채우고 내부에 텅스텐 필라멘트를 이용한 일반적인 것으로, 할로겐 히터(30)로 적외선을 조사함으로써 작업물을 가열할 수 있다. 가열로(13)에서 가열되는 작업물은 인버터 부품(50)이며, 가열함으로써 인버터 부품(50)의 솔더링(soldering)을 행할 수 있다.
할로겐 히터(30)는 가열로(13)의 하부에 구비되는 석영 유리판(11)에 격리된 감압실(15)에 고정되어 있다.
반송용 컨베이어(20)와 격리됨으로써, 먼지 등이 할로겐 히터(30)로 들어가는 것을 방지할 수 있다. 또한, 감압실(15)에 질소 등의 불활성 가스를 충전하여, 할로겐 히터(30)가 열화되기 어렵도록 배려하는 것이 바람직하다.
가열로(13)의 챔버(17)는, 작업물의 반송 방향 상류측에 캐리어 반입구를, 작업물의 반송 방향 하류측에 캐리어 반출구를 구비한다. 챔버(17) 내에 있어서의 가열실(16)의 하방에는, 캐리어 반입구로부터 캐리어 반출구에 걸쳐, 작업물의 반송 방향을 따라 좌우 2열의 반송용 컨베이어(20)가 설치된다.
가열로(13)의 챔버(17) 내부에 설치되는 반송용 컨베이어(20)는, 복수개의 반송용 롤러(21)가 캐리어 반송 방법으로 배열된 이른바 롤러 컨베이어이다.
캐리어(40)는, 도 2에 도시하는 캐리어 반송 방향(D1)과 직교하는 방향의 양단부에 피지지부(40a)를 구비하고 있다. 피지지부(40a)는 도 3에 도시되어 있다. 이 캐리어(40)의 피지지부(40a)가 반송용 롤러(21) 상에 적재되고, 반송용 롤러(21)에 의해 지지된다. 반송용 롤러(21)를 회전시킴으로써 캐리어(40)를 전진시킬 수 있다. 또한, 캐리어 반송 방향(D1)은 전술한 작업물의 반송 방향과 동일한 방향이다.
가열로(13)의 내부에는, 반송용 롤러(21)가 가열로(13)의 양단부에 좌우 대칭으로 1열씩 설치되어 있다. 반송용 컨베이어(20)의 반송용 롤러(21)는, 도 1 또는 도 3에 도시되는 바와 같이, 석영 유리판(11)으로부터 이격된 위치에 배치되어 있다.
가열로(13) 내에는, 캐리어(40)의 정지 위치가 6군데 설치되고, 할로겐 히터(30)도 6군데에 설치되어 있다. 따라서, 가열로(13) 내부에서 한 번에 처리할 수 있는 인버터 부품(50)의 수는 6개로 된다. 이 처리수는 가열로(13)의 크기와 인버터 부품(50)의 크기의 균형 등에 의해 결정되므로, 증감해도 무방하다. 단, 가열 처리 자체에 수분의 시간을 필요로 하기 때문에, 처리 시간의 단축을 도모하기 위해서는 처리수가 많은 쪽이 바람직하다.
반송용 롤러(21)는 회전축(23)의 일단부에 고정되어 있다. 반송용 롤러(21)는 수소 취성(脆性) 등을 고려하여 소재 중에 탄소의 함유량이 적은 스테인리스강, 예를 들어 SUS304를 이용하여 형성되어 있다.
회전축(23)은 격벽(24)과 지지벽(27)에 설치된 베어링에 의해 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 회전축(23) 주위의 격벽(24)과 지지벽(27)의 사이에는, 구동용 풀리(22)가 설치되어 있다.
회전축(23)에 장착된 구동용 풀리(22)는, 반송용 롤러(21)보다도 외측[석영 유리판(11)과 반대측]에 배치되어 있다. 이것은, 구동용 풀리(22)에 걸쳐지는 벨트(26)가 수지제이며, 내열성이 열화되기 때문이다. 가열로(13)의 내부는 가열 효율도 고려하여 콤팩트한 것이 바람직하지만, 구동용 풀리(22) 및 벨트(26)는 가능한 한 외측에 배치되는 것이 바람직하다.
구동용 풀리(22)는, 벨트(26)에 의해 전달되는 가열로(13)의 외부에 장착된 모터(12)의 회전을, 회전축(23)에 전달하고 있다. 따라서, 구동용 풀리(22)의 회전에 의해, 회전축(23)에 고정되는 반송용 롤러(21)도 회전한다.
도 4에, 반송용 컨베이어(20)의 사시도를 도시한다.
