KR100804646B1 - 챔버로의 가스 공급 장치 및 이것을 이용한 챔버의 내압제어 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
상기 압력식 유량 제어 장치를 오리피스와, 상기 오리피스 상류측의 압력 검출기와, 상기 압력 검출기의 상류측에 설치한 컨트롤 밸브와, 상기 압력 검출기의 검출 압력(P1)으로부터 오리피스를 통과하는 가스 유량(Qc)을 Qc=KP1(단, K는 정수)에 의해 연산함과 아울러 설정 유량(Qs)과의 차(Qy)를 컨트롤 밸브에 구동용 신호로서 출력하는 연산 제어부로 형성하고, 또한 오리피스 상류측 압력(P1)과 하류측 압력(P2)의 비(P1/P2)를 약 2배 이상으로 유지한 상태하에서 사용하는 압력식 유량 제어 장치로 함과 아울러; 상기 1기의 압력식 유량 제어 장치를 챔버로 공급하는 최대 유량의 10%이하의 가스 유량 영역을 제어하는 장치로 하고, 잔여 압력식 유량 제어 장치를 나머지의 가스 유량 영역을 제어하는 장치로 하여, 넓은 유량 영역에 걸쳐 고정밀도의 유량 제어를 행하며,
상기 압력식 유량 제어 장치의 작동을 제어하는 상기 제어 장치는, 챔버로 공급하는 가스 유량을 설정하는 입력설정부와, 해당 입력 설정부로의 입력값을 각 압력식 유량 제어 장치로의 제어 신호로 변환하는 신호 변환부를 구비하고,
상기 신호 변환부로부터 발신된 제어 신호에 의해 상기 복수기의 압력식 유량 제어 장치를 그 제어 유량 영역이 작은 압력식 유량 제어 장치로부터 순서대로 작동시키는 구성으로 한 것이며,
상기 입력설정부에, 각 유량 영역을 분담하는 압력식 유량 제어 장치로 발신하는 제어 신호의 상승률 설정 기구를 설치하고, 상기 제어 신호의 발신으로부터 소정의 시간 경과 후에 해당 압력식 유량 제어 장치가 설정 유량의 가스 유량을 공급하는 구성으로 한 것을 발명의 기본 구성으로 하는 것이다.
Claims (8)
- 병렬상으로 접속한 복수기의 압력식 유량 제어 장치와, 상기 복수기의 압력식 유량 제어 장치의 작동을 제어하는 제어 장치로 형성되고, 진공 펌프에 의해 배기된 챔버로 소망의 가스를 유량 제어하면서 공급하는 챔버로의 가스 공급 장치에 있어서:상기 압력식 유량 제어 장치를 오리피스와, 상기 오리피스 상류측의 압력 검출기와, 상기 압력 검출기의 상류측에 설치한 컨트롤 밸브와, 상기 압력 검출기의 검출 압력(P1)으로부터 오리피스를 통과하는 가스 유량(Qc)을 Qc=KP1(단, K는 정수)에 의해 연산함과 아울러 설정 유량(Qs)과의 차(Qy)를 컨트롤 밸브에 구동용 신호로서 출력하는 연산 제어부로 형성하고, 또한 오리피스 상류측 압력(P1)과 하류측 압력(P2)의 비(P1/P2)를 약 2배 이상으로 유지한 상태하에서 사용하는 압력식 유량 제어 장치로 함과 아울러; 상기 1기의 압력식 유량 제어 장치를 챔버로 공급하는 최대 유량의 10%이하의 가스 유량 영역을 제어하는 장치로 하고, 잔여 압력식 유량 제어 장치를 나머지의 가스 유량 영역을 제어하는 장치로 하여, 넓은 유량 영역에 걸쳐 고정밀도의 유량 제어를 행하며,상기 압력식 유량 제어 장치의 작동을 제어하는 상기 제어 장치는, 챔버로 공급하는 가스 유량을 설정하는 입력설정부와, 해당 입력 설정부로의 입력값을 각 압력식 유량 제어 장치로의 제어 신호로 변환하는 신호 변환부를 구비하고,상기 신호 변환부로부터 발신된 제어 신호에 의해 상기 복수기의 압력식 유량 제어 장치를 그 제어 유량 영역이 작은 압력식 유량 제어 장치로부터 순서대로 작동시키는 구성으로 한 것이며,상기 입력설정부에, 각 유량 영역을 분담하는 압력식 유량 제어 장치로 발신하는 제어 신호의 상승률 설정 기구를 설치하고, 상기 제어 신호의 발신으로부터 소정의 시간 경과 후에 해당 압력식 유량 제어 장치가 설정 유량의 가스 유량을 공급하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 챔버로의 가스 공급 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 병렬상으로 접속하는 압력식 유량 제어 장치를 2기로 하고, 한쪽을 소유량 영역을 제어하는 소유량 레인지의 압력식 유량 제어 장치로 하고, 다른쪽을 대유량 영역을 제어하는 대유량 레인지의 압력식 유량 제어 장치로 한 것을 특징으로 하는 챔버로의 가스 공급 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 병렬상으로 접속하는 압력식 유량 제어 장치를 2기로 하고, 소유량용의 압력식 유량 제어 장치의 유량 제어 영역을 최대 유량의 0.1∼10%로 하고, 또한 대유량용의 압력식 유량 제어 장치의 유량 제어 영역을 최대 유량의 10∼100%로 하도록 한 것을 특징으로 하는 챔버로의 가스 공급 장치.
