KR100860179B1

KR100860179B1 - 진공 펌프

Info

Publication number: KR100860179B1
Application number: KR1020020071193A
Authority: KR
Inventors: 가와니시신지; 사카구치요시유키; 마에지마야스시; 오쿠데라사토시
Original assignee: 에드워즈 가부시키가이샤
Priority date: 2001-11-19
Filing date: 2002-11-15
Publication date: 2008-09-24
Also published as: EP1314892B1; DE60202740D1; JP2003214379A; KR20030041782A; US6752588B2; US20030095862A1; JP4126212B2; DE60202740T2; EP1314892A1; ATE288036T1; DE60202740T3; EP1314892B2

Abstract

회전하고 있는 회전자가 케이싱 내벽에 충돌할 때에 발생하는 파괴 토오크가 진공 챔버에 전달되어 진공 챔버를 파괴하는 일이 없는 진공 펌프를 제공한다.

진공 챔버와 접속 플랜지부(1a)의 볼트 구멍(3)의 구멍 직경, 펌프 케이스와 그 하측의 베이스와의 접속 부분의 볼트 구멍의 구멍 직경을 각각에 삽입되는 볼트 직경의 20% 이상 크게 해, 파괴 토오크에 의해 진공 펌프(100) 전체가 회전할 때, 진공 챔버 결합용 구멍과 펌프·챔버 결합용 볼트(30)와의 간극만큼, 또한 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트 구멍과 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트와의 간극만큼, 진공 챔버와 펌프 케이스 또는 펌프 케이스와 베이스를 미끄러지게 해서, 파괴 토오크를 흡수하고, 진공 챔버(200)에 파괴 토오크가 전달되는 것을 막는다.

Description

진공 펌프{VACUUM PUMP}

도 1은 본 발명에 관한 진공 펌프의 일 실시형태를 도시하는 종단면도이다.

도 2는 본 발명에 관한 진공 펌프의 다른 실시형태를 도시하는 부분 종단면도이다.

도 3은 본 발명에 관한 진공 펌프의 다른 실시형태를 도시하는 부분 종단면도이다.

도 4는 본 발명에 관한 진공 펌프의 플랜지부의 다른 실시형태를 도시하는 부분 정면도이다.

도 5는 도 4의 플랜지부의 부분 종단면도에서, (a), (b) 및 (c)는 파괴 토오크가 가해진 경우의 진공 펌프의 플랜지부와 진공 챔버가 어긋나는 상태를 순서대로 도시하는 도면이다.

도 6은 (a) 및 (b)는, 결합용 볼트, 볼트 구멍의 다른 실시형태를 각각 도시하는 단면도이다.

도 7은 본 발명에 관한 진공 펌프의 다른 실시형태를 도시하는 부분 종단면도이다.

도 8은 본 발명에 관한 진공 펌프의 다른 실시형태를 도시하는 부분 종단면도이다.

도 9는 종래의 진공 펌프의 설치 상태를 도시하는 종단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 펌프 케이스 1a : 플랜지부

1b : 베이스 결합부 2 : 가스 흡기구

3 : 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(진공 챔버 결합용 구멍)

4 : 베이스(진공 펌프 베이스)

5 : 회전자 샤프트 6 : 회전자

6a : 하부 외주면 7 : 회전자 블레이드

8 : 고정자 블레이드 10 : 나사 고정자

10a : 나사 홈 11 : 가스 배기구

12 : 스페이서 13 : 자기 베어링

14 : 볼 베어링 15 : 구동 모터

16 : 고정자 기둥

17 : 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트 구멍(펌프 케이스·베이스 결합용 구멍)

18 : 펌프 케이스·베이스 결합용 나사 구멍(펌프 케이스·베이스 결합용 구멍)

19 : 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트

21 : 배기구

22 : 펌프 결합용 나사 구멍(펌프 결합용 구멍)

30 : 펌프·챔버 결합용 볼트(신장 볼트)

30b : 볼트 헤드 30c : 나사부

30d : 잘록한 직경 부분 40 : 와셔

50 : 완충재 60 : 펌프 하부 지지체

61 : 하부 지지 볼트 100 : 진공 펌프

200 : 진공 챔버

본 발명은 반도체 제조 장치, 전자 현미경, 표면 분석 장치, 질량 분석 장치, 입자 가속기, 핵융합 실험 장치 등에 사용되는 터보 분자 펌프 등 회전자의 회전에 의해 펌프 작용을 하는 진공 펌프에 관한 것이다.

예컨대, 반도체 제조 공정에서의 드라이 에칭이나 CVD 등의 프로세스는, 진공 중에서 행할 필요가 있으며, 이 진공을 얻기 위해서는 터보 분자 펌프와 같은 고속 회전 회전자를 가진 진공 펌프가 사용된다.

종래의 이런 종류의 진공 펌프(예컨대, 일본국 실원평 4-52644호(실개평 6-14491호)(도 3))에서는, 도 9에 도시한 바와 같이, 진공 펌프(100)의 펌프 케이스(1) 상부의 가스 흡기구(2) 측이 진공 챔버(200)의 배기구(21)에 연통 접속되도록 되어 있다. 이 접속 구조에서는, 펌프 케이스(1) 위 가장자리 부분에 설치된 플랜지부(1a)를 진공 챔버(200)에 펌프·챔버 결합용 볼트(30)에 의해 설치 고 정하는 구조를 채용하고 있다.

즉, 진공 챔버(200)의 배기구(21)의 주위에 몇 개의 펌프 결합용 나사 구멍(22)이 등간격으로 설치되고, 진공 펌프(100)의 플랜지부(1a)는 가스 흡기구(2)를 둘러싸고, 이 플랜지부(1a)에는, 진공 챔버(200)의 상기 몇 개의 펌프 결합용 나사 구멍(22)에 대응되고 등간격으로 배치된 볼트 구멍(3)이 설치되어 있고, 펌프·챔버 결합용 볼트(30)를 플랜지부(1a)의 하측에서 각 볼트 구멍(3)을 통해, 진공 챔버(200)의 펌프 결합용 나사 구멍(22)에 나사 체결하여, 진공 챔버(200)에 진공 펌프(100)를 설치하여 고정하고 있다. 펌프·챔버 결합용 볼트(30)의 몸통의 외경면과 볼트 구멍(3) 내벽면과의 간극은, 보통의 규격을 따르며, 예컨대 몸통 직경 10mm에 대해 11mm의 구멍 직경과 같이 설정되어 있다.