캐리어 스토퍼(35)는 그 하단부 위치[후술하는 위치 결정 돌기에 닿는 캐리어 스토퍼(35)의 하단부 위치]가 반송용 컨베이어(20)의 반송면 높이와 대략 동일해지도록, 또한 반송용 컨베이어(20)에 인접하여 설치된다. 각 캐리어 스토퍼(35)는, 도 2에 도시하는 바와 같이 평행하게 설치된 한 쌍의 왕복 이동 기구인 스토퍼 샤프트(36)의 일단부측에 접속되고, 이들 스토퍼 샤프트(36)는 가열로(13)의 챔버(17)를 관통하여 설치된다.
각 스토퍼 샤프트(36)의 타단부측은, 직동(直動) 가이드인 샤프트 가이드(38)에 의해 보유 지지된다. 양 샤프트 가이드(38)의 사이에 실린더(37)가 배치된다. 실린더(37)의 피스톤 로드(37a)의 선단부에는, 연결 부재(39)가 접속되어 있고, 이 연결 부재(39)에 샤프트 가이드(38)가 연결된다.
실린더(37)의 구동에 수반되는 피스톤 로드(37a)의 신축에 연동하여 양 스토퍼 샤프트(36)가 캐리어(40)를 향해 전후로 직동한다.
이러한 구성의 왕복 이동 기구는, 캐리어 스토퍼(35)의 측부에 설치하는 것이 바람직하지만, 상부에 설치해도 좋다. 또한, 전술한 할로겐 히터(30)가 가열로(13)의 상부에 설치되어 있는 경우는, 왕복 이동 기구를 캐리어 스토퍼(35)의 하부에 설치해도 좋다. 또한, 도면에서는 생략되어 있지만, 캐리어 스토퍼(35)는 가열로(13)의 좌우에 1군데씩 2개, 즉 합계 4군데에 설치되어 있다.
스토퍼 샤프트(36)는 샤프트 가이드(38)에 의해 보유 지지되어 있고, 캐리어 스토퍼(35)는 스토퍼 샤프트(36)가 샤프트 가이드(38)에 보유 지지되어 직동함으로써, 캐리어(40)의 반송 방향에 직교하는 방향으로 동작하는 것이 가능하다.
캐리어 스토퍼(35)에는, 위치 결정 돌기(35a)가 길이 방향을 따라 빗살 형상으로 복수개, 또한 반송용 롤러(21)측으로 돌출되도록 형성되어 있고, 이들 위치 결정 돌기(35a)가 각 캐리어(40)의 절결 홈(42)(후술)과 결합한다.
캐리어 스토퍼(35)에 빗살 형상으로 설치된 위치 결정 돌기(35a)의 간격은, 캐리어(40)의 폭보다도 충분히 넓게 하는 것이 바람직하다.
예를 들어, 캐리어(40)의 진행 방향의 폭이 120㎜ 정도이면, 위치 결정 돌기(35a)의 간격은 125㎜ 정도로 함으로써, 캐리어(40)와 캐리어 스토퍼(35)가 결합하여, 캐리어(40)를 위치 결정하였을 때에, 반송용 컨베이어(20) 상에 캐리어(40)가 일정한 간격으로 정지하는 것이 바람직하다.
임시 스토퍼(60)는, 캐리어 스토퍼(35)와 조합하여 동작하는 캐리어(40)를 정지시키는 스토퍼이다.
도 5에, 캐리어(40)의 평면도를 도시한다.
캐리어(40)에는, 결합부인 한 쌍의 돌기(41)가 구성하는 절결 홈(42)이 2군데 형성되어 있다. 이 절결 홈(42)은 캐리어(40)[캐리어 반송 방향(D1)과 직교하는 방향의 양측부]에 형성되어 있고, 절결 홈(42)의 형성에 수반되는 기계 가공에 의해 돌기(41)가 정밀도 좋게 형성된다. 즉, 캐리어(40)의 절결 홈(42)을 사이에 두고, 캐리어 반송 방향(D1)의 전후단부의 각각에 돌기(41)를 갖는다.
캐리어(40)의 피지지부(40a)는, 도 1 또는 도 3에 도시한 바와 같이, 상방으로 절곡된 단차 형상으로 되어 있다. 이 캐리어(40)의 양측에 형성되는 피지지부(40a)에는, 각각 돌기(41) 및 절결 홈(42)이 형성되어 있다. 그리고 피지지부(40a)가 좌우 2열의 반송용 롤러(21) 상에 적재된다.
또한, 캐리어(40)에 기계 가공을 실시하여 절결 홈(42)을 형성하고 돌기(41)를 설치해도 좋지만, 캐리어(40)에 부재를 장착하고 돌기(41)를 설치해도 좋다.
캐리어(40)의 중앙부에는, 작업물인 인버터 부품(50)이 단열 부재(43)를 통해 적재되어 있다. 또한, 캐리어(40)에는 위치 결정 핀(44)이 설치되어 있어, 캐리어(40)에 대해 인버터 부품(50)이 정밀도 좋게 위치 결정되게 된다.