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- 압력식 유량 제어 장치를 구비한 가스 공급 장치로부터 가스가 공급됨과 아울러, 컨덕턴스 밸브와 진공펌프, 및 진공 배기 라인으로 형성된 진공 배기계를 구비한 챔버로서, 상기 컨덕턴스 밸브를 구비한 상기 진공 배기 라인을 통하여 상기 진공 펌프에 의해 내부를 연속적으로 감압하도록 한 챔버에 있어서, 우선, 상기 진공 펌프를 연속적으로 운전함과 아울러 가스 공급 장치로부터 소망의 가스를 공급하고, 상기 컨덕턴스 밸브를 최대 개도로 했을 때 및 최소 개도로 했을 때의 가스 공급 유량과 챔버 내압의 관계를 각각 구하고, 이어서, 이 챔버 내압과 가스 공급 유량의 관계로부터 상기 진공 배기계를 구비한 챔버에 있어서의 챔버로의 가스 공급 유량과 챔버 내압의 제어 범위를 정함과 아울러, 해당 가스 공급 유량과 챔버 내압의 관계 선도로부터 구한 설정해야 할 챔버 내압에 대응하는 가스 공급 유량으로 상기 가스 공급 장치로부터 공급중의 가스 유량을 조정함으로써, 챔버 내압을 소망의 설정 압력으로 유지하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 챔버의 내압 제어 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 진공 배기계의 컨덕턴스 밸브의 개도와 상기 가스 공급 장치로부터의 공급 가스 유량 양자를 조정함으로써 챔버 내압을 설정 압력으로 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 챔버의 내압 제어 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 가스 공급장치를, 병렬상으로 접속한 복수기의 압력식 유량 제어 장치와, 상기 복수기의 압력식 유량 제어 장치의 작동을 제어하는 제어 장치로 형성되고, 진공 펌프에 의해 배기된 챔버로 소망의 가스를 유량 제어하면서 공급하는 챔버로의 가스 공급 장치에 있어서, 상기 압력식 유량 제어 장치를 오리피스와, 상기 오리피스 상류측의 압력 검출기와, 상기 압력 검출기의 상류측에 설치한 컨트롤 밸브와, 상기 압력 검출기의 검출 압력(P1)으로부터 오리피스를 통과하는 가스 유량(Qc)을 Qc=KP1(단, K는 정수)에 의해 연산함과 아울러 설정 유량(Qs)과의 차(Qy)를 컨트롤 밸브에 구동용 신호로서 출력하는 연산 제어부로 형성하고, 또한 오리피스 상류측 압력(P1)과 하류측 압력(P2)의 비(P1/P2)를 약 2배 이상으로 유지한 상태하에서 사용하는 압력식 유량 제어 장치로 함과 아울러, 상기 1기의 압력식 유량 제어 장치를 챔버로 공급하는 최대 유량의 10%이하의 가스 유량 영역을 제어하는 장치로 하고, 잔여 압력식 유량 제어 장치를 나머지의 가스 유량 영역을 제어하는 장치로 하고, 또한 상기 압력식 유량 제어 장치의 작동을 제어하는 상기 제어 장치를, 챔버로 공급하는 가스 유량을 설정하는 입력 설정부와, 해당 입력 설정부로의 입력값을 각 압력식 유량 제어 장치로의 제어 신호로 변환하는 신호 변환부를 구비한 구성으로 하여, 신호 변환부로부터 각 압력식 유량 제어 장치로 제어 신호를 발신함으로써 넓은 유량 영역에 걸쳐서 고정밀도의 유량 제어를 행하는 가스 공급 장치로 한 것을 특징으로 하는 챔버의 내압 제어 방법.
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