또한, 상기 펌프 케이스(1)의 하측에는, 펌프 케이스(1)와는 별체(別體)의 베이스(4)가 있고, 진공 펌프 내부의 하반부를 감싸고 있다. 베이스(4)와 펌프 케이스(1)와의 접속 구조도, 상기 진공 펌프(100)와 진공 챔버(200)와의 접속 구조와 마찬가지로, 펌프 케이스(1) 아래 가장자리 부분에 설치한 플랜지 형상의 베이스 결합부(1b)와 베이스(4)를 도시 생략한 볼트로 조여 고정하고 있다.

상기 진공 챔버(200)에 설치 고정된 진공 펌프(100)는, 그 운전 동작 중, 회전자 샤프트(5)와 일체로 회전자(6) 및 회전자 블레이드(7)가 고속으로 회전한다. 그리고, 이 고속 회전하는 회전자 블레이드(7)와 펌프 케이스(1) 측에 고정된 고정자 블레이드(8)와의 상호 작용 및 고속 회전하는 회전자(6)와 나사 홈(10a)을 갖는 고정된 나사 고정자(10)와의 상호 작용에 의해, 진공 챔버(200) 내의 가스 분자는, 펌프 케이스(1) 상부의 가스 흡기구(2)에서 펌프 케이스(1)를 통해 베이스(4)의 가스 배기구(11)측으로 배기된다.

그런데, 도 9에 나타난 진공 펌프(100)를 구성하고 있는 회전자(6), 회전자 블레이드(7) 및 고정자 블레이드(8) 등의 구조재로써는, 통상 경합금 중에서도 알루미늄 합금이 많이 사용된다. 알루미늄 합금은 기계 가공성이 양호하고 정밀하게 가공하기가 쉽기 때문이다. 그러나 알루미늄 합금은 다른 금속 재료에 비해 강도가 비교적 낮고, 사용 조건에 따라서는 크립 파괴를 일으킬 수 있다. 또한, 주로 회전자 하부의 응력 집중을 기점으로 한 취성 파괴가 발생할 수 있다.

상기와 같은 진공 펌프(100)에 있어서는, 고속 회전하고 있는 회전자(6)가 예컨대 취성 파괴를 일으켜, 회전자(6)의 일부가 나사 고정자(10)에 충돌한 경우에, 이 충돌의 충격력에 대해 나사 고정자(10)의 강성이 충분하지 않고, 충돌의 충격력을 충분히 흡수할 수 없어, 나사 고정자(10)가 직경 방향으로 이동해서 펌프 케이스(1)이나 베이스(4)에 충돌함으로써, 이 진공 펌프(100) 전체를 회전시키도록 하는 큰 회전 토오크가 발생함과 동시에, 이러한 회전 토오크(이하, 파괴 토오크라고 함)에 의해 펌프 케이스(1)가 비틀어지거나, 진공 펌프(100)와 진공 챔버(200)를 고정하고 있는 결합용 볼트(30)가 파손되고, 또한 진공 챔버(200)에 전달되는 큰 파괴 토오크에 의해 진공 챔버(200)를 파괴하는 등의 문제점이 있다.

본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 것은, 고속 회전하고 있는 회전자가 펌프 케이스 측의 나사 고정자 등과 충돌할 때에 발생하는 파괴 토오크를 절감할 수 있고, 외부로의 파괴 토오크 전달을 방지하고, 외부에 전달되는 파괴 토오크에 의한 진공 챔버 등의 파괴를 방지하도록 한 진공 펌프를 제공하는 데에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 청구항 1의 발명의 진공 펌프는, 회전자(6)와, 이 회전자를 둘러싼 펌프 케이스(1)와, 이 펌프 케이스의 위 가장자리에 형성된 플랜지부(1a)와, 이 플랜지부의 상면에 접하는 진공 챔버(200)의 배기구(21) 주 가장자리측에 설치된 복수의 펌프 결합용 구멍(22, 22, …)에 대응 배치시키고, 상기 플랜지부(1a)에 착설된, 펌프·챔버 결합용 볼트(30, 30, …)를 관통하기 위한 복수의 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(3, 3, …)과, 상기 펌프 케이스(1)의 아래 가장자리에 형성된 베이스 결합부(1b)와, 이 베이스 결합부(1b)의 하면에 접하고 상기 회전자(6)의 하측을 둘러싼 베이스(4)와, 상기 베이스 결합부(1b) 및 베이스(4)의 각각에 서로 대응해 배치된 복수의 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍(17, 17, …, 18, 18, …)과, 이 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍(17, 17, …, 18, 18, …)에 삽입하고 나사를 조임으로써 펌프 케이스(1)와 베이스(4)를 결합하는 복수의 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트(19, 19, …)를 가지고, 볼트 구멍 직경과 볼트 몸통 직경과의 관계가 이하의 (a), (b) 중 하나이거나, (a) 및 (b)이도록 한다.

(a) 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(3, 3, …)의 직경이, 해당 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(3, 3, …)에 삽입되는 펌프·챔버 결합용 볼트(30, 30, …)의 몸통의 직경(30d, 30d, …의 직경) 보다도 20% 이상 크다.

(b) 베이스 결합부(1b) 또는 베이스(4)에 설치된 펌프 케이스·베이스 결합 용 구멍(17, 17, …, 18, 18, …) 중 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍(17, 17, …또는 18, 18, …)의 직경이, 해당 볼트 구멍에 삽입되는 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트(19, 19, …)의 몸통 직경(19d, 19d, …의 직경) 보다도 20% 이상 크다.

청구항 2의 발명의 진공 펌프는, 회전자(6)와, 이 회전자를 둘러싼 펌프 케이스(1)와, 이 펌프 케이스의 위 가장자리에 형성된 플랜지부(1a)와, 이 플랜지부의 상면에 접하는 진공 챔버(200)의 배기구(21) 주 가장자리측에 설치된 복수의 펌프 결합용 구멍(22, 22, …)에 대응 배치되고, 상기 플랜지부(1a)에 착설되고, 펌프·챔버 결합용 볼트(30, 30, …)를 관통하기 위한 복수의 진공 챔버 결합용 구멍(3, 3, …)과, 이 펌프 케이스의 아래 가장자리에 형성된 베이스 결합부(1b)와, 이 베이스 결합부의 아랫면에 접하고 상기 회전자(6)의 하측을 둘러싼 베이스(4)와, 상기 베이스 결합부(1b) 및 베이스(4)의 각각에 서로 대응해 배치된 복수의 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍(17, 17, …, 18, 18, …)과, 이 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍(17, 17, …, 18, 18, …)에 삽입되고 나사를 조임으로써 펌프 케이스(1)와 베이스(4)를 결합하는 복수의 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트(19, 19, …)를 가지고, 결합용 볼트와 볼트 구멍과의 위치 관계가 이하의 (a), (b) 중 하나이거나, (a) 및 (b)이도록 한다.