각 위치 결정 기구의 캐리어 반송 방향(D1)의 전방측에는, 캐리어(40)의 임시 고정을 행하는 임시 고정 기구를 설치하는 것이 바람직하다. 임시 고정 기구는 1세트의 임시 고정 장치(70)를 대향하여 설치하여 이루어지고, 각 임시 고정 장치는 이하와 같은 구성을 갖는다.
임시 고정용 실린더(61)가 챔버(17)에 장착되고, 임시 고정용 실린더(61)의 출력축인 스토퍼 구동 샤프트(62)가 챔버(17)를 관통하여 설치된다. 또한, 격벽(24) 및 지지벽(27)에 스토퍼 가이드 케이스(63)가 장착된다.
스토퍼 가이드 케이스(63)의 중앙에 샤프트 구멍(64)이 형성되고, 이 샤프트 구멍(64)에 구동 샤프트(65)가 삽입 관통된다. 샤프트 구멍(64)의 양측에 가이드 구멍(66)이 형성되고, 가이드 구멍(66)에 스토퍼 가이드 샤프트(67)가 슬라이드 가능하게 지지된다. 구동 샤프트(65)의 선단부에, 캐리어 반송 방향(D1)로 연장되는 임시 스토퍼(60)가 장착된다.
임시 스토퍼(60)의 양단부 부분에는, 스토퍼 구동 샤프트(62)와 평행하게 설치되는 스토퍼 가이드 샤프트(67)가 장착된다. 임시 스토퍼(60)의 적어도 반송 방향 후단부측에는 캐리어(40)의 돌기(41)와 결합하기 위한 도시하지 않은 돌기가 설치된다.
여기서, 임시 스토퍼(60)의 반송 방향 후단부의 돌기와 전술한 캐리어 스토퍼(35)의 이격 거리는, 후술하는 바와 같이 임시 스토퍼(60)로 캐리어(40)를 임시 정지시켰을 때에, 캐리어 스토퍼(35)의 위치 결정 돌기(35a)가 캐리어(40)의 절결 홈(42)에 들어가도록 조정된다.
챔버(17)의, 임시 스토퍼(60)의 반송 방향 후단부 위치와 캐리어 스토퍼(35)의 반송 방향 전단부 위치의 사이에, 후술하는 검출 센서(45)가 설치된다.
본 실시 형태는 전술한 구성이므로, 이하에 설명하는 작용을 나타낸다.
가열로(13)의 내부에 반송용 컨베이어(20)에 의해 캐리어(40)에 적재한 인버터 부품(50)을 반송한다.
인버터 부품(50)은, 캐리어(40) 상에 위치 결정 핀(44)에 의해 위치 결정되고, 단열 부재(43)를 통해 적재되어 있다.
도 6A 및 도 6B에는, 마운트부(50a) 상에 배치되는 지그(56)의 측면 단면도와 상면도를 도시한다. 또한, 도 7A 및 도 7B에는, 마운트부(50a) 상에 배치되는 땜납 박(52)과 소자(51)의 측면도와 상면도를 도시한다.
인버터 부품(50)에는, 그 표면에 소자(51)를 실장시킬 필요가 있으므로, 마운트부(50a)가 설치되어 있고, 소자(51)는 그 위에 배치된다. 이로 인해, 캐리어(40)는 정밀도 좋게 가공될 필요가 있고, 캐리어(40)에 대해 인버터 부품(50)은 정밀도 좋게 위치 결정되어 있어야 한다.
따라서, 인버터 부품(50)에는 가열로(13) 내로 운반되기 전에, 마운트부(50a)에 맞추어 지그(56)를 배치한다. 지그(56)는 카본제의 지그이며, 내부에 소자(51) 등을 배치하기 위한 배치 구멍(56a)과, 지그(56)를 위치 결정하기 위한 외측 프레임(56b)이 형성되어 있다.
또한, 인버터 부품(50) 상에 형성되는 마운트부(50a)의 상면에는, 도 7에 도시되는 바와 같이, 절연 기판(54)이 납(55)에 의해 브레이징(brazing)되고, 절연 기판(54)의 상면에 알루미늄 패턴(53)이 형성되어 있는 것으로 한다. 또한, 절연 기판(54)의 접합 방법에 대해서는, 브레이징 외에 솔더링 등의 접합 방법이라도 좋고, 특별히 한정되는 것은 아니다.
그리고 지그(56)를 이용하여 땜납 박(52) 및 소자(51)를 배치 구멍(56a)의 내부에 배치하고, 인버터 부품(50)을 가열로(13) 내로 반송한다.
이와 같이 하여, 반송용 컨베이어(20)를 이용하여 캐리어(40)에 고정된 인버터 부품(50)이 가열로(13) 내로 반송되면, 가열로(13) 내에서 캐리어(40)는 위치 결정된다.
위치 결정은, 다음과 같은 순서로 행해진다.
도 8에, 캐리어(40)의 위치 결정의 제1 스텝에 대한 설명도를 도시한다. 도 9는 제2 스텝을 도시하고, 도 10은 제3 스텝을 도시하고, 도 11은 제4 스텝을 도시한다. 또한, 반송용 컨베이어(20)는 설명을 위해 간략화하고 있다.
