JP6767232B2 - 基板処理装置の流量制御器によって出力されるガスの出力流量を求める方法 - Google Patents
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Description
V=KQ/(ΔP/Δt) …(1)
(1)式は、気体の状態方程式から導出される式である。(1)式において、Qは、流量制御器14に指定された設定流量である。(1)式において、ΔP/Δtは、時間に対するチャンバ12cの圧力の上昇率である。ΔP/Δtは、工程S116の繰り返しにより取得されたチャンバ12cの圧力の複数個の測定値と、これら複数個の測定値それぞれが取得された複数の時点から求められる。例えば、時間軸と圧力軸を有する直交二軸座標系において、複数の時点のうち一つの時点と複数個の測定値のうち当該一つの時点において取得された測定値を各々が含む複数個のデータに対して、直線をフィッティングし、当該直線の傾きをΔP/Δtとして求めることができる。また、(1)式において、Kは、下式(2)で定義される。
K=RT/(22.4×103) …(2)
(2)式において、Rは、気体定数であり、62.36(Torr・l・mol−1・K−1)である。また、Tは、チャンバ12cにおけるガスの温度であり、チャンバ12cに接続された温度センサによって測定されてもよく、或いは、一定の温度(例えば、22℃)であってもよい。Tが22℃である場合には、Kは0.82(Torr)である。
Q=V/K×(ΔP/Δt) …(3)
(3)式は、気体の状態方程式から導出される式である。(3)式において、Vは、チャンバ12cの既知の容積である。容積Vは、処理SPにより求められた容積であり得る。(3)式において、ΔP/Δtは、時間に対するチャンバ12cの圧力の上昇率である。ΔP/Δtは、工程S16の繰り返しにより取得されたチャンバ12cの圧力の複数個の測定値と、これら複数個の測定値それぞれが取得された複数の時点から求められる。例えば、時間軸と圧力軸を有する直交二軸座標系において、複数の時点のうち一つの時点と複数個の測定値のうち当該一つの時点において取得された測定値を各々が含む複数個のデータに対して、直線をフィッティングし、当該直線の傾きをΔP/Δtとして求めることができる。また、(1)式において、Kは、式(2)で定義される。式(2)において、Tは、チャンバ12cに接続された温度センサによって測定されてもよく、或いは、一定の温度(例えば、22℃)であってもよい。Tが22℃である場合には、Kは0.82(Torr)である。
(220.4−127.0)/127.0 : 13=r : 15 …(4)
式(4)において、rは0.8485である。そして、流路長Lbの最大値であるLmaxは、下記の式(5)から234.8mmとなる。
(Lmax−127.0)/127.0=0.8485 …(5)
また、許容可能なLs/Lbの最小値は、127.0/234.8から、0.54となる。
Claims (7)
- 基板処理装置の流量制御器によって出力されるガスの出力流量を求める方法であって、
前記基板処理装置は、
その中で基板を処理するためのチャンバを提供するチャンバ本体と、
指定される設定流量に応じて前記チャンバに供給するガスの出力流量を制御する前記流量制御器と、
前記チャンバに接続された圧力制御器と、
前記圧力制御器を介して前記チャンバに接続された排気装置と、
前記チャンバの圧力を測定する第1の圧力センサと、
前記チャンバの圧力を測定する第2の圧力センサであり、前記第1の圧力センサが測定可能な最大圧力よりも高い最大圧力を測定可能な該第2の圧力センサと、
を備え、
該方法は、
前記流量制御器に指定される設定流量に応じて、前記第1の圧力センサ及び前記第2の圧力センサから圧力センサを選択する工程であり、前記設定流量が閾値よりも小さい場合に前記第1の圧力センサを選択し、前記設定流量が前記閾値以上である場合に前記第2の圧力センサを選択する、該工程と、
前記設定流量に応じて前記チャンバの圧力が到達すべき目標圧力を決定する工程であり、該目標圧力は前記設定流量の大きさに比例して、又は、該設定流量の大きさに応じて段階的に大きくなるように決定される、該工程と、
前記流量制御器から前記チャンバに、前記設定流量に応じた流量でガスの導入を開始させる工程と、
前記圧力制御器を閉じる工程と、
前記圧力制御器を閉じた時点から前記チャンバの圧力が前記目標圧力に到達した時点までの期間において、選択された前記圧力センサによって測定された前記チャンバの圧力の測定値から導出される、時間に対する該チャンバの圧力の上昇率を用いて、前記流量制御器の出力流量を算出する工程と、
を含む方法。 - 基板処理装置の流量制御器によって出力されるガスの出力流量を求める方法であって、