(a) 펌프 케이스(1)가 파괴 토오크를 받아 회전할 때, 상기의 펌프·챔버 결합용 볼트(30)와 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(3)이 상대적으로 접근해 가는 측의 간극이, 볼트의 몸통 직경의 10%를 포함한 범위에 산포되어 있다.

(b) 펌프 케이스(1)가 파괴 토오크를 받아 회전할 때, 상기 펌프 케이스·베 이스 결합용 볼트(19)와 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍(17, 18)이 상대적으로 접근해 가는 측의 간극이, 볼트의 몸통 직경의 10%를 포함한 범위에 산포되어 있다.

청구항 3의 발명은, 청구항 1 또는 2의 발명에서, 결합용 볼트와 볼트 구멍과의 간극이 이하의 (a), (b) 중 하나이거나, (a) 및 (b)이도록 한다.

(a) 펌프·챔버 결합용 볼트(30)와 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(3)과의 간극에 완충재(50)가 삽입하고 있다.

(b) 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트(19)와 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트 구멍(17 또는 18)과의 간극에 완충재(50)가 삽입하고 있다.

이렇게 하면, 완충재(50)가 파괴 토오크를 흡수하는데 기여한다.

청구항 4의 발명은, 청구항 1 또는 2의 발명에서, 결합용 볼트가 이하의 (a), (b) 중 하나이거나, (a) 및 (b)이도록 한다.

(a) 펌프·챔버 결합용 볼트(30)가 신장 볼트이다.

(b) 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트(19)가 신장 볼트이다.

이렇게 하면, 신장 볼트의 잘 늘어나는 특성이 파괴 토오크 흡수에 기여한다.

청구항 5의 발명의 진공 펌프의 설치 구조는, 진공 챔버(200)의 배기구(21) 주 가장자리에 설치된 복수의 펌프 결합용 구멍(22, 22, …)과, 진공 펌프의 회전자(6)를 둘러싼 진공 펌프의 펌프 케이스(1)의 위 가장자리에 형성된 플랜지부(1a)에 설치되고, 상기 펌프 결합용 구멍(22, 22, …)에 대응해 배치된 복수의 진공 챔 버 결합용 구멍(3, 3, …)과, 상기 펌프 결합용 구멍(22, 22, …) 및 진공 챔버 결합용 구멍(3, 3, …)에 삽입하고 나사를 조임으로써, 진공 챔버 배기구(21) 주 가장자리와 플랜지부(1a)를 고정하는 복수의 펌프·챔버 결합용 볼트(30, 30, …)를 가지고, 펌프 결합용 구멍(22) 및 진공 챔버 결합용 구멍(3) 중 볼트 구멍이 되는 구멍(22 또는 3)의 직경이, 해당 볼트 구멍에 삽입되는 펌프·챔버 결합용 볼트(30)의 몸통 직경(30d) 보다도 20% 이상 크게 되어 있다.

청구항 6의 진공 펌프의 설치 구조의 발명은, 진공 챔버(200)의 배기구(21) 주 가장자리에 설치된 복수의 펌프 결합용 구멍(22, 22, …)과, 진공 펌프의 회전자(6)를 둘러싼 진공 펌프의 펌프 케이스(1)의 위 가장자리에 형성된 플랜지부(1a)에 설치되고, 상기 펌프 결합용 구멍(22, 22, …)에 대응해 배치된 복수의 진공 챔버 결합용 구멍(3, 3, …)과, 상기 펌프 결합용 구멍 (22, 22, …) 및 진공 챔버 결합용 구멍(3, 3, …)에 삽입하고 나사를 조임으로써, 진공 챔버 배기구(21) 주 가장자리와 플랜지부(1a)를 고정하는 복수의 펌프·챔버 결합용 볼트(30, 30, …)를 가지고, 펌프 케이스(1)가 파괴 토오크를 받아 회전할 때, 상기 펌프·챔버 결합용 볼트(30, 30, …)와 진공 챔버 결합용 구멍(3, 3, …)이 상대적으로 접근해 가는 측의 간극이 볼트의 몸통 직경의 10%를 포함하는 범위에 산포되어 있다.

청구항 7의 발명의 진공 펌프의 설치 구조는, 청구항 5 또는 6에 기재된 발명에서, 펌프·챔버 결합용 볼트(30, 30, …)와, 펌프 결합용 구멍(22, 22, …) 및 진공 챔버 결합용 구멍(3, 3, …) 중 볼트 구멍이 되는 구멍(22 또는 3)과의 간극에 완충재(50)가 삽입하고 있도록 한다. 이렇게 하면, 완충재(50)가 파괴 토오크 흡수에 기여한다.

청구항 8의 발명의 진공 펌프의 설치 구조는, 청구항 5 또는 6에 기재된 발명에서, 펌프·챔버 결합용 볼트(30, 30, …)가 신장 볼트이도록 한다. 이렇게 하면 신장 볼트의 잘 늘어나는 특성이 파괴 토오크 흡수에 기여한다.

본 발명에서 「(진공 챔버 결합용) 구멍」, 「(펌프 결합용) 구멍」 및 「(펌프 케이스·베이스 결합용) 구멍」 등의 「구멍」은, 볼트의 나사부와 나사체결하는 나사 구멍, 또는 볼트의 몸통부를 끼워서 통하는 몸통부 보다도 큰 볼트 구멍을 의미한다. 또한, 「결합용 구멍」은, 다음의 2가지 조합으로 사용된다.

(1) 볼트 구멍/ 나사 구멍의 조합

「볼트 구멍」에 볼트를 삽입하고, 볼트 구멍을 관통한 볼트의 나사부를 「나사 구멍」에 나사 체결하여 조인 결합이다.

(2) 볼트 구멍/ 볼트 구멍/ 너트의 조합

한 쌍의 「볼트 구멍」에 볼트를 삽입하고, 이 한 쌍의 볼트 구멍을 관통한 볼트의 나사부를 너트로 나사 체결하여 조인 결합이다.