반송용 컨베이어(20)에는, 캐리어(40)를 검출하기 위한 검출 센서(45)가 구비되어 있다. 검출 센서(45)의 종류는 근접 센서라도 좋고 광전관(광전 센서)이라도 좋지만, 본 실시 형태에서는 광전관을 이용하고 있다.
또한, 광전관을 이용한 구체예로서는, 레이저 조사 장치를 이용하여, 캐리어 반송 방향(D1)과 직교하는 방향의 한쪽이 조사부, 다른 쪽이 수광부가 되고, 레이저 조사광의 유무에 따라 캐리어(40)의 접근, 통과가 검지되는 방법이 있다. 또한, 이 검출 센서(45)는 주위의 사용 환경이나 검출물에 맞추어 적절하게 변경되어야 한다.
제1 스텝에서는, 우선 챔버(17)의 양측에 구비된 임시 고정용 실린더(61)를 구동시키고, 임시 스토퍼(60)를 캐리어(40)측으로 미리 전진, 돌출시켜 둔다. 그 후, 반송용 컨베이어(20)를 구동시켜 캐리어(40)를 반송시킨다. 정지 센서인 검출 센서(45)가 캐리어(40)를 검출함으로써, 제어 수단인 제어 기기(75)가 캐리어(40)의 근접을 확인한다.
캐리어(40)의 근접을 확인 후, 제어 기기(75)에 의해 반송용 컨베이어(20)의 구동을 정지시킨다. 이에 의해, 임시 스토퍼(60)의 후단부측의 돌기에 캐리어(40)의 전방측의 돌기(41)가 닿아, 캐리어(40)가 임시 정지된다.
또한, 검출 센서(45)보다도 반송 방향 상류측의 위치에 감속 센서를 설치하고, 이 감속 센서가 캐리어(40)의 근접을 검출하면, 반송용 컨베이어(20)에 의한 반송 속도를 감속하도록 해도 좋다. 이에 의해, 보다 확실하게 임시 스토퍼(60)의 돌기로 캐리어(40)를 임시 정지시킬 수 있다.
그리고 제2 스텝에서, 임시 고정 기구의 임시 고정용 실린더(61)를 다시 구동시켜, 임시 스토퍼(60)를 후퇴시키는 동시에, 실린더(37)를 구동함으로써 양 캐리어 스토퍼(35)를 캐리어(40)측으로 각각 전진시킨다. 캐리어 스토퍼(35)는 가열로(13)의 좌우에 동일한 구성으로 설치되어 있고, 제어 기기(75)에 의해 실린더(37)의 구동에 연동하여 캐리어 스토퍼(35)가 동시에 전진한다.
캐리어 스토퍼(35)의 전진에 의해, 위치 결정 돌기(35a)가 캐리어(40)의 절결 홈(42)으로 들어간다. 이와 같이 캐리어(40)를 임시 고정한 후, 캐리어 스토퍼(35)를 전진시킴으로써, 위치 결정 돌기(35a)를 캐리어(40)의 절결 홈(42)으로 확실하게 들어가게 할 수 있다.
또한, 도 8 내지 도 11에서는 생략되어 있지만, 캐리어 스토퍼(35)는 2쌍 존재하고, 4개인 캐리어 스토퍼(35)는 모두 동기하여 동작한다. 또한, 임시 스토퍼(60)는 캐리어 스토퍼(35)에 동기하여 퇴피한다.
그리고 제3 스텝에서, 반송용 컨베이어(20)를 가동시켜 반송용 롤러(21)를 다시 회전시키고, 캐리어(40)가 반송용 컨베이어(20)에 의해 캐리어 반송 방향(D1)으로 반송된다. 캐리어(40)는 반송 방향 상류측의 것으로부터 차례로 캐리어 스토퍼(35)의 위치 결정 돌기(35a)에 닿아 위치 결정되고, 정지한다.
그리고 제4 스텝에서, 캐리어(40)가 모두 캐리어 스토퍼(35)에 의해 위치 결정된 후, 반송용 컨베이어(20)의 구동을 정지하고, 할로겐 히터(30)에서의 가열을 개시한다.
인버터 부품(50)은, 할로겐 히터(30)로 가열됨으로써 인버터 부품(50) 상에 설치된 땜납 박(52)이 용해된다.
그리고 캐리어 스토퍼(35)에 의한 위치 결정을 해제하여, 가열로(13)로부터 캐리어(40) 상에 고정된 인버터 부품(50)이 반송용 컨베이어(20)에 의해 반출되고, 땜납 박(52)이 응고하여 소자(51)가 인버터 부품(50)에 솔더링된다.
본 실시 형태는 전술한 구성 및 작용을 가지므로, 하기에 설명하는 효과를 발휘한다.
제1 효과로서, 캐리어(40)의 정지 위치의 오차가 적산되지 않는다고 하는 점을 들 수 있다.
