KR20010111638A - 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼에 막을 증착하기 위해 사용하는 히터 조립체에 있어서, 히터 조립체의 열효율을 높일 수 있는 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명에 따르면, 웨이퍼(1)를 가열하기 위해 상기 웨이퍼(1)가 안착되는 서셉터(10)와, 상기 웨이퍼(1)를 가열하기 위한 열원을 제공하는 발열체(50, 60)와, 상기 서셉터(10)의 저면에 체결되어 상기 서셉터(10)를 지지하며 상기 서셉터(10)와의 사이에 상기 발열체(50, 60)를 수용할 수 있는 폐쇄공간을 형성하는 지지부(20) 및, 상기 발열체(50, 60)의 하부에 위치하여 상기 발열체(50, 60)로부터 발생하는 복사열을 상부로 반사시키는 반사판(42)을 포함하는 히터 조립체에 있어서, 상기 반사판(42)의 둘레를 감싸서 상기 반사판(42)을 보호하며, 상기 복사열이 투과하고 상기 반사판(42)으로부터 반사된 반사열이 투과하는 석영유리(100)를 포함하는 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체가 제공된다.

Description

코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체{Heater module with coated reflection plate}
본 발명은 웨이퍼에 막을 증착하기 위해 웨이퍼에 열을 가하는 히터 조립체에 관한 것이며, 특히, 히터 조립체의 열효율을 높일 수 있도록 코팅된 반사판을구비한 히터 조립체에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼에 막을 증착하기 위해 웨이퍼를 서셉터 위에 안착시키고 웨이퍼에 가해지는 온도분포를 균일하게 유지하여 웨이퍼에 증착되는 막의 두께를 균일하게 한다.
도 1은 종래의 기술에 따른 두 개로 분리된 발열체를 구비한 히터 조립체를 나타낸 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 히터 조립체는 웨이퍼(1)가 안착되는 서셉터(susceptor)(10)와, 서셉터(10)의 하부에 연결되어 서셉터(10)와의 사이에 내부공간(15)을 형성하는 지지부(20)와, 서셉터(10)와 지지부(20)에 의해 형성된 내부공간(15)에 위치하여 열을 가하는 제 1 발열체(50)와, 제 1 발열체(50)의 둘레에 위치하여 열을 가하는 제 2 발열체(60)를 포함한다.
그리고, 이런 제 1 발열체(50)와 제 2 발열체(60)의 하면에는 반사판(42)이 설치되고, 반사판(42)의 하면에는 방열판(44)이 설치된다. 반사판(42)은 제 2 발열체(60)의 저면과 두께면으로부터 일정 거리만큼 떨어진 거리에 위치하여 제 1 발열체(50)와 제 2 발열체(60)로부터 발생한 복사열을 반사시켜 히터 조립체의 열효율을 높이기 위해서 설치된다. 이런 반사판(42)은 일반적으로 금속재질로 구성되며, 특히, 알루미늄 합금의 경우에는 그 반사율이 약 80%에 이른다. 그리고, 세라믹으로 구성된 반사판은 그 반사율이 약 20%정도이다. 일반적으로 반사판의 기능을 충분히 수행하기 위해서 금속재질의 반사판을 주로 사용한다.
그리고, 반사판(42)의 하부에 위치한 방열판(44)은 반사판(42)으로부터 하부로 전달되는 열을 차단하기 위해 설치되며, 발열체(50, 60)에 연결된 도선 및 열전대(52, 62) 등이 열에 의해 파손되는 것을 막는다.
한편, 반사판(42)은 금속재질로서, 고온의 열이 가해지면, 산화성 분위기가 조성되어 반사판(42)이 쉽게 산화되어 반사율이 저하되는 단점이 있다. 특히, 알루미늄의 용융온도는 다른 금속에 비해 비교적 낮아 고온에 약하다는 단점이 있다.
이러한 단점을 보완하기 위해 세라믹 반사판을 사용할 경우에는 세라믹 재질의 반사율이 낮아 열효율이 떨어지는 단점이 있다.
본 발명은 앞서 설명한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 제공된 것으로서, 반사판이 산화되는 것을 방지하도록 코팅된 반사판을 이용하는 히터 조립체를 제공하는 데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 기술에 따른 두 개로 분리된 발열체를 구비한 히터 조립체를 나타낸 단면도이고,
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체이며,
도 3은 도 2에 도시된 코팅된 반사판의 상세도이다.
♠ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ♠
1 : 웨이퍼 10 : 서셉터
20 : 지지부 42 : 반사판
44 : 방열판 52, 62 : 열전대
100 : 석영유리