본 발명에서 「(볼트의) 몸통 직경」은, 볼트의 헤드 부분과 나사부 사이의 나사산이 없는 몸통부의 직경, 몸통 부분이 없고, 볼트의 헤드 부분으로 이어진 나사가 형성된 볼트의 경우는, 나사산의 직경을 의미한다. 신장 볼트에서는, 잘록한 부분의 직경이 볼트의 몸통 직경이 된다. 또한, 「볼트」로는 협의의 볼트 이외의 막대기 모양의 나사류, 예컨대 소나사를 포함하는 것은 말할 필요도 없다.

본 발명에서는, 파괴 토오크에 의해 진공 펌프 전체가 회전하려고 할 때, 펌 프·챔버 결합용 볼트의 외주 면에 가장 접근해 있는 볼트 구멍의 내벽면이, 최초에 그 안의 펌프·챔버 결합용 볼트의 외주 면에 닿아 볼트를 변형, 파괴하기 시작하고, 순차적으로 볼트 구멍의 내벽면과 펌프·챔버 결합용 볼트의 외주 면이 떨어져 있는 볼트 구멍의 벽이 그 안의 펌프·챔버 결합용 볼트에 닿아서 볼트를 파괴해 가고, 이 볼트의 변형, 파괴 과정에서 파괴 토오크를 흡수해, 파괴 토오크의 최고치를 저하시킨다.

이하, 본 발명에 관한 진공 펌프의 실시형태에 대해, 도면을 참조해 설명한다.

도 1은, 본 발명에 관한 진공 펌프의 일 실시형태를 도시하는 종단면도이다. 도 1에 도시한 진공펌프(100)는 원통 형상의 펌프 케이스(1) 내에서 회전 가능하게 설치된 통형의 회전자(6)를 가지고, 이 회전자(6)는 그 상단이 펌프 케이스(1) 상부의 가스 흡기구(2) 측을 향하도록 배치되어 있다.

회전자(6)의 상부측 외주 면과 펌프 케이스(1)의 상부측 내벽과의 사이에는, 칼날 형상의 회전자 블레이드(7)와 고정자 블레이드(8)가, 회전자(6)의 회전 중심축 선을 따라 번갈아 복수 배치되어 있다.

회전자 블레이드(7)는, 회전자(6)와의 일체 가공에 의해 회전자(6)의 상부측 외주 면에 일체로 설치되고, 또한 회전자(6)와 일체적으로 회전할 수 있다. 한편, 고정자 블레이드(8)는, 펌프 케이스(1)의 상부측 내벽에 위치하는 스페이서(12, 12)에 의해 상하단의 회전자 블레이드(7, 7) 사이에 위치를 정하여 배치되며, 또한 스페이서(12, 12)를 통해 펌프 케이스(1)의 내벽 측에 설치 고정되어 있다.

회전자(6)의 하부 외주 면(6a)과 대향하는 위치에는 나사 고정자(10)가 배치되어 있고, 이 나사 고정자(10)는, 그 전체 형상이 회전자(6)의 하부 외주 면(6a)을 둘러싼 통형의 형상으로 형성되고, 또한 펌프 케이스(1)의 하측의 베이스(4)에 일체적으로 설치 고정되어 있다.

나사 고정자(10)에는 나사 홈(10a)이 형성되어 있고, 이 나사 홈(10a)은 나사 고정자(10)의 회전자(6)의 하부 외주 면(6a)에 대향하게 설치되어 있다.

회전자(6)의 내측에는, 그 회전 중심축선 상에 회전자 샤프트(5)가 일체로 설치되어 있다. 이 회전자 샤프트(5)의 베어링 수단에는, 자기 베어링, 공기 베어링 등 각종의 베어링를 이용할 수 있다. 도면에서는, 자기 베어링(13, 13)에 의해 회전자 샤프트(5)를 축수해 지지하는 구성을 나타내고 있다. 또한, 14, 14는 볼 베어링으로, 이 볼 베어링은 자기 베어링(13, 13)이 불안정하게 된 경우에 일시적으로 회전자 샤프트(5)를 지지하는 보조 베어링이다. 또한, 15는 회전자 샤프트(5)를 회전 구동하는 구동 모터이다.

상기 구동 모터(15)의 고정자 및 자기 베어링(13)의 고정자는, 회전자(6)의 내측에 베이스(4) 상에 세워져 설치 고정된 고정자 기둥(16)에 설치되어 있다.

이 실시형태에서는, 상기 베이스(4), 회전자(6), 회전자 블레이드(7). 고정자 블레이드(8), 스페이서(12)의 재료는, 알루미늄 합금을, 또한 펌프 케이스(1), 회전자 샤프트(5), 볼트(19, 30)의 재료는 강(鋼)을 사용하고 있다.

상기 펌프 케이스(1)의 가스 흡기구(2)는, 고 진공이 되는 진공 챔버(200)의 배기구(21)에 접속되고, 베이스(4)에 설치된 도시되지 않은 가스 배기구는 저압 측에 연결 접속된다.

다음으로, 본 발명의 특징인 진공 챔버·진공 펌프 결합 구조와 펌프 케이스·베이스 결합에 대해 상세하게 설명한다.

상기 펌프 케이스(1)의 위 가장자리에 형성된 가스 흡기구(2) 주위의 플랜지부(1a)에는, 복수의 진공 챔버 결합용 볼트 구멍((진공 챔버 결합용 구멍)(3, 3))이 설치되어 있다. 이들 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(3, 3)은, 펌프·챔버 결합용 볼트(30)를 관통하기 위한 것이며, 상기 플랜지부(1a)의 상면에 접하는 진공 챔버(200)의 배기구(21) 주 가장자리측에 설치된 복수의 펌프 결합용 구멍(22)에 대응 배치된 플랜지부(1a)에 착설되어 있다. 이 실시형태에서는 진공 챔버(200)의 펌프 결합용 구멍(22)은, 나사 구멍으로 되어 있어, 펌프·챔버 결합용 볼트(30)를 하측에서 진공 펌프(100)의 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(3)에 삽입하고, 진공 챔버(200)의 펌프 결합용 나사 구멍(22)에 나사를 넣고 조여서, 진공 펌프와 진공 챔버를 결합하고 있다.

상기 펌프·챔버 결합용 볼트(30)에는, 신장 볼트를 사용하고 있다. 신장 볼트는, 공지된 바와 같이, 볼트 헤드 부분(30b)과 나사부(30c) 사이의 몸통 부분이 잘록한 직경부(30d)로 된 볼트이고, 잘록한 직경부(30d)의 직경은 나사부(30c)의 곡경 보다도 가늘게 형성되고, 볼트에 이상 하중이 가해질 때, 잘록한 부분의 직경부(30d)가 늘어나서 주변 부품의 손상 등을 회피하는데 사용되는 것이다.