인버터 부품(50)을 적재하는 캐리어(40)와, 캐리어(40)를 반송하는 반송용 컨베이어(20)와, 반송용 컨베이어(20) 상의 일부를 덮고 인버터 부품(50)의 가열을 행하는 가열로(13)와, 가열로(13) 내에서 캐리어(40)의 위치 결정을 행하는 위치 결정 기구를 구비하고, 반송용 컨베이어(20)에 의해 운반되는 캐리어(40)를 위치 결정 기구에 의해 소정의 위치에 정지시키는 반송부 위치 결정 방법에 있어서, 가열로(13)는 인버터 부품(50)을 가열하는 할로겐 히터(30)를 복수 구비하고, 캐리어(40)는 돌기(41) 및 절결 홈(42)을 구비하고, 캐리어 스토퍼(35)는 빗살 형상으로 캐리어(40)의 진행 방향의 폭보다도 넓은 간격으로 복수개 형성된 돌기(41)와 결합하는 위치 결정 돌기(35a)를 갖고, 캐리어 스토퍼(35)의 위치 결정 돌기(35a)를 전진시킴으로써, 캐리어 스토퍼(35)와 돌기(41)를 결합시켜, 복수매의 캐리어(40)를 할로겐 히터(30)와 대응하는 위치에 한 번에 위치 결정하는 것이다.
가열로(13) 내에 인버터 부품(50)을 운반하는 캐리어(40)는, 내열성이 요구되기 때문에 금속계 재료가 이용되는 경우가 많다. 세라믹스 등을 이용하면 보다 내열성을 확보할 수 있지만, 충격에 약한 등의 결점도 있기 때문에 금속계 재료의 쪽이 바람직하다.
본 실시 형태에서는, 캐리어(40)에 알루미늄을 이용하고 있지만, 땜납 박(52)을 용해시키기 위해, 캐리어(40)는 400℃가 약간 안 되는 정도까지 온도가 상승한다. 이로 인해, 캐리어(40)가 수㎜ 정도는 팽창되어 버린다.
가열로(13) 내에서는 6개의 인버터 부품(50)을 처리하고 있으므로, 캐리어(40)의 위치를 선두 위치 결정으로 결정하면, 서서히 정지 위치에 어긋남이 발생하여, 할로겐 히터(30)로부터의 적외선이 균등하게 인버터 부품(50)에 조사되지 않을 우려가 있다.
그러나 본 실시 형태와 같이, 캐리어 스토퍼(35)에 빗살 형상으로 위치 결정 돌기(35a)를 설치하고, 캐리어(40)를 한 번에 위치 결정할 수 있는 구성이면, 캐리어(40)의 팽창의 영향을 최소한으로 억제하는 것이 가능해진다.
도 12에, 위치 결정된 캐리어(40)와 할로겐 히터(30)의 관계를 나타낸 측면도를 도시한다.
가열로(13) 내에서 정지하는 캐리어(40)의 수가 많으면 많을수록, 캐리어(40)의 열팽창에 의한 영향은 크다. 알루미늄의 선팽창 계수는 24×10-6 정도이지만, 캐리어(40)의 크기에 따라서는 이 오차의 적산에 의한 편차는 큰 영향을 미칠 우려가 있다.
할로겐 히터(30)에 의한 적외선의 조사로의 인버터 부품(50)의 승온을 도모하는 경우, 적외선이 조사되지 않는 부분은 인버터 부품(50) 내를 열전달함으로써 승온되게 되고, 적외선이 조사되는 부분이 먼저 승온되므로, 인버터 부품(50) 내에서 온도 구배가 발생할 우려가 있다.
소자(51)의 내열성도 있으므로, 온도가 지나치게 올라가는 것은 바람직하지 않고, 한편 땜납 박(52)을 녹이는 데 필요한 최저 온도까지 단시간에 균등하게 승온할 수 있는 것이 바람직하므로, 이러한 온도 구배는 바람직하지 않다.
따라서, 도 12에 도시하는 바와 같이, 캐리어 스토퍼(35)에 빗살 형상으로 캐리어(40)와 결합하는 위치 결정 돌기(35a)가 설치되고, 그 간격이 캐리어(40)의 진행 방향의 폭보다도 넓으면, 캐리어(40)는 일정한 간격으로, 반송용 컨베이어(20) 상에 위치 결정되게 되어, 이러한 온도에 의한 팽창의 영향을 최소한으로 억제하는 것이 가능하다.
즉, 돌기(41)와 위치 결정 돌기(35a)의 접촉부에서 캐리어(40)의 위치가 결정되므로, 캐리어(40)가 팽창되었다고 해도 돌기(41)와 위치 결정 돌기(35a)의 접촉 부분을 중심으로 위치가 어긋나게 된다. 이 부분은 캐리어(40)의 내측에 있으므로, 보다 팽창의 영향을 받기 어렵다.
또한, 캐리어 스토퍼(35)에 의해 한 번에 복수의 캐리어(40)를 정지시킬 수 있으므로, 구동 기구가 적어도 되며, 비용적으로도 우수성이 높다.