前記基板処理装置は、
チャンバを提供するチャンバ本体と、
指定される設定流量に応じて前記チャンバに供給するガスの出力流量を制御する前記流量制御器と、
前記チャンバに接続された圧力制御器と、
前記圧力制御器を介して前記チャンバに接続された排気装置と、
前記チャンバの圧力を測定する第1の圧力センサと、
前記チャンバの圧力を測定する第2の圧力センサであり、前記第1の圧力センサが測定可能な最大圧力よりも高い最大圧力を測定可能な該第2の圧力センサと、
を備え、
該方法は、
前記流量制御器に指定される設定流量に応じて、前記第1の圧力センサ及び前記第2の圧力センサから圧力センサを選択する工程であり、前記設定流量が閾値よりも小さい場合に前記第1の圧力センサを選択し、前記設定流量が前記閾値以上である場合に前記第2の圧力センサを選択する、該工程と、
前記設定流量に応じて前記チャンバの圧力が到達すべき目標圧力を決定する工程であり、該目標圧力は前記設定流量の大きさに比例して、又は、該設定流量の大きさに応じて段階的に大きくなるように決定される、該工程と、
前記流量制御器から前記チャンバに、前記設定流量に応じた流量でガスの導入を開始させる工程と、
前記圧力制御器を閉じる工程と、
前記圧力制御器を閉じた時点から前記チャンバの圧力が前記目標圧力に到達した時点までの期間において、選択された前記圧力センサによって測定された前記チャンバの圧力の測定値から導出される、時間に対する該チャンバの圧力の上昇率を用いて、前記流量制御器の出力流量を算出する工程と、
を含み、
前記目標圧力は、前記期間が所定時間長以上の時間長を有するように流量と目標圧力との関係を予め規定するテーブルを、前記設定流量を用いて参照することにより決定される、方法。 - 前記期間において前記チャンバの圧力の複数個且つ所定個の測定値が得られるように、サンプリング間隔を決定する工程を更に含み、
前記圧力の上昇率は、選択された前記圧力センサによって、前記期間において前記サンプリング間隔で測定された前記チャンバの圧力の複数の測定値から導出される、
請求項2に記載の方法。 - 基板処理装置の流量制御器によって出力されるガスの出力流量を求める方法であって、
前記基板処理装置は、
チャンバを提供するチャンバ本体と、
指定される設定流量に応じて前記チャンバに供給するガスの出力流量を制御する前記流量制御器と、
前記チャンバに接続された圧力制御器と、
前記圧力制御器を介して前記チャンバに接続された排気装置と、
前記チャンバの圧力を測定する第1の圧力センサと、
前記チャンバの圧力を測定する第2の圧力センサであり、前記第1の圧力センサが測定可能な最大圧力よりも高い最大圧力を測定可能な該第2の圧力センサと、
を備え、
該方法は、
前記流量制御器に指定される設定流量に応じて、前記第1の圧力センサ及び前記第2の圧力センサから圧力センサを選択する工程であり、前記設定流量が閾値よりも小さい場合に前記第1の圧力センサを選択し、前記設定流量が前記閾値以上である場合に前記第2の圧力センサを選択する、該工程と、
前記設定流量に応じて前記チャンバの圧力が到達すべき目標圧力を決定する工程であり、該目標圧力は前記設定流量の大きさに比例して、又は、該設定流量の大きさに応じて段階的に大きくなるように決定される、該工程と、
前記流量制御器から前記チャンバに、前記設定流量に応じた流量でガスの導入を開始させる工程と、
前記圧力制御器を閉じる工程と、
前記圧力制御器を閉じた時点から前記チャンバの圧力が前記目標圧力に到達した時点までの期間において、選択された前記圧力センサによって測定された前記チャンバの圧力の測定値から導出される、時間に対する該チャンバの圧力の上昇率を用いて、前記流量制御器の出力流量を算出する工程と、
を含み、
前記期間において前記チャンバの圧力の複数個且つ所定個の測定値が得られるように、サンプリング間隔を決定する工程を更に含み、
前記圧力の上昇率は、選択された前記圧力センサによって、前記期間において前記サンプリング間隔で測定された前記チャンバの圧力の複数の測定値から導出される、方法。 - 前記第1の圧力センサと前記第2の圧力センサのうち一方と前記チャンバとの間の流路長Lb、及び、前記第1の圧力センサと前記第2の圧力センサのうち他方と前記チャンバとの間の流路長Lsは、Lb≧Ls、且つ、0.54≦Ls/Lb≦1を満たす、請求項1〜4の何れか一項に記載の方法。
- 前記Lbは234.8mm以下である、請求項5に記載の方法。
- 前記第2の圧力センサが測定可能な最大圧力は、133300Pa以上である、請求項1〜6の何れか一項に記載の方法。
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