잘록한 직경부(30d)와 나사부(30c)의 경계 부분은, 도면에 도시된 바와 같이 펌프 결합용 나사 구멍(22)측에, 1~2회 나사 피치만큼 들어간 위치가 되도록 한 신장 볼트를 사용하고 있다. 또한, 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(3)의 직경은, 해당 볼트 구멍에 삽입되는 펌프·챔버 결합용 볼트(30)의 잘록한 직경부(30d)의 직경보다도 20% 이상 충분히 크게 선정되어 있다.

또한, 펌프 케이스(1)와 베이스(4)의 결합에도, 상기 진공 챔버(200)와 진공 펌프(100)와의 결합 구조와 유사한 결합 구조를 채용하고 있다.

즉, 펌프 케이스(1)의 아래 가장자리에는 플랜지 형상의 베이스 결합부(1b)가 형성되고, 베이스(4)는 이 베이스 결합부(1b)의 아랫면에 접하며 회전자(6) 등의 회전 부분의 하측을 둘러싸고 있다.

상기 베이스 결합부(1b) 및 베이스(4)의 각각에는, 서로 대응해 배치된 복수의 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍(17, 17 및 18, 18)이 설치되어, 이 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍(17, 17 및 18, 18)에 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트((신장 볼트)(19, 19))를 삽입하고, 나사를 조임으로써 펌프 케이스(1)와 베이스(4)를 결합하도록 되어 있다. 이 실시형태에서는 베이스 결합부(1b)의 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍(17)은 볼트 구멍이고, 베이스(4)의 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍(18)은 나사 구멍으로 되어 있다. 이와 같이, 베이스 결합부(1b) 측을 볼트, 베이스(4) 측을 나사 구멍으로 하면, 진공 펌프가 콤팩트해질 뿐 아니라 설치 작업성이 좋아진다.

또한, 상기 양 결합용 구멍(17과 18, 3과 22)은, 도 6(a)에 도시한 바와 같이, 볼트 구멍과 나사 구멍을 반대로 해도 좋으며, 도 6(b)에 도시한 바와 같이, 양측의 결합용 구멍(17, 18 또는 3, 22)을 볼트 구멍으로 하고, 펌프 결합용 볼트(19, 또는 30)의 끝을 외측으로 돌출 시켜 너트(31)로 조이는 너트 조임 구조로 할 수 있음은 물론이다. 이 너트 조임 구조의 경우에는, 어느 한 쪽의 볼트 구멍은 특별히 크게 하지 않고, 보통 직경의 볼트 구멍으로 해도 된다.

또한, 본 발명에 있어서는, 펌프·챔버 결합용 볼트(30)나 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트(19)로써 신장 볼트를 사용하지 않는 경우, 즉 나사산 직경과 거의 같은 몸통 직경의 보통의 볼트를 사용하는 경우에도, 결합용 볼트(30, 19)의 몸통부(30d)의 직경보다도 20% 이상 크게 한다.

다음으로, 이렇게 구성된 도 1의 실시형태에서의 파괴 토오크 흡수 작용을 설명한다. 펌프 운전 중에 고속 회전하고 있는 회전자(6) 등이 어떤 원인으로 파괴되면, 진공 펌프(100) 전체를 회전시키려고 하는 강한 파괴 토오크가 발생하고, 이 파괴 토오크가 펌프 케이스(1)나 베이스(4)에 가해진다.

펌프 케이스(1)는 큰 진공 챔버(200)에 결합되어 있으므로, 파괴 토오크를 받는 펌프 케이스(1)와 진공 챔버(200)를 결합하고 있는 펌프·챔버 결합용 볼트(30) 부분에는 큰 전단력이 가해진다. 또한, 베이스(4)는 펌프 케이스(1)에 결합되어 늘어져 있는 상태이지만, 펌프 케이스(1) 보다도 파괴된 회전자(6) 등이 부딪히기 힘들기 때문에, 직접 받는 파괴 토오크는 약하고, 펌프 케이스(1)에서 큰 파괴 토오크를 전달받는다. 즉, 펌프 케이스(1)와 베이스(4)를 결합하고 있는 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트(19) 부분에도 큰 전단력이 가해진다.

파괴 토오크에 의한 전단력을 받은 이 펌프·챔버 결합용 볼트(30) 부분 및 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트(19) 부분에는, 다음과 같은 현상이 일어난다.

상술한 바와 같이, 펌프·챔버 결합용 볼트(30)와 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트(19)의 몸통 직경(잘록한 부분의 직경) 보다도, 각각의 볼트가 삽입하고 있는 볼트 구멍(3, 17)의 직경이 20% 이상 크고, 충분한 간극이 존재하므로, 그 간극 만큼, 플랜지부(1a)가 진공 챔버(200)에 대해서, 또한 베이스 결합부(1b)가 베이스(4)에 대해서 미끄러져 파괴 토오크를 흡수하고 이것을 감쇠시킨다.

감쇠된 파괴 토오크가 아직 남아 있을 때에는, 볼트(30, 19)의 몸통 부분이 볼트 구멍(3, 17)의 벽면에 닿는다. 이것에 의해, 각 볼트(30, 19)에 사용되고 있는 신장 볼트는, 그 잘록한 직경 부분(30d)이 볼트 구멍(3, 17)과의 간극 내에서 늘어나고 또 휘어져, 때에 따라서는 잘록한 직경 부분(30d)에서 전단 되지만, 이 잘록한 직경 부분(30d)의 변형이 파괴 토오크를 집중시켜 흡수하기 때문에, 주변의 다른 부분, 특히 나사 구멍(22, 18)의 나사부 등은 변형을 면할 수 있고, 나사를 회전시켜 푸는 상태가 유지되기 때문에, 나중의 수리 작업 시 결합부의 분해가 용이해 진다.

상기와 같은, 볼트·볼트 구멍 사이의 간극 내의 미끄러짐, 볼트의 변형이라는 결합부의 감쇠 작용에 의해, 강한 파괴 토오크가 진공 챔버(200)까지 전달되어 이것을 파괴하는 상태는 회피할 수 있다.