복수의 구동 기구가 설치되면, 동기시킬 때에 제어가 복잡해지는 것 외에, 가열로(13)의 구조가 복잡해지는 등의 폐해도 고려되므로, 복수의 캐리어(40)를 캐리어 스토퍼(35)에 의해 한 번에 정지시킬 수 있는 것은 바람직하다.
또한, 제2 효과로서, 캐리어(40)의 위치 결정을 용이하게 할 수 있다고 하는 점을 들 수 있다.
캐리어(40)의 돌기(41) 및 절결 홈(42)은, 캐리어(40)의 반송 방향으로 평행하게 형성되는 절결 홈(42)이며, 절결 홈(42)은 위치 결정 돌기(35a)의 폭보다도 넓게 홈이 형성되고, 위치 결정 돌기(35a)가, 절결 홈(42)의 전방부에서 삽입되고, 반송용 컨베이어(20)가 전진하여 캐리어(40)가 반송됨으로써, 위치 결정 돌기(35a)가 절결 홈(42)의 후단부에서 돌기(41)와 결합되는 것이다.
이로 인해, 캐리어(40)에 결합부로서 형성된 절결 홈(42)을, 위치 결정 돌기의 폭보다도 폭이 넓게 형성함으로써, 위치 결정 돌기(35a)로의 캐리어(40)의 위치 결정을 용이하게 하는 것이 가능하다.
절결 홈(42)의 폭이 위치 결정 돌기(35a)의 폭보다도 충분히 넓게 형성되어 있음으로써, 반송용 컨베이어(20)에 의해 반송 중인 캐리어(40)의 위치에 어긋남이 발생되어 있어도, 소정의 위치로 위치 결정을 하는 것이 가능해진다.
반송용 컨베이어(20)에 의해 반송되는 캐리어(40)는, 반송용 컨베이어(20)에 구비되는 반송용 롤러(21)와의 접촉에 의해 반송된다. 반송용 롤러(21)와 캐리어(40)의 사이의 마찰에 의해, 반송용 롤러(21)의 회전력이 캐리어(40)에 전달되지만, 이 힘보다도 큰 힘이 역방향으로 가해지면, 미끄러져 버려 캐리어(40)가 진행되지 않게 된다.
예를 들어, 앞에 반송되는 캐리어(40)와 뒤에 반송되는 캐리어(40)가 충돌 등을 하면, 그 반력에 의해 캐리어(40)끼리의 사이에 간극이 생기는 경우도 있다.
이와 같이 캐리어(40)는 항상 동일한 간격으로 운반된다고는 할 수 없으며, 캐리어(40)에 형성되는 절결 홈(42)에 대해 캐리어 스토퍼(35)에 형성되는 위치 결정 돌기(35a)의 간격이 좁으면, 위치 결정 돌기(35a)가 절결 홈(42)에 삽입되지 않을 우려도 있다.
또한, 캐리어(40)는 반송용 컨베이어(20) 상을 조밀하게 나란히 거의 달라붙은 상태로 운반되어 오는 경우도 있으므로, 나란히 운반되는 캐리어(40)의 간극은 거의 없는 상태이다.
그러나 캐리어 스토퍼(35)에 의해 위치 결정된 캐리어(40)는, 전술한 팽창 등의 영향을 피하기 위해, 소정의 간격을 두는 것이 바람직하다. 이러한 간격을 확실하게 두기 위해서도, 위치 결정 돌기(35a)의 폭보다도 절결 홈(42)의 폭은 충분히 넓은 것이 바람직하다.
또한, 돌기(41) 및 절결 홈(42)의 형상은, 본 실시 형태의 형상에 한정될 필요는 없다. 예를 들어, 캐리어(40)의 상면에 절결 홈(42)이 되는 홈을 형성하여, 캐리어(40)의 상부로부터 절결 홈(42)에 결합되는 핀을 삽입하는 형태라도 좋다.
이 경우도, 캐리어 스토퍼(35)에 형성되는 위치 결정 돌기(35a)와 동일한 형태로, 캐리어 스토퍼(35)에 위치 결정 돌기(35a)의 대용이 되는 삽입 핀이 매립되어 있으면 좋다.
이상, 본 실시 형태에 의거하여 발명을 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 발명의 취지를 일탈하는 일이 없는 범위에서 구성의 일부를 적절하게 변경함으로써 실시할 수도 있다.
예를 들어, 캐리어 스토퍼(35)를 상부로부터 반송용 컨베이어(20)에 근접시키는 구성으로 해도 좋고, 반송용 컨베이어(20)측으로부터 돌출하는 형태로 해도 좋다.
또한, 캐리어(40)의 형상도 인버터 부품(50) 이외의 작업물에 대응시키기 위해 변경하는 것도 무방하다.
또한, 반송 장치(10)의 구성이나 반송용 컨베이어(20)의 형상 및 반송 방법 등을 변경하는 것도 무방하다.

