KR100943427B1 - 기판지지유닛 및 기판처리장치, 그리고 기판지지유닛을제조하는 방법 - Google Patents
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- 기판에 대한 공정이 이루어지는 내부공간을 제공하는 챔버;상기 챔버 내에 제공되어 상기 기판을 지지하는 기판지지유닛;상기 기판지지유닛에 의해 지지된 상기 기판의 상부로 공정가스를 공급하는 샤워헤드를 포함하되,상기 기판지지유닛은,상부에 놓여진 상기 기판을 가열하는 히터를 구비하며, 제1 온도영역 및 상기 제1 온도영역보다 고온인 제2 온도영역을 가지는 서셉터;상기 제2 온도영역과 열접촉하는 접촉면 및 상기 제1 온도영역과 대응되는 개구를 가지는 방열부재; 및상기 서셉터의 일면과 대체로 나란하게 배치되어 상기 서셉터로부터 방출된 열을 상기 서셉터를 향하여 반사시키는 반사부재를 포함하며,상기 개구는 링 형상의 상기 접촉면에 의해 둘러싸이며,제1 반경을 가지는 부채꼴 형상의 제1 개구; 및제2 반경을 가지는 부채꼴 형상의 제2 개구를 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제12항에 있어서,상기 서셉터는 상기 제2 온도영역보다 저온인 제3 온도영역 및 상기 제3 온도영역보다 고온인 제4 온도영역을 가지며,상기 반사부재는 상기 반사에 의하여 상기 제3 온도영역을 가열하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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- 기판이 놓여지는 서셉터를 구비하는 기판지지유닛을 제조하는 방법에 있어서,상기 서셉터의 제1 온도영역보다 고온인 상기 서셉터의 제2 온도영역의 열을 방출시키기 위하여 상기 제2 온도영역에 열접촉되도록 상기 서셉터의 일측에 방열부재를 설치하는 단계를 포함하되,상기 방법은 상기 제1 온도영역과 상기 방열부재의 열접촉을 방지하도록 상기 방열부재에 상기 제1 온도영역에 대응되는 개구를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판지지유닛의 제조방법.
- 기판이 놓여지는 서셉터를 구비하는 기판지지유닛을 제조하는 방법에 있어서,상기 서셉터의 제1 온도영역보다 고온인 상기 서셉터의 제2 온도영역의 열을 방출시키기 위하여 상기 제2 온도영역에 열접촉되도록 상기 서셉터의 일측에 방열부재를 설치하는 단계를 포함하되,상기 방열부재는 상기 제1 온도영역에 대응되는 개구가 상기 제2 온도영역과 열접촉하는 접촉면에 의해 둘러싸인 링 형상이며,상기 개구를 형성하는 단계는,제1 반경을 가지는 부채꼴 형상의 제1 개구를 형성하는 단계; 및상기 제1 반경과 다른 제2 반경을 가지는 부채꼴 형상의 제2 개구를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판지지유닛의 제조방법.
- 기판이 놓여지는 서셉터를 구비하는 기판지지유닛을 제조하는 방법에 있어서,상기 서셉터의 제1 온도영역보다 고온인 상기 서셉터의 제2 온도영역의 열을 방출시키기 위하여 상기 제2 온도영역에 열접촉되도록 상기 서셉터의 일측에 방열부재를 설치하는 단계를 포함하되,상기 서셉터는 중심영역 및 가장자리영역, 그리고 상기 중심영역 및 가장자리영역의 사이에 배치되는 중간영역을 가지며,상기 방열부재를 설치하는 방법은 상기 제1 온도영역에 대응되는 개구를 상기 중심영역에 대응되도록 배치하며, 상기 제2 온도영역과 열접촉하는 접촉면을 상기 중간영역에 대응되도록 배치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판지지유닛의 제조방법.
- 기판이 놓여지는 서셉터를 구비하는 기판지지유닛을 제조하는 방법에 있어서,상기 서셉터의 제1 온도영역보다 고온인 상기 서셉터의 제2 온도영역의 열을 방출시키기 위하여 상기 제2 온도영역에 열접촉되도록 상기 서셉터의 일측에 방열부재를 설치하는 단계를 포함하되,상기 방법은 상기 서셉터로부터 방출된 열을 상기 서셉터를 향하여 반사시키도록 상기 서셉터의 일면과 대체로 나란하게 반사부재를 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판지지유닛의 제조방법.
- 제18항에 있어서,상기 서셉터는 상기 제2 온도영역보다 저온인 제3 온도영역 및 상기 제3 온도영역보다 고온인 제4 온도영역을 가지며,상기 반사부재를 배치하는 단계는,기설정된 반경을 가지는 원판 형상의 반사부재를 가공하여 상기 반경보다 작은 제1 반경을 가지는 부채꼴 형상의 제1 반사부재를 제공하는 단계; 및상기 반사부재를 가공하여 상기 반경보다 작고 상기 제1 반경과 다른 제2 반 경을 가지는 부채꼴 형상의 제2 반사부재를 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판지지유닛의 제조방법.
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