또한, 본 발명에서 신장 볼트의 사용은 반드시 필요한 것이 아니라, 보통의 볼트를 사용해도 설계에 따라서는 동일한 작용 효과를 얻을 수 있다. 물론, 진공 챔버(200)와 진공 펌프(100)의 결합부에만 신장 볼트를 사용하고, 진공 챔버(200) 로의 파괴 토오크 전달을 약화시키도록 하거나, 펌프 케이스(1)와 베이스(4)와의 결합부에만 신장 볼트를 사용하고, 신장 볼트의 변형에 의해 파괴 토오크를 흡수함으로써 베이스(4)뿐만 아니라 진공 챔버(200)로의 파괴 토오크 전달도 약화시키도록 하거나, 함으로써 부분적으로 신장 볼트를 사용해도 좋다.

도 2는, 본 발명의 다른 실시형태를 도시한다. 도 2의 진공 펌프(100)는 베이스(4)의 하측을 펌프 하부 지지체(60)의 하부 지지 볼트(61)에 고정시키고, 펌프 하부 지지체(60)에 의해 지지된 것이다. 그 외의 구성은, 도 1의 실시형태와 동일하다.

도 2에서는, 베이스(4)가 펌프 하부 지지체(60)에 고정되어 있고, 파괴 토오크가 베이스(4)에 가해질 때, 하부 지지 볼트(61)를 휘거나, 절단시킬 염려가 있기 때문에, 하부 지지 볼트(61)나 그 주변부가 손상되면, 그 후의 분해, 교환이 곤란해진다. 그러나, 본 발명에서는 도 1의 실시형태에서 설명한 바와 같이, 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트(19)의 변형에 의해 파괴 토오크를 흡수하므로, 하부 지지 볼트(61)나 그 주변부의 손상은 일어나지 않는다.

상술한 실시형태의 설명에서 이해되는 바와 같이, 볼트와 볼트 구멍 사이의 간극은, 파괴 토오크의 흡수에 중요한 역할을 담당한다. 그래서, 이 간극을 더욱 개량하면 파괴 토오크 흡수를 한층 효율적으로 행할 수 있다. 이하에서, 그 개량을 순차적으로 설명한다.

도 3은, 도 1 또는 도 2에서의 볼트와 볼트 구멍 사이의 간극에, O 링과 같은 고무 등으로 만든 완충재를 삽입한 구조를 도시한다. 도 3에서는, 진공 챔버(200)와 진공 펌프(100)의 결합부를 도시하고 있으며, 50은 완충재이고, 이 완충재(50)는, 플랜지부(1a)의 볼트 구멍(3)과 펌프·챔버 결합용 볼트(30)의 몸통부 사이의 간극에 삽입하고 있다. 또한, 40은 볼트(30)의 몸통부에 끼워 넣어진 와셔이다.

파괴 토오크를 받아서, 진공 챔버(200)와 플랜지부(1a)가 상대적으로 미끄러져, 볼트 구멍 속에서 볼트가 가로 방향으로 이동하면, 완충재(50)가 탄성 변형하고, 이 탄성 변형에 의해, 파괴 토오크의 감쇠 작용이 한층 현저해 진다.

이 완충재(50)에 의한 파괴 토오크의 흡수는, 진공 챔버(200)와 진공 펌프(100)와의 결합부뿐만 아니라, 펌프 케이스(1)와 베이스(4)의 결합부에도 물론 적용할 수 있다.

도 4는, 본 발명에 관한 진공 펌프의 플랜지부의 다른 실시형태를 도시하는 부분 정면도이고, 진공 챔버·진공 펌프 결합부에 적용된 경우를 나타내고 있다.

도 4의 플랜지부(1a)에는 가스 흡기구(2)의 주변에 등간격으로 8개의 볼트 구멍(3, 3, …)이 배치되어 있다. 이 볼트 구멍(3, 3, …)은 그 직경은 서로 동일하지만, 그 위상(位相), 즉 대응하는 볼트 결합용 나사 구멍((22)(펌프·챔버 결합용 볼트(30))에 대한 위상(펌프의 원주 방향 각도)을 적절하게 바꿔놓고 있다. 이 실시형태에서는 제1 볼트 위치(P1, P1, …)의 4개소에서는, 볼트 구멍(3)과 볼트(30)가 동심으로 되어 있고, 볼트·볼트 구멍 사이의(원주 방향) 거리가 중거리(d4), 제2 볼트 위치(P2, P2)에서는 볼트 구멍(3)이 펌프·챔버 결합용 볼트(30) 보다도 화살표 방향으로 조금 위상이 나가 있어, 볼트·볼트 구멍 사이의 거리가 소거리(d5), 제3 볼트 위치(P3, P3)에서는, 볼트 구멍(3)이 볼트(30) 보다도 조금 위상이 뒤쳐져 있어, 볼트·볼트 구멍 사이의 거리가 대거리(d6)로 되어 있다.

파괴 토오크에 의한 미끄러짐에 의해, 볼트와 볼트 구멍이 상대적으로 접근해 가는 측의 간극, 즉 상기 거리(d4, d5, d6)는 도 4의 경우 각각 볼트의 몸통 직경의 10%, 15%, 5%이다. 또한, 상기 거리는 간극이기 때문에 거리(d4)의 10%는, 도 1의 실시형태의 볼트 구멍(3 또는 17)의 직경이 볼트(30 또는 19)의 몸통 직경보다도 20% 큰 경우에 상당하는 값이다.

이 거리(간극)의 편차 정도는 임의의 것으로, 도 4와 같은 3종류로 한정되는 것은 아니다. 또한, 최소 거리는, 표준 볼트·볼트 구멍의 간극, 예컨대, 10mm 볼트에 대해 11mm 볼트 구멍에서 생기는 평균 간극 0.5mm 정도가 실용적이다. 최대 거리는, 원주를 따른 긴 구멍으로 하는 등에 의해, 꽤 크게 취할 수 있다. 어느 경우에도, 거리(간극)의 편차 범위가 볼트의 몸통 직경의 10%를 포함하고 있는 것이지만, 양호한 파괴 토오크 흡수에 적절하다.

도 4의 실시형태에서는, 파괴 토오크에 의해 볼트 구멍과 볼트가 벗어나는 때 축소되어 가는 측의 간극, 즉 상기 볼트·볼트 구멍 사이의 거리(d4, d5, d6)가 다르다. 그 때문에, 볼트가 볼트 구멍의 벽면에 닿아서, 볼트가 변형을 시작하는 타이밍이 상기 거리(d4, d5, d6)의 차이만큼 벗어나게 된다.

도 5를 참조로 하여, 도 4의 실시형태에서의 상기 타이밍의 오차를 설명한다.