Claims (7)

  1. 작업물을 적재하는 캐리어와, 상기 캐리어를 반송하는 반송 컨베이어와, 상기 반송 컨베이어의 일부를 덮고 상기 작업물의 가열을 행하는 가열로와, 상기 가열로 내에서 상기 캐리어의 위치 결정을 행하는 위치 결정 기구를 구비하고, 상기 반송 컨베이어에서 운반되는 상기 캐리어를 상기 위치 결정 기구로 소정의 위치에 위치 결정시켜 상기 작업물을 가열하는, 반송부 위치 결정 방법에 있어서,
    상기 가열로가 그 내부에, 상기 작업물을 가열하는 가열 장치를 소정 간격으로 복수 구비하고,
    상기 캐리어의 후단측에 결합부를 구비하고,
    상기 위치 결정 기구에, 상기 결합부와 결합하는 빗살 형상으로 상기 캐리어의 반송 방향의 폭보다도 넓은 간격으로 복수개 설치된 위치 결정 돌기를 구비하고,
    상기 위치 결정 기구에 대해 상기 캐리어의 반송 방향 전방으로 배치되는 임시 고정 기구를 전진시킴으로써, 상기 캐리어의 전진단(前進端)을 임시 고정하고,
    상기 임시 고정 기구를 후퇴시킴과 동시에,
    상기 위치 결정 기구의 상기 위치 결정 돌기를 전진시키고,
    상기 반송 컨베이어에 의해, 상기 캐리어를 반송 방향으로 다시 반송하고, 상기 위치 결정 돌기와 상기 결합부를 결합시켜, 복수매의 상기 캐리어를, 상기 각 가열 장치와 대향하는 위치에 한꺼번에 소정의 간격을 두어 위치 결정하는 것을 특징으로 하는, 반송부 위치 결정 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 캐리어의 상기 결합부는, 상기 캐리어의 반송 방향으로 평행하게 형성되는 절결 홈이며, 상기 절결 홈은, 상기 위치 결정 돌기의 폭보다도 넓게 홈이 형성되고,
    상기 위치 결정 돌기가, 상기 절결 홈의 전방부에서 삽입되고, 상기 반송 컨베이어가 전진하여 상기 캐리어가 반송됨으로써, 상기 위치 결정 돌기가 상기 절결 홈의 후단부에서 결합되는 것을 특징으로 하는, 반송부 위치 결정 방법.
  3. 작업물을 적재하는 캐리어와, 상기 캐리어를 반송하는 반송 컨베이어와, 상기 반송 컨베이어의 일부를 덮고 상기 작업물의 가열을 행하는 가열로와, 상기 가열로 내에서 상기 캐리어의 위치 결정을 행하는 위치 결정 기구를 구비하는 반송 장치에 있어서,
    상기 가열로 내에, 상기 작업물을 가열하는 가열 장치를 소정 간격으로 복수 배치하고,
    상기 캐리어가, 반송 방향의 후단측에 결합부를 갖고,
    상기 위치 결정 기구가,
    복수의 상기 캐리어의 결합부와 결합하는 빗살 형상으로 상기 캐리어의 반송 방향의 폭보다도 넓은 간격으로 설치된 위치 결정 돌기를 갖는 캐리어 스토퍼와,
    상기 캐리어 스토퍼를 상기 캐리어측을 향해 전진 후퇴시켜, 상기 위치 결정 돌기와 복수의 상기 캐리어의 결합부를 결합시키는 왕복 이동 기구를 구비하고,
    상기 위치 결정 기구에 대해 상기 캐리어의 반송 방향의 전방에, 상기 캐리어의 전진단을 임시 고정하는 임시 고정 기구를 구비하고,
    상기 캐리어를, 소정의 간격을 두어 한꺼번에 위치 결정하는 것을 특징으로 하는, 반송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 캐리어의 근접을 검지하는 검출 센서와, 상기 검출 센서에 의한 검지 정보에 기초하여 상기 왕복 이동 기구의 구동을 제어하는 제어 수 단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 반송 장치.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 캐리어가, 상기 캐리어의 반송 방향의 선단부 및 후단부에 상기 결합부를 갖는 것을 특징으로 하는, 반송 장치.
  6. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 캐리어의 상기 결합부는, 상기 캐리어의 반송 방향으로 평행하게 형성되는 절결 홈이며, 상기 절결 홈은, 상기 위치 결정 돌기의 폭보다도 넓게 홈이 형성되고,
    상기 위치 결정 돌기가, 상기 절결 홈의 전방부에서 삽입되고, 상기 반송 컨베이어가 전진하여 상기 캐리어가 반송됨으로써, 상기 위치 결정 돌기가 상기 절결 홈의 후단부에서 결합되는 것을 특징으로 하는, 반송 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 캐리어의 상기 결합부는, 상기 캐리어의 반송 방향으로 평행하게 형성되는 절결 홈이며, 상기 절결 홈은, 상기 위치 결정 돌기의 폭보다도 넓게 홈이 형성되고,
    상기 위치 결정 돌기가, 상기 절결 홈의 전방부에서 삽입되고, 상기 반송 컨베이어가 전진하여 상기 캐리어가 반송됨으로써, 상기 위치 결정 돌기가 상기 절결 홈의 후단부에서 결합되는 것을 특징으로 하는, 반송 장치.
KR1020097017937A 2007-11-05 2008-11-05 반송부 위치 결정 방법 및 반송 장치 KR101076969B1 (ko)