앞서 설명한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 웨이퍼를 가열하기 위해 상기 웨이퍼가 안착되는 서셉터와, 상기 웨이퍼를 가열하기 위한 열원을 제공하는 발열체와, 상기 서셉터의 저면에 체결되어 상기 서셉터를 지지하며 상기 서셉터와의 사이에 상기 발열체를 수용할 수 있는 폐쇄공간을 형성하는 지지부 및, 상기 발열체의 하부에 위치하여 상기 발열체로부터 발생하는 복사열을 상부로 반사시키는 반사판을 포함하는 히터 조립체에 있어서, 상기 반사판의 둘레를 감싸서 상기 반사판을 보호하며, 상기 복사열이 투과하고 상기 반사판으로부터 반사된 반사열이 투과하는 코팅재를 포함하는 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체가제공된다.
또한, 본 발명의 상기 코팅재는 석영유리이다.
아래에서, 본 발명에 따른 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체의 양호한 실시예를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명하겠다.
도면에서, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체이며, 도 3은 도 2에 도시된 코팅된 반사판의 상세도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 히터 조립체는 웨이퍼(1)가 안착되는 서셉터(susceptor)(10)와, 서셉터(10)의 하부에 연결되어 서셉터(10)와의 사이에 내부공간(15)을 형성하는 지지부(20)와, 서셉터(10)와 지지부(20)에 의해 형성된 내부공간(15)에 위치하여 열을 가하는 제 1 발열체(50)와, 제 1 발열체(50)의 둘레에 위치하여 열을 가하는 제 2 발열체(60)를 포함한다.
한편, 알루미늄 합금재질인 반사판(42)은 그 둘레에 석영유리(100)가 밀착되어 코팅되며, 반사판(42)의 상부에 제 1, 제 2 발열체(50, 60)가 위치한다.
이런 제 1 발열체(50)와 제 2 발열체(60)에서 발생한 복사열은 반사판(42)을 감싸고 있는 석영유리(100)를 투과하여 반사판(42)에 입사된다. 입사된 복사열은 반사판(42)에 의해 반사되어 다시 석영유리(100)를 투과하여 서셉터(10) 쪽으로 반사된다.
따라서, 석영유리(100)는 반사판(42)의 반사율에 아무런 영향을 미치지 않으며, 서셉터(10)와 지지부(20)에 의해 형성된 내부공간(15)에 존재하는 가스와 반사판(42)의 접촉을 차단한다. 그럼으로, 반사판(42)이 제 1, 제 2 발열체(50, 60)의열에 의해 산화성 분위기가 조성되더라도 산소와의 접촉이 이루어지지 않으므로 반사판(42)의 부식을 방지할 수 있다.
앞서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명의 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체는 서셉터와 지지부에 의해 형성된 내부공간에 존재하는 산소와 반사판의 접촉을 코팅된 석영유리가 차단함으로써, 반사판의 부식을 방지할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체는 반도체 제작시에 발생하는 반응성 가스 및 에칭가스가 히터조립체 내부로 침투하여 반사판과 직접 접촉하는 것을 차단할 수 있을 뿐만 아니라 플라즈마(plasma) 공정시에 발생할 수 있는 미세 아킹(micro arcing) 등의 위험을 최소화 할 수 있어 수명을 연장시킬 수 있다는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체는 반사판의 둘레를 석영유리가 감싸고 있어, 반사판 자체의 반사율을 그대로 유지한 상태에서, 히터조립체 내부의 발열체에서 발생하는 열에 의해 발생하는 히트 싱크(heat sink)현상을 발열체의 주위에 생성되는 낮은 온도영역에 의해 억제할 수 있다는 장점이 있다.
그리고, 본 발명의 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체는 반사판의 산화를 막기 위해 석영유리로 코팅하여 반사판에 의한 히터 조립체의 열효율의 저하를 방지할 수 있다는 장점이 있다.
이상에서 본 발명의 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체에 대한 기술사상을첨부도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자이면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.

Claims (2)

  1. 웨이퍼를 가열하기 위해 상기 웨이퍼가 안착되는 서셉터와, 상기 웨이퍼를 가열하기 위한 열원을 제공하는 발열체와, 상기 서셉터의 저면에 체결되어 상기 서셉터를 지지하며 상기 서셉터와의 사이에 상기 발열체를 수용할 수 있는 폐쇄공간을 형성하는 지지부 및, 상기 발열체의 하부에 위치하여 상기 발열체로부터 발생하는 복사열을 상부로 반사시키는 반사판을 포함하는 히터 조립체에 있어서,
    상기 반사판의 둘레를 감싸서 상기 반사판을 보호하며, 상기 복사열이 투과하고 상기 반사판으로부터 반사된 반사열이 투과하는 코팅재를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 코팅재는 석영유리인 것을 특징으로 하는 코팅된 반사판을 구비한 히터 조립체.
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