도 5(a)는, 정상적인 설치 상태를 도시한다.

도 5(b)는, 파괴 토오크가 화살표 방향으로 작용하고, 진공 펌프의 플랜지부(1a)가 도면의 우측으로 미끄러져, 중앙의 펌프·챔버 결합용 볼트(30)의 몸통 부분이 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(3)의 내벽(c1)에서 닿는 상태를 도시한다. 이 사이에, 진공 챔버(200)와 플랜지부(1a)의 미끄러짐에 의해, 파괴 토오크는 흡수되어 간다.

도 5(c)는 아직 잔존하는 파괴 토오크에 의해 중앙의 볼트(30)가 변형하고, 좌측의 펌프·챔버 결합용 볼트(30)의 몸통 부분이 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(3)의 내벽(c2)에서 닿는 상태를 도시한다. 이 사이에는, 진공 챔버(200)와 플랜지부(1a)의 미끄러짐과 제2 볼트 위치(P2)에서의 볼트(30)의 변형에 의해, 파괴 토오크는 보다 크게 흡수되어 간다.

더욱이 파괴 토오크를 모두 흡수하지 못하는 경우에는, 좌측의 볼트(30)도 변형을 시작해, 우측의 펌프·챔버 결합용 볼트(30)의 몸통 부분이 진공 챔버 결합용 볼트 구멍(3)의 내벽에 닿고, 그 사이, 진공 챔버(200)와 플랜지부(1a)와의 미끄러짐과 제1, 제2의 볼트 위치(P1, P2)에서의 볼트(30)의 변형에 의해, 파괴 토오크는 한층 더 흡수되어 간다.

이와 같이 도 4 및 도 5에서 설명한 실시형태에서는, 볼트 몸통 부분과 볼트 구멍 내벽면과의 사이 간극을 적극적으로 산포시켜, 펌프 케이스(1)의 미끄러짐 회전 시, 볼트 결합부에서의 파괴 토오크 흡수를 분산시키고, 시간을 걸려 흡수하도록 하기 때문에, 파괴 토오크의 최고치가 낮아지고, 큰 충격을 잘 받지 않게 된다.

볼트 몸통 부분과 볼트 구멍 내벽면과의 사이 간극을 적극적으로 산포시키는 데는, 도 4 및 도 5에 한정하지 않고, 예컨대 볼트 구멍의 직경을 여러 종류로 해서 간극을 산포시키거나, 볼트 구멍의 형상을 여러 가지로 해서 간극을 산포시키는 등, 다양한 방법이 있다.

또한, 이 볼트의 몸통 부분과 구멍 내벽면과의 사이 간극을 적극적으로 산포시키는 방법을, 펌프 케이스·베이스 결합부에도 적용하거나, 펌프 케이스·베이스 결합부에만 적용하거나 해도 유효하다.

볼트 몸통 부분과 볼트 구멍 내벽면과의 사이 간극을 적극적으로 산포시키는 방법과, 상술한 완충재 삽입을 조합하거나, 신장 볼트를 사용하는 방법을 조합하거나 해도, 물론 본 발명을 실시할 수 있고, 또한 이들을 진공 펌프·진공 챔버 결합부, 펌프 케이스·베이스 결합부 모두 또는 어느 한 쪽에 적용해도 된다.

도 7은, 진공 펌프·진공 챔버 결합부(3, 22, 30)에 볼트 구멍이 볼트 몸통 직경 보다 20% 이상 크고, 신장 볼트를 사용하고, 펌프 케이스·베이스 결합부(17~19)에는, 보통의 볼트·볼트 구멍의 결합 구조를 사용한 예를 도시한다. 도 7의 다른 구성은 도 1과 동일하다.

진공 펌프·진공 챔버 결합부에만, (1) 볼트 구멍이 볼트 몸통 직경 보다 20% 이상 큰 구조, (2) 볼트에 대한 볼트 구멍 위치가 산포되어 있는 구조, (3) 상기 (1)에 완충재 삽입을 조합한 구조, (4) 상기 (2)에 완충재 삽입을 조합한 구조, (5) 상기 (1)에 신장 볼트를 사용한 구조, (6) 상기 (2)에 신장 볼트를 사용한 구조 등을 채용한 것만으로도, 결합부의 변형이나 부분적인 파괴로 파괴 토오크가 흡수되어, 진공 챔버(200)로의 파괴 토오크 전달이나 진공 펌프의 탈락이 방지된다.

도 8은 펌프 케이스·베이스 결합부(17~19)에, 볼트 구멍이 볼트 몸통 직경보다 20% 이상으로 크고, 신장 볼트를 사용하고, 진공 펌프·진공 챔버 결합부(3, 22, 30)에는 보통의 볼트·볼트 구멍의 결합 구조를 사용한 예를 도시한다. 도 8 의 다른 구성은 도 2와 동일하다.

펌프 케이스·베이스 결합부에만, 상기 (1)~(6) 등을 채용한 것만으로도, 펌프 케이스(1)의 파괴가 앞으로 진행되어 파괴하고 베이스가 남는 경향이 나오며, 이 결합부의 변형이나 부분적 파괴로 파괴 토오크가 흡수되어, 진공 챔버(200)로의 파괴 토오크 전달이나 진공 펌프의 탈락이 방지되는 작용 효과가 나오는 것을 확인할 수 있다.

본 발명에서는, 상술한 바와 같이 진공 챔버 결합용 볼트 구멍과 그곳에 삽입된 펌프·챔버 결합용 볼트의 간극, 또는 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트 구멍과 그곳에 삽입되는 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트의 간극을 볼트 몸통보다도 20% 이상 크게 하거나, 펌프 케이스가 파괴 토오크를 받아 회전할 때, 볼트와 볼트 구멍이 상대적으로 접근해 가는 측의 간극이, 볼트의 몸통 직경의 10%를 포함한 범위에 산포시키거나 하기 때문에, 고속 회전하고 있는 회전자가 취성 파괴 등을 일으키고, 진공 펌프 전체를 회전시키려고 하는 파괴 토오크가 발생할 때, 이 파괴 토오크를 직접 받는 진공 펌프의 펌프 케이스가, 진공 챔버 및 베이스에 대해서, 볼트와 볼트 구멍의 간극만큼 미끄러져, 파괴 토오크를 흡수해 감쇠시키고, 진공 챔버 등에 파괴 토오크가 전달되는 것을 방지한다.

상기 간극에 완충재를 삽입해 놓으면, 완충재의 탄성 변형에 의해, 파괴 토오크의 감쇠 작용이 한층 현저해 진다.