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2007-287406 2007-11-05
JP2007287406 2007-11-05
JPJP-P-2008-004601 2008-01-11
JP2008004601 2008-01-11
JP2008048113A JP4342587B2 (ja) 2007-11-05 2008-02-28 搬送部位置決め方法、及び搬送装置
JPJP-P-2008-048113 2008-02-28
PCT/JP2008/070071 WO2009060842A1 (ja) 2007-11-05 2008-11-05 搬送部位置決め方法、及び搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090113316A KR20090113316A (ko) 2009-10-29
KR101076969B1 true KR101076969B1 (ko) 2011-10-26

Family

ID=40625730

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097017937A KR101076969B1 (ko) 2007-11-05 2008-11-05 반송부 위치 결정 방법 및 반송 장치

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8297429B2 (ko)
JP (1) JP4342587B2 (ko)
KR (1) KR101076969B1 (ko)
CN (1) CN101622183B (ko)
DE (1) DE112008000599B4 (ko)
WO (1) WO2009060842A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102103133B1 (ko) * 2020-02-21 2020-04-21 김정열 가열 컨베이어 장치

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5086948B2 (ja) 2008-09-10 2012-11-28 トヨタ自動車株式会社 キャリア位置決め方法及びキャリア搬送装置
JP5244874B2 (ja) * 2010-09-03 2013-07-24 トヨタ自動車株式会社 コンベア装置
KR101310799B1 (ko) * 2011-11-29 2013-09-25 현대제철 주식회사 연원료 이송장치
JP5935378B2 (ja) * 2012-02-21 2016-06-15 日産自動車株式会社 界磁極用磁石体を構成する磁石片の製造装置
CN202828912U (zh) * 2012-07-30 2013-03-27 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 送料装置
CN103922131A (zh) * 2014-04-08 2014-07-16 武汉文林科技有限公司 用于层压机的同步带式自动转料装置
CN106467186B (zh) * 2015-08-18 2019-04-05 广东格林精密部件股份有限公司 自动贴片的流水线输送装置
CN106825949A (zh) * 2015-12-04 2017-06-13 重庆银聪科技有限公司 一种激光切割机工作台
CN105548593B (zh) * 2015-12-30 2018-09-11 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 一种用于吸样头托盘的精确定位装置
JP6711019B2 (ja) * 2016-02-29 2020-06-17 セイコーエプソン株式会社 搬送装置及び印刷装置
CN106052382B (zh) * 2016-06-20 2018-08-21 北京机电研究所有限公司 铝合金控制臂高精度加热炉
CN106226543B (zh) * 2016-06-30 2018-07-06 深圳蓝韵生物工程有限公司 试管架位置感应装置和检验仪
JP7298864B2 (ja) * 2018-12-27 2023-06-27 株式会社 ベアック ラミネート基板製造装置、ラミネート基板製造ライン及びラミネート基板の製造方法
CN109539783B (zh) * 2019-01-07 2024-04-19 无锡微能数控科技有限公司 一种板簧双头同步感应加热炉
US10752157B1 (en) * 2019-03-15 2020-08-25 Fetch Robotics, Inc. Compact payload stopper for mobile robot comprising conveyor
CN109867099A (zh) * 2019-04-19 2019-06-11 广州陈扬枝科技有限责任公司 炒菜机及托盘输送装置
CN110723541A (zh) * 2019-11-08 2020-01-24 Tcl王牌电器(惠州)有限公司 搬运机
CN112896922A (zh) * 2019-12-03 2021-06-04 湖南省洪江市安达有限责任公司 一种汽车零部件加工自动输送装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52119580U (ko) * 1976-03-10 1977-09-10

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2295732A (en) * 1938-04-30 1942-09-15 Selas Company Continuous kiln
US2367093A (en) * 1943-01-07 1945-01-09 Armstrong Cork Co Manufacture of insulating products
SE360332B (ko) * 1971-12-15 1973-09-24 Eriksson K E I
JPS592139U (ja) 1982-06-28 1984-01-09 富士通株式会社 搬送部品の位置決め機構
ZA896768B (en) 1988-09-09 1990-06-27 Akzo Nv Synthetic polypeptides immunochemically reactive with hiv-antibodies
DE4236534A1 (de) 1992-10-29 1994-05-05 Ruck Kg Vereinzelungseinrichtung
JPH0781730A (ja) * 1993-09-17 1995-03-28 Suzuki Motor Corp パレット搬送装置
JP3271461B2 (ja) * 1995-02-07 2002-04-02 松下電器産業株式会社 半田ボールの搭載装置および搭載方法
JP3524243B2 (ja) 1995-10-31 2004-05-10 株式会社アルバック 連続式真空熱処理炉
CN2375937Y (zh) * 1999-06-10 2000-04-26 孙立言 推舟式真空电阻直热式热压连续烧结炉
JP4271833B2 (ja) 2000-07-25 2009-06-03 本田技研工業株式会社 インサート用筒体の取付装置
US20050139450A1 (en) * 2003-12-30 2005-06-30 International Product Technology, Inc. Electrical part processing unit
DE102006028493A1 (de) 2006-06-21 2007-12-27 KRUPS Fördersysteme GmbH Anhaltevorrichtung
FR2914629B1 (fr) 2007-04-04 2010-02-12 Sidel Participations Dispositif de distribution de recipients par rangees en vue de leur emballage

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52119580U (ko) * 1976-03-10 1977-09-10

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102103133B1 (ko) * 2020-02-21 2020-04-21 김정열 가열 컨베이어 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090113316A (ko) 2009-10-29
US8297429B2 (en) 2012-10-30
JP2009186158A (ja) 2009-08-20
JP4342587B2 (ja) 2009-10-14
CN101622183B (zh) 2012-07-18
CN101622183A (zh) 2010-01-06
DE112008000599B4 (de) 2014-10-16
US20100089720A1 (en) 2010-04-15
WO2009060842A1 (ja) 2009-05-14
DE112008000599T5 (de) 2009-12-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101076969B1 (ko) 반송부 위치 결정 방법 및 반송 장치
JP5086948B2 (ja) キャリア位置決め方法及びキャリア搬送装置
EP1958730B1 (en) Machining apparatus and machining method
KR100778949B1 (ko) 공기 베어링을 구비한 선형 가이드
US5454466A (en) Accumulating conveyor
JPH0262445B2 (ko)
CN102177574B (zh) 基板运送装置及基板运送方法
JPH0961104A (ja) ワークの機種検出装置
JP4643088B2 (ja) 物品処理機械の位置調整装置とその位置調整方法
JP4905058B2 (ja) 搬送装置
CN221562294U (zh) 一种热熔螺母植入设备
JP2002240920A (ja) 搬送装置および加熱装置
TW588429B (en) Apparatus for transporting substrates in an oven
JP2008159961A (ja) 基板搬送装置
JP4908923B2 (ja) 連続熱処理装置
CN211870707U (zh) 一种搬运机构
JPS6293113A (ja) リ−ドフレ−ムの搬送装置
JP2680170B2 (ja) 半導体チップのダイボンディング用加熱装置
JP4111817B2 (ja) 半導体素子の装着装置
JP2021091531A (ja) ワークの移送方法及びワークの移送装置
JPS61125026A (ja) ペレツトマウンタ−
KR200237018Y1 (ko) 가이드레일의 기판 떨림방지장치
JP3666701B2 (ja) 定尺切断装置及び定尺切断方法
JP2005022720A (ja) 容器シール装置
JP2005179033A (ja) 物品の操作装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141001

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150917

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160921

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170920

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181004

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191002

Year of fee payment: 9