상기 볼트로써 신장 볼트를 사용하면, 파괴 토오크가 신장 볼트의 변형에 사용되어, 파괴 토오크의 감쇠 작용이 한층 현저해 진다.

Claims

회전자와,

이 회전자를 둘러싼 펌프 케이스와,

이 펌프 케이스의 위 가장자리에 형성된 플랜지부와,

이 플랜지부의 상면에 접하는 진공 챔버의 배기구 주 가장자리측에 설치된 복수의 펌프 결합용 구멍에 대응 배치되고, 상기 플랜지부에 착설된, 펌프·챔버 결합용 볼트를 관통하기 위한 복수의 진공 챔버 결합용 볼트 구멍과,

상기 펌프 케이스의 아래 가장자리에 형성된 베이스 결합부와,

이 베이스 결합부의 하면에 접하고 상기 회전자의 하측을 둘러싼 베이스와,

상기 베이스 결합부 및 베이스의 각각에 서로 대응해 배치된 복수의 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍과,

이 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍에 삽입하고 나사를 조임으로써 펌프 케이스와 베이스를 결합하는 복수의 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트를 가지고,

볼트 구멍의 직경과 볼트 몸통의 직경과의 관계가, 이하의 (a), (b) 중 어느 하나이던가, (a) 및 (b)인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.

(a) 진공 챔버 결합용 볼트 구멍의 직경이, 해당 진공 챔버 결합용 볼트 구멍에 삽입되는 펌프·챔버 결합용 볼트 몸통의 직경보다도 20% 이상 크다.

(b) 베이스 결합부 또는 베이스에 설치된 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍 중, 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트 구멍의 직경이, 해당 볼트 구멍에 삽입되는 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트의 몸통 직경보다도 20% 이상 크다.
회전자와,

이 회전자를 둘러싼 펌프 케이스와,

이 펌프 케이스의 위 가장자리에 형성된 플랜지부와,

이 플랜지부의 상면에 접하는 진공 챔버의 배기구 주 가장자리측에 설치된 복수의 펌프 결합용 구멍에 대응 배치되고, 상기 플랜지부에 착설된, 펌프·챔버 결합용 볼트를 관통하기 위한 복수의 진공 챔버 결합용 볼트 구멍과,

이 펌프 케이스의 아래 가장자리에 형성된 베이스 결합부와,

이 베이스 결합부의 하면에 접하고 상기 회전자의 하측을 둘러싼 베이스와,

상기 베이스 결합부 및 베이스의 각각에 서로 대응해 배치된 복수의 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍과,

이 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍에 삽입하고 나사를 조임으로써 펌프 케이스와 베이스를 결합하는 복수의 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트를 가지고,

결합용 볼트와 볼트 구멍과의 위치 관계가, 이하의 (a), (b) 중 하나이던가, (a) 및 (b)인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.

(a) 펌프 케이스가 파괴 토오크를 받아 회전할 때, 상기 펌프·챔버 결합용 볼트와 진공 챔버 결합용 볼트 구멍이 상대적으로 접근해 가는 측의 간극이, 볼트의 몸통 직경의 10%를 포함한 범위에 산포되어 있다.

(b) 펌프 케이스가 파괴 토오크를 받아 회전할 때, 상기 펌프 케이스·베이 스 결합용 볼트와 펌프 케이스·베이스 결합용 구멍이 상대적으로 접근해 가는 측의 간극이, 볼트 몸통 직경의 10%를 포함한 범위에 산포되어 있다.
제1항 또는 제2항에 있어서,

결합용 볼트와 볼트 구멍과의 간극이, 이하의 (a), (b) 중 어느 하나이던가, (a) 및 (b)인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.

(a) 펌프·챔버 결합용 볼트와 진공 챔버 결합용 볼트 구멍과의 간극에 완충재가 삽입하고 있다.

(b) 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트와 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트 구멍과의 간극에 완충재가 삽입하고 있다.
제1항 또는 제2항에 있어서,

결합용 볼트가, 이하의 (a), (b) 중 하나이거나, (a) 및 (b)인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.

(a) 펌프·챔버 결합용 볼트가 신장 볼트이다.

(b) 펌프 케이스·베이스 결합용 볼트가 신장 볼트이다.
진공 챔버의 배기구 주 가장자리에 설치된 복수의 펌프 결합용 구멍과,

진공 펌프의 회전자를 둘러싼 진공 펌프의 펌프 케이스의 위 가장자리에 형성된 플랜지부에 설치되고, 상기 펌프 결합용 구멍에 대응해 배치된 복수의 진공 챔버 결합용 구멍과,

상기 펌프 결합용 구멍 및 진공 챔버 결합용 구멍에 삽입하고 나사를 조임으로써, 진공 챔버 배기구 주 가장자리와 플랜지부를 고정하는 복수의 펌프·챔버 결합용 볼트를 가지고,

펌프 결합용 구멍 및 진공 챔버 결합용 구멍 중 볼트 구멍이 되는 구멍의 직경이, 해당 볼트 구멍에 삽입되는 펌프·챔버 결합용 볼트의 몸통 직경보다도 20% 이상 크게 되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 설치 구조.
진공 챔버의 배기구 주 가장자리에 설치된 복수의 펌프 결합용 구멍과,

진공 펌프의 회전자를 둘러싼 진공 펌프의 펌프 케이스의 위 가장자리에 형성된 플랜지부에 설치되고, 상기 펌프 결합용 구멍에 대응해 배치된 복수의 진공 챔버 결합용 구멍과,

상기 펌프 결합용 구멍 및 진공 챔버 결합용 구멍에 삽입하고 나사를 조임으로써 진공 챔버 배기구 주 가장자리와 플랜지부를 고정하는 복수의 펌프·챔버 결합용 볼트를 가지고,

펌프 케이스가 파괴 토오크를 받아 회전할 때, 상기 펌프·챔버 결합용 볼트와 진공 챔버 결합용 구멍이 상대적으로 접근해 가는 측의 간극이 볼트의 몸통 직경의 10%를 포함한 범위에 산포되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 설치 구조.
제5항 또는 제6항에 있어서,

펌프·챔버 결합용 볼트와, 펌프 결합용 구멍 및 진공 챔버 결합용 구멍 중 볼트 구멍이 되는 구멍과의 간극에 완충재가 삽입하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 설치 구조.
제5항 또는 제6항에 있어서,

펌프·챔버 결합용 볼트가 신장 볼트인 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 설치 구조.